KR20220000608U - Plating equipment - Google Patents

Plating equipment Download PDF

Info

Publication number
KR20220000608U
KR20220000608U KR2020200003248U KR20200003248U KR20220000608U KR 20220000608 U KR20220000608 U KR 20220000608U KR 2020200003248 U KR2020200003248 U KR 2020200003248U KR 20200003248 U KR20200003248 U KR 20200003248U KR 20220000608 U KR20220000608 U KR 20220000608U
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
plating
vertical
long
horizontal
unit
Prior art date
Application number
KR2020200003248U
Other languages
Korean (ko)
Inventor
고이치 가나이
요시아키 이토
Original Assignee
미토모 쎄미콘 엔지니어링 컴퍼니 리미티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 미토모 쎄미콘 엔지니어링 컴퍼니 리미티드 filed Critical 미토모 쎄미콘 엔지니어링 컴퍼니 리미티드
Priority to KR2020200003248U priority Critical patent/KR20220000608U/en
Publication of KR20220000608U publication Critical patent/KR20220000608U/en

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/1601Process or apparatus
    • C23C18/1619Apparatus for electroless plating
    • C23C18/1628Specific elements or parts of the apparatus
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/02Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/1601Process or apparatus
    • C23C18/1619Apparatus for electroless plating
    • C23C18/1628Specific elements or parts of the apparatus
    • C23C18/163Supporting devices for articles to be coated
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/1601Process or apparatus
    • C23C18/1619Apparatus for electroless plating
    • C23C18/1632Features specific for the apparatus, e.g. layout of cells and of its equipment, multiple cells
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D17/00Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D17/00Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
    • C25D17/06Suspending or supporting devices for articles to be coated
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D7/00Electroplating characterised by the article coated

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)

Abstract

본 고안은 전해 도금 또는 무전해 도금 중 어느 도금처리에 있어서도 적용할 수 있고, 장척 워크에 적합한, 범용성이 높은 도금장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 고안은 권출 수단으로부터 권출된 장척 워크를 수평 반송하면서 도금 전처리를 행하는 수평 반송부와, 수평 반송부로부터 송출된 장척 워크를 수평상태에서 수직상태로 형태를 변경하는 형태 변경부와, 수직상태로 된 장척 워크의 위쪽 끝을 파지하는 반송용 클립이 복수 설치된 무단상 체인 반송기구, 및 수직상태의 장척 워크에 도금처리를 행하기 위한 도금조를 갖는 수직 반송부와, 수직 반송부로부터 송출된 도금처리 후의 장척 워크를 권취 회수하는 권취부를 구비한 것을 특징으로 한다.
An object of the present invention is to provide a plating apparatus with high versatility that can be applied to either electrolytic plating or electroless plating, and is suitable for long work pieces.
In order to solve the above problems, the present invention is a horizontal conveying unit that performs plating pre-treatment while horizontally conveying the long work unwound from the unwinding means, and the form of changing the shape of the long work sent from the horizontal conveying unit from a horizontal state to a vertical state A vertical transfer unit having a change portion, an endless chain transfer mechanism provided with a plurality of transfer clips for holding the upper ends of the long work in a vertical state, and a plating tank for plating the long work in a vertical state; It is characterized in that the winding unit is provided for winding and collecting the long workpiece after plating sent from the vertical conveying unit.

Figure P2020200003248
Figure P2020200003248

Description

도금장치{PLATING EQUIPMENT}Plating Equipment {PLATING EQUIPMENT}

본 발명은 장척 워크에 도금처리를 행하는 도금장치에 관한 것으로, 특히, 전해, 무전해의 도금처리 어느 것에도 적용할 수 있는 범용성이 높은 도금장치에 관한 것이다.The present invention relates to a plating apparatus for performing a plating treatment on a long workpiece, and more particularly, to a highly versatile plating apparatus applicable to both electrolytic and electroless plating.

최근 들어, 스마트폰이나 휴대전화, 액정 텔레비전 등의 다양한 전자기기에는, 소형 경량화, 박형화 등의 요망으로부터, FPC(플렉시블 프린트 배선판) 등의 전자부품이 많이 이용되고 있다. In recent years, many electronic components, such as FPC (Flexible Printed Wiring Board), are used for various electronic devices, such as a smart phone, a mobile phone, and a liquid crystal television, from the request|requirement, such as small size and weight reduction, and thickness reduction.

