KR20210060685A - 대전방지용 바울 제조방법 및 그 방법으로 제조한 대전방지용 바울 - Google Patents

대전방지용 바울 제조방법 및 그 방법으로 제조한 대전방지용 바울 Download PDF

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Abstract

본 발명은 다음의 단계를 포함하는 대전방지용 바울의 제조방법을 제공한다: (a) 불소수지와 탄소나노튜브 파우더를 혼합하여 제조한 컴파운드 펠릿 또는 탄소나노튜브가 포함된 마스터배치 펠릿과 불소수지 펠릿의 혼합물을 준비하는 원재료 준비단계; (b) 사출성형기의 사출성형조건을 입력하는 단계; (c) 상기 단계 (a)의 컴파운드 펠릿 또는 혼합물을 상기 사출성형기 내에서 용융 시켜 용융된 원재료를 제조하는 단계; (d) 상기 사출성형기에 장착된 금형에 상기 가소화된 원재료를 충전하는 단계; (e) 보압 및 냉각단계; 및 (f) 사출성형이 완료된 제품을 취출하여 중간단계 바울을 제조하는 단계. 본 발명의 방법으로 제조한 대전방지용 바울은 전기 전도성이 기준치에 부합하고, 표면 광택이 우수한 것은 물론, 제품의 표면에서 탄소나노튜브 입자가 용출되지 않는 장점을 제공한다.

Description

대전방지용 바울 제조방법 및 그 방법으로 제조한 대전방지용 바울{Method for Manufacturing Antistatic Bowl and Antistatic Bowl}
본 발명은 대전방지용 바울 제조방법 및 그 방법으로 제조한 대전방지용 바울에 관한 것으로, 보다 상세하게는 불소수지와 탄소나노튜브 파우더를 혼합하여 제조한 컴파운드 펠릿을 사용하고 사출성형조건을 특정한 대전방지용 바울 제조방법 및 그 방법으로 제조한 대전방지용 바울에 관한 것이다.
탄소나노튜브가 이지마에 의해 처음으로 발견된 이후, 이들의 우수한 물성을 이용한 고분자 수지 복합 재료에 관한 연구가 진행되었다.
탄소나노튜브 등의 나노 소재들은 기존 전도성 필러에 비해 우수한 기계적 물성, 전기전도 및 열전도도 등의 특성으로 인해 기존 전도성 고분자 복합소재를 대체하여 빠른 속도로 시장에 진입하고 있으며, 사출공정으로 저렴한 가공이 가능한 전도성 컴파운드 기술개발에 대한 수요가 끊이지 않고 있다.
탄소나노튜브는 긴 종횡비에 의해 소량으로 복합소재의 전기전도도를 향상시킬 수 있기 때문에 시장에서 가장 주목받는 전도성 필러이다.
한편, 반도체 제조공정은 실리콘웨이퍼와 같은 반도체기판 상에 박막을 형성하는 공정, 패턴을 형성하는 공정, 불순물 이온들을 주입하는 공정, 및 불필요한 박막들을 세정/식각하는 공정을 포함한다. 상기 공정들은 상기 반도체기판 상에 포토레지스트와 같은 화공약품들을 도포하는 단위공정을 포함한다. 상기 반도체기판 상에 상기 화공약품들을 균일한 두께로 도포하기 위하여 스피너(spinner)가 널리 사용되고 있다. 상기 스피너는 회전체에서 발생하는 원심력을 이용하여 균일한 두께의 피막을 형성하는 장치이다.
반도체소자의 제조에 사용되는 상기 스피너(spinner)는 스피너 바울(spinner bowl), 스테이지 및 분사 유닛을 구비한다. 상기 스테이지에는 회전축 및 척(chuck)이 장착된다. 웨이퍼를 장전한 상기 척은 고속으로 회전할 수 있다. 상기 분사 유닛은 화공약품들을 분사하기 위한 하나이상의 노즐을 구비한다.
