KR20210102125A - Gas supply apparatus having align function - Google Patents

Gas supply apparatus having align function Download PDF

Info

Publication number
KR20210102125A
KR20210102125A KR1020210093577A KR20210093577A KR20210102125A KR 20210102125 A KR20210102125 A KR 20210102125A KR 1020210093577 A KR1020210093577 A KR 1020210093577A KR 20210093577 A KR20210093577 A KR 20210093577A KR 20210102125 A KR20210102125 A KR 20210102125A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
valve
connector
alignment
unit
fixing block
Prior art date
Application number
KR1020210093577A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102398266B1 (en
Inventor
박용건
이상욱
김용철
서철교
김상진
Original Assignee
주식회사 케이씨
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 케이씨 filed Critical 주식회사 케이씨
Priority to KR1020210093577A priority Critical patent/KR102398266B1/en
Publication of KR20210102125A publication Critical patent/KR20210102125A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102398266B1 publication Critical patent/KR102398266B1/en

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F17C13/08—Mounting arrangements for vessels
    • F17C13/084—Mounting arrangements for vessels for small-sized storage vessels, e.g. compressed gas cylinders or bottles, disposable gas vessels, vessels adapted for automotive use
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F17C13/04—Arrangement or mounting of valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C1/00—Pressure vessels, e.g. gas cylinder, gas tank, replaceable cartridge
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F17C13/002—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels for vessels under pressure
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C7/00—Methods or apparatus for discharging liquefied, solidified, or compressed gases from pressure vessels, not covered by another subclass
    • F17C7/02—Discharging liquefied gases
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2201/00—Vessel construction, in particular geometry, arrangement or size
    • F17C2201/01—Shape
    • F17C2201/0104—Shape cylindrical
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2250/00—Accessories; Control means; Indicating, measuring or monitoring of parameters
    • F17C2250/06—Controlling or regulating of parameters as output values
    • F17C2250/0605—Parameters
    • F17C2250/0678—Position or presence
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2270/00—Applications
    • F17C2270/05—Applications for industrial use
    • F17C2270/0518—Semiconductors
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/30—Hydrogen technology
    • Y02E60/32—Hydrogen storage

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

The present invention provides a gas supply apparatus which can move vertically and allows alignment to be performed while transferred in a horizontal direction, thereby preventing an alignment unit from being damaged. The gas supply apparatus of the present invention comprises: an upper module having a main plate installed to be fixed to the top side from a valve unit disposed on the top of a container; and a lower module capable of moving vertically against the upper module to include a cover detaching unit for detaching a cover which covers a valve connector disposed in the valve unit from the valve connector, a connector coupling unit for connecting a connecting pipe connector which is connected to a consumer for gas to the valve connector, and a second alignment unit joined to the first alignment unit disposed in the valve unit when transferred in a horizontal direction, thereby aligning the container.

Description

얼라인 기능이 구비된 가스공급장치{Gas supply apparatus having align function}Gas supply apparatus having align function

본 발명은 가스공급장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 가스 저장 용기의 교체시 가스 저장 용기의 밸브 커넥터와 가스소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 체결하기 전에 가스 저장 용기를 얼라인할 수 있는 가스공급장치에 관한 것이다.The present invention relates to a gas supply device, and more particularly, when replacing a gas storage container, a gas capable of aligning a gas storage container before fastening a valve connector of the gas storage container and a connecting pipe connector connected to a gas consumer It's about the supply.

일반적으로 가스를 이용하는 장치, 특히, 반도체장비와 같이 정밀한 작업이 수행되는 가스소요처에 가스를 공급하는 장치의 경우, 각각의 목적에 적합한 종류의 가스가 일정한 농도와 압력 등을 만족할 것이 요구된다.In general, in the case of an apparatus using gas, in particular, an apparatus for supplying gas to a gas consumer where precise work is performed such as semiconductor equipment, a type of gas suitable for each purpose is required to satisfy a certain concentration and pressure.

이를 효율적으로 제공하기 위해 많은 종류의 가스가 고압 상태로 보관되며, 특히 가연성, 독성, 부식성 등의 유해 성질을 가지는 가스는 인적이 차단된 별도의 공간에서 엄중하게 관리된다.In order to efficiently provide this, many kinds of gases are stored under high pressure, and in particular, gases having harmful properties such as flammability, toxicity, and corrosiveness are strictly managed in a separate space where people are blocked.

가스를 보관하는 가스 저장 용기(이하, '용기'라 약칭함)는 가스소요처에 연결되며, 용기에 보관된 가스가 모두 소모되면, 가스소요처에 연결된 연결배관을 가스용기의 밸브로부터 분리하여 용기를 교체한 후 교체된 용기의 밸브 커넥터에 가스소요처에 연결된 연결배관 커넥터를 결합시켜 가스를 다시 공급하게 된다.A gas storage container (hereinafter abbreviated as 'container') that stores gas is connected to the gas consumer, and when all the gas stored in the container is consumed, the connection pipe connected to the gas consumer is separated from the valve of the gas container. After replacing the container, the valve connector of the replaced container is connected to the connecting pipe connector connected to the gas consumer to supply gas again.

이와 같이 용기를 교체하는 경우 작업자가 용기를 용기 적재부의 정위치에 올려 놓아야 하지만, 용기를 정위치에 올려놓기 위한 자동화 장치가 구비되지 않으면, 작업자가 가스통을 정확히 정위치에 올려놓기가 어려운 문제점이 있다. When replacing the container in this way, the operator must put the container in the correct position of the container loading part, but if an automated device for placing the container in the correct position is not provided, it is difficult for the operator to put the gas cylinder in the correct position. have.

물론, 자동화 장치를 구비하게 되면, 용기를 정위치에 올려 놓는 것이 가능하지만, 장치의 구성이 복잡하고, 제조비용이 높은 문제점이 있다.Of course, if the automated device is provided, it is possible to put the container in place, but there are problems in that the configuration of the device is complicated and the manufacturing cost is high.

반도체 장비의 가스공급장치에 대한 종래기술로서, 대한민국 등록특허 제10-0242982호가 공개되어 있다.As a prior art for a gas supply device for semiconductor equipment, Korean Patent Registration No. 10-0242982 has been disclosed.

본 발명은 상술한 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 수직방향으로 승하강 가능함과 동시에 수평방향 이송시 얼라인이 이루어지도록 함으로써 얼라인부의 파손을 방지할 수 있는 가스공급장치를 제공하고자 함에 그 목적이 있다.The present invention has been devised to solve the above-described problems, and it is intended to provide a gas supply device capable of preventing damage to the alignment part by allowing vertical elevation and lowering and alignment during horizontal transport. There is a purpose.

본 발명의 다른 목적은 수평방향 이송시 얼라인부의 회전이 가능하도록 함으로써 보다 정확한 얼라인이 이루어지도록 하는 가스공급장치를 제공하고자 함에 있다.Another object of the present invention is to provide a gas supply device that enables more accurate alignment by enabling rotation of an alignment unit during horizontal transfer.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 얼라인 기능이 구비된 가스공급장치는, 용기의 상단에 구비된 밸브부로부터 상측에 설치된 메인플레이트를 구비한 상부모듈; 상기 밸브부에 구비된 밸브 커넥터를 덮는 커버를 상기 밸브 커넥터로부터 분리하는 커버 분리부와, 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 상기 밸브 커넥터에 연결하기 위한 커넥터 체결부를 포함하는 하부모듈; 상기 밸브부에 결합된 고정블럭;을 포함하고, 상기 고정블럭에 구비된 제1결합부와, 상기 하부모듈에 구비된 제2결합부가 결합되어 상기 고정블럭과 상기 하부모듈의 결합된 상태가 유지된다.In order to achieve the above object, there is provided a gas supply device with an align function of the present invention, comprising: an upper module having a main plate installed on an upper side from a valve unit provided at an upper end of a container; a lower module including a cover separating part for separating a cover for covering the valve connector provided in the valve part from the valve connector, and a connector coupling part for connecting a connecting pipe connector connected to a gas source to the valve connector; and a fixing block coupled to the valve part, wherein the first coupling part provided in the fixing block and the second coupling part provided in the lower module are coupled to maintain the coupled state of the fixing block and the lower module. do.

상기 제2결합부는 상기 하부모듈의 외측에 구비된 측면 하우징에 결합된 얼라인 블럭에 구비될 수 있다.The second coupling part may be provided in an alignment block coupled to a side housing provided outside the lower module.

