KR20210076612A - Chemical supply device and chemical sampling system using same - Google Patents

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Abstract

Disclosed are a chemical supply apparatus and a chemical sampling system using the same. In accordance with one embodiment of the present invention, the chemical supply apparatus includes: a plurality of supply pipes supplying chemicals stored in different positions, respectively; an integrated nozzle connected with the plurality of supply pipes, having a plurality of flow paths formed therein independently from each other to be connected to the plurality of supply pipes respectively, and having a plurality of outlets formed on an outer surface thereof to be connected to the plurality of flow paths, respectively; and a nozzle lifting unit combined with the integrated nozzle to lift and lower the integrated nozzle, while lowering the integrated nozzle to locate at least a lower part of the integrated nozzle, in which the plurality of outlets are formed, in an internal storage space of a sample container through an opening formed in an upper part of the sample container, and, upon the completion of the discharge of the chemicals through the integrated nozzle, lifting the integrated nozzle up to withdraw the integrated nozzle out of the sample container. Therefore, the present invention is capable of reducing work and time for chemical sampling work.

Description

케미컬 공급 장치 및 이를 이용한 케미컬 샘플링 시스템{Chemical supply device and chemical sampling system using same}Chemical supply device and chemical sampling system using same

본 발명은 케미컬 공급 장치 및 이를 이용한 케미컬 샘플링 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 케미컬을 샘플링하기 위한 샘플 용기의 내부 수용 공간에 케미컬을 공급하는 케미컬 공급 장치 및 이를 이용한 케미컬 샘플링 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical supply device and a chemical sampling system using the same, and more particularly, to a chemical supply device for supplying a chemical to an internal accommodation space of a sample container for sampling a chemical, and a chemical sampling system using the same.

일반적으로, 반도체 공장이나 화학약품 공장 등과 같이 다양한 케미컬(chemical)을 사용하는 케미컬 사용처에는 케미컬을 이송하는 배관, 케미컬을 저장하는 저장탱크 등과 같이 케미컬의 이송, 저장, 관리, 처리를 위한 다양한 시설들이 마련되어 있다. 이러한 케미컬 사용처에서는 케미컬을 사용 가능한 상태로 관리하기 위해, 케미컬을 수용하고 있는 각각의 시설이나 배관으로부터 주기적으로 케미컬을 샘플링하는 작업과 샘플링된 케미컬을 검사하는 작업이 이루어지고 있다.In general, various facilities for transporting, storing, managing, and processing chemicals such as pipes for transporting chemicals and storage tanks for storing chemicals are used in places where various chemicals are used, such as semiconductor plants or chemical plants. is provided. In these places where chemicals are used, in order to manage the chemicals in a usable state, periodic sampling of chemicals and inspection of sampled chemicals are performed from each facility or pipe accommodating chemicals.

그러나, 한국 공개특허공보 제10-2004-0071853호, 한국 등록특허공보 제10-0544056호 등에 개시된 바와 같이, 기존 기술은 밸브에 의해 개폐되는 단순한 케미컬 라인을 통해 샘플 용기에 케미컬을 충전하기 때문에, 케미컬 라인과 샘플 용기간의 연결이나 분리시 작업자가 직접 관여해야 하고, 그 결과 작업자가 케미컬에 노출될 위험이 상존하고, 케미컬 샘플링을 위해 작업자의 많은 노력과 시간이 요구되는 문제점이 있다. 더욱이, 기존 기술은 케미컬 라인과 샘플 용기를 분리한 후 케미컬 라인에서 누출되는 잔량의 케미컬을 안전하게 처리하는 방안을 제시하지 못하고 있다는 문제점이 있다.However, as disclosed in Korean Patent Publication No. 10-2004-0071853 and Korean Patent Publication No. 10-0544056, the existing technology fills the sample container with chemicals through a simple chemical line that is opened and closed by a valve, When connecting or disconnecting the chemical line and the sample container, the operator must be directly involved, and as a result, there is a risk that the operator is exposed to chemicals, and there is a problem that a lot of effort and time of the operator is required for chemical sampling. Moreover, the existing technology has a problem in that it does not provide a method for safely processing the remaining amount of chemicals leaked from the chemical line after separating the chemical line from the sample container.

1. 한국 공개특허공보 제10-2004-0071853호1. Korean Patent Publication No. 10-2004-0071853 2. 한국 등록특허공보 제10-0544056호2. Korean Patent Publication No. 10-0544056

본 발명은 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 케미컬 샘플링 작업에 요구되는 케미컬 라인과 샘플 용기 간 연결·분리 작업을 자동화 및 간편화하고, 케미컬 샘플링 작업에 요구되는 인력과 시간을 절감하는 케미컬 공급 장치 및 이를 이용한 케미컬 샘플링 시스템을 제공하는 데 그 목적이 있다.The present invention was devised to solve the above problems, and it automates and simplifies the connection/separation work between the chemical line and the sample container required for the chemical sampling operation, and reduces the manpower and time required for the chemical sampling operation. An object of the present invention is to provide a supply device and a chemical sampling system using the same.

또한, 본 발명은 케미컬 라인에서 누출되는 잔량의 케미컬을 안전하게 수집하여 배출하고, 케미컬 라인을 통한 세정수 등의 배출을 용이하게 하는 케미컬 공급 장치 및 이를 이용한 케미컬 샘플링 시스템을 제공하는 데 그 목적이 있다.In addition, the present invention safely collects and discharges the residual amount of chemicals leaking from the chemical line, and to provide a chemical supply device that facilitates the discharge of washing water through the chemical line, and a chemical sampling system using the same. .

본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 공급 장치는, 케미컬을 샘플링하기 위한 샘플 용기의 내부 수용 공간에 케미컬을 공급하는 장치로서, 각각 서로 다른 위치에 수용된 케미컬을 공급하는 복수의 공급관; 상기 복수의 공급관과 연결되며, 내부에 상호 독립적으로 구성되어 상기 복수의 공급관과 각각 연통되는 복수의 유로가 형성되고, 외부면에 상기 복수의 유로와 각각 연통되는 복수의 토출구가 형성된 일체형 노즐; 및 상기 일체형 노즐과 결합하여 상기 일체형 노즐을 승강시키되, 상기 일체형 노즐을 하강시켜 적어도 상기 복수의 토출구가 형성된 상기 일체형 노즐의 하단부를 상기 샘플 용기의 상단부에 형성된 개구를 통해 상기 샘플 용기의 내부 수용 공간에 위치시키고, 상기 일체형 노즐을 통한 케미컬의 토출이 완료되면 상기 일체형 노즐을 상승시켜 상기 일체형 노즐을 상기 샘플 용기의 외부로 인출하는 노즐 승강 유닛을 포함한다.A chemical supply apparatus according to an embodiment of the present invention is an apparatus for supplying a chemical to an internal accommodation space of a sample container for sampling a chemical, and includes: a plurality of supply pipes for supplying chemicals accommodated in different positions; an integral nozzle connected to the plurality of supply pipes, each having a plurality of flow passages respectively connected to the plurality of supply pipes, each configured independently of each other therein, and a plurality of discharge ports communicating with the plurality of flow passages, respectively, formed on an outer surface thereof; and a lower end of the integral nozzle having at least the plurality of discharge ports formed by lowering the integral nozzle by combining with the integral nozzle to raise and lower the integral nozzle through an opening formed in the upper end of the sample container. and a nozzle lifting unit for lifting the integrated nozzle to the outside of the sample container by raising the integrated nozzle when discharge of the chemical through the integrated nozzle is completed.

일 실시예에 있어서, 상기 일체형 노즐은, 상기 복수의 공급관의 단부들이 각각 삽입되어 결합되는 복수의 삽입구를 가지며 상기 노즐 승강 유닛과 결합되는 결합부; 및 상기 샘플 용기에 형성된 개구의 내경보다 작은 외경을 가지며 상기 결합부에서 하방으로 연장되어 상기 샘플 용기의 내부 수용 공간에 삽입 가능하게 구성되며, 외부면에 상기 복수의 토출구가 형성된 삽입부를 포함한다.In one embodiment, the integrated nozzle, the end of the plurality of supply pipe is each having a plurality of insertion holes are inserted and coupled to the coupling portion coupled to the nozzle lifting unit; and an insert having an outer diameter smaller than the inner diameter of the opening formed in the sample container and extending downwardly from the coupling part to be insertable into the inner receiving space of the sample container, and having the plurality of outlets formed on the outer surface.

일 실시예에 있어서, 상기 일체형 노즐에 형성된 상기 복수의 토출구는, 각각 상기 샘플 용기의 내부 수용 공간에서 케미컬을 상기 샘플 용기의 측벽으로 비스듬하게 토출하도록 구성된다.In an embodiment, the plurality of discharge ports formed in the integrated nozzle are configured to obliquely discharge chemicals from the internal accommodation space of the sample container to the sidewall of the sample container.

일 실시예에 있어서, 상기 일체형 노즐은, 합성수지로 구성된다.In one embodiment, the integrated nozzle is composed of a synthetic resin.

일 실시예에 있어서, 상기 노즐 승강 유닛은, 상기 일체형 노즐과 결합하여 상기 일체형 노즐을 지지하는 지지 프레임; 상기 지지 프레임이 고정되는 고정 프레임; 및 상기 고정 프레임을 승강시키는 프레임 구동부를 포함한다.In one embodiment, the nozzle lifting unit may include: a support frame coupled to the integrated nozzle to support the integrated nozzle; a fixed frame to which the support frame is fixed; and a frame driving unit for elevating the fixed frame.

일 실시예에 있어서, 상기 케미컬 공급 장치는, 적어도 상기 일체형 노즐의 하단부가 삽입되도록 형성된 삽입구 및 상기 삽입구와 연통되는 내부 수집 공간을 가지며 상기 일체형 노즐의 하방에 배치되고, 상기 일체형 노즐이 상기 노즐 승강 유닛에 의해 하강되어 상기 삽입구에 삽입되면 상기 일체형 노즐의 토출구에서 유출되는 유출물을 상기 내부 수집 공간에 수집하는 드레인 포트를 더 포함한다.In one embodiment, the chemical supply device has at least an insertion hole formed so that the lower end of the integrated nozzle is inserted, and an internal collection space communicating with the insertion hole, and is disposed below the integrated nozzle, and the integrated nozzle moves the nozzle up and down. When it is lowered by the unit and inserted into the insertion port, it further includes a drain port for collecting the effluent flowing out from the discharge port of the integrated nozzle into the internal collection space.

일 실시예에 있어서, 상기 노즐 승강 유닛은, 상기 일체형 노즐을 상승시켜 상기 일체형 노즐을 상기 샘플 용기의 외부로 인출한 후, 상기 샘플 용기가 타 위치로 이동되면 상기 일체형 노즐을 다시 하강시켜 적어도 상기 일체형 노즐의 하단부를 상기 드레인 포트의 삽입구에 삽입하도록 구성된다.In one embodiment, the nozzle lifting unit raises the integral nozzle to withdraw the integral nozzle to the outside of the sample container, and then lowers the integral nozzle again when the sample container is moved to another position to at least the The lower end of the integral nozzle is configured to be inserted into the insertion hole of the drain port.

일 실시예에 있어서, 상기 드레인 포트는, 상기 삽입구의 둘레에 마련되어 상기 삽입구와 상기 삽입구에 삽입된 노즐 사이를 실링하는 실링 부재를 포함한다.In an embodiment, the drain port includes a sealing member provided around the insertion hole to seal between the insertion hole and the nozzle inserted into the insertion hole.

일 실시예에 있어서, 상기 드레인 포트는, 상기 내부 수집 공간과 연통되어 상기 내부 수집 공간에 수집된 유출물을 미리 정해진 지점으로 배출하는 배출관을 포함한다.In an embodiment, the drain port includes a discharge pipe communicating with the internal collection space to discharge the effluent collected in the internal collection space to a predetermined point.

일 실시예에 있어서, 상기 케미컬 공급 장치는, 상기 복수의 공급관을 공급관별로 개폐하는 개폐 밸브; 상기 일체형 노즐을 통해 상기 샘플 용기에 충전되는 케미컬의 충전 레벨을 감지하는 레벨 센서; 및 상기 개폐 밸브를 제어하여 상기 복수의 공급관 중 일 공급관을 개방하고, 상기 레벨 센서에 의해 감지된 충전 레벨이 일정 기준 레벨에 도달하면 상기 일 공급관을 폐쇄하는 제어부를 더 포함한다.In one embodiment, the chemical supply device comprises: an opening/closing valve for opening and closing the plurality of supply pipes for each supply pipe; a level sensor for detecting a filling level of a chemical filled in the sample container through the integrated nozzle; and a control unit configured to control the opening/closing valve to open one supply pipe among the plurality of supply pipes, and to close the one supply pipe when the filling level sensed by the level sensor reaches a predetermined reference level.

일 실시예에 있어서, 상기 개폐 밸브는, 상기 일 공급관의 폐쇄 시 상기 일 공급관 내에 잔존하는 케미컬을 흡입하는 석백 밸브(suck back valve)를 포함한다.In an embodiment, the on-off valve includes a suck back valve for sucking the chemicals remaining in the one supply pipe when the one supply pipe is closed.

일 실시예에 있어서, 상기 레벨 센서는, 상기 케미컬의 충전 레벨이 제1 기준 레벨에 도달했는지를 감지하는 제1 레벨 센서; 및 상기 케미컬의 충전 레벨이 제1 기준 레벨보다 높은 제2 기준 레벨에 도달했는지를 감지하는 제2 레벨 센서를 포함한다.In one embodiment, the level sensor comprises: a first level sensor for detecting whether the filling level of the chemical has reached a first reference level; and a second level sensor configured to detect whether the chemical charge level has reached a second reference level higher than the first reference level.

일 실시예에 있어서, 상기 케미컬 공급 장치는, 상기 복수의 공급관 중 적어도 한 공급관과 연통되어 상기 적어도 한 공급관에 세정수를 제공하는 세정수 라인; 및 상기 적어도 한 공급관과 연통되어 상기 적어도 한 공급관에 건조 가스를 제공하는 건조 가스 라인을 더 포함한다.In an embodiment, the chemical supply device may include: a washing water line communicating with at least one supply pipe among the plurality of supply pipes to provide washing water to the at least one supply pipe; and a drying gas line communicating with the at least one supply pipe to provide a drying gas to the at least one supply pipe.

본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 샘플링 시스템은, 상기 케미컬 공급 장치를 이용하는 시스템으로서, 외부와 차단되는 내부 공간 및 상기 내부 공간을 제1 구역과 제2 구역으로 분리하는 내부 격벽을 가지며, 외부면에 상기 제1 구역과 연통되는 제1 윈도가 형성되고, 상기 내부 격벽에 상기 제1 구역과 상기 제2 구역 간의 통로를 제공하는 제2 윈도가 형성된 챔버; 및 상기 샘플 용기를 파지하도록 구성된 그리퍼를 가지며 상기 제2 구역에 배치되고, 상기 제1 구역에 거치된 상기 샘플 용기를 상기 제2 윈도를 통해 상기 그리퍼로 파지하여 상기 제2 구역으로 운반하는 샘플 용기 운반 유닛을 포함하고, 상기 케미컬 공급 장치는, 상기 제2 구역에 배치되어 상기 샘플 용기 운반 유닛에 의해 운반된 샘플 용기의 내부 수용 공간에 케미컬을 공급하도록 구성된다.A chemical sampling system according to an embodiment of the present invention is a system using the chemical supply device, and has an internal space blocked from the outside and an internal partition separating the internal space into a first zone and a second zone, and an external surface a chamber in which a first window communicating with the first region is formed in the chamber, and a second window providing a passage between the first region and the second region is formed in the inner partition; and a gripper configured to grip the sample container, the sample container being disposed in the second zone, and holding the sample container mounted in the first zone with the gripper through the second window and transporting the sample container to the second zone and a transport unit, wherein the chemical supply device is configured to supply a chemical to the inner receiving space of the sample container that is disposed in the second zone and carried by the sample container transport unit.

일 실시예에 있어서, 상기 챔버는, 상기 제1 윈도를 개폐하는 개폐 도어; 및 상기 제2 윈도를 슬라이딩 방식으로 개폐하는 자동 셔터를 포함한다.In one embodiment, the chamber, an opening and closing door for opening and closing the first window; and an automatic shutter that opens and closes the second window in a sliding manner.

일 실시예에 있어서, 상기 자동 셔터는, 상기 샘플 용기가 상기 제1 윈도를 통해 상기 제1 구역에 거치되면 상기 제2 윈도를 개방하고, 상기 제2 윈도의 개방 후 상기 샘플 용기가 상기 샘플 용기 운반 유닛에 의해 상기 제2 구역으로 운반되면 상기 제2 윈도를 폐쇄하도록 구성된다.In one embodiment, the automatic shutter opens the second window when the sample container is mounted in the first region through the first window, and after opening the second window, the sample container is the sample container configured to close the second window when conveyed by the conveying unit to the second zone.

