KR20220022712A - 광선 살균 로봇 및 시스템 - Google Patents

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Abstract

일 실시 예에 따른 광선을 통해 독성 물질, 세균 또는 바이러스를 포함하는 오염물을 제거하는 광선 살균 로봇은, 광선을 오염물에 조사하는 광 조사 모듈과, 상기 광 조사 모듈의 광선이 상기 오염물에 조사된 이미지를 입력받는 광 분석 모듈과, 상기 광 분석 모듈로부터 계측된 정보에 기초하여 상기 오염물의 종류를 판별하는 로봇 제어부를 포함할 수 있다.

Description

광선 살균 로봇 및 시스템{LASER STERILIZATION ROBOT AND SYSTEM}
이하의 설명은 광선 살균 로봇 및 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 독성물질, 세균 및 바이러스는 고체, 액체, 기체 혹은 매개체 등 다양한 방식으로 살포하거나 전염시켜 소기의 목적을 달성한다. 본 발명에 의하면 독성 화학 물질은 광선에 의한 광화학 반응으로 화학 결합이 파괴되어 무해한 물질로 변화된다. 예를 들어 황겨자 계열 화학작용제인 HD의 유사작용제인 CEPS의 경우 광선에 의해 Cl 원자 결합이 끊어지고 C12H10S2 물질 등으로 변화된다. 세균과 바이러스들의 경우 자외선, 적외선 혹은 그 합성 형식의 광이 생물체의 DNA나 RNA를 파괴하여 멸균하거나 사멸시키게 된다. 상기 제독, 살균 및 사멸을 시키기 위하여 독성물질, 세균 및 바이러스를 구별해내고 레이저를 포함한 고출력의 광선을 사용하여 제독, 멸균 및 사멸하는 장치이다.
광선을 이용한 제독, 살균 및 사멸장치는 원유 누출이나 해양 투기물에 의한 해양오염, 농축산업, 병원, 특수 분야 등 다양한 분야에 적용될 수 있다. 기존의 제독, 살균 장치는 바이오 분야와 의료 분야, 해양오염, 농축산업, 병원, 특수 분야 등에서 사용될 때에 여러 종류의 액상이나 기체 상태로 사용됨에 따라 2차적인 부산물이 생겨 제 2의 환경오염을 초래할 수 있다. 본 발명에 의한 레이저를 포함한 고출력의 광선을 이용한 제독, 살균 및 사멸장치는 2차적인 부산물을 거의 남기지 않고 작업자의 안전과 생명을 보호 할 수 있다.
하지만, 종래의 광 조사 방식의 살균 시스템은 특정구역 내에서 일정 공간에 적용되는 수준에서 국한되어 있으며, 실내외를 비롯하여 수십 미터 이상의 장거리의 범위를 커버하는 동시에, 바이러스의 사멸도 함께 수행할 수 있는 이동형 살균 시스템에 대한 필요성이 증대되고 있는 추세이다.
전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 도출과정에서 보유하거나 습득한 것으로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에 공개된 공지기술이라고 할 수는 없다.
일 실시 예의 목적은 광선 살균 로봇 및 시스템을 제공하는 것이다.
일 실시 예에 따른 광선을 통해 독성 물질, 세균 또는 바이러스를 포함하는 오염물을 제거하는 광선 살균 로봇은, 광선을 오염물에 조사하는 광 조사 모듈과, 상기 광 조사 모듈의 광선이 상기 오염물에 조사된 이미지를 입력받는 광 분석 모듈과, 상기 광 분석 모듈로부터 계측된 정보에 기초하여 상기 오염물의 종류를 판별하는 로봇 제어부를 포함할 수 있다.
상기 광 조사 모듈은, 상기 오염물에 조사될 레이저 광선을 출력하는 광원부를 포함하고, 상기 광원부는 상기 광선을 적외선부터 자외선까지의 파장 대역을 포함하는 파장 범위 내에서 상기 광선의 파장을 조절할 수 있다.
상기 오염물이 세균 또는 바이러스를 포함하는 것으로 판단할 경우, 상기 로봇 제어부는 상기 광 조사 모듈을 통해 상기 오염물에 자외선 광선을 조사할 수 있다.
상기 광 조사 모듈은, 각각의 광원부가 서로 상이한 파장 대역의 광선을 출력하는 복수개의 광 조사 모듈로 형성되고, 상기 오염물이 세균 또는 바이러스를 포함하는 것으로 판단할 경우, 상기 로봇 제어부는 상기 복수개의 광 조사 모듈 중 적어도 하나의 광 조사 모듈을 통해 상기 오염물에 자외선 광선 또는 적외선 광선을 조사할 수 있다.
