KR100544056B1 - Sample collection bottle for semiconductor chemical and deionized water analysis and sample collection device using the same - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체용 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병 및 이를 이용한 샘플포집장치에 관한 것이다.The present invention relates to a sample collection bottle for analyzing chemicals and deionized water for semiconductors and a sample collection device using the same.
본 발명에 의한 반도체용 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병은 샘플이 수용될 수 있으며 측면에는 샘플유입관이 형성되며 상부가 개방된 몸체, 상기 몸체의 개방된 상부를 밀봉하는 뚜껑 및 상기 뚜껑의 상부에 형성되며 상하로 움직일 수 있으며 일측에 샘플배출구가 형성되어 있는 버튼을 구비하여 이루어진다.Sample collection bottle for analyzing the chemicals for semiconductors and deionized water according to the present invention is a sample can be accommodated and a sample inlet tube is formed on the side, the upper body is open, the lid for sealing the open top of the body and It is formed on the top of the lid and can move up and down and comprises a button having a sample outlet formed on one side.
본 발명에 의한 반도체용 화학약품 또는 탈이온수 분석을 위한 샘플포집장치는 소정의 내부 공간을 갖으며, 상부 및 하부로 분리가능한 케이스 및 상기 케이스에 내재되는 샘플포집용 병을 포함하여 이루어진다.The sample collection device for analyzing chemicals or deionized water for semiconductors according to the present invention has a predetermined internal space, and includes a case for separating into upper and lower portions and a sample collecting bottle inherent in the case.
따라서, 밀폐된 공간에 샘플포집용 병을 설치하여 샘플을 업플로우(Upflow)방식으로 포집하므로써 샘플링시 샘플오염을 최소화하여 분석데이타의 신뢰성을 높이는 효과가 있다.Therefore, by installing a sample collection bottle in an enclosed space and collecting the sample in an upflow method, it minimizes sample contamination during sampling, thereby increasing reliability of analytical data.
Description
본 발명은 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병 및 이를 이용한 샘플포집장치에 관한 것이다.The present invention relates to a sample collection bottle for chemical and deionized water analysis and a sample collection device using the same.
반도체소자 제조공정에는 탈이온수(Deionized water)를 포함하여 다수의 화학약품들이 사용되고 있다. 따라서 상기 반도체소자의 고집적화에 따라 상기 탈이온수 또는 화학약품의 순도는 대단히 중요하다.A number of chemicals are used in the semiconductor device manufacturing process, including deionized water. Therefore, the purity of the deionized water or the chemical is very important according to the high integration of the semiconductor device.
즉, 상기 반도체소자를 제조하는 데 사용되는 공정용 웨이퍼와 직접적으로 접촉하는 상기 탈이온수 및 화학약품의 순도는 상기 반도체소자의 불량발생의 원인이며, 생산수율과 밀접한 관계가 있다.That is, the purity of the deionized water and chemicals directly contacting the process wafer used to manufacture the semiconductor device is a cause of defects in the semiconductor device and is closely related to the production yield.
상기 불량발생의 분석은 상기 탈이온수 및 화학약품의 분석을 통하여 상기 반도체소자의 불량원인이 되는 제조공정의 공정조건들 및 공정결과들을 간접적으로 확인하는 방법이 사용되고 있다.In the analysis of the occurrence of defects, a method of indirectly confirming process conditions and process results of a manufacturing process that is a cause of failure of the semiconductor device through analysis of the deionized water and chemicals is used.
그러므로 상기 탈이온수 및 화학약품의 순도는 정기적으로 분석하여야 하며, 또한 상기 탈이온수 및 화학약품의 공급장치의 문제발생 후 복구처리를 한 후 상기 공급장치의 능력을 테스트하여야 한다.Therefore, the purity of the deionized water and chemicals should be analyzed regularly, and the recovery of the deionized water and the chemicals supplying device should be tested after the recovery process.
분석장비의 효율적인 활용과 데이터의 신뢰성을 확보하기 위하여는 상기 샘플의 샘플링방법에 대한 신뢰성이 확보되어야 한다.In order to ensure efficient use of analytical equipment and reliability of data, reliability of the sampling method of the sample should be secured.
