KR20210139430A - 탈기 장치, 탈기 시스템 및 이를 사용하는 방법 - Google Patents

탈기 장치, 탈기 시스템 및 이를 사용하는 방법 Download PDF

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크리스토퍼 디. 폰타나
데이비드 칼 에쉘만
제프리 씨. 바톨드
브래들리 티. 리즈
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버슘머트리얼즈 유에스, 엘엘씨
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Abstract

본 발명은, 탈기 장치, 탈기 시스템, 및 처리 액체에 포집되거나 용해된 가스 분자를 제거하기 위해 탈기 장치를 사용하는 방법에 관한 것이다. 탈기 장치는, 하나 이상의 벽을 구비하는 진공 챔버; 액체가 그를 통해 개별적으로 진공 챔버 내로 그리고 밖으로 통과되는 하나 또는 복수의 유입구 및 하나 또는 복수의 유체 배출구로서, 하나 이상의 벽을 관통하는 것인, 하나 또는 복수의 유입구 및 하나 또는 복수의 유체 배출구; 진공 챔버 내부에 위치되며 그리고 가스 분자에 대해 투과성이지만 액체에 대해 불투과성인 하나 또는 복수의 분리기; 가스 분자가 액체를 떠나도록 그리고 분리기(들)를 통해 침투하도록 야기하여, 그로 인해 포집되거나 용해된 가스를 액체로부터 제거하도록 하기 위해, 진공 포트를 통해 분리기(들)를 가로질러 압력차를 인가하기 위한 적어도 하나의 진공 소스; 및 선택적으로 유입구(들) 및 2개 또는 2개 초과의 분리기와 유체 소통 상태에 놓이는 하나 또는 복수의 급송 라인을 구비한다.

Description

탈기 장치, 탈기 시스템 및 이를 사용하는 방법
본 발명은, 반도체 처리 장치 및 작업에 관한 것이고, 보다 구체적으로, 반도체 처리 액체가 기화되고 반도체 공정 챔버로 운반되기 이전에 처리 액체 내에 포집되거나 용해된 가스를 제거하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼 처리 작업에서, 웨이퍼 처리 반응물 유체는 종종 가스 형태로 웨이퍼 공정 챔버의 내부로 공급된다. 하지만, 이런 반응물 중 일부는 액체 형태로 약간 떨어진 저장 지점에 저장되는 화학적 전구체인 것이 일반적이다. 그러면, 반응물은, 액체 저장부로부터, 기화기에서 기화되도록 유량계를 통해, 그리고 그 후 가스 형태로 챔버로 공급된다.
이런 요소들 및 종래 기술의 탈기 장치(134)를 포함하는 웨이퍼 처리 시스템의 일반적인 예가, 도 1에 개략적으로 예시된다. 이 도면에서, 일반적인 화학적 기상 증착(CVD) 웨이퍼 처리 장치(110)가, 공정 챔버(112)를 포함하는 것으로 도시된다. 표준 상업적 웨이퍼 처리 액체 또는 유체(114)(용어 "액체" 및 "유체"는 서로 바꿔서 사용될 수 있음)가, 밀봉된 유체 컨테이너(116) 내에 액체 형태로 수용된다. CVD 프로세스를 위해, (테트라에틸 오소실리케이트에 대한 약어 TEOS와 같은 상표명으로 판매되는) 처리 액체(114)는, 실리콘 및 선택적으로, TEOP(PO(C2OH5)3), TMB(트리메톡시보란, 트리메틸보레이트, (CH3O)3B)), TMP(트리메톡시포스핀, 트리메틸포스파이트, (CH3O)3P)), TEP(트리에틸 포스페이트) 등과 같은, 불순물 액체의 소스를 포함한다.
액체(114)는, 모두 소스 라인(139)에 의해 함께 연결되는, 액체 유량계(118) 및 기화기(130)를 통해 챔버(112)로 공급된다. 유량계(118)는, 챔버(112) 내로 통과되는 처리 유체(114)의 양을 매우 정확히 조정하도록 의도되며 그리고 기화기(130)는, 유체(114)를 액체 상태에서 가스 상태로 변환하도록 기능한다. 액체(114)는, 컨테이너(116) 내의 액체(114)의 표면 위의 공간(124) 내로 압력 하에서 헬륨, 아르곤 또는 질소와 같은 불활성 가스를 주입함으로써, 소스 라인(139)을 따라 이동된다. (불활성 가스는, 운반 튜브(150)를 통해 불활성 가스의 소스로부터 방향 화살표(152)를 따라 주입됨.) 불활성 가스의 가압 효과의 결과로서, 유체(114)는, 압력 하에서 소스 라인(139)을 따라 유동하며 그리고 도관(149)을 통해 챔버(112) 내로 유동하기 이전에 제어 및 기화된다. 유체 제어 밸브(128)가, 연결 라인(126)을 통해 유량계(118)와 소통 상태에 놓인다. 유량계(118)가 과다한 양의 처리 유체(114)가 도관(149) 내로 유동하고 있는 것을 감지하면, 유량계는 제어 밸브(128)에 신호를 보내고, 제어 밸브는 차례로 유체(114)의 유동을 제한하도록 작동한다. 유사하게, 유량계(118)가, 너무 적은 유체가 도관(149) 내에서 유동하고 있는 것을 감지하면, 유량계는 제어 밸브(128)에 신호를 보내고, 제어 밸브는 부가적인 유체(114)가 챔버(112) 내로 유동하는 것을 허용하기 위해 개방된다.
처리 유체(114) 내에 포집되거나 용해되는, 공간(124) 내로 주입되는 불활성 가스는, 액체(114)가 유량계(118)를 통해 유동하기 이전에, 탈기 장치(134)에 의해 제거되고, 따라서 유량계(118)는, 액체(114) 내에 포집되거나 용해된 가스에 의해 영향을 받지 않아, 챔버(112) 내로 통과하는 처리 유체(114)의 체적의 정확도를 개선한다.
공지된 상업용 탈기 장비는, 반도체 제조에 사용되는 유체로부터 가스를 제거하기 위해, 수년, 심지어 수십 년 동안, 사용되어 왔지만; 지금까지, 탈기된 유체에 대한 또는 공정 챔버로의 하나 또는 하나 초과의 유체의 첨가에 대한 증가하거나 감소하는 수요는, 제조 시설에서 귀중한 바닥 공간을 차지하며 그리고 자본 장비 비용을 부가시키는, 개별적인 탈기 시스템을 부가 또는 삭감을 요구한다. 기존의 상업용 탈기 장비는, 증가 및 감소하는 수요에 유연하지 않다.
따라서, 개선된 탈기 장치 장비 및 시스템에 대한 필요성이 존재한다.
본 발명은, 처리 유체 또는 처리 액체에 포집되거나 용해된 가스를 제거하기 위한 탈기 장치 및 탈기 시스템(그 용어는 서로 바꿔서 사용될 수 있음)으로서, (i) 하나 또는 하나 초과의 챔버 벽을 포함하는 진공 챔버; (ii) 상기 처리 액체가 그를 통해 개별적으로 상기 진공 챔버 내로 그리고 밖으로 통과되는, 하나 또는 하나 초과의 유체 유입구 및 하나 또는 하나 초과의 유체 배출구로서, 상기 하나 또는 하나 초과의 진공 챔버 벽을 관통하는 것인, 하나 또는 하나 초과의 유입구 및 하나 또는 하나 초과의 배출구; (iii) 상기 진공 챔버 내부에 위치되며 그리고 포집되거나 용해된 가스의 분자에 대해 투과성이지만 액체의 분자에 대해 불투과성이도록 구성되는, 하나 또는 하나 초과의 분리기; (iv) 상기 포집되거나 용해된 가스의 분자가 상기 액체를 떠나도록 그리고 상기 하나 또는 하나 초과의 분리기를 통해 침투하도록 야기하여, 그로 인해 상기 포집되거나 용해된 가스를 상기 처리 액체로부터 제거하도록 하기 위해, 상기 분리기를 가로질러 압력차를 인가하기 위한 적어도 하나의 진공 소스; 및 (v) 선택적으로 상기 하나 또는 하나 초과의 유입구 및 2개 또는 2개 초과의 분리기와 유체 연통 상태에 놓이는 하나 또는 하나 초과의 급송 라인을 포함하는 것인, 탈기 장치 및 탈기 시스템을 제공한다.