FPC와 같은 전자부품은 절연성의 베이스 필름에, 동박 등의 도전성 재료를 맞붙인 기재로, 장척상의 형태를 가지고 있다(이하, 간단하게 장척 워크라고 한다). 이러한 장척 워크에는 도금처리나 에칭처리 등의 가공을 실시하여 목적하는 전자부품이 제조되고 있다. BACKGROUND ART An electronic component such as an FPC is a substrate in which a conductive material such as copper foil is bonded to an insulating base film, and has an elongated shape (hereinafter, simply referred to as a long work). Such long workpieces are subjected to processing such as plating or etching to manufacture desired electronic components.

이러한 장척 워크의 도금처리에서는, 롤형상으로 감긴 장척 워크를, 소위 「롤 투 롤」방식으로 불리는 도금장치나, 수직 반송 방식의 도금장치를 사용하여 도금처리하는 것이 알려져 있고, 그 도금방법으로서는 전해 도금이나 무전해 도금이 이용되고 있다. In the plating process for such long workpieces, it is known that a long workpiece wound in a roll shape is plated using a plating apparatus called a so-called "roll-to-roll" method or a plating apparatus of a vertical transfer method. Plating or electroless plating is used.

롤 투 롤 방식의 도금장치에서는, 복수의 롤을 통과하여 장척 워크가 연속적으로 도금조를 수평 반송됨으로써 장척 워크에 도금처리를 행한다. 또한, 수직 반송 방식의 도금장치는 권출한 장척 워크를 수직상태로 유지할 수 있도록 하여, 도금조의 중앙위치에 수직상태의 장척 워크를 배치할 수 있는 기구를 가진 설비로서, 수직상태의 장척 워크의 상단부를 유지하고, 유지된 상단부보다 아래쪽의 워크 부분을, 도금조 내를 통과하도록 수직 반송하여 도금처리를 행한다. 이 두 방식의 도금장치는 수평 반송과 수직 반송이라고 하는 방식의 차이에 의한 각각의 장점이 있다. 이 때문에, 전해 도금 또는 무전해 도금 중 어느 도금처리를 행하는지, 또한 장척 워크의 특성 등을 고려하여, 어느 하나의 방식을 선택한 도금장치가 이용되고 있는 것이 현재 상황이다. 예를 들면, 무전해 도금처리를 행하는 경우, 롤 투 롤 방식의 도금장치이면, 롤이 도금조 내에 배치되기 때문에, 롤에 무전해 도금처리되는 경우가 생긴다. 이 때문에, 무전해 도금처리의 경우에는 롤 투 롤 방식은 채용되기 어렵다. In a roll-to-roll type plating apparatus, a long workpiece is continuously horizontally conveyed through a plating tank through a plurality of rolls to perform a plating treatment on a long workpiece. In addition, the vertical conveying type plating apparatus is a facility with a mechanism to maintain the unwound long work in a vertical state, and to arrange the long work in a vertical state at the center position of the plating tank. is maintained, and the portion of the work lower than the held upper end is vertically conveyed so as to pass through the plating bath to perform plating. Each of these two types of plating apparatus has advantages due to the difference between horizontal conveying and vertical conveying. For this reason, the current situation is that a plating apparatus in which either method is selected is used in consideration of which plating treatment is performed, the electroplating or the electroless plating, and the characteristics of a long work piece. For example, in the case of electroless plating, if the roll-to-roll plating apparatus is a roll-to-roll type plating apparatus, since the rolls are disposed in the plating bath, the rolls may be subjected to the electroless plating treatment. For this reason, in the case of electroless plating, it is difficult to employ|adopt a roll-to-roll method.

