KR20210134097A - 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

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KR20210134097A
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이강원
정경훈
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Abstract

표시 장치의 제조 장치가 제공된다. 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치는 제1 챔버, 제1 챔버의 내부 공간에 배치되고, 내부를 관통하는 복수의 개구부 및 복수의 개구부를 둘러싸는 프레임부를 포함하는 척 플레이트, 프레임부 상에 배치되는 복수의 점착척, 및 평면도상 각 개구부의 내부에 배치되며 각 개구부를 관통하여 이동 가능하도록 구성된 복수의 정전척을 포함한다.

Description

표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법 {APPARATUS FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE}
본 발명은 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
표시 장치는 멀티미디어의 발달과 함께 그 중요성이 증대되고 있다. 이에 부응하여 유기발광 표시 장치(Organic Light Emitting Display, OLED), 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display, LCD) 등과 같은 여러 종류의 표시 장치가 사용되고 있다.
최근에는 이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.
기판에 박막을 형성하는 방법으로 진공 가열 증착(Vacuum thermal evaporation)이나 전자선 증착(E-beam evporation) 등과 같은 물리기상증착(PVD: physical vapor deposition) 방법을 이용할 수 있다. 이와 같은 증착 방법을 수행하기 위해서는 기판에서 박막이 증착되는 면이 아래로 향하도록 척 플레이트에 고정될 필요가 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 척 플레이트에 척킹되는 대상 기판의 데미지 및 상면에 부착되는 이물질을 최소화할 수 있는 표시 장치의 제조 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 척 플레이트에 척킹되는 대상 기판의 데미지 및 상면에 부착되는 이물질을 최소화할 수 있는 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치는 제1 챔버; 상기 제1 챔버의 내부 공간에 배치되고, 내부를 관통하는 복수의 개구부 및 상기 복수의 개구부를 둘러싸는 프레임부를 포함하는 척 플레이트; 상기 프레임부 상에 배치되는 복수의 점착척; 및 평면도상 상기 각 개구부의 내부에 배치되며 상기 각 개구부를 관통하여 이동 가능하도록 구성된 복수의 정전척을 포함한다.
상기 각 점착척은 서로 이격되어 배치되며, 상기 각 점착척의 상면은 동일 평면 상에 위치할 수 있다.
상기 각 점착척은 동일한 형상 및 크기를 가질 수 있다.
상기 복수의 개구부 내에 배치되는 상기 복수의 정전척은 제1 방향으로 연장하는 제1 정전척 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장하는 제2 정전척을 포함할 수 있다.
상기 복수의 정전척을 상기 개구부를 관통하는 방향으로 이동시키는 승강 장치를 더 포함하되, 상기 각 정전척의 상면은 동일 평면을 유지하며 이동할 수 있다.
상기 승강 장치는 복수개이며, 상기 각 정전척마다 결합될 수 있다.
상기 승강 장치를 작동시키는 제어부를 더 포함하되, 상기 제어부는 상기 정전척에 안착되는 대상 기판을 상기 점착척의 상면 측으로 가압하여 상기 대상 기판을 상기 점착척에 부착시키도록 상기 승강 장치를 작동시킬 수 있다.
상기 척 플레이트를 지지하는 지지대를 더 포함하되, 상기 지지대는 상기 척 플레이트를 상기 정전척의 일면과 수직한 방향으로 이동시키는 승강 장치를 포함할 수 있다.
상기 제1 챔버와 공간적으로 연결되는 제2 챔버; 및 상기 제2 챔버의 내부 공간에 배치되는 기판 처리 장치를 더 포함할 수 있다.
상기 기판 처리 장치는 내부에 증착 대상 물질이 저장되는 증착원 및 상기 증착 대상 물질이 분사되는 노즐을 포함할 수 있다.
상기 척 플레이트는 상기 기판 처리 장치에서 상기 증착 대상 물질이 증착되는 증착 영역 및 상기 증착 영역을 둘러싸며 상기 증착 대상 물질이 증착되지 않는 비증착 영역을 포함하되, 상기 복수의 점착척은 상기 비증착 영역에 배치된 상기 프레임부 상에 배치될 수 있다.
상기 다른 과제를 해결하기 위한 일 실시예에 다른 표시 장치의 제조 방법은 대상 기판, 상기 대상 기판이 안착되며 내부를 관통하는 개구부와 상기 개구부를 둘러싸는 프레임부를 포함하는 척 플레이트, 상기 프레임부 상에 배치되는 복수의 점착척 및 평면도상 상기 개구부 내부에 배치되며 상기 척 플레이트보다 상부에 위치하는 정전척을 준비하는 단계; 상기 대상 기판을 상기 정전척 상에 배치시키고 고정하는 단계; 및 상기 정전척을 하강시키는 단계를 포함한다.
상기 대상 기판을 상기 정전척 상에 배치시키고 고정하는 단계는 상기 정전척에 전압을 인가하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 대상 기판을 상기 정전척 상에 배치시키고 고정하는 단계는 제1 챔버의 내부 공간에서 이루어지며, 상기 제1 챔버의 내부 공간에 진공 분위기를 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 정전척을 하강시키는 단계 이후에, 제2 챔버, 상기 제2 챔버의 내부 공간에 배치되는 증착 장치를 준비하는 단계; 상기 척 플레이트를 상기 제2 챔버의 내부 공간으로 이동시켜 상기 대상 기판 상에 증착 물질을 증착하는 단계; 상기 척 플레이트를 상기 제1 챔버의 내부 공간으로 이동시켜 상기 정전척 상에 배치시키는 단계; 및 상기 정전척을 상승시켜 상기 대상 기판을 상기 정전척으로부터 분리시키는 단계를 포함할 수 있다.
상기 정전척을 하강시키는 단계는 상기 정전척에 인가된 상기 전압을 제거하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 정전척을 하강시키는 단계는 상기 정전척의 하부에 배치된 승강 장치를 통해 이루어질 수 있다.
