JP2002329940A - Insulation material for high frequency circuit board and high frequency circuit board using the same - Google Patents

Insulation material for high frequency circuit board and high frequency circuit board using the same

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JP2002329940A
JP2002329940A JP2001131540A JP2001131540A JP2002329940A JP 2002329940 A JP2002329940 A JP 2002329940A JP 2001131540 A JP2001131540 A JP 2001131540A JP 2001131540 A JP2001131540 A JP 2001131540A JP 2002329940 A JP2002329940 A JP 2002329940A
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circuit board
frequency circuit
resin
insulating material
inorganic particles
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宣夫 松村
Yoshitake Hara
義豪 原
Mitsuyo Hashimoto
充代 橋本
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Toray Industries Inc
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To supply an insulation resin material usable for a high frequency circuit board which has a low dielectric tangent, a low linear expansion coefficient and high process accuracy. SOLUTION: The insulation resin material containing inorganic grains and resin is usable for the high frequency circuit board. It contains at least two kinds of inorganic grains having different mean grain sizes. Among the two or more kinds of inorganic grains, the mean grain size Ra of those having a maximum mean grain size and the mean grain size Rb of those having a minimum mean grain size meet the relation of 5<=Ra/Rb<100.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は高周波回路基板用絶
縁材料およびそれを用いた高周波回路基板に関する。
The present invention relates to an insulating material for a high-frequency circuit board and a high-frequency circuit board using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】携帯電話をはじめとした無線通信技術が
急速に発展している。携帯電話に続く無線技術として、
2.4〜5.8GHzのマイクロ波帯を使用した Bluetoot
h規格が策定され、本格的に立ち上がりつつある。さら
に、高度交通情報システム(ITS:Intelligent Transpor
t System)では、30GHz以上のミリ波帯を利用した高周
波無線技術が応用されようとしている。このように使用
周波数帯はますます高周波帯域に移行している。
2. Description of the Related Art Wireless communication technologies such as mobile phones are rapidly developing. As wireless technology following mobile phones,
Bluetoot using 2.4 to 5.8GHz microwave band
h Standards have been formulated and are being launched in earnest. In addition, Intelligent Transport Information System (ITS: Intelligent Transpor
t System), high-frequency wireless technology using the millimeter-wave band above 30 GHz is being applied. As described above, the operating frequency band is increasingly shifting to the high frequency band.

【0003】これらの送受信機に使用される高周波回路
基板の材料は、従来の周波数帯域よりも寸法精度が要求
されるため、高い加工精度、優れた熱寸法安定性が要求
される。また、GHz帯での誘電損失の小さいものでな
ければならない。誘電損失を小さくするためには誘電正
接(tanδ)が小さくなければならず、高周回路波用
基板材料としてはtanδの小さな材料が必要となって
いる。また、高周波での信号遅延を小さくするために誘
電率が低いことも求められる。
[0003] The material of the high-frequency circuit board used for these transceivers is required to have higher dimensional accuracy than the conventional frequency band, so that high processing accuracy and excellent thermal dimensional stability are required. In addition, the dielectric loss must be small in the GHz band. In order to reduce the dielectric loss, the dielectric loss tangent (tan δ) must be small, and a material having a small tan δ is required as a high-frequency circuit wave substrate material. It is also required that the dielectric constant be low in order to reduce the signal delay at high frequencies.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】従来、高周波回路基板
の材料としては低誘電正接、低線膨張係数などの特徴を
生かしてセラミックスが用いられてきた。しかしなが
ら、セラミックス基板はドリル加工やペースト印刷とい
った方法により回路を作製するため、加工精度が低い点
が課題となっていた。また、加工後に800℃以上の高
温処理によりセラミックスを焼成するのでその際の収縮
が大きいことも加工精度の点で不利となっていた。
Conventionally, ceramics have been used as a material for a high-frequency circuit board, taking advantage of characteristics such as a low dielectric loss tangent and a low coefficient of linear expansion. However, since the circuit is manufactured by a method such as drilling or paste printing on the ceramic substrate, the processing accuracy is low. In addition, since ceramics are baked by high-temperature treatment of 800 ° C. or more after processing, large shrinkage at that time is disadvantageous in terms of processing accuracy.

【0005】これに対し、エポキシ樹脂などを主成分と
する樹脂基板は、配線をエッチングで作製出来るため加
工精度が高く、また焼成しないので収縮もないため、寸
法精度の点では非常に有利である。また、スルーホール
形成にフォトリソグラフィーやレーザー加工を用いるビ
ルドアップ基板ではスルーホールの加工精度も非常に高
い。さらに樹脂は一般的にセラミックスよりも誘電率が
低く、比重が小さいために軽量であるという利点もあ
る。しかし、樹脂基板は高周波における誘電正接が高
く、また線膨張係数もセラミックスに比べて10倍以上
大きいため、高周波用途で使用することは困難であっ
た。
[0005] On the other hand, a resin substrate containing an epoxy resin or the like as a main component is highly advantageous in terms of dimensional accuracy because the wiring can be formed by etching and the processing accuracy is high. . Further, in a build-up substrate using photolithography or laser processing for forming the through-hole, the processing accuracy of the through-hole is very high. In addition, resins generally have the advantage of being lighter in weight because of their lower dielectric constant and lower specific gravity than ceramics. However, the resin substrate has a high dielectric loss tangent at high frequencies and a coefficient of linear expansion that is at least 10 times larger than that of ceramics, so that it has been difficult to use it for high frequency applications.

【0006】樹脂基板の電気的、熱的特性を改良する手
段として、種々のセラミックス粒子や無機粒子を樹脂に
混合するという方法が考えられている。しかしセラミッ
クスの特長である低誘電正接や低線膨張係数を樹脂に持
たせるためには大量のセラミックス粒子、無機粒子を充
填しなければならず、大量に充填すると樹脂の流動性や
加工性が低下してしまう難点があった。
As a means for improving the electrical and thermal characteristics of a resin substrate, a method of mixing various ceramic particles or inorganic particles with a resin has been considered. However, in order to give the resin a low dielectric loss tangent and a low coefficient of linear expansion, which are the characteristics of ceramics, it is necessary to fill a large amount of ceramic particles and inorganic particles. There was a difficulty to do it.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は無機
粒子および樹脂を含有する高周波回路基板用絶縁材料で
あって、無機粒子として異なる平均粒子径を有する少な
くとも2種類の粒子を含むことを特徴とする高周波回路
基板用絶縁材料である。
That is, the present invention is an insulating material for a high-frequency circuit board containing inorganic particles and a resin, wherein the insulating material contains at least two kinds of particles having different average particle diameters as the inorganic particles. Is an insulating material for a high-frequency circuit board.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下、本発明について詳細に説明
する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in detail.

