KR20210059696A - 기판상의 퇴적물 및/또는 침착물 제거 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판(10, 110) 상의 퇴적물 및/또는 침착물을 제거하기 위한 장치(1)로서, 연결 층(30)에 의해 기판(10, 110)에 고정적으로 연결된 적어도 하나의 변환기(20, 120)를 포함하며, 여기서 연결 층(30)은 기판(10, 110)과 변환기(20, 120) 사이에 배치된다. 본 발명은 연결 재료(31) 및 충전 재료(32)를 포함하는 연결 층(30)을 제공한다. 또한, 렌즈 및/또는 관찰 창과 상기 장치를 포함하는 광학 모니터링 장치를 포함하는 환경 모니터링을 위한 광학 시스템이 제공되며, 여기서 렌즈 또는 관찰 창은 기판에 의해 형성된다.

Description

기판상의 퇴적물 및/또는 침착물 제거 장치

본 발명은 청구항 1의 전제부에 따라 기판상의 퇴적물(deposits) 및/또는 침착물(precipitation)을 제거하기 위한 장치, 즉 세척 장치에 관한 것이다.

기판은 예를 들어 시트, 적층된 판유리, 광학 시스템의 렌즈, 보호 또는 관찰 스크린 또는 어떤 다른 표면을 의미하는 것으로 이해될 수 있다. 표면은 적절한 경우 세제를 추가하여 수동 또는 자동 장치에 의해 정기적으로 세척된다. 이러한 장치는 예를 들어 윈드스크린(windscreen) 와이퍼, 와이퍼, 세척용 천 등을 포함한다.

예를 들어 열리지 않는 창문, 이동하는 자동차의 윈드스크린 또는 접근하기 어려운 기계의 관찰 스크린 또는 접근할 수 없는 카메라 시스템의 경우와 같이 세척 과정에서 수동 개입이 종종 불가능하기 때문에, 수동 개입이 필요하지 않은 기판 표면을 세척하기 위한 장치가 제공된다. 더욱이, 세척될 표면이 가능한 한 적게 세척 장치에 의해 가려지는 것이 미적 관점에서 또는 기술적 관점에서 일반적으로 바람직하다.

이에 대한 배경은 예를 들어 관찰 스크린의 경우, 가능한 한 큰 관찰 영역이 바람직하거나, 또는 예를 들어 윈드스크린 와이퍼의 경우 세척 장치가 기술적 단점을 제공한다는 것이다. 이러한 단점은 세척 장치가 자동차의 항력을 증가시키거나, 세척 장치 자체에 먼지가 쌓인다는 사실을 포함할 수 있다. 카메라 시스템, 광학 모니터링 장치, 백미러 또는 기타 광학 시스템의 경우에도, 세척 장치에 의해 시야가 가능한 한 적게 제한되는 것이 바람직한다.

이러한 단점을 피하기 위해, WO 2012/095643 A1은 창의 표면에서 비나 이슬비를 제거하는 장치를 제공한다. 이 장치는 창과 이 창에 고정된 하나 이상의 압전 변환기(transducer)를 포함한다. WO 2012/095643 A1에 따른 장치는 초음파를 사용하여 비 또는 이슬비를 증발시키도록 설계되었으며, 여기서 초음파는 상기 하나 이상의 압전 변환기에 의해 생성된다.

상기 변환기에서 기판으로 소리 에너지를 전송하려면, 각 변환기를 기판에 확실하고 정확하게 규정된 방식으로 고정해야 한다. 이것은 예를 들어 점착성 연결을 통해 실행될 수 있다. 상기 고정은 첫째로 변환기 작동 중에도 기판에 남아 있도록 하고, 둘째로 소리 에너지가 기판으로 전달되도록 한다. 상기 변환기, 연결 및 기판의 재료는 서로 다른 경우가 일반적이다.

본 발명은 상기 변환기와 기판 사이에 소리 에너지의 전달 동안 손실을 줄이는 효과로 기판상의 퇴적물 및/또는 침착물을 제거하기 위한 장치를 개선하는 목적에 기초한다.

