KR20210051688A - Object transport device and method of controlling the same - Google Patents

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KR20210051688A
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derating
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김정은
이준범
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세메스 주식회사
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Abstract

According to the present invention, provided is a target transfer device for transferring a target while traveling along a traveling rail, which includes: a servo motor for driving the target transport device; a servo drive for controlling the operation of the servo motor and performing a derating mode for reducing the torque of the servo motor under a reference temperature condition; a derating determining portion for checking whether the servo drive is in the derating mode; and a motion control portion for generating a speed signal and a speed profile according to a transfer command of a control unit which controls the operation of the target transfer device to transmit the speed signal and the speed profile to the servo drive, generating a normal speed profile when the servo drive is not in the derating mode, and generating a corrected speed profile when the servo drive is in the derating mode.

Description

대상물 이송 장치 및 그 제어 방법{Object transport device and method of controlling the same}Object transport device and method of controlling the same}

본 발명은 대상물 이송 장치 및 그 제어 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 이송하기 위한 대상물 이송 장치 및 그 제어 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an object transport device and a control method thereof, and more particularly, to an object transport device for transporting an object for performing a semiconductor device manufacturing process and a control method thereof.

일반적으로 반도체 공정 설비들은 연속적으로 배치되어 반도체 소자를 제조하기 위한 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물은 대상물 이송 장치에 의해 이송된다. In general, semiconductor processing equipment is continuously arranged to perform various processes for manufacturing semiconductor devices. The object for performing the semiconductor device manufacturing process is transported by the object transport device.

상기 대상물 이송 장치는 상기 반도체 공정 설비들이 구비된 공간에 구비된 주행 레일을 따라 주행하며, 별도의 제어 유닛에 의해 제어될 수 있다. The object transfer device travels along a travel rail provided in a space in which the semiconductor processing equipment is provided, and may be controlled by a separate control unit.

상기 대상물 이송 장치에서 주행을 위한 서보 모터는 서보 드라이브에 의해 제어된다. 약 50℃ 내지 60℃의 기준 온도 조건에서 상기 서보 드라이브를 사용하는 경우, 상기 서보 드라이브의 추가적인 온도 상승을 방지하기 위해 상기 서보 드라이브가 상기 서보 모터의 토크를 감소시키는 디레이팅 모드 상태로 상기 서보 모터를 제어하게 된다. In the object conveying device, a servo motor for traveling is controlled by a servo drive. When the servo drive is used under a reference temperature condition of about 50°C to 60°C, the servo motor is in a derating mode state in which the servo drive reduces torque of the servo motor to prevent an additional temperature rise of the servo drive. Control.

상기 대상물 이송 장치에는 상기 서보 드라이브의 디레이팅 모드 여부를 확인하기 위한 수단이 없으므로, 상기 서보 드라이브가 상기 디레이팅 모드인 경우에도 상기 서버 드라이브가 상기 서보 모터가 정상적으로 동작하는 것으로 판단하고 상기 서보 모터를 제어한다. 상기 서보 모터가 정상적으로 동작하지 않으므로, 상기 대상물 이송 장치가 상기 서보 드라이브의 제어와 달리 정상 속도보다 느리게 주행하고, 상기 대상물 이송 장치의 이송 시간이 지연될 수 있다. 또한, 상기 대상물 이송 장치가 느리게 주행하므로 다른 대상물 이송 장치와 충돌할 수도 있다. Since the object transfer device does not have a means for confirming whether the servo drive is in the derating mode, the server drive determines that the servo motor is operating normally and operates the servo motor even when the servo drive is in the derating mode. Control. Since the servo motor does not operate normally, the object transfer device may travel slower than a normal speed unlike the control of the servo drive, and a transfer time of the object transfer device may be delayed. In addition, since the object transport device travels slowly, it may collide with another object transport device.

본 발명은 서보 드라이브의 디레이팅 모드를 확인하고, 상기 디레이팅 모드인 여부에 따라 서보 모터를 제어하기 위한 속도 프로파일을 다르게 생성하는 대상물 이송 장치 및 그 제어 방법을 제공한다. The present invention provides an object conveying apparatus and a control method for checking a derating mode of a servo drive and generating different speed profiles for controlling a servo motor according to whether or not the derating mode is in the derating mode.