상기 정전척을 하강시키는 단계는 상기 대상 기판을 상기 점착척에 부착시키는 단계를 포함할 수 있다.
상기 대상 기판을 상기 점착척에 부착시키는 단계 이후에 상기 정전척의 상면이 상기 척 플레이트의 배면보다 하부에 위치하도록 하강하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 정전척의 상면이 상기 척 플레이트의 배면보다 하부에 위치하도록 하강하는 단계에서, 상기 대상 기판은 국부적으로 휠 수 있다.
기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치에 의하면, 대상 기판의 상면을 접촉하지 않고 대상 기판을 척 플레이트의 점착척에 척킹시킬 수 있어 대상 기판의 파손을 방지할 수 있다. 또한, 대상 기판의 하부에 배치된 정전척을 통해 대상 기판을 척 플레이트에 고정시킬 수 있어 대상 기판의 상면에 이물질이 부착되는 것을 방지할 수 있다.
일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 의하면, 대상 기판의 상면을 접촉하지 않고 대상 기판을 척 플레이트의 점착척에 척킹시킬 수 있어 대상 기판의 파손을 방지할 수 있다. 또한, 대상 기판의 하부에 배치된 정전척을 통해 대상 기판을 척 플레이트에 고정시키는 과정을 수행함으로써 대상 기판의 상면에 이물질이 부착되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 나타낸 개략도이다.
도 2는 일 실시예에 따른 척킹 장치를 나타낸 사시도이다.
도 3은 일 실시예에 따른 척킹 장치를 나타낸 평면도이다.
도 4는 도 3의 IV-IV'를 따라 자른 단면도이다.
도 5는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
도 6 내지 도 12는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 개략도이다.
도 13은 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 나타낸 개략도이다.
도 14는 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 나타낸 개략도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.
이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 실시예들에 대해 설명한다.
도 1은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 나타낸 개략도이다. 도 2는 일 실시예에 따른 척킹 장치를 나타낸 사시도이다. 도 3은 일 실시예에 따른 척킹 장치를 나타낸 평면도이다. 도 4는 도 3의 IV-IV'를 따라 자른 단면도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1)는 척킹 장치(CD) 및 기판 처리 장치(DD)를 포함할 수 있다. 후술하겠지만, 척킹 장치(CD)는 대상 기판(SUB)을 척 플레이트(CP) 상에 고정시키는 장치이고, 기판 처리 장치(DD)는 척킹 장치(CD)로부터 척 플레이트(CP) 상에 고정된 대상 기판(SUB)을 제공받아 대상 기판(SUB) 상에 공정 처리를 수행하는 장치일 수 있다. 기판 처리 장치는 예를 들어, 증착 장치(DD), 식각 장치, 세정 장치, 열처리 장치, 레이저 처리 장치, 코팅 장치, 검사 장치 등일 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니다. 이하의 실시예에서는 기판 처리 장치의 일예로서 대상 기판(SUB)에 박막을 증착시키는 증착 장치(DD)를 예시하기로 한다.
증착 장치(DD)는 표시 장치를 제조하는 공정에 사용되는 장치일 수 있다. 예를 들어, 증착 장치(DD)는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시 장치(Field Emission Display), 플라즈마 표 시 장치(Plasma Display) 및 전계 발광 표시 장치(Electro-Luminescence Display) 등에 포함된 다수의 박막을 형성하는 공정에 사용될 수 있다.
대상 기판(SUB)은 절연 기판이나 절연 기판 상에 배치된 복수의 박막 구조물을 포함하는 기판일 수 있다. 대상 기판(SUB)은 증착 장치(DD) 내에서 박막이 형성되는, 다시 말하면 증착 대상 물질이 증착되는 상면(SUBa)과 상면(SUBa)의 반대면인 배면(SUBb)을 포함할 수 있다.
대상 기판(SUM)에 박막을 형성하는 방법으로는 진공 증착(evaporation)법, 이온 플레이팅(ion plating)법, 및 스퍼터링(spittering)법과 같은 물리 기상 증착(PVD)법과, 가스 반응에 의한 화학 기상 증착(CVD)법이 있다. 이하, 진공 증착(evaporation)법에 대해 설명하지만, 증착 장치(DD)가 이에 제한되는 것은 아니다.
증착 장치(DD)는 내부에 증착 대상 물질이 저장되는 증착원(DC) 및 증착 대상 물질이 분사되는 통로인 노즐(NZ)을 포함할 수 있다. 증착원(DC)의 내부에는 증착 대상 물질이 저장되는 저장공간이 형성될 수 있다. 예를 들어, 증착 대상 물질은 유기물일 수 있다. 구체적으로, 증착 대상 물질은 유기 발광 표시 장치의 유기발광물질, 정공주입/정공수송 물질, 전자주입/전자수송 물질 등을 포함할 수 있다. 유기물인 증착 대상 물질은 기화되어 노즐(NZ)을 통하여 대상 기판(SUB)을 향하여 배출될 수 있다. 증착 대상 물질이 기화되는 방법의 일례로, 가열에 의한 방법이 사용될 수 있다. 예를 들어, 증착 물질의 내벽에 발 열 코일을 형성하고, 발열 코일에 전류를 인가하여 열을 발생시킬 수 있다. 다만, 증착 대상 물질이 기화되는 방법은 가열에 의한 것으로 제한되는 것은 아니다.
척킹 장치(CD)와 증착 장치(DD)는 서로 다른 챔버(CH1, CH2) 내에 위치할 수 있다. 예를 들어, 척킹 장치(CD)는 로딩 챔버(CH1) 내에 위치하고, 증착 장치(DD)는 증착 챔버(CH2) 내에 위치할 수 있다. 로딩 챔버(CH1)의 내부 공간은 로딩 공간(LS)으로 정의되고, 증착 챔버(CH2)의 내부 공간은 증착 공간(DS)으로 정의될 수 있다. 또한, 로딩 공간(LS) 및 증착 공간(DS)은 사이에 배치되는 연결 공간(CS)에 의해 공간적으로 연결될 수 있다. 연결 공간(CS)은 로딩 공간(LS)에서 대상 기판(SUB)이 로딩된 척 플레이트(CP)가 증착 공간(DS)으로 이동하는 연결 통로이고, 또한 증착 공간(DS)에서 증착 대상 물질이 증착된 대상 기판(SUB)이 로딩된 척 플레이트(CP)가 로딩 공간(LS)으로 이동하는 연결 통로일 수 있다.
