KR20210074495A - 약액 검사 장치 및 약액 검사 방법 - Google Patents

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Abstract

약액 검사 장치는 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액에 적어도 두 개의 레이저 광선들을 충돌시킴에 따라 발생되는 레이저 스케터링을 디텍팅하여 약액 상태를 검사하기 위한 것으로써, 상기 레이저 광선들이 하나의 상으로 수렴되는 수렴 지점이 상기 약액과 충돌되는 충돌 지점이 될 수 있게 정렬할 수 있도록 구비되는 정렬 어셈블리를 더 포함할 수 있다. 상기 정렬 어셈블리는 상기 레이저 광선들이 조사됨으로써 생성되는 평면 모양들을 확인할 수 있도록 구비되는 모양 확인부와, 상기 평면 모양들의 높이를 조절함으로써 상기 평면 모양들이 하나의 상으로 수렴될 수 있게 상기 모양 확인부의 높이를 조절하도록 구비되는 높이 조절부를 포함할 수 있다.

Description

약액 검사 장치 및 약액 검사 방법{APPARATUS FOR INSPECTION DROPLET AND METHOD FOR INSPECTION DROPLET}
본 발명은 약액 검사 장치 및 약액 검사 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액의 상태를 검사할 때 레이저 광선들이 하나의 상으로 수렴되는 수렴 지점이 약액과 충돌되는 충돌 지점이 될 수 있게 정렬하는 정렬 어셈블리를 구비하는 약액 검사 장치 및 약액 검사 방법에 관한 것이다.
디스플레이 소자의 제조시 잉크젯 헤드로부터 기판으로 토출되는 약액의 상태에 이상이 있을 경우 불량이 야기될 수 있다.
따라서 디스플레이 소자의 제조 중에 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액의 상태, 즉 약액의 토출 속도, 약액의 토출 각도, 약액의 토출 용량, 약액의 토출 개수, 약액의 토출 여부 등을 검사할 수 있다.
잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액에 대한 검사는 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액에 적어도 두 개의 레이저 광선들을 충돌시킴에 따라 발생되는 레이저 스케터링(scattering)을 디텍팅하여 분석함으로써 이루어질 수 있다.
약액에 대한 검사에서는 적어도 두 개의 레이저 광선들이 하나의 상으로 수렴되는 수렴 지점이 약액과 충돌하는 충돌 지점으로 정렬되어야 보다 정확한 검사가 이루어질 수 있다.
종래의 수렴 지점과 충돌 지점에 대한 정렬은 주로 충돌이 예상되는 지점들에 반복적으로 잉크젯 헤드를 위치시켜 약액을 토출시키면서 수렴 지점을 파악함에 의해 이루어질 수 있고, 계속적으로 검사를 수행함에 따라 수렴 지점과 충돌 지점이 달라질 경우에도 다시 충돌이 예상되는 지점들에 반복적으로 잉크젯 헤드를 위치시켜 약액을 토출시키면서 수렴 지점을 파악함에 의해 이루어질 수 있다.
따라서 종래에는 약액에 대한 검사시 레이저 광선들이 하나의 상으로 수렴되는 수렴 지점과 약액이 충돌하는 충돌 지점에 대한 정렬을 보다 정확하고 신속하게 파악하지 못하고 있는 실정이다.
본 발명의 일 목적은 레이저 광선들을 위치를 보다 정확하게 파악함으로써 약액에 대한 검사시 레이저 광선들이 하나의 상으로 수렴되는 수렴 지점과 약액이 충돌하는 충돌 지점에 대한 정렬을 보다 정확하고 신속하게 달성할 수 있는 약액 검사 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 레이저 광선들을 위치를 보다 정확하게 파악함으로써 약액에 대한 검사시 레이저 광선들이 하나의 상으로 수렴되는 수렴 지점과 약액이 충돌하는 충돌 지점에 대한 정렬을 보다 정확하고 신속하게 달성할 수 있는 약액 검사 방법을 제공하는데 있다.
