KR20210049077A - 웨이퍼 수납용기 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 수납용기에 관한 것으로서, 특히, 수납실 내부에 수직방향으로 복수개의 퍼징영역을 구획하고, 상기 복수개의 퍼징영역에 퍼지가스를 분사함으로써, 웨이퍼의 균일한 퍼징을 보장할 수 있을 뿐만 아니라, 퍼지가스의 낭비없이 효율적인 웨이퍼의 퍼징을 달성할 수 있는 웨이퍼 수납용기에 관한 것이다.

Description

웨이퍼 수납용기{WAFER STORAGE CONTAINER}

본 발명은 웨이퍼 수납용기에 관한 것으로서, 수납실에 수납되는 웨이퍼에 퍼지가스를 공급하여 상기 웨이퍼의 퓸을 제거하는 웨이퍼 수납용기에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자는 웨이퍼 상에 증착 공정, 연마 공정, 포토리소그래피 공정, 식각 공정, 이온주입 공정, 세정 공정, 검사 공정, 열처리 공정 등이 선택적이면서도 반복적으로 수행되어 제조되며, 이렇게 반도체 소자로 형성되기 위하여 웨이퍼는 각 공정에서 요구되는 특정 위치로 운반되어 진다.

웨이퍼는 고정밀도의 물품으로서 외부의 오염 물질과 충격으로부터 오염되거나 손상되지 않도록 개구형 통합형 포드(Front Opening Unifie Pod, FOUP) 등과 같은 웨이퍼 수납용기에 수납되어 보관되거나 운반되어 진다.

이 경우, 공정상에서 사용되는 공정 가스 및 공정상의 부산물인 퓸(Fume) 등이 제거되지 않고 웨이퍼 표면에 잔존하게 되며, 이로 인해, 공정 중 반도체 제조장비의 오염이 발생하거나, 웨이퍼의 에칭 패턴(etch pattern) 불량 등이 발생하여 웨이퍼의 신뢰성이 저하되는 문제가 있다.

최근에 이러한 문제를 해결하기 위해, 웨이퍼 수납용기에 수납된 웨이퍼에 퍼지가스를 공급하여, 웨이퍼의 표면에 잔존하는 퓸을 제거하거나, 웨이퍼의 산화를 방지하는 퍼징(Purging) 기술들이 개발되고 있다.

웨이퍼 수납용기에 수납되는 웨이퍼의 퍼징을 달성하기 위하여, 웨이퍼 수납용기는 로드 포트(Load Port) 등과 같이 퍼지가스의 공급이 가능한 공급장치와 결합되고, 웨이퍼 수납용기에 수납된 웨이퍼에 퍼지가스를 공급하게 된다. 따라서, 웨이퍼 수납용기에는 상기 공급장치에서 공급된 퍼지가스가 유동하는 유로 및 퍼지가스가 분사되는 분사구 등이 구비된다.

위와 같이, 퍼지가스의 공급이 가능한 웨이퍼 수납용기로는 한국공개특허 제2015-0087015호(이하, '종래기술' 이라 한다)에 기재된 것이 공지되어 있다.

종래기술의 웨이퍼 카세트는 웨이퍼를 지지하며 퍼지가스를 수납실에 분사하는 복수개의 적재대와, 배기부와 연통되어 웨이퍼 카세트의 퍼지가스 및 퓸을 배기하는 흡기공을 포함하여 구성된다.

또한, 복수개의 적재대에는 퍼지가스가 유동하는 퍼지가스 유로와, 상기 퍼지가스 유로와 연통되는 퍼지가스 배출구가 구비된다. 따라서, 퍼지가스는 퍼지가스 공급원으로부터 공급되어 상기 퍼지가스 유로와 연통된 측부 가스관을 통해 적재대 내부로 유입된 후, 퍼지가스 배출구를 통해 수납실로 분사되게 된다.

그러나, 종래기술의 웨이퍼 카세트는 하나의 측부 가스관이 복수개의 적재대에 구비된 퍼지가스 유로와 연통되게 되므로, 복수개의 적재대 각각에서 분사되는 퍼지가스를 개별적으로 제어할 수 없게 된다. 따라서, 수납실의 일부 영역에만 웨이퍼가 수납될 경우(예컨데, 수납실의 하부에 배치되는 적재대에만 웨이퍼가 적재될 경우)에도, 웨이퍼가 수납되지 않은 중앙 영역 및 상부 영역에도 퍼지가스가 분사될 수밖에 없으며, 이로 인해, 불필요한 퍼지가스의 낭비가 발생할 수 있다는 문제점이 있다.

