KR20210056234A - 감시 시스템 - Google Patents

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KR20210056234A
KR20210056234A KR1020200140103A KR20200140103A KR20210056234A KR 20210056234 A KR20210056234 A KR 20210056234A KR 1020200140103 A KR1020200140103 A KR 1020200140103A KR 20200140103 A KR20200140103 A KR 20200140103A KR 20210056234 A KR20210056234 A KR 20210056234A
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substrate processing
laser sensor
monitoring system
sealing device
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KR1020200140103A
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쇼타 가네코
시게미 오오노
노리히데 사가라
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

기판 처리 장치를 케이싱에 의해 밀폐하여, 상기　밀폐된 공간을 소정의 가스 분위기로 채우는 밀폐 장치의 감시 시스템이며,
상기　케이싱과 상기　기판 처리 장치 사이의 공간에 있어서의, 사람이 출입 가능한 영역을 검지 영역으로 하는 레이저 센서와,
상기　레이저 센서의 검지 결과에 기초하여 상기　기판 처리 장치 또는 상기　밀폐 장치에 대해 제어 신호를 출력하거나, 또는 상기　검지 결과에 기초하는 통지 신호를 출력하는, 제어 장치
를 갖는 감시 시스템.

Description

감시 시스템{MONITORING SYSTEM}
본 개시는, 감시 시스템에 관한 것이다.
특허문헌 1에는, 워크의 처리를 불활성 가스의 분위기 중에서 행하는 것을 요하는 워크의 처리 장치를, 챔버 룸 내에 수용하는 챔버 장치이며, 대략 직육면체 형상으로 형성된 상기　챔버 룸과, 상기　챔버 룸 내에 불활성 가스를 공급하는 가스 공급 유로와, 상기　가스 공급 유로에 이어짐과 함께 상기　챔버 룸에 개구된 송기구와, 상기　챔버 룸 내의 불활성 가스를 배기하는 배기 유로와, 상기　배기 유로에 이어짐과 함께 상기　챔버 룸에 개구된 배기구를 구비하고, 상기　송기구와 상기　배기구가 서로 대략 대각 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 챔버 장치가 기재되어 있다.
일본 특허 공개 제2007-88485호 공보
본 개시에 관한 기술은, 기판 처리 장치를 케이싱에 의해 밀폐하여, 상기　밀폐된 공간을 소정의 가스 분위기로 채우는 밀폐 장치의 안전성을 향상시킨다.
기판 처리 장치를 케이싱에 의해 밀폐하고, 상기　밀폐된 공간을 소정의 가스 분위기로 채우는 밀폐 장치의 감시 시스템이며, 상기　케이싱과 상기　기판 처리 장치 사이의 공간에 있어서의, 사람이 출입 가능한 영역을 검지 영역으로 하는 레이저 센서와, 상기　레이저 센서의 검지 결과에 기초하여 상기　기판 처리 장치 또는 상기　밀폐 장치에 대해 제어 신호를 출력하거나, 또는 상기　검지 결과에 기초하는 통지 신호를 출력하는, 제어 장치를 갖는 감시 시스템.
본 개시에 의하면, 기판 처리 장치를 케이싱에 의해 밀폐하고, 상기　밀폐된 공간을 소정의 가스 분위기로 채우는 밀폐 장치의 안전성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 실시 형태에 관한 감시 시스템의 구성의 개략을 나타내는 평면을 모식적으로 도시한 설명도이다.
도 2는 실시 형태에 관한 감시 시스템의 구성의 개략을 나타내는 측면을 모식적으로 도시한 설명도이다.
도 3은 실시 형태에 관한 감시 시스템에 있어서의 퇴출 시의 흐름도이다.
도 4는 실시 형태에 관한 감시 시스템에 있어서의 입출 시의 흐름도이다.
도 5는 다른 기판 처리 장치에 적용한 감시 시스템의 구성의 개략을 나타내는 사시도이다.
예를 들어 반도체 디바이스나 플랫 패널 디스플레이의 제조에 있어서, 반도체 웨이퍼나 유리 기판 등의 기판에 대하여 소정의 처리를 행하는 기판 처리 장치가 사용되고 있다. 그리고 근년에는, 특허문헌 1에 개시되어 있는 바와 같이, 해당 기판 처리 장치 자체를 케이싱으로 밀폐하고, 케이싱으로 밀폐된 공간을 소정의 불활성 가스, 예를 들어 질소 가스 분위기로 채워서 상기　기판 처리 장치에서 소정의 처리를 실시하는 일이 행해지고 있다.