상기 본 발명의 일 목적을 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치는 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액에 적어도 두 개의 레이저 광선들을 충돌시킴에 따라 발생되는 레이저 스케터링을 디텍팅하여 약액 상태를 검사하기 위한 것으로써, 상기 레이저 광선들이 하나의 상으로 수렴되는 수렴 지점이 상기 약액과 충돌되는 충돌 지점이 될 수 있게 정렬할 수 있도록 구비되는 정렬 어셈블리를 더 포함할 수 있다. 상기 정렬 어셈블리는 상기 레이저 광선들이 조사됨으로써 생성되는 평면 모양들을 확인할 수 있도록 구비되는 모양 확인부와, 상기 평면 모양들의 높이를 조절함으로써 상기 평면 모양들이 하나의 상으로 수렴될 수 있게 상기 모양 확인부의 높이를 조절하도록 구비되는 높이 조절부를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 모양 확인부가 Z축 방향에 배치되도록 구비될 때, 상기 레이저 광선들 중 어느 하나의 레이저 광선은 X축 방향에서 상기 모양 확인부로 조사하고, 다른 하나의 레이저 광선은 Y축 방향에서 상기 모양 확인부로 조사할 수 있고, 상기 높이 조절부는 상기 모양 확인부를 Z축 방향을 따라 구동시킬 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 X축 방향에서 조사되는 레이저 광선의 개수 및 상기 Y축 방향에서 조사되는 레이저 광선의 개수는 동일 개수일 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 정렬 어셈블리는 상기 모양 확인부에 생성되는 상기 평면 모양들이 위치하는 곳들에 대한 X 좌표 및 Y 좌표를 수득할 수 있는 제1 좌표 수득부를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 좌표 수득부는 상기 모양 확인부의 상부에 배치되어 상기 모양 확인부에 생성되는 상기 평면 모양들을 영상으로 획득하는 제1 영상 획득부와, 상기 영상으로부터 상기 평면 모양들이 위치하는 곳들을 상기 X 좌표 및 Y 좌표로 변환하는 제1 좌표 변환부로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 정렬 어셈블리는 상기 모양 확인부에 생성되는 상기 평면 모양들이 위치하는 곳들에 대한 Z 좌표를 수득할 수 있는 제2 좌표 수득부를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제2 좌표 수득부는 상기 모양 확인부의 하부에 배치되어 상기 모양 확인부에 생성되는 상기 평면 모양들이 수렴할 때의 영상을 획득하는 제2 영상 획득부와, 상기 평면 모양들이 수렴할 때의 영상으로부터 상기 모양 확인부의 높이를 측정하여 Z 좌표로 변환하는 제2 좌표 변환부로 이루어질 수 있다.
상기 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법은 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액에 적어도 두 개의 레이저 광선들을 충돌시킴에 따라 발생되는 레이저 스케터링을 디텍팅하여 약액 상태를 검사하기 위한 것으로써, 상기 레이저 광선들이 하나의 상으로 수렴되는 수렴 지점이 상기 약액과 충돌되는 충돌 지점이 될 수 있게 정렬하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 정렬 단계는 상기 레이저 광선들이 조사됨으로써 모양 확인부에 생성되는 평면 모양들을 확인하는 단계와, 상기 평면 모양들의 높이를 조절함으로써 상기 평면 모양들이 하나의 상으로 수렴될 수 있게 높이 조절부를 사용하여 상기 모양 확인부의 높이를 조절하는 단계를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 모양 확인부가 Z축 방향에 배치되도록 구비될 때, 상기 레이저 광선들 중 어느 하나의 레이저 광선은 X축 방향에서 상기 모양 확인부로 조사할 수 있고, 다른 하나의 레이저 광선은 Y축 방향에서 상기 모양 확인부로 조사하고, 상기 높이 조절부는 상기 모양 확인부를 Z축 방향을 따라 구동시킬 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 X축 방향에서 조사되는 레이저 광선의 개수 및 상기 Y축 방향에서 조사되는 레이저 광선의 개수는 동일 개수일 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 모양 확인부에 생성되는 상기 평면 모양들이 위치하는 곳들에 대한 X 좌표 및 Y 좌표를 수득할 수 있는 단계를 더 포함할 수 있고, 상기 X 좌표 및 Y 좌표를 수득하는 단계는 상기 모양 확인부에 생성되는 상기 평면 모양들을 영상으로 획득한 후, 상기 영상으로부터 상기 평면 모양들이 위치하는 곳들을 상기 X 좌표 및 Y 좌표로 변환할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 모양 확인부에 생성되는 상기 평면 모양들이 