KR20220000706U - 기체-고체 분리 시스템 - Google Patents

Abstract

기체-고체 분리 시스템에 있어서, 적어도 사이클론 포집 장치 및 음압 폐기가스 처리 장치를 포함하고, 사이클론 포집 장치는 연통되는 가스 출입 챔버 및 사이클론 분리 챔버를 구비하고, 가스 출입 챔버는 공정 폐기가스원과 연통되는 가스 유입관 및 음압 폐기가스 처리 장치와 연통되는 가스 유출관을 구비한다. 여기서, 공정 폐기가스원이 제공하는 공정 폐기가스는 가스 유입관을 통해 가스 출입 챔버로 유입되어 가스 선회류을 발생시키고, 이로써 공정 폐기가스로부터 일부 고체 입자를 분리하고, 공정 폐기가스가 가스 유출관을 통해 음압 폐기가스 처리 장치로 전송되어, 공정 폐기가스로부터 나머지 고체 입자를 추가로 분리하도록 한다.

Description

기체-고체 분리 시스템 {SYSTEM FOR SEPARATION OF GAS AND SOLID}

본 고안은 가스 정제 장치로, 특히 가스 선회류를 발생시켜 공정 폐기가스 및 이에 동반되는 고체 입자를 분리하는 기체-고체 분리 시스템에 관한 것이다.

산업 폐기가스 등 공정 폐기가스는 통상적으로 각종 환경 문제를 일으키는 근원으로 인지된다. 산업 공정 폐기가스는 주로 습식 수세탑을 이용하여 유해 가스를 포집하므로, 가스와 액체의 혼합 정도가 스케일 제거 능력의 우열을 결정하게 된다. 혼합 정도를 증가시키기 위해, 습식 수세탑은 스프레이 방식(Spray Type), 충전탑 방식(Packed Tower Type), 벤투리관 방식(Venturi　Tube Type) 등 형식으로 구분된다. 여기서, 벤투리관은 사이펀 원리를 이용하여 음압을 발생시켜 유해 가스의 환류를 방지할 수 있다. 대만 실용신안 제M535595호 "이송관 어셈블리 및 이를 구비하는 기체-액체 혼합 교반기"가 바로 벤투리관 구조를 이용하여 기체-액체 혼합 정도를 증가시키고, 가요성 관을 결합시켜 물의 흐름에 따라 유연성 있게 움직이게 하여 이송관에 부착되어 있는 고체 분진에 의한 막힘을 방지하도록 하는 것이다. 그러나, 해당 가요성 관은 사용 시간에 따라 단열 위험이 자주 발생하게 되어 장치 손해를 일으키게 되고, 관벽이 과도하게 작고 경로가 과도하게 길어 스케일 제거 능력이 떨어지게 된다. 또한, 해당 종래의 기술은 유지 보수 시 폐기가스를 처리할 수 없으므로, 반드시 정지해야만 유지 보수가 가능하여, 전체적인 공정 정지를 일으키게 된다. 또는 다수의 예비 장치를 반드시 구비해야 하므로, 전체적인 단가가 증가하게 될 뿐만 아니라, 폐기가스 처리 난이도도 증가하게 된다. 또한, 공정 폐기가스에 입경 크기가 다른 많은 고체 입자가 동반하게 되며, 고체 입자의 입경이 클 수록 세정 장치가 빈번하게 막히게 되므로, 자주 세척해야 한다.

이를 감안하여, 본 고안은 공정 폐기가스 및 이에 동반되는 고체 입자를 분리함으로써, 종래의 기술적 과제를 해결하는 기체-고체 분리 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위해, 본 고안은 적어도 폐기가스 처리 장치 및 사이클론 포집 장치를 포함하고, 여기서 사이클론 포집 장치는 공정 폐기가스원과 연통되는 가스 유입관 및 폐기가스 처리 장치와 연통되는 가스 유출관을 구비하는 적어도 하나의 가스 출입 챔버; 및 상기 가스 출입 챔버와 연통되는 적어도 하나의 사이클론 분리 챔버를 적어도 포함하며, 여기서 상기 공정 폐기가스원이 제공하는 공정 폐기가스는 흡입력에 의해 상기 가스 유입관을 통해 상기 가스 출입 챔버로 유입되어, 상기 공정 폐기가스가 상기 가스 출입 챔버 및/또는 상기 사이클론 분리 챔버에서 가스 선회류를 발생하도록 하고, 원심력에 의해 상기 공정 폐기가스로부터 입경이 기설정 값보다 큰 고체 입자를 분리하며, 여기서 상기 가스 유출관은 원심 분리 처리가 끝난 상기 공정 폐기가스를 상기 폐기가스 처리 장치로 전송하여 상기 공정 폐기가스로부터 나머지 입경의 고체 입자를 추가로 분리하도록 한다.

바람직하게는, 상기 폐기가스 처리 장치는 음압 폐기가스 처리 장치로, 원심 분리 처리가 끝난 상기 공정 폐기가스는 상기 음압 폐기가스 처리 장치 작동 시 발생하는 상기 흡입력에 의해 상기 가스 유출관을 통해 상기 음압 폐기가스 처리 장치로 전송된다.

바람직하게는, 상기 흡입력은 상기 폐기가스 처리 장치와 상기 사이클론 포집 장치 사이에 설치되는 펌프에 의해 발생된다.

바람직하게는, 본 고안의 사이클론 포집 장치는 상기 가스 출입 챔버와 상기 폐기가스 처리 장치 사이에 설치 및/또는 상기 가스 출입 챔버와 상기 공정 폐기가스원 사이에 설치되어, 상기 공정 폐기가스에 동반되는 고체 입자를 미세화하는 플라즈마 애셔(Plasma Asher)를 더 포함한다.

바람직하게는, 상기 기설정 값은 0.01μm보다 큰 값이다.

바람직하게는, 상기 사이클론 분리 챔버는 고체 입자 수집구를 구비한다.

바람직하게는, 본 고안의 사이클론 포집 장치는 상기 사이클론 분리 챔버와 연통되어, 상기 고체 입자 수집구를 통해 고체 입자를 수집하는 수집조를 더 포함한다.

바람직하게는, 상기 사이클론 분리 챔버는 상기 고체 입자 수집구에 설치되는 제1 개폐 밸브를 더 구비한다.

바람직하게는, 상기 사이클론 분리 챔버 또는 상기 수집조는 상기 폐기가스 처리 장치와 연통되어, 고체 입자를 상기 폐기가스 처리 장치로 배출하는 배출관을 더 포함한다.