일 실시예에 있어서, 상기 챔버는, 외부와 차단되며 상기 제1 및 제2 구역과 분리된 제3 구역; 및 상기 제3 구역을 개폐하는 비상용 도어를 포함하고, 상기 케미컬 공급 장치는, 상기 복수의 공급관 중 일 공급관에서 분기되어 상기 제3 구역으로 케미컬을 공급하는 비상용 공급관; 및 상기 제3 구역에 배치되어 상기 비상용 공급관을 수동으로 개폐하는 수동 밸브를 더 포함한다.In one embodiment, the chamber may include: a third zone that is blocked from the outside and is separated from the first and second zones; and an emergency door for opening and closing the third zone, wherein the chemical supply device includes: an emergency supply pipe branching from one supply pipe among the plurality of supply pipes to supply chemicals to the third zone; and a manual valve disposed in the third zone to manually open and close the emergency supply pipe.

일 실시예에 있어서, 상기 시스템은, 상기 제1 구역에 배치되며 상기 샘플 용기가 안착되는 샘플 용기 홀더를 더 포함하고, 상기 샘플 용기 운반 유닛은, 상기 샘플 용기가 상기 샘플 용기 홀더에 안착되면 상기 제2 윈도를 통해 상기 샘플 용기를 파지하여 상기 제2 구역으로 운반하고, 상기 제2 구역에서 상기 케미컬 공급 장치에 의해 상기 샘플 용기에 케미컬이 충전되면 상기 케미컬이 충전된 샘플 용기를 상기 제2 윈도를 통해 상기 제1 구역으로 운반하도록 구성된다.In one embodiment, the system further comprises a sample vessel holder disposed in the first zone and on which the sample vessel is seated, wherein the sample vessel transport unit is configured to: The sample container is gripped through the second window and transported to the second zone, and when the sample container is filled with a chemical by the chemical supply device in the second zone, the chemical-filled sample container is transferred to the second window is configured to transport to the first zone via

일 실시예에 있어서, 상기 시스템은, 상기 샘플 용기의 캡이 삽입되어 결합되도록 구성된 소켓 구조체를 가지며 상기 제2 구역에 배치되고, 상기 샘플 용기 운반 유닛에 의해 상기 제2 구역 내의 일정 개폐 지점으로 운반된 샘플 용기의 캡을 상기 소켓 구조체와 결합시켜 회전시킴으로써 상기 캡을 개방하거나 폐쇄하는 개폐 유닛을 더 포함한다.In one embodiment, the system has a socket structure configured to insert and engage the cap of the sample container, is disposed in the second zone, and is transported by the sample container transport unit to an opening/closing point in the second zone It further includes an opening/closing unit for opening or closing the cap by rotating the cap of the sample container to be coupled with the socket structure.

일 실시예에 있어서, 상기 개폐 유닛은, 상기 샘플 용기가 상기 샘플 용기 운반 유닛에 의해 상기 제1 구역에서 상기 제2 구역으로 운반되어 상기 개폐 지점에 위치하면 상기 샘플 용기의 캡을 개방하고, 상기 캡이 개방된 상태에서 상기 케미컬 공급 장치에 의해 케미컬이 충전된 상기 샘플 용기가 상기 샘플 용기 운반 유닛에 의해 운반되어 다시 상기 개폐 지점에 위치하면 상기 캡을 폐쇄하도록 구성된다.In an embodiment, the opening/closing unit opens the cap of the sample vessel when the sample vessel is transported from the first region to the second region by the sample vessel transport unit and is positioned at the opening/closing point, and to close the cap when the sample container filled with the chemical by the chemical supply device is transported by the sample container transport unit and positioned again at the opening/closing point in a state in which the cap is opened.

본 발명에 따르면, 케미컬 공급 장치가 케미컬을 공급하는 케미컬 라인의 노즐을 하강 또는 상승시켜 상기 노즐을 자동으로 샘플 용기의 내부 수용 공간에 위치시키거나 샘플 용기에서 인출시킴으로써, 케미컬 샘플링 작업에 요구되는 케미컬 라인과 샘플 용기 간 연결·분리 작업을 자동화하고, 케미컬 샘플링 작업에 요구되는 인력과 시간을 절감할 수 있다.According to the present invention, the chemical supply device lowers or raises the nozzle of the chemical line that supplies the chemical to automatically position the nozzle in the inner receiving space of the sample container or withdraw it from the sample container, so that the chemical required for the chemical sampling operation is It can automate the connection and disconnection work between the line and the sample container, and reduce the manpower and time required for chemical sampling.

또한, 케미컬 샘플링의 개시 전 또는 샘플링의 완료 후, 케미컬 라인의 노즐이 드레인 포트의 삽입구에 삽입되어 보관되도록 함으로써, 케미컬 라인에서 누출되는 잔량의 케미컬을 안전하게 수집하여 배출할 수 있으며, 케미컬 라인을 통한 세정수 등의 배출을 용이하게 할 수 있다.In addition, before the start of chemical sampling or after completion of sampling, the nozzle of the chemical line is inserted into the insertion hole of the drain port and stored, so that the remaining amount of chemical leaking from the chemical line can be safely collected and discharged, and through the chemical line It is possible to facilitate the discharge of washing water and the like.

또한, 케미컬 공급 장치가 각각 서로 다른 위치에 수용된 케미컬들을 일정 샘플링 지점에 배치되는 하나의 일체형 노즐을 통해 선택적으로 공급함으로써, 케미컬 공급 장치의 구조를 단순화하고 설치 면적을 감소시킬 수 있으며, 상기 샘플링 지점으로 샘플 용기를 운반하는 케미컬 샘플링 로봇의 구조와 동작을 간소화 및 효율화할 수 있다.In addition, the chemical supply device selectively supplies the chemicals accommodated in different positions through one integrated nozzle disposed at a predetermined sampling point, thereby simplifying the structure of the chemical supply device and reducing the installation area, and the sampling point can simplify and streamline the structure and operation of the chemical sampling robot that transports the sample container.

또한, 케미컬 샘플링 시스템의 챔버 내부에서 케미컬 샘플링 로봇이 자동으로 샘플 용기를 운반하며 케미컬을 샘플링함으로써, 케미컬 샘플링 작업 시 발생하는 케미컬의 누출과 케미컬 샘플의 오염을 방지하면서도 케미컬 샘플링 작업에 요구되는 인력과 시간을 더욱 절감할 수 있다.In addition, the chemical sampling robot automatically transports the sample container and samples the chemical inside the chamber of the chemical sampling system, thereby preventing chemical leakage and contamination of the chemical sample that occur during chemical sampling, while reducing the manpower required for chemical sampling. You can save more time.

또한, 챔버의 내부 공간 중 작업자에 의해 샘플 용기가 거치되거나 수거되는 제1 구역과 샘플 용기 운반 유닛에 의해 자동 샘플링이 수행되는 제2 구역이 내부 격벽으로 분리되고, 샘플 용기를 제1 구역에서 제2 구역으로 운반해야 하거나 제2 구역에서 제1 구역으로 운반해야 하는 순간에만 상기 내부 격벽에 형성된 윈도가 자동 셔터에 의해 개방됨으로써, 작업자가 케미컬에 노출될 가능성을 최소화하고 케미컬 샘플링 작업의 안전성을 보장할 수 있다.In addition, in the inner space of the chamber, a first area in which a sample container is mounted or collected by an operator and a second area in which automatic sampling is performed by the sample container transport unit are separated by an internal partition wall, The window formed on the inner bulkhead is opened by an automatic shutter only at the moment when transport to Zone 2 or from Zone 2 to Zone 1 is required, thereby minimizing the possibility of worker exposure to chemicals and ensuring the safety of chemical sampling operations. can do.

또한, 케미컬 샘플링 시스템이 수동으로 조작되는 비상용 케미컬 라인을 별도로 구비함으로써, 시스템 장애의 발생시에도 케미컬 샘플링 작업을 수행할 수 있도록 한다.In addition, since the chemical sampling system is separately provided with an emergency chemical line that is manually operated, chemical sampling can be performed even when a system failure occurs.

나아가, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면, 본 발명에 따른 다양한 실시예들이 상기 언급되지 않은 여러 기술적 과제들을 해결할 수 있음을 이하의 설명으로부터 자명하게 이해할 수 있을 것이다.Furthermore, those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will clearly understand from the following description that various embodiments according to the present invention can solve various technical problems not mentioned above.

본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 후술되는 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 샘플링 시스템을 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 케미컬 샘플링 시스템의 내부 구성을 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 샘플 용기 거치 장치를 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 공급 장치를 나타낸 도면이다.
도 5는 도 4에 도시된 케미컬 공급 장치의 일체형 노즐을 나타낸 수직 단면도이다.
도 6은 도 4에 도시된 케미컬 공급 장치의 드레인 포트를 나타낸 수직 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 샘플링 시스템의 케미컬 감지 장치를 나타낸 블록도이다.
도 8은 도 2에 도시된 케미컬 샘플링 로봇을 나타낸 도면이다.
도 9는 도 8에 도시된 개폐 유닛의 회전 구동부 내부를 나타낸 도면이다.
도 10은 도 9에 도시된 개폐 유닛의 소켓 구조체를 나타낸 수직 단면도이다.
도 11 내지 도 15는 도 2에 도시된 케미컬 샘플링 시스템의 케미컬 샘플링 동작을 나타낸 도면이다.
도 16은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 케미컬 샘플링 시스템의 챔버를 나타낸 수평 단면도이다.
도 17은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 케미컬 샘플링 시스템을 나타낸 사시도이다.The following drawings attached to this specification illustrate preferred embodiments of the present invention, and serve to further understand the technical spirit of the present invention together with the detailed description of the present invention to be described later, so the present invention is described in such drawings should not be construed as being limited only to
1 is a perspective view illustrating a chemical sampling system according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram illustrating an internal configuration of the chemical sampling system shown in FIG. 1 .
FIG. 3 is a view showing the apparatus for holding the sample container shown in FIG. 2 .
4 is a view showing a chemical supply device according to an embodiment of the present invention.
5 is a vertical cross-sectional view showing the integrated nozzle of the chemical supply device shown in FIG.
6 is a vertical cross-sectional view showing a drain port of the chemical supply device shown in FIG.
7 is a block diagram illustrating a chemical sensing device of a chemical sampling system according to an embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a diagram illustrating the chemical sampling robot shown in FIG. 2 .
FIG. 9 is a view showing the inside of the rotation driving unit of the opening/closing unit shown in FIG. 8 .
10 is a vertical cross-sectional view illustrating a socket structure of the opening/closing unit shown in FIG. 9 .
11 to 15 are diagrams illustrating a chemical sampling operation of the chemical sampling system illustrated in FIG. 2 .
16 is a horizontal cross-sectional view illustrating a chamber of a chemical sampling system according to another embodiment of the present invention.
17 is a perspective view illustrating a chemical sampling system according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 기술적 과제에 대한 해결 방안을 명확화하기 위해 첨부도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세하게 설명한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서 관련 공지기술에 관한 설명이 오히려 본 발명의 요지를 불명료하게 하는 경우 그에 관한 설명은 생략하기로 한다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이들은 설계자, 제조자 등의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있을 것이다. 그러므로 후술되는 용어들의 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings in order to clarify solutions to the technical problems of the present invention. However, in the description of the present invention, if the description of the related known technology rather obscures the gist of the present invention, the description thereof will be omitted. In addition, the terms used in this specification are terms defined in consideration of functions in the present invention, and these may vary according to the intentions or customs of designers, manufacturers, and the like. Therefore, definitions of terms to be described below should be made based on the content throughout this specification.

도 1에는 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 샘플링 시스템(10)이 사시도로 도시되어 있다.1 is a perspective view showing a chemical sampling system 10 according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 샘플링 시스템(10)은 외부와 차단된 내부 공간을 가진 챔버(100)와, 상기 챔버(100)의 외부에서 상기 챔버(100)의 내부 공간으로 케미컬을 공급하는 케미컬 라인(310)을 포함하며, 챔버(100)의 내부 공간에서 케미컬을 자동으로 샘플링하도록 구성된다.As shown in FIG. 1 , the chemical sampling system 10 according to an embodiment of the present invention includes a chamber 100 having an internal space blocked from the outside, and the chamber 100 from the outside of the chamber 100 . It includes a chemical line 310 for supplying a chemical to the internal space of the chamber 100 is configured to automatically sample the chemical in the internal space.

이를 위해, 챔버(100)의 외부면에는 챔버(100)의 내부 공간과 연통되는 제1 윈도(110)가 형성된다. 또한, 챔버(100)는 상기 제1 윈도(110)를 개폐하는 개폐 도어(112)를 포함한다. 이 경우, 개폐 도어(112)는 미닫이 또는 여닫이 방식으로 제1 윈도(110)를 개폐하도록 구성될 수 있다. 실시예에 따라, 개폐 도어(112)는 자동 또는 수동으로 동작하도록 구성될 수 있다. 또한, 챔버(100)는 그 내부 공기를 환기시키는 환기 유닛(130)을 더 포함할 수 있다.To this end, a first window 110 communicating with the inner space of the chamber 100 is formed on the outer surface of the chamber 100 . In addition, the chamber 100 includes an opening/closing door 112 for opening and closing the first window 110 . In this case, the opening/closing door 112 may be configured to open and close the first window 110 in a sliding or opening manner. Depending on the embodiment, the opening/closing door 112 may be configured to operate automatically or manually. In addition, the chamber 100 may further include a ventilation unit 130 for ventilating the internal air.

아래에서 다시 설명하겠지만, 본 발명에 따른 케미컬 샘플링 시스템(10)을 사용하여 케미컬 샘플링 작업을 수행하는 작업자는, 단지 챔버(100)의 개폐 도어(112)를 개방하여 챔버(100) 내의 미리 정해진 안착 지점에, 케미컬 샘플을 수용할 샘플 용기를 안착시키기만 하면 된다. 그러면, 케미컬 샘플링 시스템(10)은 챔버(100)의 내부 공간에서 샘플 용기를 자동으로 운반하며, 케미컬 라인(310)을 통해 공급되는 케미컬을 샘플 용기의 내부 수용 공간에 충전한 후, 샘플 용기를 다시 상기 안착 지점에 안착시킨다.As will be described again below, an operator performing a chemical sampling operation using the chemical sampling system 10 according to the present invention only opens the opening/closing door 112 of the chamber 100 to receive a predetermined seat in the chamber 100 . At the point, it is only necessary to seat the sample vessel that will receive the chemical sample. Then, the chemical sampling system 10 automatically transports the sample container in the inner space of the chamber 100, and after filling the chemical supplied through the chemical line 310 into the inner receiving space of the sample container, the sample container It is seated on the mounting point again.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 샘플링 시스템(10)은 도 1과 같이 케미컬 라인(310)을 이루는 공급관을 복수 개 포함하여, 서로 다른 지점에 위치한 케미컬들이나 서로 다른 종류의 케미컬들을 각각 샘플링하도록 구성될 수 있다.On the other hand, the chemical sampling system 10 according to an embodiment of the present invention includes a plurality of supply pipes constituting the chemical line 310 as shown in FIG. 1 to sample chemicals located at different points or different types of chemicals, respectively. can be configured to

도 2에는 도 1에 도시된 케미컬 샘플링 시스템(10)의 내부 구성이 도시되어 있다.FIG. 2 shows an internal configuration of the chemical sampling system 10 shown in FIG. 1 .

도 2에 도시된 바와 같이, 케미컬 샘플링 시스템(10)의 챔버(100)는 그 내부 공간을 제1 구역(102a)과 제2 구역(102b)으로 분리하는 내부 격벽(104)을 가지며, 상기 내부 격벽(104)에 상기 제1 구역(102a)과 제2 구역(102b) 간의 통로를 제공하는 제2 윈도(120)가 형성된다. 또한, 챔버(100)는 상기 제2 윈도(120)를 슬라이딩 방식으로 개폐하는 자동 셔터(122)를 포함한다.As shown in FIG. 2 , the chamber 100 of the chemical sampling system 10 has an internal partition wall 104 dividing its internal space into a first zone 102a and a second zone 102b, the interior A second window 120 is formed in the partition wall 104 to provide a passage between the first section 102a and the second section 102b. In addition, the chamber 100 includes an automatic shutter 122 that opens and closes the second window 120 in a sliding manner.

