KR20220021085A - Automatic system for replacement of adhesion sheets of adhesives chuck - Google Patents

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KR20220021085A
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Abstract

An object of the present invention is to provide a system of a new structure that can respond to an increase in working time and an increase in working error rate by automatically performing adhesive sheet attachment, removal, and inspection operation. The present invention comprises an orthogonal robot, a cartridge, an adhesive sheet pressing/removing tool, and a motor to automatically attach and remove the adhesive sheet. In addition, an inspection system is applied to reduce the error rate during the above operation.

Description

점착척의 점착 시트 교체를 위한 자동화 시스템{Automatic system for replacement of adhesion sheets of adhesives chuck}Automatic system for replacement of adhesion sheets of adhesives chuck

본 발명은 반도체, 디스플레이 제조기술 중 기판 이송을 위한 점착척의 점착시트 교체 자동화 시스템에 관한 것이다. The present invention relates to an automated system for replacing an adhesive sheet of an adhesive chuck for substrate transfer in semiconductor and display manufacturing technology.

점착척은 현재 디스플레이 산업에서 대량생산체제에 적합한 기판 이송 수단으로써 상기 점착척에 부착되는 점착시트는 기판 이송 횟수에 따라 수명이 줄어들며 이에 주기적으로 교체가 필요하다. The adhesive chuck is a substrate transport means suitable for a mass production system in the current display industry, and the lifespan of the adhesive sheet attached to the adhesive chuck decreases according to the number of substrate transports, and thus needs to be replaced periodically.

등록특허 제1010588340000호는 점착척의 오염물을 세척하는 기술을 제안하나 이러한 방법도 한계가 있어 일정 시기에 다다르면 점착 시트의 교체를 요한다. Registered Patent No. 1010588340000 proposes a technique for cleaning the contaminants of the adhesive chuck, but this method also has limitations and requires replacement of the adhesive sheet when a certain period of time is reached.

현재 점착 시트를 수작업으로 실시하고 있어 시간과 노력이 들어가면서도 불량발생으로 인한 문제가 있다. Currently, the pressure-sensitive adhesive sheet is manually performed, so time and effort are required, but there is a problem due to the occurrence of defects.

상기 문제에 따라 본 발명은 점착시트 교체를 위해 자동화 설비를 구축하여 생산성 향상 및 작업능률을 확대시키고 자동화에 의해 수작업으로 인해 발생되는 불량률을 감소시키고자 한다.According to the above problem, the present invention aims to improve productivity and expand work efficiency by constructing an automated facility for replacing the adhesive sheet, and to reduce the defect rate caused by manual operation by automation.

본발명은, The present invention is

점착시트 자동부착 시스템으로서, As an automatic adhesive sheet attachment system,

점착시트를 자동으로 부착하는 카트리지; 및Cartridge for automatically attaching the adhesive sheet; and

상기 카트리지를 원하는 곳으로 이동시켜주는 직교로봇;을 포함하고,Including; an orthogonal robot that moves the cartridge to a desired place;

상기 카트리지는,The cartridge is

점착제와 부착된 양면 캡톤 테이프와 점착제를 커버하는 이형지가 부착된 롤타입 점착시트 테이프를 공급하는 언와인더;an unwinder that supplies a double-sided Kapton tape with an adhesive and a roll-type adhesive sheet tape with a release paper covering the adhesive;

상기 언와인더로부터 연신된 롤타입 점착시트 테이프로부터 이형지를 분리하는 분리 툴;a separation tool for separating the release paper from the roll-type adhesive sheet tape stretched from the unwinder;

상기 분리 툴에 의해 이형지가 분리되어 노출된 점착제를 포함한 점착시트를 가압하여 척 플레이트에 점착시트를 부착하는 부착 롤;an attachment roll for attaching the pressure-sensitive adhesive sheet to the chuck plate by pressing the pressure-sensitive adhesive sheet including the pressure-sensitive adhesive exposed after the release paper is separated by the separation tool;

분리된 이형지와 부착 롤에 의해 점착시트 부분이 척 플레이트에 부착 소진된 이후에 부착 롤을 지나 연신된 점착시트 테이프를 감아 회수하는 와인더; 및a winder that winds and recovers the adhesive sheet tape stretched past the attachment roll after the adhesive sheet portion is attached to the chuck plate and exhausted by the separated release paper and the attachment roll; and

상기 부착 롤 근처에 설치된 점착시트 감지 센서;를 포함하여,Including, the adhesive sheet detection sensor installed near the attachment roll

상기 점착시트 감지센서에서 점착시트를 감지하고, 언와인더가 구동하여 점착시트가 부착 롤 하단에 오게 한 후, 부착 롤이 하강하여 점착시트를 척 플레이트에 부착시키고,The adhesive sheet detection sensor detects the adhesive sheet, the unwinder drives the adhesive sheet to come to the bottom of the adhesive roll, and then the adhesive roll descends to attach the adhesive sheet to the chuck plate,

상기 카트리지가 옆으로 병진운동하여 부착된 점착시트를 가압함과 동시에 소정 간격을 두고 다시 점착시트 부착 동작을 반복할 수 있는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착 시스템을 제공한다.It provides an automatic pressure-sensitive adhesive sheet attachment system, characterized in that the cartridge presses the attached pressure-sensitive adhesive sheet by translational movement to the side and at the same time repeats the pressure-sensitive adhesive sheet attachment operation at a predetermined interval.

상기에 있어서, 상기 언와인더와 상기 와인더는 동축상에 구간을 달리하여 구성된 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템을 제공한다.In the above, the unwinder and the winder provides an automatic adhesive sheet attachment system, characterized in that configured by different sections on the same axis.

상기에 있어서, 언와인더는, 상기 점착시트 감지센서에서 점착시트를 감지할 때 까지 점착시트 테이프를 풀도록 구동되고, 점착시트가 감지되면 일시 정지하였다가, 부착 롤 하단에 점착시트가 오도록 구동되는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템을 제공한다.In the above, the unwinder is driven to unwind the adhesive sheet tape until the adhesive sheet detection sensor detects the adhesive sheet, stops temporarily when the adhesive sheet is detected, and drives the adhesive sheet to come to the bottom of the adhesive roll It provides an automatic adhesive sheet attachment system, characterized in that.

상기에 있어서, 점착시트 자동부착시스템은 상기 직교 로봇에 의해 움직일 수 있는 부착 헤드;를 더 포함하고, 상기 카트리지는 상기 부착 헤드에 탈착식으로 결합되며, 상기 부착헤드는 상하 동작으로 상기 부착 롤의 상하 동작을 부여하는 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템을 제공한다.In the above, the automatic adhesive sheet attachment system further comprises an attachment head movable by the orthogonal robot, wherein the cartridge is detachably coupled to the attachment head, and the attachment head moves up and down the attachment roll up and down. It provides an automatic adhesive sheet attachment system, characterized in that it includes a cylinder for giving an operation.

상기에 있어서, 점착시트 테이프의 장력 유지를 위해, In the above, for maintaining the tension of the adhesive sheet tape,

상기 카트리지는 다수의 가이드 롤과 일부 가이드 롤의 위치 변화에 대해 복원력을 부여하는 스프링을 구비하고, The cartridge has a plurality of guide rolls and a spring that provides a restoring force for a change in the position of some of the guide rolls,

상기 카트리지와 결합된 부착 헤드는 카트리지의 언와인더의 샤프트를 박자에 맞추어 그립 동작을 단속적으로 실시하는 에어그립퍼를 더 구비하여,The attachment head coupled to the cartridge further includes an air gripper for intermittently gripping the shaft of the unwinder of the cartridge to the beat,

언와인더 회전 후 풀림을 방지하여, 점착시트 테이프의 장력을 유지시키는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템을 제공한다.To prevent unwinding after rotating the unwinder, it provides an automatic adhesive sheet attachment system, characterized in that it maintains the tension of the adhesive sheet tape.

상기에 있어서, 상기 부착헤드는,In the above, the attachment head,

상기 와인더에 감기는 이형지와 점착시트가 소진된 테이프가 증가함에 따라 와인더 외측 지름을 실시간으로 측정할 수 있는 두께 감지 센서;를 구비하여 와인더 외경 변화에 연계된 와인더 회전 각도에 따른 점착시트 테이프의 이동거리를 제어하여, 점착 시트의 배열 간격이 동일하게 되는 지점에서 부착 롤이 가압동작을 실시하는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템을 제공한다.A thickness sensor capable of measuring the outer diameter of the winder in real time as the release paper wound around the winder and the tape with the adhesive sheet exhausted increase; Provided is an automatic adhesive sheet attachment system, characterized in that by controlling the movement distance of the sheet tape, the attachment roll performs a pressing operation at a point where the arrangement spacing of the adhesive sheets becomes the same.

상기에 있어서, 부착 롤에 의해 점착시트를 압착한 후 압착 해제 시 점착시트의 보호필름이 단면 테이프와 함께 점착제로부터 분리되는 것을 특징으로 하는 자동부착시스템을 제공한다. In the above, there is provided an automatic attachment system, characterized in that the protective film of the adhesive sheet is separated from the adhesive together with the single-sided tape when the pressure-sensitive adhesive sheet is compressed by the attachment roll and then the pressure-sensitive adhesive is released.

상기에 있어서, 상기 부착 헤드는 모터를 구비하여 카트리지의 방향을 변환시킬 수 있으며, 점착시트의 형상에 맞추어 카트리지가 가로 방향 또는 세로 방향으로 회전 변환할 수 있는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템을 제공한다.In the above, the attachment head is provided with a motor to change the direction of the cartridge, the cartridge according to the shape of the adhesive sheet automatic adhesive sheet attachment system, characterized in that it can convert the rotation in a horizontal direction or a vertical direction to provide.

상기에 있어서, 상기 부착 헤드는, 점착 시트의 부착 또는 제거 상태를 검사하는 검사장치를 더 구비하며, 상기 검사장치는 카트리지의 방향전환 시 동시에 방향 전환이 될 수 있고 카트리지의 높이에 따른 오토포커싱이 가능한 렌즈를 구비하여 카트리지 업다운 높이에 상관없이 점착 시트의 부착 또는 제거 상태를 검사하는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템을 제공한다.In the above, the attachment head, further comprising an inspection device for inspecting the state of attachment or removal of the adhesive sheet, the inspection device can be switched at the same time when the direction of the cartridge is changed, auto-focusing according to the height of the cartridge Provided is an automatic adhesive sheet attachment system, characterized in that it is equipped with a possible lens and inspects the attachment or removal state of the adhesive sheet regardless of the cartridge up-down height.

상기에 있어서, 카트리지는 하나 이상의 분리 유닛을 포함하여 점착시트가 소진된 카트리지는 상기 분리 유닛에 의해 자동으로 교체되거나, 점착시트가 소진된 카트리지 자체가 수동 교체되는 것을 특징으로 하는 점착 시트 자동부착 시스템을 제공한다.In the above, the cartridge includes one or more separation units, and the cartridge in which the adhesive sheet is exhausted is automatically replaced by the separation unit, or the cartridge itself in which the adhesive sheet is exhausted is manually replaced. provides

또한, 본 발명은,In addition, the present invention,

점착시트를 자동으로 떼어내는 점착시트 자동제거시스템으로서,As an automatic adhesive sheet removal system that automatically removes the adhesive sheet,

단부에 블레이드 형상의 점착시트 제거 툴을 구비한 제거 유닛; a removal unit having a blade-shaped adhesive sheet removal tool at an end thereof;

상기 제거유닛을 원하는 소정의 지점으로 이동시키는 직교 로봇; an orthogonal robot for moving the removal unit to a desired predetermined point;

상기 제거 유닛에 인접 배치되고, 점착시트 보관함에 연결된 석션호스; a suction hose disposed adjacent to the removal unit and connected to the adhesive sheet storage box;

석션된 점착시트를 보관하는 보관함; 및Storage box for storing the suctioned adhesive sheet; and

석션 장치로부터 연신되고 상기 보관함에 연결된 석션 배관;을 포함하여,Including; a suction pipe extending from the suction device and connected to the storage box;

척 플레이트에 부착되어있는 점착시트 단부에 상기 점착시트 제거 툴의 블레이드가 놓이고, The blade of the adhesive sheet removal tool is placed on the end of the adhesive sheet attached to the chuck plate,

상기 제거 툴이 전진 구동되어 점착시트를 척 플레이트에서 떼어 냄과 동시에 석션호스가 점착제를 석션하여 보관함에 보관하며, The removal tool is driven forward to remove the adhesive sheet from the chuck plate, and at the same time, a suction hose suctions the adhesive and stores it in a storage box,

상기 석션 장치의 구동은 상기 보관함 내부 압력을 낮추어 상기 석션 호스에 의해 점착시트를 보관함으로 석션되게 하며,Driving the suction device lowers the internal pressure of the storage box so that the pressure-sensitive adhesive sheet is sucked into the storage box by the suction hose,

상기 보관함과 상기 석션 배관의 연결부는 점착시트가 통과할 수 없는 크기의 구멍이 형성되어, 기체만 흐를 수 있고, In the connection part of the storage box and the suction pipe, a hole of a size that the adhesive sheet cannot pass through is formed, so that only gas can flow,

상기 보관함은 견시창을 구비하여 육안 확인 시 보관함이 꽉 찼을 경우 보관함을 비우고 다시 사용하는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동제거시스템을 제공한다.The storage box is provided with a viewing window to provide an automatic adhesive sheet removal system, characterized in that the storage box is emptied and used again when the storage box is full upon visual confirmation.

