KR102578212B1 - High-precision rotary stage with compact structure - Google Patents
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Abstract
본 발명은 콤팩트한 구조의 고정밀도 회전 스테이지에 관련되며, 이때 콤팩트한 구조의 고정밀도 회전 스테이지는 V형 이너 레일면과 V형 아우터 레일면이 고정레일블록 및 유동레일블록에 각각 일체로 형성됨에 따라 V형 이너 레일면과 V형 아우터 레일면을 장착하기 위한 볼팅홀이 불필요하고, 이로 인해 비숙련공에 의한 조립성이 우수함과 더불어 V형 이너 레일면과 V형 아우터 레일면이 콤팩트하게 구조 개선되어 스테이지 전체 사이즈를 축소 설계할 수 있도록 바디(100), 로터리플레이트(200), 가이드블록(300), 레일모듈(400), 센서모듈(500)을 포함하여 주요구성으로 한다.The present invention relates to a high-precision rotation stage with a compact structure. In this case, the high-precision rotation stage with a compact structure has a V-shaped inner rail surface and a V-shaped outer rail surface integrally formed with a fixed rail block and a floating rail block, respectively. Accordingly, there is no need for bolting holes to mount the V-type inner rail surface and the V-type outer rail surface. As a result, assembly by unskilled workers is excellent, and the structure of the V-type inner rail surface and V-type outer rail surface is improved to be more compact. The main components include a body (100), a rotary plate (200), a guide block (300), a rail module (400), and a sensor module (500) so that the overall size of the stage can be reduced.
Description
본 발명은 콤팩트한 구조의 고정밀도 회전 스테이지에 관련되며, 보다 상세하게는 V형 이너 레일면과 V형 아우터 레일면이 고정레일블록 및 유동레일블록에 각각 일체로 형성됨에 따라 V형 이너 레일면과 V형 아우터 레일면을 장착하기 위한 볼팅홀이 불필요하고, 이로 인해 비숙련공에 의한 조립성이 우수함과 더불어 V형 이너 레일면과 V형 아우터 레일면이 콤팩트하게 구조 개선되어 스테이지 전체 사이즈를 축소 설계할 수 있는 콤팩트한 구조의 고정밀도 회전 스테이지에 관한 것이다.The present invention relates to a high-precision rotation stage with a compact structure. More specifically, the V-shaped inner rail surface and the V-shaped outer rail surface are formed integrally with the fixed rail block and the floating rail block, respectively, so that the V-shaped inner rail surface There is no need for bolting holes to mount the V-type outer rail surface, which improves assembly by unskilled workers, and the structure of the V-type inner rail surface and V-type outer rail surface has been improved to be more compact, reducing the overall size of the stage. It is about a high-precision rotation stage with a compact structure that can be designed.
일반적으로 정밀 스테이지는 정밀부품의 위치를 정확하게 유지시켜주기 위한 장비로서, 반도체 기술의 발달, 그리고 MEMS(Micro Electro Mechanical System)로 대별되는 마이크로 시스템 테크놀로지의 발달과 함께, 반도체 웨이퍼, LCD 등의 검사용 장비 또는 MEMS 디바이스를 제작하거나 조작하기 위한 각종 설비의 이송 기구를 포함하는 설비분야에 널리 이용되고, 고도의 정밀도를 요구하는 실정이다.In general, a precision stage is equipment to accurately maintain the position of precision parts. With the development of semiconductor technology and the development of micro system technology, which is broadly classified as MEMS (Micro Electro Mechanical System), it is used for inspection of semiconductor wafers, LCDs, etc. It is widely used in the equipment field, including transfer mechanisms for various equipment for manufacturing or manipulating equipment or MEMS devices, and requires a high degree of precision.
이에 종래에 개시된 등록특허 10-2259802호에서, 하우징에 회전 가능하게 지지되는 회전판; 회전 운동을 발생시키는 구동모터; 및 상기 구동모터의 구동력을 변환하여 회전판에 전달하는 구동력 변환부;를 포함하고, 상기 구동력 변환부는 상기 구동모터와 연결되는 스크류 바; 상기 스크류 바에 나사 결합되어 직선 이동되는 너트 블록; 상기 회전판의 측면에 고정되는 베어링 유닛; 및 상기 너트 블록에 고정되어 너트 블록이 직선 이동되면 베어링 유닛을 가압하여 회전판을 회전시키는 예압 블록을 포함하고, 상기 너트 블록은 상기 스크류 바에 나사 결합되는 너트부; 상기 너트부의 상부에 평판 형태로 형성되어 예압블록이 고정되는 고정판; 및 상기 고정판의 하면에 형성되어 너트 블록이 직선 이동되도록 가이드하는 가이드부를 포함하며, 상기 예압 블록은 상기 고정판의 일측에 고정되어 베어링 유닛이 제1방향으로 이동되도록 가압하는 제1예압 블록; 및 상기 고정판의 타측에 고정되고 제1예압블록과 마주보게 배치되어 베어링 유닛이 제2방향으로 이동되도록 가압하는 제2예압 블록을 포함하는 기술이 선 제시된바 있다.Accordingly, in the previously disclosed patent registration number 10-2259802, a rotating plate rotatably supported in the housing; A drive motor that generates rotational motion; and a driving force conversion unit that converts the driving force of the drive motor and transmits it to the rotating plate, wherein the driving force conversion unit includes a screw bar connected to the drive motor. a nut block screwed to the screw bar and moved linearly; a bearing unit fixed to a side of the rotating plate; and a preload block that is fixed to the nut block and rotates the rotating plate by pressing a bearing unit when the nut block moves linearly, wherein the nut block includes a nut portion screwed to the screw bar; A fixing plate formed in the form of a flat plate on the upper part of the nut part to which the preload block is fixed; and a guide part formed on the lower surface of the fixing plate to guide the nut block to move in a straight line, wherein the preload block is fixed to one side of the fixing plate and presses the bearing unit to move in a first direction; And a technology including a second preload block fixed to the other side of the fixing plate and disposed to face the first preload block to press the bearing unit to move in the second direction has been previously proposed.
그러나, 상기 종래기술은 모션 동작시 흔들림이나 끼임 현상을 방지할 수 있어 정밀 제어가 가능하고 작동 불량을 방지하려는 것이나, 부품의 다분화로 인해 조립 공정이 복잡하고, 특히, 제 1, 2예압 블록이 너트블록(LM가이드)를 타고 이동이 안내되도록 구성되어 충격하중에 대한 내구성이 약하고, 부품들간에 볼트 체결을 위한 공간을 확보해야 하므로 부피가 증가되어 콤팩트한 사이즈로 소형화에 한계가 따랐다.However, the prior art is intended to prevent shaking or jamming during motion operation, enabling precise control and preventing malfunctions, but the assembly process is complicated due to the diversification of parts, especially the first and second preload blocks. Since the movement is guided by this nut block (LM guide), durability against impact loads is weak, and space for fastening bolts must be secured between parts, which increases the volume and limits miniaturization to a compact size.