이러한 챔버(100)는, 제2 구역(102b)의 바닥에 지면을 기준으로 일정 각도(θ)만큼 일 측으로 기울어진 슬로프(slope)(106), 및 슬로프(106)의 저부와 연결되는 거터(gutter)(108)가 형성될 수 있다. 이와 같은 챔버(100)의 바닥 구조는 챔버(100)의 바닥에 떨어진 케미컬이나 세정수 등이 슬로프(106)를 따라 흘러내려 거터(108)에 모이도록 함으로써, 그 처리를 용이하게 하기 위한 것이다.Such a chamber 100, a slope 106 inclined to one side by a certain angle θ with respect to the ground at the bottom of the second zone 102b, and a gutter connected to the bottom of the slope 106 ( gutter) 108 may be formed. The structure of the bottom of the chamber 100 is to facilitate the processing by allowing chemicals, washing water, etc. that have fallen to the bottom of the chamber 100 to flow down along the slope 106 and collect in the gutter 108 .

한편, 케미컬 샘플링 시스템(10)은 이러한 챔버(100)의 내부 공간에 배치되는 샘플 용기 거치 장치(200) 및 케미컬 샘플링 로봇(400)과 함께, 본 발명에 따른 케미컬 공급 장치(300)를 더 포함한다.On the other hand, the chemical sampling system 10 further includes a chemical supply device 300 according to the present invention, together with the sample container holding device 200 and the chemical sampling robot 400 disposed in the inner space of the chamber 100 . do.

샘플 용기 거치 장치(200)는, 샘플 용기(S)가 안착되는 샘플 용기 홀더(210)를 포함하며 상기 챔버(100)의 내부 공간 중 제1 구역(102a)에 배치되어, 샘플 용기(S)가 안착되는 안착 지점을 제공하도록 구성된다.The sample container mounting apparatus 200 includes a sample container holder 210 on which the sample container S is seated and is disposed in the first region 102a of the inner space of the chamber 100, the sample container S) is configured to provide a seating point on which the

본 발명에 따른 케미컬 공급 장치(300)는, 케미컬을 전달하는 케미컬 라인(310)을 이용하여 챔버(100)의 외부에서 챔버(100) 내부의 제2 구역(102b)으로 케미컬을 공급하도록 구성된다.The chemical supply device 300 according to the present invention is configured to supply a chemical from the outside of the chamber 100 to the second region 102b inside the chamber 100 using a chemical line 310 for delivering the chemical. .

케미컬 샘플링 로봇(400)은, 챔버(100)의 제2 구역(102b)에 배치되어, 개폐 가능한 캡(cap)이 결합된 샘플 용기(S)를 챔버(100)의 내부 공간에서 자동으로 운반하며 케미컬을 샘플링하도록 구성된다. 이를 위해, 케미컬 샘플링 로봇(400)은 샘플 용기 운반 유닛(410)과 개폐 유닛(420)을 포함한다.The chemical sampling robot 400 is disposed in the second region 102b of the chamber 100, and automatically transports the sample container S to which an openable and openable cap is coupled in the internal space of the chamber 100, It is configured to sample the chemical. To this end, the chemical sampling robot 400 includes a sample container transport unit 410 and an opening/closing unit 420 .

샘플 용기 운반 유닛(410)은, 샘플 용기(S)를 파지하도록 구성된 그리퍼(412)를 가지며, 미리 정해진 안착 지점에 안착된 샘플 용기(S)를 상기 그리퍼(412)로 파지하여 미리 정해진 개폐 지점으로 운반한 다음, 케미컬 공급 장치(300)에 의해 케미컬이 공급되는 샘플링 지점으로 운반하거나, 상기 그리퍼(412)로 파지한 샘플 용기(S)를 상기 샘플링 지점에서 상기 개폐 지점으로 운반한 다음 상기 안착 지점으로 운반하도록 구성된다.The sample container transport unit 410 has a gripper 412 configured to grip the sample container S, and grips the sample container S seated at a predetermined seating point with the gripper 412 to a predetermined opening/closing point. and then transported to the sampling point where the chemical is supplied by the chemical supply device 300, or the sample container (S) gripped by the gripper 412 is transported from the sampling point to the opening/closing point and then seated configured to be transported to the branch.

개폐 유닛(420)은, 샘플 용기(S)의 캡이 삽입되어 결합되도록 구성된 소켓 구조체(422)를 가지며, 샘플 용기 운반 유닛(410)에 의해 개폐 지점으로 운반된 샘플 용기(S)의 캡을 상기 소켓 구조체(422)와 결합시켜 회전시킴으로써 해당 캡을 개방하거나 폐쇄하도록 구성된다.The opening/closing unit 420 has a socket structure 422 configured to be inserted and coupled with the cap of the sample vessel S, and holds the cap of the sample vessel S transported to the opening/closing point by the sample vessel transport unit 410. It is configured to open or close the cap by rotating in combination with the socket structure 422 .

도 3에는 도 2에 도시된 샘플 용기 거치 장치(200)가 도시되어 있다.FIG. 3 shows the sample container mounting apparatus 200 shown in FIG. 2 .

도 3에 도시된 바와 같이, 샘플 용기 거치 장치(200)는 챔버(100)의 내부 공간 중 상기 제1 구역(102a)에 배치되어 샘플 용기(S)가 안착되는 안착 지점을 제공하도록 구성된다. 이를 위해, 샘플 용기 거치 장치(200)는 샘플 용기(S)가 안착되는 샘플 용기 홀더(210)와, 이러한 샘플 용기 홀더(210)를 승강시키는 승강 유닛(220)을 포함할 수 있다.As shown in FIG. 3 , the sample container mounting apparatus 200 is disposed in the first region 102a of the internal space of the chamber 100 to provide a seating point at which the sample container S is seated. To this end, the sample container mounting apparatus 200 may include a sample container holder 210 on which the sample container S is seated, and a lifting unit 220 for raising and lowering the sample container holder 210 .

참고로, 본 발명에서 사용되는 샘플 용기(S)는 케미컬을 수용하는 내부 수용 공간을 가지며, 그 상단부에 상기 내부 수용 공간과 연통되는 개구가 형성된다. 또한, 샘플 용기(S)의 개구에는 개폐 가능한 캡(C)이 결합된다. 이러한 샘플 용기(S)의 캡(C)은 스크류 방식 또는 트위스트 방식으로 개폐되도록 구성될 수 있다.For reference, the sample container (S) used in the present invention has an internal accommodating space for accommodating chemicals, and an opening communicating with the internal accommodating space is formed at an upper end thereof. In addition, an openable cap (C) is coupled to the opening of the sample container (S). The cap (C) of the sample container (S) may be configured to open and close by a screw method or a twist method.

샘플 용기 홀더(210)는, 샘플 용기(S)가 안착되도록 구성된다. 이를 위해, 샘플 용기 홀더(210)는 샘플 용기(S)의 하단부가 안착되는 안착 홈(212)을 포함할 수 있다. 또한, 샘플 용기 홀더(210)는 상기 안착 홈(212)에 안착된 샘플 용기(S)를 감지하는 근접 센서(214)를 더 포함할 수 있다.The sample container holder 210 is configured to seat the sample container (S). To this end, the sample container holder 210 may include a seating groove 212 in which the lower end of the sample container S is seated. In addition, the sample container holder 210 may further include a proximity sensor 214 for detecting the sample container (S) seated in the seating groove (212).

이 경우, 샘플 용기 거치 장치(200)는, 상술한 샘플 용기 홀더(210)를 복수 개 포함하여, 복수 개의 샘플 용기가 샘플 용기 거치 장치(200)에 거치되도록 할 수 있다. 샘플 용기 거치 장치(200)가 포함하는 샘플 용기 홀더(210)의 개수는, 케미컬 샘플링 시스템(10)의 적용 환경이나 사용자의 요청에 따라 변경될 수 있다.In this case, the sample container holder 200 may include a plurality of the above-described sample container holders 210 so that the plurality of sample containers are mounted on the sample container holder 200 . The number of sample container holders 210 included in the sample container holding device 200 may be changed according to an application environment of the chemical sampling system 10 or a user's request.

한편, 챔버(100)의 제2 윈도(120)를 개폐하는 자동 셔터(122)는, 샘플 용기(S)가 챔버(100)의 제1 윈도(110)를 통해 샘플 용기 홀더(210)에 안착된 경우에 상기 제2 윈도(120)를 개방하도록 구성될 수 있다. 즉, 자동 셔터(122)는, 샘플 용기 홀더(210)의 근접 센서(214)에 의해 샘플 용기 홀더(210)의 안착 홈(212)에 안착된 샘플 용기(S)가 감지된 경우에, 상기 제2 윈도(120)를 개방하도록 구성될 수 있다.Meanwhile, in the automatic shutter 122 for opening and closing the second window 120 of the chamber 100 , the sample container S is seated on the sample container holder 210 through the first window 110 of the chamber 100 . It may be configured to open the second window 120 when the That is, the automatic shutter 122 is, when the sample container S seated in the seating groove 212 of the sample container holder 210 is sensed by the proximity sensor 214 of the sample container holder 210, the It may be configured to open the second window 120 .

샘플 용기 거치 장치(200)의 승강 유닛(220)은, 상기 샘플 용기 홀더(210)를 지지하며 상승 또는 하강시키도록 구성된다. 이를 위해, 승강 유닛(220)은 상기 샘플 용기 홀더(210)를 지지하는 지지 플레이트(222)와, 지지 플레이트(222)를 상승 또는 하강시키는 플레이트 구동부(224)를 포함할 수 있다. 이 경우, 지지 플레이트(222)는 플랫한 상부면을 가지며, 이러한 지지 플레이트(222)의 상부면에 복수 개의 샘플 용기 홀더(210)가 고정되어 지지될 수 있다. 플레이트 구동부(224)는 지지 플레이트(222)와 결합되어, 후술되는 케미컬 샘플링 로봇(400)의 동작에 따라 지지 플레이트(222)를 상승 또는 하강시킨다. 이를 위해, 플레이트 구동부(224)는 공압식 또는 유압식 실린더와 같은 액추에이터를 포함할 수 있다.The lifting unit 220 of the sample container holding device 200 is configured to raise or lower the sample container holder 210 while supporting it. To this end, the lifting unit 220 may include a support plate 222 for supporting the sample container holder 210 and a plate driving unit 224 for raising or lowering the support plate 222 . In this case, the support plate 222 has a flat upper surface, and a plurality of sample container holders 210 may be fixedly supported on the upper surface of the support plate 222 . The plate driving unit 224 is coupled to the support plate 222 to raise or lower the support plate 222 according to the operation of the chemical sampling robot 400 to be described later. To this end, the plate drive 224 may include an actuator such as a pneumatic or hydraulic cylinder.

아래에서 다시 설명하겠지만, 상기 승강 유닛(220)은 샘플 용기 홀더(210)에 안착된 샘플 용기(S)가 후술되는 케미컬 샘플링 로봇(400)의 샘플 용기 운반 유닛(410)에 의해 파지되면, 상기 샘플 용기 홀더(210)를 하강시켜 상기 샘플 용기 홀더(210)를 상기 샘플 용기(S)와 분리시키도록 구성된다. 또한, 상기 승강 유닛(220)은, 챔버(100)의 제2 구역(102b)에서 케미컬이 충전된 샘플 용기가 케미컬 샘플링 로봇(400)의 샘플 용기 운반 유닛(410)에 의해 제1 구역(102a)으로 운반되면, 상기 샘플 용기 홀더(210)를 상승시켜 상기 케미컬이 충전된 샘플 용기를 상기 샘플 용기 홀더에 안착시키도록 구성된다.As will be described again below, when the sample container S seated on the sample container holder 210 is gripped by the sample container transport unit 410 of the chemical sampling robot 400 to be described later, the elevating unit 220 is and lowering the sample vessel holder 210 to separate the sample vessel holder 210 from the sample vessel S. In addition, the lifting unit 220 is configured such that the sample container filled with chemicals in the second zone 102b of the chamber 100 is transported by the sample container transport unit 410 of the chemical sampling robot 400 to the first zone 102a. ), the sample container holder 210 is raised to seat the sample container filled with the chemical on the sample container holder.

도 4에는 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 공급 장치(300)가 도시되어 있다.4 shows a chemical supply device 300 according to an embodiment of the present invention.

도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 공급 장치(300)는 챔버(100) 외부의 여러 시설 또는 배관에 수용된 케미컬을 케미컬 라인(310)을 통해 챔버(100)의 내부로 전달하여, 제2 구역(102b) 내의 소정 샘플링 지점에 위치한 샘플 용기(S)의 내부 수용 공간에 해당 케미컬을 공급하도록 구성된다. 이를 위해, 케미컬 공급 장치(300)는 상기 케미컬 라인(310)과 함께 노즐 승강 유닛(320)을 포함하며, 실시예에 따라 드레인 포트(330), 레벨 센서(510) 등을 더 포함할 수 있다.As shown in FIG. 4 , the chemical supply device 300 according to an embodiment of the present invention transfers the chemicals accommodated in various facilities or pipes outside the chamber 100 through the chemical line 310 inside the chamber 100 . is configured to supply the corresponding chemical to the inner receiving space of the sample container (S) located at a predetermined sampling point in the second region (102b). To this end, the chemical supply device 300 includes a nozzle lifting unit 320 together with the chemical line 310 , and may further include a drain port 330 , a level sensor 510 , etc. according to an embodiment. .

상기 케미컬 라인(310)은, 복수의 공급관(312a, 312b, 312c)과 하나의 일체형 노즐(314)을 포함할 수 있다. 이 경우, 복수의 공급관(312a, 312b, 312c)은 각각 서로 다른 위치에 수용된 케미컬을 챔버(100) 내부의 제2 구역(102b)으로 공급하도록 구성된다.The chemical line 310 may include a plurality of supply pipes 312a , 312b , and 312c and one integrated nozzle 314 . In this case, the plurality of supply pipes 312a , 312b , and 312c are configured to supply chemicals accommodated in different positions to the second region 102b inside the chamber 100 , respectively.

일체형 노즐(314)은, 상기 복수의 공급관(312a, 312b, 312c)과 모두와 연결되도록 구성된다. 또한, 일체형 노즐(314)은, 그 내부에 상호 독립적으로 구성되어 상기 복수의 공급관(312a, 312b, 312c)과 각각 연통되는 복수의 유로가 형성되고, 외부면에 상기 복수의 유로와 각각 연통되는 복수의 토출구가 형성된다.The integral nozzle 314 is configured to be connected to all of the plurality of supply pipes 312a, 312b, and 312c. In addition, the integrated nozzle 314 is configured independently of each other therein, and a plurality of flow passages respectively communicating with the plurality of supply pipes 312a, 312b, 312c are formed, and the plurality of flow passages are respectively communicated with the plurality of flow passages on the outer surface A plurality of discharge ports are formed.

도 5에는 도 4에 도시된 케미컬 공급 장치(300)의 일체형 노즐(314)이 수직 단면도로 도시되어 있다.5 is a vertical cross-sectional view of the integral nozzle 314 of the chemical supplying device 300 shown in FIG.

도 5에 도시된 바와 같이, 일체형 노즐(314)의 내부에는 공급관들(312a, 312b)과 각각 연통되는 유로들(316a, 316b)이 형성되며, 일체형 노즐(314)의 하단부 외부면에는 상기 유로들(316a, 316b)과 각각 연통되는 토출구들(318a, 318b)이 형성된다. 이 경우, 상기 토출구들(318a, 318b)은 각각, 샘플 용기(S)의 내부 수용 공간에서 케미컬을 샘플 용기(S)의 측벽으로 비스듬하게 토출하도록 구성될 수 있다. 이는 일체형 노즐(314)에서 토출된 케미컬이 샘플 용기(S)의 내부면과 충돌한 후 다시 노즐(314)의 외부면에 묻게 되는 현상을 방지하기 위함이다.As shown in FIG. 5 , flow passages 316a and 316b respectively communicating with the supply pipes 312a and 312b are formed inside the integrated nozzle 314 , and the flow passages are formed on the outer surface of the lower end of the integrated nozzle 314 . Discharge ports 318a and 318b communicating with the 316a and 316b, respectively, are formed. In this case, each of the discharge ports 318a and 318b may be configured to obliquely discharge the chemical from the internal accommodation space of the sample container S to the sidewall of the sample container S. This is to prevent a phenomenon in which the chemical discharged from the integrated nozzle 314 collides with the inner surface of the sample container S and then gets buried on the outer surface of the nozzle 314 again.