본 발명의 주요 특징은 청구항 1의 특징 부분에 명시되어 있다. 청구항 2 내지 10은 구성에 관한 것이다. 또한, 청구항 11에 따른 본 발명은 기판상의 퇴적물 및/또는 침착물을 제거하기 위한 장치를 포함하는 광학 모니터링 장치를 포함하는 환경 모니터링용 광학 시스템에 관한 것이다.

기판상의 퇴적물 및/또는 침착물을 제거하기 위한 장치의 경우, 연결 층(connection layer)에 의해 상기 기판에 고정적으로(captively) 연결된 하나 이상의 변환기를 포함하며, 여기서 상기 연결 층은 상기 기판과 상기 변환기 사이에 배열되며, 상기 연결 층은 연결 재료 및 충전 재료를 포함한다.

본 발명의 하나의 발전은, 예를 들어, 투명한 재료, 관찰 스크린, 렌즈, 거울 또는 보호 스크린이 기판으로서 제공될 수 있으며, 여기서 상기 기판은 단일 층 또는 다층일 수 있다. 압전 변환기, 특히 티탄산지르콘산납(PZT)는 변환기로서 제공 될 수 있으며, 상기 변환기는, 기판을 향하는 면에, 전극 배열을 포함할 수 있으며, 이 전극 배열은, 보다 상세한 구성에서, 빗 모양으로 또는 지퍼와 같이 서로 맞물린다(인터디지털 변환기).

선택적으로, 구동 유닛(여기에서 더 구체적으로 설명하지 않음) 및 적절한 경우 제어 및/또는 조절 유닛에 의한 대응 구동의 경우 각 변환기에 의해 서로 다른 파동 모드가 생성될 수 있다. 이와 관련하여, 표면파 및/또는 벌크파(bulk wave)가 변환기에 의해 생성될 수 있다. 예를 들어 벌크파는 종파 또는 횡파이다. 종파는 그 전파 방향으로 진동한다. 횡파는 그 전파 방향에 대해 횡으로 진동한다. 표면파는 예를 들어 경계층에서 벌크파의 굴절의 결과로 발생한다. 표면파는 두 개의 음향적으로 상이한 매체 사이의 계면을 따라 그 진동 방향에 수직으로 전파된다. 예를 들어, 러브파(love wave)는 경계면에서 수평 방향으로 진동하고 진동 방향에 수직으로 전파된다. 레일리 파는 계면에 대해 수직 방향으로 진동하고 계면을 따라 진동 방향에 수직으로 전파한다. 표면파는 상기 계면의 다른 쪽에 각각 위치한 재료에서 높은 수준의 감쇠를 경험한다. 변환기에 의해 생성된 음파는 바람직하게는 초음파이다. 초음파는 인간의 가청 주파수 범위보다 높은 주파수 범위이며 약 16kHz에서 시작된다.

본 발명의 하나의 발전에서, 상기 연결 층은 변환기를 기판에 점착적으로 연결하는 층이다. 이것은 선택적으로 접착층에 의해 제공될 수 있다. 선택적으로, 상기 연결 재료는 기판에 변환기의 접착을 제공하고 재료-특유의 기계적 및 음향적 연결 재료 특성을 갖는다. 선택적으로, 상기 충전 재료는 마찬가지로 접착에 기여할 수 있지만, 또한 기판과 변환기 사이에 일정 거리를 규정할 수도 있다. 상기 충전 재료는 마찬가지로 재료-특유의 기계적 및 음향적 충전 재료 특성을 가진다. 본 발명의 하나의 실시 예는 상기 변환기, 기판 및/또는 충전 재료를 서로, 특히 서로 점착적으로 연결하기 위한 연결 층을 제공하며, 여기서 본 발명의 보다 상세한 구성은 실질적으로 가스가 없는 연결 층을 제공한다.

연결 재료 및 충전 재료로 구성된 연결 층의 제공은, 상기 연결 층이 그 기계적 특성, 즉 예를 들면 밀도, 경도 또는 점도와 관련하여 그리고 그 음향적 특성 예를 들면 소리 전파 속도와 관련하여 그 재료 구성의 선택에 의해 영향을 받을 수 있다는 이점을 제공한다. 이러한 방식으로, 변환기의 각 필드 임피던스와 기판 재료 간의 음향 임피던스 차이 또는 음향 임피던스 대비를 설정하는 것이 가능하다. 그 결과, 변환기와 연결 층 사이 및 연결 층과 기판 사이의 계면에서 소리 에너지의 반사가 발생하는지 여부와 그 정도에 영향을 미치는 것이 유리하게 가능하다. 더욱이, 변환기가 특히 충전 재료의 선택에 의해 기판에 대해 정확하게 정렬될 수 있다는 사실에 의해 추가 이점이 제공되며, 이는 상기 연결 층에 기계적 안정성을 부여할 수 있다. 기판에 대한 변환기의 정밀한 정렬은 변환기에 의해 생성된 음파가 기판에 최적으로 결합되어 규정된 방식으로 전파된다는 장점이 있다.

