KR102112764B1 - Automated gas supply device - Google Patents

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KR102112764B1
KR102112764B1 KR1020190014029A KR20190014029A KR102112764B1 KR 102112764 B1 KR102112764 B1 KR 102112764B1 KR 1020190014029 A KR1020190014029 A KR 1020190014029A KR 20190014029 A KR20190014029 A KR 20190014029A KR 102112764 B1 KR102112764 B1 KR 102112764B1
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KR
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connector
valve
gas supply
cover
supply device
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KR1020190014029A
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이상욱
정근준
김상진
서철교
김용철
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주식회사 케이씨
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Abstract

An object of the present invention is to provide an automatic gas supply apparatus which can prevent damage of the apparatus by alleviating shock generated in a process of connecting a cover separating unit or a connector fastening unit to a valve connector. The present invention for implementing this includes: the valve connector provided on one side of a valve which regulates gas supply of a gas storage container; a connector fastening unit for connecting a connection piping connector to the valve connector by supporting the connection piping connector connected to a gas consuming place; a moving means for moving the connector fastening unit to a position to be fastened with the valve connector; and a shock absorbing means which is connected to the connector fastening unit and absorbs the shock generated when the connector fastening unit is coupled to the valve connector.

Description

자동화 가스공급장치{Automated gas supply device}Automated gas supply device

본 발명은 자동화 가스공급장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 밸브 커넥터에 커버 분리부 또는 커넥터 체결부가 접속되는 과정에서 발생하는 충격을 완화하여 장치의 파손을 방지할 수 있도록 하는 자동화 가스공급장치에 관한 것이다.The present invention relates to an automated gas supply device, and more particularly, to an automated gas supply device to prevent damage to the device by alleviating the shock generated in the process of connecting a cover separation part or a connector fastening part to a valve connector. will be.

일반적으로 가스를 이용하는 장치, 특히, 반도체장비와 같이 정밀한 작업이 수행되는 가스소요처에 가스를 공급하는 장치의 경우, 각각의 목적에 적합한 종류의 가스가 일정한 농도와 압력 등을 만족할 것이 요구된다.In general, in the case of a device using a gas, in particular, a device for supplying gas to a gas requirement where precise work is performed, such as semiconductor equipment, it is required that a gas of a type suitable for each purpose satisfies a certain concentration and pressure.

이를 효율적으로 제공하기 위해 많은 종류의 가스가 고압 상태로 보관되며, 특히 가연성, 독성, 부식성 등의 유해 성질을 가지는 가스는 인적이 차단된 별도의 공간에서 엄중하게 관리된다.In order to provide this efficiently, many types of gases are stored under high pressure, and in particular, gases having harmful properties such as flammability, toxicity, and corrosion are strictly managed in a separate space where humans are blocked.

가스를 보관하는 가스 저장 용기(이하,‘용기’라 약칭함)는 가스소요처에 연결되며, 용기에 보관된 가스가 모두 소모되면, 가스소요처에 연결된 연결배관을 용기의 밸브로부터 분리하여 용기를 교체한 후 교체된 용기의 밸브 커넥터에 가스소요처에 연결된 연결배관 커넥터를 결합시켜 가스를 다시 공급하게 된다.The gas storage container (hereinafter abbreviated as 'container') for storing gas is connected to a gas demand, and when all the gas stored in the container is consumed, the connecting pipe connected to the gas demand is separated from the valve of the container. After replacing the valve, the connecting connector connected to the gas requirement is coupled to the valve connector of the replaced container to supply gas again.

종래에는 상기 용기의 교체를 수작업에 의해 수행하였으나, 이와 같이 수작업에 의해 용기를 교체할 경우에는, 작업 수행 중 작업자가 유독 가스에 노출되는 위험이 있으며, 용기의 교체 작업에 많은 시간과 노동력이 소요되는 문제점이 있다. 따라서, 최근에는 용기의 교체 작업을 자동으로 수행할 수 있는 가스공급장치가 개발되고 있으나, 종래의 가스공급장치는 아래와 같은 문제점에 대한 해결 방안이 미비한 상황이다.Conventionally, the container was replaced by manual operation. However, when the container is replaced by manual operation, there is a risk that an operator is exposed to toxic gas during the operation, and it takes a lot of time and labor to replace the container. There is a problem. Therefore, in recent years, a gas supply device capable of automatically performing a replacement operation of a container has been developed, but the conventional gas supply device has insufficient solutions to the following problems.

또한, 용기의 교체시, 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터가 체결되는 과정에서 충격이 발생하게 되는데, 용기를 다수회 교체하게 되면 이러한 충격이 연결배관 커넥터에 누적되어 연결부가 파손될 수 있는 문제가 있으나, 종래의 가스공급장치는 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터가 체결되는 과정에서 발생하는 충격을 완화하기 위한 수단이 미비한 상황이다.In addition, when the container is replaced, a shock occurs in the process where the valve connector and the connection pipe connector are fastened. However, when the container is replaced a number of times, there is a problem that the shock accumulates in the connection pipe connector and the connection portion may be damaged. The gas supply device of the situation is a situation where the means for alleviating the shock generated in the process of the connection between the valve connector and the connection pipe connector is insufficient.

대한민국 공개특허 제10-1998-0056124호Republic of Korea Patent Publication No. 10-1998-0056124 대한민국 등록특허 제10-0857212호Republic of Korea Registered Patent No. 10-0857212 대한민국 등록특허 제10-1360312호Republic of Korea Registered Patent No. 10-1360312

본 발명은 상술한 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 밸브 커넥터에 커버 분리부 또는 커넥터 체결부가 접속되는 과정에서 발생하는 충격을 완화하여 장치의 파손을 방지할 수 있도록 하는 자동화 가스공급장치를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been devised to solve the above-mentioned problems, and provides an automated gas supply device to mitigate the shock occurring in the process of connecting a cover separating part or a connector fastening part to a valve connector to prevent damage to the device. Has its purpose.