상기 광 조사 모듈은, 상기 광원부에서 출력되는 광선의 광축에 설치되고, 상기 광선의 집속 또는 광속을 조절하는 광 조절 광학계를 더 포함하고, 상기 로봇 제어부는, 상기 오염물 까지의 거리 또는 상기 오염물의 종류에 기초하여 상기 광 조절 광학계를 통해 상기 광선의 초점 위치 또는 직경을 조절할 수 있다.
상기 광 조사 모듈은, 상기 광 조절 광학계를 통과하는 광선의 광축에 설치되고, 상기 오염물에 대해 상기 광선을 스캔 방식으로 조사하는 광 방향 조절부를 더 포함하고, 상기 광 방향 조절부는 갈바노미터 방식의 스캐너를 포함할 수 있다.
상기 광 방향 조절부를 통과한 광선이 상기 오염물을 향해 조사되는 광축에 설치되는 스캐닝 렌즈부를 더 포함하고, 상기 스캐닝 렌즈부는 상기 오염물에 조사되는 광선의 에너지 밀도, 공간분포 및 직경을 일정하게 유지하기 위해 광선의 분포를 변환하는 평면 초점 렌즈 또는 구면 초점 렌즈를 포함할 수 있다.
상기 스캐닝 렌즈부는, 상기 광선의 분포를 가우시안형 분포에서 델타형 분포로 변환시킬 수 있다.
상기 광 조사 모듈은, 각각의 광원부가 서로 상이한 종류의 광선을 출력하는 복수개의 광 조사 모듈로 형성되고, 상기 복수개의 광 조사 모듈의 광원부는 각각 출력하는 광선의 파장 대역, 출력 크기, 출력 모드, 출력 방식, 스캔 방식 및 빔의 형태 중 적어도 하나 이상의 조건이 상이할 수 있다.
상기 광 조사 모듈은, 상기 광원부에서 출력되는 광선의 광축에 설치되어 상기 광선의 적어도 일부를 통과시키고, 나머지의 일부는 반사시키는 빔 스플리터; 및 상기 빔 스플리터에 의해 반사되는 광선의 광축에 설치되고, 입사된 광선을 다시 반사하는 거울을 구비하는 레퍼런스부를 더 포함하고, 상기 로봇 제어부는, 상기 광 분석 모듈에서 측정된 이미지에 기초하여 상기 오염물 표면의 입체 구조를 판단할 수 있다.
상기 광 분석 모듈은, 상기 광원부에서 출력되는 광선이 상기 오염물에 조사되어 발생하는 형광을 측정하는 분광기를 포함하고, 상기 로봇 제어부는, 상기 분광기에서 측정된 정보에 기초하여 상기 오염물의 종류를 판별할 수 있다.
일 실시 예에 따른 광선 살균 로봇은, 상기 광 조사 모듈로부터 조사되거나 수광되는 광선이 대기의 상태에 의하여 발생하는 원거리 광 전송 대기 왜란을 보정하는 대기 왜란 보정 모듈을 더 포함할 수 있다.
상기 왜란 보정 모듈은, 상기 광선을 목적지에 전송하거나 목적지에서 발생하는 형광을 수광할때, 개별적으로 변형가능하게 배열되는 복수개의 단위 변형 미러를 구비하는 변형 거울 유닛; 상기 변형 거울 유닛으로부터 반사되는 광의 적어도 일부를 수광하여 광의 파면의 왜곡을 측정하는 파면 보정부; 및 상기 파면 보정부에서 계측된 파면의 왜곡에 기초하여 상기 복수개의 단위 변형 미러를 제어하는 신호 처리부를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따른 광선 살균 시스템은, 광선 살균 로봇; 및 상기 광선 살균 로봇으로부터 계측되는 오염물 정보를 원격으로 수신받고, 상기 광 조사 모듈을 통해 출력되는 광선을 제어하는 제어 신호를 송신하는 중앙 제어부를 포함할 수 있다.
일 실시 예의 광선 살균 로봇에 의하면, 원거리에서 광선을 이용한 오염물의 제독, 살균 및 사멸을 수행함으로써, 2차적인 부산물을 거의 남기지 않고 작업자의 안전과 생명을 보호 할 수 있다.
일 실시 예의 광선 살균 로봇에 의하면, 광선의 조사에 따른 광화학적 반응을 계측하여 실시간으로 오염물의 종류를 판별할 수 있고, 오염물의 종류에 따라 광선을 선택적으로 조사할 수 있다.
도 1은 일 실시 예에 따른 광선 살균 로봇의 블록도이다.
도 2는 일 실시 예에 따른 광선 살균 로봇의 광학 구조를 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 3은 일 실시 예에 따른 왜란 보정 모듈의 광학 구조를 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 4는 일 실시 예에 따른 변형 거울의 평면도이다.
도 5는 일 실시 예에 따른 변형 거울의 정면도이다.
도 6은 일 실시 예에 따른 광 조사 모듈의 구성을 나타내는 도면이다.
도 7은 일 실시 예에 따른 광선 살균 시스템의 블록도이다.
