KR20210052283A - Resin composition, resin film and metal clad laminate - Google Patents

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닛테츠 케미컬 앤드 머티리얼 가부시키가이샤
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Abstract

The present invention provides a resin composition and a resin film, which can improve dielectric properties without impairing mechanical properties such as bendability, etc., due to the addition of an inorganic filler. The resin composition contains polyamic acid or polyimide and spherical silica particles, and the frequency distribution curve of the spherical silica particles obtained by volume-based particle size distribution measurement by laser diffraction scattering satisfies the followings: a) the average particle diameter (D_50) at a cumulative value of 50% is in the range of 9.0 to 12.0 ㎛; b) the particle diameter (D_90) at a cumulative value of 90% is in the range of 15 to 20 ㎛; and c) the particle diameter (D_100) at a cumulative value of 100% is 25 ㎛ or less. The content of the spherical silica particles is within the range of 20 to 65 vol% with respect to the polyamic acid or polyimide.

Description

수지 조성물, 수지 필름 및 금속 피복 적층판 {RESIN COMPOSITION, RESIN FILM AND METAL CLAD LAMINATE}Resin composition, resin film and metal clad laminate {RESIN COMPOSITION, RESIN FILM AND METAL CLAD LAMINATE}

본 발명은, 무기 필러인 구상 실리카 입자를 함유하는 수지 조성물, 그것을 사용하는 수지 필름 및 금속 피복 적층판에 관한 것이다.The present invention relates to a resin composition containing spherical silica particles as inorganic fillers, a resin film using the same, and a metal-clad laminate.

근년, 휴대 전화, LED 조명 기구, 자동차 엔진 주변 관련 부품으로 대표되듯이 전자 기기의 소형화, 경량화에 대한 요구가 높아지고 있다. 그것에 수반하여, 기기의 소형화, 경량화에 유리한 플렉시블 회로 기판이 전자 기술 분야에 있어서 널리 사용되게 되었다. 그리고 그 중에서도 폴리이미드를 절연층으로 하는 플렉시블 회로 기판은, 그것의 내열성, 내약품성 등이 양호하다는 점에서 널리 사용되고 있다.In recent years, as represented by mobile phones, LED lighting fixtures, and related parts around automobile engines, the demand for miniaturization and weight reduction of electronic devices is increasing. Along with this, flexible circuit boards, which are advantageous for reducing the size and weight of devices, have come to be widely used in the field of electronic technology. And, among them, a flexible circuit board made of polyimide as an insulating layer is widely used because of its excellent heat resistance, chemical resistance, and the like.

한편, 전기·전자 기기의 고성능화나 고기능화에 수반하여, 정보의 고속 전송화가 진전되고 있다. 그 때문에, 전기·전자 기기에 사용되는 부품이나 부재에도 고속 전송에의 대응이 요구되고 있다. 그러한 용도로 사용되는 수지 재료에 대해, 고속 전송화에 대응한 전기 특성을 갖도록, 저유전율화, 저유전 정접화를 도모하는 시도가 이루어지고 있다. 그 일례로서, 에폭시 수지, 폴리이미드 수지 및 방향족 폴리아미드 수지를 포함하는 수지 혼합물과 이미다졸계 경화 촉매와 무기 필러를 포함하는 수지층을 갖고, 고주파 전송에 대응한 유전 특성을 갖는 수지를 구비한 구리박이 제안되어 있다(예를 들어, 특허문헌 1).On the other hand, high-speed transmission of information is advancing along with higher performance and higher functionality of electric and electronic devices. Therefore, there is a demand for high-speed transmission for parts and members used in electric and electronic equipment. For resin materials used for such a purpose, attempts have been made to achieve low dielectric constant and low dielectric tangent so as to have electrical properties corresponding to high-speed transmission. As an example, having a resin mixture containing an epoxy resin, a polyimide resin, and an aromatic polyamide resin, an imidazole-based curing catalyst, and a resin layer containing an inorganic filler, and a resin having dielectric properties corresponding to high frequency transmission. Copper foil has been proposed (for example, Patent Document 1).

국제 공개WO2017/014079International Disclosure WO2017/014079

특허문헌 1에서는, 실리카 등의 무기 필러의 첨가에 의해 수지층의 유전 정접을 저감할 수 있는 것이 기재되어 있기는 하지만, 그 목적에 적합한 무기 필러의 구체적인 구성에 대해 상세한 검토는 이루어져 있지 않다. 또한, 무기 필러의 첨가는, 수지 필름의 절곡성을 저하시키는 등의 영향을 미친다고 하는 문제가 있었다.In Patent Document 1, although it is described that the dielectric loss tangent of the resin layer can be reduced by the addition of an inorganic filler such as silica, detailed examination has not been made on the specific configuration of an inorganic filler suitable for the purpose. In addition, there is a problem that the addition of the inorganic filler exerts an influence such as lowering the bendability of the resin film.

본 발명의 목적은, 무기 필러의 첨가에 의해 절곡성 등의 기계적 특성을 손상시키는 일 없이, 유전 특성의 개선이 도모되어 있는 수지 조성물 및 수지 필름을 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide a resin composition and a resin film in which dielectric properties are improved without impairing mechanical properties such as bendability by addition of an inorganic filler.

본 발명의 수지 조성물은, 폴리아미드산 또는 폴리이미드와, 구상 실리카 입자를 함유하는 수지 조성물이다. 본 발명의 수지 조성물은, 레이저 회절 산란법에 의한 체적 기준의 입도 분포 측정에 의해 얻어지는 상기 구상 실리카 입자의 빈도 분포 곡선이, 하기의 조건 a 내지 c를 충족하고, 상기 구상 실리카 입자의 함유량이, 상기 폴리아미드산 또는 상기 폴리이미드에 대해, 20 내지 65체적%의 범위 내이다.The resin composition of the present invention is a resin composition containing polyamic acid or polyimide and spherical silica particles. In the resin composition of the present invention, the frequency distribution curve of the spherical silica particles obtained by volume-based particle size distribution measurement by a laser diffraction scattering method satisfies the following conditions a to c, and the content of the spherical silica particles, It is within the range of 20 to 65% by volume based on the polyamic acid or the polyimide.

a) 누적값이 50%가 되는 평균 입자경 D50이 9.0 내지 12.0㎛의 범위 내인 것. a) The average particle diameter D 50 at which the cumulative value is 50% is in the range of 9.0 to 12.0 µm.

b) 누적값이 90%가 되는 입자경 D90이 15 내지 20㎛의 범위 내인 것. b) The particle diameter D 90 at which the cumulative value is 90% is within the range of 15 to 20 µm.

c) 누적값이 100%가 되는 입자경 D100이 25㎛ 이하인 것. c) The particle diameter D 100 at which the cumulative value is 100% is 25 μm or less.

본 발명의 수지 조성물은, 상기 구상 실리카 입자가 또한, 하기의 조건 d를 충족하는 것이어도 된다.In the resin composition of the present invention, the spherical silica particles may further satisfy the following condition d.

d) 빈도 극댓값 F1 및 빈도 극댓값 F2를 갖고, 상기 F1이 9.0 내지 14.0㎛의 영역 내, 상기 F2가 0.5 내지 3.0㎛의 영역 내에 있는 것.d) Having a frequency maximum value F1 and a frequency maximum value F2, wherein the F1 is in a region of 9.0 to 14.0 µm, and the F2 is in a region of 0.5 to 3.0 µm.

본 발명의 수지 조성물은, 상기 구상 실리카 입자가 또한, 하기의 조건 e를 충족하는 것이어도 된다.In the resin composition of the present invention, the spherical silica particles may further satisfy the following condition e.

e) 빈도 극댓값 F1 및 빈도 극댓값 F2를 갖고, 상기 F1 및 F2의 비(F1/F2)가 3 내지 28의 범위 내인 것.e) It has a frequency maximum value F1 and a frequency maximum value F2, and the ratio (F1/F2) of F1 and F2 is in the range of 3 to 28.

본 발명의 수지 필름은, 단층 또는 복수층의 폴리이미드층을 갖는 수지 필름이며, 상기 폴리이미드층 중 적어도 1층이, 상기한 수지 조성물의 경화물을 포함하는 구상 실리카 함유 폴리이미드층이고, 해당 구상 실리카 함유 폴리이미드층의 두께가 5 내지 150㎛의 범위 내이다.The resin film of the present invention is a resin film having a single layer or a plurality of polyimide layers, wherein at least one of the polyimide layers is a spherical silica-containing polyimide layer containing a cured product of the above resin composition, and The thickness of the spherical silica-containing polyimide layer is in the range of 5 to 150 µm.

본 발명의 수지 필름은, 상기 구상 실리카 입자의 입자경 D100이 상기 구상 실리카 함유 폴리이미드층의 두께에 대해 0.05 내지 0.7의 범위 내여도 된다.In the resin film of the present invention, the particle diameter D 100 of the spherical silica particles may be in the range of 0.05 to 0.7 with respect to the thickness of the spherical silica-containing polyimide layer.

본 발명의 수지 필름은, 두께가 5 내지 150㎛의 범위 내이고, 상기 구상 실리카 함유 폴리이미드층의 두께의 비율이 50% 이상이어도 된다.The resin film of the present invention may have a thickness in the range of 5 to 150 µm, and the ratio of the thickness of the spherical silica-containing polyimide layer may be 50% or more.

본 발명의 금속 피복 적층판은, 절연 수지층과, 상기 절연 수지층의 적어도 한쪽 면에 적층된 금속층을 구비한 금속 피복 적층판이며, 상기 절연 수지층이 상기 수지 필름을 포함하는 것이다.The metal-clad laminate of the present invention is a metal-clad laminate comprising an insulating resin layer and a metal layer laminated on at least one side of the insulating resin layer, and the insulating resin layer includes the resin film.

본 발명의 수지 조성물은, 조건 a 내지 c로 표기되는 특정한 입도 분포를 갖는 구상 실리카 입자를 함유함으로써, 절곡성 등의 기계적 특성을 저하시키지 않고 유전 특성을 개선하는 것이 가능해진다. 그 때문에, 본 발명의 수지 조성물을 사용한 전기·전자 기기나 전자 부품에 있어서, 고속 전송화에의 대응이 가능해지는 동시에 신뢰성을 확보할 수 있다.When the resin composition of the present invention contains spherical silica particles having a specific particle size distribution represented by conditions a to c, it becomes possible to improve dielectric properties without deteriorating mechanical properties such as bendability. Therefore, in an electric/electronic device or electronic component using the resin composition of the present invention, it is possible to cope with high-speed transmission and secure reliability.

이하, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명한다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described.

[수지 조성물][Resin composition]

본 발명의 일 실시 형태에 관한 수지 조성물은, 폴리아미드산 또는 폴리이미드와, 무기 필러인 구상 실리카 입자를 함유하는 수지 조성물이다. 수지 조성물은, 폴리아미드산을 함유하는 바니시(수지 용액)여도 되고, 용제 가용성의 폴리이미드를 함유하는 폴리이미드 용액이어도 된다.The resin composition according to an embodiment of the present invention is a resin composition containing polyamic acid or polyimide and spherical silica particles which are inorganic fillers. The resin composition may be a varnish (resin solution) containing a polyamic acid, or a polyimide solution containing a solvent-soluble polyimide.