상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 자동화 가스공급장치는, 가스 저장 용기의 가스 공급을 단속하는 밸브의 일측에 구비된 밸브 커넥터; 가스소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 지지하여 상기 밸브 커넥터에 연결하기 위한 커넥터 체결부; 상기 커넥터 체결부와 상기 밸브 커넥터의 결합 시 발생하는 충격을 흡수하기 위한 충격완화수단; 및 상기 밸브 커넥터를 덮는 커버를 지지하여 상기 밸브 커넥터로부터 분리하는 커버 분리부;를 포함하되, 상기 충격완화수단은 상기 커버 분리부에 연결되며, 상기 커버 분리부와 상기 밸브 커넥터의 결합 시 발생하는 충격을 흡수하고, 상기 충격완화수단은, 상기 커버 분리부와 상기 커넥터 체결부를 지지하는 지지부의 전방에 고정되며 상기 커버 분리부와 상기 커넥터 체결부가 관통하는 전면 고정프레임; 상기 지지부의 후방으로 이격된 위치에 고정된 후면 고정프레임; 상기 전면 고정프레임과 상기 후면 고정프레임에 양단이 지지된 샤프트; 상기 지지부의 후면에 접촉되는 이동부재; 상기 이동부재의 후면과 상기 후면 고정프레임의 전면에 양단이 지지되는 탄성부재;를 포함한다.An automated gas supply device of the present invention for implementing the above object, a valve connector provided on one side of the valve to regulate the gas supply of the gas storage container; A connector fastening part for supporting a connection piping connector connected to a gas requirement and connecting to the valve connector; Shock mitigation means for absorbing shock generated when the connector fastening part and the valve connector are coupled; And a cover separating part supporting the cover covering the valve connector and separating it from the valve connector, wherein the shock absorbing means is connected to the cover separating part, and occurs when the cover separating part and the valve connector are engaged. The shock absorbing means includes: a front fixing frame fixed to the front of a support portion supporting the cover separating portion and the connector fastening portion and passing through the cover separating portion and the connector fastening portion; A rear fixing frame fixed at a position spaced apart from the rear of the support; A shaft having both ends supported on the front fixing frame and the rear fixing frame; A moving member in contact with the back of the support; It includes; the elastic member having both ends supported on the rear surface of the moving member and the front of the rear fixing frame.

상기 탄성부재는 상기 커넥터 체결부와 상기 밸브 커넥터가 결합되는 방향으로 탄성력을 작용할 수 있다.The elastic member may exert an elastic force in a direction in which the connector fastening part and the valve connector are coupled.

상기 커넥터 체결부를 상기 밸브 커넥터와 체결되는 위치로 이동시키기 위한 이동수단이 구비되고, 상기 충격완화수단은 상기 커넥터 체결부에 연결될 수 있다.A moving means for moving the connector fastening portion to a position where it is fastened to the valve connector is provided, and the shock absorbing means can be connected to the connector fastening portion.

상기 탄성부재는 상기 커버 분리부와 상기 밸브 커넥터가 결합되는 방향으로 탄성력을 작용할 수 있다.The elastic member may act as an elastic force in a direction in which the cover separation portion and the valve connector are coupled.

상기 전면 고정프레임의 양측단에서 후방으로 연장되어 구비된 양측면 고정프레임이 구비되고; 상기 고정프레임은 상기 양측면 고정프레임의 후단을 연결하고; 상기 이동부재는 상기 샤프트의 둘레에 구비되고; 상기 탄성부재는 상기 샤프트의 둘레에 구비될 수 있다.Both side fixing frames are provided to extend rearward from both side ends of the front fixing frame; The fixed frame connects the rear ends of the fixed frames on both sides; The moving member is provided around the shaft; The elastic member may be provided around the shaft.

상기 샤프트와 이동부재 및 탄성부재는, 상기 전면 고정프레임와 상기 후면 고정프레임 사이에서 양측으로 이격된 위치에 복수로 구비될 수 있다.The shaft, the moving member, and the elastic member may be provided in a plurality of positions spaced apart on both sides between the front fixing frame and the rear fixing frame.

상기 커버 분리부는 상기 커버를 회전시켜 상기 밸브 커넥터에 체결하거나 상기 밸브 커넥터로부터 분리되도록 하고, 상기 커넥터 체결부는 상기 연결배관 커넥터를 회전시켜 상기 밸브 커넥터에 체결하거나 상기 밸브 커넥터로부터 분리되도록 하며, 상기 커버 분리부와 상기 커넥터 체결부는 하나의 회전구동부의 구동에 의해 동시에 회전되도록 이루어질 수 있다.The cover separating part rotates the cover to fasten to the valve connector or to be separated from the valve connector, and the connector fastening part rotates the connection pipe connector to fasten to the valve connector or to be separated from the valve connector, and the cover The separating part and the connector fastening part may be made to rotate simultaneously by driving a single rotation driving part.

상기 회전구동부의 회전력은 복수의 기어에 의해 상기 커버 분리부 및 상기 커넥터 체결부에 전달되는 것으로 구성될 수 있다.The rotational force of the rotation driving part may be configured to be transmitted to the cover separation part and the connector fastening part by a plurality of gears.

상기 회전구동부는 상기 지지부에 지지되어, 상기 커버 분리부와 상기 밸브 커넥터의 결합 시, 또는 상기 커넥터 체결부와 상기 밸브 커넥터의 결합 시, 상기 커버 분리부와 상기 커넥터 체결부 및 상기 지지부는 함께 이동되는 것으로 구성될 수 있다.The rotation driving part is supported by the support part, and when the cover separation part and the valve connector are engaged, or when the connector fastening part and the valve connector are engaged, the cover separation part and the connector fastening part and the support part move together. It can be configured to be.

상기 이동수단은, 상기 커버 분리부와 상기 커넥터 체결부를 제1방향으로 왕복이동시키는 제1이동수단과, 상기 커버 분리부와 상기 커넥터 체결부를 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 왕복이동시키는 제2이동수단을 포함할 수 있다.The moving means includes: a first moving means for reciprocating the cover separation portion and the connector fastening portion in a first direction; and a reciprocating movement of the cover separation portion and the connector fastening portion in a second direction orthogonal to the first direction. It may include a second moving means.

상기 제1이동수단은 상기 커버 분리부와 상기 커넥터 체결부를 지지하여 이동시키고, 상기 제2이동수단은 상기 제1이동수단을 지지하여 이동하는 것으로 구성될 수 있다.The first moving means may be configured to support and move the cover separation portion and the connector fastening portion, and the second moving means may support and move the first moving means.

