KR20210102646A - Black photosensitive resin composition, cured film and black matrix produced using the same - Google Patents
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- 239000011342 resin composition Substances 0.000 title claims abstract description 62
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 title claims abstract description 15
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 62
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 claims abstract description 14
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 claims abstract description 13
- 239000000049 pigment Substances 0.000 claims description 31
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 30
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 30
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 17
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims description 16
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 16
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 9
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims description 7
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 claims description 6
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 4
- -1 1-methylpentyl Chemical group 0.000 description 42
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 23
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 19
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 14
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 14
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 13
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 12
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 11
- 235000019241 carbon black Nutrition 0.000 description 11
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 11
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 9
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 9
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 9
- 150000003573 thiols Chemical class 0.000 description 9
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 8
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 8
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 7
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 7
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N Acetophenone Chemical compound CC(=O)C1=CC=CC=C1 KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N Butylmethacrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C(C)=C SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 4
- 239000002318 adhesion promoter Substances 0.000 description 4
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 4
- ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N benzoin Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 4
- 239000012860 organic pigment Substances 0.000 description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 4
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 4
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C(C)=C XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IPTNXMGXEGQYSY-UHFFFAOYSA-N acetic acid;1-methoxybutan-1-ol Chemical compound CC(O)=O.CCCC(O)OC IPTNXMGXEGQYSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000003951 lactams Chemical class 0.000 description 3
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 3
- 150000002923 oximes Chemical class 0.000 description 3
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 3
- CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N peryrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=3C2=C2C=CC=3)=C3C2=CC=CC3=C1 CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 3
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical compound C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JKNCOURZONDCGV-UHFFFAOYSA-N 2-(dimethylamino)ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CN(C)CCOC(=O)C(C)=C JKNCOURZONDCGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FWLHAQYOFMQTHQ-UHFFFAOYSA-N 2-N-[8-[[8-(4-aminoanilino)-10-phenylphenazin-10-ium-2-yl]amino]-10-phenylphenazin-10-ium-2-yl]-8-N,10-diphenylphenazin-10-ium-2,8-diamine hydroxy-oxido-dioxochromium Chemical compound O[Cr]([O-])(=O)=O.O[Cr]([O-])(=O)=O.O[Cr]([O-])(=O)=O.Nc1ccc(Nc2ccc3nc4ccc(Nc5ccc6nc7ccc(Nc8ccc9nc%10ccc(Nc%11ccccc%11)cc%10[n+](-c%10ccccc%10)c9c8)cc7[n+](-c7ccccc7)c6c5)cc4[n+](-c4ccccc4)c3c2)cc1 FWLHAQYOFMQTHQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PTJWCLYPVFJWMP-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO PTJWCLYPVFJWMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 2-methoxyethyl acetate Chemical compound COCCOC(C)=O XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000005916 2-methylpentyl group Chemical group 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N Isoprene Chemical compound CC(=C)C=C RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 2
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 244000028419 Styrax benzoin Species 0.000 description 2
- 235000000126 Styrax benzoin Nutrition 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000008411 Sumatra benzointree Nutrition 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002671 adjuvant Substances 0.000 description 2
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 2
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 2
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 2
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 2
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229960002130 benzoin Drugs 0.000 description 2
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 2
- 239000004841 bisphenol A epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 239000004842 bisphenol F epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 2
- 150000001244 carboxylic acid anhydrides Chemical class 0.000 description 2
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 2
- FKRCODPIKNYEAC-UHFFFAOYSA-N ethyl propionate Chemical compound CCOC(=O)CC FKRCODPIKNYEAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 2
- 235000019382 gum benzoic Nutrition 0.000 description 2
- ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N hexan-1-ol Chemical compound CCCCCCO ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 2
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 2
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 2
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 2
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N monopropylene glycol Natural products CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002924 oxiranes Chemical class 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 2
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 2
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 2
- BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L potassium carbonate Chemical compound [K+].[K+].[O-]C([O-])=O BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 2
- 125000001973 tert-pentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N thioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3SC2=C1 YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HHQAGBQXOWLTLL-UHFFFAOYSA-N (2-hydroxy-3-phenoxypropyl) prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(O)COC1=CC=CC=C1 HHQAGBQXOWLTLL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OUPZKGBUJRBPGC-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-tris(oxiran-2-ylmethyl)-1,3,5-triazinane-2,4,6-trione Chemical compound O=C1N(CC2OC2)C(=O)N(CC2OC2)C(=O)N1CC1CO1 OUPZKGBUJRBPGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RRQYJINTUHWNHW-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxy-2-(2-ethoxyethoxy)ethane Chemical compound CCOCCOCCOCC RRQYJINTUHWNHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LIPRQQHINVWJCH-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxypropan-2-yl acetate Chemical compound CCOCC(C)OC(C)=O LIPRQQHINVWJCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000006218 1-ethylbutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- DMFAHCVITRDZQB-UHFFFAOYSA-N 1-propoxypropan-2-yl acetate Chemical compound CCCOCC(C)OC(C)=O DMFAHCVITRDZQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LEJBBGNFPAFPKQ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-prop-2-enoyloxyethoxy)ethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOCCOC(=O)C=C LEJBBGNFPAFPKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000006176 2-ethylbutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])(C([H])([H])*)C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- CRWNQZTZTZWPOF-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-4-phenylpyridine Chemical compound C1=NC(C)=CC(C=2C=CC=CC=2)=C1 CRWNQZTZTZWPOF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YEYKMVJDLWJFOA-UHFFFAOYSA-N 2-propoxyethanol Chemical compound CCCOCCO YEYKMVJDLWJFOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WYYQKWASBLTRIW-UHFFFAOYSA-N 2-trimethoxysilylbenzoic acid Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C1=CC=CC=C1C(O)=O WYYQKWASBLTRIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YHFGMFYKZBWPRW-UHFFFAOYSA-N 3-methylpentane-1,1-diol Chemical compound CCC(C)CC(O)O YHFGMFYKZBWPRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NCAVPEPBIJTYSO-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxybutyl prop-2-enoate;2-(oxiran-2-ylmethoxymethyl)oxirane Chemical compound C1OC1COCC1CO1.OCCCCOC(=O)C=C NCAVPEPBIJTYSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004920 4-methyl-2-pentyl group Chemical group CC(CC(C)*)C 0.000 description 1
- VDBSRPBXFACZJJ-UHFFFAOYSA-N 4-oxatetracyclo[6.2.1.02,7.03,5]undecan-9-yl prop-2-enoate Chemical compound C12CC3OC3C2C2CC(OC(=O)C=C)C1C2 VDBSRPBXFACZJJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JPQXNTOALKRJMH-UHFFFAOYSA-N 5-methoxypentyl acetate Chemical compound COCCCCCOC(C)=O JPQXNTOALKRJMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N Abietic-Saeure Natural products C12CCC(C(C)C)=CC2=CCC2C1(C)CCCC2(C)C(O)=O RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 235000015655 Crocus sativus Nutrition 0.000 description 1
- 244000124209 Crocus sativus Species 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PEEHTFAAVSWFBL-UHFFFAOYSA-N Maleimide Chemical compound O=C1NC(=O)C=C1 PEEHTFAAVSWFBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RJUFJBKOKNCXHH-UHFFFAOYSA-N Methyl propionate Chemical compound CCC(=O)OC RJUFJBKOKNCXHH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N N-Vinyl-2-pyrrolidone Chemical compound C=CN1CCCC1=O WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YEWJFWSCVSOAPF-UHFFFAOYSA-N O=C(CC1CCCCC1)C(C(C=C1)=CC=C1SC1=CC=CC=C1)=O Chemical compound O=C(CC1CCCCC1)C(C(C=C1)=CC=C1SC1=CC=CC=C1)=O YEWJFWSCVSOAPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002873 Polyethylenimine Polymers 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N Rosin Natural products O(C/C=C/c1ccccc1)[C@H]1[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H](O)[C@@H](CO)O1 KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N 0.000 description 1
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 1
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YTGJWQPHMWSCST-UHFFFAOYSA-N Tiopronin Chemical compound CC(S)C(=O)NCC(O)=O YTGJWQPHMWSCST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SEEVRZDUPHZSOX-WPWMEQJKSA-N [(e)-1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)carbazol-3-yl]ethylideneamino] acetate Chemical compound C=1C=C2N(CC)C3=CC=C(C(\C)=N\OC(C)=O)C=C3C2=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1C SEEVRZDUPHZSOX-WPWMEQJKSA-N 0.000 description 1
- NOZAQBYNLKNDRT-UHFFFAOYSA-N [diacetyloxy(ethenyl)silyl] acetate Chemical compound CC(=O)O[Si](OC(C)=O)(OC(C)=O)C=C NOZAQBYNLKNDRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KVXNKFYSHAUJIA-UHFFFAOYSA-N acetic acid;ethoxyethane Chemical compound CC(O)=O.CCOCC KVXNKFYSHAUJIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 150000008360 acrylonitriles Chemical class 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 150000001346 alkyl aryl ethers Chemical class 0.000 description 1
- 150000005215 alkyl ethers Chemical class 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005354 aluminosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 239000002280 amphoteric surfactant Substances 0.000 description 1
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 1
- PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N anthraquinone Natural products CCC(=O)c1c(O)c2C(=O)C3C(C=CC=C3O)C(=O)c2cc1CC(=O)OC PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004056 anthraquinones Chemical class 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000012752 auxiliary agent Substances 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 230000001588 bifunctional effect Effects 0.000 description 1
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical class C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001055 blue pigment Substances 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- FWOHNFOTPCHCMT-UHFFFAOYSA-N carbonic acid;oxetane Chemical compound C1COC1.C1COC1.OC(O)=O FWOHNFOTPCHCMT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000003093 cationic surfactant Substances 0.000 description 1
- 239000006231 channel black Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- AWGWNMYTZFCQKW-UHFFFAOYSA-N cyclohexane-1,1-dicarboxylic acid oxetane Chemical compound C1COC1.C1COC1.OC(=O)C1(C(O)=O)CCCCC1 AWGWNMYTZFCQKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HPXRVTGHNJAIIH-UHFFFAOYSA-N cyclohexanol Chemical compound OC1CCCCC1 HPXRVTGHNJAIIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003599 detergent Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 150000001993 dienes Chemical class 0.000 description 1
- 150000005690 diesters Chemical class 0.000 description 1
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 1
- 229940019778 diethylene glycol diethyl ether Drugs 0.000 description 1
- SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N diglyme Chemical compound COCCOCCOC SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POLCUAVZOMRGSN-UHFFFAOYSA-N dipropyl ether Chemical compound CCCOCCC POLCUAVZOMRGSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 description 1
- 239000012769 display material Substances 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(trimethoxy)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C=C NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- BHXIWUJLHYHGSJ-UHFFFAOYSA-N ethyl 3-ethoxypropanoate Chemical compound CCOCCC(=O)OCC BHXIWUJLHYHGSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 1