표시 장치의 제조 장치(1)는 로딩 공간(LS)의 제1 방향(DR1) 타측에 배치되어 외부로부터 대상 기판(SUB)의 반입 및 반출이 가능하도록 구성된 제1 게이트(G1) 및 로딩 공간(LS)의 제1 방향(DR1) 일측에 배치되어 연결 공간(CS)과 연결되는 제2 게이트(G2)를 포함할 수 있다. 제2 게이트(G2)는 연결 공간(CS)의 제1 방향(DR1) 타측에 배치될 수 있다.
표시 장치의 제조 장치(1)는 로딩 공간(LS)의 제1 방향(DR1) 일측에 배치되어 증착 공간(DS)과 연결되는 제3 게이트(G3)를 더 포함할 수 있다. 제3 게이트(G3)는 증착 공간(DS)의 제1 방향(DR1) 타측에 위치할 수 있다.
증착 공정에서, 대상 기판(SUB)에 이물질 등이 부착되는 것을 방지하며 증착 대상 물질을 안정적으로 증착하기 위하여 로딩 공간(LS) 및 증착 공간(DS)에는 진공 분위기가 형성될 수 있다. 이를 위해, 표시 장치의 제조 장치(1)는 진공 펌프(VM1, VM2) 및 진공 튜브(VP1, VP2)를 더 포함할 수 있다. 진공 펌프(VM1, VM2)는 로딩 공간(LS)에 진공 분위기를 제공하는 제1 진공 펌프(VM1) 및 증착 공간(DS)에 진공 분위기를 제공하는 제2 진공 펌프(VM2)를 포함할 수 있다. 제1 진공 펌프(VM1)는 제1 진공 튜브(VP1)를 통해 로딩 공간(LS)에 연결되고, 제2 진공 펌프(VM2)는 제2 진공 튜브(VP2)를 통해 증착 공간(DS)에 연결될 수 있다. 도 1에는 로딩 공간(LS) 및 증착 공간(DS)이 서로 다른 진공 펌프(VM1, VM2)에 의해 진공 분위기가 제공되는 것을 도시하였으나, 이에 제한되지 않고 로딩 공간(LS) 및 증착 공간(DS)은 동일한 진공 펌프(VM1, VM2)에 의해 진공 분위기가 제공될 수도 있다.
척킹 장치(CD)는 척 플레이트(CP), 점착척(PSC), 정전척(ESC), 베이스부(BS), 지지대(SP), 및 승강 장치(SD)를 포함할 수 있다.
척 플레이트(CP) 상에는 대상 기판(SUB)이 안착될 수 있다. 척 플레이트(CP)는 내부를 관통하는 복수의 개구부(OP) 및 복수의 개구부(OP)를 둘러싸는 척 프레임(CF)을 포함할 수 있다. 척 플레이트(CP)는 직육면체의 외관을 가질 수 있으나, 이에 제한되지 않고 원기둥 및 다른 다각 기둥 형상을 가질 수 있다.
개구부(OP)는 척 플레이트(CP)의 내부를 관통하는 관통홀일 수 있다. 각 개구부(OP)의 관통 형상은 직육면체일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 각 개구부(OP)의 크기는 동일할 수 있으나, 이에 제한되지 않고 상이할 수 있다. 개구부(OP)의 형상 및 크기는 적용되는 표시 장치의 모델에 따라 다양하게 설정될 수 있다.
척 플레이트(CP)는 증착 공정에서 안착되는 대상 기판(SUB)의 영역에 증착 대상 물질이 증착되는 증착 영역(DA) 및 증착 대상 물질이 증착되지 않는 비증착 영역(NDA)을 포함할 수 있다. 비증착 영역(NDA)은 증착 영역(DA)을 둘러싸며 배치될 수 있다. 각 개구부(OP)는 증착 영역(DA)에 포함될 수 있다. 각 개구부(OP) 사이에 위치하는 척 프레임(CF)은 비증착 영역(NDA)에 포함될 수 있으나, 이에 제한되지 않고, 안착되는 대상 기판(SUB)의 크기, 형상이나 기타 사양에 따라 증착 영역(DA)에 포함될 수도 있다. 예를 들어, 서로 이웃하는 증착 영역(DA) 사이에 위치하는 척 프레임(CF)은 비증착 영역(NDA)에 포함될 수 있다. 대상 기판(SUB)에서 하나의 표시 장치에 사용되는 영역에 대응되는 복수의 개구부(OP) 사이에 위치하는 척 프레임(CF)은 증착 영역(DA)에 포함될 수 있다.
비증착 영역(NDA)에 포함되는 척 프레임(CF) 상에는 복수의 점착척(PSC)이 배치될 수 있다. 척 플레이트(CP) 상에 안착되는 대상 기판(SUB)은 증착 공정, 노광 공정 및 식각 공정과 같은 여러 가지 공정이 수행되어 미세 패턴이 형성될 수 있다. 점착척(PSC)은 상기 여러 공정을 거치면서 대상 기판(SUB)의 위치가 변하지 않도록 대상 기판(SUB)을 척 플레이트(CP)에 고정시킬 수 있다. 점착척(PSC)은 점착력이 있는 점착 패드, 점착 시트 또는 점착 고무 등을 포함할 수 있다. 점착척(PSC)의 배면은 척 플레이트(CP)에 고정되고, 점착척(PSC)의 상면은 대상 기판(SUB)을 고정시킬 수 있다. 각 점착척(PSC)은 서로 이격되어 배치되며, 점착척(PSC)의 상면은 동일 평면 상에 위치할 수 있다. 또한, 각 점착척(PSC)은 동일한 형상 및 크기를 가질 수 있다.