위치하는 곳들에 대한 Z 좌표를 수득할 수 있는 단계를 더 포함할 수 있고, 상기 Z 좌표를 수득하는 단계는 상기 모양 확인부에 생성되는 상기 평면 모양들이 수렴할 때의 영상을 획득한 후, 상기 평면 모양들이 수렴할 때의 영상으로부터 상기 모양 확인부의 높이를 측정하여 Z 좌표로 변환할 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치 및 약액 검사 방법은 레이저 광선들을 사용하는 약액에 대한 검사시 레이저 광선들이 하나의 상으로 수렴되는 수렴 지점과 약액이 충돌하는 충돌 지점에 대한 정렬을 보다 정확하고 신속하게 달성할 수 있기 때문에 약액에 대한 검사 공정을 보다 정확하게 수행함과 아울러 보다 신속하게 수행할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치 및 약액 검사 방법은 디스플레이 소자의 제조시 약액의 상태에 대한 보다 정확한 검사 데이터를 수득할 수 있기 때문에 공정 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 것이고, 또한 검사 데이터를 보다 신속하게 수득할 수 있기 때문에 생산성의 향상도 기대할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치에서의 레이저 광선들을 조사하는 조사부를 설명하기 위한 도면이다.
도 3 내지 도 5는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치를 사용하는 사용예를 설명하기 위한 도면들이다.
도 6은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며,
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이고, 도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치에서의 레이저 광선들을 조사하는 조사부를 설명하기 위한 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치(100)는 디스플레이 소자의 제조시 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액 상태를 검사하도록 구비될 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치(100)는 잉크젯 헤드에 배치되는 다수개의 노즐들로부터 토출되는 약액 상태를 검사할 수 있을 것이고, 나아가 약액 상태에 대한 확인을 통하여 다수개의 노즐들에 대한 이상 여부까지도 검사할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치(100)는 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액에 레이저 광선을 충돌시킴에 따라 발생되는 레이저 스케터링을 디텍팅하여 분석함으로써 약액 상태를 검사하도록 구비될 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치(100)는 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액을 향하여 레이저 광선을 조사할 수 있는 조사부(13)와 레이저 광선과 충돌됨에 따라 발생되는 레이저 스케터링을 디텍팅할 수 있는 디텍팅부(15)를 포함할 수 있다.
조사부(13) 및 디텍팅부(15) 각각은 발광부 기능 및 수광부 기능을 가질 수 있는 것으로써, 몸체(11)에 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
특히, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치(100)는 레이저 광선의 의해 형성되는 측정 영역에서 약액과 충돌되어야 할 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치(100)는 언급한 측정 영역을 형성할 수 있게 적어도 두 개의 레이저 광선들을 조사하도록 구비될 수 있다.
그리고 적어도 두 개의 레이저 광선들 중 어느 하나의 레이저 광선은 X축 방향에서 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액, 즉 상부로부터 하부로 약액이 토출되는 방향인 Z축 방향으로 조사하도록 구비될 수 있고, 다른 하나의 레이저 광선은 Y축 방향에서 언급한 Z축 방향으로 조사하도록 구비될 수 있다.
또한, X축 방향에서 조사되는 레이저 광선의 개수 및 Y축 방향에서 조사되는 레이저 광선의 개수가 다를 경우에는 레이저 광선들을 하나의 상으로 수렴시키기가 용이하지 않기 때문에 X축 방향에서의 레이저 광선의 개수 및 Y축 방향에서의 레이저 광선의 개수는 동일 개수인 것이 바람직할 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치(100)에서의 조사부(13) 또한 적어도 두 개가 구비될 수 있는 것으로써, 어느 하나의 조사부는 X축 방향에 배치되도록 구비될 수 있고, 다른 하나의 조사부는 Y축 방향에 배치되도록 구비될 수 있다.
