KR20210093161A

KR20210093161A - 회전 커넥터

Info

Publication number: KR20210093161A
Application number: KR1020200184619A
Authority: KR
Inventors: 요시히사 타카노
Original assignee: 이구루코교 가부시기가이샤
Priority date: 2020-01-17
Filing date: 2020-12-28
Publication date: 2021-07-27
Also published as: KR102647957B1; JP2021114403A; TWI802832B; TW202130075A; JP7282469B2

Abstract

회전을 수반하는 부재 사이에 있어서 안정적인 통전을 유지할 수 있는 회전 커넥터를 제공한다.
도전성을 갖고 구동력 전달부(20)가 마련되며 회전 구동되는 한쪽의 회전 부재(2)와, 도전성을 갖고 구동력 전달부(30)가 마련되며 한쪽의 회전 부재(2)에 종동하여 회전하는 다른 한쪽의 회전 부재(3)와, 지름 방향으로 겹치는 양쪽의 구동력 전달부(20, 30)의 외주면(20d, 30d)에 각각 압접되는 탄성 변형 가능한 일련의 도전 부재(4)를 구비하고 있다.

Description

회전 커넥터{ROTARY CONNECTOR}

본 발명은, 회전을 수반하는 부재 사이에 있어서 구동력을 전달하면서 통전을 행하기 위한 회전 커넥터에 관한 것이다.

반도체 제조기 등의 회전 기기에 있어서는, 회전 구동되는 구동축에 대하여 통전을 행함으로써 반도체 부품에 대한 표면 처리를 행하는 것이 알려져 있다.

예를 들면, 특허문헌 1에 있어서는, 후프 도금 설비에 있어서 회전 구동되는 구동축에 통전롤이 접속되어 구동축과 함께 회전하도록 되어 있다. 구동축으로부터 통전롤로 공급된 전류는, 반도체 부품 표면의 전해 처리에 이용된다.

또한, 구동축의 단부는, 통전롤의 단부에 있어서 축방향으로 오목한 오목부에 삽입된 상태에서, 통전롤을 지름 방향으로 관통하는 나사 구멍에 나삽(螺揷)되는 볼트의 선단에 의해 지름 방향으로 압압되어, 구동축의 단부의 외주면이 오목부의 내주면에 압접됨으로써 접속되어 있다. 또한, 구동축의 단부에 접속되는 통전롤을 상이한 형상의 것으로 바꾸어 설치함으로써, 복수의 종류의 반도체 부품 표면 가공에 대응할 수 있도록 되어 있다.

일본 공개특허공보 2011-222463호(6페이지, 도 5)

특허문헌 1에 있어서는, 볼트의 압압력에 의해 구동축과 통전롤 사이에서 기계적 접속 및 전기적 접속이 이루어져 있고, 회전 구동되는 구동축의 구동력을 통전롤에 전달하면서 구동축과 통전롤 사이에 도전 통로를 형성하고 있다. 그러나, 구동축과 통전롤은 회전을 수반하기 때문에 접속 부분에 있어서 볼트에 느슨함이 발생하는 경우가 있어, 볼트의 압압력이 약해짐으로써 구동축과 통전롤의 압접 상태가 변화하여, 구동축과 통전롤의 사이의 접촉 저항이 변동됨으로써, 구동축으로부터 통전롤로의 통전이 불안정해질 우려가 있었다.

본 발명은, 이러한 문제점에 착목하여 이루어진 것으로, 회전을 수반하는 부재 사이에 있어서 안정적인 통전을 유지할 수 있는 회전 커넥터를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 회전 커넥터는,

도전성을 갖고 구동력 전달부가 마련되며 회전 구동되는 한쪽의 회전 부재와,

도전성을 갖고 구동력 전달부가 마련되며 한쪽의 상기 회전 부재에 종동하여 회전하는 다른 한쪽의 회전 부재와,

지름 방향으로 겹치는 양쪽의 상기 구동력 전달부의 외주면에 각각 압접되는 탄성 변형 가능한 일련의 도전 부재를 구비하고 있다.