본 발명의 추가 구성에서는 연결 층의 음향적 특성 및/또는 기계적 특성이 연결 재료와 충전 재료 사이의 질량비에 의해 설정될 수 있다. 선택적으로, 충전 재료 대 연결 재료의 질량비가 장치의 원하는 음향적 특성 및/또는 기계적 특성과 관련하여 최적화된다. 본 발명은 연결 재료에 대한 충전 재료의 질량비에 의해 구성될 수 있다. 상기 질량비의 설정에 의해, 연결 층의 음향적 특성 및/또는 기계적 특성이 유리하고 간단한 방식으로 영향을 받을 수 있으며 이는 연결 재료와 충전 재료를 단순히 무게를 재고 혼합해야 하기 때문이다. 원하는 음향적 특성 및/또는 기계적 특성은 예를 들어 질량비에 따라 실험적으로 또는 수치적으로 결정될 수 있다. 이러한 방식으로, 변환기와 연결 층 사이 및 연결 층과 기판 사이의 음향 임피던스 대비는 변환기의 원하는 사용 주파수 범위와 변환기 및 기판의 각각의 매체에 따라 제어될 수 있다.

본 발명의 추가 실시 예는 상기 연결 재료가 방사선 경화, 특히 UV 광선에 의해 또는 열적으로 경화되는 하나 이상의 재료 성분을 포함한다는 사실에 의해 구별되며, 여기서 상기 장치의 음향적 및/또는 기계적 특성은 바람직하게는 경화 공정에 의해 영향을 받을 수 있다. 선택적으로, 본 발명은 방사선 경화에 의해 또는 열적으로 경화되는 2-성분 재료를 포함하는 연결 재료에 의해 구성된다. 상기 연결 재료를 에폭시 수지로 제공할 수 있다. 방사선 경화 및/또는 열 경화는 경화가 간접적으로 발생할 수도 있기 때문에 유리한 것으로 입증된다. 이러한 맥락에서, 간접적으로는 예를 들어 산소와 같은 다른 경화 매체와의 접촉이 필요하지 않음을 의미한다. 이것은, 상기 변환기가 상기 연결 층에 의해 투명한 기판에 장착되는 경우 특히 유리하다. 상기 연결 층 또는 상기 연결 층 내의 연결 재료는 기판을 통해, 예를 들어 변환기에 대해 반대쪽에서 경화 가능하다.

본 발명의 추가 구성은 상기 충전 재료 내의 소리 전파 속도가 상기 연결 재료 내의 소리 전파 속도와 상이한 것이다. 보다 상세한 구성은 상기 충전 재료 내의 소리 전파 속도가 상기 연결 재료 내의 소리 전파 속도보다 더 높은 것이다. 상기 충전 재료의 밀도는 상기 연결 재료의 밀도와 다르게 바람직하게는 더 높도록 제공될 수도 있다. 또한, 상기 충전 재료의 경도는 상기 연결 재료의 경도와 다르게, 바람직하게는 더 높도록 제공될 수 있다. 이러한 방식으로, 유리하게는 변환기와 연결 층 사이 및 연결 층과 기판 사이의 임피던스 대비를 제어하기 위해 상기 연결 층에서 소리 전파 속도를 설정하는 것이 가능하다. 상기 밀도 및 경도는, 상기 연결 재료 및 충전 재료의 소리 전파 속도 및 임피던스에 직접 또는 간접으로 유리하게 영향을 미치고 따라서 상기 연결 층의 임피던스에 영향을 미치는 추가의 재료 특성이다.