증착 영역(DA)이 하나의 개구부(OP)를 포함할 경우, 복수의 점착척(PSC)은 해당 개구부(OP)를 둘러싸는 척 프레임(CF) 상에 배치될 수 있다. 증착 영역(DA)이 복수의 개구부(OP)를 포함할 경우, 각 개구부(OP) 사이에 위치하는 척 프레임(CF) 상에는 점착척(PSC)이 배치되지 않을 수 있다. 복수의 개구부(OP)를 포함하는 증착 영역(DA) 내부에 점착척(PSC)이 배치될 경우, 고온에서 이루어지는 공정 수행 시 점착척(PSC)에 포함되는 점착 물질이 녹아 대상 기판(SUB)에 얼룩 등의 이물질을 발생시켜 표시 장치의 불량을 야기할 수 있다. 즉, 점착척(PSC)은 증착 영역(DA)의 내부에 배치되지 않고, 증착 영역(DA)을 둘러싸는 비증착 영역(NDA)에 배치될 수 있다.
평면도상, 척 플레이트(CP)에 포함되는 각 개구부(OP)의 내부에는 정전척(ESC)이 배치될 수 있다. 정전척(ESC)은 전원 공급부(PW)에 연결되며, 전원 공급부(PW)로부터 전원을 공급받아 정전기력을 이용해 대상 기판(SUB)을 흡착 및 고정할 수 있다. 정전척(ESC)의 상면은 대상 기판(SUB)의 배면(SUBb)에 접하여 대상 기판(SUB)을 고정시킬 수 있다. 구체적으로, 정전척(ESC)은 정전척(ESC)에 전압을 인가시키면 대상 기판(SUB)에는 반대의 전위가 대전되고, 대전된 전위에 의하여 서로 끌어당기는 힘이 발생하는 원리를 이용하여 대상 기판(SUB)을 고정시킬 수 있다.
정전척(ESC)은 평판 형상을 가질 수 있다. 각 정전척(ESC)의 형상 및 크기는 해당 정전척(ESC)이 배치되는 개구부(OP)의 형상 및 크기에 상응할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 정전척(ESC)의 형상은 해당 정전척(ESC)이 배치되는 개구부(OP)의 형상과 동일하되, 크기는 해당 정전척(ESC)이 배치되는 개구부(OP)보다 작을 수 있다. 예를 들어, 일 개구부(OP)의 장변의 길이인 제1 폭(W1)은 평면도상 해당 개구부(OP)의 내부에 배치되는 정전척(ESC)의 장변의 길이인 제2 폭(W2)보다 클 수 있다.
또한, 복수의 정전척(ESC)은 제1 방향(DR1)으로 연장하는 형상을 갖는 정전척(ESC) 및 제2 방향(DR2)으로 연장하는 형상을 갖는 정전척(ESC)을 포함할 수 있다.
정전척(ESC)의 하부에 결합된 승강 장치(SD)는 정전척(ESC)을 제3 방향(DR3)을 따라 개구부(OP)를 관통하여 이동시킬 수 있다. 이 때, 각 정전척(ESC)의 상면은 동일 평면을 유지하며 이동할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 승강 장치(SD)는 복수개이며, 각 정전척(ESC)마다 결합될 수 있다. 예를 들어, 승강 장치(SD)는 서보 모터(Servo Motor) 또는 실린더를 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
평면도상 개구부(OP) 내부에 배치되는 정전척(ESC)은 해당 개구부(OP) 사이를 이동할 수 있다. 정전척(ESC)의 상면은 척 플레이트(CP)의 배면보다 더 낮은 위치까지 이동할 수 있다. 또한, 정전척(ESC)의 하면은 점착척(PSC)의 상면보다 더 높은 위치까지 이동할 수 있다.
정전척(ESC)을 제3 방향(DR3)을 따라 이동시키는 승강 장치(SD)의 작동은 제어부(CT)에 의해 제어될 수 있다. 제어부(CT)는 정전척(ESC)에 안착되는 대상 기판(SUB)을 점착척(PSC)의 상면 측으로 가압하여 대상 기판(SUB)을 점착척(PSC)에 부착시키도록 승강 장치(SD)를 작동시킬 수 있다.
승강 장치(SD)는 하부에 배치되는 베이스부(BS)에 결합될 수 있다. 즉, 베이스부(BS)는 정전척(ESC) 및 정전척(ESC)을 이동시키는 승강 장치(SD)를 지지할 수 있다.
일 실시예에서, 베이스부(BS)의 제1 방향(DR1) 일측 및 타측에는 지지대(SP)가 배치될 수 있다. 지지대(SP)는 척킹(chucking) 공정이 이루어지는 동안 척 플레이트(CP)를 지지할 수 있다. 지지대(SP)의 상면은 척 플레이트(CP)가 접하며, 평탄한 면을 포함할 수 있다.
표시 장치의 제조 장치(1)는 대상 기판(SUB)의 상면(SUBa)을 접촉하지 않고 대상 기판(SUB)을 척 플레이트(CP)의 점착척(PSC)에 척킹(chucking)시킬 수 있어 대상 기판(SUB)의 파손을 방지할 수 있다. 또한, 대상 기판(SUB)의 하부에 배치된 정전척(ESC)을 통해 대상 기판(SUB)을 척 플레이트(CP)에 고정시킬 수 있어 대상 기판(SUB)의 상면(SUBa)에 이물질이 부착되는 것을 방지할 수 있다. 이에 대한 더욱 구체적인 내용은 아래의 표시 장치의 제조 방법을 통해 명확해질 것이다.
도 5는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다. 도 6 내지 도 12는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 개략도이다.