이에 따라 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 착안 된 것으로서, V형 이너 레일면과 V형 아우터 레일면이 고정레일블록 및 유동레일블록에 각각 일체로 형성됨에 따라 V형 이너 레일면과 V형 아우터 레일면을 장착하기 위한 볼팅홀이 불필요하고, 이로 인해 비숙련공에 의한 조립성이 우수함과 더불어 V형 이너 레일면과 V형 아우터 레일면이 콤팩트하게 구조 개선되어 스테이지 전체 사이즈를 축소 설계할 수 있는 콤팩트한 구조의 고정밀도 회전 스테이지를 제공하는 것에 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention was conceived to solve the above problems, and the V-type inner rail surface and the V-type outer rail surface are formed integrally with the fixed rail block and the floating rail block, respectively. Bolting holes for mounting the outer rail surface are unnecessary, which improves assembly by unskilled workers. In addition, the structure of the V-shaped inner rail surface and the V-shaped outer rail surface has been improved to be more compact, allowing the overall size of the stage to be designed to be reduced. The purpose is to provide a high-precision rotation stage with a compact structure.
이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명의 특징은, 종형 축홀(110)이 형성되고, 종형 축홀(110)과 직각으로 교차하도록 횡형 축홀(120)이 형성되는 바디(100); 상기 종형 축홀(110)을 중심으로 회전 가능하도록 메인축(210)이 설치되고, 저면 일측에 캠롤러모듈(220)이 구비되는 로터리플레이트(200); 상기 횡형 축홀(120)에 설치되는 구동스크류모듈(310)에 연계되어 직선 왕복운동되고, 캠롤러모듈(220)에 맞물려 로터리플레이트(200) 회전각도를 제어하도록 구비되는 가이드블록(300); 상기 바디(100)에 설치되어 가이드블록(300)의 직선 이동을 안내하도록 구비되는 레일모듈(400); 및 상기 로터리플레이트(200) 외주면에 설치되는 센서독(510)과, 바디(100)에 설치되어 센서독(510)을 감지하여 로터리플레이트(200)의 회전위치를 검출하는 센서(520)를 포함하는 센서모듈(500);을 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve this object, the features of the present invention include a body 100 in which a vertical shaft hole 110 is formed and a horizontal shaft hole 120 is formed to intersect the vertical shaft hole 110 at a right angle; A rotary plate (200) on which a main shaft (210) is installed so as to be rotatable about the vertical shaft hole (110) and a cam roller module (220) is provided on one side of the bottom surface; A guide block 300 that is connected to the drive screw module 310 installed in the horizontal shaft hole 120 to perform linear reciprocating movement and is provided to control the rotation angle of the rotary plate 200 by engaging the cam roller module 220; A rail module 400 installed on the body 100 to guide the linear movement of the guide block 300; And a sensor dog 510 installed on the outer peripheral surface of the rotary plate 200, and a sensor 520 installed on the body 100 to detect the sensor dog 510 and detect the rotational position of the rotary plate 200. It is characterized in that it includes a sensor module 500 that.
이때, 상기 레일모듈(400)은, 바디(100)에 장착되고, 내측면에 한 쌍의 V형 이너 레일면(412)이 일체로 형성되는 고정레일블록(410)과, V형 이너 레일면(412)과 대향하도록 한 쌍의 V형 아우터 레일면(422)이 일체로 형성되고, 가이드블록(300)에 장착되어 고정레일블록(410) 길이방향으로 이동 가능하게 구비되는 유동레일블록(420)과, V형 이너 레일면(412)과 V형 아우터 레일면(422) 사이에 삽입되어 점 접촉 상태로 미끄럼운동되는 가이드 볼(430)과, V형 이너 레일면(412) 양단부와 대응하는 고정레일블록(410) 양측 및 V형 아우터 레일면(422) 양단부와 대응하는 유동레일블록(420) 양측에 나사 결합하여, 가이드 볼(430)을 구속하는 마감볼트(440)를 포함하는 것을 특징으로 한다.At this time, the rail module 400 includes a fixed rail block 410 mounted on the body 100 and integrally formed with a pair of V-shaped inner rail surfaces 412 on the inner side, and a V-shaped inner rail surface. A pair of V-shaped outer rail surfaces 422 are integrally formed to face (412), and a floating rail block 420 is mounted on the guide block 300 and is movable in the longitudinal direction of the fixed rail block 410. ), a guide ball 430 that is inserted between the V-shaped inner rail surface 412 and the V-shaped outer rail surface 422 and slides in a point contact state, and a guide ball 430 corresponding to both ends of the V-shaped inner rail surface 412. It is screwed to both sides of the fixed rail block (410) and both ends of the V-shaped outer rail surface (422) and the corresponding floating rail block (420), and includes a finishing bolt (440) that restrains the guide ball (430). Do it as
또한, 상기 유동레일블록(420)은 두께 방향으로 복수의 관통홀(424)이 형성되고, 관통홀(424)을 통하여 볼트(425)를 삽입하여 가이드블록(300)에 나사 체결되며, 상기 관통홀(424)과 대응하는 고정레일블록(410) 상에 두께 방향으로 개구(415)가 관통되고, 개구(415)를 통하여 공구(T) 및 볼트(425)를 삽입하여 유동레일블록(420)과 가이드블록(300) 체결작업을 수행하도록 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, the moving rail block 420 is formed with a plurality of through holes 424 in the thickness direction, and is screwed to the guide block 300 by inserting a bolt 425 through the through hole 424. An opening 415 is penetrated in the thickness direction on the fixed rail block 410 corresponding to the hole 424, and the tool (T) and bolt 425 are inserted through the opening 415 to form a flexible rail block 420. It is characterized in that it is provided to perform a fastening operation of the guide block 300.