한국공개특허 제2015-0087015호

본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로서, 웨이퍼의 균일한 퍼징을 보장하고 퍼지가스의 낭비를 최소화할 수 있도록 하는 웨이퍼 수납용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 수납실의 수직방향으로 구획된 복수개의 퍼징영역에 분사되는 퍼지가스를 개별적으로 제어하여 분사함으로써, 웨이퍼의 독립적인 퍼징을 달성할 수 있도록 하는 웨이퍼 수납용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 수납실에 수직방향으로 복수개 구비되는 지지대에 오목부를 구비하여 전방 개구부를 통해 웨이퍼가 수납실로 출입시, 상기 웨이퍼를 이송하는 로봇암이 간섭되는 것을 방지할 수 있는 웨이퍼 수납용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 지지대에 웨이퍼가 지지시, 지지대와 웨이퍼 사이에 형성되는 공간을 최소화함으로써, 수납실로 분사되는 퍼지가스의 수직방향 유동을 최소화하여, 수납실에 구획된 복수개의 퍼징영역으로의 개별적인 퍼지가스 분사를 더욱 효율적으로 할 수 있는 웨이퍼 수납용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 수납실의 전방 양측에 전방 배기부를 구비함으로써, 외부 기체가 수납실 내부로 유입되는 것을 차단하여, 수납실에서 이루어지는 웨이퍼의 퍼징을 더욱 효율적으로 달성할 수 있는 웨이퍼 수납용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 일 특징에 따른 웨이퍼 수납용기는, 전방 개구부를 통해 수납된 웨이퍼가 수납되는 수납실; 상기 수납실과 접하며, 복수의 제1분사구멍들이 형성된 제1분사부 내벽면; 상기 제1분사부 내벽면으로부터 상기 수납실과 반대 방향으로 이격되게 구비되는 제1분사부 외벽면; 상기 수납실의 좌측에 배치되는 제1-1분사부; 및 상기 제1-1분사부에 인접하게 배치되는 제1-2분사부;를 포함하고, 상기 제1-1분사부 및 상기 제1-2분사부는 상기 제1분사부 내벽면과 상기 제1분사부 외벽면 사이의 이격 공간이고, 상기 제1-1분사부 및 상기 제1-2분사부는 서로 수평방향으로 구획되어 구별되며, 상기 수평방향으로 구별된 제1-1, 1-2분사부는 각각 개별적으로 퍼지가스를 공급받아 서로 다른 상기 복수의 제1분사구멍들을 통해 상기 수납실에 상기 퍼지가스를 분사하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1-1분사부는 제1-1외부 공급라인에 의해 퍼지가스를 공급받고, 상기 제1-2분사부는 제1-2외부 공급라인에 의해 퍼지가스를 공급받으며, 상기 제1-1분사부 내부로 공급된 퍼지가스는 상기 복수의 제1분사구멍들 중 복수의 제1-1분사구멍들을 통해 상기 수납실로 분사되고, 상기 제1-2분사부 내부로 공급된 퍼지가스는 상기 복수의 제1분사구멍들 중 복수의 제1-2분사구멍들을 통해 상기 수납실로 분사되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 수납실과 접하며, 복수의 제2분사구멍들이 형성된 제2분사부 내벽면; 상기 제2분사부 내벽면으로부터 상기 수납실과 반대 방향으로 이격되게 구비되는 제2분사부 외벽면; 상기 수납실의 우측에 배치되는 제1-3분사부; 및 상기 제1-3분사부에 인접하게 배치되는 제1-4분사부;를 더 포함하고, 상기 제1-3분사부 및 상기 제1-4분사부는 상기 제2분사부 내벽면과 상기 제2분사부 외벽면 사이의 이격 공간이고, 상기 제1-3분사부 및 상기 제1-4분사부는 서로 수평방향으로 구획되어 구별되며, 상기 수평방향으로 구별된 제1-3, 1-4분사부는 각각 개별적으로 퍼지가스를 공급받아 서로 다른 상기 복수의 제2분사구멍들을 통해 상기 수납실에 상기 퍼지가스를 분사하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1-3분사부는 상기 제1-1외부 공급라인에 의해 퍼지가스를 공급받고, 상기 제1-4분사부는 상기 제1-2외부 공급라인에 의해 퍼지가스를 공급받으며, 상기 제1-3분사부 내부로 공급된 퍼지가스는 상기 복수의 제2분사구멍들 중 복수의 제2-1분사구멍들을 통해 상기 수납실로 분사되고, 상기 제1-4분사부 내부로 공급된 퍼지가스는 상기 복수의 제2분사구멍들 중 복수의 제2-2분사구멍들을 통해 상기 수납실로 분사되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 수납실의 퍼지가스 및 퓸을 배기하는 배기부;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 배기부는 상기 수납실과 접하는 배기부 내벽면을 구비하고, 상기 배기부 내벽면에는 상기 수납실의 퍼지가스 및 퓸이 상기 배기부로 배기되도록 하는 배기구멍이 형성된 것을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 특징에 따른 웨이퍼 수납용기는, 전방 개구부를 통해 수납된 웨이퍼가 수납되며, 제1퍼징영역과, 상기 제1퍼징영역과 수직방향으로 배치되도록 상기 제1퍼징영역의 상부에 배치되는 제2퍼징영역으로 구획되는 수납실; 상기 수납실과 접하며, 복수의 제1분사구멍들이 형성된 제1분사부 내벽면; 상기 제1분사부 내벽면으로부터 상기 수납실과 반대 방향으로 이격되게 구비되는 제1분사부 외벽면; 상기 제1퍼징영역의 좌측에 배치되는 제1-1분사부; 상기 제1-1분사부에 인접하게 배치되는 제1-2분사부; 상기 제1-1분사부의 상부에 배치되고, 상기 제2퍼징영역의 좌측에 배치되는 제2-1분사부; 및 상기 제1-2분사부의 상부에 배치되고, 상기 제2-1분사부에 인접하게 배치되는 제2-2분사부;를 포함하고, 상기 제1-1, 1-2, 2-1, 2-2분사부는 상기 제1분사부 내벽면과 상기 제1분사부 외벽면 사이의 이격 공간이고, 상기 제1-1, 1-2분사부는 서로 수평방향으로 구획되어 구별되고, 상기 제2-1, 2-2분사부는 서로 수평방향으로 구획되어 구별되며, 상기 제1-1, 1-2분사부와 상기 제2-1, 2-2분사부는 서로 수직방향으로 구획되어 구별되고, 상기 수평방향 및 수직방향으로 구별된 제1-1, 1-2, 2-1, 2-2분사부는 각각 개별적으로 퍼지가스를 공급받아 서로 다른 상기 복수의 제1분사구멍들을 통해 상기 수납실에 상기 퍼지가스를 분사하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1-1분사부는 제1-1외부 공급라인에 의해 퍼지가스를 공급받고, 상기 제1-2분사부는 제1-2외부 공급라인에 의해 퍼지가스를 공급받고, 상기 제2-1분사부는 제2-1외부 공급라인에 의해 퍼지가스를 공급받고, 상기 제2-2분사부는 제2-2외부 공급라인에 의해 퍼지가스를 공급받으며, 상기 제1-1분사부 내부로 공급된 퍼지가스는 상기 복수의 제1분사구멍들 중 복수의 제1-1분사구멍들을 통해 상기 제1퍼징영역으로 분사되고, 상기 제1-2분사부 내부로 공급된 퍼지가스는 상기 복수의 제1분사구멍들 중 복수의 제1-2분사구멍들을 통해 상기 제1퍼징영역으로 분사되고, 상기 제2-1분사부 내부로 공급된 퍼지가스는 상기 복수의 제1분사구멍들 중 복수의 제1-3분사구멍들을 통해 상기 제2퍼징영역으로 분사되고, 상기 제2-2분사부 내부로 공급된 퍼지가스는 상기 복수의 제1분사구멍들 중 복수의 제1-4분사구멍들을 통해 상기 제2퍼징영역으로 분사되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 수납실과 접하며, 복수의 제2분사구멍들이 형성된 제2분사부 내벽면; 상기 제2분사부 내벽면으로부터 상기 수납실과 반대 방향으로 이격되게 구비되는 제2분사부 외벽면; 상기 제1퍼징영역의 우측에 배치되는 제1-3분사부; 상기 제1-3분사부에 인접하게 배치되는 제1-4분사부; 상기 제1-3분사부의 상부에 배치되고, 상기 제2퍼징영역의 우측에 배치되는 제2-3분사부; 및 상기 제1-4분사부의 상부에 배치되고, 상기 제2-3분사부에 인접하게 배치되는 제2-4분사부;를 더 포함하고, 상기 제1-3, 1-4, 2-3, 2-4분사부는 상기 제2분사부 내벽면과 상기 제2분사부 외벽면 사이의 이격 공간이고, 상기 제1-3, 1-4분사부는 서로 수평방향으로 구획되어 구별되고, 상기 제2-3, 2-4분사부는 서로 수평방향으로 구획되어 구별되며, 상기 제1-3, 1-4분사부와 상기 제2-3, 2-4분사부는 서로 수직방향으로 구획되어 구별되고, 상기 수평방향 및 수직방향으로 구별된 제1-3, 1-4, 2-3, 2-4분사부는 각각 개별적으로 퍼지가스를 공급받아 서로 다른 상기 복수의 제2분사구멍들을 통해 상기 수납실에 상기 퍼지가스를 분사하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1-3분사부는 상기 제1-1외부 공급라인에 의해 퍼지가스를 공급받고, 상기 제1-4분사부는 상기 제1-2외부 공급라인에 의해 퍼지가스를 공급받고, 상기 제2-3분사부는 상기 제2-1외부 공급라인에 의해 퍼지가스를 공급받고, 상기 제2-4분사부는 상기 제2-2외부 공급라인에 의해 퍼지가스를 공급받으며, 상기 제1-3분사부 내부로 공급된 퍼지가스는 상기 복수의 제2분사구멍들 중 복수의 제2-1분사구멍들을 통해 상기 제1퍼징영역으로 분사되고, 상기 제1-4분사부 내부로 공급된 퍼지가스는 상기 복수의 제2분사구멍들 중 복수의 제2-2분사구멍들을 통해 상기 제1퍼징영역으로 분사되고, 상기 제2-3분사부 내부로 공급된 퍼지가스는 상기 복수의 제2분사구멍들 중 복수의 제2-3분사구멍들을 통해 상기 제2퍼징영역으로 분사되고, 상기 제2-4분사부 내부로 공급된 퍼지가스는 상기 복수의 제2분사구멍들 중 복수의 제2-4분사구멍들을 통해 상기 제2퍼징영역으로 분사되는 것을 특징으로 한다.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 웨이퍼 수납용기에 따르면, 다음과 같은 효과가 있다.

수납실의 상부에 수납되는 웨이퍼에도 충분한 양의 퍼지가스가 분사할 수 있으므로, 수납실에 수납되는 복수개의 웨이퍼의 퍼징을 균일하게 할 수 있으며, 이로 인해, 웨이퍼 제조 공정의 신뢰성을 보장할 수 있다.