이러한 사정을 배경으로 하여, 본 고안은 전해 도금 또는 무전해 도금 중 어느 도금처리에 있어서도 적용할 수 있고, 장척 워크에 적합한, 범용성이 높은 도금장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. Against this background, an object of the present invention is to provide a plating apparatus with high versatility that can be applied to any plating treatment of electrolytic plating or electroless plating, and is suitable for long work pieces.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 고안자들은 권출(unwinding) 수단으로부터 권출된 장척 워크를 서로 연결하는 처리를 행할 때는 장척 워크를 수평상태로 하고, 도금 전처리까지 장척 워크를 수평상태로 하는 수평 반송부분의 설비와, 장척 워크를 수직상태로 하여 도금처리를 행하는 수직 반송부분의 설비를 조합시킨 롤 투 롤 방식의 도금장치를 고안하였다. 본 고안은 권출 수단으로부터 권출된 장척 워크를 수평 반송하면서 도금 전처리를 행하는 수평 반송부와, 수평 반송부로부터 송출된 장척 워크를 수평상태에서 수직상태로 형태를 변경하는 워크 형태 변경부와, 수직상태로 된 장척 워크의 위쪽 끝을 파지하는 반송용 클립이 복수 설치된 무단상(無端狀) 체인 반송기구, 및 수직상태의 장척 워크에 도금처리를 행하기 위한 도금조를 갖는 수직 반송부와, 수직 반송부로부터 송출된 도금처리 후의 장척 워크를 권취(winding) 회수하는 권취부를 구비한 것을 특징으로 하는 도금장치에 관한 것이다.In order to solve the above problems, the present inventors make the long workpiece horizontal when performing a process for connecting the long workpieces unwound from the unwinding means to each other, and horizontal conveying part in which the long workpieces are horizontal until plating pretreatment. A roll-to-roll type plating apparatus was devised in which the equipment and the equipment of the vertical conveying part for plating the long workpiece in a vertical state were combined. The present invention provides a horizontal conveying unit that performs plating pretreatment while horizontally conveying the long work unwound from the unwinding means, a work shape changing unit that changes the shape of the long work sent out from the horizontal conveying unit from a horizontal state to a vertical state, and a vertical state A vertical conveying unit having an endless chain conveying mechanism provided with a plurality of conveying clips for holding the upper end of a long work made of metal, and a plating tank for plating a vertical long work; It relates to a plating apparatus characterized by comprising a winding unit for winding and collecting a long work piece after plating sent out from the unit.

본 고안의 도금장치에서는,도금 전처리를 행하는 부분에서는 장척 워크를 수평상태에서 반송하는 것이다. 즉, 본 고안의 도금장치의 수평 반송부는 롤 투 롤 방식을 채용하고 있다. 그리고, 도금처리를 행하는 부분에서는, 장척 워크를 수직상태로 하여, 도금조 내를 수직상태에서 반송하는 수직 반송 방식을 채용하고 있다. 이 때문에, 본 고안의 도금장치에서는, 수평 반송부와 수직 반송부 사이에는, 장척 워크의 형태를 수평상태에서 수직상태로 변경하는 워크 형태 변경부가 설치되어 있다. In the plating apparatus of the present invention, a long workpiece is conveyed in a horizontal state in the portion to be subjected to plating pretreatment. That is, the horizontal conveying unit of the plating apparatus of the present invention adopts a roll-to-roll method. And in the part where the plating process is performed, the vertical conveyance method of making a long workpiece|work in a vertical state and conveying the inside of a plating tank in a vertical state is employ|adopted. For this reason, in the plating apparatus of this invention, the workpiece|work shape change part which changes the shape of a long workpiece|work from a horizontal state to a vertical state is provided between a horizontal conveyance part and a vertical conveyance part.

본 고안의 도금장치에 있어서의 워크 형태 변경부는 그 기구에 특별히 제한은 없으나, 장척 워크를 수평상태에서 수직상태로 변경할 때, 주름이나 꺾어짐 등이 발생하지 않도록 한다. 예를 들면, 45°경사지게 한 2개의 롤러를 순차 통과시킴으로써, 수평상태(0°)의 장척 워크를 수직상태(90°)로 변경할 수 있다. There is no particular limitation on the mechanism of the workpiece shape change part in the plating apparatus of the present invention, but when changing a long workpiece from a horizontal state to a vertical state, wrinkles or creases do not occur. For example, by sequentially passing two rollers inclined at 45°, a long workpiece in a horizontal state (0°) can be changed to a vertical state (90°).