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 239000006232 furnace black Substances 0.000 description 1
- 238000001879 gelation Methods 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- 125000003055 glycidyl group Chemical group C(C1CO1)* 0.000 description 1
- VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N glycidyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CO1 VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CATSNJVOTSVZJV-UHFFFAOYSA-N heptan-2-one Chemical compound CCCCCC(C)=O CATSNJVOTSVZJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N hexane-1,6-diol Chemical compound OCCCCCCO XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MZWHIEFYUAYOJU-UHFFFAOYSA-N hexanedioic acid;oxetane Chemical compound C1COC1.C1COC1.OC(=O)CCCCC(O)=O MZWHIEFYUAYOJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003949 imides Chemical class 0.000 description 1
- 235000019239 indanthrene blue RS Nutrition 0.000 description 1
- UHOKSCJSTAHBSO-UHFFFAOYSA-N indanthrone blue Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC=C4NC5=C6C(=O)C7=CC=CC=C7C(=O)C6=CC=C5NC4=C3C(=O)C2=C1 UHOKSCJSTAHBSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N isocyanate group Chemical group [N-]=C=O IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004491 isohexyl group Chemical group C(CCC(C)C)* 0.000 description 1
- PXZQEOJJUGGUIB-UHFFFAOYSA-N isoindolin-1-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)NCC2=C1 PXZQEOJJUGGUIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWVMLCQWXVFZCN-UHFFFAOYSA-N isoindoline Chemical compound C1=CC=C2CNCC2=C1 GWVMLCQWXVFZCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001972 isopentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000006233 lamp black Substances 0.000 description 1
- 239000005355 lead glass Substances 0.000 description 1
- XGZVUEUWXADBQD-UHFFFAOYSA-L lithium carbonate Chemical compound [Li+].[Li+].[O-]C([O-])=O XGZVUEUWXADBQD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910052808 lithium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- AUHZEENZYGFFBQ-UHFFFAOYSA-N mesitylene Substances CC1=CC(C)=CC(C)=C1 AUHZEENZYGFFBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001827 mesitylenyl group Chemical group [H]C1=C(C(*)=C(C([H])=C1C([H])([H])[H])C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- BDJSOPWXYLFTNW-UHFFFAOYSA-N methyl 3-methoxypropanoate Chemical compound COCCC(=O)OC BDJSOPWXYLFTNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940017219 methyl propionate Drugs 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- KBJFYLLAMSZSOG-UHFFFAOYSA-N n-(3-trimethoxysilylpropyl)aniline Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCNC1=CC=CC=C1 KBJFYLLAMSZSOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000003136 n-heptyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000001280 n-hexyl group Chemical group C(CCCCC)* 0.000 description 1
- 125000000740 n-pentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000004123 n-propyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- OBJNZHVOCNPSCS-UHFFFAOYSA-N naphtho[2,3-f]quinazoline Chemical compound C1=NC=C2C3=CC4=CC=CC=C4C=C3C=CC2=N1 OBJNZHVOCNPSCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N neopentyl glycol Chemical compound OCC(C)(C)CO SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001971 neopentyl group Chemical group [H]C([*])([H])C(C([H])([H])[H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 1
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 1
- WCAOBJJSISYNMN-UHFFFAOYSA-N oxetane;terephthalic acid Chemical compound C1COC1.C1COC1.OC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C=C1 WCAOBJJSISYNMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003566 oxetanyl group Chemical group 0.000 description 1
- AFEQENGXSMURHA-UHFFFAOYSA-N oxiran-2-ylmethanamine Chemical compound NCC1CO1 AFEQENGXSMURHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 125000003538 pentan-3-yl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- DGBWPZSGHAXYGK-UHFFFAOYSA-N perinone Chemical compound C12=NC3=CC=CC=C3N2C(=O)C2=CC=C3C4=C2C1=CC=C4C(=O)N1C2=CC=CC=C2N=C13 DGBWPZSGHAXYGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 239000003504 photosensitizing agent Substances 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 description 1
- 229920000768 polyamine Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 229910000027 potassium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LLBIOIRWAYBCKK-UHFFFAOYSA-N pyranthrene-8,16-dione Chemical compound C12=CC=CC=C2C(=O)C2=CC=C3C=C4C5=CC=CC=C5C(=O)C5=C4C4=C3C2=C1C=C4C=C5 LLBIOIRWAYBCKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 238000007151 ring opening polymerisation reaction Methods 0.000 description 1
- 235000013974 saffron Nutrition 0.000 description 1
- 239000004248 saffron Substances 0.000 description 1
- 125000002914 sec-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000003548 sec-pentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000006234 thermal black Substances 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N trans-cinnamyl beta-D-glucopyranoside Natural products OC1C(O)C(O)C(CO)OC1OCC=CC1=CC=CC=C1 KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- NBXZNTLFQLUFES-UHFFFAOYSA-N triethoxy(propyl)silane Chemical compound CCC[Si](OCC)(OCC)OCC NBXZNTLFQLUFES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N triethylene glycol Chemical compound OCCOCCOCCO ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HQYALQRYBUJWDH-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(propyl)silane Chemical compound CCC[Si](OC)(OC)OC HQYALQRYBUJWDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DQZNLOXENNXVAD-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[2-(7-oxabicyclo[4.1.0]heptan-4-yl)ethyl]silane Chemical compound C1C(CC[Si](OC)(OC)OC)CCC2OC21 DQZNLOXENNXVAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOCC1CO1 BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001567 vinyl ester resin Polymers 0.000 description 1
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N vinyl-ethylene Natural products C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
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- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
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- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133512—Light shielding layers, e.g. black matrix
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/86—Arrangements for improving contrast, e.g. preventing reflection of ambient light
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Abstract
Description
본 발명은 흑색 감광성 수지 조성물, 이를 이용하여 제조된 경화막 및 블랙 매트릭스에 관한 것이다.The present invention relates to a black photosensitive resin composition, a cured film prepared using the same, and a black matrix.
흑색 감광성 수지 조성물은 컬러필터, 액정표시재료, 유기발광소자, 디스플레이 등의 필수적인 재료이다. 일 예로 컬러 액정 디스플레이의 컬러 필터에는 레드(red), 그린(green), 블루(blue) 등의 착색층 간의 경계 부분에 차광층을 형성함으로써 표시 콘트라스트나 발색 효과를 높일 수 있다. The black photosensitive resin composition is an essential material for a color filter, a liquid crystal display material, an organic light emitting device, and a display. For example, in a color filter of a color liquid crystal display, a light blocking layer is formed at a boundary between colored layers such as red, green, and blue, so that display contrast or color development effect can be improved.
구체적으로, 적(R), 녹(G), 청(B)의 색상으로 구성된 화소에 있어, 다른 색상과의 혼색을 방지하거나 전극의 패턴을 숨기기 위해서 각 화소의 착색 층간의 경계 부분에 블랙 매트릭스를 형성하고, 액정과 맞닿는 부분에 컬럼 스페이서를 형성하기도 한다.Specifically, in a pixel composed of red (R), green (G), and blue (B), a black matrix is formed at the boundary between the colored layers of each pixel to prevent mixing with other colors or to hide the electrode pattern. and forming a column spacer at a portion in contact with the liquid crystal.
최근에는 각종 화상 표시장치가 점점 고색순도, 밝은 휘도 및 고 콘트라스트를 요구함에 따라 화소와 화소 사이의 블랙매트릭스의 패턴 선폭의 미세화가 요구되고 있다.Recently, as various image display devices increasingly require high color purity, bright luminance, and high contrast, miniaturization of the pattern line width of the black matrix between pixels is required.
대한민국 공개특허 제2007-0094460호는 흑색 감광성 조성물에 관한 것으로서, 광중합성 화합물과 광중합 개시제와 흑색 안료를 함유하는 흑색 감광성 조성물로서, 형상 안정제로서 유기 안료를 함유하는 흑색 감광성 조성물에 관한 내용을 개시하고 있다.Korean Patent Application Laid-Open No. 2007-0094460 relates to a black photosensitive composition, a black photosensitive composition containing a photopolymerizable compound, a photoinitiator, and a black pigment, and discloses a black photosensitive composition containing an organic pigment as a shape stabilizer. have.
또한, 대한민국 공개특허 제2012-0033893호는 감광성 수지 조성물에 관한 것으로서, (A) 바인더 수지; (B) 다관능성 모노머; (C) 광중합 개시제 또는 광증감제; (D) 블랙 안료; 및 (E) 용매를 포함하고, 상기 블랙 안료는 아닐린블랙, 퍼릴렌 블랙, 금속 산화물 중에서 선택되는 1종 이상인 감광성 수지 조성물에 관한 내용을 개시하고 있다.In addition, Korean Patent Publication No. 2012-0033893 relates to a photosensitive resin composition, (A) a binder resin; (B) a polyfunctional monomer; (C) a photoinitiator or a photosensitizer; (D) black pigment; and (E) a solvent, wherein the black pigment is at least one selected from aniline black, perylene black, and metal oxides.
그러나, 상기와 같은 종래 문헌들은 밀착성과 경시 안정성이 다소 낮아 미세 패턴에 적용하기에는 다소 어려운 실정이다.However, the conventional documents as described above have somewhat low adhesion and stability over time, making it difficult to apply them to fine patterns.
그러므로, 흑색 감광성 수지 조성물을 이용한 미세패턴의 밀착성과 심부경화도를 높이면서도, 감도의 개선이 가능한 흑색 감광성 수지 조성물의 개발이 요구되고 있다.Therefore, there is a demand for the development of a black photosensitive resin composition capable of improving the sensitivity while increasing the adhesion of the fine pattern and the degree of deep hardening using the black photosensitive resin composition.
본 발명은 밀착성이 우수하고, 심부경화도가 향상된 미세패턴의 제조가 가능한 흑색 감광성 수지 조성물을 제공하는 데 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a black photosensitive resin composition having excellent adhesion and capable of producing a fine pattern having an improved degree of deep hardening.
또한, 본 발명은 경시 안정성이 우수한 흑색 감광성 수지 조성물을 제공하는 데 목적이 있다.Another object of the present invention is to provide a black photosensitive resin composition having excellent stability over time.
또한, 본 발명은 전술한 흑색 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조됨으로써, 경화도, 경시 안정성이 우수하며, 감도가 개선된 경화막 및 블랙 매트릭스를 제공하는 데 목적이 있다.In addition, an object of the present invention is to provide a cured film and a black matrix having excellent curing degree, stability over time, and improved sensitivity by being manufactured using the black photosensitive resin composition described above.
본 발명은 티올기 또는 에폭시기를 함유하는 실세스퀴옥산 화합물;을 포함하는 흑색 감광성 수지 조성물을 제공한다.The present invention provides a black photosensitive resin composition comprising; a silsesquioxane compound containing a thiol group or an epoxy group.
또한, 본 발명은 전술한 흑색 감광성 수지 조성물의 경화물을 함유하는 경화막을 제공한다.Moreover, this invention provides the cured film containing the hardened|cured material of the black photosensitive resin composition mentioned above.
또한, 본 발명은 전술한 경화막을 포함하는 컬러필터의 블랙 매트릭스를 제공한다.In addition, the present invention provides a black matrix of a color filter including the cured film described above.
본 발명에 따른 흑색 감광성 수지 조성물은 밀착성이 우수하고, 감도, 심부 경화도, 경시 안정성이 향상된 패턴의 제조가 가능하며, 경시 안정성이 우수한 이점이 있다.The black photosensitive resin composition according to the present invention has excellent adhesion, it is possible to manufacture a pattern with improved sensitivity, depth of hardening, and stability over time, and has excellent stability over time.
또한, 본 발명에 따른 흑색 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조된 경화막 및 블랙 매트릭스는 심부 경화도가 우수하여 밀착성 및 감도가 우수하며, 경시 안정성이 우수한 이점이 있다. In addition, the cured film and the black matrix prepared by using the black photosensitive resin composition according to the present invention have excellent deep curing degree, excellent adhesion and sensitivity, and excellent stability over time.
도 1 및 2는 실시예 1 과 비교예 1의 밀착성 평가 결과이다.1 and 2 are adhesive evaluation results of Example 1 and Comparative Example 1.
이하, 본 발명에 대하여 더욱 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail.
본 발명에서 어떤 부재가 다른 부재 "상에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 직접 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 개재되는 경우도 포함한다.In the present invention, when a member is said to be located "on" another member, this includes not only a case in which a member is in direct contact with another member but also a case in which another member is interposed between two members.
본 발명에서 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.In the present invention, when a part "includes" a certain component, this means that other components may be further included rather than excluding other components unless otherwise stated.
<흑색 감광성 수지 조성물><Black photosensitive resin composition>
본 발명의 한 양태는, 티올기 또는 에폭시기를 함유하는 실세스퀴옥산 화합물;을 포함하는 흑색 감광성 수지 조성물에 관한 것이다.One aspect of the present invention relates to a black photosensitive resin composition comprising; a silsesquioxane compound containing a thiol group or an epoxy group.
본 발명에 따른 흑색 감광성 수지 조성물은 미세패턴의 밀착성과 심부경화도를 높일 수 있는 이점이 있다.The black photosensitive resin composition according to the present invention has the advantage of increasing the adhesion of the fine pattern and the degree of deep curing.
실세스퀴옥산Silsesquioxane 화합물 compound
본 발명에 따른 흑색 감광성 수지 조성물은 티올기 또는 에폭시기를 함유하는 실세스퀴옥산 화합물을 포함한다.The black photosensitive resin composition according to the present invention includes a silsesquioxane compound containing a thiol group or an epoxy group.
본 발명에 따른 실세스퀴옥산 화합물은 티올기 또는 에폭시기를 함유하고 있기 때문에 미세패턴의 밀착성과 패턴의 심부감도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.Since the silsesquioxane compound according to the present invention contains a thiol group or an epoxy group, it is possible to improve the adhesion of the fine pattern and the sensitivity of the depth of the pattern.
일반적으로 흑색 감광성 수지 조성물의 경우 노광단계에서 심부까지 광경화가 되지 않아 미세패턴이 다소 소실될 수 있는데, 본 발명에 따른 흑색 감광성 수지 조성물의 경우 티올기 또는 에폭시기를 치환기로 가지고 있기 때문에 심부경화 감도가 향상되고, 이에 따라 미세패턴의 밀착성이 우수해지는 이점이 있다.In general, in the case of a black photosensitive resin composition, the fine pattern may be somewhat lost because photocuring is not performed to the deep part in the exposure step. There is an advantage in that the adhesion of the fine pattern is improved.
본 발명의 일 실시형태에 있어서, 상기 실세스퀴옥산 화합물은 알킬기를 더 함유할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the silsesquioxane compound may further contain an alkyl group.