또한, 복수개의 퍼징영역 중 웨이퍼가 위치한 영역에만 퍼지가스를 선택적으로 분사하여, 웨이퍼의 퍼징을 달성할 수 있으므로, 불필요한 퍼지가스의 낭비를 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기의 사시도.
도 2는 도 1의 분해 사시도.
도 3은 도 1의 정면도.
도 4는 도 3의 제1 내지 제3퍼징영역에 주입되는 퍼지가스의 유동을 도시한 정면도.
도 5는 도 1의 제1분사부내벽면을 도시한 부분 사시도.
도 6은 도 1의 제1-1 내지 제3-2분사부를 도시한 부분 사시도.
도 7은 도 6의 제1-1 내지 제3-2분사부의 퍼지가스 유동을 도시한 부분 사시도.
도 8은 도 1의 좌측의 단면을 도시한 좌측 단면도.
도 9는 도 8의 제1전방배기부로 배기되는 외부 기체의 유동 및 배기부로 배기되는 퍼지가스 및 퓸의 유동을 도시한 우측 단면도.
도 10은 도 1의 제2분사부 내벽면을 도시한 부분 사시도.
도 11은 도 1의 제1-3 내지 제3-4분사부를 도시한 부분 사시도.
도 12는 도 11의 제1-3 내지 제3-4분사부의 퍼지가스 유동을 도시한 부분 사시도.
도 13은 도 1의 우측의 단면을 도시한 우측 단면도.
도 14는 도 13의 제2전방배기부로 배기되는 외부 기체의 유동 및 배기부로 배기되는 퍼지가스 및 퓸의 유동을 도시한 우측 단면도.
도 15는 도 1의 평면 단면도.
도 16은 도 15의 지지대에 지지된 웨이퍼에 분사되는 퍼지가스의 유동 및 배기부로 배기되는 퍼지가스 및 퓸의 유동을 도시한 평면 단면도.
도 17은 도 1의 배기부의 정면을 도시한 정면도.
도 18은 도 17의 배기부의 배면의 단면을 도시한 도시한 배면 단면도.
도 19는 도 1의 제1공급부의 우측면을 도시한 우측면도.
도 20은 도 1의 제2공급부의 좌측면을 도시한 좌측면도.
도 21은 도 1의 지지대의 평면도.
도 22는 도 21의 지지대에 웨이퍼가 지지된 것을 도시한 도.
도 23는 도 1의 제1전방배기부의 우측면을 도시한 사시도.
도 24는 도 23의 제1전방배기부의 좌측면의 단면을 도시한 단면 사시도.
도 25는 도 1의 제2전방배기부의 좌측면을 도시한 사시도.
도 26은 도 25의 제2전방배기부의 우측면의 단면을 도시한 단면 사시도.
도 27은 도 1의 하부 플레이트의 분해 사시도.
도 28은 도 27의 제1하부 플레이트의 평면도.
도 29는 도 27의 제2하부 플레이트의 평면도.
도 30은 도 27의 제3하부 플레이트의 평면도.
도 31은 도 27의 연결부의 평면도.
도 32는 도 27의 하부 플레이트 내부의 퍼지가스 유동을 도시한 평면도.
도 33은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기의 퍼지가스 공급/분사 유동을 도시한 개략도.
도 34는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기의 퍼지가스, 퓸 및 외부기체의 배기 유동을 도시한 개략도.

이하에서 언급되는 '퍼지가스'는 웨이퍼의 퓸을 제거하기 위한 불활성 가스를 통칭하는 말이며, 특히, 불활성 가스 중 하나인 질소(N₂) 가스일 수 있다.

또한, '퍼징(Purging)'은 웨이퍼에 퍼지가스를 분사하여 웨이퍼 표면에 잔존하는 퓸을 제거하거나, 웨이퍼의 산화를 방지하는 것을 통칭하는 말이다.

본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기는 전방 개구부를 통해 수납된 웨이퍼가 수납되는 수납실과, 수납실에 퍼지가스를 분사하는 복수개의 분사부와, 수납실의 퍼지가스 및 퓸을 배기하는 배기부와, 복수개의 분사부에 퍼지가스를 공급하는 공급부를 포함하여 구성된다.

수납실의 전방에는 전방 개구부가 형성되어 있으며, 전방 개구부를 통해 웨이퍼가 수납실 내부로 출입하게 된다.

수납실의 내부에는 웨이퍼를 지지하는 지지대가 구비되며, 지지대에 웨이퍼가 지지되어 수납됨으로써, 전방 개구부를 통해 수납된 웨이퍼가 용이하게 수납될 수 있다.

복수개의 분사부는 웨이퍼가 수납된 수납실에 퍼지가스를 분사하며, 배기부는 복수개의 분사부에 의해 수납실로 분사된 퍼지가스와, 웨이퍼의 퓸을 배기하고, 공급부는 웨이퍼 수납용기의 외부에서 유입된 퍼지가스를 복수개의 분사부로 공급한다.

전술한 수납실은 수직방향으로 복수개의 퍼징영역으로 구획가능하다. 이 경우, 퍼징영역은 복수개의 분사부 각각이 개별적으로 퍼지가스를 공급받아 수납실로 퍼지가스를 분사하여, 웨이퍼의 퍼징이 이루어지는 영역을 말한다.

위와 같은 퍼징영역의 갯수는 본 발명의 목적을 달성할 수 있는 범위 내에서 웨이퍼 수납용기의 용도 및 크기에 따라 다양하게 구획될 수 있다.

웨이퍼의 제조 공정시 10개의 웨이퍼 단위로 각 공정에 웨이퍼의 이송이 이루어지는 경우가 많으므로, 한 개의 퍼징영역에서 10개의 웨이퍼의 퍼징이 달성되도는 것이 바람직하며, 웨이퍼 수납용기에 수납되는 웨이퍼의 갯수는 30개인 것이 일반적이다.

따라서, 웨이퍼 수납용기에 수납되는 웨이퍼의 갯수가 30개일 때, 수납실에 구획되는 퍼징영역은 예컨데, 3개의 퍼징영역으로 구획될 수 있다.

이 경우, 웨이퍼 수납용기는 3개의 분사부 즉, 제1 내지 제3분사부가 구비되어 제1 내지 제3퍼징영역이 구획되는 것이 바람직하며, 이하, 이를 기준으로 설명한다.

전술한 바와 같이, 개별적으로 퍼지가스를 공급받아 수납실에 퍼지가스를 분사하는 제1 내지 제3분사부가 구비되는 경우, 수납실은 제1 내지 제3퍼징영역으로 구획 가능하다. 이 경우, 제1분사부는 제1퍼징영역에 퍼지가스를 분사하고, 제2분사부는 제2퍼징영역에 퍼지가스를 분사하고, 제3분사부는 제3퍼징영역에 퍼지가스를 분사하게 되며, 제1 내지 제3퍼징영역은 수납실 내부에서 수직방향으로 구획된다.

위와 같이, 제1 내지 제3분사부가 개별적으로 퍼지가스를 공급받아 수납실에 퍼지가스를 분사함으로써, 수납실에 수직방향으로 제1 내지 제3퍼징영역을 구획시키는 것을 달성하기 위하여, 제1 내지 제3분사부 각각은 제1 내지 제3퍼징영역 각각과 대응되는 수직방향 위치를 갖는 분사구멍이 형성될 수 있다.

예컨데, 제1 내지 제3퍼징영역이 하부에서 상부순으로 제1퍼징영역, 제2퍼징영역, 제3퍼징영역으로 수납실에서 구획된 경우(즉, 제1퍼징영역은 수납실의 하부 영역, 제2퍼징영역은 수납실의 중간 영역, 제3퍼징영역은 수납실의 상부영역이다) 제1분사부에 형성되는 분사구멍은 제1퍼징영역의 높이와 대응되는 위치(하부 영역)에 형성될 수 있다. 따라서, 제1분사부는 개별적으로 퍼지가스를 공급받아 수납실의 하부 영역인 제1퍼징영역에만 퍼지가스를 분사할 수 있다.

또한, 제2분사부에 형성되는 분사구멍은 제2퍼징영역의 높이와 대응되는 위치(중간 영역)에 형성될 수 있으며, 이로 인해, 제2분사부는 개별적으로 퍼지가스를 공급받아 수납실의 중간 영역인 제2퍼징영역에만 퍼지가스를 분사할 수 있다.

또한, 제3분사부에 형성되는 분사구멍은 제3퍼징영역의 높이와 대응되는 위치(상부 영역)에 형성될 수 있으며, 이로 인해, 제3분사부는 개별적으로 퍼지가스를 공급받아 수납실의 중간 영역인 제3퍼징영역에만 퍼지가스를 분사할 수 있다.

위와 같이, 본 발명의 웨이퍼 수납용기의 경우, 제1 내지 제3분사부가 개별적으로 퍼지가스를 공급받아 수납실에 분사함으로써, 수납실 내부에 수직방향으로 구획되는 제1 내지 제3퍼징영역이 형성되게 된다.

따라서, 제1 내지 제3퍼징영역 각각으로 유동하는 퍼지가스의 유동이 개별적으로 이뤄지게 되며, 이로 인해, 종래기술과 달리 수납실의 상부영역인 제3퍼징영역으로 유동하는 퍼지가스는 제1퍼징영역이나 제2퍼징영역으로 유동하지 않아도 되므로, 퍼지가스의 유동량의 손실이 발생하지 않게 된다.

