KR20210124047A - Semiconductor package and manufacturing method thereof - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 패키지 및 그 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 시스템 인 패키지 방식의 반도체 패키지 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor package and a method for manufacturing the same, and more particularly, to a system-in-package type semiconductor package and a method for manufacturing the same.
하나의 시스템으로 동작하는 시스템 인 패키지(SiP; System In Package)는 복수의 반도체 칩을 포함한다. 이때, SiP는 재배선층(RDL; Redistributed Layer)을 이용하며 복수의 반도체 칩뿐만 아니라 수동소자를 포함할 수 있다. 여기서, SiP는 반도체 칩 또는 수동소자를 수직으로 적층되거나 수평으로 배열할 수 있고, 범프 또는 와이어 본드로 연결할 수 있다. A system in package (SiP) operating as one system includes a plurality of semiconductor chips. In this case, the SiP uses a redistribution layer (RDL) and may include a plurality of semiconductor chips as well as passive devices. Here, in the SiP, semiconductor chips or passive devices may be vertically stacked or arranged horizontally, and may be connected by bumps or wire bonds.
그러나 SiP는 복수의 반도체 칩 및 수동소자를 집적함에 따라 입력/출력이 증가하고 패키지가 소형화될수록 미세 피치 또는 와이어 길이와 같은 구조적인 요소뿐만 아니라 전자파 차단, 처리 속도, RF 성능 등의 전기적 요소들에 대한 요구 사항이 증가하고 있다. However, SiP increases input/output as a plurality of semiconductor chips and passive devices are integrated, and as the package becomes smaller, structural factors such as fine pitch or wire length, as well as electrical factors such as electromagnetic wave blocking, processing speed, and RF performance requirements are increasing.
상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해, 본 발명의 일 실시예는 SiP를 구현하면서도 소형화 및 전기적 특성을 향상시킬 수 있는 반도체 패키지 및 그 제조방법을 제공하고자 한다.In order to solve the problems of the prior art as described above, an embodiment of the present invention is to provide a semiconductor package and a method of manufacturing the same that can improve the miniaturization and electrical characteristics while implementing the SiP.
다만, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.However, the problems to be solved by the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
위와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 측면에 따르면, 일면에 복수의 반도체 칩 및 복수의 수동소자가 실장되는 제1재배선층; 비아를 통하여 상기 제1재배선층에 전기적으로 연결되는 제2재배선층; 상기 제2재배선층의 하면에 형성되는 외부접속 단자; 상기 제1재배선층의 상부에서 상기 복수의 반도체 칩 및 상기 복수의 수동소자를 덮도록 구비되는 제1몰드; 및 상기 제1재배선층과 상기 제2재배선층 사이에 구비되는 제2몰드를 포함하며, 상기 제1재배선층 및 상기 제2재배선층 각각은 배선패턴 및 절연층을 포함하며, 상기 복수의 반도체 칩 중 적어도 하나는 상기 제1재배선층과 상기 제2재배선층 사이에 배치되는 반도체 패키지가 제공된다. According to one aspect of the present invention for solving the above problems, a first redistribution layer on which a plurality of semiconductor chips and a plurality of passive devices are mounted on one surface; a second redistribution layer electrically connected to the first redistribution layer through a via; an external connection terminal formed on a lower surface of the second redistribution layer; a first mold provided to cover the plurality of semiconductor chips and the plurality of passive devices on the first redistribution layer; and a second mold provided between the first redistribution layer and the second redistribution layer, wherein each of the first redistribution layer and the second redistribution layer includes a wiring pattern and an insulating layer, and the plurality of semiconductor chips At least one of the semiconductor packages is disposed between the first redistribution layer and the second redistribution layer.
일 실시예에서, 상기 제1재배선층은 상기 복수의 반도체 칩 및 복수의 수동소자가 실장되는 배선패턴이 상기 절연층으로 덮이지 않는 것일 수 있다.In an embodiment, the first redistribution layer may include a wiring pattern in which the plurality of semiconductor chips and the plurality of passive devices are mounted, in which the insulating layer is not covered.
일 실시예에서, 상기 제1재배선층은 상기 복수의 반도체 칩 및 복수의 수동소자가 실장되는 배선패턴의 일부가 흑화 처리에 의한 산화층으로 덮일 수 있다.In an embodiment, in the first redistribution layer, a portion of the wiring pattern on which the plurality of semiconductor chips and the plurality of passive devices are mounted may be covered with an oxide layer formed by a blackening process.
일 실시예에서, 상기 몰드의 상면에 폴리이미드로 이루어진 코팅층을 더 포함할 수 있다. In one embodiment, a coating layer made of polyimide may be further included on the upper surface of the mold.
일 실시예에서, 상기 제1몰드의 외면을 따라 구비되는 실드층을 더 포함할 수 있다.In an embodiment, a shielding layer provided along an outer surface of the first mold may be further included.
일 실시예에서, 상기 제1재배선층과 제2재배선층 중 적어도 하나의 배선패턴의 일부가 상기 실드층에 연결되도록 연장 형성될 수 있다.In an embodiment, a portion of the wiring pattern of at least one of the first redistribution layer and the second redistribution layer may be extended to be connected to the shield layer.
일 실시예에서, 상기 실드층은 상기 외부접속 단자 측으로 연장 형성될 수 있다. In an embodiment, the shield layer may be formed to extend toward the external connection terminal.
일 실시예에서, 상기 실드층은 별도로 제작된 실드캔일 수 있다. In an embodiment, the shield layer may be a shield can manufactured separately.
일 실시예에서, 상기 실드캔은 상기 반도체칩의 상면에 접촉될 수 있다.In an embodiment, the shield can may be in contact with a top surface of the semiconductor chip.
일 실시예에서, 상기 절연층은 유전상수(Dk)가 2~3이고, 상기 유전정접(Df)이 0.002~0.005일 수 있다.In an embodiment, the insulating layer may have a dielectric constant (Dk) of 2 to 3 and a dielectric loss tangent (Df) of 0.002 to 0.005.
일 실시예에서, 상기 제1재배선층의 배선패턴에서 상부에 위치한 배선패턴과 하부에 위치한 배선패턴이 중앙에 위치한 중앙 배선패턴에 비해 두꺼운 두께를 가질 수 있다.In an embodiment, in the wiring pattern of the first redistribution layer, an upper wiring pattern and a lower wiring pattern may have a greater thickness than a central wiring pattern located in the center.
일 실시예에서, 상기 제1재배선층의 집적도는 상기 제2재배선층의 집적도보다 높은 것일 수 있다.In an embodiment, the degree of integration of the first redistribution layer may be higher than that of the second redistribution layer.
일 실시예에서, 상기 제1재배선층과 상기 제2재배선층 각각은 배선패턴 및 절연층을 포함하며 복수의 층으로 구성되되, 상기 제1재배선층의 층 수가 상기 제2재배선층의 층 수보다 더 많은 것일 수 있다.In an embodiment, each of the first redistribution layer and the second redistribution layer includes a wiring pattern and an insulating layer and includes a plurality of layers, wherein the number of layers of the first redistribution layer is greater than the number of layers of the second redistribution layer. It could be more.
일 실시예에서, 상기 제1재배선층 상에 실장되는 반도체 칩은 아날로그 블록이고, 상기 제1재배선층과 제2재배선층 사이에 실장되는 반도체 칩은 디지털 블록일 수 있다.In an embodiment, the semiconductor chip mounted on the first redistribution layer may be an analog block, and the semiconductor chip mounted between the first redistribution layer and the second redistribution layer may be a digital block.
본 발명의 일 측면에 따르면, 양면에 복수의 반도체 칩 또는 복수의 수동소자가 실장되는 제1재배선층과, 상기 제1재배선층의 상부에서 상기 복수의 반도체 칩 또는 상기 복수의 수동소자를 덮도록 구비되는 제1몰드와, 상기 제1재배선층의 하부에서 상기 복수의 반도체 칩을 덮도록 구비되는 제2몰드와, 상기 제2몰드의 하측에 구비되어 상기 제2몰드에 형성된 비아를 통하여 상기 제1재배선층과 연결되는 연결패드와, 상기 제1재배선층의 하측에 구비되는 반도체칩의 노출면에 구비되는 방열패드와, 상기 연결패드 및 상기 방열패드와 연결되는 외부입력단자를 포함하며, 상기 제1재배선층은 배선패턴 및 절연층을 포함하며, 복수의 층으로 구성되고, 상기 연결패드 및 상기 방열패드는 열전도성 재질로 이루어질 수 있다.According to an aspect of the present invention, a first redistribution layer on which a plurality of semiconductor chips or a plurality of passive elements are mounted on both surfaces, and the plurality of semiconductor chips or the plurality of passive elements on an upper portion of the first redistribution layer are covered. A first mold is provided; A connection pad connected to the first redistribution layer, a heat dissipation pad provided on an exposed surface of the semiconductor chip provided under the first rewiring layer, and an external input terminal connected to the connection pad and the heat dissipation pad, wherein The first redistribution layer may include a wiring pattern and an insulating layer, and may include a plurality of layers, and the connection pad and the heat dissipation pad may be made of a thermally conductive material.