바람직하게는, 상기 배출관은 제2 개폐 밸브를 구비한다.

바람직하게는, 상기 가스 유출관의 흡기구는 상기 가스 출입 챔버의 챔버 몸체에 위치되거나 또는 상기 가스 출입 챔버의 내부로 연장된다.

바람직하게는, 상기 가스 유출관의 상기 흡기구의 개구 방향은 상기 사이클론 분리 챔버의 고체 입자 수집구 및/또는 상기 가스 유입구의 가스 출구를 피하는 개구 방향이다.

바람직하게는, 상기 공정 폐기가스가 상기 가스 유출관의 상기 흡기구로 진입하는 방향은 상기 가스 유출관이 상기 공정 폐기가스를 전송하는 방향과 실질적으로 수직 또는 평행된다.

바람직하게는, 상기 가스 출입 챔버의 높이 값을 상기 가스 출입 챔버의 내경과 나눈 값이 1과 2 사이 및/또는 상기 사이클론 분리 챔버의 높이 값을 상기 가스 출입 챔버의 내경과 나눈 값이 1과 2 사이이다.

바람직하게는, 상기 공정 폐기가스는 상기 가스 출입 챔버의 챔버 몸체의 접선과 실질적으로 평행된 방향으로 상기 가스 출입 챔버 및/또는 상기 사이클론 분리 챔버로 진입되어 가스 선회류를 발생시키고, 상기 공정 폐기가스는 상기 가스 출입 챔버의 챔버 몸체의 축선 방향에 대해 90도보다 작은 각도로 상기 가스 출입 챔버로 진입된다.

바람직하게는, 상기 사이클론 분리 챔버는 원뿔형 챔버 몸체이고, 상기 가스 출입 챔버는 원통형 챔버 몸체 또는 원뿔형 챔버 몸체이다.

바람직하게는, 상기 공정 폐기가스가 상기 가스 출입 챔버로 유입되는 유량은 실질적으로 1,000SLM보다 작다.

바람직하게는, 상기 사이클론 포집 장치의 수량은 복수 개이며, 상기 사이클론 포집 장치는 직렬 연결 및/또는 병렬 연결되어 서로 연통된다.

바람직하게는, 상기 사이클론 포집 장치의 수량은 복수 개이며, 인접하는 상기 사이클론 포집 장치 중 하나의 상기 가스 유출관은 상기 사이클론 포집 장치 중 다른 하나의 상기 가스 유입관과 직렬 연결 방식으로 연통된다.

바람직하게는, 상기 사이클론 포집 장치의 수량은 복수 개이며, 인접하는 상기 사이클론 포집 장치 중 하나의 상기 가스 유입관은 상기 가스 출입 챔버 중 다른 하나의 상기 가스 유입관과 병렬 연결 방식으로 연통되고, 인접하는 상기 사이클론 포집 장치 중 하나의 상기 가스 유출관은 상기 사이클론 포집 장치 중 다른 하나의 상기 가스 유출관과 병렬 연결 방식으로 연통된다.

상술한 바와 같이, 본 고안의 기체-고체 분리 시스템은 다음의 장점을 하나 이상 구비할 수 있다:

(1)공정 폐기가스에 의해 가스 선회류를 발생시켜, 고체 입자를 분리할 수 있고, 이로써 고체 입자를 포집한다. (2)고체 입자를 수집조에 수집함으로써, 공정 폐기가스원 또는 음압 폐기가스 처리 장치를 정지하지 않고도 포집된 고체 입자를 제거할 수 있다. (3)플라즈마 애셔에 의해 공정 폐기가스를 애싱함으로써, 음압 폐기가스 처리 장치가 공정 폐기가스를 분리 처리하기 전에, 미리 고체 입자를 미세화할 수 있다. (4)배출관이 음압 폐기가스 처리 장치와 연통됨으로써, 공정 폐기가스원 또는 음압 폐기가스 처리 장치를 정지하지 않고도 포집된 고체 입자를 배출할 수 있다. (5)사이클론 포집 장치 및 음압 폐기가스 처리 장치를 결합함으로써, 청결 및 유지 보수 기간을 연장시킬 수 있으며, 즉 음압 폐기가스 처리 장치의 챔버 몸체 내부의 잦은 청결과 유지 보수가 필요없다. (6)다수의 사이클론 포집 장치의 직렬 연결 및/또는 병렬 연결에 의해 고체 입자의 포집률을 증가할 수 있고, 이로써 청결 및 유지 보수 기간을 추가로 연장시킨다. (7)표면 조도를 낮춤으로써, 공정 폐기가스에 동반되는 고체 입자가 챔버 몸체 및 관체의 내부면에 부착되는 것을 방지할 수 있다.

도 1은 본 고안의 제1 실시예의 기체-고체 분리 시스템의 사이클론 포집 장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 고안의 제1 실시예의 기체-고체 분리 시스템의 사이클론 포집 장치를 나타내는 측단면도이다.
도 3은 도 2에서 절취선 I-I`에 의한 단면을 나타내는 평면도이다.
도 4는 본 고안의 제1 실시예의 기체-고체 분리 시스템의 사이클론 포집 장치를 나타내는 사시도로, 여기서 제1 개폐 밸브는 고체 입자 수집구를 개방시킨다.
도 5는 본 고안의 제1 실시예의 기체-고체 분리 시스템의 사이클론 포집 장치가 음압 폐기가스 처리 장치와 연통되는 것을 나타내는 사시도이다.
도 6은 본 고안의 제1 실시예의 기체-고체 분리 시스템의 사이클론 포집 장치가 음압 폐기가스 처리 장치와 연통되는 것을 나타내는 사시도로, 여기서 수집조는 음압 폐기가스 처리 장치와 연통되는 배출관을 구비한다.
도 7은 본 고안의 제1 실시예의 기체-고체 분리 시스템을 나타내는 블록도이다.
도 8은 본 고안의 제2 실시예의 직렬 연결 방식의 사이클론 포집 장치의 기체-고체 분리 시스템을 나타내는 블록도이다.
도 9는 본 고안의 제2 실시예의 병렬 연결 방식의 사이클론 포집 장치의 기체-고체 분리 시스템을 나타내는 블록도이다.
도 10은 본 고안의 제3 실시예의 기체-고체 분리 시스템을 나타내는 블록도이다.
도 11은 본 고안의 제1 실시예의 사이클론 포집 장치의 고체 입자 제거율을 나타내는 데이터이다.