따라서, 본 발명의 웨이퍼 수납용기의 경우, 종래기술과 달리 수납실의 상부영역인 제3퍼징영역에도 충분한 양의 퍼지가스가 분사될 수 있다.

또한, 제1 내지 제3분사부가 개별적으로 퍼지가스를 공급받으므로, 제1 내지 제3분사부로의 퍼지가스 공급을 제어함에 따라, 수납실의 제1 내지 제3퍼징영역에 분사되는 퍼지가스를 제어할 수 있으며, 이로 인해, 제1 내지 제3퍼징영역 중 웨이퍼가 수납되어 수납되는 영역에만 퍼지가스를 분사할 수 있다. 따라서, 종래기술에서 웨이퍼가 수납되지 않은 영역에 퍼지가스를 분사함으로써 발생하게 되는 퍼지가스의 낭비를 방지할 수 있으며, 수납실에 수납된 웨이퍼의 대기시간에 맞춰 웨이퍼에 퍼지가스를 분사하여 웨이퍼의 퓸을 제거함으로써, 일부 웨이퍼의 퓸이 제거되지 못해 발생하는 웨이퍼 불량의 발생을 최소화 할 수 있다.

전술한 바와 다른 구성으로, 제1 내지 제3분사부가 개별적으로 퍼지가스를 공급받아 수납실에 퍼지가스를 분사함으로써, 수납실에 수직방향으로 제1 내지 제3퍼징영역을 구획시키는 것을 달성하기 위하여, 제1 내지 제3분사부는 수직방향으로 구획된 제1 내지 제3퍼징영역과 대응되도록 수직방향으로 적층되게 배치될 수 있다.

예컨데, 제1 내지 제3퍼징영역이 하부에서 상부순으로 제1퍼징영역, 제2퍼징영역, 제3퍼징영역으로 수납실에서 구획된 경우(즉, 제1퍼징영역은 수납실의 하부 영역, 제2퍼징영역은 수납실의 중간 영역, 제3퍼징영역은 수납실의 상부영역이다), 제1 내지 제3분사부 또한, 하부에서 상부순으로 제1분사부, 제2분사부, 제3분사부가 수직방향으로 적층되게 배치될 수 있다. 이 경우, 제1 내지 제3분사부 각각은 수납실과 접하느 분사부 내벽면을 구비하며, 분사부 내벽면에는 퍼지가스가 수납실로 분사되도록 하는 분사구멍이 형성될 수 있다.

따라서, 제1분사부는 개별적으로 퍼지가스를 공급받아 제1분사부에 구비된 분사부 내벽면에 형성된 분사구멍을 통해 퍼지가스를 제1퍼징영역에만 분사할 수 있다.

또한, 제2분사부는 개별적으로 퍼지가스를 공급받아 제2분사부에 구비된 분사부 내벽면에 형성된 분사구멍을 통해 퍼지가스를 제2퍼징영역에만 분사할 수 있으며, 제3분사부 또한, 개별적으로 퍼지가스를 공급받아 제3분사부에 구비된 분사부 내벽면에 형성된 분사구멍을 통해 퍼지가스를 제3퍼징영역에만 분사할 수 있다.

위와 같이, 제1 내지 제3분사부가 수직방향으로 적층되게 배치되어 제1 내지 제3퍼징영역 각각에 퍼지가스를 분사하는 경우, 제1 내지 제3분사부 각각은 제1 내지 제3퍼징영역 각각에 다방향에서 퍼지가스를 분사하는 복수개의 분사부로 나눠질 수 있다.

예컨데, 제1퍼징영역에 퍼지가스를 분사하는 제1분사부는 제1퍼징영역의 전방 좌측에 퍼지가스를 분사하는 제1-1분사부와, 제1퍼징영역의 후방 좌측에 퍼지가스를 분사하는 제1-2분사부와, 제1퍼징영역의 전방 우측에 퍼지가스를 분사하는 제1-3분사부와, 제1퍼징영역의 후방 우측에 퍼지가스를 분사하는 제1-4분사부를 포함할 수 있다.

제2퍼징영역에 퍼지가스를 분사하는 제2분사부 또한, 제1분사부와 마찬가지로 제2퍼징영역의 전방 좌측에 퍼지가스를 분사하는 제2-1분사부와, 제2퍼징영역의 후방 좌측에 퍼지가스를 분사하는 제2-2분사부와, 제2퍼징영역의 전방 우측에 퍼지가스를 분사하는 제2-3분사부와, 제2퍼징영역의 후방 우측에 퍼지가스를 분사하는 제2-4분사부를 포함할 수 있다.

제3퍼징영역에 퍼지가스를 분사하는 제3분사부 또한, 제1분사부와 마찬가지로 제3퍼징영역의 전방 좌측에 퍼지가스를 분사하는 제3-1분사부와, 제3퍼징영역의 후방 좌측에 퍼지가스를 분사하는 제3-2분사부와, 제3퍼징영역의 전방 우측에 퍼지가스를 분사하는 제3-3분사부와, 제3퍼징영역의 후방 우측에 퍼지가스를 분사하는 제3-4분사부를 포함할 수 있다.

위와 같이, 제1 내지 제3분사부 각각이 제1-1 내지 제1-4분사부, 제2-1 내지 제2-4분사부, 제3-1 내지 제3-4분사부를 포함하여 구성됨으로써, 수납실의 제1 내지 제3퍼징영역 각각에 사영역없이 퍼지가스를 분사할 수 있으며, 이로 인해, 수납실에에 수납되는 웨이퍼의 퓸을 효율적으로 제거할 수 있다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기의 하나의 실시 예로서, 전술한 바와 같이, 복수개의 분사부가 제1 내지 제3분사부로 이루어지고, 제1 내지 제3분사부 각각은 제1-1 내지 제1-4분사부와, 제2-1 내지 제2-4분사부와, 제3-1 내지 제3-4분사부를 포함하여 구성되는 것을 기준으로 설명한다.

이 경우, 수납실에는 30개의 웨이퍼가 수납되고, 수납실 내부는 제1 내지 제3분사부에 의해 수직방향으로 제1 내지 제3퍼징영역이 구획된다. 따라서, 제1 내지 제3퍼징영역 각각에는 10개의 웨이퍼가 위치하게 되며, 제1 내지 제3분사부에 의해 10개의 웨이퍼 각각의 퍼징이 달성될 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10)를 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기의 사시도이고, 도 2는 도 1의 분해 사시도이고, 도 3은 도 1의 정면도이고, 도 4는 도 3의 제1 내지 제3퍼징영역에 주입되는 퍼지가스의 유동을 도시한 정면도이고, 도 5는 도 1의 제1분사부내벽면을 도시한 부분 사시도이고, 도 6은 도 1의 제1-1 내지 제3-2분사부를 도시한 부분 사시도이고, 도 7은 도 6의 제1-1 내지 제3-2분사부의 퍼지가스 유동을 도시한 부분 사시도이고, 도 8은 도 1의 좌측의 단면을 도시한 좌측 단면도이고, 도 9는 도 8의 제1전방배기부로 배기되는 외부 기체의 유동 및 배기부로 배기되는 퍼지가스 및 퓸의 유동을 도시한 우측 단면도이고, 도 10은 도 1의 제2분사부 내벽면을 도시한 부분 사시도이고, 도 11은 도 1의 제1-3 내지 제3-4분사부를 도시한 부분 사시도이고, 도 12는 도 11의 제1-3 내지 제3-4분사부의 퍼지가스 유동을 도시한 부분 사시도이고, 도 13은 도 1의 우측의 단면을 도시한 우측 단면도이고, 도 14는 도 13의 제2전방배기부로 배기되는 외부 기체의 유동 및 배기부로 배기되는 퍼지가스 및 퓸의 유동을 도시한 우측 단면도이고, 도 15는 도 1의 평면 단면도이고, 도 16은 도 15의 지지대에 지지된 웨이퍼에 분사되는 퍼지가스의 유동 및 배기부로 배기되는 퍼지가스 및 퓸의 유동을 도시한 평면 단면도이고, 도 17은 도 1의 배기부의 정면을 도시한 정면도이고, 도 18은 도 17의 배기부의 배면의 단면을 도시한 도시한 배면 단면도이고, 도 19는 도 1의 제1공급부의 우측면을 도시한 우측면도이고, 도 20은 도 1의 제2공급부의 좌측면을 도시한 좌측면도이고, 도 21은 도 1의 지지대의 평면도이고, 도 22는 도 21의 지지대에 웨이퍼가 지지된 것을 도시한 도이고, 도 23는 도 1의 제1전방배기부의 우측면을 도시한 사시도이고, 도 24는 도 23의 제1전방배기부의 좌측면의 단면을 도시한 단면 사시도이고, 도 25는 도 1의 제2전방배기부의 좌측면을 도시한 사시도이고, 도 26은 도 25의 제2전방배기부의 우측면의 단면을 도시한 단면 사시도이고, 도 27은 도 1의 하부 플레이트의 분해 사시도이고, 도 28은 도 27의 제1하부 플레이트의 평면도이고, 도 29는 도 27의 제2하부 플레이트의 평면도이고, 도 30은 도 27의 제3하부 플레이트의 평면도이고, 도 31은 도 27의 연결부의 평면도이고, 도 32는 도 27의 하부 플레이트 내부의 퍼지가스 유동을 도시한 평면도이고, 도 33은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기의 퍼지가스 공급/분사 유동을 도시한 개략도이고, 도 34는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기의 퍼지가스, 퓸 및 외부기체의 배기 유동을 도시한 개략도이다.