본 발명의 하나의 발전은 상기 연결 층에서의 소리 전파가 이방성(anisotropic)인 것이다. 이것은 변환기에 의한 상응하는 기계적 여기 시 변환기와 기판 사이의 계면을 따라 표면파의 전파를 유리하게 촉진한다.

본 발명의 추가 구성은 적어도 부분적으로는 규산염 유리 특히 붕규산염 유리로 구성되는 충전 재료를 제공한다. 위의 유리들 중 하나를 사용하면 상기 연결 층의 음향적 특성이 상기 충전 재료를 통해 기판의 음향 특성에 적응할 수 있다는 이점이 있다. 이는 기판 자체가 유리인 경우 특히 유리하다.

본 발명의 특히 바람직한 일 실시 예는 변환기와 기판 사이에 규정된 거리를 생성하기 위한 충전 재료를 제공한다. 상기 충전 재료에 의해 규정된 거리는 특히 기판에 대한 변환기의 결합 및 기판의 표면에 대한 변환기의 정렬과 관련하여 유리하다.

본 발명의 보다 상세한 구성은 상기 변환기 및 기판에 대한 결합의 결과로서 음향 브리지를 형성하기 위해 충전 재료로 구성된 하나 이상의 성형체(shaped body)를 제공할 수 있다. 본 발명의 하나의 실시 예는 상기 하나 이상의 성형체가 고체, 바람직하게는 고체 덩어리인 것이다. 본 발명은 상기 거리에 상응하는 치수를 갖는 상기 하나 이상의 성형체에 의해 개발될 수 있다. 결과적으로, 기계적 관점에서, 변환기와 기판 사이의 거리는 유리하게는 충전 재료에 의해 고정되고 명확하게 규정된다. 상기 하나 이상의 성형체는 상기 연결 재료 내에 충전 재료를 포함하는 매트릭스를 형성할 수 있다. 상기 충전 재료의 음향 브리지를 통한 상기 기판에 대한 변환기의 음향적 결합, 즉 상기 연결 재료와 변환기 및 기판의 직접적인 재료 접촉은, 특히 상기 연결 층의 음향 특성이 그에 의해 영향을 받을 수 있다. 이러한 방식으로, 변환기와 연결 층 사이 및 연결 층과 기판 사이의 임피던스 대비가 추가적으로 유리하게 영향을 받을 수 있다.

본 발명의 하나의 발전은 상기 하나 이상의 성형체가 구형 또는 막대형인 것이다. 본 발명의 하나의 발전은 상기 하나 이상의 구형 또는 막대형 성형체의 직경이 변환기의 작동 주파수의 일부(fraction)에 대응하는 것이다. 한 구성은 상기 하나 이상의 구형 또는 막대형 성형체의 직경을 제공할 수 있다. 하나의 발전은 선택적으로 상기 하나 이상의 막대형 성형체가 수평으로 또는 수직으로 배치되는 것이다. 상기 하나 이상의 성형체의 구형 또는 막대형 구성은 유리하게는 상기 성형체 또는 성형체들이 상기 연결 재료 내에 잘 분포될 수 있고 상기 연결 재료 내의 규정된 위치에 항상 존재하는 결과를 가지며, 이는 변환기에서 기판까지의 음파의 전달에 긍정적인 영향을 미친다.

본 발명의 추가 구성은 상기 연결 재료가 상기 하나 이상의 성형체와 변환기 사이의 계면 및 상기 하나 이상의 성형체와 기판 사이의 계면에 배치되는 것이다. 본 발명의 하나의 발전은 상기 연결 층이 변환기에 의해 생성된 표면파 및/또는 벌크파를 기판에 결합하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 상기 연결 층의 음향적 및 기계적 특성에 영향을 미칠 수 있는 추가의 가능성이 유리하게 제공된다.

본 발명의 추가 구성은 상기 장치가 변환기를 구동하기 위해 100kHz 이상의 주파수 범위에서 구동기 신호를 생성하기 위한 발생기를 더 포함하는 것이다. 발생기가 제공되고 상기 변환기용 구동 신호가 100kHz 이상의 주파수 범위에 있다는 사실로 인해, 예를 들어 침착물 또는 기타 퇴적물과 같은 표면 오염물은 증발 및/또는 이동에 의해 상기 침착물 또는 기타 퇴적물 내에 도입된 초음파를 통해 특히 효율적으로 제거될 수 있다.

