KR20210117748A - Substrate transfer system and substrate transper method using the same - Google Patents

Substrate transfer system and substrate transper method using the same Download PDF

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Abstract

Disclosed is a substrate transfer system. The substrate transfer system according to one embodiment of the present invention includes: a plurality of transfer shafts arranged in parallel with each other and freely rotatably supporting a plurality of rollers in contact with a substrate; a driving unit provided at one end of the transfer shaft and providing a rotational force to the transfer shaft; and a magnetic support unit formed with a shaft through-hole to allow the transfer shaft to pass through to prevent the transfer shaft from deflecting its own weight by a magnetic force. The magnetic support unit includes: an outer ring magnetic support holder provided on the same shaft as the transfer shaft and exhibiting a first magnetism; an inner ring magnetic support holder interposed between the transfer shaft and the outer ring magnetic support holder and exhibiting the first magnetism; and a magnetic eccentric support holder provided on one sides of the outer ring magnetic support holder and the inner ring magnetic support holder, having the first magnetism, and having an adjustable separation distance from the driving unit. Accordingly, the transfer shaft is prevented from deflecting, so a large-area substrate is stably transferred.

Description

기판 반송 시스템{SUBSTRATE TRANSFER SYSTEM AND SUBSTRATE TRANSPER METHOD USING THE SAME}SUBSTRATE TRANSFER SYSTEM AND SUBSTRATE TRANSPER METHOD USING THE SAME

본 발명은 기판 반송 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 평판 디스플레이 장치의 제조 공정에 사용되는 기판 반송 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transport system, and more particularly, to a substrate transport system used in a manufacturing process of a flat panel display device.

디스플레이 장치는 발광 방식에 따라 액정 표시 장치(LCD, liquid crystal display)와 유기 발광 표시 장치(OLED, organic light emitting diode display), 플라즈마 표시 장치(PDP, plasma display panel) 등이 있다.The display device includes a liquid crystal display (LCD), an organic light emitting diode display (OLED), and a plasma display panel (PDP) according to a light emitting method.

그 중 평판 디스플레이 장치(FPD, flat panel display)는 다른 디스플레이 장치에 비해 두께가 얇고 무게가 가벼울 뿐만 아니라 높은 해상도를 구현할 수 있어 널리 활용되고 있다.Among them, a flat panel display (FPD) is widely used because it is thinner and lighter in weight than other display devices, and can realize high resolution.

평판 디스플레이 장치는 평판 타입의 기능성 기판이 복수 개 적층 형성된다. 이때, 기판 반송 시스템에 기판이 로딩, 이동되면서 약액도포공정, 세정공정, 건조공정 등 다양한 처리공정들이 수행된다.A flat panel display device is formed by stacking a plurality of flat panel type functional substrates. At this time, various processing processes such as a chemical application process, a cleaning process, and a drying process are performed while the substrate is loaded and moved in the substrate transfer system.

따라서 일련의 기판 처리 공정은 통상적으로 기판 반송 시스템과 연계되어 공정이 진행되는데, 기판 반송 시스템을 통해 각각의 공정 영역으로 반송된다.Accordingly, a series of substrate processing processes are typically performed in connection with a substrate transport system, and are transported to each process area through the substrate transport system.

기판 반송 시스템을 통한 기판 반송시 정밀한 위치 제어와 반송 속도를 일정하게 유지하는 게 중요하다.When transferring a substrate through a substrate transfer system, it is important to maintain precise position control and a constant transfer speed.

기판 반송 시스템은 복수의 반송 샤프트가 나란하게 배치되어 회전하고, 각각의 반송 샤프트에 삽입되어 반송 샤프트와 함께 회전하며 기판을 반송시키는 복수의 롤러가 구비된다. The substrate conveying system is provided with a plurality of rollers in which a plurality of conveying shafts are arranged side by side to rotate, and which are inserted into each conveying shaft and rotate together with the conveying shaft to convey the substrate.

최근 기판이 대면적화됨에 따라 이에 대응되어 반송 샤프트의 길이 또한 길어지게 되었다. 이에 반송 샤프트의 자중 및 기판의 대면적화에 따른 하중 증가, 공정 중 다른 장비들의 공정에 따라 반송 샤프트의 처짐에 의한 위치 변형이 발생하는 문제점이 있었다.As substrates have recently become larger, the length of the conveying shaft has also become longer in response to this. Accordingly, there are problems in that the load increases due to the weight of the conveying shaft and the larger area of the substrate, and positional deformation occurs due to the deflection of the conveying shaft according to the process of other equipment during the process.

이는 기판의 변형이나 파손을 초래하게 되고, 기판 반송시 직진성이 저하되어 반송 샤프트의 회전시 자체 진동 등에 의한 기판 반송 시스템의 구성 부품의 손상으로 이어지고, 공정 정밀도를 감소시켜 종국적으로 기판 불량률이 증가되는 문제점이 있었다.This causes deformation or damage to the substrate, and the straightness is lowered during substrate transfer, which leads to damage to the components of the substrate transfer system due to self-vibration when the transfer shaft is rotated. There was a problem.