본 고안의 도금장치에 의하면, 도금 방식으로서 전해 도금 또는 무전해 도금 중 어느 방법도 채용하는 것이 가능해진다. 전해 도금의 경우, 장척 워크의 위쪽 끝을 파지하는 반송용 클립에 통전 기구를 설치하고, 도금조 내에 전극을 배치함으로써 전해 도금처리가 가능해진다. 한편, 무전해 도금을 행하는 경우, 전해 도금에 비해 도금처리 시간이 길게 필요해지는데, 도금조의 길이를 크게 함으로써 대응하는 것이 가능해진다. 이 무전해 도금의 경우이더라도, 본 고안의 도금장치에서는, 무전해 도금처리 시에 장척 워크를 수직상태로 하여 도금조 내를 수직상태에서 반송하기 때문에, 장척 워크에만 무전해 도금처리를 행하는 것이 가능해진다. According to the plating apparatus of the present invention, it is possible to employ either electrolytic plating or electroless plating as a plating method. In the case of electroplating, an electrolytic plating process is made possible by providing an energizing mechanism in a transport clip that holds the upper end of a long work piece and placing an electrode in the plating tank. On the other hand, in the case of performing electroless plating, a longer plating time is required compared to electroplating. This can be achieved by increasing the length of the plating bath. Even in the case of this electroless plating, in the plating apparatus of the present invention, since the long workpiece is vertical during the electroless plating process and the inside of the plating tank is transported in the vertical state, it is possible to perform the electroless plating treatment only on the long workpiece becomes

본 고안의 도금장치는 도금조를 병렬로 2조 설치해서, 수직 반송 방향과 수직으로 수평 이동 가능하게 하고, 무단상 체인 반송기구의 승강을 제어하여, 도금처리에 사용하는 도금조를 바꿔 넣도록 하는 것이 바람직하다. 도금처리에 의해 도금액의 농도 변화가 생기는데, 도금조를 2조 병렬로 설치해 두고, 도금처리에 사용하지 않은 도금조에 신규한 도금액을 투입하여 준비해두어, 도금액의 농도 변화에 의해 도금액의 교환이 필요해진 경우는, 무단상 체인 반송기구의 승강을 제어하여, 장척 워크를 도금조로부터 상승 이탈시켜, 신규한 도금액이 투입된 도금조를 수평 이동시킴으로써, 도금액 교환에 수반되는 작업을 효율적으로 행하는 것이 가능해진다. 또한, 본 고안의 도금장치에서는, 별도로 도금액 조정조 등을 설치하고, 도금액 조정조에 투입된 신규한 도금액이나 도금액 농도 조정용액 등을 도금조에 순환 공급하여, 도금액 농도의 제어를 행하는 것도 가능하다. The plating apparatus of this invention installs two sets of plating tanks in parallel to make it possible to move horizontally and vertically in the vertical conveying direction, and control the lifting and lowering of the stepless chain conveying mechanism to change the plating tanks used for plating. It is preferable to do Plating solution concentration changes due to plating treatment In this case, by controlling the lifting and lowering of the stepless chain transfer mechanism, lifting and detaching the long work from the plating tank, and horizontally moving the plating tank into which the new plating liquid is put, it is possible to efficiently perform the work accompanying the plating liquid exchange. In addition, in the plating apparatus of the present invention, it is also possible to separately install a plating solution adjusting tank, etc., and to circulately supply a new plating solution or a plating solution concentration adjusting solution, etc. put into the plating solution adjusting tank, to the plating tank to control the plating solution concentration.

본 고안의 도금장치에 의하면, 장척 워크에 도금처리를 행하는 경우, 전해 도금 또는 무전해 도금 중 어느 도금처리도 적용 가능해진다. According to the plating apparatus of the present invention, when plating treatment is performed on a long workpiece, either plating treatment of electrolytic plating or electroless plating can be applied.

도 1은 본 실시형태의 도금장치의 평면 개략도이다.
도 2는 본 실시형태의 도금장치의 수평 반송부의 측면 개략도이다.
도 3은 본 실시형태의 도금장치의 수직 반송부의 측면 개략도이다.
도 4는 본 실시형태의 도금장치의 권취부의 측면 개략도이다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a top schematic diagram of the plating apparatus of this embodiment.
Fig. 2 is a schematic side view of a horizontal conveyance section of the plating apparatus of the present embodiment.
Fig. 3 is a schematic side view of a vertical conveying section of the plating apparatus of the present embodiment.
Fig. 4 is a schematic side view of a winding portion of the plating apparatus of the present embodiment.