본 발명의 일 양태에서, 탈기 장치는, (vi) 하나 또는 하나 초과의 급송 라인으로서, 상기 하나 또는 하나 초과의 유입구에 연결되며 그리고 분리기들의 수가 유입구들의 수보다 많은 경우에 2개 또는 2개 초과의 분리기를 상기 하나 또는 하나 초과의 급송 라인에 연결하는 2개 또는 2개 초과의 접속부를 구비하는 것인, 하나 또는 하나 초과의 급송 라인을 더 포함한다.
본 발명의 추가 양태에서, 단독으로 또는 다른 양태와 조합하여, 탈기 장치는, 2개 이상의 분리기, 또는 3개 이상의 분리기를 포함한다.
본 발명의 추가 양태에서, 단독으로 또는 다른 양태와 조합하여, 탈기 장치는, 하나의 유입구 또는 2개 이상의 유입구 또는 3개 이상의 유입구를 포함한다.
본 발명의 추가 양태에서, 단독으로 또는 다른 양태와 조합하여, 탈기 장치는, 하나의 배출구, 또는 2개 이상의 배출구, 또는 3개 이상의 배출구를 포함한다.
본 발명의 추가 양태에서, 단독으로 또는 다른 양태와 조합하여, 탈기 장치는, 2개 이상의 분리기와 유체 소통 상태에 놓이는 급송 라인을 포함한다.
본 발명의 추가 양태에서, 단독으로 또는 다른 양태와 조합하여, 탈기 장치는, 3개 이상의 분리기와 유체 소통 상태에 놓이는 급송 라인을 포함한다.
본 발명의 추가 양태에서, 단독으로 또는 다른 양태와 조합하여, 탈기 장치는, 2개 이상의 분리기 또는 3개 이상의 분리기와 유체 소통 상태에 놓이는 수집 라인을 포함한다.
본 발명의 추가 양태에서, 단독으로 또는 다른 양태와 조합하여, 탈기 장치는, 폐쇄될 때, 상기 탈기 장치 내에서, 유입구, 분리기, 및 배출구를 포함하는 유동 경로를, 하나 또는 하나 초과의 다른 분리기를 포함하는 하나 이상의 다른 유동 경로로부터 격리하는, 상기 급송 라인 내의 적어도 하나의 밸브 및 상기 수집 라인 내의 적어도 하나의 밸브를 포함한다.
본 발명의 추가 양태에서, 단독으로 또는 다른 양태와 조합하여, 탈기 장치는, 하나의 분리기를 제외한 모든 분리기가 상기 하나의 분리기로부터 격리될 수 있도록, 선택적으로 하나의 분리기를 제외한 각각의 분리기의 상류에 적어도 하나의 밸브를 포함한다.
본 발명의 추가 양태에서, 단독으로 또는 다른 양태와 조합하여, 탈기 장치는, 압력 게이지, 진공 챔버와 유체 소통 상태에 놓이는 가변 속도 펌프, 및, 압력이 사전 결정된 압력이 아닐 때 가변 속도 펌프의 펌프 속도를 조절하기 위한, 상기 압력 게이지 및 상기 펌프와 전기적 통신 상태에 놓이는 제어기를 포함한다. "사전 결정된"은 이전에 결정되어서, 사전 결정된 특성(여기서, 압력)이 어떤 이벤트(여기서는, 펌프 속도 조절)에 앞서 결정, 즉 선택되거나 적어도 알려져야 한다는 것을 의미한다.
본 발명의 추가 양태에서, 단독으로 또는 다른 양태와 조합하여, 제1 분리기가 제1 유체를 탈기하며 그리고 제2 분리기가 제2 유체를 탈기한다.
본 발명의 추가 양태에서, 단독으로 또는 다른 양태와 조합하여, 탈기 장치는, 하우징을 포함한다.
본 발명은 추가로, 본원에 개시되는 탈기 장치의 임의의 실시예를 통해 유체를 유동시키는 단계를 포함하는, 유체를 탈기하는 방법을 제공한다.
부가적인 양태에서, 단독으로 또는 다른 양태와 조합하여, 유체를 탈기하는 방법은, 하나 또는 하나 초과의 분리기와 유체 소통 상태에 놓이는 폐쇄된 밸브들을 자동으로 또는 수동으로 개방함에 의해 상기 탈기 장치에서 탈기된 유체의 양을 증가시키는 단계 및 (선택적으로 사용 지점에서의 탈기된 유체에 대한 수요를 감지하는 센서 및 수요의 수동적 증가에 응답하여) 하나 또는 하나 초과의 분리기를 통해 유체를 안내하는 단계를 포함한다.
본 발명의 다른 양태에서, 단독으로 또는 본 발명의 다른 양태와 조합하여, 폐쇄된 밸브들을 개방하는 자동 프로세스는, 유량계 또는, 유체를 위한 소스가 그 위에 위치될 수 있는 저울에 의해 측정되는, 유체 중량 변화율에 응답하여 이루어질 수 있을 것이다. 저울 및 유체의 소스는 선택적으로, 캐비닛 내부에 위치될 수 있다.
본 발명의 다른 양태에서, 단독으로 또는 본 발명의 다른 양태와 조합하여, 방법은 추가로, 2가지 상이한 유체를 동시에 탈기하는 단계를 포함한다. 2가지 상이한 유체는, 적어도 2개의 상이한 분리기를 통해 안내된다.
본 발명의 다른 양태에서, 단독으로 또는 본 발명의 다른 양태와 조합하여, 방법은 추가로, 유체를 탈기하고 있는 하나 이상의 다른 분리기로부터 하나의 분리기를 격리하는 단계를 포함한다.
본 개시는, 다음 이점 중 하나 이상을 달성하는 방법 및 장치를 제공한다: (1) 그로 인해 유체가 보다 정확히 제어될 수 있도록 하는, 반도체 웨이퍼 처리 유체로부터의, 그러한 처리 유체가 반도체 웨이퍼 처리 장치로의 그러한 유체의 공급을 제어하는 수단에 도달하기 이전의, 포집되거나 용해된 가스의 제거; (2) 단일 진공 챔버를 포함하며 그리고 하나 또는 하나 초과의 분리기를 통한 단지 하나의 감압 수단 및/또는 하나의 제어 시스템을 요구하는, 하나의 탈기 시스템을 통해 하나 또는 하나 초과의 유체를 탈기하는 것; (3) 사용 지점에서 수요에 응답할 수 있는 제1 유체 및/또는 제2 유체의 유량 증가 또는 감소 시 단지 하나의 감압 수단 및/또는 하나의 제어 시스템을 요구하는, 하나의 진공 챔버를 통해 하나 또는 하나 초과의 유체를 탈기하는 것.
본 개시의 이러한 이점 및 기타 이점은, 바람직한 실시예에 대한 다음의 상세한 설명을 읽은 후에, 본 기술분야의 당업자에게 확실히 명백해질 것이다.
본 개시는, 첨부된 도면과 관련하여 읽을 때, 다음 상세한 설명에서 가장 잘 이해된다. 다음 도면이 도면들에 포함된다:
도 l은 반도체 웨이퍼 처리 시스템의 종래 기술의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 탈기 장치의 일부의 부분 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 탈기 장치의 단면 개략도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 탈기 장치의 단면 개략도이다.
도 5는 본 발명의 탈기 장치의 실시예를 사용하는 탈기 시스템의 개략도이다.
본 발명의 탈기 장치의 실시예는, 이하 도 2 내지 도 5를 참조하여 더 상세히 설명될 것이다. 탈기 장치는, 처리 유체에 포집되거나 용해된 임의의 불활성 가스를 제거하도록 작동한다. 탈기 장치의 작동 결과로서, 도관에 의해 도구로 운반되는 처리 유체는, 처리 유체 내에 포집 또는 용해된 가스를 갖지 않거나 거의 갖지 않는다. 액체 유량계는, 실질적으로, 가스가 없는 액체를 공급받게 되며 그리고 그에 따라 도구로의 도관을 따라 통과하는 액체의 양을 정확히 측정할 수 있다.
도 2 내지 도 5에서 동일하거나 유사한 요소에 동일하거나 유사한 도면 부호를 부여하려는 시도가 이루어졌다.