한편, 내부에 복수의 유로가 형성된 일체형 노즐(314)의 몸체는 결합부(314a)와 삽입부(314b)를 포함할 수 있다. 일체형 노즐(314)의 전체 몸체 중 결합부(314a)는, 상기 복수의 공급관(312a, 312b)의 단부들이 각각 삽입되어 결합되는 복수의 삽입구(313a, 313b)를 가지며, 후술되는 지지 프레임(322)과 결합되도록 구성된다. 이 경우, 각각의 공급관(312a)의 단부에는 경질 소재로 구성된 관 부재(313)가 연결되고 해당 관 부재(313)가 결합부(314a)의 대응 삽입구(315a)에 삽입되어 결합될 수 있다. 또한, 결합부(314a)는 샘플 용기(S)에 형성된 개구의 내경 또는 면적보다 큰 외경 또는 면적을 가짐으로써 샘플 용기(S)의 내부에 삽입되지 않도록 구성될 수 있다. Meanwhile, the body of the integral nozzle 314 having a plurality of flow paths formed therein may include a coupling part 314a and an insertion part 314b. The coupling portion 314a of the entire body of the integral nozzle 314 has a plurality of insertion holes 313a and 313b into which the ends of the plurality of supply pipes 312a and 312b are respectively inserted and coupled, and a support frame 322 to be described later. ) to be combined with In this case, a tube member 313 made of a hard material is connected to the end of each supply pipe 312a, and the tube member 313 is inserted into the corresponding insertion hole 315a of the coupling portion 314a to be coupled. In addition, the coupling portion 314a may be configured not to be inserted into the sample container S by having an outer diameter or area larger than the inner diameter or area of the opening formed in the sample container S.

반면, 일체형 노즐(314)의 전체 몸체 중 삽입부(314b)는 샘플 용기(S)에 형성된 개구의 내경보다 작은 외경을 가지며 상기 결합부(314a)에서 하방으로 연장되어 샘플 용기(S)의 내부 수용 공간에 삽입 가능하게 구성된다. 이 경우, 일체형 노즐(314)의 토출구들(318a, 318b)은 상기 삽입부(314b)의 하단 외부면에 형성될 수 있다.On the other hand, the insertion portion 314b of the entire body of the integral nozzle 314 has an outer diameter smaller than the inner diameter of the opening formed in the sample container S, and extends downward from the coupling portion 314a to the inside of the sample container S. It is configured to be inserted into the receiving space. In this case, the discharge ports 318a and 318b of the integrated nozzle 314 may be formed on the outer surface of the lower end of the insertion part 314b.

이러한 일체형 노즐(314)은 내화학성, 내열성, 비점착성 및 낮은 마찰 계수를 가진 PTFE(Polytetrafluoroethylene)나, PEEK(Polyetheretherketone) 등의 합성수지로 형성될 수 있다.The integrated nozzle 314 may be formed of a synthetic resin such as polytetrafluoroethylene (PTFE) or polyetheretherketone (PEEK) having chemical resistance, heat resistance, non-adhesiveness, and a low coefficient of friction.

다시 도 4를 참조하면, 케미컬 공급 장치(300)의 노즐 승강 유닛(320)은, 챔버(100)의 제2 구역(102b)에 배치되며, 상기 일체형 노즐(314)과 결합하여 상기 일체형 노즐(314)을 승강시키도록 구성된다.Referring back to FIG. 4 , the nozzle lifting unit 320 of the chemical supply device 300 is disposed in the second region 102b of the chamber 100, and is coupled to the integrated nozzle 314 to combine with the integrated nozzle ( 314) is configured to elevate.

즉, 노즐 승강 유닛(320)은, 샘플 용기(S)가 후술되는 케미컬 샘플링 로봇(400)의 샘플 용기 운반 유닛(410)에 의해 운반되어 샘플링 지점에 해당하는 상기 일체형 노즐(314)의 하방에 위치하면, 상기 일체형 노즐(314)을 하강시켜 적어도 복수의 토출구가 형성된 상기 일체형 노즐(314)의 하단부(도 5의 삽입부(314b))를, 샘플 용기(S)의 상단부에 형성된 개구를 통해 상기 샘플 용기(S)의 내부 수용 공간에 위치시키도록 구성된다. 또한, 노즐 승강 유닛(320)은 일체형 노즐(314)을 통한 케미컬의 토출이 완료되면, 일체형 노즐(314)을 상승시켜 일체형 노즐(314)을 상기 샘플 용기(S)의 외부로 인출하도록 구성된다. 이를 위해, 노즐 승강 유닛(320)은 지지 프레임(322), 고정 프레임(324) 및 프레임 구동부(326)를 포함할 수 있다.That is, the nozzle lifting unit 320 is transported by the sample container transport unit 410 of the chemical sampling robot 400 to which the sample container S will be described later and is located below the integral nozzle 314 corresponding to the sampling point. When positioned, the lower end (insertion portion 314b in FIG. 5 ) of the integral nozzle 314 in which at least a plurality of discharge ports are formed by lowering the integral nozzle 314 through the opening formed in the upper end of the sample container S It is configured to be positioned in the inner receiving space of the sample vessel (S). In addition, when the discharge of the chemical through the integrated nozzle 314 is completed, the nozzle lifting unit 320 raises the integrated nozzle 314 to withdraw the integrated nozzle 314 to the outside of the sample container S. . To this end, the nozzle lifting unit 320 may include a support frame 322 , a fixed frame 324 , and a frame driving unit 326 .

지지 프레임(322)은 상기 일체형 노즐(314)과 결합하여 상기 일체형 노즐(314)을 지지하도록 구성된다. 이를 위해, 지지 프레임(322)은 일체형 노즐(314)의 결합부(314a)에 결합되는 결합 로드(322a), 및 이러한 결합 로드(322a)를 상기 고정 프레임(324)에 고정시키는 브라켓(322b)을 포함할 수 있다. 고정 프레임(324)은 상기 지지 프레임(322)이 결합되어 고정될 수 있는 다양한 형태와 구조로 구성될 수 있다.The support frame 322 is configured to support the integral nozzle 314 by being coupled to the integral nozzle 314 . To this end, the support frame 322 includes a coupling rod 322a coupled to the coupling portion 314a of the integral nozzle 314, and a bracket 322b for fixing the coupling rod 322a to the fixing frame 324. may include. The fixing frame 324 may be configured in various shapes and structures to which the support frame 322 may be coupled and fixed.

프레임 구동부(326)는 상기 고정 프레임(324)과 결합되어 상기 고정 프레임(324)을 상승시키거나 하강시키도록 구성된다. 예컨대, 프레임 구동부(326)는 챔버(100)의 상하 방향으로 연장되어 고정 프레임(324)의 상하 방향 이동을 가이드하는 가이드 레일과, 동력을 발생시키는 구동 모터와, 이러한 구동 모터의 동력을 고정 프레임(324)에 전달하여 고정 프레임(324)을 상기 가이드 레일을 따라 이동시키는 체인, 와이어 또는 기어 등과 같은 동력 전달 수단을 포함할 수 있다. 다른 일 실시예에 있어서, 프레임 구동부(326)는 고정 프레임(324)과 결합되어 고정 프레임(324)을 상하 방향으로 이동시키는 공압식 또는 유압식 실린더를 포함할 수도 있다.The frame driving unit 326 is coupled to the fixed frame 324 to raise or lower the fixed frame 324 . For example, the frame driving unit 326 includes a guide rail extending in the vertical direction of the chamber 100 to guide the vertical movement of the fixed frame 324 , a driving motor for generating power, and a power of the driving motor to the fixed frame It may include a power transmission means such as a chain, wire, or gear for transferring the fixed frame 324 along the guide rail by transmitting it to the 324 . In another embodiment, the frame driving unit 326 may include a pneumatic or hydraulic cylinder coupled to the fixed frame 324 to move the fixed frame 324 in the vertical direction.

이와 같이, 케미컬 공급 장치(300)는 복수의 공급관(312a, 312b, 312c)과 연결된 일체형 노즐(314)을 샘플링 지점에 위치한 샘플 용기(S)의 상공에서 하강시켜 샘플 용기(S)의 내부 수용 공간에 삽입한 후, 상기 일체형 노즐(314)의 토출구들 중 하나를 통해 샘플링 대상 케미컬을 토출시킴으로써 샘플 용기(S)에 해당 케미컬을 충전시킬 수 있다.In this way, the chemical supply device 300 lowers the integral nozzle 314 connected to the plurality of supply pipes 312a, 312b, and 312c from the top of the sample container S located at the sampling point to accommodate the inside of the sample container S. After being inserted into the space, the sample container S may be filled with the chemical to be sampled by discharging the chemical to be sampled through one of the discharge ports of the integrated nozzle 314 .

이 경우, 케미컬 공급 장치(300)는 해당 케미컬을 적정 레벨인 제1 레벨 이상 충전하되, 위험 레벨인 제2 레벨을 넘지 않게 충전하도록 구성될 수 있다. 이를 위해, 케미컬 공급 장치(300)는 샘플 용기(S)에 충전된 케미컬의 레벨을 감지하는 레벨 센서(level sensor)(510)를 더 포함할 수 있다. 이 경우, 레벨 센서(510)는 샘플 용기(S)에 충전된 케미컬이 제1 레벨에 도달하였는지를 감지하는 제1 레벨 센서(512)와, 샘플 용기(S)에 충전된 케미컬이 상기 제1 레벨을 초과하여 제2 레벨에 도달하였는지를 감지하는 제2 레벨 센서(514)를 포함할 수 있다.In this case, the chemical supply device 300 may be configured to charge the corresponding chemical above the first level, which is an appropriate level, but not exceed the second level, which is a dangerous level. To this end, the chemical supply device 300 may further include a level sensor 510 for detecting the level of the chemical filled in the sample container (S). In this case, the level sensor 510 includes a first level sensor 512 that detects whether the chemical filled in the sample container S has reached the first level, and the first level of the chemical charged in the sample container S. It may include a second level sensor 514 for detecting whether the second level has been reached by exceeding .

이 경우, 레벨 센서(510)는 정전용량 레벨 센서(capacitive level sensor)나 초음파 레벨 센서(ultrasonic level sensor) 등을 포함할 수 있다. 또한, 레벨 센서(510)는 각각 일체형 노즐(314)에 배치되거나, 일체형 노즐(314)이 고정되는 노즐 승강 유닛(320)의 고정 프레임(324)에 배치되도록 구성될 수 있다.In this case, the level sensor 510 may include a capacitive level sensor, an ultrasonic level sensor, or the like. In addition, the level sensor 510 may be configured to be disposed on the integrated nozzle 314 , respectively, or disposed on the fixed frame 324 of the nozzle lifting unit 320 to which the integrated nozzle 314 is fixed.

한편, 케미컬 공급 장치(300)의 드레인 포트(330)는, 적어도 상기 일체형 노즐(314)의 하단부가 삽입되도록 형성된 삽입구(332)를 가지며 상기 일체형 노즐(314)의 하방에 배치되고, 상기 일체형 노즐(314)이 노즐 승강 유닛(320)에 의해 하강되어 상기 삽입구(332)에 삽입되면 일체형 노즐(314)의 토출구들을 통해 유출되는 유출물을 수집하도록 구성된다.On the other hand, the drain port 330 of the chemical supply device 300 has an insertion hole 332 formed so that at least the lower end of the integrated nozzle 314 is inserted and is disposed below the integrated nozzle 314 , and the integrated nozzle 314 is disposed below the integrated nozzle 314 . When the 314 is lowered by the nozzle elevating unit 320 and inserted into the insertion hole 332 , it is configured to collect the effluent flowing out through the discharge ports of the integrated nozzle 314 .

도 6에는 도 4에 도시된 케미컬 공급 장치(300)의 드레인 포트(330)가 수직 단면도로 도시되어 있다.6 is a vertical cross-sectional view of the drain port 330 of the chemical supply device 300 shown in FIG.

도 6에 도시된 바와 같이, 드레인 포트(330)는 적어도 일체형 노즐(314)의 하단부가 삽입되도록 형성된 삽입구(332), 및 상기 삽입구(332)와 연통되는 내부 수집 공간(334)을 가지며 일체형 노즐(314)의 하방에 배치된다.As shown in FIG. 6 , the drain port 330 has an insertion hole 332 formed to insert at least the lower end of the integrated nozzle 314 , and an internal collection space 334 communicating with the insertion hole 332 , and has an integrated nozzle 314 is disposed below.

이 경우, 상기 케미컬 공급 장치(300)의 노즐 승강 유닛(320)은, 샘플 용기(S)의 내부 수용 공간에서 일체형 노즐(314)을 통한 케미컬의 토출이 완료되면, 상기 일체형 노즐(314)을 상승시켜 상기 일체형 노즐(314)을 샘플 용기(S)의 외부로 인출하고, 케미컬이 충전된 샘플 용기(S)가 후술되는 케미컬 샘플링 로봇(400)에 의해 타 위치로 이동되면, 상기 일체형 노즐(314)을 다시 하강시켜 드레인 포트(330)의 삽입구(332)에 삽입하도록 구성될 수 있다.In this case, the nozzle lifting unit 320 of the chemical supply device 300, when the discharge of the chemical through the integrated nozzle 314 in the inner receiving space of the sample container S is completed, the integrated nozzle 314 is When the integrated nozzle 314 is drawn out of the sample container S by raising it, and the chemical-filled sample container S is moved to another position by a chemical sampling robot 400 to be described later, the integrated nozzle ( 314 may be lowered again to be inserted into the insertion hole 332 of the drain port 330 .

이와 같이, 상기 노즐 승강 유닛(320)에 의해 일체형 노즐(314)이 하강되어 드레인 포트(330)의 삽입구(332)에 삽입되면, 상기 드레인 포트(330)는 일체형 노즐(314)의 토출구들에서 유출되는 유출물들을 내부 수집 공간(334)에 수집하게 된다.In this way, when the integrated nozzle 314 is lowered by the nozzle lifting unit 320 and inserted into the insertion hole 332 of the drain port 330 , the drain port 330 is removed from the discharge ports of the integrated nozzle 314 . The discharged effluents are collected in the internal collection space 334 .

일 실시예에 있어서, 드레인 포트(330)는 삽입구(332)의 둘레에 마련되어 삽입구(332)와 해당 삽입구(332)에 삽입된 일체형 노즐(314) 사이를 실링하는 환형의 실링 부재(336)를 포함할 수 있다. 이 경우, 실링 부재(336)는 내화학성, 내열성, 비점착성 및 낮은 마찰 계수를 가진 PTFE(Polytetrafluoroethylene)나 PEEK(Polyetheretherketone) 등의 합성수지로 구성되되, 탄성이 있는 합성수지로 구성될 수 있다.In one embodiment, the drain port 330 is provided on the periphery of the insertion hole 332 and an annular sealing member 336 for sealing between the insertion hole 332 and the integrated nozzle 314 inserted into the insertion hole 332. may include In this case, the sealing member 336 is made of a synthetic resin such as PTFE (Polytetrafluoroethylene) or PEEK (Polyetheretherketone) having chemical resistance, heat resistance, non-adhesiveness, and a low coefficient of friction, and may be made of a synthetic resin having elasticity.

또한, 드레인 포트(330)와 상기 내부 수집 공간(334)과 연통되어 드레인 포트(330)의 내부 수집 공간(334)에 수집된 유출물을 챔버(100)의 외부로 배출하는 배출관(338)을 더 포함할 수 있다. 이 경우, 드레인 포트(330)는 배출관(338)에 설치되어 유출물의 역류를 방지하는 스톱 밸브(stop valve)를 더 포함할 수 있다.In addition, a discharge pipe 338 communicating with the drain port 330 and the internal collection space 334 to discharge the effluent collected in the internal collection space 334 of the drain port 330 to the outside of the chamber 100 . may include more. In this case, the drain port 330 may further include a stop valve installed in the discharge pipe 338 to prevent a reverse flow of the effluent.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 공급 장치(300) 또는 케미컬 샘플링 시스템(10)은 챔버(100) 내부에서 케미컬을 감지하는 케미컬 감지 장치를 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the chemical supply device 300 or the chemical sampling system 10 according to an embodiment of the present invention may further include a chemical detection device for detecting a chemical inside the chamber 100 .

도 7에는 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 샘플링 시스템(10)의 케미컬 감지 장치(500)가 블록도로 도시되어 있다.7 is a block diagram illustrating a chemical sensing device 500 of the chemical sampling system 10 according to an embodiment of the present invention.

도 7에 도시된 바와 같이, 케미컬 감지 장치(500)는 상술한 레벨 센서(level sensor)(510)와 함께, 누설 센서(leak sensor)(520), 제어부(530) 및 출력부(540)를 포함할 수 있다.As shown in FIG. 7 , the chemical detection device 500 includes a leak sensor 520 , a control unit 530 , and an output unit 540 together with the above-described level sensor 510 . may include

상술한 바와 같이, 레벨 센서(510)는 일체형 노즐(314)을 통해 샘플 용기(S)에 충전되는 케미컬의 충전 레벨을 감지하도록 구성된다. 이 경우, 레벨 센서(510)는 케미컬의 충전 레벨이 적정 레벨에 해당하는 제1 기준 레벨에 도달했는지를 감지하는 제1 레벨 센서(512)와, 케미컬의 충전 레벨이 제1 기준 레벨보다 높은 위험 레벨에 해당하는 제2 기준 레벨에 도달했는지를 감지하는 제2 레벨 센서(514)를 포함할 수 있다. 이러한 레벨 센서들(512, 514)은 정전용량 레벨 센서(capacitive level sensor)나 초음파 레벨 센서(ultrasonic level sensor) 등을 포함할 수 있다.As described above, the level sensor 510 is configured to detect the filling level of the chemical filled in the sample container S through the integral nozzle 314 . In this case, the level sensor 510 includes a first level sensor 512 that detects whether the chemical filling level has reached a first reference level corresponding to an appropriate level, and a risk that the chemical filling level is higher than the first reference level. A second level sensor 514 for detecting whether a second reference level corresponding to the level has been reached may be included. The level sensors 512 and 514 may include a capacitive level sensor, an ultrasonic level sensor, or the like.