본 발명의 다른 측면에 따른 반도체 패키지 제조방법은, a) 다층의 제2절연층 및 제2배선패턴을 포함하는 제2재배선층을 형성하는 단계와, b) 상기 제2재배선층의 배선패턴의 일부로부터 연장되는 3D 비아를 형성하는 단계와, c) 상기 제2재배선층의 일면에 접착층을 이용하여 반도체 칩을 접합하는 단계와, d) 상기 제2재배선층의 상면에 제2몰드를 형성하되, 상기 3D 비아의 일면 및 상기 반도체 칩의 칩 패드가 노출되도록 형성하는 단계와, e) 상기 제2몰드의 상면에 다층의 제1절연층 및 제1배선패턴을 포함하되, 상기 반도체 칩 및 3D 비아에 상기 제1배선패턴의 일부가 전기적으로 접속되는 제1재배선층을 형성하는 단계와, f) 다수의 제1반도체 칩 및 수동소자를 SMT 공정에 의해 상기 제1재배선층 상에 실장하는 단계와, g) 진공 프린팅 성형 인쇄법을 이용하여, 상기 제1재배선층의 상기 제1배선패턴 상부에 제1몰드를 형성하여 상기 제1반도체 칩 및 상기 수동소자를 덮는 단계와, h) 상기 제2재배선층에 접속패드영역을 형성하고, 상기 접속패드영역에 접촉되는 외부접속 단자를 형성하는 단계와, i) 상기 제1몰드의 외면을 따라 실드층을 형성하는 단계를 포함할 수 있다. A semiconductor package manufacturing method according to another aspect of the present invention comprises the steps of: a) forming a second redistribution layer including a multi-layered second insulating layer and a second wiring pattern; b) a wiring pattern of the second redistribution layer; forming a 3D via extending from a part; c) bonding a semiconductor chip to one surface of the second redistribution layer using an adhesive layer; d) forming a second mold on the upper surface of the second redistribution layer; , forming one surface of the 3D via and a chip pad of the semiconductor chip to be exposed; e) including a multi-layered first insulating layer and a first wiring pattern on an upper surface of the second mold, wherein the semiconductor chip and the 3D forming a first redistribution layer to which a part of the first wiring pattern is electrically connected to a via; f) mounting a plurality of first semiconductor chips and passive devices on the first redistribution layer by an SMT process; and g) forming a first mold on the first wiring pattern of the first redistribution layer using a vacuum printing molding printing method to cover the first semiconductor chip and the passive element; The method may include forming a connection pad region in the second rewiring layer, forming an external connection terminal in contact with the connection pad region, and i) forming a shield layer along an outer surface of the first mold.
본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 패키지는 낮은 유전상수(Dk) 및 유전정접(Df) 소재 및 ETS(Embedded Trace Substrate)를 이용함으로써, 고속 신호 및 RF 트레이스 기능을 구현할 수 있다.The semiconductor package according to an embodiment of the present invention may implement a high-speed signal and RF trace function by using a low dielectric constant (Dk) and dielectric loss tangent (Df) material and an Embedded Trace Substrate (ETS).
또한, 본 발명은 재배선층에서 최상위 절연층 또는 UBM층을 제외함으로써, 절연층 또는 UBM층 형성을 위한 비용을 절감하고 해당 공정을 단순화할 수 있다. In addition, according to the present invention, by excluding the uppermost insulating layer or the UBM layer from the redistribution layer, the cost for forming the insulating layer or the UBM layer can be reduced and the corresponding process can be simplified.
또한, 본 발명은 재배선층의 일부를 생략하고 반도체 칩의 일면에 방열패드를 부착함으로써, 반도체 칩에 의해 발생하는 열을 외부로 용이하게 방출할 수 있으므로 방열특성을 향상시킬 수 있다.Further, in the present invention, heat generated by the semiconductor chip can be easily radiated to the outside by omitting a portion of the redistribution layer and attaching a heat dissipation pad to one surface of the semiconductor chip, thereby improving heat dissipation characteristics.
또한, 본 발명은 재배선층의 하면에 반도체 칩을 구비함으로써, 반도체 칩의 배선이 짧아지기 때문에 고속 처리를 안정적으로 수행할 수 있다.Further, in the present invention, since the wiring of the semiconductor chip is shortened by providing the semiconductor chip on the lower surface of the redistribution layer, high-speed processing can be stably performed.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 패키지의 단면도이고,
도 2는 본 발명의 제1변형예에 따른 반도체 패키지의 단면도이며,
도 3은 본 발명의 제2변형예에 따른 반도체 패키지의 단면도이며,
도 4는 본 발명의 제3변형예에 따른 반도체 패키지의 단면도이며,
도 5는 본 발명의 제4변형예에 따른 반도체 패키지로서, (a)는 제4형예의 단면도이며, (b)는 제4변형예에 몰드가 추가로 채워진 상태의 단면도이고, (c)는 제4변형예가 인쇄회로기판에 실장된 상태의 단면도이며,
도 6은 본 발명의 제5변형예에 따른 반도체 패키지의 단면도이며,
도 7은 본 발명의 제6변형예에 따른 반도체 패키지의 단면도이며,
도 8은 본 발명의 제7변형예에 따른 반도체 패키지의 단면도이며,
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 반도체 패키지의 단면도이며,
도 10에는 도 9의 A선에서의 3D 비아의 형상 차이를 확인할 수 있는 평면도이고,
도 11은 본 발명의 제8변형예에 따른 반도체 패키지의 단면도이며,
도 12는 본 발명의 제9변형예에 따른 반도체 패키지의 단면도이고,
도 13은 본 발명의 제10변형예에 따른 반도체 패키지의 단면도이며,
도 14는 본 발명의 제3실시예에 따른 반도체 패키지의 단면도이며,
도 15는 본 발명의 제11변형예에 따른 반도체 패키지의 단면도이고,
도 16은 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 패키지의 제조 공정을 설명하기 위한 도면이다.1 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a first embodiment of the present invention;
2 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a first modification of the present invention;
3 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a second modification of the present invention;
4 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a third modification of the present invention;
5 is a semiconductor package according to a fourth modification of the present invention, wherein (a) is a cross-sectional view of the fourth modification, (b) is a cross-sectional view of the fourth modification with a mold additionally filled, (c) is The fourth modified example is a cross-sectional view of a state mounted on a printed circuit board,
6 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a fifth modification of the present invention;
7 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a sixth modification of the present invention;
8 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a seventh modification of the present invention;
9 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a second embodiment of the present invention;
10 is a plan view showing a difference in the shape of the 3D via along the line A of FIG. 9 ,
11 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to an eighth modification of the present invention;
12 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a ninth modification of the present invention;
13 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a tenth modification of the present invention;
14 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a third embodiment of the present invention;
15 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to an eleventh modification of the present invention;
16 is a view for explaining a manufacturing process of the semiconductor package according to the first embodiment of the present invention.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the embodiments of the present invention will be described in detail so that those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can easily implement them. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein. In order to clearly explain the present invention in the drawings, parts irrelevant to the description are omitted, and the same reference numerals are assigned to the same or similar components throughout the specification.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이며, 아래에 설명되는 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시예들로 한정되는 것은 아니다. 오히려, 이들 실시예는 본 발명을 더욱 충실하고 완전하게 하며 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다.The embodiments of the present invention are provided to more completely explain the present invention to those of ordinary skill in the art, and the embodiments described below may be modified in various other forms, The scope is not limited to the following examples. Rather, these examples are provided so as to more fully and complete the present invention, and to fully convey the spirit of the present invention to those skilled in the art.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서 본 발명의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to drawings schematically illustrating embodiments of the present invention. In the drawings, variations of the illustrated shape may be expected, for example depending on manufacturing technology and/or tolerances. Therefore, the embodiment of the present invention should not be construed as limited to the specific shape of the region shown in this specification, but should include, for example, a change in shape caused by manufacturing.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 패키지의 단면도이다. 1 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a first embodiment of the present invention.