본 발명은 추가로 렌즈 및/또는 관찰 창을 포함하는 광학 모니터링 장치 및 상기 설명된 장치 및 그 구성들을 포함하는 환경 모니터링을 위한 광학 시스템에 관한 것으로, 여기서 상기 렌즈 및/또는 관찰 창은 기판에 의해 형성된다. 상기 장치의 사용은 특히 환경 모니터링을 위한 광학 시스템에서 유리한 것으로 판명되는데, 그 이유는 상기 렌즈 또는 관찰 창에 상기 하나 이상의 변환기를 사용하면 광학 시스템의 관찰 영역 또는 모니터링 영역이 가능한 한 최대로 손상되지 않은 상태로 유지되기 때문이다.

본 발명의 추가 특징, 세부 사항 및 이점은 청구항의 문구와 다음 도면들을 참조한 예시적인 실시 예의 아래 설명으로부터 명백하다.

도 1은 변환기가 위에 배열된 기판의 개략적인 사시도를 도시한다.
도 2는 제1 실시 예에 따라 변환기가 위에 배열된 기판의 개략적인 단면도를 도시한다.
도 3은 제2 실시 예에 따라 변환기가 위에 배열된 기판의 개략적인 단면도를 도시한다.
도 4는 제3 실시 예에 따라 변환기가 위에 배열된 기판의 개략적인 단면도를 도시한다.

도 1은 제1 실시 예에 따라 기판(10) 상에 배치된 변환기(20)를 갖는 기판(10)상의 퇴적물 및/또는 침착물을 제거하기 위한 장치(1)의 개략적인 사시도를 도시하며, 여기서 변환기는 표면(11) 상에 배치된다.

도 2는 제1 실시 예에 따라 기판(10) 상에 배치된 변환기(20)를 갖는 기판(10)상의 퇴적물 및/또는 침착물을 제거하기 위한 장치(1)의 개략적인 단면도를 도시한다. 변환기는 기판(10)의 표면(11) 상에 배치된다. 연결 재료(31) 및 충전 재료(32)를 포함하는 연결 층(30)이 기판(10)과 변환기(20) 사이에 놓인다.

제1 실시 예에서, 구체 또는 원통으로 구현된 성형체(34) 형태의 충전 재료(32)는 연결 재료(31) 내에 놓인다. 성형체(34)는 연결 재료(31)를 위한 매트릭스를 형성하고, 따라서 연결 층(30)은 두 가지 성분으로 구성된다. 연결 층(30)의 두께는 성형체(34)에 의해 규정된 거리(33)에 의해 정해진다. 성형체(34)는 변환기(20)에 대해 직접적으로 그리고 기판(10)에 대해 직접적으로 지지하고 음향 브리지를 형성한다.

도 3은 제2 실시 예에 따라 기판(110) 상에 배치된 변환기(120)를 갖는 기판(110) 상의 퇴적물 및/또는 침착물을 제거하기 위한 장치(1)의 개략적인 단면도를 도시한다.

변환기(120)를 향한 기판(110)의 표면(111)은 만곡된다. 기판(110)을 향한 표면에서, 변환기(120)는 표면(111)의 곡률에 실질적으로 대응하는 곡률을 갖는다.

이 실시 예에서도, 구체 또는 원통으로 구현된 성형체(34) 형태의 충전 재료(32)가 연결 재료(31)에 놓여 있으며, 여기서 성형체(34)는 연결 재료(31)를 위한 매트릭스를 형성한다. 따라서 연결 층(30)이 두 성분으로부터 구성된다. 성형체(34)는 변환기(120)에 대해 직접 그리고 기판(110)에 대해 직접 지지하고 음향 브리지를 형성한다. 연결 층(30)의 두께는 성형체(34)에 의해 규정된 거리(33)에 의해 정해진다.

도 4는 제3 실시 예에 따라 기판(110) 상에 배치된 변환기(20)를 갖는 기판(110) 상의 퇴적물 및/또는 침착물을 제거하기 위한 장치(1)의 개략적인 단면도를 도시한다.

이 실시 예에서, 변환기(20)를 향한 기판(110)의 표면(111)은 만곡되며, 기판(110)을 향한 변환기(20)의 표면은 실질적으로 곡률이 없다. 따라서, 변환기(20)와 기판(110)의 표면(111) 사이의 거리(233, 235)가 변한다.