이에 의하면, 탄성 변형 가능한 일련으로 형성된 도전 부재가 양쪽의 회전 부재의 구동력 전달부의 외주면에 압접되어 있어, 도전 부재가 탄성 변형함으로써 접촉 저항의 변동이 억제되고, 당해 압접 상태가 회전 구동시에도 유지됨으로써, 한쪽의 구동력 전달부의 외주면, 도전 부재, 다른 한쪽의 구동력 전달부의 외주면을 연결하는 도전 경로가 확실하게 형성된다. 이와 같이, 회전 커넥터는, 구동력 전달부끼리의 계합에 의해 구동력을 전달하면서 회전 부재 사이에 있어서 안정적인 통전을 유지할 수 있다. 또한, 도전 부재는 탄성 변형 가능하기 때문에, 한쪽의 회전 부재와 다른 한쪽의 회전 부재의 기계적 접속 및 전기적 접속을 간단하게 행할 수 있다.

각각의 상기 구동력 전달부는, 중심축을 따라 연장되는 평탄면을 갖고 있어도 좋다.

이에 의하면, 회전에 수반하여 구동력 전달부가 서로 밸런스 좋게 힘을 받기 때문에, 구동력 전달부의 외주면으로부터 도전 부재로 작용하는 힘의 둘레 방향의 치우침이 작아, 접촉 저항의 변동을 억제할 수 있다.

상기 도전 부재는, 양쪽의 상기 회전 부재의 외주면에 각각 압접되는 탄성 압접부를 둘레 방향으로 복수 균등하게 갖고 있어도 좋다.

이에 의하면, 탄성 압접부를 양쪽의 회전 부재의 외주면에 둘레 방향으로 밸런스 좋게 압접시킬 수 있다.

상기 도전 부재는, 상기 탄성 압접부를 일련으로 연결하는 환상(環狀)의 연결부를 갖고 있어도 좋다.

이에 의하면, 회전에 수반하는 도전 부재의 변형을 억제할 수 있음과 동시에, 양쪽의 회전 부재에 외주로부터 긴박력을 부여하여 양쪽의 구동력 전달부를 확실하게 계합시킬 수 있다.

상기 도전 부재는, 양쪽의 상기 회전 부재보다도 도전율이 높아도 좋다.

이에 의하면, 도전 부재에 의해 회전 부재 사이에 있어서의 도전 통로를 확실하게 형성할 수 있다.

한쪽의 상기 회전 부재에는, 상기 도전 부재의 축방향의 이동을 규제하는 이동 규제 부재가 고정되어 있어도 좋다.

이에 의하면, 구동력 전달부에 대한 도전 부재의 축방향의 이동을 방지할 수 있다.

상기 이동 규제 부재는, 상기 도전 부재를 덮는 커버라도 좋다.

이에 의하면, 도전 부재에 대한 외부로부터의 접촉을 방지할 수 있다.

도 1은, 본 발명의 실시예에 있어서의 회전 커넥터를 나타내는 사시도이고,
도 2는, 실시예의 회전 커넥터의 분해 사시도이고,
도 3은, 실시예의 회전 커넥터를 나타내는 일부 단면도이고,
도 4는, 실시예의 회전 커넥터를 나타내는 도 3의 A-A 단면도이고,
도 5는, 변형예 1에 있어서의 회전 커넥터를 나타내는 일부 단면도이고,
도 6은, 변형예 2에 있어서의 회전 커넥터를 나타내는 일부 단면도이고,
도 7은, 변형예 2에 있어서의 구동력 전달부의 구조를 나타내는 사시도이다.또한, 설명의 편의상, 도 7에서는 구동축 및 종동축만을 도시하고 있다.

본 발명에 따른 회전 커넥터를 실시하기 위한 형태를 실시예에 기초하여 이하에 설명한다.

실시예

실시예에 따른 회전 커넥터에 대해, 도 1 내지 도 4를 참조하여 설명한다. 이하, 도 3의 정면측으로부터 보아 좌우측을 회전 커넥터의 좌우측으로 하여 설명한다.

본 실시예의 회전 커넥터(1)는, 예를 들면 반도체 제조기의 회전 개소에 사용되고, 회전 구동되는 한쪽의 회전 부재와, 한쪽의 회전 부재에 종동하여 회전하는 다른 한쪽의 회전 부재 사이에서 도시하지 않는 고주파 전원으로부터 공급되는 고주파의 전기를 통전하는 것이다.