제1실시예에 따른 반도체 패키지(100)는 재배선층(110, 110'), 반도체 칩(121, 123, 124), 수동소자(122), 외부접속 단자(130)및 몰드(140, 140')를 포함한다. The
여기서, 반도체 패키지(100)는 SiP로서, 양면 재배선 구조를 가지며, 복수의 재배선층을 가지고, 이종 반도체 칩을 포함하는 멀티칩 구조를 갖는다. 즉, 반도체 패키지(100)는 복수의 반도체 칩(121, 123, 124)을 포함할 수 있다. 아울러, 반도체 패키지(100)는 복수의 수동소자(122)를 포함할 수 있다.Here, the
재배선층(110, 110')은 박막 프로파일(thin profile) 및 미세 피치(Fine pitch) 구조가 적용된다. 재배선층(110, 110')의 두께는 2 내지 15μm일 수 있다. 재배선층(110, 110')은 제1재배선층(110) 및 제2재배선층(110')을 포함할 수 있다.The
제1재배선층(110)은 일면에 반도체 칩(121, 123) 및 수동소자(122)가 실장될 수 있다. 여기서, 제1재배선층(110)은 절연층(111) 및 배선패턴(112)을 포함할 수 있다. 배선패턴(112)의 라인과 스페이스 패턴은 1 내지 10μm인 것으로 한다. 아울러, 제1재배선층(110)은 재배선 기판일 수 있다. 이때, 재배선 기판은 박막 프로파일 및 미세 피치 기판일 수 있다. The
아울러, 제1재배선층(110)은 양면에 반도체 칩(121, 123, 124)이 실장될 수 있다. 이때, 반도체 칩(121, 123)은 제1재배선층(110)의 상부에 구비되고, 반도체 칩(124)은 제1재배선층(110)의 하부에 구비될 수 있다. 여기서, 반도체 칩(121, 123)은 아날로그 반도체 칩이고, 반도체 칩(124)은 디지털 반도체 칩일 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고, 반도체 칩(121, 123)은 디지털 반도체 칩이고, 반도체 칩(124)은 아날로그 반도체 칩일 수도 있다. In addition, the
이때, 제1재배선층(110)은 배선패턴(112)이 3층으로 구성될 수 있다. 이에 의해 반도체 패키지(100)의 전체 두께가 감소함으로 소형화를 달성할 수 있다.In this case, the
절연층(111)은 낮은 유전상수(Dk) 및 유전정접(Df) 소재로 이루어질 수 있다. 이에 의해, 반도체 패키지(100)는 고속 RF 신호 전송에 활용 가능하다. 구체적으로 절연층(111)의 유전상수(Dk)는 1.5 내지 3.5이고, 유전정접(Df)는 0.001 내지 0.006인 것으로 한다.The insulating
이때, 절연층(111)은 절연성 폴리머, 에폭시(epoxy), 실리콘 산화막, 실리콘 질화막(SiN), 또는 이들의 조합으로 이루어질 수 있다. 또한, 절연층(111)은 비감광성 물질 또는 감광성 물질로 이루어질 수 있다. 일례로, 절연층(111)은 폴리이미드(PI, polyimide)로 이루어질 수 있다. In this case, the insulating
여기서, 절연성 폴리머는 PMMA(Polymethylmethacrylate), PS(Polystylene), PBO(Polybenzoxzaoles) 등과 같은 일반 범용고분자, 아크릴계 고분자, 이미드계 고분자(폴리이미드(PI)), 아릴에테르계 고분자, 아마이드계 고분자, 불소계고분자, p-자일렌계 고분자, 비닐알콜계 고분자, 페놀계 그룹을 갖는 고분자 유도체, 또는 이들의 조합 등을 포함할 수 있다. Here, the insulating polymer is a general-purpose polymer such as PMMA (Polymethylmethacrylate), PS (Polystylene), PBO (Polybenzoxzaoles), etc., an acrylic polymer, an imide-based polymer (polyimide (PI)), an aryl ether-based polymer, an amide-based polymer, and a fluorine-based polymer. , a p-xylene-based polymer, a vinyl alcohol-based polymer, a polymer derivative having a phenolic group, or a combination thereof.
절연층(111)은 배선패턴(112)의 상측마다 복수로 구비될 수 있다. 다만, 절연층(111)은 상측에 배치되는 배선패턴(112)이 노출되도록 구비될 수 있다. A plurality of insulating
이에 의해, 수동소자(122) 및 반도체 칩(121)은 노출된 배선패턴(112) 상에 직접 실장될 수 있다. 이때, 수동소자(122) 및 반도체 칩(121)은 솔더링을 통하여 배선패턴(112) 상에 실장될 수 있다.Accordingly, the
이와 같이 제1재배선층(110)에서 최상위 절연층이 제외됨으로써, 반도체 패키지(100)는 제조 비용을 절감하고 공정을 단순화할 수 있다.As described above, since the uppermost insulating layer is excluded from the
배선패턴(112)은 제1재배선층(110)의 상면과 하면을 전기적으로 연결하기 위한 패턴일 수 있다. 이를 위해 배선패턴(112)은 전도성 물질로 이루어질 수 있다. 여기서, 배선패턴(112)은 W, Cu, Zr, Ti, Ta, Al, Ru, Pd, Pt, Co, Ni, 또는 이들의 조합으로 이루어질 수 있다. 일례로, 배선패턴(112)은 Cu로 이루어질 수 있다. The
제1재배선층(110)과 제2재배선층(110')은 3D 비아(115)를 통하여 전기적으로 연결될 수 있다. 이때, 3D 비아(115)는 높은 종횡비(High Aspect-Ratio)를 가질 수 있다. The
제2재배선층(110')은 절연층(113), 배선패턴(114) 및 접속패드영역(114')을 포함할 수 있다. 절연층(113) 및 배선패턴(114)은 절연층(111) 및 배선패턴(112)과 동일하게 이루어질 수 있다. The
즉, 제1재배선층(110)과 제2재배선층(110')은 각각 다수의 절연층(113)과 배선패턴(114)을 포함하는 다층 구조일 수 있으며, 이때 제1재배선층(110)의 층 수는 제2재배선층(110')의 층 수보다 많은 것으로 한다.That is, the
이와 같은 제1재배선층(110)과 제2재배선층(110')의 차이는 제1재배선층(110)에는 다수의 수동소자(122)와 반도체 칩(121)이 포함되는 구조로, 수동소자(122)와 반도체 칩(121)들이 제1재배선층(110)의 배선패턴(112)에 연결되는 구조가 된다.The difference between the
따라서 제1재배선층(110)은 제2재배선층(110')에 비하여 집적도가 더 높으며, 층 수 또한 더 많은 층을 포함한다.Accordingly, the
예를 들어 제1재배선층(110)은 3 내지 15층의 범위일 수 있으며, 바람직하게는 3 내지 7층으로 이루어질 수 있다.For example, the
이에 대하여 제2재배선층(110')은 2 내지 5층의 층 수로 형성될 수 있으며, 바람직하게는 2층 또는 3층 구조로 형성될 수 있다.In contrast, the
또한, 제1재배선층(110)의 배선패턴(112)은 다층으로 배치되되, 각각의 층마다 두께가 서로 다를 수 있다.In addition, the
특히 최상부와 최하부의 배선패턴(112)은 최상부와 최하부 사이에 배치되는 배선패턴들에 비하여 상대적으로 더 두껍게 형성된다.In particular, the uppermost and
이는 앞서 설명한 바와 같이 최상위 절연층 또는 UBM층을 포함하지 않기 때문에, 중앙에 배치되는 다른 배선패턴들에 비하여 더 두껍게 형성하여 UBM층의 역할도 수행할 수 있게 된다.As described above, since it does not include the uppermost insulating layer or the UBM layer, it is formed thicker than other wiring patterns disposed in the center to also perform the role of the UBM layer.
예를 들어 다층의 배선패턴(112)에서 최상부와 최하부의 배선패턴은 1 내지 100μm의 범위로 형성될 수 있으며, 5 내지 30μm의 두께가 바람직하다.For example, in the
이에 대하여 최상부와 최하부 사이의 배선패턴의 두께는 0.1 내지 30μm의 범위로 형성할 수 있으며, 바람직하게는 1 내지 15μm의 두께로 형성된다. On the other hand, the thickness of the wiring pattern between the uppermost part and the lowermost part can be formed in the range of 0.1 to 30 µm, and preferably, it is formed to have a thickness of 1 to 15 µm.