본 발명의 탈기 장치의 일부에 대한 하나의 실시예가, 도 2에 도시된다. 도 2는 진공 챔버(62) 및 진공 챔버(62) 내에 수용되는 하나 또는 하나 초과의 분리기의 일례를 도시한다. 도시된 바와 같은 진공 챔버(62)는, 수직 실린더 벽(63), 상부 벽(24), 및 대향하여 위치되는 하부 벽(25)에 의해 한정된다. 제1 및 제2 유체 유입구(22A, 22B)(집합적으로 또는 개별적으로, 유입구(22))가, 상부 벽(24)에 위치되며 이를 관통하며, 그리고 제1 및 제2 유체 배출구(23A, 23B)(집합적으로 또는 개별적으로, 배출구(23))가, 하부 벽(25)에 위치되며 이를 관통한다. (주: 유입구들 및 배출구들은, 어느 곳이든 위치될 수 있으며 그리고 진공 챔버(62)의 임의의 벽, 심지어 동일한 벽을 통과할 수 있다. 부가적으로, 방향 용어들 "상부", "하부", "수직" 등이 도시된 실시예를 설명하기 위해 사용되지만, 이러한 용어들은 제한하는 것을 의미하지 않는다) 유동할 때, 유체는, 화살표(64)에 의해 지시되는 방향으로 탈기 장치(60)를 통해 그리고 한 다발의 튜브로 구성되는 제1 및/또는 제2 분리기(68A, 68B)(집합적으로 또는 개별적으로, 분리기(68))를 통해, 유동하고, 각각의 튜브는, 분리기 재료를 포함하거나 그러한 재료로 형성된다. 탈기 장치(60)는, 진공 포트(66)를 통해 진공 챔버(62)에 연결되는 진공 소스(미도시)와 같은 감압기를 포함한다. 탈기 장치(60)가 사용 중일 때, 하나 또는 하나 초과의 유체가 하나 이상의 분리기(68A, 68B)를 통해 유동하는 가운데, 진공 챔버(62) 내부의 압력은, 진공 포트(66)를 통해 진공 챔버(62)를 비움으로써 10 mTorr 내지 150 Torr 사이일 수 있는, 사전 결정된 레벨로 감소된다. 유체의 압력은, 10 ~ 30 psig 사이일 수 있을 것이다. 압력차는, 가스에 대해 투과성이지만 액체에 대해 투과성이 아닌 분리기들(68A, 68B)의 튜브들을 통해 유체 내의 가스를 인출한다. 튜브들을 가로지르는 압력은, 20 ~ 100 psi일 수 있을 것이다.
도 2에 도시된 실시예에서, 상부 벽(24) 또는 하부 벽(25) 또는 양자 모두는, 진공 챔버(62)로부터 제거 가능하다. 대안적으로, 상부 벽(24) 및/또는 하부 벽(25)은, 실린더형 벽(63)에 용접될 수 있다. 대안적인 실시예에서, 실린더형 벽(63) 내의 개구부(미도시)가, 진공 챔버(62) 및 진공 챔버(62) 내에 수용되는 하나 이상의 분리기(68A, 68B)에 접근하기 위해, 제공될 수 있다. 바람직하게, 상부 벽(24) 또는 하부 벽(25) 중의 적어도 하나는, 진공 챔버(62)의 실린더형 벽(63)으로부터 제거 가능하다. 하나의 실시예에서, 상부 벽(24) 및 하부 벽(25)은 양자 모두, 기밀 및 액밀 시일을 제공하기 위한, 상부 벽(24)과 실린더형 벽(63)의 하나의 단부(163)가 만나는 곳의 가스켓(미도시), 예를 들어 O-링(미도시), 및 하부 벽(25)과 실린더형 벽(63)의 반대편 단부(263)가 만나는 곳의 가스켓과 함께, 실린더형 벽(63)의 양단부에 볼트 고정될 수 있다.
분리기(68A)는, 유입구(22A) 및 배출구(23A)와 연결되며 그리고 그들과 유체 소통 상태에 놓이는 복수의 튜브(69A)를 포함하는 것으로 도시된다. 분리기(68B)는, 유입구(22B) 및 배출구(23B)와 연결되며 그리고 그들과 유체 소통 상태에 놓이는 복수의 튜브(69B)를 포함한다. 분리기들(68A, 68B)은 각각, 복수의 튜브(69A, 69B)의 각각의 단부에 부착되는 커넥터(67)를 더 포함한다. 각각의 커넥터(67)는, 나사 가공될 수 있으며 그리고 자체를 통한 유체의 유동을 제공하기 위해 분리기들(68A, 68B)에 인접한 유입구들(22A, 22B) 및 배출구들(23A, 23B)의 단부들에 부착되는, 반대로 나사 가공된 중공 커넥터들(168)과 정합할 수 있다. 대안적으로, 유입구들(22A, 22B)과 튜브들(69A, 69B)의 일단부 사이 및 배출구들(23A, 23B)과 튜브들(69A, 69B)의 타단부 사이에 기밀 시일을 제공하며 그리고 자체를 통한 유체의 유동을 제공하는 한, 임의의 적합한 연결 장치가, 사용될 수 있다. 도시된 실시예에서, 튜브들(69A, 69B)의 수는, 일반적으로 약 1 내지 약 125개 사이이고; 튜브들(69A, 69B)의 크기는, 약 5 내지 약 25 피트(약 152 내지 약 762 cm) 사이의 길이 및 약 0.025 내지 약 0.05 인치(약 0.064 내지 약 0.13 cm) 사이의 벽 두께일 수 있으며, 그리고 진공 챔버(62)는 3 리터 내지 15 리터의 용적을 갖는다. 대안적인 실시예에서, 분리기(68)는, 단일 튜브 또는 파이프일 수 있다.
진공 챔버(62)는, 탈기 장치(60)가 사용 중이며 그리고 진공 챔버(62) 내의 압력이 감소될 때 진공 챔버(62)의 형상을 유지하기 위한, 수직 또는 수평 지지 구조물(미도시)을 갖도록 제공될 수 있다.
처리 유체(미도시)는, 진공 챔버(62)가 진공 챔버(62) 내의 압력을 감소시키기 위해 진공 포트(66)에서 배기되는 동안에, 탈기 장치(60)의 진공 챔버(62)를 통해 유동한다. 이런 압력차의 결과로서, 유체에 포집되거나 용해된 가스 분자는, 분리기(68)의 튜브들을 통해 침투하며 그리고 진공 포트(66)를 통해 배기된다. 이러한 프로세스는, 탈기 장치(60)의 하류측 단부에서 실질적으로 가스를 갖지 않는 처리 액체를 생성한다.
파이프를 위한 바람직한 재료는, Teflon®(델라웨어주 윌밍턴 소재 E.I. duPont de Nemours & Co., Inc.의 상표)과 같은, 합성 불소 중합체이다. 보다 바람직하게, 파이프를 위한 재료는, 비록 Teflon®의 퍼플루오로알콕시(PFA) 또는 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE) 형태도 적합할 수 있지만, FEP Teflon®(Teflon®의 플루오르화 에틸렌 프로필렌(FEP) 형태)이다. PTFE는, 매우 긴 비분지 사슬들로 연결된 적어도 20,000개의 C2F4 단량체 유닛으로 구성되는, 매우 안정적인 열가소성 테트라플로우로에틸렌 단독중합체이다. FEP Teflon®은, 일반적인 불활성 가압 가스의 분자를 통과시키기에 충분할 정도로 다공성인 가운데 동시에 TEOS 또는 다른 상업적으로 입수 가능한 반응물의 분자에 대해 불투과성인 분리기 튜브들(69A, 69B)을 제공하는, 장점을 갖는다. FEP는 또한, 이상에 설명된 치수의 파이프로서 형성될 때, 자체를 가로지르는 압력차를 견디기에 충분한 구조적 강도를 가짐에 따라, 적합하다. 더불어, FEP는, 반도체 처리 작업에서의 사용을 위한 업계에서 용인된 재료이다. FEP는 비교적 높은 순도를 가지며 그리고 어떠한 가공 환경 또는 처리 유체 내로 가스를 배출하지 않고 불순물을 주입하지 않는 것으로 밝혀졌다. 이는, 그렇지 않은 경우 본 발명의 탈기 장치(60)에서 분리기(68)로서 사용하기에 적합할, 다른 재료들에 대해서는 반드시 사실이 아니다.