이하에서 도 5 내지 도 12를 참조하여 설명되는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 도 1 내지 도 4를 참조하여 상술한 표시 장치의 제조 장치(1)를 이용하여 표시 장치를 제조하는 방법에 관한 것이다.
도 5를 참조하면, 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 로딩 공간 내에 대상 기판, 상면에 점착척이 배치된 척 플레이트 및 척 플레이트보다 상부에 위치하는 정전척을 준비하는 단계(S100), 대상 기판을 정전척 상에 배치시키고 고정하는 단계(S200), 정전척을 하강시켜 대상 기판을 점착척에 부착시키는 단계(S300), 정전척의 상면에 척 플레이트의 배면보다 하부에 위치하도록 정전척을 하강시키는 단계(S400), 척 플레이트를 증착 공간으로 이동시키고, 대상 기판에 증착 대상 물질을 증착시키는 단계(S500), 대상 기판을 로딩 공간으로 이동시켜 지지대 상에 배치시키는 단계(S600) 및 정전척을 상승시켜 대상 기판을 점착척으로부터 분리시키는 단계(S700)를 포함할 수 있다.
우선, 로딩 챔버(CH1) 내에 대상 기판(SUB), 상면에 점착척(PSC)이 배치된 척 플레이트(CP) 및 척 플레이트(CP)보다 상부에 위치하는 정전척(ESC)을 준비하는 단계(S100)가 수행될 수 있다. 로딩 챔버(CH1), 대상 기판(SUB), 점착척(PSC), 척 플레이트(CP) 및 정전척(ESC)에 대해서는 도 1 내지 도 4를 참조하여 상술하였는 바, 이하 생략하기로한다.
도 5, 도 6 및 도 7을 참조하면, 대상 기판(SUB)을 정전척(ESC) 상에 배치시키고 고정하는 단계(S200)가 수행될 수 있다. 대상 기판(SUB)의 배면(SUBb)의 적어도 일부는 정전척(ESC)에 접할 수 있다. 정전척(ESC)에는 전원 공급부(PW)에 의해 전압이 인가될 수 있다. 상술한 바와 같이, 정전척(ESC)에 전압이 인가되면 흡착력으로서 정전기력이 발생하여 대상 기판(SUB)이 정전척(ESC)에 흡착될 수 있다.
대상 기판(SUB)을 정전척(ESC) 상에 배치시킨 이후에는 제1 게이트(G1) 및 제2 게이트(G2)가 닫힌 상태로 제1 진공 펌프(VM1)를 통해 로딩 공간(LS) 내부에 진공 분위기가 형성될 수 있다. 이후에 진행되는 모든 공정은 진공 분위기 하에 진행될 수 있다.
대상 기판(SUB)의 배면(SUBb)이 정전척(ESC) 상에 접하여 고정되면 정전척(ESC)을 하강시켜 대상 기판(SUB)을 점착척(PSC)에 척킹(chucking)시키는 단계(S300)가 수행될 수 있다. 정전척(ESC)을 하강시키는 단계는 제어부(CT)를 통해 승강 장치(SD)를 작동시켜 이루어질 수 있다. 정전척(ESC)은 대상 기판(SUB)의 배면(SUBb)이 점착척(PSC)의 상면에 접할 때까지 하강할 수 있다. 이 경우, 정전척(ESC)의 상면 및 점착척(PSC)의 상면은 동일 평면 상에 위치할 수 있다. 대상 기판(SUB)의 배면(SUBb)이 점착척(PSC)의 상면에 접한 이후에도 정전척(ESC)은 승강 장치(SD)에 의해 제3 방향(DR3) 타측으로 힘을 받을 수 있다. 이를 통해, 대상 기판(SUB)과 점착척(PSC) 간의 기밀한 척킹(chucking)이 이루어질 수 있다.
도 5, 도 8 및 도 9를 참조하면, 대상 기판(SUB)이 점착척(PSC)에 척킹(chucking)되면, 정전척(ESC)의 상면이 척 플레이트(CP)의 배면보다 하부에 위치하도록 정전척(ESC)을 하강시키는 단계(S400)가 수행될 수 있다. 이 경우에도 제어부(CT)를 통해 승강 장치(SD)를 작동시켜 이루어질 수 있다. 이 때, 전원 공급부(PW)로부터 정전척(ESC)에 인가되는 전압은 인가가 중단될 수 있으나, 이에 제한되지 않고 대상 기판(SUB)과 점착척(PSC) 간의 기밀한 척킹(chucking)을 위해 전압은 지속적으로 인가될 수도 있다. 정전척(ESC)에 인가되는 전압으로 인해 대상 기판(SUB)과 정전척(ESC) 간에는 부착력으로서 정전기력이 유지될 수 있다. 대상 기판(SUB)과 정전척(ESC) 간의 부착력인 정전기력은 대상 기판(SUB)과 점착척(PSC) 간의 기밀한 척킹(chucking)이 이루어지도록 대상 기판(SUB)을 제3 방향(DR3) 타측으로 가압할 수 있다.
정전척(ESC)의 하강에 있어서 승강 장치(SD)는 정전척(ESC)에 전압의 인가가 중단되지 않을 경우, 정전척(ESC)에 전압의 인가가 중단된 경우보다 더 큰 부하를 받을 수 있다. 또한, 정전척(ESC)에 전압의 인가가 중단되더라도 대상 기판(SUB)과 정전척(ESC) 간에는 정전기력이 잔존하며, 잔존 정전기력을 통해서도 대상 기판(SUB)과 점착척(PSC) 간의 기밀한 척킹(chucking)이 이루어지도록 대상 기판(SUB)을 제3 방향(DR3) 타측으로 가압할 수 있다.
정전척(ESC)의 상면이 점착척(PSC)의 상면보다 낮은 위치로 이동하면 대상 기판(SUB)은 정전척(ESC)과의 부착력으로 인하여 국부적으로 휠 수 있다. 구체적으로, 정전척(ESC)과 대상 기판(SUB)이 척킹(chucking)된 영역은 상호 척킹(chucking)된 상태로 다른 영역보다 상대적으로 제3 방향(DR3) 타측으로 이동할 수 있다. 이를 통해, 대상 기판(SUB)은 제3 방향(DR3) 타측으로 힘을 받아 점착척(PSC) 및 대상 기판(SUB) 간의 기밀한 척킹(chucking)이 이루어질 수 있다.