상기에 있어서, 상기 직교로봇에 점착시트 제거 툴 방향전환용 모터를 더 구비하여 점착시트 제거 툴의 방향을 전환시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동제거시스템을 제공한다.In the above, the orthogonal robot further includes a motor for changing the direction of the adhesive sheet removal tool to provide an automatic adhesive sheet removal system, characterized in that it can change the direction of the adhesive sheet removal tool.

상기에 있어서, 점착시트의 두께를 센서로 실시간으로 측정하여 와인더의 회전양을 실시간으로 조절하는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템을 제공한다.In the above, it provides an automatic adhesive sheet attachment system, characterized in that the amount of rotation of the winder is adjusted in real time by measuring the thickness of the adhesive sheet with a sensor in real time.

상기에 있어서, 상기 카트리지는,In the above, the cartridge,

점착시트의 종류와 모양에 따라 구분하기 위한 바코드가 카트리지에 부착되고, 바코드를 읽어내는 바코드 리더기를 포함하는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착 시스템을 제공한다.A barcode for distinguishing according to the type and shape of the adhesive sheet is attached to the cartridge, and a barcode reader for reading the barcode is provided.

상기에 있어서, 상기 점착시트 테이프에 포함된 점착시트는 PET 이형지/상,하부 이형지 제거 된 양면 캡톤 테이프/점착제/보호필름/단면 테이프 적층 구조를 포함하고, 상기 점착시트에 포함된 점착제는 소정 형상으로 가공된 것임을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템을 제공한다.In the above, the adhesive sheet included in the adhesive sheet tape comprises a PET release paper / double-sided Kapton tape / adhesive / protective film / single-sided tape laminate structure from which the upper and lower release papers are removed, The pressure-sensitive adhesive contained in the pressure-sensitive adhesive sheet provides an automatic pressure-sensitive adhesive sheet attachment system, characterized in that it is processed into a predetermined shape.

또한, 본 발명은,In addition, the present invention,

PET 이형지/상,하부 이형지 제거 된 양면 캡톤 테이프/ 점착제/보호필름 의 적층구조를 갖는 점착제 시트;PET release paper / double-sided Kapton tape from which the upper and lower release papers are removed / adhesive sheet having a laminated structure of adhesive / protective film;

상기 점착제 시트를 연신된 상태로 운송하는 컨베이어;a conveyor for transporting the pressure-sensitive adhesive sheet in a stretched state;

컨베이어 상에 연신된 상기 점착제 시트에 점착제 부분을 소정 형상으로 가공하기 위한 점착제 가공기;a pressure-sensitive adhesive processing machine for processing the pressure-sensitive adhesive portion into a predetermined shape on the pressure-sensitive adhesive sheet stretched on the conveyor;

상기 점작제 가공기에 의해 소정 형상으로 가공된 점착제를 포함한 점착제 시트를 회수하는 가공된 점착제 시트 회수롤; 및a processed pressure-sensitive adhesive sheet recovery roll for recovering the pressure-sensitive adhesive sheet including the pressure-sensitive adhesive processed into a predetermined shape by the pressure-sensitive adhesive processing machine; and

상기 점작제 가공기에 의해 소정 형상으로 가공되고 남은 불필요한 점착제 시트를 회수하는 불필요한 점착제 시트 회수롤;을 포함하고,Including; an unnecessary pressure-sensitive adhesive sheet recovery roll for recovering the unnecessary pressure-sensitive adhesive sheet remaining after being processed into a predetermined shape by the pressure-sensitive adhesive processing machine;

컨베이어가 구동하고 점착제 가공기가 위아래로 움직여 점착제 시트에서 양면 캡톤 테이프/점착제/보호필름 부분을 소정 형상으로 가공한 후, 불필요한 점착제 시트 부분과 가공된 점착제 시트가 각각 컨베이어에서 위아래로 분리 되어 불필요한 점착제 시트 부분은 불필요한 점착제 시트 회수롤에 감기고, 가공된 점착제 시트는 가공된 점착제 시트 회수롤에 감기며, 불필요하여 제거되는 점착제 시트를 이루는 층은 양면 캡톤 테이프/점착제/보호필름을 포함하고, 소정 형상으로 가공된 양면 캡톤 테이프/점착제/보호필름 부분이 PET 이형지 상에 존재하는 가공된 점착제 시트는 점착제 시트 회수롤에 감기는 것을 특징으로 하는 점착시트 가공시스템을 제공한다.After the conveyor drives and the adhesive processor moves up and down to process the double-sided Kapton tape/adhesive/protective film part from the adhesive sheet into a predetermined shape, the unnecessary adhesive sheet part and the processed adhesive sheet are separated up and down on the conveyor, respectively, and the unnecessary adhesive sheet The portion is wound on an unnecessary pressure-sensitive adhesive sheet recovery roll, the processed pressure-sensitive adhesive sheet is wound on the processed pressure-sensitive adhesive sheet recovery roll, and the layer constituting the pressure-sensitive adhesive sheet removed as unnecessary includes a double-sided Kapton tape/adhesive/protective film, and It provides a pressure-sensitive adhesive sheet processing system, characterized in that the processed pressure-sensitive adhesive sheet in which the double-sided Kapton tape/adhesive/protective film portion processed into the shape is present on the PET release paper is wound on a pressure-sensitive adhesive sheet recovery roll.

상기 점착시트 가공시스템에 의해 가공된 점착제 시트를 공급하는 점착제 롤;a pressure-sensitive adhesive roll for supplying the pressure-sensitive adhesive sheet processed by the pressure-sensitive adhesive sheet processing system;

단면 테이프를 공급하는 단면 테이프 롤;single sided tape rolls supplying single sided tape;

단면 테이프의 한쪽 이형지를 분리하는 이형지 분리롤;a release paper separation roll for separating one side of the single-sided tape;

이형지가 분리된 단면 테이프와 상기 가공된 점착제 시트를 합지하는 두개의 합착롤 1과 합착롤 2; 및two cementing rolls 1 and 2 for laminating the single-sided tape from which the release paper is separated and the processed adhesive sheet; and

합지된 점착시트를 회수하는 점착시트 회수롤;을 포함하고,Including; a pressure-sensitive adhesive sheet recovery roll for recovering the laminated pressure-sensitive adhesive sheet;

점착제 롤에 의해 가공된 점착제 시트는 합착롤 1과 합착롤 2에 공급되고,The pressure-sensitive adhesive sheet processed by the pressure-sensitive adhesive roll is supplied to the bonding roll 1 and the bonding roll 2,

단면 테이프는 이형지 분리 롤을 통해 한쪽 이형지가 분리되고 분리 된 이형지는 이형지 회수 롤에 감기고, 이형지가 제거된 단면 테이프는 합착롤 1과 합착롤 2에 공급되어 가공된 점착제 시트와 합지되고, 합지된 점착제 시트는 점착시트 회수롤에 의해 감기며, In the single-sided tape, one release paper is separated through a release paper separation roll, and the separated release paper is wound on a release paper recovery roll. The adhesive sheet is wound by the adhesive sheet recovery roll,

합지된 점착시트는, The laminated adhesive sheet,

PET 이형지/상,하부 이형지 제거 된 양면 캡톤 테이프/ 점착제/보호필름/단면 테이프 적층 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 점착시트 제조시스템점을 제공한다.PET release paper / double-sided Kapton tape with upper and lower release paper removed / adhesive / protective film / single-sided tape characterized in that it has a laminated structure It provides an adhesive sheet manufacturing system point.

본 발명에 따르면, 점착시트 교체 속도가 수작업 시보다 감소할 뿐만 아니라 검사장치를 통하여 불량률이 감소하여 정교한 작업이 이루어지므로 생산성 향상을 기대할 수 있다.According to the present invention, not only the pressure-sensitive adhesive sheet replacement speed is reduced compared to that of manual work, but also the defect rate is reduced through the inspection device, so that sophisticated work is performed, so productivity can be improved.

본 발명에 따르면, 점착시트 부착용 카트리지는 직교로봇에 의해 좌표에서 원하는 곳으로 이동할 수 있고, 척 플레이트 가로 세로 변에 대해 소정 형상으로 가공된 점착제를 일정 방향으로 배향되게 부착하도록 카트리지 자체가 회전 동작할 수 있어, 점착시트를 척 플레이트에 완전자동부착할 수 있어 생산성이 우수하다. According to the present invention, the cartridge for attaching the adhesive sheet can be moved to a desired place in coordinates by an orthogonal robot, and the cartridge itself rotates to attach the adhesive processed in a predetermined shape with respect to the horizontal and vertical sides of the chuck plate in a predetermined direction. Therefore, the adhesive sheet can be fully automatically attached to the chuck plate, resulting in excellent productivity.

또한, 점착시트가 소진된 카트리지는 점착시트가 충진되어 있는 새 카트리지로 교체할 수 있어, 교체로 인한 공정 중단 시간이 짧다.In addition, the cartridge in which the pressure-sensitive adhesive sheet is exhausted can be replaced with a new cartridge filled with the pressure-sensitive adhesive sheet, so the process downtime due to replacement is short.

또한, 점착시트를 떼어내는 공정도 자동화되어 있으며, 자동제거시스템에 의해 제거된 점착시트는 석션으로 수거되되, 석션장치와 석션호스가 떼어낸 점착시트를 보관하는 보관함을 매개로 연결되어 점착시트는 보관함에 수거되고 석션장치에 유입되지 않는다. In addition, the process of removing the adhesive sheet is automated, and the adhesive sheet removed by the automatic removal system is collected by suction, but the suction device and the suction hose are connected through a storage box for storing the peeled adhesive sheet. It is collected in the storage box and does not flow into the suction device.

또한, 점착시트 테이프의 제조시스템 역시 점착제 가공기를 포함, 모두 자동화되어 높은 생산성을 보인다. In addition, the manufacturing system of the adhesive sheet tape is also automated, including the adhesive processing machine, and shows high productivity.