도 2는 추가로 진공 챔버(62) 내에서 분리기들(68A, 68B)을 둘러싸는 막(76)을 도시한다. 막(76)은, 진공 포트(66) 근처의 개구부(78)를 갖는다. 도 2는 더 나아가, 진공 챔버(62) 내부에 위치되는 선택적 저전력 히터(80)를 도시한다. 히터(80)는, 요구될 때, 막(76)의 온도를 몇 도, 일반적으로 10℃, 올리도록 기능하며, 그리고 그로 인해, 막의 투과성을 향상시킨다.
도시되지 않았지만, 본 발명의 탈기 장치(60)의 임의의 실시예가 분리기(68)의 고장을 검출하는 센서를 포함할 수 있다는 것이, 예상된다. 이런 고장은, 예를 들어, 분리기(68)가 커넥터(67)로부터 분리되거나 또는 튜브(69A, 69B)가 파단되는 경우에, 발생할 수 있다. 그러한 고장은, 예를 들어 파단된 분리기 튜브(69A, 69B)의 결과로서의 임의의 액체 축적을 감지하기 위해, 예를 들어, 탈기 장치(60)의 진공 챔버(62)의 바닥에 액체 센서를 배치함으로써, 검출될 수 있다. 대안적으로, 압력 센서는, 연결부 또는 유입 또는 배출 라인에서 누설과 같은, 튜브 고장 또는 분리기(68)와 연관된 다른 고장의 경우에 발생하는 진공 챔버(62) 내의 어떠한 갑작스러운 압력 변화를 검출하기 위해, 진공 포트(66) 근처에 또는 후술되는 바와 같은 다른 곳에 배치될 수 있다.
도 2에 도시된 실시예에서, 유입구들(22A, 22B)의 수는 분리기들(68A, 68B)의 수와 동일하다. 유사하게, 배출구들(23A, 23B)의 수는 분리기들(68A, 68B)의 수와 동일하다. 동일하거나 상이한 화학 물질들은, 유입구(22A), 분리기(68A), 및 배출구(23A)를 포함하는 진공 챔버(62)를 통한 제1 유동 경로 또는 트레인(A)을 통해, 그리고 유입구(22B), 분리기(68B), 및 배출구(23B)를 포함하는 진공 챔버(62)를 통한 제2 유동 경로 또는 트레인(B)을 통해 급송될 수 있다. 유입구(22A)는, 제1 유체를 위한 제1 소스(미도시)에 연결되는 소스 라인(38)에 연결되며, 그리고 유입구(22B)는, (제1 또는 제2 소스로부터의) 동일한 제1 화학 물질 또는 제2 소스로부터의 제2 화학 물질을 위한 제1 소스 또는 제2 소스(미도시)에 연결되는 소스 라인(39)에 연결된다.
도 3은 3개의 분리기(68)를 포함하는 본 발명의 탈기 장치(60)의 대안적인 실시예를 도시한다. 도 3에 도시된 탈기 장치(60)의 실시예에서, 유입구들(22)의 수는 다시 분리기들(68)의 수와 동일하며 그리고 배출구들(23)의 수 또한 분리기들(68)의 수와 동일하다. 탈기 장치(60)는, 진공 챔버(62)가 그 내부에 위치되는 하우징(100), 펌프(83), 하우징(100) 내로의 하나 또는 하나 초과의 소스 라인, 하우징(100) 밖으로의 하나 또는 하나 초과의 배출 파이프, 그리고 하나 또는 하나 초과의 유체(화학 물질)를 각각의 분리기(68)로 안내하기 위한 밸브들 및 다른 라인들을 포함한다.
도 3에 도시된 실시예에서, 제1, 제2, 및 제3 분리기(68A, 68B, 68C)가 존재한다. 도 3은 복수의 소스 라인 및 배출 라인을 포함할 수 있는 분리기들(68A, 68B, 68C)의 상류 및 하류에서의 진공 챔버(62) 외부의 배관을 도시한다. 분리기(68)의 유입측에서, 도시된 바와 같이, 제1 및 제2 소스 라인(38, 39)은, 하나 또는 하나 초과의 분리기(68A, 68B, 68C)로 하나 또는 2개의 상이한 또는 동일한 유체 화학물질 스트림을 유동시키기 위해 사용될 수 있는, 제1, 제2, 및 제3 유입구(22A, 22B, 22C)의 상류에 구비된다. 부가적으로, 탈기 장치 배관은, 소스 라인들의 하류에 놓이며 그리고 하나 이상의 소스 라인을 제1, 제2, 및 제3 분리기(68A, 68B, 68C)에 연결하는, 급송 라인(47)을 포함하고, 이는, 이 실시예에서, 제1, 제2, 및 제3 접속부(JA, JB, JC)에서 급송 라인(47)을 유입구(22A, 22B, 22C)에 각각 연결한 것이다. (대안적인 실시예에서, 급송 라인(47)은 유입구(22)의 하류에 존재할 수 있으며 그리고 진공 챔버(62) 내부에 위치될 수 있다.) 소스 라인(38)은, 도시된 바와 같이, 급송 라인(47)과 자체의 연결부(J38)의 상류에서 자체 내에 밸브를 구비한다. 소스 라인(39)은, 연결부(J39)에서 급송 라인(47)에 연결된다. 연결부들로도 지칭되는, 접속부들은, 동일하거나 상이할 수 있다. 적합한 접속부들은, 예를 들어, 2-방향 또는 3-방향 또는 4-방향 부속품이다.
각각의 유입구(22A, 22B, 22C)는, 각각 도 2에 대해 이상에 설명된 바와 같이, 각각의 분리기(68A, 68B, 68C)에 연결된다. 급송 라인(47)은 내부에 하나 이상의 밸브를 포함할 수 있다. 도시된 바와 같이, 급송 라인(47)은, 접속부들(JA, JB) 사이에 위치되는 그 내부에 하나의 밸브(37)를 갖는다. 각각의 제1, 제2, 및 제3 유입구(22A, 22B, 22C)는, 급송 라인(47) 내의 제1, 제2, 및 제3 접속부(JA, JB, JC)의 하류에 위치되는 그 내부에 제1, 제2, 및 제3 밸브(35A, 35B, 35C)를 각각 갖는다. 유체의 단일 소스가 탈기 장치(60) 내로 유체를 유입시키기 위해 사용되는 경우, 이때 밸브(37)는 폐쇄될 수 있으며 그리고 유체는 소스 라인(39)을 통해 유동할 것이고, 그리고 탈기 장치(60)로의 그러한 유체의 유량에 의존하여, 밸브들(35A, 35B, 35C) 중의 단지 1개, 2개 또는 3개 전부가, 유체가 개별적으로 분리기들(68A, 68B, 68C) 중의 단지 1개, 2개 또는 3개 전부로 유동하는 것을 허용하기 위해, 개방될 것이다. 유체의 단일 소스로부터의 유량이 낮은 경우, 단지 하나의 밸브, 예를 들어, 밸브(35B)가, 유체가 분리기(68B)에 유동적으로 연결되는 유입구(22B)를 통해 진공 챔버(62)로 유입되도록, 개방될 것이다. 소스 라인(39) 내 유체의 유량이 2개의 분리기를 요구하기에 충분할 정도로 큰 경우, 이때 밸브(37)는 폐쇄될 수 있으며 (또는 폐쇄된 상태로 유지될 것이고) 그리고 유체의 유동은, 소스 라인(39)을 통해 급송 라인(47)으로, 개방된 밸브들(35B, 35C)를 통해, 분리기들(68B, 68C)로 개별적으로 존재할 수 있다. 한편, 소스 라인(39)을 통한 유체의 유동이 3개의 분리기에 대해 충분한 경우, 이때 소스 라인(38) 내의 밸브(29)가 폐쇄될 것이고; 급송 라인(47) 내의 밸브(37) 및 유입구들(22A, 22B, 22C) 내의 밸브들(35A, 35B, 35C)은 개방될 것이며 그리고 유체는 분리기들(68A, 68B, 68C) 내로 그리고 그들을 통해 유동할 것이다.