<폴리아미드산 또는 폴리이미드><Polyamic acid or polyimide>

폴리이미드는, 일반적으로 하기 일반식 (1)로 표시된다. 이러한 폴리이미드는, 디아민 성분과 산 이무수물 성분을 실질적으로 등몰 사용하고, 유기 극성 용매 중에서 중합시키는 공지의 방법에 의해 제조할 수 있다. 이 경우, 점도를 원하는 범위로 하기 위해, 디아민 성분에 대한 산 이무수물 성분의 몰비를 조정해도 되며, 그 범위는, 예를 들어 0.980 내지 1.03의 몰비의 범위 내로 하는 것이 바람직하다.Polyimide is generally represented by the following general formula (1). Such a polyimide can be produced by a known method in which a diamine component and an acid dianhydride component are used in substantially equimolar amounts, and polymerized in an organic polar solvent. In this case, in order to make the viscosity within a desired range, the molar ratio of the acid dianhydride component to the diamine component may be adjusted, and the range is preferably in the range of, for example, 0.980 to 1.03.

Figure pat00001
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여기서, Ar1은 방향족 환을 1개 이상 갖는 4가의 유기기이고, Ar2는 방향족 환을 1개 이상 갖는 2가의 유기기이다. 그리고 Ar1은 산 이무수물의 잔기라고 할 수 있고, Ar2는 디아민의 잔기라고 할 수 있다. 또한, n은, 일반식 (1)의 구성 단위의 반복 수를 나타내고, 200 이상, 바람직하게는 300 내지 1000의 수이다.Here, Ar 1 is a tetravalent organic group having at least one aromatic ring, and Ar 2 is a divalent organic group having at least one aromatic ring. And Ar 1 can be said to be a residue of an acid dianhydride, and Ar 2 can be said to be a residue of a diamine. In addition, n represents the number of repetitions of the structural unit of the general formula (1), and is 200 or more, and preferably a number of 300 to 1000.

산 이무수물로서는, 예를 들어 O(OC)2-Ar1-(CO)2O에 의해 표시되는 방향족 테트라카르복실산 이무수물이 바람직하고, 하기 방향족 산 무수물 잔기를 Ar1로서 부여하는 것이 예시된다.As the acid dianhydride, for example, an aromatic tetracarboxylic dianhydride represented by O(OC) 2 -Ar 1 -(CO) 2 O is preferable, and the following aromatic acid anhydride residue is given as Ar 1. do.

Figure pat00002
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산 이무수물은, 단독으로 또는 2종 이상 혼합하여 사용할 수 있다. 이들 중에서도, 피로멜리트산 이무수물(PMDA), 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물(BPDA), 3,3',4,4'-벤조페논테트라카르복실산 이무수물(BTDA), 3,3',4,4'-디페닐술폰테트라카르복실산 이무수물(DSDA), 및 4,4'-옥시디프탈산 이무수물(ODPA)에서 선택되는 것을 사용하는 것이 바람직하다.The acid dianhydride may be used alone or in combination of two or more. Among these, pyromellitic dianhydride (PMDA), 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA), 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic acid It is recommended to use one selected from dianhydride (BTDA), 3,3',4,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride (DSDA), and 4,4'-oxydiphthalic dianhydride (ODPA). desirable.

디아민으로서는, 예를 들어 H2N-Ar2-NH2에 의해 표시되는 방향족 디아민이 바람직하고, 하기 방향족 디아민 잔기를 Ar2로서 부여하는 방향족 디아민이 예시된다.As the diamine, for example, an aromatic diamine represented by H 2 N-Ar 2 -NH 2 is preferable, and an aromatic diamine giving the following aromatic diamine residue as Ar 2 is exemplified.

Figure pat00003
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이들 디아민 중에서도, 디아미노디페닐에테르(DAPE), 2,2'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐(m-TB), 파라페닐렌디아민(p-PDA), 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠(TPE-R), 1,3-비스(3-아미노페녹시)벤젠(APB), 1,4-비스(4-아미노페녹시)벤젠(TPE-Q), 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판(BAPP), 및 2,2-비스(트리플루오로메틸)벤지딘(TFMB)이 적합한 것으로서 예시된다.Among these diamines, diaminodiphenyl ether (DAPE), 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-TB), paraphenylenediamine (p-PDA), 1,3-bis (4-aminophenoxy)benzene (TPE-R), 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene (APB), 1,4-bis(4-aminophenoxy)benzene (TPE-Q), 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane (BAPP), and 2,2-bis(trifluoromethyl)benzidine (TFMB) are exemplified as suitable.

폴리이미드는, 산 이무수물과 디아민 화합물을 용매 중에서 반응시켜, 전구체인 폴리아미드산을 생성한 후 가열 폐환(이미드화)시킴으로써 제조할 수 있다. 예를 들어, 산 이무수물과 디아민 화합물을 거의 등몰로 유기 용매 중에 용해시켜, 0 내지 100℃의 범위 내의 온도에서 30분 내지 24시간 교반하여 중합 반응시킴으로써 폴리아미드산이 얻어진다. 반응 시에는, 생성되는 전구체가 유기 용매 중에 5 내지 30중량%의 범위 내, 바람직하게는 10 내지 20중량%의 범위 내로 되도록 반응 성분을 용해한다. 중합 반응에 사용하는 유기 용매로서는, 예를 들어 N,N-디메틸포름아미드(DMF), N,N-디메틸아세트아미드(DMAc), N,N-디에틸아세트아미드, N-메틸-2-피롤리돈(NMP), 2-부타논, 디메틸술폭시드(DMSO), 헥사메틸포스포르아미드, N-메틸카프로락탐, 황산디메틸, 시클로헥사논, 디옥산, 테트라히드로푸란, 디글라임, 트리글라임, 크레졸 등을 들 수 있다. 이들 용매를 2종 이상 병용할 수도 있고, 나아가 크실렌, 톨루엔과 같은 방향족 탄화수소의 병용도 가능하다. 또한, 이러한 유기 용매의 사용량으로서는 특별히 제한되는 것은 아니지만, 중합 반응에 의해 얻어지는 폴리아미드산 용액의 농도가 5 내지 30중량% 정도로 되는 사용량으로 조정하여 사용하는 것이 바람직하다.The polyimide can be produced by reacting an acid dianhydride and a diamine compound in a solvent to produce a precursor polyamic acid, followed by heat ring closure (imidization). For example, a polyamic acid is obtained by dissolving an acid dianhydride and a diamine compound in an organic solvent in substantially equimolar amounts and stirring at a temperature within the range of 0 to 100°C for 30 minutes to 24 hours for a polymerization reaction. During the reaction, the reaction component is dissolved so that the resulting precursor is in the range of 5 to 30% by weight, preferably 10 to 20% by weight in the organic solvent. Examples of the organic solvent used in the polymerization reaction include N,N-dimethylformamide (DMF), N,N-dimethylacetamide (DMAc), N,N-diethylacetamide, and N-methyl-2-pi. Rolidone (NMP), 2-butanone, dimethylsulfoxide (DMSO), hexamethylphosphoramide, N-methylcaprolactam, dimethyl sulfate, cyclohexanone, dioxane, tetrahydrofuran, diglyme, triglyme And cresols. Two or more of these solvents may be used in combination, and further, aromatic hydrocarbons such as xylene and toluene may be used in combination. Further, the amount of the organic solvent to be used is not particularly limited, but it is preferable to use it by adjusting the concentration of the polyamic acid solution obtained by the polymerization reaction to an amount of about 5 to 30% by weight.

합성된 폴리아미드산은, 통상, 반응 용매 용액으로서 사용하는 것이 유리하지만, 필요에 따라 농축, 희석 또는 다른 유기 용매로 치환하여 수지 조성물을 형성할 수 있다. 폴리아미드산을 이미드화시키는 방법은, 특별히 제한되지 않으며, 예를 들어 상기 용매 중에서, 80 내지 400℃의 범위 내의 온도 조건에서 1 내지 24시간에 걸쳐 가열하는 것과 같은 열처리가 적합하게 채용된다.The synthesized polyamic acid is usually advantageously used as a reaction solvent solution, but the resin composition can be formed by concentrating, diluting, or substituting another organic solvent as necessary. The method of imidizing the polyamic acid is not particularly limited, and for example, a heat treatment such as heating for 1 to 24 hours in the above solvent at a temperature condition within the range of 80 to 400°C is suitably employed.

<구상 실리카 입자><Spherical silica particles>

구상 실리카 입자는, 형상이 진구상에 가까운 실리카 입자이며, 평균 긴 직경과 평균 짧은 직경의 비가 1 또는 1에 가까운 것을 말한다. 구상 실리카 입자는, 레이저 회절 산란법에 의한 체적 기준의 입도 분포 측정에 의해 얻어지는 빈도 분포 곡선이 하기의 조건 a 내지 c를 충족한다.Spherical silica particles are silica particles whose shape is close to a spherical shape, and the ratio between the average long diameter and the average short diameter is 1 or close to 1. As for the spherical silica particles, the frequency distribution curve obtained by volume-based particle size distribution measurement by the laser diffraction scattering method satisfies the following conditions a to c.

a) 누적값이 50%가 되는 평균 입자경 D50이 9.0 내지 12.0㎛의 범위 내인 것. a) The average particle diameter D 50 at which the cumulative value is 50% is in the range of 9.0 to 12.0 µm.

b) 누적값이 90%가 되는 입자경 D90이 15 내지 20㎛의 범위 내인 것. b) The particle diameter D 90 at which the cumulative value is 90% is within the range of 15 to 20 µm.

c) 누적값이 100%가 되는 입자경 D100이 25㎛ 이하인 것. c) The particle diameter D 100 at which the cumulative value is 100% is 25 μm or less.

조건 a에 대해서는, 구상 실리카 입자의 평균 입자경 D50이 9.0에 못 미치면, 유전 특성의 향상 효과가 작아진다. 한편, 평균 입자경 D50이 12.0㎛를 초과하면, 충전하기 어려워지거나, 수지 필름을 형성하였을 때에 절곡성이 저하되는 등 기계적 특성의 유지가 곤란해진다.In condition a, when the average particle diameter D 50 of the spherical silica particles is less than 9.0, the effect of improving the dielectric properties becomes small. On the other hand, when the average particle diameter D 50 exceeds 12.0 µm, it becomes difficult to fill, or when a resin film is formed, the bendability decreases, and it becomes difficult to maintain mechanical properties.

조건 b, c에 대해서는, 입자경이 15 내지 25㎛인 구상 실리카 입자의 존재 비율을 억제함과 함께, 최대 입자경이 25㎛ 이하임으로써 조대 입자가 배제되기 때문에, 수지 필름을 형성하였을 때의 절곡성을 양호한 것으로 할 수 있다.For conditions b and c, the presence ratio of spherical silica particles having a particle diameter of 15 to 25 µm is suppressed, and coarse particles are excluded when the maximum particle size is 25 µm or less, so that the bendability when a resin film is formed Can be made good.