정전척(ESC)과 대상 기판(SUB)은, 정전척(ESC)이 소정의 위치까지 하강했을 때까지 척킹(chucking)된 상태로 유지될 수 있으나, 이후 분리되어 대상 기판(SUB)의 휜 부분은 다시 평탄한 형상으로 복구되고, 정전척(ESC)은 더 낮은 위치로 하강할 수 있다. 후술하겠지만, 추후 공정에서 척 플레이트(CP)는 제1 방향(DR) 일측으로 이동할 수 있다. 이 때, 정전척(ESC)에 의해 척 플레이트(CP)의 이동이 원활하게 하기 위해 정전척(ESC)은 상면이 척 플레이트(CP)의 배면보다 하부에 위치할 때까지 하강할 수 있다. 뿐만 아니라, 정전척(ESC)은 상면이 지지대(SP)의 상면보다 하부에 위치할 때까지 하강할 수 있다.
도 5 및 도 10을 참조하면, 정전척(ESC)이 척 플레이트(CP)의 배면보다 하부에 위치하도록 정전척(ESC)을 하강시키는 단계(S400) 이후에는 척 플레이트(CP)를 증착 공간(DS)으로 이동시키고, 대상 기판(SUB)에 증착 대상 물질을 증착시키는 단계(S500)가 수행될 수 있다. 증착 공정은 증착 챔버(CH2) 내부의 증착 공간(DS)에서 이루어질 수 있다. 도시되지 않았지만, 척 플레이트(CP)는 이송 유닛(미도시)에 의해 로딩 공간(LS)으로부터 연결 공간(CS)을 경유하여 증착 공간(DS)으로 이송될 수 있다. 척 플레이트(CP)는 대상 기판(SUB)의 상면(SUBa)이 제3 방향(DR3) 타측을 향하도록 180° 뒤집어질 수 있다. 척 플레이트(CP)가 180° 뒤집어지는 단계는 증착 공간(DS)에서 이루어질 수 있으나, 이에 제한되지 않고 로딩 공간(LS) 또는 연결 공간(CS)에서 이루어질 수도 있다.
대상 기판(SUB)이 고정된 척 플레이트(CP)가 증착 공간(DS)으로 진입하면, 제3 게이트(G3)가 닫힌 상태로 제2 진공 펌프(VM2)에 의해 증착 공간(DS) 내부에는 진공 분위기가 형성될 수 있다.
증착 공간(DS) 내부에 진공 분위기가 형성되면 증착 장치(DD)에 의해 대상 기판(SUB)의 상면(SUBa)에 증착 대상 물질이 증착될 수 있다. 예시적인 실시예에서, 증착 대상 물질은 증착 장치(DD)의 증착원(DC) 내부에 저장되어 있다가 기화되어 노즐(NZ)을 통해 대상 기판(SUB)의 상면(SUBa)을 향해 분사될 수 있다.
도 5 및 도 11을 참조하면, 대상 기판(SUB)의 상면(SUBa)에 증착 대상 물질을 증착시키는 단계(S500) 이후에는 대상 기판(SUB)을 로딩 공간(LS)으로 이동시켜 지지대(SP) 상에 배치시키는 단계(S600)가 수행될 수 있다. 증착이 이루어진 대상 기판(SUB)에 다른 공정을 수행하기 위해서는 대상 기판(SUB)을 척 플레이트(CP)로부터 분리시킬 필요가 있는데, 이를 위해 대상 기판(SUB)이 고정된 척 플레이트(CP)는 증착 공간(DS)으로부터 로딩 공간(LS)으로 되돌아올 수 있다. 본 명세서에서는 대상 기판(SUB)을 척 플레이트(CP)로부터 분리시키는 단계를 척킹 장치(CD)를 이용해 수행하는 것으로 설명하지만, 이에 제한되지 않고 대상 기판(SUB)을 척 플레이트(CP)로부터 분리시키는 단계는 다른 장치를 이용해 수행될 수 있다.
대상 기판(SUB)이 고정된 척 플레이트(CP)가 지지대(SP) 상에 안착되면, 정전척(ESC)이 제3 방향(DR3) 일측을 향해 상승할 수 있다. 정전척(ESC)의 상면은 대상 기판(SUB)의 배면(SUBb)에 접하며, 점착척(PSC)의 상면과 동일 평면상에 위치할 수 있다. 정전척(ESC)의 상승은 승강 장치(SD)를 통해 이루어지며, 제어부(CT)에 의해 제어될 수 있다. 대상 기판(SUB)을 척 플레이트(CP)로부터 분리시키기 위해 정전척(ESC)에는 전압이 인가될 수 있다. 정전척(ESC)에 인가되는 전압은 정전척(ESC)의 상면이 대상 기판(SUB)의 배면(SUBb)에 접하기 전에 인가될 수 있으나, 이에 제한되지 않고 정전척(ESC)의 상면이 대상 기판(SUB)의 배면(SUBb)에 접하고 난 후 인가될 수도 있다.
도 5 및 도 12를 참조하면, 대상 기판(SUB)을 로딩 공간(LS)으로 이동시켜 지지대(SP) 상에 배치시키는 단계(S600) 이후에는 정전척(ESC)을 상승시켜 대상 기판(SUB)을 점착척(PSC)으로부터 분리시키는 단계(S700)가 수행될 수 있다.