분리기들(68A, 68B, 68C)의 하류에, 도 3에 도시된 바와 같이, 탈기 장치(60) 내에 제공되는 선택적 배관이 또한 존재한다. 도시된 바와 같이, 탈기 장치(60)는, 배출구들(23A, 23B, 23C); 개별적으로, 각각의 배출구(23A, 23B, 23C) 내의 밸브들(31A, 31B, 31C); 및 배출구들(23A, 23B, 23C)에 유동적으로 연결되며 그리고 2개의 배출 라인(48, 49)에 유동적으로 연결되는, 수집 라인(41)을 포함한다. 배출 파이프(48, 49)는, 개별적으로 커넥터들(J48, J49)을 통해 수집 라인(41)에 연결된다. 배출구들(23A, 23B, 23C)은, 개별적으로 접속부(JD, JE, JF)를 통해 수집 라인(41)에 연결된다. 탈기 장치(60)는 또한, (수집 라인(41)의 하류의) 배출 라인(48) 내의 밸브(40) 및 접속부들(JD, JE) 사이의 수집 라인(41) 내의 밸브(33)를 포함한다. 도 3에 도시된 실시예에 대해 이상에 설명된 바와 같이, 분리기(68B)가, 유체가 그를 통해 유동하고 있는 유일한 분리기인 경우, 밸브(31B)는 개방될 것이고 그리고 밸브들(33, 31C)은, 탈기 장치(60)의 하류의 하나 이상의 도구(미도시)로 배출 라인(49)을 통해 그리고 그 내부로, 탈기된 유체를 안내하기 위해 폐쇄될 것이다. 분리기들(68B, 68C)이 앞서 설명한 것과 동일한 유체를 탈기하고 있는 경우, 밸브(33)는 폐쇄될 것이며 그리고 밸브(31B, 31C)는 개방될 것이다. 3개 분리기(68A, 68B, 68C) 전부 유체를 탈기하고 있으며 그리고 단지 하나의 배출 라인만 사용되어야 하는 경우, 이때 밸브(40)는 폐쇄될 것이며 그리고 밸브들(31A, 32B, 31C)은 개방될 것이다.
1개 초과의 유체 소스가 사용되는 경우, 이때 소스 라인들(38, 39)은 유체를 탈기 장치(60)로 유동시키기 위해 사용될 것이다. 탈기되는 유체는, 동일하거나 상이할 수 있다. 제1 및 제2 유체 소스로부터의 유체들이 동일하며 그리고 모든 분리기가 온라인 상태인 경우, 이때 분리기들의 상류의 모든 밸브는 개방될 수 있다. 대안적으로, 탈기될 제1 및 제2 유체가 동일하지 않은 경우, 이때 제1 유체를 탈기하기 위해 사용되는 하나 이상의 분리기는, 제2 유체를 탈기하기 위해 사용되는 하나 이상의 분리기로부터 격리되어야 한다. 따라서, 예를 들어, 제1 유체가 소스 라인(38)을 통해 탈기 장치(60) 내로 유동하며 그리고 제2 유체가 소스 라인(39)을 통해 탈기 장치(60) 내로 유동하는 경우, 이때 급송 라인(47)의 밸브(37) 및 수집 라인(41)의 밸브(33)는, 제1 유체 트레인을 제2 유체 트레인으로부터 격리하기 위해 폐쇄될 것이다. 제1 소스 라인(39) 내의 제1 유체는 제1 접속부들(J39, JB), 제1 분리기(68A) 내로 제1 유입구(22B) 내의 제1 밸브(35B), 제1 배출구(23A)의 제1 밸브(31A), 제1 접속부(JD, J48), 밸브(40), 및 제1 배출 라인(48)을 통해, 유동할 것이다. 제2 소스 라인(39)의 제2 유체는, 급송 라인(47)을 제3 분리기(68C)에 연결하는 밸브(35C)가 폐쇄되는 경우, 제2 접속부(J39, JB), 제2 밸브(35A), 제2 분리기(68B) 내로 제2 유입구(22B), 그 후 제2 배출구(23B), 제2 밸브(31B)(밸브(31C)가 폐쇄되는 것이 바람직함), 제2 접속부(JE, J49), 제2 밸브(40)를 통해, 배출 라인(48)으로 유동할 것이다. 제2 유체의 유량이 충분히 큰 경우, 이때 제2 유체는 제2 및 제3 분리기(68B, 68C)를 통해 유동할 것이다. 제2 및 제3 유입구(22B, 22C) 내의 제2 및 제3 밸브(35B, 35C)는, 개별적으로, 제2 및 제3 분리기(68B, 68C) 내로의 제2 유체의 유동을 위해 개방될 것이다. 부가적으로, 제2 및 제3 배출구(23B, 23C) 내의 제2 및 제3 분리기(68B, 68C) 하류의 밸브들(31B, 31C)은, 제2 유체의 유동을 위해 개방될 것이다.
도 4에 도시된 실시예에서, 유입구들(22)의 수는 분리기들(68)의 수보다 더 적다. 유사하게, 배출구들(23)의 수는 분리기들(68)의 수보다 더 적다. 도 4에 도시된 탈기 장치(60)는, 탈기될 증가 또는 감소하는 유량의 단일 화학 물질을 위해 설계된다. 도 4에 도시된 탈기 장치(60)는, 제2 탈기 장치 시스템을 부가하는 것에 대한 자본 비용 및 점유 공간 요구 없이, 탈기될 단일 화학 물질의 유량 증가를 허용한다. 도 4에 도시된 실시예에서, 탈기될 화학 물질은, 유입구(22), 제1 분리기(68A), 및 배출구(23)를 포함하는, 진공 챔버(62)를 통한 제1 유동 경로, 및/또는, 유입구(22), 제2 분리기(68B), 및 배출구(23)를 포함하는, 진공 챔버(62)를 통한 제2 유동 경로, 및/또는, 유입구(22), 제3 분리기(68C), 및 배출구(23)를 통해 급송될 수 있다. 유입구(22)는, 유체를 위한 소스(미도시)에 연결되는, 소스 라인(38)에 연결된다. 배출구(23)는, 하나 이상의 도구(미도시)에 탈기된 유체를 제공하는, 배출 라인에 연결된다.
도 4에 도시된 실시예에서, 탈기 장치(60)는, 1개 초과의 분리기(즉, 제1, 제2, 및 제3 분리기(68A, 68B, 68C)), 유입구(22), 급송 라인(47), 수집 라인(41), 및 배출구(23)를 포함한다. 이 실시예에서, 제1, 제2, 및 제3 분리기(68A, 68B, 68C)는, 접속부들(JA, JB, JC)에서 급송 라인(47)과 연결되며 그리고 접속부들(JD, JE, JF)에서 수집 라인(41)과 연결된다. 급송 라인(47) 및 수집 라인(41)은, 진공 챔버(62) 내부의 분리기들(68A, 68B, 68C)의 상류 및 하류에서 위치된다. (도시된 바와 같이, 단일 소스 라인(39)이 존재하지만, 도 3에 도시된 실시예에서와 같이, 요구되는 경우, 하나 이상의 부가적인 소스 라인 및 유입구가, 본 실시예에 부가될 수 다. 부가적으로, 요구되는 경우, 급송 라인(47) 및/또는 수집 라인(41) 중 하나 이상이 진공 챔버(62) 외부에 위치될 수 있다.) 탈기 장치 배관은, 소스 라인(39) 하류의 그리고 본 실시예에서 하나 또는 하나 초과의 유입구(22)의 하류의, 급송 라인(47)을 포함한다. (도 3에 도시된 바와 같이, 급송 라인(47)은 진공 챔버(62)의 외부의 하나 또는 하나 초과의 유입구(22)의 상류에 있었다.) 급송 라인(47)은, 하나 또는 하나 초과의 소스 라인(39)을 분리기들(68)에 연결하고, 이는 본 실시예에서 접속부들(JA, JB, JC)에서 급송 라인(47)을 제1, 제2, 및 제3 분리기(68A, 68B, 68C)에 연결함에 의한 것이다.
소스 라인(39)은 연결부(J39)에서 급송 라인(47)에 연결된다. (접속부들 및 연결부들는 동일하거나 상이할 수 있다. 2-방향 또는 3-방향 및/또는 4-방향 파이프 부속품 중의 하나 또는 하나 초과가, 접속부들 및 연결부들을 위해 사용될 수 있으며 그리고 본 실시예 및 다른 실시예에서, 접속부들 및 연결부들은, 도시된 바와 달리, 급송 라인(47) 및 수집 라인(41) 상의 어느 곳이든 배치될 수 있다.) 급송 라인(47) 내의 접속부들(JA, JB, JC)은, 개별적으로 각각의 분리기(68A, 68B, 68C)에 직접적으로 연결될 수 있거나, 또는 접속부들(JA, JB, JC) 중의 하나 이상과 하나 이상의 분리기(68A, 68B, 68C) 사이에 몇몇 파이프 또는 대안적인 부속품이 존재할 수 있다. 일부 실시예에서, 퀵 릴리즈 밸브들(미도시)이, 개별적으로 접속부들(JA, JB, JC) 중의 하나 이상과 분리기들(68A, 68B, 68C) 중의 하나 이상 사이에 구비될 수 있다.