또한, 구상 실리카 입자는 또한, 하기의 조건 d 및 조건 e를 충족하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the spherical silica particles also satisfy the following conditions d and e.

d) 빈도 극댓값 F1 및 빈도 극댓값 F2를 갖고, F1이 9.0 내지 14.0㎛의 영역 내, F2가 0.5 내지 3.0㎛의 영역 내에 있는 것.d) Having the maximum frequency value F1 and the maximum frequency value F2, F1 is in a region of 9.0 to 14.0 µm and F2 is in a region of 0.5 to 3.0 µm.

e) 빈도 극댓값 F1 및 빈도 극댓값 F2를 갖고, F1 및 F2의 비(F1/F2)가 3 내지 28의 범위 내인 것.e) Having a frequency maximum value F1 and a frequency maximum value F2, and the ratio (F1/F2) of F1 and F2 is in the range of 3 to 28.

조건 d 및 조건 e에 대해서는, 구상 실리카 입자 중에 입자경이 0.5 내지 3.0㎛의 범위 내인 작은 구상 실리카를 일정량 함유함으로써, 필름화하였을 때의 절곡성의 저하를 억제하면서, 유전 특성을 더욱 향상시킬 수 있다.As for the condition d and the condition e, by containing a certain amount of small spherical silica having a particle diameter in the range of 0.5 to 3.0 µm in the spherical silica particles, it is possible to further improve the dielectric properties while suppressing a decrease in the bendability when formed into a film.

또한, 구상 실리카 입자는, 시판품을 적절하게 선정하여 사용할 수 있다. 예를 들어, 구상 크리스토발라이트 실리카 분말(닛테츠 케미컬&머티리얼사 제조, 상품명; CR10-20), 구상 비정질 실리카 분말(닛테츠 케미컬&머티리얼사 제조, 상품명; SC70-2) 등을 바람직하게 사용할 수 있다. 이들은 2종 이상을 병용할 수 있다.In addition, the spherical silica particles can be used by appropriately selecting a commercial item. For example, spherical cristobalite silica powder (manufactured by Nittetsu Chemical & Materials, brand name; CR10-20), spherical amorphous silica powder (manufactured by Nittetsu Chemical & Materials, brand name; SC70-2), etc. can be preferably used. . These can use 2 or more types together.

<배합 조성><Composition composition>

수지 조성물에 있어서의 구상 실리카 입자의 함유량은, 폴리아미드산 또는 폴리이미드에 대해 20 내지 65체적%의 범위 내이고, 바람직하게는 30 내지 60체적%의 범위 내이다. 구상 실리카 입자의 함유 비율이 20체적%에 못 미치면, 유전 정접을 저하시키는 효과가 충분히 얻어지지 않게 된다. 또한, 구상 실리카 입자의 함유 비율이 65체적%를 초과하면, 수지 필름을 형성하였을 때에 깨지기 쉬워, 절곡성이 저하됨과 함께, 수지 필름을 형성하려고 하는 경우, 수지 조성물의 점도가 높아져, 작업성도 저하된다.The content of the spherical silica particles in the resin composition is in the range of 20 to 65% by volume, preferably 30 to 60% by volume with respect to the polyamic acid or polyimide. If the content ratio of the spherical silica particles is less than 20% by volume, the effect of lowering the dielectric loss tangent will not be sufficiently obtained. In addition, when the content ratio of the spherical silica particles exceeds 65% by volume, when the resin film is formed, it is fragile, the bendability decreases, and when a resin film is to be formed, the viscosity of the resin composition increases, resulting in a decrease in workability. do.

본 실시 형태의 수지 조성물은, 유기 용매를 함유할 수 있다. 유기 용매로서는, 예를 들어 N,N-디메틸포름아미드(DMF), N,N-디메틸아세트아미드(DMAc), N,N-디에틸아세트아미드, N-메틸-2-피롤리돈(NMP), 2-부타논, 디메틸술폭시드(DMSO), 헥사메틸포스포르아미드, N-메틸카프로락탐, 황산디메틸, 시클로헥사논, 디옥산, 테트라히드로푸란, 디글라임, 트리글라임, 크레졸 등을 들 수 있다. 이들 용매를 2종 이상 병용할 수도 있고, 나아가 크실렌, 톨루엔과 같은 방향족 탄화수소의 병용도 가능하다. 유기 용매의 함유량으로서는 특별히 제한되는 것은 아니지만, 폴리아미드산 또는 폴리이미드의 농도가 5 내지 30중량% 정도로 되는 사용량으로 조정하여 사용하는 것이 바람직하다.The resin composition of this embodiment can contain an organic solvent. As an organic solvent, for example, N,N-dimethylformamide (DMF), N,N-dimethylacetamide (DMAc), N,N-diethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone (NMP) , 2-butanone, dimethylsulfoxide (DMSO), hexamethylphosphoramide, N-methylcaprolactam, dimethyl sulfate, cyclohexanone, dioxane, tetrahydrofuran, diglyme, triglyme, cresol, etc. I can. Two or more of these solvents may be used in combination, and further, aromatic hydrocarbons such as xylene and toluene may be used in combination. Although it does not specifically limit as content of an organic solvent, It is preferable to use it by adjusting it to an amount used so that the concentration of polyamic acid or polyimide is about 5 to 30 weight%.

또한, 본 실시 형태의 수지 조성물은, 필요에 따라서, 발명의 효과를 손상시키지 않는 범위에서, 상기 조건 a 내지 c를 구비하는 구상 실리카 입자 이외의 무기 필러나, 유기 필러를 함유해도 된다. 구체적으로는, 예를 들어 상기 조건 a 내지 c를 구비하지 않는 실리카 입자나, 산화알루미늄, 산화마그네슘, 산화베릴륨, 질화붕소, 질화알루미늄, 질화규소, 불화알루미늄, 불화칼슘 등의 무기 필러, 불소계 폴리머 입자나 액정 폴리머 입자 등의 유기 필러를 들 수 있다. 이들은 1종 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. 또한 필요에 따라서, 다른 임의 성분으로서 가소제, 경화 촉진제, 커플링제, 충전제, 안료, 난연제 등을 적절하게 배합할 수 있다.Moreover, the resin composition of this embodiment may contain inorganic fillers other than the spherical silica particle provided with the said conditions a-c, and organic fillers, as needed, as long as the effect of the invention is not impaired. Specifically, for example, silica particles not provided with the above conditions a to c, inorganic fillers such as aluminum oxide, magnesium oxide, beryllium oxide, boron nitride, aluminum nitride, silicon nitride, aluminum fluoride, calcium fluoride, and fluorine-based polymer particles And organic fillers such as liquid crystal polymer particles. These can be used alone or in combination of two or more. Further, if necessary, a plasticizer, a curing accelerator, a coupling agent, a filler, a pigment, a flame retardant, and the like can be appropriately blended as other optional components.

<점도><Viscosity>

수지 조성물의 점도는, 수지 조성 입자를 도공할 때의 핸들링성을 높여, 균일한 두께의 도막을 형성하기 쉬운 점도 범위로서, 예를 들어 5000cps 내지 100000cps의 범위 내로 하는 것이 바람직하고, 10000cps 내지 50000cps의 범위 내로 하는 것이 보다 바람직하다. 상기한 점도 범위를 벗어나면, 코터 등에 의한 도공 작업 시에 필름에 두께 불균일, 줄무늬 등의 불량이 발생하기 쉬워진다.The viscosity of the resin composition is a viscosity range in which it is easy to form a coating film having a uniform thickness by increasing the handling properties when coating the resin composition particles.For example, the viscosity is preferably in the range of 5000 cps to 100000 cps, and is preferably in the range of 10000 cps to 50000 cps. It is more preferable to fall within the range. If the viscosity is out of the above range, defects such as uneven thickness and streaks tend to occur in the film during a coating operation with a coater or the like.

<수지 조성물의 조제><Preparation of resin composition>

수지 조성물의 조제 시에는, 예를 들어 폴리아미드산의 수지 용액에 구상 실리카 입자를 직접 배합해도 된다. 혹은, 필러의 분산성을 고려하여, 폴리아미드산의 원료인 산 이무수물 성분 및 디아민 성분 중 어느 한쪽을 투입한 반응 용매에 미리 구상 실리카 입자를 배합한 후, 교반하에서 다른 한쪽의 원료를 투입하여 중합을 진행시켜도 된다. 어느 방법이든, 1회에 구상 실리카 입자를 전량 투입해도 되고, 수회에 나누어 조금씩 첨가해도 된다. 또한, 원료도 일괄적으로 넣어도 되고, 수회에 나누어 조금씩 혼합해도 된다.When preparing the resin composition, for example, spherical silica particles may be directly blended into a resin solution of polyamic acid. Alternatively, in consideration of the dispersibility of the filler, spherical silica particles are previously mixed in a reaction solvent in which either one of the acid dianhydride component and the diamine component, which are the raw materials of the polyamic acid, are added, and then the other raw material is added under stirring. You may advance polymerization. In either method, the whole amount of spherical silica particles may be added at once, or may be added little by little by dividing into several times. In addition, the raw materials may also be put in batch, or may be divided into several times and mixed little by little.

[수지 필름][Resin film]

본 실시 형태의 수지 필름은, 단층 또는 복수층의 폴리이미드층을 갖는 수지 필름이며, 폴리이미드층 중 적어도 1층이, 상기 수지 조성물의 경화물을 포함하는 구상 실리카 함유 폴리이미드층이면 된다.The resin film of the present embodiment is a resin film having a single layer or a plurality of polyimide layers, and at least one of the polyimide layers may be a spherical silica-containing polyimide layer containing a cured product of the resin composition.

수지 필름 중에서, 수지 조성물에 의해 형성되는 구상 실리카 함유 폴리이미드층의 두께는, 예를 들어 5 내지 150㎛의 범위 내인 것이 바람직하고, 45 내지 100㎛의 범위 내인 것이 보다 바람직하다. 또한, 구상 실리카 입자의 입자경 D100이 구상 실리카 함유 폴리이미드층의 두께에 대해 0.05 내지 0.7의 범위 내인 것이 바람직하다. 구상 실리카 입자의 입자경 D100이 구상 실리카 함유 폴리이미드층의 두께에 대해 0.05를 하회하는 경우는, 유전 특성의 개선 효과가 불충분해지는 경우가 있고, 0.7을 초과하는 경우는, 구상 실리카 함유 폴리이미드층의 표면의 평활성이 손상되어, 수지 필름을 형성하였을 때에 절곡성이 저하되는 경우가 있다.Among the resin films, the thickness of the spherical silica-containing polyimide layer formed from the resin composition is preferably in the range of 5 to 150 µm, and more preferably in the range of 45 to 100 µm. In addition, it is preferable that the particle diameter D 100 of the spherical silica particles is in the range of 0.05 to 0.7 with respect to the thickness of the spherical silica-containing polyimide layer. When the particle diameter D 100 of the spherical silica particles is less than 0.05 to the thickness of the spherical silica-containing polyimide layer, the effect of improving dielectric properties may be insufficient, and when it exceeds 0.7, the spherical silica-containing polyimide layer The smoothness of the surface of is impaired, and when a resin film is formed, the bendability may fall.