특히, 상기 탈이온수와 같은 ppb 또는 ppt 수준의 분석이 요구되는 현 추세를 고려할 때 샘플링시 외부 영향을 고려하지 않는 상태에서의 샘플분석은 의미가없다.In particular, considering the current trend of analyzing ppb or ppt levels such as deionized water, sample analysis in a state without considering external influences during sampling is meaningless.
종래의 탈이온수 분석용 샘플을 준비함에 있어서, 소정의 컵(Cup)을 사용하여 공기에 노출된 상태에서 정류기로부터 탈이온수의 샘플을 직접 포집하였다. 상기 샘플의 포집방법은 공기에 노출된 상태에서 샘플링하기 때문에 외부의 오염을 막을 수 없고 상부가 개방된 컵을 사용하는 다운플로우(Down Flow) 방식이기 때문에 상기 컵 바닥에 가까울 수 록 순도가 낮을 수 있다. 또한 샘플링은 데이타의 신뢰성을 높이기 위하여 연속하여 샘플링을 3회 실시한다. 상기 연속하여 샘플링시 처음 포집한 컵의 순도보다 다음의 컵의 순도가 서로 동일하지 않을 수 있다. 이는 샘플링 순서에 의한 시간경과에 따라 상기 컵내의 상기 탈이온수의 순도가 달라지기 때문이다.In preparing a sample for conventional deionized water analysis, a sample of deionized water was directly collected from the rectifier in a state of being exposed to air using a predetermined cup Cup. Since the sampling method of the sample is sampled while exposed to air, the contamination cannot be prevented, and since it is a down flow method using a cup having an open top, the purity can be as close to the bottom of the cup as possible. have. In addition, sampling is performed three times in succession to improve the reliability of the data. In the subsequent sampling, the purity of the next cup may not be the same as the purity of the first collected cup. This is because the purity of the deionized water in the cup varies with time according to the sampling sequence.
이와같이 샘플포집시 외부의 영향 및 정확히 동일한 샘플포집이 어려워 분석결과의 해석이 난해하고 신뢰성이 떨어지는 문제점이 있었다.As described above, the external influence and the exact same sample collection are difficult, so that the analysis result is difficult to interpret and the reliability is low.
본 발명의 목적은, 분석할 화학약품 및 탈이온수의 샘플링시 외부공기의 영향과 샘플링 시간지연에 따른 순도 변화를 최소화하여 분석 데이타의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 반도체용 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병 및 이를 이용한 샘플포집장치를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to analyze chemicals and deionized water for semiconductors that can improve the reliability of analytical data by minimizing the change in purity due to the influence of external air and sampling time delay when sampling chemicals and deionized water to be analyzed. To provide a sample collecting bottle and a sample collecting device using the same.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체용 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병은 샘플이 수용될 수 있으며 측면에는 샘플유입관이 형성되며 상부가 개방된 몸체, 상기 몸체의 개방된 상부를 밀봉하는 뚜껑 및 상기 뚜껑의 상부에 형성되며 상하로 움직일 수 있으며 일측에 샘플배출구가 형성되어 있는 버튼을 구비하여 이루어진다.In order to achieve the above object, a sample collection bottle for analyzing a chemical for semiconductors and deionized water according to the present invention may contain a sample, and a sample inlet tube is formed at a side thereof, and an upper portion of the body is opened. It is formed with a lid for sealing the upper portion and a button formed on the upper portion of the lid and can move up and down, the sample outlet is formed on one side.
상기 샘플유입관에는 밸브가 개재되며, 상기 몸체의 하부측면에 형성되는 것 이 바람직하다.The sample inlet pipe is provided with a valve, it is preferably formed on the lower side of the body.
상기 버튼은 상기 심플포집용 병으로부터 상기 화학약품 및 탈이온수의 업플로우(Up-Flow)시 돌출되어 상기 샘플배출구를 통하여 상기 샘플이 배출될 수 있다.The button may protrude during the up-flow of the chemical and deionized water from the simple collection bottle so that the sample may be discharged through the sample outlet.
상기 버튼은 원터치 방식으로 누르면, 상기 샘플배출구가 막혀 상기 샘플의 배출을 막을 수 있다.When the button is pressed in a one-touch manner, the sample outlet may be blocked to prevent the sample from being discharged.