【0009】本発明の高周波回路基板用絶縁材料に用い
られる無機粒子は、下記のものを任意に利用できる。
As the inorganic particles used in the insulating material for a high-frequency circuit board of the present invention, the following can be arbitrarily used.

【0010】好ましい無機粒子としては、アルミナ、ベ
リリア、ムライト、ステアタイト、フォルステライト、
コージェライト、ジルコン、シリカ、窒化ケイ素、窒化
アルミ、炭化ケイ素、普通磁器、ガラスセラミックス類
等が挙げられる。これらはいずれも電気回路絶縁材料と
しては好ましく用いることが出来るが、本発明における
高周波回路基板用絶縁材料を得る目的のためにはシリカ
が最も好ましい。シリカは無機物の中では比較的低誘電
率、低比重であり、樹脂に充填した場合に樹脂の利点で
ある低誘電率、低比重という特性を損ない難い。また、
高周波領域での誘電損失が小さく、安価で、種々の粒子
径のものが市販されており入手しやすいという利点もあ
る。また、シリカは99%以上の高純度品も容易に得ら
れ、電気特性を厳密に制御することが可能である。
Preferred inorganic particles include alumina, beryllia, mullite, steatite, forsterite,
Examples include cordierite, zircon, silica, silicon nitride, aluminum nitride, silicon carbide, ordinary porcelain, glass ceramics, and the like. Any of these can be preferably used as an electric circuit insulating material, but silica is most preferable for the purpose of obtaining the insulating material for a high-frequency circuit board in the present invention. Silica has a relatively low dielectric constant and a low specific gravity among inorganic substances, and when filled in a resin, does not easily impair the characteristics of the resin such as a low dielectric constant and a low specific gravity. Also,
There is also an advantage that dielectric loss in a high frequency region is small, inexpensive, and various particle sizes are commercially available and easily available. In addition, silica having a high purity of 99% or more can be easily obtained, and the electrical characteristics can be strictly controlled.

【0011】無機粒子の形状としては、球形あるいは略
球形であることが好ましい。球状の粒子は最も比表面積
が少ないために充填時に粒子凝集や樹脂流動性低下など
を生じにくいからである。
The shape of the inorganic particles is preferably spherical or substantially spherical. This is because spherical particles have the smallest specific surface area and thus hardly cause particle agglomeration or decrease in resin fluidity during filling.

【0012】これらの無機粒子を、高充填率で樹脂に含
有させることが望ましいが、本発明の効果を得るために
は、2種類以上の異なる平均粒子径を持つものを混合し
て用いることが必須である。単一粒子径の粒子を充填し
た場合、粒子が球状あるいは略球状である場合、高密度
に充填すると粒子と粒子の間に菱形状の空隙が生じ、こ
の空隙にはもはや他の粒子が侵入することは出来ない。
しかし、この空隙以下の大きさの粒子であればさらにこ
の隙間に侵入でき、容易に充填率を向上できる。
It is desirable that these inorganic particles be contained in the resin at a high filling rate. However, in order to obtain the effect of the present invention, a mixture of two or more kinds having different average particle diameters is used. Required. When filled with particles of a single particle size, if the particles are spherical or nearly spherical, filling at a high density will create a diamond-shaped void between the particles, and other particles will no longer enter this void I can't do that.
However, particles having a size equal to or smaller than the gap can further penetrate into the gap, and the filling rate can be easily improved.

【0013】本発明では含まれる無機粒子において、最
大の平均粒径を有する無機粒子の平均粒径をRa、最小
の平均粒径をRbとしたとき、5≦Ra/Rb<100
をも満たすことである。小さい球の大きさは、大きい球
の5分の1以下でないと効率よく侵入しない。また大き
い粒子の100分の1以下になると、小さい粒子は極度
に凝集しやすくなり、混合困難になる。故に好ましい小
さい粒子の平均粒子径は、大きい粒子の平均粒子径の5
分の1以上100分の1未満である。
In the present invention, when the average particle diameter of the inorganic particles having the maximum average particle diameter is defined as Ra and the minimum average particle diameter is defined as Rb, 5 ≦ Ra / Rb <100
It is also to satisfy. The size of the small sphere is not less than one-fifth of the size of the large sphere, so that it cannot penetrate efficiently. On the other hand, when the size of the large particles is 1/100 or less, the small particles are extremely easily aggregated, which makes mixing difficult. Therefore, the preferred average particle size of the small particles is 5 times the average particle size of the large particles.
More than 1/100 and less than 1/100.

【0014】大きい粒子として用いる無機粒子の平均粒
子径は、0.1μm以上、10μm未満であることが好
ましい。10μmを超えると、スルーホールの加工性が
低下し、また、大きい粒子が0.1μm未満になると、
小さい粒子の好適な大きさが10nm程度のものになり
凝集しやすくなる。小さい粒子として用いる無機粒子の
平均粒子径は、20nm以上2μm未満であることが好
ましい。20nmより小さい粒子は凝集や樹脂の増粘を
生じやすく、また、2μm以上の粒子を小さい粒子とし
て使用すると、大きい粒子の好適な大きさが10μm程
度となり、スルーホール加工性を低下させる。
The average particle diameter of the inorganic particles used as the large particles is preferably 0.1 μm or more and less than 10 μm. If it exceeds 10 μm, the processability of the through-holes decreases, and if the large particles become less than 0.1 μm,
The preferred size of the small particles is about 10 nm, which facilitates aggregation. The average particle diameter of the inorganic particles used as the small particles is preferably 20 nm or more and less than 2 μm. Particles smaller than 20 nm tend to cause agglomeration and thickening of the resin. When particles having a particle size of 2 μm or more are used as small particles, the preferred size of the large particles is about 10 μm, which lowers the processability of through holes.

【0015】粒子の大きさを測定する方法としては、レ
ーザー回折、散乱式の粒度分布計を用いることが出来
る。レーザー回折、散乱式の粒度分布測定装置としては
例えば堀場製作所製LA−920や島津製作所製SAL
D−1100、日機装製MICROTRAC−UPA1
50等がある。これらの装置により求めた粒度分布か
ら、累積分布50%の粒子径、いわゆるD50粒子径を
平均粒子径として用いることが出来る。
As a method of measuring the particle size, a laser diffraction or scattering type particle size distribution meter can be used. Examples of laser diffraction and scattering type particle size distribution measuring devices include LA-920 manufactured by Horiba and SAL manufactured by Shimadzu.
D-1100, Nikkiso MICROTRAC-UPA1
There are 50 mag. From the particle size distribution determined by these devices, the particle size of 50% of the cumulative distribution, so-called D50 particle size, can be used as the average particle size.