본 발명에 따른 주행 레일을 따라 주행하면서 대상물을 이송하는 대상물 이송 장치는 상기 대상물 이송 장치를 주행시키기 위한 서보 모터와, 상기 서보 모터의 동작을 제어하고, 기준 온도 조건에서 서보 모터의 토크를 감소시키는 디레이팅 모드를 수행하는 서보 드라이브와, 상기 서보 드라이브의 상기 디레이팅 모드 여부를 확인하는 디레이팅 판단부 및 상기 대상물 이송 장치의 동작을 제어하는 제어 유닛의 이송 명령에 따라 속도 신호 및 속도 프로파일을 생성하여 상기 서보 드라이브로 전달하고, 상기 서보 드라이브가 디레이팅 모드가 아닌 경우 정상 속도 프로파일을 생성하고, 상기 서보 드라이브가 디레이팅 모드인 경우 보정 속도 프로파일을 생성하는 모션 제어부를 포함할 수 있다. An object transport device for transporting an object while traveling along a traveling rail according to the present invention includes a servo motor for driving the object transport device, controlling the operation of the servo motor, and reducing the torque of the servo motor under a reference temperature condition. Generates a speed signal and a speed profile according to a transfer command from a servo drive that performs a derating mode, a derating determination unit that checks whether the servo drive is in the derating mode, and a control unit that controls the operation of the object transfer device. It transmits to the servo drive, generates a normal speed profile when the servo drive is not in the derating mode, and generates a correction speed profile when the servo drive is in the derating mode.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 서보 드라이브의 디레이팅 모드 여부와 상관없이 상기 이송 차량의 이동 거리가 동일하도록 상기 보정 속도 프로파일의 등속 구간이 상기 정상 속도 프로파일의 등속 구간보다 길고, 상기 보정 속도 프로파일의 속도가 상기 정상 속도 프로파일의 속도보다 느릴 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the constant velocity section of the corrected speed profile is longer than the constant velocity section of the normal velocity profile so that the moving distance of the transfer vehicle is the same regardless of whether the servo drive is in a derating mode, and the correction The speed of the speed profile may be slower than the speed of the normal speed profile.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 디레이팅 판단부는 상기 서보 드라이브의 온도가 상기 기준 온도 조건인지를 감지하는 온도 센서일 수 있다. According to exemplary embodiments of the present invention, the derating determining unit may be a temperature sensor that detects whether the temperature of the servo drive is the reference temperature condition.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 디레이팅 판단부는 상기 서보 모터의 토크가 감소하는 것을 감지하는 토크 센서일 수 있다. According to exemplary embodiments of the present invention, the derating determining unit may be a torque sensor that detects a decrease in torque of the servo motor.

본 발명에 따른 대상물 이송 장치의 제어 방법은, 대상물 이송 장치의 동작을 제어하는 상위 제어 유닛의 이송 명령에 따라 모션 제어부에서 서보 드라이브로 제공하기 위한 속도 신호를 생성하는 단계와, 상기 서보 드라이브가 기준 온도 조건에서 서보 모터의 토크를 감소시키는 디레이팅 모드 상태인지를 확인하는 단계와, 상기 서보 드라이브가 상기 디레이팅 모드가 아닌 경우 상기 모션 제어부에서 정상 속도 프로파일을 생성하고, 상기 서보 드라이브가 상기 디레이팅 모드인 경우 상기 모션 제어부에서 상기 디레이팅 모드에 대응하는 보정 속도 프로파일을 생성하는 단계 및 상기 정상 속도 프로파일 또는 상기 보정 속도 프로파일에 따라 상기 서보 드라이브가 상기 서보 모터를 구동시키는 단계를 포함할 수 있다. The control method of an object transport device according to the present invention comprises the steps of generating a speed signal for providing from a motion controller to a servo drive according to a transfer command of a higher control unit that controls the operation of the object transport device, and the servo drive is Checking whether the servo motor is in a derating mode for reducing torque under temperature conditions, and when the servo drive is not in the derating mode, the motion controller generates a normal speed profile, and the servo drive performs the derating. In the case of the mode, the motion controller may include generating a correction speed profile corresponding to the derating mode, and driving the servo motor according to the normal speed profile or the corrected speed profile.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 서보 드라이브의 디레이팅 모드 여부와 상관없이 상기 이송 차량의 이동 거리가 동일하도록 상기 보정 속도 프로파일의 등속 구간이 상기 정상 속도 프로파일의 등속 구간보다 길고, 상기 보정 속도 프로파일의 속도가 상기 정상 속도 프로파일의 속도보다 느릴 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the constant velocity section of the correction speed profile is longer than the constant velocity section of the normal velocity profile so that the moving distance of the transfer vehicle is the same regardless of whether the servo drive is in a derating mode, and the correction The speed of the speed profile may be slower than the speed of the normal speed profile.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 디레이팅 모드 상태인지를 확인하는 단계는, 상기 서보 드라이브의 온도가 상기 기준 온도 조건인지를 감지하여 이루어질 수 있다. According to embodiments of the present invention, the step of determining whether the derating mode is in the state may be performed by detecting whether the temperature of the servo drive is the reference temperature condition.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 디레이팅 모드 상태인지를 확인하는 단계는, 상기 서보 모터의 토크를 감지하여 이루어질 수 있다. According to an exemplary embodiment of the present invention, the step of determining whether the derating mode is in the state may be performed by sensing the torque of the servo motor.

본 발명에 따른 대상물 이송 장치 및 그 제어 방법은 상기 서보 드라이브의 온도를 측정하거나, 상기 서보 모터의 토크를 감지하여 상기 서보 드라이브의 디레이팅 모드 여부를 확인할 수 있다. 따라서, 상기 서보 드라이브의 디레이팅 모드 여부를 정확하게 확인할 수 있다. The object conveying apparatus and the control method thereof according to the present invention may determine whether the servo drive is in a derating mode by measuring the temperature of the servo drive or sensing the torque of the servo motor. Therefore, it is possible to accurately check whether the servo drive is in the derating mode.