또한, 상기 캠롤러모듈(220)은, 로터리플레이트(200)에 설치되는 캠축(222)과, 캠축(222)에 회전 가능하게 설치되는 상, 하부 캠롤러(224)(226)를 포함하고, 상기 가이드블록(300)은, 상부 캠롤러(224)와 일측 방향에서 접지되어 캠운동되는 상부 캠레일(320)과, 상부 캠레일(320) 하부에 배치되고, 상부 캠롤러(224)와 상부 캠레일(320)이 접지되는 반대 방향에서 하부 캠롤러(226)와 비접촉 상태로 이격되는 레일슬롯(330)과, 레일슬롯(330)에 맞물려 조절볼트(342)에 의해 위치 조절되고, 하부 캠롤러(226)와 일측 방향에서 접지되어 캠운동되는 하부 캠레일(340)을 포함하고, 상기 상, 하부 캠롤러(224)(226)는 상, 하부 캠레일(320)(340)에 의해 상호 역방향에서 접지된 상태로 가이드블록(300)의 직선 왕복이송력이 로터리플레이트(200)의 회전운동력으로 전환되어 전달되도록 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, the cam roller module 220 includes a cam shaft 222 installed on the rotary plate 200, and upper and lower cam rollers 224 and 226 rotatably installed on the cam shaft 222, The guide block 300 is disposed below the upper cam rail 320 and the upper cam rail 320, which is grounded in one direction and performs a cam movement with the upper cam roller 224, and is connected to the upper cam roller 224 and the upper cam rail 320. A rail slot 330 is spaced in a non-contact state with the lower cam roller 226 in the direction opposite to where the cam rail 320 is grounded, and the position is adjusted by the adjustment bolt 342 in engagement with the rail slot 330, and the lower cam It includes a roller 226 and a lower cam rail 340 that is grounded in one direction and performs a cam movement, and the upper and lower cam rollers 224 and 226 are mutually connected by the upper and lower cam rails 320 and 340. It is characterized in that the linear reciprocating force of the guide block 300 is converted into the rotational motion force of the rotary plate 200 and transmitted in a grounded state in the reverse direction.
또한, 상기 구동스크류모듈(310)은 모터에 의해 회전되는 스크류봉(311)과, 스크류봉(311)과 피치운동에 의해 직선이송되는 스크류블록(312)을 포함하고, 상기 스크류블록(312)은 외주면에 레일면체(313)가 형성되고, 상기 가이드블록(300)은 스크류블록(312)의 레일면체(313)와 면접되어 직선 이동되도록 레일각홀(314)이 구비되며, 상기 스크류블록(312)의 레일면체(313)는 가이드블록(300)에 설치되는 마찰패드(315)에 가압되고, 상기 마찰패드(315)는 탄성체(316) 및 조절볼트(317)에 의해 가압력이 조절되도록 구비되며, 상기 로터리플레이트(200)의 회전각도를 초기 세팅하기 위해, 로터리플레이트(200)를 강제로 회전시키려는 외력이 작용시, 스크류봉(311)이 정지된 상태에서 가이드블록(300)의 레일각홀(314)이 스크류블록(312)의 레일면체(313)를 타고 미끄럼운동되면서 위치이동되도록 구비되는 것을 특징으로 한다. In addition, the driving screw module 310 includes a screw rod 311 rotated by a motor, and a screw block 312 that is linearly transported by the screw rod 311 and pitch movement, and the screw block 312 A rail face 313 is formed on the outer peripheral surface, and the guide block 300 is provided with a rail angle hole 314 so as to be in contact with the rail face 313 of the screw block 312 and move in a straight line, and the screw block 312 ) of the rail body 313 is pressed against the friction pad 315 installed on the guide block 300, and the friction pad 315 is provided so that the pressing force is adjusted by the elastic body 316 and the adjustment bolt 317. In order to initially set the rotation angle of the rotary plate 200, when an external force is applied to forcibly rotate the rotary plate 200, the rail angle hole ( 314) is provided to move in position while sliding along the rail face 313 of the screw block 312.
또한, 상기 유동레일블록(420)은 멀티가이드모듈(600)에 의해 V형 이너 레일면(412)과 직교하는 방향에서 직선 이동이 안내되도록 구비되고, 상기 멀티가이드모듈(600)은, 고정레일블록(410) 외측면에 개구를 중심으로 양측에 한 쌍으로 배치되는 고정측 V형 레일(610)과, 고정레일블록(410) 외측면에 배치되고, 고정측 V형 레일(610)과 대응하는 양단부에 유동측 V형 레일(620)이 형성되는 멀티플레이트(630)와, 고정측 V형 레일(610)과 유동측 V형 레일(620) 사이에 삽입되어 점접촉 상태로 미끄럼운동되는 멀티 볼(640)과, 개구(415)에 관통 설치되고, 유동레일블록(420)과 멀티플레이트(630) 사이 간격이 축소되는 방향으로 체결력을 제공하는 연결볼트(650)와, 연결볼트(650)에 삽입되어 유동레일블록(420)과 멀티플레이트(630) 사이 간격이 확장되는 방향으로 탄성력을 제공하는 탄성체(660)를 포함하고, 상기 로터리플레이트(200)의 회전각도를 초기 세팅하기 위해, 로터리플레이트(200)를 강제로 회전시키려는 외력이 작용시, 캠롤러모듈(220)과 캠운동에 의해 가이드블록(300)측으로 직선 이송력이 가해지면, 레일모듈(400)의 유동레일블록(420)이 고정레일블록(410) 내측면에서 V형 이너 레일면(412)과 V형 아우터 레일면(422)에 의해 x축 방향에서 지지됨과 동시에 고정레일블록(410) 외측면에서 고정측 V형 레일(610)과 유동측 V형 레일(620)에 의해 y축 방향에서 지지되어, 로터리플레이트(200)를 통하여 역방향으로 전달되는 작동력이 분산 지지되도록 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, the floating rail block 420 is provided to guide linear movement in a direction perpendicular to the V-shaped inner rail surface 412 by the multi-guide module 600, and the multi-guide module 600 is a fixed rail. A pair of fixed-side V-shaped rails 610 are arranged on both sides centered on the opening on the outer surface of the block 410, and a fixed-side V-shaped rail 610 is disposed on the outer surface of the fixed rail block 410 and corresponds to the fixed-side V-shaped rail 610. A multi plate 630 on which floating side V-shaped rails 620 are formed at both ends, and a multi plate inserted between the fixed side V-shaped rail 610 and the floating side V-shaped rail 620 to slide in a point contact state. A connection bolt 650 installed through the ball 640 and the opening 415 and providing fastening force in a direction that reduces the gap between the moving rail block 420 and the multi-plate 630, and the connection bolt 650 It includes an elastic body 660 that is inserted into the movable rail block 420 and the multi-plate 630 to provide elastic force in the direction in which the gap between the moving rail blocks 420 and the multi-plate 630 is expanded, and to initially set the rotation angle of the rotary plate 200, the rotary When an external force is applied to forcibly rotate the plate 200, a linear feed force is applied to the guide block 300 by the cam roller module 220 and cam movement, and the moving rail block 420 of the rail module 400 It is supported in the x-axis direction by the V-shaped inner rail surface 412 and the V-shaped outer rail surface 422 on the inner surface of the fixed rail block 410, and at the same time, the fixed side V-shaped rail is on the outer surface of the fixed rail block 410. It is supported in the y-axis direction by 610 and the flow-side V-shaped rail 620, so that the operating force transmitted in the reverse direction through the rotary plate 200 is distributed and supported.