본 고안의 기술적 특징, 내용과 장점 및 이에 의해 달할 수 있는 효과에 대한 이해를 돕기 위해, 본 고안을 도면과 결합하여 실시예의 표현 방식에 의해 다음과 같이 구체적으로 설명할 것이다. 여기서 사용되는 도면은 도시 및 명세서 보조를 위한 것만을 주요 목적으로 하며, 본 고안을 실시한 후의 정확한 비례와 정밀한 배치가 아니다. 따라서, 첨부되는 도면의 비례와 배치 관계에 의해 본 고안의 실제 실시에서의 권리 범위를 해독, 제한해서는 아니된다. 또한, 이해를 돕기 위해 이하 실시예에서 동일한 요소에 대해서는 동일한 부호로 표시하여 설명하기로 한다. 도면에 도시된 어셈블리의 크기 비례는 각 요소 및 그의 구조를 쉽게 해석하기 위한 것에 불과하며, 제한으로 사용되는 것이 아니다.

또한, 명세서 전체와 특허 범위에서 사용되는 용어에 있어서, 특별히 표기되어 있지 않으면 통상적으로 각 용어가 사용되는 해당 분야에서, 여기에 개시된 내용에서와 특수 내용에서의 보편적인 의미를 구비한다. 본 고안을 설명하는 일부 용어들은 아래 또는 명세서에서 별도로 기술하여, 본 기술 분야의 기술자에게 본 고안에 관한 설명을 별도로 가이드하도록 한다.

본 문에서 예를 들어 사용되는 "제1", "제2", "제3" 등에 관하여, 이는 특별히 순서 또는 순위의 의미를 뜻하는 것이 아니다. 본 고안을 제한하기 위한 것도 아니며, 동일한 기술적 용어로 설명되는 어셈블리 또는 동작을 구별하기 위한 것일 뿐이다.

다음으로, 본 문에서 예를 들어 사용되는 용어 "포함", "포괄", "구비", "함유" 등은 모두 개방적인 용어로, 즉 포함을 뜻하는 것으로, 제한적인 것이 아니다.

도 1 내지 도 7을 참조하면, 본 고안의 제1 실시예의 기체-고체 분리 시스템은 공정 폐기가스원 및 폐기가스 처리 장치 사이에 설치되는 사이클론 포집 장치(11)를 적어도 포함한다. 사이클론 포집 장치(11) 및 폐기가스 처리 장치에 의해 공정 폐기가스원이 발생하는 공정 폐기가스를 처리하도록 한다. 사이클론 포집 장치(11)는 연통되는 가스 출입 챔버(10) 및 사이클론 분리 챔버(20)를 적어도 포함한다. 본 고안의 사이클론 포집 장치(11)에서, 가스 출입 챔버(10)의 챔버 몸체에는 각각 2개의 개구단을 구비하는 가스 유입관(12) 및 가스 유출관(14)이 설치된다. 가스 유입관(12) 및 가스 유출관(14)은 모두 중공 관체로, 여기서 가스 유입관(12)의 하나의 개구단은 가스 출입 챔버(10)의 내부와 연통되고, 가스 유입관(12)의 다른 하나의 개구단은 외부의 공정 폐기가스원(30)과 직접 또는 간접적으로 연결되어, 가스 출입 챔버(10)와 공정 폐기가스원(30)을 연통시킴으로써, 공정 폐기가스원(30)이 제공하는 입경이 불일치하는 많은 고체 입자 등 분진이 동반되는 공정 폐기가스를 유입하도록 한다. 또한, 공정 폐기가스가 가스 출입 챔버(10) 및/또는 사이클론 분리 챔버(20)에서 가스 선회류를 발생하도록 하여, 원심력에 의해 공정 폐기가스로부터 입경이 기설정 값보다 큰 고체 입자를 분리하여, 고체 입자를 포집하는 목적에 달한다.

공정 폐기가스원(30)은 예를 들어 공정 폐기가스를 생산할 수 있는 반도체 공정실이지만, 여기에 제한되지 않으며, 고체 입자가 동반되는 가스를 제공할 수 있는 공정 장치이면 모두 본 고안의 적용 범위에 해당된다. 가스 유출관(14)의 하나의 개구단은 흡기구(15)로, 흡기구(15)는 가스 출입 챔버(10)의 내부와 연통되고, 바람직하게는 가스 출입 챔버(10)의 내부로 연장된다. 가스 유출관(14)의 다른 하나의 개구단은 외부의 폐기가스 처리 장치, 예를 들어 음압 폐기가스 처리 장치(40)와 직접 또는 간접적으로 연통되어, 가스 출입 챔버(10)와 음압 폐기가스 처리 장치(40)를 연통함으로써, 흡입력을 이용하여 분리 처리가 끝난 공정 폐기가스를 음압 폐기가스 처리 장치(40)로 가이드하여, 공정 폐기가스 중 나머지 입경의 고체 입자를 추가로 포집하도록 한다. 다시 말하면, 본 고안의 폐기가스 처리 장치는 음압 흡입력을 발생할 수 있는 음압 폐기가스 처리 장치를 예로 하였으나, 이로 본 고안을 제한하는 것이 아니다. 본 고안은 기타 형식의 폐기가스 처리 장치에 적용될 수도 있다. 또는 사이클론 포집 장치와 폐기가스 처리 장치 사이에 펌프 등 흡기 장치 및/또는 배기 장치를 설치, 예를 들어, 본 고안은 예를 들어 펌프 등 펌핑 장치 및/또는 배기 장치를 선택적으로 추가 설치하여 가스 유입관 및/또는 가스 유출관과 연통시켜, 공정 폐기가스를 전송하도록 할 수도 있다. 본 고안이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 고안의 설명에 의해 펌핑 장치 및/또는 배기 장치를 어떻게 설치함으로써 공정 폐기가스를 전송할 수 있는 지를 명확하게 이해 가능하므로, 여기서 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.