또한, 본 발명에 따른 대상물 이송 장치 및 그 제어 방법은 상기 디레이팅 모드 여부에 따라 상기 정상 속도 프로파일 또는 상기 보정 속도 프로파일을 생성할 수 있다. 상기 디레이팅 여부에 따라 속도 프로파일을 조절할 수 있으므로, 상기 대상물 이송 장치가 비정상적인 동작하는 것을 방지할 수 있다. In addition, the object conveying apparatus and the control method thereof according to the present invention may generate the normal speed profile or the corrected speed profile according to whether the derating mode is present. Since the speed profile can be adjusted according to whether the derating is performed, it is possible to prevent the object transfer device from operating abnormally.

그리고, 상기 보정 속도 프로파일의 등속 구간이 상기 정상 속도 프로파일의 등속 구간보다 길고, 상기 보정 속도 프로파일의 속도가 상기 정상 속도 프로파일의 속도보다 느리도록 생성할 수 있다. 그러므로, 상기 정상 속도 프로파일 또는 상기 보정 속도 프로파일에 상관없이 상기 대상물 이송 장치가 동일한 거리를 이동할 수 있다. 따라서, 상기 대상물 이송 장치가 대상물을 목표한 지점까지 안정적으로 이송할 수 있다. In addition, the constant speed section of the corrected speed profile may be longer than the constant speed section of the normal speed profile, and the speed of the corrected speed profile may be generated to be slower than the speed of the normal speed profile. Therefore, the object conveying device can move the same distance regardless of the normal speed profile or the corrected speed profile. Accordingly, the object transfer device can stably transfer the object to a target point.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 블록도이다.
도 2는 도 1의 모션 제어부에서 생성되는 정상 속도 프로파일과 보정 속도 프로파일을 설명하기 위한 그래프이다.
도 3은 도 1에 도시된 대상물 이송 장치의 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 1 is a schematic block diagram illustrating an object transport apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a graph for explaining a normal speed profile and a corrected speed profile generated by the motion controller of FIG. 1.
FIG. 3 is a flowchart illustrating a method of controlling the object transporting apparatus shown in FIG. 1.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the present invention, various modifications may be made and various forms may be applied, and specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific form disclosed, it should be understood to include all changes, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each drawing, similar reference numerals have been used for similar elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown to be enlarged than the actual size for clarity of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another component. For example, without departing from the scope of the present invention, a first element may be referred to as a second element, and similarly, a second element may be referred to as a first element.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate the presence of features, numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof described in the specification, but one or more other features. It is to be understood that the presence or addition of elements or numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof, does not preclude in advance the possibility of the presence or addition.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless otherwise defined, all terms used herein including technical or scientific terms have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms as defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and should not be interpreted as an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. Does not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 블록도이고, 도 2는 도 1의 모션 제어부에서 생성되는 정상 속도 프로파일과 보정 속도 프로파일을 설명하기 위한 그래프이다. 1 is a schematic block diagram illustrating an object transporting apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a graph illustrating a normal velocity profile and a corrected velocity profile generated by the motion controller of FIG. 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, 대상물 이송 장치(100)는 주행 레일을 따라 주행하면서 대상물을 이송한다. 1 and 2, the object transport device 100 transports an object while traveling along a traveling rail.

자세히 도시되지는 않았지만, 상기 대상물 이송 장치(110)는 주행부, 프레임부, 슬라이드부, 호이스트부 및 핸드부를 포함할 수 있다. 상기 대상물은 풉(FOUP), 포스비(FOSB), 매거진, 포드, 트레이 등일 수 있다. Although not shown in detail, the object transfer device 110 may include a traveling part, a frame part, a slide part, a hoist part, and a hand part. The object may be FOUP, FOSB, magazine, pod, tray, or the like.

상기 주행부는 상기 대상물 이송 장치(110)를 상기 주행 레일을 따라 이동시킨다. 상기 슬라이드부는 상기 호이스트부를 수평 방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 호이스트부는 상기 핸드부를 고정하며 상기 핸드부를 상하 방향을 따라 이동시킬 수 있다. 상기 핸드부는 상기 대상물을 고정할 수 있다. 상기 대상물은 상기 슬라이드부에 의해 상기 수평 방향으로 이동하며, 상기 호이스트부에 의해 승강할 수 있다. 따라서, 상기 슬라이드부, 상기 호이스트부, 상기 핸드부는 상기 대상물을 이적재할 수 있다. The traveling unit moves the object transporting device 110 along the traveling rail. The slide part may move the hoist part in a horizontal direction. The hoist part may fix the hand part and move the hand part in an up-down direction. The hand part may fix the object. The object is moved in the horizontal direction by the slide part, and can be raised and lowered by the hoist part. Accordingly, the slide part, the hoist part, and the hand part may transfer the object.

또한, 상기 대상물 이송 장치(100)는 서보 모터(110), 서보 드라이브(120), 디레이팅 판단부(130) 및 모션 제어부(140)를 포함할 수 있다.In addition, the object transfer device 100 may include a servo motor 110, a servo drive 120, a derating determination unit 130, and a motion control unit 140.