접속패드영역(114')은 제2재배선층(110')의 하면에서 노출되도록 형성될 수 있다. 접속패드영역(114')은 외부접속 단자(130)를 제2재배선층(110')과 연결하기 위한 것이다. 접속패드영역(114')은 증착 또는 스터퍼링 방식으로 형성될 수 있다. 이때, 접속패드영역(114')은 Cr/Cr-Cu/Cu, Ti-W/Cu 또는 Al/Ni-v/Cu로 이루어질 수 있다. The
접속패드영역(114')은 배선패턴을 통하여 3D 비아(115)와 연결될 수 있다. 또한, 접속패드영역(114')은 그 하부에 외부접속 단자(130)가 구비될 수 있다.The
한편, 재배선층(110, 110')은 복수의 층으로 이루어질 수 있다. 즉, 재배선층(110, 110')은 반도체 칩(121, 123, 124)의 종류 및 수량에 따라 절연층(111, 113) 및 배선패턴(112, 114)이 복수의 층으로 이루어질 수 있다. Meanwhile, the redistribution layers 110 and 110' may be formed of a plurality of layers. That is, in the redistribution layers 110 and 110 ′, the insulating
반도체 칩(121, 123, 124)은 디지털 칩 또는 아날로그 칩을 포함할 수 있다. 또한, 반도체 칩(121, 123, 124)은 시스템 LSI(large scale integration)와 같은 로직 칩 또는 메모리 칩을 포함할 수 있다. 여기서, 반도체 칩(121)은 아날로그 반도체 칩이고, 반도체 칩(123)은 디지털 반도체 칩일 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고, 반도체 칩(121)은 디지털 반도체 칩이고, 반도체 칩(123)은 아날로그 반도체 칩일 수도 있다. The semiconductor chips 121 , 123 , and 124 may include digital chips or analog chips. Also, the
제3반도체 칩(124)이 제1재배선층(110)에서 반도체 칩(121, 123)과 대향하는 면에 구비될 수 있다. 즉, 제3반도체 칩(124)은 제1재배선층(110)과 제2재배선층(110') 사이에 구비될 수 있다. 또한, 반도체 칩(124)은 칩 패드(124a)를 통하여 제1재배선층(110)의 배선패턴(112)에 연결될 수 있다. 여기서, 제1재배선층(110)과 제2재배선층(110') 사이는 반도체 칩(124)을 둘러쌓도록 제2몰드(140')가 구비될 수 있다.A
수동소자(122)는 반도체 칩(121, 123, 124)의 구동하거나 기능을 보조하기 위한 소자일 수 있다. 수동소자(122)는 저항, 커패시터, 및 코일을 포함할 수 있다. 또한, 수동소자(122)는 IPD(Integrated passive device)일 수 있다. 여기서, 수동소자(122)는 밸룬(balun), 필터, 커플러 및 다이플레서 중 어느 하나일 수 있지만, 이에 한정되지 않는다. The
이때, 반도체 칩(121, 123) 및 수동소자(122) 사이의 간격은 최소 50㎛에서 최대 150㎛일 수 있으며, 바람직한 간격의 범위는 75 내지 150㎛인 것으로 한다. 반도체 칩(121, 123) 및 수동소자(122)는 솔더(125)를 통하여 제1재배선층(110)에 실장될 수 있다. 여기서, 반도체 칩(121, 123) 및 수동소자(122)는 절연층(111)이 제거된 배선패턴(112) 상에 실장될 수 있다.In this case, the interval between the
외부접속 단자(130)는 반도체 패키지(100)의 신호 입력 또는 신호 출력을 위한 단자일 수 있다. 즉, 외부접속 단자(130)는 반도체 패키지(100)를 인쇄회로기판 등의 보드(board) 상에 실장하기 위한 연결 단자일 수 있다. The
외부접속 단자(130)는 접속패드영역(114')의 하면에 형성될 수 있다. 따라서 외부접속 단자(130)는 접속패드영역(114') 및 배선패턴(112)을 통하여 반도체 칩(121, 123) 또는 수동소자(122)와 전기적으로 연결될 수 있다.The
외부접속 단자(130)는 솔더 범프(solder bump)를 포함할 수 있다. 여기서, 외부접속 단자(130)는 Sn, Au, Ag, Ni, In, Bi, Sb, Cu, Zn, Pb 또는 이들의 조합 등을 포함할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 일례로, 솔더는 SAC(Sn-Ag-Cu)계열로 이루어질 수 있다. 이때, 솔더 범프는 볼 형상일 수 있다.The
몰드(140, 140')는 제1몰드(140) 및 제2몰드(140')를 포함할 수 있다.The
제1몰드(140)는 제1재배선층(110)의 상부에서 복수의 반도체 칩(121, 123) 및 복수의 수동소자(122)를 덮도록 구비될 수 있다. 여기서, 제1몰드(140)는 에폭시 수지(Epoxy Resin)로 이루어질 수 있다. 이때, 제1몰드(140)는 진공 프린팅 성형 인쇄법(VPES; Vacuum Printing Encapsulation System)에 의해 형성될 수 있다. The
제2몰드(140')는 제1재배선층(110)과 제2재배선층(110') 사이에서 반도체 칩(124)을 둘러쌓도록 구비될 수 있다. 제2몰드(140')는 레이저를 이용하여 3D 비아(115)를 형성하는 경우, LDS(Laser Direct Structuring)용 EMC(Epoxy Mold Compound) 일 수 있다. 선택적으로, 제2몰드(140')는 제1몰드(140)와 동일한 물질로 형성될 수 있다.The
도 2는 본 발명의 제1변형예에 따른 반도체 패키지의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a first modification of the present invention.
제1변형예에 따른 반도체 패키지(100-1)는 도 1의 반도체 패키지(100)와 비교하여, 배선패턴(112)이 일부를 제외하고 외부로 노출되지 않도록 구비되고, 일부 노출된 배선패턴(112) 상에 반도체 칩(121) 및 수동소자(122)가 실장되는 구조를 갖는다. 그 외의 구성은 도 1의 반도체 패키지(100)와 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다. Compared to the
이때, 반도체 패키지(100-1)는 추가의 절연층(111a)이 상측에 구비된 배선패턴(112)을 덮도록 구비될 수 있다. 여기서, 반도체 칩(121) 및 수동소자(122)는 절연층(111a)이 제거된 배선패턴(112) 상에 실장될 수 있다. 즉, 절연층(111a)은 반도체 칩(121) 및 수동소자(122)에 대응하는 위치를 제외하고 상측에 구비된 배선패턴(112)을 덮도록 구비될 수 있다.In this case, the semiconductor package 100 - 1 may be provided such that an additional insulating
이와 같은 제1재배선층(110)은 ETS(Embedded Trace Substrate)일 수 있다. 이에 의해, 제1재배선층(110)은 고속 신호 및 RF 트레이스 기능을 구현할 수 있다The
도 3은 본 발명의 제2변형예에 따른 반도체 패키지의 단면도이다. 3 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a second modification of the present invention.
제2변형예에 따른 반도체 패키지(100-2)는 제1실시예의 반도체 패키지(100)와 비교하여, 외부로 노출된 배선패턴(112) 상에 흑화처리를 수행한 뒤, 배선패턴(112) 상에 반도체 칩(121) 및 수동소자(122)가 실장되는 구조를 갖는다. 그 외의 구성은 제1실시예의 반도체 패키지(100)와 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다. Compared to the
또한, 몰드(140)의 상부에 코팅층(160)을 더 포함할 수 있다. 상기 코팅층(160)은 폴리이미드(PI)로 이루어질 수 있으며, 재배선의 증가에 의한 기판의 뒤틀림(warpage)을 감소시키도록 제어하여 제조 공정상 기판의 핸들링을 개선할 수 있다.In addition, the
이후의 변형예들에서도 코팅층(160)을 포함하는 것으로 도시하였으나, 당연히 코팅층(160)을 생략한 구조로도 변형될 수 있다.Although it is illustrated that the
여기서, 제2변형예에 따른 반도체 패키지(100-2)는 제1실시예의 반도체 패키지(100)에 기반한 것으로 도시되고 설명되었으나, 이에 한정되지 않고, 다른 변형예에 따른 반도체 패키지에도 적용될 수 있음은 물론이다.Here, the semiconductor package 100-2 according to the second modification has been illustrated and described as being based on the
보다 구체적으로, 제1재배선층(110)은 절연층(111), 배선패턴(112) 및 접속패드영역(114')을 포함하되, 상측 배선패턴(112)이 절연층(111)의 상측으로 노출될 수 있다.More specifically, the
이때, 제2변형예에 따른 반도체 패키지(100-2)는 노출된 배선패턴(112) 상에 산화층(111b)이 구비될 수 있다. 여기서, 산화층(111b)은 흑화처리에 의해 형성될 수 있다. 흑화처리(black oxidation)에 의해 생성된 산화층(111b)은 배선패턴(112)이 Cu로 형성될 경우, CuO, Cu2O 등과 같은 산화구리를 포함할 수 있다. 이와 같은 산화층(111b)은 수동소자(122) 및 반도체 칩(121)이 솔더(125)를 통하여 연결되는 부분에는 제거될 수 있다. In this case, in the semiconductor package 100 - 2 according to the second modification, an
즉, 반도체 패키지(100-2)는 제1재배선층(110)에 포함되는 최상위에 구비된 절연층(111)을 대신하여 노출된 배선패턴(112) 상에 흑화처리에 의해 산화층(111b)을 형성하는 구조를 가질 수 있다. That is, in the semiconductor package 100 - 2 , an
이에 의해, 수동소자(122) 또는 반도체 칩(121, 123)은 노출된 배선패턴(112) 상에 직접 실장될 수 있다. 이때, 수동소자(122) 및 반도체 칩(121, 123)은 솔더링을 통하여 배선패턴(112) 상에 실장될 수 있다.Accordingly, the
이와 같이 제1재배선층(110)에서 최상위 절연층이 제외됨으로써, 반도체 패키지(100-2)는 비용을 절감하고 공정을 단순화할 수 있다. 도 4는 본 발명의 제3변형예에 따른 반도체 패키지의 단면도이다. As described above, since the uppermost insulating layer is excluded from the
제3변형예에 따른 반도체 패키지(100-3)는 제1실시예의 반도체 패키지(100-1)와 비교하여, 실드층(150)이 제1몰드(140)의 외면을 따라 구비되는 구조를 갖는다. 그 외의 구성은 제1변형예의 반도체 패키지(100-1)와 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다. Compared to the semiconductor package 100-1 of the first embodiment, the semiconductor package 100-3 according to the third modified example has a structure in which the
여기서, 제3변형예에 따른 반도체 패키지(100-3)는 제1변형예의 반도체 패키지(100-1)에 기반한 것으로 도시되고 설명되었으나, 이에 한정되지 않고, 제1실시예 및 다른 변형예에 따른 반도체 패키지에도 적용될 수 있음은 물론이다.Here, the semiconductor package 100-3 according to the third modification has been illustrated and described as being based on the semiconductor package 100-1 of the first modification, but the present invention is not limited thereto. Of course, it can also be applied to a semiconductor package.