【0016】また本発明では最大の平均粒子径を持つ無
機粒子の含有量Waと最小の平均粒子径を持つ無機粒子
の含有量Wbが、重量比にして0.05≦Wb/(Wa
+Wb)<0.5を満たすことである。つまり小さい粒
子の量は、重量比にして粒子全量の5%以上50%未満
であることが好ましい。5%未満の場合には、空隙に侵
入して充填量を上げる効果がほとんど得られず、また5
0%以上では、大きい粒子の作る空隙よりも小さい粒子
の占める体積が大きくなり、相互侵入して充填量を増や
す効果は少なくなる。
In the present invention, the content Wa of the inorganic particles having the largest average particle size and the content Wb of the inorganic particles having the smallest average particle size are 0.05 ≦ Wb / (Wa) in weight ratio.
+ Wb) <0.5. That is, the amount of the small particles is preferably 5% or more and less than 50% of the total amount of the particles in weight ratio. If the amount is less than 5%, the effect of increasing the filling amount by entering the voids is hardly obtained.
At 0% or more, the volume occupied by particles smaller than the voids created by the large particles increases, and the effect of interpenetrating and increasing the filling amount decreases.

【0017】これらの大きい粒子、小さい粒子の他に、
更に他の粒子径の粒子を混合しても良く、3種類以上で
も適宜粒子径と配合比を選ぶことで粒子を混合すること
による分散性向上の効果が得られる。
In addition to these large and small particles,
Further, particles having other particle diameters may be mixed, and even if three or more kinds are used, the effect of improving dispersibility can be obtained by mixing the particles by appropriately selecting the particle diameter and the compounding ratio.

【0018】また本発明では無機粒子の総含有量Wi
が、樹脂固形分の合計量Woに対して、重量比にして
0.45≦Wi/(Wi+Wo)<0.85を満たすこ
とである。つまり絶縁材料の総固形分(無機粒子と樹脂
固形分の合計)に対して45体積%以上85体積%未満
であることが好ましい。45体積%未満では、無機粒子
を充填した事による樹脂の誘電正接、線膨張係数の改善
効果が小さく、85体積%以上充填すると樹脂と均一に
混合することが難しくなるからである。
In the present invention, the total content of inorganic particles Wi
Satisfies 0.45 ≦ Wi / (Wi + Wo) <0.85 as a weight ratio with respect to the total amount of resin solid content Wo. That is, the content is preferably 45% by volume or more and less than 85% by volume with respect to the total solid content (the total of the inorganic particles and the resin solid content) of the insulating material. If the amount is less than 45% by volume, the effect of improving the dielectric loss tangent and linear expansion coefficient of the resin by filling the inorganic particles is small, and if the amount is more than 85% by volume, it becomes difficult to uniformly mix the resin.

【0019】樹脂成分としては、少なくともその一部に
熱硬化性樹脂を含むことが好ましい。高周波回路基板
は、耐はんだ性など高い耐熱性を必要とするので、熱硬
化した樹脂を用いることが好ましい。
It is preferable that at least a part of the resin component contains a thermosetting resin. Since the high-frequency circuit board requires high heat resistance such as solder resistance, it is preferable to use a thermosetting resin.

【0020】熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、フ
ェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、ポリイミド樹
脂、不飽和エステル樹脂、エポキシアクリレート樹脂
等、一般的に使用されている樹脂が好ましく用いられ
る。
As the thermosetting resin, generally used resins such as an epoxy resin, a phenol resin, a urea resin, a melamine resin, a polyimide resin, an unsaturated ester resin and an epoxy acrylate resin are preferably used.

【0021】本発明で用いられるエポキシ樹脂として
は、1分子中にエポキシ基を2個以上有する化合物が好
ましく、そのような化合物として例えばフェノール、ク
レゾール、ハロゲン化フェノール、およびアルキル化フ
ェノール類とホルムアルデヒドとを酸性触媒下で反応し
て得られるノボラック類とエピクロルヒドリンを反応さ
せて得られるノボラック型エポキシ樹脂、サリチルアル
デヒド−フェノールあるいはクレゾール型エポキシ樹
脂、ビスフェノールA型、ビスフェノールF型、水添ビ
スフェノールA型、臭素化ビスフェノールA型または脂
環式グリシジルエーテル型のエポキシ樹脂、ゴム変性エ
ポキシ樹脂、環式脂肪族エポキシ樹脂、複素環式エポキ
シ樹脂、ヒダントイン型エポキシ樹脂、トリグリシジル
イソシアヌレートなどがあり、これらを単独または混合
して用いることができる。
The epoxy resin used in the present invention is preferably a compound having two or more epoxy groups in one molecule. Examples of such a compound include phenol, cresol, halogenated phenol, and alkylated phenols and formaldehyde. Novolak type epoxy resin obtained by reacting novolaks obtained by reacting with an acidic catalyst with epichlorohydrin, salicylaldehyde-phenol or cresol type epoxy resin, bisphenol A type, bisphenol F type, hydrogenated bisphenol A type, bromine Bisphenol A type or alicyclic glycidyl ether type epoxy resin, rubber modified epoxy resin, cycloaliphatic epoxy resin, heterocyclic epoxy resin, hydantoin type epoxy resin, triglycidyl isocyanurate, etc. There can be used singly or in combination.

【0022】樹脂成分として少なくともその一部分が感
光性樹脂を含むことで、回路基板に必要なスルーホール
をフォトリソグラフィー法により高精度で加工出来る。
感光性樹脂としては光硬化性樹脂、および光可溶性樹脂
のいずれも好適に使用することができる。
When at least a part of the resin component contains a photosensitive resin, through holes required for the circuit board can be processed with high precision by photolithography.
As the photosensitive resin, any of a photocurable resin and a photosoluble resin can be suitably used.

【0023】光硬化性樹脂の例としては、(1)1分子
に不飽和基などのラジカル重合性官能基を1つ以上有す
るモノマーやオリゴマーを適当なバインダーポリマーと
混合し、光重合開始剤などを加えたもの、(2)ポリマ
ーに感光性基を導入し、光重合開始剤などを加えたも
の、(3)芳香族ジアゾ化合物、芳香族アジド化合物な
どの感光性化合物を適当なバインダーポリマーと混合し
たもの、(4)エポキシ樹脂と光カチオン重合開始剤を
含むもの、などがあげられる。
Examples of the photocurable resin include (1) a monomer or oligomer having one or more radically polymerizable functional groups such as an unsaturated group in one molecule mixed with a suitable binder polymer, and a photopolymerization initiator or the like. (2) a polymer obtained by introducing a photosensitive group into a polymer and adding a photopolymerization initiator, and (3) a photosensitive compound such as an aromatic diazo compound or an aromatic azide compound to a suitable binder polymer. Examples thereof include a mixture thereof, and (4) a mixture containing an epoxy resin and a cationic photopolymerization initiator.