한국등록특허공보(등록번호: 10-0813617, "기판 이송 유닛 및 이를 이용한 기판 이송 방법")는, 이송 샤프트의 하면에 마련된 자기 부재들 간 반발력(척력)을 이용해 이송 샤프트의 처짐을 방지하는 기판 이송 유닛을 개시하고 있다.Korean Patent Publication (Registration No.: 10-0813617, "Substrate transfer unit and substrate transfer method using the same") discloses a substrate that prevents sagging of the transfer shaft by using the repulsive force (repulsive force) between magnetic members provided on the lower surface of the transfer shaft. A transfer unit is disclosed.

한국등록특허공보 제10-0813617호(공개일자: 2008.03.18.)Korean Patent Publication No. 10-0813617 (published on March 18, 2008)

본 발명이 해결하고자 하는 일 기술적 과제는, 반송 샤프트의 처짐을 방지하여 대면적의 기판을 안정적으로 반송할 수 있는 기판 반송 시스템에 관한 것이다.One technical problem to be solved by the present invention relates to a substrate transport system capable of stably transporting a large-area substrate by preventing the transport shaft from sagging.

상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 기판 반송 시스템을 제공한다.In order to solve the above technical problem, the present invention provides a substrate transport system.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 시스템은, 복수개가 서로 나란하게 배열되고, 기판에 접면되는 복수개의 롤러를 자유 회전 가능하게 지지하는 반송 샤프트; 상기 반송 샤프트의 일단에 마련되고 상기 반송 샤프트에 회전력을 제공하는 구동 유닛; 및 상기 반송 샤프트가 관통 가능하도록 샤프트 관통홀이 형성되고 자력에 의해 상기 반송 샤프트의 자중 처짐을 방지하는 마그네틱 지지 유닛을 포함하며, 상기 마그네틱 지지 유닛은, 상기 반송 샤프트와 동일 축상에 마련되고 제1 자성을 띄는 외륜 마그네틱 지지 홀더; 상기 반송 샤프트와 상기 외륜 마그네틱 지지 홀더 사이에 개재되고 상기 제1 자성을 띄는 내륜 마그네틱 지지 홀더; 및 상기 외륜 마그네틱 지지 홀더와 상기 내륜 마그네틱 지지 홀더의 일 측에 마련되고 상기 제1 자성을 띄며 상기 구동 유닛과의 이격 거리를 조정 가능한 마그네틱 편심 지지 홀더를 포함할 수 있다.A substrate transport system according to an embodiment of the present invention includes: a transport shaft in which a plurality of rollers are arranged in parallel with each other and rotatably supported by a plurality of rollers in contact with a substrate; a driving unit provided at one end of the conveying shaft and providing a rotational force to the conveying shaft; and a magnetic support unit in which a shaft through hole is formed so that the carrying shaft can pass therethrough and preventing the carrying shaft from sagging under its own weight by magnetic force, wherein the magnetic support unit is provided on the same axis as the carrying shaft, and the first magnetic outer ring magnetic support holder; an inner ring magnetic support holder interposed between the conveying shaft and the outer ring magnetic support holder and exhibiting the first magnetism; and a magnetic eccentric support holder provided on one side of the outer ring magnetic support holder and the inner ring magnetic support holder and having the first magnetism and adjustable in a separation distance from the driving unit.

일 실시예에 따르면, 상기 외륜 마그네틱 지지 홀더와 상기 내륜 마그네틱 지지 홀더 사이에 개재된 베어링을 더 포함할 수 있다.According to an embodiment, a bearing interposed between the outer ring magnetic support holder and the inner ring magnetic support holder may be further included.

일 실시예에 따르면, 상기 외륜 마그네틱 지지 홀더의 내주면 일단부는 상기 내륜 마그네틱 지지 홀더의 외주면 일단부에 대응된 형상을 가질 수 있다.According to an embodiment, one end of the inner peripheral surface of the magnetic outer ring support holder may have a shape corresponding to one end of the outer peripheral surface of the magnetic inner ring magnetic support holder.

일 실시예에 따르면, 상기 외륜 마그네틱 지지 홀더 내측의 일측단에 형성된 제1 고정 홈과, 상기 내륜 마그네틱 지지 홀더 외측의 일측단에 형성된 제2 고정 홈에 끼움 결합 가능한 고정 키를 더 포함할 수 있다.According to one embodiment, a first fixing groove formed at one end inside the outer ring magnetic support holder and a fixing key capable of being fitted into a second fixing groove formed at one end outside the inner ring magnetic support holder may further include .

일 실시예에 따르면, 상기 마그네틱 지지 유닛을 지지하는 하우징 유닛을 더 포함하고, 상기 하우징 유닛은, 상기 마그네틱 지지 유닛을 수용하는 마그네틱 지지 유닛 하우징; 및 상기 마그네틱 지지 유닛 하우징의 일단에 연장 형성되고 상기 하우징 홀더에 삽입 결합되는 하우징 지지 블록을 포함할 수 있다.According to an embodiment, it further comprises a housing unit for supporting the magnetic support unit, the housing unit, the magnetic support unit housing for accommodating the magnetic support unit; and a housing support block extending from one end of the magnetic support unit housing and inserted and coupled to the housing holder.

일 실시예에 따르면, 상기 마그네틱 지지 유닛 하우징과 상기 마그네틱 편심 지지 홀더 사이에 개재된 베어링을 더 포함할 수 있다.According to an embodiment, a bearing interposed between the magnetic support unit housing and the magnetic eccentric support holder may be further included.