본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10)는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 전방 개구부(251)를 통해 수납된 웨이퍼(W)가 수납되는 수납실(200)과, 수납실(200)에 퍼지가스를 분사하는 제1 내지 제3분사부(310, 320, 330)와, 제1 내지 제3분사부(310, 320, 330)의 프레임을 이루는 제1 내지 제8수평부재(111 ~ 118) 및 제1 내지 제6수직부재(121 ~ 126)와, 수납실(200)의 퍼지가스 및 퓸을 배기하는 배기부(400)와, 제1 내지 제3분사부(310, 320, 330)에 퍼지가스를 공급하는 공급부와, 수납실(200) 내부에 구비되어 웨이퍼(W)를 지지하는 지지대(600)와, 수납실(200)의 전방 좌, 우측에 배치되는 제1, 2전방 배기부(710, 750)와, 웨이퍼 수납용기(10)의 하부면을 이루는 하부 플레이트(800)와, 하부 플레이트(800)의 하부에 설치되는 연결부재(850)와, 웨이퍼 수납용기(10)의 상부면을 이루는 상부 플레이트(900)를 포함하여 구성된다.

수납실 (200)

이하, 수납실(200)에 대해 설명한다.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 수납실(200)은 내부에 웨이퍼(W)를 수납하는 기능을 하며, 제1 내지 제3분사부(310, 320, 330) 및 배기부(400)로 둘러싸인 내측 공간으로 정의된다.

수납실(200)의 전방에는 전방 개구부(251)가 형성되어 있으며, 전방 개구부(251)를 통해 웨이퍼(W)가 출입하게 된다.

수납실(200)의 상부면은 상부 플레이트(900)로 이루어져 있고, 수납실(200)의 하부면은 하부 플레이트(800)로 이루어져 있으며, 수납실(200)의 둘레면은 제1, 2분사부 내벽면(340, 350) 및 배기부 내벽면(440)에 의해 이루어져 있다.

따라서, 수납실(200)은 전방 개구부(251)를 제외한 상부면, 하부면, 둘레면이 상, 하부 플레이트(800)와, 제1, 2분사부 내벽면(340, 350) 및 배기부 내벽면(440)에 의해 폐쇄되어 있다.

또한, 수납실(200)의 둘레면을 이루는 제1, 2분사부 내벽면(340, 350)과 배기부 내벽면(440)에는 각각 분사구멍(390)과 배기구멍(490)이 형성되어 있으며, 분사구멍(490)을 통해 수납실(200)에 퍼지가스가 분사되거나, 배기구멍(490)을 통해 수납실(200)에 분사된 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸이 배기될 수 있다.

수납실(200)의 내부에는 웨이퍼(W)를 지지하는 지지대(600)가 구비되며, 이로 인해, 웨이퍼(W)가 지지대(600)에 지지되어 수납실(200)에 용이하게 수납될 수 있다.

이 경우, 지지대(600)는, 도 5 및 도 10에 도시된 바와 같이, 수납실(200)의 좌측 후방 및 우측 후방에 각각 구비된 제1, 2지지대결합부(345, 355)에 의해 제1, 2분사부 내벽면(340, 350)에 용이하게 설치될 수 있다.

또한, 지지대(600)는 수납실(200)에 수납되는 웨이퍼(W)의 갯수에 따라 수직방향으로 복수개가 구비될 수 있다. 따라서, 수납실(200)에는 30개의 웨이퍼(W) 각각을 지지하는 30개의 지지대(600)가 구비되며, 이러한 지지대(600)에 대한 자세한 설명은 후술한다.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 수납실(200)의 내부는 수직방향으로 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230)으로 구획되며, 이 경우, 하부에서 상부순으로 제1퍼징영역(210), 제2퍼징영역(220), 제3퍼징영역(230)이 차례대로 구획된다.

제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230)은 수납실(200) 내부에서 구획되는 가상의 영역으로서, 제1 내지 제3분사부(310, 320, 330)에서 각각 분사되는 퍼지가스에 의해 웨이퍼(W)가 퍼징되는 영역을 말한다.

따라서, 수납실(200)에 수납되어 제1퍼징영역(210)에 위치하는 웨이퍼(W)는 제1분사부(310)에서 분사된 퍼지가스에 의해 퍼징되며, 제2퍼징영역(220)에 위치하는 웨이퍼(W)는 제2분사부(320)에서 분사된 퍼지가스에 의해 퍼징되고, 제3퍼징영역(230)에 위치하는 웨이퍼(W)는 제3분사부(330)에서 분사된 퍼지가스에 의해 퍼징된다.

또한, 제1분사부(310)로 공급되는 퍼지가스와, 제2분사부(320)로 공급되는 퍼지가스 및 제3분사부(330)로 공급되는 퍼지가스는 각각 개별적으로 공급되며, 이에 대한 자세한 설명은 후술한다.

제1 내지 제3분사부 (310, 320, 330)

이하, 제1 내지 제3분사부(310, 320, 330)에 대해 설명한다.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 내지 제3분사부(310, 320, 330)는 수납실(200)의 둘레를 감싸도록 배치되며, 하부에서 상부순으로 제1분사부(310), 제2분사부(320), 제3분사부(330)로 수직방향으로 적층되게 배치됨으로써, 수납실(200)에서 수직방향으로 구획된 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230) 각각과 대응되도록 배치된다.

다시 말해, 제1분사부(310)는 하부 플레이트(800) 상부에 배치되고, 제2분사부(320)는 제1분사부(310)의 상부에 배치되고, 제3분사부(330)는 제2분사부(320) 상부 및 상부 플레이트(900) 하부에 배치된다. 즉, 하부 플레이트(800)와 상부 플레이트(900) 사이에 제1 내지 제3분사부(310, 320, 330)가 수직방향으로 3개의 층으로 배치되는 것이다. 따라서, 제1 내지 제3분사부(310, 320, 330)에서 분사되는 퍼지가스에 의한 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230)의 구획이 용이하게 이루어질 수 있다.

도 6 및 도 11에 도시된 바와 같이, 제1 내지 제3분사부(310, 320, 330)는 각각 제1-1 내지 제1-4분사부(310a ~ 310d), 제2-1 내지 제2-4분사부(320a ~ 320d) 및 제3-1 내지 제3-4분사부(330a ~ 330d)를 포함하여 구성될 수 있으며, 이 경우, 제1-1 내지 제1-4분사부(310a ~ 310d)는 제1퍼징영역(210)에 퍼지가스를 분사하고, 제2-1 내지 제2-4분사부(320a ~ 320d)는 제2퍼징영역(220)에 퍼지가스를 분사하고, 제3-1 내지 제3-4분사부(330a ~ 330d)는 제3퍼징영역(230)에 퍼지가스를 분사한다.

또한, 제1-1, 1-2분사부(310a, 310b), 제2-1, 2-2분사부(320a, 320b), 제3-1, 3-2분사부(330a, 330b), 제1-3, 1-4분사부(310c, 310d), 제2-3, 2-4분사부(320c, 320d), 제3-3, 3-4분사부(330c, 330d)는 각각 후술할 제1-1 내지 제3-2외부 공급라인(미도시)에 의해 개별적으로 퍼지가스를 공급받게 되며, 이에 대한 자세한 설명은 후술한다.