【0024】また、光可溶性樹脂組成物の例としては、
(1)ジアゾ化合物の無機塩や有機酸とのコンプレック
ス、キノンジアジド類などを適当なポリマーバインダー
と混合したもの、(2)キノンジアジド類を適当なポリ
マーバインダーと結合させたもの、などがあげられる。
Examples of the photo-soluble resin composition include:
(1) a complex of a diazo compound with an inorganic salt or an organic acid, a mixture of a quinonediazide or the like with an appropriate polymer binder, and (2) a complex of a quinonediazide with an appropriate polymer binder.

【0025】耐熱性の観点からは、光可溶性樹脂よりも
露光により重合硬化する光硬化性樹脂がより好適であ
る。これらの光硬化性樹脂は、パターン露光、現像によ
りスルーホールを加工したとあとにさらに加熱により硬
化を進行させることでより耐熱性の高い絶縁層を得るこ
とも出来る。
From the viewpoint of heat resistance, a photocurable resin which is polymerized and cured by exposure to light is more preferable than a photosoluble resin. These photocurable resins can also obtain an insulating layer with higher heat resistance by processing the through-holes by pattern exposure and development and then further curing by heating.

【0026】本発明で用いられるバインダーポリマーと
しては、本発明の目的を達成できる具体例としてポリビ
ニルアルコール、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、ポ
リスチレン、ポリアミド、ポリエステル、ポリウレタ
ン、フッ素樹脂、シリコーン樹脂、ポリアセタール、ポ
リフェニレンオキシド、ポリスルホン、ポリイミドなど
を例示することができ、これらは単独あるいは混合して
使用することができる。
Examples of the binder polymer used in the present invention include polyvinyl alcohol, poly (meth) acrylate, polystyrene, polyamide, polyester, polyurethane, fluororesin, silicone resin, polyacetal, and the like which can achieve the object of the present invention. Examples thereof include polyphenylene oxide, polysulfone, and polyimide. These can be used alone or as a mixture.

【0027】本発明では光硬化性樹脂として、少なくと
も光ラジカル開始剤と、光重合性官能基を有する樹脂成
分を含有することが好ましい。光ラジカル開始剤として
はベンゾフェノン、アセトフェノン、1-ヒドロキシシク
ロヘキシルフェニルケトン、2,2-ジメトキシ-1,2-ジフ
ェニルエタン-1-オン、2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フ
ェニル]-2-モルフォリノプロパノン-1、2-ベンジル-2-
ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-ブタノン
-1、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニル-プロパン-1-オ
ン、1-[4-(2-ヒドロキシエトキシ)フェニル]-2-ヒドロ
キシ-2-メチル-1-プロパン-1-オン等のベンゾフェノン
またはアセトフェノン誘導体、2,4,6-トリメチルベンゾ
イルジフェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,4,6-
トリメチルベンゾイル)-フェニルフォスフィンオキサイ
ド等の、アシルフォスフィン誘導体、チオキサントン、
2-クロロチオキサントン、4-ジエチルチオキサントン、
2-イソプロピルチオキサントン等のチオキサントン誘導
体、ビス(シクロペンタジエニル)-ビス(2,6-ジフルオロ
-3-(ピル-1-イル)チタニウム等のメタロセン化合物等が
挙げられる。これらの光重合開始剤に安息香酸系、第三
アミン系などの光重合促進剤を併用することができる。
In the present invention, the photocurable resin preferably contains at least a photoradical initiator and a resin component having a photopolymerizable functional group. Benzophenone, acetophenone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2 as a photo radical initiator -Morpholinopropanone-1,2-benzyl-2-
Dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone
-1,2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one Benzophenone or acetophenone derivatives, such as 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, bis (2,4,6-
Acylphosphine derivatives such as trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, thioxanthone,
2-chlorothioxanthone, 4-diethylthioxanthone,
Thioxanthone derivatives such as 2-isopropylthioxanthone, bis (cyclopentadienyl) -bis (2,6-difluoro
And metallocene compounds such as -3- (pyr-1-yl) titanium. A benzoic acid-based or tertiary amine-based photopolymerization accelerator can be used in combination with these photopolymerization initiators.

【0028】光重合性官能基を有する樹脂成分としては
例えば高分子化合物の主鎖や側鎖にラジカル重合性官能
基を導入したもの、及びまたは1分子内に1つ以上の光
重合性官能基を持つ低分子化合物が挙げられる。高分子
化合物の主鎖や側鎖にラジカル重合性官能基を導入した
ものとしては、グリシジル基を有する(メタ)アクリレ
ートを含む共重合体に(メタ)アクリル酸を反応させた
もの、さらにそれに酸無水物を反応させたもの、カルボ
キシル基を有するポリマーと(メタ)アクリレートを有
するグリシジル化合物やイソシアネート化合物を反応さ
せたもの、無水マレイン酸を含む共重合体に水酸基を有
する(メタ)アクリレートモノマーあるいはグリシジル
基を有する(メタ)アクリレートモノマーを反応させた
もの、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ(メタ)アク
リレート樹脂などがあり、これらを単独または混合して
用いることができる。またこれらは、光重合性化合物で
あると同時に、バインダーポリマーとしても使用するこ
とが出来る。
Examples of the resin component having a photopolymerizable functional group include a polymer compound having a radical polymerizable functional group introduced into a main chain or a side chain thereof, and / or one or more photopolymerizable functional groups in one molecule. And a low molecular weight compound having the following formula: Examples of the polymer compound having a radical polymerizable functional group introduced into a main chain or a side chain thereof include a copolymer obtained by reacting (meth) acrylic acid with a copolymer containing (meth) acrylate having a glycidyl group, and further reacting the copolymer with an acid. An anhydride-reacted polymer, a carboxyl-containing polymer reacted with a (meth) acrylate-containing glycidyl compound or isocyanate compound, a maleic anhydride-containing copolymer with a hydroxyl-containing (meth) acrylate monomer or glycidyl Examples thereof include those obtained by reacting a (meth) acrylate monomer having a group, unsaturated polyester resins, and epoxy (meth) acrylate resins, and these can be used alone or in combination. These can be used as a binder polymer at the same time as being a photopolymerizable compound.

【0029】1分子に不飽和基などラジカル重合性官能
基を有する低分子化合物の具体例としては、2−ヒドロ
キシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロ
ピル(メタ)アクリレート、N−ビニルピロリドン、ア
クロイルモルフォリン、メトキシポリエチレングリコー
ル(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ
(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ
(メタ)アクリレート、N,N−ジメチルアクリルアミ
ド、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、シクロヘ
キシル(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパン
(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メ
タ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メ
タ)アクリレート、トリス(ヒドロキシエチル)イソシ
アヌレートジ(メタ)アクリレート、トリス(ヒドロキ
シエチル)イソシアヌレートトリ(メタ)アクリレート
などを例示することができ、これらは単独あるいは混合
して使用することができる。
Specific examples of the low molecular weight compound having a radical polymerizable functional group such as an unsaturated group in one molecule include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, N-vinylpyrrolidone, Ilmorpholine, methoxypolyethylene glycol (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, N, N-dimethylacrylamide, phenoxyethyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, trimethylol Propane (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, tris (hydroxyethyl) isocyanurate di (meth) Acrylate, tris can be exemplified a (hydroxyethyl) isocyanurate tri (meth) acrylate, which may be used alone or in combination.