누설 센서(520)는, 챔버(100)의 내부 공간에서 케미컬의 누설을 감지하도록 구성된다. 이 경우, 누설 센서(520)는 기체 또는 액체 상태의 케미컬을 감지하는 반도체 센서(semiconductor sensor), 적외선 센서(infrared sensor), 정전용량 센서(capacitive sensor) 및 초음파 센서(ultrasonic sensor) 중 1 또는 2 이상을 포함할 수 있다. 이러한 누설 센서(520)는 챔버(100)의 바닥 측에 배치될 수 있다.The leak sensor 520 is configured to detect a chemical leak in the internal space of the chamber 100 . In this case, the leak sensor 520 is one or two of a semiconductor sensor, an infrared sensor, a capacitive sensor, and an ultrasonic sensor that detects a chemical in a gas or liquid state. may include more than one. The leak sensor 520 may be disposed on the bottom side of the chamber 100 .

제어부(530)는, 레벨 센서(510)와 누설 센서(520)에 의해 센싱되는 센싱 결과에 대응하여 케미컬 샘플링 시스템(10)의 동작을 제어하도록 구성된다.The controller 530 is configured to control the operation of the chemical sampling system 10 in response to a sensing result sensed by the level sensor 510 and the leak sensor 520 .

예컨대, 제어부(530)는 레벨 센서(510)에 의해 감지된 충전 레벨이 일정 기준 레벨에 도달하면 케미컬 라인(310)의 공급관들(312a, 312b, 312c)을 개폐하는 개폐 밸브를 제어하여 해당 케미컬을 공급하던 공급관을 폐쇄하도록 구성될 수 있다.For example, when the filling level sensed by the level sensor 510 reaches a predetermined reference level, the control unit 530 controls an opening/closing valve that opens and closes the supply pipes 312a, 312b, and 312c of the chemical line 310 to control the corresponding chemical. It may be configured to close the supply pipe was supplying.

또한, 제어부(530)는 누설 센서(520)에 의해 챔버(100)의 내부에서 케미컬의 누설이 감지되면, 상기 개폐 밸브를 제어하여 케미컬 라인(310)의 공급관들(312a, 312b, 312c)을 폐쇄하거나, 챔버(100)의 내부 공기를 환기시키는 환기 유닛(130)을 구동하거나, 시각적, 청각적 또는 시청각적 알람 신호를 발생시키도록 구성될 수 있다.In addition, when a chemical leak is detected in the chamber 100 by the leak sensor 520 , the controller 530 controls the on-off valve to close the supply pipes 312a, 312b, and 312c of the chemical line 310 . It may be configured to close, drive the ventilation unit 130 to ventilate the interior air of the chamber 100, or to generate a visual, audible or audiovisual alarm signal.

나아가, 제어부(530)는 챔버(100)의 자동 셔터(122), 샘플 용기 거치 장치(200), 케미컬 공급 장치(300), 케미컬 샘플링 로봇(400) 등의 전반적인 동작을 제어하도록 구성될 수 있다. 이러한 제어부(530)는 메모리, 프로세스 등과 같은 컴퓨터 하드웨어와, 메모리에 저장되고 프로세서에 의해 실행되는 소프트웨어 프로그램의 결합으로 구현될 수 있다.Furthermore, the controller 530 may be configured to control the overall operation of the automatic shutter 122 of the chamber 100 , the sample container holding device 200 , the chemical supply device 300 , the chemical sampling robot 400 , etc. . The control unit 530 may be implemented as a combination of computer hardware such as a memory and a process, and a software program stored in the memory and executed by the processor.

출력부(540)는, 제어부(530)의 제어 신호에 따라 시각적 정보, 청각적 정보 또는 시청각적 정보를 출력하도록 구성된다. 이를 위해, 출력부(540)는 LED(light emitting diode), 램프, 디스플레이 패널 등과 같은 시각적 출력 수단과, 스피커와 같은 청각적 출력 수단을 포함할 수 있다.The output unit 540 is configured to output visual information, auditory information, or audiovisual information according to a control signal of the controller 530 . To this end, the output unit 540 may include a visual output means such as a light emitting diode (LED), a lamp, a display panel, and the like, and an audible output means such as a speaker.

도 8에는 도 2에 도시된 케미컬 샘플링 로봇(400)이 도시되어 있다.FIG. 8 shows the chemical sampling robot 400 shown in FIG. 2 .

도 8에 도시된 바와 같이, 케미컬 샘플링 로봇(400)은, 챔버(100)의 내부 공간에서 샘플 용기(S)의 운반과 샘플 용기(S)의 캡 개폐를 자동으로 수행하며 샘플 용기(S)에 케미컬을 샘플링하도록 구성된다. 이를 위해, 케미컬 샘플링 로봇(400)은 샘플 용기 운반 유닛(410)과 개폐 유닛(420)을 포함하며 챔버(100)의 제2 구역(102b)에 배치된다.As shown in FIG. 8 , the chemical sampling robot 400 automatically performs transport of the sample container S in the internal space of the chamber 100 and opening and closing of the cap of the sample container S, and the sample container (S) is configured to sample the chemical on To this end, the chemical sampling robot 400 includes a sample container transport unit 410 and an opening/closing unit 420 and is disposed in the second region 102b of the chamber 100 .

샘플 용기 운반 유닛(410)은, 샘플 용기(S)를 파지하도록 구성된 그리퍼(412)를 가지며, 미리 정해진 안착 지점에 안착된 샘플 용기(S)를 상기 그리퍼(412)로 파지하여 미리 정해진 개폐 지점으로 운반한 다음 케미컬이 공급되는 샘플링 지점으로 운반하거나, 상기 그리퍼(412)로 파지한 샘플 용기(S)를 상기 샘플링 지점에서 상기 개폐 지점으로 운반한 다음 상기 안착 지점으로 운반하도록 구성된다.The sample container transport unit 410 has a gripper 412 configured to grip the sample container S, and grips the sample container S seated at a predetermined seating point with the gripper 412 to a predetermined opening/closing point. and then transported to the sampling point to which the chemical is supplied, or the sample container (S) gripped by the gripper 412 is transported from the sampling point to the opening/closing point and then transported to the seating point.

즉, 샘플 용기 운반 유닛(410)은, 샘플 용기(S)가 챔버(100)의 제1 구역(102a)에 위치한 샘플 용기 홀더(210)에 안착되면, 제2 윈도(120)를 통해 그리퍼(412)를 이동시켜 그리퍼(412)로 샘플 용기(S)를 파지한 후, 해당 샘플 용기(S)를 제2 구역(102b) 내의 개폐 지점과 샘플링 지점으로 차례로 운반한다.That is, the sample container transport unit 410, when the sample container S is seated on the sample container holder 210 located in the first region 102a of the chamber 100, the second window 120 through the gripper ( After the sample container S is gripped by the gripper 412 by moving 412 , the sample container S is sequentially transported to the opening/closing point and the sampling point in the second region 102b.

이 경우, 도 2에 도시된 자동 셔터(122)는, 샘플 용기(S)가 챔버(100)의 제1 윈도(110)를 통해 제1 구역(102a)에 배치된 샘플 용기 홀더(210)에 안착되면 상기 챔버(100)의 제2 윈도(120)를 개방하고, 샘플 용기 홀더(210)에 안착된 샘플 용기(S)가 샘플 용기 운반 유닛(410)에 의해 파지되어 제2 구역(102b)의 미리 정해진 개폐 지점으로 운반되면 상기 제2 윈도(120)를 폐쇄하도록 구성될 수 있다.In this case, the automatic shutter 122 shown in FIG. 2 is connected to the sample container holder 210 in which the sample container S is disposed in the first region 102a through the first window 110 of the chamber 100 . When seated, the second window 120 of the chamber 100 is opened, and the sample container S seated on the sample container holder 210 is gripped by the sample container transport unit 410 to form a second region 102b. When transported to a predetermined opening and closing point of the second window 120 may be configured to close.

한편, 샘플 용기 운반 유닛(410)은 샘플 용기 홀더(210)에 안착된 샘플 용기(S)를 상기 개폐 지점으로 운반한 다음, 상기 개폐 지점에서 개폐 유닛(420)에 의해 샘플 용기(S)의 캡이 개방되면 해당 샘플 용기(S)를 상기 케미컬 라인(310)으로부터 케미컬을 공급받을 수 있는 샘플링 지점으로 운반한다.On the other hand, the sample container transport unit 410 transports the sample container (S) seated in the sample container holder 210 to the opening and closing point, and then at the opening and closing point of the sample container (S) by the opening and closing unit 420 . When the cap is opened, the corresponding sample container (S) is transported to a sampling point where the chemical can be supplied from the chemical line (310).

또한, 샘플 용기 운반 유닛(410)은 상기 샘플링 지점으로 운반된 샘플 용기(S)에 상기 케미컬 라인(310)을 통해 공급되는 케미컬이 충전되면, 케미컬이 충전된 샘플 용기(S)를 다시 상기 개폐 지점으로 운반한 다음, 상기 개폐 지점에서 상기 개폐 유닛(420)에 의해 상기 샘플 용기(S)의 캡이 폐쇄되면, 캡이 폐쇄된 샘플 용기(S)를 상기 제1 구역(102a)의 안착 지점으로 운반한다.In addition, when the sample container transport unit 410 is filled with the chemical supplied through the chemical line 310 in the sample container S transported to the sampling point, the sample container S filled with the chemical is opened and closed again. When the cap of the sample container S is closed by the opening and closing unit 420 at the opening and closing point after transporting to a point, the capped sample container S is moved to the seating point of the first region 102a. transport to

이 경우, 도 2에 도시된 자동 셔터(122)는, 상기 개폐 유닛(420)에 의해 상기 샘플 용기(S)의 캡이 폐쇄되면 상기 제2 윈도(120)를 개방하고, 캡이 폐쇄된 샘플 용기(S)가 샘플 용기 운반 유닛(410)에 의해 상기 제1 구역(102a)의 안착 지점으로 운반되어 해당 샘플 용기 홀더(210)에 안착되면 상기 제2 윈도(120)를 폐쇄하도록 구성될 수 있다.In this case, the automatic shutter 122 shown in FIG. 2 opens the second window 120 when the cap of the sample container S is closed by the opening/closing unit 420, and the sample with the cap closed It can be configured to close the second window 120 when the container S is transported by the sample container carrying unit 410 to the seating point of the first region 102a and seated in the corresponding sample container holder 210 . have.

또한, 샘플 용기 운반 유닛(410)은 위와 같은 동작들을 샘플 용기 거치 장치(200)에 거치된 복수의 샘플 용기들에 대해 순차적으로 수행하도록 구성될 수 있다. 이를 위해, 샘플 용기 운반 유닛(410)은 상기 그리퍼(412)와 함께, 이동 유닛(414)과 액추에이터(416)를 포함할 수 있다.In addition, the sample container transport unit 410 may be configured to sequentially perform the above operations for a plurality of sample containers mounted on the sample container holding device 200 . To this end, the sample container transport unit 410 may include a moving unit 414 and an actuator 416 together with the gripper 412 .

상기 그리퍼(412)는, 샘플 용기(S)를 파지하도록 구성된다. 이를 위해, 그리퍼(412)는 상호 간의 간격이 좁아지면서 샘플 용기(S)의 양 측면을 파지하는 한 쌍의 핑거(412a, 412b)를 포함할 수 있다. 각각의 핑거(412a, 412b)의 형태나 구조는 샘플 용기(S) 및 샘플 용기 홀더(210)의 형태나 구조에 따라 다양하게 변경될 수 있다.The gripper 412 is configured to grip the sample container S. To this end, the gripper 412 may include a pair of fingers 412a and 412b for gripping both sides of the sample container S while the distance between them is narrowed. The shape or structure of each of the fingers 412a and 412b may be variously changed according to the shape or structure of the sample container S and the sample container holder 210 .

이동 유닛(414)은, 그리퍼(412)를 이동시켜 샘플 용기(S)가 안착되는 안착 지점, 샘플 용기(S)의 캡이 개폐되는 개폐 지점, 또는 샘플 용기(S)에 케미컬이 충전되는 샘플링 지점의 전방에 위치시키도록 구성된다. 이를 위해, 이동 유닛(414)은 X축 방향을 따라 상기 안착 지점의 전방에서 상기 개폐 지점과 상기 샘플링 지점의 전방으로 연장된 가이드 레일(414a)과, 상기 가이드 레일(414a)을 따라 이동 가능하게 배치되는 이동 플레이트(414b)를 포함할 수 있다. 또한, 이동 유닛(414)은 서보 모터와 같이 동력을 발생시키면서 정밀 제어가 가능한 구동 모터와, 이러한 구동 모터의 동력을 이동 플레이트(414b)에 전달하는 체인, 와이어 또는 기어 등과 같은 동력 전달 수단 등을 더 포함할 수 있다.The moving unit 414 moves the gripper 412 to a seating point at which the sample container S is seated, an opening and closing point at which the cap of the sample container S is opened and closed, or sampling at which the sample container S is filled with chemicals. configured to be positioned in front of the point. To this end, the moving unit 414 is movable along the guide rail 414a and the guide rail 414a extending in front of the opening and closing point and the sampling point from the front of the seating point along the X-axis direction. and a moving plate 414b disposed thereon. In addition, the moving unit 414 includes a drive motor capable of precise control while generating power, such as a servo motor, and a power transmission means such as a chain, wire, or gear that transmits the power of the drive motor to the moving plate 414b. may include more.

액추에이터(416)는, 이동 유닛(414)에 의해 그리퍼(412)가 상기 안착 지점, 개폐 지점 또는 샘플링 지점의 전방에 각각 위치하게 되면, 그리퍼(412)를 Y축 방향으로 따라 해당 지점으로 전진시키거나 해당 지점에서 후퇴시키도록 구성된다. 이를 위해, 액추에이터(416)는 공압식 또는 유압식 실린더를 포함할 수 있다. 이러한 액추에이터(416)는 이동 유닛(414)의 이동 플레이트(414b)에 고정되어 그리퍼(412)를 지지하도록 구성될 수 있다.When the gripper 412 is respectively positioned in front of the seating point, the opening/closing point, or the sampling point by the moving unit 414, the actuator 416 advances the gripper 412 to the corresponding point in the Y-axis direction. or configured to retreat from that point. To this end, the actuator 416 may include a pneumatic or hydraulic cylinder. This actuator 416 may be fixed to the moving plate 414b of the moving unit 414 and configured to support the gripper 412 .

한편, 개폐 유닛(420)은, 샘플 용기(S)의 캡이 삽입되어 결합되도록 구성된 소켓 구조체(422)를 가지며, 상기 샘플 용기 운반 유닛(410)에 의해 미리 정해진 개폐 지점으로 운반된 샘플 용기(S)의 캡을, 상기 소켓 구조체(422)와 결합시켜 회전시킴으로써 해당 캡을 개방하거나 폐쇄하도록 구성된다.On the other hand, the opening/closing unit 420 has a socket structure 422 configured to be inserted and coupled with the cap of the sample vessel S, and the sample vessel transported to a predetermined opening/closing point by the sample vessel transport unit 410 ( S) is configured to open or close the cap by rotating the cap in combination with the socket structure 422 .

즉, 개폐 유닛(420)은 샘플 용기(S)가 샘플 용기 운반 유닛(410)에 의해 제1 구역(102a) 구역에서 제2 구역(102b)으로 운반되어 제2 구역(102b) 내의 개폐 지점에 위치하면, 샘플 용기(S)의 캡을 상기 소켓 구조체(422)와 결합시켜 일 방향으로 회전시킴으로써 해당 캡을 샘플 용기(S)로부터 분리해 낸다. 이 경우, 분리된 캡은 상기 소켓 구조체(422)와의 결합 상태를 유지한다.That is, the opening/closing unit 420 is configured such that the sample vessel S is transported from the first region 102a region to the second region 102b by the sample vessel transport unit 410 to the opening/closing point in the second region 102b. When positioned, the cap of the sample container (S) is coupled to the socket structure 422 and rotated in one direction to separate the cap from the sample container (S). In this case, the separated cap maintains a coupled state with the socket structure 422 .