상기 서보 모터(110), 상기 서보 드라이브(120), 상기 디레이팅 판단부(130) 및 상기 모션 제어부(140)는 상기 주행부에 구비될 수 있다. The servo motor 110, the servo drive 120, the derating determination unit 130, and the motion control unit 140 may be provided in the driving unit.

상기 서보 모터(110)는 상기 주행부의 주행 휠을 회전시킴으로써 상기 대상물 이송 장치(100)를 주행시킬 수 있다. The servo motor 110 may drive the object transfer device 100 by rotating a driving wheel of the driving unit.

상기 서보 드라이브(120)는 상기 서보 모터(110)와 연결되며, 상기 서보 모터(110)의 동작을 제어한다. The servo drive 120 is connected to the servo motor 110 and controls the operation of the servo motor 110.

구체적으로, 상기 서보 드라이브(120)는 상기 모션 제어부(140)에서 생성되는 속도 프로파일에 따라 상기 서보 모터(110)를 제어할 수 있다. Specifically, the servo drive 120 may control the servo motor 110 according to a speed profile generated by the motion controller 140.

또한, 상기 서보 드라이브(120)는 약 50℃ 내지 60℃의 기준 온도 조건에서 상기 서보 모터(110)의 토크를 감소시키는 디레이팅 모드를 수행할 수 있다. 상기 디레이팅 모드는 상기 서보 드라이브(120)가 상기 서보 모터(110)의 토크를 약 30% 내지 약 50% 정도 감소시키는 것이다. 상기 디레이팅 모드를 수행함으로써 상기 기준 온도 조건에서 상기 서보 드라이브(120)가 추가적으로 온도가 상승하는 것을 방지할 수 있다. In addition, the servo drive 120 may perform a derating mode in which the torque of the servo motor 110 is reduced under a reference temperature condition of about 50°C to 60°C. In the derating mode, the servo drive 120 reduces the torque of the servo motor 110 by about 30% to about 50%. By performing the derating mode, it is possible to prevent an additional temperature increase of the servo drive 120 under the reference temperature condition.

상기 기준 온도 조건보다 낮은 온도에서 상기 서보 드라이브(120)의 온도 상승을 방지할 필요가 없으므로, 상기 서보 드라이브(120)는 상기 기준 온도 조건보다 낮은 온도에서 상기 디레이팅 모드를 수행하지 않는다. Since it is not necessary to prevent the temperature rise of the servo drive 120 at a temperature lower than the reference temperature condition, the servo drive 120 does not perform the derating mode at a temperature lower than the reference temperature condition.

상기 디레이팅 판단부(130)는 상기 서보 드라이브(120)의 상기 디레이팅 모드 여부를 확인할 수 있다. The de-rating determination unit 130 may check whether the servo drive 120 is in the de-rating mode.

일 예로, 상기 디레이팅 판단부(130)는 온도 센서를 포함할 수 있다. 상기 온도 센서는 상기 서보 드라이브(120)에 구비되며, 상기 서보 드라이브(120)의 온도를 측정한다. For example, the derating determination unit 130 may include a temperature sensor. The temperature sensor is provided in the servo drive 120 and measures the temperature of the servo drive 120.

상기 온도 센서에서 측정되는 상기 서보 드라이브(120)의 온도가 상기 기준 온도 범위인 경우, 상기 디레이팅 판단부(130)는 상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드인 것으로 판단한다. When the temperature of the servo drive 120 measured by the temperature sensor is within the reference temperature range, the derating determination unit 130 determines that the servo drive 120 is in the derating mode.

상기 온도 센서에서 측정되는 상기 서보 드라이브(120)의 온도가 상기 기준 온도 범위보다 낮은 경우, 상기 디레이팅 판단부(130)는 상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드가 아닌 것으로 판단한다. When the temperature of the servo drive 120 measured by the temperature sensor is lower than the reference temperature range, the derating determination unit 130 determines that the servo drive 120 is not in the derating mode.

다른 예로, 상기 디레이팅 판단부(130)는 토크 센서를 포함할 수 있다. 상기 토크 센서는 상기 서보 모터(110)에 구비되며, 상기 서보 모터(110)의 토크를 감지한다. As another example, the derating determination unit 130 may include a torque sensor. The torque sensor is provided in the servo motor 110 and senses the torque of the servo motor 110.

상기 토크 센서에서 측정되는 상기 서보 모터(110)의 토크가 정상 토크보다 작은 경우, 상기 디레이팅 판단부(130)는 상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드인 것으로 판단한다.When the torque of the servo motor 110 measured by the torque sensor is less than the normal torque, the derating determination unit 130 determines that the servo drive 120 is in the derating mode.

상기 토크 센서에서 측정되는 상기 서보 모터(110)의 토크가 정상 토크와 동일한 경우, 상기 디레이팅 판단부(130)는 상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드가 아닌 것으로 판단한다.When the torque of the servo motor 110 measured by the torque sensor is the same as the normal torque, the derating determination unit 130 determines that the servo drive 120 is not in the derating mode.

상기 온도 센서 또는 상기 토크 센서를 이용하여 상기 디레이팅 판단부(130)가 상기 서보 드라이브(120)의 디레이팅 모드 여부를 정확하게 확인할 수 있다. Using the temperature sensor or the torque sensor, the de-rating determination unit 130 may accurately determine whether the servo drive 120 is in the de-rating mode.