상기 알킬기는 직쇄 또는 분지쇄일 수 있고, 탄소수는 특별히 한정되지 않으나 1 내지 10인 것이 바람직하다. 구체적인 예로는 메틸, 에틸, n-프로필, 이소프로필, n-부틸, 이소부틸, tert-부틸, sec-부틸, 1-메틸-부틸, 1-에틸-부틸, n-펜틸, 이소펜틸, 네오펜틸, tert-펜틸, n-헥실, 1-메틸펜틸, 2-메틸펜틸, 4-메틸-2-펜틸, 3,3-디메틸부틸, 2-에틸부틸, n-헵틸, 1-메틸헥실, n-옥틸, tert-옥틸, 1-메틸헵틸, 2-에틸헥실, 2-프로필펜틸, n-노닐, 2,2-디메틸헵틸, 1-에틸-프로필, 1,1-디메틸-프로필, 이소헥실, 2-메틸펜틸, 4-메틸헥실, 5-메틸헥실 등이 있으나, 이들에 한정되지 않는다.The alkyl group may be linear or branched, and the number of carbon atoms is not particularly limited, but is preferably 1 to 10. Specific examples include methyl, ethyl, n-propyl, isopropyl, n-butyl, isobutyl, tert-butyl, sec-butyl, 1-methyl-butyl, 1-ethyl-butyl, n-pentyl, isopentyl, neopentyl , tert-pentyl, n-hexyl, 1-methylpentyl, 2-methylpentyl, 4-methyl-2-pentyl, 3,3-dimethylbutyl, 2-ethylbutyl, n-heptyl, 1-methylhexyl, n- Octyl, tert-octyl, 1-methylheptyl, 2-ethylhexyl, 2-propylpentyl, n-nonyl, 2,2-dimethylheptyl, 1-ethyl-propyl, 1,1-dimethyl-propyl, isohexyl, 2 -methylpentyl, 4-methylhexyl, 5-methylhexyl, and the like, but is not limited thereto.
구체적으로, 상기 알킬기는 메틸기일 수 있다.Specifically, the alkyl group may be a methyl group.
구체적으로, 본 발명에 따른 흑색 감광성 수지 조성물은 티올기 및 알킬기를 함유하는 실세스퀴옥산 화합물을 포함할 수 있다.Specifically, the black photosensitive resin composition according to the present invention may include a silsesquioxane compound containing a thiol group and an alkyl group.
또한, 본 발명에 따른 흑색 감광성 수지 조성물은 에폭시기 및 알킬기를 함유하는 실세스퀴옥산 화합물을 포함할 수 있다.In addition, the black photosensitive resin composition according to the present invention may include a silsesquioxane compound containing an epoxy group and an alkyl group.
본 발명의 또 다른 실시형태에 있어서, 상기 실세스퀴옥산 화합물은 하기 화학식 1 또는 2로 표시되는 잔기를 포함할 수 있다.In another embodiment of the present invention, the silsesquioxane compound may include a moiety represented by the following Chemical Formula 1 or 2.
[화학식 1] [Formula 1]
[화학식 2] [Formula 2]
본 발명의 또 다른 실시형태에 있어서, 상기 실세스퀴옥산 화합물은 하기 화학식 3으로 표시되는 잔기를 포함할 수 있다.In another embodiment of the present invention, the silsesquioxane compound may include a residue represented by the following formula (3).
[화학식 3] [Formula 3]
구체적으로, 본 발명에 따른 실세스퀴옥산 화합물은 상기 화학식 1 또는 2로 표시되는 잔기를 포함할 수 있으며, 상기 화학식 3으로 표시되는 잔기를 더 포함할 수 있다.Specifically, the silsesquioxane compound according to the present invention may include a residue represented by Formula 1 or 2, and may further include a residue represented by Formula 3 above.
더욱 구체적으로, 상기 실세스퀴옥산 화합물은 상기 화학식 1 및 상기 화학식 3으로 표시되는 잔기를 포함할 수 있다.More specifically, the silsesquioxane compound may include a residue represented by Chemical Formula 1 and Chemical Formula 3 above.
또한, 상기 실세스퀴옥산 화합물은 상기 화학식 2 및 상기 화학식 3으로 표시되는 잔기를 포함할 수 있다.In addition, the silsesquioxane compound may include a residue represented by Formula 2 and Formula 3 above.
본 발명에 따른 실세스퀴옥산 화합물이 상기 화학식 1 또는 상기 화학식 2로 표시되는 잔기를 포함하고, 상기 화학식 3으로 표시되는 잔기를 더 포함하는 경우 특히 밀착성이 우수하면서도 심부경화 감도가 향상된 미세패턴의 제조가 가능한 이점이 있다.When the silsesquioxane compound according to the present invention includes a residue represented by Formula 1 or Formula 2, and further includes a residue represented by Formula 3, a micropattern having excellent adhesion and improved sensitivity for deep hardening It has the advantage of being able to manufacture.
요컨대, 본 발명에 따른 실세스퀴옥산 화합물은 알콕시 실란기가 잔존하기 때문에 무기재와의 밀착성이 우수한 이점이 있으며, 티올기 또는 에폭시기를 치환기로 가지고 있기 때문에 심부경화 감도의 향상이 극대화될 수 있는 이점이 있다.In short, the silsesquioxane compound according to the present invention has the advantage of excellent adhesion to the inorganic material because the alkoxysilane group remains, and since it has a thiol group or an epoxy group as a substituent, the improvement of the deep curing sensitivity can be maximized. There is this.
상기 실세스퀴옥산 화합물 내에서 관능기 당량은 최소 200g/eq 이상이 될 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. 다만, 이 경우 심부경화 감도의 향상이 우수하므로 바람직하다.The functional group equivalent in the silsesquioxane compound may be at least 200 g/eq or more, but is not limited thereto. However, in this case, since it is excellent in the improvement of the sensitivity of deep hardening, it is preferable.
본 발명에서 상기 실세스퀴옥산 화합물의 형태를 한정하지는 않는다. 예컨대, 상기 실세스퀴옥산 화합물은 랜덤형, 케이지형 또는 사다리형일 수 있다.In the present invention, the form of the silsesquioxane compound is not limited. For example, the silsesquioxane compound may be a random type, a cage type, or a ladder type.
구체적으로, 본 발명에 있어서 상기 실세스퀴옥산 화합물은 랜덤형 실세스퀴옥산 화합물일 수 있다.Specifically, in the present invention, the silsesquioxane compound may be a random type silsesquioxane compound.
상기 실세스퀴옥산 화합물이 랜덤형일 경우, 케이지형과 사다리형에 비해 합성이 간단하며, 경화물의 신뢰성이 우수한 이점이 있어 바람직하다.When the silsesquioxane compound is of the random type, it is preferable because the synthesis is simple compared to the cage type and the ladder type, and the reliability of the cured product is excellent.
본 발명의 또 다른 실시형태에 있어서, 상기 실세스퀴옥산 화합물은 상기 흑색 감광성 수지 조성물 전체 100 중량%에 대하여 0.1 내지 10 중량%, 바람직하게는 0.1 내지 5 중량%로 포함될 수 있으며, 이 경우 상기 흑색 감광성 수지 조성물 내의 다른 화합물과 상용성이 우수한 이점이 있어 바람직하다.In another embodiment of the present invention, the silsesquioxane compound may be included in an amount of 0.1 to 10% by weight, preferably 0.1 to 5% by weight, based on 100% by weight of the total black photosensitive resin composition, in this case the It is preferable because it has the advantage of being excellent in compatibility with the other compound in a black photosensitive resin composition.
티올계thiol 실란silane 커플링제coupling agent
본 발명의 또 다른 실시형태에 있어서, 상기 흑색 감광성 수지 조성물은 티올계 실란 커플링제를 더 포함할 수 있다.In another embodiment of the present invention, the black photosensitive resin composition may further include a thiol-based silane coupling agent.
상기 티올계 실란 커플링제가 더 포함되는 경우 밀착성이 더욱 개선되므로 바람직하다. 구체적으로 상기 티올계 실란 커플링제는 경시안정성이 뛰어나기 때문에 경시에 따른 밀착성의 저하를 개선할 수 있다.When the thiol-based silane coupling agent is further included, it is preferable because adhesion is further improved. Specifically, since the thiol-based silane coupling agent has excellent stability over time, it is possible to improve the deterioration of adhesion over time.
상기 티올계 실란 커플링제는 예컨대, 실록산 골격과 티올기를 갖는 것이라면 한정되지 않으며, 3-MPTS((3-Mercaptopropyl)trimethyoxysilmae), N-(2-Mercaptopropionyl)glycine 등을 사용할 수 있으며, 시판품으로서 X-41-1810 (상품명, 메르캅토 당량 : 450 g/mol), X-41-1805 (상품명, 메르캅토 당량 : 800 g/mol), X-41-1818 (상품명, 메르캅토 당량 : 850 g/mol) (모두 신에츠 화학 공업 (주) 제조) 등을 들 수 있고, 이들을 1 종 단독으로 또는 2 종 이상을 혼합하여 사용할 수 있으나 역시 이에 한정되지 않는다.The thiol-based silane coupling agent is not limited as long as it has, for example, a siloxane skeleton and a thiol group, 3-MPTS ((3-Mercaptopropyl) trimethyoxysilmae), N-(2-Mercaptopropionyl) glycine, etc. may be used, and as a commercially available product, X- 41-1810 (trade name, mercapto equivalent: 450 g/mol), X-41-1805 (trade name, mercapto equivalent: 800 g/mol), X-41-1818 (trade name, mercapto equivalent: 850 g/mol) ) (all of which are manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), and the like, and these may be used alone or in combination of two or more, but are also not limited thereto.
상기 티올계 실란 커플링제는 상기 흑색 감광성 수지 조성물 전체 100 중량%에 대하여 0.1 내지 10 중량%, 바람직하게는 0.1 내지 5 중량%로 포함될 수 있으며, 이 경우 경시 안정성을 가지면서 밀착성을 개선할수 있는 이점이 있어 바람직하다.The thiol-based silane coupling agent may be included in an amount of 0.1 to 10% by weight, preferably 0.1 to 5% by weight, based on 100% by weight of the total black photosensitive resin composition, and in this case, the advantage of improving adhesion while having stability over time It is preferable to have
본 발명의 또 다른 실시형태에 있어서, 상기 흑색 감광성 수지 조성물은 바인더 수지, 광중합성 화합물, 광중합 개시제, 흑색 안료를 포함하는 착색제, 용제 및 첨가제로 이루어진 군에서 선택되는 1 이상을 더 포함할 수 있다.In another embodiment of the present invention, the black photosensitive resin composition may further include one or more selected from the group consisting of a binder resin, a photopolymerizable compound, a photoinitiator, a colorant including a black pigment, a solvent, and an additive. .
바인더 수지binder resin
바인더 수지는 통상적으로 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성된 흑색 감광성 수지층의 비노광부를 알칼리 가용성으로 만들고, 안료에 대해 분산 매질로도 작용할 수 있다. 바인더 수지로는 해당 적용 기술 분야에서 사용되는 다양한 중합체 중에서 선택할 수 있으며, 에폭시기를 포함하는 알칼리 가용성 수지는 신뢰성 향상에 효과적일 수 있어 바람직하다.The binder resin makes the unexposed part of the black photosensitive resin layer formed by using the photosensitive resin composition alkali-soluble, and can also act as a dispersion medium for the pigment. The binder resin may be selected from a variety of polymers used in the applicable technical field, and an alkali-soluble resin including an epoxy group is preferable because it may be effective in improving reliability.
상기 바인더 수지는 예를 들면 에폭시기를 포함하는 단량체, 및 상기 단량체와 공중합 가능한 다른 단량체와의 공중합체 등을 들 수 있다.Examples of the binder resin include a monomer containing an epoxy group, and a copolymer of the monomer and other copolymerizable monomers.
상기 에폭시기를 포함하는 단량체는 구체적으로 예를 들어, 3,4-에폭시트리 시클로[5.2.1.0,2,6]데칸-9-일아크릴레이트, 3,4-에폭시트리시클로[5.2.1.0,2,6]데칸-8-일아크릴레이트, 글리디실 메타아크릴레이트 및 4-하이드록시부틸 아크릴레이트 글리시딜에테르 등을 들 수 있다.The monomer containing an epoxy group is specifically, for example, 3,4-epoxytricyclo[5.2.1.0,2,6]decan-9-ylacrylate, 3,4-epoxytricyclo[5.2.1.0,2 and ,6]decan-8-yl acrylate, glycidyl methacrylate, and 4-hydroxybutyl acrylate glycidyl ether.