이러한 경우, 기판 처리 장치의 보수, 수리 등을 행하는 작업원은, 케이싱 안에 들어가 작업을 행하게 되는데, 케이싱 내에는 상기한 바와 같이, 예를 들어 질소 가스 분위기이기 때문에, 작업에 앞서 일단 질소 가스를 방출하여 공기 상당의 산소 농도로 할 필요가 있다. 그리고 작업이 종료되면 작업원이 케이싱으로부터 퇴출하고, 작업원의 퇴출을 확인한 후에 케이싱 내에 질소 가스를 공급한다.
그러나, 만일 작업원이 케이싱 내에 남아 있는 상태에서 질소 가스를 공급하면, 불측의 사태가 생길 우려가 있다. 그 때문에, 이러한 기판 처리 장치를 케이싱 내에 넣고, 케이싱 내를 불활성 가스 등의 분위기에서 기판 처리 장치를 작동시키는 경우에는, 그러한 사태가 일어나지 않도록 안전성에 주의할 필요가 있다.
본 개시에 관한 기술은, 그렇게 기판 처리 장치를 케이싱에 의해 밀폐하여, 상기　밀폐된 공간을 소정의 가스 분위기로 채우는 밀폐 장치의 안전성을 향상시킨다.
이하, 본 실시 형태에 관한 감시 시스템에 대해, 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 본 명세서에서, 실질적으로 동일한 기능 구성을 갖는 요소에 있어서는, 동일한 번호를 부여함으로써 중복 설명을 생략한다.
도 1은, 본 실시 형태에 관한 감시 시스템(1)의 구성의 개략을 나타내는 감시 시스템(1)의 평면을 모식적으로 도시한 도면이며, 도 2는 동일하게 감시 시스템(1)의 측면을 모식적으로 도시한 도면이다. 이 감시 시스템(1)이 적용되어 있는 기판 처리 장치는, 포토리소그래피 공정에서 사용되고 있는 도포 현상 처리 장치(10)이다.
도포 현상 처리 장치(10)는, 반도체 웨이퍼를 수납한 카세트를 반출입하는 카세트 반출입부(11), 카세트를 축적하는 축적부(12), 처리부(13) 사이에서 반도체 웨이퍼를 전달하는 중계부(14)를 갖고 있다. 그리고 처리부(13)에는, 반도체 웨이퍼에 대해 소정의 열처리를 행하는 열처리부(15), 소정의 액처리를 행하는 액처리부(16)가 마련되어 있다. 또한 도포 현상 처리 장치(10)는 반도체 웨이퍼의 반송을 행하는 반송 장치(17, 18, 19)를 갖고 있다.
상기한 구성을 갖는 도포 현상 처리 장치(10)는, 밀폐 장치를 구성하는 케이싱(2)에 의해 상면 및 네 측면이 밀폐되어 있다. 즉, 케이싱(2)은, 예를 들어 패널 재에 의해 구성되고, 도포 현상 처리 장치(10)의 상면을 덮는 상면부(2a), 네 측면을 둘러싸는 정면부(2b), 측면부(2c), 배면부(2d), 측면부(2e)를 갖고 있다.
또한 이 케이싱(2)에 있어서의, 예를 들어 배면부(2d)에는, 작업원이 케이싱(2) 내에 출입하기 위한 개폐 가능한 도어(31)가 마련되어 있다. 도어(31)에는, 시정 기구(31a)가 마련되어 있다. 따라서 작업원이 케이싱(2) 내에 출입하기 위해서는, 이 시정 기구(31a)의 시정을 해제하고, 도어(31)를 열고 들어갈 필요가 있다. 시정 기구(31a)는 예를 들어 전자 로크이며, 후술하는 레이저 센서(41, 42, 43)의 어느 것이 물체를 검지하고 있는 동안은, 전자 로크를 시정할 수 없도록 구성되어 있다.
그리고 도 1, 도 2에 도시한 바와 같이, 도포 현상 처리 장치(10)와 케이싱(2) 사이에는, 평면으로 보아 작업원이 출입 가능한 대략 역 ㄷ자형의 공간(S)이 형성되어 있다. 그리고 이 공간(S)에 있어서의 두 대향하는 코너부, 즉 케이싱(2)의 평면으로 보아 대각선 상에 위치하는 코너부에 레이저 센서(41, 42)가 설치되어 있다.