이상의 구성 및 작용에 의하면, 본 발명은 V형 이너 레일면과 V형 아우터 레일면이 고정레일블록 및 유동레일블록에 각각 일체로 형성됨에 따라 V형 이너 레일면과 V형 아우터 레일면을 장착하기 위한 볼팅홀이 불필요하고, 이로 인해 비숙련공에 의한 조립성이 우수함과 더불어 V형 이너 레일면과 V형 아우터 레일면이 콤팩트하게 구조 개선되어 스테이지 전체 사이즈를 축소 설계할 수 있는 효과가 있다.According to the above configuration and operation, the present invention is to mount the V-type inner rail surface and the V-type outer rail surface as the V-type inner rail surface and the V-type outer rail surface are formed integrally with the fixed rail block and the floating rail block, respectively. Bolting holes are unnecessary, which improves assembly by unskilled workers and improves the compact structure of the V-shaped inner rail surface and V-shaped outer rail surface, which has the effect of reducing the overall size of the stage.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 콤팩트한 구조의 고정밀도 회전 스테이지를 분해하여 전체적으로 나타내는 구성도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 콤팩트한 구조의 고정밀도 회전 스테이지의 캠롤러모듈과 가이드블록 조립 구조를 나타내는 구성도.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 콤팩트한 구조의 고정밀도 회전 스테이지의 유동레일블록과 가이드블록 조립 구조를 나타내는 구성도.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 콤팩트한 구조의 고정밀도 회전 스테이지의 스크류블록과 가이드블록 조립 구조를 나타내는 구성도.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 콤팩트한 구조의 고정밀도 회전 스테이지의 멀티가이드모듈을 나타내는 구성도.1 is an exploded, overall configuration diagram of a high-precision rotation stage with a compact structure according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a configuration diagram showing the assembly structure of the cam roller module and guide block of a compact high-precision rotation stage according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a configuration diagram showing the assembly structure of the moving rail block and guide block of a compact high-precision rotation stage according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a configuration diagram showing the screw block and guide block assembly structure of a compact high-precision rotation stage according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 is a configuration diagram showing the multi-guide module of a compact high-precision rotation stage according to an embodiment of the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 콤팩트한 구조의 고정밀도 회전 스테이지를 분해하여 전체적으로 나타내는 구성도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 콤팩트한 구조의 고정밀도 회전 스테이지의 캠롤러모듈과 가이드블록 조립 구조를 나타내는 구성도이며, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 콤팩트한 구조의 고정밀도 회전 스테이지의 유동레일블록과 가이드블록 조립 구조를 나타내는 구성도이고, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 콤팩트한 구조의 고정밀도 회전 스테이지의 스크류블록과 가이드블록 조립 구조를 나타내는 구성도이며, 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 콤팩트한 구조의 고정밀도 회전 스테이지의 멀티가이드모듈을 나타내는 구성도이다.Figure 1 is an exploded overall configuration diagram of a high-precision rotation stage with a compact structure according to an embodiment of the present invention, and Figure 2 is a cam roller of a high-precision rotation stage with a compact structure according to an embodiment of the present invention. It is a configuration diagram showing the module and guide block assembly structure, and Figure 3 is a configuration diagram showing the moving rail block and guide block assembly structure of a high-precision rotation stage with a compact structure according to an embodiment of the present invention, and Figure 4 is a configuration diagram showing the assembly structure of the module and guide block. It is a configuration diagram showing the screw block and guide block assembly structure of a high-precision rotary stage with a compact structure according to an embodiment of the invention, and Figure 5 is a multi-block diagram of the high-precision rotary stage with a compact structure according to an embodiment of the present invention. This is a configuration diagram showing the guide module.
본 발명은 콤팩트한 구조의 고정밀도 회전 스테이지에 관련되며, 이때 콤팩트한 구조의 고정밀도 회전 스테이지는 V형 이너 레일면과 V형 아우터 레일면이 고정레일블록 및 유동레일블록에 각각 일체로 형성됨에 따라 V형 이너 레일면과 V형 아우터 레일면을 장착하기 위한 볼팅홀이 불필요하고, 이로 인해 비숙련공에 의한 조립성이 우수함과 더불어 V형 이너 레일면과 V형 아우터 레일면이 콤팩트하게 구조 개선되어 스테이지 전체 사이즈를 축소 설계할 수 있도록 바디(100), 로터리플레이트(200), 가이드블록(300), 레일모듈(400), 센서모듈(500)을 포함하여 주요구성으로 한다.The present invention relates to a high-precision rotation stage with a compact structure. In this case, the high-precision rotation stage with a compact structure has a V-shaped inner rail surface and a V-shaped outer rail surface integrally formed with a fixed rail block and a floating rail block, respectively. Accordingly, there is no need for bolting holes to mount the V-type inner rail surface and the V-type outer rail surface. As a result, assembly by unskilled workers is excellent, and the structure of the V-type inner rail surface and V-type outer rail surface is improved to be more compact. The main components include a body (100), a rotary plate (200), a guide block (300), a rail module (400), and a sensor module (500) so that the overall size of the stage can be reduced.
본 발명에 따른 바디(100)는 종형 축홀(110)이 형성되고, 종형 축홀(110)과 직각으로 교차하도록 횡형 축홀(120)이 형성된다.The body 100 according to the present invention is formed with a vertical shaft hole 110, and a horizontal shaft hole 120 is formed to intersect the vertical shaft hole 110 at a right angle.
상기 종형 축홀(110)은 후술하는 로터리플레이트(200)의 메인축(210)을 회전 가능하게 지지하는 구성으로서, 내부에 복수의 베어링이 설치된다.The vertical shaft hole 110 rotatably supports the main shaft 210 of the rotary plate 200, which will be described later, and a plurality of bearings are installed therein.
그리고, 상기 횡형 축홀(120)은 후술하는 구동스크류모듈(310)을 회전 가능하게 지지하는 구성으로서, 한 쌍으로 서로 이격 배치되어 구동스크류모듈(310)의 스크류봉(311)을 양측에서 지지하고, 한 쌍의 횡형 축홀(120) 사이에 구동스크류모듈(310)의 스크류블록(312)이 수용된다.In addition, the horizontal shaft hole 120 is configured to rotatably support the drive screw module 310, which will be described later, and is arranged in a pair to be spaced apart from each other to support the screw rod 311 of the drive screw module 310 on both sides. , the screw block 312 of the driving screw module 310 is accommodated between a pair of horizontal shaft holes 120.
또한, 본 발명에 따른 로터리플레이트(200)는 상기 종형 축홀(110)을 중심으로 회전 가능하도록 메인축(210)이 설치되고, 저면 일측에 캠롤러모듈(220)이 구비된다.In addition, the rotary plate 200 according to the present invention has a main shaft 210 installed to rotate around the vertical shaft hole 110, and a cam roller module 220 is provided on one side of the bottom.
상기 캠롤러모듈(220)은, 로터리플레이트(200)에 설치되는 캠축(222)과, 캠축(222)에 회전 가능하게 설치되는 상, 하부 캠롤러(224)(226)를 포함한다.The cam roller module 220 includes a camshaft 222 installed on the rotary plate 200, and upper and lower cam rollers 224 and 226 rotatably installed on the camshaft 222.
