KR20210124693A - Oled 화소 증착을 위한 금속 재질의 증착용 마스크 및 증착용 마스크의 제조방법 - Google Patents

Abstract

실시예에 따른 OLED 증착을 위한 금속재의 증착용 마스크에 있어서, 상기 증착용 마스크는 증착 영역 및 비증착 영역을 포함하고, 상기 증착 영역은 상기 증착용 마스크의 길이 방향으로 서로 이격된 복수 개의 유효부 및 비유효부를 포함하고, 상기 유효부는 복수의 관통홀을 포함하고, 상기 복수의 관통홀은, 일면 상에 형성된 복수의 소면공; 및 상기 일면과 반대되는 타면 상에 형성되고, 연통부에 의하여 상기 소면공과 연통되는 복수의 대면공을 포함하고, 상기 연통부는 층상 구조의 경계이고, 상기 소면공은 제 1 층에 위치하고, 상기 대면공은 제 2 층에 위치하고, 상기 연통부를 경계로 상기 연통부로부터 상기 증착용 마스크의 상기 일면까지의 영역은 제 1 물질을 포함하고, 상기 연통부로부터 상기 증착용 마스크의 상기 타면까지의 영역은 상기 제 1 물질과 다른 제 2 물질을 포함할 수 있다.
실시예에 따른 OLED 증착을 위한 금속재의 증착용 마스크는, 철 및 니켈을 포함하고 일면 및 타면을 포함하는 금속판을 준비하는 단계; 상기 금속판의 일면 및 타면에 포토레지스트 층을 형성하는 단계; 상기 금속판의 일면 상의 포토레지스트 층을 노광 및 현상하여 소면공을 형성하기 위해 패턴화된 제 1 포토레지스트층과, 상기 금속판의 타면 상의 포토레지스트 층을 노광 및 현상하여 대면공을 형성하기 위해 패턴화된 제 2 포토레지스트층을 형성하는 단계; 상기 금속판의 타면 상에 상기 패턴화된 제 2 포토레지스트층 및 상기 금속판의 타면을 덮는 제 1 보호층을 형성하는 단계; 상기 금속판의 일면의 패턴화된 제 1 포토레지스트층들 사이에 노출된 상기 금속판의 일면에 도금층을 형성하는 단계; 상기 제 1 보호층 및 상기 제 1 포토레지스트층을 박리하는 단계; 상기 금속판의 일면 상에 패턴화된 도금층 및 상기 금속판의 일면을 덮는 제 2 보호층을 형성하는 단계; 상기 금속판의 타면을 식각액을 이용하여 식각하여 대면공을 형성하는 단계; 및 상기 제 2 보호층을 박리하여 소면공을 형성하는 단계;를 포함하여 제조될 수 있다.

Description

OLED 화소 증착을 위한 금속 재질의 증착용 마스크 및 증착용 마스크의 제조방법{A DEPOSITION MASK OF METAL MATERIAL FOR OLED PIXEL DEPOSITION AND METHOD FOR MANUFACTURING OF THE SAME}

본 실시 예는, 증착용 마스크의 소공경이 가지는 높이를 균일하게 형성하여 증착 성능을 향상시킬 수 있는 OLED 화소 증착을 위한 금속 재질의 증착용 마스크 및 증착용 마스크의 제조방법에 관한 것이다.

표시 장치는 다양한 디바이스에 적용되어 사용되고 있다. 예를 들어, 표시 장치는 스마트폰, 태블릿 PC 등과 같은 소형 디바이스뿐만 아니라, TV, 모니터, 퍼블릭 디스플레이(PD, Public Display) 등과 같은 대형 디바이스에 적용되어 이용되고 있다. 특히, 최근에는 500 PPI(Pixel Per Inch) 이상의 초고해상도 UHD(UHD, Ultra High Definition)에 대한 수요가 증가하고 있으며, 고해상도 표시 장치가 소형 디바이스 및 대형 디바이스에 적용되고 있다. 이에 따라, 저전력 및 고해상도 구현을 위한 기술에 대한 관심이 높아지고 있다.

일반적으로 사용되는 표시 장치는 구동 방법에 따라 크게 LCD(Liquid Crystal Display) 및 OLED(Organic Light Emitting Diode) 등으로 구분될 수 있다.

LCD는 액정(Liquid Crystal)을 이용하여 구동되는 표시 장치로 상기 액정의 하부에는 CCFL(Cold Cathode Fluorescent Lamp) 또는 LED(Light Emitting Diode) 등을 포함하는 광원이 배치되는 구조를 가지며, 상기 광원 상에 배치되는 상기 액정을 이용하여 상기 광원으로부터 방출되는 빛의 양을 조절하여 구동되는 표시 장치이다.

또한, OLED는 유기물을 이용해 구동되는 표시 장치로, 별도의 광원이 요구되지 않고, 유기물이 자체가 광원의 역할을 수행하여 저전력으로 구동될 수 있다. 또한, OLED는 무한한 명암비를 표현할 수 있고, LCD보다 약 1000배 이상의 빠른 응답 속도를 가지며 시야각이 우수하여 LCD를 대체할 수 있는 표시 장치로 주목받고 있다.

특히, OLED에서 발광층에 포함된 상기 유기물은 파인 메탈 마스크(FMM, Fine Metal Mask)라 불리는 증착용 마스크에 의해 기판 상에 증착될 수 있고, 증착된 상기 유기물은 상기 증착용 마스크에 형성된 패턴과 대응되는 패턴으로 형성되어 화소의 역할을 수행할 수 있다. 상기 증착용 마스크는 일반적으로 철(Fe) 및 니켈(Ni)을 포함하는 인바(Invar) 합금 금속판으로 제조된다. 이때, 상기 금속판의 일면 및 타면에는 상기 일면 및 상기 타면을 관통하는 관통 홀이 형성되며 상기 관통 홀은 화소 패턴과 대응되는 위치에 형성될 수 있다. 이에 따라, 적색(Red), 녹색(Green) 및 청색(Blue) 등의 유기물은 상기 금속판의 관통 홀을 통과하여 기판 상에 증착될 수 있고, 기판 상에는 화소 패턴이 형성될 수 있다.

한편, 상기 증착용 마스크의 원소재인 금속판에 관통홀을 형성하기 위해서는 대공경을 형성하기 위한 에칭 및 소공경을 형성하기 위한 에칭 공정이 2회 진행된다. 이러한 2회의 에칭 공정을 거쳐 형성된 관통홀은 형상의 균일성이 저하되는 문제를 가질 수 있다.

따라서, 관통홀의 균일성이 향상될 수 있는 새로운 구조의 증착용 마스크 및 이의 제조방법이 요구된다.

실시예는 증착용 마스크의 소공경의 두께 편차 및 소공경의 경사각을 제어하여, 균일한 공경을 확보한 증착용 마스크를 제공하고자 한다.

실시예에 따른 OLED 증착을 위한 금속재의 증착용 마스크에 있어서, 상기 증착용 마스크는 증착 영역 및 비증착 영역을 포함하고, 상기 증착 영역은 상기 증착용 마스크의 길이 방향으로 서로 이격된 복수 개의 유효부 및 비유효부를 포함하고, 상기 유효부는 복수의 관통홀을 포함하고, 상기 복수의 관통홀은, 일면 상에 형성된 복수의 소면공; 및 상기 일면과 반대되는 타면 상에 형성되고, 연통부에 의하여 상기 소면공과 연통되는 복수의 대면공을 포함하고, 상기 연통부는 층상 구조의 경계이고, 상기 소면공은 제 1 층에 위치하고, 상기 대면공은 제 2 층에 위치하고, 상기 연통부를 경계로 상기 연통부로부터 상기 증착용 마스크의 상기 일면까지의 영역은 제 1 물질을 포함하고, 상기 연통부로부터 상기 증착용 마스크의 상기 타면까지의 영역은 상기 제 1 물질과 다른 제 2 물질을 포함할 수 있다.

실시예에 따른 OLED 증착을 위한 금속재의 증착용 마스크는, 철 및 니켈을 포함하고 일면 및 타면을 포함하는 금속판을 준비하는 단계; 상기 금속판의 일면 및 타면에 포토레지스트 층을 형성하는 단계; 상기 금속판의 일면 상의 포토레지스트 층을 노광 및 현상하여 소면공을 형성하기 위해 패턴화된 제 1 포토레지스트층과, 상기 금속판의 타면 상의 포토레지스트 층을 노광 및 현상하여 대면공을 형성하기 위해 패턴화된 제 2 포토레지스트층을 형성하는 단계; 상기 금속판의 타면 상에 상기 패턴화된 제 2 포토레지스트층 및 상기 금속판의 타면을 덮는 제 1 보호층을 형성하는 단계; 상기 금속판의 일면의 패턴화된 제 1 포토레지스트층들 사이에 노출된 상기 금속판의 일면에 도금층을 형성하는 단계; 상기 제 1 보호층 및 상기 제 1 포토레지스트층을 박리하는 단계; 상기 금속판의 일면 상에 패턴화된 도금층 및 상기 금속판의 일면을 덮는 제 2 보호층을 형성하는 단계; 상기 금속판의 타면을 식각액을 이용하여 식각하여 대면공을 형성하는 단계; 및 상기 제 2 보호층을 박리하여 소면공을 형성하는 단계;를 포함하여 제조될 수 있다.

실시예에 따른 증착용 마스크는 증착용 마스크의 공경의 균일도를 향상시킬 수 있다.

자세하게, 실시예에 따른 증착용 마스크는 증착용 마스크에 관통홀을 형성할 때, 증착용 마스크의 원소재인 금속판의 소면공이 가지는 두께 편차 및 관통홀 내부의 소면공 경사각도 편차를 제어할 수 있다.

이에 따라, 실시예에 따른 증착용 마스크는 관통홀 형상의 균일성이 향상될 수 있다.

또한, 실시예에 따른 증착용 마스크는 고해상도의 증착 패턴을 형성하는데 적합할 수 있다.

또한, 실시예에 따른 증착용 마스크는 다양한 형상의 공경을 균일하게 형성하는데 적합할 수 있다.

도 1은 실시 예에 따른 증착용 마스크가 포함된 유기물 증착 장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 실시 예에 따른 증착용 마스크가 포함된 유기물 증착 장치를 나타낸 단면도이다.
도 3은 실시 예에 따른 증착용 마스크가 마스크 프레임 상에 거치되기 위해 인장되는 것을 도시한 도면이다.
도 4는 상기 증착용 마스크의 복수 개의 관통 홀을 통해 상기 기판(300) 상에 복수 개의 증착 패턴이 형성되는 것을 도시한 도면이다.
도 5는 실시예에 따른 증착용 마스크의 평면도를 도시한 도면이다.
도 6은 실시예에 따른 증착용 마스크의 유효부의 평면도를 도시한 도면이다.
도 7은 실시예에 따른 증착용 마스크의 유효부의 다른 평면도를 도시한 도면이다.
도 8, 도 9는 실시예에 따른 증착용 마스크의 유효부의 또 다른 평면도를 도시한 도면이다.
도 10은 도 6의 A-A' 방향에서의 단면과 B-B' 방향에서의 단면 사이의 높이 단차와 크기를 설명하기 위해 각각의 단면을 겹쳐서 도시한 도면이다.
도 11은 도 6의 B-B' 방향에서의 단면도를 도시한 도면이이다.
도 12는 도 6의 C-C' 방향에서의 단면도를 도시한 도면이다.
도 13은 기존의 증착용 마스크의 제조 방법을 도시한 도면이다.
도 14는 실시예에 따른 증착용 마스크(100)의 제조 방법을 도시한 도면이다.
도 15 및 도 16은 실시예에 따른 증착용 마스크를 통해 형성되는 증착 패턴을 나타내는 도면들이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 기술 사상은 설명되는 일부 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있고, 본 발명의 기술 사상 범위 내에서라면, 실시예들간 그 구성 요소들 중 하나 이상을 선택적으로 결합, 치환하여 사용할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에서 사용되는 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는, 명백하게 특별히 정의되어 기술되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해될 수 있는 의미로 해석될 수 있으며, 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥상의 의미를 고려하여 그 의미를 해석할 수 있을 것이다.

또한, 본 발명의 실시예에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함할 수 있고, “A 및(와) B, C중 적어도 하나(또는 한개이상)”로 기재되는 경우 A, B, C로 조합할 수 있는 모든 조합 중 하나이상을 포함할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등으로 한정되지 않는다.

그리고, 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 '연결', '결합' 또는 '접속'된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결, 결합 또는 접속되는 경우뿐만 아니라, 그 구성 요소와 그 다른 구성요소 사이에 있는 또 다른 구성 요소로 인해 '연결', '결합' 또는 '접속＇되는 경우도 포함할 수 있다.

또한, 각 구성 요소의 " 상(위) 또는 하(아래)"에 형성 또는 배치되는 것으로 기재되는 경우, 상(위) 또는 하(아래)는 두 개의 구성 요소들이 서로 직접 접촉되는 경우뿐만 아니라 하나 이상의 또 다른 구성 요소가 두 개의 구성 요소들 사이에 형성 또는 배치되는 경우도 포함한다.

또한 “상(위) 또는 하(아래)”으로 표현되는 경우 하나의 구성 요소를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.

이하 도면들을 참조하여 실시예에 따른 증착용 마스크를 설명한다.

도 1 내지 도 4는 실시 예에 따른 증착용 마스크(100)를 사용하여 기판(300) 상에 유기 물질을 증착하는 공정을 설명하기 위한 개념도들이다.

도 1은 실시 예에 따른 증착용 마스크가 포함된 유기물 증착 장치를 도시한 사시도이고, 도 2는 실시 예에 따른 증착용 마스크(100)가 포함된 유기물 증착 장치를 나타낸 단면도이고, 도 3은 실시 예에 따른 증착용 마스크(100)가 마스크 프레임(200) 상에 거치되기 위해 인장되는 것을 도시한 도면이다. 또한, 도 4는 상기 증착용 마스크(100)의 복수 개의 관통 홀을 통해 상기 기판(300) 상에 복수 개의 증착 패턴이 형성되는 것을 도시한 도면이다.

도 1 내지 도 4을 참조하면, 유기물 증착 장치는 증착용 마스크(100), 마스크 프레임(200), 기판(300), 유기물 증착 용기(400) 및 진공 챔버(500)를 포함할 수 있다.

상기 증착용 마스크(100)는 금속을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 증착용 마스크는 철(Fe) 및 니켈(Ni)을 포함할 수 있다.

상기 증착용 마스크(100)는 증착을 위한 유효부에 복수 개의 관통홀(TH)을 포함할 수 있다. 상기 증착용 마스크(100)는 복수 개의 관통홀(TH)들을 포함하는 증착용 마스크용 기판일 수 있다. 이때, 상기 관통홀은 기판 상에 형성될 패턴과 대응되도록 형성될 수 있다. 상기 증착용 마스크(100)는 증착 영역을 포함하는 유효부 이외의 비유효부를 포함할 수 있다.

상기 마스크 프레임(200)은 개구부(205)를 포함할 수 있다. 상기 증착용 마스크(100)의 복수 개의 관통 홀은 상기 마스크 프레임(200)의 개구부(205)와 대응되는 영역 상에 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 유기물 증착 용기(400)로 공급되는 유기 물질이 상기 기판(300) 상에 증착될 수 있다. 상기 증착용 마스크(100)는 상기 마스크 프레임(200) 상에 배치되어 고정될 수 있다. 예를 들어, 상기 증착용 마스크(100)는 일정한 인장력으로 인장되고, 상기 마스크 프레임(200) 상에 용접에 의하여 고정될 수 있다.