본 고안의 기체-고체 분리 시스템의 사이클론 포집 장치에서, 가스 출입 챔버(10)는 예를 들어 내부 중공인 원통형 챔버 몸체 또는 내부 중공이고 내경이 위에서 아래로 점차적으로 좁아지는 원뿔형 챔버 몸체이다. 사이클론 분리 챔버(20)는 예를 들어 내부 중공이고 내경이 위에서 아래로 점차적으로 좁아지는 원뿔형 챔버 몸체이며, 여기서 가스 출입 챔버(10)는 사이클론 분리 챔버(20)와 연통된다. 가스 출입 챔버(10)의 바닥부는 사이클론 분리 챔버(20)의 윗 부분과 일체로 형성되어 연결되는 것이 바람직하나, 이에 제한되지 않는다. 예를 들면, 본 고안의 가스 출입 챔버(10)는 예를 들어 사이클론 분리 챔버(20)와 고정 또는 착탈 가능 방식으로 연결될 수도 있다. 또한, 가스 유입관(12)은 가스 출입 챔버(10)의 챔버 몸체에 설치되고, 가스 유입관(12)의 관체의 축선 방향은 가스 출입 챔버(10)의 챔버 몸체의 접선 방향과 실질적으로 평행된다. 가스 유입관(12)은 가스 출입 챔버(10)의 챔버 몸체에 경사지게 설치되는 것이 바람직하며, 즉 가스 유입관(12)의 관체의 축선 방향은 가스 출입 챔버(10)의 챔버 몸체의 횡단면과 평행되지 않는 것이 바람직하다. 예를 들면, 가스 유입관(12)의 관체의 축선 방향은 가스 출입 챔버(10)의 챔버 몸체의 횡단면에 대해 실질적으로 90도보다 작은 각도인 것이 바람직하다.

따라서, 공정 폐기가스원(30)이 제공하는 공정 폐기가스는 가스 유입관(12)을 통해 가스 출입 챔버(10)의 챔버 몸체의 접선과 실질적으로 평행되는 방향으로 가스 출입 챔버(10)로 유입된다. 공정 폐기가스는 경사진 방향으로 위에서 아래로 가스 출입 챔버(10)로 유입되어, 공정 폐기가스가 가스 출입 챔버(10)에서 가스 선회류를 발생시키도록 한다. 여기서, 공정 폐기가스의 가스 선회류 방향은 가스 유입관(12)이 가스 출입 챔버(10)에 대한 설치 위치에 의해 정해진다. 예를 들면, 가스 유입관(12)이 가스 출입 챔버(10)의 좌측에 설치될 경우, 가스 출입 챔버(10)로 유입된 공정 폐기가스는 가스 출입 챔버(10)의 좌측에서 가스 출입 챔버(10)의 우측으로 회전하게 되며, 즉 시계 방향으로의 가스 선회류이다. 반대로, 가스 유입관(12)이 가스 출입 챔버(10)의 우측에 설치될 경우, 가스 출입 챔버(10)로 유입된 공정 폐기가스는 가스 출입 챔버(10)의 우측에서 가스 출입 챔버(10)의 좌측으로 회전하게 되며, 즉 시계 역방향으로의 가스 선회류이다.

또한, 가스 유입관(12)이 가스 출입 챔버(10)의 챔버 몸체에 위에서 아래로 경사지게 설치된다. 따라서, 공정 폐기가스가 위에서 아래로 가스 유입관(12)을 통해 가스 출입 챔버(10)로 진입될 경우, 공정 폐기가스는 추세에 따라 사이클론 분리 챔버(20)로 진입하게 되고, 위에서 아래로 행진 및 회전하는 가스 선회류가 발생하게 된다. 공정 폐기가스에 입경이 불일치한 고체 입자가 많이 동반되어 있고, 고체 입자의 중량이 가스의 중량보다 크다. 따라서, 공정 폐기가스에 의해 가스 선회류가 발생할 경우, 회전에 의한 원심력에 의해 공정 폐기가스로부터 입경이 실질적으로 기설정 값보다 큰 고체 입자를 분리할 수 있으므로, 고체 입자를 포집하는 목적에 달할 수 있다. 여기서 상기 기설정 값은 예를 들어 2μm 내지 0.01μm 사이이나, 여기에 제한되지 않으며, 상기 기설정 값은 0.01μm보다 큰 것이 바람직하다. 또한, 사이클론 분리 챔버(20)는 내경이 위에서 아래로 점차적으로 좁아지는 원뿔형 챔버 몸체이므로, 고체 입자가 사이클론 분리 챔버(20)의 챔버 몸체를 따라 하부를 향해 사이클론 분리 챔버(20) 바닥부의 고체 입자 수집구(22)로 회전하게 된다. 이로써 공정 폐기가스로부터 고체 입자를 분리 및 포집하는 목적에 달한다. 본 고안의 하나의 특징은 공정 폐기가스가 위에서 아래로 행진 및 회전하는 가스 선회류을 발생하게 함으로써, 공정 폐기가스로부터 입경이 실질적으로 기설정 값보다 큰 고체 입자를 분리하는 효과에 달할 수 있다.

본 고안의 사이클론 분리 챔버(20)는 고체 입자 수집구(22)에 설치되어, 고체 입자 수집구(22)의 개방 또는 폐쇄를 제어하는 제1 개폐 밸브(24)가 선택적으로 구비된다. 제1 개폐 밸브(24)의 형식 및 형태에는 특별한 제한이 없다. 예를 들어 고체 입자 수집구(22)에 고정 또는 착탈 가능 방식으로 설치되는 제어 밸브일 수 있거나, 또는 클램프(21)에 의해 고체 입자 수집구(22)에 착탈 가능 방식으로 클램핑되는 밀폐 플레이트 몸체일 수 있다. 본 고안의 다른 하나의 특징은 제1 개폐 밸브(24)를 제어하여 고체 입자 수집구(22)를 개방하면, 고체 입자 수집구(22)로부터 고체 입자를 제거할 수 있다. 여기서, 일부 도면에서는 전체적인 도시를 명확하게 표시하기 위해 클램프(21)에 대한 도시를 생략하였다.