【0030】バインダーポリマーとしてアルカリ可溶性
のものを選択することにより、現像を環境負荷の大きい
有機現像液ではなく、アルカリ水溶液により現像するこ
とが可能である。
By selecting an alkali-soluble binder polymer, it is possible to develop with an aqueous alkali solution instead of an organic developer having a large environmental load.

【0031】感光性樹脂自身が熱硬化性であることも好
ましい形態の一つである。その例としてはエポキシアク
リレート樹脂(エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を付
加させたもの、さらにそれに酸無水物を反応させたも
の)、感光性ポリイミド樹脂(ポリイミド前駆体に(メ
タ)アクリレート基をエステル結合、イオン結合などを
介して導入したもの)などがあげられる。
One of the preferred embodiments is that the photosensitive resin itself is thermosetting. Examples include epoxy acrylate resin (a resin obtained by adding (meth) acrylic acid to an epoxy resin and further reacting with an acid anhydride), and a photosensitive polyimide resin (a (meth) acrylate group is formed by esterifying a (meth) acrylate group with a polyimide precursor). Introduced through a bond, an ionic bond, etc.).

【0032】エポキシアクリレート樹脂はエポキシ樹脂
のエポキシ基にエステル化触媒の存在下で約60〜14
0℃程度の温度範囲でアクリル酸またはメタクリル酸を
反応させてエステル化することにより製造することがで
きる。
The epoxy acrylate resin is added to the epoxy group of the epoxy resin in the presence of an esterification catalyst at about 60 to 14
It can be produced by reacting acrylic acid or methacrylic acid in a temperature range of about 0 ° C. to perform esterification.

【0033】感光性ポリイミド樹脂はテトラカルボン酸
無水物と水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物を
反応させた後に脱水縮合剤の存在下でジアミン化合物と
反応させる、あるいはポリイミド前駆体(ポリアミド
酸)とアミノ基を有する(メタ)アクリレート化合物を
混合することによって製造することができる。
The photosensitive polyimide resin is prepared by reacting a tetracarboxylic anhydride with a (meth) acrylate compound having a hydroxyl group and then reacting with a diamine compound in the presence of a dehydration condensing agent, or a polyimide precursor (polyamic acid) and an amino acid. It can be produced by mixing a (meth) acrylate compound having a group.

【0034】本発明の高周波回路基板用絶縁材料は、例
えば以下のような方法にて調整できる。まず2種以上の
平均粒子径を有する無機粒子、樹脂成分、溶媒を混合す
る。溶媒としては樹脂を溶解するものを適宜選択すれば
良いが、例えばメチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、
メチルエチルケトン、ジオキサン、アセトン、シクロヘ
キサノン、シクロペンタノン、イソブチルアルコール、
イソプロピルアルコール、テトラヒドロフラン、ジメチ
ルスルホキシド、γ−ブチロラクトン、トルエン、クロ
ロベンゼン、ベンジルアルコール、イソホロン、メトキ
シメチルブタノール、乳酸エチル、プロピレングリコー
ルモノメチルエーテルおよびそのアセテート、N−メチ
ルピロリドンなどやこれらのうちの1種以上を含有する
有機溶媒混合物が用いられる。
The insulating material for a high-frequency circuit board of the present invention can be adjusted, for example, by the following method. First, two or more kinds of inorganic particles having an average particle diameter, a resin component, and a solvent are mixed. What is necessary is just to select suitably what dissolves a resin as a solvent, For example, methyl cellosolve, butyl cellosolve,
Methyl ethyl ketone, dioxane, acetone, cyclohexanone, cyclopentanone, isobutyl alcohol,
Isopropyl alcohol, tetrahydrofuran, dimethyl sulfoxide, γ-butyrolactone, toluene, chlorobenzene, benzyl alcohol, isophorone, methoxymethylbutanol, ethyl lactate, propylene glycol monomethyl ether and its acetate, N-methylpyrrolidone, and one or more of these. An organic solvent mixture is used.

【0035】さらに必要に応じて、安定化剤、分散剤、
沈殿防止剤、可塑剤、酸化防止剤などを添加しても良
く、感光性樹脂を用いる場合には更に増感剤、増感助
剤、光重合促進剤、熱重合禁止剤、紫外線吸収剤などを
添加しても良い。これらの混合物をボールミル、アトラ
イター、ロールミル、ニーダー、サンドミルなどの手法
で混合し、ペーストを作成する。
If necessary, stabilizers, dispersants,
A precipitation inhibitor, a plasticizer, an antioxidant, etc. may be added. When a photosensitive resin is used, a sensitizer, a sensitization aid, a photopolymerization accelerator, a thermal polymerization inhibitor, an ultraviolet absorber, etc. May be added. These mixtures are mixed by a method such as a ball mill, an attritor, a roll mill, a kneader, and a sand mill to form a paste.

【0036】上記によって得られた本発明の高周波回路
基板用絶縁材料は塗布、乾燥して高周波回路基板の絶縁
層を形成する。層間の電気的接続を得るために、フォト
リソグラフィーの手法によりスルーホールを形成する。
乾燥後の好ましいペーストの厚みは10〜200μmで
あり、これより厚いとスルーホール加工性が困難とな
り、光硬化の効果が薄れる。また、10μmより薄いと
機械強度や電気絶縁性が十分に確保できない。
The insulating material for a high-frequency circuit board of the present invention obtained as described above is applied and dried to form an insulating layer of the high-frequency circuit board. In order to obtain electrical connection between layers, through holes are formed by a photolithographic technique.
The preferable thickness of the paste after drying is from 10 to 200 μm. If the thickness is larger than this, it becomes difficult to process through holes, and the effect of photocuring is reduced. When the thickness is less than 10 μm, sufficient mechanical strength and electrical insulation cannot be secured.

【0037】フォトリソグラフィーによりスルーホール
を形成する場合について説明する。フォトマスクを用い
て所望のパターン状に紫外線を露光し、その後、感光層
を現像することにより高解像度のスルーホールパターン
を形成できる。現像には感光性樹脂成分の種類に応じて
適当な現像液(水、アルカリ現像液、有機溶媒、または
これらの混合物など)が使用できる。現像方法も特に制
限されず、例えばパドル法、ディップ法、スプレー法な
どが採用できる。
The case where a through hole is formed by photolithography will be described. A high-resolution through-hole pattern can be formed by exposing ultraviolet rays to a desired pattern using a photomask and then developing the photosensitive layer. For the development, an appropriate developer (water, alkali developer, organic solvent, or a mixture thereof) can be used depending on the type of the photosensitive resin component. The developing method is not particularly limited, and for example, a paddle method, a dip method, a spray method, and the like can be adopted.