일반적으로, 상기 스피너 바울은 상부가 개방된 돔형 구조를 갖는다. 또한, 상기 스피너 바울은 상기 스테이지를 덮도록 배치된다. 여기서, 상기 스피너 바울은 상기 웨이퍼 상에 공급되는 상기 화공약품들이 상기 스피너 외부로 비산되는 것을 방지하는 역할을 한다. 또한, 상기 스피너 바울은 상기 웨이퍼가 외부의 오염원들과 접촉되는 것을 차단해 주는 역할을 한다.
그런데 상기 스피너 바울의 재료에는 플라스틱과 같은 부도체가 널리 사용된다. 이 경우에, 상기 스피너 바울은 다량의 정전기를 발생시킬 수 있다. 이에 더하여, 상기 웨이퍼의 고속회전 및 상기 화공약품들의 분사는 상기 스피너 바울의 내부에 정전기의 발생을 가중시킨다.
상술한 스피너 바울을 탄소나노튜브를 포함하여 제조할 경우 정전기 문제를 해결할 수 있다. 관련된 특허 등의 지적재산권 문헌을 살펴보면, KR 특허출원번호 제10-2017-0158590호(발명의 명칭 : 대전 방지용 바울)에서는 기판이 올려지는 척 부재와, 상기 척 부재에 올려진 상기 기판을 향해 처리액을 공급해주는 처리액 공급 부재를 포함하는 기판 처리 유닛에 적용되는 것으로서, 상기 처리액 공급 부재에서 상기 척 부재 상의 상기 기판으로 공급되었다가 상기 기판으로부터 이탈되는 상기 처리액을 수용하되, 적어도 일부가 정전기 제거를 위해 전도성을 가지는 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 대전 방지용 바울을 개시하고 있다.
그러나 상술한 특허 문헌의 경우 단순히 바울 사출물에 탄소나노튜브를 혼합한 내용에 대해서만 개시하고 있기 때문에, 전기 전도성이 떨어지는 것은 물론, 사출성형 후 탄소나노튜브가 용출되는 문제가 존재한다.
본 명세서 전체에 걸쳐 다수의 논문 및 특허문헌이 참조되고 그 인용이 표시되어 있다. 인용된 논문 및 특허문헌의 개시 내용은 그 전체로서 본 명세서에 참조로 삽입되어 본 발명이 속하는 기술 분야의 수준 및 본 발명의 내용이 보다 명확하게 설명된다.
본 발명의 발명자들은 전기 전도성이 우수하고, 표면 광택도가 우수한 것은 물론, 제품의 표면에서 탄소나노튜브 입자가 용출되지 않는 스피너 바울을 개발하기 위해 예의 연구 노력하였다. 그 결과, 불소수지 및 탄소나노튜브 원재료의 배합방법과 수지온도, 금형온도, 사출압력 및 보압력 등의 사출조건을 특정할 경우 전기 전도성이 기준치에 부합하고, 표면 광택이 우수한 것은 물론, 제품의 표면에서 탄소나노튜브 입자가 용출되지 않는 사실을 발견하여 본 발명을 완성하였다.
따라서 본 발명의 목적은 대전방지용 바울의 제조방법을 제공하는데 있다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 상기 방법으로 제조한 대전방지용 바울을 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적 및 이점은 하기의 발명의 상세한 설명, 청구범위 및 도면에 의해 보다 명확하게 된다.
본 발명은 바울 제조방법을 제공한다.
본 발명의 발명자들은 전기 전도성이 우수하고, 표면 광택도가 우수한 것은 물론, 제품의 표면에서 탄소나노튜브 입자가 용출되지 않는 스피너 바울을 개발하기 위해 예의 연구 노력하였다. 그 결과, 불소수지 및 탄소나노튜브 원재료의 배합방법과 수지온도, 금형온도, 사출압력 및 보압력 등의 사출조건을 특정할 경우 전기 전도성이 기준치에 부합하고, 표면 광택이 우수한 것은 물론, 제품의 표면에서 탄소나노튜브 입자가 용출되지 않는 사실을 확인하였다.