이 외에, 본 고안의 사이클론 포집 장치(11)는 수집조(50)를 선택적으로 구비할 수 있어, 바람직한 고체 입자 수집 효과를 구비하고, 먼지 폭풍 현상에 의해 고체 입자가 날리는 것을 효율적으로 방지할 수 있다. 수집조(50)의 윗단은 개구로, 해당 개구는 사이클론 분리 챔버(20)의 고체 입자 수집구(22)와 대응된다. 수집조(50)는 예를 들어 원뿔형 챔버 몸체, 원통형 챔버 몸체 또는 그의 임의의 조합일 수 있다. 예를 들면, 수집조(50)는 예를 들어 관 직경이 위에서 아래로 점차적으로 넓어지는 원뿔형 챔버 몸체, 원통형 챔버 몸체 및 관 직경이 위에서 아래로 점차적으로 좁아지는 원뿔형 챔버 몸체 조합으로 구성될 수 있다. 다시 말하면, 본 고안의 수집조(50)는 특정된 형상에 제한되지 않고, 수집조(50)에 고체 입자를 보관할 수만 있으면, 본 고안이 청구하는 보호 범위에 해당된다. 여기서, 수집조(50)는 예를 들어 사이클론 분리 챔버(20)와 고정 또는 착탈 가능 방식으로 연결될 수 있다. 수집조(50)가 사이클론 분리 챔버(20)와 착탈 가능 방식으로 연결되는 것을 예로 하면, 본 고안은 먼저 제1 개폐 밸브(24)의 형식에 의해 제1 개폐 밸브(24)를 개방, 제거 또는 나아가 생략할 수 있고, 수집조(50)를 사이클론 분리 챔버(20)의 고체 입자 수집구(22)에 연결하고, 예를 들어 클램프(21)를 이용하여 사이클론 분리 챔버(20)와 수집조(50)의 연결 부분을 클램핑할 수 있다. 따라서, 고체 입자 수집구(22)가 개방 상태이다. 고체 입자 수집구(22)에 수집조(50)가 연결되어 있을 경우, 분리된 고체 입자는 고체 입자 수집구(22)를 통해 수집조(50)로 진입할 수 있고, 수집조(50)에 임시로 보관된다. 수집조(50)에 임시 보관되어 있는 고체 입자의 제거가 필요할 경우, 사용자는 고체 입자 수집구(22)를 폐쇄한 후 수집조(50)를 분해하면, 수집조(50)의 개구로부터 고체 입자를 쏟아낼 수 있다. 다시 말하면, 본 고안은 수집조(50) 내에 임시 보관되어 있는 고체 입자를 제거할 경우, 공정 폐기가스원(30) 및/또는 음압 폐기가스 처리 장치(40)를 정지할 필요가 없으므로, 공정 폐기가스를 지속적이고 연속적으로 처리하는 효과에 달할 수 있다.

또한, 수집조(50)가 사이클론 분리 챔버(20)와 고정 또는 착탈 가능 방식으로 연결되는 것을 예로 하면, 본 고안의 수집조(50)는 배출관(52)을 선택적으로 구비할 수 있다. 여기서 배출관(52)은 예를 들어 사이클론 분리 챔버(20) 또는 수집조(50)에 연결될 수 있다. 예를 들면, 수집조(50)는 예를 들어 추가로 배출관(52)을 통해 음압 폐기가스 처리 장치(40)의 필터 어셈블리와 연통되어, 고체 입자를 음압 폐기가스 처리 장치(40)로 배출하여 제거 처리를 진행하도록 할 수 있다. 여기서, 배출관(52)은 종향 설치가 바람직하다. 중력을 이용하여 고체 입자가 자체 중량에 의해 음압 폐기가스 처리 장치(40)로 배출될 수 있도록 함으로써, 예를 들어 필터링 방식을 통해 고체 입자를 제거한다. 수집조(50)의 배출관(52)은 제2 개폐 밸브(54)를 선택적으로 구비할 수 있으며, 제2 개폐 밸브(54)는 임의의 방식의 개폐 밸브로, 배출관(52)의 개방 또는 개폐를 제어할 수 있다. 또한, 바람직한 고체 입자 분리 효과를 얻기 위해, 본 고안에서 가스 출입 챔버(10)의 높이 값을 가스 출입 챔버(10)의 내경과 나눈 값은 1과 2 사이 및/또는 사이클론 분리 챔버(20)의 높이 값을 가스 출입 챔버(10)의 내경과 나눈 값은 1과 2 사이인 것이 바람직하다. 그러나, 해당 수치는 예시에 불과할 뿐, 본 고안의 범위를 제한하는 것이 아니다.

이 외에, 본 고안의 사이클론 포집 장치(11)에서, 가스 출입 챔버(10)의 가스 유출관(14)의 하나의 개구단은 흡기구(15)로, 흡기구(15)는 가스 출입 챔버(10)의 내부와 연통된다. 흡기구(15)의 개구 방향은 고체 입자의 흡입을 방지하도록 고체 입자 수집구(22) 및/또는 가스 유입관(12)의 가스 출구를 피하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 가스 출입 챔버(10)의 가스 유출관(14)은 예를 들어 가스 출입 챔버(10)의 내부로 연장되고 흡기구(15)는 예를 들어 가스 출입 챔버(10)의 중심축에 위치할 수 있다. 여기서 공정 폐기가스가 가스 유출관(14)의 흡기구(15)로 진입하는 방향은 가스 유출관(14)이 공정 폐기가스를 이송하는 방향과 실질적으로 수직 또는 평행되며, 즉 흡기구(15)의 개구 방향은 예를 들어 상향 또는 측변을 향할 수 있다. 그러나, 본 고안의 가스 유출관(14)의 설계 및 흡기구(15)의 개구 방향은 상술한 예시에 제한되지 않는다. 가스 유출관(14)의 흡기구(15)는 예를 들어 가스 출입 챔버(10)의 챔버 몸체에 설치될 수 있거나, 또는 가스 유출관(14)의 흡기구(15)는 예를 들어 하방을 향할 수도 있으며, 공정 폐기가스를 흡출할 수만 있다면 본 고안이 청구하는 보호 범위에 해당된다. 이 외에, 가스 유출관(14)은 가스 출입 챔버(10)의 내부로 연장되도록 예를 들어 가스 출입 챔버(10)의 챔버 몸체의 측벽 또는 상벽에 설치될 수 있다. 그리고, 가스 유출관(14)의 흡기구(15)는 예를 들어 가스 유출관(14)의 일단 또는 관체에 설치될 수 있다. 공정 폐기가스가 흡기구(15)로 진입하는 방향은 가스 유출관(14)이 공정 폐기가스를 이송하는 방향과 수직되는 것에 제한되지 않고, 예를 들어 가스 유출관(14)이 공정 폐기가스를 이송하는 방향과 평행되는 것일 수도 있다.