즉, 상기 마스크 프레임(200)은 상기 개구부(205)를 둘러싸는 복수의 프레임(201, 202, 203, 204)을 포함한다. 복수의 프레임(20, 202, 203, 204)은 서로 연결될 수 있다. 상기 마스크 프레임(200)은 X 방향으로 서로 마주보며, Y 방향을 따라 연장된 제 1 프레임(201) 및 제 2 프레임(202)을 포함하고, Y 방향으로 서로 마주보며, X 방향을 따라 연장된 제 3 프레임(203) 및 제 4 프레임(204)을 포함한다. 상기 제 1 프레임(201), 제 2 프레임(202), 제 3 프레임(203), 및, 제 4 프레임(204)은 서로 연결된 사각 프레임일 수 있다. 상기 마스크 프레임(200)은 마스크(130)가 용접시에 변형이 작은 소재, 이를테면, 강성이 큰 금속으로 제조될 수 있다.

상기 증착용 마스크(100)는 상기 증착용 마스크(100)의 최외곽에 배치된 가장자리에서, 서로 반대되는 방향으로 인장될 수 있다. 상기 증착용 마스크(100)는 상기 증착용 마스크(100)의 길이 방향에서, 상기 증착용 마스크(100)의 일단 및 상기 일단과 반대되는 타단이 서로 반대되는 방향으로 잡아당겨질 수 있다. 따라서, 상기 증착용 마스크(100)의 인장 방향, X 축 방향 및 상기 증착용 마스크의 길이 방향은 모두 동일한 방향일 수 있다.

상기 증착용 마스크(100)의 일단과 상기 타단은 서로 마주보며 평행하게 배치될 수 있다. 상기 증착용 마스크(100)의 일단은 상기 증착용 마스크(100)의 최외곽에 배치된 4개의 측면을 이루는 단부 중 어느 하나일 수 있다. 예를 들어, 상기 증착용 마스크(100)는 약 0.1 kgf 내지 약 2 kgf의 인장력으로 인장될 수 있다. 자세하게, 상기 증착용 마스크는 0.4 kgf 내지 약 1.5 kgf의 인장력으로 인장되어 상기 마스크 프레임(200) 상에 고정될 수 있다. 이에 따라, 상기 증착용 마스크(100)의 응력은 감소될 수 있다. 그러나, 실시 예는 이에 제한되지 않고, 상기 증착용 마스크(100)의 응력을 감소시킬 수 있는 다양한 인장력으로 인장되어 상기 마스크 프레임(200) 상에 고정될 수 있다.

이어서, 상기 증착용 마스크(100)는 상기 증착용 마스크(100)의 비유효부를 용접함에 따라, 상기 마스크 프레임(200)에 상기 증착용 마스크(100)를 고정할 수 있다. 그 다음으로, 상기 마스크 프레임(200)의 외부에 배치되는 상기 증착용 마스크(100)의 일부분은 절단 등의 방법으로 제거될 수 있다.

상기 기판(300)은 표시 장치의 제조에 사용되는 기판일 수 있다. 예를 들어, 상기 기판(300)은 OLED 화소 패턴용 유기물 증착을 위한 기판(300)일 수 있다. 상기 기판(300) 상에는 빛의 3원색인 화소를 형성하기 위하여 적색(Red), 녹색(Greed) 및 청색(Blue)의 유기물 패턴이 형성될 수 있다. 즉, 상기 기판(300) 상에는 RGB 패턴이 형성될 수 있다.

상기 유기물 증착 용기(400)는 도가니일 수 있다. 상기 도가니의 내부에는 유기 물질이 배치될 수 있다. 상기 유기물 증착 용기(400)는 진공 챔버(500) 내에서 이동할 수 있다. 즉, 상기 유기물 증착 용기(400)는 진공 챔버(500) 내에서 Y축 방향으로 이동할 수 있다. 즉, 상기 유기물 증착 용기(400)는 진공 챔버(500) 내에서 증착용 마스크(100)의 폭 방향으로 이동할 수 있다. 즉, 상기 유기물 증착 용기(400)는 진공 챔버(500) 내에서 증착용 마스크(100)의 인장 방향과 수직한 방향으로 이동할 수 있다.

상기 진공 챔버(500) 내에서 상기 유기물 증착 용기(400)인 도가니에 열원 및/또는 전류가 공급됨에 따라, 상기 유기 물질은 상기 기판(100) 상에 증착될 수 있다.

도 4를 참조하면, 상기 증착용 마스크(100)는 일면(101) 및 상기 일면과 반대되는 타면(102)을 포함할 수 있다.

상기 증착용 마스크(100)의 상기 일면(101)은 소면공(V1)을 포함하고, 상기 타면은 대면공(V2)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 증착용 마스크(100)의 일면(101) 및 타면(102) 각각은 복수 개의 소면공(V1)들 및 복수 개의 대면공(V2)들을 포함할 수 있다.

또한, 상기 증착용 마스크(100)는 관통홀(TH)을 포함할 수 있다. 상기 관통홀(TH)은 상기 소면공(V1) 및 상기 대면공(V2)의 경계가 연결되는 연통부(CA)에 의하여 연통될 수 있다.

또한, 상기 증착용 마스크(100)는 상기 소면공(V1) 내의 제 1 내측면(ES1)을 포함할 수 있다. 상기 증착용 마스크(100)는 상기 대면공(V2) 내의 제 2 내측면(ES2) 및 제 3 내측면(ES3)을 포함할 수 있다. 상기 관통홀(TH)은 상기 소면공(V1) 내의 제 1 내측면(ES1) 및 상기 대면공(V2) 내의 제 2 내측면(ES2) 및 제 3 내측면(ES3)이 서로 연통하여 형성될 수 있다. 예를 들어, 하나의 소면공(V1) 내의 제 1 내측면(ES1)은 하나의 대면공(V2) 내의 제 2 내측면(ES2) 및 제 3 내측면(ES3)과 연통하여 하나의 관통홀을 형성할 수 있다. 이에 따라, 상기 관통홀(TH)의 수는 상기 소면공(V1) 및 상기 대면공(V2)의 수와 대응될 수 있다.

한편, 상기 대면공(V2) 내의 제 2 내측면(ES2)은 복수의 서브 제 2 내측면(ES2)을 포함할 수 있다. 즉, 상기 대면공(V2) 내의 제 2 내측면(ES2)은 길이 방향으로 마주보는 한 쌍의 제 1 서브 제 2 내측면 및 제 2 서브 제 2 내측면을 포함할 수 있다. 또한, 상기 대면공(V2)의 제 3 내측면(ES3)은 폭 방향으로 마주보는 한 쌍의 제 1 서브 제 3 내측면 및 제 2 서브 제 3 내측면을 포함할 수 있다.

상기 대면공(V2)의 폭은 상기 소면공(V1)의 폭보다 클 수 있다. 이때, 상기 소면공(V1)의 폭은 상기 증착용 마스크(100)의 일면(101)에서 측정되고, 상기 대면공(V2)의 폭은 상기 증착용 마스크(100)의 타면(102)에서 측정될 수 있다.

상기 소면공(V1)은 상기 기판(300)을 향하여 배치될 수 있다. 상기 소면공(V1)은 상기 기판(300)과 가까이 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 소면공(V1)은 증착 물질, 즉 증착 패턴(DP)과 대응되는 형상을 가질 수 있다.

상기 대면공(V2)은 상기 유기물 증착 용기(400)를 향하여 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 대면공(V2)은 상기 유기물 증착 용기(400)로부터 공급되는 유기물질을 넓은 폭에서 수용할 수 있고, 상기 대면공(V2)보다 폭이 작은 상기 소면공(V1)을 통해 상기 기판(300) 상에 미세한 패턴을 빠르게 형성할 수 있다.

도 5는 실시예에 따른 증착용 마스크(100)의 평면도를 도시한 도면이다. 도 5를 참조하여, 상기 증착용 마스크(100)를 보다 구체적으로 설명한다.

도 5를 참조하면, 실시예에 따른 증착용 마스크(100)는 증착 영역(DA) 및 비증착 영역(NDA)을 포함할 수 있다.

상기 증착 영역(DA)은 증착 패턴을 형성하기 위한 영역일 수 있다. 상기 증착 영역(DA)은 패턴 영역 및 비패턴 영역을 포함할 수 있다. 상기 패턴 영역은 소면공(V1), 대면공(V2), 관통홀(TH) 및 아일랜드부(IS)를 포함하는 영역일 수 있고, 상기 비패턴 영역은 소면공(V1), 대면공(V2), 관통홀(TH) 및 아일랜드부(IS)를 포함하지 않는 영역일 수 있다.

또한, 하나의 증착용 마스크(100)는 복수 개의 증착 영역(DA)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 실시 예의 상기 증착 영역(DA)은 복수 개의 증착 패턴을 형성할 수 있는 복수 개의 유효부(AA1, AA2, AA3)를 포함할 수 있다. 상기 패턴 영역은 상기 복수 개의 유효부(AA1, AA2, AA3)을 포함할 수 있다.

상기 복수의 유효부(AA1, AA2, AA3)는 제 1 유효부(AA1), 제 2 유효부(AA2) 및 제 3 유효부(AA3)를 포함할 수 있다. 여기서 하나의 증착 영역(DA)은 제 1 유효부(AA1), 제 2 유효부(AA2) 및 제 3 유효부(AA3) 중 어느 하나일 수 있다.

스마트폰과 같은 소형 표시 장치의 경우, 증착용 마스크(100)에 포함된 복수의 증착 영역 중 어느 하나의 유효부는 하나의 표시장치를 형성하기 위한 것일 수 있다. 이에 따라, 하나의 증착용 마스크(100)는 복수의 유효부를 포함할 수 있어, 여러 개의 표시장치를 동시에 형성할 수 있다. 따라서, 실시 예에 따른 증착용 마스크(100)는 공정 효율을 향상시킬 수 있다.

이와 다르게, 텔레비전과 같은 대형 표시 장치의 경우, 하나의 증착용 마스크(100)에 포함된 여러 개의 유효부가 하나의 표시장치를 형성하기 위한 일부일 수 있다. 이때, 상기 복수의 유효부는 마스크의 하중에 의한 변형을 방지하기 위한 것일 수 있다.

상기 증착 영역(DA)은 하나의 증착용 마스크(100)에 포함된 복수의 분리 영역(IA1, IA2)을 포함할 수 있다. 인접한 유효부 사이에는 분리 영역(IA1, IA2)이 배치될 수 있다. 상기 분리 영역(IA1, IA2)은 복수 개의 유효부 사이의 이격 영역일 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 유효부(AA1) 및 상기 제 2 유효부(AA2)의 사이에는 제 1 분리 영역(IA1)이 배치될 수 있다. 또한, 상기 제 2 유효부(AA2) 및 상기 제 3 유효부(AA3)의 사이에는 제 2 분리 영역(IA2)이 배치될 수 있다. 즉, 상기 분리 영역(IA1, IA2)에 의해 인접한 유효 영역을 서로 구별할 수 있고, 하나의 증착용 마스크(100)가 복수의 유효 영역을 지지할 수 있다.

상기 증착용 마스크(100)는 상기 증착 영역(DA)의 길이 방향의 양 측부에 비증착 영역(NDA)을 포함할 수 있다. 실시 예에 따른 증착용 마스크(100)는 상기 증착 영역(DA)의 수평 방향의 양측에 상기 비증착 영역(NDA)을 포함할 수 있다.

상기 증착용 마스크(100)의 상기 비증착 영역(NDA)은 증착에 관여하지 않는 영역일 수 있다. 상기 비증착 영역(NDA)은 상기 증착용 마스크(100)를 마스크 프레임(200)에 고정하기 위한 프레임 고정영역(FA1, FA2)을 포함할 수 있다. 또한, 상기 비증착 영역(NDA)은 하프에칭부(HF1, HF2) 및 오픈부를 포함할 수 있다.

상술한 바와 같이 상기 증착 영역(DA)은 증착 패턴을 형성하기 위한 영역일 수 있고, 상기 비증착 영역(NDA)은 증착에 관여하지 않는 영역일 수 있다. 이때, 상기 증착용 마스크(100)의 상기 증착 영역(DA)에는 상기 금속판(10) 재질과 다른 표면 처리층을 형성할 수 있고, 상기 비증착 영역(NDA) 표면 처리층을 형성하지 않을 수 있다. 또는, 증착용 마스크(100)의 일면(101) 또는 타면(102) 중 어느 한 면에만 상기 금속판(10)의 재질과 다른 표면 처리층을 형성할 수 있다. 또는, 증착용 마스크(100)의 일면(101)의 일부분에만 상기 금속판(10)의 재질과 다른 표면 처리층을 형성할 수 있다. 예를 들어, 증착용 마스크(100)의 일면(101) 및/또는 타면(102), 증착용 마스크(100)의 전체 및/또는 일부는 상기 금속판(10) 재질보다 식각 속도가 느린 표면 처리층을 포함할 수 있어, 식각 팩터를 향상시킬 수 있다. 이에 따라, 실시 예의 증착용 마스크(100)는 미세한 크기의 관통홀을 높은 효율로 형성할 수 있다. 일례로, 실시 예의 증착용 마스크(100)는 400PPI 이상의 해상도를 가질 수 있다. 구체적으로, 상기 증착용 마스크(100)는 500PPI 이상의 높은 해상도를 가지는 증착 패턴을 높은 효율로 형성할 수 있다. 여기에서, 상기 표면 처리층은 상기 금속판(10)의 재질과 다른 원소를 포함하거나, 동일한 원소의 조성이 다른 금속 물질을 포함하는 것을 의미할 수 있다. 이와 관련하여서는 후술한 증착용 마스크의 제조 공정에서 보다 상세히 설명하기로 한다.

상기 비증착 영역(NDA)은 하프에칭부(HF1, HF2)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 증착용 마스크(100)의 상기 비증착 영역(NDA)은 상기 증착 영역(DA)의 일측에 제 1 하프에칭부(HF1)를 포함할 수 있고, 상기 증착 영역(DA)의 상기 일측과 반대되는 타측에 제 2 하프에칭부(HF2)를 포함할 수 있다. 상기 제 1 하프에칭부(HF1) 및 상기 제 2 하프에칭부(HF2)는 증착용 마스크(100)의 깊이 방향으로 홈이 형성되는 영역일 수 있다. 상기 제 1 하프에칭부(HF1) 및 상기 제 2 하프에칭부(HF2)는 증착용 마스크의 약 1/2 두께의 홈을 가질 수 있어, 증착용 마스크(100)의 인장 시 응력을 분산시킬 수 있다. 또한, 상기 하프에칭부(HF1, HF2)는 상기 증착용 마스크(100)의 중심을 기준으로 X축 방향으로 대칭되거나 Y축 방향으로 대칭되도록 형성하는 것이 바람직하다. 이를 통해 양방향으로의 인장력을 균일하게 조절할 수 있다.

상기 하프에칭부(HF1, HF2)는 다양한 형상으로 형성될 수 있다. 상기 하프에칭부(HF1, HF2)는 반원 형상의 홈을 포함할 수 있다. 상기 홈은 상기 증착용 마스크(100)의 일면(101) 및 상기 일면(101)과 반대되는 타면(102) 중 적어도 하나의 면 상에 형성될 수 있다. 바람직하게, 상기 하프에칭부(HF1, HF2)는 소면공(V1)과 대응되는 면 상에 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 하프에칭부(HF1, HF2)는 소면공(V1)과 동시에 형성될 수 있으므로 공정 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 상기 하프에칭부(HF1, HF2)는 대면공(V2) 사이의 크기 차이에 의해 발생할 수 있는 응력을 분산시킬 수 있다. 그러나 실시 예는 이에 제한되지 않고 상기 하프에칭부(HF1, HF2)는 사각형 형상일 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 하프에칭부(HF1) 및 상기 제 2 하프에칭부(HF2)는 직사각형 또는 정사각형 형상일 수 있다. 이에 따라 상기 증착용 마스크(100)는 효과적으로 응력을 분산시킬 수 있다.