본 발명의 일 양태에 따르면, 본 발명은 다음의 단계를 포함하는 대전방지용 바울의 제조방법을 제공한다: (a) 불소수지와 탄소나노튜브 파우더를 혼합하여 제조한 컴파운드 펠릿 또는 탄소나노튜브가 포함된 마스터배치 펠릿과 불소수지 펠릿의 혼합물을 준비하는 원재료 준비단계; (b) 사출성형기의 사출성형조건을 입력하는 단계; (c) 상기 단계 (a)의 컴파운드 펠릿 또는 혼합물을 상기 사출성형기 내에서 용융 시켜 용융된 원재료를 제조하는 단계; (d) 상기 사출성형기에 장착된 금형에 상기 용융된 원재료를 충전하는 단계; (e) 보압 및 냉각단계; 및 (f) 사출성형이 완료된 제품을 취출하여 중간단계 바울을 제조하는 단계.
본 명세서에서 사용하는 용어‘불소수지’는 분자 내부에 불소를 포함하는 일체의 수지를 의미할 수 있다.
본 명세서에서 사용하는 용어‘컴파운드’는 플라스틱을 수지 이외의 원료나 다른 수지 등을 혼합해서 새로운 플라스틱을 만드는 일체의 행위를 의미할 수 있다.
본 명세서에서 사용하는 용어‘펠릿’은 필러 및 고분자 수지 등을 포함하는 재료를 용융한 상태에서 혼합 및 압출 성형한 이후, 분쇄, 절단 등의 과정을 거쳐 파우더 내지 알갱이 상태로 만든 것을 의미할 수 있다.
본 명세서에서 사용하는 용어‘탄소나노튜브’는 크기가 나노 단위(1000nm 이하)이면서, 분자 수준에서 결합할 수 있는 일체의 탄소 기반 물질을 의미할 수 있다.
본 명세서에서 사용하는 용어‘마스터배치’는 필러와 열가소성 수지 조성물의 혼합물이 중합 과정을 거쳐 얻어진 복합 재료로서 펠릿화 과정을 거치기 전의 복합 재료를 의미할 수 있다.
본 발명의 바람직한 양태에 따르면, 본 발명의 상기 컴파운드 펠릿은 바람직하게는 불소수지와 탄소나노튜브 파우더를 중량기준 94 : 6 내지 96 : 4의 비율로 포함하는 것일 수 있다.
본 발명에서 상기 컴파운드 펠릿이 불소수지와 탄소나노튜브 파우더를 중량기준 94 : 6 내지 96 : 4의 비율로 포함하는 것은 매우 중요한 구성이다. 왜냐하면, 다수의 실험결과 불소수지와 탄소나노튜브 파우더를 중량기준 94 : 6 내지 96 : 4의 비율로 포함할 경우 완성된 제품의 전기 전도성이 기준치에 부합하고, 표면 광택이 우수한 것은 물론, 제품의 표면에서 탄소나노튜브 입자가 용출되지 않는 사실을 확인하였기 때문이다.
본 발명의 바람직한 양태에 따르면, 본 발명의 상기 불소수지는 바람직하게는 PFA(Perfluoroalkoxy), ETFE(Ethylenetetrafluoroethylene), FEP(Fluorinatedethylenepropylene), PCTFE(Polycholorotrifluoroethylene) 및 PTFE(Polytetrafluoroethylene)를 포함하는 군으로부터 선택될 수 있고, 보다 바람직하게는 PFA, ETFE 및 FEP를 포함하는 군으로부터 선택될 수 있으며, 보다 더 바람직하게는 PFA 또는 ETFE일 수 있으며, 가장 바람직하게는 PFA일 수 있다.
본 발명의 바람직한 양태에 따르면, 본 발명의 상기 탄소나노튜브가 포함된 마스터배치 펠릿은 바람직하게는 불소수지와 탄소나노튜브 파우더를 중량기준 80 : 20 내지 95 : 5의 비율로 포함하는 것일 수 있다.
