KR20210074348A - 평면형 대상물을 운반하기 위한 캐리어, 캐리어를 이송하기 위한 이송 시스템, 캐리어를 비접촉식으로 이송하는 방법, 및 코팅된 기판을 생산하는 방법 - Google Patents

평면형 대상물을 운반하기 위한 캐리어, 캐리어를 이송하기 위한 이송 시스템, 캐리어를 비접촉식으로 이송하는 방법, 및 코팅된 기판을 생산하는 방법 Download PDF

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Abstract

캐리어의 진동들을 감쇠시키기 위한 자기 감쇠 디바이스(magnetic damping device)(100)가 설명된다. 자기 감쇠 디바이스(100)는, 적어도 하나의 전도성 플레이트 엘리먼트(111)를 포함하는 제1 어셈블리(110)를 포함한다. 추가적으로, 자기 감쇠 디바이스(100)는, 감쇠 방향(101)으로 연장되는 적어도 하나의 슬롯(123)을 갖는 자석 어셈블리(120)를 포함한다. 적어도 하나의 전도성 플레이트 엘리먼트(111)는 적어도 하나의 슬롯(123) 내로 연장된다. 또한, 자기 감쇠 디바이스(100)는, 자기 어셈블리(120)에 연결된 질량 엘리먼트(130), 및 질량 엘리먼트(130)를 제1 어셈블리(110)와 연결하는 스프링 디바이스(140)를 포함한다. 더욱이, 평면형 대상물을 운반하기 위한 캐리어, 캐리어를 이송하기 위한 이송 시스템, 및 캐리어를 비접촉식으로 이송하는 방법이 설명된다.

Description

캐리어의 진동들을 감쇠시키기 위한 자기 감쇠 디바이스, 평면형 대상물을 운반하기 위한 캐리어, 캐리어를 이송하기 위한 이송 시스템, 및 캐리어를 비접촉식으로 이송하는 방법
[0001] 본 개시내용의 실시예들은, 특히 진공 증착 프로세스에서 사용되는 캐리어의 진동들을 감쇠(damping)시키기 위한 자기 감쇠 디바이스(magnetic damping device)들에 관한 것이다. 본 개시내용의 추가의 실시예들은, 자기 감쇠 디바이스를 포함하는, 예컨대 기판 또는 마스크를 위한 캐리어들에 관한 것이다. 본 개시내용의 추가의 실시예들은, 캐리어를 이송하기 위한 이송 시스템들, 및 캐리어를 비접촉식으로(contactlessly) 이송하는 방법들에 관한 것이다. 특히, 본 개시내용의 이송 시스템은 진공 프로세싱 시스템을 통해 캐리어를 비접촉식으로 홀딩하고, 포지셔닝하고, 그리고/또는 이송하도록 구성되며, 캐리어는, 특히 본질적 수직 배향으로 기판 또는 마스크를 운반할 수 있다. 더 구체적으로, 본 개시내용의 실시예들은 특히, 캐리어 이송 방향에 실질적으로 수직하는 교차 방향으로 캐리어 진동들의 감쇠를 가능하게 하도록 구성된다.
[0002] 기판 상에 재료를 증착하기 위한 몇몇 방법들이 알려져 있다. 예컨대, 기판들은 PVD(physical vapor deposition) 프로세스, CVD(chemical vapor deposition) 프로세스, PECVD(plasma-enhanced chemical vapor deposition) 프로세스 등에 의해 코팅될 수 있다. 전형적으로, 프로세스는, 코팅될 기판이 로케이팅되는, 프로세스 장치 또는 프로세스 챔버 내에서 수행된다. 증착 재료가 장치에 제공된다. 복수의 재료들, 예컨대 그 복수의 재료들의 나이트라이드들 또는 카바이드들이 기판 상의 증착을 위해 사용될 수 있다. 또한, 에칭, 구조화, 어닐링 등과 같은 다른 프로세싱 방법들이 프로세싱 챔버들에서 수행될 수 있다.
[0003] 코팅된 재료들이 몇몇 애플리케이션들 및 몇몇 기술 분야들에서 사용될 수 있다. 예컨대, 애플리케이션은 반도체 디바이스들을 생성하는 것과 같은 마이크로일렉트로닉스 분야에 있다. 또한, 디스플레이들을 위한 기판들은 대개 PVD 프로세스에 의해 코팅된다. 추가의 애플리케이션들은, 절연 패널들, OLED(organic light emitting diode) 패널들, TFT(thin film transistor)를 갖는 기판들, 컬러 필터들 등을 포함한다. 특히, 디스플레이 생산, 박막 태양 전지들의 제조, 및 이와 유사한 애플리케이션들과 같은 분야들의 경우, 대면적 유리 또는 폴리머 기판들이 프로세싱되는 데 사용된다.
[0004] 전형적으로, 기판 및/또는 마스크는 개개의 캐리어에 의해 운반된다. 캐리어는 전형적으로, 이송 시스템을 사용하여 진공 시스템을 통해 이송된다. 이송 시스템은, 하나 이상의 이송 경로들을 따라, 기판 또는 마스크가 상부에 포지셔닝된 캐리어를 운반하도록 구성될 수 있다. 디스플레이 디바이스의 기능성은 전형적으로, 미리 결정된 범위 내에 있어야 하는 재료의 코팅 두께에 따라 좌우된다. 고해상도 디스플레이 디바이스들을 획득하기 위해서는, 재료들의 증착과 관련한 기술적 난제들이 극복될 필요가 있다. 특히, 진공 시스템을 통한 기판 캐리어들 및/또는 마스크 캐리어들의 정확하고 원활한 이송은 난제이다. 예컨대, 캐리어의 진동들은 제조 프로세스의 열화로 이어질 수 있다. 최악의 경우, 캐리어 진동들은 기판의 균열 또는 파손을 야기할 수 있다.
[0005] 따라서, 종래 기술의 적어도 일부 문제점들을 감소시키거나 극복하는, 캐리어의 진동들을 감쇠시키기 위한 개선된 감쇠 디바이스들, 개선된 캐리어들, 개선된 캐리어 이송 시스템들, 및 캐리어를 이송하기 위한 방법들을 제공하는 것이 계속해서 요구된다.
[0006] 상기 내용을 고려하여, 독립항들에 따른, 자기 감쇠 디바이스, 평면형 대상물을 운반하기 위한 캐리어, 캐리어를 이송하기 위한 이송 시스템, 및 캐리어를 비접촉식으로 이송하는 방법이 제공된다. 추가적인 양상들, 장점들, 및 특징들은 종속항들, 상세한 설명, 및 첨부 도면들로부터 명백하다.
[0007] 본 개시내용의 일 양상에 따르면, 자기 감쇠 디바이스가 제공된다. 자기 감쇠 디바이스는, 적어도 하나의 전도성 플레이트 엘리먼트를 포함하는 제1 어셈블리를 포함한다. 추가적으로, 자기 감쇠 디바이스는, 감쇠 방향으로 연장되는 적어도 하나의 슬롯을 갖는 자석 어셈블리를 포함한다. 적어도 하나의 전도성 플레이트 엘리먼트는 적어도 하나의 슬롯 내로 연장된다. 또한, 자기 감쇠 디바이스는, 자기 어셈블리에 연결된 질량 엘리먼트, 및 질량 엘리먼트를 제1 어셈블리와 연결하는 스프링 디바이스를 포함한다.
[0008] 본 개시내용의 다른 양상에 따르면, 평면형 대상물을 운반하기 위한 캐리어가 제공된다. 캐리어는 평면형 대상물을 운반하기 위한 메인 바디를 포함한다. 추가적으로, 캐리어는 메인 바디에 부착된 자기 감쇠 디바이스를 포함한다. 자기 감쇠 디바이스는 평면형 대상물에 수직하는 교차 방향으로 캐리어 진동들을 감쇠시키도록 구성된다.
[0009] 본 개시내용의 추가의 양상에 따르면, 이송 방향으로 캐리어를 이송하기 위한 이송 시스템이 제공된다. 이송 시스템은 평면형 대상물을 운반하기 위한 캐리어를 포함한다. 캐리어는 평면형 대상물을 운반하기 위한 메인 바디를 포함한다. 추가적으로, 캐리어는 메인 바디에 부착된 자기 감쇠 디바이스를 포함한다. 자기 감쇠 디바이스는 평면형 대상물에 수직하는 교차 방향으로 캐리어 진동들을 감쇠시키도록 구성된다. 특히, 자기 감쇠 디바이스는 캐리어의 메인 바디의 수용부(reception) 내에 배열된다. 추가적으로, 자기 부상 시스템은 적어도 하나의 자기 베어링을 포함하며, 그 적어도 하나의 자기 베어링은 베어링에 캐리어를 비접촉식으로 홀딩하기 위한 것이다. 또한, 이송 시스템은 이송 방향으로 캐리어를 이동시키기 위한 구동 유닛을 포함한다.
[0010] 본 개시내용의 추가의 양상에 따르면, 캐리어를 비접촉식으로 이송하는 방법이 제공된다. 방법은, 캐리어를 비접촉식으로 홀딩하기 위해 중력과 반대되는 홀딩 방향으로 캐리어 상에 자기력을 가하는 단계를 포함한다. 추가적으로, 방법은, 이송 방향으로 캐리어를 이동시키는 단계를 포함한다. 또한, 방법은, 이송 방향에 실질적으로 수직하는 교차 방향으로 캐리어 진동들을 감쇠시키는 단계를 포함한다. 캐리어 진동들을 감쇠시키는 단계는 캐리어에 고정된 자기 감쇠 디바이스를 사용함으로써 캐리어 진동들의 에너지를 수동적으로 소산시키는 단계를 포함한다. 특히, 캐리어는 본원에서 설명된 임의의 실시예들에 따른 캐리어이다.