일예로, 도 2에서와 같이 조사부는 X축 방향을 따라 두 개의 조사부(131, 133)가 배치되도록 구비될 수 있을 것이고, Y축 방향을 따라 두 개의 조사부(135, 137)가 배치되도록 구비될 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치(100)를 사용하는 약액 상태의 검사에서는 조사부(13)로부터 조사되는 레이저 광선들이 하나의 상으로 수렴되는 수렴 지점에서 약액이 충돌되어야만 보다 정확한 검사가 이루어질 수 있다.
즉, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치(100)는 레이저 광선들이 하나의 상으로 수렴되는 수렴 지점을 약액과의 충돌이 이루어지는 측정 영역으로 형성하는 것으로써, 언급한 수렴 지점에서 약액의 충돌이 이루어질 수 있도록 잉크젯 헤드의 위치를 결정할 수 있는 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치(100)는 레이저 광선들이 하나의 상으로 수렴되는 수렴 지점이 약액과 충돌되는 충돌 지점이 될 수 있게 정렬할 수 있는 정렬 어셈블리를 더 포함할 수 있다.
정렬 어셈블리는 모양 확인부(17), 높이 조절부(19), 제1 좌표 수득부(21), 제2 좌표 수득부(27) 등을 포함할 수 있다.
모양 확인부(17)는 레이저 광선들이 조사됨으로써 생성되는 평면 모양들을 확인할 수 있도록 구비될 수 있다. 모양 확인부(17)는 조사부(13)의 위쪽 방향인 Z 방향에 배치되도록 구비될 수 있는 것으로써, 잉크젯 헤드로부터 약액이 토출되는 토출 경로에 위치하도록 구비될 수 있다.
모양 확인부(17)는 레이저 광선들에 의해 형성되는 모양들, 특히 평면 모양들을 육안으로 확인할 수만 있으면 그 재질에 한정되지는 않는다. 모양 확인부(17)는 언급한 평면 모양들의 확인이 가능한 평편한 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
높이 조절부(19)는 모양 확인부(17)의 높이를 조절하도록 구비될 수 있다. 높이 조절부(19)는 모양 확인부(17)를 지지하도록 구비되는 지지 부재, 지지 부재를 상,하로 구동시키도록 구비되는 구동 부재 등으로 이루어질 수 있다.
높이 조절부(19)는 모양 확인부(17)의 높이 조절을 통하여 레이저 광선들의 조사에 의해 모양 확인부(17)에 형성되는 평면 모양들의 높이를 조절함으로써 평면 모양들이 하나의 상으로 수렴될 수 있도록 구비될 수 있는 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치(100)는 높이 조절부(19)를 사용하여 모양 확인부(17)를 상,하로 구동시킴에 따라 평면 모양들을 하나의 상으로 수렴시킬 수 있을 것이다.
일예로, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치(100)는 X축 방향을 따라 배치되는 조사부들(131, 133) 및 Y축 방향을 따라 배치되는 조사부들(135, 137)로부터 Z축 방향에 배치되는 모양 확인부(17)로 레이저 광선들을 조사하여 모양 확인부(17)에 평면 모양들을 형성시킨 후, 높이 조절부(19)를 사용하여 모양 확인부(17)를 Z축 방향을 따라 구동시킴으로써 평면 모양들을 하나의 상으로 수렴시킬 수 있는 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치(100)는 모양 확인부(17) 및 높이 조절부(19)로 이루어지는 정렬 어셈블리를 구비함으로써 레이저 광선들이 하나의 상으로 수렴되는 수렴 지점을 보다 용이하게 찾을 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따르면 언급한 수렴 지점에서 약액의 충돌이 이루어지도록 잉크젯 헤드를 위치시켜 약액 상태에 대한 검사를 수행할 경우 약액 상태에 대해서 보다 정확하게 검사할 수 있을 것이다.
정렬 어셈블리를 사용하여 정렬되는 수렴 지점을 X, Y 및 Z 좌표로 나타낼 수도 있을 것이다. 수렴 지점에 대한 X, Y 및 Z 좌표는 제1 좌표 수득부(21) 및 제2 좌표 수득부(27)를 사용함에 의해 수득할 수 있을 것이다.