본 발명의 바람직한 양태에 따르면, 본 발명의 상기 탄소나노튜브가 포함된 마스터배치 펠릿과 불소수지 펠릿의 혼합물은 바람직하게는 불소수지 펠릿과 탄소나노튜브가 포함된 마스터배치 펠릿을 중량기준 95 : 5 내지 90 : 10의 비율로 포함하는 것일 수 있다.
본 발명의 바람직한 양태에 따르면, 본 발명의 상기 단계 (a)의 원재료는 바람직하게는 불소수지와 탄소나노튜브 파우더를 중량기준 94 : 6 내지 96 : 4의 비율로 혼합하여 제조한 컴파운드 펠릿일 수 있다.
본 발명에서 원재료로 컴파운드 펠릿을 채택하고 있는 것은 매우 중요한 구성이다. 왜냐하면, 원재료로 컴파운드 펠릿을 채택할 경우 마스터배치 혼합물을 채택하고 있는 경우와 비교하여 완성된 제품의 전기 전도성이 기준치에 부합하고, 표면 광택이 우수한 것은 물론, 제품의 표면에서 탄소나노튜브 입자가 용출되지 않는 사실을 확인하였기 때문이다.
본 발명의 바람직한 양태에 따르면, 본 발명의 상기 단계 (b)의 사출성형조건은 바람직하게는 다음과 같을 수 있다: (1) 사출압력 : 130-160 MPa; (2) 보압력 : 100-120 MPa; (3) 주입속도 : 5-20 cm3/sec; (4) 수지온도 : 섭씨 300-350도; 및 (5) 금형온도 : 섭씨 200-220도.
본 발명에서 보압력이 100-120 MPa인 것은 매우 중요한 구성이다. 왜냐하면, 다수의 실험결과 보압력이 100-120 MPa일 경우 완성된 제품에 수축이 발생하지 않고, 표면 광택이 우수한 것은 물론, 표면에 탄소나노튜브가 용출되지 않는 사실을 발견했기 때문이다.
본 발명에서 금형온도가 섭씨 200-220도인 것은 매우 중요한 구성이다. 왜냐하면, 다수의 실험결과 금형온도가 섭씨 200-220도일 경우 완성된 제품에 수축이 발생하지 않고, 표면 광택이 우수한 것은 물론, 표면에 탄소나노튜브가 용출되지 않는 사실을 발견했기 때문이다.
본 발명의 바람직한 양태에 따르면, 본 발명의 상기 단계 (f)의 중간단계 바울에 지그를 결합한 다음 일정 시간 방치하여 대전방지용 바울을 제조하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
본 발명에서 상기 중간단계 바울에 지그를 결합한 다음 일정 시간 방치하여 대전방지용 바울을 제조하는 단계를 추가로 포함하는 것은 매우 중요한 구성이다. 왜냐하면, 상기 중간단계 바울에 지그를 결합할 경우 사출성형 후 제품이 변형되는 것을 방지하여 수치 정밀성을 향상시킬 수 있기 때문이다.
본 발명의 바람직한 양태에 따르면, 본 발명의 상기 지그는 바람직하게는 크기를 줄여주는 지그일 수 있다.
본 발명에서 상기 지그가 크기를 줄여주는 지그인 것은 매우 중요한 구성이다. 왜냐하면, 불소수지에 탄소나노튜브를 포함할 경우 불소수지 고유의 수축률이 현저히 줄어들어 크기를 줄여주는 지그만 결합하는 경우라도 수치 정밀성을 확보할 수 있기 때문이다.