[0011] 본 개시내용의 추가의 양상에 따르면, 특히 광전자(opto-electronic) 디바이스를 생산하기 위해 코팅된 기판을 생산하는 방법이 제공된다. 방법은, 캐리어의 진동들을 감쇠시키기 위해, 본원에서 설명된 임의의 실시예들에 따른 자기 감쇠 디바이스를 사용하는 단계를 포함한다.
[0012] 실시예들은 또한, 개시된 방법들을 수행하기 위한 장치들에 관한 것이며, 설명된 방법 양상을 수행하기 위한 장치 부분들을 포함한다. 이러한 방법 양상들은, 하드웨어 컴포넌트들에 의해 수행되거나, 적합한 소프트웨어에 의해 프로그래밍된 컴퓨터에 의해 수행되거나, 이들 둘의 임의의 조합에 의해 수행되거나, 또는 임의의 다른 방식으로 수행될 수 있다. 게다가, 본 개시내용에 따른 실시예들은 또한, 설명된 장치를 동작시키기 위한 방법들에 관한 것이다. 설명된 장치를 동작시키기 위한 방법들은 장치의 모든 각각의 기능을 수행하기 위한 방법 양상들을 포함한다.
[0013] 본 개시내용의 상기 열거된 특징들이 상세히 이해될 수 있는 방식으로, 앞서 간략히 요약된 본 개시내용의 보다 구체적인 설명이 실시예들을 참조로 하여 이루어질 수 있다. 첨부 도면들은 본 개시내용의 실시예들에 관한 것이고, 하기에서 설명된다:
도 1a는 본원에서 설명된 실시예들에 따른 자기 감쇠 디바이스의 개략적인 정면도를 도시하고;
도 1b는 도 1a에 표시된 자기 감쇠 디바이스의 A-A 평면에서의 단면도를 도시하고;
도 2는 본원에서 설명된 실시예들에 따른 자기 감쇠 디바이스의 개략적인 측면도를 도시하고;
도 3은 본원에서 설명된 추가의 실시예들에 따른 자기 감쇠 디바이스의 개략적인 정면도를 도시하고;
도 4a는 본원에서 설명된 실시예들에 따른 캐리어의 개략적인 정면도를 도시하고;
도 4b는 본원에서 설명된 실시예들에 따른 캐리어의 개략적인 단면도를 도시하고;
도 4c는 본원에서 추가로 설명된 실시예들에 따른 캐리어의 개략적인 정면도를 도시하고;
도 5a 및 도 5b는 본원에서 설명된 실시예들에 따른 이송 시스템의 개략도들을 도시하고; 그리고
도 6은 본원에서 설명된 실시예들에 따른, 캐리어를 비접촉식으로 이송하는 방법을 예시하기 위한 흐름도를 도시한다.
[0014] 이제 본 개시내용의 다양한 실시예들이 상세하게 참조될 것이며, 다양한 실시예들의 하나 이상의 예들이 도면들에서 예시된다. 도면들의 다음의 설명 내에서, 동일한 참조 번호들은 동일한 컴포넌트들을 지칭한다. 개별적인 실시예들에 대한 차이들만이 설명된다. 각각의 예는 본 개시내용의 설명으로 제공되며, 본 개시내용의 제한으로서 의도되지 않는다. 또한, 일 실시예의 부분으로서 예시 또는 설명되는 특징들은 더 추가적인 실시예를 생성하기 위해 다른 실시예들과 함께 또는 다른 실시예들에 대해 사용될 수 있다. 설명은 그러한 수정들 및 변형들을 포함하도록 의도된다.
[0015] 도 1a를 예시적으로 참조하면, 본 개시내용에 따라 캐리어의 진동들을 감쇠시키기 위한 자기 감쇠 디바이스(100)가 설명된다. 다음의 설명에서 언급되는 배향들, 상대적 포지션들 및 방향들(감쇠 방향, 이송 방향 및 수직 방향)의 더 양호한 이해를 위해, 감쇠 방향(101), 이송 방향(102) 및 수직 방향(103)을 표시하는 좌표계가 도면들에서 도시된다.
[0016] 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 자기 감쇠 디바이스(100)는 적어도 하나의 전도성 플레이트 엘리먼트(111)를 포함하는 제1 어셈블리(110)를 포함한다. 예컨대, 제1 어셈블리(110)는 자기 감쇠 디바이스(100)를 캐리어에 고정시키기 위한 고정 어셈블리를 포함할 수 있다. 특히, 고정 어셈블리는 캐리어에 장착되도록 구성된 장착 엘리먼트(112)를 포함할 수 있다. 예컨대, 장착 엘리먼트(112)는, 고정 엘리먼트들, 이를테면, 볼트들 또는 스크루들을 수용하기 위한 홀들(113)을 포함할 수 있다.
[0017] 특히, 적어도 하나의 전도성 플레이트 엘리먼트는 전기 전도성 재료로 제조된다는 것이 이해되어야 한다. 추가적으로, 자기 감쇠 디바이스(100)는, 적어도 하나의 슬롯(123)을 갖는 자석 어셈블리(120)를 포함한다. 적어도 하나의 슬롯(123)은 감쇠 방향(101)으로 연장된다. 특히, 자기 감쇠 디바이스(100)는 적어도 하나의 슬롯을 가로질러 자기장을 제공하도록 구성되는데, 즉, 자기장은, 도 1b를 참조하여 예시적으로 설명되는 바와 같이, 감쇠 방향에 대한 교차 방향으로 제공된다.
[0018] 특히, 전형적으로, 감쇠 방향은, 자기 감쇠 디바이스(100)에 의해 감쇠될, 캐리어의 진동 방향에 대응한다. 도 1a에 예시적으로 도시된 바와 같이, 제1 어셈블리(110)의 적어도 하나의 전도성 플레이트 엘리먼트(111)는 자석 어셈블리(120)의 적어도 하나의 슬롯(123) 내로 연장된다. 특히, 자석 어셈블리(120)는 U-형상을 가질 수 있다. 따라서, 적어도 하나의 슬롯(123) 내로 연장되는 적어도 하나의 전도성 플레이트 엘리먼트(111)가 자기 어셈블리(120)에 대해 이동할 때, 적어도 하나의 전도성 플레이트 엘리먼트(111)에서 와전류가 유도된다는 것이 이해되어야 한다. 적어도 하나의 전도성 플레이트 엘리먼트에서 유도된 와전류는 반대되는 자기장을 생성하여 이동의 감쇠를 유발한다. 또한, 자기 감쇠 디바이스(100)는 자기 어셈블리(120)에 연결된 질량 엘리먼트(130)를 포함한다. 추가적으로, 자기 감쇠 디바이스(100)는 스프링 디바이스(140)를 포함한다. 도 1a에 예시적으로 도시된 바와 같이, 스프링 디바이스(140)는 질량 엘리먼트(130)를 제1 어셈블리(110)와 연결시킨다. 따라서, 본원에서 설명된 바와 같은 자기 감쇠 디바이스는 스프링-질량-감쇠 시스템(spring-mass-damper system)을 제공하며, 스프링 디바이스(140)는 스프링을 나타내고, 질량 엘리먼트(130)는 질량을 나타내고, 그리고 자석 어셈블리(120)의 적어도 하나의 슬롯(123) 내로 연장되는 적어도 하나의 전도성 플레이트 엘리먼트(111)는 스프링-질량-감쇠 시스템의 감쇠기(damper)를 나타낸다는 것이 이해되어야 한다.
[0019] 따라서, 종래 기술과 비교하여, 자기 감쇠 디바이스의 실시예들은, 진공 환경들에서 사용되는 캐리어들, 예컨대 기판 캐리어들 또는 마스크 캐리어들의 진동들을 감쇠시키기에 특히 매우 적합하다. 특히, 본원에서 설명된 바와 같은 자기 감쇠 디바이스가 와전류 손실들의 물리적 원리에 기반하여 감쇠를 제공하도록 구성되기 때문에, 종래의 감쇠 디바이스들에서 발생하는 입자 생성이 제거될 수 있도록 비접촉식 및 비마찰식(frictionless) 감쇠 디바이스가 제공된다. 또한, 본원에서 설명된 바와 같은 자기 감쇠 디바이스는, 캐리어 진동들의 에너지가 수동적으로, 즉, 추가 전력 공급부를 제공하지 않고도 소산될 수 있다는 장점을 갖는다. 따라서, 종래 기술과 비교하여, 본 개시내용의 자기 감쇠 디바이스는 진공 환경들에서 사용되기에 특히 매우 적합한데, 왜냐하면 전기 또는 전자 디바이스들을 위한 대기 박스(atmospheric box)가 필요하지 않기 때문이다. 또한, 와전류 손실들의 물리적 원리에 기반하여 감쇠를 제공하기 위해 자성 재료들이 사용된다는 사실로 인해, 본원에서 설명된 바와 같은 자기 감쇠 디바이스의 실시예들은, 감쇠 특성들이, 최대 220℃의 온도까지 본질적으로 안정적으로 유지된다는 장점을 갖는다. 이와 관련하여, 다른 감쇠 재료들의 감쇠 특성들은 온도 변화에 따라 크게 변화한다는 것이 주목되어야 한다. 더욱이, 본 개시내용의 자기 감쇠 디바이스가, 저주파수들, 예컨대 f < 10 Hz의 주파수들(f)을 감쇠시키기에 특히 매우 적합하다는 것이 주목되어야 한다.