제1 좌표 수득부(21)는 모양 확인부(17)에 생성되는 평면 모양들이 위치하는 곳들에 대한 X 좌표 및 Y 좌표를 수득할 수 있도록 구비될 수 있다. 제1 좌표 수득부(21)는 언급한 수렴 지점에서의 X 좌표 및 Y 좌표를 수득할 수 있도록 구비될 수 있다.
제1 좌표 수득부(21)는 모양 확인부(17)에 생성되는 평면 모양들을 영상으로 획득하는 제1 영상 획득부(23) 및 영상으로부터 평면 모양들이 위치하는 곳들을 X 좌표 및 Y 좌표로 변환하는 제1 좌표 변환부(25)로 이루어질 수 있다.
제1 영상 획득부(23)는 평면 모양들을 보다 용이하게 영상으로 확보할 수 있게 모양 확인부(17)의 상부에 배치되도록 구비될 수 있고, 제1 좌표 변환부(25)는 영상을 기초로 하여 모양 확인부(17)에 형성되는 평면 모양들이 위치하는 곳들을 X 좌표 및 Y 좌표로 변환할 수 있는 엔코터 등과 같은 부재로 이루어질 수 있다.
제2 좌표 수득부(27)는 모양 확인부(17)에 생성되는 평면 모양들이 위치하는 곳들에 대한 Z 좌표를 수득할 수 있는 수득할 수 있도록 구비될 수 있다. 제2 좌표 수득부(27)는 언급한 수렴 지점에서의 Z 좌표를 수득할 수 있도록 구비될 수 있다.
제2 좌표 수득부(27)는 모양 확인부(17)에 생성되는 평면 모양들이 수렴할 때의 영상을 획득하는 제2 영상 획득부(29) 및 평면 모양들이 수렴할 때의 영상으로부터 모양 확인부(17)의 높이를 측정하여 Z 좌표로 변환하는 제2 좌표 변환부(31)로 이루어질 수 있다.
제2 영상 획득부(29)는 평면 모양들이 수렴할 때의 영상을 보다 용이하게 확보함과 아울러 제1 영상 획득부(23)와의 간섭을 배제할 수 있게 모양 확인부(17)의 하부에 배치되도록 구비될 수 있고, 제2 좌표 변환부(31)는 평면 모양들이 수렴할 때의 모양 확인부(17)의 높이를 측정할 수 있는 센서 등과 같은 부재로 이루어질 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따르면 수렴 지점을 X, Y 및 Z 좌표로 수득할 수 있고, 이로부터 잉크젯 헤드의 위치, 특히 노즐 각각에 대한 위치를 결정하여 약액을 토출시킴으로써 수렴 지점에서 약액의 충돌을 유도할 수 있기 때문에 약액 상태에 대한 보다 정확하고, 보다 신속한 검사를 달성할 수 있을 것이다.
도 3 내지 도 5는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치를 사용하는 사용예를 설명하기 위한 도면들이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 도 2에서의 조사부(13)를 사용하여 레이저 광선들을 조사함에 따라 모양 확인부(17)에 형성되는 평면 모양들(231, 233, 235, 237)을 나타내고 있다. 그러나 평면 모양들(231, 233, 235, 237)이 하나의 상으로 수렴되지 않은 상태임을 확인할 수 있다.
이에, 높이 조절부(19)를 사용하여 도 3 및 도 4에서의 모양 확인부(17)를 Z축 방향을 따라 상,하로 구동시킬 것이다.
도 5를 참조하면, 높이 조절부(19)를 사용하여 도 3 및 도 4에서의 모양 확인부(17)를 Z축 방향을 따라 상,하로 구동시킨 결과, 모양 확인부(17)에 형성되는 평면 모양들(231, 233, 235, 237)이 하나의 상(10)으로 수렴되는 것을 확인할 수 있을 것이다.