상기 에폭시기를 포함하는 단량체와 공중합 가능한 다른 단량체로는 예를 들어, 불포화 카르복실산 아미노알킬에스테르류, 불포화 카르복실산 글리시딜에스테르류, 카르복실산 비닐에스테르류, 불포화에테르류, 시안화 비닐 화합물, 불포화 아미드류, 불포화이미드류, 지방족 공액 디엔류 및 폴리실록산의 중합체 분자쇄의 말단에 모노아클릴로일기 또는 모노메타크릴로일기를 갖는 거대 단량체류를 들 수 있으며, 이들 단량체는 각각 단독 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.Examples of the other monomer copolymerizable with the monomer containing an epoxy group include unsaturated carboxylic acid aminoalkyl esters, unsaturated carboxylic acid glycidyl esters, carboxylic acid vinyl esters, unsaturated ethers, and vinyl cyanide compounds. , unsaturated amides, unsaturated imides, aliphatic conjugated dienes, and macromonomers having a monoacryloyl group or monomethacryloyl group at the end of the polymer molecular chain of polysiloxane, and these monomers are each alone or two types The above can be mixed and used.
또한, 상기 바인더 수지는 20 내지 200 (KOH mg/g)의 산가를 갖는 것이 바람직하게 사용될 수 있다. 산가는 아크릴계 중합체 1g을 중화하는 데 필요한 수산화칼륨의 양(mg)으로서 측정되는 값으로서 수지의 용해성에 관여한다. 수지의 산가가 상기 범위에 속하게 되면 현상액 중의 용해성이 향상되어 비-노출부가 쉽게 용해되고 감도가 증가하여 결과적으로 노출부의 패턴이 현상시에 남아서 잔막율(film remaining ratio)을 개선할 수 있다.In addition, the binder resin having an acid value of 20 to 200 (KOH mg/g) may be preferably used. The acid value is a value measured as the amount (mg) of potassium hydroxide required to neutralize 1 g of the acrylic polymer and is related to the solubility of the resin. When the acid value of the resin falls within the above range, the solubility in the developer is improved, so that the non-exposed portion is easily dissolved and the sensitivity is increased. As a result, the pattern of the exposed portion remains at the time of development, thereby improving the film remaining ratio.
또한, 상기 바인더 수지는 표면 경도 향상을 위해 분자량 및 분자량 분포도(MW/MN)의 한정을 고려할 수 있으며, 중량평균분자량의 경우, 3,000 내지 200,000, 바람직하게는 5,000 내지 100,000, 더욱 바람직하게는 5,000 내지 30,000인 것을 사용할 수 있다. 분자량 분포도의 경우, 1.5 내지 6.0, 바람직하게는 1.8 내지 4.0의 범위인 것을 사용할 수 있다. 상기 바인더 수지가 상기 범위의 분자량 및 분자량 분포도를 갖는 경우, 경도가 향상되고, 잔막 방지 효과가 우수할 뿐만 아니라 현상액 중의 비-노출부의 용해성이 탁월하고 해상도를 향상시킬 수 있어서 바람직하다.In addition, the binder resin may consider limitation of molecular weight and molecular weight distribution (MW/MN) in order to improve surface hardness, and in the case of a weight average molecular weight, 3,000 to 200,000, preferably 5,000 to 100,000, more preferably 5,000 to 30,000 can be used. In the case of molecular weight distribution, a range of 1.5 to 6.0, preferably 1.8 to 4.0, may be used. When the binder resin has a molecular weight and molecular weight distribution within the above ranges, it is preferable because hardness is improved, a residual film prevention effect is excellent, and solubility of non-exposed parts in a developer is excellent and resolution can be improved.
상기 바인더 수지는 상기 흑색 감광성 수지 조성물 전체 100 중량%에 대하여 5 내지 50 중량%, 바람직하게는 5 내지 30 중량%로 포함될 수 있다.The binder resin may be included in an amount of 5 to 50% by weight, preferably 5 to 30% by weight, based on 100% by weight of the total black photosensitive resin composition.
상기 바인더 수지의 함량범위는 현상액에 대한 용해도와, 패턴 형성 등을 다각적으로 고려하여 선정된 것으로서, 상기 함량범위 내에서 사용할 경우 현상액에 대한 용해성이 충분하여 패턴 형성이 용이하며, 현상과정에서 패턴이 박리되어 탈락하는 것을 방지할 수 있다. The content range of the binder resin was selected in consideration of solubility in the developer and pattern formation, etc., and when used within the content range, the solubility in the developer is sufficient to facilitate pattern formation, It can be prevented from peeling off and falling off.
광중합성photopolymerization 화합물 compound
본 발명의 흑색 감광성 수지 조성물에 함유되는 광중합성 화합물은 광 및 후술할 광중합 개시제의 작용으로 중합할 수 있는 화합물로서, 단관능 단량체, 2관능 단량체, 그 밖의 다관능 단량체 등을 들 수 있다. The photopolymerizable compound contained in the black photosensitive resin composition of the present invention is a compound capable of polymerization by the action of light and a photopolymerization initiator to be described later, and includes monofunctional monomers, difunctional monomers, and other polyfunctional monomers.
상기 단관능 단량체의 종류는 특별히 한정되지 않으며, 예를 들면 노닐페닐카르비톨아크릴레이트, 2-히드록시-3-페녹시프로필아크릴레이트, 2-에틸헥실카르비톨아크릴레이트, 2-히드록시에틸아크릴레이트, N-비닐피롤리돈 등을 들 수 있다.The type of the monofunctional monomer is not particularly limited, and for example, nonylphenyl carbitol acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate, 2-ethylhexyl carbitol acrylate, and 2-hydroxyethyl acryl Late, N-vinylpyrrolidone, etc. are mentioned.
상기 2관능 단량체의 종류는 특별히 한정되지 않으며, 예를 들면, 1,6-헥산디올디(메타)아크릴레이트, 에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메타)아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 비스페놀 A의 비스(아크릴로일옥시에틸)에테르, 3-메틸펜탄디올디(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다.The type of the bifunctional monomer is not particularly limited, and for example, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, triethylene Glycol di(meth)acrylate, bis(acryloyloxyethyl)ether of bisphenol A, 3-methylpentanediol di(meth)acrylate, etc. are mentioned.
상기 다관능 단량체의 종류는 특별히 한정되지 않으며, 예를 들면, 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 에톡실레이티드트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 프로폭실레이티드트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨트리(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타(메타)아크릴레이트, 에톡실레이티드디펜타에리스리톨헥사(메타)아크릴레이트, 프로폭실레이티드디펜타에리스리톨헥사(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사(메타)아크릴레이트, 트리펜타에리트스리톨 옥타아크릴레이트 등을 들 수 있다.The type of the polyfunctional monomer is not particularly limited, and for example, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, ethoxylated trimethylolpropane tri(meth)acrylate, propoxylated trimethylolpropane tri(meth) ) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, ethoxylated dipentaerythritol hexa (meth)acrylate, propoxylated dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, tripentaerythritol octaacrylate, etc. are mentioned.
상기 광중합성 화합물의 시판되는 예로는 미원상사의 Miramer M600, 오사카유기화학의 V#802 등이 있으나, 이에 한정되지는 않는다.Commercially available examples of the photopolymerizable compound include Miramer M600 of Miwon Corporation, V#802 of Osaka Organic Chemical, and the like, but are not limited thereto.
상기 광중합성 화합물은 상기 흑색 감광성 수지 조성물 전체 100 중량%에 대하여 5 내지 30 중량%, 바람직하게는 5 내지 15 중량%로 포함될 수 있으며, 상기 범위 내로 포함될 경우 화소부의 강도나 평활성 측면에서 바람직한 이점이 있다.The photopolymerizable compound may be included in an amount of 5 to 30% by weight, preferably 5 to 15% by weight, based on 100% by weight of the total amount of the black photosensitive resin composition, and when included within the above range, a desirable advantage in terms of strength or smoothness of the pixel portion have.
상기 광중합성 화합물이 상기 범위 미만으로 포함되는 경우 화소부의 강도가 다소 저하될 수 있으며, 상기 광중합성 화합물이 상기 범위를 초과하여 포함되는 경우 평활성이 다소 저하될 수 있으므로 상기 범위 내로 포함되는 것이 바람직하다.When the photopolymerizable compound is included in less than the above range, the intensity of the pixel portion may be slightly lowered, and if the photopolymerizable compound is included in excess of the above range, smoothness may be slightly reduced, so it is preferable to be included in the above range. .
광중합light curing 개시제initiator
본 발명에 따른 흑색 감광성 수지 조성물은 광중합 개시제를 포함할 수 있다.The black photosensitive resin composition according to the present invention may include a photoinitiator.
상기 광중합 개시제는 흑색 감광성 수지 조성물에 일반적으로 사용되는 광중합 개시제를 사용할 수 있다. 예컨대 아세토페논계, 벤조페논계, 트리아진계, 티오크산톤계, 옥심계, 벤조인계, 비이미다졸계 화합물 등을 사용할 수 있다.As the photopolymerization initiator, a photopolymerization initiator generally used in the black photosensitive resin composition may be used. For example, acetophenone-based, benzophenone-based, triazine-based, thioxanthone-based, oxime-based, benzoin-based, biimidazole-based compounds and the like may be used.
상기 아세토페논계, 벤조페논계, 트리아진게, 티오크산톤계, 옥심계, 벤조인계, 비이미다졸계 화합물을 포함하는 상기 광중합 개시제는 본 발명의 목적을 저해하지 않는 것이라면 당업계에서 사용하고 있는 광중합 개시제를 제한없이 사용할 수 있다.The photopolymerization initiator including the acetophenone-based, benzophenone-based, triazine-based, thioxanthone-based, oxime-based, benzoin-based, and biimidazole-based compound is used in the art as long as it does not impair the purpose of the present invention A photoinitiator can be used without limitation.
예컨대, 상기 옥심계 화합물로는 o-에톡시카르보닐-α-옥시이미노-1-페닐프로판-1-온 , 1-[4-(페닐티오)페닐]-3-시클로헥실-프로판-1,2-디온e-2-(o-아세틸옥심) 등을 들 수 있다.For example, as the oxime-based compound, o-ethoxycarbonyl- α -oxyimino-1-phenylpropan-1-one, 1-[4-(phenylthio)phenyl]-3-cyclohexyl-propane-1, 2-dione e-2-(o-acetyloxime) etc. are mentioned.
상기 광중합 개시제의 시판품으로는 TR-PBG-327(트론리사 제조), NCI-831E (ADEKA사 제조), N-1919 (ADEKA사 제조) OXE-01, OXE-02(Ciba사 제조)가 대표적이나 이에 한정되지는 않는다.Commercially available products of the photopolymerization initiator include TR-PBG-327 (manufactured by Tronley), NCI-831E (manufactured by ADEKA), N-1919 (manufactured by ADEKA), OXE-01, and OXE-02 (manufactured by Ciba). However, the present invention is not limited thereto.
상기 광중합 개시제는 상기 흑색 감광성 수지 조성물 전체 100 중량%에 대하여 0.01 내지 10 중량%, 바람직하게는 0.01 내지 5 중량%로 사용할 수 있다. 이러한 함량 범위는 광중합성 화합물의 광중합 속도 및 최종 얻어지는 도막의 물성을 고려한 것으로, 상기 범위 미만이면 중합 속도가 낮아 전체적인 공정 시간이 길어질 수 있으며, 반대로 상기 범위를 초과할 경우 과도한 반응에 의해 가교 반응이 지나서 도막의 물성이 오히려 저하될 수 있기 때문에, 상기 범위 내에서 적절히 사용한다. The photopolymerization initiator may be used in an amount of 0.01 to 10% by weight, preferably 0.01 to 5% by weight, based on 100% by weight of the total black photosensitive resin composition. This content range is in consideration of the photopolymerization rate of the photopolymerizable compound and the physical properties of the finally obtained coating film. If the content is less than the above range, the polymerization rate is low and the overall process time may be prolonged. Since the physical properties of the coating film may be rather deteriorated over time, it is appropriately used within the above range.
또한 광중합 개시제와 함께 광중합 개시 보조제를 사용할 수 있는데, 상기 광중합 개시제와 함께 광중합 개시 보조제를 사용하는 경우 감광성 수지 조성물이 더욱 고감도가 되어 생산성이 향상되므로 바람직하다. 상기 광중합 개시 보조제로는 아민 및 카르복실산 화합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 화합물이 바람직하게 사용될 수 있다.In addition, a photopolymerization initiation auxiliary may be used together with the photopolymerization initiator. When the photopolymerization initiation auxiliary is used together with the photopolymerization initiator, the photosensitive resin composition becomes more sensitive and productivity is improved. At least one compound selected from the group consisting of amines and carboxylic acid compounds may be preferably used as the photopolymerization initiation adjuvant.
이러한 광중합 개시 보조제는 광중합 개시제 1 몰당 통상적으로 10 몰 이하, 바람직하게는 0.01 내지 5 몰의 범위 내에서 사용하는 것이 바람직하다. 상기 범위 내에서 광중합 개시 보조제를 사용할 경우 중합 효율을 높여 생산성 향상 효과를 기대할 수 있다.Such a photopolymerization initiation adjuvant is usually 10 mol or less per 1 mol of the photopolymerization initiator, and preferably used within the range of 0.01 to 5 mol. When the photopolymerization initiation auxiliary agent is used within the above range, the effect of improving the productivity can be expected by increasing the polymerization efficiency.