도 1은 직교 로봇에 대한 모식도이다.
도 2는 점착시트 부착 카트리지 및 점착시트를 플어 놓은 모식도, 점착시트
구조에 대한 모식도 이다.
도 3은 본 발명에 따른 카트리지 자동 교체 시스템을 보여 준다.
도 4는 점착시트 자동 제거 유닛 모식도이다.
도 5는 원자재 점착제의 구조에 대한 모식도이다.
도 6은 양면 캡톤 테이프의 구조에 대한 모식도이다.
도 7은 단면 테이프의 구조에 대한 모식도이다.
도 8은 롤타입의 점착제와 양면 캡톤 테이프를 합지하는 모식도 이다.
도 9는 점착제와 양면 캡톤 테이프가 합지 된 점착제를 PET 이형지와
합지하는 모식도이다.
도 10은 도 10의 합지 된 점착제를 원하는 길이로 자르는 (커팅) 모식도
이다.
도 11은 도 10의 합지 된 점착제를 정밀하게 자르는 (슬리팅)하는 평면도
및 측면도 이다.
도 12는 도 11의 슬리팅 된 점착제를 가공하는 모식도이다.
도 13은 도 12의 가공된 점착제와 단면 테이프를 합지하는 모식도이다.
1 is a schematic diagram of an orthogonal robot.
Figure 2 is a schematic view of a cartridge with an adhesive sheet and the adhesive sheet flattened, the adhesive sheet
It is also a schematic diagram of the structure.
3 shows an automatic cartridge replacement system according to the present invention.
4 is a schematic diagram of an automatic adhesive sheet removal unit.
5 is a schematic diagram of the structure of the raw material pressure-sensitive adhesive.
6 is a schematic diagram of the structure of a double-sided Kapton tape.
7 is a schematic diagram of the structure of a single-sided tape.
8 is a schematic diagram of laminating a roll-type adhesive and a double-sided Kapton tape.
9 is a PET release paper and an adhesive in which an adhesive and a double-sided Kapton tape are laminated;
It is a schematic diagram of lamination.
10 is a schematic diagram (cutting) of cutting the laminated adhesive of FIG. 10 to a desired length
am.
11 is a plan view of precisely cutting (slitting) the laminated adhesive of FIG.
and side view.
12 is a schematic diagram of processing the slitted adhesive of FIG. 11 .
13 is a schematic view of laminating the processed adhesive and single-sided tape of FIG.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 직교 로봇(200)을 평면도로 보여준다. 1 shows an orthogonal robot 200 according to the present invention in a plan view.

척 플레이트(100) 상에 부착되는 개개의 점착시트(가공된 점착제 시트(337)를 포함하는 시트)는 수량이 많아 수작업으로 부착 시 상당한 시간 및 인원이 필요하다. 따라서 본 발명은 척 플레이트(100)의 점착시트 부착 속도 증가를 위해 가로, 세로 움직임이 가능하고 속도 및 위치 제어가 가능한 직교 로봇(200)을 적용하는 방안을 제안하였다. The individual pressure-sensitive adhesive sheets (sheets including the processed pressure-sensitive adhesive sheet 337) attached to the chuck plate 100 are large in number, so a considerable amount of time and manpower is required when manually attaching them. Accordingly, the present invention proposes a method of applying the orthogonal robot 200 capable of horizontal and vertical movement and speed and position control in order to increase the adhesive sheet attachment speed of the chuck plate 100 .

도 2는 본 발명에 따른 점착시트 자동 부착 유닛을 보여준다. 척 플레이트(100)에 점착시트는 소정 크기로 된 것으로 1개씩 개별 부착되게 한다. 이를 위해 롤러를 다수 포함한 카트리지(300)를 구성하고 점착시트 1개씩 척 플레이트에 직접 부착시키는 점착 시트 가압용 부착 롤(308)을 구성하였다. 척 플레이트에 부착될 부분에 해당하는 점착 시트가 소정 간격으로 배열된 점착시트 테이프(338)가 언와인더(305)에서 출발하여 다수의 롤러들을 경유하며, 점착 시트 가압용 부착 롤(308)을 거쳐 언와인더와 동축으로 구성된 와인더로 회귀한다. 즉, 하나의 샤프트 축에 대해 점착시트 테이프가 풀려 부착 롤에 공급되는 언와인더 구간과 점착시트 부분이 소진된 단면 테이프와 이형지를 회수하는 와인더 구간이 축 길이에 따라 나뉘어 존재한다. 2 shows an automatic adhesive sheet attachment unit according to the present invention. Adhesive sheets of a predetermined size are individually attached to the chuck plate 100 one by one. To this end, a cartridge 300 including a plurality of rollers is constituted, and an adhesion roll 308 for pressure-sensitive adhesive sheet is configured in which one adhesive sheet is directly attached to the chuck plate. The adhesive sheet tape 338 in which the adhesive sheets corresponding to the portion to be attached to the chuck plate are arranged at predetermined intervals starts from the unwinder 305 and passes through a plurality of rollers, and the adhesive sheet pressurizing adhesive roll 308 is applied. It then returns to the winder configured coaxially with the unwinder. That is, an unwinder section in which the adhesive sheet tape is released and supplied to the attachment roll for one shaft axis and a winder section in which the single-sided tape and release paper in which the adhesive sheet portion is exhausted are divided according to the shaft length.

도 2의 왼편에는 점착 시트의 부착을 위한 카트리지 구성을 보이고, 중간에는 롤 타입의 점착시트 테이프(338)가 펼쳐진 것을 보여주며(점착시트 테이프 중 도넛형으로 된 점착 시트가 소정 간격으로 배열된 것을 볼 수 있다), 그리고 오른편에는 롤 타입의 점착시트 테이프에 포함된 점착제 시트(337)의 구조를 나타내는 단면도를 보여준다. The left side of FIG. 2 shows the cartridge configuration for attachment of the adhesive sheet, and in the middle, the roll-type adhesive sheet tape 338 is unfolded (the donut-shaped adhesive sheets among the adhesive sheet tapes are arranged at predetermined intervals) can be seen), and on the right side shows a cross-sectional view showing the structure of the pressure-sensitive adhesive sheet 337 included in the roll-type pressure-sensitive adhesive sheet tape.

단면 테이프(315) 아래 점착시트가 배열되는 곳에 점착제 보호필름(314)이 부착되고, 보호필름(314) 하부에 점착제(313)가 부착되며, 점착제(313) 하부에 양면 캡톤 테이프(312)가 부착되고, 그 하부에 PET 이형지(311)가 부착된다. 이형지(311)는 점착시트 테이프(338) 전면을 덮고 있다. 이러한 점착시트 테이프는 롤형태로 감겨 있고, 언와인더에 장착되어 단부를 부착 롤(308)을 경유하여 와인더(305)에 감기게 연신 배치된다. The adhesive protective film 314 is attached to the place where the adhesive sheet is arranged under the single-sided tape 315, the adhesive 313 is attached to the lower part of the protective film 314, and the double-sided Kapton tape 312 is attached to the lower part of the adhesive 313. is attached, and a PET release paper 311 is attached thereto. The release paper 311 covers the entire surface of the adhesive sheet tape 338 . This adhesive sheet tape is wound in the form of a roll, is mounted on the unwinder, the end is attached to the roll 308 via the It is arranged to be wound around the winder (305).

본 명세서에서 이형지를 포함한 상태, 이형지를 벗겨낸 상태 모두 점착시트 테이프로 표기하고, 척 플레이트에 부착된 점착제 부분은 점착제와 양면캡톤 테이프로 이를 점착시트로 표기한다. 문맥을 통해 이들은 충분히 구별되고 이해될 수 있다. In the present specification, both the state including the release paper and the state in which the release paper is peeled off are indicated by an adhesive sheet tape, and the adhesive portion attached to the chuck plate is indicated by an adhesive and a double-sided Kapton tape as an adhesive sheet. The context allows them to be sufficiently distinguished and understood.

직교 로봇(200)에는 카트리지(300)가 탈착식으로 결합될 수 있는 부착 헤드(500)가 연결되어 부착헤드와 카트리지가 함께 특정 좌표에 해당하는 위치로 이동할 수 있고, 부착 헤드는 모터에 연결되어 있다(도 3 참조). 카트리지(300)는 상술한 바와 같이, 하나의 축으로 묶인 와인더, 언와인더(305)와 하단에 점착 시트 가압 부착 롤(308) 및 그외 다수의 가이드 롤러(303~303-5))들을 구비한다. An attachment head 500 to which the cartridge 300 can be detachably coupled is connected to the orthogonal robot 200 so that the attachment head and the cartridge can move together to a position corresponding to a specific coordinate, and the attachment head is connected to a motor (See Fig. 3). As described above, the cartridge 300 includes a winder, an unwinder 305, and a pressure-sensitive adhesive sheet pressure attaching roll 308 at the bottom and a plurality of guide rollers 303 to 303-5) bundled in one shaft, as described above. be prepared

롤 타입 점착시트 테이프는 언와인더(305)에 장착되고, 초기에 점착시트 테이프를 풀어 PET 이형지(311)를 분리 툴(306)에서 점착시트 테이프에서 분리하여 점착제가 있는 부분은 점착 시트 가압 부착 롤(308)에 감기게 한 후 가이드 롤러들을 지나 와인더(305)에 감고, 분리된 이형지는 가이드 롤러들을 지나 와인더(305)에 감아 세팅하여 준다. 이후 분리툴은 자동으로 이형지를 지속 분리하며 이형지는 와인더에 감긴다. The roll type adhesive sheet tape is mounted on the unwinder 305, and the PET release paper 311 is separated from the adhesive sheet tape with the separation tool 306 by releasing the adhesive sheet tape at the beginning, and the part with the adhesive is pressure-attached to the adhesive sheet. After being wound on the roll 308, it passes through the guide rollers and is wound on the winder 305, and the separated release paper passes through the guide rollers and is wound on the winder 305 to set. After that, the separation tool automatically separates the release paper continuously, and the release paper is wound on the winder.

동작은 다음과 같다.The action is as follows.

와인더(305)가 오른쪽으로 돌면서(시계방향) 점착시트 테이프는 PET 이형지(311)를 분리하는 툴(306)에서 PET 이형지(311)와 점착제 부분이 분리되어 이형지는 가이드 롤러(303-1, 303-2,303)를 타고 연신되어 와인더에 감기고, 척플레이트(100)위의 점착 시트 가압 부착 롤(308)에는 PET 이형지 없이 단면 테이프(315) 이하 점착제(313)와 양면 캡톤 테이프(312)까지 있는 점착 시트만이 위치 하게 된다. As the winder 305 rotates to the right (clockwise), the adhesive sheet tape is separated from the PET release paper 311 in the tool 306 for separating the PET release paper 311, and the release paper guide roller 303-1, 303-2,303) is stretched and wound on a winder, and on the pressure-sensitive adhesive sheet pressure-attaching roll 308 on the chuck plate 100, without PET release paper, single-sided tape 315 or less, adhesive 313 and double-sided Kapton tape 312 without PET release paper. Only the existing adhesive sheet will be placed.

이때 점착시트 감지 센서(380)가 점착시트 유무를 감지하며 점착시트가 감지되지 않을 경우에는 감지 시까지 모터가 계속 구동하여 와인더를 소정 속도로 구동시켜 점착시트가 감지될 때 와인더를 일시 정지하게 한다. 이 때 언와인더 또한 동축으로 묶여 있어 정지하게 된다. At this time, the adhesive sheet detection sensor 380 detects the presence or absence of the adhesive sheet, and if the adhesive sheet is not detected, the motor continues to drive until detection to drive the winder at a predetermined speed to temporarily stop the winder when the adhesive sheet is detected make it At this time, the unwinder is also tied coaxially and is stopped.

점착시트 감지 후 일정 길이만큼 진행하도록 다시 모터가 구동하여 점착시트 가압부착 롤(308) 하단에 점착시트가 위치하게 되고, 실린더(318)가 하강하며 부착 롤(308)이 상기 실린더(318)와 함께 하강하여 점착시트부분을 가압, 척 플레이트(100) 위에 점착시트가 부착 되며, 더욱 강한 힘으로 점착시트를 붙이기 위하여 카트리지(300)가 도 2에서 오른쪽으로 움직이게 된다(병진 운동). After sensing the adhesive sheet, the motor is driven again to proceed by a certain length, so that the adhesive sheet is positioned at the bottom of the pressure-sensitive adhesive sheet pressure attachment roll 308, the cylinder 318 descends, and the attachment roll 308 moves with the cylinder 318 It descends together to press the adhesive sheet portion, and the adhesive sheet is attached to the chuck plate 100, and the cartridge 300 is moved to the right in FIG. 2 in order to attach the adhesive sheet with a stronger force (translational motion).

와인더는 모터에 의해 점착시트 부착 롤이 점착시트를 부착한 다음 소정 간격 이동하여 반복적으로 점착시트를 부착할 수 있도록 부착 롤 가압동작 및 카트리지 병진 운동과 연계된 박자에 맞추어 회전 동작과 일시 멈춤 동작을 반복한다. The winder uses a motor to move the adhesive sheet attachment roll after attaching the adhesive sheet and then move at a predetermined interval so that the adhesive sheet can be repeatedly attached. Repeat.