그리고 제1 좌표 수득부(21) 및 제2 좌표 수득부(27)를 사용하여 평면 모양들이 하나의 상으로 수렴되는 수렴 지점을 X, Y 및 Z 좌표로 수득할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따르면 언급한 수렴 지점을 보다 정확하고, 신속하게 찾을 수 있고, 그 결과 약액 상태에 대한 검사를 보다 정확하고, 보다 신속하게 수행할 수 있을 것이다.
이하, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법에 대하여 설명하기로 한다. 그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법에서는 도 1의 약액 검사 장치를 사용하기 때문에 약액 검사 장치에 대한 상세한 설명은 생략하기로 하고, 동일 부재에 대해서는 동일 부호를 사용하기로 한다.
도 6은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 6을 참조하면, 조사부(13)를 사용하여 모양 확인부(17)로 레이저 광선들을 조사할 수 있다. 이에, 모양 확인부(17)에는 레이저 광선들에 의한 평면 모양들이 형성될 수 있다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법에서는 레이저 광선들이 조사됨으로써 모양 확인부(17)에 생성되는 평면 모양들을 확인할 수 있다.(S61 단계)
그리고 높이 조절부(19)를 사용하여 모양 확인부(17)들의 높이를 조절할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법에서는 평면 모양들이 하나의 상으로 수렴될 수 있게 높이 조절부(19)를 사용하여 모양 확인부(17)의 높이를 조절할 수 있다.(S63 단계)
계속해서, 제1 좌표 수득부(21)를 사용하여 모양 확인부(17)에 생성되는 평면 모양들이 위치하는 곳들에 대한 X 좌표 및 Y 좌표를 수득할 수 있고, 제2 좌표 수득부(27)를 사용하여 평면 모양들이 위치하는 곳들에 대한 Z 좌표를 수득할 수 있다. 특히, 수렴 지점에 대한 X, Y, 및 Z 좌표를 수득할 수 있을 것이다.
이에, 언급한 수렴 지점에서 약액의 충돌이 이루어질 수 있게 잉크젯 헤드를 위치시켜 약액을 토출시킴으로써 약액 상태에 대한 검사를 수행할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치 및 약액 검사 방법은 잉크젯 헤드에 대한 관리를 보다 정확하고 수행할 수 있고, 이상 발견시 보다 신속하게 처리할 수 있기 때문에 잉크젯 헤드를 사용하여 패턴을 형성하는 인쇄 공정에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이고, 나아가 인쇄 공정을 통하여 수득할 수 있는 디스플레이 소자의 제조에 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 몸체 13 : 조사부
15 : 디텍팅부 17 : 모양 확인부
19 : 높이 조절부 21 : 제1 좌표 수득부
23 : 제1 영상 획득부 25 : 제1 좌표 변환부
27 : 제2 좌표 수득부 29 : 제2 영상 획득부
31 : 제2 좌표 변환부 100 : 약액 검사 장치

Claims (12)

  1. 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액에 적어도 두 개의 레이저 광선들을 충돌시킴에 따라 발생되는 레이저 스케터링을 디텍팅하여 약액 상태를 검사하는 약액 검사 장치에 있어서,
    상기 레이저 광선들이 하나의 상으로 수렴되는 수렴 지점이 상기 약액과 충돌되는 충돌 지점이 될 수 있게 정렬할 수 있도록 구비되는 정렬 어셈블리를 더 포함하되,
    상기 정렬 어셈블리는
    상기 레이저 광선들이 조사됨으로써 생성되는 평면 모양들을 확인할 수 있도록 구비되는 모양 확인부; 및
    상기 평면 모양들의 높이를 조절함으로써 상기 평면 모양들이 하나의 상으로 수렴될 수 있게 상기 모양 확인부의 높이를 조절하도록 구비되는 높이 조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 검사 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 모양 확인부가 Z축 방향에 배치되도록 구비될 때,