상기 제1이동수단은, 상기 제1방향으로 구비되는 제1레일과, 상기 커버 분리부와 상기 커넥터 체결부를 이동시키는 제1구동부를 포함하되, 상기 제1구동부의 구동에 의해 상기 커버 분리부와 상기 커넥터 체결부가 상기 제1레일을 따라 왕복이동하도록 이루어지고, 상기 제2이동수단은, 상기 제2방향으로 구비되는 제2레일과, 상기 제1레일을 이동시키는 제2구동부를 포함하되, 상기 제2구동부의 구동에 의해 상기 제1레일이 상기 제2레일을 따라 왕복이동하도록 이루어질 수 있다.The first moving means includes a first rail provided in the first direction, a first driving unit for moving the cover separation unit and the connector fastening unit, and the cover separation unit by driving the first driving unit. The connector fastening portion is made to reciprocate along the first rail, and the second moving means includes a second rail provided in the second direction, and a second driving unit for moving the first rail, The first rail may be reciprocated along the second rail by driving the second driving unit.

상기 제2레일은 위치가 고정되도록 구비될 수 있다.The second rail may be provided so that the position is fixed.

본 발명에 따른 자동화 가스공급장치에 의하면, 용기의 교체시, 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터가 체결되는 과정에서 발생하는 충격을 완화함으로써 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터가 연결되는 연결부의 파손을 방지할 수 있다.According to the automated gas supply device according to the present invention, when replacing the container, by alleviating the impact generated in the process of the valve connector and the connection pipe connector is fastened, it is possible to prevent the breakage of the connection between the valve connector and the connection pipe connector. .

도 1은 본 발명의 자동화 가스공급장치에서 밸브 커넥터가 커버 분리부 및 커넥터 체결부와 대향되어 위치한 모습을 나타낸 사시도,
도 2는 제1이동수단과 제2이동수단의 구성을 나타낸 사시도,
도 3은 충격완화수단의 사시도,
도 4는 회전구동부의 회전력이 커버 분리부와 커넥터 체결부에 전달되는 동력전달구조를 나타낸 도면,
도 5는 커버가 밸브 커넥터로부터 분리되는 동작을 나타낸 평면도,
도 6은 연결배관 커넥터가 밸브 커넥터에 체결되는 동작을 나타낸 평면도,
도 7은 밸브 커넥터가 커버 분리부 또는 커넥터 체결부에 접속되는 경우에 충격을 완화하기 위한 충격완화수단의 작용을 설명하기 위한 도면으로서, (a)와 (b)는 접속되기 전 상태의 평면도와 측면도, (c)와 (d)는 접속되는 상태의 평면도와 측면도.1 is a perspective view showing a state in which the valve connector in the automated gas supply apparatus of the present invention is located facing the cover separation portion and the connector fastening portion,
Figure 2 is a perspective view showing the configuration of the first moving means and the second moving means,
Figure 3 is a perspective view of a shock absorbing means,
4 is a view showing a power transmission structure in which the rotational force of the rotation driving part is transmitted to the cover separation part and the connector fastening part,
5 is a plan view showing the operation of the cover is separated from the valve connector,
Figure 6 is a plan view showing the operation of the connection pipe connector is fastened to the valve connector,
7 is a view for explaining the action of the shock absorbing means for alleviating the impact when the valve connector is connected to the cover separating part or the connector fastening part, (a) and (b) is a plan view of the state before the connection The side view, (c) and (d) are a plan view and a side view in a connected state.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, the configuration and operation of the preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 자동화 가스공급장치(1)는, 가스 저장 용기(10)의 가스 공급을 단속하는 밸브(20)의 일측에 구비된 밸브 커넥터(30), 가스소요처에 연결되는 연결배관 커넥터(710)를 지지하여 상기 밸브 커넥터(30)에 연결하기 위한 커넥터 체결부(700), 상기 커넥터 체결부(700)를 상기 밸브 커넥터(30)와 체결되는 위치로 이동시키기 위한 이동수단(500), 및 상기 커넥터 체결부(700)에 연결되며, 상기 커넥터 체결부(700)와 상기 밸브 커넥터(30)의 결합 시 발생하는 충격을 흡수하기 위한 충격완화수단(620)을 포함한다.1 to 3, the automated gas supply device 1 of the present invention, the valve connector 30 provided on one side of the valve 20 for regulating the gas supply of the gas storage container 10, gas required A connector fastening part 700 for connecting to the valve connector 30 by supporting the connection piping connector 710 connected to the place, and moving the connector fastening part 700 to a position where it is fastened with the valve connector 30 It is connected to the moving means 500 and the connector fastening part 700, and the shock absorbing means 620 for absorbing the shock generated when the connector fastening part 700 and the valve connector 30 are combined It includes.

또한, 본 발명의 자동화 가스공급장치(1)는, 상기 밸브 커넥터(30)를 덮는 커버(31)를 지지하여 상기 밸브 커넥터(30)로부터 분리하는 커버 분리부(600)를 더 포함하고, 상기 충격완화수단(620)은 상기 커버 분리부(600)에 연결되며, 상기 커버 분리부(600)와 상기 밸브 커넥터(30)의 결합 시 발생하는 충격을 흡수한다.In addition, the automated gas supply device 1 of the present invention further comprises a cover separating part 600 for supporting the cover 31 covering the valve connector 30 and separating it from the valve connector 30, wherein The shock absorbing means 620 is connected to the cover separation part 600 and absorbs the shock generated when the cover separation part 600 and the valve connector 30 are combined.

상기 용기(10)는 반도체장치 등의 가스소요처에 공급되는 공정 가스를 저장하여 공급하기 위한 구성으로, 용기(10)의 상부에는 가스의 공급을 단속하기 위한 밸브(20)와, 상기 밸브(20)의 일측에 구비되어 커넥터 체결부(700)에 체결되는 밸브 커넥터(30)를 포함하여 구성된다.The container 10 is configured to store and supply process gas supplied to a gas demand such as a semiconductor device, and a valve 20 for controlling the supply of gas is provided at an upper portion of the container 10, and the valve ( It is provided on one side of 20) is configured to include a valve connector 30 that is fastened to the connector fastening part 700.

상기 커버 분리부(600) 또는 커넥터 체결부(700)는 이동수단(500)에 의해 이동되어 상기 밸브 커넥터(30)에 접속된다.The cover separating part 600 or the connector fastening part 700 is moved by the moving means 500 to be connected to the valve connector 30.