[0020] 본 개시내용의 다양한 추가의 실시예들이 더 상세하게 설명되기 전에, 본원에서 사용되는 일부 용어들에 대한 일부 양상들이 설명된다.
[0021] 본 개시내용에서, "자기 감쇠 디바이스"는, 자기장에서 이동하는 전도체에 의해 야기되는 와전류 손실들의 물리적 원리에 기반하여 진동들 또는 발진 이동들을 감쇠시키도록 구성된 디바이스로 이해될 수 있다. 특히, 자기 감쇠는, 자기장(즉, 자석)이 전기 전도체를 통해 또는 지나서 약간의 거리를 이동할 때(또는 그 반대의 경우도 가능함) 발생하는 감쇠의 일 형태라는 것이 이해되어야 한다. 더 구체적으로, 자기장이 전도체를 통해 이동할 때(또는 그 반대의 경우도 가능함), 이동은 전도체에 와전류를 유도한다. 전도체에서의 와전류의 전자들의 흐름은 반대 자기장을 생성하며, 이는 이동의 감쇠를 유발한다.
[0022] 본 개시내용에서, 자기 감쇠 디바이스를 캐리어에 고정하기 위한 "고정 어셈블리"는, 본원에서 설명된 바와 같이 캐리어에 고정되도록 구성된 기계적 어셈블리로 이해될 수 있다. 특히, 고정 어셈블리는 전형적으로, 예컨대 볼트들, 스크루들 또는 다른 고정 엘리먼트들에 의해 캐리어에 장착되도록 구성된 장착 엘리먼트를 포함한다. 전형적으로, 고정 어셈블리는 본원에서 설명된 바와 같이 캐리어에 대한 고정 어셈블리의 견고한 고정을 제공하도록 구성된다. 예컨대, 고정 어셈블리는 도 1a에 예시적으로 도시된 바와 같이 제1 어셈블리(110) 상에 제공될 수 있다. 따라서, 적어도 하나의 전도성 플레이트 엘리먼트(111)를 포함하는 제1 어셈블리는 캐리어에 견고하게 고정될 수 있는 한편, 자기 어셈블리(120) 및 질량 엘리먼트(130)는 제1 어셈블리에 대해 이동가능하다. 대안적으로, 명시적으로 도시되지 않았지만, 고정 어셈블리는 질량 엘리먼트(130) 상에 제공될 수 있다. 따라서, 대안적으로, 질량 엘리먼트(130)는 캐리어에 견고하게 고정될 수 있는 한편, 적어도 하나의 전도성 플레이트 엘리먼트(111)를 포함하는 제1 어셈블리는 질량 엘리먼트(130)에 대해 이동 가능하다.
[0023] 본 개시내용에서, "전도성 플레이트 엘리먼트"는 전기 전도성 재료로 제조되는 평평한 플레이트형 엘리먼트로 이해될 수 있다.
[0024] 본 개시내용에서, "자석 어셈블리"는 자기장을 제공하도록 구성된 어셈블리로 이해될 수 있다. 특히, 자석 어셈블리는 전형적으로, 자기장이 제공되는 적어도 하나의 슬롯을 포함한다. 도 1a에 예시적으로 도시된 바와 같이, 적어도 하나의 슬롯은, 자석 어셈블리의 측면 엘리먼트들에 의해 측방향으로 제한된다. 도 1a의 실시예는 제1 측면 엘리먼트(121) 및 제2 측면 엘리먼트(122)를 도시하며, 제1 측면 엘리먼트(121)와 제2 측면 엘리먼트(122) 사이에 자석 어셈블리(120)의 적어도 하나의 슬롯(123)이 제공된다. "적어도 하나의 슬롯"이라는 용어는 하나 이상의 슬롯들을 지칭하는 것으로 이해되어야 한다. 따라서, 다시 말해서, 자석 어셈블리는 전형적으로 하나 이상의 슬롯들을 포함한다. 또한, 각각의 슬롯은 측면 엘리먼트들에 의해 측방향으로 제한된다는 것이 이해되어야 한다. 전형적으로, 측면 엘리먼트들은, 도 1b를 참조하여 더 상세하게 예시적으로 설명된 바와 같이, 하나 이상의 슬롯들에 자기장을 제공하기 위한 하나 이상의 자석들 또는 자기 엘리먼트들을 포함한다. 특히, 도 1b에서 화살표들로 예시적으로 표시된 바와 같이, 전형적으로 자석 어셈블리는 감쇠 방향으로 변화하는 자기장을 제공하도록 구성된다. 더 구체적으로, 도 1b를 참조하여 예시적으로 설명된 바와 같이, 자석 어셈블리는, 감쇠 방향에 대한 교차 방향으로 반대 자기장 방향(opposite field direction)들을 갖는 교번 자기장들이 감쇠 방향을 따라 제공되도록 구성될 수 있다.
[0025] 본 개시내용에서, "질량 엘리먼트"는, 스프링-질량-감쇠기 시스템으로서 구성되는, 본원에서 설명된 바와 같은 자기 감쇠 디바이스를 위한 틸거-질량(tilger-mass)을 제공하도록 구성된 엘리먼트로 이해될 수 있다. 따라서, 본원에서 설명된 바와 같은 "질량 엘리먼트"는 스프링-질량-감쇠기 시스템에서 질량을 제공하도록 구성된 엘리먼트로 이해될 수 있다. 예컨대, 질량 엘리먼트는, 0.5 kg ≤ mt ≤ 5.0 kg의 틸거 질량(mt)을 갖는 실질적 중실형 엘리먼트(substantially solid element), 예컨대 중실형 블록일 수 있다.
[0026] 본 개시내용에서, "스프링 디바이스"는 하나 이상의 탄성 엘리먼트들을 갖는 디바이스로 이해될 수 있다. 예컨대, 도 1a를 참조하여 예시적으로 설명된 바와 같이, 스프링 디바이스는 하나 이상의 리프 스프링(leaf spring)들을 포함할 수 있다. 리프 스프링은 또한, 판 스프링(flat spring)으로 지칭될 수 있다. 전형적으로, 스프링 디바이스, 특히 하나 이상의 리프 스프링들은 스프링 강으로 제조된다.
[0027] 도 1a를 예시적으로 참조하면, 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따라, 제1 어셈블리(110)의 적어도 하나의 전도성 플레이트 엘리먼트(111)는 자석 어셈블리(120)의 적어도 하나의 슬롯(123) 내에 비접촉식으로 배열된다는 것이 이해되어야 한다. 따라서, 자석 어셈블리에 대한 적어도 하나의 전도성 플레이트 엘리먼트(111)의 비접촉식 상대적 이동이 제공될 수 있다. 특히, 제1 어셈블리(110)의 적어도 하나의 전도성 플레이트 엘리먼트(111)는, 감쇠 방향(101)으로 비접촉식 상대적 이동을 가능하게 하도록, 자석 어셈블리(120)의 적어도 하나의 슬롯(123) 내에 비접촉식으로 배열된다. 전형적으로, 감쇠 방향(101)은 적어도 하나의 슬롯 내부에 제공된 자기장의 자기장 라인들의 메인 방향에 실질적으로 수직이다.
[0028] 본 개시내용에서 "실질적으로 수직하는" 방향 또는 배향은, 정확한 직각(perpendicularity)으로부터 DV ≤ ±20°, 구체적으로는 DV ≤ ±10°, 더 구체적으로는 DV ≤ ±5°의 편차 각도(DV)를 갖는 방향 또는 배향으로 이해될 수 있다.
[0029] 도 1a에 예시적으로 도시된 바와 같이, 전형적으로 적어도 하나의 전도성 플레이트 엘리먼트(111)는 적어도 하나의 슬롯(123) 외부의 고정 단부 및 적어도 하나의 슬롯 내부의 자유 단부를 갖는다. 적어도 하나의 전도성 플레이트 엘리먼트(111)는 제1 어셈블리(110)에 연결된 별도의 엘리먼트일 수 있다. 대안적으로, 적어도 하나의 전도성 플레이트 엘리먼트(111)는 제1 어셈블리(110)의 일체형 부분일 수 있다. 유사하게, 장착 엘리먼트(112)는 제1 어셈블리(110)에 연결된 별도의 엘리먼트일 수 있거나 또는 제1 어셈블리(110)의 일체형 부분일 수 있다.
[0030] 예컨대, 장착 엘리먼트(112)는 감쇠 방향(101)에 실질적으로 수직하는 메인 연장부를 갖는 세장형 엘리먼트(elongated element), 예컨대 장착 바(mounting bar)일 수 있다. 특히, 장착 엘리먼트(112)의 메인 연장부는, 자기 감쇠 디바이스가 장착될 수 있는 캐리어의 이송 방향(102)에 있을 수 있다.