이때, 상기 상, 하부 캠롤러(224)(226)는 후술하는 가이드블록(300)에 각각 일측면이 국부적으로 접지되어, 캠 운동시 베어링 자체 유격으로 인한 정밀도 저하현상을 최소화하도록 구비된다.At this time, one side of each of the upper and lower cam rollers 224 and 226 is locally grounded to the guide block 300, which will be described later, to minimize the decrease in precision caused by the bearing's own clearance during cam movement.
또한, 본 발명에 따른 가이드블록(300)은 상기 횡형 축홀(120)에 설치되는 구동스크류모듈(310)에 연계되어 직선 왕복운동되고, 캠롤러모듈(220)에 맞물려 로터리플레이트(200) 회전각도를 제어하도록 구비된다.In addition, the guide block 300 according to the present invention is linked to the drive screw module 310 installed in the horizontal shaft hole 120 to perform linear reciprocating movement, and is engaged with the cam roller module 220 to change the rotation angle of the rotary plate 200. It is equipped to control.
도 2에서, 상기 가이드블록(300)은, 상부 캠롤러(224)와 일측 방향에서 접지되어 캠운동되는 상부 캠레일(320)과, 상부 캠레일(320) 하부에 배치되고, 상부 캠롤러(224)와 상부 캠레일(320)이 접지되는 반대 방향에서 하부 캠롤러(226)와 비접촉 상태로 이격되는 레일슬롯(330)과, 레일슬롯(330)에 맞물려 조절볼트(342)에 의해 위치 조절되고, 하부 캠롤러(226)와 일측 방향에서 접지되어 캠운동되는 하부 캠레일(340)을 포함한다.In FIG. 2, the guide block 300 is disposed below the upper cam rail 320 and the upper cam rail 320, which are grounded in one direction and perform cam movement with the upper cam roller 224, and the upper cam roller ( 224) and a rail slot 330 that is spaced in a non-contact state with the lower cam roller 226 in the opposite direction to which the upper cam rail 320 is grounded, and the position is adjusted by the adjustment bolt 342 engaged with the rail slot 330. It includes a lower cam roller 226 and a lower cam rail 340 that is grounded in one direction and undergoes cam movement.
이처럼 상기 상, 하부 캠롤러(224)(226)는 상, 하부 캠레일(320)(340)에 의해 상호 역방향에서 접지된 상태로 가이드블록(300)의 직선 왕복이송력이 로터리플레이트(200)의 회전운동력으로 전환되어 전달되도록 구비됨에 따라 베어링 자체 유격으로 인한 정밀도 저하현상이 방지된다.In this way, the upper and lower cam rollers 224 and 226 are grounded in opposite directions by the upper and lower cam rails 320 and 340, and the linear reciprocating force of the guide block 300 is applied to the rotary plate 200. As it is equipped to be converted into rotational motion force and transmitted, the decrease in precision caused by the bearing's own clearance is prevented.
또한, 본 발명에 따른 레일모듈(400)은 상기 바디(100)에 설치되어 가이드블록(300)의 직선 이동을 안내하도록 구비된다.In addition, the rail module 400 according to the present invention is installed on the body 100 to guide the linear movement of the guide block 300.
상기 레일모듈(400)은, 바디(100)에 장착되고, 내측면에 한 쌍의 V형 이너 레일면(412)이 일체로 형성되는 고정레일블록(410)과, V형 이너 레일면(412)과 대향하도록 한 쌍의 V형 아우터 레일면(422)이 일체로 형성되고, 가이드블록(300)에 장착되어 고정레일블록(410) 길이방향으로 이동 가능하게 구비되는 유동레일블록(420)과, V형 이너 레일면(412)과 V형 아우터 레일면(422) 사이에 삽입되어 점 접촉 상태로 미끄럼운동되는 가이드 볼(430)과, V형 이너 레일면(412) 양단부와 대응하는 고정레일블록(410) 양측 및 V형 아우터 레일면(422) 양단부와 대응하는 유동레일블록(420) 양측에 나사 결합하여, 가이드 볼(430)을 구속하는 마감볼트(440)를 포함한다.The rail module 400 is mounted on the body 100, and includes a fixed rail block 410 in which a pair of V-shaped inner rail surfaces 412 are integrally formed on the inner side, and a V-shaped inner rail surface 412. ) A pair of V-shaped outer rail surfaces 422 are integrally formed to face each other, and a movable rail block 420 is mounted on the guide block 300 and is movable in the longitudinal direction of the fixed rail block 410. , a guide ball 430 that is inserted between the V-shaped inner rail surface 412 and the V-shaped outer rail surface 422 and slides in a point contact state, and a fixed rail corresponding to both ends of the V-shaped inner rail surface 412. It includes a finishing bolt 440 that is screwed to both sides of the block 410 and both ends of the V-shaped outer rail surface 422 and the corresponding movable rail block 420, thereby restraining the guide ball 430.
이처럼 상기 V형 이너 레일면(412)과 V형 아우터 레일면(422)이 고정레일블록(410) 및 유동레일블록(420)에 각각 일체로 형성됨에 따라 V형 이너 레일면(412)과 V형 아우터 레일면(422)을 장착하기 위한 볼팅홀이 불필요하고, 이로 인해 비숙련공에 의한 조립성이 우수함과 더불어 V형 이너 레일면(412)과 V형 아우터 레일면(422)을 콤팩트한 구조로 형성되어 스테이지 전체 사이즈를 축소 설계 가능한 이점이 있다.In this way, the V-shaped inner rail surface 412 and the V-shaped outer rail surface 422 are formed integrally with the fixed rail block 410 and the flexible rail block 420, respectively, so that the V-shaped inner rail surface 412 and V Bolting holes for mounting the type outer rail surface 422 are not required, which allows for excellent assembly by unskilled workers and provides a compact structure for the V-type inner rail surface 412 and the V-type outer rail surface 422. It has the advantage of being designed to reduce the overall size of the stage.
또한, 본 발명에 따른 센서모듈(500)은 상기 로터리플레이트(200) 외주면에 설치되는 센서독(510)과, 바디(100)에 설치되어 센서독(510)을 감지하여 로터리플레이트(200)의 회전위치를 검출하는 센서(520)를 포함한다.In addition, the sensor module 500 according to the present invention detects the sensor dog 510 installed on the outer peripheral surface of the rotary plate 200 and the sensor dog 510 installed on the body 100, It includes a sensor 520 that detects the rotational position.
상기 센서(520)는 복수개소에 위치조절 가능하게 설치되고, 각각의 센서(520)에서 센서독(510)을 감지하는 방식으로 로터리플레이트(200)가 위치를 검출하게 된다.The sensors 520 are installed to be position-adjustable in a plurality of places, and the rotary plate 200 detects the position by detecting the sensor dog 510 at each sensor 520.