도 2를 참조하면, 상기 이동수단(500)은, 상부 모듈(3)에 구비된 커버 분리부(600)와 커넥터 체결부(700)를 제1방향(P1)과 제2방향(P2)으로 이동시키기 위한 구성으로, 상기 구성요소들을 제1방향(P1)으로 왕복이동시키는 제1이동수단(510)과, 상기 제1이동수단(510)을 지지하여 제2방향(P2)으로 왕복이동시키는 제2이동수단(520)을 포함하여 구성될 수 있다. 상기 커버 분리부(600)와 커넥터 체결부(700)는 지지부(530)에 의해 지지된다.2, the moving means 500, the cover separation portion 600 and the connector fastening part 700 provided in the upper module 3 in the first direction (P1) and the second direction (P2) As a configuration for moving, the first moving means 510 for reciprocating the components in the first direction P1 and the first moving means 510 for supporting the first moving means 510 to reciprocate in the second direction P2 It may be configured to include a second moving means (520). The cover separation part 600 and the connector fastening part 700 are supported by a support part 530.

상기 제1이동수단(510)은 상기 제1방향(P1)으로 나란히 구비되는 적어도 하나의 제1레일(511)을 포함하여 이루어질 수 있다. The first moving means 510 may include at least one first rail 511 provided side by side in the first direction P1.

상기 제1레일(511)은 제1레일 지지부(512)에 의해 지지된다.The first rail 511 is supported by the first rail support part 512.

상기 지지부(530)에는 상기 제1레일(511)의 레일홈(511a)에 맞물리는 제1레일맞물림부(512a)가 구비되어, 상기 지지부(530)가 상기 제1레일(511)을 따라 상기 제1방향(P1)으로 왕복이동할 수 있다.The support part 530 is provided with a first rail engaging part 512a that is engaged with the rail groove 511a of the first rail 511, so that the support part 530 is along the first rail 511. It can be reciprocated in the first direction P1.

상기 제1이동수단(510)에는 상기 지지부(530)에 결합되어 상기 지지부(530)를 제1방향(P1)으로 이동시키는 제1구동부(513)가 구비된다.The first moving means 510 is provided with a first driving part 513 coupled to the support part 530 and moving the support part 530 in the first direction P1.

상기 제2이동수단(520)은 상기 제2방향(P2)으로 나란히 구비되는 적어도 하나의 제2레일(521)을 포함하여 이루어질 수 있다.The second moving means 520 may include at least one second rail 521 provided side by side in the second direction P2.

상기 제2레일(521)은 제2레일 지지부(522)에 의해 지지되며, 상기 제2레일 지지부(522)는 외곽 프레임(미도시) 등에 체결되어 상기 제2레일(521)의 위치가 고정된다.The second rail 521 is supported by a second rail support portion 522, and the second rail support portion 522 is fastened to an outer frame (not shown) or the like to fix the position of the second rail 521. .

상기 제1레일 지지부(512)에는 상기 제2레일(521)의 레일홈(521a)에 맞물리는 제2레일맞물림부(522a)가 결합되어, 상기 제1레일(511)이 상기 제2레일(521)을 따라 상기 제2방향(P2)으로 왕복이동할 수 있다.A second rail engaging portion 522a engaged with the rail groove 521a of the second rail 521 is coupled to the first rail supporting portion 512, so that the first rail 511 has the second rail ( It can be reciprocated in the second direction (P2) along the 521).

상기 제2이동수단(520)에는 상기 제1레일 지지부(512)에 결합되어 상기 제1레일 지지부(512)를 이동시키는 제2구동부(523)가 구비된다.The second moving means 520 is provided with a second driving part 523 coupled to the first rail support part 512 to move the first rail support part 512.

일실시예로, 상기 제2구동부(523)는 모터로 이루어지고, 상기 모터의 회전축에 결합되는 제1풀리(524), 상기 제1풀리(524)의 일측으로 이격되어 구비되는 제2풀리(526), 상기 제1풀리(524)와 제2풀리(526) 간에 동력을 전달하는 벨트(525), 상기 제2풀리(526)에 일측단이 결합되고 상기 제2레일(521)과 나란한 제2방향(P2)으로 연장되며 회전 가능하게 지지된 샤프트(527), 상기 샤프트(527)와 나사결합되며 제2레일 지지부(522)에 결합된 이동블록(528)을 포함하여 구성될 수 있다.In one embodiment, the second driving unit 523 is made of a motor, the first pulley 524 coupled to the rotation axis of the motor, the second pulley provided spaced apart from one side of the first pulley 524 ( 526), a belt 525 that transmits power between the first pulley 524 and the second pulley 526, one end coupled to the second pulley 526 and parallel to the second rail 521 It may be configured to include a moving block 528 extending in two directions (P2) and rotatably supported by a shaft 527, screwed with the shaft 527 and coupled to a second rail support 522.

이하, 도 3 내지 도 6을 참조하여, 새로 교체되는 용기(10)의 밸브 커넥터(30)를 덮는 커버(31)를 밸브 커넥터(30)로부터 분리하고, 밸브 커넥터(30)와 연결배관 커넥터(710)를 체결하기 위한 구성 및 동작을 설명한다.Hereinafter, referring to FIGS. 3 to 6, the cover 31 covering the valve connector 30 of the newly replaced container 10 is separated from the valve connector 30, The configuration and operation for fastening the valve connector 30 and the connection pipe connector 710 will be described.

상기 커버 분리부(600) 및 상기 커넥터 체결부(700)는 각각 상기 커버(31) 및 상기 연결배관 커넥터(710)를 내부에 수용하여 지지하는 형상으로 이루어질 수 있다. 상기 커버(31) 및 상기 연결배관 커넥터(710)는 회전에 의해 밸브 커넥터(30)에 체결되도록 구성될 수 있으며, 상기 커버 분리부(600) 및 상기 커넥터 체결부(700)는 상기 커버(31) 및 상기 연결배관 커넥터(710)를 각각 회전시켜 상기 밸브 커넥터(30)에 체결하거나 상기 밸브 커넥터(30)로부터 분리하게 된다.The cover separating part 600 and the connector fastening part 700 may be formed to receive and support the cover 31 and the connection pipe connector 710 therein. The cover 31 and the connection pipe connector 710 may be configured to be fastened to the valve connector 30 by rotation, and the cover separation part 600 and the connector fastening part 700 are the cover 31 ) And the connection pipe connector 710 are rotated to fasten to the valve connector 30 or separate from the valve connector 30.