수지 필름 전체의 두께는, 예를 들어 5 내지 150㎛의 범위 내인 것이 바람직하고, 45 내지 80㎛의 범위 내가 보다 바람직하다. 수지 필름의 두께가 5㎛에 못 미치면, 금속 피복 적층판의 제조 시의 반송 공정에서 금속박에 주름이 생기는 등의 문제점이 발생하기 쉬워진다. 반대로, 수지 필름의 두께가 100㎛를 초과하면 수지 필름의 절곡성이 저하되는 등의 점에서 불리해지는 경향이 된다.The thickness of the entire resin film is preferably in the range of 5 to 150 µm, and more preferably in the range of 45 to 80 µm. If the thickness of the resin film is less than 5 µm, problems such as wrinkles are likely to occur in the metal foil in the conveyance process during the manufacture of the metal-clad laminate. Conversely, when the thickness of the resin film exceeds 100 µm, it tends to be disadvantageous in terms of lowering the bendability of the resin film.

또한, 수지 필름의 전체의 두께에 대한 구상 실리카 함유 폴리이미드층의 두께의 비율은, 50% 이상인 것이 바람직하다. 수지 필름의 전체의 두께에 대한 구상 실리카 함유 폴리이미드층의 두께의 비율이 50% 미만이면, 유전 특성의 개선 효과가 충분히 얻어지지 않는다.In addition, it is preferable that the ratio of the thickness of the spherical silica-containing polyimide layer to the overall thickness of the resin film is 50% or more. If the ratio of the thickness of the spherical silica-containing polyimide layer to the total thickness of the resin film is less than 50%, the effect of improving the dielectric properties cannot be sufficiently obtained.

구상 실리카 함유 폴리이미드층을 형성하는 방법은, 특별히 한정되는 것은 아니며 공지의 방법을 채용할 수 있다. 여기서는, 그 가장 대표적인 예를 나타낸다.The method of forming the spherical silica-containing polyimide layer is not particularly limited, and a known method can be employed. Here, the most representative example is shown.

먼저, 수지 조성물을 임의의 지지 기재 상에 직접 유연 도포하여 도포막을 형성한다. 다음으로, 도포막을 150℃ 이하의 온도에서 어느 정도 용매를 건조 제거한다. 수지 조성물이 폴리아미드산을 함유하는 경우는, 그 후, 도포막에 대해, 이미드화를 위해 100 내지 400℃, 바람직하게는 130 내지 360℃의 온도 범위에서 5 내지 30분간 정도의 열처리를 더 행한다. 이와 같이 하여 지지 기재 상에 구상 실리카 함유 폴리이미드층을 형성할 수 있다. 2층 이상의 폴리이미드층으로 하는 경우, 제1 폴리아미드산의 수지 용액을 도포, 건조한 후, 제2 폴리아미드산의 수지 용액을 도포, 건조한다. 그 이후에는, 마찬가지로 하여 제3 폴리아미드산의 수지 용액, 다음으로 제4 폴리아미드산의 수지 용액, ···이라고 하는 것과 같이, 폴리아미드산의 수지 용액을, 필요한 횟수만큼 순차 도포하고, 건조한다. 그 후, 통합하여 100 내지 400℃의 온도 범위에서 5 내지 30분간 정도의 열처리를 행하여, 이미드화를 행하는 것이 좋다. 열처리 온도가 100℃보다 낮으면 폴리이미드의 탈수 폐환 반응이 충분히 진행되지 않고, 반대로 400℃를 초과하면, 폴리이미드층이 열화될 우려가 있다.First, a resin composition is directly cast onto an arbitrary supporting substrate to form a coating film. Next, the coating film is dried and removed from the solvent to some extent at a temperature of 150°C or less. When the resin composition contains polyamic acid, after that, the coating film is further subjected to heat treatment for about 5 to 30 minutes at a temperature range of 100 to 400°C, preferably 130 to 360°C for imidization. . In this way, a spherical silica-containing polyimide layer can be formed on the supporting substrate. In the case of using two or more polyimide layers, a resin solution of a first polyamic acid is applied and dried, and then a resin solution of a second polyamic acid is applied and dried. Thereafter, in the same manner, a resin solution of a third polyamic acid, then a resin solution of a fourth polyamic acid, etc., a resin solution of a polyamic acid is sequentially applied as many times as necessary, followed by drying. do. After that, it is preferable to perform imidization by performing heat treatment for about 5 to 30 minutes at a temperature range of 100 to 400°C. If the heat treatment temperature is lower than 100°C, the dehydration ring closure reaction of the polyimide does not proceed sufficiently, whereas if it exceeds 400°C, the polyimide layer may be deteriorated.

또한, 구상 실리카 함유 폴리이미드층을 형성하는 다른 예를 든다.Further, another example of forming the spherical silica-containing polyimide layer will be given.

먼저, 임의의 지지 기재 상에, 수지 조성물을 유연 도포하여 필름상 성형한다. 이 필름상 성형물을, 지지 기재 상에서 가열 건조시킴으로써 자기 지지성을 갖는 겔 필름으로 한다. 겔 필름을 지지 기재로부터 박리한 후, 수지 조성물이 폴리아미드산을 함유하는 경우는, 더 고온에서 열처리하여, 이미드화시켜 폴리이미드의 수지 필름으로 한다.First, on an arbitrary supporting substrate, a resin composition is cast and formed into a film. This film-like molded article is heated and dried on a supporting substrate to obtain a gel film having self-supporting properties. After peeling the gel film from the supporting substrate, when the resin composition contains a polyamic acid, it is subjected to heat treatment at a higher temperature and imidized to obtain a polyimide resin film.

구상 실리카 함유 폴리이미드층의 형성에 사용하는 지지 기재는, 특별히 한정되는 것은 아니며, 임의의 재질의 기재를 사용할 수 있다. 또한, 수지 필름의 형성 시에는, 지지 기재 상에서 완전히 이미드화를 완료시킨 수지 필름을 형성할 필요는 없다. 예를 들어, 반경화 상태의 폴리이미드 전구체 상태에서의 수지 필름을 지지 기재로부터 박리 등의 수단으로 분리하고, 분리 후 이미드화를 완료시켜 수지 필름으로 할 수도 있다.The supporting base material used for formation of the spherical silica-containing polyimide layer is not particularly limited, and a base material of any material may be used. In addition, at the time of formation of a resin film, it is not necessary to form the resin film in which imidization was completed completely on the support base material. For example, the resin film in the state of a polyimide precursor in a semi-cured state may be separated from the supporting substrate by means such as peeling, and the imidization may be completed after separation to obtain a resin film.

수지 필름은, 구상 실리카 입자 등의 무기 필러를 함유하는 폴리이미드층(상기 구상 실리카 함유 폴리이미드층을 포함함)만을 포함해도 되고, 무기 필러를 함유하지 않는 폴리이미드층을 가져도 된다. 수지 필름을 복수층의 적층 구조로 하는 경우, 유전 특성의 개선을 고려하면 모든 층에 무기 필러를 함유시키는 것이 바람직하다. 단, 무기 필러를 함유하는 폴리이미드층의 인접층을, 무기 필러를 함유하지 않는 층으로 하거나, 혹은 그 함유량이 낮은 층으로 함으로써, 가공 시 등의 무기 필러의 활락을 방지할 수 있다고 하는 유리한 효과를 갖게 할 수 있다. 무기 필러를 함유하지 않는 폴리이미드층을 갖는 경우, 그 두께는, 예를 들어 무기 필러를 함유하는 폴리이미드층의 1/100 내지 1/2의 범위 내, 바람직하게는 1/20 내지 1/3의 범위 내로 하는 것이 좋다. 무기 필러를 함유하지 않는 폴리이미드층을 갖는 경우, 그 폴리이미드층이 금속층에 접하도록 하면, 금속층과 절연 수지층의 접착성이 향상된다.The resin film may contain only a polyimide layer containing an inorganic filler such as spherical silica particles (including the spherical silica-containing polyimide layer), or may have a polyimide layer not containing an inorganic filler. In the case where the resin film has a multi-layered structure, in consideration of improvement in dielectric properties, it is preferable to contain inorganic fillers in all of the layers. However, by making the adjacent layer of the polyimide layer containing the inorganic filler a layer that does not contain an inorganic filler or a layer with a low content thereof, it is an advantageous effect that sliding of the inorganic filler, such as during processing, can be prevented. You can have. In the case of having a polyimide layer not containing an inorganic filler, the thickness thereof is, for example, within the range of 1/100 to 1/2, preferably 1/20 to 1/3 of the polyimide layer containing the inorganic filler. It is better to be within the range of. In the case of having a polyimide layer that does not contain an inorganic filler, when the polyimide layer is brought into contact with the metal layer, the adhesion between the metal layer and the insulating resin layer is improved.

수지 필름의 열팽창 계수(CTE)는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 5×10-6 내지 40×10-6/K(5 내지 40ppm/K)의 범위 내에 있는 것이 바람직하고, 10×10-6 내지 35×10-6/K(10 내지 35ppm/K)의 범위 내가 보다 바람직하다. 수지 필름의 열팽창 계수가 5×10-6/K보다 작으면, 금속 피복 적층판으로 한 후에 컬이 발생하기 쉬워 핸들링성이 떨어진다. 한편, 수지 필름의 열팽창 계수가 40×10-6/K를 초과하면, 플렉시블 기판 등 전자 재료로서의 치수 안정성이 떨어지고, 또한 내열성도 저하되는 경향이 있다.Coefficient of thermal expansion (CTE) of the resin film is not particularly limited, for example, 5 × 10 -6 to 40 × 10 -6 / K (5 to 40ppm / K), and preferably, 10 × 10 in the range of - It is more preferable within the range of 6 to 35×10 -6 /K (10 to 35 ppm/K). When the coefficient of thermal expansion of the resin film is less than 5×10 −6 /K, curling is likely to occur after setting it as a metal-clad laminate, and handling property is inferior. On the other hand, when the coefficient of thermal expansion of the resin film exceeds 40 × 10 -6 /K, the dimensional stability as an electronic material such as a flexible substrate is inferior, and heat resistance tends to decrease.