전술한 바와 같이, 제1분사부(310)와 제2분사부(320) 및 제3분사부(330)는 수직방향으로 적층되게 배치됨으로써, 서로 수직방향으로 구별된다.

다시 말해, 수납실(200)의 좌측 및 후방 좌측에 배치되는 제1-1, 1-2분사부(310a, 310b)와 제2-1, 2-2분사부(320a, 320b) 및 제3-1, 3-2분사부(330a, 330b)는 서로 수직방향으로 구별되며, 이와 같은 수직방향 구별은 다음과 같다.

제1-1, 1-2분사부(310a, 310b)와 제2-1, 2-2분사부(320a, 320b)의 사이에는 제2수평부재(112)가 구비되며, 이로 인해, 제1-1, 1-2분사부(310a, 310b)와 제2-1, 2-2분사부(320a, 320b)는 수직방향으로 구별된다.

제2-1, 2-2분사부(320a, 320b)와 제3-1, 3-2분사부(330a, 330b)의 사이에는 제3수평부재(113)가 구비되며, 이로 인해, 제2-1, 2-2분사부(320a, 320b)와 제3-1, 3-2분사부(330a, 330b)는 수직방향으로 구별된다.

또한, 수납실(200)의 우측 및 후방 우측에 배치되는 제1-3, 1-4분사부(310c, 310d)와 제2-3, 2-4분사부(320c, 320d) 및 제3-3, 3-4분사부(330c, 330d)는 서로 수직방향으로 구별되며, 이와 같은 수직방향 구별은 다음과 같다.

제1-3, 1-4분사부(310c, 310d)와 제2-3, 2-4분사부(320c, 320d)의 사이에는 제6수평부재(116)가 구비되며, 이로 인해, 제1-3, 1-4분사부(310c, 310d)와 제2-3, 2-4분사부(320c, 320d)는 수직방향으로 구별된다.

또한, 제2-3, 2-4분사부(320c, 320d)와 제3-3, 3-4분사부(330c, 330d)의 사이에는 제7수평부재(117)가 구비되며, 이로 인해, 제2-3, 2-4분사부(320c, 320d)와 제3-3, 3-4분사부(330c, 330d)는 수직방향으로 구별된다.

또한, 수납실(200)의 좌측 및 후방 좌측에 배치되는 제1-1분사부(310a)와 제1-2분사부(310b), 제2-1분사부(320a)와 제2-2분사부(320b) 및 제3-1분사부(330a)와 제3-2분사부(330b) 각각의 사이에는 제2수직부재(122)가 구비된다. 따라서, 제1-1분사부(310a)와 제1-2분사부(310b)는 수평방향으로 구별되고, 제2-1분사부(320a)와 제2-2분사부(320b)는 수평방향으로 구별되고, 제3-1분사부(330a)와 제3-2분사부(330b)는 수평방향으로 구별된다.

또한, 수납실(200)의 우측 및 후방 우측에 배치되는 제1-3분사부(310c)와 제1-4분사부(310d), 제2-3분사부(320c)와 제2-4분사부(320d) 및, 제3-3분사부(330c)와 제3-4분사부(330d) 각각의 사이에는 제5수직부재(125)가 구비된다 따라서, 제1-3분사부(310c)와 제1-4분사부(310d)는 수평방향으로 구별되고, 제2-3분사부(320c)와 제2-4분사부(320d)는 수평방향으로 구별되고, 제3-3분사부(330c)와 제3-4분사부(330d)는 수평방향으로 구별된다.

제1-1, 1-2분사부(310a, 310b), 제2-1, 2-2분사부(320a, 320b) 및 제3-1, 3-2분사부(330a, 330b)의 내측면은 제1분사부 내벽면(340)으로 이루어지며, 제1-1, 1-2분사부(310a, 310b), 제2-1, 2-2분사부(320a, 320b) 및 제3-1, 3-2분사부(330a, 330b)의 외측면은 제1분사부 외벽면(361)으로 이루어진다.

이 경우, 제1분사부 내벽면(340)은 수납실(200)과 제1-1, 1-2분사부(310a, 310b), 제2-1, 2-2분사부(320a, 320b) 및 제3-1, 3-2분사부(330a, 330b) 사이에 구비된다.

따라서, 제1분사부 내벽면(340)은 제1-1, 1-2분사부(310a, 310b), 제2-1, 2-2분사부(320a, 320b) 및 제3-1, 3-2분사부(330a, 330b)의 내측면을 이룸과 동시에 수납실(200)의 외측면(또는 둘레면)을 이루게 된다. 다시 말해, 제1-1, 1-2분사부(310a, 310b), 제2-1, 2-2분사부(320a, 320b) 및 제3-1, 3-2분사부(330a, 330b)는 제1분사부 내벽면(340)에 의해 수납실(200)의 좌측 및 후방 좌측에 접하게 된다.

제1분사부 외벽면(361)은 제1분사부 내벽면(340)으로 부터 수납실(200)과 반대 방향으로 이격되게 구비되며, 이러한 제1분사부 내벽면(340)과 제1분사부 외벽면(361) 사이에는 이격 공간이 형성되어 있다.

따라서, 제1-1, 1-2분사부(310a, 310b), 제2-1, 2-2분사부(320a, 320b) 및 제3-1, 3-2분사부(330a, 330b) 각각은 제1분사부 내벽면(340)과 제1분사부 외벽면(361) 사이의 이격 공간으로 정의될 수 있다.

제1-3, 1-4분사부(310c, 310d), 제2-3, 2-4분사부(320c, 320d) 및 제3-3, 3-4분사부(330c, 330d)의 내측면은 제2분사부 내벽면(350)으로 이루어지며, 제1-3, 1-4분사부(310c, 310d), 제2-3, 2-4분사부(320c, 320d) 및 제3-3, 3-4분사부(330c, 330d)의 외측면은 제2분사부 외벽면(362)으로 이루어진다.

이 경우, 제2분사부 내벽면(350)은 수납실(200)과 제1-3, 1-4분사부(310c, 310d), 제2-3, 2-4분사부(320c, 320d) 및 제3-3, 3-4분사부(330c, 330d) 사이에 구비된다.

따라서, 제2분사부 내벽면(350)은 제1-3, 1-4분사부(310c, 310d), 제2-3, 2-4분사부(320c, 320d) 및 제3-3, 3-4분사부(330c, 330d)의 내측면을 이룸과 동시에 수납실(200)의 외측면(또는 둘레면)을 이루게 된다. 다시 말해, 제1-3, 1-4분사부(310c, 310d), 제2-3, 2-4분사부(320c, 320d) 및 제3-3, 3-4분사부(330c, 330d)는 제2분사부 내벽면(350)에 의해 수납실(200)의 우측 및 후방 우측에 접하게 된다.

제2분사부 외벽면(362)은 제2분사부 내벽면(350)으로 부터 수납실(200)과 반대 방향으로 이격되게 구비되며, 이러한 제2분사부 내벽면(350)과 제2분사부 외벽면(362) 사이에는 이격 공간이 형성되어 있다.

따라서, 제1-3, 1-4분사부(310c, 310d), 제2-3, 2-4분사부(320c, 320d) 및 제3-3, 3-4분사부(330c, 330d) 각각은 제2분사부 내벽면(350)과 제2분사부 외벽면(362) 사이의 이격 공간으로 정의될 수 있다.

전술한 제1-1 내지 제3-4분사부(310a ~ 330d)에는 수납실(200) 내부의 온도 및 습도를 조절하는 히터(미도시)가 구비될 수 있다.

히터는 제1-1 내지 제3-4분사부(310a ~ 330d)와 대응되도록 제1-1 내지 제3-4히터로 이루어질 수 있다.

제1-1 내지 제3-4히터는 각각 제1-1 내지 제3-4분사부(310a ~ 330d) 외측에 구비되도록 위치하도록 제1, 2분사부외벽면(361, 362)의 외측면에 설치될 수 있다.

이 경우, 제1-1 내지 제3-4히터가 외부에 노출되지 않도록, 제1, 2분사부 외벽면(361, 362)로부터 외측 방향으로 이격되는 위치에 커버(미도시)를 설치하는 것이 바람직하다. 따라서, 웨이퍼 수납용기(10)의 최외각 둘레면은 커버로 이루어지게 되며, 제1-1 내지 제3-4히터는 제1, 2분사부 외벽면(361, 362)과 커버 사이에 위치하게 된다.