카트리지(300)는 직교로봇(200)과 결합되어 있는 도 3의 부착 헤드(500)에 결합 되어 있기 때문에 원하는 위치로의 이동이 가능하며, 점착시트 부착 동작 후 실린더(318)가 상승하며 부착 롤(308)도 같이 상승하게 된다. Since the cartridge 300 is coupled to the attachment head 500 of FIG. 3 coupled to the orthogonal robot 200, it can be moved to a desired position, and the cylinder 318 rises after the adhesive sheet attachment operation, and the attachment roll (308) also rises.

척플레이트 면에는 양면캡톤 테이프(312)가 접착되고, 양면캡톤 테이프 위에 접착된 점착제(313)가 노출되며, 점착제(313) 위에 있던 보호필름(314)은 단면 테이프(315)에 부착된 상태로 와인더에 감긴다. 양면캡톤 테이프와 점착제 사이의 접착력이 점착제와 보호필름 사이의 접착력보다 강하기 때문이다. 따라서 척 플레이트에는 점착제(313)가 기판을 부착시킬 수 있도록 노출된 상태가 된다. The double-sided Kapton tape 312 is adhered to the chuck plate surface, the adhesive 313 adhered on the double-sided Kapton tape is exposed, and the protective film 314 on the adhesive 313 is attached to the single-sided tape 315. wound on the winder This is because the adhesive force between the double-sided Kapton tape and the adhesive is stronger than that between the adhesive and the protective film. Accordingly, the pressure-sensitive adhesive 313 is exposed to the chuck plate so that the substrate can be attached thereto.

점착제 부착 시 장력이 느슨하게 풀어질 수 있어 장력 변화에 대응하기 위해 카트리지의 가이드 롤(303) 근처에 스프링(301) 및 뎀퍼(304)를 배치하여 가이드 롤(303)에서 장력을 유지하게 하였고, 헤드부(500) 쪽에는 그리퍼(310)를 적용하여 와인더를 회전시키는 샤프트 부분을 카트리지 이면에서 단속적으로 그립하게 하였다. The tension can be released when the adhesive is attached, so in order to respond to the change in tension, the spring 301 and the damper 304 were placed near the guide roll 303 of the cartridge to maintain the tension in the guide roll 303, and the head A gripper 310 was applied to the part 500 to intermittently grip the shaft portion rotating the winder from the back of the cartridge.

스프링(301)은 가이드 롤(303)의 샤프트와 연계되어 언와인더(305)에 이형지와 테이프가 감겨 지름이 증가하면, 그에 따른 테이프 장력 증가로 인해 가이드 롤(303)이 상승,하강할 때 복원력을 제공한다. When the spring 301 is connected with the shaft of the guide roll 303 and the release paper and tape are wound around the unwinder 305 to increase the diameter, the guide roll 303 rises and falls due to the increase in tape tension. Provides resilience.

와인더 회전 모터(700) 회전 시에는 그리퍼(310)가 오픈되며, 그때 언와인더의 장력이 풀어질 수 있어 뎀퍼(304)로 언와인더의 장력 풀림을 방지해주고, 와인더 회전모터(700)가 멈출 시에는 그리퍼(310)가 클로즈 되어(그립) 장력 풀림을 방지해 준다. 또한, 스프링(301)은 장력이 잡혀 있는 상황에서 척 플레이트(100)에 점착제(313)를 붙일 경우 카트리지에 조립되어 있기 때문에 함께 오른쪽으로 이동하게 되어 약간의 장력 풀림을 유지해준다. When the winder rotation motor 700 rotates, the gripper 310 is opened, and then the tension of the unwinder can be released, thereby preventing the tension loosening of the unwinder with the damper 304, and the winder rotation motor 700 ), the gripper 310 is closed (grip) to prevent tension loosening. In addition, when the adhesive 313 is attached to the chuck plate 100 in a state in which the tension is held, the spring 301 moves to the right together because it is assembled to the cartridge, thereby maintaining a slight tension release.

점착제(313)는 부착될 위치에 따라 형상 배열의 방향이 바뀌는데 모터(316)를 이용하여 회전하여 이러한 문제를 해결할 수 있도록 하였으며, 모터(316)는 커플링(317)에 의해 카트리지(300)이 결합 된 부착 헤드(500)에 연결 되어 있다. 즉, 가로 세로의 길이와 형상이 다른 점착시트(예를 들면, 리본 모양의 점착 시트)를 척 플레이트 형상에 따라(척 플레이트의 4변이 가로 세로로 구성됨에 따라) 가로세로 방향을 맞추기 위해 점착 시트의 방향을 모터(316)를 이용하여 전환시킬 수 있다. 즉, 부착헤드에 결합된 카트리지의 진행 방향이 회전될 수 있다. 이를 위해, 점착시트의 모양과 종류를 구분할 수 있는 바코드(309가 카트리지에 형성되어 있고, 장비 내부에 바코드를 리딩할 수 있는 바코드 리더기(309-1)가 구비된다. The pressure-sensitive adhesive 313 changes the direction of the shape arrangement depending on the location to be attached, and rotates using the motor 316 to solve this problem, and the motor 316 is the cartridge 300 by the coupling 317. It is connected to a combined attachment head (500). That is, in order to align an adhesive sheet (for example, a ribbon-shaped adhesive sheet) having a different horizontal and vertical length and shape according to the shape of the chuck plate (as four sides of the chuck plate are configured horizontally and vertically), the adhesive sheet The direction of can be switched using the motor 316 . That is, the traveling direction of the cartridge coupled to the attachment head may be rotated. To this end, a barcode 309 capable of distinguishing the shape and type of the adhesive sheet is formed in the cartridge, and a barcode reader 309-1 capable of reading the barcode is provided inside the equipment .

와인더 (305)는 시간이 지날수록 사용된 단면 테이프와 이형지가 감겨 외경이 커짐에 따라 이동 거리가 달라져, 점착시트 (313)의 위치가 변한다. 이를 제어하기 위해 실시간으로 외경 두께를 감지할 수 있는 두께 감지 센서(319)를 부착 헤드 부에 적용하였으으며, 이로 인해 외경 변화에 따른 이동거리를 제어하여, 점착 시트의 배열 간격이 항상 동일하게 되는 지점에 부착 롤(308)이 설 수 있도록 하였다.The winder 305 has a different moving distance as the single-sided tape and release paper are wound and the outer diameter increases as time passes, and the position of the adhesive sheet 313 changes. To control this, a thickness detection sensor 319 that can detect the thickness of the outer diameter in real time is applied to the attachment head, thereby controlling the movement distance according to the change in the outer diameter, so that the arrangement interval of the adhesive sheet is always the same. The attachment roll 308 was allowed to stand at the point.

이와 같이 하여 점착시트를 척 플레이트에 자동 부착할 수 있다. In this way, the adhesive sheet can be automatically attached to the chuck plate.

도 3은 부착 헤드에 구비된 요소들을 상세히 도시하며, 아울러 본 발명에 따른 카트리지 자동 교체 시스템을 보여 준다. 3 shows in detail the elements provided in the attachment head, and also shows an automatic cartridge replacement system according to the present invention.

카트리지(300)에서 점착시트가 소진되면 수동으로 점착시트 교체를 해주어야 하며, 이로 인해 설비를 수동 운전으로 전환하여야 하므로 생산 일정이 차질을 줄 가능성이 있다. 이러한 문제점을 보완하고자 점착시트가 구비된 카트리지(300)를 카트리지 적재함(400)에 적재 시키고 카트리지(300)을 자동으로 교체 하는 시스템을 제공한다. 부착헤드(500)는 카트리지(300)를 분리 가능한 하나의 유닛으로 구비하고, 카트리지(300)에 감긴 점착시트 소진 시 다른 카트리지(300)로 교체하여 준다. 교체하는 방법은 다음과 같다.When the pressure-sensitive adhesive sheet in the cartridge 300 is exhausted, the pressure-sensitive adhesive sheet must be manually replaced, and thus the equipment must be switched to manual operation, so there is a possibility that the production schedule may be disrupted. In order to compensate for this problem, a cartridge 300 equipped with an adhesive sheet is loaded in the cartridge loading box 400 and a system for automatically replacing the cartridge 300 is provided. The attachment head 500 is provided with the cartridge 300 as a detachable unit, and when the adhesive sheet wound around the cartridge 300 is exhausted, it is replaced with another cartridge 300 . Here's how to replace it.

부착헤드(500)에는 그리퍼(310)과 그리퍼1(310-1), 실린더(320)가 구비 되어 있다. 평상시에는 그리퍼(310)과 그리퍼1(310-1)이 클로즈 되어 있고, 실린더(320)가 전진 되어 있다. 교체 시에는 그리퍼(310)과 그리퍼1이 오픈 되고 실린더(320)가 후진 하면 카트리지(300)는 부착헤드와 완전히 다른 개별 유닛으로 분리 되고, 다른 카트리지(300)를 취부하는 동작은 상기 순서의 역순서를 밟아 자동교체가 이루어 진다.The attachment head 500 includes a gripper 310 , a gripper 1 ( 310-1 ), and a cylinder 320 . Normally, the gripper 310 and the gripper 1 (310-1) are closed, and the cylinder 320 is advanced. When replacing, when the gripper 310 and the gripper 1 are opened and the cylinder 320 is moved backward, the cartridge 300 is separated into an individual unit completely different from the attachment head, and the operation of attaching the other cartridge 300 is the reverse of the above sequence. Automatic replacement is performed by following the sequence.

또한, 자동 교체 시 드물게 점착시트가 모두 소진이 되지 않은 상태에서 카트리지를 교체해야 하는 상황이 생길 수 있으며, 이때 자동 교체 시 장력이 풀리게 되어 남은 점착시트는 사용을 할 수 없게 된다. 이를 방지하고자, 언와인더, 와인더에 연결된 샤프트에 장력이 풀리지 않는 유닛을 적용하여 장력 풀림을 방지 한다.In addition, in the case of automatic replacement, there may be a rare situation in which the cartridge must be replaced while the adhesive sheet is not exhausted. In order to prevent this, a unit in which tension is not released is applied to the unwinder and the shaft connected to the winder to prevent tension loosening.

다음은 점착제를 제거하는 설비에 대해 설명한다.The following describes the equipment for removing the adhesive.

도 4는 본 발명에 따른 점착제 자동 제거 유닛을 보여준다. 4 shows an automatic pressure-sensitive adhesive removal unit according to the present invention.

도 2와 동일하게 직교 로봇(200)과 결합되어 있으며 원하는 위치로의 이동이 가능하다. It is coupled to the orthogonal robot 200 in the same manner as in FIG. 2 and can move to a desired position.

플레이트(100)에서 점착제(313) 제거 시 한쪽면을 먼저 탈착 후 이동하며 점차적으로 제거하기 때문에 점착제 제거 툴(325)이 약간 비스듬하게 세워져 있어야 한다. 제거 툴(325)은 단부가 블레이드 형상을 이루어 점착 시트와 척 플레이트 경계면에 침투되어 전진함으로써 점착제를 떼어낸다. When the adhesive 313 is removed from the plate 100 , the adhesive removal tool 325 must be erected slightly obliquely because one side is first detached and then moved and removed gradually. The removal tool 325 removes the adhesive by advancing by penetrating into the interface between the adhesive sheet and the chuck plate by forming a blade-shaped end.

제거할 점착제로의 위치 이동 후 실린더(318 - 부착 업다운 실린더와 기능이 같아 도번을 같이 하였을 뿐 별도의 실린더이다. 도면 번호 316과 317 또한 같은 맥락이다.)가 하강하여 직교 로봇(200)이 움직이며 이때 점착시트 제거 툴(325)에 의해 점착제가 제거된다. 제거된 점착제는 다시 사용이 불가능하기에 별도 처리가 필요하며 진공 석션을 통해 제거 된 점착시트를 포집할 수 있도록 점착제 보관함(323)과 석션배관(322), 석션호스(324)를 구성하였다. After moving the position to the adhesive to be removed, the cylinder (318 - It has the same function as the attachment up-down cylinder and is a separate cylinder only with the same drawing numbers. Reference numbers 316 and 317 are also in the same context.) descends and the orthogonal robot 200 moves At this time, the adhesive is removed by the adhesive sheet removal tool 325 . Since the removed adhesive cannot be used again, a separate treatment is required, and an adhesive storage box 323, a suction pipe 322, and a suction hose 324 were configured to collect the adhesive sheet removed through vacuum suction.