이하, 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시 예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 일 실시 예에 따른 광선 살균 로봇의 블록도이고, 도 2는 일 실시 예에 따른 광선 살균 로봇의 광학 구조를 개략적으로 도시하는 도면이고, 도 3은 일 실시 예에 따른 왜란 보정 모듈의 광학 구조를 개략적으로 도시하는 도면이고, 도 4는 일 실시 예에 따른 변형 거울의 평면도이고, 도 5는 일 실시 예에 따른 변형 거울의 정면도이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 일 실시 예에 따른 광선 살균 로봇(1)은 이동 가능하게 구동되고, 외부의 오염물(4)을 향해 광선을 조사하여 관찰되는 광학 반응을 통해 오염물의 종류를 판별할 수 있고, 판별된 오염물의 종류에 따라 광선의 종류, 출력 또는 형상 등을 선택하여 조사함으로써, 독성물질, 세균 및 바이러스별로 맞춤형 살균을 수행할 수 있다.
일 실시 예에 따른 광선 살균 로봇(1)은, 광 조사 모듈(11), 광 분석 모듈(12), 왜란 보정 모듈(13), 통신 모듈(14) 및 로봇 제어부(15)를 포함할 수 있다.
광 조사 모듈(11)은, 오염물(4)을 향해 조사되는 레이저 광선(L)을 출력하는 광학 모듈이다. 예를 들어, 광 조사 모듈(11)은 광선 살균 로봇(1)에 구비된 상태로 함께 이동 가능하고, 원거리에 있는 오염물(4)을 향해 레이저 광선(L)을 조사할 수 있다.
예를 들어, 광 조사 모듈(11)은, 광원부(111), 빔 스플리터(112), 레퍼런스부(115), 광 조절 광학계(113), 광 방향 조절부(114) 및 스캐닝 렌즈부(117)를 포함할 수 있다.
광원부(111)는, 적어도 하나 이상의 파장 대역의 레이저 광선(L)을 출력할 수 있다.
예를 들어, 광원부(111)는 상이한 파장 대역의 레이저 광선(L)을 출력할 수 있다. 예를 들어, 광원부(111)는 자외선 영역의 광선 및 적외선 영역의 광선을 출력할 수 있다.
예를 들어, 광원부(111)는 상이한 파장, 출력 또는 형상을 갖는 광선을 출력하는 복수개의 광원을 포함할 수 있다.
예를 들어, 광원부(111)는 레이저, 램프, 레이저 다이오드, 플래시 램프, 아크 램프 및 광 방출 다이오드 중 적어도 하나 이상의 광원을 포함할 수 있다.
예를 들어, 광원부(111)는, 연속발진 레이저, 큐 스위칭(Q-switched) 펄스형 발진 레이저 또는 모드 로킹된(mode-locked) 레이저를 포함할 수 있다.
빔 스플리터(112)는, 광원부(111)에서 출력되는 광선(L)의 광축에 설치되어 광선(L)의 적어도 일부를 광 조절 광학계(113)를 향해 통과시키고, 나머지의 일부는 광 분석 모듈(12)을 향해 반사시킬 수 있다.
예를 들어, 빔 스플리터(112)를 통과하는 광선의 일부는 광 분석 모듈(12)에 대향하는 위치에 설치된 레퍼런스부(115)를 향해 반사될 수 있다.
레퍼런스부(115)는, 광 조사 모듈(11)로부터 오염물(4)까지의 거리를 계측하거나, 오염물(4) 표면의 입체 구조를 획득하기 위해, 빔 스플리터(112)로부터 반사된 광선(L)의 일부를 다시 반사하는 거울을 포함할 수 있다.
예를 들어, 레퍼런스부(115)에서 반사된 광은, 오염물에 조사된 광선(L)이 반사되어 다시 광 조사 모듈(11)에 수광된 광과 결합되어 간섭된 상태로 광 분석 모듈(12)을 향해 입사될 수 있다.
광 조절 광학계(113)는, 광원부(111)에서 출력되는 광선(L)의 광축에 설치되고, 광선(L)의 집속 정도 또는 광속의 크기를 조절할 수 있다.
예를 들어, 광 조절 광학계(113)는 광선(L)의 직경을 증가시키고, 집속 초점 거리를 제어할 수 있는 망원경 구조를 포함할 수 있다.
광 방향 조절부(114)는, 광원부(111)에서 출력되는 광선(L)의 광축에 설치되고, 오염물(4)을 향한 광선(L)의 조사 위치를 조절할 수 있다.
예를 들어, 광 방향 조절부(114)는 갈바노미터 방식의 스캐너를 포함할 수 있고, 갈바노미터 방식의 스캐너의 제어를 통해 오염물(4)을 근거리 또는 원거리에서 스캔 방식으로 조사할 수 있다.