하나의 금형에서 순수 불소수지를 이용한 제품과, 불소수지와 탄소나노튜브가 혼합된 제품을 생산할 경우 순수 불소수지를 이용한 제품의 수축율이 더 크기 때문에 제작 완료 후 두 제품의 치수를 동일하게 하게 위해서 불소수지와 탄소나노튜브가 혼합된 제품 생산에는 기존 순수 불소수지를 이용한 제품 지그보다 크기를 줄여주는 지그를 사용해야한다. 순수 불소수지를 이용한 제품 지그는 과도한 수축을 방지하기 위한 지그이기 때문이다.
본 발명의 바람직한 양태에 따르면, 본 발명의 상기 대전방지용 바울의 표면저항은 바람직하게는 104-109 옴(Ω)일 수 있다.
본 발명의 다른 양태에 따르면, 본 발명은 상술한 방법으로 제조한 대전방지용 바울을 제공한다.
본 명세서에서 상기 대전방지용 바울과 관련된 사항은 상술한 대전방지용 바울 제조방법과 공통되는 관계상 본 명세서가 과도하게 복잡해지는 것을 방지하기 위해 자세한 기재를 생략한다.
본 발명의 또 다른 양태에 따르면, 본 발명은 원재료로 불소수지와 탄소나노튜브 파우더를 중량기준 94 : 6 내지 96 : 4의 비율로 혼합하여 제조한 컴파운드 펠릿이 사용되고, 사출성형조건은 다음과 같은 대전방지용 바울을 제공한다: (1) 사출압력 : 130-160 MPa; (2) 보압력 : 100-120 MPa; (3) 주입속도 : 5-20 cm3/sec; (4) 수지온도 : 섭씨 300-350도; 및 (5) 금형온도 : 섭씨 200-220도.
본 명세서에서 상기 대전방지용 바울과 관련된 사항은 상술한 대전방지용 바울 제조방법과 공통되는 관계상 본 명세서가 과도하게 복잡해지는 것을 방지하기 위해 자세한 기재를 생략한다.
본 발명의 특징 및 이점을 요약하면 다음과 같다:
본 발명은 다음의 단계를 포함하는 대전방지용 바울의 제조방법을 제공한다: (a) 불소수지와 탄소나노튜브 파우더를 혼합하여 제조한 컴파운드 펠릿 또는 탄소나노튜브가 포함된 마스터배치 펠릿과 불소수지 펠릿의 혼합물을 준비하는 원재료 준비단계; (b) 사출성형기의 사출성형조건을 입력하는 단계; (c) 상기 단계 (a)의 컴파운드 펠릿 또는 혼합물을 상기 사출성형기 내에서 용융 시켜 용융된 원재료를 제조하는 단계; (d) 상기 사출성형기에 장착된 금형에 상기 가소화된 원재료를 충전하는 단계; (e) 보압 및 냉각단계; 및 (f) 사출성형이 완료된 제품을 취출하여 중간단계 바울을 제조하는 단계.
본 발명의 방법으로 제조한 대전방지용 바울은 전기 전도성이 기준치에 부합하고, 표면 광택이 우수한 것은 물론, 제품의 표면에서 탄소나노튜브 입자가 용출되지 않는 장점을 제공한다.
도 1은 본 발명인 대전방지용 바울 제조와 관련된 순서도를 나타낸다.
도 2는 본 발명의 방법으로 완성한 대전방지용 바울을 나타낸다.
도 3은 사출압력에 따른 제품 사이즈 변화를 나타낸다.
도 4는 주입속도에 따른 제품 사이즈 변화를 나타낸다.
도 5는 보압력 변화에 따른 광택 및 슬러지 변화를 나타낸다.
도 6은 금형온도 변화에 따른 광택 및 슬러지 변화를 나타낸다.
도 7은 원재료 종류 및 함량에 따른 종합 품질 평가 결과를 나타낸다.
도 8은 완성된 대전방지 바울의 표면저항을 측정하는 모습을 나타낸다.
도 9는 완성된 대전방지 바울의 과택도 및 슬러지 용출 여부를 측정하는 모습을 나타낸다.
도 10은 대전방지용 바울이 장착된 상태의 단면도를 나타낸다.
