KR20210123520A

KR20210123520A - 커넥터의 가스켓지지장치

Info

Publication number: KR20210123520A
Application number: KR1020200040726A
Authority: KR
Inventors: 김두철; 최원호
Original assignee: 에이엠티 주식회사
Priority date: 2020-04-03
Filing date: 2020-04-03
Publication date: 2021-10-14
Also published as: KR102318199B1

Abstract

본 발명은 고압가스통의 밸브에서 엔드 캡(end cap)을 제거한 다음 밸브 연결구에 캐비닛(cabinet)의 커넥터(connector)를 결합하기 전에 커넥터에 가스켓을 삽입 지지하는 커넥터의 가스켓지지장치에 관한 것으로, 커넥터의 구조를 개선하여 가스켓을 지지하는 래치를 구비하지 않고도 커넥터에 가스켓을 지지할 수 있도록 한 것이다.
이를 위해, 본 발명은 커넥터(40)의 돌출부(41)에 가스켓(20)이 수용되는 삽입공간(42)을 형성하되, 상기 삽입공간(42)의 입구에 안내경사면(43)을 형성하고 삽입공간(42)의 측면에는 가스켓(20)의 측면이 접속되는 환형의 돌출테(44)를 형성하며, 상기 삽입공간(42)의 후단에 위치하는 돌출부(41)에는 영구자석(50)을 내장한 것을 특징으로 한다.

Description

커넥터의 가스켓지지장치{The gasket supporting apparatus of the connector}

본 발명은 고압가스통의 밸브에서 엔드 캡(end cap)을 제거한 다음 밸브 연결구에 캐비닛(cabinet)의 커넥터(connector)를 결합하기 전에 커넥터에 가스켓을 삽입 지지하는 커넥터의 가스켓지지장치에 관한 것으로써, 좀 더 구체적으로는 커넥터의 구조를 개선하여 가스켓을 지지하는 래치를 구비하지 않고도 커넥터에 가스켓을 지지할 수 있도록 하는 커넥터의 가스켓지지장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체를 제조하는 제조공정에는 용도에 따라 다양한 종류의 가스가 공급되어 사용되는데, 이러한 가스들은 대부분 인체에 흡입되거나 대기중에 노출될 경우 안전사고 및 환경오염 등의 큰 피해를 일으키게 되므로 세심한 주의를 요한다.

예를 들면, 이온주입공정에 사용되는 가스의 종류로는, 수소화비소(AsH3 : Arsine), 인화수소(PH 3 : Phosphine) 또는 삼플루오르화붕소(BF3 : Boron Fluoride) 등과 같은 유독성 가스가 있는데, 이들 가스는 독성이 매우 강하여 작업자가 호흡기로 흡입할 경우 치명적인 결과를 초래하므로 생산라인으로 공급하는 과정에서 누출(漏出)되지 않도록 세심하게 관리하여야 된다.

이와 같은 반도체 제조 공정에 사용되는 가스들은 그 관리가 매우 중요한데, 이러한 가스들은 고압가스통에 충전되어 캐비닛에 장착함으로써, 가스 공급라인을 통해 생산라인에 공급되며, 가스가 약 90% 정도 소진되면 고압가스통의 내부에 잔류하는 이물질이 웨이퍼 가공공정으로 공급되지 않도록 작업자가 새로운 고압가스통으로 교체하여 사용하게 된다.

상기 고압가스통을 교체할 때마다 고압가스통의 밸브에 형성된 가스분사노즐과 캐비닛의 커넥터 결합부위에서 가스가 누출되지 않도록 커넥터에 삽입되어 있던 금속 또는 테프론재질의 가스켓을 교체하여야만 된다.

이는, 커넥터에 가스켓을 삽입하여 커넥터 홀더에 의해 가스켓을 압압하면 가스켓의 접속면이 변형되기 때문이다.

첨부도면 도 1 및 도 2는 출원인에 의해 선출원되어 특허 10-2019-0070878호(2019.06.21.)로 공개된 기술이다.

도 1은 종래의 커넥터에 가스켓이 삽입된 상태의 사시도이고, 도 2는 가스켓 제거 카트리지의 걸림편이 사용하고 난 가스켓을 홀딩한 상태의 사시도로써, 커넥터(10)의 일단(커넥터 홀더가 감싸는 부위)에 복수 개의 래치(11)가 일체로 형성되어 있고 상기 래치(11)의 사이에는 사용하고 난 가스켓(20)을 제거할 때 가스켓 제거 카트리지(30)의 걸림편(31)이 위치하는 절개부(12)가 형성되어 있으며 상기 각 래치(11)의 선단에는 가스켓(20)의 일면을 지지하는 걸림돌기(11a)가 형성되어 있다.

따라서 커넥터(10)의 래치(11)에 의해 지지되게 가스켓(20)을 삽입하면 복수 개의 래치(11)가 걸림돌기(11a)에 의해 외측으로 벌어졌다가 가스켓(20)이 걸림돌기(11a)를 통과하고 나면 래치(11)의 복원력에 의해 초기 위치로 환원되면서 가스켓(20)의 측면을 지지하게 되므로 가스켓(20)의 삽입작업이 완료된다.