제1-1 내지 제3-4히터는 개별적으로 제어되는 것이 바람직하며, 이로 인해, 제1-1 내지 제3-4분사부(310a ~ 330d) 중 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230)에 퍼지가스를 분사하는 분사부에 대응되는 히터만 작동되도록 할 수 있다.

예컨데, 제2-2분사부(320b)가 제2퍼징영역(220)으로 퍼지가스를 분사할 때, 제2-2히터가 작동함으로써, 제2-2분사부(320b)에서 분사되는 퍼지가스와 수납실(200)의 제2퍼징영역(220)을 가열할 수 있다. 따라서, 제2퍼징영역(220)에 수납되는 웨이퍼(W)의 퍼징이 용이하게 이루어질 수 있으며, 제2퍼징영역(220) 내부의 습도가 낮아지게 되어, 웨이퍼(W)의 산화를 방지할 수 있다.

위와 같이, 제1-1 내지 제3-4히터의 개별제어는 제1-1 내지 제3-4분사부(310a ~ 330d)의 개별 제어와 유기적으로 이뤄질 수 있다. 따라서, 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230) 중 원하는 퍼징영역에만 히터로 인한 온도 및 습도 조절을 달성할 수 있으며, 이로 인해, 최소한의 에너지(전기 등)로 웨이퍼(W)의 산화 방지를 달성할 수 있다.

분사구멍(390)

이하, 제1분사부 내벽면(340) 및 제2분사부 내벽면(350)에 형성되는 분사구멍(390)에 대해 설명한다.

도 3, 도 5, 도 8, 도 10 및 도 13에 도시된 바와 같이, 제1분사부 내벽면(340) 및 제2분사부 내벽면(350)에는 복수개의 분사구멍(390)이 형성된다.

이 경우, 복수개의 분사구멍(390)은 행과 열을 갖는 매트릭스 형태로 형성될 수 있으며, 전술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10)는 30개의 웨이퍼(W)를 수납하여 퍼징하는 것이므로, 복수개의 분사구멍(390)은 30개의 행을 갖는 것이 바람직하다.

또한, 복수개의 분사구멍(390)은 30개의 지지대(600)의 상부에 각각 위치하도록 형성되는 것이 바람직하다. 다시 말해, 지지대(600)의 상부와 하부 각각에는 복수개의 분사구멍(390)이 위치하도록 제1, 2분사부 내벽면(340, 350)에 형성됨으로써, 30개의 지지대(600)에 각각 지지되는 30개의 웨이퍼(W) 상부로 퍼지가스가 용이하게 분사될 수 있다.

제1분사부 내벽면(340)에 형성된 분사구멍(390) 중 제1퍼징영역(210)과 대응되는 높이에 위치하는 분사구멍(390)은 제1-1, 1-2분사부(310a, 310b)와 제1퍼징영역(210)의 좌측 및 후방 좌측을 연통시킨다. 따라서, 제1-1, 1-2분사부(310a, 310b)의 내부에 공급된 퍼지가스는 분사구멍을 통해 제1퍼징영역(210)의 좌측 및 후방 좌측으로 분사될 수 있다.

제1분사부 내벽면(340)에 형성된 분사구멍(390) 중 제2퍼징영역(220)과 대응되는 높이에 위치하는 분사구멍(390)은 제2-1, 2-2분사부(320a, 320b)와 제2퍼징영역(220)의 좌측 및 후방 좌측을 연통시킨다. 따라서, 제2-1, 2-2분사부(320a, 320b)의 내부에 공급된 퍼지가스는 분사구멍을 통해 제1퍼징영역(210)의 좌측 및 후방 좌측으로 분사될 수 있다.

제1분사부 내벽면(340)에 형성된 분사구멍(390) 중 제3퍼징영역(230)과 대응되는 높이에 위치하는 분사구멍(390)은 제3-1, 3-2분사부(330a, 330b)와 제3퍼징영역(230)의 좌측 및 후방 좌측을 각각 연통시킨다. 따라서, 제3-1, 3-2분사부(330a, 330b)의 내부에 공급된 퍼지가스는 분사구멍을 통해 제1퍼징영역(210)의 좌측 및 후방 좌측으로 분사될 수 있다.

제2분사부 내벽면(350)에 형성된 분사구멍(390) 중 제1퍼징영역(210)과 대응되는 높이에 위치하는 분사구멍(390)은 제1-3, 1-4분사부(310c, 310d)와 제1퍼징영역(210)의 우측 및 후방 우측을 연통시킨다. 따라서, 제1-3, 1-4분사부(310c, 310d)의 내부에 공급된 퍼지가스는 분사구멍을 통해 제1퍼징영역(210)의 우측 및 후방 우측으로 분사될 수 있다.

제2분사부 내벽면(350)에 형성된 분사구멍(390) 중 제2퍼징영역(220)과 대응되는 높이에 위치하는 분사구멍(390)은 제2-3, 2-4분사부(320c, 320d)와 제2퍼징영역(220)의 우측 및 후방 우측을 연통시킨다. 따라서, 제2-3, 2-4분사부(320c, 320d)의 내부에 공급된 퍼지가스는 분사구멍을 통해 제1퍼징영역(210)의 우측 및 후방 우측으로 분사될 수 있다.

제2분사부 내벽면(350)에 형성된 분사구멍(390) 중 제3퍼징영역(230)과 대응되는 높이에 위치하는 분사구멍(390)은 제3-3, 3-4분사부(330c, 330d)와 제3퍼징영역(230)의 우측 및 후방 우측을 연통시킨다. 따라서, 제3-3, 3-4분사부(330c, 330d)의 내부에 공급된 퍼지가스는 분사구멍을 통해 제1퍼징영역(210)의 우측 및 후방 우측으로 분사될 수 있다.

위와 같이, 제1-1 내지 제3-4분사부(310a ~ 330d)는 제1분사부 내벽면(340) 및 제2분사부 내벽면(350)에 형성된 분사구멍을 통해 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230) 즉, 수납실(200) 내부로 퍼지가스를 분사하게 된다.

이 경우, 제1-1 내지 제3-2분사부(310a ~ 330b) 각각에 소정의 퍼지가스가 공급되어 저장됨으로써, 상기 각 분사부에 저장된 퍼지가스의 내부 압력이 상승하게 되고, 이러한 내부 압력에 의해 분사구멍(390)을 통해 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230)으로 퍼지가스가 분사되게 된다.

위와 같이, 퍼지가스가 수납실(200)의 둘레면을 이루는 제1분사부 내벽면(340) 및 제2분사부 내벽면(350)의 분사구멍(390)에서 분사됨으로써, 종래기술 보다 사영역을 최소화 할 수 있다는 효과가 있다.

상세하게 설명하면, 종래기술의 경우 분사구들이 구비된 별도의 분사부재들이 수납실의 양측면에 구비되어 퍼지가스를 분사하였으나, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10)의 경우, 제1, 2분사부 내벽면(340, 350)에 분사구멍(390)을 직접 형성하여 퍼지가스를 분사하게 된다. 따라서, 단순히 제1, 2분사부 내벽면(340, 350)에 분사구멍(390)을 형성함으로써, 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230)으로 분사되는 퍼지가스의 분사 방향을 용이하게 조절할 수 있으며, 이로 인해, 사영역 발생을 최소화하는 최적의 분사구멍(390)의 배열을 쉽게 형성시킬 수 있다.

또한, 제1, 2분사부 내벽면(340, 350)에 분사구멍(390)을 형성시킴으로써, 분사구멍(390)의 갯수를 쉽게 추가할 수 있으며, 분사구멍(390)의 갯수가 많아지게 되어 복수개의 분사구멍(390)이 촘촘하게 배치될 경우, 수납실(200)의 둘레면인 제1, 2분사부 내벽면(340, 350) 전체에서 퍼지가스가 분사되는 것과 같은 일종의 면 분사 효과를 달성할 수 있다. 따라서, 종래기술과 달리, 균일한 분사압력이 보장될 수 있으며, 이로 인해, 웨이퍼(W)의 일부 영역에만 집중적으로 퍼지가스의 분사가 이루어지는 것을 방지할 수 있다.

또한, 웨이퍼 수납용기(10)의 장기간 사용으로 인해, 분사구멍(390)이 퓸에 의해 오염되어 막히게 되는 경우, 제1, 2분사부 내벽면(340, 350)을 교체함으로써, 분사구멍(390)의 막힘으로 인한 문제점들을 해결할 수 있어 웨이퍼 수납용기(10)의 용이한 유지관리가 달성될 수 있다.