스캐닝 렌즈부(117)는, 광 방향 조절부(114)를 통과한 광선(L)이 오염물(4)을 향해 조사되는 광축에 설치될 수 있다. 예를 들어, 스캐닝 렌즈부(117)는 광 방향 조절부(114)를 통한 스캔 조사 방식에 따라서 광선(L)의 에너지 밀도, 공간분포 및 직경을 일정하게 유지하기 위해 광선의 에너지 분포를 변환하는 평면 초점 렌즈 또는 구면 초점 렌즈를 포함할 수 있다.
스캐닝 렌즈부(117)는 광선의 에너지 분포 예를 들어, 광선의 가우시안형 분포를 델타형 분포로 광선을 변환하는 등의 과정을 수행하는 광학 모듈을 포함할 수 있다.
예를 들어, 스캐닝 렌즈부(117)는 f-theta 렌즈를 포함할 수 있다.
광 분석 모듈(12)은, 광 조사 모듈(11)로부터 출력된 광선(L)이 오염물(4)에 조사되는 이미지를 입력받을 수 있다.
예를 들어, 광 분석 모듈(12)은 분광기(121), 카메라 센서(122) 및 거리 측정 센서(123)를 포함할 수 있다.
분광기(121)는, 광선(L)이 오염물(4)에 조사되어 광화학 반응에 의해 발생하는 형광의 스펙트럼 분포를 계측할 수 있다.
카메라 센서(122)는, 광선(L)이 조사되는 오염물(4)의 이미지를 촬영할 수 있다.
거리 측정 센서(123)는, 오염물(4)에 조사된 광선(L)이 반사되어 형성하는 광의 일부를 수광하여 광 조사 모듈(11)로부터 오염물(4)까지의 거리를 계측할 수 있다.
왜란 보정 모듈(13)은, 광선(L)의 원거리 조사 시 대기 왜란에 의해 발생하는 광선(L)의 왜곡을 보정할 수 있다. 예를 들어, 왜란 보정 모듈(13)은 광 조사 모듈(11)로부터 출력되는 광선(L) 광축에 설치될 수 있다.
예를 들어, 왜란 보정 모듈(13)은 원거리 광 전송 환경에서, 광 조사 모듈(11)로부터 조사되거나 수광되는 광선이 대기의 상태에 의하여 발생하는 대기 왜란을 보정할 수 있다.
예를 들어, 왜란 보정 모듈(13)의 적어도 일부가 광 조사 모듈(11)에 통합되어 있을 수 있다.
예를 들어, 대기 왜란에 의한 이미지의 왜곡을 보정하기 위해, 광 조사 모듈(11)은 임의의 초점 위치를 향해 레이저 광선(L)을 출력할 수 있고, 왜란 보정 모듈(13)은 해당 초점 위치에서 이온화되어 발생한 형광을 수광하여 빛의 파면이 평평하게 되도록 광의 상을 보정할 수 있다.
예를 들어, 왜란 보정 모듈(13)은, 파면 측정부(131), 파면 보정부(132), 이미지 획득부(133) 및 신호 처리부(134)를 포함할 수 있다.
파면 측정부(131)는, 광선(L)에 의해 발생한 형광을 수광하여 이미지 획득부(133) 및 파면 보정부(132)를 향해 반사하는 변형 거울 유닛(1311)과 직각도 보정 거울(1312)을 포함할 수 있다.
예를 들어, 파면 측정부(131)의 변형 거울 유닛(1311)과 직각도 보정 거울(1312)은 하나의 밀폐된 하우징 내부에 위치하여 공기의 출입이 차단되도록 배치될 수 있고, 내부 기압과 온도를 제어할 수 있는 구조를 가질 수 있도록 하여, 외력으로부터 변형과 굴절률이 최소화되도록 설계될 수 있다.
변형 거울 유닛(1311)은, 냉각채널을 포함하는 지지대(13113)와, 지지대(13113) 상에 설치되는 복수개의 단위 변형 미러(13111)내지 단일판 미러의 단위 변형 미러(13111)를 조절하는 피에조 소자(13112)를 포함할 수 있다.
예를 들어, 지지대(13113)는 냉각을 위해 내부에 냉각 채널을 구비할 수 있다.
예를 들어, 지지대(13113)는 단위 변형 미러(13111)를 구동하기 위한 기준이 되므로 열, 기압차, 외력 등에 의한 기계적 변형을 나노미터 급으로 최소화되어야 한다. 이를 위하여 균일한 온도 조절이 용이한 형상을 갖거나, 슈퍼 인바와 같은 재질로 형성되로 수 있다.
복수개의 단위 변형 미러(13111)는, 지지대(13113) 상에서 서로 일정한 간격을 갖도록 배열되고, 지지대(13113)에 대해서 변형 가능하게 구동될 수 있다.