아래에 본 고안의 도금장치의 바람직한 실시형태에 대해서 설명한다. 도 1∼도 4에는, 본 실시형태에 있어서의 도금장치의 평면 개략도(도 1) 및 도 1에 나타내는 도금장치 각부의 측면 개략도(도 2∼4)를 나타낸 것이다.A preferred embodiment of the plating apparatus of the present invention will be described below. 1 to 4 show a schematic plan view (Fig. 1) of the plating apparatus according to the present embodiment, and schematic side views (Figs. 2 to 4) of each part of the plating apparatus shown in Fig. 1 .

도 1에 나타내는 도금장치는 수평 반송부(1), 워크 형태 변경부(2), 수직 반송부(3), 권취부(4)로 구성되어 있다. 또한, 본 실시형태에 나타내는 도금장치에서는, 2개의 장척 워크를 동시에 도금처리할 수 있도록 하였다. 이 수평 반송부(1)에서는, 권출 수단(10)에 장착된 장척 워크(W)로부터 장척 워크를 송출하고, 수평상태에서 롤을 통과함으로써 도금 전처리가 행하여진다. 도금 전처리로서는, 알칼리 탈지(11), 소프트 에칭 및 수세(12), 에어 나이프 건조(13)가 순차 행하여지도록 설계되어 있다(도 2). 또한, 본 실시형태에서 나타내는 도금장치는 수평 반송부, 수직 반송부, 권취부가 일직선 상에 배치되어 있지 않으나, 이들을 일직선 상에 배치하는 것도 가능하여, 장치 설치 스페이스에 맞춘 배치가 가능하다. The plating apparatus shown in FIG. 1 is comprised by the horizontal conveyance part 1, the workpiece|work shape change part 2, the vertical conveyance part 3, and the winding-up part 4. As shown in FIG. Moreover, in the plating apparatus shown in this embodiment, it was made possible to carry out the plating process of two long workpieces simultaneously. In this horizontal conveyance part 1, a long workpiece|work is sent out from the long workpiece|work W attached to the unwinding means 10, and plating pre-processing is performed by passing through a roll in a horizontal state. As a plating pretreatment, it is designed so that alkali degreasing 11, soft etching and water washing 12, and air knife drying 13 may be performed sequentially (FIG. 2). In addition, in the plating apparatus shown in this embodiment, although the horizontal conveyance part, the vertical conveyance part, and the winding part are not arrange|positioned in a straight line, it is also possible to arrange|position these in a straight line, and arrangement|positioning according to the apparatus installation space is possible.

수평 반송부(1)의 에어 나이프 건조(13)를 마친 장척 워크(W)는 워크 형태 변경부(2)로 송출된다. 워크 형태 변경부(2)는 특수 롤러(20, 21)를 구비하고 있다. 특수 롤러(20)은 수평면에서 45°기울인 상태에서 설치되어 있고, 특수 롤러(21)은 특수 롤러(20)의 경사면에서 추가로 45°기울인 상태에서 설치되어 있다. 수평 반송부(1)로부터 수평상태에서 송출되는 장척 워크(W)는 특수 롤러(20, 21)를 통과함으로써, 수평상태에서 수직상태로 형태가 변경된다. 또한, 이 특수 롤러(20, 21)에서는, EPC(에지 포지션 컨트롤러) 센서에 의해 장척 워크(W)의 반송상태가 제어되고 있다. The long work W after the air knife drying 13 of the horizontal conveyance unit 1 is sent out to the work shape change unit 2 . The workpiece shape changing unit 2 is provided with special rollers 20 , 21 . The special roller 20 is installed in a state inclined by 45 degrees from the horizontal plane, and the special roller 21 is installed in a state inclined by 45 degrees further from the inclined surface of the special roller 20 . The long workpiece W sent out in a horizontal state from the horizontal conveyance part 1 passes through the special rollers 20 and 21, and the shape is changed from a horizontal state to a vertical state. Moreover, in these special rollers 20 and 21, the conveyance state of the elongate workpiece|work W is controlled by the EPC (edge position controller) sensor.