충전 재료(32)로 구성된 성형체(234a, 234b)는 표면(111)과 변환기(20) 사이의 가변 거리(233, 235)를 보상하기 위해 상이한 직경을 갖는다. 이 경우, 성형체(234a, 234b)는 기판(110)의 표면에 대해 그리고 변환기(20)에 대해 지지하고 음향 브리지를 형성한다.

변환기(20)와 표면(111) 사이의 공간은 충전 재료(32)와 함께 연결 재료(31)로 채워진다.

본 발명은 전술한 임의의 실시 예로 제한되지 않고 오히려 다양한 방식으로 수정 가능하다. 예를 들어, 충전 재료(32)가 연결 재료(31)에 매립되고 별개의 성형체(34)를 구성하지 않고 오히려 연결 재료와 혼합될 수있다.

이에 대한 대안으로서, 하나 이상의 성형체(34, 234a, 234b)가 바람직하게는 규칙적인 구조, 특히 그물 구조 또는 벌집 구조를 갖는 구조체가 될 수 있다.

구조적 세부 사항, 공간적 배열 및 방법 단계들을 포함하여 청구 범위, 상세한 설명 및 도면으로부터 도출되는 모든 특징 및 장점은 그 자체로 그리고 다양한 조합으로 본 발명에 필수적일 수 있다.

1 장치 10, 110 기판
11, 111 표면 20, 120 변환기
30 연결 층 31 연결 재료
32 충전 재료 33, 233 제1 거리
34, 234a, 234b 성형체 35, 235 제2 거리

Claims (11)

1. 기판(10) 상의 퇴적물 및 침착물 중 적어도 하나를 제거하기 위한 장치(1)로서,
   연결 층(30)에 의해 기판(10, 110)에 고정적으로 연결된 하나 이상의 변환기(20, 120)를 포함하며,
   상기 연결 층(30)은 상기 기판(10, 110)과 상기 변환기(20, 120) 사이에 배치되고,
   상기 연결 층(30)은 연결 재료(31) 및 충전 재료(32)를 포함하는, 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 연결 층(30)의 음향적 특성 및 기계적 특성 중 적어도 하나는 상기 연결 재료(31)와 상기 충전 재료(32) 사이의 질량비에 의해 설정되는, 장치.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 충전 재료(32) 내의 소리 전파 속도가 상기 연결 재료(31) 내의 소리 전파 속도와 상이한, 장치.
4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 충전 재료(32)는 부분적으로 또는 전체적으로 규산염 유리, 특히 붕규산염 유리를 포함하는, 장치.
5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 충전 재료(32)는 상기 변환기(20, 120)와 상기 기판(10, 110) 사이에 규정된 거리(33, 233)를 생성하는, 장치.
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 충전 재료(32)로 이루어진 하나 이상의 성형체(34, 234a, 234b)는 상기 변환기(20, 120) 및 기판(10, 110)에 대한 결합의 결과로서 음향 브리지를 형성하는, 장치.
7. 제 6 항에 있어서,
   상기 하나 이상의 성형체(34, 234a, 234b)는 구형 또는 막대형인, 장치.
8. 제 6 항 및 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 연결 재료(31)는 상기 하나 이상의 성형체(34, 234a, 234b)와 상기 변환기(20, 120) 사이에 그리고 상기 하나 이상의 성형체(34, 234a, 234b)와 상기 기판(10, 110) 사이의 계면에 배치되는, 장치.
9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 연결 층(30)은 상기 변환기(20, 120)에 의해 생성된 표면파 및 벌크파 중 적어도 하나를 상기 기판(10, 110)에 결합하기 위해 제공되는, 장치.
10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 장치(1)는 상기 변환기(20, 120)를 구동하기 위해 100kHz 이상의 주파수 범위에서 구동 신호를 생성하기 위한 발생기를 더 포함하는, 장치.
11. 렌즈 및 관찰 창 중 적어도 하나와 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 따른 장치를 포함하는 광학 모니터링 장치를 포함하는 환경 모니터링를 위한 광학 시스템으로서, 상기 렌즈 또는 관찰 창은 기판에 의해 형성되는, 광학 시스템.

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