또한, 캡이 개방된 상태에서 샘플 용기 운반 유닛(410)에 의해 샘플링 지점으로 운반되어 케미컬이 충전된 샘플 용기(S)가, 상기 샘플 용기 운반 유닛(410)에 의해 운반되어 다시 개폐 지점에 위치하면, 개폐 유닛(420)은 소켓 구조체(422)와 결합되어 있던 캡을 샘플 용기(S)의 개구에 접촉시킨 후 타 방향으로 회전시킴으로써 해당 캡을 샘플 용기(S)에 결합시킨다. 이를 위해, 개폐 유닛(420)은 상기 소켓 구조체(422)와 함께, 승강 구동부(424)와 회전 구동부(426)를 포함한다.In addition, in a state in which the cap is opened, the sample container S, which is transported to the sampling point by the sample container transport unit 410 and filled with chemicals, is transported by the sample container transport unit 410 and located again at the opening and closing point. When the opening/closing unit 420 brings the cap coupled to the socket structure 422 into contact with the opening of the sample container S, and rotates it in the other direction, the cap is coupled to the sample container S. To this end, the opening/closing unit 420 includes a lift driving unit 424 and a rotation driving unit 426 together with the socket structure 422 .

상기 소켓 구조체(422)는, 샘플 용기(S)의 캡이 삽입되어 결합되도록 구성되어 상기 개폐 지점의 상공에 배치된다. 아래에서 다시 설명하겠지만, 이러한 소켓 구조체(422)의 저면에는 상기 캡의 외부면(상면 및 측면)과 형합하는 내부면을 가진 결합 홀이 형성된다.The socket structure 422 is configured such that the cap of the sample container S is inserted and coupled, and is disposed above the opening and closing point. As will be described again below, a coupling hole having an inner surface matching the outer surface (top surface and side surface) of the cap is formed on the bottom surface of the socket structure 422 .

승강 구동부(424)는, 상기 소켓 구조체(422)를 개폐 지점의 상공에서 하강시켜 개폐 지점으로 운반된 샘플 용기(S)의 캡과 결합시키거나, 소켓 구조체(422)를 상기 개폐 지점의 상공으로 상승시키도록 구성된다. 이를 위해, 승강 구동부(424)는 회전 구동부(426)와 결합되어 회전 구동부(426)를 승강시키도록 구성되고, 회전 구동부(426)는 소켓 구조체(422)와 결합되어 소켓 구조체(422)를 지지하도록 구성될 수 있다. 이 경우, 승강 구동부(424)는 회전 구동부(426)의 상하 방향(Z축 방향) 이동을 가이드하는 가이드 레일과, 동력을 발생시키는 구동 모터와, 이러한 구동 모터의 동력을 회전 구동부(426) 전달하여 회전 구동부(426)를 가이드 레일을 따라 이동시키는 체인, 와이어 또는 기어 등과 같은 동력 전달 수단을 포함할 수 있다. 다른 일 실시예에 있어서, 승강 구동부(424)는 회전 구동부(426)와 결합되어 회전 구동부(426)를 상하 방향으로 이동시키는 공압식 또는 유압식 실린더를 포함할 수도 있다.The lifting driving unit 424 lowers the socket structure 422 from above the opening and closing point to combine it with the cap of the sample container S transported to the opening and closing point, or to move the socket structure 422 above the opening and closing point. configured to elevate. To this end, the lift driving unit 424 is coupled to the rotation driving unit 426 and configured to lift the rotation driving unit 426 , and the rotation driving unit 426 is coupled to the socket structure 422 to support the socket structure 422 . can be configured to In this case, the lift driving unit 424 includes a guide rail guiding the vertical (Z-axis direction) movement of the rotary driving unit 426, a driving motor generating power, and transmitting the power of the driving motor to the rotation driving unit 426. Thus, it may include a power transmission means such as a chain, wire, or gear for moving the rotation driving unit 426 along the guide rail. In another embodiment, the lift driving unit 424 may include a pneumatic or hydraulic cylinder coupled to the rotation driving unit 426 to move the rotation driving unit 426 in the vertical direction.

회전 구동부(426)는, 상기 소켓 구조체(422)와 샘플 용기(S)의 캡이 결합된 상태에서 상기 소켓 구조체(422)를 일방향 또는 타방향으로 회전시켜 샘플 용기(S)의 캡을 개방하거나 폐쇄하도록 구성된다.The rotation driving unit 426 rotates the socket structure 422 in one direction or the other in a state in which the socket structure 422 and the cap of the sample container S are coupled to open the cap of the sample container S, or configured to close.

도 9에는 도 8에 도시된 회전 구동부(426)의 내부가 도시되어 있다.9 shows the inside of the rotation driving unit 426 shown in FIG.

도 9에 도시된 바와 같이, 회전 구동부(426)는 소켓 구조체(422)를 지지하며 소켓 구조체(422)를 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전시키도록 구성된다. 이를 위해, 회전 구동부(426)는 서보 모터나 로터리 실린더 등과 같이 회전력을 발생시키는 로터리 액추에이터(426a)와, 상기 로터리 액추에이터(426a)를 수용하여 지지하는 하우징(426b)을 포함할 수 있다.As shown in FIG. 9 , the rotation driving unit 426 supports the socket structure 422 and is configured to rotate the socket structure 422 clockwise or counterclockwise. To this end, the rotation driving unit 426 may include a rotary actuator 426a that generates a rotational force, such as a servo motor or a rotary cylinder, and a housing 426b that receives and supports the rotary actuator 426a.

이러한 회전 구동부(426)의 하우징(426b) 내부에는 소켓 구조체(422)의 상단부가 위치하며, 소켓 구조체(422)의 상단부는 로터리 액추에이터(426a)의 회전축에 결합되어 지지되도록 구성된다. 또한, 회전 구동부(426)의 하우징(426b) 내부에는 후술되는 에어 튜브(422d)가 배치된다. 이 경우, 에어 튜브(422d)는 소켓 구조체(422)의 상단부 둘레를 따라 권취된 코일 형태로 배치될 수 있다.The upper end of the socket structure 422 is located inside the housing 426b of the rotation driving unit 426, and the upper end of the socket structure 422 is coupled to and supported by the rotation shaft of the rotary actuator 426a. In addition, an air tube 422d to be described later is disposed inside the housing 426b of the rotation driving unit 426 . In this case, the air tube 422d may be disposed in the form of a coil wound along the circumference of the upper end of the socket structure 422 .

한편, 소켓 구조체(422)의 하단부는 상기 회전 구동부(426)의 하방으로 연장되어 상기 회전 구동부(426)의 하우징(426b) 외부에 위치하도록 구성된다.On the other hand, the lower end of the socket structure 422 is configured to extend downward of the rotation driving unit 426 to be located outside the housing 426b of the rotation driving unit 426 .

도 10에는 도 9에 도시된 소켓 구조체(422)가 수직 단면도로 도시되어 있다.In FIG. 10 , the socket structure 422 shown in FIG. 9 is shown in a vertical cross-sectional view.

도 10에 도시된 바와 같이, 소켓 구조체(422)는 그 몸체를 이루는 몸체부(422a)를 가지며, 상기 몸체부(422a)에는 결합 홀(422b)과 공기 통로(422c)가 형성된다. 또한, 소켓 구조체(422)는 에어 튜브(422d)를 포함할 수 있다.As shown in FIG. 10 , the socket structure 422 has a body portion 422a constituting the body, and a coupling hole 422b and an air passage 422c are formed in the body portion 422a. Also, the socket structure 422 may include an air tube 422d.

결합 홀(422b)은, 상기 몸체부(422a)의 저면에 형성되며, 샘플 용기(S)의 캡이 삽입되어 결합되도록 캡의 외부면(상면 및 측면)과 일치되는 내부면을 가진다.The coupling hole 422b is formed on the bottom surface of the body portion 422a, and has an inner surface that coincides with the outer surface (upper surface and side surface) of the cap so that the cap of the sample container S is inserted and coupled.

공기 통로(422c)는 상기 몸체부(422a)의 내부에 형성되어 일단이 상기 결합 홀(422b)의 내부 공간과 연통되고 타단이 상기 몸체부(422a)의 외부와 연통되도록 구성된다.The air passage 422c is formed inside the body portion 422a so that one end communicates with the inner space of the coupling hole 422b and the other end communicates with the outside of the body portion 422a.

에어 튜브(422d)는, 일단이 상기 공기 통로(422c)와 연결되고 타단이 공기 펌프(미도시)와 연결되어, 상기 공기 펌프의 동작에 따라 상기 결합 홀(422b)의 내부 공기를 외부로 배출하거나 상기 결합 홀(422b)의 내부에 외부 공기를 전달하도록 구성된다. 즉, 샘플 용기 운반 유닛(410)에 의해 샘플 용기(S)가 개폐 지점으로 운반되면, 개폐 유닛(420)은 소켓 구조체(422)를 하강시켜 소켓 구조체(422)의 결합 홀(422b)에 샘플 용기(S)의 캡을 삽입시킨 후, 에어 튜브(422d)를 통해 결합 홀(422b)의 내부 공기를 외부로 배출하여 소켓 구조체(422)와 캡 간의 결합 상태를 유지시킬 수 있다. 반면, 개폐 유닛(420)은 캡이 결합되어 있는 소켓 구조체(422)를 회전시켜 해당 캡을 샘플 용기(S)에 결합시킨 후, 에어 튜브(422d)를 통해 소켓 구조체(422)의 결합 홀(422b) 내부에 공기를 주입하여 결합 홀(422b)에서 샘플 용기(S)의 캡이 쉽게 분리되도록 할 수 있다.The air tube 422d has one end connected to the air passage 422c and the other end connected to an air pump (not shown) to discharge the internal air of the coupling hole 422b to the outside according to the operation of the air pump. Or it is configured to pass the external air to the inside of the coupling hole (422b). That is, when the sample container S is transported to the opening/closing point by the sample container transport unit 410 , the opening/closing unit 420 lowers the socket structure 422 to insert the sample into the coupling hole 422b of the socket structure 422 . After inserting the cap of the container (S), the internal air of the coupling hole 422b is discharged to the outside through the air tube 422d to maintain the coupling state between the socket structure 422 and the cap. On the other hand, the opening/closing unit 420 rotates the socket structure 422 to which the cap is coupled to couple the cap to the sample container S, and then through the air tube 422d through the coupling hole of the socket structure 422 ( 422b), the cap of the sample container S may be easily separated from the coupling hole 422b by injecting air therein.

도 11 내지 도 15에는 도 2에 도시된 케미컬 샘플링 시스템(10)의 케미컬 샘플링 동작이 도시되어 있다.11 to 15 illustrate a chemical sampling operation of the chemical sampling system 10 illustrated in FIG. 2 .

우선, 도 11에 도시된 바와 같이, 샘플 용기들이 챔버(100)의 제1 윈도(110)를 통해 제1 구역(102a)에 배치된 샘플 용기 거치 장치(200)의 각 샘플 용기 홀더(210)에 안착되면, 제2 윈도(120)를 개폐하는 자동 셔터(122)는 제2 윈도(120)를 개방하고, 케미컬 샘플링 로봇(400)의 샘플 용기 운반 유닛(410)은 제2 윈도(120)를 통해 제1 구역(102a)에 진입하여 샘플 용기 홀더(210)에 안착된 샘플 용기(S)를 그리퍼(412)로 파지한다.First, as shown in FIG. 11 , each sample vessel holder 210 of the sample vessel holding apparatus 200 in which the sample vessels are disposed in the first region 102a through the first window 110 of the chamber 100 . When seated in the, the automatic shutter 122 that opens and closes the second window 120 opens the second window 120 , and the sample container transport unit 410 of the chemical sampling robot 400 operates the second window 120 . The sample container S seated in the sample container holder 210 by entering the first region 102a through the gripper 412 is gripped.

그 다음, 도 12에 도시된 바와 같이, 샘플 용기 홀더(210)에 안착된 샘플 용기(S)가 샘플 용기 운반 유닛(410)에 의해 파지되면, 승강 유닛(220)은 샘플 용기 홀더들을 지지하는 지지 플레이트(222)를 하강시켜 해당 샘플 용기 홀더(210)를 샘플 용기(S)와 분리시킨다.Then, as shown in FIG. 12 , when the sample container S seated on the sample container holder 210 is gripped by the sample container transport unit 410 , the lifting unit 220 supports the sample container holders. The support plate 222 is lowered to separate the sample container holder 210 from the sample container S.

참고로, 케미컬이 충전된 샘플 용기(S)가 상기 샘플 용기 운반 유닛(410)에 의해 챔버(100)의 제2 구역(102b)에서 제2 윈도(120)를 통해 다시 제1 구역(102a)으로 운반되면, 상기 승강 유닛(220)은 지지 플레이트(222)를 상승시켜 상기 케미컬이 충전된 샘플 용기(S)를 해당 샘플 용기 홀더(210)에 안착시킬 수 있다.For reference, the sample container S filled with the chemical is transferred from the second zone 102b of the chamber 100 by the sample container transport unit 410 through the second window 120 again to the first zone 102a. When transported to , the lifting unit 220 may raise the support plate 222 to seat the sample container S filled with the chemical on the corresponding sample container holder 210 .

그 다음, 도 13에 도시된 바와 같이, 샘플 용기 운반 유닛(410)은 액추에이터(416)를 구동하여 샘플 용기(S)를 제2 구역(102b)으로 이동시킨 후, 이동 유닛(414)을 구동하여 샘플 용기(S)를 제2 구역(102b) 내의 개폐 지점으로 운반한다. 이와 같이 제2 윈도(120)의 개방 후 해당 샘플 용기(S)가 샘플 용기 운반 유닛(410)에 의해 제2 구역(102b)으로 운반되면, 자동 셔터(122)는 제2 윈도(120)를 폐쇄할 수 있다.Then, as shown in FIG. 13 , the sample container transport unit 410 drives the actuator 416 to move the sample container S to the second zone 102b, and then drives the moving unit 414 . to transport the sample container (S) to the opening/closing point in the second zone (102b). As such, when the sample container S is transported to the second region 102b by the sample container transport unit 410 after opening the second window 120 , the automatic shutter 122 closes the second window 120 . can be closed

또한, 샘플 용기(S)가 샘플 용기 운반 유닛(410)에 의해 개폐 지점으로 운반되면, 케미컬 샘플링 로봇(400)의 개폐 유닛(420)은 소켓 구조체(422)를 하강시켜 소켓 구조체(422)에 샘플 용기(S)의 캡을 결합시킨다. 즉, 샘플 용기(S)가 개폐 유닛(420)의 소켓 구조체(422)의 하방에 위치한 개폐 지점으로 운반되면, 개폐 유닛(420)의 승강 구동부(426)는 소켓 구조체(422)를 지지하는 회전 구동부(426)를 하강시켜 소켓 구조체(422)에 샘플 용기(S)의 캡을 결합시킨다.In addition, when the sample container S is transported to the opening and closing point by the sample container transport unit 410 , the opening and closing unit 420 of the chemical sampling robot 400 lowers the socket structure 422 to the socket structure 422 . Attach the cap of the sample container (S). That is, when the sample container S is transported to the opening/closing point located below the socket structure 422 of the opening/closing unit 420 , the lifting driving unit 426 of the opening/closing unit 420 rotates to support the socket structure 422 . By lowering the driving unit 426, the cap of the sample container S is coupled to the socket structure 422 .

그 다음, 도 14에 도시된 바와 같이, 소켓 구조체(422)가 샘플 용기(S)의 캡과 결합되면, 개폐 유닛(420)의 회전 구동부(424)는 소켓 구조체(422)를 반시계 방향으로 회전시켜 샘플 용기(S)의 캡을 개방한다. 샘플 용기(S)의 캡이 개방되면 개폐 유닛(420)의 승강 구동부(426)는 소켓 구조체(422)를 상승시켜 샘플 용기(S)가 샘플링 지점을 향해 이동될 수 있도록 한다.Then, as shown in FIG. 14 , when the socket structure 422 is coupled to the cap of the sample container S, the rotation driving unit 424 of the opening/closing unit 420 rotates the socket structure 422 counterclockwise. Rotate to open the cap of the sample vessel (S). When the cap of the sample container S is opened, the lift driving unit 426 of the opening/closing unit 420 raises the socket structure 422 so that the sample container S can be moved toward the sampling point.

한편, 케미컬 공급 장치(300)의 노즐 승강 유닛(320)은, 드레인 포트(330)의 삽입구(332)에 삽입되어 있던 일체형 노즐(314)을 상승시켜, 일체형 노즐(314)의 하방에 샘플 용기(S)가 위치될 수 있도록 한다.On the other hand, the nozzle lifting unit 320 of the chemical supply device 300 raises the integrated nozzle 314 inserted into the insertion hole 332 of the drain port 330 , and the sample container is located below the integrated nozzle 314 . (S) to be located.