[0031] 도 1a를 예시적으로 참조하고, 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 적어도 하나의 슬롯(123)이 자석 어셈블리(120)의 제1 측면 엘리먼트(121)와 제2 측면 엘리먼트(122) 사이에 제공된다. 특히, 제1 측면 엘리먼트(121)는 제2 측면 엘리먼트(122)에 실질적으로 평행할 수 있다. 본 개시내용에서, "실질적으로 평행한" 방향 또는 배향은, 정확한 평행(parallelism)으로부터 DV ≤ ±15°, 구체적으로는 DV ≤ ±10°, 더 구체적으로는 DV ≤ ±5°의 편차 각도(DV)를 갖는 방향 또는 배향으로 이해될 수 있다.
[0032] 도 1a 및 도 1b에 예시적으로 도시된 바와 같이, 전형적으로 제1 측면 엘리먼트(121)는 하나 이상의 제1 자기 엘리먼트들(124)을 포함한다. 특히, 하나 이상의 제1 자기 엘리먼트들(124)은 감쇠 방향(101)을 따라 일렬로 배열될 수 있다. 특히, 도 1b에 예시적으로 도시된 바와 같이, 하나 이상의 제1 자기 엘리먼트들(124)은 상이한 극성의 자기 엘리먼트들을 포함한다. 도 1b에서, N극(north pole) 자기 엘리먼트들은 해칭 패턴 엘리먼트들에 의해 개략적으로 표시된다. S극(south pole) 자기 엘리먼트들은 블랭크 엘리먼트들로서 개략적으로 표시된다. 도 1b에 예시적으로 도시된 바와 같이, 전형적으로 하나 이상의 제1 자기 엘리먼트들(124)은, 감쇠 방향(101)을 따라 일렬로 배열된 교번하는 극성, 예컨대 S-N-S-N-S의 자기 엘리먼트들을 포함한다.
[0033] 제2 측면 엘리먼트(122)는 전형적으로, 하나 이상의 제2 자기 엘리먼트들(125)을 포함한다. 하나 이상의 제2 자기 엘리먼트들(125)은 감쇠 방향(101)을 따라 일렬로 배열될 수 있다. 특히, 도 1b에 예시적으로 도시된 바와 같이, 하나 이상의 제2 자기 엘리먼트들(125)은 상이한 극성의 자기 엘리먼트들을 포함한다. 예컨대, 도 1b에 예시적으로 도시된 바와 같이, 전형적으로 하나 이상의 제2 자기 엘리먼트들(125)은 감쇠 방향(101)을 따라 일렬로 배열된 교번하는 극성, 예컨대 N-S-N-S-N의 자기 엘리먼트들을 포함한다.
[0034] 도 1b에 도시된 하나 이상의 제1 자기 엘리먼트들(124)과 하나 이상의 제2 자기 엘리먼트들(125) 사이의 화살표들은 자기장 라인들을 나타낸다. 따라서, 도 1b에서 화살표들로 예시적으로 표시된 바와 같이, 전형적으로 자석 어셈블리(120)는 감쇠 방향(101)으로 변화하는 자기장을 제공하도록 구성된다. 특히, 도 1b에 예시적으로 도시된 바와 같이, 자석 어셈블리(120)는, 감쇠 방향에 대한 교차 방향으로 반대 자기장 방향들을 갖는 교번 자기장들이 감쇠 방향을 따라 제공되도록 구성될 수 있다.
[0035] 도 1a를 예시적으로 참조하고, 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 스프링 디바이스(140)는, 질량 엘리먼트(130)에 연결된 제1 단부(141) 및 제1 어셈블리(110)에 연결된 제2 단부(142)를 갖는 적어도 하나의 리프 스프링을 포함한다. 도 1a의 예시적인 실시예에서, 2개의 리프 스프링들이 도시된다. 특히, 도 1a의 정면도 및 도 2의 측면도로부터 이해할 수 있는 바와 같이, 스프링 디바이스(140)는, 각각 질량 엘리먼트(130)에 연결된 제1 단부(141) 및 제1 어셈블리(110)에 연결된 제2 단부(142)를 갖는 복수의 리프 스프링들을 포함할 수 있다. 또한, 도 2에 예시적으로 도시된 바와 같이, 전형적으로, 스프링 디바이스(140), 특히 리프 스프링들과 자석 어셈블리(120) 사이에 갭(145)이 제공된다.
[0036] 또한, 도 1a의 정면도 및 도 2의 측면도로부터, 복수의 리프 스프링들 중 제1 그룹의 리프 스프링들이 자기 감쇠 디바이스의 제1 측면(1)에 제공될 수 있으며, 복수의 리프 스프링들 중 제2 그룹의 리프 스프링들이 자기 감쇠 디바이스의, 반대편 제2 측면(2)에 제공될 수 있다는 것이 이해되어야 한다.
[0037] 특히, 도 1 및 도 2로부터, 전형적으로 스프링 디바이스(140)는 감쇠 방향(101)으로 힘을 제공하도록 배열 및 구성된다는 것이 이해되어야 한다. 특히, 질량 엘리먼트(130)가 제1 어셈블리(110)에 대해 이동 방향, 특히 감쇠 방향(101)과 반대인 이동 방향으로 이동할 때, 스프링 디바이스(140)는 질량 엘리먼트(130)의 이동을 상쇄(counteracting)시키는 힘을 제공한다. 자기 감쇠 디바이스의 동작 동안, 즉, 자기 감쇠 디바이스의 비-평형 상태에서, 질량 엘리먼트(130)는 평형 포지션 주위에서 제1 어셈블리(110)에 대해 발진한다는 것이 이해되어야 한다. 자석 어셈블리(120)는 질량 엘리먼트(130)에 견고하게 연결된다. 따라서, 자기 감쇠 디바이스의 동작 동안, 자석 어셈블리(120)는 질량 엘리먼트(130)의 이동, 예컨대 발진들을 따르고, 그 결과 적어도 하나의 전도성 플레이트 엘리먼트(111)에 대한 자석 어셈블리(120)의 상대적인 이동들을 유발하고, 와전류 손실들로 인해 발진들의 자기 감쇠를 추가로 유발한다. 따라서, 자기 감쇠 디바이스의 전체 틸거-질량은, 질량 엘리먼트(130)에 의해 제공된 질량과 자석 어셈블리(120)에 의해 제공된 질량의 합으로 간주될 수 있다. 예컨대, 전체 틸거-질량(MT)은 2.5 kg ≤ MT ≤ 8 kg, 구체적으로는 3 kg ≤ MT ≤ 6 kg일 수 있다(예컨대, MT = 4 kg ± 0.5 kg).
[0038] 본원에서 설명된 바와 같은 자기 감쇠 디바이스의 거동은, 질량 엘리먼트(130)의 질량, 스프링 디바이스의 스프링 특성들(예컨대, 리프 스프링들의 두께 및 재료)을 선택함으로써 조정될 수 있다는 것이 이해되어야 한다. 또한, 자기 감쇠 디바이스의 거동은 또한, 자석 어셈블리(120)의 적어도 하나의 슬롯(123)에 제공되는 자기장 세기를 선택함으로써 조정될 수 있다. 더욱이, 종래의 감쇠 디바이스들과 대조적으로, 본원에서 설명된 바와 같은 자기 감쇠 디바이스에서는 유익하게, 스프링 특성들(예컨대, 리프 스프링들의 강성)의 조정은 (예컨대, 전도성 플레이트 엘리먼트에서 유도된 와전류들 및 자석 어셈블리에 의해 제공되는) 감쇠기의 감쇠 특성들에 영향을 미치지 않으면서 수행될 수 있다. 다시 말해서, 본 개시내용의 자기 감쇠 디바이스의 스프링 특성들은 자기 감쇠 디바이스의 감쇠 특성들과 독립적이다. 또한, 스프링 거동이 감쇠기의 감쇠 거동과 독립적이 않은 종래의 감쇠 디바이스들의 설계 개념들은 저주파수 범위(f ≤ 80 Hz, 구체적으로는 f ≤ 40 Hz, 더 구체적으로는 f ≤ 10 Hz)에서 감쇠를 조정하기 어려운데, 왜냐하면, 감쇠가 또한 강성과 동반되기 때문이라는 것이 주목되어야 한다. 따라서, 유리하게, 본원에서 설명된 바와 같은 자기 감쇠 디바이스의 전체 감쇠 거동은, 특히 저주파수 범위(f ≤ 80 Hz, 구체적으로는 f ≤ 40 Hz, 더 구체적으로는 f ≤ 10 Hz)에서, 예컨대 상이한 캐리어들에 대해 최적의 감쇠를 제공하기 위해 용이하게 맞춤화될(tailored) 수 있다.
[0039] 예컨대, 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 질량 엘리먼트(130)는 틸거-질량을 갖는 블록 엘리먼트일 수 있다. 특히, 틸거 질량(mt)은 0.5 kg ≤ mt ≤ 5.0 kg일 수 있다. 리프 스프링들의 두께(T)는 0.2 mm ≤ T ≤ 2.0 mm, 구체적으로는 0.5 mm ≤ T ≤ 1.5 mm일 수 있다.