상기 모션 제어부(140)는 상기 대상물 이송 장치(100)의 동작을 제어하기 위한 제어 유닛(10)으로부터 상기 대상물 이송 장치(100)의 이송 명령을 전달받는다. 또한, 상기 모션 제어부(140)는 상기 이송 명령에 따라 상기 대상물 이송 장치(100)의 속도 신호 및 속도 프로파일을 생성하여 상기 서보 드라이브(120)로 전달할 수 있다. The motion controller 140 receives a transfer command of the object transfer device 100 from the control unit 10 for controlling the operation of the object transfer device 100. In addition, the motion control unit 140 may generate a speed signal and a speed profile of the object transport device 100 according to the transport command and transmit it to the servo drive 120.

상기 속도 신호는 상기 대상물 이송 장치(100)의 정속도, 가속도 및 감속도에 대한 정보를 포함할 수 있다. 상기 속도 프로파일은 상기 대상물 이송 장치(100)의 주행 시간에 따른 속도 정보를 포함할 수 있다. The speed signal may include information on a constant speed, acceleration, and deceleration of the object transfer device 100. The speed profile may include speed information according to the traveling time of the object transport device 100.

상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드가 아닌 경우, 상기 모션 제어부(140)는 정상 속도 프로파일(a)을 생성한다. When the servo drive 120 is not in the derating mode, the motion control unit 140 generates a normal speed profile (a).

상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드인 경우, 상기 모션 제어부(140)는 보정 속도 프로파일(b)을 생성한다. 상기 디레이팅 모드에서 상기 서보 모터(110)의 토크가 감소되므로, 상기 보정 속도 프로파일에서 상기 대상물 이송 장치(100)의 속도는 감소되어 생성될 수 있다. When the servo drive 120 is in the derating mode, the motion controller 140 generates a correction speed profile b. Since the torque of the servo motor 110 is reduced in the derating mode, the speed of the object conveying device 100 may be reduced and generated in the corrected speed profile.

상기 모션 제어부(140)는 상기 디레이팅 여부에 따라 속도 프로파일을 정상 속도 프로파일(a) 또는 상기 보정 속도 프로파일(b)로 구분하여 생성할 수 있다. 그러므로, 상기 대상물 이송 장치(100)가 상기 속도 프로파일과 다르게 비정상적인 동작하는 것을 방지할 수 있다. The motion controller 140 may generate a speed profile by dividing it into a normal speed profile (a) or the corrected speed profile (b) according to whether or not the derating. Therefore, it is possible to prevent the object transfer device 100 from operating abnormally differently from the speed profile.

한편, 도 2의 상기 정상 속도 프로파일(a) 및 상기 보정 속도 프로파일(b)의 하부 면적은 상기 대상물 이송 장치(100)의 이동 거리를 의미한다. Meanwhile, the lower areas of the normal speed profile (a) and the corrected speed profile (b) of FIG. 2 denote a moving distance of the object transfer device 100.

상기 정상 속도 프로파일(a)과 상기 보정 속도 프로파일(b) 사이의 면적 S1 및 S2가 동일한 경우, 상기 정상 속도 프로파일(a)에 따라 상기 대상물 이송 장치(100)가 이동한 거리와 상기 보정 속도 프로파일(b)에 따라 상기 대상물 이송 장치(100)가 이동한 거리가 동일할 수 있다. When the areas S1 and S2 between the normal speed profile (a) and the corrected speed profile (b) are the same, the distance traveled by the object transfer device 100 and the corrected speed profile according to the normal speed profile (a) According to (b), the distance the object transfer device 100 has moved may be the same.

상기 보정 속도 프로파일(b)에서 상기 대상물 이송 장치(100)가 등속을 유지하는 등속 구간이 상기 정상 속도 프로파일(a)에서의 등속 구간보다 길고, 상기 보정 속도 프로파일(b)에서 상기 대상물 이송 장치(100)의 속도가 상기 정상 속도 프로파일(a)에서의 속도보다 느리도록 상기 보정 속도 프로파일(b)을 생성할 수 있다. 따라서, 상기 서보 드라이브(120)의 상기 디레이팅 모드 여부와 상관없이 상기 대상물 이송 장치(100)가 동일한 거리를 이동할 수 있으므로, 상기 대상물 이송 장치(100)가 상기 대상물을 목표한 지점까지 안정적으로 이송할 수 있다. In the corrected speed profile (b), the constant speed section in which the object transfer device 100 maintains a constant speed is longer than the constant speed section in the normal speed profile (a), and in the corrected speed profile (b), the object transfer device ( The correction speed profile (b) may be generated so that the speed of 100) is slower than the speed in the normal speed profile (a). Therefore, regardless of whether the servo drive 120 is in the derating mode, the object transfer device 100 can move the same distance, so the object transfer device 100 stably transfers the object to the target point. can do.

도 3은 도 1에 도시된 대상물 이송 장치의 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다. FIG. 3 is a flowchart illustrating a method of controlling the object transporting apparatus shown in FIG. 1.