석션배관(322)은 석션장치로부터 보관함(323)까지 연결되고, 보관함에 석션 호스가 연결된다. 석션 장치가 구동되면 석션 배관을 통해 보관함 내부가 저압화되고, 이로 인해 석션 호스가 흡입력을 갖게 된다. The suction pipe 322 is connected from the suction device to the storage box 323, and a suction hose is connected to the storage box. When the suction device is driven, the pressure inside the storage box is lowered through the suction pipe, which causes the suction hose to have suction power.

따라서 점착시트 제거와 동시에 석션을 진행하여, 보관함(323)에 보관하고, 이때 석션장치에 점착제가 유입 되지 않도록 보관함(323)과 석션 배관의 연결부는 기체만 통과할 수 있도록 작은 구멍을 구비하게 하여 석션기능을 잃지 않되 점착제는 보관함을 벗어날 수 없게 한다. 보관함은 견시창을 구비하며, 견시창을 통해 추후 육안 확인 시 보관함이 꽉 찼을 경우 보관함(323)을 비우고 다시 사용할 수 있다. 석션호스(324) 및 석션배관(322), 점착제 보관함(323), 점착제 제거툴(325)은 모터(316), 커플링(317)을 포함한 헤드(500)에 의해 직교로봇(200)과 결합되어 있으며 원하는 위치로의 이동이 가능하다. 점착제(313) 제거 시에도 방향이 바뀔 수 있어야 하기 때문에, 도 1과 같이 모터(316)를 구비하여 방향 전환이 가능하도록 하였다.Therefore, the suction is performed at the same time as the adhesive sheet is removed, and it is stored in the storage box 323, and at this time, the connection between the storage box 323 and the suction pipe is provided with a small hole so that only gas can pass so that the adhesive does not flow into the suction device. The suction function is not lost, but the adhesive does not leave the storage box. The storage box is provided with a sight window, and when the storage box is full when visually checked later through the sight window, the storage box 323 can be emptied and used again. The suction hose 324 and the suction pipe 322, the adhesive storage box 323, and the adhesive removal tool 325 are coupled to the orthogonal robot 200 by the head 500 including the motor 316 and the coupling 317. and can be moved to any desired location. Since the direction must be able to be changed even when the adhesive 313 is removed, a motor 316 is provided to enable the direction change as shown in FIG. 1 .

도 3과 도 4에서는 본 발명에 따른 검사장치도 보여준다.3 and 4 also show an inspection apparatus according to the present invention.

점착제(313) 부착 및 제거가 제대로 되지 않았을 경우를 대비하여 카메라(321)를 설치하였다. 카메라(321)는 헤드(500)에 취부 되어 있으며 (헤드 (500)는 직교로봇 (200)과 결합되어 있는 상태이다.) 카트리지 (300)는 직교 로봇 (200)에 의해 위치 이동 하여 점착제(313)를 부착한 후 해당 위치를 카메라로 촬영하는 동작을 반복하거나 점착제를 소정 구간 부착 완료한 후 일괄적으로 해당 구간에 대해 촬영을 실시할 수 있다. 헤드 (500)는 방향전환이 가능하기 때문에 헤드 (500)에 취부 되어 있는 검사 장치 또한 방향전환이 가능하다.A camera 321 was installed in case the adhesive 313 was not properly attached and removed. The camera 321 is attached to the head 500 (the head 500 is coupled to the orthogonal robot 200). The cartridge 300 is moved by the orthogonal robot 200 to position the adhesive 313. ) after attaching, repeating the operation of photographing the location with a camera, or completing the attachment of the adhesive in a predetermined section, can collectively take pictures of the section. Since the head 500 can change direction, the inspection device mounted on the head 500 can also change direction.

또한, 점착제(313) 부착 시에는 카트리지(300)가 업다운을 진행하는데 이 때 높이가 달라 카메라 포커싱이 달라진다. 이를 보완하기 위해 카트리지의 높이에 상관없이 오토포커싱(카트리지 업상태에선 업상태 포커싱, 카트리지 다운 상태에선 다운상태 포커싱 자동 조정)이 가능한 렌즈를 구비하여 카트리지 업다운 높이에 상관없이 점착 시트의 부착 상태를 검사한다.In addition, when the pressure-sensitive adhesive 313 is attached, the cartridge 300 goes up and down. At this time, the height is different, so that the camera focusing is different. To compensate for this, a lens capable of autofocusing (automatically adjusts focusing in the up state in the cartridge up state and in the down state in the cartridge down state) regardless of the height of the cartridge is provided, regardless of the height of the cartridge up and down, and the attachment state of the adhesive sheet is inspected. do.

점착제 제거 시에도 부착 시와 마찬가지로 검사를 진행한다. 이 경우, 점착 제 부착 또는 제거 동작과 동시에 촬영하는 방식이 공정시간을 줄이는데 있어서 좀 더 바람직하다. When the adhesive is removed, it is inspected in the same way as when it is attached. In this case, the method of photographing simultaneously with the action of attaching or removing the adhesive is more preferable in reducing the process time.

다음은 점착시트(500) 제조에 대해 설명한다.Next, the manufacturing of the pressure-sensitive adhesive sheet 500 will be described.

도 5는 원자재 점착시트의 구조를 보여 준다.5 shows the structure of the raw material adhesive sheet.

가장 밑에 하부 이형지 (326)가 위치하며 그 위에 점착제 (313), 또 그 위에 점착제 보호필름 (314)이 위치하는 구조이다.The lower release paper 326 is positioned at the bottom, the pressure-sensitive adhesive 313 thereon, and the pressure-sensitive adhesive protective film 314 is positioned thereon.

도 6은 원자재 양면 캡톤 테이프의 구조를 보여 준다.6 shows the structure of the raw material double-sided Kapton tape.

가장 밑에 양면 캡톤 테이프의 하부 이형지 (329)가 위치하며 그 위에 양면 캡톤 테이프 점착제 (330), 또 그 위에 양면 캡톤 테이프 상부 이형지 (331)가 위치하는 구조이다.It has a structure in which the lower release paper 329 of the double-sided Kapton tape is positioned at the bottom, the double-sided Kapton tape adhesive 330 thereon, and the upper release paper 331 of the double-sided Kapton tape is positioned thereon.

도 7은 원자재 단면 테이프의 구조를 보여 준다.7 shows the structure of the raw material single-sided tape.

가장 밑에 단면 테이프의 하부 이형지 (327)가 위치하며 그 위에 단면으로 된 테이프 점착제(328)가 위치하는 구조이다.At the bottom, the lower release paper 327 of the single-sided tape is positioned, and the single-sided tape adhesive 328 is positioned thereon.

도 8은 본 발명에 따른 롤타입 점착제 가공 1번째 공정을 보여준다.8 shows the first process of processing the roll-type adhesive according to the present invention.

공정 준비 작업으로 합지 기계에 가공되지 않은 롤타입의 감겨 있는 원자재 점착시트(점착제(313) 포함)를 점착제 롤(600-1)에 취부 후 점착제 하부 이형지 (326)를 점착제와 분리하여 점착제 하부 이형지 분리 롤(600-2)을 거쳐 점착제 하부 이형지 회수 롤(600)에 고정 시키고 하부 이형지가 제거 된 점착제 시트(332)(보호 필름 포함한 점착제)는 가이드 롤 (600-3)을 거쳐 합착롤 1 (600-4)과 합착롤 2 (600-5)사이에 거치 시킨다.As a process preparatory work, the rolled raw material adhesive sheet (including the adhesive 313) that has not been processed by the laminating machine is attached to the adhesive roll 600-1, and then the adhesive lower release paper 326 is separated from the adhesive, and the adhesive lower release paper The pressure-sensitive adhesive sheet 332 (adhesive including a protective film) from which the lower release paper has been removed is fixed to the pressure-sensitive adhesive lower release paper recovery roll 600 through the separation roll 600-2, and the adhesive roll 1 ( Place it between 600-4) and cement roll 2 (600-5).

또한, 양면 캡톤 테이프(312)를 포함한 양면 캡톤 테이프 원자재 롤을 양면 캡톤 테이프 롤 (600-6)에 취부 후 양면 캡톤 테이프 상부 이형지 (331)를 양면 캡톤 테이프와 분리하여 양면 캡톤 테이프 상부 이형지 분리 롤 (600-8)을 거쳐 양면 캡톤 테이프 상부 이형지 회수 롤 (600-7)에 고정 시키고 상부 이형지가 제거 된 양면 캡톤 테이프(333)는 가이드 롤 (600-9)를 거쳐 합착롤 1 (600-4)과 합착롤 2 (600-5)사이에 거치 시킨다. In addition, after attaching the double -sided Kapton tape raw material roll including the double-sided Kapton tape 312 to the double- sided Kapton tape roll 600-6, the double-sided Kapton tape upper release paper 331 is separated from the double-sided Kapton tape to separate the double-sided Kapton tape upper release paper roll (600-8), the double-sided Kapton tape is fixed to the upper release paper recovery roll (600-7), and the double-sided Kapton tape (333) from which the upper release paper has been removed goes through the guide roll (600-9) to roll 1 (600-4). ) and Cement Roll 2 (600-5).

상기와 같은 공정 준비 작업이 완료 된 후 합지 기계를 가동하게 될 시 모든 롤은 화살표 방향으로 구동하게 되며 합착롤 1 (600-4)과 합착롤 2 (600-5)에 의해 하부 이형지 제거 된 된 점착제 시트(332)와 상부 이형지 제거 된 양면 캡톤 테이프 (333)는 합지 된다. When the laminating machine is operated after the process preparation work as above is completed, all rolls are driven in the direction of the arrow, and the lower release paper is removed by cementing roll 1 (600-4) and cementing roll 2 (600-5). The adhesive sheet 332 and the double-sided Kapton tape 333 from which the upper release paper is removed are laminated.

상기에서 합지 된 점착제 시트(334)는 회수롤(600-10)에 의해 감기게 됨과 동시에 합지된 롤타입의 점착제 시트(334)가 된다. 상기에서 롤타입의 점착제 시트(334)는 하부 이형지/양면 캡톤 테이프/점착제/보호필름의 적층구조를 갖는다. The adhesive sheet 334 laminated in the above is wound by the recovery roll 600-10 and at the same time becomes a laminated roll-type adhesive sheet 334. In the above, the roll-type pressure-sensitive adhesive sheet 334 has a laminated structure of a lower release paper/double-sided Kapton tape/adhesive agent/protective film.

도 9는 본 발명에 따른 롤타입 점착제 가공 2번째 공정을 보여준다.9 shows the second process of processing the roll-type adhesive according to the present invention.

공정 준비 작업으로 합지 기계에 롤타입 점착제 시트(334)를 점착제 롤(600-11)에 취부 후 양면캡톤 테이프 하부 이형지 (329)를 점착제와 분리하여 하부 이형지 분리 롤(601-7)을 거쳐 양면캡톤 테이프 하부 이형지 회수 롤(601-6)에 고정 시킨다. After attaching the roll-type adhesive sheet 334 to the adhesive roll 600-11 in the laminating machine as a process preparatory work, separate the double-sided Kapton tape lower release paper 329 from the adhesive, and pass through the lower release paper separation roll 601-7 to both sides It is fixed to the lower release paper recovery roll (601-6) of the Kapton tape.

또한, 하부 이형지가 제거 된 점착제 시트(334-1)는 가이드 롤 (601-8)를 거쳐 합착롤 1-1 (601-1)과 합착롤 2 (601-2)사이에 거치 시킨다.In addition, the pressure-sensitive adhesive sheet 334-1 from which the lower release paper is removed is placed between the cementation roll 1-1 (601-1) and the cementation roll 2 (601-2) through the guide roll 601-8.