착색제coloring agent
본 발명에 따른 흑색 감광성 수지 조성물은 흑색 안료를 포함하는 착색제를 포함한다.The black photosensitive resin composition according to the present invention includes a colorant including a black pigment.
상기 흑색안료는 유기블랙 안료, 카본 블랙 또는 유기블랙과 카본블랙을 혼용하여 사용할 수 있다.The black pigment may be used as an organic black pigment, carbon black, or a mixture of organic black and carbon black.
상기 유기블랙은 예컨대, 락탐 블랙, 아닐린 블랙, 퍼릴렌 블랙일 수 있으며, 차광성이 있는 것이라면 특별히 제한 없이 사용할 수 있다. 바람직하게는 락탐 블랙을 포함할 수 있다.The organic black may be, for example, lactam black, aniline black, or perylene black, and may be used without particular limitation as long as it has light-shielding properties. Preferably, it may contain lactam black.
상기 유기 블랙 안료를 포함하는 경우 광학밀도를 향상시키면서 적외선 영역에 영향을 주지 않을 수 있고, 유전율 및 투과도를 향상시킬 수 있어 바람직하다.When the organic black pigment is included, the optical density may be improved while not affecting the infrared region, and the dielectric constant and transmittance may be improved.
상기 카본 블랙을 포함하는 경우, 광학 밀도가 우수해질 수 있어 바람직하다.When the carbon black is included, the optical density may be improved, which is preferable.
사용 가능한 카본 블랙으로는 미쿠니색소사의 CHBK-17; 동해카본(주)의 시스토 5HIISAF-HS, 시스토 KH, 시스토 3HHAF-HS, 시스토 NH, 시스토 3M, 시스토 300HAF-LS, 시스토 116HMMAF-HS, 시스토 116MAF, 시스토 FMFEF-HS, 시스토 SOFEF, 시스토 VGPF, 시스토 SVHSRF-HS, 및 시스토 SSRF; 미쯔비시화학(주)의 다이어그램 블랙 Ⅱ, 다이어그램 블랙 N339, 다이어그램 블랙 SH, 다이어그램 블랙 H, 다이어그램 LH, 다이어그램 HA, 다이어그램 SF, 다이어그램 N550M, 다이어그램 M, 다이어그램 E, 다이어그램 G, 다이어그램 R, 다이어그램 N760M, 다이어그램 LR, #2700, #2600, #2400, #2350, #2300, #2200, #1000, #980, #900, MCF88, #52, #50, #47, #45, #45L, #25, #CF9, #95, #3030, #3050, MA7, MA77, MA8, MA11, OIL7B, OIL9B, OIL11B, OIL30B, 및 OIL31B; 대구사(주)의 PRINTEX-U, PRINTEX-V, PRINTEX-140U, PRINTEX-140V, PRINTEX-95, PRINTEX-85, PRINTEX-75, PRINTEX-55, PRINTEX-45, PRINTEX-300, PRINTEX-35, PRINTEX-25, PRINTEX-200, PRINTEX-40, PRINTEX-30, PRINTEX-3, PRINTEX-A, SPECIAL BLACK-550, SPECIAL BLACK-350, SPECIAL BLACK-250, SPECIAL BLACK-100, 및 LAMP BLACK-101; 콜롬비아 카본(주)의 RAVEN-1100ULTRA, RAVEN-1080ULTRA, RAVEN-1060ULTRA, RAVEN-1040, RAVEN-1035, RAVEN-1020, RAVEN-1000, RAVEN-890H, RAVEN-890, RAVEN-880ULTRA, RAVEN-860ULTRA, RAVEN-850, RAVEN-820, RAVEN-790ULTRA, RAVEN-780ULTRA, RAVEN-760ULTRA, RAVEN-520, RAVEN-500, RAVEN-460, RAVEN-450, RAVEN-430ULTRA, RAVEN-420, RAVEN-410, RAVEN-2500ULTRA, RAVEN-2000, RAVEN-1500, RAVEN-1255, RAVEN-1250, RAVEN-1200, RAVEN-1190ULTRA, 및 RAVEN-1170 등을 들 수 있다.Available carbon blacks include CHBK-17 from Mikuni Saxo Co.; Donghae Carbon Co., Ltd. SYSTO 5HIISAF-HS, SYSTO KH, SYSTO 3HHAF-HS, SYSTO NH, SYSTO 3M, SYSTO 300HAF-LS, SYSTO 116HMMAF-HS, SYSTO 116MAF, SYSTO FMFEF- HS, cisto SOFEF, cisto VGPF, cisto SVHSRF-HS, and cisto SSRF; Diagram Black II, Diagram Black N339, Diagram Black SH, Diagram Black H, Diagram LH, Diagram HA, Diagram SF, Diagram N550M, Diagram M, Diagram E, Diagram G, Diagram R, Diagram N760M, Diagram of Mitsubishi Chemical Corporation LR, #2700, #2600, #2400, #2350, #2300, #2200, #1000, #980, #900, MCF88, #52, #50, #47, #45, #45L, #25, # CF9, #95, #3030, #3050, MA7, MA77, MA8, MA11, OIL7B, OIL9B, OIL11B, OIL30B, and OIL31B; PRINTEX-U, PRINTEX-V, PRINTEX-140U, PRINTEX-140V, PRINTEX-95, PRINTEX-85, PRINTEX-75, PRINTEX-55, PRINTEX-45, PRINTEX-300, PRINTEX-35, PRINTEX-25, PRINTEX-200, PRINTEX-40, PRINTEX-30, PRINTEX-3, PRINTEX-A, SPECIAL BLACK-550, SPECIAL BLACK-350, SPECIAL BLACK-250, SPECIAL BLACK-100, and LAMP BLACK-101; RAVEN-1100ULTRA, RAVEN-1080ULTRA, RAVEN-1060ULTRA, RAVEN-1040, RAVEN-1035, RAVEN-1020, RAVEN-1000, RAVEN-890H, RAVEN-890, RAVEN-880ULTRA, RAVEN-860ULTRA of Columbia Carbon Co., Ltd. RAVEN-850, RAVEN-820, RAVEN-790ULTRA, RAVEN-780ULTRA, RAVEN-760ULTRA, RAVEN-520, RAVEN-500, RAVEN-460, RAVEN-450, RAVEN-430ULTRA, RAVEN-420, RAVEN-410, RAVEN- 2500ULTRA, RAVEN-2000, RAVEN-1500, RAVEN-1255, RAVEN-1250, RAVEN-1200, RAVEN-1190ULTRA, and RAVEN-1170 etc. are mentioned.
상기 카본 블랙은 차광성이 있는 안료이면 특별히 한정되지 않으며, 공지된 카본 블랙을 사용할 수 있다. 상기 흑색 안료인 카본 블랙으로는 구체적으로 채널 블랙(channel black), 퍼니스 블랙(furnace black), 서멀 블랙(thermal black), 램프 블랙(lamp black) 등을 들 수 있다.The carbon black is not particularly limited as long as it is a light-shielding pigment, and a known carbon black may be used. Examples of the carbon black as the black pigment include channel black, furnace black, thermal black, lamp black, and the like.
또한, 상기 흑색 안료인 카본 블랙은 수지가 피복된 카본 블랙을 이용할 수도 있다. 상기 수지가 피복된 카본 블랙은 수지가 피복되어 있지 않은 카본 블랙에 비해 도전성이 낮기 때문에 블랙 매트릭스 또는 블랙 컬럼스페이서 형성시에 우수한 전기 절연성을 부여 할 수 있다.In addition, as the carbon black which is the said black pigment, resin-coated carbon black may be used. Since the resin-coated carbon black has lower conductivity than the resin-coated carbon black, excellent electrical insulation properties can be provided when forming a black matrix or black column spacer.
상기 착색제는 유기 안료 및 염료로 이루어진 군에서 선택되는 1 이상을 더 포함할 수 있다.The colorant may further include at least one selected from the group consisting of organic pigments and dyes.
구체적으로, 상기 착색제는 가시광선에 차광성이 있는 유기 안료 및 염료를 단독 또는 2종 이상 포함할 수 있다.Specifically, the colorant may include an organic pigment and dye having a light blocking property to visible light alone or two or more types.
상기 유기 안료는 예컨대, 컬러 인덱스(C.I.; 더 소사이어티 오브 다이어스 앤드 컬러리스트(The Society of Dyers and Colourists)사 발행)에서 피그먼트로 분류되어 있는 화합물, 구체적으로는 당업계에서 통상적으로 사용하는 컬러 인덱스(C.I.)명이 부여되어 있는 것을 들 수 있으며, The organic pigment is, for example, a compound classified as a pigment in the color index (CI; published by The Society of Dyers and Colorists), specifically, a color commonly used in the art. For example, those with index (CI) names are given,
경우에 따라 로진 처리, 산성기 또는 염기성기가 도입되어 있는 안료 유도체를 이용한 표면 처리, 중합체 화합물 등을 이용한 표면 그라프트 처리, 황산을 이용한 미세 입자화 처리, 또는 유기 용매 또는 물을 이용한 세정 처리 등이 수행된 것일 수도 있다. 예컨대 상기 착색제는 청색 안료 등을 더 포함할 수 있다.In some cases, rosin treatment, surface treatment using a pigment derivative having an acidic or basic group introduced therein, surface graft treatment using a polymer compound, etc., fine particle treatment using sulfuric acid, or washing treatment using an organic solvent or water may have been performed. For example, the colorant may further include a blue pigment.
이에 더해서, 인쇄 잉크, 잉크젯 등에 사용되는 안료 및 수용성 아조계, 불용성 아조계, 프탈로시아닌계, 퀴나크리톤계, 이소인돌리논계, 이소인돌린, 페릴렌, 페리논, 디옥시진, 안트라퀴논, 디안트라퀴노닐, 안트라피리미딘, 안탄트론, 인단트론, 프라반트론, 피란트론계의 안료 등을 사용할 수도 있으나, 이에 한정되지는 않는다.In addition to this, pigments used in printing inks, inkjets, etc. and water-soluble azo, insoluble azo, phthalocyanine, quinacritone, isoindolinone, isoindoline, perylene, perinone, dioxyzine, anthraquinone, dianone Traquinonyl, anthrapyrimidine, ananthrone, indanthrone, pravantron, and pyranthrone pigments may be used, but the present invention is not limited thereto.
상기 염료는 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 당업계에서 통상적으로 사용하는 것이라면 제한없이 사용 가능하다. The dye can be used without limitation as long as it is commonly used in the art in a range that does not impair the purpose of the present invention.
본 발명에 따른 착색제는 상기 흑색 감광성 수지 조성물 전체 100 중량%에 대하여 2 내지 40 중량%, 바람직하게는 2 내지 30 중량%로 포함할 수 있다. 상기 착색제의 함량이 상기 범위 미만일 경우 광학밀도(Optical Density, O.D.)가 다소 낮아질 수 있으며, 상기 범위를 초과하는 경우 비유전율이 다소 높아져 표시 장치 구동에 문제가 다소 발생할 수 있으므로, 상기 범위 내로 포함되는 것이 바람직하다.The colorant according to the present invention may be included in an amount of 2 to 40 wt%, preferably 2 to 30 wt%, based on 100 wt% of the total black photosensitive resin composition. When the content of the colorant is less than the above range, the optical density (Optical Density, OD) may be somewhat lowered, and if the content of the colorant exceeds the above range, the relative permittivity is slightly increased, which may cause some problems in driving the display device. it is preferable
상기 흑색안료는 상기 착색제 전체 100 중량%에 대하여 40 내지 100 중량%, 더욱 바람직하게는 45 내지 100 중량%로 포함될 수 있다. 상기 흑색안료가 상기 범위를 만족할 경우 O.D/㎛을 1.33 이상을 만족시키는 이점이 있다. 상기 흑색안료가 상기 범위 미만으로 포함될 경우 O.D.가 낮아져 단파장 및 장파장에서 빛샘이 발생하는 문제점이 있을 수 있으며, 상기 흑색안료가 상기 범위를 초과하는 경우 유전율이 높아지는 문제점이 있을 수 있으므로, 상기 흑색안료가 상기 범위 내로 포함되는 것이 바람직하다.The black pigment may be included in an amount of 40 to 100% by weight, more preferably 45 to 100% by weight, based on 100% by weight of the total colorant. When the black pigment satisfies the above range, O.D/㎛ has an advantage of satisfying 1.33 or more. When the black pigment is included below the above range, there may be a problem in that the OD is lowered and light leakage occurs at short and long wavelengths, and when the black pigment exceeds the above range, there may be a problem in that the dielectric constant increases. It is preferably included within the above range.