일 실시예에 따르면, 상기 하우징 지지 블록의 일측에 마련된 수평 지지대와 상기 하우징 홀더를 매개하여 상기 수평 지지대의 결합 높이를 조절하는 높이 조절 홀더를 더 포함할 수 있다.According to one embodiment, the horizontal support provided on one side of the housing support block and the housing holder may further include a height adjustment holder for adjusting the combined height of the horizontal support.

본 발명의 실시예에 따르면, 마그네틱 지지 유닛은 자력과 샤프트 관통홀만큼 역학적 구조에 의해 반송 샤프트를 특정 위치에 오도록 지지하여 반송 샤프트를 비롯한 기판 반송 시스템의 처짐을 방지할 수 있는 이점이 있다.According to an embodiment of the present invention, the magnetic support unit supports the transfer shaft to come to a specific position by magnetic force and a mechanical structure as much as the shaft through hole, thereby preventing sagging of the substrate transfer system including the transfer shaft.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 외륜 마그네틱 지지 홀더와 내륜 마그네틱 지지 홀더 간 반발력에 의해 반송 샤프트를 지지하여 처짐을 방지할 수 있는 이점이 있다.According to one embodiment of the present invention, there is an advantage that can prevent sagging by supporting the conveying shaft by the repulsive force between the outer ring magnetic support holder and the inner ring magnetic support holder.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 외륜 마그네틱 지지 홀더와 내륜 마그네틱 지지 홀더 사이에 베어링을 구비함으로써, 자기력에 의해 반송 샤프트의 처짐을 방지하는 가운데 물리적인 이격 거리를 유지할 수 있어 이중으로 반송 샤프트의 처짐을 방지할 수 있는 이점이 있다.According to another embodiment of the present invention, by providing a bearing between the outer ring magnetic support holder and the inner ring magnetic support holder, it is possible to maintain a physical separation distance while preventing deflection of the conveying shaft by magnetic force, so that double deflection of the conveying shaft has the advantage of preventing

도 1은 본 발명에 따른 기판 반송 시스템을 개략적으로 보여주는 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 기판 반송 중 기판 반송 시스템의 평면도이다.
도 3은 도 2에서 A-A'의 정단면도이다.
도 4는 도 3에서 B를 확대한 도면이다.
도 5는 도 4의 C에서 본 발명의 일 실시예에 따른 마그네틱 지지 유닛과 하우징 유닛을 확대한 도면이다.
도 6은 도 4의 C에서 본 발명의 다른 실시예에 따른 마그네틱 지지 유닛과 하우징 유닛을 확대한 도면이다.
도 7은 도 4의 C에서 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마그네틱 지지 유닛과 하우징 유닛을 확대한 도면이다.
도 8은 본 발명에 따른 하우징 유닛을 보여주는 사시도이다.1 is a perspective view schematically showing a substrate transport system according to the present invention.
2 is a plan view of a substrate transport system during substrate transport according to the present invention.
3 is a front cross-sectional view taken along line A-A' in FIG. 2 .
FIG. 4 is an enlarged view of B in FIG. 3 .
FIG. 5 is an enlarged view of a magnetic support unit and a housing unit according to an embodiment of the present invention in FIG. 4C .
6 is an enlarged view of a magnetic support unit and a housing unit according to another embodiment of the present invention in FIG. 4C .
7 is an enlarged view of a magnetic support unit and a housing unit according to another embodiment of the present invention in FIG. 4C .
8 is a perspective view showing a housing unit according to the present invention.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명할 것이다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 여기서 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 통상의 기술자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the technical spirit of the present invention is not limited to the embodiments described herein and may be embodied in other forms. Rather, the embodiments introduced herein are provided so that the disclosed content may be thorough and complete, and the spirit of the present invention may be sufficiently conveyed to those skilled in the art.

본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 개재될 수도 있다는 것을 의미한다. 또한, 도면들에 있어서, 형상 및 크기는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.In this specification, when a component is referred to as being on another component, it may be directly formed on the other component or a third component may be interposed therebetween. In addition, in the drawings, the shape and size are exaggerated for effective description of technical content.

또한, 본 명세서의 다양한 실시예들에서 제1, 제2, 제3 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 따라서 어느 한 실시예에 제 1 구성요소로 언급된 것이 다른 실시예에서는 제 2 구성요소로 언급될 수도 있다. 여기에 설명되고 예시되는 각 실시예는 그것의 상보적인 실시예도 포함한다. 또한, 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다.Also, in various embodiments of the present specification, terms such as first, second, third, etc. are used to describe various components, but these components should not be limited by these terms. These terms are only used to distinguish one component from another. Accordingly, what is referred to as a first component in one embodiment may be referred to as a second component in another embodiment. Each embodiment described and illustrated herein also includes a complementary embodiment thereof. In addition, in the present specification, 'and/or' is used to mean including at least one of the elements listed before and after.