수직상태로 된 장척 워크(W)는 수직 반송부(3)에 송출되어, 수직 반송부(3)의 무단상 체인 반송기구(30)의 반송용 클립(302)에 의해 수직상태의 장척 워크(W)의 상단부가 파지된다(도 3). 이 무단상 체인 반송기구(30)는 구동용 AC 서보 모터에 접속한 스프로킷에 무단상 체인(301)을 조합시킨 것으로, 반송용 클립(302)은 일정 간격으로 무단상 체인(301)에 배치되어 있다. 이 무단상 체인(301)은 상하좌우의 위치 정밀도를 제어 가능한 레일(미도시)에 유지되어 있어, 그 일부를 상하(또는 좌우)로 변이시킬 수 있다. 또한, 수직 반송하는 장척 워크에 맥동이 발생하는 경우에 대응하기 위해, 레일 내에는 보조 구동(미도시)이 설치되어 있다. 그리고, 이 무단상 체인 반송기구(30)는 승강기구가 장착되어 있어, 무단상 체인 반송기구 전체가 상하이동 가능하게 되어 있다. The long work W in a vertical state is sent to the vertical conveying unit 3, and the vertical long work W is sent to the vertical conveying unit 3 by the conveying clip 302 of the endless chain conveying mechanism 30 The upper end of W) is gripped (FIG. 3). This stepless chain transfer mechanism 30 combines an endless chain 301 with a sprocket connected to an AC servomotor for driving, and the transfer clips 302 are arranged on the endless chain 301 at regular intervals. there is. This endless chain 301 is maintained on a rail (not shown) capable of controlling the positional accuracy of the vertical and horizontal directions, and a part thereof can be shifted up and down (or left and right). Moreover, in order to respond to the case where pulsation generate|occur|produces in the long workpiece|work conveyed vertically, the auxiliary drive (not shown) is provided in the rail. And this endless chain conveying mechanism 30 is equipped with the lifting mechanism, and the whole endless chain conveying mechanism is movable up and down.

반송용 클립(302)에 상단부가 파지된 장척 워크(W)의 아래쪽에는, 무전해 도금용 처리설비가 설치되어 있다(도 1). 이 처리설비는 수직 반송 방향의 순으로, 산세(31), Pd 촉매처리(32), 무전해 Ni 도금처리조(33, 33'), 무전해 Au 도금처리조(34), 방청처리조(35), 에어 나이프(36), 건조(37)가 설치되어 있다. 도시는 생략하나, 각 공정 간의 필요 개소에는 수세가 설치되어 있다. A processing facility for electroless plating is provided below the long work W by which the upper end part was gripped by the clip 302 for transport (FIG. 1). This treatment facility is in the order of the vertical conveying direction: pickling (31), Pd catalyst treatment (32), electroless Ni plating treatment tanks (33, 33'), electroless Au plating treatment tank (34), rust prevention treatment tank ( 35), an air knife 36, and a dryer 37 are provided. Although the illustration is abbreviate|omitted, the water washing|cleaning is provided at the necessary location between each process.

Pd 촉매처리(32)에서는, 프리딥, Pd 활성화처리, 포스트딥이 행하여지도록 되어 있다. 또한, Ni 도금처리조(33, 33')는 무전해 Ni 도금의 처리시간을 확보하기 위해, 수직 반송 방향의 도금조 길이를 길게 설계한 것을 사용하고 있었다. Ni 도금처리조(33)과 Ni 도금처리조(33')는 병렬로 배치되어 있어, 수직 반송 방향과 수직으로 수평이동(도 1의 양쪽 화살표 방향)이 가능하게 되어 있다. In the Pd catalyst treatment 32, pre-dip, Pd activation treatment, and post-dip are performed. In addition, the Ni plating tanks 33 and 33' were designed to have a long plating tank length in the vertical conveying direction in order to secure the treatment time of the electroless Ni plating. The Ni plating tank 33 and the Ni plating tank 33' are arranged in parallel, and horizontal movement (direction of both arrows in Fig. 1) is possible perpendicular to the vertical conveying direction.