그 다음, 도 15에 도시된 바와 같이, 샘플 용기(S)가 샘플 용기 운반 유닛(410)에 의해 운반되어 일체형 노즐(314)의 하방의 샘플링 지점에 위치하면, 케미컬 공급 장치(300)의 노즐 승강 유닛(320)은 일체형 노즐(314)을 하강시켜 일체형 노즐(314)을 샘플 용기(S)의 상단부에 형성된 개구를 통해 샘플 용기(S)의 내부 수용 공간에 삽입시킨다. 그러면, 케미컬 공급 장치(300)의 케미컬 라인(310)은 일체형 노즐(314)을 통해 케미컬을 토출하여 샘플 용기(S)의 내부 수용 공간에 케미컬을 충전시킨다.Then, as shown in FIG. 15 , when the sample container S is transported by the sample container transport unit 410 and located at a sampling point below the integral nozzle 314 , the nozzle of the chemical supply device 300 . The lifting unit 320 lowers the integral nozzle 314 to insert the integral nozzle 314 into the inner receiving space of the sample container S through an opening formed at the upper end of the sample container S. Then, the chemical line 310 of the chemical supply device 300 discharges the chemical through the integrated nozzle 314 to fill the chemical in the inner accommodation space of the sample container (S).

상술한 동작들을 통해 케미컬 충전이 완료되면, 케미컬 공급 장치(300)의 노즐 승강 유닛(320)은 일체형 노즐(314)을 상승시켜 상기 일체형 노즐(314)을 샘플 용기(S)에서 인출하고, 케미컬 샘플링 로봇(400)의 샘플 용기 운반 유닛(410)은 케미컬이 충전된 샘플 용기(S)를 다시 개폐 지점으로 운반한다. 그러면, 케미컬 샘플링 로봇(400)의 개폐 유닛(420)은 해당 샘플 용기(S)의 캡을 폐쇄한다. 샘플 용기(S)의 캡이 폐쇄되면, 샘플 용기 운반 유닛(410)은 캡이 폐쇄된 샘플 용기(S)를 제2 윈도(120)를 통해 다시 제1 구역(102a)으로 운반한다.When the chemical filling is completed through the above-described operations, the nozzle lifting unit 320 of the chemical supply device 300 raises the integrated nozzle 314 to withdraw the integrated nozzle 314 from the sample container S, and chemical The sample container transport unit 410 of the sampling robot 400 transports the chemical-filled sample container S back to the opening/closing point. Then, the opening/closing unit 420 of the chemical sampling robot 400 closes the cap of the corresponding sample container S. When the cap of the sample container S is closed, the sample container transport unit 410 transports the capped sample container S through the second window 120 back to the first zone 102a.

이 경우, 자동 셔터(122)는 상기 개폐 유닛(420)에 의해 샘플 용기(S)의 캡이 폐쇄되면 제2 윈도(120)를 개방하고, 캡이 폐쇄된 샘플 용기(S)가 상기 제2 윈도(120)를 통해 제1 구역(102a)의 안착 지점으로 운반되어 대응 샘플 용기 홀더(210)에 안착되면 상기 제2 윈도(120)를 폐쇄할 수 있다.In this case, the automatic shutter 122 opens the second window 120 when the cap of the sample container S is closed by the opening/closing unit 420 , and the sample container S with the cap closed is the second The second window 120 can be closed when it is transported to the seating point of the first section 102a through the window 120 and seated on the corresponding sample container holder 210 .

또한, 샘플 용기 거치 장치(200)의 승강 유닛(220)은, 상기 캡이 폐쇄된 샘플 용기(S)가 샘플 용기 운반 유닛(410)에 의해 제2 구역(102b)에서 다시 제1 구역(102a)의 해당 안착 지점으로 운반되면, 지지 플레이트(222)를 상승시켜 해당 샘플 용기(S)를 대응 샘플 용기 홀더(210)에 안착시킬 수 있다.In addition, in the lifting unit 220 of the sample container holding device 200, the sample container S with the cap closed is moved from the second zone 102b to the first zone 102a by the sample container transport unit 410 again. ), the support plate 222 may be raised to seat the corresponding sample container S on the corresponding sample container holder 210 .

도 16에는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 케미컬 샘플링 시스템의 챔버(100a)가 수평 단면도로 도시되어 있다.16 is a horizontal cross-sectional view of a chamber 100a of a chemical sampling system according to another embodiment of the present invention.

도 16에 도시된 바와 같이, 케미컬 샘플링 시스템의 챔버(100a)는, 상술한 바와 같이 개폐 도어(112)에 의해 개폐되는 제1 윈도(110)를 통해 외부와 연통되는 제1 구역(102a)과, 자동 셔터(122)에 개폐되는 제2 윈도(120)를 통해 제1 구역(102a)과 연통되는 제2 구역(102b)을 포함함은 물론, 외부와 차단되며 제1 및 제2 구역들(102a, 102b)과 분리된 제3 구역(102c)을 더 포함할 수 있다. 또한, 챔버(100a)의 외부면에는 제3 구역(102c)과 연통되는 비상용 윈도(140)가 형성될 수 있다. 이 경우, 챔버(100a)는 상기 비상용 윈도(140)를 수동으로 개폐하는 비상용 도어(142)를 포함할 수 있다.As shown in FIG. 16 , the chamber 100a of the chemical sampling system has a first region 102a that communicates with the outside through the first window 110 that is opened and closed by the opening and closing door 112 as described above, and , including a second region 102b that communicates with the first region 102a through the second window 120 that is opened and closed by the automatic shutter 122, as well as is blocked from the outside and the first and second regions ( It may further include a third region 102c separated from 102a, 102b). In addition, an emergency window 140 communicating with the third region 102c may be formed on the outer surface of the chamber 100a. In this case, the chamber 100a may include an emergency door 142 for manually opening and closing the emergency window 140 .

한편, 케미컬 공급 장치(300)는 챔버(100a)의 외부에서 챔버(100a) 내부의 제2 구역(102b)으로 케미컬을 공급하는 케미컬 라인(310)과 함께, 세정수 라인(360) 및 건조 가스 라인(370)을 더 포함할 수 있다.On the other hand, the chemical supply device 300 includes a chemical line 310 for supplying a chemical from the outside of the chamber 100a to the second region 102b inside the chamber 100a, a washing water line 360 and a drying gas. A line 370 may be further included.

세정수 라인(360)은 케미컬 라인(310)의 공급관(312a)과 연통되어 해당 공급관(312a)에 세정수를 제공하도록 구성된다. 이 경우, 세정수 라인(360)은 세정수로서 탈이온수(DIW)를 공급관(31)에 제공할 수 있다.The washing water line 360 is configured to communicate with the supply pipe 312a of the chemical line 310 to provide washing water to the corresponding supply pipe 312a. In this case, the washing water line 360 may provide deionized water (DIW) as the washing water to the supply pipe 31 .

건조 가스 라인(370)은 상기 케미컬 라인(310)의 공급관(312a)과 연통되어 해당 공급관(312a)에 건조 가스를 제공하도록 구성된다. 이 경우, 건조 가스 라인(370)은 건조 가스로서 질소(N2) 가스를 공급관(312a)에 제공할 수 있다.The drying gas line 370 communicates with the supply pipe 312a of the chemical line 310 to provide the drying gas to the corresponding supply pipe 312a. In this case, the drying gas line 370 may provide a nitrogen (N 2 ) gas to the supply pipe 312a as a drying gas.

이러한 케미컬 라인(310)의 공급관(312a), 세정수 라인(360) 및 건조 가스 라인(370)은 각각 전기적으로 동작하는 개폐 밸브들(318, 362, 372)에 의해 개폐될 수 있다. 이 경우, 개폐 밸브들(318, 362, 372)은 도 7을 참조하여 설명한 케미컬 감지 장치(500)의 제어부(530) 또는 별도로 구성된 제어 장치에 의해 제어되도록 구성될 수 있다.The supply pipe 312a of the chemical line 310 , the washing water line 360 , and the drying gas line 370 may be opened and closed by electrically operated opening/closing valves 318 , 362 , and 372 , respectively. In this case, the opening/closing valves 318 , 362 , and 372 may be configured to be controlled by the control unit 530 of the chemical sensing device 500 described with reference to FIG.

또한, 상기 개폐 밸브들(318, 362, 372) 중 적어도 케미컬 라인(310)의 공급관(312a)을 개폐하는 개폐 밸브(318)는 해당 공급관(312a)의 폐쇄 시 공급관(312a) 내에 잔존하는 케미컬을 흡입하는 석백 밸브(suck back valve)를 포함할 수 있다.In addition, the on-off valve 318 for opening and closing at least the supply pipe 312a of the chemical line 310 among the opening-and-closing valves 318, 362, 372 is the chemical remaining in the supply pipe 312a when the corresponding supply pipe 312a is closed. It may include a suck back valve (suck back valve) for sucking the.

또한, 일 실시예에 있어서, 상기 케미컬 공급 장치(300)는 케미컬 라인(310)의 공급관(312a)에서 분기되어 상기 챔버(100a)의 제3 구역(102c)으로 케미컬을 공급하는 비상용 케미컬 라인(350)과, 상기 챔버(100a)의 제3 구역(102c)에 배치되어 비상용 케미컬 라인(350)을 수동으로 개폐하는 수동 밸브(352)를 더 포함할 수 있다. 이와 같이, 비상용 도어(142)에 의해 개폐되는 챔버(100a)의 제3 구역(102c)에, 수동으로 조작되는 비상용 케미컬 라인(350)이 마련됨으로써, 시스템 장애의 발생시에도 케미컬 샘플링 작업을 수행할 수 있도록 한다.In addition, in one embodiment, the chemical supply device 300 is branched from the supply pipe 312a of the chemical line 310 and supplies the chemical to the third region 102c of the chamber 100a, an emergency chemical line ( 350) and a manual valve 352 disposed in the third region 102c of the chamber 100a to manually open and close the emergency chemical line 350 may be further included. In this way, by providing a manually operated emergency chemical line 350 in the third region 102c of the chamber 100a that is opened and closed by the emergency door 142, even when a system failure occurs, a chemical sampling operation can be performed. make it possible

도 17에는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 케미컬 샘플링 시스템(10a)이 사시도로 도시되어 있다.17 is a perspective view of a chemical sampling system 10a according to another embodiment of the present invention.

도 17에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 케미컬 샘플링 시스템(10a)은, 챔버(100)에 결합되어 상기 챔버(100)를 이동 가능하게 하는 캐스터(caster)(150)를 포함할 수 있다. 이와 같이, 챔버(100)가 이동 가능하게 구성됨으로써 케미컬 샘플링 시스템(10a)의 설치와 철거를 용이하게 할 수 있다.17 , the chemical sampling system 10a according to another embodiment of the present invention includes a caster 150 coupled to the chamber 100 to move the chamber 100 . may include In this way, the chamber 100 is configured to be movable, so that the installation and removal of the chemical sampling system 10a can be facilitated.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 케미컬 공급 장치가 케미컬을 공급하는 케미컬 라인의 노즐을 하강 또는 상승시켜 상기 노즐을 자동으로 샘플 용기의 내부 수용 공간에 위치시키거나 샘플 용기에서 인출시킴으로써, 케미컬 샘플링 작업에 요구되는 케미컬 라인과 샘플 용기 간 연결·분리 작업을 자동화하고, 케미컬 샘플링 작업에 요구되는 인력과 시간을 절감할 수 있다.As described above, according to the present invention, the chemical supply device lowers or raises the nozzle of the chemical line that supplies the chemical to automatically position the nozzle in the inner receiving space of the sample container or withdraw it from the sample container, thereby chemical sampling It can automate the connection/separation work between the chemical line and the sample container required for work, and reduce the manpower and time required for chemical sampling.

또한, 케미컬 샘플링의 개시 전 또는 샘플링의 완료 후, 케미컬 라인의 노즐이 드레인 포트의 삽입구에 삽입되어 보관되도록 함으로써, 케미컬 라인에서 누출되는 잔량의 케미컬을 안전하게 수집하여 배출할 수 있으며, 케미컬 라인을 통한 세정수 등의 배출을 용이하게 할 수 있다.In addition, before the start of chemical sampling or after completion of sampling, the nozzle of the chemical line is inserted into the insertion hole of the drain port and stored, so that the remaining amount of chemical leaking from the chemical line can be safely collected and discharged, and through the chemical line It is possible to facilitate the discharge of washing water and the like.

또한, 케미컬 공급 장치가 각각 서로 다른 위치에 수용된 케미컬들을 일정 샘플링 지점에 배치되는 하나의 일체형 노즐을 통해 선택적으로 공급함으로써, 케미컬 공급 장치의 구조를 단순화하고 설치 면적을 감소시킬 수 있으며, 상기 샘플링 지점으로 샘플 용기를 운반하는 케미컬 샘플링 로봇의 구조와 동작을 간소화 및 효율화할 수 있다.In addition, the chemical supply device selectively supplies the chemicals accommodated in different positions through one integrated nozzle disposed at a predetermined sampling point, thereby simplifying the structure of the chemical supply device and reducing the installation area, and the sampling point can simplify and streamline the structure and operation of the chemical sampling robot that transports the sample container.

또한, 케미컬 샘플링 시스템의 챔버 내부에서 케미컬 샘플링 로봇이 자동으로 샘플 용기를 운반하며 케미컬을 샘플링함으로써, 케미컬 샘플링 작업 시 발생하는 케미컬의 누출과 케미컬 샘플의 오염을 방지하면서도 케미컬 샘플링 작업에 요구되는 인력과 시간을 더욱 절감할 수 있다.In addition, the chemical sampling robot automatically transports the sample container and samples the chemical inside the chamber of the chemical sampling system, thereby preventing chemical leakage and contamination of the chemical sample that occur during chemical sampling, while reducing the manpower required for chemical sampling. You can save more time.

또한, 챔버의 내부 공간 중 작업자에 의해 샘플 용기가 거치되거나 수거되는 제1 구역과 샘플 용기 운반 유닛에 의해 자동 샘플링이 수행되는 제2 구역이 내부 격벽으로 분리되고, 샘플 용기를 제1 구역에서 제2 구역으로 운반해야 하거나 제2 구역에서 제1 구역으로 운반해야 하는 순간에만 상기 내부 격벽에 형성된 윈도가 자동 셔터에 의해 개방됨으로써, 작업자가 케미컬에 노출될 가능성을 최소화하고 케미컬 샘플링 작업의 안전성을 보장할 수 있다.In addition, in the inner space of the chamber, a first area in which a sample container is mounted or collected by an operator and a second area in which automatic sampling is performed by the sample container transport unit are separated by an internal partition wall, The window formed on the inner bulkhead is opened by an automatic shutter only at the moment when transport to Zone 2 or from Zone 2 to Zone 1 is required, thereby minimizing the possibility of worker exposure to chemicals and ensuring the safety of chemical sampling operations. can do.

또한, 케미컬 샘플링 시스템이 수동으로 조작되는 비상용 케미컬 라인을 별도로 구비함으로써, 시스템 장애의 발생시에도 케미컬 샘플링 작업을 수행할 수 있도록 한다.In addition, since the chemical sampling system is separately provided with an emergency chemical line that is manually operated, chemical sampling can be performed even when a system failure occurs.

나아가, 본 발명에 따른 실시예들은, 당해 기술 분야는 물론 관련 기술 분야에서 본 명세서에 언급된 내용 이외의 다른 여러 기술적 과제들을 해결할 수 있음은 물론이다.Furthermore, it goes without saying that the embodiments according to the present invention can solve various technical problems other than those mentioned herein in the related technical field as well as the related technical field.

지금까지 본 발명에 대해 구체적인 실시예들을 참고하여 설명하였다. 그러나 당업자라면 본 발명의 기술적 범위에서 다양한 변형 실시예들이 구현될 수 있음을 명확하게 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 앞서 개시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 할 것이다. 즉, 본 발명의 진정한 기술적 사상의 범위는 청구범위에 나타나 있으며, 그와 균등범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Up to now, the present invention has been described with reference to specific examples. However, those skilled in the art will clearly understand that various modified embodiments can be implemented within the technical scope of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed above should be considered in an illustrative rather than a restrictive point of view. That is, the scope of the true technical spirit of the present invention is indicated in the claims, and all differences within the scope of equivalents thereto should be construed as being included in the present invention.