가스 출입 챔버(10)의 가스 유출관(14)의 다른 하나의 개구단은 외부의 음압 폐기가스 처리 장치(40)와 직접 또는 간접적으로 연결된다. 따라서, 음압 폐기가스 처리 장치(40) 작동 시 발생하는 음압 흡입력에 의해, 가스 유출관(14)의 흡기구(15)로부터 분리 처리가 끝난 공정 폐기가스를 흡입하고, 공정 폐기가스를 음압 폐기가스 처리 장치(40)로 이송하여 공정 폐기가스를 추가로 분리 처리하도록 할 수 있다. 여기서, 상술한 공정 폐기가스에서 입경이 실질적으로 기설정 값보다 큰 고체 입자가 분리되었으므로, 음압 폐기가스 처리 장치(40)는 공정 폐기가스에서 입경이 실질적으로 상술한 기설정 값보다 작거나 또는 같은 고체 입자를 추가로 분리할 수 있다.

상술한 음압 폐기가스 처리 장치(40)는 벤투리관 원리를 이용한 습식 처리 장치를 예로 하였다. 여기서 음압 폐기가스 처리 장치(40)는 예를 들어 음압 제트파이프(41)를 이용하여 세정액을 고속으로 분출하여 음압을 발생시키고, 가스 출입 챔버(10)의 가스 유출관(14)과 연통되는 가스 관로(42)를 통해 상기 고체 입자 포집이 끝난 공정 폐기가스를 흡입한다. 세정액이 하부를 향하여 처리조의 내부조(43) 내의 세정액을 고속으로 충격할 경우, 공정 폐기가스를 미세 기포로 절단하게 된다. 미세 기포가 처리조의 내부조(43)의 세정액의 깊은 곳에서 상부를 향하여 이동하는 과정에서, 미세 기포는 공정 폐기가스 중 남은 입경의 고체 입자를 충분히 혼합시킬 수 있다. 또한, 미세 기포가 더 많이 발생하게 될 경우, 미세 기포는 처리조의 내부조(43)의 세정액에서 아래에서 위로 액면으로 확산하게 된다. 처리조의 외부조(44) 상방으로 추가로 확산되어 깨지게 되어, 공정 폐기가스 중 나머지 입경의 고체 입자가 외부조(44)의 세정액에 떨어지게 된다. 다음으로, 필터링 어셈블리(45)를 이용하여 처리조의 외부조(44) 내의 세정액을 필터링하면, 고체 입자를 필터링 제거할 수 있다. 따라서, 고체 입자를 필터링 제거한 세정액은 처리조의 내부조(43) 내로 다시 주입될 수 있다. 이로써 음압 발생 및 공정 폐기가스를 미세 기포로 절단하도록 한다. 여기서, 미세 기포가 처리조의 내부조(43) 상방으로 확산될 경우, 기체-액체 분리 어셈블리(46)는 수증기 및 고체 입자를 필터링 및 포집하는 기능을 수행하고, 가스만이 기체-액체 분리 어셈블리(46)를 통과하도록 하므로, 그의 배출 통로(47)로부터 처리가 끝난 건조 공정 폐기가스를 배출할 수 있다. 배출 통로(47)에는 기체-액체 분리 어셈블리를 추가로 설치할 수도 있으며, 이로써 수증기를 포집하여 더 건조한 공정 폐기가스를 배출하도록 한다. 여기서, 음압 폐기가스 처리 장치(40)는 예를 들어 스프레이 어셈블리(48)에 의해 기체-액체 분리 어셈블리(46)를 세척하여, 고체 입자가 내부조(43) 또는 외부조(44)의 세정액에 떨어지도록 할 수 있다. 상술한 기체-액체 분리 어셈블리(46)는 예를 들어 직경이 약 100μm 내지 1μm의 유리 섬유로 구성된 섬유 미스트 제거기이며, 이로써 수증기 및 고체 입자를 필터링하고 가스만이 통과되도록 한다. 상술한 음압 제트파이프(41)는 예를 들어 흡입 챔버(72) 및 분사관(74)을 구비하고, 흡입 챔버(72)의 측벽은 적어도 하나의 흡입구를 구비하여 가스 관로(42)와 연통되도록 한다. 분사관(74)의 윗단은 입사구로서 세정액을 주입하고, 분사관(74)의 바닥단은 출사구로서 흡입 챔버(72)의 내부로 연장되어, 세정액을 흡입 챔버(72)로 분사함으로써 음압 흡입력이 발생하도록 한다. 여기서 흡입 챔버(72)의 바닥부에는 순차로 혼합관(76) 및 확산관(78)이 연결되어 있고, 혼합관(76) 및/또는 확산관(78)은 내부조(43)의 세정액에 침지되어 미세 기포가 세정액에서의 시간을 증가하도록 한다. 그 외에, 흡입 챔버(72) 및/또는 가스 관로(42)의 내부는 세척 부재를 선택적으로 구비할 수 있으며, 예를 들어 가스 및/또는 액체 등 유체를 분사함으로써, 그의 내부를 세척하는 효과에 달하도록 한다.

도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 본 고안의 기체-고체 분리 시스템은 다수 개의 사이클론 포집 장치(11)를 구비할 수 있다. 즉 단일 조의 가스 출입 챔버 및 사이클론 분리 챔버를 구비할 수 있는 것 외에, 다수 조의 가스 출입 챔버 및 사이클론 분리 챔버를 구비할 수도 있다. 수량 및 조합 방식은 특별히 제한되지 않고, 공정 폐기가스로부터 고체 입자를 분리하는 목적에 달할 수만 있다면, 본 고안이 청구하는 보호 범위에 해당된다. 또한, 사이클론 포집 장치(11)의 가스 출입 챔버(10) 및 사이클론 분리 챔버(20)의 구조는 제1 실시예에서 설명한 바와 같으므로, 여기서 이에 대한 설명은 생략하기로 한다. 본 고안의 제2 실시예에 있어서, 예를 들면, 본 고안의 사이클론 포집 장치(11)는 직렬 연결, 병렬 연결 및 직렬 연결과 병렬 연결 형태일 수 있다. 직렬 연결 형태를 예로 하면, 다수 개의 사이클론 포집 장치(11)에서, 인접하는 2개의 가스 출입 챔버(10)에서 전자의 가스 유출관(14)은 후자의 가스 유입관(12)과 직렬 연결 방식으로 연통된다. 또한, 2개의 최외측의 가스 출입 챔버(10)의 가스 유입관(12) 및 가스 유출관(14)은 전술한 바와 같이 각각 공정 폐기가스원(30) 및 음압 폐기가스 처리 장치(40)로 연통되므로, 여기서 이에 대한 설명은 생략하기로 한다. 병렬 연결 형태를 예로 하면, 다수 개의 사이클론 포집 장치(11)에서, 인접하는 2개의 가스 출입 챔버(10)에서 하나의 가스 유입관(12)은 예를 들어 연통 관로(16)를 통해 다른 하나의 가스 유입관(12)과 병렬 연결 방식으로 연통된다. 해당 연통 관로(16)의 일단은 공정 폐기가스원(30)으로 연통되어 공정 폐기가스가 유입되도록 한다. 인접하는 2개의 가스 출입 챔버(10)에서 하나의 가스 유출관(14)은 예를 들어 다른 하나의 연통 관로(18)를 통해 다른 하나의 가스 유출관(14)과 병렬 연결 방식으로 연통되고, 해당 연통 관로(18)의 일단은 음압 폐기가스 처리 장치(40)로 연통된다. 직렬 연결 및 병렬 연결이 동시인 형태를 예로 하면, 다수 개의 사이클론 포집 장치(11)는 다수 개의 병렬 연결 및 직렬 연결의 가스 출입 챔버(10) 및 대응되는 가스 출입 챔버(10)와 연통되는 다수 개의 사이클론 분리 챔버(20)를 구비할 수 있다. 여기서 병렬 연결 및 직렬 연결의 방식은 상술한 바와 같으므로, 여기서 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.