급송 라인(47)은, 그 내부에 하나 이상의 밸브를 포함할 수 있다. 도시된 바와 같이, 급송 라인(47)은, 접속부들(JA, JB)(개별적으로, 제1 및 제2 분리기(68A, 68B)와 유체 소통 상태에 놓이는 접속부들) 사이에 위치되는 하나의 밸브(37)를 구비한다. 도시된 바와 같이, 급송 라인(47)은, 접속부들(JB, JC)(개별적으로, 제2 및 제3 분리기(68B, 68C)와 유체 소통 상태에 놓이는 접속부들) 사이에 위치되는 제2 밸브(57)를 구비한다. 도 4의 실시예는, 탈기 장치(60)를 통해 유동하는 유체가 존재하는 경우에, 분리기(68B)가 항상 온라인 상태에 놓이도록 설계된다. 밸브들(37, 57)은, 탈기될 유체의 체적에 기초하여, 개별적으로 각각의 또는 양자 모두의 분리기(68A, 68C) 내로의 유체의 유동을 방지하거나 허용하기 위해, 개별적으로, 양자 모두 폐쇄되거나, 양자 모두 개방되거나, 각기 개방 및 폐쇄되거나 또는 폐쇄 및 개방될 수 있다.
분리기들(68A, 68B, 68C)의 배출 단부에, 수집 라인(41)과의 접속부들(JD, JE, JF)이 존재한다. 수집 라인(41)은, 그 내부에 하나 이상의 밸브를 구비할 수 있다. 일반적으로, 수집 라인(41) 내의 밸브들의 수는, 급송 라인(47) 내의 밸브들의 수와 합치할 것이다. 도시된 바와 같이, 제1 및 제2 접속부(JD, JE) 사이에 밸브(33)가 존재하며 그리고 제2 및 제3 접속부(JE, JF) 사이에 밸브(53)가 존재한다. 분리기(68A)가 온라인 상태에 놓이지 않을 때, 즉 밸브(37)가 폐쇄될 때, 이때 밸브(33) 또한 폐쇄될 것이다. 분리기(68C)가 온라인 상태에 놓이지 않을 때, 즉 밸브(57)가 폐쇄될 때, 이때 밸브(53) 또한 폐쇄될 것이다. 작동의 기간 이후에, 분리기(68B)가 (유체를 탈기하는) 유일한 온라인 상태의 분리기였을 때, 유체에 대한 수요가 증가하거나 또는 동일한 화학물질 유체가 그에 급송되는 제2 도구가 온라인 상태에 놓이게 되는 경우, 부가적인 분리기 또는 분리기들(68A 및/또는 68C)이, 급송 라인의 밸브 및 하나 이상의 분리기를 통한 유체의 유동을 제공할 수집 라인 내의 대응하는 밸브를 개방함에 의해, 온라인 상태에 놓일 수 있다. 그러한 분리기들을 통해 탈기될 유체의 유동을 제공하기 위해, 분리기(68A)에 대해, 밸브들(37, 33)이 개방될 것이고, 및/또는 분리기(68C)에 대해, 밸브들(57, 53)이 개방될 것이다.
대안적인 실시예에서, 급송 라인(47)은, 진공 챔버(62)의 외부에 놓일 수 있으며 그리고 수집 라인(41)은 진공 챔버(62)의 내부에 놓일 수 있으며, 및/또는 급송 라인(47)은 진공 챔버(62)의 내부에 놓일 수 있으며 그리고 수집 라인(41)은 진공 챔버(62)의 외부에 놓일 수 있다. 진공 챔버(62) 내부에 급송 라인(47) 및 수집 라인(41)을 구비하는 것은, 진공 챔버(62)의 하나의 벽 또는 하나 초과의 벽을 관통해야만 하는, 더 적은 수의 유입구들(22) 및 배출구들(23)을 제공할 수 있다. 벽들을 통한 더 적은 수의 관통부는, 관통부들 중의 하나에서 누설의 가능성을 감소시킨다. 다른 한편, 급송 라인(47) 및/또는 수집 라인(41)이 진공 챔버(62)의 외부에 위치되는 경우, 진공 챔버(62)는 크기가 감소될 수 있으며, 그리고 수리가, 급송 라인(47) 및/또는 수집 라인(41)에 대해 또는 급송 라인(47) 및/또는 수집 라인(41) 중 어느 하나 또는 양자 모두 내의 밸브들 또는 밸브 제어부들에 대해, 이루어져야할 필요가 있는 경우, 이때 이들은, 진공 챔버(62)의 외부에 위치된다면, 접근하기에 더 용이하다. 급송 라인(47) 및 수집 라인(41)이 진공 챔버(62) 내부에 위치되는 경우, 상부 벽(24) 및 하부 벽(25) 중의 하나 또는 양자 모두가 제거 가능할 수 있고, 및/또는 진공 챔버(62)는 기밀 시일을 구비하는 접근 도어(미도시)를 갖도록 제공될 수 있다.
본 발명의 추가 양태에서, 탈기 장치(60)에서 사용되는 분리기들(68)은, 특정 체적의 유체를 탈기하도록 설계될 수 있지만, 분리기들(68)의 용적들은 동등해야만 하는 것은 아니다. 예를 들어, 표준 분리기들이, 예를 들어 0.5 유체 체적/분, 1 유체 체적/분, 및 0.8 유체 체적/분으로 탈기하도록 이루어질 수 있다. 따라서, 예를 들어, 분리기가 사용 중이며 1 유체 체적/분으로 탈기하고 있으며 그리고 최종 사용자가 체적을 1.5로 증가시킬 필요가 있는 경우, 0.5 유체 체적/분의 분리기가, 동일한 진공 챔버(62) 내부에서 온라인 상태로 될 수 있다. 하나의 실시예에서, 각 분리기(68)는 복수의 튜브를 포함할 것이다. 분리기가 탈기할 수 있는 유체의 체적을 변화시키기 위해서, 튜브의 수는 각각의 분리기에 대해 증가되거나 감소될 수 있다. 유체 수요가 1 유체 체적/분으로부터 1.5 유체 체적/분으로 증가하는 경우, 이때 온라인 상태로 되는 제2 분리기에서 사용되는 튜브의 수는, 이미 온라인 상태에 놓인 분리기 내의 튜브의 수의 절반일 것이다.
대안적인 실시예에서, 사용 중이 아닌 분리기를 격리하는 밸브들 중의 임의의 것이, 대신에 플러그(미도시)로 교체될 수 있다. 처음 설치될 때, 분리기들, 예를 들어 분리기들(68A, 68C)이, 장비와 함께 제공되지 않는 경우, 플러그들이 제공될 수 있지만, 탈기된 유체에 대한 필요성이 증가하는 경우, 급송 라인(47) 및 수집 라인(41)과 유체 소통 상태에 놓이는 하나 또는 하나 초과의 분리기(68A, 68C) 및 선택적으로 급송 라인(47) 및 수집 라인(41) 내의 하나 또는 하나 초과의밸브 쌍(37 및 33 또는 57 및 53)의 용이한 교체 및 설치를 허용할 것이다. 하나의 실시예에서, 탈기 장치(60)는, 단지 제1 분리기 또는 단지 제1 및 제2 분리기, 예를 들어, 분리기(68B) 또는 분리기들(68A, 68B)을 갖도록 설치될 수 있으며, 그리고 플러그들(미도시)이, 밸브(37 또는 57) 및/또는 밸브(33 및 53) 중 어느 하나 또는 양자 모두를 대신하여 제공될 수 있다. 플러그들은, 유체가 그러한 분리기들 내로 유동하도록 허용하기 이전에, 제거되어야 하며 그리고 하나 이상의 분리기가 탈기 장치(60) 내에 설치되어야 할 것이다.