이하, 실시예를 통하여 본 발명을 더욱 상세히 설명 하고자 한다. 이들 실시예는 오로지 본 발명을 보다 구체적으로 설명하기 위한 것으로서, 본 발명의 요지 따라 본 발명의 범위가 이들 실시예에 의해 제한되지 않는다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 자명할 것이다.
실시예
본 명세서 전체에 걸쳐, 특정 물질의 농도를 나타내기 위하여 사용되는 “%“는 별도의 언급이 없는 경우, 고체/고체는 (중량/중량) %, 고체/액체는 (중량/부피) %, 그리고 액체/액체는 (부피/부피) %이다.
제조예 : 대전방지용 바울의 제조
불소수지(PFA 수지)와 탄소나노튜브(CNT) 사출 시 성형성형조건인 사출압력, 보압력, 수지온도 및 금형온도에 따른 변화가 완성된 제품의 품질(광택, 수축, 슬러지 등)에 미치는 영향을 알아보기 위해 불소수지와 탄소나노튜브의 함량 및 종류 그리고 사출성형 조건을 달리하여 하기 표 1 및 표 2의 조건으로 대전방지용 바울을 제조하였다.
사출성형 조건
사출성형 조건 단위 범위
사출압력 MPa 130-150
보압력 100-120
주입속도 cm3/sec 5-20
수지온도 섭씨 300-350
금형온도 섭씨 200-220
실험재료
Item Test Content
PFA+CNT Compound CNT 2%
3%
5%
PFA+5%CNT M/B 5%CNT M/B 5%
7%
10%
PFA+12%CNT M/B 12%CNT M/B 5%
7%
10%
PFA+20%CNT M/B 20%CNT M/B 5%
7%
10%
실험예 : 대전방지용 바울의 물성
실험예 1 : 사출압력에 의한 제품 사이즈의 변화
보압력 110 MPa, 금형온도를 섭씨 210도로 설정하고, 사출압력을 130-160 MPa로 증가시키며 성형했을 때의 제품 사이즈 변화를 측정하고 그 결과를 도 3에 나타냈다. 실험결과, 사출압력에 따른 제품 사이즈 변화 보다는 CNT 함유량에 따라 제품 사이즈 변화가 있는 것으로 나타났다.
실험예 2 : 주입속도에 의한 제품 사이즈의 변화
보압력 110 MPa, 금형온도를 섭씨 210도로 설정하고, 사출속도를 5-20 m3/sec로 증가시키며 성형했을 때의 제품 사이즈 변화를 측정하고 그 결과를 도 4에 나타냈다. 실험결과, 사출속도에 따른 제품 사이즈 변화 보다는 CNT 함유량에 따라 제품 사이즈 변화가 있는 것으로 나타났다.
실험예 3 : 보압력 변화에 의한 광택 및 슬러지 변화
사출압력 145 MPa, 수지온도 섭씨 330도로 설정하고 보압력을 100-120 MPa로 증가시키면서 완성된 제품의 광택 및 슬러지 변화를 측정하였고, 그 결과를 도 5에 나타냈다. 실험결과, 보압력을 증가시켰을 경우 완성된 제품의 광택도는 증가하고 슬러지 양은 감소하는 것으로 나타났다.
실험예 4 : 금형온도 변화에 의한 광택 및 슬러지 변화
사출압력 145 MPa, 보압력 110 MPa, 수지온도 섭씨 330도로 설정하고 금형온도를 섭씨 200-220도로 증가시키면서 완성된 제품의 광택 및 슬러지 변화를 측정하였고, 그 결과를 도 6에 나타냈다. 실험결과, 금형온도를 증가시켰을 경우 완성된 제품의 광택도는 증가하고 슬러지 양은 감소하는 것으로 나타났다.