피에조 소자(13112)는 복수개의 단위 변형 미러(13111)에 설치되어, 복수개의 단위 변형 미러(13111)를 개별적으로 조절할 수 있다. 예를 들어, 피에조 소자(13112)는 복수개의 단위 변형 미러(13111)및 지지대(13113) 사이에 설치될 수 있다.
다른 예로, 피에조 소자(13112)는 복수개의 단위 변형 미러(13111)가 배치되어 있는 구역별로 설치되어, 개별 구역 단위로 복수개의 단위 변형 미러(13111)를 변형시킬 수 있다.
파면 보정부(132)는, 초점(F)의 위치에서 발생한 변형된 파면과 기준이 되는 파면을 비교하여 파면의 왜곡을 측정할 수 있다.
예를 들어, 파면 보정부(132)는, 변형 거울 유닛(1311)을 통해 반사되는 형광을 수광하여 광 파면의 수차를 측정하는 파면 측정기(1322)와, 기울기 측정 센서(1321)를 포함할 수 있다.
예를 들어, 파면 보정부(132)는 샥-하트만(Shack-Hartmann) 파면 센서일 수 있다.
신호 처리부(134)는, 이미지 획득부(133) 및 파면 보정부(132)에서 계측된 신호에 기초하여 변형 거울 유닛(1311)을 제어하는 보정 신호를 생성할 수 있다.
예를 들어, 신호 처리부(134)는 파면 보정부(132)에 측정되는 파면 왜곡 정도가 최소가 되도록, 즉 변형 거울 유닛(1311)에 의해 반사되는 광의 파면이 평평해지도록, 피에조 소자(13112)를 구동하여 복수개의 단위 변형 미러(13111)의 변형을 제어할 수 있고, 이를 통해 초점의 위치에서 레이저 광선(L)의 초점 크기를 최소화시킬 수 있다.
예를 들어, 왜란 보정 모듈(13)은 내부에서 공기의 입출입이 차단되며 일정한 압력을 유지하는 장치와, 내부의 온도를 세팅 온도(X)에서 설정 범위 이내로, 예를 들면, X±0.1℃ 이상 정밀하게 유지하는 장치를 더 포함할 수 있다.
통신 모듈(14)은, 원격으로 계측된 데이터 또는 광선 살균 로봇(1)의 제어 신호를 송수신할 수 있다.
로봇 제어부(15)는 광 조사 모듈(11)을 통해 출력되는 광선(L)을 조절할 수 있고, 광 분석 모듈(12)에서 계측되는 데이터에 기초하여 오염물(4)의 종류를 판별할 수 있다.
예를 들어, 로봇 제어부(15)는 분광기(121)에서 계측된 광의 스펙트럼 분포에 기초하여 오염물(4)의 종류를 판별할 수 있다.
예를 들어, 로봇 제어부(15)는 판별된 오염물(4)의 종류에 기초하여, 광 조사 모듈(11)로부터 조사될 광선(L)의 종류를 조절할 수 있다.
예를 들어, 로봇 제어부(15)는, 오염물(4)까지의 거리 또는 오염물(4)의 종류에 기초하여 광 조절 광학계(113)를 제어하여 광선(L)의 초점 위치 또는 집속 정도를 조절할 수 있다.
예를 들어, 로봇 제어부(15)는 판별된 오염물(4)의 종류에 기초하여, 광원부(111)로부터 출력되는 광선(L)의 파장 대역, 출력 크기, 출력 모드, 출력 방식(예를 들어, 펄스 발진 또는 연속 발진), 스캔 방식 또는 빔의 형태를 조절할 수 있다.
예를 들어, 로봇 제어부(15)는, 오염물(4)에 자외선에서 적외선에 이르는 다양한 파장 대역의 광선(L)을 조사하여 광화학 반응을 통해 오염물(4)의 화학 결합을 파괴할 수 있다. 예를 들어, 오염물(4)이 황겨자 계열의 화학 작용제(HD)의 유사 작용제(CEPS)일 경우, 광선(L)의 조사에 의해 염소(Cl) 원자의 결합이 끊어져 C12H10S2 물질로 변화될 수 있다.
예를 들어, 오염물(4)이 바이러스 또는 세균을 포함할 경우, 로봇 제어부(15)는 자외선 광선을 비롯한 고 에너지의 광선을 오염물(4)에 조사하여, 오염물(4)에 광화학 반응과 고온의 열을 발생시켜 세균 또는 바이러의 DNA/RNA를 파괴시킬 수 있다.
예를 들어, 로봇 제어부(15)는 광 방향 조절부(114)를 구동하여 오염물(4)에 대해 광선을 스캔 방식으로 조사할 수 있다. 이 경우, 광 분석 모듈(12)은 오염물(4)로부터 반사된 광과 레퍼런스부(115)에서 반사된 광이 간섭되어 형성되는 이미지를 획득할 수 있고, 로봇 제어부(15)는 해당 간섭된 광 이미지를 통해 오염물(4)의 입체적인 표면 구조를 획득할 수 있다.