또한, PET 이형지(311)를 PET 이형지 롤 (601-3)에 취부 후 가이드 롤 (601-4)를 거쳐 합착롤 1-1 (601-1)과 합착롤 2-1 (601-2)사이에 거치 시킨다. 상기와 같은 공정 준비 작업이 완료 된 후 합지 기계를 가동하게 될 시 모든 롤은 화살표 방향으로 구동하게 되며 PET 이형지(311)는 합착롤 1-1 (601-1)과 합착롤 2-1 (601-2)에 의해 1차 합지 후 하부 이형지가 제거 된 점착제 시트(334)와 합지 된다. 합지 된 점착제 시트 (335)는 회수롤 (601-5)에 의해 감기게 된다. 합지 된 롤타입의 점착제 시트(335)(601-5에 감긴 것)는 PET 이형지/양면 캡톤 테이프/점착제/보호필름의 적층구조를 갖는다.In addition, after attaching the PET release paper 311 to the PET release paper roll 601-3, it passes through the guide roll 601-4 between the cementing roll 1-1 (601-1) and the cementing roll 2-1 (601-2). mounted on When the laminating machine is operated after the process preparation work as described above is completed, all rolls are driven in the direction of the arrow, and the PET release paper 311 is composed of the cementing roll 1-1 (601-1) and the cementing roll 2-1 (601). -2) is laminated with the pressure-sensitive adhesive sheet 334 from which the lower release paper is removed after the first lamination. The laminated adhesive sheet 335 is wound by the recovery roll 601-5. The laminated roll-type pressure-sensitive adhesive sheet 335 (which is wound around 601-5) has a laminated structure of PET release paper/double-sided Kapton tape/adhesive/protective film.

도 10은 본 발명에 따른 롤타입 점착제 가공 3번째 공정을 보여준다.10 shows the third process of processing the roll-type adhesive according to the present invention.

합지된 롤타입의 점착제 시트(601-5)는 폭이 매우 넓어 적절한 간격으로 잘라 주어야 한다. 커팅 거치대 (605)에 커팅 칼날 (604)을 원하는 간격으로 셋팅 하고 칼날 (604)을 회전 시키면 롤타입의 점착제 시트(601-5)는 화살표 방향으로 이동하며 원하는 간격으로 잘려진다. 본 공정은 상기 2차 합지 공정 후에 실시된다. The laminated roll-type adhesive sheet 601-5 has a very wide width and must be cut at appropriate intervals. When the cutting blade 604 is set on the cutting cradle 605 at a desired interval and the blade 604 is rotated, the roll-type adhesive sheet 601-5 moves in the direction of the arrow and is cut at the desired interval. This process is carried out after the second lamination process.

도 11은 본 발명에 따른 롤타입 점착제 시트 가공 4번째 공정을 보여준다.11 shows a fourth process of processing a roll-type adhesive sheet according to the present invention.

도 10의 커팅 작업 시 점착제 특성 상 점착제가 울게 되어 간격이 미세하게 틀어져, 이를 보정하기 위하여 슬리팅이라는 정교한 2차 커팅 작업이 필요하다.During the cutting operation of FIG. 10 , due to the characteristics of the pressure-sensitive adhesive, the pressure-sensitive adhesive cries and the gap is slightly distorted. In order to correct this, a sophisticated secondary cutting operation called slitting is required.

도 10의 커팅 작업 후 슬리팅 칼날 (606)이 달려 있는 슬리팅용 봉 (607)에 점착제 시트(602)를 걸어 도 10의 공정과 마찬가지로 슬리팅 봉 (607)과 슬리팅 칼날 (606)이 회전을 하면서 화살표 방향으로 이동하며 미세하게 원하는 간격으로 2차 커팅을 하게 됨과 동시에 회수롤 (603)에 감기게 된다.After the cutting operation of FIG. 10, the slitting rod 607 and the slitting blade 606 are rotated in the same manner as in the process of FIG. While moving in the direction of the arrow, secondary cutting is made at minutely desired intervals and wound around the recovery roll 603 at the same time.

도 12는 본 발명에 따른 롤타입 점착제 가공 5번째 공정을 보여준다.12 shows a fifth process of processing the roll-type adhesive according to the present invention.

본 공정은 롤타입 점착제 가공 4번째 공정 이후 실시되며, 상기 공정이 완료 된 후 점착제 시트(335)(이때 양면 캡톤 테이프의 하부 이형지는 제거되고, PET 이형지와 합지 된 상태이다.)를 원하는 형상으로 가공할 필요가 있으며, 가공 방법은 다음과 같다. This process is carried out after the fourth process of processing the roll-type adhesive, and after the process is completed, the adhesive sheet 335 (at this time, the lower release paper of the double-sided Kapton tape is removed, and is laminated with the PET release paper) into the desired shape. It needs to be processed, and the processing method is as follows.

점착제(보호 필름 포함)와 양면 캡톤 테이프, PET 이형지가 합지 된 점착제 시트(335) 단부를 컨베이어에 벨트에 연신 고정하여 놓고 컨베이어 롤러 (611)가 구동 되면, 컨베이어 (610) 또한 구동하게 되며 원하는 형상이 새겨져 있는 점착제 가공기 (612)가 위아래로 움직이며 점착제 시트(335)에 형상을 가공하게 된다(도넛을 찍는 것과 비슷한 공정). 가공 후 불필요한 점착제 시트부분(336)와 가공된 점착제 시트(337)는 컨베이어 (610)에서 위아래로 분리가 되며 불필요한 점착제 시트부분 (336)는 회수롤 (608)에 감기고, 가공된 점착제 시트(337)도 회수롤 (609)에 감기게 된다. 여기서 불필요하여 제거되는 부분을 이루는 층은 보호필름과 점착제, 양면캡톤 테이프 부분이고, 소정 형상으로 가공된 보호필름과 점착제 부분은 양면 캡톤 테이프 및 PET 이형지와 합지 된 상태로 회수롤(608)에 감긴다. 점착제 형상은 원형 등 다양한 기하학적 형상일 수 있다.The end of the adhesive sheet 335 laminating with adhesive (including protective film) , double-sided Kapton tape, and PET release paper is stretched and fixed to the belt on the conveyor, and when the conveyor roller 611 is driven, the conveyor 610 is also driven and the desired shape The engraved pressure-sensitive adhesive processor 612 moves up and down to process a shape on the pressure-sensitive adhesive sheet 335 (a process similar to making a donut). After processing, the unnecessary adhesive sheet part 336 and the processed adhesive sheet 337 are separated up and down on the conveyor 610, and the unnecessary adhesive sheet part 336 is wound on a recovery roll 608, and the processed adhesive sheet 337 ) is also wound on the recovery roll 609 . Here, the layers constituting the part that are unnecessary and removed are the protective film, the adhesive, and the double-sided Kapton tape part, and The protective film and adhesive portion processed into the shape are wound on the recovery roll 608 in a state of being laminated with the double-sided Kapton tape and PET release paper. The shape of the pressure-sensitive adhesive may be various geometric shapes such as a circle.

도 13은 본 발명에 따른 롤타입 점착제 가공 6번째 공정을 보여준다.13 shows the sixth process of processing the roll-type adhesive according to the present invention.

여기서 PET 이형지/양면 캡톤 테이프/점착제/보호필름에서 점착제와 보호필름, 양면캡톤테이프는 소정 형상으로 가공된 상태이다. Here, in the PET release paper/double-sided Kapton tape/adhesive/protective film, the adhesive, the protective film, and the double-sided Kapton tape are processed into a predetermined shape.

공정 준비 작업으로 합지 기계에 단면 테이프 (315)를 단면 테이프 롤(609-3)에 취부 후 이형지 (327)를 점착제(328)와 분리하여 이형지 분리 롤(609-4)을 거쳐 이형지 회수 롤(609-2)에 고정 시킨다. After attaching the single-sided tape 315 to the single-sided tape roll 609-3 in the laminating machine as a process preparatory work, the release paper 327 is separated from the adhesive 328, passed through the release paper separation roll 609-4, and then the release paper recovery roll ( 609-2).

또한, 이형지가 제거 된 단면 테이프 (328)를 가이드 롤 (609-5)를 거쳐 합착롤 1-2 (609-6)와 합착롤 2-2 (609-7)사이에 거치 시킨다.In addition, the single-sided tape 328 from which the release paper has been removed is placed between the cementing roll 1-2 (609-6) and the cementing roll 2-2 (609-7) through the guide roll 609-5.

또한, 가공된 점착제 시트(337) 를 가공 된 점착제 롤 (609)에 취부 후 가이드롤 (609-1)을 거쳐 합착롤 1-2 (609-6)와 합착롤 2-2 (609-7) 사이에 거치 시킨다. In addition, after attaching the processed adhesive sheet 337 to the processed adhesive roll 609, through the guide roll 609-1, the cementation roll 1-2 (609-6) and the cementation roll 2-2 (609-7) put in between

상기와 같은 공정 준비 작업이 완료 된 후 합지 기계를 가동하게 될 시 모든 롤은 화살표 방향으로 구동하게 되며 단면 테이프 (315)는 이형지 분리 롤 (609-4)을 통해 이형지 (327)는 분리되며 이 때 분리 된 이형지 (327)는 이형지 회수 롤 (609-2)에 감기고, 이형지가 제거된 단면 테이프 (328)는 가이드 롤 (609-5)을 타고 합착롤 1-2 (609-6)과 합착롤 2-2 (609-7)에 의해 가공된 점착제 시트(337)와 합지가 된다. 합지 된 점착시트 테이프 (338)는 회수롤 (620)에 의해 감기게 된다. 점착시트 테이프(338)는 PET 이형지/상,하부 이형지 제거 된 양면 캡톤 테이프/ /점착제/보호필름/단면 테이프 적층 구조를 갖는다. When the laminating machine is operated after the process preparation work as described above is completed, all rolls are driven in the direction of the arrow, and the single-sided tape 315 is separated through the release paper separation roll 609-4, and the release paper 327 is separated. When the release paper 327 is separated, it is wound on the release paper recovery roll 609-2, and the single-sided tape 328 from which the release paper has been removed rides on the guide roll 609-5 and is cemented with the cementing roll 1-2 (609-6). It becomes the pressure-sensitive adhesive sheet 337 and the lamination process by the roll 2-2 (609-7). The laminated adhesive sheet tape 338 is wound by the recovery roll 620 . The adhesive sheet tape 338 has a PET release paper / double-sided Kapton tape from which the upper and lower release papers are removed / / adhesive / protective film / single-sided tape laminated structure.

본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시 예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.The right of the present invention is not limited to the above-described embodiments, but is defined by the claims, and a person of ordinary skill in the art can make various modifications and adaptations within the scope of the claims. it is self-evident