도 2 및 3을 참조하면, 먼저, 제어 유닛(10)의 이송 명령에 따라 모션 제어부(140)에서 서보 드라이브(120)로 제공하기 위한 속도 신호를 생성한다. (S110)Referring to FIGS. 2 and 3, first, a speed signal for providing to the servo drive 120 from the motion controller 140 is generated according to a transfer command of the control unit 10. (S110)

상기 속도 신호는 대상물 이송 장치(100)의 정속도, 가속도 및 감속도에 대한 정보를 포함할 수 있다.The speed signal may include information on a constant speed, acceleration, and deceleration of the object transfer device 100.

다음으로, 상기 서보 드라이브(120)가 기준 온도 조건에서 서보 모터(110)의 토크를 감소시키는 디레이팅 모드 상태인지를 확인한다.(S120)Next, it is checked whether the servo drive 120 is in a derating mode in which the torque of the servo motor 110 is reduced under the reference temperature condition (S120).

상기 기준 온도 조건은 약 50℃ 내지 60℃의 고온일 수 있다. 상기 디레이팅 모드는 상기 서보 드라이브(120)가 상기 서보 모터(110)의 토크를 약 30% 내지 약 50% 정도 감소시키는 것이다. 상기 디레이팅 모드를 수행함으로써 상기 기준 온도 조건에서 상기 서보 드라이브(120)가 추가적으로 온도가 상승하는 것을 방지할 수 있다. The reference temperature condition may be a high temperature of about 50°C to 60°C. In the derating mode, the servo drive 120 reduces the torque of the servo motor 110 by about 30% to about 50%. By performing the derating mode, it is possible to prevent an additional temperature increase of the servo drive 120 under the reference temperature condition.

일 예로, 상기 서보 드라이브(120)의 온도를 측정하여 상기 디레이팅 모드 여부를 확인할 수 있다. For example, by measuring the temperature of the servo drive 120, it is possible to check whether the derating mode is present.

상기 서보 드라이브(120)의 온도가 상기 기준 온도 범위인 경우, 상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드인 것으로 판단한다. 상기 서보 드라이브(120)의 온도가 상기 기준 온도 범위보다 낮은 경우, 상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드가 아닌 것으로 판단한다. When the temperature of the servo drive 120 is within the reference temperature range, it is determined that the servo drive 120 is in the derating mode. When the temperature of the servo drive 120 is lower than the reference temperature range, it is determined that the servo drive 120 is not in the derating mode.

다른 예로, 상기 서보 모터(110)의 토크를 감지하여 상기 디레이팅 여부를 확인할 수 있다. As another example, it is possible to check whether the derating is performed by sensing the torque of the servo motor 110.

상기 서보 모터(110)의 토크가 정상 토크보다 작은 경우, 상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드인 것으로 판단한다. 상기 서보 모터(110)의 토크가 정상 토크와 동일한 경우, 상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드가 아닌 것으로 판단한다.When the torque of the servo motor 110 is less than the normal torque, it is determined that the servo drive 120 is in the derating mode. When the torque of the servo motor 110 is the same as the normal torque, it is determined that the servo drive 120 is not in the derating mode.

상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드가 아닌 경우 상기 모션 제어부(140)에서 정상 속도 프로파일(a)을 생성하고, 상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드인 경우 상기 모션 제어부(140)에서 상기 디레이팅 모드에 대응하는 보정 속도 프로파일(b)을 생성한다.(S130, S140)When the servo drive 120 is not in the de-rating mode, the motion control unit 140 generates a normal speed profile (a), and when the servo drive 120 is in the de-rating mode, the motion control unit 140 A correction speed profile b corresponding to the derating mode is generated in step S130 and S140.

구체적으로, 상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드가 아닌 경우, 상기 모션 제어부(140)는 정상 속도 프로파일(a)을 생성한다. (S130)Specifically, when the servo drive 120 is not in the derating mode, the motion controller 140 generates a normal speed profile (a). (S130)

상기 디레이팅 모드가 아닌 경우, 상기 서보 모터(110)의 토크가 감소되지 않고 정상 토크를 유지하므로, 상기 정상 속도 프로파일(a)은 상기 서보 모터(110)의 정상 토크를 기준으로 생성될 수 있다. When the derating mode is not in the derating mode, since the torque of the servo motor 110 is not reduced and the normal torque is maintained, the normal speed profile a may be generated based on the normal torque of the servo motor 110. .

상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드인 경우, 상기 모션 제어부(140)는 보정 속도 프로파일(b)을 생성한다. (S140)When the servo drive 120 is in the derating mode, the motion controller 140 generates a correction speed profile b. (S140)

상기 디레이팅 모드에서 상기 서보 모터(110)의 토크가 감소되므로, 상기 보정 속도 프로파일에서 상기 대상물 이송 장치(100)의 속도는 감소되어 생성될 수 있다. Since the torque of the servo motor 110 is reduced in the derating mode, the speed of the object conveying device 100 may be reduced and generated in the corrected speed profile.