도 10에 도시된 바와 같이, 본 고안의 제3 실시예에 있어서, 본 고안의 기체-고체 분리 시스템은 플라즈마 애셔(Plasma Asher, 60)를 선택적으로 더 포함한다. 여기서 해당 플라즈마 애셔는 예를 들어 전술한 실시예의 가스 출입 챔버(10)와 음압 폐기가스 처리 장치(40) 사이에 설치된다. 즉 공정 폐기가스는 가스 유출관(14)을 통해 가스 출입 챔버(10)에서 플라즈마 애셔(60)로 진입할 수 있고, 플라즈마 애싱 처리가 끝난 후 다시 가스 유출관(14) 또는 기타 관로를 통해 음압 폐기가스 처리 장치(40)로 진입한다. 이로써 음압 폐기가스 처리 장치(40)에서 공정 폐기가스를 분리 처리하기 전에, 먼저 상술한 공정 폐기가스를 애싱 처리하여, 고체 입자가 추가로 미세화되도록 할 수 있다. 여기서, 플라즈마 애셔(60)는 임의의 형식 또는 유형의 플라즈마 애셔일 수 있다. 공정 폐기가스에 동반되는 입경이 실질적으로 상술한 기설정 값보다 크거나, 작거나 또는 동일한 고체 입자의 입경이 더 작게 될 수만 있다면, 본 고안이 청구하는 보호 범위에 해당된다. 동일한 이유로, 해당 플라즈마 애싱 장치는 또는 예를 들어 전술한 실시예의 가스 출입 챔버(10)와 공정 폐기가스원(30) 사이에 설치될 수 있다. 이로써 공정 폐기가스를 가스 출입 챔버(10)로 유입하여, 원심 분리 처리를 하기 전에, 먼저 해당 공정 폐기가스를 애싱 처리하여, 고체 입자가 추가로 미세화될 수 있도록 한다.

본 고안의 기체-고체 분리 시스템에 있어서, 공정 폐기가스 또는 이에 동반되는 고체 입자를 접촉하는 표면, 예를 들어 가스 출입 챔버, 사이클론 분리 챔버, 가스 유입관 및/또는 가스 유출관의 표면은 예를 들어 미리 버프, 코팅 또는 개질 등 스무딩 또는 윤활 처리를 통해 표면 조도를 낮출 수 있다. 이로써 고체 입자가 챔버 몸체 및/또는 관로의 내벽에 부착되어 공정 폐기가스의 유동을 저해하는 것을 방지할 수 있고, 공정 폐기가스가 원활한 유동을 유지할 수 있다. 또한, 표면 조도가 낮아질 수록, 고체 입자의 부착 또는 침적을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 고체 입자의 포집률도 더 우수해진다. 또한, 본 고안의 사이클론 포집 장치에서, 가스 출입 챔버, 사이클론 분리 챔버, 가스 유입관 및/또는 가스 유출관의 재질은 예를 들어 스테인리스 강 재질 또는 플라스틱 재질일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.

도 11에 도시된 바와 같이, 이는 본 고안의 제1 실시예의 사이클론 포집 장치의 고체 입자 제거율을 나타내는 데이터로, 여기서 가로 좌표는 유량(flow rate)이고, 세로 좌표는 포집률(trapped rate)이다. 본 고안의 가스 출입 챔버(10)는 가스 유입관(12)을 구비하여 공정 폐기가스원(30)과 연통되고, 여기서 공정 폐기가스원(30)은 상술한 공정 폐기가스를 제공한다. 공정 폐기가스가 가스 출입 챔버(10)로 유입되는 유량은 예를 들어 약 1,000SLM보다 작으며, 유량은 바람직하게는 약 800SLM보다 작고, 더 바람직하게는 약 200SLM보다 작다. 공정 폐기가스의 유량이 200SLM인 것을 예로 하면, 입경이 2μm인 고체 입자의 포집률은 약 65%에 달할 수 있고, 입경이 0.1μm인 고체 입자의 포집률은 약 20%에 달할 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 고안의 기체-고체 분리 시스템은 다음의 장점을 하나 이상 구비할 수 있다: (1)공정 폐기가스에 의해 가스 선회류를 발생시켜, 고체 입자를 분리할 수 있고, 이로써 고체 입자를 포집한다. (2)고체 입자를 수집조에 수집함으로써, 공정 폐기가스원 또는 음압 폐기가스 처리 장치를 정지하지 않고도 포집된 고체 입자를 제거할 수 있다. (3)플라즈마 애셔에 의해 공정 폐기가스를 애싱함으로써, 음압 폐기가스 처리 장치가 공정 폐기가스를 분리 처리하기 전에, 미리 고체 입자를 미세화할 수 있다. (4)배출관이 음압 폐기가스 처리 장치와 연통됨으로써, 공정 폐기가스원 또는 음압 폐기가스 처리 장치를 정지하지 않고도 포집된 고체 입자를 배출할 수 있다. (5)사이클론 포집 장치 및 음압 폐기가스 처리 장치를 결합함으로써, 청결 및 유지 보수 기간을 연장시킬 수 있으며, 즉 음압 폐기가스 처리 장치의 챔버 몸체 내부의 잦은 청결과 유지 보수가 필요없다. (6)다수의 사이클론 포집 장치의 직렬 연결 및/또는 병렬 연결에 의해, 고체 입자의 포집률을 증가할 수 있으며, 이로써 청결 및 유지 보수 기간을 추가로 연장시킨다. (7)표면 조도를 낮춤으로써, 공정 폐기가스에 동반되는 고체 입자가 챔버 몸체 및 관체의 내부면에 부착되는 것을 방지할 수 있다.