이러한 상태에서 커넥터(10)를 커넥터 홀더(도시는 생략함)에 의해 고압가스통에 구비된 밸브 연결구(도시는 생략함)에 결합하고 나면 가스켓(20)의 양 측면이 커넥터 홀더의 체결력에 의해 변형되면서 기밀을 유지하게 되므로 이들 사이의 결합부위에서 가스가 누설되는 현상을 방지하면서 가스를 가스 공급라인을 통해 생산라인에 공급하게 된다.

상기한 바와 같이 고압가스통의 가스를 가스 공급라인을 통해 생산라인에 공급하다가 고압가스통의 교체시기가 되면 커넥터(10)에서 고압가스통을 분리한 다음 도 2에 나타낸 바와 같이 가스켓 제거 카트리지(30)가 커넥터(10)와 수평인 지점으로 이동하여 커넥터(10) 측으로 전진하므로 걸림편(31)이 절개부(12)를 통해 가스켓(20)의 후단에 걸리게 된다.

이러한 상태에서 가스켓 제거 카트리지(30)가 커넥터(10)의 반대방향으로 이동하면 커넥터(10)에서 사용하고 난 가스켓(20)이 제거되므로 커넥터(10)에 새로운 가스켓을 삽입할 수 있게 된다.

(선행기술문헌)

(특허문헌 0001) 대한민국 공개특허공보 10-2019-0070878(2019.06.21.공개)

(특허문헌 0002) 대한민국 등록특허공보 10-2040713(2019.10.30.등록)

그러나 이러한 종래의 장치는 커넥터에 삽입되는 가스켓을 지지하도록 커넥터에 걸림돌기를 갖는 복수 개의 래치를 형성하여야만 되었으므로 래치의 가공이 복잡하여 생산원가가 상승되거나, 반복되는 작용으로 래치가 벌어질 경우에는 커넥터에서 가스켓이 탈락되는 경우가 발생되었다.

따라서 가스켓이 탈락한 상태에서 부주의로 커넥터 홀더를 고압가스통의 밸브 연결구에 나사 결합하면 가스의 공급 중에 가스가 누출되는 치명적인 사고가 발생된다.

본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 가스켓의 지지구조를 획기적으로 개선하여 커넥터에 래치를 형성하지 않고도 가스켓을 커넥터에 안정적으로 지지할 수 있도록 하는 데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 커넥터의 돌출부에 가스켓이 수용되는 삽입공간을 형성하되, 상기 삽입공간의 입구에 안내경사면을 형성하고 삽입공간의 측면에는 가스켓의 측면이 접속되는 환형의 돌출테를 형성하며, 상기 삽입공간의 후단에 위치하는 돌출부에는 영구자석을 내장한 것을 특징으로 하는 커넥터의 가스켓지지장치가 제공된다.

본 발명은 커넥터의 돌출부에 래치를 형성하지 않고도 안내경사면에 의해 수용공간의 내부로 가스켓을 안정적으로 삽입하여 영구자석의 자력에 의해 가스켓을 지지하므로 커넥터의 생산에 따른 원가를 대폭 절감할 수 있게 됨은 물론이고 가스켓의 삽입시 가스켓이 커넥터에서 탈락되는 현상을 미연에 방지하는 효과를 기대하게 된다.

도 1은 종래의 커넥터에 가스켓이 삽입된 상태의 사시도
도 2는 가스켓 제거 카트리지의 걸림편이 사용하고 난 가스켓을 홀딩한 상태의 사시도
도 3은 본 발명의 일 실시 예를 나타낸 사시도
도 4는 도 3의 조립상태 종단면도
도 5는 본 발명의 일 실시 예인 커넥터를 나타낸 사시도
도 6은 도 5의 종단면도로써, 수용공간에 가스켓이 삽입 지지된 상태도

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 도면들은 개략적이고 축적에 맞게 도시되지 않았다는 것을 일러둔다. 도면에 있는 부분들의 상대적인 치수 및 비율은 도면에서의 명확성 및 편의를 위해 그 크기에 있어 과장되거나 감소되어 도시되었으며 임의의 치수는 단지 예시적인 것이지 한정적인 것은 아니다. 그리고 둘 이상의 도면에 나타나는 동일한 구조물, 요소 또는 부품에는 동일한 참조 부호가 유사한 특징을 나타내기 위해 사용된다.

도 3은 본 발명의 일 실시 예를 나타낸 사시도이고 도 5는 본 발명의 일 실시 예인 커넥터를 나타낸 사시도이며 도 6은 도 5의 종단면도로써, 본 발명은 커넥터(40)의 돌출부(41)에 가스켓(20)이 수용되는 삽입공간(42)을 형성되어 있는데, 상기 삽입공간(42)의 입구에는 가스켓(20)이 보다 안정적으로 삽입공간(42)의 내부로 안내하는 안내경사면(43)이 형성되어 있으며 삽입공간(42)의 측면에는 가스켓(20)의 측면이 접속되는 환형의 돌출테(44)가 형성되어 있으며 상기 삽입공간(42)의 후단에 위치하는 돌출부(41)에는 영구자석(50)이 내장되어 있다.