상기 모션 제어부(140)는 상기 디레이팅 여부에 따라 속도 프로파일을 정상 속도 프로파일(a) 또는 상기 보정 속도 프로파일(b)로 구분하여 생성할 수 있다. 그러므로, 상기 대상물 이송 장치(100)가 상기 속도 프로파일과 다르게 비정상적인 동작하는 것을 방지할 수 있다. The motion controller 140 may generate a speed profile by dividing it into a normal speed profile (a) or the corrected speed profile (b) according to whether or not the derating. Therefore, it is possible to prevent the object transfer device 100 from operating abnormally differently from the speed profile.

또한, 상기 보정 속도 프로파일(b)에서 상기 대상물 이송 장치(100)가 등속을 유지하는 등속 구간이 상기 정상 속도 프로파일(a)에서의 등속 구간보다 길고, 상기 보정 속도 프로파일(b)에서 상기 대상물 이송 장치(100)의 속도가 상기 정상 속도 프로파일(a)에서의 속도보다 느리도록 상기 보정 속도 프로파일(b)을 생성할 수 있다. 상기 정상 속도 프로파일(a)과 상기 보정 속도 프로파일(b) 사이의 면적 S1 및 S2가 동일하도록 상기 보정 속도 프로파일(b)이 생성되는 경우, 상기 정상 속도 프로파일(a)에 따라 상기 대상물 이송 장치(100)가 이동한 거리와 상기 보정 속도 프로파일(b)에 따라 상기 대상물 이송 장치(100)가 이동한 거리가 동일할 수 있다. In addition, the constant velocity section in which the object conveying device 100 maintains a constant velocity in the corrected velocity profile (b) is longer than the constant velocity section in the normal velocity profile (a), and the object is transported in the corrected velocity profile (b). The corrected speed profile (b) may be generated so that the speed of the device 100 is slower than the speed in the normal speed profile (a). When the corrected speed profile (b) is generated so that the areas S1 and S2 between the normal speed profile (a) and the corrected speed profile (b) are the same, the object conveying device according to the normal speed profile (a) ( The distance moved by 100) and the distance moved by the object transfer device 100 may be the same according to the corrected speed profile (b).

이후, 상기 정상 속도 프로파일(a) 또는 상기 보정 속도 프로파일(b)에 따라 상기 서보 드라이브(120)가 상기 서보 모터(110)를 구동시킨다. (S150)Thereafter, the servo drive 120 drives the servo motor 110 according to the normal speed profile (a) or the corrected speed profile (b). (S150)

상기 속도 프로파일이 상기 정상 속도 프로파일(a)인 경우, 상기 서보 모터(110)의 구동에 따라 상기 대상물 이송 장치(100)는 정상 속도로 주행할 수 있다. When the speed profile is the normal speed profile (a), the object transfer device 100 may travel at a normal speed according to the driving of the servo motor 110.

상기 속도 프로파일이 상기 보정 속도 프로파일(b)인 경우, 상기 서보 모터(110)의 구동에 따라 상기 대상물 이송 장치(100)는 정상 속도보다 느린 속도로 주행할 수 있다. When the speed profile is the corrected speed profile (b), the object transfer device 100 may travel at a speed slower than a normal speed according to the driving of the servo motor 110.

또한, 상기 서보 드라이브(120)의 상기 디레이팅 모드 여부와 상관없이 상기 대상물 이송 장치(100)가 동일한 거리를 이동할 수 있다. 그러므로, 상기 대상물 이송 장치(100)가 상기 대상물을 목표한 지점까지 안정적으로 이송할 수 있다. In addition, the object transfer device 100 may move the same distance regardless of whether the servo drive 120 is in the derating mode. Therefore, the object transfer device 100 can stably transfer the object to a target point.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 대상물 이송 장치 및 그 제어 방법은 상기 디레이팅 모드 여부에 따라 상기 정상 속도 프로파일 또는 상기 보정 속도 프로파일을 생성할 수 있다. 상기 디레이팅 여부에 따라 속도 프로파일을 조절할 수 있으므로, 상기 대상물 이송 장치가 비정상적인 동작하는 것을 방지할 수 있다. As described above, the object transporting apparatus and the control method thereof according to the present invention may generate the normal speed profile or the corrected speed profile according to whether the derating mode is present. Since the speed profile can be adjusted according to whether the derating is performed, it is possible to prevent the object transfer device from operating abnormally.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the following claims. You will understand that you can.

100 : 대상물 이송 장치 110 : 서보 모터
120 : 서보 드라이브 130 : 디레이팅 판단부
140 : 모션 제어부 10 : 제어 유닛100: object transfer device 110: servo motor
120: servo drive 130: derating determination unit
140: motion control unit 10: control unit

Claims (8)