또한, 상기 하프에칭부(HF1, HF2)는 곡면 및 평면을 포함할 수 있다. 상기 제 1 하프에칭부(HF1)의 평면은 상기 제 1 유효부(AA1)와 인접하게 배치될 수 있고, 상기 평면은 증착용 마스크(100)의 길이 방향의 끝단과 수평하게 배치될 수 있다. 상기 제 1 하프에칭부(HF1)의 곡면은 증착용 마스크(100)의 길이 방향의 일단을 향해서 볼록한 형상일 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 하프에칭부(HF1)의 곡면은 증착용 마스크(100)의 수직 방향 길이의 1/2 지점이 반원형상의 반지름과 대응되도록 형성될 수 있다.

또한, 상기 제 2 하프에칭부(HF2)의 평면은 상기 제 3 유효부(AA3)와 인접하게 배치될 수 있고, 상기 평면은 증착용 마스크(100)의 길이 방향의 끝단과 수평하게 배치될 수 있다. 상기 제 2 하프에칭부(HF2)의 곡면은 증착용 마스크(100)의 길이 방향의 타단을 향해서 볼록한 형상일 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 하프에칭부(HF2)의 곡면은 증착용 마스크(100)의 수직 방향 길이의 1/2 지점이 반원형상의 반지름과 대응되도록 형성될 수 있다.

상기 하프에칭부(HF1, HF2)는 소면공(V1) 또는 대면공(V2)을 형성할 때 동시에 형성할 수 있다. 이를 통해 공정 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 상기 증착용 마스크(100)의 일면(101) 및 타면(102)에 형성되는 홈은 서로 어긋나게 형성할 수 있다. 이를 통해 하프에칭부(HF1, HF2)가 관통되지 않을 수 있다.

또한, 실시 예에 따른 증착용 마스크(100)는 4개의 하프에칭부를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 하프에칭부(HF1, HF2)는 짝수 개의 하프에칭부(HF1, HF2)를 포함할 수 있어 응력을 보다 효율적으로 분산할 수 있다.

또한, 상기 하프에칭부(HF1, HF2)는 증착 영역(DA)의 비유효부(UA)에 더 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 하프에칭부(HF1, HF2)는 증착용 마스크(100)의 인장시 응력을 분산시키기 위해서 비유효부(UA)의 전체 또는 일부에 분산되어 다수 개 배치될 수 있다.

또한, 상기 하프에칭부(HF1, HF2)는 프레임 고정영역(FA1, FA2) 및/또는 프레임 고정영역(FA1, FA2)의 주변영역에도 형성될 수 있다. 이에 따라, 증착용 마스크(100)를 마스크 프레임(200)에 고정할 때, 및/또는 증착용 마스크(100)를 마스크 프레임(200)에 고정한 후에 유기물을 증착할 때에 발생하는 증착용 마스크(100)의 응력을 균일하게 분산시킬 수 있다. 이에 따라, 증착용 마스크(100)가 균일한 관통홀을 가지도록 유지할 수 있다.

즉, 실시 예에 따른 증착용 마스크(100)는 복수 개의 하프에칭부를 포함할 수 있다. 자세하게, 실시 예에 따른 증착용 마스크(100)는 비증착 영역(NDA)에만 하프에칭부(HF1, HF2)를 포함하는 것으로 도시하였으나 이에 제한되지 않고 상기 증착 영역(DA) 및 상기 비증착 영역(NDA) 중 적어도 하나의 영역은 복수 개의 하프에칭부를 더 포함할 수 있다. 이에 따라 증착용 마스크(100)의 응력을 균일하게 분산시킬 수 있다.

상기 비증착 영역(NDA)은 상기 증착용 마스크(100)를 상기 마스크 프레임(200)에 고정하기 위한 프레임 고정영역(FA1, FA2)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 증착 영역(DA)의 일측에 제 1 프레임 고정영역(FA1)을 포함할 수 있고, 상기 증착 영역(DA)의 상기 일측과 반대되는 타측에 제 2 프레임 고정영역(FA2)을 포함할 수 있다. 상기 제 1 프레임 고정영역(FA1) 및 상기 제 2 프레임 고정영역(FA2)은 용접에 의해서 마스크 프레임(200)과 고정되는 영역일 수 있다.

상기 프레임 고정영역(FA1, FA2)은 상기 비증착 영역(NDA)의 하프에칭부(HF1, HF2) 및 상기 하프에칭부(HF1, HF2)와 인접한 상기 증착 영역(DA)의 유효부의 사이에 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 프레임 고정영역(FA1)은 상기 비증착 영역(NDA)의 제 1 하프에칭부(HF1) 및 상기 제 1 하프에칭부(HF1)와 인접한 상기 증착 영역(DA)의 제 1 유효부(AA1)의 사이에 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 프레임 고정영역(FA2)은 상기 비증착 영역(NDA)의 제 2 하프에칭부(HF2) 및 상기 제 2 하프에칭부(HF2)와 인접한 상기 증착 영역(DA)의 제 3 유효부(AA3)의 사이에 배치될 수 있다. 이에 따라, 복수 개의 증착패턴부를 동시에 고정할 수 있다.

또한, 상기 증착용 마스크(100)는 수평 방향(X)의 양 끝단에 반원 형상의 오픈부를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 비증착 영역(NDA)은 오픈부를 포함할 수 있다. 자세하게, 상기 비증착 영역(NDA)은 수평 방향의 양 끝단에 각각 하나의 반원 형상의 오픈부를 포함할 수 있다. 예를 들어, 증착용 마스크(100)의 상기 비증착 영역(NDA)은 수평방향의 일측에는 수직 방향(Y)의 중심이 오픈된 오픈부를 포함할 수 있다. 예를 들어, 증착용 마스크(100)의 상기 비증착 영역(NDA)은 수평방향의 상기 일측과 반대되는 타측에는 수직 방향의 중심이 오픈된 오픈부를 포함할 수 있다. 즉, 증착용 마스크(100)의 양 끝단은 수직 방향 길이의 1/2 지점이 오픈부를 포함할 수 있다. 예를 들어, 증착용 마스크(100)의 양 끝단은 말발굽과 같은 형태일 수 있다.

이때, 상기 오픈부의 곡면은 상기 하프에칭부(HF1, HF2)를 향할 수 있다. 이에 따라, 증착용 마스크(100)의 양 끝단에 위치한 오픈부는 상기 제 1 하프에칭부(HF1, HF2) 또는 제 2 하프에칭부(HF1, HF2)와 상기 증착용 마스크(100)의 수직 방향 길이의 1/2 지점에서 이격 거리가 제일 짧을 수 있다.

또한, 상기 오픈부의 수직방향의 길이(h2)는, 상기 제 1 하프에칭부(HF1) 또는 상기 제 2 하프에칭부(HF2)의 수직방향의 길이(h1)와 대응될 수 있다. 이에 따라, 상기 증착용 마스크(100)를 인장하는 경우 응력이 고르게 분산될 수 있어 증착용 마스크의 변형(wave deformation)을 감소시킬 수 있다. 따라서, 실시 예에 따른 증착용 마스크(100)는 균일한 관통홀을 가질 수 있어, 패턴의 증착 효율이 향상될 수 있다. 바람직하게, 상기 제 1 하프에칭부(HF1) 또는 상기 제 2 하프에칭부(HF2)의 수직방향의 길이(h1)는 상기 오픈부의 수직방향의 길이(h2)의 약 80% 내지 약 200%일 수 있다(h1:h2 = 0.8~2:1). 상기 제 1 하프에칭부(HF1) 또는 상기 제 2 하프에칭부(HF2)의 수직방향의 길이(h1)는 상기 오픈부의 수직방향의 길이(h2)의 약 90% 내지 약 150%일 수 있다(h1:h2 = 0.9~1.5:1). 상기 제 1 하프에칭부(HF1) 또는 상기 제 2 하프에칭부(HF2)의 수직방향의 길이(h1)는 상기 오픈부의 수직방향의 길이(h2)의 약 95% 내지 약 110%일 수 있다(h1:h2 = 0.95~1.1:1).

또한, 도면에는 도시하지 않았으나, 상기 하프에칭부는 증착 영역(DA)의 비유효부(UA)에 더 형성될 수 있다. 상기 하프에칭부는 증착용 마스크(100)의 인장 시 응력을 분산시키기 위해서 비유효부(UA)의 전체 또는 일부에 분산되어 다수 개 배치될 수 있다.

또한, 하프에칭부(HF1, HF2)는 프레임 고정영역(FA1, FA2) 및/또는 프레임 고정영역(FA1, FA2)의 주변영역에도 형성될 수 있다. 이에 따라, 증착용 마스크(100)를 마스크 프레임(200)에 고정할 때, 및/또는 증착용 마스크(100)를 프레임에 고정한 후에 증착물을 증착할 때에 발생하는 증착용 마스크(100)의 응력을 균일하게 분산시킬 수 있다. 이에 따라, 증착용 마스크(100)가 균일한 관통홀을 가지도록 유지할 수 있다.

상기 증착용 마스크(100)는 길이 방향으로 이격된 복수 개의 유효부(AA1, AA2, AA3) 및 상기 유효부 이외의 비유효부(UA)을 포함할 수 있다. 자세하게, 상기 증착 영역(DA)은 복수 개의 유효부(AA1, AA2, AA3) 및 상기 유효부(AA) 이외의 비유효부(UA)을 포함할 수 있다.

상기 유효부(AA1, AA2, AA3)는 상기 증착용 마스크(100)의 일면 상에 형성된 다수의 소면공(V1), 상기 일면과 반대되는 타면 상에 형성된 다수의 대면공(V2), 상기 소면공(V1) 및 상기 대면공(V2)의 경계가 연결되는 연통부(CA)에 의해 형성되는 관통홀(TH)을 포함할 수 있다.

또한, 상기 유효부(AA1, AA2, AA3)는 복수 개의 상기 관통홀(TH)들 사이를 지지하는 아일랜드부(IS)를 포함할 수 있다.

상기 아일랜드부(IS)는 복수 개의 관통홀(TH) 중 인접한 관통홀(TH)들 사이에 위치할 수 있다. 즉, 상기 증착용 마스크(100)의 상기 유효부(AA1, AA2, AA3)에서 관통홀(TH) 이외의 영역은 아일랜드부(IS)일 수 있다.

상기 아일랜드부(IS)는 상기 증착 마스크의 유효부의 일면(101) 또는 타면(102)에서 식각되지 않은 부분을 의미할 수 있다. 자세하게, 상기 아일랜드부(IS)는 상기 증착용 마스크(100)의 유효부의 대면공(V2)이 형성된 타면(102)에서 관통홀(TH)과 관통홀(TH) 사이의 식각되지 않은 영역일 수 있다. 따라서 상기 아일랜드부(IS)는 상기 증착용 마스크(100)의 일면(101)과 평행하게 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 아일랜드부(IS)의 상부면은 상기 일면(101)과 평행하게 배치될 수 있다.

상기 아일랜드부(IS)는 상기 증착용 마스크(100)의 타면(102)과 동일 평면에 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 아일랜드부(IS)는 상기 증착용 마스크(100)의 타면(102)에서 비유효부의 적어도 일부분과 두께가 동일할 수 있다. 자세하게, 상기 아일랜드부(IS)는 상기 증착용 마스크(100)의 타면(102)에서 비유효부 중 식각되지 않은 부분과 두께가 동일할 수 있다. 이에 따라, 상기 증착용 마스크(100)를 통해 서브 픽셀의 증착 균일성을 향상시킬 수 있다.

또는, 상기 아일랜드부(IS)는 상기 증착용 마스크(100)의 타면(102)과 평행한 평면에 배치될 수 있다. 여기에서, 평행한 평면이라는 것은 상기 아일랜드부(IS) 주위의 식각공정에 의해서 아일랜드부(IS)가 배치되는 증착용 마스크(100)의 타면과 비유효부 중 비식각된 증착용 마스크(100)의 타면의 높이 단차가 ± 1 ㎛ 이하인 것을 포함할 수 있다.

상기 아일랜드부(IS)는 길이 방향으로의 폭(W1)과 수평 방향으로의 폭이 서로 다를 수 있다. 즉, 상기 아일랜드부(IS)는 길이 방향으로의 폭(W1)이 수평 방향으로의 폭(W2)보다 클 수 있다.

상기 증착용 마스크(100)는 상기 유효부(AA1, AA2, AA3)의 외곽에 배치되는 비유효부(UA)를 포함할 수 있다. 상기 유효부(AA)는 복수 개의 관통 홀들 중 유기물질을 증착하기 위한 최외곽에 위치한 관통 홀들의 외곽을 연결하였을 때의 안쪽 영역일 수 있다. 상기 비유효부(UA)는 복수 개의 관통홀들 중 유기물질을 증착하기 위한 최외곽에 위치한 관통홀들의 외곽을 연결하였을 때의 바깥쪽 영역일 수 있다.

상기 비유효부(UA)는 상기 증착 영역(DA)의 유효부(AA1, AA2, AA3)를 제외한 영역 및 상기 비증착 영역(NDA)이다. 상기 비유효부(UA)은 유효부(AA1, AA2, AA3)의 외곽을 둘러싸는 외곽영역(OA1, OA2, OA3)을 포함할 수 있다.

상기 외곽영역(OA1, OA2, OA3)의 개수는 상기 유효부(AA1, AA2, AA3)의 개수와 대응될 수 있다. 즉, 하나의 유효부는 유효부의 끝단으로부터 수평방향 및 수직방향에서 각각 일정한 거리로 떨어진 하나의 외곽영역을 포함할 수 있다.

상기 제 1 유효부(AA1)는 제 1 외곽영역(OA1) 내에 포함될 수 있다. 상기 제 1 유효부(AA1)은 증착물질을 형성하기 위한 복수 개의 관통홀(TH)들을 포함할 수 있다. 상기 제 1 유효부(AA1)의 외곽을 둘러싸는 상기 제 1 외곽영역(OA1)은 복수 개의 관통홀을 포함할 수 있다.

예를 들어, 상기 제 1 외곽영역(OA1)에 포함되는 복수 개의 관통홀은 상기 제 1 유효부(AA1)의 최외곽에 위치한 관통홀(TH)들의 에칭 불량을 감소시키기 위한 것이다. 이에 따라, 실시예에 따른 증착용 마스크(100)는 유효부(AA1, AA2, AA3)에 위치한 복수 개의 관통 홀들의 균일성을 향상시킬 수 있고, 이를 통해 제조되는 증착 패턴의 품질을 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 제 1 유효부(AA1)의 관통홀(TH)의 형상은 상기 제 1 외곽영역(OA1) 관통홀(TH)의 형상과 서로 대응될 수 있다. 이에 따라, 상기 제 1 유효부(AA1)에 포함된 관통홀(TH)의 균일성을 향상시킬 수 있다. 일례로, 상기 제 1 유효부(AA1)의 관통홀(TH)의 형상 및 상기 제 1 외곽영역(OA1) 관통홀의 형상은 원형일 수 있다. 그러나, 실시예는 이에 제한되지 않고, 상기 관통홀(TH)은 다이아몬드 패턴, 타원형 패턴 등 다양한 형상일 수 있다.