상기 착색제는 안료의 입경이 균일하게 분산된 착색 분산액의 형태로 사용할 수도 있으나 이에 한정되지는 않는다. 상기 안료의 입경을 균일하게 분산시키기 위한 방법의 예로는 안료 분산제를 함유시켜 분산 처리하는 방법 등을 들 수 있으며, 상기 방법에 따라 안료가 용액 중에 균일하게 분산된 상태의 안료 분산액을 얻을 수 있다.The colorant may be used in the form of a dispersion in which the particle size of the pigment is uniformly dispersed, but is not limited thereto. Examples of a method for uniformly dispersing the particle size of the pigment include a method of dispersing the pigment by containing a dispersing agent, and according to the method, a pigment dispersion in a state in which the pigment is uniformly dispersed in a solution can be obtained.
상기 안료 분산제의 구체적인 예로는 양이온계, 음이온계, 비이온계, 양성, 폴리에스테르계, 폴리아민계 등의 계면활성제 등을 들 수 있고, 이들은 각각 단독 또는 2종이상을 조합하여 사용할 수 있다.Specific examples of the pigment dispersant include cationic, anionic, nonionic, amphoteric, polyester, and polyamine surfactants, and these may be used alone or in combination of two or more.
또한, 부틸메타아크릴레이트(BMA) 또는 N,N-디메틸아미노에틸메타아크릴레이트(DMAEMA)를 포함하는 아크릴레이트계 분산제 (이하, 아크릴레이트계 분산제라고 함)를 포함하는 것이 바람직하다. 상기 아크릴레이트계 분산제의 시판품으로는 DISPER BYK-2000, DISPER BYK-2001, DISPER BYK-2070 또는 DISPER BYK-2150 등을 들 수 있으며, 상기 아크릴레이트계 분산제는 각각 단독 또는 2종이상을 조합하여 사용할 수 있다.In addition, it is preferable to include an acrylate-based dispersant (hereinafter referred to as an acrylate-based dispersant) containing butyl methacrylate (BMA) or N,N-dimethylaminoethyl methacrylate (DMAEMA). Commercial products of the acrylate-based dispersant include DISPER BYK-2000, DISPER BYK-2001, DISPER BYK-2070 or DISPER BYK-2150, and the acrylate-based dispersant may be used alone or in combination of two or more. can
상기 안료 분산제는 상기한 아크릴 분산제 이외에 다른 수지 타입의 안료 분산제를 사용할 수도 있으나 이에 한정되지는 않는다.The pigment dispersant may use a pigment dispersant other than the acrylic dispersant, but is not limited thereto.
상기 안료 분산제의 함량은 상기 착색제의 고형분 100 중량%에 대하여 5 내지 60 중량%, 바람직하게는 5 내지 50 중량%로 포함될 수 잇으며, 이 경우 안료의 미립화가 용이하고, 분산 후 겔화 등의 문제를 억제할 수 있어 바람직하다.The content of the pigment dispersant may be included in an amount of 5 to 60% by weight, preferably 5 to 50% by weight, based on 100% by weight of the solid content of the colorant, in which case it is easy to atomize the pigment, and problems such as gelation after dispersion can be suppressed, which is preferable.
용제solvent
본 발명의 흑색 감광성 수지 조성물에 함유되는 용제는 특별히 제한되지 않으며 흑색 감광성 수지 조성물의 분야에서 사용되고 있는 각종 유기 용제를 사용할 수 있다. The solvent in particular contained in the black photosensitive resin composition of this invention is not restrict|limited, Various organic solvents used in the field|area of the black photosensitive resin composition can be used.
그의 구체예로서는 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노프로필에테르,에틸렌글리콜모노부틸에테르 등의 에틸렌글리콜모노알킬에테르류, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 디에틸렌글리콜디프로필에테르, 디에틸렌글리콜디부틸에테르 등의 디에틸렌글리콜디알킬에테르류,메틸셀로솔브아세테이트, 에틸셀로솔브아세테이트 등의 에틸렌글리콜알킬에테르아세테이트류, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노프로필에테르아세테이트, 메톡시부틸아세테이트 및 메톡시펜틸아세테이트 등의 알킬렌글리콜알킬에테르아세테이트류, 벤젠, 톨루엔, 크실렌, 메시틸렌 등의 방향족 탄화수소류, 메틸에틸케톤, 아세톤, 메틸아밀케톤, 메틸이소부틸케톤, 시클로헥사논등의 케톤류, 에탄올, 프로판올, 부탄올, 헥사놀, 시클로헥산올, 에틸렌글리콜, 글리세린 등의 알코올류, 3-에톡시프로피온산 에틸, 3-메톡시프로피온산 메틸 등의 에스테르류, γ-부티롤락톤 등의 환상 에스테르류 등을 들수 있다. Specific examples thereof include ethylene glycol monoalkyl ethers such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether and ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene Diethylene glycol dialkyl ethers such as glycol dipropyl ether and diethylene glycol dibutyl ether, ethylene glycol alkyl ether acetates such as methyl cellosolve acetate and ethyl cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol Alkylene glycol alkyl ether acetates such as monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, methoxybutyl acetate and methoxypentyl acetate, aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene, and mesitylene, methyl ethyl ketone, acetone , methyl amyl ketone, methyl isobutyl ketone, ketones such as cyclohexanone, alcohols such as ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, glycerin, ethyl 3-ethoxypropionate, 3-methoxy Esters, such as methyl propionate, Cyclic esters, such as (gamma)-butyrolactone, etc. are mentioned.
상기의 용제 중, 도포성, 건조성면에서 바람직하게는 상기 용제 중에서 비점이 100℃ 내지 200℃인 유기 용제를 들 수 있고, 보다 바람직하게는 알킬렌글리콜알킬에테르아세테이트류, 케톤류, 3-에톡시프로피온산 에틸이나, 3-메톡시프로피온산 메틸 등의 에스테르류를 들 수 있으며, 더욱 바람직하게는 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 시클로헥사논, 3-에톡시프로피온산 에틸, 3-메톡시프로피온산 메틸 등을 들 수 있다. 이들 용제는 각각 단독으로 또는 2종류 이상 혼합하여 사용할 수 있다.Among the above solvents, organic solvents having a boiling point of 100°C to 200°C in the above solvents are preferable from the viewpoint of applicability and drying properties, and more preferably alkylene glycol alkyl ether acetates, ketones, 3-ethoxy Esters, such as ethyl propionate and 3-methoxy methyl propionate, are mentioned, More preferably, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, cyclohexanone, 3-ethoxy ethyl propionate, 3- and methyl methoxypropionate. These solvents can be used individually or in mixture of 2 or more types, respectively.
상기 용제의 함유량은 그것을 포함하는 흑색 감광성 수지 조성물 전체 100 중량%에 대하여 통상 60 내지 90 중량%, 바람직하게는 60 내지 85 중량%로 포함될 수 있다. 상기 용제의 함유량이 상기 범위를 만족하는 경우, 롤 코터, 스핀 코터, 슬릿 앤드 스핀 코터, 슬릿 코터(다이 코터라고도 하는 경우가 있음), 잉크젯 등의 도포 장치로 도포했을 때 도포성이 양호해지는 경향이 있기 때문에 바람직하다.The content of the solvent is usually 60 to 90% by weight, preferably 60 to 85% by weight based on 100% by weight of the total black photosensitive resin composition including it. When the content of the solvent satisfies the above range, the coating property tends to be good when applied with an application device such as a roll coater, spin coater, slit and spin coater, slit coater (sometimes referred to as a die coater), inkjet, etc. It is preferable because there is
첨가제additive
본 발명에 따른 흑색 감광성 수지 조성물은 필요에 따라 충진제, 다른 고분자 화합물, 경화제, 레벨링제, 밀착 증진제 등의 첨가제를 더 포함할 수 있다.The black photosensitive resin composition according to the present invention may further include additives such as fillers, other polymer compounds, curing agents, leveling agents, adhesion promoters, and the like, if necessary.
상기 충진제의 구체적인 예로는, 유리, 실리카, 알루미나 등을 들 수 있다.Specific examples of the filler include glass, silica, alumina, and the like.
상기 다른 고분자 화합물의 구체적인 예로는, 에폭시 수지, 말레이미드 수지 등의 열경화성 수지; 폴리비닐알코올, 폴리아크릴산, 폴리에틸렌글리콜모노알킬에테르, 폴리플루오로알킬아크릴레이트, 폴리에스테르, 폴리우레탄 등의 열가소성 수지 등을 들 수 있다.Specific examples of the other high molecular compound include thermosetting resins such as epoxy resins and maleimide resins; and thermoplastic resins such as polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, polyfluoroalkyl acrylate, polyester, and polyurethane.
상기 경화제는 심부 경화 및 기계적 강도를 높이기 위해 사용되며, 경화제의 구체적인 예로서는 에폭시 화합물, 다관능 이소시아네이트 화합물, 멜라민 화합물, 옥세탄 화합물 등을 들 수 있다. 상기 경화제에서 에폭시 화합물의 구체적인 예로서는 비스페놀 A계 에폭시 수지, 수소화 비스페놀 A계 에폭시 수지, 비스페놀 F계 에폭시 수지, 수소화 비스페놀 F계 에폭시 수지, 노블락형 에폭시 수지, 기타 방향족계 에폭시 수지, 지환족계 에폭시 수지, 글리시딜에스테르계 수지, 글리시딜아민계 수지, 또는 이러한 에폭시 수지의브롬화 유도체, 에폭시 수지 및 그 브롬화 유도체 이외의 지방족, 지환족 또는 방향족 에폭시 화합물, 부타디엔(공)중합체 에폭시화물, 이소프렌 (공)중합체 에폭시화물, 글리시딜(메타)아크릴레트 (공)중합체, 트리글리시딜이소시아눌레이트 등을 들 수 있다. 상기 경화제에서 옥세탄 화합물의 구체적인 예로서는 카르보네이트비스옥세탄, 크실렌비스옥세탄, 아디페이트비스옥세탄, 테레프탈레이트비스옥세탄, 시클로헥산디카르복실산비스옥세탄 등을 들 수 있다. 상기 경화제는 경화제와 함께 에폭시 화합물의 에폭시기, 옥세탄 화합물의 옥세탄 골격을 개환 중합하게 할 수 있는 경화 보조 화합물을 병용할 수 있다.The curing agent is used for deep curing and increasing mechanical strength, and specific examples of the curing agent include an epoxy compound, a polyfunctional isocyanate compound, a melamine compound, and an oxetane compound. Specific examples of the epoxy compound in the curing agent include bisphenol A epoxy resin, hydrogenated bisphenol A epoxy resin, bisphenol F epoxy resin, hydrogenated bisphenol F epoxy resin, novolak epoxy resin, other aromatic epoxy resins, alicyclic epoxy resins, Glycidyl ester-based resins, glycidylamine-based resins, or brominated derivatives of these epoxy resins, aliphatic, alicyclic or aromatic epoxy compounds other than epoxy resins and brominated derivatives thereof, butadiene (co)polymer epoxide, isoprene (co) ) polymer epoxide, glycidyl (meth) acrylate (co) polymer, triglycidyl isocyanurate, and the like. Specific examples of the oxetane compound in the curing agent include carbonate bisoxetane, xylenebisoxetane, adipate bisoxetane, terephthalate bisoxetane, and cyclohexanedicarboxylic acid bisoxetane. The curing agent may be used in combination with a curing auxiliary compound capable of ring-opening polymerization of the epoxy group of the epoxy compound and the oxetane skeleton of the oxetane compound together with the curing agent.
상기 경화 보조 화합물로서는, 예를 들면 다가 카르본산류, 다가 카르본산 무수물류, 산 발생제 등을 들 수 있다. 상기 카르본산 무수물류는 에폭시 수지 경화제로서 시판되는 것을 이용할 수 있다. 상기 에폭시 수지 경화제로서는, 예를 들면, 상품명(아데카하도나 EH-700)(아데카공업㈜ 제조), 상품명(리카싯도 HH)(신일본이화㈜ 제조), 상품명(MH-700)(신일본이화㈜ 제조) 등을 들 수 있다. 상기에서 예시한 경화제는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.As said hardening auxiliary compound, polyhydric carboxylic acids, polyhydric carboxylic acid anhydrides, an acid generator etc. are mentioned, for example. As the carboxylic acid anhydride, a commercially available epoxy resin curing agent may be used. Examples of the epoxy resin curing agent include a brand name (adecahadona EH-700) (manufactured by Adeka Industrial Co., Ltd.), a trade name (Rikasiddo HH) (manufactured by Shin-Nippon Ewha Corporation), a trade name (MH-700) ( Manufactured by New Nippon Ewha Co., Ltd.) and the like. The curing agents exemplified above may be used alone or in combination of two or more.