상기 샘플포집용 병의 재질은 테프론(Teflon), 피피(PP) 또는 피이(PE)가 바람직하며, 용량은 300 내지 1000ml 일 수 있다.The material of the sample collection bottle is preferably Teflon (Teflon), Phi (PP) or Pei (PE), the capacity may be 300 to 1000ml.
본 발명에 따른 반도체용 화학약품 또는 탈이온수 분석을 위한 샘플포집장치는 소정의 내부 공간을 갖으며, 상부 및 하부로 분리가능한 케이스및 상기 케이스에 내재되며 샘플이 수용될 수 있으며 측면에는 샘플유입관이 형성되며 상부가 개방된 몸체, 상기 몸체의 개방된 부분을 밀봉하는 뚜껑 및 상기 뚜껑의 상부에 형성되며 상하로 움직일 수 있으며 일측에 샘플배출구가 형성되어 있는 버튼으로 구성되는 샘플포집용 병을 포함하여 이루어진다.The sample collection device for analyzing chemicals or deionized water for semiconductors according to the present invention has a predetermined internal space, and is separable into upper and lower cases, and the sample is contained in the case, and the sample can be accommodated. It is formed and the upper body is open, the lid for sealing the open portion of the body and formed on top of the lid includes a sample collection bottle consisting of a button that can move up and down and the sample outlet is formed on one side It is done by
상기 샘플포집용 병은 탈착이 자유롭도록 일측과 상부가 개방된 하우징(Housing) 내에 존재할 수 있다.The sample collection bottle may be present in a housing in which one side and an upper part are opened so that detachment is free.
상기 하우징 내에는 상기 분석용 샘플병의 받침대가 존재하며, 상기 받침대는 상기 분석용 샘플병으로 부터 업플로우된 화학약품 또는 탈이온수가 상기 하우징의 바닥에 모이도록 다수의 구멍이 형성되어 있으며 깔대기 모양일 수 있다.In the housing there is a pedestal of the analysis sample bottle, the pedestal is formed with a plurality of holes to form a plurality of holes so that the chemical or deionized water upflowed from the analysis sample bottle at the bottom of the housing Can be.
상기 하우징 하부에는 상기 하우징 바닥에 모인 상기 화학약품 또는 탈이온수의 드레인을 위한 밸브가 개재된 드레인관이 상기 케이스 하부를 관통하여 형성될 수 있다.A drain tube having a valve for draining the chemical or deionized water collected at the bottom of the housing may be formed at the lower portion of the housing to penetrate the lower portion of the case.
상기 케이스의 상부 및 하부는 다수의 경첩으로 연결되어 있어 개폐가 용이하고, 상기 상부의 일측에는 손잡이 및 상기 케이스를 열지않고 내부의 작업이 가능하도록 고무장갑을 부착할 수 있다.The upper part and the lower part of the case are connected by a plurality of hinges and are easy to open and close, and one side of the upper part can be attached with rubber gloves to enable the work inside without opening the handle and the case.
상기 케이스에는 내부공간 오염 방지용 불활성가스 주입구와 배출구가 형성되어 있으며, 상기 오염 방지용 불활성가스는 질소가스일 수 있다.The case is formed with an inert gas inlet and outlet for preventing internal space contamination, and the inert gas for preventing pollution may be nitrogen gas.
상기 샙플포집용 병은 샘플포집의 신뢰성을 확보하기 위하여 3개가 병렬로 연결되며, 상기 샘플포집용 병은 3상 커넥터(Connector)로 병렬연결될 수 있다.In order to ensure the reliability of sample collection, the sample collection bottles may be connected in parallel, and the sample collection bottles may be connected in parallel with a three-phase connector.
상기 커넥터는 상기 케이스와 연결되어 소정의 공간을 이루는 박스 내에 존재할 수 있다.The connector may be present in a box connected to the case to form a predetermined space.
상기 3상 커넥터 앞단에는 유량조절계가 부착되며, 상기 유량조절계는 플로어미터(Flowermeter) 또는 엠에프시(MFC)일 수 있으며, 상기 박스의 일측에 부착될 수 있다.A flow controller is attached to the front end of the three-phase connector, and the flow controller may be a flowmeter or MFC, and may be attached to one side of the box.