[0040] 도 2를 예시적으로 참조하고, 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 자기 감쇠 디바이스는 감쇠 방향(101)으로 기계적 정지부(mechanical stop)를 제공하기 위한 적어도 하나의 정지 엘리먼트(150)를 포함한다. 특히, 도 2에 도시된 바와 같이, 적어도 하나의 정지 엘리먼트(150)는, 적어도 하나의 정지 엘리먼트(150)의 일 단부가 질량 엘리먼트(130)에 견고하게 연결되고 그리고 반대편의 다른 단부는 자유 단부인 플레이트 엘리먼트일 수 있다. 전형적으로, 적어도 하나의 정지 엘리먼트(150)는 자석 어셈블리(120)로부터, 2.0 mm ≤ D ≤ 10.0 mm, 구체적으로는 3.0 mm ≤ D ≤ 8.0 mm, 예컨대 D = 5.0 mm ± 1.0 mm인, 거리(D)에 제공된다.
[0041] 도 3을 예시적으로 참조하고, 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 적어도 하나의 전도성 플레이트 엘리먼트(111)는 복수의 평행하게 배열된 전도성 플레이트 엘리먼트들(111P)을 포함한다. 추가적으로, 적어도 하나의 슬롯(123)은 복수의 평행하게 배열된 슬롯들(123P)을 포함한다. 도 3을 예시적으로 참조하면, 복수의 평행하게 배열된 전도성 플레이트 엘리먼트들(111P)은 대응하는 복수의 평행하게 배열된 슬롯들 내로 연장된다는 것이 이해되어야 한다. 따라서, 복수의 평행하게 배열된 전도성 플레이트 엘리먼트들(111P)은 대응하는 복수의 평행하게 배열된 슬롯들 내로 연장되는 빗형 구조(comb-like structure)로 배열될 수 있다.
[0042] 도 1 및 도 2를 참조하여 설명된 바와 같은 특징들은, 필요한 변경을 가하여(mutatis mutandis), 도 3에 도시된 예시적인 실시예에 적용될 수 있다는 것이 이해되어야 한다.
[0043] 도 4a 내지 도 4c를 예시적으로 참조하면, 본 개시내용에 따른, 평면형 대상물을 운반하기 위한 캐리어(200)의 실시예들이 설명된다.
[0044] 본 개시내용에서, "평면형 대상물을 운반하기 위한 캐리어"는 평면형 대상물, 예컨대 기판 또는 마스크를 홀딩하도록 구성된 캐리어로 이해될 수 있다. 따라서, 평면형 대상물을 운반하기 위한 캐리어는 기판, 특히 대면적 기판을 운반하기 위한 기판 캐리어일 수 있다. 대안적으로, 평면형 대상물을 운반하기 위한 캐리어는 마스크, 예컨대 에지 배제 마스크 또는 섀도우 마스크를 운반하기 위한 마스크 캐리어일 수 있다. 전형적으로, 본원에서 설명된 바와 같은 캐리어의 실시예들은 진공 조건들을 위해 구성된다.
[0045] 본 개시내용에서, "기판"이라는 용어는 특히, 실질적인 비가요성 기판들, 예컨대 웨이퍼, 사파이어 등과 같은 투명 결정의 슬라이스들, 또는 유리 플레이트를 포괄할 수 있다. 그러나, 본 개시내용은 이들로 제한되지 않으며, "기판"이라는 용어는 또한, 웹 또는 포일과 같은 가요성 기판들을 포괄할 수 있다. "실질적인 비가요성"이라는 용어는 "가요성"과 구별하기 위한 것으로 이해된다. 구체적으로, 실질적인 비가요성 기판, 예컨대, 0.9 mm 이하, 이를테면, 0.5 mm 이하의 두께를 갖는 유리 플레이트는 어느 정도의 가요성을 가질 수 있는데, 여기서, 실질적인 비가요성 기판의 가요성은 가요성 기판들에 비해 작다.
[0046] 본원에서 설명된 실시예들에 따르면, 기판은 재료 증착에 적합한 임의의 재료로 제조될 수 있다. 예컨대, 기판은, 증착 프로세스에 의해 코팅될 수 있는 유리(예컨대, 소다-석회 유리(soda-lime glass), 보로실리케이트 유리 등), 금속, 폴리머, 세라믹, 화합물 재료들, 탄소 섬유 재료들 또는 임의의 다른 재료 또는 재료들의 조합으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 재료로 제조될 수 있다.
[0047] 본 개시내용에서, "대면적 기판"이라는 용어는 0.5 ㎡ 이상의, 구체적으로는 1 ㎡ 이상의 면적을 갖는 메인 표면을 갖는 기판을 지칭한다. 일부 실시예들에서, 대면적 기판은, 약 0.67 ㎡의 기판(0.73 m × 0.92 m)에 대응하는 GEN 4.5, 약 1.4 ㎡의 기판(1.1 m × 1.3 m)에 대응하는 GEN 5, 약 4.29 ㎡의 기판(1.95 m × 2.2 m)에 대응하는 GEN 7.5, 약 5.7 ㎡의 기판(2.2 m × 2.5 m)에 대응하는 GEN 8.5, 또는 심지어 약 8.7 ㎡의 기판(2.85 m × 3.05 m)에 대응하는 GEN 10일 수 있다. 훨씬 더 큰 세대(generation)들, 이를테면, GEN 11 및 GEN 12 및 대응하는 기판 면적들이 유사하게 구현될 수 있다. GEN 세대들의 절반 사이즈들이 또한, OLED 디스플레이 제조에 제공될 수 있다. 또한, 기판 두께는 0.1 내지 1.8 mm, 구체적으로는 약 0.9 mm 이하, 이를테면, 0.7 mm 또는 0.5 mm일 수 있다.
[0048] 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 캐리어(200)는 평면형 대상물을 운반하기 위한 메인 바디(210)를 포함한다. 본 개시내용에서, "평면형 대상물을 운반하기 메인 바디"는 본원에서 설명된 바와 같은 평면형 대상물, 예컨대 기판 또는 마스크를 홀딩하도록 구성된 프레임 또는 플레이트를 포함하는 캐리어 바디로 이해될 수 있다.
[0049] 또한, 도 1a에 예시적으로 도시된 바와 같이, 캐리어는 메인 바디(210)에 부착된 자기 감쇠 디바이스(100)를 포함한다. 자기 감쇠 디바이스(100)는 평면형 대상물에 수직하는 교차 방향으로 캐리어 진동들을 감쇠시키도록 구성된다. 특히, 자기 감쇠 디바이스(100)는 이송 방향(102)에 대한 교차 방향으로 캐리어 진동들을 감쇠시키도록 구성 및 배열된다. 캐리어 진동들은 구체적으로, 특히 캐리어의 이동이 멈출 때, 캐리어 이송 속도들의 변화들로 인해 발생할 수 있다.
[0050] 특히, 도 4a 및 도 4b에 예시적으로 도시된 바와 같은 캐리어(200)의 자기 감쇠 디바이스는 본원에서 설명된 임의의 실시예들에 따른 자기 감쇠 디바이스(100)일 수 있다.
[0051] 더 구체적으로, 도 4a 및 도 4b에 예시적으로 도시된 바와 같이, 캐리어는 자기 감쇠 디바이스(100)를 수용하도록 구성된 수용부(215)를 포함할 수 있다. 따라서, 자기 감쇠 디바이스(100)는, 캐리어(200)의 메인 바디에 제공된 수용부(215) 내에 배열될 수 있다. 예컨대, 비-제한적인 예에 따르면, 자기 감쇠 디바이스(100)를 갖는 수용부(215)는, 도 4a 및 도 4b에 예시적으로 도시된 바와 같이, 캐리어(200)의 하부 부분에 제공될 수 있다. 대안적으로, 자기 감쇠 디바이스를 갖는 수용부는, 예컨대 도 4c에 예시적으로 도시된 바와 같이, 캐리어의 상부 부분에 제공될 수 있다.
[0052] 도 4b에 예시적으로 도시된 바와 같이, 전형적으로, 자기 감쇠 디바이스(100)는 수용부(215)의 상부 내측 표면(216)에 고정된다. 특히, 자기 감쇠 디바이스(100)는 본원에서 설명된 바와 같은 고정 어셈블리에 의해 수용부(215)의 상부 내측 표면에 견고하게 고정된다.
[0053] 도 4a 및 도 4b에 예시적으로 도시된 바와 같이, 캐리어(200)는, 최상부 바로서 개략적으로 예시된 제1 안내 디바이스(211) 및 최하부 바로서 개략적으로 예시된 제2 안내 디바이스(212)를 더 포함할 수 있다. 본 개시내용에서, "안내 디바이스"는, 프로세싱 장치, 예컨대 인라인 프로세싱 장치의 이송 경로를 따라, 본원에서 설명된 바와 같이 캐리어를 안내하도록 구성된 디바이스로 이해될 수 있다. 이송 경로는 선형 이송 경로일 수 있으며, 그 선형 이송 경로를 따라 하나 이상의 증착 소스들이 배열될 수 있다. 예컨대, 제1 안내 디바이스(211) 및/또는 제2 안내 디바이스(212)는, 도 5a를 참조하여 예시적으로 설명된 바와 같이, 캐리어를 이송하기 위한 이송 시스템과 비접촉식으로 상호작용하기 위한 자기 안내 디바이스(magnetic guiding device)들일 수 있다.