상기 제2결합부는 상기 얼라인 블럭에서 상기 밸브부를 향하는 면에 구비될 수 있다.The second coupling unit may be provided on a surface of the alignment block facing the valve unit.

상기 제2결합부는 상기 얼라인 블록에서 상기 제1결합부를 향해 돌출된 고정블럭 결합부재로 이루어질 수 있다.The second coupling part may be formed of a fixing block coupling member protruding from the alignment block toward the first coupling part.

상기 제1결합부는 상기 고정블럭 결합부재가 삽입되도록 상기 고정블럭에 형성된 고정홈으로 이루어지고; 상기 고정블럭 결합부재가 상기 고정홈에 삽입되면, 상기 고정블럭 결합부재가 상기 고정홈으로부터 빠짐이 방지되고, 에어를 공급하면 상기 고정블럭 결합부재가 상기 고정홈으로부터 빠지도록 구비될 수 있다.The first coupling part is made of a fixing groove formed in the fixing block so that the fixing block coupling member is inserted; When the fixing block coupling member is inserted into the fixing groove, the fixing block coupling member is prevented from being pulled out from the fixing groove, and when air is supplied, the fixing block coupling member may be provided so as to be removed from the fixing groove.

상기 고정블럭은, 가스의 공급을 단속하기 위한 밸브가 개폐되도록 하는 핸들이 상부로 노출되고, 상기 밸브 커넥터가 상기 연결배관 커넥터가 위치한 방향으로 노출되도록 상기 밸브부를 감싸는 제1고정블럭과 제2고정블럭으로 이루어질 수 있다.The fixing block includes a first fixing block and a second fixing block surrounding the valve so that a handle for opening and closing a valve for controlling the supply of gas is exposed at an upper portion, and the valve connector is exposed in a direction in which the connecting pipe connector is located. It can be made of blocks.

상기 제1고정블럭은 수평방향의 길이를 갖되, 상기 수평방향의 일측부가 상기 밸브부를 감싸고, 상기 수평방향의 타측부에 상기 제1결합부가 구비될 수 있다.The first fixing block may have a length in a horizontal direction, one side of the horizontal direction surrounds the valve unit, and the first coupling unit may be provided on the other side of the horizontal direction.

본 발명에 의하면, 하부모듈이 수직방향으로 승하강 가능함과 동시에 수평방향 이송시 얼라인이 이루어지도록 함으로써 얼라인부의 파손을 방지할 수 있다.According to the present invention, it is possible to prevent damage to the alignment part by allowing the lower module to be vertically moved and aligned during horizontal transfer.

또한, 하부모듈이 상부모듈에 대하여 회전 가능하도록 함으로써 얼라인이 보다 정확하게 이루어질 수 있다.In addition, by making the lower module rotatable with respect to the upper module, alignment can be performed more accurately.

또한, 작업자가 용기를 용기 적재부의 정확한 위치에 올려 놓지 않더라도 용기의 정확한 얼라인이 이루어질 수 있으므로, 작업이 편리해진다.In addition, since the correct alignment of the container can be achieved even if the operator does not put the container on the correct position of the container loading part, the operation is convenient.

도 1은 본 발명의 가스공급장치를 보여주는 사시도
도 2는 본 발명의 가스공급장치에서 용기에 밸브고정모듈이 결합된 상태를 보여주는 사시도
도 3은 본 발명의 가스공급장치의 상부모듈을 보여주는 사시도
도 4는 본 발명의 가스공급장치의 하부모듈을 보여주는 사시도
도 5는 본 발명의 가스공급장치에서 플러그 모듈과 가스켓 공급부를 보여주는 사시도
도 6은 본 발명의 가스공급장치에서 제1얼라인부와 제2얼라인부가 대향하도록 위치된 상태를 보여주는 평면도
도 7은 도 6의 상태에서 하부모듈을 전진시켜 제1얼라인부와 제2얼라인부가 결합된 상태를 보여주는 평면도
도 8은 도 7의 상태에서 커버 분리부가 전진하여 커버에 결합된 상태를 보여주는 평면도
도 9는 도 8의 상태에서 커넥터 체결부가 밸브 커넥터에 대향하도록 위치된 상태를 보여주는 평면도
도 10은 도 9의 상태에서 가스켓 공급부로부터 밸브 커넥터에 가스켓이 공급되는 상태를 보여주는 평면도
도 11은 도 10의 상태에서 가스켓 홀더가 이동하고, 커넥터 체결부와 밸브 커넥터가 연결된 상태를 보여주는 평면도1 is a perspective view showing a gas supply device of the present invention;
2 is a perspective view showing a state in which the valve fixing module is coupled to the container in the gas supply device of the present invention;
3 is a perspective view showing an upper module of the gas supply device of the present invention;
4 is a perspective view showing a lower module of the gas supply device of the present invention;
5 is a perspective view showing a plug module and a gasket supply unit in the gas supply device of the present invention;
6 is a plan view showing a state in which the first alignment unit and the second alignment unit are positioned to face each other in the gas supply device of the present invention;
7 is a plan view showing a state in which the first alignment part and the second alignment part are combined by advancing the lower module in the state of FIG. 6;
8 is a plan view showing a state in which the cover separation unit advances and is coupled to the cover in the state of FIG.
9 is a plan view showing a state in which the connector fastening part is positioned to face the valve connector in the state of FIG. 8;
10 is a plan view illustrating a state in which a gasket is supplied to the valve connector from the gasket supply unit in the state of FIG. 9 ;
11 is a plan view illustrating a state in which the gasket holder moves and the connector fastening part and the valve connector are connected in the state of FIG. 10 ;

이하 본 발명에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

여기서 방향을 지칭함에 있어서, 도 1에 도시된 X축은 좌우 방향, Y축은 전후 방향, Z축은 수직방향이라 한다. 또한, 수평 방향이라 함은 XY평면에 의해 이루어지는 상기 좌우 방향과 전후 방향이 포함된다.Herein, in referring to the direction, the X-axis shown in FIG. 1 is the left-right direction, the Y-axis is the front-back direction, and the Z-axis is the vertical direction. In addition, the horizontal direction includes the left-right direction and the front-rear direction formed by the XY plane.

도 1을 참조하면, 본 발명의 얼라인 기능이 구비된 가스공급장치(1)는, 용기(10)의 상단에 구비된 밸브부로부터 상측에 고정되도록 설치된 메인플레이트(211)를 구비한 상부모듈(2), 상기 상부모듈(2)의 하부에 구비되고 수평방향 이송시 상기 용기(10) 측에 구비된 제1얼라인부(530; 도 2)와의 결합에 의해 상기 용기(10)의 얼라인이 이루어지는 제2얼라인부(351; 도 4)를 포함하되 상기 상부모듈(2)에 대하여 수직방향으로 승하강이 가능한 하부모듈(3)을 포함하여 이루어진다.Referring to FIG. 1 , the gas supply device 1 having an align function according to the present invention includes an upper module having a main plate 211 installed to be fixed to the upper side from the valve unit provided at the upper end of the container 10 . (2), alignment of the container 10 by coupling with the first alignment part 530 (FIG. 2) provided on the lower part of the upper module 2 and provided on the container 10 side when transported in the horizontal direction The second alignment part 351 (FIG. 4) made of this, but including a lower module 3 capable of lifting and lowering in the vertical direction with respect to the upper module (2).

도 2를 참조하면, 상기 용기(10)는 반도체장치 등의 가스소요처에 공급되는 공정 가스를 저장하여 공급하기 위한 구성으로, 용기(10)의 상부에는 상기 밸브부가 구비된다. Referring to FIG. 2 , the container 10 is configured to store and supply process gas supplied to a gas demanding place such as a semiconductor device, and the valve part is provided at the upper portion of the container 10 .

상기 밸브부는, 가스의 공급을 단속하기 위한 밸브(20)와, 상기 밸브(20)의 일측에 구비되어 커넥터 체결부(330)에 체결되는 밸브 커넥터(30)와, 상기 밸브 커넥터(30)의 덮는 커버(31)와, 상기 밸브(20)를 개폐하는 밸브 셔터(40)와, 상기 밸브 셔터(40)의 상부에 연결되어 회전됨에 따라 밸브 셔터(40)를 승강시켜 밸브(20)가 개폐되도록 하는 핸들(50)을 포함하여 구성된다.The valve part includes a valve 20 for controlling the supply of gas, a valve connector 30 provided on one side of the valve 20 and fastened to the connector fastening part 330 , and the valve connector 30 . The cover 31 for covering, the valve shutter 40 for opening and closing the valve 20, is connected to the upper portion of the valve shutter 40 and rotates to raise and lower the valve shutter 40 to open and close the valve 20 It is configured to include a handle (50) to be so.