실험예 5 : 종합평가
대전방지 목적으로 CNT를 첨가할 경우, CNT의 첨가량이 증가할수록 표면저항 목표값인 104-109 옴(Ω)을 달성할 수 있었지만, 완성된 제품의 광택도, 수축, 표면불량과 CNT 슬러지 증가와 같은 문제가 발생하였다. 대전방지 성능 및 제품 불량률 측면에서 실험결과를 검토한 결과 표 7에서 확인할 수 있는 바와 같이 CNT Compound를 중량기준 5% 사용한 대전방지용 바울이 가장 적합한 제품으로 나타났다.
에어실린더 로드 10 에어실린더 가이드 부쉬 20
에어실린더 피스톤 30 에어실린더 바디 40
외부 접지 배선 50 스핀척 60
대전방지용 바울 100

Claims (10)

  1. 다음의 단계를 포함하는 대전방지용 바울의 제조방법:
    (a) 불소수지와 탄소나노튜브 파우더를 혼합하여 제조한 컴파운드 펠릿 또는 탄소나노튜브가 포함된 마스터배치 펠릿과 불소수지 펠릿의 혼합물을 준비하는 원재료 준비단계;
    (b) 사출성형기의 사출성형조건을 입력하는 단계;
    (c) 상기 단계 (a)의 컴파운드 펠릿 또는 혼합물을 상기 사출성형기 내에서 용융 시켜 용융된 원재료를 제조하는 단계;
    (d) 상기 사출성형기에 장착된 금형에 상기 용융된 원재료를 충전하는 단계;
    (e) 보압 및 냉각단계; 및
    (f) 사출성형이 완료된 제품을 취출하여 중간단계 바울을 제조하는 단계.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 컴파운드 펠릿은 불소수지와 탄소나노튜브 파우더를 중량기준 94 : 6 내지 96 : 4의 비율로 포함하는 것을 특징으로 하는 대전방지용 바울의 제조방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 탄소나노튜브가 포함된 마스터배치 펠릿은 불소수지와 탄소나노튜브 파우더를 중량기준 80 : 20 내지 95 : 5의 비율로 포함하는 것을 특징으로 하는 대전방지용 바울의 제조방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 탄소나노튜브가 포함된 마스터배치 펠릿과 불소수지 펠릿의 혼합물은 불소수지 펠릿과 탄소나노튜브가 포함된 마스터배치 펠릿을 중량기준 95 : 5 내지 90 : 10의 비율로 포함하는 것을 특징으로 하는 대전방지용 바울의 제조방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 단계 (a)의 원재료는 불소수지와 탄소나노튜브 파우더를 중량기준 94 : 6 내지 96 : 4의 비율로 혼합하여 제조한 컴파운드 펠릿인 것을 특징으로 하는 대전방지용 바울의 제조방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 단계 (b)의 사출성형조건은 다음과 같은 것을 특징으로 하는 대전방지용 바울의 제조방법:
    (1) 사출압력 : 130-160 MPa;
    (2) 보압력 : 100-120 MPa;
    (3) 주입속도 : 5-20 cm3/sec;
    (4) 수지온도 : 섭씨 300-350도; 및
    (5) 금형온도 : 섭씨 200-220도.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 단계 (f)의 중간단계 바울에 지그를 결합한 다음 일정 시간 방치하여 대전방지용 바울을 제조하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 대전방지용 바울의 제조방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 지그는 크기를 줄여주는 지그인 것을 특징으로 하는 대전방지용 바울의 제조방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 대전방지용 바울의 표면저항은 104-109 옴(Ω)인 것을 특징으로 하는 대전방지용 바울의 제조방법.
  10. 원재료로 불소수지와 탄소나노튜브 파우더를 중량기준 94 : 6 내지 96 : 4의 비율로 혼합하여 제조한 컴파운드 펠릿이 사용되고,
    사출성형조건은 다음과 같은 대전방지용 바울:
    (1) 사출압력 : 130-160 MPa;
    (2) 보압력 : 100-120 MPa;
    (3) 주입속도 : 5-20 cm3/sec;
    (4) 수지온도 : 섭씨 300-350도; 및
    (5) 금형온도 : 섭씨 200-220도.
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