예를 들어, 로봇 제어부(15)는 오염물(4)의 크기에 기초하여 광선(L)의 스캔 영역을 조절할 수 있다.
예를 들어, 로봇 제어부(15)는 광 조사 모듈(11)로부터 오염물(4)까지의 거리 또는 오염물(4)의 크기에 기초하여 광선(L)의 에너지 밀도, 직경, 또는 형태를 조절할 수 있다.
예를 들어, 로봇 제어부(15)는 빔의 초점 크기와 거리는 광원의 출력에 따라서 밀리미터(mm)에서 미터(m) 단위까지 3차원(3D)으로 조절할 수 있어, 오염물의 데이터 획득 속도 및 오염물(4)의 제독/제염 속도를 조절할 수 있다.
예를 들어, 로봇 제어부(15)는 오염물(4)의 분광학적 검출 또은 예상 신호의 세기에 따라서 밀리미터(mm)에서 미터(m) 단위까지 빔의 초점 크기 및 초점 거리를 조절하여 보다 신속하게 독성 물질의 분포를 3차원(3D)으로 파악하고, 이미지화하여 최단 시간에 오염물(4)을 제독할 수 있다.
예를 들어, 로봇 제어부(15)는 왜란 보정 모듈(13)을 제어하여 외부로부터 수광되는 광의 파면 왜곡을 보정할 수 있다. 예를 들어, 로봇 제어부(15)는, 통신 모듈(14)을 통해 외부와의 데이터 송수신을 수행할 수 있다.
도 6은 일 실시 예에 따른 광 조사 모듈의 구성을 나타내는 도면이다.
구체적으로 도 6을 참조하면, 도 1 내지 도 5에 도시된 실시 예의 광선 살균 로봇(1)의 광 조사 모듈(11) 상이한 구조의 광 조사 모듈(21)을 구비하는 광선 살균 로봇(2)의 구성을 확인할 수 있다.
일 실시 예에 따른 광선 살균 로봇(2)은, 광 조사 모듈(21), 광 분석 모듈(12), 왜란 보정 모듈(13), 통신 모듈(14) 및 로봇 제어부(15)를 포함할 수 있다.
광 조사 모듈(21)은 서로 상이한 광원부(211)를 구비하는 복수개의 구성으로 이루어질 수 있다.
예를 들어, 광 조사 모듈(21)은 제 1 광선(La)을 출력하는 제 1 광 조사 모듈(21a)과, 제 1 광선(La)과 상이한 제 2 광선(Lb)을 출력하는 제 2 광 조사 모듈(21b)을 포함할 수 있다.
각각의 광 조사 모듈(21a, 21b)은, 레이저 광선을 출력하는 광원부(211)와, 광원부(211)로부터 출력되는 광축에 설치되어 광선(L)의 적어도 일부를 통과시키고, 나머지의 일부를 레퍼런스부(215) 또는 광 분석 모듈(12)로 반사시키는 빔 스플리터(212)와, 광선(L)의 집속 정도 또는 광속의 크기를 조절하는 광 조절 광학계(213)와, 오염물(4)을 향한 광선(L)의 조사 위치를 조절하는 광 방향 조절부(214)와, 오염물(4)에 대한 광선(L)의 밀도 및 직경을 일정하게 유지시키는 스캐닝 렌즈부(217)를 포함할 수 있다.
예를 들어, 제 1 광 조사 모듈(21a)의 광원부(211)를 제 1 광원부(211a)라 할 수 있고, 제 2 광 조사 모듈(21b)의 광원부(211)를 제 2 광원부(211b)라 할 수 있다. 예를 들어, 제 1 광원부(211a)는 적외선 대역의 레이저 광선을 출력하는 광원을 구비할 수 있고, 제 2 광원부(211b)는 자외선 대역의 레이저 광선을 출력하는 광원을 구비할 수 있다.
하기에서, 제 1 광원부(211a)는 적외선 광선(La)을 출력하고, 제 2 광원부(211b)는 자외선 광선(Lb)을 출력하는 구성으로 설명될 것이지만, 이는 하나의 실시 예에 불과하며, 광 조사 모듈(21)은 2 개 또는 3 개 이상의 구성을 가질 수 있으며, 각각의 광 조사 모듈(21)의 광원부(211)는 출력하는 광선의 파장 대역, 출력 크기, 출력 모드, 출력 방식(예를 들어, 펄스 발진 또는 연속 발진), 스캔 방식 및 빔의 형태 중 적어도 하나 이상의 조건이 상이하게 구성된다는 점을 밝혀둔다.
로봇 제어부(15)는, 광 분석 모듈(12)이 오염물(4)에 광선(La, Lb)이 조사되어 발생하는 형광을 계측한 정보에 기초하여 오염물(4)의 종류를 판별할 수 있다.