상기 밸브부에는 고정블럭(510,520)이 결합되어 있다. 상기 고정블럭(510,520)에는 상기 제1얼라인부(530)가 구비되어 있다. Fixing blocks 510 and 520 are coupled to the valve unit. The first alignment part 530 is provided in the fixing blocks 510 and 520 .

상기 고정블럭(510,520)은 상기 밸브부를 감싸는 제1고정블럭(510)과 제2고정블럭(520)으로 이루어질 수 있다. The fixing blocks 510 and 520 may include a first fixing block 510 and a second fixing block 520 surrounding the valve unit.

상기 제1고정블럭(510)과 제2고정블럭(520)의 결합에 의해 상기 밸브부를 감싸게 되면, 상기 밸브부 중 상기 밸브 커넥터(30) 및 커버(31)가 상기 고정블럭(510,520)에 대하여 측방향으로 돌출되어 노출되고, 상기 밸브부 중 상기 핸들(50)이 상기 고정블럭(510,520)에 대하여 상방향으로 돌출되어 노출된다.When the valve part is surrounded by the coupling of the first fixing block 510 and the second fixing block 520 , the valve connector 30 and the cover 31 of the valve part are connected to the fixing blocks 510 and 520 . It protrudes laterally and is exposed, and the handle 50 of the valve part protrudes upward with respect to the fixing blocks 510 and 520 and is exposed.

상기 제1고정블럭(510)은 수평방향의 길이를 갖되, 상기 수평방향의 일측부가 상기 밸브부를 감싸고, 상기 수평방향의 타측부에 상기 제1얼라인부(530)가 구비되어 있다.The first fixing block 510 has a length in a horizontal direction, one side of the horizontal direction surrounds the valve unit, and the first alignment unit 530 is provided on the other side of the horizontal direction.

상기 제1고정블럭(510)의 일측부는 상기 밸브부가 수용되도록 홈이 형성되어 있고, 상기 홈에 상기 밸브부가 수용된 상태에서 상기 제2고정블럭(520)을 이용하여 상기 밸브부를 감싸도록 한 후, 결합핀(540)을 이용하여 제1고정블럭(510)과 제2고정블럭(520)이 결합된 상태를 유지하도록 되어 있다.A groove is formed in one side of the first fixing block 510 to accommodate the valve portion, and the second fixing block 520 is used to surround the valve portion in a state in which the valve portion is accommodated in the groove, The first fixing block 510 and the second fixing block 520 are maintained in a coupled state by using the coupling pin 540 .

상기 제1얼라인부(530)는 상기 제1고정블럭(510)의 측면에서 상기 밸브 커넥터(30)와 같은 방향인 X축 방향으로 돌출되어 수평방향의 길이를 갖는 얼라인핀(530)으로 이루어질 수 있다.The first alignment part 530 is formed of an alignment pin 530 protruding from the side surface of the first fixing block 510 in the X-axis direction, which is the same direction as the valve connector 30 , and having a length in the horizontal direction. can

상기 제2얼라인부(351)는 후술하는 하부모듈(3)의 얼라인 블럭(350; 도 4)에 형성된 얼라인핀 삽입홈(351)으로 이루어질 수 있다.The second alignment part 351 may be formed of an alignment pin insertion groove 351 formed in an alignment block 350 (FIG. 4) of the lower module 3 to be described later.

상기 얼라인핀(530)이 상기 얼라인핀 삽입홈(351)에 삽입되도록 함으로써 상기 용기(10)의 얼라인이 이루어진다.The alignment of the container 10 is achieved by allowing the alignment pin 530 to be inserted into the alignment pin insertion groove 351 .

본 실시예에서는 제1얼라인부(530)가 얼라인핀으로 이루어지고, 제2얼라인부(351)가 얼라인핀 삽입홈으로 이루어진 것으로 예시하였으나, 제1얼라인부를 얼라인핀 삽입홈으로 구성하고, 제2얼라인부를 얼라인핀으로 구성할 수도 있다.In the present embodiment, the first alignment unit 530 is formed of an alignment pin and the second alignment unit 351 is formed of an alignment pin insertion groove, but the first alignment unit is configured as an alignment pin insertion groove. In addition, the second alignment unit may be configured as an alignment pin.

또한, 본 실시예에서는 얼라인핀이 얼라인핀 삽입홈에 삽입되는 것으로 예시하였으나, 이에 한정되지 않고 제1얼라인부와 제2얼라인부가 체결 또는 결합되는 것으로 구성할 수도 있다. 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부가 삽입, 체결, 결합되는 방식을 통칭하여 '결합'으로 정의한다.In addition, in the present embodiment, the alignment pin is exemplified as being inserted into the alignment pin insertion groove, but the present invention is not limited thereto, and the first alignment unit and the second alignment unit may be coupled or coupled. A method in which the first alignment part and the second alignment part are inserted, fastened, and coupled is collectively defined as 'coupled'.

상기 제1고정블럭(510)에는 상기 제1얼라인부(530)에 인접한 위치에 제1결합부(511)가 구비되어 있고, 상기 제1결합부(511)와 결합이 이루어지는 제2결합부(352)가 상기 하부모듈(3)에 구비되어 있다.A first coupling part 511 is provided in the first fixing block 510 at a position adjacent to the first alignment part 530 , and a second coupling part coupled to the first coupling part 511 ( 352 is provided in the lower module 3 .

상기 제1결합부(511)는 상기 제1고정블럭(510)에서 상기 제1얼라인부(530)가 형성된 면과 같은 면에 X방향을 따라 오목하게 형성된 고정홈(511)으로 이루어질 수 있다.The first coupling part 511 may be formed of a fixing groove 511 concave along the X-direction on the same surface of the first fixing block 510 on which the first alignment part 530 is formed.

상기 제2결합부(352)는 상기 제2얼라인부(351)에 인접한 위치의 얼라인 블럭(350)에서 상기 제1결합부(511)를 향하여 돌출된 고정블럭 결합부재(352)로 이루어질 수 있다.The second coupling part 352 may be formed of a fixing block coupling member 352 protruding toward the first coupling part 511 from the alignment block 350 at a position adjacent to the second alignment part 351 . have.

상기 고정블럭 결합부재(352)의 외측면에는 복수의 돌기(352a)가 구비되고, 상기 복수의 돌기(352a)는 내부에 구비된 스프링(미도시)에 의해 탄성지지되어 있다. 상기 고정홈(511)의 내부에는 상기 돌기(352a)가 삽입되는 돌기삽입홈(미도시)이 형성되어 있다. 상기 고정블럭 결합부재(352)가 상기 고정홈(511)에 삽입되면, 상기 돌기(352a)가 상기 돌기삽입홈에 삽입되어, 상기 고정블럭 결합부재(352)가 상기 고정홈(511)으로부터 빠짐이 방지되어, 상기 하부모듈(3)이 상기 제1고정블럭(510)에 결합된 상태를 유지할 수 있다.A plurality of protrusions 352a are provided on the outer surface of the fixing block coupling member 352, and the plurality of protrusions 352a are elastically supported by a spring (not shown) provided therein. A projection insertion groove (not shown) into which the projection 352a is inserted is formed in the fixing groove 511 . When the fixing block coupling member 352 is inserted into the fixing groove 511 , the projection 352a is inserted into the projection insertion groove, and the fixing block coupling member 352 is removed from the fixing groove 511 . This is prevented, and the lower module 3 can maintain a state coupled to the first fixing block 510 .

상기 고정블럭 결합부재(352)를 고정홈(511)으로부터 빼내는 경우에는 에어(air)를 공급하여 상기 돌기(352a)가 상기 스프링의 탄성력을 극복하고 고정블럭 결합부재(352)의 표면으로부터 내측으로 들어가도록 하면, 상기 돌기(352a)가 상기 돌기삽입홈으로부터 빠져나온다. 따라서 상기 고정블럭 결합부재(352)가 고정홈(511)으로부터 빠질 수 있게 된다.When the fixing block coupling member 352 is withdrawn from the fixing groove 511, air is supplied so that the protrusion 352a overcomes the elastic force of the spring and moves inward from the surface of the fixing block coupling member 352. When it enters, the protrusion 352a comes out of the protrusion insertion groove. Accordingly, the fixing block coupling member 352 can be detached from the fixing groove 511 .