무전해 Ni 도금처리된 장척 워크(W)는 무전해 Au 도금처리조(34)에 반송되어 무전해 Au 도금처리되고, 방청처리조(35)에서 유기계 처리제에 의한 봉공처리가 행하여진다. 그리고, 에어 나이프(36), 건조(37)를 거쳐 권취부(4)에 송출된다. The long workpiece W subjected to the electroless Ni plating treatment is transferred to the electroless Au plating treatment tank 34 and subjected to electroless Au plating treatment, and sealing treatment is performed with an organic treatment agent in the rust prevention treatment tank 35 . And it is sent out to the winding-up part 4 through the air knife 36 and the drying 37.

수직 반송부(3)에 있어서 무전해 Ni-Au 도금처리된 장척 워크(W)는 수평 반송부(1)와 수직 반송부(3) 사이에 설치된 워크 형태 변경부(2)와 동일한 구조의 워크 형태 변경부(2')를 통과함으로써, 수직상태에서 수평상태로 되어 권취부(4)에 반송된다. 수평상태로 된 장척 워크는 복수의 롤을 통과하여 권취 롤(40)에 권취된다. 이 권취부(4)에 있어서도 EPC(에지 포지션 컨트롤러) 센서에 의해 장척 워크(W)의 반송상태가 제어되고 있다.The long workpiece W subjected to electroless Ni-Au plating in the vertical conveying unit 3 has the same structure as the workpiece shape changing unit 2 provided between the horizontal conveying unit 1 and the vertical conveying unit 3 . By passing through the shape change part 2', it becomes a horizontal state from a vertical state, and it is conveyed to the winding-up part 4 . The long workpiece in a horizontal state passes through a plurality of rolls and is wound on the winding roll 40 . Also in this winding part 4, the conveyance state of the elongate workpiece|work W is controlled by the EPC (edge position controller) sensor.

본 실시형태에서 나타낸 도금장치를 사용하여, 시판의 무전해 Ni 도금액 및 무전해 Au 도금액을 사용하여 무전해 Ni-Au 도금처리를 행하였다. 장척 워크로서는 폭 250 ㎜, 총두께 90 ㎛(도전성 금속 35 ㎛, 베이스 필름 55 ㎛)의 FPC를 사용하였다. 반송속도는 300 ㎜∼3,000 ㎜/min의 범위에서 목표 도금 두께에 맞춰 조정하였다. 그 결과, 주름의 발생이나 도금 불균일 등의 문제를 발생시키지 않고, 장척 워크의 FPC에 무전해 Ni-Au 도금처리를 행할 수 있었다. 또한, 본 실시형태의 도금장치에서는, 2조(2개)의 장척 워크를 처리할 수 있는 구조로 하고 있으나, 1조(1개)의 장척 워크를 처리하는 구조로 하는 것도 가능하다. Using the plating apparatus shown in this embodiment, electroless Ni-Au plating was performed using a commercially available electroless Ni plating solution and an electroless Au plating solution. As a long work piece, an FPC having a width of 250 mm and a total thickness of 90 µm (conductive metal 35 µm, base film 55 µm) was used. The conveying speed was adjusted in accordance with the target plating thickness in the range of 300 mm to 3,000 mm/min. As a result, it was possible to perform the electroless Ni-Au plating treatment on the FPC of the long work without causing problems such as wrinkles or plating unevenness. In addition, in the plating apparatus of this embodiment, although it is set as the structure which can process two sets (two pieces) of long workpieces, it is also possible to set it as the structure which processes one set (one piece) long workpieces.

1 수평 반송부
2 워크 형태 변경부
3 수직 반송부
4 권취부
10 권출 수단
11 알칼리 탈지
12 소프트 에칭 및 수세
13 에어 나이프 건조
20, 20', 21, 21' 특수 롤러
30 무단상 체인 반송기구
301 무단상 체인
302 반송용 클립
31 산세
32 Pd 촉매처리조
33, 33' 무전해 Ni 도금처리조
34 무전해 Au 도금처리조
35 방청처리조
36 에어 나이프
37 건조
40 권취 롤
1 Horizontal transfer unit
2 Work shape change part
3 vertical transfer unit
4 winding
10 Unwinding means
11 Alkaline degreasing
12 Soft Etching and Washing
13 Air Knife Drying
20, 20', 21, 21' special rollers
30 stepless chain transfer mechanism
301 stepless chain
302 carry clip
31 pickling
32 Pd catalyst treatment tank
33, 33' electroless Ni plating tank
34 Electroless Au plating tank
35 Anti-rust treatment tank
36 Air Knife
37 dry
40 winding rolls