로봇 제어부(15)는 판멸된 오염물(4)의 종류에 기초하여 제 1 광 조사 모듈(21a) 및/또는 제 2 광 조사 모듈(21b)을 선택적으로 구동하여 오염물(4)의 제거에 적합한 광선(La, Lb)을 오염물(4)에 출력할 수 있다.
로봇 제어부(15)는 제 1 광 조사 모듈(21a) 및 제 2 광 조사 모듈(21b)을 동시에 구동하여 오염물(4)에 적외선 광선(L)과 자외선 광선(L)을 동시에 조사할 수 있고, 이를 통해 오염물(4)에 광화학 반응을 발생시키는 동시에, 고온의 열(예를 들어, 59
Figure pat00001
이상의 열)을 순간적으로 발생시켜 각종 오염 물질 및 세균을 비롯한 바이러스의 DNA 또는 RNA를 파괴할 수 있다.
도 7은 일 실시 예에 따른 광선 살균 시스템의 블록도이다.
도 7을 참조하면, 일 실시 예에 따른 광선 살균 시스템(3)은 도 1 내지 도 7을 통해 도시된 실시 예에 따른 광선 살균 로봇들(1, 2)과, 복수개의 광선 살균 로봇(1)을 개별적으로 제어하는 중앙 제어부(31)를 포함할 수 있다.
중앙 제어부(31)는 복수개의 광선 살균 로봇(1)로부터 원격지에 위치하여 복수개의 광선 살균 로봇(1) 각각의 구동을 개별적으로 제어할 수 있다.
예를 들어, 중앙 제어부(31)는 광선 살균 로봇(1)으로부터 계측된 오염물(4)의 정보를 광선 살균 로봇(1)에 구비된 통신 모듈(14)을 통해 원격으로 수신받을 수 있고, 중앙 제어부(31)는 복수개의 광선 살균 로봇(1) 각각으로부터 계측된 오염물(4)의 정보에 기초하여 오염물(4)의 종류를 판별할 수 있다.
예를 들어, 중앙 제어부(31)는 판별된 오염물(4)의 정보에 기초하여 광선 살균 로봇(1)의 광 조사 모듈(11)을 통해 오염물(4)을 통해 조사할 광선의 종류를 선택할 수 있다.
예를 들어, 중앙 제어부(31)는, 광 조사 모듈(11)로부터 조사되는 광선의 파장 대역, 출력 크기, 출력 모드, 출력 방식(예를 들어, 펄스 발진 또는 연속 발진), 스캔 방식 또는 빔의 형태를 제어할 수 있다.
이상과 같이 비록 한정된 도면에 의해 실시 예들이 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 구조, 장치 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.

Claims (14)

  1. 광선을 통해 독성 물질, 세균 또는 바이러스를 포함하는 오염물을 제거하는 광선 살균 로봇에 있어서,
    광선을 오염물에 조사하는 광 조사 모듈과,
    상기 광 조사 모듈의 광선이 상기 오염물에 조사된 이미지를 입력받는 광 분석 모듈과,
    상기 광 분석 모듈로부터 계측된 정보에 기초하여 상기 오염물의 종류를 판별하는 로봇 제어부를 포함하는 광선 살균 로봇.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 광 조사 모듈은,
    상기 오염물에 조사될 레이저 광선을 출력하는 광원부를 포함하고,
    상기 광원부는 상기 광선을 적외선부터 자외선까지의 파장 대역을 포함하는 파장 범위 내에서 상기 광선의 파장을 조절할 수 있는 광선 살균 로봇.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 오염물이 세균 또는 바이러스를 포함하는 것으로 판단할 경우, 상기 로봇 제어부는 상기 광 조사 모듈을 통해 상기 오염물에 자외선 광선을 조사하는 광선 살균 로봇.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 광 조사 모듈은, 각각의 광원부가 서로 상이한 파장 대역의 광선을 출력하는 복수개의 광 조사 모듈로 형성되고,
    상기 오염물이 세균 또는 바이러스를 포함하는 것으로 판단할 경우, 상기 로봇 제어부는 상기 복수개의 광 조사 모듈 중 적어도 하나의 광 조사 모듈을 통해 상기 오염물에 자외선 광선 또는 적외선 광선을 조사하는 것을 특징으로 하는 광선 살균 로봇.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 광 조사 모듈은,
    상기 광원부에서 출력되는 광선의 광축에 설치되고, 상기 광선의 집속 또는 광속을 조절하는 광 조절 광학계를 더 포함하고,
    상기 로봇 제어부는, 상기 오염물 까지의 거리 또는 상기 오염물의 종류에 기초하여 상기 광 조절 광학계를 통해 상기 광선의 초점 위치 또는 직경을 조절하는 광선 살균 로봇.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 광 조사 모듈은,
    상기 광 조절 광학계를 통과하는 광선의 광축에 설치되고, 상기 오염물에 대해 상기 광선을 스캔 방식으로 조사하는 광 방향 조절부를 더 포함하고,
    상기 광 방향 조절부는 갈바노미터 방식의 스캐너를 포함하는 광선 살균 로봇.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 광 방향 조절부를 통과한 광선이 상기 오염물을 향해 조사되는 광축에 설치되는 스캐닝 렌즈부를 더 포함하고,
    상기 스캐닝 렌즈부는 스캔 방식으로 상기 오염물에 조사되는 광선의 에너지 밀도, 공간분포 및 직경을 일정하게 유지하기 위해 광선의 분포를 변환하는 평면 초점 렌즈 또는 구면 초점 렌즈를 포함하는 광선 살균 로봇.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 스캐닝 렌즈부는, 상기 광선의 분포를 가우시안형 분포에서 델타형 분포로 변환시키는 것을 특징으로 하는 광선 살균 로봇.