[0054] 도 4c를 예시적으로 참조하고, 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 캐리어(200)에는 복수의 자기 감쇠 디바이스들이 제공될 수 있다. 예시적인 비-제한적 예로서, 4개의 자기 감쇠 디바이스들을 갖는 캐리어가 도 4c에 도시된다. 예컨대, 캐리어(200)는, 캐리어의 상부 부분에, 예컨대 제1 안내 디바이스(211)에 근접하게 2개 이상의 자기 감쇠 디바이스들(예컨대, 제1 자기 감쇠 디바이스(100A) 및 제2 자기 감쇠 디바이스(100B))을 포함할 수 있다. 추가적으로 또는 대안적으로, 캐리어(200)는, 캐리어의 하부 부분에, 예컨대 제2 안내 디바이스(212)에 근접하게 2개 이상의 자기 감쇠 디바이스들(예컨대, 제3 자기 감쇠 디바이스(100C) 및 제4 자기 감쇠 디바이스(100D))을 포함할 수 있다. 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 2개 이상의 자기 감쇠 디바이스들은, 2개 이상의 자기 감쇠 디바이스들 중 나머지 다른 자기 감쇠 디바이스들과는 (예컨대, 감쇠 주파수, 틸거 질량, 또는 스프링 특성들과 관련하여) 상이한 구성을 갖는 하나 이상의 자기 감쇠 디바이스들을 포함할 수 있다. 따라서, 상이한 주파수들을 감쇠시키도록 유익하게 구성된 캐리어가 제공될 수 있다. 일 예에 따르면, 제1 자기 감쇠 디바이스(100A)는, 제2 자기 감쇠 디바이스(100B)와는 상이한 주파수를 감쇠시키도록 구성될 수 있다. 추가적으로 또는 대안적으로, 제3 자기 감쇠 디바이스(100C)는 제4 자기 감쇠 디바이스(100D)와는 상이한 주파수를 감쇠시키도록 구성될 수 있다. 다른 예에 따르면, 2개 이상의 자기 감쇠 디바이스들(즉, 제1 자기 감쇠 디바이스(100A) 및/또는 제2 자기 감쇠 디바이스(100B) 및/또는 제3 자기 감쇠 디바이스(100C) 및/또는 제4 자기 감쇠 디바이스(100D)) 각각은 상이한 주파수들을 감쇠시키도록 구성될 수 있다.
[0055] 따라서, 도 4c에 예시적으로 도시된 바와 같이, 캐리어(200)는, 제1 고정 어셈블리(110A)에 의해, 예컨대 캐리어(200)의 좌측 상부 코너에 제공된 제1 수용부(215A)의 상부 내측 표면에 견고하게 고정된 제1 자기 감쇠 디바이스(100A)를 포함할 수 있다. 추가적으로 또는 대안적으로, 캐리어(200)는, 제2 고정 어셈블리(110B)에 의해, 예컨대 캐리어(200)의 우측 상부 코너에 제공된 제2 수용부(215B)의 상부 내측 표면에 견고하게 고정된 제2 자기 감쇠 디바이스(100B)를 포함할 수 있다. 추가적으로 또는 대안적으로, 캐리어(200)는, 제3 고정 어셈블리(110C)에 의해, 예컨대 캐리어(200)의 우측 하부 코너에 제공된 제3 수용부(215C)의 상부 내측 표면에 견고하게 고정된 제3 자기 감쇠 디바이스(100C)를 포함할 수 있다. 추가적으로 또는 대안적으로, 캐리어(200)는, 제4 고정 어셈블리(110D)에 의해, 예컨대 캐리어(200)의 좌측 하부 코너에 제공된 제4 수용부(215D)의 상부 내측 표면에 견고하게 고정된 제4 자기 감쇠 디바이스(100D)를 포함할 수 있다.
[0056] 도 5a 및 도 5b를 예시적으로 참조하면, 본 개시내용에 따라 캐리어(200)를 이송 방향(102)으로 이송하기 위한 이송 시스템(300)의 실시예들이 설명된다. 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 이송 시스템(300)은 본원에서 설명된 임의의 실시예들에 따른 캐리어(200)를 포함한다. 추가적으로, 이송 시스템(300)은 적어도 하나의 자기 베어링(310)을 포함하며, 그 적어도 하나의 자기 베어링(310)은 베어링에 캐리어를 홀딩하기 위한 것이다.
[0057] 전형적으로, 홀딩 방향은 수직 방향(103)에 대응한다. 특히, 적어도 하나의 자기 베어링은, 베어링에 캐리어를 비접촉식으로 홀딩하기 위해 중력과 반대되는 홀딩 방향으로 캐리어 상에 자기력을 가하도록 구성될 수 있다. 추가적으로 또는 대안적으로, 적어도 하나의 자기 베어링은, 예컨대 중력에 대해 실질적 교차 방향으로 측방향 안내(lateral side guiding)를 제공하도록 구성될 수 있다.
[0058] 또한, 이송 시스템(300)은, 이송 방향(102)으로 캐리어를 이동시키기 위한 구동 유닛(320)을 포함한다. 본 개시내용에서, "이송 방향"이라는 용어는 캐리어가 이송 경로를 따라 이송되는 방향으로 이해될 수 있다. 전형적으로, 이송 방향은 본질적 수평 방향일 수 있다.
[0059] 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 이송 시스템은 자기 부상 시스템일 수 있다. 본 개시내용에서 "자기 부상 시스템"은, 자기력을 사용함으로써 비접촉 방식으로 대상물, 예컨대 캐리어를 홀딩하도록 구성된 시스템으로 이해될 수 있다. 본 개시내용에서, "부상하는" 또는 "부상"이라는 용어는 대상물의 상태, 예컨대, 기판 또는 마스크를 운반하는 캐리어의 상태를 지칭하며, 여기서, 대상물은 기계적 접촉 또는 지지 없이 부유한다. 또한, 대상물을 이동시키거나 이송하는 것은, 구동력을 제공하는 것, 예컨대 부상력과는 상이한 방향의 힘을 제공하는 것을 의미하며, 여기서 대상물은 하나의 포지션으로부터 다른 상이한 포지션으로, 예컨대 이송 방향을 따라 상이한 포지션으로 이동된다. 예컨대, 기판 또는 마스크를 운반하는 캐리어는 부상될 수 있는데, 즉, 중력을 상쇄(counteract)시키는 힘에 의해 부상될 수 있고, 부상된 채로 중력에 평행한 방향과는 상이한 방향으로 이동될 수 있다.
[0060] 본 개시내용에서, "비접촉식"이라는 용어는, 중량, 예컨대 캐리어의 중량, 특히 기판 또는 마스크를 운반하는 캐리어의 중량이 기계적인 접촉 또는 기계적인 힘들에 의해 홀딩되는 것이 아니라 자기력에 의해 홀딩된다는 의미로 이해될 수 있다. 다시 말해서, 본원의 설명 전반에 걸쳐 사용된 바와 같은 "비접촉식"이라는 용어는, 캐리어가 기계적인 힘들, 즉, 접촉력들 대신 자기력들을 사용하여 부상 또는 부유 상태로 홀딩된다는 점에서 이해될 수 있다.
[0061] 본 개시내용에서, "자기 베어링"은 대상물, 예컨대 본원에서 설명된 바와 같은 캐리어를 비접촉 방식으로, 즉, 물리적 접촉 없이 홀딩하거나 지지하도록 구성된 베어링으로 이해될 수 있다. 따라서, 본원에서 설명된 바와 같은 적어도 하나의 자기 베어링(310)은, 도 5a에 예시적으로 도시된 바와 같이 캐리어가 자기 베어링으로부터 미리 결정된 거리에 비접촉식으로 홀딩되도록, 특히 본질적 수직 방향(103)으로 캐리어(200)에 작용하는 자기력을 생성하도록 구성될 수 있다.
[0062] 본원에서 설명된 일부 실시예들은 "수직 방향"의 개념을 수반한다. 수직 방향은 중력이 연장되는 방향과 실질적으로 평행한 방향인 것으로 고려된다. 수직 방향은 정확한 수직으로부터(정확한 수직은 중력에 의해 정의됨) 예컨대 최대 15도의 각도만큼 벗어날 수 있다.
[0063] 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 적어도 하나의 자기 베어링(310)은 캐리어를 비접촉식으로 홀딩하기 위한 하나 이상의 제1 액추에이터들을 포함한다.
[0064] 본 개시내용에서, 적어도 하나의 자기 베어링의 "제1 액추에이터"는 자기 베어링들의 능동적이고 제어가능한 엘리먼트로 이해될 수 있다. 특히, 하나 이상의 제1 액추에이터들은 제어가능한 자석, 이를테면, 전자석을 포함할 수 있다. 하나 이상의 제1 액추에이터들의 자기장은 자기 베어링과 캐리어 사이의 거리를 유지 및/또는 조정하기 위해 능동적으로 제어가능할 수 있다. 다시 말해서, 적어도 하나의 자기 베어링의 "제1 액추에이터"는, 캐리어에 작용하는 자기 부상력을 제공하기 위한 제어가능하고 조정가능한 자기장을 갖는 엘리먼트로 이해될 수 있다.
[0065] 따라서, 적어도 하나의 자기 베어링(310)의 하나 이상의 제1 액추에이터들은 캐리어를 비접촉식으로 홀딩하도록 구성된다. 도 5a에 예시적으로 도시된 바와 같이, 캐리어의 제1 안내 디바이스(211)는 하나 이상의 제1 자기 대응부들(241)을 포함할 수 있다. 하나 이상의 제1 자기 대응부들(241)은 적어도 하나의 자기 베어링(310)의 하나 이상의 제1 액추에이터들과 자기적으로 상호작용할 수 있다. 특히, 하나 이상의 제1 자기 대응부들(241)은 수동 자기 엘리먼트들일 수 있다. 예컨대, 하나 이상의 제1 자기 대응부들은, 자성 재료, 이를테면, 강자성 재료로 제조될 수 있거나, 영구 자석으로 제조될 수 있거나, 또는 영구 자기 특성들을 가질 수 있다.