레이저 센서(41, 42)는, 동일 구성이며, 본 실시 형태에서는 적외광의 레이저 빔을, 소정 각도의 범위에서 왕복 선회하여 방사상으로 주사하여 조사하는 소위 레이저 빔 스캐너 구성의 것을 사용하고 있다. 이 예에서는, 레이저 센서(41, 42)는 선회 각도는 90도로 설정되어 있고, 도 1에 도시하는 바와 같이, 레이저 센서(41)는, 케이싱(2)의 정면부(2b)와 측면부(2c) 사이의 영역을 검지 범위로 하기 위해, 도면 중의 왕복 회동 화살표로 나타낸 선회 각도 A로 레이저 빔을 조사하고, 레이저 센서(42)는, 케이싱(2)의 배면부(2d)와 측면부(2e) 사이의 영역을 검지 범위로 하기 위해, 도면 중의 왕복 회동 화살표로 나타낸 선회 각도 B로 레이저 빔을 조사하도록 구성되어 있다. 그리고 해당 검지 범위에 물체가 존재하면, 레이저 센서(41, 42)는 해당 물체를 검지하여, 제어 장치(100)에 검지 신호를 출력한다. 레이저 센서(41, 42)의 설치 높이는, 예를 들어 바닥면 F로부터 100 내지 300㎜, 예를 들어 200㎜의 높이이다. 이에 의해 예를 들어 쓰러져 있는 인원의 검지도 가능하다.
한편, 케이싱(2) 상면부(2a)의 근방, 즉 도포 현상 처리 장치(10)의 천장부보다 높은 위치에는, 예를 들어 평면으로 보아 측면부(2c)의 중앙 부분에 레이저 센서(43)가 마련되어 있다. 이 레이저 센서(43)의 기본적인 구성은 레이저 센서(41, 42)와 같지만, 왕복 선회 각도가 180도로 설정되어 있다. 즉, 도 1에 도시하는 바와 같이 레이저 센서(43)로부터의 레이저 빔의 선회 각도 C는, 180도로 설정되어 있다.
각 레이저 센서(41, 42, 43)에는 촬상 장치(41a, 42a, 43a)가 마련되어 있고, 예를 들어 각 레이저 센서(41, 42, 43)의 검지 범위를 상시 촬상하는, 예를 들어 촬상 장치(41a, 42a)에 대해서는 화각 90도 이상, 촬상 장치(43a)에 대해서는 화각 180도의 카메라를 갖고 있다. 물론 레이저 센서(41, 42, 43)가 물체를 검지하였을 때, 해당 검지한 위치를 촬상하도록 각 촬상 장치(41a, 42a, 43a)를 구성해도 된다. 이러한 경우에는, 카메라의 화각은, 상기한 90도, 180도보다 작아도 된다.
그리고 레이저 센서(41, 42, 43)의 어느 것이 물체를 검지한 위치, 시각과 관련지어져, 촬상한 화상 데이터는, 적당한 기억 장치, 예를 들어 서버나 제어 장치(100)의 기억 영역에 보관된다. 또한 그와 더불어 레이저 센서(41, 42, 43)의 어느 것이 물체를 검지한 경우에는, 검지한 위치, 검지한 레이저 센서의 특정, 촬상한 화상이, 케이싱(2)의 외측에서 도어(31)의 근방에 마련되어 있는 표시부(32)에 표시된다.
또한 추가로 레이저 센서(41, 42, 43)의 어느 것이 물체를 검지한 경우에는, 그것을 외부에 알리는 알람이나 주의 신호가 제어 장치(100)에 의해 출력되고, 예를 들어 표시부(32)에도 그것이 표시된다.
그리고 감시 시스템(1)은, 케이싱(2) 내에 소정의 가스, 예를 들어 질소 가스 등의 불활성 가스를 공급하는 가스 공급부(51)를 갖고 있다. 이 가스 공급부(51)에 의한 불활성 가스의 공급, 정지는 제어 장치(100)에 의해 제어된다. 예를 들어 레이저 센서(41, 42, 43)의 어느 것이 물체를 검지하고 있을 때에는 가스 공급부(51)에 의한 불활성 가스의 공급을 행하지 않는 제어 신호를 가스 공급부(51)에 대해 출력한다.