상기 커버 분리부(600) 및 상기 커넥터 체결부(700)는, 하나의 회전구동부(610)의 회전구동에 의해 회전하도록 이루어져, 상기 커버 분리부(600) 및 상기 커넥터 체결부(700)가 회전하며 각각 상기 커버(31) 및 상기 연결배관 커넥터(710)를 회전시키도록 이루어질 수 있다.The cover separating part 600 and the connector fastening part 700 are configured to rotate by rotational driving of one rotary drive part 610, so that the cover separating part 600 and the connector fastening part 700 rotate And it can be made to rotate the cover 31 and the connecting pipe connector 710, respectively.

이를 위한 구성으로, 상기 회전구동부(610)의 회전력은 복수의 기어(611,612,613,614)에 의해 상기 커버 분리부(600) 및 상기 커넥터 체결부(700)에 전달되도록 이루어질 수 있다.As a configuration for this, the rotational force of the rotation driving part 610 may be made to be transmitted to the cover separation part 600 and the connector fastening part 700 by a plurality of gears 611,612,613,614.

상기 복수의 기어(611,612,613,614)는, 상기 회전구동부(610)에 연결된 제1기어(611)와, 상기 제1기어(611)에 기어결합되는 제2기어(612)와, 상기 제2기어(612)에 기어결합되며 상기 커버 분리부(600)의 외측면에 결합된 제3기어(613), 및 상기 제2기어(612)에 기어결합되며 상기 커넥터 체결부(700)의 외측면에 기어결합된 제4기어(614)를 포함하여 구성될 수 있다.The plurality of gears (611,612,613,614) includes a first gear (611) connected to the rotary drive unit (610), a second gear (612) gear coupled to the first gear (611), and the second gear (612) ) Is coupled to the third gear 613 coupled to the outer surface of the cover separating part 600, and gear coupled to the second gear 612 and gear coupled to the outer surface of the connector fastening part 700 It may be configured to include the fourth gear 614.

따라서, 회전구동부(610)가 회전 구동되면, 상기 제1 내지 제4기어(611,612,613,614)가 연동하여 회전되면서, 상기 커버 분리부(600)와 커넥터 체결부(700)는 동시에 회전하게 된다. 이러한 구성에 의하면, 하나의 회전구동부(610)를 이용하여 커버 분리부(600)와 커넥터 체결부(700)를 동시에 회전 구동시킬 수 있게 되므로, 커버 분리부(600)와 커넥터 체결부(700)를 회전 구동하기 위한 구동 구조를 간소화 할 수 있는 효과가 있다.Therefore, when the rotation driving unit 610 is rotationally driven, the first to fourth gears 611, 612, 613, and 614 are rotated in cooperation, and the cover separation unit 600 and the connector fastening unit 700 rotate at the same time. According to this configuration, it is possible to simultaneously rotate and drive the cover separating part 600 and the connector fastening part 700 using one rotation driving part 610, so the cover separating part 600 and the connector fastening part 700 There is an effect that can simplify the driving structure for driving the rotation.

상기 회전구동부(610)는 상기 커버 분리부(600)와 커넥터 체결부(700)를 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시키도록 이루어질 수 있다. The rotation driving part 610 may be configured to rotate the cover separation part 600 and the connector fastening part 700 in a clockwise or counterclockwise direction.

일실시예로, 상기 커버 분리부(600) 및 상기 커넥터 체결부(700)는 상기 회전구동부(610)의 구동에 의해 시계방향으로 회전하여 상기 밸브 커넥터(30)에 체결되고, 반시계방향으로 회전하여 상기 밸브 커넥터(30)로부터 분리될 수 있다.In one embodiment, the cover separating part 600 and the connector fastening part 700 are rotated clockwise by driving of the rotation driving part 610 to be fastened to the valve connector 30 and counterclockwise. Rotating can be separated from the valve connector 30.

도 5와 도 6을 참조하면, 상기 제1레일(511)과 상기 제2레일(521)은 서로 직교하는 방향으로 수평면에 평행하게 구비될 수 있다.5 and 6, the first rail 511 and the second rail 521 may be provided parallel to a horizontal surface in a direction orthogonal to each other.

이때, 상기 제1레일(511)이 동(E)-서(W) 방향으로 구비되고, 상기 제2레일(521)이 남(S)-북(N)방향으로 구비될 수 있다.In this case, the first rail 511 may be provided in the east (E) -west (W) direction, and the second rail 521 may be provided in the south (S) -north (N) direction.

이에 따라, 상기 지지부(530)는 상기 제1레일(511)을 따라 동(E)-서(W)방향으로 이동하며, 상기 제1레일(511)은 상기 제2레일(521)을 따라 남(S)-북(N)방향으로 이동할 수 있다.Accordingly, the support part 530 moves in the east (E) -west (W) direction along the first rail 511, and the first rail 511 remains along the second rail 521. It can move in (S) -North (N) direction.

따라서, 상기 지지부(530)에 지지되는 상기 커버 분리부(600) 및 상기 커넥터 체결부(700)는 상기 제1구동부(513)의 구동에 의해 동(E)-서(W)방향으로 이동하고, 상기 제2구동부(523)의 구동에 의해 남(S)-북(N)방향으로 이동하게 된다. Therefore, the cover separation part 600 and the connector fastening part 700 supported by the support part 530 move in the east (E) -west (W) direction by driving of the first driving part 513, , It is moved in the south (S)-north (N) direction by the driving of the second driving unit 523.

도 5는 새롭게 교체되는 용기(10)에 구비된 상기 밸브 커넥터(30)로부터 커버(31)가 분리되는 동작을 나타내는 도면이다. 5 is a view showing an operation in which the cover 31 is separated from the valve connector 30 provided in the newly replaced container 10.

상기 용기(10)가 교체되면, 상기 지지부(530)는 상기 제1구동부(513)의 구동에 의해 동(E)-서(W)방향으로 이동하여 상기 커버 분리부(600)가 상기 밸브 커넥터(30)에 결합된 상기 커버(31)와 마주보도록 위치하며(도 5 (a)), 상기 제2구동부(523)의 구동에 의해 남쪽으로(S) 이동하여 상기 커버(31)를 상기 커버 분리부(600)에 결합시킨다(도 5 (b)).When the container 10 is replaced, the support part 530 moves in the east (E) -west (W) direction by driving of the first driving part 513 so that the cover separating part 600 is the valve connector It is positioned to face the cover 31 coupled to (30) (FIG. 5 (a)), and moves south (S) by driving of the second driving part 523 to cover the cover 31. It is coupled to the separation unit 600 (Fig. 5 (b)).