보다 구체적으로, 실드층(150)은 재배선층(110, 110')의 측면까지 연장되도록 구비될 수 있다. 아울러, 실드층(150)은 반도체 패키지(100-3)의 측면에서 제2몰드(140')까지 연장되게 형성될 수 있다. 즉, 실드층(150)은 제1몰드(140)의 외면을 따라 구비되되, 제1재배선층(110) 및 제2재배선층(110')의 측면까지 연장되도록 구비될 수 있다. 실드층(150)은 EMI(Electromagnetic Interference) 차폐 기능을 가질 수 있다. More specifically, the
일례로, 실드층(150)은 전자파 차폐가 가능한 금속 소재로 이루어질 수 있다. 다른 예로, 실드층(150)은 특정한 전자파를 흡수할 수 있는 소재로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 실드층(150)은 페라이트로 이루어질 수 있다. For example, the
이때, 실드층(150)은 메탈 시드(metal seed)를 이용한 스퍼터(sputter) 공정에 의해 형성될 수 있다. 선택적으로, 실드층(150)은 메탈 캔(metal can)을 이용한 SMT 공정에 의해 형성될 수도 있다. 또한, 실드층(150)은 페라이트와 같은 전자파 흡수 소재로 제1몰드(140)를 구성함으로써 생략될 수 있다.In this case, the
도 5는 본 발명의 제4변형예에 따른 반도체 패키지로서, (a)는 제4형예의 단면도이며, (b)는 제4변형예에 몰드가 추가로 채워진 상태의 단면도이고, (c)는 제4변형예가 인쇄회로기판에 실장된 상태의 단면도이다. 5 is a semiconductor package according to a fourth modification of the present invention, wherein (a) is a cross-sectional view of the fourth modification, (b) is a cross-sectional view of a state in which a mold is additionally filled in the fourth modification, (c) is The fourth modified example is a cross-sectional view of a state mounted on a printed circuit board.
제4변형예에 따른 반도체 패키지(100-4)는 제1변형예의 반도체 패키지(100-1)와 비교하여, 제2재배선층(110')이 생략되고, 연결패드(116) 및 방열패드(117)가 구비되는 구조를 갖는다. 그 외의 구성은 제1변형예의 반도체 패키지(100-1)와 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다. Compared to the semiconductor package 100-1 of the first modification, in the semiconductor package 100-4 according to the fourth modification, the second redistribution layer 110' is omitted, and the
여기서, 제4변형예에 따른 반도체 패키지(100-4)는 제1변형예의 반도체 패키지(100-1)에 기반한 것으로 도시되고 설명되었으나, 이에 한정되지 않고, 제1실시예 및 다른 변형예에 따른 반도체 패키지에도 적용될 수 있음은 물론이다.Here, the semiconductor package 100-4 according to the fourth modification has been illustrated and described as being based on the semiconductor package 100-1 of the first modification, but the present invention is not limited thereto. Of course, it can also be applied to a semiconductor package.
보다 구체적으로, 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이, 제4변형예에 따른 반도체 패키지(100-4)는 3D 비아(115) 및 반도체 칩(124)의 일면이 노출될 수 있다. 여기서, 3D 비아(115)의 노출면 상에 연결패드(116)가 구비될 수 있다. 또한, 반도체 칩(124)의 노출면 상에 방열패드(117)가 구비될 수 있다. 여기서, 연결패드(116) 및 방열패드(117)는 열전도성이 우수한 재질로 이루어질 수 있다. More specifically, as shown in FIG. 5A , in the semiconductor package 100 - 4 according to the fourth modification, the 3D via 115 and one surface of the
이에 의해, 도 5의 (a)의 반도체 패키지는 공간을 최소한으로 사용하면서 방열 효과를 향상시킬 수 있다.Accordingly, the semiconductor package of FIG. 5A can improve the heat dissipation effect while using the minimum space.
도 5의 (b)에 도시된 바와 같이, 반도체 패키지(100-4)는 연결패드(116)와 방열패드(117) 사이가 몰드(141)로 채워질 수 있다. 여기서, 몰드(141)는 몰드(140, 140')와 동일한 재질로 이루어질 수 있다. As shown in FIG. 5B , in the semiconductor package 100 - 4 , a space between the
이에 의해, 도 5의 (b)의 반도체 패키지는 도 5의 (a)의 반도체 패키지에 비하여 외부로 노출되는 연결패드(116) 및 방열패드(117)의 파손을 방지할 수 있다.Accordingly, the semiconductor package of FIG. 5B can prevent damage to the
도 5의 (c)에 도시된 바와 같이, 반도체 패키지(100-4)는 연결패드(116) 및 방열패드(117)를 통하여 인쇄회로기판(10) 상에 실장될 수 있다. 이때, 연결패드(116) 및 방열패드(117)는 솔더(11)를 통하여 인쇄회로기판(10) 상의 패드(12)에 실장될 수 있다. As shown in FIG. 5C , the semiconductor package 100 - 4 may be mounted on the printed
이에 의해, 도 5의 (c)의 반도체 패키지는 반도체 칩(124)에 의해 발생하는 열을 인쇄회로기판(10)을 통하여 외부로 방출함으로써, 방열특성을 향상시킬 수 있다.Accordingly, in the semiconductor package of FIG. 5C , heat generated by the
도 6은 본 발명의 제5변형예에 따른 반도체 패키지의 단면도이며, 도 7은 본 발명의 제6변형예에 따른 반도체 패키지의 단면도이며, 도 8은 본 발명의 제7변형예에 따른 반도체 패키지의 단면도이다.6 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a fifth modification of the present invention, FIG. 7 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a sixth modification of the present invention, and FIG. 8 is a semiconductor package according to a seventh modification of the present invention. is a cross section of
제5변형예 내지 제7변형예에 따른 반도체 패키지(100-5 ~ 100-7)는 제1변형예의 반도체 패키지(100-1)와 비교하여, 재배선층(110, 110') 중 적어도 하나의 배선패턴의 일부가 실드층(150)까지 연장 형성되는 구조를 갖는다. 그 외의 구성은 제1변형예의 반도체 패키지(100-1)와 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다. Compared to the semiconductor package 100-1 of the first modification, the semiconductor packages 100-5 to 100-7 according to the fifth to seventh modifications have at least one of the redistribution layers 110 and 110'. A portion of the wiring pattern has a structure in which it extends to the
여기서, 제5변형예 내지 제7변형예에 따른 반도체 패키지(100-5 ~ 100-7)는 제1변형예의 반도체 패키지(100-1)에 기반한 것으로 도시되고 설명되었으나, 이에 한정되지 않고, 제1실시예 및 다른 변형예에 따른 반도체 패키지에도 적용될 수 있음은 물론이다.Here, the semiconductor packages 100-5 to 100-7 according to the fifth to seventh modifications are illustrated and described as being based on the semiconductor package 100-1 of the first modification, but are not limited thereto, and Of course, it can be applied to the semiconductor package according to the first embodiment and other modified examples.
보다 구체적으로, 도 6을 참조하면, 제5변형예에 따른 반도체 패키지(100-5)는 실드층(150)이 제1재배선층(110)의 측벽 그라운드 라인(112')과 접지될 수 있다. 즉, 제1재배선층(110)의 배선패턴(112)은 실드층(150)에 연결되도록 연장 형성되는 그라운드 라인(112')을 포함할 수 있다. 이때, 제2재배선층(110')의 배선패턴(112)은 실드층(150)까지 연장되지 않는다. 즉, 실드층(150)은 제2재배선층(110')의 측벽 그라운드 라인과 접지되지 않을 수 있다. More specifically, referring to FIG. 6 , in the semiconductor package 100 - 5 according to the fifth modification, the
도 7을 참조하면, 제6변형예에 따른 반도체 패키지(100-6)는 실드층(150)이 제2재배선층(110')의 측벽 그라운드 라인(114")과 접지될 수 있다. 즉, 제2재배선층(110')의 배선패턴(114)은 실드층(150)에 연결되도록 연장 형성되는 그라운드 라인(114")을 포함할 수 있다. 이때, 제1재배선층(110)의 배선패턴은 실드층(150)까지 연장되지 않는다. 즉, 실드층(150)은 제1재배선층(110)의 측벽 그라운드 라인과 접지되지 않을 수 있다. Referring to FIG. 7 , in the semiconductor package 100 - 6 according to the sixth modification, the
도 8을 참조하면, 제7변형예에 따른 반도체 패키지(100-7)는 실드층(150)이 제1재배선층(110)의 측벽 그라운드 라인(112') 및 제2재배선층(110')의 측벽 그라운드 라인(114")과 접지될 수 있다. 즉, 실드층(150)은 제1재배선층(110) 및 제2재배선층(110')의 측벽 그라운드 라인(112', 114") 모두와 접지될 수 있다. Referring to FIG. 8 , in the semiconductor package 100 - 7 according to the seventh modification, the
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 반도체 패키지의 단면도이다.9 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a second embodiment of the present invention.