    상기 레이저 광선들 중 어느 하나의 레이저 광선은 X축 방향에서 상기 모양 확인부로 조사하고, 다른 하나의 레이저 광선은 Y축 방향에서 상기 모양 확인부로 조사하고, 상기 높이 조절부는 상기 모양 확인부를 Z축 방향을 따라 구동시키는 것을 특징으로 하는 약액 검사 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 X축 방향에서 조사되는 레이저 광선의 개수 및 상기 Y축 방향에서 조사되는 레이저 광선의 개수는 동일 개수인 것을 특징으로 하는 약액 검사 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 정렬 어셈블리는 상기 모양 확인부에 생성되는 상기 평면 모양들이 위치하는 곳들에 대한 X 좌표 및 Y 좌표를 수득할 수 있는 제1 좌표 수득부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 검사 장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 제1 좌표 수득부는
    상기 모양 확인부의 상부에 배치되어 상기 모양 확인부에 생성되는 상기 평면 모양들을 영상으로 획득하는 제1 영상 획득부; 및
    상기 영상으로부터 상기 평면 모양들이 위치하는 곳들을 상기 X 좌표 및 Y 좌표로 변환하는 제1 좌표 변환부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 검사 장치.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 정렬 어셈블리는
    상기 모양 확인부에 생성되는 상기 평면 모양들이 위치하는 곳들에 대한 Z 좌표를 수득할 수 있는 제2 좌표 수득부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 검사 장치.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 제2 좌표 수득부는
    상기 모양 확인부의 하부에 배치되어 상기 모양 확인부에 생성되는 상기 평면 모양들이 수렴할 때의 영상을 획득하는 제2 영상 획득부; 및
    상기 평면 모양들이 수렴할 때의 영상으로부터 상기 모양 확인부의 높이를 측정하여 Z 좌표로 변환하는 제2 좌표 변환부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 검사 장치.
  8. 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액에 적어도 두 개의 레이저 광선들을 충돌시킴에 따라 발생되는 레이저 스케터링을 디텍팅하여 약액 상태를 검사하는 약액 검사 방법에 있어서,
    상기 레이저 광선들이 하나의 상으로 수렴되는 수렴 지점이 상기 약액과 충돌되는 충돌 지점이 될 수 있게 정렬하는 단계는
    상기 레이저 광선들이 조사됨으로써 모양 확인부에 생성되는 평면 모양들을 확인하는 단계; 및
    상기 평면 모양들의 높이를 조절함으로써 상기 평면 모양들이 하나의 상으로 수렴될 수 있게 높이 조절부를 사용하여 상기 모양 확인부의 높이를 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 검사 방법.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 모양 확인부가 Z축 방향에 배치되도록 구비될 때,
    상기 레이저 광선들 중 어느 하나의 레이저 광선은 X축 방향에서 상기 모양 확인부로 조사하고, 다른 하나의 레이저 광선은 Y축 방향에서 상기 모양 확인부로 조사하고, 상기 높이 조절부는 상기 모양 확인부를 Z축 방향을 따라 구동시키는 것을 특징으로 하는 약액 검사 방법.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 X축 방향에서 조사되는 레이저 광선의 개수 및 상기 Y축 방향에서 조사되는 레이저 광선의 개수는 동일 개수인 것을 특징으로 하는 약액 검사 방법.
  11. 제8 항에 있어서,
    상기 모양 확인부에 생성되는 상기 평면 모양들이 위치하는 곳들에 대한 X 좌표 및 Y 좌표를 수득할 수 있는 단계를 더 포함하되,
    상기 X 좌표 및 Y 좌표를 수득하는 단계는 상기 모양 확인부에 생성되는 상기 평면 모양들을 영상으로 획득한 후, 상기 영상으로부터 상기 평면 모양들이 위치하는 곳들을 상기 X 좌표 및 Y 좌표로 변환하는 것을 특징으로 하는 약액 검사 방법.
  12. 제8 항에 있어서,
    상기 모양 확인부에 생성되는 상기 평면 모양들이 위치하는 곳들에 대한 Z 좌표를 수득할 수 있는 단계를 더 포함하되,
    상기 Z 좌표를 수득하는 단계는 상기 모양 확인부에 생성되는 상기 평면 모양들이 수렴할 때의 영상을 획득한 후, 상기 평면 모양들이 수렴할 때의 영상으로부터 상기 모양 확인부의 높이를 측정하여 Z 좌표로 변환하는 것을 특징으로 하는 약액 검사 방법.
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