도 1 ~ 도 3에 나타나는 바와 같이, 회전 커넥터(1)는, 도시하지 않는 반도체 제조기의 구동부에 의해 회전 구동되는 한쪽의 회전 부재로서의 구동축(2)과, 당해 구동축(2)에 종동하여 회전하는 다른 한쪽의 회전 부재로서의 종동축(3)과, 구동축(2) 및 종동축(3)을 기계적으로 접속하는 구동력 전달부(20, 30)의 외주면(20d, 30d)에 각각 압접되는 일련으로 형성된 도전 부재(4)와, 구동축(2)에 고정되고 도전 부재(4)의 외주를 덮는 이동 규제 부재로서의 커버(5)로 구성되어 있다.

구동축(2) 및 종동축(3)은, 도전성을 갖는 금속제의 단면 원형상의 기둥 형상체이다. 또한, 구동축(2) 및 종동축(3)은, 금속제인 것에 한정하지 않고, 도전성을 갖는 수지 등의 도전 재료에 의해 형성되어 있어도 좋다. 또한, 구동축(2)과 종동축(3)은, 동일한 도전 재료에 의해 형성되어 있어도 좋고, 상이한 도전 재료에 의해 형성되어 있어도 좋다.

도 2 ~ 도 4에 나타나는 바와 같이, 구동축(2) 및 종동축(3)에는, 축방향에 대향하는 단부에 각각 지름 방향으로 겹치는 단면 반원 형상의 구동력 전달부(20, 30)가 마련되어 있다. 구동력 전달부(20, 30)는, 구동축(2) 및 종동축(3)의 중심축을 따라 연장되고 지름 방향에 대향하는 평탄면(20a, 30a)을 갖고 있고, 양 평탄면(20a, 30a)이 계합함으로써 동력을 전달하도록 되어 있다. 또한, 구동력 전달부에 있어서 지름 방향에 대향하는 면은, 평탄면에 한정하지 않고 곡면이라도 좋다. 또한, 구동력 전달부에 있어서 지름 방향에 대향하는 면에는, 요철 등이 마련되어 있어도 좋다.

구동축(2)은, 구동력 전달부(20)의 평탄면(20a)을 종동축(3)의 구동력 전달부(30)의 평탄면(30a)에 지름 방향으로 맞닿게 함으로써, 구동축(2)의 구동력이 서로 계합하는 구동력 전달부(20, 30)에 의해 종동축(3)에 전달되어, 종동축(3)은 구동축(2)과 함께 회전하도록 되어 있다.

또한, 도 3에 나타나는 바와 같이, 구동력 전달부(20)의 선단면(20b)은, 구동력 전달부(30)의 근원측에 형성되는 종동축(3)의 단면(30c)에 축방향으로 맞닿음과 동시에, 구동력 전달부(30)의 선단면(30b)은, 구동력 전달부(20)의 근원측에 형성되는 구동축(2)의 단면(20c)에 축방향으로 맞닿아 있다. 즉, 구동력 전달부(20, 30)는, 상보적인 형상을 이루고 있다.

구동력 전달부(20, 30)는, 서로 축방향으로 가까워지는 방향으로의 이동을 규제하고 있다. 또한, 구동력 전달부(20, 30)는, 도전 부재(4)가 항상 구동력 전달부(20, 30)의 외주면(20d, 30d)에 각각 압접되는 범위 내이면, 축방향 양측으로의 이동이 허용되어 있어도 좋다.

도 1 ~ 도 3에 나타나는 바와 같이, 커버(5)는, 대략 원통 형상을 이루고, 도전 부재(4)를 내경측에 수용 가능한 원통부(50)와, 원통부(50)의 축방향 좌단부로부터 내경 방향으로 연장되는 고정 플랜지부(51)를 갖고 있다. 또한, 커버(5)는, 세라믹스나 수지 등의 절연체로 형성되어 있다.

도 3에 나타나는 바와 같이, 원통부(50)의 내경측에 도전 부재(4)가 수용된 상태에 있어서, 도전 부재(4)의 외주면, 상세하게는 후술하는 연결부(41, 41)의 외주면은, 원통부(50)의 내주면을 따라 맞닿아 있다. 또한, 도전 부재(4)의 외주면과 원통부(50)의 내주면은, 지름 방향으로 이간하고 있어도 좋다.

또한, 원통부(50)의 내경측에 도전 부재(4)가 수용된 상태에 있어서, 도전 부재(4)의 축방향 좌단은, 고정 플랜지부(51)의 축방향 우단면에 축방향으로 맞닿고, 도전 부재(4)의 축방향 우단은, 원통부(50)의 축방향 우단과 축방향으로 일치하여 배치된다. 즉, 원통부(50)에 대한 도전 부재(4)의 삽입 정도를 고정 플랜지부(51)와의 맞닿음에 의해 규정할 수 있다. 그 때문에 회전 커넥터(1)의 조립 작업성이 높다.