이상은 예시적인 것이며 제한적인 것이 아니다. 본 고안의 사상과 범주를 벗어나지 않으면서 이에 대한 임의의 동등한 수정 또는 변경은 모두 첨부되는 청구 범위에 포함될 것이다.

11: 사이클론 포집 장치
10: 가스 출입 챔버
12: 가스 유입관
14: 가스 유출관
15: 흡기구
16, 18: 연통 관로
20: 사이클론 분리 챔버
21: 클램프
22: 고체 입자 수집구
24: 제1 개폐 밸브
30: 공정 폐기가스원
40: 음압 폐기가스 처리 장치
41: 음압 제트파이프
42: 가스 관로
43: 내부조
44: 외부조
45: 필터링 어셈블리
46: 기체-액체 분리 어셈블리
47: 배출 통로
48: 스프레이 어셈블리
50: 수집조
52: 배출관
54: 제2 개폐 밸브
60: 플라즈마 애셔
72: 흡입 챔버
74: 분사관
76: 혼합관
78: 확산관
I-I`: 단면선

Claims (12)

1. 폐기가스 처리 장치; 및
   적어도 하나의 사이클론 포집 장치를 적어도 포함하며, 상기 사이클론 포집 장치는,
   공정 폐기가스원과 연통되는 가스 유입관 및 상기 폐기가스 처리 장치와 연통되는 가스 유출관을 구비하는 가스 출입 챔버;
   상기 가스 출입 챔버와 연통되며, 여기서 상기 공정 폐기가스원이 제공하는 공정 폐기가스는 흡입력에 의해, 상기 가스 유입관을 통해 상기 가스 출입 챔버의 챔버 몸체의 접선과 실질적으로 평행되는 방향으로 상기 가스 출입 챔버로 유입되어, 상기 공정 폐기가스가 상기 가스 출입 챔버 및 사이클론 분리 챔버 중 적어도 하나에서 가스 선회류를 발생하도록 하고, 원심력에 의해 상기 공정 폐기가스로부터 입경이 기설정 값보다 큰 고체 입자를 분리하며, 여기서 상기 가스 유출관은 원심 분리 처리가 끝난 상기 공정 폐기가스를 상기 폐기가스 처리 장치로 전송하여 상기 공정 폐기가스로부터 나머지 입경의 고체 입자를 추가로 분리하도록 하는 상기 사이클론 분리 챔버; 및
   상기 사이클론 분리 챔버의 고체 입자 수집구와 연통되어, 상기 고체 입자 수집구를 통해 고체 입자를 수집조로 수집하는 상기 수집조;를 적어도 포함하는 기체-고체 분리 시스템.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 가스 출입 챔버의 높이 값을 상기 가스 출입 챔버의 내경과 나눈 값이 1과 2 사이 및 상기 사이클론 분리 챔버의 높이 값을 상기 가스 출입 챔버의 내경과 나눈 값이 1과 2 사이 중 적어도 하나인 기체-고체 분리 시스템.
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 폐기가스 처리 장치는 음압 폐기가스 처리 장치로, 분리 처리가 끝난 상기 공정 폐기가스는 상기 음압 폐기가스 처리 장치 작동 시 발생하는 상기 흡입력에 의해, 상기 가스 유출관을 통해 상기 음압 폐기가스 처리 장치로 전송되는 기체-고체 분리 시스템.
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 흡입력은 상기 폐기가스 처리 장치와 상기 사이클론 포집 장치 사이에 설치되는 펌프에 의해 발생되는 기체-고체 분리 시스템.
5. 제 1 항에 있어서,
   상기 수집조는 상기 폐기가스 처리 장치와 연통되어, 고체 입자를 상기 폐기가스 처리 장치로 배출하는 배출관을 더 포함하는 기체-고체 분리 시스템.
6. 제 1 항에 있어서,
   상기 가스 출입 챔버와 상기 폐기가스 처리 장치 사이 및 상기 가스 출입 챔버와 상기 공정 폐기가스원 사이 중 적어도 하나에 설치되어, 상기 공정 폐기가스에 동반되는 고체 입자를 미세화하는 플라즈마 애셔(Plasma Asher)를 더 포함하는 기체-고체 분리 시스템.
7. 제 1 항에 있어서,
   상기 기설정 값은 0.01μm보다 큰 값인 기체-고체 분리 시스템.
8. 제 1 항에 있어서,
   상기 가스 유출관의 흡기구는 상기 가스 출입 챔버의 챔버 몸체에 위치되거나 또는 상기 가스 출입 챔버의 내부로 연장되는 기체-고체 분리 시스템.
9. 제 8 항에 있어서,
   상기 가스 유출관의 상기 흡기구의 개구 방향은 상기 사이클론 분리 챔버의 상기 고체 입자 수집구 및 상기 가스 유입구 중 적어도 하나의 가스 출구를 피하는 개구 방향인 기체-고체 분리 시스템.
10. 제 1 항에 있어서,
    상기 공정 폐기가스가 상기 가스 출입 챔버로 유입되는 유량은 1,000SLM보다 작은 기체-고체 분리 시스템.
11. 제 1 항에 있어서,
    상기 사이클론 포집 장치의 수량은 복수 개이며, 인접하는 상기 사이클론 포집 장치 중 하나의 상기 가스 유출관은 상기 사이클론 포집 장치 중 다른 하나의 상기 가스 유입관과 직렬 연결 방식으로 연통되는 기체-고체 분리 시스템.
12. 제 1 항에 있어서,
    상기 사이클론 포집 장치의 수량은 복수 개이며, 인접하는 상기 사이클론 포집 장치 중 하나의 상기 가스 유입관은 상기 사이클론 포집 장치 중 다른 하나의 상기 가스 유입관과 병렬 연결 방식으로 연통되고, 인접하는 상기 사이클론 포집 장치 중 상기 하나의 상기 가스 유출관은 상기 사이클론 포집 장치 중 상기 다른 하나의 상기 가스 유출관과 병렬 연결 방식으로 연통되는 기체-고체 분리 시스템.

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