상기 커버(31)가 결합된 상기 커버 분리부(600)는 회전구동부(610)의 구동에 의해 반시계방향으로 회전하여 상기 커버(31)를 상기 밸브 커넥터(30)로부터 분리하며, 상기 커버(31)의 분리가 완료되면 상기 지지부(530)가 상기 제2구동부(523)의 구동에 의해 북쪽으로(N) 이동하여 상기 밸브 커넥터(30)로부터 소정 간격 이격된다.(도 5 (c)).The cover separation part 600 to which the cover 31 is coupled is rotated counterclockwise by driving of the rotation driving part 610 to separate the cover 31 from the valve connector 30, and the cover ( When the separation of 31) is completed, the support part 530 moves to the north (N) by driving of the second driving part 523 to be spaced apart from the valve connector 30 by a predetermined distance (FIG. 5 (c)). .

도 6은 상기 커버(31)가 분리된 상기 밸브 커넥터(30)에 상기 연결배관 커넥터(710)를 체결하는 동작을 나타내는 도면이다.6 is a view showing an operation of fastening the connection pipe connector 710 to the valve connector 30 from which the cover 31 is separated.

상기 지지부(530)는 상기 제1구동부(511)의 구동에 의해 서쪽으로(W) 이동하여 상기 커넥터 체결부(700)가 상기 커버(31)가 분리된 밸브 커넥터(30)와 마주보도록 위치하며(도 6 (a)), 상기 제2구동부(521)의 구동에 의해 남쪽으로(S) 이동하여 상기 커넥터 체결부(700)를 상기 밸브 커넥터(30)에 결합시킨다(도 6 (b)).The support part 530 is moved to the west (W) by driving of the first driving part 511 so that the connector fastening part 700 faces the valve connector 30 from which the cover 31 is separated. (Fig. 6 (a)), by moving to the south (S) by the drive of the second driving unit 521 to couple the connector fastening part 700 to the valve connector 30 (Fig. 6 (b)) .

상기 밸브 커넥터(30)에 결합된 상기 커넥터 체결부(700)는 상기 회전구동부(610)의 구동에 의해 시계방향으로 회전하여 상기 연결배관 커넥터(710)를 상기 밸브 커넥터(30)에 체결한다.The connector fastening part 700 coupled to the valve connector 30 rotates clockwise by driving of the rotation driving part 610 to fasten the connection piping connector 710 to the valve connector 30.

상기 용기(10)에 보관된 가스는 상기 연결배관 커넥터(710)가 체결된 상기 밸브 커넥터(30)를 통해 상기 연결배관(730)을 유동하여 가스소요처에 공급된다.The gas stored in the container 10 flows through the connection pipe 730 through the valve connector 30 to which the connection pipe connector 710 is fastened, and is supplied to a gas requirement.

도 3과 도 7을 참조하면, 상기 충격완화수단(620)은, 상기 커버 분리부(600)와 상기 밸브 커넥터(30)가 결합되는 방향, 및 상기 커넥터 체결부(700)와 상기 밸브 커넥터(30)가 결합되는 방향으로 탄성력을 작용하는 탄성부재(626)를 포함한다.3 and 7, the shock absorbing means 620 includes a direction in which the cover separation part 600 and the valve connector 30 are coupled, and the connector fastening part 700 and the valve connector ( 30) includes an elastic member 626 that exerts an elastic force in a direction in which it is coupled.

상기 충격완화수단(620)은, 상기 커버 분리부(600)와 상기 커넥터 체결부(700)를 지지하는 지지부(530)의 전방에 고정되며 상기 커버 분리부(600)와 상기 커넥터 체결부(700)가 관통하는 전면 고정프레임(621), 상기 전면 고정프레임(621)의 양측단에서 후방으로 연장되어 구비된 양측면 고정프레임(622), 상기 양측면 고정프레임(622)의 후단을 연결하며 상기 지지부(530)의 후방으로 이격된 위치에 고정된 후면 고정프레임(623), 상기 전면 고정프레임(621)과 상기 후면 고정프레임(623)에 양단이 지지된 샤프트(624;624a,624b), 상기 지지부(530)의 후면에 접촉되며 상기 샤프트(624)의 둘레에 구비되는 이동부재(625), 및 상기 이동부재(625)의 후면과 상기 후면 고정프레임(623)의 전면에 양단이 지지되며, 상기 샤프트(624)의 둘레에 구비되는 상기 탄성부재(626)를 포함하여 구성된다.The shock absorbing means 620 is fixed to the front of the support part 530 supporting the cover separation part 600 and the connector fastening part 700, and the cover separation part 600 and the connector fastening part 700 ) Through the front fixed frame 621, the front fixed frame 621 is extended from the both sides of the rear side fixed frame 622 is provided, connecting the rear end of the both side fixed frame 622, and the support ( The rear fixed frame 623 fixed to a position spaced apart from the rear of the 530, the front fixed frame 621 and the shaft (624; 624a, 624b), both ends supported on the rear fixed frame 623, the support ( 530) is provided in contact with the rear of the moving member 625 provided around the shaft 624, and both ends are supported at the rear of the moving member 625 and the front of the rear fixing frame 623, the shaft It is configured to include the elastic member 626 provided around the 624 .

상기 샤프트(624)와 이동부재(625) 및 탄성부재(626)는, 상기 전면 고정프레임(621)와 상기 후면 고정프레임(623) 사이에서 양측으로 이격된 위치에 복수로 구비될 수 있다.The shaft 624, the moving member 625, and the elastic member 626 may be provided in a plurality of positions spaced apart on both sides between the front fixing frame 621 and the rear fixing frame 623.

도 7의 (a),(b)와 같이 커버 분리부(600) 또는 커넥터 체결부(700)에 밸브 커넥터(30)가 접속되기 전 상태에서는 탄성부재(625)의 탄성력에 의해 지지부(530)는 전면 고정프레임(621)에 접촉되고, 탄성부재(625)는 이완된 상태가 된다.In the state before the valve connector 30 is connected to the cover separating part 600 or the connector fastening part 700 as shown in FIGS. 7A and 7B, the support part 530 by the elastic force of the elastic member 625 Is in contact with the front fixed frame 621, the elastic member 625 is in a relaxed state.