상기 제 2 유효부(AA2)는 제 2 외곽영역(OA2) 내에 포함될 수 있다. 상기 제 2 유효부(AA2)는 상기 제 1 유효부(AA1)와 서로 대응되는 형상일 수 있다. 상기 제 2 외곽영역(OA2)은 상기 제 1 외곽영역(OA1)과 서로 대응되는 형상일 수 있다.

상기 제 2 외곽영역(OA2)은 상기 제 2 유효부(AA2)의 최외곽에 위치한 관통홀로부터 수평방향 및 수직방향에 각각 두 개의 관통홀을 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 외곽영역(OA2)은 상기 제 2 유효부(AA2)의 최외곽에 위치한 관통홀의 상부 및 하부의 위치에 각각 두 개의 관통홀이 수평방향으로 일렬로 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 외곽영역(OA2)은 상기 제 2 유효부(AA2)의 최외곽에 위치한 관통홀의 좌측 및 우측에 각각 두 개의 관통홀이 수직방향으로 일렬로 배치될 수 있다. 상기 제 2 외곽영역(OA2)에 포함되는 복수 개의 관통홀은 유효부의 최외곽에 위치한 관통홀들의 에칭 불량을 감소시키기 위한 것이다. 이에 따라, 실시예에 따른 증착용 마스크는 유효부에 위치한 복수 개의 관통홀들의 균일성을 향상시킬 수 있고, 이를 통해 제조되는 증착패턴의 품질을 향상시킬 수 있다.

상기 제 3 유효부(AA3)는 제 3 외곽영역(OA3) 내에 포함될 수 있다. 상기 제 3 유효부(AA3)는 증착물질을 형성하기 위한 복수 개의 관통홀을 포함할 수 있다. 상기 제 3 유효부(AA3)의 외곽을 둘러싸는 상기 제 3 외곽영역(OA3)은 복수 개의 관통홀을 포함할 수 있다.

상기 제 3 유효부(AA3)는 상기 제 1 유효부(AA1)와 서로 대응되는 형상일 수 있다. 상기 제 3 외곽영역(OA3)은 상기 제 1 외곽영역(OA1)과 서로 대응되는 형상일 수 있다.

또한, 상기 유효부(AA1, AA2, AA3)에 포함된 관통홀(TH)은 상기 비유효부(UA)에 포함된 관통홀과 부분적으로 대응되는 형상을 가질 수 있다. 일레로, 상기 유효부(AA1, AA2, AA3)에 포함된 관통홀은 상기 비유효부(UA)의 에지부에 위치한 관통홀과 서로 다른 형상을 포함할 수 있다. 이에 따라, 증착용 마스크(100)의 위치에 따른 응력의 차이를 조절할 수 있다.

도 6은 제 1 실시예에 따른 증착용 마스크(100)의 유효부의 평면도를 도시한 도면이고, 도 7은 실시예에 따른 증착용 마스크의 다른 평면도를 도시한 도면이며, 도 8 및 도 9는 실시예에 따른 증착용 마스크의 또 다른 평면도를 도시한 도면이다.

도 6 내지 도 9는 실시예에 따른 증착용 마스크(100)의 제 1 유효부(AA1), 상기 제 2 유효부(AA2) 및 상기 제 3 유효부(AA3) 중 어느 하나의 평면도일 수 있다. 또한, 도 6 내지 도 9는 관통홀(TH)의 형상 및 상기 관통홀(TH) 간의 배열을 설명하기 위한 것으로, 실시 예에 따른 증착용 마스크(100)는 도면에 도시된 관통홀(TH)의 개수에 한정되지 않는다.

도 6 내지 도 9를 참조하면, 상기 증착용 마스크(100)는 복수 개의 관통홀(TH)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 관통홀(TH)들은 방향에 따라, 일렬로 배치되거나 서로 엇갈려서 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 관통홀(TH)들은 종축 및 횡축에서 일렬로 배치될 수 있고, 종축 또는 횡축에서 일렬로 배치될 수 있다.

먼저, 도 6을 참조하면, 상기 증착용 마스크(100)는 복수 개의 관통홀(TH)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 복수 개의 관통홀(TH)은 원형 형상일 수 있다. 자세하게, 상기 관통홀(TH)은 수평 방향의 직경(Cx)과 수직 방향의 직경(Cy) 값을 가질 수 있고, 상기 관통홀(TH)의 수평 방향의 직경(Cx)과 수직 방향의 직경(Cy) 값은 서로 대응될 수 있다.

상기 관통홀(TH)들은 방향에 따라 일렬로 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 관통홀(TH)들은 종축 및 횡축에서 일렬로 배치될 수 있다.

자세하게, 제 1 관통홀(TH1) 및 제 2 관통홀(TH2)은 횡축에서 일렬로 배치될 수 있고, 제 3 관통홀(TH1) 및 제 4 관통홀(TH4)은 종축에서 일렬로 배치될 수 있다.

또한, 제 1 관통홀(TH1) 및 제 3 관통홀(TH3)은 종축에서 일렬로 배치될 수 있고, 제 2 관통홀(TH2) 및 제 4 관통홀(TH4)은 횡축에서 일렬로 배치될 수 있다.

즉, 관통홀(TH)들이 종축 및 횡축에서 각각 일렬로 배치되는 경우에는, 종축 및 횡축과 모두 교차하는 방향인 대각 방향으로 인접한 두 개의 관통홀(TH)들 사이에 아일랜드부(IS)가 위치할 수 있다. 즉, 서로 대각선 방향에 위치한 두 개의 인접한 관통홀(TH)들 사이에는 아일랜드부(IS)가 위치할 수 있다.

예를 들어, 제 1 관통홀(TH1) 및 제 4 관통홀(TH4)의 사이에는 아일랜드부(IS)가 배치될 수 있다. 또한, 제 2 관통홀(TH2) 및 제 3 관통홀(TH3)의 사이에는 아일랜드부(IS)가 배치될 수 있다. 인접한 두 관통홀을 가로지르는 횡축을 기준으로 약 +45도 전후의 경사각 방향 및 약 -45도 전후의 경사각 방향에 아일랜드부(IS)가 각각 위치할 수 있다. 여기에서, 약 ±45 전후의 경사각 방향은 횡축과 종축 사이의 대각 방향을 의미할 수 있고, 상기 대각 방향의 경사각은 횡축 및 종축의 동일 평면에서 측정한 것일 수 있다.

또한, 도 7을 참조하면, 실시 예에 따른 다른 증착용 마스크(100)는 복수 개의 관통홀을 포함할 수 있다. 이때, 복수 개의 관통 홀은 타원형 형상일 수 있다. 자세하게, 상기 관통홀(TH)의 수평 방향의 직경(Cx)과 수직 방향의 직경(Cy)은 서로 다를 수 있다. 예를 들어, 관통홀의 수평 방향의 직경(Cx)은 수직 방향의 직경(Cy)보다 클 수 있다. 그러나, 실시예는 이에 제한되지 않고, 관통홀은 장방형 형상이거나 8각형 형상이거나 라운드진 8각형 형상일 수 있다.

상기 관통홀(TH)들은 종축 또는 횡축 중 어느 하나의 축에서 일렬로 배치되고, 다른 하나의 축에서 엇갈려서 배치될 수 있다.

자세하게, 제 1 관통홀(TH1) 및 제 2 관통홀(TH2)은 횡축에서 일렬로 배치될 수 있고, 제 3 관통홀(TH1) 및 제 4 관톨홀(TH4)은 제 1 관통홀(TH1) 및 제 2 관통홀(TH2)과 각각 종축에서 엇갈려서 배치될 수 있다.

상기 관통홀(TH)들이 종축 또는 횡축 중 어느 하나의 방향으로 일렬로 배치되고, 다른 하나의 방향으로 엇갈려서 배치되는 경우에는, 종축 또는 횡축 중 다른 하나의 방향으로의 인접한 두 개의 관통홀(TH1, TH2)들 사이에 아일랜드부(IS)가 위치할 수 있다. 또는, 서로 인접하게 위치한 세 개의 관통홀(TH1, TH2, TH3)들 사이에 아일랜드부(IS)가 위치할 수 있다. 인접한 세 개의 관통홀(TH1, TH2, TH3)들 중 두 개의 관통홀(TH1, TH2)들은 일렬로 배치되는 관통홀이며, 나머지 하나의 관통홀(TH3)은 상기 일렬 방향과 대응되는 방향의 인접한 위치에서, 상기 두 개의 관통홀(TH1, TH2) 사이의 영역에 배치될 수 있는 관통홀을 의미할 수 있다. 제 1 관통홀(TH1), 제 2 관통홀(TH2) 및 제 3 관통홀(TH3)의 사이에는 아일랜드부(IS)가 배치될 수 있다. 또는, 제 2 관통홀(TH2), 제 3 관통홀(TH3) 및 제 4 관통홀(TH4)의 사이에는 아일랜드부(IS)가 배치될 수 있다.

또한, 실시예에 따른 증착용 마스크(100)에서 임의의 어느 하나의 관통홀인 기준홀의 수평 방향의 직경(Cx)과 수직 방향의 직경(Cy)를 측정하는 경우, 상기 기준홀에 인접하는 관통홀(TH)들 간의 각각의 수평 방향의 직경(Cx)들 간의 편차와, 수직 방향의 직경(Cy)들 간의 편차는 약 2% 내지 약 10% 로 구현될 수 있다. 즉, 하나의 기준홀의 인접한 관통홀들 간의 크기 편차가 약 2% 내지 약 10% 로 구현하는 경우에는 증착의 균일도를 확보할 수 있다. 예를 들어, 상기 기준홀과 상기 인접한 관통홀들 간의 크기 편차는 약 4% 내지 약 9% 일 수 있다. 예를 들어, 상기 기준홀과 상기 인접한 관통홀들 간의 크기 편차는 약 5% 내지 약 7%일 수 있다. 예를 들어, 상기 기준홀과 상기 인접한 관통홀들 간의 크기 편차는 약 2% 내지 약 5% 일 수 있다. 상기 기준홀과 상기 인접한 관통홀들 간의 크기 편차가 약 2% 미만인 경우에는, 증착 후 OLED 패널에서 무아레 발생율이 높아질 수 있다. 상기 기준홀과 상기 인접한 관통홀들 간의 크기 편차가 약 10%를 초과하는 경우, 증착 후의 OLED 패널에서 색 얼룩의 발생율이 높아질 수 있다. 상기 관통홀 직경의 평균편차는 ±5㎛일 수 있다. 예를 들어, 상기 관통홀 직경의 평균편차는 ±3㎛일 수 있다. 예를 들어, 상기 관통홀 직경의 평균편차는 ±1㎛일 수 있다. 실시예는 상기 기준홀과 상기 인접한 관통홀들 간의 크기 편차를 ±3㎛ 이내로 구현함에 따라, 증착 효율을 향상시킬 수 있다.

또한, 도 8을 참조하면 상기 증착용 마스크(100)는 복수 개의 관통홀(TH)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 복수 개의 관통홀(TH)은 사각형 형상일 수 있다. 예를 들어, 상기 관통홀(TH)은 마름모 형상일 수 있다. 상기 관통홀(TH)은 수평 방향의 길이(Cx)과 수직 방향의 길이(Cy) 값을 가질 수 있고, 상기 관통홀(TH)의 수평 방향의 길이(Cx) 및 수직 방향의 길이(Cy)는 서로 대응될 수 있다.

상기 관통홀(TH)들은 방향에 따라 일렬로 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 관통홀(TH)들은 종축 및 횡축 중 어느 하나의 축에서 일렬로 배치되고, 다른 하나의 축에서는 엇갈려서 배치될 수 있다.

자세하게, 제 1 관통홀(TH1), 제 2 관통홀(TH2) 및 제 3 관통홀(TH3)은 횡축에서 일렬로 배치될 수 있고, 제 4 관통홀(TH4) 및 제 5 관통홀(TH5)은 횡축에서 일렬로 배치될 수 있고, 제 4 관통홀(TH4) 및 제 5 관통홀(TH5)은 제 1 관통홀(TH1), 제 2 관통홀(TH2) 및 제 3 관통홀(TH3)과 각각 종축에서 엇갈려서 배치될 수 있다. 예를 들어, 제 4 관통홀(TH4)은 제 1 관통홀(TH1) 및 제 2 관통홀(TH2) 사이에 엇갈려서 배치될 수 있고, 제 5 관통홀(TH5)은 제 2 관통홀(TH2) 및 제 3 관통홀(TH3) 사이에 엇갈려서 배치될 수 있다.

상기 관통홀(TH)들이 종축 또는 횡축 중 어느 하나의 방향으로 일렬로 배치되고, 다른 하나의 방향으로 엇갈려서 배치되는 경우에는, 종축 및 횡축이 교차하는 지점에 아일랜드부(IS)가 위치할 수 있다. 또는, 서로 인접한 네 개의 관통홀들(TH1, TH2, TH4, TH6) 사이에 아일랜드부(IS)가 위치할 수 있다.

인접한 네 개의 관통홀들(TH1, TH2, TH4, TH6) 중 두 개의 관통홀들(TH1, TH2)은 종축 또는 횡축 중 어느 하나의 방향으로 일렬로 배치되는 관통홀들을 의미할 수 있고, 나머지 두 개의 관통홀들(TH4, TH6)은 종축 또는 횡축 중 다른 하나의 방향으로 일렬로 배치되는 관통홀들을 의미할 수 있다.

또한, 도 9를 참조하면, 실시예에 따른 다른 증착용 마스크(100)는 복수 개의 관통홀을 포함할 수 있다. 이때, 복수 개의 관통 홀은 타원형 형상일 수 있다. 자세하게, 상기 관통홀(TH)의 일 방향의 직경(Cx1)과 타 방향의 직경(Cy1)은 서로 다르며, 타원 형상이 일정 각도로 경사지며 배치되는 형상일 수 있다.

상기 복수 개의 관통홀들은 각각 타원형의 형상으로 배치될 수 있다. 상기 복수 개의 관통홀들은 제 1 대각선 방향(OL1)으로 기울어진 타원형의 형상과 제 2 대각선 방향(OL2)으로 기울어진 타원형의 형상이 교대로 배치될 수 있다.

예를 들어, 상기 복수 개의 관통홀은 길이 방향(횡축 방향)에서 지그재그로 이격하여 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 복수 개의 관통홀들은 길이 방향에서 제 1 대각선 방향(OL1)으로 기울어진 타원형의 형상과 제 2 대각선 방향(OL2)으로 기울어진 타원형의 형상이 교대로 배치되며, 제 1 대각선 방향(OL1)으로 기울어진 타원형의 형상 및 제 2 대각선 방향(OL2)으로 기울어진 타원형의 형상의 최대지름 방향을 잇는 가상의 연장선은 지그재그 형(Z1)일 수 있다.

예를 들어, 상기 복수 개의 관통홀은 길이 방향과 수직한 방향(종축 방향)에서 지그재그로 이격하여 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 복수 개의 관통홀들은 길이 방향에서 제 1 대각선 방향(OL1)으로 기울어진 타원형의 형상과 제 2 대각선 방향(OL2)으로 기울어진 타원형의 형상이 교대로 배치되며, 제 1 대각선 방향(OL1)으로 기울어진 타원형의 형상 및 제 2 대각선 방향(OL2)으로 기울어진 타원형의 형상의 최대지름 방향을 잇는 가상의 연장선은 지그재그 형(Z2)일 수 있다.