도 3을 참조하면, 상기 상부모듈(2)에는, 상기 메인플레이트(211), 중간플레이트(212), 하부플레이트(213), 제1이송가이드(220), 제2이송가이드(230), 제3이송가이드(241,242)가 구비되어 있다.Referring to FIG. 3 , the upper module 2 includes the main plate 211 , the intermediate plate 212 , the lower plate 213 , the first transfer guide 220 , the second transfer guide 230 , and the second transfer guide 230 . 3 transfer guides 241,242 are provided.

상기 메인플레이트(211)는 평판 형상으로 이루어진 것으로서, 도시되지 않은 캐비넷과 같이 위치가 고정된 상대물에 결합되어 있다. The main plate 211 is formed in a flat plate shape, and is coupled to an object having a fixed position, such as a cabinet (not shown).

상기 중간플레이트(212)는 상기 메인플레이트(211)의 하부에 이격되도록 구비되고, 상기 하부플레이트(213)는 상기 중간플레이트(212)의 하부에 이격되도록 구비되어 있다.The intermediate plate 212 is provided to be spaced apart from the lower portion of the main plate 211 , and the lower plate 213 is provided to be spaced apart from the lower portion of the intermediate plate 212 .

상기 제1이송가이드(220)는 상기 메인플레이트(211)와 중간플레이트(212) 사이에 구비되어, 상기 중간플레이트(212)와 제2이송가이드(230)와 하부플레이트(213) 및 하부모듈(3)을 포함하여 상기 중간플레이트(212)의 하부에 연결된 모든 부품을 수평방향인 X축 방향(제1방향)으로 이송되도록 가이드하는 LM가이드로 이루어질 수 있다.The first transfer guide 220 is provided between the main plate 211 and the intermediate plate 212, the intermediate plate 212, the second transfer guide 230, the lower plate 213 and the lower module ( 3) and may be made of an LM guide that guides all the parts connected to the lower part of the intermediate plate 212 to be transported in the horizontal X-axis direction (first direction).

상기 제2이송가이드(230)는 상기 중간플레이트(212)와 하부플레이트(213) 사이에 구비되어, 상기 하부플레이트(231) 및 하부모듈(3)을 포함하여 상기 하부플레이트(231)의 하부에 연결된 모든 부품을 수평방향으로서 X축에 직교하는 Y축 방향(제2방향)으로 이송되도록 가이드하는 LM가이드로 이루어질 수 있다.The second transfer guide 230 is provided between the intermediate plate 212 and the lower plate 213, and includes the lower plate 231 and the lower module 3, and is located at the lower part of the lower plate 231. It may be made of an LM guide that guides all the connected parts to be transported in the Y-axis direction (second direction) orthogonal to the X-axis as a horizontal direction.

상기 하부플레이트(213)에는 한 쌍의 이송가이드 결합플레이트(243,244)가 결합되어 있고, 상기 한 쌍의 이송가이드 결합플레이트(243,244) 각각에는 한 쌍의 제3이송가이드(241,242)가 각각 결합되어 있다.A pair of transport guide coupling plates 243 and 244 are coupled to the lower plate 213, and a pair of third transport guides 241,242 are coupled to each of the pair of transport guide coupling plates 243 and 244, respectively. .

상기 한 쌍의 이송가이드 결합플레이트(243,244)는 상기 하부플레이트(213)의 일측과 타측에 서로 대향하도록 구비되어 있고, 상하 방향의 길이를 갖는 플레이트 형상으로 이루어져 있다.The pair of transfer guide coupling plates 243 and 244 are provided to face each other on one side and the other side of the lower plate 213, and have a plate shape having a length in the vertical direction.

상기 제3이송가이드(241,242)의 하부에는 상기 하부모듈(3)이 결합되어 있고, 상기 제3이송가이드(241,242)는 상기 하부모듈(3)이 수직방향으로 이송되도록 가이드하는 LM가이드로 이루어질 수 있다.The lower module 3 is coupled to the lower portion of the third transfer guide 241,242, and the third transfer guide 241,242 may be made of an LM guide for guiding the lower module 3 to be transferred in the vertical direction. have.

상기 한 쌍의 제3이송가이드(241,242)의 하단부에는 한 쌍의 이송가이드 지지부재(251,252)가 각각 결합되어 있다.A pair of transfer guide support members 251,252 are coupled to the lower ends of the pair of third transfer guides 241,242, respectively.

상기 제1 내지 제3이송가이드(220,230,241,242)에는 구동수단이 연결되지 않고, 작업자가 수동으로 이송할 수 있도록 가이드 기능만 한다. 즉, 작업자가 하부모듈(3)을 손으로 잡고 X축, Y축, Z축 방향으로 힘을 가하게 되면 힘이 가해진 방향으로 각각의 이송가이드를 따라 하부모듈(3)이 이송된다.A driving means is not connected to the first to third transfer guides 220 , 230 , 241,242 , and serves only as a guide function so that an operator can manually transfer it. That is, when the operator holds the lower module 3 by hand and applies force in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions, the lower module 3 is transferred along each transfer guide in the direction in which the force is applied.

한편, 상기 제1 내지 제3이송가이드(220,230,241,242)에는 브레이크 기능을 하는 제동부가 구비될 수 있다. Meanwhile, the first to third transfer guides 220 , 230 , 241,242 may be provided with a braking unit serving as a brake.

상기 제1이송가이드(220)에 의해 가이드되어 제1방향으로 이송되는 경우 특정 위치에서 정지 상태를 유지하기 위한 브레이크 기능을 수행하는 수평방향 제동부(미도시)가 구비될 수 있다. 또한, 상기 제2이송가이드(230)에 의해 제2방향으로 이송되는 경우 특정 위치에서 정지 상태를 유지하기 위한 브레이크 기능을 수행하는 수평방향 제동부(미도시)가 구비될 수 있다. 또한, 상기 제3이송가이드(241,242)에 의해 수직방향으로 이송되는 경우 특정 위치에서 정지 상태를 유지하기 위한 브레이크 기능을 수행하는 수직방향 제동부(260)가 구비될 수 있다.When guided by the first transfer guide 220 and transferred in the first direction, a horizontal brake unit (not shown) that performs a brake function for maintaining a stop state at a specific position may be provided. In addition, a horizontal brake unit (not shown) that performs a brake function to maintain a stop state at a specific position when the second transfer guide 230 is transferred in the second direction may be provided. In addition, a vertical brake unit 260 that performs a brake function for maintaining a stop state at a specific position when being vertically transferred by the third transfer guides 241,242 may be provided.

이 경우 상기 수평방향 제동부는 상기 제1이송가이드(220)와 제2이송가이드(230) 각각에 구비될 수도 있고, 둘 중 어느 하나에만 구비될 수도 있다. In this case, the horizontal braking unit may be provided on each of the first transfer guide 220 and the second transfer guide 230 , or may be provided on only one of the two.

상기 수평방향 제동부와 수직방향 제동부(260)는 작업자가 하부모듈(3)을 제1이송가이드(220)와 제2이송가이드(230), 제3이송가이드(241,242)를 따라 이송시킨 후 버튼(미도시)을 누르게 되면 에어(air)가 공급되어 이송가이드가 움직이지 않도록 고정되어 이송된 위치에서 하부모듈(3)의 위치를 고정된 상태를 유지할 수 있다.The horizontal braking unit and the vertical braking unit 260 are after the operator transports the lower module 3 along the first transport guide 220, the second transport guide 230, and the third transport guide 241,242. When a button (not shown) is pressed, air is supplied and the transfer guide is fixed so that it does not move, and the position of the lower module 3 can be maintained in a fixed state at the transferred position.

상기 한 쌍의 이송가이드 지지부재(251,252)는 단면이 ㄴ자 형상으로서 대칭되는 형상이 되도록 서로 대향하도록 구비되어 있다. 상기 이송가이드 지지부재(251,252)의 몸체부(251a,252a)의 상단부는 상기 제3이송가이드(241,242)의 하단부에 결합되어 있고, 하단부는 하부모듈(3)의 상단부에 결합되어 있다.The pair of transfer guide support members 251,252 are provided to face each other so that the cross-section becomes a symmetrical L-shape. The upper ends of the body parts 251a and 252a of the transfer guide support members 251,252 are coupled to the lower ends of the third transfer guides 241,242, and the lower ends are coupled to the upper ends of the lower module 3 .

상기 일측의 이송가이드 지지부재(251)의 바닥부(251b)와 상기 하부모듈(3)은 고정핀(253)에 의해 결합되어 있다. 상기 고정핀(253)은 상기 이송가이드 지지부재(251)에 대하여 자전(自轉) 가능하도록 결합되어 있다.The bottom part 251b of the one side transfer guide support member 251 and the lower module 3 are coupled by a fixing pin 253 . The fixing pin 253 is rotatably coupled to the transfer guide support member 251 .