상기 유량조절계 앞단에는 ON/OFF 밸브가 더 부착될 수 있다.An ON / OFF valve may be further attached to the front end of the flow controller.
이하, 본 발명의 구체적인 일 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings a specific embodiment of the present invention will be described in detail.
도1은 본 발명에 의한 반도체용 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병을 나타내는 도면이다.1 is a view showing a sample collection bottle for analyzing chemicals and deionized water for semiconductors according to the present invention.
도1에서 보는 바와 샅이 샘플포집용 병(1)은 샘플이 수용될 수 있으며, 하부의 측면에는 제1밸브(5)가 개재된 볼트형태의 샘플유입관(4)이 형성되는 상부가 개방된 몸체(2), 상기 몸체(2)의 개방된 부분을 밀봉하는 뚜껑(7) 및 상기 뚜껑(7)의 상부에 형성되며 상하로 움직일 수 있으며, 측면에 샘플배출구(8)가 형성되어 있는 원통 형태의 버튼(6)으로 이루어진다.As shown in FIG. 1, the sample collection bottle 1 may contain a sample, and an upper portion at which the upper side of the lower side may be formed with a bolt-shaped sample inlet tube 4 having a first valve 5 therebetween. Body 2, the lid 7 for sealing the open portion of the body 2 and the upper portion of the lid 7 and can be moved up and down, the sample outlet 8 is formed on the side It consists of a cylindrical button 6.
상기 버튼(6)은 상기 샘플유입관(4)으로부터 샘플이 유입되어 상기 몸체(2)로부터 상기 화학약품 및 탈이온수의 업플로우(Up-Flow)시 돌출되어 상기 샘플배출구(8)를 통하여 상기 샘플이 배출된다. 또한 상기 버튼(6)은 원터치 방식으로 누르면 상기 샘플의 배출을 막는다. 상기 병의 재질은 테프론(Teflon)으로 만들 수 있으며 피피(PP) 또는 피이(PE)를 사용할 수도 있다.The button 6 is a sample flowed in from the sample inlet pipe 4 is protruded during the up-flow of the chemical and deionized water from the body 2 through the sample outlet (8) The sample is discharged. In addition, the button 6 is pressed in a one-touch manner to prevent the discharge of the sample. The material of the bottle may be made of Teflon, and PP or PE may be used.
도2는 본 발명에 의한 반도체용 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병을 이용한 샘플 포집장치를 나타내는 도면이다.2 is a view showing a sample collection device using a sample collection bottle for analyzing chemicals for semiconductors and deionized water according to the present invention.
도2에서 보는 바와 같이 샘플포집장치는 소정의 내부 공간을 갖으며, 상부 및 하부로 분리가능한 케이스(12) 및 상기 케이스(12)와 연결되어 형성되어 있는 상부가 개방된 박스(11)부분으로 나누어진다.As shown in FIG. 2, the sample collecting device has a predetermined internal space and includes a case 12 that can be separated into upper and lower portions, and an upper portion of the box 11 that is connected to the case 12. Divided.
상기 케이스(12)내에는 샘플이 수용될 수 있으며, 하부의 측면에는 제1밸브(5)가 개재된 볼트형태의 샘플유입관(4)이 형성된 상부가 개방된 몸체(2), 상기 몸체의 개방된 부분을 밀봉하는 뚜껑(7) 및 상기 뚜껑(7)의 상부에 형성되며 상하로 움직일 수 있으며, 측면에 샘플배출구(8)가 형성되어 있는 원통형태의 버튼(6)으로 이루어지는 샘플포집용 병(1)이 내재한다.A sample may be accommodated in the case 12, and a body 2 having an upper portion formed with a sample inlet tube 4 having a bolt shape having a first valve 5 interposed therebetween, and the body of the body 12. For capturing a sample consisting of a cylindrical button 6 having a lid 7 sealing the open portion and a top of the lid 7 and moving up and down and having a sample outlet 8 formed on a side thereof. Bottle 1 is inherent.