예를 들어, 상기 관통홀은 일정한 각도로 경사를 가지면서 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 관통홀의 수직 방향은 상기 금속판의 폭 방향에 대해 일정한 각도로 경사를 가지면서 배치될 수 있다.

여기에서, 제 1 대각선 방향(OL1)은 제 1 방향으로 기울어진 타원형의 최대 지름을 잇는 가상의 선 방향일 수 있다. 제 2 대각선 방향(OL2)은 제 2 방향으로 기울어진 타원형의 최대 지름을 잇는 가상의 선 방향일 수 있다. 제 1 대각선 방향(OL1) 및 제 2 대각선 방향(OL2)은 서로 교차할 수 있다. 예를 들어, 제 1 대각선 방향(OL1)과 횡축 방향에서의 증착용 마스크의 일단 사이의 각도가 예각인 경우에는, 제 2 대각선 방향(OL2)과 횡축 방향에서의 증착용 마스크의 일단 사이의 각도가 둔각일 수 있다. 예를 들어, 제 1 대각선 방향(OL1)과 횡축 방향에서의 증착용 마스크의 일단 사이의 각도가 둔각인 경우에는, 제 2 대각선 방향(OL2)과 횡축 방향에서의 증착용 마스크의 일단 사이의 각도가 예각일 수 있다.

예를 들어, 상기 관통홀은 상기 관통홀의 수직 방향이 상기 금속판의 폭 방향에 대해 1° 내지 60° 또는 -1° 내지 -60°의 각도로 경사지면서 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 관통홀은 상기 관통홀의 수직 방향이 상기 금속판의 폭 방향에 대해 1° 내지 45° 또는 -1° 내지 -45°의 각도로 경사지면서 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 관통홀은 상기 관통홀의 수직 방향이 상기 금속판의 폭 방향에 대해 1° 내지 10° 또는 -1° 내지 -10°의 각도로 경사지면서 배치될 수 있다.

횡축 방향에서 인접한 2개의 관통홀 및 상기 2개의 관통홀 각각의 종축방향에 위치한 2개의 관통홀은 바람개비 모양의 관통홀 세트(SET)를 형성할 수 있다. 상기 바람개비 모양을 가지는 4개의 관통홀 세트(SET)는 증착용 마스크의 횡축 방향 및 종축 방향에 일렬로 배치될 수 있다.

상기 4개의 관통홀 세트(SET)에서, 횡축 방향에서 인접한 2개의 관통홀은 제 1 대각선 방향(OL1)으로 배치되는 타원형 형상의 제 1 타원형 관통홀 및 제 2 대각선 방향(OL2)으로 배치되는 타원형 형상의 제 2 타원형 관통홀을 의미할 수 있다. 상기 2개의 관통홀 각각의 종축방향에 위치한 2개의 관통홀은, 상기 제 1 타원형 관통홀의 종축방향에 위치한 제 2 대각선 방향(OL2)으로 배치되는 타원형 형상의 제 3 타원형 관통홀 및 상기 제 2 타원형 관통홀의 종축방향에 위치한 제 1 대각선 방향(OL1)으로 배치되는 타원형 형상의 제 4 타원형 관통홀을 포함할 수 있다.

도 6 내지 도 9의 아일랜드부(IS)는 유효부(AA)의 대면공(V2)이 형성되는 증착용 마스크(100)의 타면에서 관통홀(TH)들 사이의 식각되지 않은 면을 의미할 수 있다. 자세하게, 아일랜드부(IS)는 증착용 마스크의 유효부(AA)에서, 대면공 내에 위치한 제 2 내측면(ES2) 및 관통홀(TH)을 제외한 식각되지 않은 증착용 마스크(100)의 타면일 수 있다. 실시예의 증착용 마스크(100)는 400PPI 이상의 해상도를 가지는 고해상도 내지 초고해상도의 OLED 화소 증착을 위한 것일 수 있다. 실시예의 증착용 마스크(100)는 600 PPI 이상의 해상도를 가지는 고해상도 내지 초고해상도의 OLED 화소 증착을 위한 것일 수 있다. 실시예의 증착용 마스크(100)는 700 PPI 이상의 해상도를 가지는 고해상도 내지 초고해상도의 OLED 화소 증착을 위한 것일 수 있다. 실시예의 증착용 마스크(100)는 800 PPI 이상의 해상도를 가지는 고해상도 내지 초고해상도의 OLED 화소 증착을 위한 것일 수 있다.

예를 들어, 실시예의 증착용 마스크(100)는 400PPI 이상의 해상도를 가지는 Full HD(High Definition)의 고해상도를 가지는 증착 패턴을 형성하기 위한 것일 수 있다. 예를 들어, 실시예의 증착용 마스크(100)는 수평방향 및 수직방향에서의 화소수가 1920*1080 이상이고, 400PPI 이상인 OLED 화소 증착을 위한 것일 수 있다. 즉, 실시예의 증착용 마스크(100)에 포함된 하나의 유효부는 해상도 1920*1080 이상의 픽셀 수를 형성하기 위한 것일 수 있다.

예를 들어, 실시예의 증착용 마스크(100)는 500PPI 이상의 해상도를 가지는 QHD(Quad High Definition)의 고해상도를 가지는 증착 패턴을 형성하기 위한 것일 수 있다. 예를 들어, 실시예의 증착용 마스크(100)는 수평방향 및 수직방향에서의 화소수가 2560*1440 이상이고, 530 PPI 이상인 OLED 화소 증착을 위한 것일 수 있다. 실시예의 증착용 마스크(100)를 통해, 인치당 픽셀수는 5.5인치 OLED 패널을 기준으로 530 PPI 이상일 수 있다. 즉, 실시예의 증착용 마스크(100)에 포함된 하나의 유효부는 해상도 2560*1440 이상의 픽셀 수를 형성하기 위한 것일 수 있다.

예를 들어, 실시예의 증착용 마스크(100)는 700PPI 이상의 해상도를 가지는 UHD(Ultra High Definition)의 초고해상도를 가지는 증착 패턴을 형성하기 위한 것일 수 있다. 예를 들어, 실시예의 증착용 마스크(100)는 수평방향 및 수직방향에서의 화소수가 3840*2160 이상이고, 794 PPI 이상의 OLED 화소 증착을 위한 UHD(Ultra High Definition)급 해상도를 가지는 증착 패턴을 형성하기 위한 것일 수 있다.

상기 관통홀(TH)의 직경은 상기 연통부(CA) 사이의 폭일 수 있다. 자세하게, 상기 관통홀(TH)의 직경은 소면공(V1) 내의 내측면의 끝단과 대면공(V2) 내의 내측면의 끝단이 만나는 지점에서 측정할 수 있다. 상기 관통홀(TH)의 직경의 측정 방향은 수평방향, 수직방향, 대각 방향 중 어느 하나일 수 있다. 수평방향에서 측정된 상기 관통홀(TH)의 직경은 33㎛ 이하일 수 있다. 또는, 수평방향에서 측정된 상기 관통홀(TH)의 직경은 33㎛ 이하일 수 있다. 또는, 상기 관통홀(TH)의 직경은 수평방향, 수직방향, 대각 방향에서 각각 측정한 값의 평균값일 수 있다.

따라서, 실시 예에 따른 증착용 마스크(100)는 QHD급 해상도를 구현할 수 있다. 예를 들어, 상기 관통홀(TH)의 직경은 약 15㎛ 내지 약 33㎛일 수 있다. 예를 들어, 상기 관통홀(TH)의 직경은 약 19㎛ 내지 약 33㎛일 수 있다. 예를 들어, 상기 관통홀(TH)의 직경은 약 20㎛ 내지 약 27㎛일 수 있다. 상기 관통홀(TH)의 직경이 약 33㎛ 초과인 경우에는 500PPI 급 이상의 해상도를 구현하기 어려울 수 있다. 한편, 상기 관통홀(TH)의 직경이 약 15㎛ 미만인 경우에는 증착 불량이 발생할 수 있다.

도 6을 참조하면, 수평방향에서 복수 개의 관통홀 중 인접한 두 개의 관통홀(TH) 사이의 간격(pitch)은 약 48㎛ 이하일 수 있다. 예를 들어, 수평방향에서 복수 개의 관통 홀(TH) 중 인접한 두 개의 관통홀(TH) 사이의 간격(pitch)은 약 20㎛ 내지 약 48㎛일 수 있다. 예를 들어, 수평방향에서 복수 개의 관통 홀(TH) 중 인접한 두 개의 관통홀(TH) 사이의 간격(pitch)은 약 30㎛ 내지 약 35㎛일 수 있다. 여기에서, 상기 간격은 수평방향에서 두 개의 인접한 제 1 관통홀(TH1)의 중심과 제 2 관통홀(TH2)의 중심 사이의 간격(P1)을 의미할 수 있다. 이와 다르게, 상기 간격은 수평방향에서 두 개의 인접한 제 1 아일랜드부의 중심과 제 2 아일랜드부의 중심 사이의 간격(P2)을 의미할 수 있다. 여기에서, 아일랜드부(IS)의 중심은 수평방향 및 수직방향에서 인접한 네 개의 관통홀(TH)들 사이의 비식각된 타면에서의 중심일 수 있다. 예를 들어, 아일랜드부(IS)의 중심은 수평방향에서 인접한 두 개의 제 1 관통홀(TH1) 및 제 2 관통홀(TH2)을 기준으로, 상기 제 1 관통홀(TH1)과 수직방향에서 인접한 제 3 관통홀(TH3) 및 상기 제 2 관통홀(TH2)과 수직방향에서 인접한 제 4 관통홀(TH4) 사이의 영역에 위치한 하나의 아일랜드부(IS)의 에지를 잇는 횡축과 에지를 잇는 종축이 교차하는 지점을 의미할 수 있다.

또한, 도 7을 참조하면, 수평방향에서 복수 개의 관통홀 중 인접한 두 개의 관통홀(TH) 사이의 간격(pitch)은 약 48㎛ 이하일 수 있다. 예를 들어, 수평방향에서 복수 개의 관통홀(TH) 중 인접한 두 개의 관통홀(TH) 사이의 간격(pitch)은 약 20㎛ 내지 약 48㎛일 수 있다. 예를 들어, 수평방향에서 복수 개의 관통홀(TH) 중 인접한 두 개의 관통홀(TH) 사이의 간격(pitch)은 약 30㎛ 내지 약 35㎛일 수 있다. 여기에서, 상기 간격은 수평방향에서 두 개의 인접한 제 1 관통홀(TH1)의 중심과 제 2 관통홀(TH2)의 중심 사이의 간격(P1)을 의미할 수 있다. 또한, 상기 간격은 수평방향에서 두 개의 인접한 제 1 아일랜드부의 중심과 제 2 아일랜드부의 중심 사이의 간격(P2)을 의미할 수 있다. 여기에서, 아일랜드부(IS)의 중심은 하나의 관통홀과 수직 방향에서 인접한 두 개의 관통홀 사이의 비식각된 타면에서의 중심일 수 있다. 또는, 여기에서, 아일랜드부(IS)의 중심은 두 개의 관통홀과 수직 방향에서 인접한 하나의 관통홀 사이의 비식각된 타면에서의 중심일 수 있다. 즉, 아일랜드부(IS)의 중심은 인접한 세 개의 관통홀 사이의 비식각된 타면에서의 중심이며, 인접한 세 개의 관통홀이란 그 중심을 이었을 때 삼각형 형상을 형성할 수 있는 것을 의미할 수 있다.

상기 관통홀(TH)의 직경의 측정 방향과 인접한 두 개의 관통홀(TH) 사이의 간격의 측정 방향은 동일할 수 있다. 상기 관통홀(TH)의 간격은 수평 방향 또는 수직 방향으로 인접한 두 개의 관통홀(TH) 사이의 간격을 측정한 것일 수 있다.

또한, 도 8을 참조하면, 수평방향에서 복수 개의 관통홀 중 인접한 두 개의 관통홀(TH) 사이의 간격(pitch)은 약 48㎛ 이하일 수 있다. 예를 들어, 예를 들어, 수평방향에서 복수 개의 관통홀(TH) 중 인접한 두 개의 관통홀(TH) 사이의 간격(pitch)은 약 20㎛ 내지 약 48㎛일 수 있다. 예를 들어, 수평방향에서 복수 개의 관통홀(TH) 중 인접한 두 개의 관통홀(TH) 사이의 간격(pitch)은 약 30㎛ 내지 약 35㎛일 수 있다. 여기에서, 상기 간격은 수평방향에서 두 개의 인접한 제 1 관통홀(TH1)의 중심과 제 2 관통홀(TH2)의 중심 사이의 간격(P1)을 의미할 수 있다. 이와 다르게, 상기 간격은 수평방향에서 두 개의 인접한 제 1 아일랜드부의 중심과 제 2 아일랜드부의 중심 사이의 간격(P2)을 의미할 수 있다. 여기에서, 아일랜드부(IS)의 중심은 수평방향 및 수직방향에서 인접한 네 개의 관통홀(TH)들 사이의 비식각된 타면에서의 중심일 수 있다. 예를 들어, 아일랜드부(IS)의 중심은 수평방향에서 인접한 두 개의 제 1 관통홀(TH1) 및 제 2 관통홀(TH2)을 기준으로, 상기 제 1 관통홀(TH1)과 수직방향에서 인접한 제 3 관통홀(TH3) 및 상기 제 2 관통홀(TH2)과 수직방향에서 인접한 제 4 관통홀(TH4) 사이의 영역에 위치한 하나의 아일랜드부(IS)의 에지를 잇는 횡축과 에지를 잇는 종축이 교차하는 지점을 의미할 수 있다. 예를 들어, 아일랜드부(IS)의 중심은 수평방향으로 인접한 두 개의 관통홀인 제 1 관통홀(TH1) 및 제 2 관통홀(TH2)과, 상기 제 1 관통홀(TH1) 및 제 상기 제 2 관통홀(TH2) 사이 영역의 중심에서 수직방향으로 인접한 두 개의 관통홀인 제 4 관통홀(TH4) 및 제 6 관통홀(TH4) 사이의 영역에 위치한 비식각된 타면의 중심일 수 있다. 즉, 아일랜드부(IS)의 중심은 네 개의 관통홀 사이에 위치한 비식각면의 중심일 수 있다.

또한, 도 6 내지 도 9에 도시된 바와 같이 상기 대면공(V2)은 복수 개의 내측면들을 포함할 수 있다. 자세하게, 상기 대면공(V2)은 제 2 내측면(ES2) 및 제 3 내측면(ES3)을 포함할 수 있다. 상기 대면공은, 복수의 제 2 내측면(ES2) 및 복수의 제 3 내측면(ES3)이 연결되어 형성된다. 바람직하게, 복수의 제 2 내측면(ES2) 및 복수의 제 3 내측면(ES3)은 하나의 관통홀의 대면공을 형성한다.

상기 대면공의 제 2 내측면(ES2)은, 관통홀의 상기 대면공의 중심을 기준으로 수평 방향에 위치한 내측면이다. 바람직하게, 상기 제 2 내측면(ES2)은 대면공의 중심을 기준으로 길이 방향의 양측에 위치한 내측면이다. 상기 제 2 내측면(ES2)은 대면공의 중심을 기준으로 인장 방향의 양측에 위치한 내측면이다. 상기 제 2 내측면(ES2)은 대면공의 중심을 기준으로 X축 방향의 양측에 위치한 내측면이다. 따라서, 상기 제 2 내측면(ES2)은 관통 홀의 대면공의 중심을 기준으로 제 1 길이 방향에 위치한 제 1 서브 제 2 내측면과, 상기 제 1 길이 방향과 반대되는 제 2 길이 방향에 위치한 제 2 서브 제 2 내측면을 포함한다. 한편, 상기 제 1 서브 제 2 내측면이 가지는 단면 경사각은 상기 제 2 서브 제 2 내측면이 가지는 단면 경사각에 대응될 수 있다. 즉, 제 1 서브 제 2 내측면 및 상기 제 2 서브 제 2 내측면의 제 1 경사각도(θ1) 및 제 2 경사 각도(θ2)는 서로 동일할 수 있다.