또한 케이싱(2)에는, 에어 공급부(52)가 마련되어 있다. 이 에어 공급부(52)에 의한 에어의 공급은 제어 장치(100)에 의해 제어된다. 그리고 케이싱(2) 내의 분위기의 배출은, 케이싱(2)에 마련된 배기부(53)를 통하여 행해진다. 배기부(53)에는 밸브(53a)가 마련되어 있고, 밸브(53a)의 개폐는 제어 장치(100)에 의해 제어된다.
실시 형태에 관한 감시 시스템(1)은 이상과 같이 구성되어 있고, 이하에 그 동작에 대해 설명한다. 본 개시에 관한 기술은, 작업원의 퇴출시에 작업원이 케이싱(2) 내에 남아 있는 상태에서 케이싱(2)을 밀폐하여 케이싱(2) 내에 가스를 공급하는 일이 없게 하여, 안전성을 향상시키는 것이다. 따라서, 먼저 퇴출 시의 흐름에 대해 도 3에 기초하여 설명한다.
먼저 작업원이 케이싱(2) 내로부터 퇴출하면(스텝 S1), 도어(31)를 닫는다(스텝 S2). 이어서 시정 기구(31a)를 로크한다(스텝 S3). 이어서 레이저 센서(41, 42, 43)를 ON한다(스텝 S4). 이에 의해 레이저 센서(41, 42, 43)에 의한 검지 시퀀스가 개시된다. 그리고 이 상태로부터 레이저 센서(41, 42, 43)의 어느 것도 소정 시간, 예를 들어 20 내지 30초, 아무것도 검지하지 않음을 확인한다(스텝 S5). 그리고 레이저 센서(41, 42, 43)의 어느 것도 검지하고 있지 않음을 확인한 후, 가스 공급부(51)로부터 가스의 공급을 개시한다(스텝 S6). 가스 공급부(51)로부터 가스의 공급은, 이상의 모든 스텝이 완료되었음을 제어 장치(100)가 인식해야 비로소 가스 공급부(51)로부터의 가스의 공급을 가능하게 한다.
이상의 각 스텝의 도중에 레이저 센서(41, 42, 43)의 어느 것이 케이싱(2) 내에서 물체를 검지한 경우에는, 다음 스텝으로 진행할 수는 없다. 예를 들어 스텝 S2에 있어서 도어(31)를 닫은 후에, 레이저 센서(41, 42, 43)의 어느 것이 물체를 검지하였을 때에는, 시정 기구(31a)는 로크할 수 없다. 이러한 제어도 제어 장치(100)에 의해 이루어진다.
그리고 레이저 센서(41, 42, 43)를 ON한 후, 레이저 센서(41, 42, 43)의 어느 것이 케이싱(2) 내에서 물체를 검지한 경우에는, 가스 공급부(51)로부터 가스의 공급을 개시할 수 없다. 따라서 케이싱(2) 내에 있는 작업원의 안전성이 향상되어 있다.
또한 레이저 센서(41, 42, 43)의 어느 것이 케이싱(2) 내에서 물체를 검지한 경우에는, 알람이 통지되므로, 케이싱(2) 내에 있는 작업원 자신이나 다른 작업원이 그 사실을 알 수 있다. 그리고 레이저 센서(41, 42, 43)의 어느 것이 케이싱(2) 내에서 물체를 검지한 경우에는, 검지한 물체가 존재하는 영역이 촬상되고, 그에 의해서 검지한 물체가 작업원인지, 혹은 깜박 놓고 나온 작업 공구류인지를 용이하게 확인할 수 있다. 게다가 이들 검지 사실과 링크하여 촬상된 화상은, 서버나 제어 장치(100)에 보관되기 때문에, 축차, 혹은 그 후에 확인하는 것이 가능하다.
또한 이상의 각 스텝의 도중에 있어서, 레이저 센서(41, 42, 43)의 어느 것이 물체를 검지한 경우에는, 도포 현상 처리 장치(1)0에 대해 인터로크를 걸도록 제어 장치(100)를 구성해도 된다. 이에 따라, 더욱 작업원의 안전성을 확보할 수 있다.
다음으로 입실 시의 흐름에 대해, 도 4에 기초하여 설명한다. 먼저 가스 공급부(51)로부터의 가스의 공급을 정지한다(스텝 S11). 다음에 배기부(53)의 밸브(53a)를 개방한다(스텝 S12). 또한 에어 공급부(52)로부터 케이싱(2) 내에 에어의 공급을 개시한다(스텝 S13). 스텝 S12와 스텝 S13은 동시에 행해도 된다. 이에 의해 케이싱(2) 내를 에어와 치환한다.