Claims (2)

권출 수단으로부터 권출된 장척 워크를 수평 반송하면서 도금 전처리를 행하는 수평 반송부와,
수평 반송부로부터 송출된 장척 워크를 수평상태에서 수직상태로 형태를 변경하는 워크 형태 변경부와,
수직상태로 된 장척 워크의 위쪽 끝을 파지하는 반송용 클립이 복수 설치된 무단상 체인 반송기구, 및 수직상태의 장척 워크에 도금처리를 행하기 위한 도금조를 갖는 수직 반송부와,
수직 반송부로부터 송출된 도금처리 후의 장척 워크를 권취 회수하는 권취부를 구비한 것을 특징으로 하는 도금장치.
a horizontal conveying unit that performs plating pretreatment while horizontally conveying the long workpiece unwound from the unwinding means;
A work shape changing unit that changes the shape of a long work sent from the horizontal conveying unit from a horizontal state to a vertical state;
A vertical transfer unit having an endless chain transfer mechanism provided with a plurality of transfer clips for holding the upper ends of the long work in a vertical state, and a plating tank for plating the long work in a vertical state;
A plating apparatus comprising: a winding unit for winding and collecting a long work piece after plating sent out from the vertical conveying unit.
제1항에 있어서,
도금조는 병렬로 2조 설치되어, 수직 반송 방향과 수직으로 수평이동 가능하게 되어 있어,
무단상 체인 반송기구의 승강을 제어함으로써, 도금처리를 행하는 도금조를 바꿔 넣을 수 있는 도금장치.
According to claim 1,
Two plating tanks are installed in parallel so that they can move horizontally and vertically in the vertical conveying direction.
A plating apparatus capable of replacing a plating tank in which plating is performed by controlling the lifting and lowering of the stepless chain conveying mechanism.
KR2020200003248U 2020-09-08 2020-09-08 Plating equipment KR20220000608U (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020200003248U KR20220000608U (en) 2020-09-08 2020-09-08 Plating equipment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020200003248U KR20220000608U (en) 2020-09-08 2020-09-08 Plating equipment

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20220000608U true KR20220000608U (en) 2022-03-15

Family

ID=80812162

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2020200003248U KR20220000608U (en) 2020-09-08 2020-09-08 Plating equipment

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20220000608U (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101917848B1 (en) suction plating device
US7611584B2 (en) Electroless metal film-plating system
TW201802302A (en) Vertical type continuous roll-to-roll electroplating apparatus with conductive clips
JP3176980U (en) Clamping jig for thin plate-like workpieces in horizontal transfer plating processing equipment
US9358587B2 (en) Substrate treating apparatus
CN1865520B (en) Sheet product plating method
TW201127997A (en) Plating tank
JP5416005B2 (en) Transport device for plate-like object in surface treatment device, and clamping chuck of this transport device
KR20100112345A (en) Non contact wet handling conveyance method of printed circuit board
JP5865958B2 (en) Surface treatment apparatus and work holding jig
JP2013181180A (en) Pretreatment method for electroplating, and method of producing copper clad laminated resin film by electroplating method including the pretreatment method
JP4793720B2 (en) Plating method 2-layer circuit substrate manufacturing method
KR20220000608U (en) Plating equipment
JP2006283044A (en) Continuous plating equipment and method for film
TWM606113U (en) Plating device
JP2015063717A (en) Workpiece holding frame body and plating treatment apparatus using the same
JP2007211294A (en) Method for producing electronic circuit board and device therefor
TWI615510B (en) Suction plating apparatus
JP6115309B2 (en) Chemical processing equipment
KR20100034318A (en) Pcb distance control apparatus of plating equipment
JP3170766U (en) Horizontal continuous plating equipment for thin plate workpieces by clamp conveyance
KR20230150457A (en) method and structure for waring road freezing based on hybrid technology
JP3754262B2 (en) Surface treatment equipment
KR102683787B1 (en) plating apparatus
KR102575905B1 (en) plating apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application