명세서에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 또한, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 배제하는 것으로 이해되어서는 안 된다. 또한, 본 명세서에서 "연결"은 복수의 구성 요소를 간접적으로 연결하는 것, 및 직접적으로 연결하는 것을 모두 포함하는 의미로 사용된다.In the specification, the singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In addition, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate that a feature, number, step, element, or a combination thereof described in the specification is present, and one or more other features, numbers, steps, configuration It should not be construed as excluding the possibility of the presence or addition of elements or combinations thereof. Also, in the present specification, the term “connection” is used to include both indirectly connecting a plurality of components and directly connecting a plurality of components.

또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다.In addition, in the following description of the present invention, if it is determined that a detailed description of a related well-known function or configuration may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 시스템을 구성하는 각 구성요소에 대하여 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, each component constituting the substrate transport system according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

도 1은 본 발명에 따른 기판 반송 시스템(10)을 개략적으로 보여주는 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 기판 반송 중 기판 반송 시스템(10)의 평면도이고, 도 3은 도 2에서 A-A'의 정단면도이고, 도 4는 도 3에서 B를 확대한 도면이고, 도 5는 도 4에서 C에서 마그네틱 지지 유닛(300)과 하우징 유닛(400)을 확대한 도면이고, 도 6은 도 4의 C에서 본 발명의 다른 실시예에 따른 마그네틱 지지 유닛(300)과 하우징 유닛(400)을 확대한 도면이며, 도 7은 도 4의 C에서 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마그네틱 지지 유닛(300)과 하우징 유닛(400)을 확대한 도면이며, 도 8은 본 발명에 따른 하우징 유닛(400)을 보여주는 사시도이다.1 is a perspective view schematically showing a substrate transport system 10 according to the present invention, FIG. 2 is a plan view of the substrate transport system 10 during substrate transport according to the present invention, and FIG. 3 is AA′ in FIG. 4 is an enlarged view of B in FIG. 3 , FIG. 5 is an enlarged view of the magnetic support unit 300 and the housing unit 400 in C in FIG. 4 , and FIG. 6 is an enlarged view of FIG. C is an enlarged view of the magnetic support unit 300 and the housing unit 400 according to another embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a magnetic support unit 300 according to another embodiment of the present invention in C of FIG. 4 . ) and the housing unit 400 are enlarged views, and FIG. 8 is a perspective view showing the housing unit 400 according to the present invention.

도 1 내지 도 6에 도시된 대로 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 시스템(10)은, 기판(S)을 지지한 채로 기판 이송 중, 기판(S)을 일 방향으로 반송시킬 수 있다. 기판 반송 시스템(10)은, 기판 처리 공정 영역(미도시) 내 마련될 수 있다.1 to 6 , the substrate transfer system 10 according to an embodiment of the present invention may transfer the substrate S in one direction while the substrate S is being transferred while supporting the substrate S. The substrate transfer system 10 may be provided in a substrate processing process area (not shown).

기판 반송 시스템(10)은, 반송 샤프트(100)와 구동 유닛(200), 마그네틱 지지 유닛(300)을 포함하고, 하우징 유닛(400)을 더 포함할 수 있다.The substrate transport system 10 includes a transport shaft 100 , a driving unit 200 , and a magnetic support unit 300 , and may further include a housing unit 400 .

다시 도 1 내지 도 3에 도시된 대로 반송 샤프트(100)는, 복수개가 서로 나란하게 배열될 수 있다. 반송 샤프트(100)들은 기판 이송 방향을 따라 나란하게 배치될 수 있다. 일 실시예에 따라 반송 샤프트(100)들은 수평하게 배치되거나, 다른 실시예에 따라 일단이 타단에 비해 수직방향으로 다른 높이에 마련되어 경사지게 배치될 수 있다. 반송 샤프트(100)는, 복수개의 롤러(110)를 회전 가능하게 지지할 수 있다. 롤러(110)는, 기판(S)에 접면될 수 있다. 기판은, 롤러에 접면되어 일 방향을 따라 이송을 안내할 수 있다.As shown again in FIGS. 1 to 3 , a plurality of conveying shafts 100 may be arranged in parallel with each other. The transfer shafts 100 may be arranged in parallel along the substrate transfer direction. According to one embodiment, the conveying shafts 100 may be horizontally arranged, or according to another embodiment, one end may be provided at a different height in the vertical direction compared to the other end, and may be inclined. The conveyance shaft 100 can rotatably support the plurality of rollers 110 . The roller 110 may be in contact with the substrate S. The substrate may be in contact with the roller to guide the transport in one direction.

다시 도1과 도 2에 도시된 대로 구동 유닛(200)은, 반송 샤프트(100)를 구동시킬 수 있다. 구동 유닛(200)은, 반송 샤프트(100)에 회전력을 제공할 수 있다. 구동 유닛(200)은, 반송 샤프트(100)의 일단에 마련될 수 있다. 구동 유닛(200)이 제공하는 회전력에 의해 반송 샤프트(100)가 기판(S)을 이송시킬 수 있다. 구동 유닛(100)은, 구동 제공부를 포함할 수 있다. 구동 제공부는, 동력원으로서 일례로 모터일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.Again as shown in FIGS. 1 and 2 , the drive unit 200 may drive the conveying shaft 100 . The driving unit 200 may provide a rotational force to the conveying shaft 100 . The driving unit 200 may be provided at one end of the conveying shaft 100 . The transfer shaft 100 may transfer the substrate S by the rotational force provided by the driving unit 200 . The driving unit 100 may include a driving providing unit. The drive providing unit may be, for example, a motor as a power source, but is not limited thereto.