또한, 고정 플랜지부(51)에는, 그 내경측에 축방향으로 관통하는 관통 구멍(51a)이 마련되어 있다. 커버(5)는, 관통 구멍(51a)에 구동축(2)이 삽입 통과된 상태에서 구동축(2)의 외주면에 대하여 압입 고정된다. 즉, 커버(5) 및 도전 부재(4)는, 구동축(2)과 함께 회전한다. 또한, 커버(5)의 구동축(2)으로의 고정은 압입 이외의 방법이라도 좋다.

도 2 ~ 도 4에 나타나는 바와 같이, 도전 부재(4)는, 금속제의 대략 원통 형상의 판 스프링이며, 축방향 중앙부가 내경 방향으로 휘는 단면 대략 원호 형상을 이루고 둘레 방향으로 12등배되는 탄성 압접부(40)와, 각 탄성 압접부(40)의 축방향 양단을 각각 둘레 방향으로 일련으로 연결하는 환상의 연결부(41, 41)를 갖고 있다. 또한, 도전 부재(4)는, 구동축(2) 및 종동축(3)보다도 도전율이 높은 도전 재료로 형성된다.

또한, 도전 부재(4)의 장착 전의 상태(도 2 참조)에 있어서, 내경 방향으로 휘는 탄성 압접부(40)의 축방향 중앙부의 내면(40a)에 있어서의 최소 내경부(M)의 내경 치수는, 구동력 전달부(20, 30)가 기계적으로 접속된 상태에 있어서의 구동력 전달부(20, 30)의 외경 치수보다도 작게 형성되어 있다.

즉, 도전 부재(4)의 내경측에 구동력 전달부(20, 30)가 삽입 통과됨으로써, 각 탄성 압접부(40)의 축방향 중앙부가 외경측으로 균등하게 넓혀진다. 이에 따라, 각 탄성 압접부(40)는 압축 상태가 되고, 그 탄성 복원력에 의해 내면(40a)이 구동력 전달부(20, 30)의 외주면(20d, 30d)에 대략 균등한 힘으로 압접되어, 구동축(2)과 종동축(3)이 도전 부재(4)를 통하여 전기적으로 접속된다.

예를 들면, 도 4에 있어서 화살표로 나타나는 바와 같이, 도시하지 않는 고주파 전원으로부터 구동축(2)으로 공급된 전류는, 구동력 전달부(20)의 외주면(20d)으로부터 구동력 전달부(20)의 외주면(20d)에 압접되는 탄성 압접부(40)로 흐르고, 연결부(41, 41)를 통과하여 구동력 전달부(30)의 외주면(30d)에 압접되는 탄성 압접부(40)로부터 구동력 전달부(30)의 외주면(30d)으로 흘러, 종동축(3)에 공급된다. 또한, 본 실시예의 회전 커넥터(1)는, 전술한 바와 같이 도전 부재(4)를 통하여 구동축(2)과 종동축(3)이 전기적으로 접속되는 것이며, 구동력 전달부(20, 30)의 지름 방향에 대향하는 평탄면(20a, 30a) 사이에 있어서 전류는 흐르지 않아도 좋다.

이상 설명한 바와 같이, 회전 커넥터(1)는, 도전성을 갖고 구동력 전달부(20)가 마련되며 회전 구동되는 구동축(2)과, 도전성을 갖고 구동력 전달부(30)가 마련되며 구동축(2)에 종동하여 회전하는 종동축(3)과, 지름 방향으로 겹치는 구동력 전달부(20, 30)의 외주면(20d, 30d)에 각각 압접되는 탄성 변형 가능한 일련의 도전 부재(4)를 구비하고 있다. 이에 의하면, 탄성 변형 가능한 일련으로 형성된 도전 부재(4)의 탄성 압접부(40)가 구동축(2) 및 종동축(3)의 구동력 전달부(20, 30)의 외주면(20d, 30d)에 압접되어 있어, 도전 부재(4)의 탄성 압접부(40)가 탄성 변형함으로써 접촉 저항의 변동이 억제되고, 당해 압접 상태가 회전 구동시에도 유지됨으로써, 구동력 전달부(20)의 외주면(20d), 도전 부재(4), 구동력 전달부(30)의 외주면(30d)을 연결하는 도전 경로(도 4 참조)가 확실하게 형성된다. 이와 같이, 회전 커넥터(1)는, 구동력 전달부(20, 30)끼리의 계합에 의해 구동력을 전달하면서 구동축(2)과 종동축(3) 사이에서 안정적인 통전을 유지할 수 있다.