제2실시예에 따른 반도체 패키지(200)는 재배선층(210, 210'), 메탈플레이트(212), 디지털 블록(221), 아날로그 블록(222), 외부접속 단자(230), 몰드(240, 240') 및 실드층(250)을 포함한다. The
여기서, 반도체 패키지(200)는 제1재배선층(210)의 상부에 아날로그 블록(222)이 구비되는 것을 제외하면, 제3변형예에 따른 반도체 패키지(100-3)와 동일하다. 즉, 재배선층(210, 210'), 3D 비아(215), 외부접속 단자(230), 몰드(240, 240) 및 실드층(250)은 도 4의 재배선층(110, 110'), 3D 비아(115), 외부접속 단자(130), 몰드(140, 140) 및 실드층(150)과 동일 또는 유사하므로 구체적인 설명은 생략한다.Here, the
디지털 블록(221)은 반도체 칩일 수 있다. 일례로, 디지털 블록(221)은 디지털 반도체 칩일 수 있다. 반도체 칩은 솔더(221a)를 통하여 제2재배선층(210')에 실장될 수 있다. The
아날로그 블록(222)은 수동소자 및 아날로그 반도체 칩을 포함할 수 있다. 여기서, 수동소자는 반도체 칩의 구동하거나 기능을 보조하기 위한 소자로서, 저항, 커패시터, 및 코일을 포함할 수 있다. 또한, 수동소자는 IPD, 밸룬, 필터, 커플러 및 다이플레서 중 어느 하나일 수 있지만, 이에 한정되지 않는다. 아날로그 반도체 칩 및 수동소자는 솔더를 통하여 제1재배선층(210)에 실장될 수 있다.The
이에 의해, 반도체 패키지(200)는 디지털 블록(221)과 아날로그 블록(222) 각각이 제1재배선층(210) 및 제2재배선층(210')에 대하여 동일한 면(일례로 상면)에 형성되기 때문에 제조가 용이할 수 있다.Accordingly, in the
제2재배선층(210')은 배선패턴(214)의 일부가 실드층(250)까지 연장 형성될 수 있다. 즉, 실드층(250)은 제2재배선층(210')의 측벽 그라운드 라인(214")과 접지될 수 있다.In the
또한, 본 발명의 차폐 효과를 높이기 위하여 상기 실드층(150) 이외에 메탈플레이트(212)를 추가한다. 상기 메탈플레이트(212)는 디지털 블록(221)을 1차적으로 차폐하고, 실드층(150)이 2차적으로 차폐하도록 함으로써, 결국 복수의 차폐층 사용에 의해 차폐 효과를 높일 수 있다.In addition, in order to increase the shielding effect of the present invention, a
아울러, 3D 비아(215)는 평면상 디지털 블록(221)을 둘러쌓도록 구비될 수 있다. 즉, 3D 비아(215)는 디지털 블록(221)의 외측을 따라 구비될 수 있다. 상기 3D 비아(215)는 와이어 본딩, Cu Post 또는 레이저 홀 가공을 통해 혀여성될 수 있다.In addition, the 3D via 215 may be provided to surround the
도 10에는 도 9의 A선에서의 3D 비아의 형상 차이를 확인할 수 있는 평면도를 도시하였다.FIG. 10 is a plan view showing a difference in the shape of the 3D via along the line A of FIG. 9 .
도 10의 (a)는 와이어 본딩, (b)는 포스트, (c)는 레이저 홀 가공에 의해 형성된 3D 비아(215)를 나타낸다.10 (a) shows a 3D via 215 formed by wire bonding, (b) a post, and (c) laser hole processing.
와이어 본딩과 포스트를 이용하여 형성된 3D 비아는 상호 분리되며 조밀하게 배치되는 평면상 점선형 구조로 배치되고, 레이저 홀 가공에 의해 형성되는 3D 비아는 사이에 틈이 발생하지 않는 평면상 일체의 선형 구조로 형성된다.The 3D vias formed using wire bonding and posts are arranged in a dotted-line structure on a plane that is separated from each other and densely arranged, and the 3D vias formed by laser hole processing have a linear structure with no gaps in between. is formed with
3D 비아(215)는 디지털 블록(221)의 둘레에 형성되어 디지털 블록(221)을 차폐하기 위한 것으로, 와이어 본딩과 포스트를 이용하여 형성할 때에는 최대한 조밀한 간격이 되도록 형성하여 차폐 효과를 높일 수 있다.The 3D via 215 is formed around the
레이저 홀 가공에 의해 형성된 3D 비아(215)는 틈이 없는 벽체 구조이며 따라서 차폐 효과를 더욱 높일 수 있다. The 3D via 215 formed by laser hole processing has a wall structure without gaps, and thus the shielding effect can be further increased.
도 11은 본 발명의 제8변형예에 따른 반도체 패키지의 단면도이다. 11 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to an eighth modification of the present invention.
제8변형예에 따른 반도체 패키지(200-1)는 제2실시예에 따른 반도체 패키지(200)와 비교하여, 디지털 블록(223)이 제1재배선층(210)에 실장되며, 디지털 블록(223)이 테이프(224)에 의해 지지된다. 그 외의 구성은 제2실시예에 따른 반도체 패키지(200)와 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다.Compared to the
디지털 블록(223)은 패드(223a)가 구비되는 제1면이 제1재배선층(210)을 향하고, 패드(223a)의 반대측인 제2면이 제2재배선층(210')을 향하도록 배치될 수 있다. 즉, 디지털 블록(223)은 제1재배선층(210)에 연결될 수 있다.The
이에 의해, 반도체 패키지(200-1)는 디지털 블록(223)의 배선이 짧아지기 때문에 고속 처리를 안정적으로 수행할 수 있다.Accordingly, since the wiring of the
또한, 테이프(224)에 의해 디지털 블록(223)의 후면으로 열방출이 용이하게 일어나게 되며, 따라서 열방출 특성이 향상된다.In addition, heat dissipation occurs easily to the rear surface of the
테이프(224)는 디지털 블록(223)과 제2재배선층(210') 사이에 구비될 수 있다. 테이프(224)는 디지털 블록(223)의 하면을 지지할 수 있다. 테이프(224)는 절연성 물질로 이루어질 수 있으며, 디지털 블록(223)이 접촉되는 면은 접착층이 구비될 수 있다. The
또한, 메탈플레이트(212)가 실드층(250)에 접하는 구조를 제공하여, 실드층(250)이 차폐기능을 수행함과 아울러 그라운드 역할을 수행하도록 구성한다.In addition, by providing a structure in which the
이에 의해, 반도체 패키지(200-1)는 그라운드가 커지는 효과를 가지므로 노이즈를 줄일 수 있는 동시에 차폐율을 향상시킬 수 있다.Accordingly, since the semiconductor package 200 - 1 has an effect of increasing the ground, noise can be reduced and a shielding rate can be improved.
도 12는 본 발명의 제9변형예에 따른 반도체 패키지의 단면도이며, 도 13은 본 발명의 제10변형예에 따른 반도체 패키지의 단면도이다. 12 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a ninth modification of the present invention, and FIG. 13 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a tenth modification of the present invention.
제9변형예 및 제10변형예에 따른 반도체 패키지(200-2, 200-3)는 제8변형예에 따른 반도체 패키지(200-1)와 비교하여, 실드층(250')이 하면으로 연장 형성되거나, 테이프가 생략되는 구조를 갖다. 그 외의 구성은 제8변형예에 따른 반도체 패키지(200-1)와 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다.In the semiconductor packages 200 - 2 and 200 - 3 according to the ninth and tenth modifications, as compared with the semiconductor package 200 - 1 according to the eighth modification, the
도 12를 참조하면, 제9변형예에 따른 반도체 패키지(200-2)는 실드층(250')이 외부접속 단자(230) 부근까지 연장 형성될 수 있다. 즉, 실드층(250')의 하단(251)은 제2재배선층(210')으로부터 외부접속 단자(230) 측으로 더 연장되도록 구비될 수 있다.Referring to FIG. 12 , in the semiconductor package 200 - 2 according to the ninth modification, the
이에 의해, 반도체 패키지(200-2)는 반도체 패키지를 인쇄회로기판에 부착할 때 정렬이 유리할 수 있고, 인쇄회로기판과 반도체 패키지 사이의 높이 차이를 실드층(250')으로 조정할 수 있다.Accordingly, the semiconductor package 200 - 2 may be advantageously aligned when the semiconductor package is attached to the printed circuit board, and the height difference between the printed circuit board and the semiconductor package may be adjusted by the
도 13을 참조하면, 제10변형예에 따른 반도체 패키지(200-3)는 디지털 블록(223)을 지지하는 테이프가 생략될 수 있다. 여기서, 디지털 블록(223)은 제2재배선층(210')과 이격될 있다. 즉, 디지털 블록(223)은 제2몰드(240')로 둘러싸일 수 있다. Referring to FIG. 13 , in the semiconductor package 200 - 3 according to the tenth modification, the tape supporting the
이에 의해, 반도체 패키지(200-3)는 재배선층(210, 210') 사이를 동일한 제2몰드(240')로만 구성하여 외부 충격에 안전하게 보호될 수 있으므로 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. Accordingly, the semiconductor package 200 - 3 can be safely protected from external impact by configuring only the same
도 14는 본 발명의 제3실시예에 따른 반도체 패키지의 단면도이다.14 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a third embodiment of the present invention.