다시 도 1 내지 도 5를 참조하면 마그네틱 지지 유닛(300)은, 각각의 반송 샤프트(100)에 대응되어, 반송 샤프트(100)의 길이 방향을 따라 적어도 하나가 마련될 수 있다. 마그네틱 지지 유닛(300)은, 반송 샤프트(100)에서 가장 처짐에 취약한 부위에 마련될 수 있다. 일 실시예로 마그네틱 지지 유닛(300)은, 반송 샤프트(100)의 중앙부에 마련될 수 있다. 마그네틱 지지 유닛(300)은, 샤프트 관통홀(300a)이 형성될 수 있다. 샤프트 관통홀(300a)은, 반송 샤프트(100)가 관통 가능하도록 반송 샤프트(100)의 직경에 대응되는 형상의 중공홀일 수 있다. 마그네틱 지지 유닛(300)은, 후술할 하우징 유닛(400)에 의해 지지된 채, 샤프트 관통홀(300a)만큼 반송 샤프트(100)에 유격을 제공한 채 상하 수직 방향으로 반송 샤프트(100)를 고정 지지시킬 수 있다.Referring back to FIGS. 1 to 5 , at least one magnetic support unit 300 may be provided along the longitudinal direction of the transport shaft 100 to correspond to each transport shaft 100 . The magnetic support unit 300 may be provided in a portion most vulnerable to deflection of the conveyance shaft 100 . In an embodiment, the magnetic support unit 300 may be provided in the central portion of the transport shaft 100 . The magnetic support unit 300 may have a shaft through hole 300a formed therein. The shaft through-hole 300a may be a hollow hole having a shape corresponding to the diameter of the conveying shaft 100 so that the conveying shaft 100 can pass therethrough. The magnetic support unit 300 is supported by a housing unit 400 to be described later, and while providing play to the conveying shaft 100 by the shaft through hole 300a, the conveying shaft 100 is fixed in the vertical and vertical directions. can support

마그네틱 지지 유닛(300)은, 자력에 의해 반송 샤프트(100)의 자중 처짐을 방지할 수 있다. 마그네틱 지지 유닛(300)은, 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)와 내륜 마그네틱 지지 홀더(320), 마그네틱 편심 지지 홀더(330)를 포함할 수 있다.The magnetic support unit 300 may prevent the transfer shaft 100 from deflecting its own weight by magnetic force. The magnetic support unit 300 may include an outer ring magnetic support holder 310 , an inner ring magnetic support holder 320 , and a magnetic eccentric support holder 330 .

외륜 마그네틱 지지 홀더(310)는, 반송 샤프트(100)와 동일 축 상에 마련될 수 있다. 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)는, 원통 형상일 수 있다. 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)는, 자성체일 수 있다. 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)는, 제1 자성을 띌 수 있다. 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)는, 외주 방향으로 자기력이 작용해 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)와 일정 이격 거리를 유지할 수 있다.The outer ring magnetic support holder 310 may be provided on the same axis as the conveyance shaft 100 . The outer ring magnetic support holder 310 may have a cylindrical shape. The outer ring magnetic support holder 310 may be a magnetic material. The outer ring magnetic support holder 310 may exhibit a first magnetism. The outer ring magnetic support holder 310 may maintain a predetermined separation distance from the inner ring magnetic support holder 320 by applying a magnetic force in the outer circumferential direction.

내륜 마그네틱 지지 홀더(320)는, 반송 샤프트(100)와 외륜 마그네틱 지지 홀더(310) 사이에 개재될 수 있다. 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)는, 외륜 마그네틱 지지 홀더(310) 내부에 삽입 결합될 수 있다. 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)는, 반송 샤프트(100)의 외경에 대응되는 형상으로, 빈 원통 형상일 수 있다. 즉 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)의 중공부는, 샤프트 관통홀(300a)일 수 있다. 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)는, 반송 샤프트(100)의 길이 방향으로 외륜 마그네틱 지지 홀더(310) 와 동일한 길이를 가질 수 있다. 또한 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)는, 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)와 동일 축 상에 마련될 수 있다. 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)는, 원통 형상일 수 있다.The inner ring magnetic support holder 320 may be interposed between the conveying shaft 100 and the outer ring magnetic support holder 310 . The inner ring magnetic support holder 320 may be inserted and coupled to the outer ring magnetic support holder 310 . The inner ring magnetic support holder 320 may have a shape corresponding to the outer diameter of the conveying shaft 100 and may have an empty cylindrical shape. That is, the hollow portion of the inner ring magnetic support holder 320 may be a shaft through hole 300a. The inner ring magnetic support holder 320 may have the same length as the outer ring magnetic support holder 310 in the longitudinal direction of the conveying shaft 100 . In addition, the inner ring magnetic support holder 320 may be provided on the same axis as the outer ring magnetic support holder 310 . The inner ring magnetic support holder 320 may have a cylindrical shape.