<유전 정접><genetic tangent>

수지 필름은, 예를 들어 회로 기판의 절연 수지층으로서 적용하는 경우에 있어서, 고주파 신호의 전송 시에 있어서의 유전 손실을 저감하기 위해, 필름 전체적으로, 스플릿 포스트 유전체 공진기(SPDR)에 의해 측정하였을 때의 10㎓에 있어서의 유전 정접(Tanδ)이, 0.005 이하인 것이 바람직하고, 0.004 이하인 것이 보다 바람직하다. 회로 기판의 전송 손실을 개선하기 위해서는, 특히 절연 수지층의 유전 정접을 제어하는 것이 중요하고, 유전 정접을 상기 범위 내로 함으로써, 전송 손실을 낮추는 효과가 증대된다. 따라서, 수지 필름을, 예를 들어 고주파 회로 기판의 절연 수지층으로서 적용하는 경우, 전송 손실을 효율적으로 저감할 수 있다. 10㎓에 있어서의 유전 정접이 0.005를 초과하면, 수지 필름을 회로 기판의 절연 수지층으로서 적용하였을 때, 고주파 신호의 전송 경로 상에서 전기 신호의 손실이 커지는 등의 문제점이 발생하기 쉬워진다. 10㎓에 있어서의 유전 정접의 하한값은 특별히 제한되지 않지만, 수지 필름을 회로 기판의 절연 수지층으로서 적용하는 경우의 물성 제어를 고려할 필요가 있다.When the resin film is applied as an insulating resin layer of a circuit board, for example, in order to reduce dielectric loss during transmission of high-frequency signals, the whole film is measured by a split post dielectric resonator (SPDR). It is preferable that it is 0.005 or less, and, as for the dielectric loss tangent (Tan δ) in 10 GHz of, it is more preferable that it is 0.004 or less. In order to improve the transmission loss of the circuit board, it is particularly important to control the dielectric loss tangent of the insulating resin layer, and by making the dielectric loss tangent within the above range, the effect of lowering the transmission loss is increased. Therefore, when a resin film is applied as an insulating resin layer of a high frequency circuit board, for example, transmission loss can be efficiently reduced. When the dielectric loss tangent at 10 GHz exceeds 0.005, when a resin film is applied as an insulating resin layer of a circuit board, problems such as an increase in electric signal loss on a transmission path of a high frequency signal are liable to occur. Although the lower limit of the dielectric loss tangent in 10 GHz is not particularly limited, it is necessary to consider the control of physical properties when a resin film is applied as an insulating resin layer of a circuit board.

<비유전율><Relative permittivity>

수지 필름은, 예를 들어 회로 기판의 절연 수지층으로서 적용하는 경우에 있어서, 임피던스 정합성을 확보하기 위해, 필름 전체적으로, 3 내지 20㎓에 있어서의 비유전율이 4.0 이하인 것이 바람직하다. 3 내지 20㎓에 있어서의 비유전율이 4.0을 초과하면, 수지 필름을 회로 기판의 절연 수지층으로서 적용하였을 때, 유전 손실의 악화로 이어져, 고주파 신호의 전송 경로 상에서 전기 신호의 손실이 커지는 등의 문제점이 발생하기 쉬워진다.When the resin film is applied as an insulating resin layer of a circuit board, for example, in order to ensure impedance matching, it is preferable that the relative dielectric constant in the film as a whole is 4.0 or less in 3 to 20 GHz. If the relative dielectric constant in 3 to 20 GHz exceeds 4.0, when a resin film is applied as an insulating resin layer of a circuit board, it leads to deterioration of dielectric loss, and the loss of electric signals on the transmission path of high frequency signals increases. Problems become more prone to occur.

<금속 피복 적층판><Metal Clad Laminate>

본 실시 형태의 금속 피복 적층판은, 절연 수지층과, 이 절연 수지층의 적어도 한쪽 면에 적층된 금속층을 구비한 금속 피복 적층판이며, 절연 수지층의 적어도 1층이 상기 수지 필름을 포함한다. 금속 피복 적층판은, 절연 수지층의 편면측에만 금속층을 갖는 편면 금속 피복 적층판이어도 되고, 절연 수지층의 양면에 금속층을 갖는 양면 금속 피복 적층판이어도 된다.The metal-clad laminate of the present embodiment is a metal-clad laminate comprising an insulating resin layer and a metal layer laminated on at least one side of the insulating resin layer, and at least one layer of the insulating resin layer contains the resin film. The metal-clad laminate may be a single-sided metal-clad laminate having a metal layer only on one side of the insulating resin layer, or a double-sided metal-clad laminate having metal layers on both sides of the insulating resin layer.

본 실시 형태의 금속 피복 적층판은, 무기 필러를 함유하는 폴리이미드층과 금속박을 접착하기 위한 접착제를 사용하는 것을 제외하는 것은 아니다. 단, 절연 수지층의 양면에 금속층을 갖는 양면 금속 피복 적층판에 있어서 접착층을 개재시키는 경우에는, 접착층의 두께는, 유전 특성을 손상시키지 않도록, 전체 절연 수지층의 두께의 30% 미만으로 하는 것이 바람직하고, 20% 미만으로 하는 것이 보다 바람직하다. 또한, 절연 수지층의 편면에만 금속층을 갖는 편면 금속 피복 적층판에 있어서 접착층을 개재시키는 경우에는, 접착층의 두께는, 유전 특성을 손상시키지 않도록, 전체 절연 수지층의 두께의 15% 미만으로 하는 것이 바람직하고, 10% 미만으로 하는 것이 보다 바람직하다. 또한, 접착층은 절연 수지층의 일부를 구성하므로, 폴리이미드층인 것이 바람직하다. 절연 수지층의 주된 재질인 폴리이미드의 유리 전이 온도는, 내열성을 부여하는 관점에서 300℃ 이상으로 하는 것이 바람직하다. 유리 전이 온도를 300℃ 이상으로 하려면, 폴리이미드를 구성하는 상기한 산 이무수물이나 디아민 성분을 적절하게 선택함으로써 가능해진다.The metal-clad laminate of the present embodiment does not exclude the use of an adhesive for bonding the polyimide layer containing the inorganic filler and the metal foil. However, in the case of interposing an adhesive layer in a double-sided metal-clad laminate having metal layers on both sides of the insulating resin layer, the thickness of the adhesive layer is preferably less than 30% of the thickness of the entire insulating resin layer so as not to impair the dielectric properties. And more preferably less than 20%. In addition, in the case of interposing an adhesive layer in a single-sided metal-clad laminate having a metal layer only on one side of the insulating resin layer, the thickness of the adhesive layer is preferably less than 15% of the thickness of the entire insulating resin layer so as not to impair the dielectric properties. And more preferably less than 10%. In addition, since the adhesive layer constitutes a part of the insulating resin layer, it is preferably a polyimide layer. From the viewpoint of imparting heat resistance, the glass transition temperature of the polyimide, which is the main material of the insulating resin layer, is preferably set to 300°C or higher. To set the glass transition temperature to 300°C or higher, it becomes possible by appropriately selecting the above-described acid dianhydride or diamine component constituting the polyimide.

수지 필름을 절연 수지층으로 하는 금속 피복 적층판을 제조하는 방법으로서는, 예를 들어 수지 필름에 직접, 또는 임의의 접착제를 통해 금속박을 가열 압착하는 방법이나, 금속 증착 등의 방법에 의해 수지 필름에 금속층을 형성하는 방법 등을 들 수 있다. 또한, 양면 금속 피복 적층판은, 예를 들어 편면 금속 피복 적층판을 형성한 후, 서로 폴리이미드층을 대향하게 하여 열 프레스에 의해 압착하여 형성하는 방법이나, 편면 금속 피복 적층판의 폴리이미드층에 금속박을 압착하여 형성하는 방법 등에 의해 얻을 수 있다.As a method of manufacturing a metal-clad laminate using a resin film as an insulating resin layer, for example, a metal layer on a resin film by heat-pressing a metal foil directly on the resin film or through an optional adhesive, or by a method such as metal vapor deposition. A method of forming, etc. are mentioned. In addition, the double-sided metal-clad laminate is, for example, a method of forming a single-sided metal-clad laminate, and then making the polyimide layers face each other and pressing by hot pressing, or applying a metal foil to the polyimide layer of the single-sided metal-clad laminate. It can be obtained by a method of forming by pressing or the like.

<금속층><Metal layer>

금속층의 재질로서는, 특별히 제한은 없지만, 예를 들어 구리, 스테인리스, 철, 니켈, 베릴륨, 알루미늄, 아연, 인듐, 은, 금, 주석, 지르코늄, 탄탈, 티타늄, 납, 마그네슘, 망간 및 이들의 합금 등을 들 수 있다. 이 중에서도, 특히 구리 또는 구리 합금이 바람직하다. 금속층은, 금속박을 포함하는 것이어도 되고, 필름에 금속 증착한 것이어도 된다. 또한, 수지 조성물을 직접 도포 가능하다는 점에서, 금속박이어도, 금속판이어도 사용 가능하며, 구리박 혹은 구리판이 바람직하다.The material of the metal layer is not particularly limited, but, for example, copper, stainless steel, iron, nickel, beryllium, aluminum, zinc, indium, silver, gold, tin, zirconium, tantalum, titanium, lead, magnesium, manganese, and alloys thereof And the like. Among these, copper or a copper alloy is particularly preferable. The metal layer may include a metal foil, or may be formed by metal vapor deposition on a film. In addition, since a resin composition can be applied directly, a metal foil or a metal plate can be used, and a copper foil or a copper plate is preferable.

금속층의 두께는, 금속 피복 적층판의 사용 목적에 따라서 적절하게 설정되기 때문에 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 5㎛ 내지 3㎜의 범위 내가 바람직하고, 12㎛ 내지 1㎜의 범위 내가 보다 바람직하다. 금속층의 두께가 5㎛에 못 미치면, 금속 피복 적층판의 제조 등에 있어서의 반송 시에 주름이 생기는 등의 문제점이 발생할 우려가 있다. 반대로 금속층의 두께가 3㎜를 초과하면 단단하여 가공성이 나빠진다. 금속층의 두께에 대해서는, 일반적으로, 차량 탑재용 회로 기판 등의 용도로는 두꺼운 것이 적합하고, LED용 회로 기판 등의 용도 등에서는 얇은 금속층이 적합하다.The thickness of the metal layer is not particularly limited because it is appropriately set according to the purpose of use of the metal-clad laminate, but is preferably in the range of 5 µm to 3 mm, and more preferably in the range of 12 µm to 1 mm. If the thickness of the metal layer is less than 5 µm, there is a concern that problems such as wrinkles may occur during transport in the manufacture of a metal-clad laminate or the like. Conversely, if the thickness of the metal layer exceeds 3 mm, it is hard and workability deteriorates. As for the thickness of the metal layer, generally, a thick one is suitable for applications such as a vehicle-mounted circuit board, and a thin metal layer is suitable for applications such as an LED circuit board.

실시예Example

이하에 실시예를 나타내어, 본 발명의 특징을 보다 구체적으로 설명한다. 단, 본 발명의 범위는, 실시예에 한정되지 않는다. 또한, 이하의 실시예에 있어서, 특별히 언급하지 않는 한 각종 측정, 평가는 하기에 의한 것이다.Hereinafter, examples are shown, and the features of the present invention will be described in more detail. However, the scope of the present invention is not limited to the examples. In addition, in the following examples, various measurements and evaluations are as follows, unless otherwise specified.