상기 대면공의 제 3 내측면(ES3)은, 관통홀의 상기 대면공의 중심을 기준으로 수직 방향에 위치한 내측면이다. 바람직하게, 상기 제 3 내측면(ES3)은 대면공의 중심을 기준으로 폭 방향의 양측에 위치한 내측면이다. 상기 제 3 내측면(ES3)은 대면공의 중심을 기준으로 인장 방향과 수직한 방향의 양측에 위치한 내측면이다. 상기 제 3 내측면(ES3)은 대면공의 중심을 기준으로 Y축 방향의 양측에 위치한 내측면이다. 따라서, 상기 제 3 내측면(ES3)은 관통 홀의 대면공의 중심을 기준으로 제 1 폭 방향에 위치한 제 1 서브 제 3 내측면과, 상기 제 1 폭 방향과 반대되는 제 2 폭 방향에 위치한 제 2 서브 제 3 내측면을 포함한다. 한편, 상기 제 1 서브 제 3 내측면이 가지는 단면 경사각은 상기 제 2 서브 제 3 내측면이 가지는 단면 경사각에 대응될 수 있다. 즉, 제 1 서브 제 3 내측면 및 상기 제 2 서브 제 3 내측면의 제 3 경사각도(θ3) 및 제 4 경사각도(θ4)는 서로 동일할 수 있다.

상기 제 2 내측면(ES2) 및 상기 제 3 내측면(ES3)은 에칭 공정 시 식각 팩터에 의해 형성되는 면일 수 있다. 상기 제 2 내측면(ES2) 및 상기 제 3 내측면(ES3)은 상기 관통홀(TH)로부터 상기 증착용 마스크(100)의 타면(102)으로 연장되는 내측면일 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 내측면(ES2) 및 상기 제 3 내측면(ES3)은 상기 관통홀(TH)의 끝단에서 인접한 관통홀(TH) 방향으로 연장될 수 있고, 상기 아일랜드부(IS) 방향으로 연장될 수 있다. 또한, 상기 제 2 내측면(ES2) 및 상기 제 3 내측면(ES3)은 비유효부(UA)의 방향으로 연장될 수 있다. 즉, 상기 제 2 내측면(ES2) 및 제 3 내측면(ES3)은 상기 증착용 마스크(100)의 타면(102) 중 비식각면이 형성된 방향으로 연장될 수 있다.

상기 관통홀(TH)들 사이에는 리브(RB1, RB2)가 위치할 수 있다. 예를 들어, 도 6를 참조하면 상기 제 1 관통홀(TH1)과 수평 방향으로 인접한 제 2 관통홀(TH2) 사이에는 하나의 제 2 리브(RB2)가 형성될 수 있다. 또한, 상기 제 1 관통홀(TH1)과 수직 방향으로 인접한 제 3 관통홀(TH3) 사이에는 또 다른 하나의 제 1 리브(RB1)가 형성될 수 있다.

상기 제 1 리브(RB1)는 상기 증착용 마스크(100) 상에서 길이 방향으로 연장되며 배치된다. 상기 제 1 리브(RB1)는 상기 증착용 마스크(100) 상에 폭 방향으로 배열된 복수의 관통 홀 사이에 길이 방향으로 위치한다. 상기 제 1 리브(RB1)는 상기 증착용 마스크(100) 상에 길이 방향으로 배열된 복수의 아일랜드부(IS) 사이를 연결한다.

상기 제 2 리브(RB2)는 상기 증착용 마스크(100) 상에서 폭 방향으로 연장되며 배치된다. 상기 제 2 리브(RB2)는 상기 증착용 마스크(100) 상에 길이 방향으로 배열된 복수의 관통 홀 사이에 폭 방향으로 형성된다. 상기 제 2 리브(RB2)는 상기 증착용 마스크(100) 상에 폭 방향으로 배열된 복수의 아일랜드부(IS) 사이를 연결한다.

또한, 도 7을 참조하면, 제 1 관통홀(TH1)과 수평 방향으로 인접한 제 2 관통홀(TH2) 사이에는 하나의 리브(RB1, RB2)가 형성될 수 있고, 상기 제 1 관통홀(TH1)과 대각선 방향으로 인접한 제 3 관통홀(TH3) 사이에는 또 다른 하나의 리브(RB1, RB2)가 형성될 수 있다.

즉, 서로 인접한 관통홀(TH)들 사이에는 리브(RB1, RB2)가 위치할 수 있다. 자세하게, 서로 인접한 대면공(V2)들 사이에는 리브(RB1, RB2)가 위치할 수 있다. 더 자세하게, 서로 인접한 제 2 내측면(ES2)이 서로 연결되는 영역에 제 1 리브(RB1)가 위치할 수 있다. 더 자세하게, 서로 인접한 제 3 내측면(ES3)이 서로 연결되는 영역에 제 2 리브(RB2)가 위치할 수 있다. 즉, 상기 리브(RB1, RB2)는 서로 인접한 대면공(V2)들의 경계가 연결되는 영역일 수 있다.

실시예에 따른 증착용 마스크(100)는 400PPI 이상의 해상도를 가지는 OLED 화소를 증착할 수 있다. 자세하게, 실시예에 따른 증착용 마스크(100)는 관통홀(TH)의 직경이 약 33um 이하이고, 상기 관통홀(TH) 간의 간격(pitch)이 약 48um 이하임에 따라, 500PPI 이상의 해상도를 가지는 OLED 화소를 증착할 수 있다. 즉, 실시예에 따른 증착용 마스크(100)를 사용하여 QHD급 해상도를 구현할 수 있다.

상기 관통홀(TH)의 직경 및 상기 관통홀(TH) 간의 간격은 녹색 서브 픽셀을 형성하기 위한 크기일 수 있다. 예를 들어, 상기 관통홀(TH)의 직경은 녹색(G) 패턴을 기준으로 측정할 수 있다. 상기 녹색(G) 패턴은 시각을 통한 인식률이 낮으므로 적색(R) 패턴 및 청색(B) 패턴보다 많은 수가 요구되며, 상기 관통홀(TH)들 사이의 간격이 적색(R) 패턴 및 청색(B) 패턴보다 좁을 수 있다. 상기 증착용 마스크(100)는 QHD 디스플레이 픽셀을 구현하기 위한 OLED 증착용 마스크일 수 있다.

예를 들어, 상기 증착용 마스크(100)는 적색(R), 제 1 녹색(G1), 청색(B) 및 제 2 녹색(G2) 중 적어도 하나의 서브 픽셀을 증착하기 위한 것일 수 있다. 자세하게, 상기 증착용 마스크(100)는 적색(R) 서브 픽셀을 증착하기 위한 것일 수 있다. 또는, 상기 증착용 마스크(100)는 청색(B) 서브 픽셀을 증착하기 위한 것일 수 있다. 또는, 상기 증착용 마스크(100)는 제 1 녹색(G1) 서브 픽셀 및 제 2 녹색(G2) 서브 픽셀을 동시에 형성하기 위한 것일 수 있다.

유기 발광 표시 장치의 픽셀 배열은 '적색(R)-제 1 녹색(G1)-청색(B)-제 2 녹색(G2)' 순(RGBG)으로 배치될 수 있다. 이 경우 적색(R)-제 1 녹색(G1)이 하나의 픽셀(RG)을 이룰 수 있고, 청색(B)-제 2 녹색(G2)가 다른 하나의 픽셀(BG)을 이룰 수 있다. 이와 같은 배열의 유기 발광 표시 장치에서는, 적색 발광 유기물 및 청색 발광 유기물 보다 녹색 발광 유기물의 증착 간격이 더 좁아지기 때문에, 본 발명과 같은 형태의 증착용 마스크(100)가 필요할 수 있다.

또한, 실시예에 따른 증착용 마스크(100)는 관통홀(TH)의 직경이 수평방향에서 약 20㎛ 이하일 수 있다. 이에 따라, 실시예에 따른 증착용 마스크(100)는 UHD급 해상도를 구현할 수 있다. 예를 들어, 실시예에 따른 증착용 마스크(100)는 상기 관통홀(TH)의 직경이 약 20㎛ 이하이고, 상기 관통홀 간의 간격이 약 32㎛ 이하임에 따라, 800PPI 급의 해상도를 가지는 OLED 화소를 증착할 수 있다. 즉, 실시예에 따른 증착 마스크를 사용하여 UHD급 해상도를 구현할 수 있다.

상기 관통홀의 직경 및 상기 관통홀 간의 간격은 녹색 서브 픽셀을 형성하기 위한 크기일 수 있다. 상기 증착용 마스크는 UHD 디스플레이 픽셀을 구현하기 위한 OLED 증착 마스크일 수 있다.

도 10은 도 6의 A-A' 방향에서의 단면과 B-B' 방향에서의 단면 사이의 높이 단차와 크기를 설명하기 위해 각각의 단면을 겹쳐서 도시한 도면이다.

먼저 A-A' 방향에서의 횡단면을 설명한다. 상기 A-A'방향은 수직 방향에서 인접한 두 개의 제 1 관통홀(TH1) 및 제 3 관통홀(TH3) 사이의 중심 영역을 가로지르는 횡단면이다. 즉, 상기 A-A'방향에서의 횡단면은 관통홀(TH)을 포함하지 않을 수 있다.

상기 A-A'방향에서의 횡단면은 대면공 내의 제 3 내측면(ES3) 및 대면공 내의 상기 제 3 내측면(ES3)들 사이에 식각되지 않은 증착용 마스크의 타면인 아일랜드부(IS)가 위치할 수 있다. 이에 따라, 상기 아일랜드부(IS)는 증착용 마스크의 식각되지 않은 일면과 평행한 면을 포함할 수 있다. 또는, 상기 아일랜드부(IS)는 증착용 마스크(100)의 식각되지 않은 타면과 동일하거나 평행한 면을 포함할 수 있다.

다음으로, B-B 방향에서의 횡단면을 설명한다. 상기 B-B'방향은 수평 방향에서 인접한 두 개의 제 1 관통홀(TH1) 및 제 2 관통홀(TH2) 각각의 중심을 가로지르는 횡단면이다. 즉, 상기 B-B'방향에서의 횡단면은 복수 개의 관통홀(TH)을 포함할 수 있다.

상기 B-B'방향에서의 인접한 제 3 관통홀(TH3)과 제 4 관통홀(TH4) 사이에 하나의 리브가 위치할 수 있다. 제 4 관통홀(TH4) 및 제 4 관통홀과 수평방향에서 인접하되, 제 3 관통홀(TH3)과 반대방향에 위치한 제 5 관통홀 사이에는 다른 하나의 리브가 위치할 수 있다. 상기 하나의 리브 및 상기 다른 하나의 리브 사이에는 하나의 관통홀이 위치할 수 있다. 즉, 수평방향에서 인접한 두 개의 리브 사이에는 하나의 관통홀이 위치할 수 있다.

상기 B-B'방향에서의 횡단면은 대면공 내의 식각면(ES2), 및 인접한 대면공 내의 식각면(ES2)들이 서로 연결되는 영역인 리브(RB)가 위치할 수 있다. 여기에서 리브(RB)는 인접한 두 개의 대면공들의 경계가 연결되는 영역일 수 있다. 상기 리브(RB)는 식각면이기 때문에, 상기 아일랜드부(IS)보다 두께가 작을 수 있다.

예를 들어 상기 아일랜드부의 폭은 2㎛ 이상일 수 있다. 즉, 상기 아일랜드부(IS)는 길이 방향으로의 폭(W1)상기 아일랜드부의 폭이 2㎛ 이상 일 수 있다. 즉, 상기 아일랜드부(IS)의 장폭이 2㎛ 이상일 수 있다. 하나의 아일랜드부의 일단과 타단의 폭이 2㎛ 이상인 경우, 증착용 마스크의 전체 체적을 증가시킬 수 있다. 이러한 구조의 증착용 마스크는 유기물 증착 공정 등에서 부여되는 인장력에 대하여 충분한 강성을 확보하도록 하며, 관통홀의 균일도를 유지하는데 유리할 수 있다.

이하, 도 11 및 도 12를 참조하여, 증착용 마스크의 소면공의 두께 및 소면공의 경사각에 대해서 상세하게 설명한다.

도 11은 도 6의 B-B' 방향에서의 단면도를 도시한 도면이고, 도 12는 도 6의 C-C' 방향에서의 단면도를 도시한 도면이다, 즉, 도 11은 도 6의 횡축 방향에서의 단면도를 도시한 도면이고, 도 12는 도 6의 종축 방향에서의 단면도를 도시한 도면이다.

도 11 및 도 12를 참조하면, 실시예의 증착용 마스크는 복수의 관통홀을 포함하며, 상기 관통홀은 증착용 마스크의 일면 상에 형성된 복수의 소면공(V1) 및 상기 일면과 반대되는 타면 상에 형성되고, 연통부(CA)에 의하여 상기 소면공과 연통되는 복수의 대면공(V2)을 포함하고, 상기 연통부(CA)는 층상 구조의 경계일 수 있다.

상기 소면공(V1)은 제 1 층(L1)에 위치하고, 상기 대면공(V2)은 제 2 층(L2)에 위치할 수 있다.

상기 소면공(V1)을 구성하는 물질은 상기 대면공(V2)을 구성하는 물질과 서로 다를 수 있다. 여기에서, 물질이 다르다는 것은 동일한 원소를 다른 함량으로 포함하거나, 서로 다른 원소를 포함하는 것을 의미할 수 있다.

상기 연통부(CA)를 경계로, 상기 연통부(CA)로부터 상기 증착용 마스크의 상기 일면까지의 영역은 제 1 물질을 포함하고, 상기 연통부로부터 상기 증착용 마스크의 상기 타면까지의 영역은 상기 제 1 물질과 다른 제 2 물질을 포함할 수 있다. 즉, 상기 제 1 층(L1)은 제 1 물질을 포함하고, 상기 제 2 층(L2)은 제 2 물질을 포함할 수 있다.

상기 소면공(V1)이 위치한 상기 제 1 층(L1)은 도금층일 수 있다. 상기 소면공(V1)은 도금층으로 형성됨에 따라, 높은 에칭 팩터를 구현할 수 있고, 고해상도의 증착용 마스크의 제조가 가능할 수 있다. 상기 소면공(V1)이 도금법에 의해 형성됨에 따라, 600PPI 이상, 800 PPI 이상의 해상도를 가지는 OLED 화소의 증착이 가능할 수 있다.

상기 소면공(V1)의 금속 조성은 상기 대면공(V2)의 금속 조성과 다를 수 있다.

상기 소면공(V1)은 전해 또는 무전해 도금법을 통하여 단일 금속층으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 층(L1)은 Ni, Mo, Cr, W, Co, Pt, Si, Ti 중 어느 하나의 물질로 이루어진 단일 금속층일 수 있다. 상기 단일 금속층은 열팽창계수가 상대적으로 낮은 물질로 형성될 수 있다.