도 3에서, 상기 유동레일블록(420)은 두께 방향으로 복수의 관통홀(424)이 형성되고, 관통홀(424)을 통하여 볼트(425)를 삽입하여 가이드블록(300)에 나사 체결되는 방식으로 조립된다.In Figure 3, the moving rail block 420 is formed with a plurality of through holes 424 in the thickness direction, and is screwed to the guide block 300 by inserting a bolt 425 through the through hole 424. is assembled with
이때, 상기 관통홀(424)과 대응하는 고정레일블록(410) 상에 두께 방향으로 개구(415)가 관통되는바, 여기서, 상기 개구(415)는 고정레일블록(410) 길이 방향으로 확장되는 장공형으로 형성된다.At this time, an opening 415 passes through the fixed rail block 410 corresponding to the through hole 424 in the thickness direction. Here, the opening 415 extends in the longitudinal direction of the fixed rail block 410. It is formed in a long hole shape.
그리고, 상기 개구(415)를 통하여 공구(T) 및 볼트(425)를 삽입하여 유동레일블록(420)과 가이드블록(300) 체결작업을 수행하도록 구비됨에 따라 현장 조립성이 우수함과 더불어 유동레일블록(420)과 가이드블록(300) 조립 구조를 콤팩트하게 설계 가능하다.In addition, the tool (T) and bolt 425 are inserted through the opening 415 to fasten the movable rail block 420 and the guide block 300, thereby improving on-site assembling and movable rail. The assembly structure of the block 420 and guide block 300 can be designed compactly.
도 4에서, 상기 구동스크류모듈(310)은 모터에 의해 회전되는 스크류봉(311)과, 스크류봉(311)과 피치운동에 의해 직선이송되는 스크류블록(312)을 포함한다.In FIG. 4, the driving screw module 310 includes a screw rod 311 rotated by a motor, and a screw block 312 that is linearly transferred by pitch movement.
상기 스크류블록(312)은 외주면에 레일면체(313)가 형성되고, 상기 가이드블록(300)은 스크류블록(312)의 레일면체(313)와 면접되어 직선 이동되도록 레일각홀(314)이 구비된다.The screw block 312 has a rail face 313 formed on the outer peripheral surface, and the guide block 300 is provided with a rail angle hole 314 so that it faces the rail face 313 of the screw block 312 and moves in a straight line. .
그리고, 상기 스크류블록(312)의 레일면체(313)는 가이드블록(300)에 설치되는 마찰패드(315)에 가압되고, 상기 마찰패드(315)는 탄성체(316) 및 조절볼트(317)에 의해 가압력이 조절되도록 구비된다.And, the rail body 313 of the screw block 312 is pressed against the friction pad 315 installed on the guide block 300, and the friction pad 315 is connected to the elastic body 316 and the adjustment bolt 317. It is provided so that the pressing force is adjusted.
이에 상기 로터리플레이트(200)의 회전각도를 초기 세팅하기 위해, 로터리플레이트(200)를 강제로 회전시키려는 외력이 작용시, 스크류봉(311)이 정지된 상태에서 가이드블록(300)의 레일각홀(314)이 스크류블록(312)의 레일면체(313)를 타고 미끄럼운동되면서 위치이동되도록 구비됨에 따라 역방향으로 작용하는 외력에 의한 레일모듈(400)의 손상이 방지됨과 더불어 로터리플레이트(200)가 회전 중 간섭되어 정지되더라도 마찰패드(315)에 의해 스크류블록(312)이 위치이동되면서 구동스크류모듈(310)의 과부하가 방지된다.Accordingly, in order to initially set the rotation angle of the rotary plate 200, when an external force is applied to forcibly rotate the rotary plate 200, the rail angle hole ( As 314) is provided to move in position while sliding on the rail face 313 of the screw block 312, damage to the rail module 400 due to external force acting in the reverse direction is prevented and the rotary plate 200 rotates. Even if the screw block 312 is stopped due to interference, the friction pad 315 moves the screw block 312 to prevent overload of the drive screw module 310.
도 5에서, 상기 유동레일블록(420)은 멀티가이드모듈(600)에 의해 V형 이너 레일면(412)과 직교하는 방향에서 직선 이동이 안내되도록 구비된다.In Figure 5, the moving rail block 420 is provided to be guided in a straight line movement in a direction perpendicular to the V-shaped inner rail surface 412 by the multi-guide module 600.
상기 멀티가이드모듈(600)은, 고정레일블록(410) 외측면에 개구를 중심으로 양측에 한 쌍으로 배치되는 고정측 V형 레일(610)과, 고정레일블록(410) 외측면에 배치되고, 고정측 V형 레일(610)과 대응하는 양단부에 유동측 V형 레일(620)이 형성되는 멀티플레이트(630)와, 고정측 V형 레일(610)과 유동측 V형 레일(620) 사이에 삽입되어 점접촉 상태로 미끄럼운동되는 멀티 볼(640)과, 개구(415)에 관통 설치되고, 유동레일블록(420)과 멀티플레이트(630) 사이 간격이 축소되는 방향으로 체결력을 제공하는 연결볼트(650)와, 연결볼트(650)에 삽입되어 유동레일블록(420)과 멀티플레이트(630) 사이 간격이 확장되는 방향으로 탄성력을 제공하는 탄성체(660)를 포함한다.The multi-guide module 600 is disposed on the outer surface of the fixed rail block 410, with a fixed side V-shaped rail 610 arranged in a pair on both sides around an opening on the outer surface of the fixed rail block 410. , a multi-plate 630 on which floating-side V-shaped rails 620 are formed at both ends corresponding to the fixed-side V-shaped rail 610, and between the fixed-side V-shaped rail 610 and the floating-side V-shaped rail 620. A multi-ball 640 that is inserted into and slides in a point-contact state, and a connection installed through the opening 415 and providing fastening force in the direction of reducing the gap between the moving rail block 420 and the multi-plate 630. It includes a bolt 650 and an elastic body 660 that is inserted into the connection bolt 650 and provides elastic force in a direction in which the gap between the movable rail block 420 and the multi-plate 630 is expanded.