[0066] 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 구동 유닛(320)은 이송 방향(102)으로 캐리어(200)를 비접촉식으로 이동시키도록 구성된 하나 이상의 제2 액추에이터들을 포함한다.
[0067] 본 개시내용에서, "구동 유닛"은 이송 방향으로 비접촉 방식으로 본원에서 설명된 바와 같은 대상물, 예컨대 캐리어를 이동시키도록 구성된 유닛으로 이해될 수 있다. 특히, 본원에서 설명된 바와 같은 구동 유닛은 이송 방향으로 캐리어에 작용하는 자기력을 생성하도록 구성될 수 있다. 따라서, 구동 유닛은 선형 모터일 수 있다. 예컨대, 선형 모터는 철심(iron-core) 선형 모터일 수 있다. 대안적으로, 선형 모터는 무철심(ironless) 선형 모터일 수 있다. 무철심 선형 모터는, 캐리어의 수동 자기 엘리먼트들과 선형 모터의 철심의 가능한 상호작용으로 인한 수직력들에 의해 야기되는 캐리어 상의 비틀림 모멘트를 방지하는 데 유익할 수 있다. 구동 유닛(320)의 하나 이상의 제2 액추에이터들은 하나 이상의 제어가능한 자석들, 예컨대 전자석들일 수 있다. 따라서, 하나 이상의 제2 액추에이터들은 이송 방향으로 캐리어에 이동력을 가하도록 능동적으로 제어가능할 수 있다.
[0068] 도 5a에 예시적으로 도시된 바와 같이, 캐리어의 제1 안내 디바이스(211)는 하나 이상의 제2 자기 대응부들(242)을 포함할 수 있다. 하나 이상의 제2 자기 대응부들(242)은 구동 유닛(320)의 하나 이상의 제2 액추에이터들과 자기적으로 상호작용할 수 있다. 특히, 하나 이상의 제2 자기 대응부들(242)은 수동 자기 엘리먼트들일 수 있다. 예컨대, 하나 이상의 제2 자기 대응부들(242)은, 자성 재료, 이를테면, 강자성 재료로 제조될 수 있거나, 영구 자석으로 제조될 수 있거나, 또는 영구 자기 특성들을 가질 수 있다.
[0069] 또한, 도 5a에 예시적으로 도시된 바와 같이, 이송 시스템(300)은, 예컨대 캐리어의 제2 안내 디바이스(212)와의 자기 상호작용을 통해 캐리어를 비접촉식으로 안내하도록 배열 및 구성된 비접촉식 안내 어레인지먼트(330)를 포함할 수 있다. 예컨대, 비접촉식 안내 어레인지먼트(330)는 하나 이상의 수동 자기 베어링들을 포함할 수 있다. 따라서, 비접촉식 안내 어레인지먼트(330) 및 제2 안내 디바이스(212)는, 특히, 측방향 안내를 제공하도록, 예컨대 도 5a에서 이송 방향(102)의 교차 방향, 즉, 감쇠 방향(101)으로 안내를 제공하도록 배열 및 구성된 수동 자기 엘리먼트들을 포함할 수 있다.
[0070] "수동 자기 베어링"은, 능동적으로 제어 또는 조정되지 않는, 적어도 장치의 동작 동안 능동적으로 제어 또는 조정되지 않는 수동 자기 엘리먼트들을 갖는 베어링으로 이해될 수 있다. 특히, 수동 자기 베어링은, 자기장, 예컨대 정적 자기장을 생성하도록 구성될 수 있다. 다시 말해서, 수동 자기 베어링은, 조정가능한 자기장을 생성하도록 구성되지 않을 수 있다. 예컨대, 하나 이상의 수동 자기 베어링들의 자기 엘리먼트들은, 자성 재료, 이를테면, 강자성 재료로 제조될 수 있거나, 영구 자석으로 제조될 수 있거나, 또는 영구 자기 특성들을 가질 수 있다. 따라서, 본원에서 사용되는 바와 같은 "수동 자기 엘리먼트" 또는 "수동 자석"은, 예컨대 피드백 제어를 통해 능동적으로 제어되지 않는 자석으로 이해될 수 있다. 예컨대, 수동 자석의 자기장 세기와 같은 어떤 출력 파라미터도, 거리와 같은 입력 파라미터에 따라 제어되지 않는다. "수동 자기 엘리먼트" 또는 "수동 자석"은 오히려, 임의의 피드백 제어 없이 캐리어의 측면 안정화를 제공할 수 있다. 예컨대, 본원에서 설명된 바와 같은 "수동 자기 엘리먼트" 또는 "수동 자석"은 하나 이상의 영구 자석들을 포함할 수 있다. 대안적으로 또는 추가적으로, "수동 자기 엘리먼트" 또는 "수동 자석"은, 능동적으로 제어되지 않을 수 있는 하나 이상의 전자석들을 포함할 수 있다.
[0071] 도 5b를 예시적으로 참조하고, 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 적어도 하나의 자기 베어링(310)은 측방향 안내(즉, 이송 방향(102)에 대한 교차 방향으로)를 제공하도록 구성될 수 있다. 특히, 적어도 하나의 자기 베어링(310)은 측면 안내 자석들(315)을 포함할 수 있다. 전형적으로, 측면 안내 자석들(315)은 수동 자석들이다. 따라서, 도 5b에 예시적으로 도시된 바와 같이, 대응하는 측면 안내 자석들(225)이 메인 바디 상에 제공될 수 있다.
[0072] 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 도 5b에 예시적으로 도시된 바와 같이, 캐리어를 이송 방향(102)으로 이동시키기 위한 구동 유닛(320)이 캐리어(200)의 하부 측면 부분에 제공될 수 있다. 다시 말해서, 구동 유닛(320)은, 캐리어가 도 5b에 예시적으로 도시된 바와 같이 실질적 수직 상태에 있을 때, 캐리어의 하부 단부에 측방향으로 배열될 수 있다.
[0073] 도 5b를 예시적으로 참조하고, 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 이송 시스템은, 캐리어를 지지 및/또는 안내 및/또는 이송하기 위한 하나 이상의 롤러들(222)을 포함할 수 있다. 특히, 하나 이상의 롤러들(222)은 캐리어(200)의 최하부(도 5b에 도시됨) 및/또는 캐리어(200)의 측면(명확하게 도시되지 않음)과 접촉하도록 제공될 수 있다. 전형적으로, 하나 이상의 롤러들(222)은 수동 롤러들이다. 대안적인 구성에 따르면, 하나 이상의 롤러들(222)은 능동 롤러들일 수 있다. 특히, 능동 롤러들은 구동 유닛으로서 사용될 수 있다.
[0074] 도 6에 도시된 흐름도를 예시적으로 참조하면, 본 개시내용에 따라 캐리어를 비접촉식으로 이송하는 방법(400)이 설명된다. 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 방법은, 캐리어를 비접촉식으로 홀딩하기 위해 중력에 반대되는 홀딩 방향으로 캐리어 상에 자기력을 가하는 단계(도 6에서 블록(410)으로 표현됨)를 포함한다. 추가적으로, 방법은, 이송 방향으로 캐리어를 이동시키는 단계(도 6에서 블록(420)으로 표현됨)를 포함한다. 또한, 방법은, 이송 방향에 실질적으로 수직하는 교차 방향으로 캐리어 진동들을 감쇠시키는 단계(도 6에서 블록(430)으로 표현됨)를 포함한다. 캐리어 진동들을 감쇠시키는 단계는 캐리어에 고정된 자기 감쇠 디바이스를 사용함으로써 캐리어 진동들의 에너지를 수동적으로 소산시키는 단계를 포함한다.
[0075] 특히, 캐리어를 비접촉식으로 이송하는 방법(400)은 본원에서 설명된 실시예들에 따른 캐리어(200), 특히 본원에서 설명된 바와 같은 자기 감쇠 디바이스(100)를 포함하는 캐리어를 사용하는 단계를 포함할 수 있다.
[0076] 상기 내용을 고려하여, 종래 기술과 비교하여, 본 개시내용의 실시예들은 유익하게, 특히 진공 환경들에서 캐리어들의 정확하고 원활한 이송을 제공한다는 것이 이해되어야 한다. 특히, 본원에서 설명된 바와 같은 자기 감쇠 디바이스는 유익하게, 캐리어의 이송 방향에 실질적으로 수직하는 교차 방향에서의 캐리어 진동들이, 특히 캐리어 진동들의 에너지를 수동적으로 소산시킴으로써, 감쇠될 수 있도록, 캐리어에 고정되게 구성된다. 따라서, 본원에서 설명된 바와 같이, 특히 정확하고 원활한 이송과 관련하여, 종래 기술에 비해 개선된, 캐리어, 이송 시스템뿐만 아니라 캐리어를 비접촉식으로 이송하는 방법이 제공될 수 있다.