상기 샘플포집용 병(1)은 탈착이 자유롭도록 일측과 상부가 개방된 하우징(Housing)(26)에 위치하며, 상기 하우징(26) 내에는 상기 샘플포집용 병(1)의 받침대(29)가 존재한다. 상기 받침대(29)는 상기 샘플포집용 병(1)으로부터 업플로우된 화학약품 또는 탈이온수가 상기 하우징(26)의 바닥에 모이도록 다수의 구멍(31)이 형성되어 있는 깔대기 모양이다.The sample collection bottle (1) is located in a housing (Housing) 26, the one side and the top is open so that the detachable free, the inside of the housing 26, the pedestal (29) of the sample collection bottle (1) Is present. The pedestal 29 has a funnel shape in which a plurality of holes 31 are formed so that the chemical or deionized water upflowed from the sample collection bottle 1 is collected at the bottom of the housing 26.
상기 하우징(26) 하부에는 상기 하우징 바닥에 모인 상기 화학약품 또는 탈이온수의 드레인을 위한 제3밸브(40)가 개재된 드레인관(38)이 상기 케이스(12) 하부를 관통하여 형성된다.Under the housing 26, a drain pipe 38 having a third valve 40 for draining the chemical or deionized water collected at the bottom of the housing penetrates through the lower part of the case 12.
상기 케이스(12)의 상부 및 하부는 다수의 경첩(30)으로 연결되어 있어 개폐가 용이하고, 상기 상부의 일측에는 손잡이(32) 및 상기 케이스(12)의 상부를 열지않고 내부의 작업이 가능하도록 고무장갑(28)이 부착되어 있다. 상기 샘플포집용 병(1)에 샘플이 수용되어 업플로우되면, 상기 고무장갑(28)을 이용하여 상기 샘플포집용 병(1) 상부의 상기 버튼(6)을 눌러 최대한 상기 샘플포집용 병(1) 내부로 외부공기가 유입되는 것을 막는다.The upper and lower parts of the case 12 are connected by a plurality of hinges 30 so as to be easily opened and closed, and an internal operation is possible without opening the upper part of the handle 32 and the case 12 on one side of the upper part. The rubber gloves 28 are attached to each other. When the sample is accommodated in the sample collecting bottle 1 and upflows, the sample collecting bottle is pressed as much as possible by pressing the button 6 on the upper portion of the sample collecting bottle 1 using the rubber gloves 28. 1) Prevent external air from entering inside.
상기 케이스(12)에는 내부공간 오염 방지용 불활성가스 주입구(34)와 배출 구(36)가 형성되어 있다. 상기 불활성가스는 질소가스를 사용한다.The case 12 is formed with an inert gas inlet 34 and an outlet 36 for preventing internal space contamination. The inert gas uses nitrogen gas.
즉, 상기 불활성가스는 상기 케이스(12) 내부로 유입되어 압력을 형성하여 외부공기 및 불순물들이 상기 케이스(12)로 유입되어 샘플링시 샘플이 오염되는 것을 막는다.That is, the inert gas is introduced into the case 12 to form a pressure to prevent external air and impurities from entering the case 12 to contaminate the sample during sampling.
상기 샘플포집용 병(1)은 샘플포집의 신뢰성을 확보하기 위하여 3개가 병렬로 연결된다. 상기 샘플포집용 병(1)은 상기 샘플유입관(4)들이 3상 커넥터(Connector)(24)로 병렬연결된다. 상기 샘플유입관(4)은 소정의 제2연결배관(25)과 너트(27)가 사용되어 상기 3상 커넥터(24)에 연결된다.The sample collection bottle 1 is connected in parallel in order to ensure the reliability of the sample collection. The sample collection bottle 1 is connected in parallel with the sample inlet pipe 4 to the three-phase connector (24). The sample inlet pipe 4 is connected to the three-phase connector 24 using a predetermined second connection pipe 25 and a nut 27.
상기 샘플포집용 병(1)의 병렬연결은 동시에 동일한 샘플을 샘플링할 수 있는 장점이 있다.Parallel connection of the sample collection bottle 1 has the advantage of being able to sample the same sample at the same time.
상기 3상 커넥터(24)는 상기 케이스(12)와 연결되어 소정의 공간을 이루며 상부가 개방된 박스(11)내에 위치한다. 상기 박스(11)는 상기 3상 커넥터(24)와 상기 제2연결배관(25)을 외부로부터 보호하는 역할을 한다.The three-phase connector 24 is connected to the case 12 to form a predetermined space and is located in the box 11 having an open top. The box 11 serves to protect the three-phase connector 24 and the second connection pipe 25 from the outside.