또는, 상기 소면공(V1)은 전해 또는 무전해 도금법을 통하여 합금 금속층으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 층(L1)은 2원계 합금층 또는 3원계 합금층일 수 있다. 상기 2원계 합금층 또는 상기 3원계 합금층은 열팽창계수(CTE)값이 낮은 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 층은 Fe-Ni-X 합금, Fe-X 합금, Ni-X 합금 중 어느 하나의 물질 층일 수 있다. 여기에서 X는 Mo. Cr. W. Co, Pt, Si, Ti 중 어느 하나일 수 있다.

상기 도금층은 상기의 단일 금속층 또는 합금 금속층으로 형성됨에 따라, 상기 소면공(V1)의 내식성을 증가시킬 수 있다. 자세하게, 상기 소면공(V1)은 표면에너지 값이 감소함에 따라 인바 합금층에 비하여 내식성이 증가할 수 있다.

상기 대면공(V2)이 형성되는 상기 제 2 층(L2)은 철 및 니켈을 포함하는 인바 합금층일 수 있다.

상기 소면공(V1)이 위치한 상기 제 1 층(L1)의 두께(H)는 0.1㎛ 내지 5㎛이하일 수 있다. 예를 들어, 상기 소면공(V1)이 위치한 도금층인 상기 제 1 층(L1)의 두께는 0.5㎛ 내지 3㎛일 수 있다. 예를 들어, 상기 소면공(V1)이 위치한 도금층인 상기 제 1 층(L1)의 두께는 0.5㎛ 내지 2㎛일 수 있다. 상기 소면공(V1)이 위치한 상기 제 1 층(L1)의 두께(H)가 5㎛ 초과인 경우에는 쉐도우 효과에 의한 증착 불량이 발생할 수 있다.

상기 소면공(V1)은 도금층으로 형성됨에 따라, 복수의 관통홀에 위치한 소면공들의 두께 편차가 작을 수 있다. 즉, 실시예는 균일한 소면공의 높이를 가지는 증착용 마스크를 제공할 수 있어, 증착 패턴의 균일성을 향상시킬 수 있다. 이에 따라, 실시예의 증착용 마스크는 증착 효율을 향상시킬 수 있다.

상기 소면공의 경사각은 상기 일면과, 하나의 소면공의 상기 일면에 위치한 일단(E1) 및 상기 하나의 소면공의 일단(E1)에서 연장되는 연통부의 일단(E2)을 잇는 연장선의 각도로 정의될 수 있다.

상기 소면공의 경사각(θ)은 70도 이상일 수 있다. 예를 들어, 상기 소면공의 경사각(θ)은 80도 내지 90도일 수 있다. 예를 들어, 상기 소면공의 경사각(θ)은 90도 이상일 수 있다. 상기 소면공의 경사각(θ)은 95도 이상일 수 있다.

즉, 상기 소면공은 도금법에 의해 형성됨에 따라, 80도 이상의 경사각을 가질 수 있다. 이에 따라, 상기 소공면을 포함하는 증착용 마스크는 높은 에칭 팩터를 구현할 수 있다.

또한, 상기 소면공은 도금법에 의해 형성됨에 따라, 타원형이 가지는 장축과 단축의 직경이 각각 균일한 치수 값을 가질 수 있다.

상기 소면공의 산술평균조도는 상기 대면공의 산술평균조도와 다른 값을 가질 수 있다. 상기 소면공의 산술평균조도는 상기 대면공의 산술평균조도보다 작은 값을 가질 수 있다.

상기 소면공의 내측면에서 측정된 산술평균조도는 10㎚ 내지 150㎚일 수 있다. 예를 들어, 상기 소면공의 내측면에서 측정된 산술평균조도는 10㎚ 내지 100㎚일 수 있다. 상기 소면공의 내측면에서 측정된 산술평균조도는 방향에 관계없이 일정한 범위의 조도 값을 나타낼 수 있다.

상기 대면공의 내측면에서 측정된 산술평균조도는 100㎚ 내지 300㎚일 수 있다. 예를 들어, 상기 대면공의 내측면에서 측정된 산술평균조도는 150㎚ 내지 300㎚일 수 있다. 예를 들어, 상기 대면공의 내측면에서 측정된 산술평균조도는 Rd 방향과 Td방향에서 서로 다른 값을 가질 수 있다. 자세하게, 상기 대면공은 압연된 금속판이기 때문에, Rd 방향과 Td방향에서 서로 다른 산술평균조도 값을 100㎚ 내지 300㎚의 범위에서 가질 수 있다.

상기 소면공은 도금층으로 형성됨에 따라, 상기 대면공보다 낮은 산술평균 조도를 가질 수 있다. 이에 따라, 상기 소면공은 상기 대면공에 비하여 내식성이 클 수 있다.

상기 소면공의 결정립 평균 크기는 상기 대면공의 결정립 평균 크기와 서로 다를 수 있다. 상기 소면공의 결정립 평균 크기는 상기 대면공의 결정립 평균 크기보다 작은 것을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 소면공의 결정립 평균 크기는 10㎚ 내지 30㎛일 수 있다. 예를 들어, 상기 대면공의 결정립 평균 크기는 5㎛ 내지 100㎛일 수 있다.

상기 소면공의 결정 조직은 등방성 결정조직을 포함할 수 있다. 상기 소면공은 도금층에 의해 형성되므로, 등방성 결정조직을 가질 수 있다.

상기 대면공의 결정 조직은 이방성 결정조직을 포함할 수 있다. 상기 대면공의 결정 조직은 연신된 압연 조직을 포함할 수 있다. 상기 대면공의 결정 조직은 압연 방향으로 길이가 긴 결정조직을 포함할 수 있다.

실시예에 따른 증착용 마스크는 증착용 마스크 소면공이 도금층으로 형성됨에 따라, 관통홀의 표면 특성을 향상시킬 수 있다.

자세하게, 실시예에 따른 증착용 마스크는 증착용 마스크에 관통홀을 형성할 때, 금속판의 소공면이 가지는 두께 편차 및 관통홀 내부의 소면공 경사각도 편차를 제어할 수 있다. 이에 따라, 실시예의 증착용 마스크는 균일한 관통홀을 가지므로, 증착 품질을 향상시킬 수 있다.

도 13은 기존의 증착용 마스크(100)의 제조 방법을 도시한 도면들이다.

도 13을 참조하면, 종래의 증착용 마스크(100)의 제조 방법은 금속판(10)을 준비하는 단계, 상기 금속판(10) 상에 포토레지스트층을 배치하여 관통 홀을 형성하는 단계 및 상기 포토레지스트층을 제거하여 상기 관통 홀을 포함하는 증착용 마스크(100)를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.

먼저, 증착용 마스크(100)를 제조하기 위한 기초 자재인 상기 금속판(10)을 준비한다(S410).

이어서, 상기 금속판(10)에 포토레지스트층을 배치하여 관통 홀(TH)을 형성하는 단계가 진행될 수 있다.

이를 위해, 상기 금속판(10)의 일면 상에 관통 홀의 소면공(V1)을 형성하기 위해 상기 금속판(10)의 일면 상에 제 1 포토 레지스트층(PR1)을 배치할 수 있다. 상기 제 1 포토레지스트층(PR1)을 노광 및 현상하여 상기 금속판(10)의 일면 상에 패턴화된 제 1 포토레지스트층(PR1)을 형성할 수 있다. 즉, 상기 금속판의 일면 상에 오픈부를 포함하는 제 1 포토레지스트층(PR1)을 형성할 수 있다. 또한, 상기 금속판(10)의 일면과 반대되는 타면 상에는 식각을 저지하기 위한 코팅층 또는 필름층과 같은 식각 저지층이 배치될 수 있다.

이어서, 패턴화된 상기 제 1 포토레지스트층(PR1)의 오픈부를 하프 에칭하여 상기 금속판(10)의 일면 상에 제 1 홈을 형성할 수 있다. 상기 제 1 포토레지스트층(PR1)의 오픈부는 식각액 등에 노출될 수 있어, 상기 금속판(10)의 일면 중 상기 제 1 포토레지스트층(PR1)이 배치되지 않은 오픈부에서 에칭이 일어날 수 있다.

상기 제 1 홈을 형성하는 단계는 약 20㎛ 내지 약 30㎛ 두께의 상기 금속판(10)을 약 1/2 두께가 될 때까지 에칭하는 단계일 수 있다. 이 단계를 통해 형성된 제 1 홈의 깊이는 약 10㎛ 내지 15㎛일 수 있다. 즉, 이 단계 후에 형성된 제 1 홈의 중심에서 측정한 상기 금속판의 두께는 약 10㎛ 내지 약 15㎛일 수 있다.

상기 제 1 홈을 형성하는 단계(S430)는, 습식 에칭으로 홈을 형성하는 단계일 수 있다.

이어서, 상기 금속판(10)의 상기 타면 상에 제 2 포토레지스트층(PR2)을 배치할 수 있다. 이어서, 상기 제 2 포토레지스트층(PR2)을 노광 및 현상하여 상기 금속판(10)의 타면 상에 패턴화된 제 2 포토레지스트층(PR2)이 배치할 수 있다(S440). 또한, 상기 금속판(10)의 일면 상에는 식각을 저지하기 위한 코팅층 또는 필름층과 같은 식각 저지층이 배치될 수 있다.

상기 제 2 포토레지스트층(PR2)의 오픈부는 식각액 등에 노출될 수 있어, 금속판(10)의 타면 중 상기 제 2 포토레지스트층(PR2)이 배치되지 않은 오픈부에서 에칭이 일어날 수 있다. 상기 금속판(10)의 타면은 습식 에칭에 의하여 에칭될 수 있다.

상기 제 2 포토레지스트층(PR2)의 오픈부를 에칭함에 따라, 상기 금속판(10)의 일면 상의 제 1 홈은 대면공(V2)과 연결되어 관통 홀을 형성할 수 있다.

상기 관통 홀을 형성하는 단계는, 상기 소면공(V1) 형성을 위한 제 1 홈을 형성하는 단계 이후에 상기 대면공(V2) 형성을 위한 제 2 홈을 형성하는 단계가 진행되어 상기 관통 홀(TH)을 형성하는 단계일 수 있다.

이와 다르게, 상기 관통 홀(TH)을 형성하는 단계는, 상기 대면공(V2) 형성을 위한 제 2 홈을 형성하는 단계 이후에 상기 소면공(V1) 형성을 위한 제 1 홈을 형성하는 단계가 진행되어 상기 관통 홀(TH)을 형성하는 단계일 수 있다.

이와 또 다르게, 상기 관통 홀(TH)을 형성하는 단계는, 상기 소면공(V1) 형성을 위한 제 1 홈을 형성하는 단계 및 상기 대면공(V2) 형성을 위한 제 2 홈을 형성하는 단계가 동시에 진행되어 상기 관통 홀(TH)을 형성하는 단계일 수 있다.

다음으로, 상기 제 1 포토레지스트층(PR1) 및 상기 제 2 포토레지스트층(PR2)을 제거하여, 상기 일면 상에 형성된 대면공(V2), 상기 일면과 반대되는 타면 상에 형성된 소면공(V1), 상기 대면공(V2) 및 상기 소면공(V1)의 경계가 연결되는 연통부에 의해 형성되는 관통 홀(TH)을 포함하는 증착용 마스크(100)를 형성하는 단계를 거쳐 증착용 마스크(100)가 형성될 수 있다.

습식 에칭법은 대공경 및 소공경을 형성하기 위한 2회의 습식 에칭과정을 거치므로, 공경의 균일성 확보가 어려운 문제점이 있었다. 또한, 증착 특성을 좌우하는 중요한 요소인 소공경의 높이를 균일하게 형성하기 어렵고, 관통홀의 장/단축의의 치수 제어에 한계가 있었다. 또한, 2회의 습식 에칭을 통해 제조된 증착용 마스크는 등방 에칭특성을 가지므로 에칭팩터가 낮고, 쉐도우 효과 개선의 한계를 가짐에 따라, 고해상도를 구현하기 어려운 문제점이 있었다.

또한, 습식 에칭은 원소재로 기인되는 결함에 대한 불량의 민감도가 높아, 소면공 및 대면공을 형성하기 위한 2회의 습식 에칭 공정을 거치는 경우, 결함의 발생확률이 더 높아지며, 균일한 공경 분포를 가지기 어려운 문제점이 있었다.

도 14를 참조하여, 실시예에 따른 증착용 마스크의 제조방법을 설명한다.

실시예에 따른 증착용 마스크는 증착 효율에 주 영향을 주는 소면공에 전해 또는 무전해 도금법을 통해 도금층을 형성하여, 균일한 공경 형성 및 관통홀의 장/단축의의 치수 제어가 가능할 수 있다. 이에 따라, 증착용 마스크가 가지는 관통홀의 설계 자유도를 높일 수 있다. 또한, 대공경의 위치한 단일면만 습식에칭을 진행하므로, 원소재에 기인한 결함 및 에칭 약품에 의한 불량 발생률을 감소시킬 수 있다.

실시예에 따른 증착용 마스크는, 철 및 니켈을 포함하고 일면 및 타면을 포함하는 금속판을 준비하는 단계; 상기 금속판의 일면 및 타면에 포토레지스트 층을 형성하는 단계; 상기 금속판의 일면 상의 포토레지스트 층을 노광 및 현상하여 소면공을 형성하기 위해 패턴화된 제 1 포토레지스트층과, 상기 금속판의 타면 상의 포토레지스트 층을 노광 및 현상하여 대면공을 형성하기 위해 패턴화된 제 2 포토레지스트층을 형성하는 단계; 상기 금속판의 타면 상에 상기 패턴화된 제 2 포토레지스트층 및 상기 금속판의 타면을 덮는 제 1 보호층을 형성하는 단계; 상기 금속판의 일면의 패턴화된 제 1 포토레지스트층들 사이에 노출된 상기 금속판의 일면에 도금층을 형성하는 단계; 상기 제 1 보호층 및 상기 제 1 포토레지스트층을 박리하는 단계; 상기 금속판의 일면 상에 패턴화된 도금층 및 상기 금속판의 일면을 덮는 제 2 보호층을 형성하는 단계; 상기 금속판의 타면을 식각액을 이용하여 식각하여 대면공을 형성하는 단계; 및 상기 제 2 보호층을 박리하여 소면공을 형성하는 단계;를 포함하여 제조될 수 있다.

먼저, 철 및 니켈을 포함하고 일면 및 타면을 포함하는 금속판을 준비(ST10)할 수 있다.

상기 금속판(10)은 금속 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 금속판(10)은 니켈(Ni)을 포함할 수 있다. 자세하게, 상기 금속판(10)은 철(Fe) 및 니켈(Ni)을 포함할 수 있다. 더 자세하게, 상기 금속판(10)은 철(Fe), 니켈(Ni), 산소(O) 및 크롬(Cr)을 포함할 수 있다. 또한, 상기 금속판(10)은 소량의 탄소(C), 규소(Si), 황(S), 인(P), 망간(Mn), 티타늄(Ti), 코발트(Co), 구리(Cu), 은(Ag), 바나듐(V), 나이오븀(Nb), 인듐(In), 안티몬(Sb) 중 적어도 하나 이상의 원소를 더 포함할 수 있다. 상기 인바(Invar)는 철 및 니켈을 포함하는 합금으로 열팽창계수가 0에 가까운 저열팽창 합금이다. 즉, 상기 인바는 열팽창 계수가 매우 작기 때문에 마스크 등과 같은 정밀 부품, 정밀 기기에 이용되고 있다. 따라서, 상기 금속판(10)을 이용하여 제조되는 증착용 마스크는 향상된 신뢰성을 가질 수 있어 변형을 방지할 수 있고, 수명 또한 증가시킬 수 있다.