[점도의 측정][Measurement of viscosity]

수지 용액의 점도는 E형 점도계(브룩필드사 제조, 상품명; DV-II+Pro)를 사용하여, 25℃에서의 점도를 측정하였다. 토크가 10% 내지 90%로 되도록 회전수를 설정하고, 측정을 개시하고 나서 1분 경과 후, 점도가 안정되었을 때의 값을 판독하였다.The viscosity of the resin solution was measured at 25°C using an E-type viscometer (manufactured by Brookfield, brand name; DV-II+Pro). The rotational speed was set so that the torque became 10% to 90%, and 1 minute after the measurement was started, the value when the viscosity stabilized was read.

[비유전율 및 유전 정접의 측정][Measurement of relative permittivity and dielectric loss tangent]

<실리카 입자><Silica particles>

공동 공진기 섭동법에 의한 간토 덴시 오요 가이하츠사 제조의 유전율 측정 장치를 사용하여, 유전율 측정 모드; TM101로 설정하고, 주파수 10㎓에 있어서의 실리카 입자의 비유전율(ε1) 및 유전 정접(Tanδ1)을 측정하였다. 또한, 시료관 튜브의 내경은 1.68㎜, 외경은 2.8㎜, 높이는 8㎝이다.Using a dielectric constant measuring device manufactured by Kanto Denshi Oyo Kaihatsu Co., Ltd. by a cavity resonator perturbation method, the dielectric constant measuring mode; It was set to TM101, and the relative dielectric constant (ε1) and dielectric loss tangent (Tanδ1) of the silica particles at a frequency of 10 GHz were measured. In addition, the inner diameter of the sample tube tube is 1.68 mm, the outer diameter is 2.8 mm, and the height is 8 cm.

<수지 필름><resin film>

비유전율 및 유전 정접은, 벡터 네트워크 애널라이저(Agilent사 제조, 상품명; 벡터 네트워크 애널라이저 E8363C) 및 SPDR 공진기를 사용하여, 주파수 10㎓에 있어서의 수지 필름(경화 후의 수지 필름)의 비유전율(ε1) 및 유전 정접(Tanδ1)을 측정하였다. 또한, 측정에 사용한 수지 필름은, 온도; 24 내지 26℃, 습도; 45 내지 55%의 조건하에서, 24시간 방치한 것이다.The relative dielectric constant and dielectric loss tangent are the relative dielectric constant (ε1) of the resin film (resin film after curing) at a frequency of 10 GHz using a vector network analyzer (manufactured by Agilent, brand name; Vector Network Analyzer E8363C) and an SPDR resonator. The dielectric loss tangent (Tanδ1) was measured. In addition, the resin film used for measurement is temperature; 24 to 26°C, humidity; It left to stand for 24 hours under the conditions of 45-55%.

[선 열팽창 계수(CTE)의 측정 방법][Measurement method of linear thermal expansion coefficient (CTE)]

3㎜×20㎜의 사이즈의 수지 필름을, 서모 메커니컬 애널라이저(Bruker사 제조, 상품명; 4000SA)를 사용하여, 5.0g의 하중을 가하면서 일정한 승온 속도로 30℃로부터 265℃까지 승온시키고, 또한 그 온도에서 10분 유지한 후, 5℃/분의 속도로 냉각하여, 200℃로부터 100℃까지의 평균 열팽창 계수(열팽창 계수)를 구하였다.A resin film having a size of 3 mm x 20 mm was heated from 30° C. to 265° C. at a constant heating rate while applying a load of 5.0 g using a thermomechanical analyzer (manufactured by Bruker, brand name: 4000SA), and further After holding at the temperature for 10 minutes, it was cooled at a rate of 5°C/min, and the average coefficient of thermal expansion (coefficient of thermal expansion) from 200°C to 100°C was calculated.

[입경의 측정 방법][Measurement method of particle diameter]

레이저 회절식 입도 분포 측정 장치(말번사 제조, 상품명; Master Sizer 3000)를 사용하여, 레이저 회절·산란식 측정 방식에 의한 입자경의 측정을 행하였다.Using a laser diffraction type particle size distribution measuring apparatus (manufactured by Malvern, brand name: Master Sizer 3000), the particle diameter was measured by a laser diffraction/scattering type measurement method.

[진비중의 측정 방법][Measurement method of true specific gravity]

연속 자동 분체 진밀도 측정 장치(세이신 기교사 제조, 상품명; AUTO TRUE DENSERMAT-7000)를 사용하여, 피크노미터법(액상 치환법)으로 측정하였다.It was measured by the pycnometer method (liquid substitution method) using a continuous automatic powder true density measuring apparatus (made by Seishin Engineering Co., Ltd., brand name; AUTO TRUE DENSERMAT-7000).

[절곡성의 평가][Evaluation of bendability]

JISK5600-1에 준거하여, 5㎝×10㎝ 사이즈의 수지 필름의 긴 변의 중심을, 5㎜φ의 금속봉에 감듯이 1 내지 2초에 걸쳐 균일하게 구부려, 수지 필름이 180° 절곡되어도 파단 또는 크랙이 발생하지 않는 것을 「양호」, 파단 또는 크랙이 발생하는 것을 「불가」로 하였다.According to JISK5600-1, the center of the long side of a 5cm×10cm sized resin film is evenly bent over 1 to 2 seconds as if winding it around a 5mmφ metal rod, and even if the resin film is bent 180°, it is broken or cracked. What did not generate|occur|produce was made into "good", and a break or crack was made into "impossible".

합성예 및 비교예, 실시예에 사용한 약호는, 이하의 화합물을 나타낸다.The abbreviations used in Synthesis Examples, Comparative Examples, and Examples represent the following compounds.

PMDA: 피로멜리트산 이무수물PMDA: pyromellitic dianhydride

BPDA: 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물BPDA: 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride

BAPP: 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판BAPP: 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane

m-TB: 2,2'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐m-TB: 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl

DMAc: N,N-디메틸아세트아미드DMAc: N,N-dimethylacetamide

필러 1: 닛테츠 케미컬&머티리얼사 제조, 상품명; CR10-20(구상 크리스토발라이트 실리카 분말, 진구상, 실리카 함유율; 99.4중량%, 크리스토발라이트상; 98중량%, 진비중; 2.33, 비표면적; 0.63㎡/g, D50; 10.8㎛, D90; 16.4㎛, D100; 24.1㎛, 빈도 극댓값 F1의 입자경; 11.2㎛, 빈도 극댓값 F1; 10.6%, 빈도 극댓값 F2의 입자경; 1.0㎛, 빈도 극댓값 F2; 1.4%, F1/F2; 11.2, 10㎓에 있어서의 비유전율; 3.16, 10㎓에 있어서의 유전 정접; 0.0008)Filler 1: manufactured by Nittetsu Chemical & Materials Co., Ltd., a brand name; CR10-20 (spherical cristobalite silica powder, true sphere, silica content; 99.4 wt%, cristobalite phase; 98 wt%, true specific gravity; 2.33, specific surface area; 0.63 m 2 /g, D 50 ; 10.8 µm, D 90 ; 16.4 µm , D 100 ; 24.1 μm, the particle diameter of the maximum frequency F1; 11.2 μm, the maximum frequency F1; 10.6%, the particle diameter of the maximum frequency F2; 1.0 μm, the maximum frequency F2; 1.4%, F1/F2; at 11.2, 10 GHz Relative dielectric constant; 3.16, dielectric loss tangent at 10 GHz; 0.0008)

필러 2: 닛테츠 케미컬&머티리얼사 제조, 상품명; SC70-2(구상 비정질 실리카 분말, 진구상, 실리카 함유율; 99.9중량%, 진비중; 2.33, 비표면적; 1.1㎡/g, D50; 11.7㎛, D90; 16.4㎛, D100; 24.1㎛, 빈도 극댓값 F1의 입자경; 11.2㎛, 빈도 극댓값 F1; 10.8%, 빈도 극댓값 F2의 입자경; 1.5㎛, 빈도 극댓값 F2; 1.2%, F1/F2; 7.5, 10㎓에 있어서의 비유전율; 3.08, 10㎓에 있어서의 유전 정접; 0.0015)Filler 2: manufactured by Nittetsu Chemical & Materials, a brand name; SC70-2 (spherical amorphous silica powder, true sphere, silica content; 99.9% by weight, true specific gravity; 2.33, specific surface area; 1.1 m2/g, D 50 ; 11.7 μm, D 90 ; 16.4 μm, D 100 ; 24.1 μm, Particle diameter of maximum frequency F1; 11.2 µm, maximum frequency F1; 10.8%, particle diameter of maximum frequency F2; 1.5 µm, maximum frequency F2; 1.2%, F1/F2; 7.5, relative dielectric constant at 10 GHz; 3.08, 10 GHz Dielectric loss tangent in; 0.0015)

필러 3: 닛테츠 케미컬&머티리얼사 제조, 상품명; SP40-10(구상 비정질 실리카 분말, 진구상, 실리카 함유율; 99.9중량%, 진비중; 2.21, 비표면적; 8.6㎡/g, D50; 2.5㎛, D90; 3.6㎛, D100; 7.0㎛, 빈도 극댓값 F1의 입자경; 2.2㎛, 빈도 극댓값 F1; 9.0%, 빈도 극댓값 F2의 입자경; 0.9㎛, 빈도 극댓값 F2; 4.3%, F1/F2; 2.4, 10㎓에 있어서의 비유전율; 2.78, 10㎓에 있어서의 유전 정접; 0.0030)Filler 3: manufactured by Nittetsu Chemical & Materials Co., Ltd., a brand name; SP40-10 (spherical amorphous silica powder, true sphere, silica content; 99.9% by weight, true specific gravity; 2.21, specific surface area; 8.6 m 2 /g, D 50 ; 2.5 µm, D 90 ; 3.6 µm, D 100 ; 7.0 µm, The particle diameter of the maximum frequency value F1; 2.2 µm, the maximum frequency value F1; 9.0%, the particle diameter of the maximum frequency value F2; 0.9 占퐉, the maximum frequency value F2; 4.3%, F1/F2; The relative dielectric constant at 2.4 and 10 GHz; 2.78, 10 GHz Dielectric loss tangent in; 0.0030)

(합성예 1)(Synthesis Example 1)

300ml의 세퍼러블 플라스크에, 21.65g의 m-TB(101.66mmol), 255g의 DMAc를 투입하고, 실온, 질소 기류하에서 교반하였다. 완전히 용해한 후, 17.46g의 PMDA(80.03mmol) 및 5.90g의 BPDA(20.01mmol)를 첨가하고, 실온에서 18시간 교반하여 폴리아미드산 용액 A(고형분 농도; 15%)를 얻었다. 얻어진 폴리아미드산 용액 A의 점도는 22,400cps였다.To a 300 ml separable flask, 21.65 g of m-TB (101.66 mmol) and 255 g of DMAc were added, followed by stirring at room temperature under a nitrogen stream. After completely dissolving, 17.46 g of PMDA (80.03 mmol) and 5.90 g of BPDA (20.01 mmol) were added, followed by stirring at room temperature for 18 hours to obtain a polyamic acid solution A (solid content: 15%). The viscosity of the obtained polyamic acid solution A was 22,400 cps.