도 5는 부가적인 양태를 구비하는 탈기 시스템의 개략도를 도시한다. 탈기 장치(60)는, (도시된 바와 같이, 탱크인) 탈기될 유체를 위한 소스(84)와 탈기된 유체의 사용 지점(86) 사이에 배치된다. 탈기 장치(60)는: 진공 챔버(62); 진공 챔버(62)의 내부를 대기압보다 낮은 압력으로 감압하기 위한 (사용될 수 있는 임의의 감압 장치를 나타내기 위해 사용되는) 진공 펌프(83); 진공 라인(88)을 형성하기 위해 진공 펌프(83)를 진공 챔버(62)의 진공 포트(66)에 연결하는 진공 흡인 파이프; 진공 흡인 파이프(88) 내 압력을 측정하기 위한 압력 게이지(82); 및 진공 라인에서 압력 게이지(82)의 위치보다 진공 챔버(62)에 더 가까운 위치에 위치되는 액체 누설 센서(81)를 포함한다. 탈기 장치 시스템은 또한, 제어 시스템(98) 및 사람-기계 인터페이스 또는 HMI(Human-Machine Interface)(97) 그리고, 밸브들을 개폐하며 그리고 펌프 속도를 조절하기 위한 전기적 및/또는 기계적 구성요소들 포함한다. 진공 챔버(62)는, 진공 챔버(62)의 상부 벽(24)이 수직 상방으로 배향되며 그리고 유입구(22) 및 배출구(23) 양자 모두가 상부 벽(24)을 관통하며, 그리고 유입구(22) 및 배출구(23) 양자 모두가 수직 상방으로 배향되도록 하는 방식으로, 탈기 장치 하우징(100) 내에 설치된다. 옵션 펌프(85)가, 유체 소스(84) 내에 유지되는 유체를 제거하며 그리고 유체를 탈기 장치(60)로 보내며, 그리고 이어서 탈기된 유체를 사용 지점(86)으로 보낸다. 펌프(85)는, 유체 소스(84)의 헤드가 탈기 장치(60)로의 유체 유동을 야기하도록 달리 가압되는 경우, 생략될 수 있다. 또한, 대안적인 실시예에서 옵션 펌프(85) 및 유체 소스(84), 역시 하우징(100) 내부에 놓일 수 있다.
도 5에 도시된 탈기 장치(60)에서, 진공 챔버(62)와 진공 펌프(83) 사이의 진공 라인(88) 상에 배치되는 압력 게이지(82)는, 그가 측정하는 양을, 변동을 검사하기 위해 데이터 송신기(99)(유선, 무선, 또는 기타)를 통해 제어 시스템(98)으로 전기적으로 전달한다. 제어 시스템(98)은, 진공 펌프(83)가 속도를 올리거나 낮추도록 하기 위해, 진공 펌프(83)와 통신하도록 그러한 정보를 사용한다. 바람직한 실시예에서, 펌프(83)는, 진공 펌프(83)의 마모를 감소시키는 가운데, 1개 또는 2개 또는 3개 이상의 분리기(68)가 진공 챔버(62) 내의 유체를 탈기하고 있는지 불문하고, 진공 챔버(62) 내에 동일한 레벨의 감소된 압력을 유지할 수 있도록 하는, 가변 속도 펌프이다.
부가적으로, 탈기 장치(60)는, 예를 들어 튜브 다발(69A, 69B) 내의 누설 튜브 또는 누설 커넥터(67)에 의해 야기될 수 있는 진공 챔버(62) 내의 임의의 누설이 존재하는지를 결정하기 위해, 액체 누설 센서(81)를 포함할 수 있다. 누설이 검출되는 경우, 탈기 프로세스는 중지되어야 한다. 액체 누설 센서(81)의 적합한 유형은 제한되지 않는다. 예를 들어, 도선들 사이 저항의 변화를 검출하기 위해 2개의 도선을 구비하는 액체 누설 센서(81), 초음파 액체 검출기, 또는 광섬유 유형의 액체 누설 센서가, 사용될 수 있다. 더욱이, 액체 누설 센서(81) 및 진공 게이지와 같은 검출기가, 탈기 장치(60)의 진공 챔버(62) 내에 배치될 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 액체 트랩(89)이, 탈기 장치(60) 내의 진공 챔버(62)와 진공 펌프(83) 사이의 진공 라인(88) 상에 배치될 수 있다. 액체 트랩(89)은, 진공 포트(66)를 통해 진공 라인(88) 내로 유동된 탈기될 유체가 진공 펌프(83) 내로 인입되는 것 및 압력 게이지(82)와 접촉하는 것을 방지한다. 그에 따라 구성될 때, 압력 게이지(82) 및 진공 펌프(83)는, 고장으로부터 보호될 수 있다.
액체 트랩(89)으로서, 액체를 유지할 수 있는 작은 챔버 및, 자체를 통해 액체가 침투하는 것을 방지하는 가운데 가스가 자체를 통해 침투하도록 허용하는, 가스-투과성 필터를 포함하는 구성요소를 사용하는 것이, 가능하다. 그러한 가스-투과성 필터의 구체적인 예가, 플루오로 수지 또는 폴리올레핀 수지로 이루어진 다공성 막을 포함하는, 다공성 필터가 이다. 구체적으로, 액체 트랩(89)은, 진공 라인(88) 상의 액체 누설 센서(81)와 진공 펌프(83) 사이에, 바람직하게 액체 누설 센서(81)와 압력 게이지(82) 사이에, 배치된다.
도 5에 도시된 탈기 시스템은 추가로, 자체를 통해 유동하는 탈기된 유체의 유량을 측정하며 그리고 사용 지점(86)으로의 탈기된 유체의 유동을 증가 또는 감소시키기 위해 제어 밸브를 조절하는, 유량계(118)를 포함한다. 증가된 또는 감소된 수요가 존재하는 경우, 유량계(118)는, 탈기된 유체에 대한 수요에 응답하여 하나 이상의 부가적인 분리기 또는 하나 이상 더 적은 수의 분리기로 유체를 유동시키기 위해 탈기 장치(60) 내의 밸브들을 자동으로 개폐할, 제어 시스템(98)과 통신할 것이다. 부가적으로, 옵션 펌프(85)의 속도는, 증가되거나 감소된 수요에 응답하여 제어 시스템(98)에 의해 조절될 수 있다. 대안적으로, 유체 유동은, (선택적으로 사용 지점(86)에서의 탈기된 유체에 대한 수요를 감지하는 센서 및 수요의 수동적 증가에 응답하여) 하나 또는 하나 초과의 분리기(68)와 유체 소통 상태에 놓이는 폐쇄된 밸브를 개방함으로써 그리고 하나 또는 하나 초과의 분리기(68)를 통해 유체를 안내함으로써, (자동과 비교해) 수동으로 조절될 수 있다.
대안적으로 또는 부가적으로, 폐쇄된 밸브를 개방하는 자동 또는 수동 프로세스는, 유량계(118) 또는 유체 소스(84)의 중량을 측정하는 저울(미도시)에 의해 측정되는 유체 중량의 변화율에 응답하는 것일 수 있다. 대안적인 실시예에서, 저울 및 유체의 소스(84)는 선택적으로, 펌프(85) 그리고 선택적으로 유량계(118), 제어 밸브(128), 및 기화기(130) 중의 하나 이상에 부가하여, 하우징(100) 내에 위치될 수 있다. 유체 제어 밸브(128)는, 연결 라인(126)을 통해 유량계(118)와 소통 상태에 놓인다.
본 발명은, 특정 실시예들을 참조하여 설명되었다. 수정예들이, 당업자에게 명백할 것이다. 이러한 수정예들은, 본 개시에 포함된다.