【0038】スルーホール加工後、得られたパターンの
耐熱性を向上させるため、適当な条件で加熱処理をして
も良い。
After the through-hole processing, a heat treatment may be performed under appropriate conditions in order to improve the heat resistance of the obtained pattern.

【0039】上記のようにして得られた基板に回路を形
成する方法としては、回路となる金属層を基板に付着さ
せる無電解メッキ、または無電解メッキと電解メッキの
組み合わせを挙げることができる。
Examples of a method for forming a circuit on the substrate obtained as described above include electroless plating for attaching a metal layer to be a circuit to the substrate, or a combination of electroless plating and electrolytic plating.

【0040】[0040]

【実施例】以下に実施例を挙げて本発明を説明するが、
本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。以
下の作業は特に断らない限り全て紫外線遮断の黄色灯室
において行った。
EXAMPLES The present invention will be described below with reference to examples.
The present invention is not limited to these examples. Unless otherwise specified, all the following operations were performed in a yellow light room where ultraviolet light was blocked.

【0041】合成例1 500ml反応容器にフェノールノボラック型エポキシ
樹脂(油化シェル社製、商品名エピコート152、エポ
キシ当量175)175g、プロピレングリコールモノ
メチルエーテルアセテート40gを加え110℃に昇温
した。これにアクリル酸54g、ヒドロキノンモノメチ
ルエーテル0.1g、塩化ベンジルトリエチルアンモニ
ウム0.3gの混合液を約1時間かけて滴下した。滴下
後110℃で約10時間加熱した後60℃に冷却し、無
水テトラヒドロフタル酸116g、プロピレングリコー
ルモノメチルエーテルアセテート170gの混合物を添
加した。添加後、約2時間かけて110℃に昇温し、1
10℃で約10時間加熱を続け、アクリルエポキシ樹脂
溶液(1−A)を得た。この溶液に2−ベンジル−2−
ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−
ブタノン−1を10g、ペンタエリスリトールヘキサア
クリレートを5gを加えて、樹脂(1−B)とした。
Synthesis Example 1 A phenol novolak type epoxy resin (175 g, Epicort 152, epoxy equivalent: 175, manufactured by Yuka Shell Co., Ltd.) and 40 g of propylene glycol monomethyl ether acetate were added to a 500 ml reaction vessel, and the temperature was raised to 110 ° C. A mixture of acrylic acid (54 g), hydroquinone monomethyl ether (0.1 g) and benzyltriethylammonium chloride (0.3 g) was added dropwise over about 1 hour. After the addition, the mixture was heated at 110 ° C. for about 10 hours, cooled to 60 ° C., and a mixture of 116 g of tetrahydrophthalic anhydride and 170 g of propylene glycol monomethyl ether acetate was added. After the addition, the temperature was raised to 110 ° C over about 2 hours, and 1
Heating was continued at 10 ° C. for about 10 hours to obtain an acrylic epoxy resin solution (1-A). To this solution was added 2-benzyl-2-
Dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl)-
10 g of butanone-1 and 5 g of pentaerythritol hexaacrylate were added to obtain a resin (1-B).

【0042】合成例2 1000mlの4つ口フラスコに2−プロパノールを2
00g仕込み、これをオイルバス中で80℃に保ち窒素
シール、攪拌を行いながらメタクリル酸メチル60gと
スチレン80g、メタクリル酸60gにN.N−アゾビ
スイソブチロニトリル2gを混合してこれを滴下ロート
で30分かけて滴下した。そして、4時間反応を続けた
後、ハイドロキノンモノメチルエーテルを2g添加して
から常温に戻し重合を完了し、この様にして得られたも
のを樹脂(2−A)とした。つぎにこの樹脂(2−A)
を75℃に保ちながらメタクリル酸グリシジル80gと
トリエチルベンジルアンモニウムクロライド6gを添加
し3時間反応させた。この様にして得られたものを樹脂
2−Bとした。ここでメタクリル酸グリシジルの反応率
は、反応前後のポリマ酸価の変化から求めたところ70
%であった。したがって付加量は0.73モル当量であ
った。プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテ
ート125gに樹脂(2−B)を60g、ジペンタエリ
スリトールヘキサアクリレートを30g、2−ベンジル
−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニ
ル)−ブタノン−1を12g溶解させ樹脂(2−C)と
した。
Synthesis Example 2 2-propanol was added to a 1000 ml four-necked flask.
While maintaining the temperature at 80 ° C. in an oil bath and sealing with nitrogen and stirring, 60 g of methyl methacrylate, 80 g of styrene, and 60 g of methacrylic acid were mixed with N.N. 2 g of N-azobisisobutyronitrile was mixed, and the mixture was added dropwise using a dropping funnel over 30 minutes. After continuing the reaction for 4 hours, 2 g of hydroquinone monomethyl ether was added, the temperature was returned to room temperature, and the polymerization was completed. The thus obtained product was designated as resin (2-A). Next, the resin (2-A)
While maintaining the temperature at 75 ° C., 80 g of glycidyl methacrylate and 6 g of triethylbenzylammonium chloride were added and reacted for 3 hours. The product thus obtained was designated as resin 2-B. Here, the reaction rate of glycidyl methacrylate was determined from the change in polymer acid value before and after the reaction.
%Met. Therefore, the added amount was 0.73 molar equivalent. Dissolve 60 g of resin (2-B), 30 g of dipentaerythritol hexaacrylate, and 12 g of 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1 in 125 g of propylene glycol monomethyl ether acetate. Resin (2-C) was used.

【0043】プロピレングリコールモノメチルエーテル
アセテート160gに樹脂(2−B)を60gと、ジペ
ンタエリスリトールヘキサアクリレートを30g、2−
ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリ
ノフェニル)−ブタノン−1を1.2g溶解させ部分ア
ルキルエーテル化ヘキサメチロールメラミンを30g溶
解させたものを樹脂(2−D)とした。
In 160 g of propylene glycol monomethyl ether acetate, 60 g of the resin (2-B), 30 g of dipentaerythritol hexaacrylate,
Resin (2-D) was prepared by dissolving 1.2 g of benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1 and 30 g of partially alkyletherated hexamethylolmelamine.