상기 3상 커넥터(24) 앞단에는 유량조절계(22)가 부착되어 있다. 상기 3상 커넥터(24)와 유량조절계(22)는 제1연결배관(23)으로 연결된다. 상기 유량조절계(22)는 엠에프시(MFC)일 수 있다. 상기 유량조절계(22)는 분석해야 할 화학약품 및 탈이온수의 플로우량을 조절한다. 보통 탈이온수 분석시 정류기로부터 정상적인 상기 탈이온수가 형성되기 까지 2시간 정도 소요되기 때문에 상기 정류기의 필터를 교체한 후, 상기 탈이온수를 분석하기 위하여 상기 유량조절계(22)의 플로우량을 조절하여 샘플링시간을 설정함으로써 상기 탈이온수의 제조의 조건변동요인을 총괄적으로 반영할 수 있게 한다.At the front end of the three-phase connector 24, a flow controller 22 is attached. The three-phase connector 24 and the flow controller 22 are connected to the first connection pipe 23. The flow controller 22 may be an MFC. The flow controller 22 controls the flow rate of chemicals and deionized water to be analyzed. Usually, since it takes about 2 hours from the rectifier to form the normal deionized water when analyzing the deionized water, after replacing the filter of the rectifier, the flow rate of the flow controller 22 is adjusted in order to analyze the deionized water. By setting the time, it is possible to collectively reflect the condition variation factor in the production of the deionized water.
상기 유랑조절계(22) 앞단에는 밸브(20)가 형성되어 있어 상기 샘플포집용 병(1)에 샘플이 샘플링된 후 닫아 더 이상 유량이 플로우 되지 않도록 한다.A valve 20 is formed at the front end of the wander controller 22 so that the sample is closed after the sample is collected in the sample collection bottle 1 so that no more flow rate flows.
따라서, 본 발명에 의하면 상술한 바와 같이 밀폐된 공간에 샘플포집용 병을 설치하여 업플로우방식으로 샘플을 포집하므로써 샘플링시 샘플오염을 최소화하여 분석데이타의 신뢰성을 높이는 효과가 있다.Therefore, according to the present invention, the sample collection bottle is installed in a sealed space as described above, and the sample is collected in an upflow manner, thereby minimizing sample contamination during sampling, thereby increasing reliability of analytical data.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the described embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical scope of the present invention, and such modifications and modifications are within the scope of the appended claims.
도1은 본 발명에 의한 반도체용 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병을 나타내는 도면이다.1 is a view showing a sample collection bottle for analyzing chemicals and deionized water for semiconductors according to the present invention.
도2는 본 발명에 의한 반도체용 화학약품 및 탈이온수 분석을 위한 샘플포집용 병을 이용한 샘플포집장치를 나타내는 도면이다.FIG. 2 is a view showing a sample collecting device using a sample collecting bottle for analyzing chemicals for semiconductor and deionized water according to the present invention.
※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of symbols for main parts of drawing
1 ; 샘플포집용 병 2 ; 몸체One ; Sample collection bottles 2; Body
4 ; 샘플유입관 5 ; 제1밸브4 ; Sample inlet pipe 5; 1st valve
6 ; 버튼 7 ; 뚜껑6; Button 7; Lid
8 ; 샘플배출구 11 ; 박스8 ; Sample outlet 11; box
12 ; 케이스 20 ; 제2밸브12; Case 20; 2nd valve
22 ; 유량조절계 23 ; 제1연결배관22; Flow controller 23; First connection piping
24 ; 3상 커낵터 25 ; 제2연결배관24; Three-phase connector 25; Second connection piping
26 ; 하우징 27 ; 너트26; Housing 27; nut
28 ; 고무장갑 29 ; 받침대28; Rubber gloves 29; Pedestal
30 ; 경첩 31 ; 구멍30; Hinge 31; hole
32 ; 손잡이 34 ; 불활성가스유입관32; Handle 34; Inert Gas Inlet Pipe
36 ; 불활성가스배기관 38 ; 드레인관36; Inert gas exhaust pipes 38; Drain pipe
40 ; 제3밸브40; 3rd valve
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