또한, 도전 부재(4)는 탄성 변형 가능하기 때문에, 구동축(2)과 종동축(3)의 기계적 접속 및 전기적 접속을 간단하게 행할 수 있다. 상세하게는, 구동축(2)에 고정되는 커버(5)의 내경측에 도전 부재(4)가 수용된 상태에서, 도 3에 있어서 쇄선으로 나타나는 삽입 전 상태의 종동축(3)의 구동력 전달부(30)의 평탄면(30a)을 구동축(2)의 구동력 전달부(20)의 평탄면(20a)과 지름 방향에 대향시키고, 도전 부재(4)의 내경측에 축방향으로 삽입함으로써, 구동축(2)과 종동축(3)의 기계적 접속 및 전기적 접속을 원터치로 간단하게 행할 수 있다.

또한, 구동력 전달부(20, 30)는, 상보적인 형상으로 이루어져, 구동력 전달부(20, 30)의 선단면(20b, 30b)이 구동축(2) 및 종동축(3)의 단면(20c, 30c)에 축방향으로 맞닿음으로써, 도전 부재(4)의 내경측에 축방향으로 삽입되는 종동축(3)의 삽입 정도가 규정된다. 그 때문에, 회전 커넥터(1)의 조립 작업성이 높다.

또한, 구동력 전달부(20, 30)의 외주면(20d, 30d)과 각 탄성 압접부(40)의 내면(40a)의 접촉 면적이 확보된 상태가 유지되기 때문에, 고주파의 전류가 통전되어도 발열이 발생하기 어려워, 발열에 의한 손상을 방지할 수 있다.

또한, 구동력 전달부(20, 30)는, 중심축을 따라 연장되는 평탄면(20a, 30a)을 가짐과 동시에, 상보적인 형상을 이루고 있다. 이에 의하면, 회전에 수반하여 구동력 전달부(20, 30)가 서로 밸런스 좋게 힘을 받기 때문에, 구동력 전달부(20, 30)의 외주면(20d, 30d)으로부터 도전 부재(4)로 작용하는 힘의 둘레 방향의 치우침이 작아, 접촉 저항의 변동을 억제할 수 있다.

또한, 도전 부재(4)는, 탄성 압접부(40)를 둘레 방향으로 복수 균등하게 가지고 있다. 이에 의하면, 각 탄성 압접부(40)의 내면(40a)을 구동력 전달부(20, 30)의 외주면(20d, 30d)에 둘레 방향으로 밸런스 좋게 압접시킬 수 있어, 구동력 전달부(20, 30)의 외주면(20d, 30d)으로부터 도전 부재(4)로 작용하는 힘의 둘레 방향의 치우침을 더욱 작게 할 수 있다.

또한, 도전 부재(4)는, 구동력 전달부(20, 30)의 외주면(20d, 30d)에 각 탄성 압접부(40)의 축방향 중앙부의 내면(40a)을 압접시키고 있기 때문에, 구동력 전달부(20, 30)의 외주면(20d, 30d)으로부터 도전 부재(4)로 작용하는 힘을 안정시킬 수 있다. 또한, 각 탄성 압접부(40)의 내면(40a)은, 구동력 전달부(20, 30)의 외주면(20d, 30d)에 있어서의 대략 동일한 축방향 위치에 있어서 압접되기 때문에, 도전 부재(4)를 축방향으로 콤팩트하게 구성할 수 있다.

또한, 도전 부재(4)는, 각 탄성 압접부(40)를 일련으로 연결하는 환상의 연결부(41, 41)를 갖고 있다. 이에 의하면, 회전에 수반하는 도전 부재(4)의 변형을 억제할 수 있음과 동시에, 구동축(2) 및 종동축(3)에 외주로부터 긴박력을 부여하여 구동력 전달부(20, 30)를 확실하게 계합시킬 수 있다. 또한, 도전 부재(4)는, 각 탄성 압접부(40)의 축방향 양단이 환상의 연결부(41, 41)에 의해 일련으로 연결됨으로써 대략 원통 형상을 이루고 있기 때문에, 회전에 수반하는 도전 부재(4)의 변형이 더욱 억제되어 있다.