【0044】合成例3 1000mlの4つ口フラスコにビス[4−(3−アミ
ノフェノキシ)フェニル]スルホン82.2g、ビス
(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン2.
49gをN−メチル−2−ピロリドン324gに20℃
で溶解させた。その後、3,3’,4,4’−ベンゾフ
ェノンテトラカルボン酸二無水物31.6g、無水ピロ
メリト酸21.4gを加え、55℃で4時間反応させ
た。その後20℃に冷却し、N−フェニルグリシン6.
93g、ミヒラーズケトン0.14g、メタクリル酸ジ
エチルアミノエチル74.0g、N−メチル−2−ピロ
リドン83.1gを加えて、感光性ポリイミド前駆体組
成物(3−A)を得た。
Synthesis Example 3 82.2 g of bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone and bis (3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane were placed in a 1000 ml four-necked flask.
49 g was added to 324 g of N-methyl-2-pyrrolidone at 20 ° C.
And dissolved. Thereafter, 31.6 g of 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride and 21.4 g of pyromellitic anhydride were added and reacted at 55 ° C. for 4 hours. Thereafter, the mixture is cooled to 20 ° C., and N-phenylglycine is added.
93 g, Michler's ketone 0.14 g, diethylaminoethyl methacrylate 74.0 g, and N-methyl-2-pyrrolidone 83.1 g were added to obtain a photosensitive polyimide precursor composition (3-A).

【0045】無機粒子として種々の平均粒子径を有する
シリカ粒子である。使用したシリカ粒子は次の通りであ
る。
The inorganic particles are silica particles having various average particle diameters. The silica particles used are as follows.

【0046】・試薬一級無水ケイ酸(関東化学製)平均
粒子径12μm ・“アドマファイン”SO−C3(アドマテック製)平
均粒子径1μm ・“アドマファイン”SO−C1(アドマテック製)平
均粒子径0.1μm ・“アエロジル”OX50(日本アエロジル製)平均粒
子径40nm ・“アエロジル”200(日本アエロジル製)平均粒子
径10nm。
Reagent primary silica (manufactured by Kanto Kagaku) average particle size: 12 μm “Admafine” SO-C3 (manufactured by Admatech) 1 μm average particle size “Admafine” SO-C1 (manufactured by Admatech) 0 "Aerosil" OX50 (manufactured by Nippon Aerosil) having an average particle diameter of 40 nm. "Aerosil" 200 (manufactured by Nippon Aerosil) having an average particle diameter of 10 nm.

【0047】実施例1〜17、比較例1〜3 樹脂(1−B)、(2−C)、(2−D)および(3−
A)と無機粒子を表1〜4に示す組成ででそれぞれ配合
し、3本ロールミルで混練して無機粒子含有感光性樹脂
組成物を得た。特に断らない限り、本実施例では数値は
全て重量部である。
Examples 1 to 17, Comparative Examples 1 to 3 Resins (1-B), (2-C), (2-D) and (3-
A) and inorganic particles were blended in the compositions shown in Tables 1 to 4, respectively, and kneaded with a three-roll mill to obtain a photosensitive resin composition containing inorganic particles. Unless otherwise specified, all numerical values in this example are parts by weight.

【0048】これら感光性樹脂組成物を基板上に塗布
し、80℃で30分間熱風オーブンにて乾燥した。テス
トパターンのフォトマスクを介して超高圧水銀灯により
露光を行った。炭酸ナトリウム1%水溶液により未露光
部が溶解する時間プラス10秒間の現像を行い、パター
ン形状を観察した。
These photosensitive resin compositions were applied on a substrate and dried in a hot air oven at 80 ° C. for 30 minutes. Exposure was performed with an ultra-high pressure mercury lamp through a photomask having a test pattern. Development was performed for a period of time during which the unexposed portion was dissolved with a 1% aqueous solution of sodium carbonate plus 10 seconds, and the pattern shape was observed.

【0049】パターン加工のサンプルとは別に、各感光
性樹脂組成物をアルミ基板上に塗布80℃で30分乾燥
し、全面露光を行った後に180℃において60分の熱
硬化を行った。得られた膜にアルミ蒸着膜で対抗電極を
形成し、ヒューレットパッカードのインピーダンス測定
装置により1MHzにおける誘電正接を測定した。ま
た、硬化膜の線膨張係数をTMAにより測定した。
Separately from the sample for pattern processing, each photosensitive resin composition was coated on an aluminum substrate, dried at 80 ° C. for 30 minutes, exposed to light over the entire surface, and then thermally cured at 180 ° C. for 60 minutes. A counter electrode was formed on the obtained film with an aluminum vapor-deposited film, and the dielectric loss tangent at 1 MHz was measured by a Hewlett-Packard impedance measuring device. The coefficient of linear expansion of the cured film was measured by TMA.

【0050】実施例1〜5、比較例1について、2種の
粒子径の異なる粒子を用いて、無機粒子と有機固形分の
比率を変えて試料を作成し、その結果を表1に示した。
平均粒子径1μmの粒子Aと平均粒子径40nmの粒子
Bの重量比率は90/10で一定にした。無機粒子を含
まない比較例1と比べると、実施例1〜5は誘電正接と
線膨張係数が低く、パターン加工性は比較例と同等であ
った。無機粒子の重量比率が高いほど誘電正接と線膨張
係数は低くなるが、無機粒子比率が最大の実施例4では
ややパターン加工性が低下した。
For Examples 1 to 5 and Comparative Example 1, samples were prepared by using two types of particles having different particle diameters and changing the ratio of inorganic particles to organic solids. The results are shown in Table 1. .
The weight ratio between particles A having an average particle diameter of 1 μm and particles B having an average particle diameter of 40 nm was kept constant at 90/10. As compared with Comparative Example 1 containing no inorganic particles, Examples 1 to 5 had a lower dielectric loss tangent and a lower coefficient of linear expansion, and the pattern workability was equivalent to that of Comparative Example 1. Although the dielectric loss tangent and the coefficient of linear expansion were lower as the weight ratio of the inorganic particles was higher, the pattern workability was slightly lowered in Example 4 where the inorganic particle ratio was the largest.

【0051】[0051]

【表1】 [Table 1]

【0052】実施例6〜9、比較例2〜3については無
機粒子と有機固形分の重量比率を一定にし、無機粒子A
と無機粒子Bの比率を変化させた試料を作成し、その結
果を表2に示した。無機粒子が固形分中で80重量%と
いう高い比率でありながらいずれも良好な塗布膜外観と
パターン加工性であった。無機粒子を1種類しか含まな
い比較例2、3の塗布膜は白濁不均一で粒子の分散性が
悪く、パターン加工も不良であった。さらに比較例2、
3では誘電正接も大きかった。これは分散が不良で膜内
に欠陥が増えるために損失が増大するためと推定され
る。
In Examples 6 to 9 and Comparative Examples 2 to 3, the weight ratio of the inorganic particles to the organic solid was kept constant, and the inorganic particles A
A sample was prepared in which the ratio of the inorganic particles B was changed, and the results are shown in Table 2. Although the inorganic particles had a high ratio of 80% by weight in the solid content, the coating film appearance and pattern processability were all good. The coating films of Comparative Examples 2 and 3 containing only one type of inorganic particles were non-uniform in cloudiness, poor in particle dispersibility, and poor in pattern processing. Further, Comparative Example 2,
In No. 3, the dielectric loss tangent was also large. This is presumed to be due to poor dispersion and an increase in defects in the film, resulting in an increase in loss.