100 : 척 플레이트
200 : 직교 로봇
300 : 카트리지
301 : 스프링
302 : 스프링 고정 블록
303 : 가이드롤러 1
303-1 : 가이드롤러 2
303-2 : 가이드롤러 3
303-3 : 가이드롤러 4
303-4 : 가이드롤러 5
303-5 : 가이드롤러 6
380 : 점착시트 감지 센서
304 : 뎀퍼
305 : 언와인더, 와인더
306 : (이형지) 분리 툴
307 : 카트리지 적재 거치대
308 : 부착 롤
309 : 바코드
309-1 : 바코드 리더기
310 : 그리퍼
310-1 : 그리퍼 1
311 : PET 이형지
312 : 양면캡톤 테이프
313 : 점착제
314 : 점착제 보호필름
315 : 단면 테이프
316 : 회전모터
317 : 커플링
318 : 업다운실린더
319 : 두께 감지 센서
320 : 측면 실린더
321 : 검사 카메라
322 : 석션배관
323 : (점착제) 보관함
324 : 석션호스
325 : 점착제 제거 툴
326 : 점착제 하부 이형지
327 : 단면 테이프 이형지
328 : (단면) 테이프 점착제
329 : 양면 캡톤 테이프 하부 이형지
330 : 양면 캡톤 테이프 점착제
331 : 양면 캡톤 테이프 상부 이형지
332 : 하부 이형지 제거된 점착제 시트
333 : 상부 이형지 제거 된 양면 캡톤 테이프
334 : (점착제와 양면 캡톤 테이프가 합지 된 롤 타입) 점착제 시트
334-1 : 하부 이형지가 제거된 (양면 캡톤 테이프가 합지 된) 점착제 시트
335 : (점착제와 양면 캡톤 테이프가 합지 된 점착제와 PET 이형지가 합지
된) 점착제 시트
336 : (가공 후) 불필요한 점착제 시트 부분
337 : 가공 된 점착제 시트
338 : (가공된 점착제와 단면테이프가 합지된) 점착제 시트 테이프
380 : 점착시트 감지 센서
400 : 카트리지 적재함 (자동교체 진행)
500 : 부착 헤드
600 : 점착제 하부 이형지 회수롤
600-1 : 점착제 롤
600-2 : 점착제 하부 이형지 분리롤
600-3 : 점착제 가이드롤
600-4 : 합착롤 1
600-5 : 합착롤 2
600-6 : 양면 캡톤 테이프 롤
600-7 : 양면 캡톤 테이프 상부 이형지 회수 롤
600-8 : 양면 캡톤 테이프 상부 이형지 분리 롤
600-9 : 양면 캡톤 테이프 가이드 롤
600-10 : 점착제와 양면 캡톤 테이프가 합지 된 점착제 회수롤
601 : 점착제와 양면 캡톤 테이프가 합지 된 점착제 가이드 롤
601-1 : 합착롤 1-1
601-2 : 합착롤 2-1
601-3 : PET 이형지 롤
601-4 : PET 이형지 가이드롤
601-5 : 점착제와 양면 캡톤 테이프가 합지 된 점착제와 PET 이형지가
합지 된 점착제 회수롤
602 : 점착제와 양면 캡톤 테이프가 합지 된 점착제와 PET 이형지가 합지
된 점착제 롤을 커팅한 롤
603 : 점착제와 양면 캡톤 테이프가 합지 된 점착제와 PET 이형지가 합지
된 점착제 롤을 커팅한 롤을 슬리팅한 롤 회수롤
604 : 커팅칼날
605 : 커팅 거치대
606 : 슬리팅 칼날
607 : 슬리팅용 봉
608 : 가공 후 불필요 점착제 시트 회수 롤
609: 가공 된 점착제 롤
609-1 : 가공 된 점착제 시트 가이드롤
609-2 : 단면 테이프 롤
609-3 : 단면 테이프 이형지 회수 롤
609-4 : 단면 테이프 이형지 분리 롤
609-5 : 단면 테이프 가이드 롤
609-6 : 합착롤 1-2
609-7 : 합착롤 2-2
610 : 컨베이어
611 : 컨베이어 롤러
612 : 점착제 가공기
620 : 가공된 점착제와 단면테이프가 합지된 점착제 롤
700 : 와인더 회전 모터
100: chuck plate
200: orthogonal robot
300 : cartridge
301: spring
302: spring fixing block
303: guide roller 1
303-1: guide roller 2
303-2: guide roller 3
303-3: guide roller 4
303-4: guide roller 5
303-5: guide roller 6
380: adhesive sheet detection sensor
304 : damper
305: unwinder, winder
306: (release paper) separation tool
307: Cartridge loading cradle
308: attach roll
309: barcode
309-1 : barcode reader
310: gripper
310-1: Gripper 1
311: PET release paper
312: double-sided kapton tape
313: adhesive
314: adhesive protective film
315: single-sided tape
316: rotation motor
317: coupling
318: up-down cylinder
319: thickness detection sensor
320: side cylinder
321: inspection camera
322: suction pipe
323: (adhesive) storage box
324: suction hose
325: adhesive removal tool
326: adhesive lower release paper
327: single-sided tape release paper
328: (single-sided) tape adhesive
329: double-sided Kapton tape lower release paper
330: double-sided Kapton tape adhesive
331: double-sided Kapton tape upper release paper
332: adhesive sheet from which the lower release paper is removed
333: double-sided Kapton tape with top release paper removed
334: (roll type in which adhesive and double-sided Kapton tape are laminated) adhesive sheet
334-1: adhesive sheet with lower release paper removed (double-sided Kapton tape laminated)
335: (Adhesive and PET release paper laminated with adhesive and double-sided Kapton tape
old) adhesive sheet
336: (after processing) unnecessary adhesive sheet part
337: Processed adhesive sheet
338: (processed adhesive and single-sided tape laminated) adhesive sheet tape
380: adhesive sheet detection sensor
400: Cartridge loading box (automatic replacement in progress)
500: attachment head
600: adhesive lower release paper recovery roll
600-1: adhesive roll
600-2: adhesive lower release paper separation roll
600-3: adhesive guide roll
600-4: cement roll 1
600-5: cement roll 2
600-6 : Double Sided Kapton Tape Roll
600-7: double-sided Kapton tape upper release paper recovery roll
600-8: double-sided Kapton tape upper release paper separation roll
600-9 : Double-sided Kapton Tape Guide Roll
600-10: Adhesive recovery roll with adhesive and double-sided Kapton tape laminated
601: Adhesive guide roll with adhesive and double-sided Kapton tape laminated
601-1: Cement roll 1-1
601-2: Cement roll 2-1
601-3: PET release paper roll
601-4: PET release paper guide roll
601-5: adhesive and PET release paper laminated with adhesive and double-sided Kapton tape
Laminated adhesive recovery roll
602: adhesive and double-sided Kapton tape laminated adhesive and PET release paper
A roll cut from an old pressure-sensitive adhesive roll
603: adhesive and double-sided Kapton tape laminated adhesive and PET release paper laminated
A roll recovery roll that slits a roll cut from the old adhesive roll
604: cutting blade
605: cutting cradle
606: slitting blade
607: slitting rod
608: unnecessary adhesive sheet recovery roll after processing
609: processed adhesive roll
609-1: Processed adhesive sheet guide roll
609-2: single-sided tape roll
609-3: single-sided tape release paper recovery roll
609-4: single-sided tape release paper separation roll
609-5: single-sided tape guide roll
609-6: Cement roll 1-2
609-7: Cement Roll 2-2
610: conveyor
611: conveyor roller
612: adhesive processing machine
620: adhesive roll in which processed adhesive and single-sided tape are laminated
700: winder rotation motor

Claims (18)