또한, 도전 부재(4)는, 구동축(2) 및 종동축(3)보다도 도전율이 높은 도전 재료에 의해 형성되어 있다. 이에 의하면, 도전 부재(4)에 의해 구동력 전달부(20, 30) 사이에 있어서의 도전 통로를 확실하게 형성할 수 있다.

또한, 회전 구동하는 구동축(2)에는, 도전 부재(4)의 축방향의 이동을 규제하는 이동 규제 부재로서의 커버(5)가 고정되어 있다. 이에 의하면, 구동력 전달부(20, 30)에 대한 도전 부재(4)의 축방향의 이동을 방지할 수 있어, 각 탄성 압접부(40)의 내면(40a)을 구동력 전달부(20, 30)의 외주면(20d, 30d)에 확실하게 압접시킬 수 있다.

또한, 커버(5)에 의해 도전 부재(4)의 외주가 덮여 있기 때문에, 도전 부재(4)에 대한 외부로부터의 접촉을 방지할 수 있다.

또한, 커버(5)의 내경측에 있어서는, 도전 부재(4)의 연결부(41, 41)의 외주면이 원통부(50)의 내주면을 따라 맞닿아 있기 때문에, 연결부(41, 41)의 강도가 높아져, 각 탄성 압접부(40)를 안정적으로 탄성 변형시킬 수 있다. 또한, 커버(5)에 의해, 도전 부재(4)의 과잉된 변형에 의한 파손이 방지되기 때문에, 구동력 전달부(20, 30)에 있어서의 기계적 접속 및 도전 부재(4)에 의한 구동력 전달부(20, 30) 사이의 전기적 접속이 확실하게 유지된다.

또한, 도전 부재(4) 및 커버(5)는, 구동축(2) 및 종동축(3)과 함께 회전하기 때문에, 이들 부재 사이에 있어서 회전에 의한 마모가 발생하는 일이 없어, 메인터넌스성이 높다.

이상, 본 발명의 실시예를 도면에 의해 설명했지만, 구체적인 구성은 이들 실시예에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서의 변경이나 추가가 있어도 본 발명에 포함된다.

예를 들면, 상기 실시예에서는, 구동축(2) 및 종동축(3)의 구동력 전달부(20, 30)는, 구동축(2) 및 종동축(3)의 중심축을 따라 연장되는 평탄면(20a, 30a)을 갖는 단면 반원 형상으로 형성되는 것으로 하여 설명했지만, 이에 한정하지 않고, 구동력 전달부는, 지름 방향으로 겹쳐 구동력을 회전축으로부터 종동축으로 전달할 수 있는 것이면, 예를 들면 도 5에 나타나는 변형예 1과 같이, 구동축(102) 및 종동축(103)의 중심축에 대하여 경사지는 경사면(102a, 103a)을 각각 갖는 형상으로 형성되어도 좋다.

또한, 도 6 및 도 7에 나타나는 변형예 2와 같이, 구동축(202) 및 종동축(203)의 축방향에 대향하는 단부로부터 축방향으로 돌출되는 갈고리 형상 볼록부(220, 230)와, 오목부(221, 231)가 서로 키 결합됨으로써 구동력 전달부가 구성되어 있어도 좋다. 이 경우, 도 6에 나타나는 바와 같이, 도전 부재(204)의 각 탄성 압접부(240)의 내면(240a)은, 구동력 전달부의 위치에 있어서의 외주면(220a, 230a)에 대하여 축방향으로 상이한 위치에서 각각 압접되어 있어도 좋다.

또한, 상기 실시예에서는, 도전 부재(4)는, 대략 원통 형상의 판 스프링으로 구성되는 것으로 하여 설명했지만, 이에 한정하지 않고, 도전 부재는, 예를 들면 연결부가 C자 형상으로 형성되는 유단(有端) 형상의 판 스프링으로 구성되어 있어도 좋다. 또한, 도전 부재는, 탄성 변형 가능한 것이면, 판 스프링 이외로 구성되어 있어도 좋다. 또한, 도전 부재는, 전체가 탄성 변형 가능할 필요는 없고, 적어도 구동력 전달부에 맞닿는 부위가 탄성 변형 가능하면 좋다.