상기 타측의 이송가이드 지지부재(252)의 바닥부(252b)에는 원호 형상의 가이드홈(252c)이 형성되어 있고, 상기 하부모듈(3)의 상부에 결합된 가이드핀(254)이 상기 가이드홈(252c)에 삽입되어 있다. 상기 가이드핀(254)은 상기 가이드홈(252c) 내부에서 이동 가능하게 되어 있다.An arc-shaped guide groove 252c is formed in the bottom portion 252b of the transfer guide support member 252 on the other side, and the guide pin 254 coupled to the upper portion of the lower module 3 is connected to the guide groove. (252c) is inserted. The guide pin 254 is movable within the guide groove 252c.

이와 같이 구성하게 되면, 작업자가 하부모듈(3)에 회전되는 방향으로 힘을 가하게 되면, 하부모듈(3)이 상기 고정핀(253)을 회전 중심으로 하여 회전하게 된다. 이 경우 상기 가이드핀(254)이 가이드홈(252c) 내에서 가이드되어 회전각도가 제한된다. With this configuration, when the operator applies force to the lower module 3 in the rotational direction, the lower module 3 rotates with the fixing pin 253 as the rotation center. In this case, the guide pin 254 is guided in the guide groove 252c to limit the rotation angle.

도 4를 참조하면, 상기 하부모듈(3)에는 복수의 하우징(311,312,312)과 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)와 이송수단(340)과 얼라인블럭(350)과 플러그모듈(360)과 개스킷 공급부(370) 및 회전수단(380)이 구비되어 있다.Referring to FIG. 4 , the lower module 3 includes a plurality of housings 311 , 312 , 312 , a cover separating part 320 , a connector fastening part 330 , a transfer means 340 , an alignment block 350 , and a plug module ( 360), a gasket supply unit 370 and a rotating means 380 are provided.

상기 복수의 하우징(311,312,312)은, 상기 하부모듈(3)의 상부에 플레이트 형상으로 구비된 상부하우징(311), 상기 상부하우징(311)의 양측에 각각 결합된 제1측면하우징(312)과 제2측면하우징(313)으로 이루어진다.The plurality of housings 311 , 312 , and 312 include an upper housing 311 provided in a plate shape on the upper portion of the lower module 3 , a first side housing 312 and a second housing coupled to both sides of the upper housing 311 , respectively. It consists of two side housings (313).

상기 상부하우징(311)에는 상부모듈(2)의 고정핀(253)과 가이드핀(254)이 결합되어 있다. 상기 상부하우징(311)과 제1,제2측면하우징(312,313)은 상기 하부모듈(3)의 상부와 외측 둘레의 일부를 둘러싸도록 구비되어 있다.A fixing pin 253 and a guide pin 254 of the upper module 2 are coupled to the upper housing 311 . The upper housing 311 and the first and second side housings 312 and 313 are provided to surround a portion of the upper and outer circumferences of the lower module 3 .

상기 커버 분리부(320)는 상기 밸브부에 구비된 밸브 커넥터(30)를 덮는 커버(31)를 상기 밸브 커넥터(30)로부터 분리한다. The cover separating part 320 separates the cover 31 covering the valve connector 30 provided in the valve part from the valve connector 30 .

상기 커버 분리부(320)는 상기 커버(31)를 내부에 삽입되도록 홈이 형성되어 있고, 상기 커버(31)가 상기 커버 분리부(320)의 홈에 삽입된 상태에서 상기 회전수단(380)을 구동시켜 상기 커버 분리부(320)를 회전시키면, 상기 밸브 커넥터(30)로부터 상기 커버(31)가 분리된다. 이와 반대로 상기 커버 분리부(320)에 분리되어 있던 커버(31)를 상기 회전수단(380)을 구동시켜 상기 밸브 커넥터(30)에 결합시킬 수 있다.The cover separating part 320 has a groove formed so that the cover 31 is inserted therein, and the rotating means 380 in a state in which the cover 31 is inserted into the groove of the cover separating part 320 . is driven to rotate the cover separating part 320 , the cover 31 is separated from the valve connector 30 . Conversely, the cover 31 separated from the cover separation unit 320 may be coupled to the valve connector 30 by driving the rotating means 380 .

상기 커넥터 체결부(330)는 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터(331)를 상기 밸브 커넥터(30)에 연결할 수 있도록 구비되어 있다. 상기 커넥터 체결부(330)와 밸브 커넥터(30)가 연결된 상태에서 밸브(20)를 개방시키면, 용기(10) 내부의 가스가 밸브 커넥터(30)와 커넥터 체결부(330)를 통해 가스 소요처에 공급된다.The connector fastening part 330 is provided so as to connect the connecting pipe connector 331 connected to the gas source to the valve connector 30 . When the valve 20 is opened in a state in which the connector fastening part 330 and the valve connector 30 are connected, the gas inside the container 10 is gas-required through the valve connector 30 and the connector fastening part 330 . is supplied to

상기 이송수단(340)은 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 일체로 좌우 방향(X축 방향)과 전후 방향(Y축 방향)으로 이송한다. The transfer means 340 transfers the cover separating part 320 and the connector fastening part 330 integrally in the left-right direction (X-axis direction) and the front-rear direction (Y-axis direction).

상기 이송수단(340)은, 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 일체로 전후 방향으로 이송시키기 위한 제1이송수단과, 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 일체로 좌우 방향으로 이송시키기 위한 제2이송수단으로 이루어질 수 있다. The transfer means 340 includes a first transfer means for integrally transferring the cover separating part 320 and the connector fastening part 330 in the front-rear direction, and the cover separating part 320 and the connector fastening part 330 . ) may be formed as a second transport means for integrally transporting in the left and right directions.

상기 제1이송수단은 전후 방향을 따라 이송되도록 하기 위한 이송가이드와 에어(air)의 공급에 의해 이송력을 인가하기 위한 에어실린더로 이루어질 수 있다. 또한, 상기 제2이송수단은 좌우 방향을 따라 이송되도록 하기 위한 이송가이드와 에어(air)의 공급에 의해 이송력을 인가하기 위한 에어실린더로 이루어질 수 있다.The first transfer means may include a transfer guide for transferring in the front-rear direction and an air cylinder for applying a transfer force by supply of air. In addition, the second conveying means may be formed of a conveying guide for conveying in the left and right directions, and an air cylinder for applying a conveying force by supply of air.

상기 회전수단(380)은, 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 회전시킨다. 상기 회전수단(380)은, 회전력을 발생시키는 모터와 감속기를 포함하고, 상기 회전력을 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)에 전달하기 위한 회전전달부재를 포함한다. The rotating means 380 rotates the cover separating part 320 and the connector fastening part 330 . The rotation means 380 includes a motor and a speed reducer for generating a rotational force, and includes a rotation transmission member for transmitting the rotational force to the cover separating part 320 and the connector fastening part 330 .

상기 회전전달부재는 상기 회전력을 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)에 각각 전달하고, 상기 모터가 구동되면 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)가 동시에 회전하게 된다. 이와 달리, 상기 회전수단(380)은 2개의 모터를 구비하고, 상기 2개의 모터를 이용하여 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)가 각각 회전되도록 구성할 수도 있다.The rotation transmission member transmits the rotational force to the cover separating part 320 and the connector fastening part 330, respectively, and when the motor is driven, the cover separating part 320 and the connector fastening part 330 rotate at the same time. . Alternatively, the rotating means 380 may include two motors, and the cover separating part 320 and the connector fastening part 330 may be respectively rotated using the two motors.

상기 이송수단(340)과 상기 회전수단(380)을 제어하기 위한 제어부가 구비되어 있다.A control unit for controlling the transfer means 340 and the rotation means 380 is provided.

상기 얼라인블럭(350)은 상기 제2측면하우징(313)의 전방 단부에서 돌출되도록 결합되어 있고, 대략 4각통 형상으로 이루어져 있다. 상기 얼라인블럭(350)의 전방면에는 제2얼라인부(351)인 얼라인핀 삽입홈(351)이 형성되어 있고, 상기 얼라인핀 삽입홈(351)의 하측에는 상기 제2결합부(352)인 고정블럭 결합부재(352)가 상기 밸브부를 향하여 돌출된 형상으로 형성되어 있다.The alignment block 350 is coupled to protrude from the front end of the second side housing 313 and has a substantially quadrangular shape. An alignment pin insertion groove 351 which is a second alignment portion 351 is formed on the front surface of the alignment block 350 , and the second coupling portion ( 352), the fixing block coupling member 352 is formed in a shape protruding toward the valve part.

