KR20210049157A - 증착 레이트를 측정하기 위한 진동 결정을 사전처리하는 방법, 증착 레이트 측정 디바이스, 증발 소스 및 증착 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
도 1a는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 진동 결정을 갖는 증착 레이트 측정 디바이스의 개략적인 정면도를 도시하고;
도 1b는 도 1a의 증착 레이트 측정 디바이스의 개략적인 측단면도를 도시하고;
도 2a는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 증착 레이트 측정 디바이스의 개략적인 측단면도를 도시하고, 여기서, 진동 결정의 측정 표면은 분극 처리(polarization treatment)를 겪고;
도 2b는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 진동 결정의 측정 표면이 분극 처리를 겪은 후의 증착 레이트 측정 디바이스의 개략적인 측단면도를 도시하고;
도 3a 내지 도 3c는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 진동 결정을 사전처리하는 방법을 예시하기 위한 흐름도들을 도시하고;
도 4는 본원에서 설명되는 추가적인 실시예들에 따른, 증착 레이트 측정 디바이스의 개략도를 도시하고;
도 5a 및 도 5b는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 증발 소스의 개략적인 측면도들을 도시하고;
도 6은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 증발 소스의 개략적인 사시도를 도시하며; 그리고
도 7은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 증착 장치의 개략도를 도시한다.
Claims (15)
- 증착 레이트를 측정하기 위한 진동 결정(oscillation crystal)(110)을 사전처리하는 방법으로서,
상기 진동 결정의 측정 표면(115)을 분극처리(polarizing)하는 단계를 포함하는,
증착 레이트를 측정하기 위한 진동 결정(110)을 사전처리하는 방법. - 제1 항에 있어서,
상기 진동 결정(110)의 측정 표면(115)을 분극처리하는 단계는 상기 진동 결정의 상기 측정 표면의 산소 처리를 수행하는 단계를 포함하는,
증착 레이트를 측정하기 위한 진동 결정(110)을 사전처리하는 방법. - 제2 항에 있어서,
상기 산소 처리를 수행하는 단계는 플라즈마 처리를 수행하는 단계를 포함하는,
증착 레이트를 측정하기 위한 진동 결정(110)을 사전처리하는 방법. - 제3 항에 있어서,
상기 플라즈마 처리를 수행하는 단계는 0.5% 초과, 특히, 20% 초과의 산소 함량을 포함하는 플라즈마를 사용하는 단계를 포함하는,
증착 레이트를 측정하기 위한 진동 결정(110)을 사전처리하는 방법. - 제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 진동 결정(110)의 측정 표면(115)을 분극처리하는 단계는, 특히 산소 함유 환경에서 UV(ultraviolet) 광에 상기 진동 결정의 상기 측정 표면을 노출시키는 단계를 포함하는,
증착 레이트를 측정하기 위한 진동 결정(110)을 사전처리하는 방법. - 제4 항 또는 제5 항에 있어서,
상기 플라즈마의 산소는 O2의 형태 및/또는 O3의 형태인,
증착 레이트를 측정하기 위한 진동 결정(110)을 사전처리하는 방법. - 제2 항 내지 제6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 산소 처리는 0.5 분 ≤ t ≤ 10 분, 특히, 1 분 ≤ t ≤ 5 분의 시간 기간(t) 동안 수행되는,
증착 레이트를 측정하기 위한 진동 결정(110)을 사전처리하는 방법. - 제2 항 내지 제7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 산소 처리는 10 ℃ ≤ T ≤ 80 ℃, 특히, 15 ℃ ≤ T ≤ 50 ℃의 온도(T)에서 수행되는,
증착 레이트를 측정하기 위한 진동 결정(110)을 사전처리하는 방법. - 증착 레이트를 측정하기 위한 진동 결정(110)을 사전처리하는 방법으로서,
산소 함유 플라즈마를 이용하여 상기 진동 결정의 측정 표면(115)을 사전처리하는 단계를 포함하고, 상기 사전처리하는 단계는 1 분 ≤ t ≤ 15 분의 시간 기간(t) 동안 10 ℃ ≤ T ≤ 100 ℃의 온도에서 수행되는,
증착 레이트를 측정하기 위한 진동 결정(110)을 사전처리하는 방법. - 증착 레이트를 측정하기 위한 진동 결정(110)을 포함하는 증착 레이트 측정 디바이스(100)로서,
상기 진동 결정(110)은 분극처리된 측정 표면(115P)을 갖는,
증착 레이트를 측정하기 위한 진동 결정(110)을 포함하는 증착 레이트 측정 디바이스(100). - 제10 항에 있어서,
상기 분극처리된 측정 표면(115P)은, 제1 항 내지 제9 항 중 어느 한 항에 따른 진동 결정을 사전처리하는 방법을 수행함으로써 분극처리된,
증착 레이트를 측정하기 위한 진동 결정(110)을 포함하는 증착 레이트 측정 디바이스(100). - 재료 증발을 위한 증발 소스(200)로서,
- 증발 도가니(210) ―상기 증발 도가니는 재료를 증발시키도록 구성됨―;
- 하나 이상의 출구들(222)을 갖는 분배 어셈블리(220) ―상기 하나 이상의 출구들(222)은 증발된 재료를 제공하기 위해 상기 분배 어셈블리의 길이를 따라 제공되고, 상기 분배 어셈블리는 상기 증발 도가니와 유체 연통함―; 및
- 제10 항 또는 제11 항에 따른 증착 레이트 측정 디바이스(100)
를 포함하는,
재료 증발을 위한 증발 소스(200). - 제12 항에 있어서,
상기 분배 어셈블리(220)는 상기 증발된 재료를 상기 증착 레이트 측정 디바이스(100)의 상기 진동 결정(110)에 제공하기 위한 측정 출구(151)를 포함하는,
재료 증발을 위한 증발 소스(200). - 제13 항에 있어서,
상기 분배 어셈블리(220)는 분배 파이프이고, 상기 측정 출구(151)는 상기 분배 파이프의 단부 부분에, 특히, 상기 분배 파이프의 상기 단부 부분의 후면(224A)에 제공되며, 상기 증착 레이트 측정 디바이스(100)는 상기 진동 결정(110)이 상기 측정 출구(151)를 향하도록 배열되는,
재료 증발을 위한 증발 소스(200). - 증착 레이트로 진공 챔버(310) 내의 기판(333)에 재료를 적용하기 위한 증착 장치(300)로서,
제12 항 내지 제14 항 중 어느 한 항에 따른 적어도 하나의 증발 소스(200)를 포함하는,
증착 레이트로 진공 챔버(310) 내의 기판(333)에 재료를 적용하기 위한 증착 장치(300).
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Legal Events
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