[0077] 특히, 본 개시내용의 실시예들은, 진공 환경들에서 사용되는 캐리어들, 예컨대 기판 캐리어들 또는 마스크 캐리어들의 진동들을 감쇠시키기에 특히 매우 적합하다. 또한, 본 개시내용의 실시예들은, 유익하게 비접촉식 및 비마찰식 감쇠가 제공될 수 있도록, 와전류 손실들의 물리적 원리에 기반하는 자기 감쇠를 제공한다. 또한, 본 개시내용의 실시예들은, 캐리어 진동들의 에너지가 수동적으로, 즉, 추가 전력 공급부를 제공하지 않고도 소산될 수 있다는 장점을 갖는다. 따라서, 종래 기술과 비교하여, 본 개시내용의 실시예들은 진공 환경들에서 사용되기에 특히 매우 적합한데, 왜냐하면, 전기 또는 전자 디바이스들을 위한 대기 박스(atmospheric box)가 필요하지 않기 때문이다. 또한, 와전류 손실들의 물리적 원리에 기반하여 감쇠를 제공하기 위해 자성 재료들을 이용함으로써, 본원에서 설명된 실시예들은 특히 최대 220℃의 온도까지 온도 안정적 감쇠 특성들을 나타내는 장점을 갖는다. 더욱이, 본 개시내용의 실시예들은, 저주파수들, 예컨대 f < 10 Hz의 주파수들(f)을 감쇠시키기에 특히 매우 적합하다는 것이 주목되어야 한다.
[0078] 이 서면 설명은, 최상의 모드(best mode)를 포함하는 본 개시내용을 개시하기 위해, 그리고 또한 임의의 당업자로 하여금 임의의 장치 또는 시스템을 제조하여 사용하고 그리고 임의의 포함된 방법들을 수행하는 것을 포함하여, 설명된 청구대상을 실시할 수 있도록 하기 위해, 예들을 사용한다. 본원에서 설명된 실시예들은, 캐리어 진동들을 감쇠시키기 위한 개선된 감쇠 디바이스, 평면형 대상물을 운반하기 위한 개선된 캐리어, 캐리어를 이송하기 위한 개선된 이송 시스템, 및 캐리어를 비접촉식으로 이송하는 개선된 방법을 제공한다. 전술한 내용에서 다양한 특정 실시예들이 개시되었지만, 위에서 설명된 실시예들의 상호 비-배타적인 특징들은 서로 조합될 수 있다. 특허가능한 범위는 청구항들에 의해 정의되며, 다른 예들은 그들이 청구항들의 문언(literal language)과 상이하지 않은 구조적 엘리먼트들을 갖는 경우 또는 그들이 청구항들의 문언과 실질적인 차이가 없는 등가의 구조적 엘리먼트들을 포함하는 경우, 청구항들의 범위 내에 있는 것으로 의도된다.
[0079] 전술한 바가 실시예들에 관한 것이지만, 다른 그리고 추가의 실시예들이 기본적인 범위를 벗어나지 않으면서 안출될 수 있고, 범위는 다음의 청구항들에 의해 결정된다.

Claims (15)

  1. 캐리어의 진동들을 감쇠시키기 위한 자기 감쇠 디바이스(magnetic damping device)(100)로서,
    적어도 하나의 전도성 플레이트 엘리먼트(111)를 포함하는 제1 어셈블리(110);
    감쇠 방향(101)으로 연장되는 적어도 하나의 슬롯(123)을 갖는 자석 어셈블리(120) ― 상기 적어도 하나의 전도성 플레이트 엘리먼트(111)는 상기 적어도 하나의 슬롯(123) 내로 연장됨 ―;
    상기 자석 어셈블리(120)에 연결된 질량 엘리먼트(mass element)(130); 및
    상기 질량 엘리먼트(130)를 상기 제1 어셈블리(110)와 연결하는 스프링 디바이스(140)를 포함하는,
    캐리어의 진동들을 감쇠시키기 위한 자기 감쇠 디바이스(100).
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 전도성 플레이트 엘리먼트(111)는 상기 적어도 하나의 슬롯(123) 내에 비접촉식으로 배열되는,
    캐리어의 진동들을 감쇠시키기 위한 자기 감쇠 디바이스(100).
  3. 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
    상기 스프링 디바이스(140)는, 상기 질량 엘리먼트(130)에 연결된 제1 단부(141) 및 상기 제1 어셈블리(110)에 연결된 제2 단부(142)를 갖는 적어도 하나의 리프 스프링(leaf spring)을 포함하는,
    캐리어의 진동들을 감쇠시키기 위한 자기 감쇠 디바이스(100).
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 스프링 디바이스(140)는, 상기 감쇠 방향으로 힘을 제공하도록 배열 및 구성되는,
    캐리어의 진동들을 감쇠시키기 위한 자기 감쇠 디바이스(100).
  5. 제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 질량 엘리먼트(130)는, 틸거-질량(tilger-mass), 특히 0.5 kg ≤ mt ≤ 5.0 kg의 틸거-질량(mt)을 갖는 블록 엘리먼트인,
    캐리어의 진동들을 감쇠시키기 위한 자기 감쇠 디바이스(100).
  6. 제1 항 내지 제5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 감쇠 방향(101)으로 기계적 정지부(mechanical stop)를 제공하기 위한 적어도 하나의 정지 엘리먼트(150)를 더 포함하는,
    캐리어의 진동들을 감쇠시키기 위한 자기 감쇠 디바이스(100).
  7. 제1 항 내지 제6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 슬롯(123)은 상기 자석 어셈블리(120)의 제1 측면 엘리먼트(121)와 제2 측면 엘리먼트(122) 사이에 제공되며, 상기 제1 측면 엘리먼트(121)는 하나 이상의 제1 자기 엘리먼트들(124)을 포함하고, 그리고 상기 제2 측면 엘리먼트(122)는 하나 이상의 제2 자기 엘리먼트들(125)을 포함하는,
    캐리어의 진동들을 감쇠시키기 위한 자기 감쇠 디바이스(100).
  8. 제1 항 내지 제7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 전도성 플레이트 엘리먼트(111)는 복수의 평행하게 배열된 전도성 플레이트 엘리먼트들(111P)을 포함하고, 상기 적어도 하나의 슬롯(123)은 복수의 평행하게 배열된 슬롯들(123P)을 포함하고, 그리고 상기 복수의 평행하게 배열된 전도성 플레이트 엘리먼트들(111P)은 대응하는 복수의 평행하게 배열된 슬롯들(123P) 내로 연장되는,
    캐리어의 진동들을 감쇠시키기 위한 자기 감쇠 디바이스(100).
  9. 평면형 대상물을 운반하기 위한 캐리어(200)로서,
    상기 평면형 대상물(220)을 운반하기 위한 메인 바디(210), 및
    상기 메인 바디(210)에 부착된 자기 감쇠 디바이스를 포함하며,
    상기 자기 감쇠 디바이스는 상기 평면형 대상물에 수직하는 교차 방향으로 캐리어 진동들을 감쇠시키도록 구성되는,
    평면형 대상물을 운반하기 위한 캐리어(200).
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 자기 감쇠 디바이스는 상기 메인 바디(210)의 수용부(reception)(215) 내에 배열되는,
    평면형 대상물을 운반하기 위한 캐리어(200).
  11. 제9 항 또는 제10 항에 있어서,
    상기 자기 감쇠 디바이스(100)는 상기 수용부(215)의 상부 내측 표면에 고정되는,
    평면형 대상물을 운반하기 위한 캐리어(200).
  12. 제9 항 내지 제11 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 자기 감쇠 디바이스(100)는 제1 항 내지 제9 항 중 어느 한 항에 따른 자기 감쇠 디바이스인,
    평면형 대상물을 운반하기 위한 캐리어(200).
  13. 캐리어(200)를 이송 방향(102)으로 이송하기 위한 이송 시스템(300)으로서,
    제10 항 내지 제12 항 중 어느 한 항에 따른 캐리어(200);
    적어도 하나의 자기 베어링(310) ― 상기 적어도 하나의 자기 베어링(310)은 상기 베어링에 상기 캐리어를 비접촉식으로 홀딩하기 위한 것임 ―; 및
    상기 이송 방향(102)으로 상기 캐리어를 이동시키기 위한 구동 유닛(320)을 포함하는,
    캐리어(200)를 이송 방향(102)으로 이송하기 위한 이송 시스템(300).
  14. 캐리어를 비접촉식으로 이송하는 방법으로서,
    상기 캐리어를 비접촉식으로 홀딩하기 위해 중력과 반대되는 홀딩 방향으로 상기 캐리어 상에 자기력을 가하는 단계;
    상기 캐리어를 이송 방향으로 이동시키는 단계; 및
    상기 이송 방향에 실질적으로 수직하는 교차 방향으로 캐리어 진동들을 감쇠시키는 단계를 포함하며,
    상기 캐리어 진동들을 감쇠시키는 단계는 상기 캐리어에 고정된 자기 감쇠 디바이스를 사용함으로써 상기 캐리어 진동들의 에너지를 수동적으로 소산시키는 단계를 포함하며,
    특히 상기 캐리어는 제10 항 내지 제12 항 중 어느 한 항에 따른 캐리어인,
    캐리어를 비접촉식으로 이송하는 방법.
  15. 특히 광전자 디바이스를 생산하기 위해 코팅된 기판을 생산하는 방법으로서,
    캐리어의 진동들을 감쇠시키기 위해 제1 항 내지 제8 항 중 어느 한 항에 따른 자기 감쇠 디바이스를 사용하는 단계를 포함하는,
    코팅된 기판을 생산하는 방법.
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