이에 상기 로터리플레이트(200)의 회전각도를 초기 세팅하기 위해, 로터리플레이트(200)를 강제로 회전시키려는 외력이 작용시, 캠롤러모듈(220)과 캠운동에 의해 가이드블록(300) 측으로 직선 이송력이 가해지면, 상기 레일모듈(400)의 유동레일블록(420)이 고정레일블록(410) 내측면에서 V형 이너 레일면(412)과 V형 아우터 레일면(422)에 의해 x축 방향에서 지지됨과 동시에 고정레일블록(410) 외측면에서 고정측 V형 레일(610)과 유동측 V형 레일(620)에 의해 y축 방향에서 지지되어, 로터리플레이트(200)를 통하여 역방향으로 전달되는 작동력이 분산 지지됨에 따라 역방향으로 작용하는 외력에 의한 레일모듈(400)의 손상이 방지됨과 더불어 수명이 장구이 연장된다.Accordingly, in order to initially set the rotation angle of the rotary plate 200, when an external force is applied to forcibly rotate the rotary plate 200, it is transferred straight to the guide block 300 by the cam roller module 220 and cam movement. When force is applied, the floating rail block 420 of the rail module 400 is moved in the x-axis direction by the V-shaped inner rail surface 412 and the V-shaped outer rail surface 422 on the inner surface of the fixed rail block 410. At the same time, it is supported in the y-axis direction by the fixed side V-type rail 610 and the floating side V-type rail 620 on the outer surface of the fixed rail block 410, and is transmitted in the reverse direction through the rotary plate 200. As the operating force is distributed and supported, damage to the rail module 400 due to external force acting in the reverse direction is prevented and its lifespan is extended.
100: 바디 200: 로터리플레이트
300: 가이드블록 400: 레일모듈
500: 센서모듈 100: Body 200: Rotary plate
300: Guide block 400: Rail module
500: Sensor module
Claims (6)
상기 레일모듈(400)은, 바디(100)에 장착되고, 내측면에 한 쌍의 V형 이너 레일면(412)이 일체로 형성되는 고정레일블록(410)과, V형 이너 레일면(412)과 대향하도록 한 쌍의 V형 아우터 레일면(422)이 일체로 형성되고, 가이드블록(300)에 장착되어 고정레일블록(410) 길이방향으로 이동 가능하게 구비되는 유동레일블록(420)과, V형 이너 레일면(412)과 V형 아우터 레일면(422) 사이에 삽입되어 점 접촉 상태로 미끄럼운동되는 가이드 볼(430)과, V형 이너 레일면(412) 양단부와 대응하는 고정레일블록(410) 양측 및 V형 아우터 레일면(422) 양단부와 대응하는 유동레일블록(420) 양측에 나사 결합하여, 가이드 볼(430)을 구속하는 마감볼트(440)를 포함하며,
상기 구동스크류모듈(310)은 모터에 의해 회전되는 스크류봉(311)과, 스크류봉(311)과 피치운동에 의해 직선이송되는 스크류블록(312)을 포함하고, 상기 스크류블록(312)은 외주면에 레일면체(313)가 형성되고, 상기 가이드블록(300)은 스크류블록(312)의 레일면체(313)와 면접되어 직선 이동되도록 레일각홀(314)이 구비되며, 상기 스크류블록(312)의 레일면체(313)는 가이드블록(300)에 설치되는 마찰패드(315)에 가압되고, 상기 마찰패드(315)는 탄성체(316) 및 조절볼트(317)에 의해 가압력이 조절되도록 구비되며, 상기 로터리플레이트(200)의 회전각도를 초기 세팅하기 위해, 로터리플레이트(200)를 강제로 회전시키려는 외력이 작용시, 스크류봉(311)이 정지된 상태에서 가이드블록(300)의 레일각홀(314)이 스크류블록(312)의 레일면체(313)를 타고 미끄럼운동되면서 위치이동되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 콤팩트한 구조의 고정밀도 회전 스테이지.
A body 100 in which a vertical shaft hole 110 is formed and a horizontal shaft hole 120 is formed to intersect the vertical shaft hole 110 at a right angle; A rotary plate (200) on which a main shaft (210) is installed so as to be rotatable about the vertical shaft hole (110) and a cam roller module (220) is provided on one side of the bottom surface; A guide block 300 that is connected to the drive screw module 310 installed in the horizontal shaft hole 120 to perform linear reciprocating movement and is provided to control the rotation angle of the rotary plate 200 by engaging the cam roller module 220; A rail module 400 installed on the body 100 to guide the linear movement of the guide block 300; And a sensor dog 510 installed on the outer peripheral surface of the rotary plate 200, and a sensor 520 installed on the body 100 to detect the sensor dog 510 and detect the rotational position of the rotary plate 200. Includes a sensor module 500,
The rail module 400 is mounted on the body 100, and includes a fixed rail block 410 in which a pair of V-shaped inner rail surfaces 412 are integrally formed on the inner side, and a V-shaped inner rail surface 412. ) A pair of V-shaped outer rail surfaces 422 are integrally formed to face each other, and a movable rail block 420 is mounted on the guide block 300 and is movable in the longitudinal direction of the fixed rail block 410. , a guide ball 430 that is inserted between the V-shaped inner rail surface 412 and the V-shaped outer rail surface 422 and slides in a point contact state, and a fixed rail corresponding to both ends of the V-shaped inner rail surface 412. It is screwed to both sides of the block 410 and both ends of the V-shaped outer rail surface 422 and the corresponding moving rail block 420, and includes a finishing bolt 440 that restrains the guide ball 430,
The driving screw module 310 includes a screw rod 311 rotated by a motor, and a screw block 312 that is linearly transported by pitch movement with the screw rod 311, and the screw block 312 has an outer peripheral surface. A rail face 313 is formed, and the guide block 300 is provided with a rail angle hole 314 to face the rail face 313 of the screw block 312 and move in a straight line. The rail body 313 is pressed against a friction pad 315 installed on the guide block 300, and the friction pad 315 is provided so that the pressing force is adjusted by an elastic body 316 and an adjustment bolt 317, In order to initially set the rotation angle of the rotary plate 200, when an external force is applied to forcibly rotate the rotary plate 200, the rail angle hole 314 of the guide block 300 is opened while the screw rod 311 is stopped. A high-precision rotation stage with a compact structure, characterized in that it is provided to move in position while sliding along the rail face 313 of the screw block 312.
상기 유동레일블록(420)은 두께 방향으로 복수의 관통홀(424)이 형성되고, 관통홀(424)을 통하여 볼트(425)를 삽입하여 가이드블록(300)에 나사 체결되며, 상기 관통홀(424)과 대응하는 고정레일블록(410) 상에 두께 방향으로 개구(415)가 관통되고, 개구(415)를 통하여 공구(T) 및 볼트(425)를 삽입하여 유동레일블록(420)과 가이드블록(300) 체결작업을 수행하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 콤팩트한 구조의 고정밀도 회전 스테이지.According to clause 1,
The moving rail block 420 is formed with a plurality of through holes 424 in the thickness direction, and is screwed to the guide block 300 by inserting a bolt 425 through the through hole 424, and the through hole ( An opening 415 is penetrated in the thickness direction on the fixed rail block 410 corresponding to 424, and the tool (T) and bolt 425 are inserted through the opening 415 to form the movable rail block 420 and the guide. A high-precision rotation stage with a compact structure, characterized in that it is equipped to perform the block 300 fastening operation.