도 7의 (c),(d)와 같이 커버 분리부(600) 또는 커넥터 체결부(700)에 밸브 커넥터(30)가 접속되는 경우 밸브 커넥터(30)가 커버 분리부(600) 또는 커넥터 체결부(700)를 미는 힘에 의해 커버 분리부(600)와 커넥터 체결부(700)와 지지부(530) 및 이동부재(625)는 일체로 후방측으로 밀려 이동되며 탄성부재(625)가 압축되면서 충격을 흡수하게 된다. 따라서, 용기(10)의 교체시, 밸브 커넥터(600) 또는 연결배관 커넥터(710)와 밸브 커넥터(30)가 체결되는 과정에서 발생하는 충격을 완화함으로써 밸브 커넥터(600) 또는 연결배관 커넥터(710)와 밸브 커넥터(30)가 체결되는 연결 부위의 파손을 방지할 수 있다.When the valve connector 30 is connected to the cover separation part 600 or the connector fastening part 700 as shown in (c) and (d) of FIG. 7, the valve connector 30 is fastened to the cover separation part 600 or the connector. The cover separation part 600, the connector fastening part 700, the support part 530, and the moving member 625 are integrally pushed to the rear side by the force pushing the portion 700, and the elastic member 625 is compressed and impacted. Will absorb. Accordingly, when replacing the container 10, the valve connector 600 or the connection pipe connector 710 by alleviating the shock generated in the process of the valve connector 600 or the connection pipe connector 710 and the valve connector 30 is fastened ) And the valve connector 30 can be prevented from being damaged.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구되는 본 발명의 기술적 사상에 벗어남 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 자명한 변형실시가 가능하며, 이러한 변형실시는 본 발명의 범위에 속한다.As described above, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and a modified implementation obvious by a person skilled in the art to which the present invention pertains without departing from the technical spirit of the present invention claimed in the claims It is possible, and such modifications are within the scope of the present invention.

1 : 자동화 가스공급장치 10 : 가스 저장 용기
20 : 밸브 30 : 밸브 커넥터
31 : 커버 500 : 이동수단
510 : 제1이동수단 511 : 제1레일
511a : 제1레일홈 512 : 제1레일 지지부
512a : 제1레일 맞물림부 513 : 제1구동부
520 : 제2이동수단 521 : 제2레일
521a : 제2레일홈 522 : 제2레일 지지부
522a : 제2레일 맞물림부 523 : 제2구동부
524 : 제1풀리 525 : 벨트
526 : 제2풀리 527 : 샤프트
528 : 이동블록 530 : 지지부
600 : 커버 분리부 610 : 회전구동부
611 : 제1기어 612 : 제2기어
613 : 제3기어 614 : 제4기어
620 : 충격완화수단 621 : 전면 고정프레임
622 : 양측면 고정프레임 623 : 후면 고정프레임
624,624a,624b : 샤프트 625 : 이동부재
626 : 탄성부재 700 : 커넥터 체결부
710 : 연결배관 커넥터1: Automated gas supply device 10: Gas storage container
20: valve 30: valve connector
31: cover 500: moving means
510: First moving means 511: First rail
511a: 1st rail groove 512: 1st rail support
512a: first rail engaging portion 513: first driving portion
520: Second moving means 521: Second rail
521a: 2nd rail groove 522: 2nd rail support
522a: second rail engaging portion 523: second driving portion
524: first pulley 525: belt
526: second pulley 527: shaft
528: moving block 530: support
600: cover separation unit 610: rotary drive unit
611: first gear 612: second gear
613: Third gear 614: Fourth gear
620: shock relief means 621: front fixed frame
622: fixed frame on both sides 623: fixed frame on the back
624,624a, 624b: shaft 625: moving member
626: elastic member 700: connector fastening
710: Connection piping connector

Claims (13)