제3실시예에 따른 반도체 패키지(300)는 재배선층(310, 310'), 디지털 블록(221), 상용칩(320), 외부접속 단자(230), 몰드(240, 240') 및 실드캔(350)을 포함한다. The
여기서, 반도체 패키지(300)는 제1재배선층(210)의 상부에 상용칩(320)이 구비되는 것을 제외하면, 제9변형예에 따른 반도체 패키지(200-1)와 동일하다. 즉, 재배선층(210, 210'), 3D 비아(215), 외부접속 단자(230) 및 몰드(240, 240)는 도 10과 동일 또는 유사하므로 구체적인 설명은 생략한다.Here, the
상용칩(320)은 아날로그 블록으로서, 별도로 제작된 반도체 칩일 수 있다. 여기서, 상용칩(320)은 도 10의 아날로그 블록이 단일 패키지로 구성된 것일 수 있다. 일례로, 상용칩(320)은 반도체 패키지로서 제1반도체 칩(321) 및 제2반도체 칩(322)을 포함할 수 있다. 이때, 제1반도체 칩(321)은 솔더(323)를 통하여 제2반도체 칩(322)에 적층될 수 있다. 여기서, 하측에 구비되는 제2반도체 칩(322)은 비아(322b)가 구비될 수 있다. 제2반도체 칩의 패드(322a)는 솔더(324)를 통하여 제1재배선층(210)에 실장될 수 있다.The
이에 의해, 반도체 패키지(300)는 사전에 독립적으로 제작된 다양한 상용칩(320)을 자유롭게 실장하여 사용할 수 있다.Accordingly, the
실드캔(350)은 별도로 제작된 캔 타입일 수 있다. 이때, 실드캔(350)은 외부접속 단자(230) 부근까지 연장 형성될 수 있다. 즉, 실드캔(350)의 하단(351)은 제2재배선층(210')으로부터 외부접속 단자(230) 측으로 더 연장되도록 구비될 수 있다.The shield can 350 may be a separately manufactured can type. In this case, the shield can 350 may be formed to extend to the vicinity of the
이에 의해, 반도체 패키지(300)는 EMI 차폐 기능을 부가할 경우 차폐 구조를 용이하게 제조할 수 있다.Accordingly, the
도 15는 본 발명의 제11변형예에 따른 반도체 패키지의 단면도이다.15 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to an eleventh modification of the present invention.
제11변형예에 따른 반도체 패키지(300-1)는 제3실시예에 따른 반도체 패키지(300)와 비교하여, 상용칩(320)이 실드캔(350)에 접촉된다. 그 외의 구성은 제3실시예에 따른 반도체 패키지(300)와 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다.Compared to the
실드캔(350)은 상용칩(320)의 상면에 접촉되게 구비될 수 있다. 즉, 제1몰드(340)는 상용칩(320)의 상면을 제외한 측면을 덮도록 구비될 수 있다. 따라서 제1몰드(340)는 제3실시예의 반도체 패키지(300)에 비하여 얇게 구비될 수 있다.The shield can 350 may be provided in contact with the upper surface of the
이에 의해, 반도체 패키지(300-1)는 상용칩(320)에서 발생하는 열이 실드캔(350)을 통하여 외부로 발산될 수 있다. 즉, 실드캔(350)은 상용칩(320)의 히트 싱크로서 기능할 수 있다.Accordingly, in the semiconductor package 300 - 1 , heat generated in the
도 16은 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 패키지의 제조 공정을 설명하기 위한 도면이다. 여기서, 제조 공정의 설명은 제3변형예의 반도체 패키지(100-3)를 기준으로 설명하다. 16 is a view for explaining a manufacturing process of the semiconductor package according to the first embodiment of the present invention. Here, the description of the manufacturing process will be described based on the semiconductor package 100 - 3 of the third modified example.
본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 패키지의 제조 공정은 FOWLP의 칩-퍼스트(Chip-fist)/페이스-업(Face-up)과 칩-라스트(Chip-last)/페이스-다운(Face-down)을 조합한 방식으로 수행될 수 있다.The manufacturing process of the semiconductor package according to the first embodiment of the present invention includes FOWLP's Chip-fist/Face-up and Chip-last/Face-down. down) can be combined.
먼저, 제2재배선층(110')이 형성된다(도 16의 (a) 참조). 이때, 제2재배선층(110')은 캐리어 기판(미도시) 상에 형성될 수 있다. 또한, 제2재배선층(110')은 절연층(113) 및 배선패턴(114)으로 구성될 수 있다.First, the
3D 비아(115)가 제2재배선층(110') 상에 형성된다(도 16의 (b) 참조). 이때, 3D 비아(115)는 제2재배선층(110')의 배선패턴(114)의 일부로부터 연장되게 형성될 수 있다.A 3D via 115 is formed on the
반도체 칩(124)이 제2재배선층(110')의 일면에 접합된다(도 16의 (c) 참조). 이때, 반도체 칩(124)은 접착층을 통하여 제2재배선층(110')의 상면에 접합될 수 있다. The
제2몰드(140')가 제2재배선층(110')의 상면에 형성된다(도 16의 (d) 참조). 이때, 제2몰드(140')는 3D 비아(115)의 일면 및 반도체 칩(124)의 칩 패드(124a)가 노출되도록 형성될 수 있다.A second mold 140' is formed on the upper surface of the second redistribution layer 110' (refer to FIG. 16(d)). In this case, the
제1재배선층(110)이 제2몰드(140') 상에 형성된다(도 16의 (e) 참조). 제1재배선층(110)은 반도체 칩(124) 및 3D 비아(115)가 배선패턴(112)에 연결되도록 형성될 수 있다. 이때, 제1재배선층(110)은 절연층(111) 및 배선패턴(112)이 3층으로 구성될 수 있다. 또한, 배선패턴(112)의 일부가 노출되게 형성될 수 있다.The
반도체 칩(121, 123) 및 수동소자(122)가 SMT 공정에 의해 제1재배선층(110) 상에 실장된다(도 16의 (f) 참조). 반도체 칩(121, 123) 및 수동소자(122)는 솔더(125)를 통하여 노출된 배선패턴(112) 상에 실장될 수 있다.The semiconductor chips 121 and 123 and the
배선패턴(112) 상측에서 반도체 칩(121, 123) 및 수동소자(122)를 덮도록 제1몰드(140)가 형성된다(도 16의 (g) 참조). 이때, 진공 프린팅 성형 인쇄법(VPES)에 의해 제1몰드(140)가 형성될 수 있다.A
제2재배선층(110')을 회전시킨 상태에서 접속패드영역(114')이 형성된 후 접속패드영역(114') 상에 외부접속 단자(130)가 형성된다(도 15의 (h) 참조). 여기서, 외부접속 단자(130)는 SAC 계열의 솔더 범프를 볼 형상으로 형성될 수 있다. 이때, 제2재배선층(110')의 캐리어 기판(미도시)을 제거한다. 또한, 접속패드영역(114')은 증착 또는 스퍼터링에 의해 제2재배선층(110')의 일면(도면에서 상면)에 형성될 수 있다.After the connection pad area 114' is formed in a state in which the second redistribution layer 110' is rotated, an
선택적으로, 솔더 범프를 형성한 후 비감광성 절연막을 증착한 후 평탄화할 수 있다. 이에 의해, 제1재배선층(110)이 외부로 돌출되지 않도록 하여 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.Optionally, after forming the solder bumps, a non-photosensitive insulating film may be deposited and then planarized. Accordingly, the reliability of the product may be improved by preventing the
제2재배선층(110')을 다시 회전시킨다(도 16의 (i) 참조). The second redistribution layer 110' is rotated again (see (i) of FIG. 16).
이 상태에서, 제1몰드(140)의 외면을 따라 실드층(150)이 형성된다(도 15의 (j) 참조). 이때, 실드층(150)은 메탈 시트들 이용한 스퍼터 공정에 의해 형성될 수 있다. 다른 예로, 실드층(150)은 메탈 캔을 이용한 SMT 공정에 의해 형성될 수 있다.In this state, the
한편, 이와 같은 공정을 이용하여 제4변형예에 따른 반도체 패키지를 제조하는 경우, 제2재배선층(110')이 생략되기 때문에, 제2재배선층(110')을 대신하여 다른 캐리어 기판을 활용하여 빌드업 공정(도 16의 (b) 내지 (d) 참조)이 진행된 후 마지막에 연결패드(116) 및 방열패드(117)가 형성될 수 있다.On the other hand, in the case of manufacturing the semiconductor package according to the fourth modification using this process, since the second redistribution layer 110' is omitted, another carrier substrate is used instead of the second redistribution layer 110'. Thus, the
다른 예로서, 캐리어 기판에 연결패드(116) 및 방열패드(117)가 먼저 형성되고 빌드업 공정(도 16의 (b) 내지 (d) 참조)이 완료된 후에 캐리어 기판이 제거될 수도 있다. As another example, the carrier substrate may be removed after the
이상에서 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.Although one embodiment of the present invention has been described above, the spirit of the present invention is not limited to the embodiments presented herein, and those skilled in the art who understand the spirit of the present invention can add components within the scope of the same spirit. , changes, deletions, additions, etc. may easily suggest other embodiments, but this will also fall within the scope of the present invention.