  9. 제 5 항에 있어서,
    상기 광 조사 모듈은,
    각각의 광원부가 서로 상이한 종류의 광선을 출력하는 복수개의 광 조사 모듈로 형성되고,
    상기 복수개의 광 조사 모듈의 광원부는 각각 출력하는 광선의 파장 대역, 출력 크기, 출력 모드, 출력 방식, 스캔 방식 및 빔의 형태 중 적어도 하나 이상의 조건이 상이한 것을 특징으로 하는 광선 살균 로봇.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 광 조사 모듈은,
    상기 광원부에서 출력되는 광선의 광축에 설치되어 상기 광선의 적어도 일부를 통과시키고, 나머지의 일부는 반사시키는 빔 스플리터; 및
    상기 빔 스플리터에 의해 반사되는 광선의 광축에 설치되고, 입사된 광선을 다시 반사하는 거울을 구비하는 레퍼런스부를 더 포함하고,
    상기 로봇 제어부는, 상기 광 분석 모듈에서 측정된 이미지에 기초하여 상기 오염물 표면의 입체 구조를 판단하는 광선 살균 로봇.
  11. 제 5 항에 있어서,
    상기 광 분석 모듈은, 상기 광원부에서 출력되는 광선이 상기 오염물에 조사되어 발생하는 형광을 측정하는 분광기를 포함하고,
    상기 로봇 제어부는, 상기 분광기에서 측정된 정보에 기초하여 상기 오염물의 종류를 판별하는 광선 살균 로봇.
  12. 제 6 항에 있어서,
    상기 광 조사 모듈로부터 조사되거나 수광되는 광선이 대기의 상태에 의하여 발생하는 원거리 광전송 대기 왜란 보정 모듈을 더 포함하는 광선 살균 로봇.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 왜란 보정 모듈은,
    상기 광선을 목적지에 전송하거나 목적지에서 발생하는 형광을 수광할 때, 개별적으로 변형가능하게 배열되는 복수개의 단위 변형 미러를 구비하는 변형 거울 유닛;
    상기 변형 거울 유닛으로부터 반사되는 광의 적어도 일부를 수광하여 광의 파면의 왜곡을 측정하는 파면 보정부; 및
    상기 파면 보정부에서 계측된 파면의 왜곡에 기초하여 상기 복수개의 단위 변형 미러를 제어하는 신호 처리부를 포함하는 광선 살균 로봇.
  14. 제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 기재된 광선 살균 로봇; 및
    상기 광선 살균 로봇으로부터 계측되는 오염물 정보를 원격으로 수신받고, 상기 광 조사 모듈을 통해 출력되는 광선을 제어하는 제어 신호를 송신하는 중앙 제어부를 포함하는 광선 살균 시스템.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101365081B1 (ko) * 2009-04-13 2014-02-19 캐논 가부시끼가이샤 보상광학계를 구비한 주사용 광화상 취득장치 및 그 제어 방법
KR101724447B1 (ko) * 2015-11-13 2017-04-11 주식회사 파나시아 자외선 살균로봇
US20180109770A1 (en) * 2016-10-17 2018-04-19 Virtek Vision International Ulc Laser projector with dynamically adaptable focus
KR20200034232A (ko) * 2018-09-21 2020-03-31 서울바이오시스 주식회사 살균 모듈 및 이를 포함하는 살균 장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101365081B1 (ko) * 2009-04-13 2014-02-19 캐논 가부시끼가이샤 보상광학계를 구비한 주사용 광화상 취득장치 및 그 제어 방법
KR101724447B1 (ko) * 2015-11-13 2017-04-11 주식회사 파나시아 자외선 살균로봇
US20180109770A1 (en) * 2016-10-17 2018-04-19 Virtek Vision International Ulc Laser projector with dynamically adaptable focus
KR20200034232A (ko) * 2018-09-21 2020-03-31 서울바이오시스 주식회사 살균 모듈 및 이를 포함하는 살균 장치

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