정전척(ESC)의 상면이 점착척(PSC)의 상면보다 높은 위치로 이동하면 대상 기판(SUB)은 정전척(ESC)과의 부착력으로 인하여 국부적으로 휠 수 있다. 구체적으로, 정전척(ESC)과 대상 기판(SUB)이 척킹(chucking)된 영역은 상호 척킹(chucking)된 상태로 다른 영역보다 상대적으로 제3 방향(DR3) 일측으로 이동할 수 있다. 이를 통해, 대상 기판(SUB)은 제3 방향(DR3) 일측으로 힘을 받아 점착척(PSC) 및 대상 기판(SUB) 간의 부착력이 약해질 수 있다.
정전척(ESC)과 대상 기판(SUB)은, 정전척(ESC)이 소정의 위치까지 상승했을 때까지 척킹(chucking)된 상태로 유지될 수 있으나, 이후 점착척(PSC)과 대상 기판(SUB)은 상호 분리되어 대상 기판(SUB)의 휜 부분은 다시 평탄한 형상으로 복구되고, 정전척(ESC) 및 대상 기판(SUB)은 더 높은 위치로 상승하여 도 6에 도시된 바와 같은 상태가 될 수 있다. 이 때, 점착척(PSC)은 척 플레이트(CP)로부터 분리되지 않을 수 있다. 예시적인 실시예에서, 점착척(PSC)과 척 플레이트(CP) 간의 부착력은 점착척(PSC)과 대상 기판(SUB)간의 부착력보다 클 수 있다. 또한, 정전척(ESC)의 상면이 대상 기판(SUB)의 배면(SUBb)에 접촉한 채로 상승하더라도 척 플레이트(CP)는 점착척(PSC)과 대상 기판(SUB) 간의 부착력보다 큰 척 플레이트(CP)의 자체 하중으로 인하여 함께 상승하지 않을 수 있다. 점착척(PSC)으로부터 대상 기판(SUB)이 분리될 때, 정전척(ESC)에는 지속적으로 전압이 인가되어 대상 기판(SUB)이 정전척(ESC)에 고정된 채 안정적으로 분리될 수 있다.
이하, 표시 장치의 제조 장치에 대한 다른 실시예에 대해 설명한다. 이하의 실시예에서, 이미 설명한 실시예와 동일한 구성에 대해서는 설명을 생략하거나 간략화하고, 차이점을 위주로 설명하기로 한다.
다른 사항에 대하여는 도 1 내지 도 4를 참조하여 상술한 바와 동일 또는 유사하므로 이에 대한 추가적인 상세한 설명은 생략한다.
도 13은 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 나타낸 개략도이다.
도 13을 참조하면, 본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1_1)는 분리된 각 정전척(ESC_1)이 하나의 승강 장치(SD_1)를 통해 제3 방향(DR3)을 따라 일체로 이동할 수 있다는 점에서 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1)와 차이가 있다. 본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1_1) 또한, 평면도상 개구부(OP) 내부에 배치되는 정전척(ESC_1)은 해당 개구부(OP) 사이를 이동할 수 있다. 정전척(ESC_1)의 상면은 척 플레이트(CP)의 배면보다 더 낮은 위치까지 이동할 수 있다. 또한, 정전척(ESC_1)의 하면은 점착척(PSC)의 상면보다 더 높은 위치까지 이동할 수 있다. 정전척(ESC_1)을 제3 방향(DR3)을 따라 이동시키는 승강 장치(SD)의 작동은 제어부(CT)에 의해 제어될 수 있다.
승강 장치(SD_1)는 하부에 배치되는 베이스부(BS)에 결합될 수 있다. 즉, 베이스부(BS)는 정전척(ESC_1) 및 정전척(ESC_1)을 이동시키는 승강 장치(SD_1)를 지지할 수 있다.
본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1_1)는 대상 기판(SUB)의 상면(SUBa)을 접촉하지 않고 대상 기판(SUB)을 척 플레이트(CP)의 점착척(PSC)에 척킹(chucking)시킬 수 있어 대상 기판(SUB)의 파손을 방지할 수 있다. 또한, 대상 기판(SUB)의 하부에 배치된 정전척(ESC)을 통해 대상 기판(SUB)을 척 플레이트(CP)에 고정시킬 수 있어 대상 기판(SUB)의 상면(SUBa)에 이물질이 부착되는 것을 방지할 수 있다.
도 14는 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 나타낸 개략도이다.
도 14를 참조하면, 본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1_2)는 척 플레이트(CP)를 지지하는 제1 지지대(SP1_2)가 제3 방향(DR3)을 따라 이동 가능하도록 구성된 승강 장치(SD_2)를 포함한다는 점에서 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1)와 차이가 있다.
정전척(ESC)은 하부에 배치되는 제2 지지대(SP2_2)에 결합될 수 있다. 제2 지지대(SP2_2)는 척킹(chucking) 공정이 이루어지는 동안 정전척(ESC)을 지지할 수 있다. 도시되지는 않았지만, 제2 지지대(SP2_2)는 전원 공급부(PW)로부터 제공되는 전압을 정전척(ESC)으로 인가하기 위한 배선을 포함할 수 있다.
척 플레이트(CP)는 하부에 배치되는 제1 지지대(SP1_2)에 의해 지지될 수 있다. 척 플레이트(CP)는 제1 지지대(SP1_2)에 포함되는 승강 장치(SD_2)를 통해 제3 방향(DR3)을 따라 이동할 수 있다. 척 플레이트(CP)가 제3 방향(DR3)을 따라 이동함에 따라, 정전척(ESC)은 척 플레이트(CP)의 개구부(OP) 사이를 통과할 수 있다. 척 플레이트(CP)의 배면은 정전척(ESC)의 상면보다 더 높은 위치까지 이동할 수 있다. 또한, 정전척(ESC)의 하면은 점착척(PSC)의 상면보다 더 높은 위치까지 이동할 수 있다. 정전척(ESC)을 제3 방향(DR3)을 따라 이동시키는 승강 장치(SD_2)의 작동은 제어부(CT)에 의해 제어될 수 있다.