도 4와 도 5를 참조하여 플러그모듈(360)과 개스킷 공급부(370)에 대하여 설명한다.The plug module 360 and the gasket supply unit 370 will be described with reference to FIGS. 4 and 5 .

상기 플러그모듈(360), 밸브 커넥터(30)와 커넥터 체결부(330)가 체결되지 않은 상태에서 커넥터 체결부(330) 내부에 이물질이 유입되는 것을 방지하기 위해 커넥터 체결부(330)에 결합되는 플러그(361), 상기 플러그(361)의 단부를 지지하기 위한 플러그 지지부재(362), 상기 플러그 지지부재(362)가 결합되어 지지되는 플러그 지지 하우징(363), 상기 플러그(361)와 플러그 지지부재(362) 및 플러그 지지 하우징(363)을 일체로 전후 방향으로 이송하기 위한 플러그 이송가이드(364), 상기 플러그 이송가이드(364)가 결합되어 지지되고 상기 상부하우징(311)에 결합된 플러그 모듈 지지대(314)를 포함하여 이루어진다.The plug module 360, the valve connector 30, and the connector fastening part 330 are coupled to the connector fastening part 330 in order to prevent foreign substances from being introduced into the connector fastening part 330 in a state in which they are not fastened. A plug 361 , a plug support member 362 for supporting the end of the plug 361 , a plug support housing 363 to which the plug support member 362 is coupled and supported, and the plug 361 and the plug support A plug transport guide 364 for integrally transporting the member 362 and the plug support housing 363 in the forward and backward directions, the plug transport guide 364 is coupled and supported, and the plug module coupled to the upper housing 311 It is made to include a support (314).

상기 개스킷 공급부(370)는 용기(10)의 교체시 상기 연결배관 커넥터(331)에 새로운 개스킷을 장착하기 위한 것으로서, 개스킷(371)을 파지하는 개스킷 홀더(372), 복수의 개스킷(371)을 수용하는 개스킷 수용부(373), 상기 개스킷 수용부(373)에 수용된 개스킷(371)을 상기 연결배관 커넥터(331)에 장착하기 위해 이송하는 개스킷 이송수단(374)을 포함하여 이루어진다. 상기 개스킷 이송수단(374)은 상기 개스킷 홀더(372)에 개스킷(371)이 파지된 상태에서 X축 방향을 따라 왕복 이동하도록 구비되어 있다.The gasket supply unit 370 is for mounting a new gasket to the connection pipe connector 331 when the container 10 is replaced, and includes a gasket holder 372 for holding the gasket 371 and a plurality of gaskets 371 . and a gasket accommodating part 373 for accommodating it, and a gasket transporting means 374 for transporting the gasket 371 accommodated in the gasket accommodating part 373 to be mounted on the connecting pipe connector 331 . The gasket transfer means 374 is provided to reciprocate along the X-axis direction while the gasket 371 is gripped by the gasket holder 372 .

도 6 내지 도 11을 참조하여 본 발명에 의한 가스공급장치의 동작에 대해 설명한다.An operation of the gas supply device according to the present invention will be described with reference to FIGS. 6 to 11 .

먼저, 용기(10)를 교체하기 위해 용기(10)를 용기 적재부(미도시) 위에 적재한다.First, the container 10 is loaded on the container loading part (not shown) in order to replace the container 10 .

그 다음 작업자가 하부모듈(3)을 전후 방향, 좌우 방향, 상하 방향으로 움직여 도 6에 나타난 바와 같이, 제2얼라인부(351)가 제1얼라인부(530)와 마주보도록 얼라인이 이루어진다. Then, the operator moves the lower module 3 in the front-back direction, the left-right direction, and the up-down direction, so that the second alignment unit 351 faces the first alignment unit 530 as shown in FIG. 6 .

이와 같이 얼라인을 하기 위해 작업자가 하부모듈(3)에 전후 방향, 좌우 방향, 상하 방향으로 힘을 가하게 되면 하부모듈(3)이 힘이 가해진 방향으로 각각의 이송가이드(220,230,241,242)를 따라 이송된다. In order to align in this way, when the operator applies force to the lower module 3 in the front-back direction, left-right direction, and up-down direction, the lower module 3 is transferred along the respective transfer guides 220, 230, 241,242 in the direction in which the force is applied. .

또한, 작업자가 하부모듈(3)에 수평방향으로 회전되도록 힘을 가하게 되면, 고정핀(253)을 회전 중심으로 하여 가이드핀(254)이 가이드홈(252c) 내부를 따라 회전하게 되어, 하부모듈(3)을 XY평면 상에서 회전시켜 얼라인이 이루어지게 된다.In addition, when the operator applies force to the lower module 3 to rotate in the horizontal direction, the guide pin 254 rotates along the inside of the guide groove 252c with the fixing pin 253 as the rotation center, and the lower module (3) is rotated on the XY plane to achieve alignment.

따라서 작업자가 하부모듈(3)을 전후 방향, 좌우 방향, 상하 방향 뿐만 아니라 수평방향으로 회전하도록 힘을 가할 수 있어, 제1얼라인부(530)와 제2얼라인부(351)를 손쉽게 얼라인시킬 수 있다.Therefore, the operator can apply a force to rotate the lower module 3 in the front-back direction, left-right direction, and up-down direction as well as in the horizontal direction, so that the first alignment part 530 and the second alignment part 351 can be easily aligned. can

도 6의 상태에서 하부모듈(3)을 Y축 방향인 전방으로 더 밀면, 도 7에 나타난 바와 같이, 제2얼라인부(351)인 얼라인핀 삽입홈(351)에 제1얼라인부(530)인 얼라인핀(530)이 삽입된다. 이 경우 제1결합부(511)와 제2결합부(352)가 결합되어, 하부모듈(3)과 고정블럭(510,520)이 분리되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 커버분리부(320)가 커버(31)와 마주보도록 위치하게 된다.When the lower module 3 is further pushed forward in the Y-axis direction in the state of FIG. 6 , as shown in FIG. 7 , the first alignment part 530 is inserted into the alignment pin insertion groove 351 which is the second alignment part 351 . ), an alignment pin 530 is inserted. In this case, since the first coupling part 511 and the second coupling part 352 are coupled, it is possible to prevent the lower module 3 and the fixing blocks 510 and 520 from being separated. In addition, the cover separation unit 320 is positioned to face the cover 31 .

도 7의 상태에서 이송수단(340)의 제1이송수단을 구동하여 커버 분리부(320)를 전방으로 이동시키면, 도 8에 나타난 바와 같이, 커버 분리부(320)에 커버(31)가 삽입된다. 이 경우 커버 분리부(320)를 Y축 방향인 전방으로 이동시키고, 회전수단(380)을 구동하여 커버 분리부(320)를 회전시켜, 커버 분리부(320)에 커버(31)가 삽입되도록 구성할 수도 있다.When the cover separation unit 320 is moved forward by driving the first conveying unit of the conveying unit 340 in the state of FIG. 7 , the cover 31 is inserted into the cover separating unit 320 as shown in FIG. 8 . do. In this case, the cover separating part 320 is moved forward in the Y-axis direction, and the rotating means 380 is driven to rotate the cover separating part 320 so that the cover 31 is inserted into the cover separating part 320 . It can also be configured.

상기 커버 분리부(320)에 커버(31)가 삽입되면, 도 8 내지 도 11에 나타난 동작은 제어부에 의해 제어되어 자동으로 동작이 이루어진다. When the cover 31 is inserted into the cover separation unit 320, the operations shown in FIGS. 8 to 11 are controlled by the control unit and automatically performed.

상기 제어부에 의해 회전수단(380)이 구동되어 커버 분리부(320)를 회전시킴과 동시에, 상기 제1이송수단을 구동하여 커버 분리부(320)를 후방으로 이동시키면, 커버(31)가 밸브 커넥터(30)로부터 분리된다.When the rotating means 380 is driven by the control unit to rotate the cover separating part 320 and at the same time driving the first conveying means to move the cover separating part 320 to the rear, the cover 31 opens the valve disconnected from the connector 30 .