그리고 소정 시간, 케이싱(2)의 용적에 따라 다르기도 하지만, 예를 들어 1시간 전후의 경과를 확인한 후, 케이싱(2) 내의 산소 농도를 확인한다(스텝 S14). 산소 농도의 기준은, 예를 들어 19.5％ 이상으로 하고, 해당 기준을 초과하지 않는 경우에는, 해당 기준을 만족시킬 때까지 에어 치환 작업이 계속된다. 그리고 산소 농도의 기준을 만족시킨 후, 도어(31)의 시정 기구(31a)의 로크 상태가 해제된다(스텝 S15). 이러한 경우, 해당 기준을 만족시키지 않을 때에는, 작업원이 시정 기구(31a)의 로크를 해제하려고 해도 할 수 없도록, 제어 장치(100)가 시정 기구(31a)를 제어하도록 구성해 두는 것이 바람직하다.
그리고 도어(31)의 시정 기구(31a)의 로크 상태가 해제된 후, 작업원은 도어(31)를 열고(스텝 S16), 이어서 케이싱(2) 내에 입실하게 된다(스텝 S17). 또한 도어(31)가 개방되어 있는 경우에는, 예를 들어 가스 공급부(51)로부터의 가스가 케이싱(2) 내에 공급되지 않도록 인터로크가 걸리게 제어되어도 된다.
상기한 감시 시스템(1)은, 감시 대상으로 되는 기판 처리 장치인 도포 현상 처리 장치(10)가 바닥면밖에 갖지 않고, 따라서 작업원이 출입하는 영역이 케이싱(2) 내의 바닥면 위에 밖에 없는 경우의 예였지만, 이러한 기판 처리 장치에 한정되지 않고, 예를 들어 도 5에 도시하는 바와 같은 바닥면보다 위의 부분에 작업원이 출입하는 영역이 있는 장치에 대해서도 적용 가능하다.
즉, 도 5에 도시한 감시 시스템(61)은, 바닥면의 상방에 작업원이 출입하여 작업을 행하는 영역(62a)이나 단차가 있는 영역(62b)을 갖는 기판 처리 장치(62)를 밀폐하는 케이싱(63)에 대해 적용한 상태를 나타내고 있다. 즉, 바닥면 근방에 설치되는 레이저 센서(71, 72) 외에, 상기　영역(62a, 62b)을 검지 영역으로 하는 레이저 센서(73, 74)를 설치하고 있다. 이에 의해, 높이가 있는 기판 처리 장치, 예를 들어 잉크젯 장치에 대해서도 사각을 없애, 작업원이 케이싱 내에 남아 있는 채 케이싱 내에 소정의 가스를 공급하는 것을 방지할 수 있다.
물론 그러한 높은 위치에 있는 영역뿐만 아니라, 예를 들어 설치된 기판 처리 장치의 저면보다 아래에 위치하는 부분에, 사람이 출입하는 영역이 있으면, 해당 영역에도 상기한 레이저 센서를 설치하도록 해도 된다.
금회 개시된 실시 형태는 모든 점에서 예시이지, 제한적인 것은 아니라고 생각해야 한다. 상기 실시 형태는, 첨부의 청구범위 및 그 주 요지를 일탈하는 일 없이, 다양한 형태로 생략, 치환, 변경되어도 된다.
또한, 이하와 같은 구성도 본 개시의 기술적 범위에 속한다.
(1) 기판 처리 장치를 케이싱에 의해 밀폐하고, 상기　밀폐된 공간을 소정의 가스 분위기로 채우는 밀폐 장치의 감시 시스템이며,
상기　케이싱과 상기　기판 처리 장치 사이의 공간에 있어서의, 사람이 출입 가능한 영역을 검지 영역으로 하는 레이저 센서와,
상기　레이저 센서의 검지 결과에 기초하여 상기　기판 처리 장치 또는 상기　밀폐 장치에 대해 제어 신호를 출력하거나, 또는 상기　검지 결과에 기초하는 통지 신호를 출력하는, 제어 장치
를 갖는 감시 시스템.
여기서 말하는 기판 처리 장치란, 예를 들어 반도체 디바이스나 플랫 패널 디스플레이의 제조 장치이다.
또한 기판 처리 장치에 대해 출력하는 제어 신호란, 예를 들어 인터로크를 거는 신호를 들 수 있다.