상기 레벨링제로는, 시판되는 계면 활성제를 사용할 수 있고, 예를 들어 실리콘계, 불소계, 에스테르계, 양이온계, 음이온계, 비이온계, 양성 등의 계면 활성제 등을 들 수 있고, 이들은 각각 단독으로도 2 종 이상을 조합하여 사용해도 된다. 상기 계면 활성제로는, 예를 들어 폴리옥시에틸렌알킬에테르류, 폴리옥시에틸렌알킬페닐에테르류, 폴리에틸렌글리콜디에스테르류, 소르비탄지방산 에스테르류, 지방산 변성 폴리에스테르류, 3 급 아민 변성 폴리우레탄류, 폴리에틸렌이민류 등 외에, 상품명으로 KP (신에쯔 화학 공업 (주) 제조), 폴리플로우 (쿄에이 화학(주) 제조), 에프톱 (토켐프로덕츠사 제조), 메가팍 (다이닛폰 잉크 화학 공업 (주) 제조), 플로라드 (스미토모쓰리엠 (주)제조), 아사히가드, 사프론 (이상, 아사히가라스 (주) 제조), 솔스퍼스 (제네카 (주) 제조), EFKA (EFKACHEMICALS 사 제조), PB821 (아지노모토 (주) 제조) 등을 들 수 있다.As the leveling agent, commercially available surfactants can be used, and for example, surfactants such as silicone-based, fluorine-based, ester-based, cationic, anionic, nonionic, and amphoteric surfactants may be mentioned, and these may be used alone. You may use it in combination of 2 or more type. Examples of the surfactant include polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkylphenyl ethers, polyethylene glycol diesters, sorbitan fatty acid esters, fatty acid-modified polyesters, tertiary amine-modified polyurethanes, In addition to polyethyleneimines, trade names include KP (manufactured by Shin-Etsu Chemical Industry Co., Ltd.), Polyflow (manufactured by Kyoei Chemical Co., Ltd.), FTOP (manufactured by Tochem Products), and Megapac (Dainippon Ink Chemical Industry Co., Ltd.). (manufactured by Co., Ltd.), Florad (manufactured by Sumitomo 3M Co., Ltd.), Asahigard, Saffron (above, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), Solsperse (manufactured by Zeneca Co., Ltd.), EFKA (manufactured by EFKACHEMICALS) , PB821 (manufactured by Ajinomoto Co., Ltd.); and the like.
상기 밀착 증진제로서 전술한 티올계 실란 커플링제 외에, 메타크릴로일기, 이소시아네이트기, 에폭시기 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 반응성 치환기를 갖는 실란 커플링제를 추가로 포함할 수 있다. 상기 실란 커플링제의 예로는 트리메톡시실릴 벤조산, γ-메타크릴 옥시프로필 트리메톡시 실란, 비닐트리아세톡시실란, 비닐 트리메톡시실란, γ-이소시아네이트 프로필 트리에톡시실란, r-글리시독시 프로필 트리메톡시실란, β-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란 등을 들 수 있으며, 이것들은 단독 및 2종 이상 조합하여 사용할 수 있다. 상기 밀착 증진제의 시판품으로는 신에츠 사의 KBM-403, KBM-503, BM-603, KBM-573, KBM-5083 등을 사용할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.As the adhesion promoter, in addition to the above-described thiol-based silane coupling agent, a silane coupling agent having a reactive substituent selected from the group consisting of a methacryloyl group, an isocyanate group, an epoxy group, and combinations thereof may be further included. Examples of the silane coupling agent include trimethoxysilyl benzoic acid, γ-methacryl oxypropyl trimethoxy silane, vinyltriacetoxysilane, vinyl trimethoxysilane, γ-isocyanate propyl triethoxysilane, r-glycidoxy and propyl trimethoxysilane and β-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyltrimethoxysilane, which can be used alone or in combination of two or more. Commercially available products of the adhesion promoter include, but are not limited to, Shin-Etsu's KBM-403, KBM-503, BM-603, KBM-573, and KBM-5083.
상기 밀착 증진제가 더 포함되는 경우 더욱 우수한 밀착성의 부여가 가능하기 때문에 바람직하다.When the adhesion promoter is further included, it is preferable because better adhesion can be imparted.
상기 첨가제는 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 적절히 추가하여 사용될 수 있으며, 예컨대 상기 흑색 감광성 수지 조성물 전체 100 중량%에 대하여 0.01 내지 10 중량%, 바람직하게는 0.01 내지 5 중량%, 더욱 바람직하게는 0.01 내지 3 중량%로 포함될 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The additive may be appropriately added in a range that does not impair the purpose of the present invention, for example, 0.01 to 10% by weight, preferably 0.01 to 5% by weight, more preferably based on 100% by weight of the total black photosensitive resin composition may be included in 0.01 to 3% by weight, but is not limited thereto.
본 발명에 따른 흑색 감광성 수지 조성물은 특정 실세스퀴옥산 화합물을 포함함으로써, 심부경화 감도를 향상시키고, 제조된 미세패턴의 밀착성, 경시 안정성을 개선할 수 있는 이점이 있다.The black photosensitive resin composition according to the present invention includes a specific silsesquioxane compound, thereby improving sensitivity for deep curing, and improving adhesion and stability over time of the prepared micropattern.
<< 경화막cured film 및 블랙 매트릭스> and Black Matrix>
본 발명의 다른 양태는, 전술한 흑색 감광성 수지 조성물의 경화물을 포함하는 경화막에 관한 것이다.Another aspect of this invention relates to the cured film containing the hardened|cured material of the black photosensitive resin composition mentioned above.
상기 경화막은 특정 실세스퀴옥산 화합물을 포함하기 때문에 밀착성과 경화도가 우수한 이점이 있다. Since the cured film contains a specific silsesquioxane compound, there is an advantage in excellent adhesion and curing degree.
본 발명의 또 다른 양태는, 전술한 경화막을 포함하는 컬러필터의 블랙 매트릭스에 관한 것이다.Another aspect of this invention relates to the black matrix of the color filter containing the cured film mentioned above.
상기 블랙 매트릭스의 도입은 경화막 형성 후 포토리쏘그래피 방법을 통해 패터닝하여 형성할 수 있다. The introduction of the black matrix may be formed by patterning through a photolithography method after forming a cured film.
포토리쏘그래피 방법은 본 발명에서 특별히 한정하지 않으며, 감광성 수지 조성물을 이용한 공지의 방법이면 어느 것이든 적용 가능하다. 일 예로서 다음과 같은 단계를 포함할 수 있다:The photolithography method is not particularly limited in the present invention, and any known method using the photosensitive resin composition is applicable. An example may include the following steps:
a) 기판에 흑색 감광성 수지 조성물을 도포하는 단계;a) applying a black photosensitive resin composition to the substrate;
b) 용제를 건조시키는 프리베이크 단계;b) a pre-baking step of drying the solvent;
c) 얻어진 경화막 위에 포토 마스크를 대어 활성 광선을 조사해 노광부를 경화시키는 단계;c) applying a photomask on the obtained cured film and irradiating actinic light to cure the exposed portion;
d) 알칼리 수용액을 이용하여 미노광부를 용해시켜 현상 공정을 수행하는 단계; 및d) performing a developing process by dissolving the unexposed part using an aqueous alkali solution; and
e) 건조 및 포스트 베이크 수행단계e) Drying and post-baking steps
상기 기판은 유리 기판이나 폴리머 판이 사용된다. 유리 기판으로는, 특히 소다 석회 유리, 바륨 또는 스트론튬 함유 유리, 납유리, 알루미노규산 유리, 붕규산 유리, 바륨 붕규산 유리 또는 석영 등이 바람직하게 사용할 수 있다. 또 폴리머 판으로는, 폴리카보네이트, 아크릴, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리에테르 설파이드 또는 폴리 설폰 등을 들 수 있다.The substrate is a glass substrate or a polymer plate is used. As a glass substrate, especially soda-lime glass, barium or strontium containing glass, lead glass, aluminosilicate glass, borosilicate glass, barium borosilicate glass, quartz, etc. can be used preferably. Examples of the polymer plate include polycarbonate, acrylic, polyethylene terephthalate, polyether sulfide or polysulfone.
이때 도포는 원하는 두께를 얻을 수 있도록 롤 코터, 스핀 코터, 슬릿 앤드 스핀 코터, 슬릿 코터(다이 코터라고도 하는 경우가 있음), 잉크젯 등의 도포 장치를 이용한 습식 코팅 방법에 의해 수행될 수 있다.In this case, the coating may be performed by a wet coating method using an application device such as a roll coater, a spin coater, a slit and spin coater, a slit coater (sometimes referred to as a die coater), or an inkjet so as to obtain a desired thickness.
상기 프리베이크는 오븐, 핫 플레이트 등에 의해 가열함으로써 행해진다. 이때 프리베이크에 있어서의 가열 온도 및 가열 시간은 사용하는 용제에 따라 적의 선택 되어 예를 들면, 80 ~ 150℃의 온도로 1 ~ 30분간 행해진다.The said prebaking is performed by heating with an oven, a hot plate, etc. At this time, the heating temperature and heating time in the prebaking are appropriately selected according to the solvent to be used, and are performed at a temperature of, for example, 80 to 150° C. for 1 to 30 minutes.
또, 프리베이크 후에 행해지는 노광은, 노광기에 의해 행해져 포토 마스크를 통하여 노광함으로써 패턴에 대응한 부분만을 감광시킨다. 이때 조사하는 빛은, 예를 들면, 가시광선, 자외선, X선 및 전자선 등이 가능하다.Moreover, exposure performed after a prebaking is performed by an exposure machine, and only the part corresponding to a pattern is exposed by exposing through a photomask. In this case, the irradiated light may be, for example, visible light, ultraviolet light, X-ray, electron beam, or the like.
노광 후의 알칼리 현상 비노광 부분의 제거되지 않는 부분의 감광성 수지 조성물을 제거하는 목적으로 행해져 이 현상에 의해 원하는 패턴이 형성된다. 이 알칼리 현상에 적합한 현상액으로는, 예를 들면 알칼리 금속이나 알칼리 토류 금속의 탄산염의 수용액 등을 사용할 수 있다. 특히, 탄산나트륨, 탄산칼륨, 탄산 리튬등의 탄산염을 1 ~ 3중량%를 함유하는 미만 알칼리 수용액을 이용하여 10 ~ 50℃, 바람직하게는 20 ~ 40℃의 온도 내에서 현상기 또는 초음파 세정기 등을 이용하여 수행한다.Alkali development after exposure It is performed for the purpose of removing the photosensitive resin composition of the part which is not removed of a non-exposed part, and a desired pattern is formed by this development. As a developing solution suitable for this alkali development, the aqueous solution of the carbonate of an alkali metal or alkaline-earth metal, etc. can be used, for example. In particular, using an aqueous alkali solution containing less than 1 to 3% by weight of carbonates such as sodium carbonate, potassium carbonate, and lithium carbonate, a developer or ultrasonic cleaner is used at a temperature of 10 to 50° C., preferably 20 to 40° C. to do it
상기 포스트 베이크는 패터닝 된 막과 기판과의 밀착성을 높이기 위해서 수행하며, 100 ~ 250℃에서 10 ~ 120분의 조건으로 열처리를 통해 이루어진다. 포스트 베이크 프리베이크와 같게, 오븐, 핫 플레이트 등을 이용하여 수행한다.The post-baking is performed to increase adhesion between the patterned film and the substrate, and is performed through heat treatment at 100 to 250° C. for 10 to 120 minutes. Post-bake As with pre-bake, it is performed using an oven, a hot plate, or the like.
본 발명에 따른 흑색 감광성 수지 조성물은 블랙 매트릭스 이외에도, 필요에 따라 컬럼 스페이서 또는 블랙 매트릭스 일체형 컬럼 스페이서에 적용이 가능하다.The black photosensitive resin composition according to the present invention can be applied to a column spacer or a black matrix-integrated column spacer, if necessary, in addition to the black matrix.
구체적으로, 본 발명에 따른 흑색 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조된 경화막 및 블랙 매트릭스는 액정 디스플레이, OLDE 등과 같은 다양한 화상표시장치에 유용하게 적용이 가능하다.Specifically, the cured film and the black matrix prepared by using the black photosensitive resin composition according to the present invention can be usefully applied to various image display devices such as liquid crystal displays and OLDEs.
이하, 본 명세서를 구체적으로 설명하기 위해 실시예를 들어 상세히 설명한다. 그러나, 본 명세서에 따른 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 명세서의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들에 한정되는 것으로 해석되지는 않는다. 본 명세서의 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 명세서를 보다 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 또한, 이하에서 함유량을 나타내는 "%" 및 "부"는 특별히 언급하지 않는 한 중량 기준이다.Hereinafter, examples will be given to describe the present specification in detail. However, the embodiments according to the present specification may be modified in various other forms, and the scope of the present specification is not to be construed as being limited to the embodiments described below. The embodiments of the present specification are provided to more completely explain the present specification to those of ordinary skill in the art. In addition, "%" and "part" indicating the content hereinafter are based on weight unless otherwise specified.