Claims (24)

  1. 처리 액체(114)에 포집되거나 용해된 가스 분자를 제거하기 위한 탈기 장치(60)로서:
    하나 또는 하나 초과의 진공 챔버 벽(24, 25)을 가지는 진공 챔버(62);
    상기 처리 액체(114)가 그를 통해 개별적으로 상기 진공 챔버(62) 내로 그리고 밖으로 통과되는, 하나 또는 하나 초과의 유체 유입구(22) 및 하나 또는 하나 초과의 유체 배출구(23)로서, 상기 진공 챔버 벽(24, 25) 중의 적어도 하나를 관통하는 것인, 하나 또는 하나 초과의 유입구(22) 및 하나 또는 하나 초과의 배출구(23);
    상기 진공 챔버(62) 내부에 위치되며 그리고 포집되거나 용해된 가스의 분자에 대해 투과성이지만 상기 처리 액체(114)에 대해 불투과성이도록 구성되는, 하나 또는 하나 초과의 분리기(68);
    상기 포집되거나 용해된 가스의 분자가 상기 처리 액체(114)를 떠나도록 그리고 상기 하나 또는 하나 초과의 분리기(68)를 통해 침투하도록 야기하여, 그로 인해 상기 포집되거나 용해된 가스를 상기 처리 액체(114)로부터 제거하도록 하기 위해, 진공 포트(66)를 통해 상기 하나 또는 하나 초과의 분리기(68)를 가로질러 압력차를 인가하기 위한 적어도 하나의 진공 소스; 및
    선택적으로 상기 하나 또는 하나 초과의 유입구(22) 및 상기 하나 또는 하나 초과의 분리기(68)와 유체 소통 상태에 놓이는 하나 또는 하나 초과의 급송 라인(47)을 포함하는 것인, 탈기 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    하나 또는 하나 초과의 급송 라인(47)으로서, 상기 하나 또는 하나 초과의 유입구(22)에 연결되며 그리고 분리기들(68)의 수가 유입구들(22)의 수보다 많은 경우에 2개 또는 2개 초과의 분리기(68)를 하나 또는 하나 초과의 급송 라인(47)에 연결하는 2개 또는 2개 초과의 접속부(JA, JB, JC)를 구비하는 것인, 하나 또는 하나 초과의 급송 라인을 포함하는 것인, 탈기 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    2개 이상의 분리기(68)를 포함하는 것인, 탈기 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    3개 이상의 분리기(68)를 포함하는 것인, 탈기 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    하나의 유입구(22)를 포함하는 것인, 탈기 장치.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    2개 이상의 유입구(22)를 포함하는 것인, 탈기 장치.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    3개 이상의 유입구(22)를 포함하는 것인, 탈기 장치.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    하나의 배출구(23)를 포함하는 것인, 탈기 장치.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    2개 이상의 배출구(23)를 포함하는 것인, 탈기 장치.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    3개 이상의 배출구(23)를 포함하는 것인, 탈기 장치.
  11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    2개 이상의 분리기(68)와 유체 소통 상태에 놓이는 하나의 급송 라인(47)을 포함하는 것인, 탈기 장치.
  12. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
    3개 이상의 분리기(68)와 유체 소통 상태에 놓이는 하나의 급송 라인(47)을 포함하는 것인, 탈기 장치.
  13. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    2개 이상의 분리기(68)와 유체 소통 상태에 놓이는 수집 라인(41)을 포함하는 것인, 탈기 장치.
  14. 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    3개 이상의 분리기(68)와 유체 소통 상태에 놓이는 수집 라인(41)을 포함하는 것인, 탈기 장치.
  15. 제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
    폐쇄될 때, 상기 탈기 장치(60) 내에서, 유입구(22), 분리기(68), 및 배출구(23)를 포함하는 유동 경로를, 하나 또는 하나 초과의 다른 분리기(68)를 포함하는 하나 이상의 다른 유동 경로로부터 격리하는, 상기 급송 라인(47) 내의 적어도 하나의 밸브(37) 및 상기 수집 라인(41) 내의 적어도 하나의 밸브(33)를 포함하는 것인, 탈기 장치.
  16. 제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,
    하나의 분리기(68)를 제외한 모든 분리기(68)가 상기 하나의 분리기(68)로부터 격리될 수 있도록, 하나의 분리기(68)를 제외한 각각의 분리기(68)의 상류에 적어도 하나의 밸브(35)를 포함하는 것인, 탈기 장치.
  17. 제1항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,
    압력 게이지(82) 및 상기 진공 챔버(62)와 유체 소통 상태에 놓이는 가변 속도 펌프(83)를 더 포함하는 것인, 탈기 장치.
  18. 제17항에 있어서,
    압력이 사전 결정된 압력이 아닐 때 상기 가변 속도 펌프(83)의 펌프 속도를 조절하기 위한, 상기 압력 게이지(82) 및 상기 펌프(83)와 전기적 통신 상태에 놓이는 제어 시스템(98)을 더 포함하는 것인, 탈기 장치.
  19. 제1항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서,
    제1 분리기(68)가, 제1 처리 유체(114)를 탈기하며, 그리고 제2 분리기(68)가, 제2 처리 유체(114)를 탈기하는 것인, 탈기 장치.
  20. 제1항 내지 제19항 중 어느 한 항에 있어서,
    하우징(100)을 더 포함하는 것인, 탈기 장치.
  21. 처리 유체(114)를 탈기하는 방법으로서,
    제1항 내지 제20항 중 어느 한 항의 탈기 장치(60)를 통해 상기 처리 유체를 유동시키는 단계를 포함하는 것인, 방법.
  22. 제21항에 있어서,
    하나 또는 하나 초과의 분리기(68)와 유체 소통 상태에 놓이는 폐쇄된 밸브들을 자동으로 또는 수동으로 개방함에 의해 상기 탈기 장치(60)에서 탈기된 처리 유체(114)의 양을 증가시키는 단계 및 사용 지점(86)에서의 탈기된 유체에 대한 증가된 수요에 기초하여 하나 또는 하나 초과의 분리기(68)를 통해 유체를 안내하는 단계를 포함하는 것인, 방법.
  23. 제21항 또는 제22항에 있어서,
    상기 탈기 장치(60)는 2가지 상이한 유체를 탈기하는 것인, 방법.
  24. 제21항 내지 제23항 중 어느 한 항에 있어서,
    처리 유체(114)를 탈기하고 있는 하나 이상의 다른 분리기(68)로부터 하나의 분리기(68)를 격리하는 단계를 더 포함하는 것인, 방법.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT202000009322A1 (it) * 2020-04-28 2021-10-28 Ariston S P A Deareatore per l'eliminazione e l'evacuazione di gas in impianti di riscaldamento o simili
CN116173651A (zh) * 2023-02-15 2023-05-30 上海良薇机电工程有限公司 一种基于流量控制的液态源气体中的He分子剥离装置

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3973930A (en) * 1973-10-09 1976-08-10 Burgess Harry L Drilling mud degasser apparatus and method
US5340384A (en) * 1993-03-05 1994-08-23 Systec, Inc. Vacuum degassing
EP0855206B1 (fr) * 1997-01-22 2004-03-17 Hormec Technic Sa Dispositif et procédé de dégazage pour substances visqueuses ou pâteuses
AU3090099A (en) * 1998-03-20 1999-10-18 Angelo L. Mazzei Stripping of contaminants from water
JP2002370060A (ja) * 2001-06-13 2002-12-24 Fuji Photo Film Co Ltd 塗布液の脱気システム及び塗布液の脱気方法
JP2004249215A (ja) * 2003-02-20 2004-09-09 Fuji Photo Film Co Ltd 液体の脱気システム及び液体の脱気方法
GB0427832D0 (en) * 2004-12-20 2005-01-19 Boc Group Plc Degassing molten metal
JP2006234650A (ja) * 2005-02-25 2006-09-07 Shimadzu Corp 脱気装置
WO2008035714A1 (fr) * 2006-09-22 2008-03-27 Nitto Denko Corporation Dispositif de dégazage
WO2008088293A1 (en) * 2007-01-18 2008-07-24 Hyflux Membrane Manufacturing (S) Pte Ltd Membrane contactor
CN201394381Y (zh) * 2009-01-16 2010-02-03 钱志刚 发电机冷却水透析式快速除氧装置
US8449659B2 (en) * 2010-09-28 2013-05-28 Celgard Llc Liquid degassing membrane contactors, components, systems and related methods
US8440003B2 (en) * 2011-03-25 2013-05-14 Idex Health & Science, Llc Apparatus for pervaporation control in liquid degassing systems
CN203825006U (zh) * 2014-03-31 2014-09-10 江苏欧诺科技发展有限公司 负压脱气系统
EP3204733B1 (en) * 2014-10-08 2022-05-11 Versum Materials US, LLC Low pressure fluctuation flow control apparatus and method
WO2017040408A1 (en) * 2015-08-28 2017-03-09 Idex Health & Science, Llc Membrane gas/liquid contactor
CN108408672A (zh) * 2018-04-16 2018-08-17 珠海经济特区高宝化工厂有限公司 一种用于墨水制造的真空上料脱气灌装系统

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