내륜 마그네틱 지지 홀더(320)는, 자성체일 수 있다. 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)는, 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)와 동일한 극성인 제1 자성을 띌 수 있다. 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)는, 내주 방향으로 자기력이 작용해 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)와 일정 이격 거리를 유지할 수 있다.The inner ring magnetic support holder 320 may be a magnetic material. The inner ring magnetic support holder 320 may have a first magnetism having the same polarity as that of the outer ring magnetic support holder 310 . The inner ring magnetic support holder 320 may maintain a predetermined distance from the outer ring magnetic support holder 310 by applying a magnetic force in the inner circumferential direction.

마그네틱 편심 지지 홀더(330)는, 구동 유닛(200)과의 마그네틱 지지 유닛(300)의 이격 거리를 조정할 수 있다. 마그네틱 편심 지지 홀더(330)는, 외륜 마그네틱 지지 홀더(310) 및 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)의 일 측에 마련될 수 있다. 마그네틱 편심 지지 홀더(330)는, 자성체일 수 있다. 마그네틱 편심 지지 홀더(330)는, 외륜 마그네틱 지지 홀더(310) 및 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)와 동일한 극성인 제1 자성을 띌 수 있다.The magnetic eccentric support holder 330 may adjust the separation distance of the magnetic support unit 300 from the driving unit 200 . The magnetic eccentric support holder 330 may be provided on one side of the outer ring magnetic support holder 310 and the inner ring magnetic support holder 320 . The magnetic eccentric support holder 330 may be a magnetic material. The magnetic eccentric support holder 330 may have a first magnetism having the same polarity as that of the outer ring magnetic support holder 310 and the inner ring magnetic support holder 320 .

도 6에 도시된 대로 일 실시예에 따른 마그네틱 지지 유닛(300)은, 베어링(341)을 더 포함할 수 있다. 베어링(341)은, 마그네틱 지지 유닛 하우징(410)과 마그네틱 편심 지지 홀더(320) 사이에 개재될 수 있다. 베어링(341)은, 마그네틱 지지 유닛 하우징(410)과 마그네틱 편심 지지 홀더(320) 사이 이격 거리를 조정할 수 있다.As shown in FIG. 6 , the magnetic support unit 300 according to an embodiment may further include a bearing 341 . The bearing 341 may be interposed between the magnetic support unit housing 410 and the magnetic eccentric support holder 320 . The bearing 341 may adjust the separation distance between the magnetic support unit housing 410 and the magnetic eccentric support holder 320 .

도 7에 도시된 대로 일 실시예에 따른 마그네틱 지지 유닛(300)은, 베어링(342)을 더 포함할 수 있다. 베어링(342)은, 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)와 내륜 마그네틱 지지 홀더(320) 사이에 개재될 수 있다. 베어링(342)은, 척력이 작용하는 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)와 내륜 마그네틱 지지 홀더(320) 사이 이격 거리를 역학적으로 조정함으로써, 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)와 내륜 마그네틱 지지 홀더(320) 간 자력(척력)에 따른 거리 유지 이외 보완적으로 일정 간격만큼 이격 거리를 조정할 수 있다.As shown in FIG. 7 , the magnetic support unit 300 according to an embodiment may further include a bearing 342 . The bearing 342 may be interposed between the outer ring magnetic support holder 310 and the inner ring magnetic support holder 320 . The bearing 342 dynamically adjusts the separation distance between the outer ring magnetic support holder 310 and the inner ring magnetic support holder 320 on which a repulsive force acts, so that between the outer ring magnetic support holder 310 and the inner ring magnetic support holder 320 . In addition to maintaining the distance according to the magnetic force (repulsive force), the separation distance can be adjusted by a certain interval as a complement.

다른 실시예에 따른 마그네틱 지지 유닛(300)에 있어서, 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)의 내주면 일단부는 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)의 외주면 일단부에 대응되는 형상을 가질 수 있다. 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)와 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)의 대응되는 단면 형상에 의해, 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)와 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)의 자기력에 의한 이격 거리를 물리적으로 제어할 수 있다.In the magnetic support unit 300 according to another embodiment, one end of the inner peripheral surface of the outer ring magnetic support holder 310 may have a shape corresponding to one end of the outer peripheral surface of the inner ring magnetic support holder 320 . By the corresponding cross-sectional shapes of the outer ring magnetic support holder 310 and the inner ring magnetic support holder 320, the separation distance due to the magnetic force of the outer ring magnetic support holder 310 and the inner ring magnetic support holder 320 can be physically controlled. have.

다시 도 1과 도 3 내지 도 8을 참조하면 하우징 유닛(400)은, 마그네틱 지지 유닛(300)을 지지 고정할 수 있다. 하우징 유닛(400)은, 마그네틱 지지 유닛 하우징(410)과 하우징 지지 블록(420)을 포함하고, 높이 조절 홀더(430)를 더 포함할 수 있다.Referring back to FIGS. 1 and 3 to 8 , the housing unit 400 may support and fix the magnetic support unit 300 . The housing unit 400 may include a magnetic support unit housing 410 and a housing support block 420 , and may further include a height adjustment holder 430 .

마그네틱 지지 유닛 하우징(410)은, 마그네틱 지지 유닛(300)을 감쌀 수 있도록 마그네틱 지지 유닛(300)에 대응되는 형상으로 수용홈이 형성될 수 있다.In the magnetic support unit housing 410 , a receiving groove may be formed in a shape corresponding to the magnetic support unit 300 to surround the magnetic support unit 300 .