(합성예 2)(Synthesis Example 2)

300ml의 세퍼러블 플라스크에, 29.21g의 BAPP(71.15mmol), 255g의 DMAc를 투입하고, 실온, 질소 기류하에서 교반하였다. 완전히 용해한 후, 14.74g의 PMDA(67.60mmol), 1.05g의 BPDA(3.56mmol)를 첨가하고, 실온에서 18시간 교반하여 폴리아미드산 용액 B를 얻었다. 얻어진 폴리아미드산 용액 B(고형분 농도; 15%)의 점도는 21,074cps였다.To a 300 ml separable flask, 29.21 g of BAPP (71.15 mmol) and 255 g of DMAc were added, followed by stirring at room temperature under a nitrogen stream. After completely dissolving, 14.74 g of PMDA (67.60 mmol) and 1.05 g of BPDA (3.56 mmol) were added, followed by stirring at room temperature for 18 hours to obtain a polyamic acid solution B. The viscosity of the obtained polyamic acid solution B (solid content concentration: 15%) was 21,074 cps.

[실시예 1][Example 1]

70.0g의 폴리아미드산 용액 A 및 7.8g의 필러 1을 혼합하고, 눈으로 보아 균일한 용액이 될 때까지 교반하여, 폴리아미드산 용액 1(점도; 24,800cps, 폴리아미드산에 대한 필러의 함유율; 32.6체적%)을 조제하였다.70.0 g of polyamic acid solution A and 7.8 g of filler 1 were mixed and stirred until a visually homogeneous solution was obtained, and polyamic acid solution 1 (viscosity; 24,800 cps, content of filler to polyamic acid) ; 32.6 vol%) was prepared.

구리박 1(전해 구리박, 두께; 12㎛) 상에 폴리아미드산 용액 1을 도포하고, 130℃에서 3분간 건조시켰다. 그 후, 155℃로부터 360℃까지 단계적인 열처리를 행하여 이미드화하여, 금속 피복 적층판 1을 조제하였다.The polyamic acid solution 1 was applied on the copper foil 1 (electrolytic copper foil, thickness: 12 µm), and dried at 130°C for 3 minutes. Thereafter, heat treatment was performed in stages from 155°C to 360°C to imidize to prepare a metal-clad laminate 1.

금속 피복 적층판 1의 구리박을 에칭 제거하여, 수지 필름 1을 조제하였다. 수지 필름 1(두께; 46.1㎛)의 비유전율은 2.78, 유전 정접은 0.0037, CTE는 34ppm/K이고, 절곡성은 양호였다. 수지 필름 1의 평가 결과를 표 1에 나타낸다.The copper foil of the metal-clad laminate 1 was etched away, and a resin film 1 was prepared. Resin film 1 (thickness: 46.1 µm) had a relative dielectric constant of 2.78, a dielectric loss tangent of 0.0037, a CTE of 34 ppm/K, and a good bendability. Table 1 shows the evaluation results of the resin film 1.

[실시예 2][Example 2]

60.0g의 폴리아미드산 용액 A 및 20.0g의 필러 1을 혼합하고, 눈으로 보아 균일한 용액이 될 때까지 교반하여, 폴리아미드산 용액 2(점도; 28,400cps, 폴리아미드산에 대한 필러의 함유율; 59.2체적%)를 조제하였다.60.0 g of polyamic acid solution A and 20.0 g of filler 1 were mixed and stirred until a homogeneous solution was visually observed, and polyamic acid solution 2 (viscosity; 28,400 cps, content of filler to polyamic acid) ; 59.2 vol%) was prepared.

실시예 1과 마찬가지로 하여, 금속 피복 적층판 2 및 수지 필름 2를 조제하였다. 수지 필름 2(두께; 78.1㎛)의 비유전율은 2.71, 유전 정접은 0.0028, CTE는 34ppm/K이고, 절곡성은 양호였다. 수지 필름 2의 평가 결과를 표 1에 나타낸다.In the same manner as in Example 1, a metal-clad laminate 2 and a resin film 2 were prepared. Resin film 2 (thickness: 78.1 µm) had a relative dielectric constant of 2.71, a dielectric loss tangent of 0.0028, a CTE of 34 ppm/K, and a good bendability. Table 1 shows the evaluation results of the resin film 2.

[실시예 3][Example 3]

58.7g의 폴리아미드산 용액 B 및 6.1g의 필러 1을 혼합하고, 눈으로 보아 균일한 용액이 될 때까지 교반하여, 폴리아미드산 용액 3(점도; 23,000cps, 폴리아미드산에 대한 필러의 함유율; 30.0체적%)을 조제하였다.58.7 g of polyamic acid solution B and 6.1 g of filler 1 were mixed, and stirred until a homogeneous solution was visually observed, and the content of polyamic acid solution 3 (viscosity; 23,000 cps, filler to polyamic acid) ; 30.0 vol%) was prepared.

실시예 1과 마찬가지로 하여, 금속 피복 적층판 3 및 수지 필름 3을 조제하였다. 수지 필름 3(두께; 51.6㎛)의 유전율은 3.04, 유전 정접은 0.0044이고, 절곡성은 양호였다. 수지 필름 3의 평가 결과를 표 1에 나타낸다.In the same manner as in Example 1, a metal-clad laminate 3 and a resin film 3 were prepared. The dielectric constant of the resin film 3 (thickness: 51.6 µm) was 3.04, the dielectric loss tangent was 0.0044, and the bendability was good. Table 1 shows the evaluation results of the resin film 3.

[실시예 4][Example 4]

70.0g의 폴리아미드산 용액 A 및 7.8g의 필러 2를 혼합하고, 눈으로 보아 균일한 용액이 될 때까지 교반하여, 폴리아미드산 용액 4(점도; 23,600cps, 폴리아미드산에 대한 필러의 함유율; 33.8체적%)를 조제하였다.70.0 g of polyamic acid solution A and 7.8 g of filler 2 were mixed and stirred until a visually homogeneous solution was obtained, and polyamic acid solution 4 (viscosity; 23,600 cps, content of filler to polyamic acid) ; 33.8 vol%) was prepared.

실시예 1과 마찬가지로 하여, 금속 피복 적층판 4 및 수지 필름 4를 조제하였다. 수지 필름 4(두께; 50.4㎛)의 비유전율은 2.84, 유전 정접은 0.0038, CTE는 28.2ppm/K이고, 절곡성은 양호였다. 수지 필름 4의 평가 결과를 표 1에 나타낸다.In the same manner as in Example 1, a metal-clad laminate 4 and a resin film 4 were prepared. Resin film 4 (thickness: 50.4 µm) had a relative dielectric constant of 2.84, a dielectric loss tangent of 0.0038, a CTE of 28.2 ppm/K, and a good bendability. Table 1 shows the evaluation results of the resin film 4.

[실시예 5][Example 5]

60.0g의 폴리아미드산 용액 A 및 20.0g의 필러 2를 혼합하고, 눈으로 보아 균일한 용액이 될 때까지 교반하여, 폴리아미드산 용액 5(점도; 30,100cps, 폴리아미드산에 대한 필러의 함유율; 60.5체적%)를 조제하였다.60.0 g of polyamic acid solution A and 20.0 g of filler 2 were mixed and stirred until a homogeneous solution was visually observed, and the content of polyamic acid solution 5 (viscosity; 30,100 cps, filler to polyamic acid) ; 60.5 vol%) was prepared.

실시예 1과 마찬가지로 하여, 금속 피복 적층판 5 및 수지 필름 5를 조제하였다. 수지 필름 5(두께; 79.3㎛)의 비유전율은 2.75, 유전 정접은 0.0028, CTE는 20.4ppm/K이고, 절곡성은 양호였다. 수지 필름 5의 평가 결과를 표 1에 나타낸다.In the same manner as in Example 1, a metal-clad laminate 5 and a resin film 5 were prepared. Resin film 5 (thickness: 79.3 µm) had a relative dielectric constant of 2.75, a dielectric loss tangent of 0.0028, a CTE of 20.4 ppm/K, and a good bendability. Table 1 shows the evaluation results of the resin film 5.

[실시예 6][Example 6]

56.2g의 폴리아미드산 용액 B 및 5.5g의 필러 2를 혼합하고, 눈으로 보아 균일한 용액이 될 때까지 교반하여, 폴리아미드산 용액 6(점도; 23,600cps, 폴리아미드산에 대한 필러의 함유율; 30.0체적%)을 조제하였다.56.2 g of polyamic acid solution B and 5.5 g of filler 2 were mixed and stirred until a visually homogeneous solution was obtained, and polyamic acid solution 6 (viscosity; 23,600 cps, content of filler to polyamic acid) ; 30.0 vol%) was prepared.

실시예 1과 마찬가지로 하여, 금속 피복 적층판 6 및 수지 필름 6을 조제하였다. 수지 필름 6(두께; 50.7㎛)의 비유전율은 3.04, 유전 정접은 0.0047이고, 절곡성은 양호였다. 수지 필름 6의 평가 결과를 표 1에 나타낸다.In the same manner as in Example 1, a metal-clad laminate 6 and a resin film 6 were prepared. Resin film 6 (thickness: 50.7 µm) had a relative dielectric constant of 3.04, a dielectric loss tangent of 0.0047, and a good bendability. Table 1 shows the evaluation results of the resin film 6.

(비교예 1)(Comparative Example 1)

구리박 1 상에 70.0g의 폴리아미드산 용액 A를 도포하고, 130℃에서 3분간 건조시켰다. 그 후 155℃로부터 360℃까지 단계적인 열처리를 행하여 이미드화하여, 금속 피복 적층판 7을 조제하였다.70.0 g of polyamic acid solution A was applied on the copper foil 1, and dried at 130°C for 3 minutes. After that, a stepwise heat treatment was performed from 155°C to 360°C to imidize, thereby preparing a metal-clad laminate 7.

실시예 1과 마찬가지로 하여, 금속 피복 적층판 7의 구리박을 에칭 제거하여, 수지 필름 7을 조제하였다. 수지 필름 7(두께; 26.7㎛)의 유전율은 3.13, 유전 정접은 0.0056, CTE는 21.3ppm/K이고, 절곡성은 양호였다. 수지 필름 7의 평가 결과를 표 2에 나타낸다.In the same manner as in Example 1, the copper foil of the metal-clad laminate 7 was removed by etching to prepare a resin film 7. Resin film 7 (thickness: 26.7 µm) had a dielectric constant of 3.13, a dielectric loss tangent of 0.0056, a CTE of 21.3 ppm/K, and a good bendability. Table 2 shows the evaluation results of the resin film 7.

(비교예 2)(Comparative Example 2)

구리박 1 상에 60.0g의 폴리아미드산 용액 B를 도포하고, 90℃에서 1분간, 130℃에서 5분간 건조시켰다. 그 후 155℃로부터 360℃까지 단계적인 열처리를 행하여 이미드화하여, 금속 피복 적층판 8을 조제하였다.60.0 g of polyamic acid solution B was applied on the copper foil 1, and dried at 90°C for 1 minute and 130°C for 5 minutes. After that, a stepwise heat treatment was performed from 155°C to 360°C to imidize, thereby preparing a metal-clad laminate 8.