또한, 상기 실시예에서는, 도전 부재(4)는, 각 탄성 압접부(40)의 축방향 양단이 연결부(41, 41)에 의해 일련으로 연결되어 있는 것으로 하여 설명했지만, 이에 한정하지 않고, 예를 들면, 각 탄성 압접부의 축방향 일단만이 연결부에 의해 일련으로 연결되어 있어도 좋다.

또한, 탄성 압접부는, 축방향 중앙부가 둘레 방향으로 연결되고 그 내면이 구동력 전달부의 외주면에 환상으로 압접되어 있어도 좋다.

또한, 상기 실시예에서는, 탄성 압접부(40)는, 둘레 방향으로 12등배되는 것으로 하여 설명했지만, 이에 한정하지 않고, 도전 부재에 있어서의 탄성 압접부의 수나 배치는 자유롭게 구성되어도 좋다.

또한, 상기 실시예에서는, 탄성 압접부(40)는, 축방향 중앙부가 내경 방향으로 휘는 단면 대략 원호 형상을 이루는 것으로 하여 설명했지만, 이에 한정하지 않고, 탄성 압접부는 다른 단면 형상을 갖는 것이라도 좋다.

또한, 도전 부재는, 구동축 및 종동축보다도 도전율이 높은 도전 재료로 형성되는 것에 한정하지 않고, 도전 부재는, 구동축 및 종동축과 도전율이 동일한 도전 재료로 형성되어도 좋고, 도전율이 낮은 도전 재료로 형성되어도 좋다.

또한, 회전 커넥터는, 도전 부재의 외주를 덮는 커버를 갖고 있지 않아도 좋다. 이 경우, 도전 부재의 축방향의 이동을 규제하는 이동 규제 부재는, 예를 들면 도전 부재와 축방향으로 맞닿는 상기 실시예의 고정 플랜지부(51)와 같은 원판 형상으로 구성되어도 좋다.

또한, 이동 규제 부재는, 구동축에 고정되는 것에 한정하지 않고, 종동축에 고정되어 있어도 좋다.

또한, 회전 커넥터는, 이동 규제 부재를 갖고 있지 않아도 좋다.

또한, 상기 실시예에서는, 회전 커넥터(1)는, 회전을 수반하는 부재 사이에 있어서 고주파의 전기를 통전하는 것으로 하여 설명했지만, 이에 한정하지 않고, 회전을 수반하는 부재 사이에 있어서 저주파의 전기를 통전하는 것이나 전기 신호를 전달하는 것이라도 좋다. 또한, 회전 커넥터는, 반도체 제조기 이외의 회전 기기에 적용되어도 좋다.

1; 회전 커넥터
2; 구동축(한쪽의 회전 부재)
3; 종동축(다른 한쪽의 회전 부재)
4; 도전 부재
5; 커버(이동 규제 부재)
20, 30; 구동력 전달부
20a, 30a; 평탄면
20d, 30d; 외주면
40; 탄성 압접부
40a; 내면
41; 연결부
50; 원통부
51; 고정 플랜지부
220, 230; 볼록부(구동력 전달부)
221, 231; 오목부(구동력 전달부)

Claims

도전성을 갖고 구동력 전달부가 마련되며 회전 구동되는 한쪽의 회전 부재와,
도전성을 갖고 구동력 전달부가 마련되며 한쪽의 상기 회전 부재에 종동하여 회전하는 다른 한쪽의 회전 부재와,
지름 방향으로 겹치는 양쪽의 상기 구동력 전달부의 외주면에 각각 압접되는 탄성 변형 가능한 일련의 도전 부재를 구비하고 있는 회전 커넥터.
제1항에 있어서,
각각의 상기 구동력 전달부는, 중심축을 따라 연장되는 평탄면을 갖고 있는 회전 커넥터.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 도전 부재는, 양쪽의 상기 회전 부재의 외주면에 각각 압접되는 탄성 압접부를 둘레 방향으로 복수 균등하게 갖고 있는 회전 커넥터.
제3항에 있어서,
상기 도전 부재는, 상기 탄성 압접부를 일련으로 연결하는 환상(環狀)의 연결부를 갖고 있는 회전 커넥터.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 도전 부재는, 양쪽의 상기 회전 부재보다도 도전율이 높은 회전 커넥터.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
한쪽의 상기 회전 부재에는, 상기 도전 부재의 축방향의 이동을 규제하는 이동 규제 부재가 고정되어 있는 회전 커넥터.
제6항에 있어서,
상기 이동 규제 부재는, 상기 도전 부재를 덮는 커버인 회전 커넥터.