하우징 지지 블록(420)은, 마그네틱 지지 유닛 하우징(410)의 일단에 연장 형성될 수 있다. 하우징 지지 블록(420)은, 작업 환경 하에서 작업자의 작업 편의도모를 위해 마그네틱 지지 유닛 하우징(410)의 일 측으로 편심되어 연장 형성될 수 있다. 하우징 지지 블록(420)의 일단은, 하우징 홀더(440)에 삽입 결합될 수 있다. 하우징 지지 블록(420)은, 수평 지지대(421)를 더 포함할 수 있다.The housing support block 420 may extend to one end of the magnetic support unit housing 410 . The housing support block 420 may be eccentrically formed to extend to one side of the magnetic support unit housing 410 for the convenience of the operator under the working environment. One end of the housing support block 420 may be inserted and coupled to the housing holder 440 . The housing support block 420 may further include a horizontal support 421 .

수평 지지대(421)는, 하우징 유닛(400)의 중심축에 대하여 일측으로 편심 마련되어 마그네틱 지지 유닛 하우징(410)을 지지하는 하우징 지지 블록(420)의 무게중심이 일 측으로 쏠리지 않도록 반대 방향에 보완적으로 마련될 수 있다.The horizontal support 421 is eccentric to one side with respect to the central axis of the housing unit 400 so that the center of gravity of the housing support block 420 supporting the magnetic support unit housing 410 is not tilted to one side Complementary to the opposite direction can be provided as

높이 조절 홀더(430)는, 수평 지지대(421)와 하우징 홀더(440)를 매개하여 수평 지지대(421)의 결합 높이를 조절할 수 있다. 즉, 높이 조절 홀더(430)는, 수평 지지대(421)와 함께 수직 방향으로 결합 높이를 조정함으로써 마그네틱 지지 유닛(300)의 수평 높이를 조정할 수 있다.The height adjustment holder 430 may adjust the combined height of the horizontal support 421 by interposing the horizontal support 421 and the housing holder 440 . That is, the height adjustment holder 430 may adjust the horizontal height of the magnetic support unit 300 by adjusting the coupling height in the vertical direction together with the horizontal support 421 .

일 실시예에 따른 높이 조절 홀더(430)는 고정 볼트이며 수평 지지대(421) 및 하우징 홀더(440)와 나사 결합될 수 있다. 수평 지지대(421)와 하우징 홀더(440)에는 높이 조절 홀더(430)에 대응하도록 내주면에 나사산이 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.The height adjustment holder 430 according to an embodiment is a fixing bolt and may be screwed to the horizontal support 421 and the housing holder 440 . The horizontal support 421 and the housing holder 440 may have a screw thread formed on the inner circumferential surface to correspond to the height adjustment holder 430 , but is not limited thereto.

또 다른 실시예에 따른 마그네틱 지지 유닛(300)에 있어서, 고정 키를 더 포함할 수 있다. 고정 키는, 제1 고정 홈과 제2 고정 홈에 삽입 결합될 수 있다. 고정 키에 의해, 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)와 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)의 자기력에 의한 이격 거리를 물리적으로 제어할 수 있다. 고정 키는, 제1 고정 홈과 제2 고정 홈에 대응하는 형상을 가질 수 있다.In the magnetic support unit 300 according to another embodiment, it may further include a fixed key. The fixing key may be inserted and coupled to the first fixing groove and the second fixing groove. By the fixed key, the distance between the outer ring magnetic support holder 310 and the inner ring magnetic support holder 320 by magnetic force can be physically controlled. The fixing key may have a shape corresponding to the first fixing groove and the second fixing groove.

제1 고정 홈은, 외륜 마그네틱 지지 홀더(310) 내측의 일측단에 형성될 수 있다. 제2 고정 홈은, 내륜 마그네틱 지지 홀더(320) 외측의 일측단에 형성될 수 있다. 제2 고정 홈은, 내륜 마그네틱 지지 홀더(320) 외측 중 제1 고정 홈에 대응하는 위치에 형성될 수 있다.The first fixing groove may be formed at one end inside the outer ring magnetic support holder 310 . The second fixing groove may be formed at one end outside the inner ring magnetic support holder 320 . The second fixing groove may be formed at a position corresponding to the first fixing groove outside the inner ring magnetic support holder 320 .

이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.As mentioned above, although the present invention has been described in detail using preferred embodiments, the scope of the present invention is not limited to specific embodiments and should be interpreted by the appended claims. In addition, those skilled in the art should understand that many modifications and variations are possible without departing from the scope of the present invention.