본 발명의 일 실시 예에서는 상기 삽입공간(42)의 후단에 위치하는 돌출부(41)의 외주면에 복수 개의 삽입공(45)을 등간격으로 형성하여 상기 각 삽입공(45)에 영구자석(50)을 삽입 고정하도록 구성되어 있으나, 상기 영구자석(50)의 형상은 당해 분야의 전문가에 의해 다양한 형태로 적용 가능하다.

또한, 상기 커넥터(40)의 돌출부(41)에 적어도 1개 이상의 얼라인 돌기(46)가 형성되어 있고 고압가스통(70)의 밸브 연결구(71)에는 얼라인 돌기(46)가 끼워지는 얼라인 홈(72)이 형성되어 있는 데, 본 발명의 각 실시 예에서는 커넥터(40)가 밸브 연결구(71)에 보다 안정적으로 결합되도록 180°위상차를 갖는 얼라인 돌기(46) 및 얼라인 홈(72)을 각각 2개씩 나타내었다.

이하에서는 본 발명의 작용에 대하여 설명하면 다음과 같다.

먼저, 커넥터(40)에 고압가스통(70)의 밸브 연결구(71)를 연결하기 전에 가스켓(20) 자동삽입장치(도시는 생략함)가 1개의 가스켓(20)을 커넥터(40) 측으로 밀어넣으면 가스켓(20)이 커넥터(40)의 돌출부(41)에 형성된 안내경사면(43)에 안내되어 삽입공간(42)의 내부로 삽입되는데, 이때, 상기 돌출부(41)에는 복수 개의 영구자석(50)이 내장되어 있어 금속재질의 가스켓(20)의 측면이 영구자석(50)의 자력에 의해 환형의 돌출테(44)도 6과 같이 달라붙어 삽입이 완료 되므로 가스켓(20)의 삽입시 가스켓(20)이 커넥터(40)에서 탈락되는 현상을 근본적으로 해소할 수 있게 된다.

상기한 바와 같은 작업으로 커넥터(40)에 가스켓(20)을 삽입하고 나면 커넥터(40)가 고압가스통(70)의 밸브 연결구(71) 측으로 이동하여 얼라인 돌기(46)가 밸브 연결구(71)에 형성된 얼라인 홈(72)에 끼워져 얼라인이 완료되므로 커넥터 홀더(80)를 밸브 연결구(71)에 나사 결합함으로써, 밸브 핸들(73)의 회전으로 가스를 가스 공급라인을 통해 안정적으로 공급할 수 있게 된다.

한편, 고압가스통(70)으로부터 가스를 가스 공급라인을 통해 생산라인에 공급하다가 고압가스통의 교체시기가 되면 본 발명의 일 실시 예에서는 커넥터(40)에서 고압가스통을 분리한 다음 돌출부(41)에 내장된 영구자석보다 자력이 센 영구자석이 구비된 가스켓 제거수단(도시는 생략함)이 커넥터(40) 측으로 이동하게 되므로 삽입공간(42)에 있던 사용하고 난 가스켓(20)이 가스켓 제거수단의 영구자석에 달라붙게 되고, 이에 따라 커넥터(40)에서 가스켓 제거수단이 이격됨에 따라 사용하고 난 가스켓의 제거되므로 커넥터(40)에 새로운 가스켓을 삽입할 수 있게 되는 것이다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.

그러므로 이상에서 기술한 실시 예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 상기 상세한 설명에서 기술된 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

20 : 가스켓 40 : 커넥터
41 : 돌출부 42 : 삽입공간
43 : 안내경사면 44 : 돌출테
46 : 얼라인 돌기 47 : 절개부
50 : 영구자석 71 : 밸브 연결구
72 : 얼라인 홈

Claims

커넥터(40)의 돌출부(41)에 가스켓(20)이 수용되는 삽입공간(42)을 형성하되, 상기 삽입공간(42)의 입구에 안내경사면(43)을 형성하고 삽입공간(42)의 측면에는 가스켓(20)의 측면이 접속되는 환형의 돌출테(44)를 형성하며, 상기 삽입공간(42)의 후단에 위치하는 돌출부(41)에는 영구자석(50)을 내장한 것을 특징으로 하는 커넥터의 가스켓지지장치.
청구항 1에 있어서,
상기 돌출부(41)의 외주면에 복수 개의 삽입공(45)을 형성하여 상기 각 삽입공(45)에 영구자석(50)을 삽입 고정한 것을 특징으로 하는 커넥터의 가스켓지지장치.
청구항 1에 있어서,
상기 커넥터(40)의 돌출부(41)에 적어도 1개 이상의 얼라인 돌기(46)를 형성하고 고압가스통(70)의 밸브 연결구(71)에는 얼라인 돌기(46)가 끼워지는 얼라인 홈(72)이 형성된 것을 특징으로 하는 커넥터의 가스켓지지장치.