가스 저장 용기의 가스 공급을 단속하는 밸브의 일측에 구비된 밸브 커넥터;
가스소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 지지하여 상기 밸브 커넥터에 연결하기 위한 커넥터 체결부;
상기 커넥터 체결부와 상기 밸브 커넥터의 결합 시 발생하는 충격을 흡수하기 위한 충격완화수단; 및
상기 밸브 커넥터를 덮는 커버를 지지하여 상기 밸브 커넥터로부터 분리하는 커버 분리부;를 포함하되,
상기 충격완화수단은 상기 커버 분리부에 연결되며, 상기 커버 분리부와 상기 밸브 커넥터의 결합 시 발생하는 충격을 흡수하고,
상기 충격완화수단은,
상기 커버 분리부와 상기 커넥터 체결부를 지지하는 지지부의 전방에 고정되며 상기 커버 분리부와 상기 커넥터 체결부가 관통하는 전면 고정프레임;
상기 지지부의 후방으로 이격된 위치에 고정된 후면 고정프레임;
상기 전면 고정프레임과 상기 후면 고정프레임에 양단이 지지된 샤프트;
상기 지지부의 후면에 접촉되는 이동부재;
상기 이동부재의 후면과 상기 후면 고정프레임의 전면에 양단이 지지되는 탄성부재;
를 포함하는 자동화 가스공급장치.A valve connector provided on one side of the valve that regulates the gas supply of the gas storage container;
A connector fastening part for supporting a connection piping connector connected to a gas requirement and connecting to the valve connector;
Shock mitigation means for absorbing shock generated when the connector fastening part and the valve connector are coupled; And
Includes a cover separation portion for supporting the cover covering the valve connector to separate from the valve connector;
The shock absorbing means is connected to the cover separation portion, absorbs the shock generated when the cover separation portion and the valve connector are coupled,
The shock absorbing means,
A front fixing frame fixed to the front of the support part supporting the cover separation part and the connector fastening part and passing through the cover separation part and the connector fastening part;
A rear fixing frame fixed at a position spaced apart from the rear of the support;
A shaft having both ends supported on the front fixing frame and the rear fixing frame;
A moving member in contact with the back of the support;
An elastic member having both ends supported on the rear surface of the movable member and the front surface of the rear fixed frame;
Automated gas supply device comprising a. 제1항에 있어서,
상기 탄성부재는 상기 커넥터 체결부와 상기 밸브 커넥터가 결합되는 방향으로 탄성력을 작용하는 것을 특징으로 하는 자동화 가스공급장치.According to claim 1,
The elastic member is an automatic gas supply device, characterized in that acts an elastic force in the direction in which the connector connector and the valve connector are coupled. 제1항에 있어서,
상기 커넥터 체결부를 상기 밸브 커넥터와 체결되는 위치로 이동시키기 위한 이동수단이 구비되고,
상기 충격완화수단은 상기 커넥터 체결부에 연결된 것을 특징으로 하는 자동화 가스공급장치.According to claim 1,
Moving means is provided for moving the connector fastening portion to a position that is fastened to the valve connector,
The shock absorbing means is an automated gas supply device, characterized in that connected to the connector fastening. 제1항에 있어서,
상기 탄성부재는 상기 커버 분리부와 상기 밸브 커넥터가 결합되는 방향으로 탄성력을 작용하는 것을 특징으로 하는 자동화 가스공급장치.According to claim 1,
The elastic member is an automatic gas supply device, characterized in that exerts an elastic force in the direction in which the cover separation portion and the valve connector are coupled. 제3항에 있어서,
상기 전면 고정프레임의 양측단에서 후방으로 연장되어 구비된 양측면 고정프레임이 구비되고;
상기 고정프레임은 상기 양측면 고정프레임의 후단을 연결하고;
상기 이동부재는 상기 샤프트의 둘레에 구비되고;
상기 탄성부재는 상기 샤프트의 둘레에 구비된 것을 특징으로 하는 자동화 가스공급장치.According to claim 3,
Both side fixing frames are provided to extend rearward from both side ends of the front fixing frame;
The fixed frame connects the rear ends of the fixed frames on both sides;
The moving member is provided around the shaft;
The elastic member is an automated gas supply device, characterized in that provided on the circumference of the shaft. 제1항에 있어서,
상기 샤프트와 이동부재 및 탄성부재는, 상기 전면 고정프레임와 상기 후면 고정프레임 사이에서 양측으로 이격된 위치에 복수로 구비된 것을 특징으로 하는 자동화 가스공급장치.According to claim 1,
The shaft, the moving member and the elastic member, the automatic gas supply device, characterized in that provided in a plurality of positions spaced apart on both sides between the front fixed frame and the rear fixed frame. 제1항에 있어서,
상기 커버 분리부는 상기 커버를 회전시켜 상기 밸브 커넥터에 체결하거나 상기 밸브 커넥터로부터 분리되도록 하고,
상기 커넥터 체결부는 상기 연결배관 커넥터를 회전시켜 상기 밸브 커넥터에 체결하거나 상기 밸브 커넥터로부터 분리되도록 하며,
상기 커버 분리부와 상기 커넥터 체결부는 하나의 회전구동부의 구동에 의해 동시에 회전되도록 이루어진 것을 특징으로 하는 자동화 가스공급장치.According to claim 1,
The cover separating part rotates the cover to be fastened to the valve connector or to be separated from the valve connector,
The connector fastening part rotates the connection pipe connector to fasten to the valve connector or to be separated from the valve connector,
Automated gas supply device, characterized in that the cover separation portion and the connector fastening portion is made to rotate at the same time by the drive of one rotary drive. 제7항에 있어서,
상기 회전구동부의 회전력은 복수의 기어에 의해 상기 커버 분리부 및 상기 커넥터 체결부에 전달되는 것을 특징으로 하는 자동화 가스공급장치.The method of claim 7,
Automated gas supply device, characterized in that the rotational force of the rotary drive is transmitted to the cover separation portion and the connector fastening portion by a plurality of gears. 제7항에 있어서,
상기 회전구동부는 상기 지지부에 지지되어, 상기 커버 분리부와 상기 밸브 커넥터의 결합 시, 또는 상기 커넥터 체결부와 상기 밸브 커넥터의 결합 시, 상기 커버 분리부와 상기 커넥터 체결부 및 상기 지지부는 함께 이동되는 것을 특징으로 하는 자동화 가스공급장치.The method of claim 7,
The rotation driving part is supported by the support part, and when the cover separation part and the valve connector are engaged, or when the connector fastening part and the valve connector are engaged, the cover separation part, the connector fastening part and the support part move together. Automated gas supply device, characterized in that. 제3항에 있어서,
상기 이동수단은,
상기 커버 분리부와 상기 커넥터 체결부를 제1방향으로 왕복이동시키는 제1이동수단과,
상기 커버 분리부와 상기 커넥터 체결부를 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 왕복이동시키는 제2이동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 자동화 가스공급장치.According to claim 3,
The moving means,
First moving means for reciprocating the cover separation portion and the connector fastening portion in a first direction;
And a second moving means for reciprocating the cover separation portion and the connector fastening portion in a second direction orthogonal to the first direction. 제10항에 있어서,
상기 제1이동수단은 상기 커버 분리부와 상기 커넥터 체결부를 지지하여 이동시키고,
상기 제2이동수단은 상기 제1이동수단을 지지하여 이동하는 것을 특징으로 하는 자동화 가스공급장치.The method of claim 10,
The first moving means supports and moves the cover separation portion and the connector fastening portion,
The second moving means is an automated gas supply device characterized in that the first moving means is moved to support. 제10항에 있어서,
상기 제1이동수단은, 상기 제1방향으로 구비되는 제1레일과, 상기 커버 분리부와 상기 커넥터 체결부를 이동시키는 제1구동부를 포함하되, 상기 제1구동부의 구동에 의해 상기 커버 분리부와 상기 커넥터 체결부가 상기 제1레일을 따라 왕복이동하도록 이루어지고,
상기 제2이동수단은, 상기 제2방향으로 구비되는 제2레일과, 상기 제1레일을 이동시키는 제2구동부를 포함하되, 상기 제2구동부의 구동에 의해 상기 제1레일이 상기 제2레일을 따라 왕복이동하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 자동화 가스공급장치.The method of claim 10,
The first moving means includes a first rail provided in the first direction, a first driving unit for moving the cover separation unit and the connector fastening unit, and the cover separation unit by driving the first driving unit. The connector fastening portion is made to reciprocate along the first rail,
The second moving means includes a second rail provided in the second direction, and a second driving unit for moving the first rail, wherein the first rail is the second rail by driving the second driving unit. Automated gas supply device, characterized in that made to reciprocate along. 제12항에 있어서,
상기 제2레일은 위치가 고정되도록 구비된 것을 특징으로 하는 자동화 가스공급장치.The method of claim 12,
The second rail is an automated gas supply device characterized in that it is provided so that the position is fixed.
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