상기 캠롤러모듈(220)은,
로터리플레이트(200)에 설치되는 캠축(222)과,
캠축(222)에 회전 가능하게 설치되는 상, 하부 캠롤러(224)(226)를 포함하고,
상기 가이드블록(300)은,
상부 캠롤러(224)와 일측 방향에서 접지되어 캠운동되는 상부 캠레일(320)과,
상부 캠레일(320) 하부에 배치되고, 상부 캠롤러(224)와 상부 캠레일(320)이 접지되는 반대 방향에서 하부 캠롤러(226)와 비접촉 상태로 이격되는 레일슬롯(330)과,
레일슬롯(330)에 맞물려 조절볼트(342)에 의해 위치 조절되고, 하부 캠롤러(226)와 일측 방향에서 접지되어 캠운동되는 하부 캠레일(340)을 포함하고,
상기 상, 하부 캠롤러(224)(226)는 상, 하부 캠레일(320)(340)에 의해 상호 역방향에서 접지된 상태로 가이드블록(300)의 직선 왕복이송력이 로터리플레이트(200)의 회전운동력으로 전환되어 전달되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 콤팩트한 구조의 고정밀도 회전 스테이지.
According to clause 1,
The cam roller module 220,
A camshaft 222 installed on the rotary plate 200,
It includes upper and lower cam rollers 224 and 226 rotatably installed on the camshaft 222,
The guide block 300 is,
An upper cam rail (320) that is grounded in one direction with the upper cam roller (224) and undergoes cam movement,
A rail slot 330 disposed below the upper cam rail 320 and spaced apart in a non-contact state from the lower cam roller 226 in the opposite direction where the upper cam roller 224 and the upper cam rail 320 are grounded,
It is engaged with the rail slot 330 and the position is adjusted by the adjustment bolt 342, and includes a lower cam rail 340 that is grounded in one direction and performs cam movement with the lower cam roller 226,
The upper and lower cam rollers 224 and 226 are grounded in opposite directions by the upper and lower cam rails 320 and 340, and the linear reciprocating force of the guide block 300 is applied to the rotary plate 200. A high-precision rotation stage with a compact structure that is equipped to be converted into rotational motion force and transmitted.
상기 유동레일블록(420)은 멀티가이드모듈(600)에 의해 V형 이너 레일면(412)과 직교하는 방향에서 직선 이동이 안내되도록 구비되고,
상기 멀티가이드모듈(600)은,
고정레일블록(410) 외측면에 개구를 중심으로 양측에 한 쌍으로 배치되는 고정측 V형 레일(610)과,
고정레일블록(410) 외측면에 배치되고, 고정측 V형 레일(610)과 대응하는 양단부에 유동측 V형 레일(620)이 형성되는 멀티플레이트(630)와,
고정측 V형 레일(610)과 유동측 V형 레일(620) 사이에 삽입되어 점접촉 상태로 미끄럼운동되는 멀티 볼(640)과,
개구(415)에 관통 설치되고, 유동레일블록(420)과 멀티플레이트(630) 사이 간격이 축소되는 방향으로 체결력을 제공하는 연결볼트(650)와,
연결볼트(650)에 삽입되어 유동레일블록(420)과 멀티플레이트(630) 사이 간격이 확장되는 방향으로 탄성력을 제공하는 탄성체(660)를 포함하고,
상기 로터리플레이트(200)의 회전각도를 초기 세팅하기 위해, 로터리플레이트(200)를 강제로 회전시키려는 외력이 작용시, 캠롤러모듈(220)과 캠운동에 의해 가이드블록(300)측으로 직선 이송력이 가해지면,
레일모듈(400)의 유동레일블록(420)이 고정레일블록(410) 내측면에서 V형 이너 레일면(412)과 V형 아우터 레일면(422)에 의해 x축 방향에서 지지됨과 동시에 고정레일블록(410) 외측면에서 고정측 V형 레일(610)과 유동측 V형 레일(620)에 의해 y축 방향에서 지지되어, 로터리플레이트(200)를 통하여 역방향으로 전달되는 작동력이 분산 지지되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 콤팩트한 구조의 고정밀도 회전 스테이지.According to clause 1,
The moving rail block 420 is provided to guide linear movement in a direction perpendicular to the V-shaped inner rail surface 412 by the multi-guide module 600,
The multi-guide module 600,
A fixed V-shaped rail 610 arranged in pairs on both sides centered on an opening on the outer surface of the fixed rail block 410,
A multi-plate 630 disposed on the outer surface of the fixed rail block 410 and having floating V-shaped rails 620 formed at both ends corresponding to the fixed V-shaped rail 610,
A multi-ball 640 that is inserted between the fixed side V-type rail 610 and the floating side V-type rail 620 and slides in a point contact state,
A connecting bolt 650 installed through the opening 415 and providing fastening force in the direction of reducing the gap between the moving rail block 420 and the multi-plate 630,
It includes an elastic body 660 that is inserted into the connection bolt 650 and provides elastic force in the direction in which the gap between the moving rail block 420 and the multi-plate 630 is expanded,
In order to initially set the rotation angle of the rotary plate 200, when an external force is applied to forcibly rotate the rotary plate 200, a linear feed force is generated toward the guide block 300 by the cam roller module 220 and cam movement. If this is applied,
The floating rail block 420 of the rail module 400 is supported in the x-axis direction by the V-shaped inner rail surface 412 and the V-shaped outer rail surface 422 on the inner side of the fixed rail block 410, and at the same time, the fixed rail On the outer surface of the block 410, it is supported in the y-axis direction by the fixed side V-type rail 610 and the floating side V-type rail 620, so that the operating force transmitted in the reverse direction through the rotary plate 200 is distributed and supported. A high-precision rotary stage with a compact structure that is characterized by:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210153693A KR102578212B1 (en) | 2021-11-10 | 2021-11-10 | High-precision rotary stage with compact structure |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210153693A KR102578212B1 (en) | 2021-11-10 | 2021-11-10 | High-precision rotary stage with compact structure |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20230067937A KR20230067937A (en) | 2023-05-17 |
| KR102578212B1 true KR102578212B1 (en) | 2023-09-13 |
Family
ID=86547391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020210153693A KR102578212B1 (en) | 2021-11-10 | 2021-11-10 | High-precision rotary stage with compact structure |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102578212B1 (en) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101901824B1 (en) * | 2018-04-20 | 2018-09-27 | 삼승테크(주) | Apparatus for Precision Controlling Rotating Angle of Test Stage |
| KR101956242B1 (en) * | 2017-12-01 | 2019-03-08 | 주식회사 디피아이엔 | Precision drive system of rotary stage |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2565793Y2 (en) * | 1991-10-29 | 1998-03-18 | オリンパス光学工業株式会社 | Moving stage |
-
2021
- 2021-11-10 KR KR1020210153693A patent/KR102578212B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR101901824B1 (en) * | 2018-04-20 | 2018-09-27 | 삼승테크(주) | Apparatus for Precision Controlling Rotating Angle of Test Stage |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20230067937A (en) | 2023-05-17 |
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