밀폐 장치에 대해 출력하는 제어 신호란, 예를 들어 밀폐의 완결 불가, 도어의 시정 불가, 소정의 가스의 공급 불가 등의 신호를 들 수 있다.
검지 결과에 기초하는 통지 신호란, 예를 들어 적당한 주의 신호, 알람의 발보, 경고등의 점등 등을 들 수 있다.
(2) 상기　밀폐 장치는, 상기　밀폐된 공간을 상기　소정의 가스 분위기로 채우기 위한 소정의 가스를 공급하는 공급부를 갖고, 상기　제어 장치는, 상기　레이저 센서에 의해 물체를 검지하고 있을 때에는 상기　밀폐 장치에 대해, 상기　공급부에 의한 상기　소정의 가스 공급을 행하지 않는 제어 신호를 출력하는, (1)에 기재된 감시 시스템.
(3) 상기　사람이 출입 가능한 영역을 촬상하는 촬상 장치를 더 구비하고, 상기　레이저 센서에 의해 물체를 검지한 경우에, 적어도 상기　물체를 검지한 영역을 상기　촬상 장치에 의해 촬상하는, (1) 또는 (2) 중 어느 것에 기재된 감시 시스템.
(4) 상기　레이저 센서에 의한 검지 결과와 상기　촬상한 화상을 관련짓는, (3)에 기재된 감시 시스템.
(5) 상기　밀폐 장치는, 상기　밀폐된 공간 내에 출입하기 위한 개폐 가능한 도어와, 해당 도어의 시정 기구를 갖고,
상기　제어 장치는, 상기　레이저 센서의 검지 결과에 기초하여, 상기　도어의 시정 기구의 동작을 전환하기 위한 신호를 출력하는, (1) 내지 (4) 중 어느 것에 기재된 감시 시스템.
도어의 시정 기구의 동작이란, 예를 들어 인원이 시정하려고 해도 시정할 수 없도록 하는 것을 들 수 있다.
(6) 상기　레이저 센서의 검지 결과에 기초하여 상기　기판 처리 장치에 대해 출력하는 제어 신호는, 상기　기판 처리 장치를 인터로크하기 위한 신호인 (1) 내지 (5) 중 어느 것에 기재된 감시 시스템.

Claims (6)

  1. 기판 처리 장치를 케이싱에 의해 밀폐하고, 상기 밀폐된 공간을 소정의 가스 분위기로 채우는 밀폐 장치의 감시 시스템이며,
    상기 케이싱과 상기 기판 처리 장치 사이의 공간에 있어서의, 사람이 출입 가능한 영역을 검지 영역으로 하는 레이저 센서와,
    상기 레이저 센서의 검지 결과에 기초하여 상기 기판 처리 장치 또는 상기 밀폐 장치에 대해 제어 신호를 출력하거나, 또는 상기 검지 결과에 기초하는 통지 신호를 출력하는, 제어 장치
    를 갖는 감시 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 밀폐 장치는, 상기 밀폐된 공간을 상기 소정의 가스 분위기로 채우기 위한 소정의 가스를 공급하는 공급부를 갖고,
    상기 제어 장치는, 상기 레이저 센서에 의해 물체를 검지하고 있을 때에는 상기 밀폐 장치에 대해, 상기 공급부에 의한 상기 소정의 가스 공급을 행하지 않는 제어 신호를 출력하는, 감시 시스템.
  3. 제1항 또는 제2항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 사람이 출입 가능한 영역을 촬상하는 촬상 장치를 추가로 구비하고,
    상기 레이저 센서에 의해 물체를 검지한 경우에, 적어도 상기 물체를 검지한 영역을 상기 촬상 장치에 의해 촬상하는, 감시 시스템.
  4. 제3항에 있어서, 상기 레이저 센서에 의한 검지 결과와 상기 촬상한 화상을 관련짓는, 감시 시스템.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 밀폐 장치는, 상기 밀폐된 공간 내에 출입하기 위한 개폐 가능한 도어와, 해당 도어의 시정 기구를 갖고,
    상기 제어 장치는, 상기 레이저 센서의 검지 결과에 기초하여, 상기 도어의 시정 기구의 동작을 전환하기 위한 신호를 출력하는, 감시 시스템.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 레이저 센서의 검지 결과에 기초하여 상기 기판 처리 장치에 대해 출력하는 제어 신호는, 상기 기판 처리 장치를 인터로크하기 위한 신호인 감시 시스템.
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