점착시트 자동부착 시스템으로서,
점착시트를 자동으로 부착하는 카트리지; 및
상기 카트리지를 원하는 곳으로 이동시켜주는 직교로봇;을 포함하고,
상기 카트리지는,
점착제와 부착된 양면 캡톤 테이프와 점착제를 커버하는 이형지가 부착된 롤타입 점착시트 테이프를 공급하는 언와인더;
상기 언와인더로부터 연신된 롤타입 점착시트 테이프로부터 이형지를 분리하는 분리 툴;
상기 분리 툴에 의해 이형지가 분리되어 노출된 점착제를 포함한 점착시트를 가압하여 척 플레이트에 점착시트를 부착하는 부착 롤;
분리된 이형지와 부착 롤에 의해 점착시트 부분이 척 플레이트에 부착 소진된 이후에 부착 롤을 지나 연신된 점착시트 테이프를 감아 회수하는 와인더; 및
상기 부착 롤 근처에 설치된 점착시트 감지 센서;를 포함하여,
상기 점착시트 감지센서에서 점착시트를 감지하고, 와인더가 구동하여 점착시트가 부착 롤 하단에 오게 한 후, 부착 롤이 하강하여 점착시트를 척 플레이트에 부착시키고,
상기 카트리지가 옆으로 병진운동하여 부착된 점착시트를 가압함과 동시에 소정 간격을 두고 다시 점착시트 부착 동작을 반복할 수 있는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착 시스템.
As an automatic adhesive sheet attachment system,
Cartridge for automatically attaching the adhesive sheet; and
Including; an orthogonal robot that moves the cartridge to a desired place;
The cartridge is
an unwinder that supplies a double-sided Kapton tape with an adhesive and a roll-type adhesive sheet tape with a release paper covering the adhesive;
a separation tool for separating the release paper from the roll-type adhesive sheet tape stretched from the unwinder;
an attachment roll for attaching the pressure-sensitive adhesive sheet to the chuck plate by pressing the pressure-sensitive adhesive sheet including the pressure-sensitive adhesive exposed after the release paper is separated by the separation tool;
a winder that winds and recovers the adhesive sheet tape stretched past the attachment roll after the adhesive sheet portion is attached to the chuck plate and exhausted by the separated release paper and the attachment roll; and
Including, the adhesive sheet detection sensor installed near the attachment roll
The adhesive sheet detection sensor detects the adhesive sheet, and the winder drives the adhesive sheet to come to the bottom of the adhesive roll, and then the adhesive roll descends to attach the adhesive sheet to the chuck plate,
Adhesive sheet automatic attachment system, characterized in that the cartridge is translated laterally to press the attached adhesive sheet and at the same time repeat the adhesive sheet attachment operation at a predetermined interval.
제1항에 있어서, 상기 언와인더와 상기 와인더는 동축상에 구간을 달리하여 구성된 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템.The system according to claim 1, wherein the unwinder and the winder are configured to have different sections on the same axis. 제1항에 있어서, 와인더는, 상기 점착시트 감지센서에서 점착시트를 감지할 때 까지 점착시트 테이프를 풀도록 구동되고, 점착시트가 감지되면 일시 정지하였다가, 부착 롤 하단에 점착시트가 오도록 구동되는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템.The method of claim 1, wherein the winder is driven to unwind the adhesive sheet tape until the adhesive sheet is detected by the adhesive sheet detection sensor, and pauses when the adhesive sheet is detected, and then the adhesive sheet comes to the lower end of the adhesive roll. Automatic adhesive sheet attachment system, characterized in that it is driven. 제1항에 있어서, 점착시트 자동부착시스템은 상기 직교 로봇에 의해 움직일 수 있는 부착 헤드;를 더 포함하고, 상기 카트리지는 상기 부착 헤드에 탈착식으로 결합되며, 상기 부착헤드는 상하 동작으로 상기 부착 롤의 상하 동작을 부여하는 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템.The adhesive sheet automatic attachment system according to claim 1, further comprising an attachment head movable by the orthogonal robot, wherein the cartridge is detachably coupled to the attachment head, and the attachment head moves up and down to the attachment roll Adhesive sheet automatic attachment system, characterized in that it includes a cylinder that gives a vertical operation of the. 제3항에 있어서, 점착시트 테이프의 장력 유지를 위해,
상기 카트리지는 다수의 가이드 롤과 일부 가이드 롤의 위치 변화에 대해 복원력을 부여하는 스프링을 구비하고,
상기 카트리지와 결합된 부착 헤드는 카트리지의 와인더의 샤프트를 박자에 맞추어 그립 동작을 단속적으로 실시하는 에어그립퍼 및 언와인더의 풀림을 방지하는 뎀퍼를 더 구비하여,
와인더 회전 후 언와인더의 장력 풀림을 방지하여, 점착시트 테이프의 장력을 유지시키는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템.
The method of claim 3, wherein for maintaining the tension of the adhesive sheet tape,
The cartridge has a plurality of guide rolls and a spring that provides a restoring force for a change in the position of some of the guide rolls,
The attachment head coupled to the cartridge further includes an air gripper for intermittently gripping the shaft of the winder of the cartridge to the beat and a damper for preventing loosening of the unwinder,
An automatic adhesive sheet attachment system, characterized in that it maintains the tension of the adhesive sheet tape by preventing the tension loosening of the unwinder after the winder rotates.
제3항에 있어서, 상기 부착헤드는,
상기 와인더에 감기는 이형지와 점착시트가 소진된 테이프가 증가함에 따라 와인더 외측 지름을 실시간으로 측정할 수 있는 두께 감지 센서;를 구비하여 와인더 외경 변화에 연계된 와인더 회전 각도에 따른 점착시트 테이프의 이동거리를 제어하여, 점착 시트의 배열 간격이 동일하게 되는 지점에서 부착 롤이 가압동작을 실시하는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템.
The method of claim 3, wherein the attachment head comprises:
A thickness sensor capable of measuring the outer diameter of the winder in real time as the release paper wound around the winder and the tape with the adhesive sheet exhausted increase; An automatic adhesive sheet adhering system, characterized in that by controlling the moving distance of the sheet tape, the adhesion roll pressurizes at the point where the arrangement spacing of the adhesive sheets becomes the same.
제1항에 있어서, 부착 롤에 의해 점착시트를 압착한 후 압착 해제 시 점착시트의 보호필름이 단면 테이프와 함께 점착제로부터 분리되는 것을 특징으로 하는 자동부착시스템. The self-adhesive system according to claim 1, wherein the protective film of the adhesive sheet is separated from the adhesive together with the single-sided tape when the pressure-sensitive adhesive sheet is compressed by an attachment roll and then released. 제1항에 있어서, 상기 부착 헤드는 모터를 구비하여 카트리지의 방향을 변환시킬 수 있으며, 점착시트의 형상에 맞추어 카트리지가 가로 방향 또는 세로 방향으로 회전 변환할 수 있는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템.According to claim 1, wherein the attachment head is equipped with a motor can change the direction of the cartridge, according to the shape of the adhesive sheet, the cartridge can be rotated in a horizontal or vertical direction, characterized in that the automatic attachment of the adhesive sheet system. 제1항에 있어서, 상기 부착 헤드는, 점착 시트의 부착 또는 제거 상태를 검사하는 검사장치를 더 구비하며, 상기 검사장치는 카트리지의 방향전환 시 동시에 방향 전환이 될 수 있고 카트리지의 높이에 따른 오토포커싱이 가능한 렌즈를 구비하여 카트리지 업다운 높이에 상관없이 점착 시트의 부착 또는 제거 상태를 검사하는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템.The method of claim 1, wherein the attachment head further comprises an inspection device for inspecting the state of attachment or removal of the adhesive sheet, wherein the inspection device can be changed at the same time as the direction of the cartridge is changed, and automatically according to the height of the cartridge Automatic adhesive sheet attachment system, characterized in that it is equipped with a focusing lens and inspects the attachment or removal state of the adhesive sheet regardless of the cartridge up-down height. 제1항에 있어서, 카트리지는 하나 이상의 분리 유닛을 포함하여 점착시트가 소진된 카트리지는 상기 분리 유닛에 의해 자동으로 교체되거나, 점착시트가 소진된 카트리지 자체가 수동 교체되는 것을 특징으로 하는 점착 시트 자동부착 시스템. According to claim 1, wherein the cartridge includes one or more separation units, the cartridge with the adhesive sheet exhausted is automatically replaced by the separation unit, or the cartridge itself with the adhesive sheet exhausted is manually replaced. attachment system. 제1항에 있어서, 상기 부착 헤드는 장력 풀림 방지를 위한 기구를 구성하여 점착시트를 다 사용하지 않은 경우 카트리지 교체 시 장력 풀림 방지를 위한 기구를 구성한 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템. The automatic adhesive sheet attachment system according to claim 1, wherein the attachment head constitutes a mechanism for preventing tension loosening when the cartridge is replaced when the adhesive sheet is not used up. 점착시트를 자동으로 떼어내는 점착시트 자동제거시스템으로서,
단부에 블레이드 형상의 점착시트 제거 툴을 구비한 제거 유닛;
상기 제거유닛을 원하는 소정의 지점으로 이동시키는 직교 로봇;
상기 제거 유닛에 인접 배치되고, 점착시트 보관함에 연결된 석션호스;
석션된 점착시트를 보관하는 보관함; 및
석션 장치로부터 연신되고 상기 보관함에 연결된 석션 배관;을 포함하여,
척 플레이트에 부착되어있는 점착시트 단부에 상기 점착시트 제거 툴의 블레이드가 놓이고,
상기 제거 툴이 전진 구동되어 점착시트를 척 플레이트에서 떼어 냄과 동시에 석션호스가 점착제를 석션하여 보관함에 보관하며,
상기 석션 장치의 구동은 상기 보관함 내부 압력을 낮추어 상기 석션 호스에 의해 점착시트를 보관함으로 석션되게 하며,
상기 보관함과 상기 석션 배관의 연결부는 점착시트가 통과할 수 없는 크기의 구멍이 형성되어, 기체만 흐를 수 있고,
상기 보관함은 견시창을 구비하여 육안 확인 시 보관함이 꽉 찼을 경우 보관함을 비우고 다시 사용하는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동제거시스템.
As an automatic adhesive sheet removal system that automatically removes the adhesive sheet,
a removal unit having a blade-shaped adhesive sheet removal tool at an end thereof;
an orthogonal robot for moving the removal unit to a desired predetermined point;
a suction hose disposed adjacent to the removal unit and connected to the adhesive sheet storage box;
Storage box for storing the suctioned adhesive sheet; and
Including; a suction pipe extending from the suction device and connected to the storage box;
The blade of the adhesive sheet removal tool is placed on the end of the adhesive sheet attached to the chuck plate,
The removal tool is driven forward to remove the adhesive sheet from the chuck plate, and at the same time, a suction hose suctions the adhesive and stores it in a storage box,
Driving the suction device lowers the internal pressure of the storage box so that the pressure-sensitive adhesive sheet is sucked into the storage box by the suction hose,
In the connection part of the storage box and the suction pipe, a hole of a size that the adhesive sheet cannot pass through is formed, so that only gas can flow,
The storage box is equipped with a viewing window, and when the storage box is full when visually checked, the storage box is emptied and used again.
제12항에 있어서, 상기 직교로봇에 점착시트 제거 툴 방향전환용 모터를 더 구비하여 점착시트 제거 툴의 방향을 전환시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동제거시스템.The automatic adhesive sheet removal system according to claim 12, further comprising a motor for changing the direction of the adhesive sheet removal tool in the orthogonal robot to change the direction of the adhesive sheet removal tool. 제1항에 있어서, 점착시트의 두께를 센서로 실시간으로 측정하여 와인더의 회전양을 실시간으로 조절하는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착 시스템.The system according to claim 1, wherein the amount of rotation of the winder is adjusted in real time by measuring the thickness of the adhesive sheet with a sensor in real time. 제1항에 있어서, 상기 카트리지는,
점착시트의 종류와 모양에 따라 구분하기 위한 바코드가 카트리지에 형성되고, 바코드를 읽어내는 바코드 리더기를 포함하는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착 시스템.
According to claim 1, wherein the cartridge,
A bar code for distinguishing according to the type and shape of the adhesive sheet is formed on the cartridge, and a bar code reader for reading the bar code is included.
제1항에 있어서, 상기 점착시트 테이프에 포함된 점착시트는 PET 이형지/상,하부 이형지 제거 된 양면 캡톤 테이프/점착제/보호필름/단면 테이프 적층 구조를 포함하고, 상기 점착시트에 포함된 점착제는 소정 형상으로 가공된 것임을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템.According to claim 1, wherein the adhesive sheet included in the adhesive sheet tape comprises a PET release paper / double-sided Kapton tape / adhesive / protective film / single-sided tape laminate structure from which the upper and lower release paper are removed, The pressure-sensitive adhesive included in the pressure-sensitive adhesive sheet is an automatic adhesive sheet attachment system, characterized in that it is processed into a predetermined shape. PET 이형지/상,하부 이형지 제거 된 양면 캡톤 테이프/ 점착제/보호필름 의 적층구조를 갖는 점착제 시트;
상기 점착제 시트를 연신된 상태로 운송하는 컨베이어;
컨베이어 상에 연신된 상기 점착제 시트에 점착제 부분을 소정 형상으로 가공하기 위한 점착제 가공기;
상기 점작제 가공기에 의해 소정 형상으로 가공된 점착제를 포함한 점착제 시트를 회수하는 가공된 점착제 시트 회수롤; 및
상기 점작제 가공기에 의해 소정 형상으로 가공되고 남은 불필요한 점착제 시트를 회수하는 불필요한 점착제 시트 회수롤;을 포함하고,
컨베이어가 구동하고 점착제 가공기가 위아래로 움직여 점착제 시트에서 양면 캡톤 테이프/점착제/보호필름 부분을 소정 형상으로 가공한 후, 불필요한 점착제 시트 부분과 가공된 점착제 시트가 각각 컨베이어에서 위아래로 분리 되어 불필요한 점착제 시트 부분은 불필요한 점착제 시트 회수롤에 감기고, 가공된 점착제 시트는 가공된 점착제 시트 회수롤에 감기며, 불필요하여 제거되는 점착제 시트를 이루는 층은 양면 캡톤 테이프/점착제/보호필름을 포함하고, 소정 형상으로 가공된 양면 캡톤 테이프/점착제/보호필름 부분이 PET 이형지 상에 존재하는 가공된 점착제 시트는 점착제 시트 회수롤에 감기는 것을 특징으로 하는 점착시트 가공시스템.
PET release paper / double-sided Kapton tape from which the upper and lower release papers are removed / adhesive sheet having a laminated structure of adhesive / protective film;
a conveyor for transporting the pressure-sensitive adhesive sheet in a stretched state;
a pressure-sensitive adhesive processing machine for processing the pressure-sensitive adhesive portion into a predetermined shape on the pressure-sensitive adhesive sheet stretched on the conveyor;
a processed pressure-sensitive adhesive sheet recovery roll for recovering the pressure-sensitive adhesive sheet including the pressure-sensitive adhesive processed into a predetermined shape by the pressure-sensitive adhesive processing machine; and
Including; an unnecessary pressure-sensitive adhesive sheet recovery roll for recovering the unnecessary pressure-sensitive adhesive sheet remaining after being processed into a predetermined shape by the pressure-sensitive adhesive processing machine;
After the conveyor drives and the adhesive processor moves up and down to process the double-sided Kapton tape/adhesive/protective film part from the adhesive sheet into a predetermined shape, the unnecessary adhesive sheet part and the processed adhesive sheet are separated up and down on the conveyor, respectively, and the unnecessary adhesive sheet The portion is wound on an unnecessary pressure-sensitive adhesive sheet recovery roll, the processed pressure-sensitive adhesive sheet is wound on the processed pressure-sensitive adhesive sheet recovery roll, and the layer constituting the pressure-sensitive adhesive sheet removed as unnecessary includes a double-sided Kapton tape/adhesive/protective film, and An adhesive sheet processing system, characterized in that the processed adhesive sheet in which the double-sided Kapton tape/adhesive/protective film part processed into the shape is present on the PET release paper is wound on a pressure-sensitive adhesive sheet recovery roll.
제17항에 의해 가공된 점착제 시트를 공급하는 점착제 롤;
단면 테이프를 공급하는 단면 테이프 롤;
단면 테이프의 한쪽 이형지를 분리하는 이형지 분리롤;
이형지가 분리된 단면 테이프와 상기 가공된 점착제 시트를 합지하는 두개의 합착롤 1과 합착롤 2; 및
합지된 점착시트를 회수하는 점착시트 회수롤;을 포함하고,
점착제 롤에 의해 가공된 점착제 시트는 합착롤 1과 합착롤 2에 공급되고,
단면 테이프는 이형지 분리 롤을 통해 한쪽 이형지가 분리되고 분리 된 이형지는 이형지 회수 롤에 감기고, 이형지가 제거된 단면 테이프는 합착롤 1과 합착롤 2에 공급되어 가공된 점착제 시트와 합지되고, 합지된 점착제 시트는 점착시트 회수롤에 의해 감기며, 합지된 점착시트는,
PET 이형지/상,하부 이형지 제거 된 양면 캡톤 테이프/ 점착제/보호필름/단면 테이프 적층 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 점착시트 제조시스템.

















A pressure-sensitive adhesive roll for supplying the pressure-sensitive adhesive sheet processed according to claim 17;
single sided tape rolls supplying single sided tape;
a release paper separation roll for separating one side of the single-sided tape;
two cementing rolls 1 and 2 for laminating the single-sided tape from which the release paper is separated and the processed adhesive sheet; and
Including; a pressure-sensitive adhesive sheet recovery roll for recovering the laminated pressure-sensitive adhesive sheet;
The pressure-sensitive adhesive sheet processed by the pressure-sensitive adhesive roll is supplied to the bonding roll 1 and the bonding roll 2,
In the single-sided tape, one release paper is separated through a release paper separation roll, and the separated release paper is wound on a release paper recovery roll. The adhesive sheet is wound by the adhesive sheet recovery roll, and the laminated adhesive sheet is
PET release paper / double-sided Kapton tape with upper and lower release paper removed / adhesive / protective film / single-sided tape characterized in that it has a laminated structure Adhesive sheet manufacturing system.

















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