본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치는 대상 기판(SUB)의 상면(SUBa)을 접촉하지 않고 대상 기판(SUB)을 척 플레이트(CP)의 점착척(PSC)에 척킹(chucking)시킬 수 있어 대상 기판(SUB)의 파손을 방지할 수 있다. 또한, 대상 기판(SUB)의 하부에 배치된 정전척(ESC)을 통해 대상 기판(SUB)을 척 플레이트(CP)에 고정시킬 수 있어 대상 기판(SUB)의 상면(SUBa)에 이물질이 부착되는 것을 방지할 수 있다.
이상에서 본 발명의 실시예를 중심으로 본 발명을 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 본 발명의 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
1: 표시 장치의 제조 장치
CD: 척킹 장치
DD: 증착 장치
SUB: 대상 기판
CP: 척 플레이트
ESC: 정전척
PSC: 점착척
BS: 베이스부
SD: 승강 장치
SP: 지지대

Claims (20)

  1. 제1 챔버;
    상기 제1 챔버의 내부 공간에 배치되고, 내부를 관통하는 복수의 개구부 및 상기 복수의 개구부를 둘러싸는 프레임부를 포함하는 척 플레이트;
    상기 프레임부 상에 배치되는 복수의 점착척; 및
    평면도상 상기 각 개구부의 내부에 배치되며 상기 각 개구부를 관통하여 이동 가능하도록 구성된 복수의 정전척을 포함하는 표시 장치의 제조 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 각 점착척은 서로 이격되어 배치되며, 상기 각 점착척의 상면은 동일 평면 상에 위치하는 표시 장치의 제조 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 각 점착척은 동일한 형상 및 크기를 갖는 표시 장치의 제조 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 개구부 내에 배치되는 상기 복수의 정전척은 제1 방향으로 연장하는 제1 정전척 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장하는 제2 정전척을 포함하는 표시 장치의 제조 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 정전척을 상기 개구부를 관통하는 방향으로 이동시키는 승강 장치를 더 포함하되,
    상기 각 정전척의 상면은 동일 평면을 유지하며 이동하는 표시 장치의 제조 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 승강 장치는 복수개이며, 상기 각 정전척마다 결합되는 표시 장치의 제조 장치.
  7. 제5 항에 있어서,
    상기 승강 장치를 작동시키는 제어부를 더 포함하되, 상기 제어부는 상기 정전척에 안착되는 대상 기판을 상기 점착척의 상면 측으로 가압하여 상기 대상 기판을 상기 점착척에 부착시키도록 상기 승강 장치를 작동시키는 표시 장치의 제조 장치.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 척 플레이트를 지지하는 지지대를 더 포함하되,
    상기 지지대는 상기 척 플레이트를 상기 정전척의 일면과 수직한 방향으로 이동시키는 승강 장치를 포함하는 표시 장치의 제조 장치.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 챔버와 공간적으로 연결되는 제2 챔버; 및
    상기 제2 챔버의 내부 공간에 배치되는 기판 처리 장치를 더 포함하는 표시 장치의 제조 장치.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는 내부에 증착 대상 물질이 저장되는 증착원 및 상기 증착 대상 물질이 분사되는 노즐을 포함하는 표시 장치의 제조 장치.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 척 플레이트는 상기 기판 처리 장치에서 상기 증착 대상 물질이 증착되는 증착 영역 및 상기 증착 영역을 둘러싸며 상기 증착 대상 물질이 증착되지 않는 비증착 영역을 포함하되,
    상기 복수의 점착척은 상기 비증착 영역에 배치된 상기 프레임부 상에 배치되는 표시 장치의 제조 장치.
  12. 대상 기판, 상기 대상 기판이 안착되며 내부를 관통하는 개구부와 상기 개구부를 둘러싸는 프레임부를 포함하는 척 플레이트, 상기 프레임부 상에 배치되는 복수의 점착척 및 평면도상 상기 개구부 내부에 배치되며 상기 척 플레이트보다 상부에 위치하는 정전척을 준비하는 단계;
    상기 대상 기판을 상기 정전척 상에 배치시키고 고정하는 단계; 및
    상기 정전척을 하강시키는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 대상 기판을 상기 정전척 상에 배치시키고 고정하는 단계는 상기 정전척에 전압을 인가하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 대상 기판을 상기 정전척 상에 배치시키고 고정하는 단계는 제1 챔버의 내부 공간에서 이루어지며, 상기 제1 챔버의 내부 공간에 진공 분위기를 형성하는 단계를 더 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  15. 제14 항에 있어서,
    상기 정전척을 하강시키는 단계 이후에,
    제2 챔버, 상기 제2 챔버의 내부 공간에 배치되는 증착 장치를 준비하는 단계;
    상기 척 플레이트를 상기 제2 챔버의 내부 공간으로 이동시켜 상기 대상 기판 상에 증착 물질을 증착하는 단계;
    상기 척 플레이트를 상기 제1 챔버의 내부 공간으로 이동시켜 상기 정전척 상에 배치시키는 단계; 및
    상기 정전척을 상승시켜 상기 대상 기판을 상기 정전척으로부터 분리시키는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  16. 제13 항에 있어서,
    상기 정전척을 하강시키는 단계는 상기 정전척에 인가된 상기 전압을 제거하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  17. 제12 항에 있어서,
    상기 정전척을 하강시키는 단계는 상기 정전척의 하부에 배치된 승강 장치를 통해 이루어지는 표시 장치의 제조 방법.
  18. 제17 항에 있어서,
    상기 정전척을 하강시키는 단계는 상기 대상 기판을 상기 점착척에 부착시키는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  19. 제18 항에 있어서,
    상기 대상 기판을 상기 점착척에 부착시키는 단계 이후에 상기 정전척의 상면이 상기 척 플레이트의 배면보다 하부에 위치하도록 하강하는 단계를 더 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  20. 제19 항에 있어서,
    상기 정전척의 상면이 상기 척 플레이트의 배면보다 하부에 위치하도록 하강하는 단계에서, 상기 대상 기판은 국부적으로 휘는 표시 장치의 제조 방법.
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