상기 커버(31)가 밸브 커넥터(30)로부터 분리된 후 이송수단(340)의 제2이송수단을 구동하면, 도 9에 나타난 바와 같이 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)가 일체로 X축 방향을 따라 이동하여 커넥터 체결부(330)와 밸브 커넥터(30)가 마주보도록 위치하게 된다.When the second transfer means of the transfer means 340 is driven after the cover 31 is separated from the valve connector 30 , the cover separation part 320 and the connector fastening part 330 are integrated as shown in FIG. 9 . As it moves along the X-axis direction, the connector fastening part 330 and the valve connector 30 are positioned to face each other.

도 9의 상태에서 개스킷 이송수단(374)을 구동하면, 도 10에 나타난 바와 같이 개스킷 홀더(372)에 개스킷(371)이 파지된 상태에서 X축 방향을 따라 이송되어 밸브 커넥터(30)의 단부에 개스킷(371)이 위치하게 된다.When the gasket transfer means 374 is driven in the state of FIG. 9 , as shown in FIG. 10 , the gasket 371 is transferred along the X-axis while the gasket 371 is gripped by the end of the valve connector 30 . A gasket 371 is positioned there.

도 10의 상태에서 이송수단(340)의 제1이송수단을 구동하여 커넥터 체결부(330)를 전방으로 이송함과 동시에 회전수단(380)을 구동하여 커넥터 체결부(330)가 회전하게 되면, 도 11에 나타난 바와 같이 커넥터 체결부(330)의 연결배관 커넥터(331)에 밸브 커넥터(30)가 결합되고, 개스킷 이송수단(374)을 구동하여 개스킷 홀더(372)는 밸브 커넥터(30)로부터 벗어난 위치로 이동하게 된다.In the state of Figure 10, when the connector fastening part 330 is rotated by driving the first transporting means of the transporting means 340 to transport the connector fastening part 330 forward and at the same time driving the rotating means 380, As shown in FIG. 11 , the valve connector 30 is coupled to the connecting pipe connector 331 of the connector fastening part 330 , and the gasket transfer means 374 is driven to remove the gasket holder 372 from the valve connector 30 . move to an out-of-the-way location.

상기와 같은 과정을 통해 연결배관 커넥터(331)에 밸브 커넥터(30)가 결합된 상태에서, 핸들(50)을 회전시켜 밸브(20)를 개방하여 용기(1)에 수용된 가스가 가스소요처에 공급된다.In the state where the valve connector 30 is coupled to the connecting pipe connector 331 through the process as described above, by rotating the handle 50 to open the valve 20, the gas contained in the container 1 is transferred to the gas consuming place. is supplied

이 경우 상기 핸들(50)을 회전시키기 위한 핸들 회전부(미도시)가 더 구비될 수 있고, 상기 핸들 회전부는 제어부에 의해 위치 제어가 이루어져, 상기 핸들(50)을 자동으로 개방시키는 것으로 구성할 수 있다.In this case, a handle rotating unit (not shown) for rotating the handle 50 may be further provided, and the handle rotating unit may be configured to automatically open the handle 50 by controlling the position of the handle rotating unit by a control unit. have.

상기와 같은 구성에 의하면, 하부모듈(3)이 수직방향으로 승하강 가능함과 동시에 수평방향 이송시 얼라인이 이루어지도록 함으로써 제1얼라인부와 제2얼라인부의 파손을 방지할 수 있다. 또한, 하부모듈(3)이 상부모듈(2)에 대하여 회전 가능하도록 함으로써 얼라인이 보다 정확하게 이루어질 수 있다. 또한, 작업자가 용기(10)를 용기 적재부의 정확한 위치에 올려 놓지 않더라도 용기의 정확한 얼라인이 이루어질 수 있으므로, 작업이 편리해진다.According to the configuration as described above, the lower module 3 can be raised and lowered in the vertical direction and, at the same time, the alignment is made during horizontal transfer, thereby preventing damage to the first alignment unit and the second alignment unit. In addition, by making the lower module 3 rotatable with respect to the upper module 2, alignment can be made more accurately. In addition, since the correct alignment of the container can be made even if the operator does not put the container 10 on the exact position of the container loading part, the operation becomes convenient.

전술한 바와 같이 본 발명에 대하여 바람직한 실시예를 들어 상세히 설명하였지만, 본 발명은 전술한 실시예들에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.As described above, the present invention has been described in detail with reference to preferred embodiments, but the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are made within the scope of the claims, the detailed description of the invention, and the accompanying drawings. It is possible to carry out and this also belongs to the present invention.

1 : 가스공급장치 2 : 상부모듈
3 : 하부모듈 10 : 용기
20 : 밸브 30 : 밸브 커넥터
31 : 커버 40 : 밸브 셔터
50 : 핸들 211 : 메인플레이트
212 : 중간플레이트 213 : 하부플레이트
220 : 제1이송가이드 230 : 제2이송가이드
241,242 : 제3이송가이드 243,244 : 이송가이드 결합플레이트
251,252 : 이송가이드 지지부재 251a, 252a : 몸체부
251b, 252b : 바닥부 252c : 가이드홈
253 : 고정핀 254 : 가이드핀
311 : 상부하우징 312 : 제1측면하우징
313 : 제2측면하우징 314 : 플러그모듈 지지대
320 : 커버 분리부 330 : 커넥터 체결부
331 : 연결배관 커넥터 340 : 이송수단
350 : 얼라인블럭 351 : 제2얼라인부
352 : 제2결합부 352a : 돌기
360 : 플러그모듈 361 : 플러그
370 : 개스킷 공급부 371 : 개스킷
372 : 개스킷 홀더 374 : 개스킷 이동수단
380 : 회전수단 510, 520 : 고정블럭
511 : 제1결합부 530 : 제1얼라인부
540 : 결합핀1: gas supply device 2: upper module
3: lower module 10: container
20: valve 30: valve connector
31: cover 40: valve shutter
50: handle 211: main plate
212: middle plate 213: lower plate
220: first transfer guide 230: second transfer guide
241,242: third transfer guide 243,244: transfer guide coupling plate
251,252: transfer guide support member 251a, 252a: body part
251b, 252b: bottom part 252c: guide groove
253: fixing pin 254: guide pin
311: upper housing 312: first side housing
313: second side housing 314: plug module support
320: cover separating part 330: connector fastening part
331: connection pipe connector 340: transport means
350: alignment block 351: second alignment unit
352: second coupling part 352a: protrusion
360: plug module 361: plug
370: gasket supply 371: gasket
372: gasket holder 374: gasket moving means
380: rotation means 510, 520: fixed block
511: first coupling part 530: first alignment part
540: coupling pin

Claims (7)

용기의 상단에 구비된 밸브부로부터 상측에 설치된 메인플레이트를 구비한 상부모듈;
상기 밸브부에 구비된 밸브 커넥터를 덮는 커버를 상기 밸브 커넥터로부터 분리하는 커버 분리부와, 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 상기 밸브 커넥터에 연결하기 위한 커넥터 체결부를 포함하는 하부모듈;
상기 밸브부에 결합된 고정블럭;
을 포함하고,
상기 고정블럭에 구비된 제1결합부와, 상기 하부모듈에 구비된 제2결합부가 결합되어 상기 고정블럭과 상기 하부모듈의 결합된 상태가 유지되는 가스공급장치an upper module having a main plate installed at the upper side from the valve unit provided at the upper end of the container;
a lower module including a cover separating part for separating a cover for covering the valve connector provided in the valve part from the valve connector, and a connector coupling part for connecting a connecting pipe connector connected to a gas source to the valve connector;
a fixed block coupled to the valve unit;
including,
A gas supply device in which a first coupling unit provided in the fixed block and a second coupling unit provided in the lower module are coupled to maintain a coupled state between the fixed block and the lower module. 제1항에 있어서,
상기 제2결합부는 상기 하부모듈의 외측에 구비된 측면 하우징에 결합된 얼라인 블럭에 구비된 것을 특징으로 하는 가스공급장치According to claim 1,
The second coupling unit is a gas supply device, characterized in that provided in the align block coupled to the side housing provided on the outside of the lower module. 제2항에 있어서,
상기 제2결합부는 상기 얼라인 블럭에서 상기 밸브부를 향하는 면에 구비된 것을 특징으로 하는 가스공급장치3. The method of claim 2,
The second coupling part is a gas supply device, characterized in that provided on a surface of the alignment block toward the valve part 제2항에 있어서,
상기 제2결합부는 상기 얼라인 블록에서 상기 제1결합부를 향해 돌출된 고정블럭 결합부재로 이루어진 가스공급장치3. The method of claim 2,
The second coupling part is a gas supply device including a fixing block coupling member protruding from the alignment block toward the first coupling part. 제4항에 있어서,
상기 제1결합부는 상기 고정블럭 결합부재가 삽입되도록 상기 고정블럭에 형성된 고정홈으로 이루어지고;
상기 고정블럭 결합부재가 상기 고정홈에 삽입되면, 상기 고정블럭 결합부재가 상기 고정홈으로부터 빠짐이 방지되고, 에어를 공급하면 상기 고정블럭 결합부재가 상기 고정홈으로부터 빠질 수 있는 것을 특징으로 하는 가스공급장치5. The method of claim 4,
The first coupling part is made of a fixing groove formed in the fixing block so that the fixing block coupling member is inserted;
Gas, characterized in that when the fixing block coupling member is inserted into the fixing groove, the fixing block coupling member is prevented from being pulled out from the fixing groove, and when air is supplied, the fixing block coupling member can be pulled out from the fixing groove feeder 제1항에 있어서,
상기 고정블럭은, 가스의 공급을 단속하기 위한 밸브가 개폐되도록 하는 핸들이 상부로 노출되고, 상기 밸브 커넥터가 상기 연결배관 커넥터가 위치한 방향으로 노출되도록 상기 밸브부를 감싸는 제1고정블럭과 제2고정블럭으로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스공급장치According to claim 1,
The fixing block has a first fixing block and a second fixing block surrounding the valve so that a handle for opening and closing a valve for controlling the supply of gas is exposed at an upper portion, and the valve connector is exposed in a direction in which the connecting pipe connector is located. Gas supply device comprising a block 제6항에 있어서,
상기 제1고정블럭은 수평방향의 길이를 갖되, 상기 수평방향의 일측부가 상기 밸브부를 감싸고, 상기 수평방향의 타측부에 상기 제1결합부가 구비된 것을 특징으로 하는 가스공급장치7. The method of claim 6,
The first fixing block has a length in a horizontal direction, one side in the horizontal direction surrounds the valve unit, and the first coupling unit is provided at the other side in the horizontal direction.
KR1020210093577A 2020-03-24 2021-07-16 Gas supply apparatus having align function KR102398266B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210093577A KR102398266B1 (en) 2020-03-24 2021-07-16 Gas supply apparatus having align function