10 : 기판 반송 시스템
100 : 반송 샤프트 110 : 롤러
200 : 구동 유닛
300 : 마그네틱 지지 유닛 300a : 샤프트 관통홀
(310 : 외륜 마그네틱 지지 홀더 320 : 내륜 마그네틱 지지 홀더
321 : 고정 키
330 : 마그네틱 편심 지지 홀더 341 : 베어링
341 : 베어링
410 : 마그네틱 지지 유닛 하우징 420 : 하우징 지지 블록
421 : 수평 지지대 430 : 높이 조절 홀더
440 : 하우징 홀더
S : 기판10: substrate transfer system
100: conveying shaft 110: roller
200: drive unit
300: magnetic support unit 300a: shaft through hole
(310: outer ring magnetic support holder 320: inner ring magnetic support holder
321: fixed key
330: magnetic eccentric support holder 341: bearing
341: bearing
410: magnetic support unit housing 420: housing support block
421: horizontal support 430: height adjustable holder
440: housing holder
S: substrate

Claims (7)

복수개가 서로 나란하게 배열되고, 기판에 접면되는 복수개의 롤러를 자유 회전 가능하게 지지하는 반송 샤프트;
상기 반송 샤프트의 일단에 마련되고 상기 반송 샤프트에 회전력을 제공하는 구동 유닛; 및
상기 반송 샤프트가 관통 가능하도록 샤프트 관통홀이 형성되고 자력에 의해 상기 반송 샤프트의 자중 처짐을 방지하는 마그네틱 지지 유닛을 포함하며,
상기 마그네틱 지지 유닛은,
상기 반송 샤프트와 동일 축상에 마련되고 제1 자성을 띄는 외륜 마그네틱 지지 홀더;
상기 반송 샤프트와 상기 외륜 마그네틱 지지 홀더 사이에 개재되고 상기 제1 자성을 띄는 내륜 마그네틱 지지 홀더; 및
상기 외륜 마그네틱 지지 홀더와 상기 내륜 마그네틱 지지 홀더의 일 측에 마련되고 상기 제1 자성을 띄며 상기 구동 유닛과의 이격 거리를 조정 가능한 마그네틱 편심 지지 홀더를 포함하는, 기판 반송 시스템.
a plurality of conveying shafts arranged in parallel with each other and freely rotatably supporting a plurality of rollers in contact with the substrate;
a driving unit provided at one end of the conveying shaft and providing a rotational force to the conveying shaft; and
and a magnetic support unit in which a shaft through hole is formed so that the conveyance shaft can pass therethrough, and to prevent deflection of the weight of the conveyance shaft by magnetic force,
The magnetic support unit,
an outer ring magnetic support holder provided on the same shaft as the conveying shaft and exhibiting a first magnetism;
an inner ring magnetic support holder interposed between the conveying shaft and the outer ring magnetic support holder and exhibiting the first magnetism; and
and a magnetic eccentric support holder provided on one side of the outer ring magnetic support holder and the inner ring magnetic support holder and having the first magnetism and adjustable in a separation distance from the driving unit.
 제 1 항에 있어서,
상기 외륜 마그네틱 지지 홀더와 상기 내륜 마그네틱 지지 홀더 사이에 개재된 베어링을 더 포함하는, 기판 반송 시스템.
The method of claim 1,
and a bearing interposed between the outer ring magnetic support holder and the inner ring magnetic support holder.
 제 1 항에 있어서,
상기 외륜 마그네틱 지지 홀더의 내주면 일단부는 상기 내륜 마그네틱 지지 홀더의 외주면 일단부에 대응된 형상을 가지는, 기판 반송 시스템.
The method of claim 1,
One end of the inner circumferential surface of the outer ring magnetic support holder has a shape corresponding to one end of the outer circumferential surface of the inner ring magnetic support holder.
 제 1 항에 있어서,
상기 외륜 마그네틱 지지 홀더 내측의 일측단에 형성된 제1 고정 홈과, 상기 내륜 마그네틱 지지 홀더 외측의 일측단에 형성된 제2 고정 홈에 끼움 결합 가능한 고정 키를 더 포함하는, 기판 반송 시스템.
The method of claim 1,
The substrate transport system further comprising: a first fixing groove formed at one end inside the outer ring magnetic support holder; and a fixing key capable of being fitted into a second fixing groove formed at one end outside the inner ring magnetic support holder.
 제 1 항에 있어서,
상기 마그네틱 지지 유닛을 지지하는 하우징 유닛을 더 포함하고,
상기 하우징 유닛은,
상기 마그네틱 지지 유닛을 수용하는 마그네틱 지지 유닛 하우징; 및
상기 마그네틱 지지 유닛 하우징의 일단에 연장 형성되고 상기 하우징 홀더에 삽입 결합되는 하우징 지지 블록을 포함하는, 기판 반송 시스템.
The method of claim 1,
Further comprising a housing unit supporting the magnetic support unit,
The housing unit is
a magnetic support unit housing accommodating the magnetic support unit; and
and a housing support block extending from one end of the magnetic support unit housing and inserted and coupled to the housing holder.
 제 5 항에 있어서,
상기 마그네틱 지지 유닛 하우징과 상기 마그네틱 편심 지지 홀더 사이에 개재된 베어링을 더 포함하는, 기판 반송 시스템.
6. The method of claim 5,
and a bearing interposed between the magnetic support unit housing and the magnetic eccentric support holder.
 제 5 항에 있어서,
상기 하우징 지지 블록의 일측에 마련된 수평 지지대와 상기 하우징 홀더를 매개하여 상기 수평 지지대의 결합 높이를 조절하는 높이 조절 홀더를 더 포함하는, 기판 반송 시스템.6. The method of claim 5,
Further comprising a height adjustment holder for adjusting the combined height of the horizontal support through the housing holder and the horizontal support provided on one side of the housing support block, the substrate transport system.
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