【0053】[0053]

【表2】 [Table 2]

【0054】実施例10〜13については、無機粒子の
大きさを変化させた試料を作成し、その結果を表3に示
した。無機粒子と有機固形分の重量比率、及び2種の粒
子の配合比率は一定にして調整した樹脂組成物はいずれ
も良好な結果を与えた。
With respect to Examples 10 to 13, samples in which the size of the inorganic particles was changed were prepared, and the results are shown in Table 3. Resin compositions in which the weight ratio of the inorganic particles to the organic solids and the blending ratio of the two types of particles were kept constant all gave good results.

【0055】[0055]

【表3】 [Table 3]

【0056】実施例14〜17については、無機粒子と
有機固形分の重量比率、2種の粒子の粒子径と配合比率
も一定にして樹脂の種類を変更した試料を作成し、その
結果を表4に示した。樹脂の種類に関わらず本発明によ
ると良好な結果が得られた。
In Examples 14 to 17, samples were prepared in which the weight ratio of the inorganic particles to the organic solids, the particle size of the two types of particles, and the mixing ratio were constant, and the type of resin was changed. The results are shown in FIG. Good results were obtained according to the present invention regardless of the type of resin.

【0057】[0057]

【表4】 [Table 4]

【0058】[0058]

【発明の効果】本発明は上述のような構成を有すること
により、高周波回路基板用として好適な絶縁樹脂材料を
得ることが出来、得られた高周波回路基板はセラミック
基板に比較して高い加工精度と低い誘電率を有し、また
一般の樹脂基板に比較して低い線膨張率、高い耐熱性を
有しており、高周波回路基板として非常に好適であっ
た。
According to the present invention having the above structure, an insulating resin material suitable for a high-frequency circuit board can be obtained, and the obtained high-frequency circuit board has a higher processing accuracy than a ceramic substrate. It has a low dielectric constant and a low coefficient of linear expansion and a high heat resistance as compared with a general resin substrate, and thus was very suitable as a high-frequency circuit board.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 4J002 AA03W BC03X BD12X BE02X BG04X BG05X CB00X CD00W CF03X CH07X CK02X CL00X CM04X CN03X CP03X DE096 DE097 DE146 DE147 DF016 DF017 DJ006 DJ007 DJ016 DJ017 DM006 FD208 GQ01 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 4J002 AA03W BC03X BD12X BE02X BG04X BG05X CB00X CD00W CF03X CH07X CK02X CL00X CM04X CN03X CP03X DE096 DE097 DE146 DE147 DF016 DF017 DJ006 DJ007 DJ016 DJ017 DM006 FD208G01

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】無機粒子および樹脂成分として少なくとも
感光性樹脂を含有することを特徴とする高周波回路基板
用絶縁材料であって、無機粒子として、異なる平均粒子
径を有する少なくとも2種類の粒子を含むことを特徴と
する高周波回路用絶縁材料。
1. An insulating material for a high-frequency circuit board comprising at least a photosensitive resin as an inorganic particle and a resin component, wherein the inorganic particle contains at least two kinds of particles having different average particle diameters. An insulating material for a high-frequency circuit, comprising:
【請求項2】異なる平均粒子径を有する2種以上の無機
粒子のうち、最大の平均粒子径を持つ無機粒子の平均粒
子径をRa、最小の平均粒子径を持つ無機粒子の平均粒
子径をRbとしたとき、5≦Ra/Rb<100を満た
すことを特徴とする請求項1記載の高周波回路基板用絶
縁材料。
2. Among two or more kinds of inorganic particles having different average particle diameters, the average particle diameter of the inorganic particles having the maximum average particle diameter is Ra, and the average particle diameter of the inorganic particles having the minimum average particle diameter is Ra. 2. The insulating material for a high-frequency circuit board according to claim 1, wherein, when Rb, 5 ≦ Ra / Rb <100 is satisfied.
【請求項3】最大の平均粒子径を持つ無機粒子の含有量
Waと最小の平均粒子径を持つ無機粒子の含有量Wb
が、重量比にして0.05≦Wb/(Wa+Wb)<
0.5を満たすことを特徴とする請求項2記載の高周波
回路基板用絶縁材料。
3. The content Wa of the inorganic particles having the maximum average particle size and the content Wb of the inorganic particles having the minimum average particle size.
Is 0.05 ≦ Wb / (Wa + Wb) <
3. The insulating material for a high-frequency circuit board according to claim 2, wherein 0.5 is satisfied.
【請求項4】無機粒子の総含有量Wiが、樹脂固形分の
合計量Woに対して、重量比にして0.45≦Wi/
(Wi+Wo)<0.85を満たすことを特徴とする請
求項1記載の高周波回路基板用絶縁材料。
4. The total content Wi of the inorganic particles is 0.45 ≦ Wi /
2. The insulating material for a high-frequency circuit board according to claim 1, wherein (Wi + Wo) <0.85 is satisfied.
【請求項5】無機粒子として少なくともシリカを含有す
ることを特徴とする請求項1記載の高周波回路基板用絶
縁材料。
5. The insulating material for a high-frequency circuit board according to claim 1, wherein the insulating material contains at least silica as inorganic particles.
【請求項6】樹脂成分として少なくとも熱硬化性樹脂を
含有することを特徴とする請求項1記載の高周波回路基
板用絶縁材料。
6. The insulating material for a high-frequency circuit board according to claim 1, wherein at least a thermosetting resin is contained as a resin component.
【請求項7】感光性樹脂として、少なくとも光硬化性樹
脂を含有することを特徴とする請求項1記載の高周波回
路基板用絶縁材料。
7. The insulating material for a high-frequency circuit board according to claim 1, wherein the photosensitive resin contains at least a photocurable resin.
【請求項8】光硬化性樹脂として、少なくとも光ラジカ
ル開始剤と、光重合性官能基を有する樹脂成分を含有す
ることを特徴とする請求項7記載の高周波回路基板用絶
縁材料。
8. The insulating material for a high-frequency circuit board according to claim 7, wherein the photocurable resin contains at least a photoradical initiator and a resin component having a photopolymerizable functional group.
【請求項9】請求項1〜8のいずれか記載の絶縁材料を
用いた高周波回路基板。
9. A high-frequency circuit board using the insulating material according to claim 1.
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