상기 금속판(10)에는 상기 철이 약 60 중량% 내지 약 65 중량%만큼 포함될 수 있고, 상기 니켈은 약 35 중량% 내지 약 40 중량%만큼 포함될 수 있다. 자세하게, 상기 금속판(10)에는 상기 철이 약 63.5 중량% 내지 약 64.5 중량%만큼 포함될 수 있고, 상기 니켈은 약 35.5 중량% 내지 약 36.5 중량%만큼 포함될 수 있다. 또한, 상기 금속판(10)은 탄소(C), 규소(Si), 황(S), 인(P), 망간(Mn), 티타늄(Ti), 코발트(Co), 구리(Cu), 은(Ag), 바나듐(V), 나이오븀(Nb), 인듐(In), 안티몬(Sb) 중 적어도 하나 이상의 원소를 약 1 중량% 이하만큼 더 포함할 수 있다. 상기 금속판(10)의 성분, 함량, 중량%는, 상기 금속판(10)의 평면 상에서 특정 영역(a*b)을 선택하여, 상기 금속판(10)의 두께(t)에 해당하는 시편(a*b*t)을 샘플링하여 강산 등에 녹여 각 성분의 중량%를 조사하는 방법을 사용하여 확인할 수 있다. 그러나, 실시예는 이에 제한되지 않고 금속판의 조성을 확인할 수 있는 다양한 방법으로 조성을 중량%를 조사할 수 있다.

상기 금속판(10)은 냉간 압연 방식으로 제조될 수 있다. 예를 들어, 상기 금속판(10)은 용해, 단조, 열간 압연, 노멀라이징, 1차 냉간압연, 1차 어닐링, 2차 냉간압연 및 2차 어닐링 공정을 통해 형성될 수 있고 상기 공정들을 통해 약 30㎛ 이하의 두께를 가질 수 있다. 또는, 상기 금속판(10)은 상기 공정 이후에 추가 두께 감소 공정을 통해 약 30㎛ 이하의 두께를 가질 수 있다.

또한, 상기 금속판(10)을 준비하는 단계(S410)는 목표로 하는 금속판(10)의 두께에 따라 두께 감소 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 두께 감소 단계는 상기 금속판(10)을 압연 및/또는 에칭하여 두께를 감소하는 단계일 수 있다.

예를 들어, 400PPI 이상의 해상도를 구현하기 위한 증착용 마스크를 제조하기 위해서는 약 30㎛ 두께의 금속판(10)이 요구될 수 있고, 500PPI 이상의 해상도를 구현하기 위한 증착용 마스크를 제조하기 위해서는 약 20㎛ 내지 약 30㎛ 두께의 금속판(10)이 요구될 수 있고, 800PPI 이상의 해상도를 구현할 수 있는 증착용 마스크를 제조하기 위해서는 약 15㎛ 내지 약 20㎛ 두께의 금속판(10)이 요구될 수 있다.

또한, 상기 금속판(10)을 준비하는 단계는 표면 처리 단계를 선택적으로 더 포함할 수 있다. 자세하게, 인바와 같은 니켈 합금은 식각 초기에 식각 속도가 빠를 수 있어 관통 홀 각각의 소면공(V1)의 식각 팩터가 저하될 수 있다. 또한, 관통 홀의 대면공(V2) 형성을 위한 에칭 시, 에칭액의 사이드 에칭에 의해 상기 대면공(V2) 형성을 위한 포토 레지스트층이 박리될 수 있다. 이에 따라 미세한 크기의 관통 홀을 형성하기 어려울 수 있고, 상기 관통 홀을 균일하게 형성하기 어려워 제조 수율이 저하될 수 있다.

따라서, 상기 금속판(10)의 표면 상에 성분, 함량, 결정구조 및 부식속도를 달리하는 표면 개질을 위한 표면 처리층을 배치할 수 있다. 여기에서, 표면 개질이란 식각 팩터를 향상시키기 위하여 표면에 배치되는 다양한 물질로 이루어진 층을 의미할 수 있다.

즉, 상기 표면 처리층은 상기 금속판(10)의 표면 상에 빠른 식각을 저지하기 위한 층으로 상기 금속판(10)보다 식각 속도가 느린 배리어층일 수 있다. 상기 표면 처리층은 상기 금속판(10)과 결정면 및 결정구조가 다를 수 있다. 예를 들어, 상기 표면 처리층은 상기 금속판(10)과 서로 다른 원소를 포함함에 따라, 결정면 및 결정구조가 서로 다를 수 있다.

예를 들어, 동일한 부식환경에서 상기 표면 처리층은 상기 금속판(10)과 부식 전위가 다를 수 있다. 예를 들어, 동일한 온도의 동일한 에칭액에 동일 시간 처리하였을 때, 상기 표면 처리층은 상기 금속판(10)과 부식전류 내지 부식전위가 서로 다를 수 있다.

상기 금속판(10)은 일면 및/또는 양면, 전체 및/또는 유효영역에 표면 처리층 내지 표면 처리부를 포함할 수 있다. 상기 표면 처리층 내지 표면 처리부는 상기 금속판(10)과 서로 다른 원소를 포함하거나, 부식 속도가 느린 금속 원소를 상기 금속판(10)보다 큰 함량으로 포함할 수 있다.

다음으로, 상기 금속판(10)의 일면 및 타면에 포토레지스트 층(PR)을 형성하는 단계(ST10)를 거칠 수 있다.

다음으로, 상기 금속판의 일면 상의 포토레지스트 층을 노광 및 현상하여 소면공을 형성하기 위해 패턴화된 제 1 포토레지스트층(PR1)과, 상기 금속판의 타면 상의 포토레지스트 층을 노광 및 현상하여 대면공을 형성하기 위해 패턴화된 제 2 포토레지스트층(PR2)을 형성하는 단계(ST20)를 거칠 수 있다.

다음으로, 상기 금속판의 타면 상에 상기 패턴화된 제 2 포토레지스트층 및 상기 금속판의 타면을 덮는 제 1 보호층(SL1)을 형성하는 단계(ST30)를 거칠 수 있다. 상기 제 1 보호층(SL1)은 상기 패턴화된 제 2 포토레지스트층(PR2)보다 높은 두께로 형성되어, 상기 패턴화된 제 2 포토레지스트층(PR2) 및 상기 금속판의 타면을 동시에 덮을 수 있다. 상기 제 1 보호층(SL1)은 금속판의 타면에만 배치됨에 따라, 상기 금속판의 일면에만 전해 또는 무전해 도금층이 형성될 수 있다.

다음으로, 상기 금속판의 일면의 패턴화된 제 1 포토레지스트층들 사이에 노출된 상기 금속판의 일면에 도금층(PL)을 형성하는 단계(ST40)를 거칠 수 있다. 상기 도금층(PL)은 상기 금속판의 일면에 직접 접촉하여 형성될 수 있다. 상기 도금층(PL)은 패턴화된 제 1 포토레지스트층(PR1)에 의하여 상기 금속판의 일면 상에 부분적으로 배치될 수 있다.

다음으로, 상기 제 1 보호층(SL1) 및 상기 제 1 포토레지스트층(PR1)을 박리하는 단계(ST50)를 거칠 수 있다. 상기 금속층 상에서 상기 제 1 보호층(SL1)을 제거한 뒤에, 상기 제 1 포토레지스트층(PR1)을 제거할 수 있다. 또는, 상기 금속층 상에서 상기 제 1 포토레지스트층(PR1)을 제거한 뒤에, 상기 제 1 보호층(SL1)을 제거할 수 있다.

다음으로, 상기 금속판의 일면 상에 패턴화된 도금층(PL) 및 상기 금속판의 일면을 덮는 제 2 보호층(SL2)을 형성하는 단계를 거칠 수 있다.

상기 제 2 보호층(SL2)은 상기 패턴화된 도금층(PL)보다 높은 두께로 형성되어, 상기 패턴화된 도금층(PL) 및 상기 금속판의 일면을 동시에 덮을 수 있다. 이에 따라, 상기 제 2 보호층(SL2)은 식각 공정에서 도금층을 지지하고, 상기 제 2 보호층(SL2)의 하면의 식각을 방지할 수 있다.

다음으로, 상기 금속판의 타면을 식각액을 이용하여 식각하여 대면공을 형성하는 단계(ST70)를 거칠 수 있다.

상기 금속판의 타면 방향에서 습식 식각이 진행됨에 따라, 상기 금속판의 일면과 타면을 관통하는 대면공이 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 대면공은 인바로 형성될 수 있다. 즉, 상기 금속판의 타면 방향에서 습식 식각이 진행됨에 따라, 대면공이 형성되고, 상기 제 2 보호층(SL2)의 상면의 일부가 식각될 수 있다.

다음으로, 상기 제 2 보호층(SL2)을 박리하여 소면공이 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 소면공은 도금층으로 형성될 수 있다.

상기 단계들을 거쳐 형성된 증착용 마스크(100)의 제 1 층은 도금층으로 형성될 수 있고, 제 2 층은 상기 금속판(10)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 증착용 마스크(100)의 제 2 층은 상기 금속판(10)과 동일한 조성의 물질을 포함할 수 있다.

도 15 및 도 16은 실시예에 따른 증착용 마스크를 통해 형성되는 증착 패턴을 나타내는 도면들이다.

도 15를 참조하면, 실시예에 따른 증착용 마스크(100)는 소면공(V1)이 형성된 증착용 마스크(100)의 일면 및 연통부 사이의 높이(H1)가 약 5㎛ 이하일 수 있다. 이에 따라, 상기 증착용 마스크(100)의 일면과 증착 패턴이 배치되는 기판 사이의 거리가 가까울 수 있어 쉐도우 효과에 따른 증착 불량을 감소시킬 수 있다. 예를 들어, 실시 예에 따른 증착용 마스크(100)를 이용하여 R, G, B 패턴 형성 시, 인접한 두 패턴 사이의 영역에 서로 다른 증착 물질이 증착되는 불량을 방지할 수 있다. 자세하게, 도 16에 도시된 바와 같이 상기 패턴들이 좌측부터 R, G, B 순으로 형성될 경우, 상기 R 패턴 및 상기 G 패턴 사이의 영역에 쉐도우 효과로 R 패턴 및 G 패턴이 증착되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 실시예에 따른 증착용 마스크(100)는 유효부에서의 아일랜드부(IS)의 크기를 감소시킬 수 있다. 자세하게, 비식각면인 아일랜드부(IS)의 상부면의 면적을 감소시킬 수 있어 유기물 증착 시 상기 유기물은 관통 홀(TH)을 쉽게 통과할 수 있어 증착 효율을 향상시킬 수 있다.

상술한 실시예에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의하여 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

또한, 이상에서 실시예들을 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예들에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부한 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

Claims (10)

1. OLED 증착을 위한 금속재의 증착용 마스크에 있어서,
   상기 증착용 마스크는 증착 영역 및 비증착 영역을 포함하고,
   상기 증착 영역은 상기 증착용 마스크의 길이 방향으로 서로 이격된 복수 개의 유효부 및 비유효부를 포함하고,
   상기 유효부는 복수의 관통홀을 포함하고,
   상기 복수의 관통홀은,
   일면 상에 형성된 복수의 소면공; 및
   상기 일면과 반대되는 타면 상에 형성되고, 연통부에 의하여 상기 소면공과 연통되는 복수의 대면공을 포함하고,
   상기 연통부는 층상 구조의 경계이고,
   상기 소면공은 제 1 층에 위치하고, 상기 대면공은 제 2 층에 위치하고,
   상기 연통부를 경계로 상기 연통부로부터 상기 증착용 마스크의 상기 일면까지의 영역은 제 1 물질을 포함하고,
   상기 연통부로부터 상기 증착용 마스크의 상기 타면까지의 영역은 상기 제 1 물질과 다른 제 2 물질을 포함하는, 증착용 마스크.
2. 제 1항에 있어서,
   상기 제 1 층은 상기 제 1 물질을 포함하고,
   상기 제 1 물질은 Ni, Mo, Cr, W, Co, Pt, Si, Ti 중 어느 하나를 포함하는, 증착용 마스크.
3. 제 1항에 있어서,
   상기 제 1 층은 상기 제 1 물질을 포함하고,
   상기 제 1 물질은 Fe-Ni-X 합금, Fe-X 합금, Ni-X 합금 중 어느 하나를 포함하고,
   여기에서 X는 Mo. Cr. W. Co, Pt, Si, Ti 중 어느 하나인, 증착용 마스크.
4. 철 및 니켈을 포함하고 일면 및 타면을 포함하는 금속판을 준비하는 단계;
   상기 금속판의 일면 및 타면에 포토레지스트 층을 형성하는 단계;
   상기 금속판의 일면 상의 포토레지스트 층을 노광 및 현상하여 소면공을 형성하기 위해 패턴화된 제 1 포토레지스트층과, 상기 금속판의 타면 상의 포토레지스트 층을 노광 및 현상하여 대면공을 형성하기 위해 패턴화된 제 2 포토레지스트층을 형성하는 단계;
   상기 금속판의 타면 상에 상기 패턴화된 제 2 포토레지스트층 및 상기 금속판의 타면을 덮는 제 1 보호층을 형성하는 단계;
   상기 금속판의 일면의 패턴화된 제 1 포토레지스트층들 사이에 노출된 상기 금속판의 일면에 도금층을 형성하는 단계;
   상기 제 1 보호층 및 상기 제 1 포토레지스트층을 박리하는 단계;
   상기 금속판의 일면 상에 패턴화된 도금층 및 상기 금속판의 일면을 덮는 제 2 보호층을 형성하는 단계;
   상기 금속판의 타면을 식각액을 이용하여 식각하여 대면공을 형성하는 단계; 및
   상기 제 2 보호층을 박리하여 소면공을 형성하는 단계;를 포함하는 증착용 마스크의 제조방법.
5. 제 4항에 있어서,
   상기 대면공의 내측면은 식각면이고,
   상기 소면공의 내측면은 패턴화된 도금층의 측면인 것을 포함하는, 증착용 마스크의 제조방법.
6. 4 항에 있어서,
   상기 증착용 마스크는 복수의 관통홀을 포함하고,
   상기 증착용 마스크의 일면 상에 형성된 복수의 소면공; 및
   상기 일면과 반대되는 타면 상에 형성되고, 연통부에 의하여 상기 소면공과 연통되는 복수의 대면공을 포함하고,
   상기 연통부는 층상 구조의 경계이고,
   상기 소면공은 제 1 층에 위치하고, 상기 대면공은 제 2 층에 위치하고,
   상기 연통부를 경계로 상기 연통부로부터 상기 증착용 마스크의 상기 일면까지의 영역은 제 1 물질을 포함하고,
   상기 연통부로부터 상기 증착용 마스크의 상기 타면까지의 영역은 상기 제 1 물질과 다른 제 2 물질을 포함하는, 증착용 마스크의 제조방법.
7. 6 항에 있어서,
   상기 제 1 층은 도금층인, 증착용 마스크의 제조방법.
8. 7 항에 있어서,
   상기 제 1 층의 두께는 5㎛이하인, 증착용 마스크의 제조방법.
9. 제 4항에 있어서,
   상기 소면공의 산술평균조도는 상기 대면공의 산술평균조도보다 작은 값을 가지는, 증착용 마스크의 제조방법
10. 제 4항에 있어서,
    상기 소면공의 결정립 평균 크기는 상기 대면공의 결정립 평균 크기보다 작은 것을 포함하는, 증착용 마스크의 제조방법.

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