합성예Synthesis example : 바인더 수지: Binder resin
교반기, 온도계, 환류 냉각관, 적하 깔때기 및 질소 도입관을 구비한 내용적 1 리터의 분리형 플라스크에 메톡시부틸아세테이트 270g을 투입, 80℃로 승온 후, 3,4-에폭시트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-9-일아크릴레이트와 3,4-에폭시트리시클로 [5.2.1.02,6]데칸-8-일아크릴레이트의 혼합물[50:50 (몰비)] 294g, 디시클로펜테닐아크릴레이트 14g, 아크릴산 42g 및 아조비스디메틸발레로니트릴 30g을 메톡시부틸아세테이트 350g에 용해시킨 혼합 용액을 5 시간에 걸쳐서 적하하고, 또한 3 시간 숙성함으로써 공중합체 용액[고형분(NV) 35.8 중량%]을 얻었다. 얻어진 공중합체의 산가(dry)는 90.5 KOH mg/g, 중량 평균 분자량(Mw)은 9500, 분산도(Mw/Mn)는 1.8이었다.270 g of methoxybutyl acetate was put into a 1 liter separable flask equipped with a stirrer, a thermometer, a reflux cooling tube, a dropping funnel and a nitrogen introduction tube, and the temperature was raised to 80° C., and then 3,4-epoxytricyclo[5.2.1.0 294 g of a mixture of 2,6 ]decan-9-ylacrylate and 3,4-epoxytricyclo[5.2.1.0 2,6 ]decan-8-ylacrylate [50:50 (molar ratio)], dicyclopentenyl A mixed solution obtained by dissolving 14 g of acrylate, 42 g of acrylic acid, and 30 g of azobisdimethylvaleronitrile in 350 g of methoxybutyl acetate was added dropwise over 5 hours, and further aged for 3 hours to obtain a copolymer solution [solid content (NV) 35.8 wt%] got The obtained copolymer had an acid value (dry) of 90.5 KOH mg/g, a weight average molecular weight (Mw) of 9500, and a degree of dispersion (Mw/Mn) of 1.8.
제조예manufacturing example : 착색 분산액의 제조: Preparation of colored dispersion
하기 표 1의 구성 및 조성에 따라 착색 분산액을 제조하였다. 구체적으로, 착색제로 OBP(락탐블랙), 분산 수지로 상기 합성예에 따른 바인더 수지를 사용하였으며, 분산제는 고분자 분산제(DisperBYK-2000)를 사용하였고, 용매로는 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(PGMEA)를 사용하였다. 이의 혼합물을 페인트 쉐이커로 상온에서 8시간 동안 분산처리하였다. 0.1mm 지르코니아 비드를 이용하여 분산을 진행하였으며, 분산 종료 후 필터하였다.A colored dispersion was prepared according to the composition and composition of Table 1 below. Specifically, OBP (lactam black) was used as the colorant, the binder resin according to the above synthesis example was used as the dispersion resin, the polymer dispersant (DisperBYK-2000) was used as the dispersant, and propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) was used as the solvent. was used. The mixture was dispersed for 8 hours at room temperature with a paint shaker. Dispersion was carried out using 0.1 mm zirconia beads, and after the dispersion was completed, it was filtered.
실시예Example 및 and 비교예comparative example : 흑색 감광성 수지 조성물의 제조: Preparation of black photosensitive resin composition
하기 표 2의 구성 및 조성에 따라 실시예 및 비교예에 따른 흑색 감광성 수지 조성물을 제조하였다.Black photosensitive resin compositions according to Examples and Comparative Examples were prepared according to the configuration and composition of Table 2 below.
분산제: DisperBYK-2000
바인더 수지: 합성예에 따른 바인더 수지
광중합성 화합물 : 트리펜타에리스리톨 옥타아크릴레이트(8관능기,#V802, 오사카유기화학社)
광중합 개시제: TR-PBG-327(트론리社)
실세스퀴옥산 화합물 a+c : 화학식 1 및 3으로 표시되는 잔기를 포함, 관능기 당량 250g/eq
실세스퀴옥산 화합물 b+c : 화학식 2 및 3으로 표시되는 잔기를 포함, 관능기 당량 280g/eq
실세스퀴옥산 화합물 c: 화학식 3으로 표시되는 잔기를 포함, 관능기 당량 0
티올계 실란 커플링제: 3-MPTS (3-Mercaptopropyl)trimethyoxysilmae)
첨가제: KBM-503 (신에츠사)
용제: PGMEA(프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트) Colored dispersion: Colored dispersion according to Preparation Example
Dispersant: DisperBYK-2000
Binder resin: Binder resin according to Synthesis Example
Photopolymerizable compound: tripentaerythritol octaacrylate (8-functional group, #V802, Osaka Organic Chemical Co., Ltd.)
Photoinitiator: TR-PBG-327 (Tronley)
Silsesquioxane compound a + c: including the residues represented by formulas 1 and 3, functional group equivalent 250 g / eq
Silsesquioxane compound b+c: including residues represented by formulas 2 and 3, functional group equivalent 280 g/eq
Silsesquioxane compound c: including a residue represented by Formula 3, functional group equivalent 0
Thiol-based silane coupling agent: 3-MPTS (3-Mercaptopropyl) trimethyoxysilmae)
Additive: KBM-503 (Shin-Etsu)
Solvent: PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate)
실험예Experimental example
(1) 밀착성 평가(1) Adhesion evaluation
5cm×5cm의 유리기판(코닝社)을 중성세제 및 물로 세정 후 건조하였다. 상기 유리기판 상에 상기 실시예 및 비교예에서 제조된 흑색 감광성 수지 조성물 각각을 최종 막 두께가 5.0㎛가 되도록 스핀 코팅을 하고, 100℃에서 선 소성하여 2분간 건조하여 용제를 제거하였다. 그런 다음, Line Pattern을 포함한 마스크로 노광량 150 mJ/cm2로 노광하고, 현상이 시작되는 시간의 400% 시간동안 현상 한 후 이어서 200℃에서 후 소성을 20분간 하여 Line Pattern을 형성하였다.A 5 cm × 5 cm glass substrate (Corning) was washed with a neutral detergent and water, and then dried. Each of the black photosensitive resin compositions prepared in Examples and Comparative Examples was spin-coated on the glass substrate to have a final film thickness of 5.0 μm, pre-baked at 100° C., and dried for 2 minutes to remove the solvent. Then, it was exposed to an exposure dose of 150 mJ/cm 2 with a mask including a line pattern, developed for 400% of the time to start development, and then post-fired at 200° C. for 20 minutes to form a line pattern.
제조된 기판은 광학현미경을 사용하여 기판상에 남아있는 최소 사이즈의 패턴을 확인하였으며, 실시예 1과 비교예 1에 따른 결과를 도 1 및 도 2에 나타내었다.The manufactured substrate was confirmed with the pattern of the minimum size remaining on the substrate using an optical microscope, and the results according to Example 1 and Comparative Example 1 are shown in FIGS. 1 and 2 .
또한, 하기 평가 기준을 이용하여 평가하여 그 결과를 하기 표 3에 나타내었다.In addition, it was evaluated using the following evaluation criteria, and the results are shown in Table 3 below.
[평가기준][Evaluation standard]
◎: 5㎛ 미만 패턴 유지◎: Maintain pattern less than 5㎛
○: 5㎛ 이상 8㎛ 미만 패턴 유지○: Maintain pattern of 5㎛ or more and less than 8㎛
△: 8㎛ 이상 9㎛ 미만 패턴 유지△: Maintaining a pattern of 8 μm or more and less than 9 μm
×: 9㎛ 이상 패턴 소실×: pattern loss of 9 μm or more
(2) (2) 잔막감도residual feeling 평가 evaluation
(1)과 동일한 방법으로 제작한 기판의 Line Pattern 가운데 10㎛ 선폭을 가진 Line의 막두께와 30㎛ 선폭을 가진 Line의 막두께를 비교하였다.Among the line patterns of the substrate fabricated in the same way as in (1), the film thickness of the line having a line width of 10 µm and the film thickness of the line having a line width of 30 µm were compared.
이 두 선폭의 막두께를 비교하여, 미세패턴(10um)에서 패턴의 높이 유지여부를 확인할 수 있다. 일반적으로, 미세패턴 형성을 위해 감도를 낮출 경우 미세패턴의 상부가 깎여나가 패턴의 높이가 낮아지는 문제 발생한다.By comparing the film thicknesses of these two line widths, it can be confirmed whether the height of the pattern is maintained in the fine pattern (10um). In general, when the sensitivity is lowered to form a fine pattern, the upper portion of the fine pattern is scraped off, resulting in a problem that the height of the pattern is lowered.
하기 평가기준을 이용하여 잔막감도를 평가하여 그 결과를 하기 표 3에 나타내었다.The residual film sensitivity was evaluated using the following evaluation criteria, and the results are shown in Table 3 below.
[평가기준][Evaluation standard]
○: 10㎛ 패턴 높이/30㎛ 패턴의 높이(%)가 90% 이상○: 10㎛ pattern height / 30㎛ pattern height (%) is 90% or more
△: 10㎛ 패턴 높이/30㎛ 패턴의 높이(%)가 80% 이상 90% 미만△: 10 µm pattern height/30 µm pattern height (%) is 80% or more and less than 90%
×: 10㎛ 패턴 높이/30㎛ 패턴의 높이(%)가 80% 미만×: 10 µm pattern height/30 µm pattern height (%) is less than 80%
(3) 경시 안정성(3) Stability over time
실시예 및 비교예에 따른 흑색 감광성 수지 조성물을 상온에서 방치하고 0일차와, 15일차에 (1)과 동일한 방법으로 밀착성을 평가하여 그 결과를 하기 평가기준을 이용하여 비교하여 그 결과를 하기 표 3에 나타내었다.The black photosensitive resin compositions according to Examples and Comparative Examples were left at room temperature, and the adhesion was evaluated on the 0th and 15th days in the same manner as (1), and the results were compared using the following evaluation criteria and the results are shown in the table below. 3 is shown.
[평가기준][Evaluation standard]
◎: 0일차 결과와 동등◎: Equivalent to Day 0 result
○: 3㎛ 이하 차이○: difference of 3㎛ or less
△: 3㎛ 초과 5㎛ 이하 차이△: difference greater than 3 μm and less than or equal to 5 μm
×: 5㎛ 초과×: more than 5 μm
상기 표 3, 도 1 및 도 2를 보면 알 수 있듯이, 본 발명에 따른 흑색 감광성 수지 조성물을 이용하는 경우 밀착성, 잔막감도 및 경시 안정성 모두 우수한 것을 알 수 있다.As can be seen from Table 3, FIGS. 1 and 2 , when the black photosensitive resin composition according to the present invention is used, it can be seen that all of the adhesiveness, the residual film sensitivity and the stability over time are excellent.
Claims (9)
상기 실세스퀴옥산 화합물은 알킬기를 더 함유하는 것인 흑색 감광성 수지 조성물.According to claim 1,
The silsesquioxane compound is a black photosensitive resin composition that further contains an alkyl group.
상기 실세스퀴옥산 화합물은 하기 화학식 1 또는 2로 표시되는 잔기를 포함하는 것인 흑색 감광성 수지 조성물:
[화학식 1]
[화학식 2]
.According to claim 1,
The silsesquioxane compound is a black photosensitive resin composition comprising a residue represented by the following Chemical Formula 1 or 2:
[Formula 1]
[Formula 2]
.
상기 실세스퀴옥산 화합물은 하기 화학식 3으로 표시되는 잔기를 포함하는 것인 흑색 감광성 수지 조성물:
[화학식 3]
.3. The method of claim 2,
The silsesquioxane compound is a black photosensitive resin composition comprising a residue represented by the following Chemical Formula 3:
[Formula 3]
.
상기 실세스퀴옥산 화합물은 상기 흑색 감광성 수지 조성물 전체 100 중량%에 대하여 0.1 내지 10 중량%로 포함되는 것인 흑색 감광성 수지 조성물.According to claim 1,
The silsesquioxane compound is included in an amount of 0.1 to 10% by weight based on 100% by weight of the total black photosensitive resin composition.
티올계 실란 커플링제를 더 포함하는 것인 흑색 감광성 수지 조성물.According to claim 1,
The black photosensitive resin composition further comprising a thiol-based silane coupling agent.
바인더 수지, 광중합성 화합물, 광중합 개시제, 흑색 안료를 포함하는 착색제, 용제 및 첨가제로 이루어진 군에서 선택되는 1 이상을 더 포함하는 것인 흑색 감광성 수지 조성물.According to claim 1,
A black photosensitive resin composition further comprising at least one selected from the group consisting of a binder resin, a photopolymerizable compound, a photoinitiator, a colorant including a black pigment, a solvent, and an additive.
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KR20120033893A (en) | 2010-09-30 | 2012-04-09 | 코오롱인더스트리 주식회사 | Photopolymerizable resin composition |
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