주행 레일을 따라 주행하면서 대상물을 이송하는 대상물 이송 장치에 있어서,
상기 대상물 이송 장치를 주행시키기 위한 서보 모터;
상기 서보 모터의 동작을 제어하고, 기준 온도 조건에서 서보 모터의 토크를 감소시키는 디레이팅 모드를 수행하는 서보 드라이브;
상기 서보 드라이브의 상기 디레이팅 모드 여부를 확인하는 디레이팅 판단부; 및
상기 대상물 이송 장치의 동작을 제어하는 제어 유닛의 이송 명령에 따라 속도 신호 및 속도 프로파일을 생성하여 상기 서보 드라이브로 전달하고, 상기 서보 드라이브가 디레이팅 모드가 아닌 경우 정상 속도 프로파일을 생성하고, 상기 서보 드라이브가 디레이팅 모드인 경우 보정 속도 프로파일을 생성하는 모션 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 장치. In the object transport device for transporting the object while traveling along the traveling rail,
A servo motor for driving the object transfer device;
A servo drive controlling an operation of the servo motor and performing a derating mode for reducing a torque of the servo motor under a reference temperature condition;
A de-rating determining unit to check whether the servo drive is in the de-rating mode; And
A speed signal and a speed profile are generated according to a transfer command of a control unit that controls the operation of the object transfer device and transmitted to the servo drive, and when the servo drive is not in a derating mode, a normal speed profile is generated, When the drive is in the derating mode, the object transfer device comprising a motion control unit for generating a correction speed profile. 제1항에 있어서, 상기 서보 드라이브의 디레이팅 모드 여부와 상관없이 상기 이송 차량의 이동 거리가 동일하도록 상기 보정 속도 프로파일의 등속 구간이 상기 정상 속도 프로파일의 등속 구간보다 길고, 상기 보정 속도 프로파일의 속도가 상기 정상 속도 프로파일의 속도보다 느린 것을 특징으로 하는 대상물 이송 장치.The speed of claim 1, wherein the constant speed section of the correction speed profile is longer than the constant speed section of the normal speed profile so that the moving distance of the transfer vehicle is the same regardless of whether the servo drive is in a derating mode or not, and the speed of the correction speed profile Object conveying device, characterized in that slower than the speed of the normal speed profile. 제1항에 있어서, 상기 디레이팅 판단부는 상기 서보 드라이브의 온도가 상기 기준 온도 조건인지를 감지하는 온도 센서인 것을 특징으로 하는 대상물 이송 장치.The apparatus of claim 1, wherein the de-rating determination unit is a temperature sensor that detects whether the temperature of the servo drive is the reference temperature condition. 제1항에 있어서, 상기 디레이팅 판단부는 상기 서보 모터의 토크가 감소하는 것을 감지하는 토크 센서인 것을 특징으로 하는 대상물 이송 장치. The apparatus of claim 1, wherein the de-rating determination unit is a torque sensor that detects a decrease in torque of the servo motor. 대상물 이송 장치의 동작을 제어하는 상위 제어 유닛의 이송 명령에 따라 모션 제어부에서 서보 드라이브로 제공하기 위한 속도 신호를 생성하는 단계;
상기 서보 드라이브가 기준 온도 조건에서 서보 모터의 토크를 감소시키는 디레이팅 모드 상태인지를 확인하는 단계;
상기 서보 드라이브가 상기 디레이팅 모드가 아닌 경우 상기 모션 제어부에서 정상 속도 프로파일을 생성하고, 상기 서보 드라이브가 상기 디레이팅 모드인 경우 상기 모션 제어부에서 상기 디레이팅 모드에 대응하는 보정 속도 프로파일을 생성하는 단계; 및
상기 정상 속도 프로파일 또는 상기 보정 속도 프로파일에 따라 상기 서보 드라이브가 상기 서보 모터를 구동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 장치 제어 방법. Generating a speed signal for providing from the motion controller to the servo drive according to the transfer command of the upper control unit that controls the operation of the object transfer device;
Determining whether the servo drive is in a derating mode for reducing torque of a servo motor under a reference temperature condition;
When the servo drive is not in the de-rating mode, the motion control unit generates a normal speed profile, and when the servo drive is in the de-rating mode, the motion control unit generates a correction speed profile corresponding to the de-rating mode. ; And
And driving the servo motor by the servo drive according to the normal speed profile or the corrected speed profile. 제5항에 있어서, 상기 서보 드라이브의 디레이팅 모드 여부와 상관없이 상기 이송 차량의 이동 거리가 동일하도록 상기 보정 속도 프로파일의 등속 구간이 상기 정상 속도 프로파일의 등속 구간보다 길고, 상기 보정 속도 프로파일의 속도가 상기 정상 속도 프로파일의 속도보다 느린 것을 특징으로 하는 대상물 이송 장치 제어 방법.The method of claim 5, wherein the constant speed section of the correction speed profile is longer than the constant speed section of the normal speed profile so that the moving distance of the transfer vehicle is the same regardless of whether the servo drive is in a derating mode, and the speed of the correction speed profile Is slower than the speed of the normal speed profile. 제5항에 있어서, 상기 디레이팅 모드 상태인지를 확인하는 단계는, 상기 서보 드라이브의 온도가 상기 기준 온도 조건인지를 감지하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 장치.6. The apparatus of claim 5, wherein the step of determining whether the derating mode is in the derating mode is performed by detecting whether the temperature of the servo drive is the reference temperature condition. 제5항에 있어서, 상기 디레이팅 모드 상태인지를 확인하는 단계는, 상기 서보 모터의 토크를 감지하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 장치 제어 방법.The method of claim 5, wherein the step of determining whether the derating mode is in the derating mode is performed by sensing torque of the servo motor.
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