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200035853A KR102292288B1 (en) 2020-03-24 2020-03-24 Gas supply apparatus having align function
KR1020210093577A KR102398266B1 (en) 2020-03-24 2021-07-16 Gas supply apparatus having align function

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200035853A Division KR102292288B1 (en) 2020-03-24 2020-03-24 Gas supply apparatus having align function

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210102125A true KR20210102125A (en) 2021-08-19
KR102398266B1 KR102398266B1 (en) 2022-05-17

Family

ID=77492779

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200035853A KR102292288B1 (en) 2020-03-24 2020-03-24 Gas supply apparatus having align function
KR1020210093577A KR102398266B1 (en) 2020-03-24 2021-07-16 Gas supply apparatus having align function

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200035853A KR102292288B1 (en) 2020-03-24 2020-03-24 Gas supply apparatus having align function

Country Status (3)

Country Link
KR (2) KR102292288B1 (en)
CN (1) CN113446515B (en)
TW (1) TWI777241B (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230037175A (en) * 2021-09-09 2023-03-16 주식회사 케이씨 Gas supply device and cover combining method
KR20230071887A (en) * 2021-11-16 2023-05-24 주식회사 케이씨 Gas Supply Apparatus

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102599731B1 (en) * 2021-10-20 2023-11-08 주식회사 케이씨 Connector plug fastening device and method for gas supply device

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190014463A (en) * 2017-08-02 2019-02-12 에이엠티 주식회사 Automatic gas valve switching device and method
KR102049326B1 (en) * 2018-07-20 2019-11-27 주식회사 케이씨 Connector fastening device
KR102112764B1 (en) * 2019-02-01 2020-05-19 주식회사 케이씨 Automated gas supply device
KR102112762B1 (en) * 2019-02-01 2020-05-19 주식회사 케이씨 Automated gas supply device

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0799238B2 (en) * 1992-06-29 1995-10-25 明光産業株式会社 LP gas filling device
JP3230213B2 (en) * 1993-06-02 2001-11-19 株式会社宝計機製作所 Automatic gas filling device
US6343476B1 (en) * 1998-04-28 2002-02-05 Advanced Technology Materials, Inc. Gas storage and dispensing system comprising regulator interiorly disposed in fluid containment vessel and adjustable in situ therein
US6911065B2 (en) * 2002-12-26 2005-06-28 Matheson Tri-Gas, Inc. Method and system for supplying high purity fluid
FR2905447B1 (en) * 2006-09-01 2010-01-29 Air Liquide PROTECTIVE HAT FOR FLUID CONTAINER
CN101522943B (en) * 2006-10-10 2013-04-24 Asm美国公司 Precursor delivery system
KR100945279B1 (en) * 2007-12-06 2010-03-03 가부시키가이샤 간또 엘 엔지니어링 Control apparatus for discharging of fluid
CN102177374B (en) * 2008-08-18 2013-06-19 西格玛-奥吉奇公司 Valve assemblies
JP2012057788A (en) * 2010-09-13 2012-03-22 Toyota Motor Corp High pressure gas supply system
JP6270144B2 (en) * 2014-04-10 2018-01-31 株式会社オートネットワーク技術研究所 Alignment function connector
WO2015191929A1 (en) * 2014-06-13 2015-12-17 Entegris, Inc. Adsorbent-based pressure stabilzation of pressure-regulated fluid storage and dispensing vessels
KR101681419B1 (en) * 2015-07-09 2016-11-30 한국수력원자력 주식회사 Portable manual valve actuator
KR101729490B1 (en) * 2016-07-05 2017-05-02 심우영 Gas injecting system
KR101980046B1 (en) * 2018-07-03 2019-05-17 주식회사 유니락 Aligning apparatus and method of gas cylinder
KR101980048B1 (en) * 2018-07-03 2019-05-17 주식회사 유니락 Gas cylinder auto coupling device and method
JP7099238B2 (en) * 2018-10-09 2022-07-12 富士通株式会社 Medical image processing program, medical image processing device and medical image processing method

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190014463A (en) * 2017-08-02 2019-02-12 에이엠티 주식회사 Automatic gas valve switching device and method
KR102049326B1 (en) * 2018-07-20 2019-11-27 주식회사 케이씨 Connector fastening device
KR102112764B1 (en) * 2019-02-01 2020-05-19 주식회사 케이씨 Automated gas supply device
KR102112762B1 (en) * 2019-02-01 2020-05-19 주식회사 케이씨 Automated gas supply device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230037175A (en) * 2021-09-09 2023-03-16 주식회사 케이씨 Gas supply device and cover combining method
KR20230071887A (en) * 2021-11-16 2023-05-24 주식회사 케이씨 Gas Supply Apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
TWI777241B (en) 2022-09-11
CN113446515B (en) 2023-02-17
TW202136677A (en) 2021-10-01
KR102292288B1 (en) 2021-08-24
CN113446515A (en) 2021-09-28
KR102398266B1 (en) 2022-05-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102398266B1 (en) Gas supply apparatus having align function
KR102241538B1 (en) Gas supply apparatus and gasket replacing method
KR102383305B1 (en) Enclosures and printing systems
CN112292921B (en) Replacing device
CN115402999A (en) Liquid supply device and liquid supply method
KR102337062B1 (en) Gas supply apparatus having align function and align method
KR102321101B1 (en) Gas supply apparatus capable of independently moving a plurality of modules
KR102292289B1 (en) Gas supply apparatus capable of independently moving a plurality of modules
CN113685728B (en) Gas supply device
KR102341096B1 (en) Gas supply apparatus capable of independently moving a plurality of modules
KR102353914B1 (en) Gasket supply module and Gas supply apparatus
KR20220140377A (en) Gas supply apparatus and gasket replacing method
KR102233470B1 (en) Gas supply apparatus having transference portion and assembling method of connector of gas supply apparatus
KR101771544B1 (en) Pin auto insertion apparatus for electronic component
CN211978482U (en) Full-automatic dyeing workbench with positioning detection function
KR102386579B1 (en) Connector Plug and the Gas Supply Apparatus with the Connector Plug
WO2022071004A1 (en) Part feeder and component mounting machine
JP2009239108A (en) Mounting structure of component supply device, and surface mounting machine
KR20240056026A (en) Automatic Apparatus for Filling Catalyst Vessel
JPH06194B2 (en) Automatic connection device

Legal Events

Date Code Title Description
A107 Divisional application of patent
G15R Request for early publication
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
X701 Decision to grant (after re-examination)
GRNT Written decision to grant