100, 200, 300 : 반도체 패키지
110, 110', 210, 210' : 재배선층
111, 113 : 절연층
112, 114, 212, 214 : 배선패턴
114' : UBM층
111b : 산화층
121, 123, 124, 221, 222 : 반도체 칩
124a : 칩 패드
122 : 수동소자
124, 125 : 솔더
130 : 외부접속 단자
140, 140', 141 : 몰드
150 : 실드층
125 : 언더필층
115 : 3D 비아
116 : 연결패드
117 : 방열패드100, 200, 300: semiconductor package
110, 110', 210, 210':
112, 114, 212, 214: wiring pattern 114': UBM layer
111b: oxide layer
121, 123, 124, 221, 222: semiconductor chip
124a: chip pad 122: passive element
124, 125: Solder 130: External connection terminal
140, 140', 141: mold 150: shield layer
125: underfill layer 115: 3D via
116: connection pad 117: heat dissipation pad
Claims (16)
비아를 통하여 상기 제1재배선층에 전기적으로 연결되는 제2재배선층;
상기 제2재배선층의 하면에 형성되는 외부접속 단자;
상기 제1재배선층의 상부에서 상기 복수의 반도체 칩 및 상기 복수의 수동소자를 덮도록 구비되는 제1몰드; 및
상기 제1재배선층과 상기 제2재배선층 사이에 구비되는 제2몰드를 포함하며,
상기 제1재배선층 및 상기 제2재배선층 각각은 배선패턴 및 절연층을 포함하며, 복수의 층으로 구성되고,
상기 복수의 반도체 칩 중 적어도 하나는 상기 제1재배선층과 상기 제2재배선층 사이에 배치되는 반도체 패키지.a first redistribution layer on which a plurality of semiconductor chips and a plurality of passive devices are mounted on one surface;
a second redistribution layer electrically connected to the first redistribution layer through a via;
an external connection terminal formed on a lower surface of the second redistribution layer;
a first mold provided to cover the plurality of semiconductor chips and the plurality of passive devices on the first redistribution layer; and
a second mold provided between the first redistribution layer and the second redistribution layer;
Each of the first redistribution layer and the second redistribution layer includes a wiring pattern and an insulating layer, and is composed of a plurality of layers,
at least one of the plurality of semiconductor chips is disposed between the first redistribution layer and the second redistribution layer.
상기 제1재배선층은 상기 복수의 반도체 칩 및 복수의 수동소자가 실장되는 배선패턴이 상기 절연층으로 덮이지 않는 반도체 패키지.According to claim 1,
The first redistribution layer is a semiconductor package in which the wiring pattern on which the plurality of semiconductor chips and the plurality of passive devices are mounted is not covered with the insulating layer.
상기 제1재배선층은 상기 복수의 반도체 칩 및 복수의 수동소자가 실장되는 배선패턴의 일부가 흑화처리에 의한 산화층으로 덮이는 반도체 패키지.According to claim 1,
The first redistribution layer is a semiconductor package in which a part of the wiring pattern on which the plurality of semiconductor chips and the plurality of passive elements are mounted is covered with an oxide layer by blackening treatment.
상기 몰드의 상면에 폴리이미드로 이루어진 코팅층을 더 포함하는 반도체 패키지.According to claim 1,
The semiconductor package further comprising a coating layer made of polyimide on the upper surface of the mold.
상기 제1몰드의 외면을 따라 구비되는 실드층을 더 포함하는 반도체 패키지.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
The semiconductor package further comprising a shield layer provided along the outer surface of the first mold.
상기 제1재배선층과 제2재배선층 중 적어도 하나의 배선패턴의 일부가 상기 실드층에 연결되도록 연장 형성되는 반도체 패키지.6. The method of claim 5,
a semiconductor package formed so that a portion of the wiring pattern of at least one of the first redistribution layer and the second redistribution layer is extended to be connected to the shield layer.
상기 실드층은 상기 외부접속 단자 측으로 연장 형성되는 반도체 패키지.7. The method of claim 6,
The shield layer is formed to extend toward the external connection terminal.
상기 실드층은 별도로 제작된 실드캔인 반도체 패키지.5. The method of claim 4,
The shield layer is a separately manufactured shield can semiconductor package.
상기 실드캔은 상기 반도체칩의 상면에 접촉되는 반도체 패키지.9. The method of claim 8,
The shield can is a semiconductor package in contact with an upper surface of the semiconductor chip.
상기 절연층은 유전상수(Dk)가 2~3이고, 상기 유전정접(Df)이 0.002~0.005인 반도체 패키지.According to claim 1,
The insulating layer has a dielectric constant (Dk) of 2 to 3, and the dielectric loss tangent (Df) is 0.002 to 0.005 semiconductor package.
상기 제1재배선층의 배선패턴에서 상부에 위치한 배선패턴과 하부에 위치한 배선패턴이 중앙에 위치한 중앙 배선패턴에 비해 두꺼운 두께를 가지는 반도체 패키지.According to claim 1,
In the wiring pattern of the first redistribution layer, an upper wiring pattern and a lower wiring pattern have a greater thickness than a central wiring pattern located in the center.
상기 제1재배선층의 집적도는 상기 제2재배선층의 집적도보다 높은 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.According to claim 1,
The semiconductor package, characterized in that the degree of integration of the first redistribution layer is higher than that of the second redistribution layer.
상기 제1재배선층과 상기 제2재배선층 각각은 배선패턴 및 절연층을 포함하며 복수의 층으로 구성되되,
상기 제1재배선층의 층 수가 상기 제2재배선층의 층 수보다 더 많은 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.According to claim 1,
Each of the first redistribution layer and the second redistribution layer includes a wiring pattern and an insulating layer and is composed of a plurality of layers,
The semiconductor package according to claim 1, wherein the number of layers of the first redistribution layer is greater than the number of layers of the second redistribution layer.
상기 제1재배선층 상에 실장되는 반도체 칩은 아날로그 블록이고,
상기 제1재배선층과 제2재배선층 사이에 실장되는 반도체 칩은 디지털 블록인 반도체 패키지.According to claim 1,
The semiconductor chip mounted on the first redistribution layer is an analog block,
The semiconductor chip mounted between the first redistribution layer and the second redistribution layer is a digital block.
상기 제1재배선층의 상부에서 상기 복수의 반도체 칩 또는 상기 복수의 수동소자를 덮도록 구비되는 제1몰드;
상기 제1재배선층의 하부에서 상기 복수의 반도체 칩을 덮도록 구비되는 제2몰드;
상기 제2몰드의 하측에 구비되어 상기 제2몰드에 형성된 비아를 통하여 상기 제1재배선층과 연결되는 연결패드;
상기 제1재배선층의 하측에 구비되는 반도체칩의 노출면에 구비되는 방열패드; 및
상기 연결패드 및 상기 방열패드와 연결되는 외부입력단자를 포함하며,
상기 제1재배선층은 배선패턴 및 절연층을 포함하며, 복수의 층으로 구성되고,
상기 연결패드 및 상기 방열패드는 열전도성 재질로 이루어지는 반도체 패키지.a first redistribution layer on both surfaces of which a plurality of semiconductor chips or a plurality of passive devices are mounted;
a first mold provided to cover the plurality of semiconductor chips or the plurality of passive devices on the first redistribution layer;
a second mold provided to cover the plurality of semiconductor chips under the first redistribution layer;
a connection pad provided under the second mold and connected to the first redistribution layer through a via formed in the second mold;
a heat dissipation pad provided on an exposed surface of the semiconductor chip provided under the first redistribution layer; and
and an external input terminal connected to the connection pad and the heat dissipation pad,
The first redistribution layer includes a wiring pattern and an insulating layer, and is composed of a plurality of layers,
The connection pad and the heat dissipation pad are made of a thermally conductive material.
b) 상기 제2재배선층의 배선패턴의 일부로부터 연장되는 3D 비아를 형성하는 단계;
c) 상기 제2재배선층의 일면에 접착층을 이용하여 반도체 칩을 접합하는 단계;
d) 상기 제2재배선층의 상면에 제2몰드를 형성하되, 상기 3D 비아의 일면 및 상기 반도체 칩의 칩 패드가 노출되도록 형성하는 단계;
e) 상기 제2몰드의 상면에 다층의 제1절연층 및 제1배선패턴을 포함하되, 상기 반도체 칩 및 3D 비아에 상기 제1배선패턴의 일부가 전기적으로 접속되는 제1재배선층을 형성하는 단계;
f) 다수의 제1반도체 칩 및 수동소자를 SMT 공정에 의해 상기 제1재배선층 상에 실장하는 단계;
g) 진공 프린팅 성형 인쇄법을 이용하여, 상기 제1재배선층의 상기 제1배선패턴 상부에 제1몰드를 형성하여 상기 제1반도체 칩 및 상기 수동소자를 덮는 단계
h) 상기 제2재배선층에 접속패드영역을 형성하고, 상기 접속패드영역에 접촉되는 외부접속 단자를 형성하는 단계; 및
i) 상기 제1몰드의 외면을 따라 실드층을 형성하는 단계를 포함하는 반도체 패키지 제조방법.a) forming a second redistribution layer including a multi-layered second insulating layer and a second wiring pattern;
b) forming a 3D via extending from a portion of the wiring pattern of the second redistribution layer;
c) bonding the semiconductor chip to one surface of the second redistribution layer using an adhesive layer;
d) forming a second mold on an upper surface of the second redistribution layer, such that one surface of the 3D via and a chip pad of the semiconductor chip are exposed;
e) forming a first redistribution layer including a multi-layered first insulating layer and a first wiring pattern on an upper surface of the second mold, wherein a part of the first wiring pattern is electrically connected to the semiconductor chip and the 3D via step;
f) mounting a plurality of first semiconductor chips and passive devices on the first redistribution layer by an SMT process;
g) forming a first mold on the first wiring pattern of the first redistribution layer using a vacuum printing molding printing method to cover the first semiconductor chip and the passive element;
h) forming a connection pad region in the second redistribution layer, and forming an external connection terminal in contact with the connection pad region; and
i) forming a shield layer along an outer surface of the first mold;
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