100 : 챔버 110 : 제1 윈도
112 : 개폐 도어 120 : 제2 윈도
122 : 자동 셔터 200 : 샘플 용기 거치 장치
210 : 샘플 용기 홀더 220 : 승강 유닛
300 : 케미컬 공급 장치 310 : 케미컬 라인
312a,312b, 312c : 공급관 314 : 일체형 노즐
320 : 노즐 승강 유닛 322 : 지지 프레임
324 : 고정 프레임 326 : 프레임 구동부
330 : 드레인 포트 400 : 케미컬 샘플링 로봇
410 : 샘플 용기 운반 유닛 412 : 그리퍼
414 : 이동 유닛 416 : 액추에이터
420 : 개폐 유닛 422 : 소켓 구조체
424 : 승강 구동부 426 : 회전 구동부100: chamber 110: first window
112: opening and closing door 120: second window
122: automatic shutter 200: sample container holder
210: sample container holder 220: elevating unit
300: chemical supply device 310: chemical line
312a, 312b, 312c: supply pipe 314: integrated nozzle
320: nozzle lifting unit 322: support frame
324: fixed frame 326: frame driving unit
330: drain port 400: chemical sampling robot
410: sample container transport unit 412: gripper
414: mobile unit 416: actuator
420: opening and closing unit 422: socket structure
424: elevating driving unit 426: rotation driving unit

Claims (20)

케미컬을 샘플링하기 위한 샘플 용기의 내부 수용 공간에 케미컬을 공급하는 케미컬 공급 장치로서,
각각 서로 다른 위치에 수용된 케미컬을 공급하는 복수의 공급관;
상기 복수의 공급관과 연결되며, 내부에 상호 독립적으로 구성되어 상기 복수의 공급관과 각각 연통되는 복수의 유로가 형성되고, 외부면에 상기 복수의 유로와 각각 연통되는 복수의 토출구가 형성된 일체형 노즐; 및
상기 일체형 노즐과 결합하여 상기 일체형 노즐을 승강시키되, 상기 일체형 노즐을 하강시켜 적어도 상기 복수의 토출구가 형성된 상기 일체형 노즐의 하단부를 상기 샘플 용기의 상단부에 형성된 개구를 통해 상기 샘플 용기의 내부 수용 공간에 위치시키고, 상기 일체형 노즐을 통한 케미컬의 토출이 완료되면 상기 일체형 노즐을 상승시켜 상기 일체형 노즐을 상기 샘플 용기의 외부로 인출하는 노즐 승강 유닛을 포함하는 케미컬 공급 장치.A chemical supply device for supplying a chemical to an inner receiving space of a sample container for sampling the chemical,
a plurality of supply pipes for supplying chemicals accommodated in different positions, respectively;
an integrated nozzle connected to the plurality of supply pipes, each having a plurality of flow paths respectively connected to the plurality of supply pipes, each configured independently of each other therein, and a plurality of discharge ports respectively communicating with the plurality of flow paths on an outer surface thereof; and
In combination with the integrated nozzle, the integrated nozzle is raised and lowered, and at least the lower end of the integrated nozzle having the plurality of discharge ports formed by lowering the integrated nozzle through the opening formed in the upper end of the sample vessel to the inner receiving space of the sample vessel and a nozzle lifting unit for lifting the integrated nozzle to the outside of the sample container by raising the integrated nozzle when discharge of the chemical through the integrated nozzle is completed. 제1항에 있어서,
상기 일체형 노즐은,
상기 복수의 공급관의 단부들이 각각 삽입되어 결합되는 복수의 삽입구를 가지며 상기 노즐 승강 유닛과 결합되는 결합부; 및
상기 샘플 용기에 형성된 개구의 내경보다 작은 외경을 가지며 상기 결합부에서 하방으로 연장되어 상기 샘플 용기의 내부 수용 공간에 삽입 가능하게 구성되며, 외부면에 상기 복수의 토출구가 형성된 삽입부를 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 공급 장치.According to claim 1,
The integrated nozzle is
a coupling portion having a plurality of insertion holes into which the ends of the plurality of supply pipes are respectively inserted and coupled and coupled to the nozzle lifting unit; and
It has an outer diameter smaller than the inner diameter of the opening formed in the sample container and extends downwardly from the coupling part to be inserted into the inner receiving space of the sample container, and comprises an insertion part in which the plurality of discharge ports are formed on the outer surface. chemical supply device. 제1항에 있어서,
상기 일체형 노즐에 형성된 상기 복수의 토출구는, 각각 상기 샘플 용기의 내부 수용 공간에서 케미컬을 상기 샘플 용기의 측벽으로 비스듬하게 토출하도록 구성된 것을 특징으로 하는 케미컬 공급 장치.According to claim 1,
The plurality of discharge ports formed in the integral nozzle are each configured to obliquely discharge the chemical from the inner accommodation space of the sample container to the side wall of the sample container. 제1항에 있어서,
상기 일체형 노즐은, 합성수지로 구성된 것을 특징으로 하는 케미컬 공급 장치.According to claim 1,
The integrated nozzle is a chemical supply device, characterized in that composed of a synthetic resin. 제1항에 있어서,
상기 노즐 승강 유닛은,
상기 일체형 노즐과 결합하여 상기 일체형 노즐을 지지하는 지지 프레임;
상기 지지 프레임이 고정되는 고정 프레임; 및
상기 고정 프레임을 승강시키는 프레임 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 공급 장치.According to claim 1,
The nozzle lifting unit,
a support frame coupled to the integrated nozzle to support the integrated nozzle;
a fixed frame to which the support frame is fixed; and
Chemical supply device comprising a frame driving unit for elevating the fixed frame. 제1항에 있어서,
상기 케미컬 공급 장치는, 적어도 상기 일체형 노즐의 하단부가 삽입되도록 형성된 삽입구 및 상기 삽입구와 연통되는 내부 수집 공간을 가지며 상기 일체형 노즐의 하방에 배치되고, 상기 일체형 노즐이 상기 노즐 승강 유닛에 의해 하강되어 상기 삽입구에 삽입되면 상기 일체형 노즐의 토출구에서 유출되는 유출물을 상기 내부 수집 공간에 수집하는 드레인 포트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 공급 장치.According to claim 1,
The chemical supply device has at least an insertion hole formed so that the lower end of the integrated nozzle is inserted and an internal collection space communicating with the insertion hole, and is disposed below the integrated nozzle, and the integrated nozzle is lowered by the nozzle lifting unit. When inserted into the insertion hole, the chemical supply device further comprising a drain port for collecting the effluent flowing out of the discharge port of the integrated nozzle into the internal collection space. 제6항에 있어서,
상기 노즐 승강 유닛은, 상기 일체형 노즐을 상승시켜 상기 일체형 노즐을 상기 샘플 용기의 외부로 인출한 후, 상기 샘플 용기가 타 위치로 이동되면 상기 일체형 노즐을 다시 하강시켜 적어도 상기 일체형 노즐의 하단부를 상기 드레인 포트의 삽입구에 삽입하도록 구성된 것을 특징으로 하는 케미컬 공급 장치.7. The method of claim 6,
The nozzle lifting unit raises the integral nozzle to withdraw the integral nozzle to the outside of the sample container, and then lowers the integral nozzle again when the sample container is moved to another position to at least the lower end of the integral nozzle. Chemical supply device, characterized in that it is configured to be inserted into the insertion hole of the drain port. 제6항에 있어서,
상기 드레인 포트는, 상기 삽입구의 둘레에 마련되어 상기 삽입구와 상기 삽입구에 삽입된 노즐 사이를 실링하는 실링 부재를 포함하는 것을 특징으로 케미컬 공급 장치.7. The method of claim 6,
The drain port may include a sealing member provided around the insertion hole to seal between the insertion hole and the nozzle inserted into the insertion hole. 제6항에 있어서,
상기 드레인 포트는, 상기 내부 수집 공간과 연통되어 상기 내부 수집 공간에 수집된 유출물을 미리 정해진 지점으로 배출하는 배출관을 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 공급 장치.7. The method of claim 6,
The drain port communicates with the internal collection space and comprises a discharge pipe for discharging the effluent collected in the internal collection space to a predetermined point. 제1항에 있어서,
상기 케미컬 공급 장치는,
상기 복수의 공급관을 공급관별로 개폐하는 개폐 밸브;
상기 일체형 노즐을 통해 상기 샘플 용기에 충전되는 케미컬의 충전 레벨을 감지하는 레벨 센서; 및
상기 개폐 밸브를 제어하여 상기 복수의 공급관 중 일 공급관을 개방하고, 상기 레벨 센서에 의해 감지된 충전 레벨이 일정 기준 레벨에 도달하면 상기 일 공급관을 폐쇄하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 공급 장치.According to claim 1,
The chemical supply device,
an on/off valve for opening and closing the plurality of supply pipes for each supply pipe;
a level sensor for detecting a filling level of a chemical filled in the sample container through the integrated nozzle; and
Chemical supply characterized in that it further comprises a control unit for controlling the on-off valve to open one supply pipe among the plurality of supply pipes, and to close the one supply pipe when the filling level sensed by the level sensor reaches a predetermined reference level Device. 제10항에 있어서,
상기 개폐 밸브는, 상기 일 공급관의 폐쇄 시 상기 일 공급관 내에 잔존하는 케미컬을 흡입하는 석백 밸브(suck back valve)를 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 공급 장치.11. The method of claim 10,
The on-off valve comprises a suck back valve for sucking the chemicals remaining in the one supply pipe when the one supply pipe is closed. 제10항에 있어서,
상기 레벨 센서는,
상기 케미컬의 충전 레벨이 제1 기준 레벨에 도달했는지를 감지하는 제1 레벨 센서; 및
상기 케미컬의 충전 레벨이 제1 기준 레벨보다 높은 제2 기준 레벨에 도달했는지를 감지하는 제2 레벨 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 공급 장치.11. The method of claim 10,
The level sensor is
a first level sensor for detecting whether the chemical charge level has reached a first reference level; and
and a second level sensor for detecting whether the filling level of the chemical has reached a second reference level higher than the first reference level. 제1항에 있어서,
상기 케미컬 공급 장치는,
상기 복수의 공급관 중 적어도 한 공급관과 연통되어 상기 적어도 한 공급관에 세정수를 제공하는 세정수 라인; 및
상기 적어도 한 공급관과 연통되어 상기 적어도 한 공급관에 건조 가스를 제공하는 건조 가스 라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 공급 장치.According to claim 1,
The chemical supply device,
a washing water line communicating with at least one supply pipe among the plurality of supply pipes to provide washing water to the at least one supply pipe; and
and a drying gas line communicating with the at least one supply pipe to provide a drying gas to the at least one supply pipe. 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 따른 케미컬 공급 장치를 이용한 케미컬 샘플링 시스템으로서,
외부와 차단되는 내부 공간 및 상기 내부 공간을 제1 구역과 제2 구역으로 분리하는 내부 격벽을 가지며, 외부면에 상기 제1 구역과 연통되는 제1 윈도가 형성되고, 상기 내부 격벽에 상기 제1 구역과 상기 제2 구역 간의 통로를 제공하는 제2 윈도가 형성된 챔버; 및
상기 샘플 용기를 파지하도록 구성된 그리퍼를 가지며 상기 제2 구역에 배치되고, 상기 제1 구역에 거치된 상기 샘플 용기를 상기 제2 윈도를 통해 상기 그리퍼로 파지하여 상기 제2 구역으로 운반하는 샘플 용기 운반 유닛을 포함하고,
상기 케미컬 공급 장치는, 상기 제2 구역에 배치되어 상기 샘플 용기 운반 유닛에 의해 운반된 샘플 용기의 내부 수용 공간에 케미컬을 공급하도록 구성된 케미컬 샘플링 시스템.A chemical sampling system using the chemical supply device according to any one of claims 1 to 13,
A first window communicating with the first region is formed on an outer surface of the first window having an internal space blocked from the outside and an internal partition separating the internal space into a first zone and a second zone, and the first window is formed on the internal partition wall a chamber having a second window providing a passage between the zone and the second zone; and
A sample container transport having a gripper configured to grip the sample container and disposed in the second zone, holding the sample container mounted in the first zone with the gripper through the second window and transporting the sample container to the second zone including units;
The chemical supply device is disposed in the second zone and is configured to supply a chemical to the inner receiving space of the sample container carried by the sample container transport unit. 제14항에 있어서,
상기 챔버는,
상기 제1 윈도를 개폐하는 개폐 도어; 및
상기 제2 윈도를 슬라이딩 방식으로 개폐하는 자동 셔터를 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 샘플링 시스템.15. The method of claim 14,
The chamber is
an opening and closing door for opening and closing the first window; and
and an automatic shutter that opens and closes the second window in a sliding manner. 제15항에 있어서,
상기 자동 셔터는, 상기 샘플 용기가 상기 제1 윈도를 통해 상기 제1 구역에 거치되면 상기 제2 윈도를 개방하고, 상기 제2 윈도의 개방 후 상기 샘플 용기가 상기 샘플 용기 운반 유닛에 의해 상기 제2 구역으로 운반되면 상기 제2 윈도를 폐쇄하도록 구성된 것을 특징으로 하는 케미컬 샘플링 시스템.16. The method of claim 15,
The automatic shutter opens the second window when the sample container is mounted in the first zone through the first window, and after opening the second window, the sample container is moved to the second area by the sample container carrying unit. and wherein the chemical sampling system is configured to close the second window when transported to the second zone. 제14항에 있어서,
상기 챔버는,
외부와 차단되며 상기 제1 및 제2 구역과 분리된 제3 구역; 및
상기 제3 구역을 개폐하는 비상용 도어를 포함하고,
상기 케미컬 공급 장치는,
상기 복수의 공급관 중 일 공급관에서 분기되어 상기 제3 구역으로 케미컬을 공급하는 비상용 공급관; 및
상기 제3 구역에 배치되어 상기 비상용 공급관을 수동으로 개폐하는 수동 밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 샘플링 시스템.15. The method of claim 14,
The chamber is
a third zone blocked from the outside and separated from the first and second zones; and
and an emergency door that opens and closes the third zone,
The chemical supply device,
an emergency supply pipe branching from one supply pipe among the plurality of supply pipes and supplying chemicals to the third zone; and
The chemical sampling system further comprising a manual valve disposed in the third zone to manually open and close the emergency supply pipe. 제14항에 있어서,
상기 시스템은, 상기 제1 구역에 배치되며 상기 샘플 용기가 안착되는 샘플 용기 홀더를 더 포함하고,
상기 샘플 용기 운반 유닛은, 상기 샘플 용기가 상기 샘플 용기 홀더에 안착되면 상기 제2 윈도를 통해 상기 샘플 용기를 파지하여 상기 제2 구역으로 운반하고, 상기 제2 구역에서 상기 케미컬 공급 장치에 의해 상기 샘플 용기에 케미컬이 충전되면 상기 케미컬이 충전된 샘플 용기를 상기 제2 윈도를 통해 상기 제1 구역으로 운반하도록 구성된 것을 특징으로 하는 케미컬 샘플링 시스템.15. The method of claim 14,
The system further comprises a sample vessel holder disposed in the first zone and on which the sample vessel is seated;
The sample container transport unit, when the sample container is seated in the sample container holder, grips the sample container through the second window and transports it to the second zone, and in the second zone, by the chemical supply device and transport the chemical-filled sample container through the second window to the first zone when the sample container is filled with a chemical. 제14항에 있어서,
상기 시스템은, 상기 샘플 용기의 캡이 삽입되어 결합되도록 구성된 소켓 구조체를 가지며 상기 제2 구역에 배치되고, 상기 샘플 용기 운반 유닛에 의해 상기 제2 구역 내의 일정 개폐 지점으로 운반된 샘플 용기의 캡을 상기 소켓 구조체와 결합시켜 회전시킴으로써 상기 캡을 개방하거나 폐쇄하는 개폐 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 샘플링 시스템.15. The method of claim 14,
The system includes a cap of a sample vessel disposed in the second region having a socket structure configured to insert and engage the cap of the sample vessel, and transported by the sample vessel transport unit to an opening and closing point within the second region. Chemical sampling system, characterized in that it further comprises an opening/closing unit for opening or closing the cap by rotating in combination with the socket structure. 제19항에 있어서,
상기 개폐 유닛은, 상기 샘플 용기가 상기 샘플 용기 운반 유닛에 의해 상기 제1 구역에서 상기 제2 구역으로 운반되어 상기 개폐 지점에 위치하면 상기 샘플 용기의 캡을 개방하고, 상기 캡이 개방된 상태에서 상기 케미컬 공급 장치에 의해 케미컬이 충전된 상기 샘플 용기가 상기 샘플 용기 운반 유닛에 의해 운반되어 다시 상기 개폐 지점에 위치하면 상기 캡을 폐쇄하도록 구성된 것을 특징으로 하는 케미컬 샘플링 시스템.20. The method of claim 19,
The opening/closing unit opens the cap of the sample vessel when the sample vessel is transported from the first region to the second region by the sample vessel transport unit and is positioned at the opening and closing point, and in the open state Chemical sampling system, characterized in that configured to close the cap when the sample container filled with the chemical by the chemical supply device is transported by the sample container transport unit and positioned again at the opening and closing point.
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