실시예 1과 마찬가지로 하여, 금속 피복 적층판 8의 구리박을 에칭 제거하여, 수지 필름 8을 조제하였다. 수지 필름 8(두께; 41.4㎛)의 유전율은 3.16, 유전 정접은 0.0062, CTE는 51.3ppm/K이고, 절곡성은 양호였다. 수지 필름 8의 평가 결과를 표 2에 나타낸다.In the same manner as in Example 1, the copper foil of the metal-clad laminate 8 was removed by etching to prepare a resin film 8. Resin film 8 (thickness: 41.4 µm) had a dielectric constant of 3.16, a dielectric loss tangent of 0.0062, a CTE of 51.3 ppm/K, and a good bendability. Table 2 shows the evaluation results of the resin film 8.

(참고예 1)(Reference Example 1)

55.0g의 폴리아미드산 용액 A 및 36.3g의 필러 1을 혼합한 것 이외에, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 폴리아미드산 용액 9를 조제하였다.Polyamic acid solution 9 was prepared in the same manner as in Example 1 except that 55.0 g of polyamic acid solution A and 36.3 g of filler 1 were mixed.

구리박 1 상에 폴리아미드산 용액 9를 도포하고, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 금속 피복 적층판 9을 조제 후, 수지 필름 9를 조제하였다. 수지 필름 9(두께; 117.8㎛)의 비유전율은 2.56, 유전 정접은 0.0015, CTE는 31ppm/K이고, 절곡성은 불가였다. 수지 필름 9의 평가 결과를 표 3에 나타낸다.The polyamic acid solution 9 was applied on the copper foil 1, and the metal-clad laminate 9 was prepared in the same manner as in Example 1, and then a resin film 9 was prepared. Resin film 9 (thickness: 117.8 µm) had a relative dielectric constant of 2.56, a dielectric loss tangent of 0.0015, and a CTE of 31 ppm/K, and the bendability was impossible. Table 3 shows the evaluation results of the resin film 9.

(참고예 2)(Reference Example 2)

55.6g의 폴리아미드산 용액 A 및 36.3g의 필러 2를 혼합한 것 이외에, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 폴리아미드산 용액 10을 조제하였다.A polyamic acid solution 10 was prepared in the same manner as in Example 1 except that 55.6 g of polyamic acid solution A and 36.3 g of filler 2 were mixed.

구리박 1 상에 폴리아미드산 용액 10을 도포하고, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 금속 피복 적층판 10을 조제 후, 수지 필름 10을 조제하였다. 수지 필름 10(두께; 116.7㎛)의 비유전율은 2.75, 유전 정접은 0.0018, CTE는 13ppm/K이고, 절곡성은 불가였다. 수지 필름 10의 평가 결과를 표 3에 나타낸다.The polyamic acid solution 10 was applied on the copper foil 1, and it carried out similarly to Example 1, and after preparing the metal-clad laminated board 10, the resin film 10 was prepared. The resin film 10 (thickness: 116.7 µm) had a relative dielectric constant of 2.75, a dielectric loss tangent of 0.0018, and a CTE of 13 ppm/K, and the bendability was impossible. Table 3 shows the evaluation results of the resin film 10.

(참고예 3)(Reference Example 3)

56.2g의 폴리아미드산 용액 B 및 5.5g의 필러 3을 혼합한 것 이외에, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 폴리아미드산 용액 11을 조제하였다.Polyamic acid solution 11 was prepared in the same manner as in Example 1 except that 56.2 g of polyamic acid solution B and 5.5 g of filler 3 were mixed.

구리박 1 상에 폴리아미드산 용액 11을 도포하고, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 금속 피복 적층판 11을 조제 후, 수지 필름 11을 조제하였다. 수지 필름 11(두께; 45.6㎛)의 비유전율은 3.25, 유전 정접은 0.0052, CTE는 40.9이고, 절곡성은 양호였다. 수지 필름 11의 평가 결과를 표 3에 나타낸다.The polyamic acid solution 11 was applied on the copper foil 1, and it carried out similarly to Example 1, and after preparing the metal-clad laminated board 11, the resin film 11 was prepared. Resin film 11 (thickness: 45.6 µm) had a relative dielectric constant of 3.25, a dielectric loss tangent of 0.0052, a CTE of 40.9, and a good bendability. Table 3 shows the evaluation results of the resin film 11.

Figure pat00004
Figure pat00004

Figure pat00005
Figure pat00005

Figure pat00006
Figure pat00006

실시예 1 내지 6의 평균 입자경 D50이 10㎛ 이상인 구상 실리카 입자를 함유하는 폴리이미드 필름은, 비교예 1 및 2의 실리카를 포함하지 않는 폴리이미드 필름과 비교하여, 유전율 및 유전 정접이 저하되어 있다.The polyimide films containing spherical silica particles having an average particle diameter D 50 of 10 μm or more of Examples 1 to 6 were compared with the polyimide films not containing silica of Comparative Examples 1 and 2, and the dielectric constant and dielectric loss tangent were lowered. have.

또한, 구상 실리카 입자를 70체적% 이상 함유하는 참고예 1 및 2의 폴리이미드 필름은, 실시예와 비교하여 절곡성이 악화되었다.In addition, the polyimide films of Reference Examples 1 and 2 containing 70% by volume or more of spherical silica particles had deteriorated bendability compared to the examples.

또한, 평균 입자경 D50이 2.5㎛로 작은 구상 실리카 입자를 배합한 참고예 3의 폴리이미드 필름은, 실시예에 비해 유전율 및 유전 정접이 높아, 유전 특성의 개선 효과가 작았다.Further, the polyimide film of Reference Example 3 in which spherical silica particles having an average particle diameter D 50 of 2.5 µm and small were blended had higher dielectric constants and dielectric loss tangents than those of Examples, and had a small effect of improving dielectric properties.

이상, 본 발명의 실시 형태를 예시의 목적으로 상세하게 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 제약되는 일은 없으며, 다양한 변형이 가능하다.As described above, embodiments of the present invention have been described in detail for purposes of illustration, but the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications are possible.

Claims (7)

폴리아미드산 또는 폴리이미드와, 구상 실리카 입자를 함유하는 수지 조성물이며,
레이저 회절 산란법에 의한 체적 기준의 입도 분포 측정에 의해 얻어지는 상기 구상 실리카 입자의 빈도 분포 곡선이, 하기의 조건 a 내지 c;
a) 누적값이 50%가 되는 평균 입자경 D50이 9.0 내지 12.0㎛의 범위 내인 것;
b) 누적값이 90%가 되는 입자경 D90이 15 내지 20㎛의 범위 내인 것;
c) 누적값이 100%가 되는 입자경 D100이 25㎛ 이하인 것;
을 충족하고, 상기 구상 실리카 입자의 함유량이, 상기 폴리아미드산 또는 상기 폴리이미드에 대해, 20 내지 65체적%의 범위 내인 것을 특징으로 하는 수지 조성물.
It is a resin composition containing polyamic acid or polyimide and spherical silica particles,
The frequency distribution curve of the spherical silica particles obtained by measurement of a volume-based particle size distribution by a laser diffraction scattering method includes the following conditions a to c;
a) the average particle diameter D 50 at which the cumulative value is 50% is in the range of 9.0 to 12.0 µm;
b) the particle diameter D 90 at which the cumulative value is 90% is in the range of 15 to 20 μm;
c) The particle diameter D 100 at which the cumulative value is 100% is 25 µm or less;
And the content of the spherical silica particles is within a range of 20 to 65% by volume with respect to the polyamic acid or the polyimide.
제1항에 있어서,
상기 구상 실리카 입자가 또한, 하기의 조건 d;
d) 빈도 극댓값 F1 및 빈도 극댓값 F2를 갖고, 상기 F1이 9.0 내지 14.0㎛의 영역 내, 상기 F2가 0.5 내지 3.0㎛의 영역 내에 있는 것;
을 충족하는 것을 특징으로 하는 수지 조성물.
The method of claim 1,
The spherical silica particles are further subjected to the following condition d;
d) having a frequency maximum value F1 and a frequency maximum value F2, wherein the F1 is in a region of 9.0 to 14.0 µm, and the F2 is in a region of 0.5 to 3.0 µm;
A resin composition characterized in that it satisfies.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 구상 실리카 입자가 또한, 하기의 조건 e;
e) 빈도 극댓값 F1 및 빈도 극댓값 F2를 갖고, 상기 F1 및 F2의 비(F1/F2)가 3 내지 28의 범위 내인 것;
을 충족하는 것을 특징으로 하는 수지 조성물.
The method according to claim 1 or 2,
The spherical silica particles are further subjected to the following condition e;
e) having a frequency maximum value F1 and a frequency maximum value F2, and the ratio (F1/F2) of F1 and F2 is in the range of 3 to 28;
A resin composition characterized in that it satisfies.
단층 또는 복수층의 폴리이미드층을 갖는 수지 필름이며,
상기 폴리이미드층 중 적어도 1층이, 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 수지 조성물의 경화물을 포함하는 구상 실리카 함유 폴리이미드층이고, 해당 구상 실리카 함유 폴리이미드층의 두께가 5 내지 150㎛의 범위 내인 것을 특징으로 하는 수지 필름.
It is a resin film having a single layer or a plurality of polyimide layers,
At least one of the polyimide layers is a spherical silica-containing polyimide layer comprising a cured product of the resin composition according to any one of claims 1 to 3, and the thickness of the spherical silica-containing polyimide layer is 5 A resin film, characterized in that in the range of to 150㎛.
제4항에 있어서,
상기 구상 실리카 입자의 입자경 D100이 상기 구상 실리카 함유 폴리이미드층의 두께에 대해 0.05 내지 0.7의 범위 내인 것을 특징으로 하는 수지 필름.
The method of claim 4,
A resin film, wherein the particle diameter D 100 of the spherical silica particles is within a range of 0.05 to 0.7 with respect to the thickness of the spherical silica-containing polyimide layer.
제4항 또는 제5항에 있어서,
두께가 5 내지 150㎛의 범위 내이고, 상기 구상 실리카 함유 폴리이미드층의 두께의 비율이 50% 이상인 것을 특징으로 하는 수지 필름.
The method according to claim 4 or 5,
The resin film, wherein the thickness is in the range of 5 to 150 µm, and the ratio of the thickness of the spherical silica-containing polyimide layer is 50% or more.
절연 수지층과, 상기 절연 수지층의 적어도 한쪽 면에 적층된 금속층을 구비한 금속 피복 적층판이며,
상기 절연 수지층이 제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 수지 필름을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 피복 적층판.
A metal-clad laminate comprising an insulating resin layer and a metal layer laminated on at least one side of the insulating resin layer,
A metal-clad laminate, wherein the insulating resin layer contains the resin film according to any one of claims 4 to 6.
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