또한, 전술한 실시 예와 달리, 분사구멍(390)은 제1, 2분사부 내벽면(340, 350)에서 수직방향으로 30개 이상의 행을 가질 수 있다. 다시 말해, 복수개로 구비된 지지대(600)들 사이에 하나의 분사구멍(390)이 위치하지 않고, 수직방향으로 2개 이상의 분사구멍(390)이 형성될 수도 있다. 따라서, 하나의 퍼징영역에 수직방향으로 10개 보다 많은 수의 분사구멍(390)이 형성될 수 있으며, 이로 인해, 웨이퍼(W)의 퍼징이 더욱 용이하게 달성될 수 있다.

또한, 분사구멍(390)의 형상은 직사각형 슬릿 형상, 단부가 원호인 슬릿 형상, 원형 구멍 형상, 다각형의 구멍 형상 등 여러가지 형상을 갖도록 형성될 수 있다.

제1-1 내지 제3- 2공급구멍 (371a ~ 373b) 및 제1-3 내지 제3-4공급구멍(371c ~ 373d)

이하, 제1분사부 외벽면(361)에 형성되는 제1-1 내지 제3-2공급구멍(371a ~ 373b)과, 제2분사부 외벽면(362)에 형성되는 제1-3 내지 제3-4공급구멍(371c ~ 373d)에 대해 설명한다.

도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 제1-1 내지 제3-2공급구멍(371a ~ 373b)은 제1분사부 외벽면(361)에 형성된다.

제1-1공급구멍(371a)은 제1-1분사부(310a) 내부와 제1공급부(510)의 제1-1공급공간(531a)을 연통시키며, 이로 인해, 제1-1공급공간(531a)의 퍼지가스가 제1-1분사부(310a) 내부로 유동될 수 있다.

제1-2공급구멍(371b)은 제1-2분사부(310b) 내부와 제1공급부(510)의 제1-2공급공간(531b)을 연통시키며, 이로 인해, 제1-2공급공간(531b)의 퍼지가스가 제1-2분사부(310b) 내부로 유동될 수 있다.

제2-1공급구멍(372a)은 제2-1분사부(320a) 내부와 제1공급부(510)의 제2-1공급공간(532a)을 연통시키며, 이로 인해, 제2-1공급공간(532a)의 퍼지가스가 제2-1분사부(320a) 내부로 유동될 수 있다.

제2-2공급구멍(372b)은 제2-1분사부(320a) 내부와 제1공급부(510)의 제2-1공급공간(532a)을 연통시키며, 이로 인해, 제2-1공급공간(532a)의 퍼지가스가 제2-1분사부(320a) 내부로 유동될 수 있다.

제3-1공급구멍(373a)은 제3-1분사부(330a) 내부와 제1공급부(510)의 제3-1공급공간(533a)을 연통시키며, 이로 인해, 제3-1공급공간(533a)의 퍼지가스가 제3-1분사부(330a) 내부로 유동될 수 있다.

제3-2공급구멍(373b)은 제3-2분사부(330b) 내부와 제1공급부(510)의 제3-2공급공간(533b)을 연통시키며, 이로 인해, 제3-2공급공간(533b)의 퍼지가스가 제3-2분사부(330b) 내부로 유동될 수 있다.

도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이, 제1-3 내지 제3-4공급구멍(371c ~ 373d)은 제2분사부 외벽면(362)에 형성된다.

제1-3공급구멍(371c)은 제1-3분사부(310c) 내부와 제2공급부(520)의 제1-3공급공간(531c)을 연통시키며, 이로 인해, 제1-3공급공간(531c)의 퍼지가스가 제1-3분사부(310c) 내부로 유동될 수 있다.

제1-4공급구멍(371d)은 제1-4분사부(310d) 내부와 제2공급부(520)의 제1-4공급공간(531d)을 연통시키며, 이로 인해, 제1-4공급공간(531d)의 퍼지가스가 제1-4분사부(310d) 내부로 유동될 수 있다.

제2-3공급구멍(372c)은 제2-3분사부(320c) 내부와 제2공급부(520)의 제2-3공급공간(532c)을 연통시키며, 이로 인해, 제2-3공급공간(532c)의 퍼지가스가 제2-3분사부(320c) 내부로 유동될 수 있다.

제2-4공급구멍(372d)은 제2-4분사부(320d) 내부와 제2공급부(520)의 제2-4공급공간(532d)을 연통시키며, 이로 인해, 제2-4공급공간(532d)의 퍼지가스가 제2-4분사부(320d) 내부로 유동될 수 있다.

제3-3공급구멍(373c)은 제3-3분사부(330c) 내부와 제2공급부(520)의 제3-3공급공간(533c)을 연통시키며, 이로 인해, 제3-3공급공간(533c)의 퍼지가스가 제3-3분사부(330c) 내부로 유동될 수 있다.

제3-4공급구멍(373d)은 제3-4분사부(330d) 내부와 제2공급부(520)의 제3-4공급공간(533d)을 연통시키며, 이로 인해, 제3-4공급공간(533d)의 퍼지가스가 제3-4분사부(330d) 내부로 유동될 수 있다.

전술한 제1-1 내지 제3-4공급구멍(371a ~ 373d)은 수직방향 길이가 수평방향 길이보다 길게 형성되는 슬릿 형태로 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 제1-1 내지 제3-4공급구멍(371a ~ 373d)의 수평방향 길이는 제1-1 내지 제3-4공급구멍(371a ~ 373d) 각각과 연통되는 제1, 2공급부의 제1-1 내지 제3-4공급공간(531a ~ 533d)의 수평방향 길이보다 짧게 형성되는 것이 바람직하다.

이는, 제1-1 내지 제3-4공급공간(531a ~ 533d)에서 제1-1 내지 제3-4공급구멍(371a ~ 373d)으로 퍼지가스가 유동할 때, 상대적으로 넓은 넓이를 갖는 제1-1 내지 제3-4공급공간(531a ~ 533d)에서 상대적으로 작은 넓이를 갖는 제1-1 내지 제3-4공급구멍(371a ~ 373d)으로 유동하게 됨으로써, 퍼지가스의 분사압을 순간적으로 상승시킬 수 있기 때문이다.

위와 같이, 퍼지가스의 분사압이 순간적으로 상승하게 되면, 퍼지가스가 제1-1 내지 제3-4분사부(310a ~ 330d) 내부 전체로 용이하게 유동될 수 있으며, 이로 인해, 제1-1 내지 제3-4분사부(310a ~ 330d)에서 분사되는 퍼지가스가 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230) 전체로 더욱 원활하게 분사될 수 있다.

제1 내지 제8수평부재(111 ~ 118) 및 제1 내지 제6수직부재(121 ~ 126)

이하, 제1 내지 제8수평부재(111 ~ 118) 및 제1 내지 제6수직부재(121 ~ 126)에 대해 설명한다.

도 2 및 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 내지 제4수평부재(111 ~ 114) 및 제1 내지 제3수직부재(121 ~ 123)는 수납실(200)의 좌측에 배치된다.

제1 내지 제4수평부재(111 ~ 114)는 제1 내지 제3수직부재(121 ~ 123)에 의해 연결되며, 이러한 연결구조로 인해, 제1 내지 제4수평부재(111 ~ 114) 및 제1 내지 제3수직부재(121 ~ 123)는 제1-1 내지 제3-2분사부(310a ~ 330b)의 뼈대, 즉, 프레임을 이루게 된다.

이 경우, 제1 내지 제4수평부재(111 ~ 114)와 제1 내지 제3수직부재(121 ~ 123) 각각은 소정의 폭을 갖을 수 있으며, 상기 폭은 제1분사부 내벽면(340) 및 제1분사부 외벽면(361) 사이의 이격 공간의 폭과 같은 크기를 갖는다. 따라서, 상기 폭에 의해 제1-1 내지 제3-2분사부(310a ~ 330b)의 내부 공간의 폭이 정의될 수 있다.

도 2 및 도 10에 도시된 바와 같이, 제5 내지 제8수평부재(115 ~ 118) 및 제4 내지 제6수직부재(124 ~ 126)는 수납실(200)의 우측에 배치된다.

제5 내지 제8수평부재(115 ~ 118)는 제4 내지 제6수직부재(124 ~ 126)에 의해 연결되며, 이러한 연결구조로 인해, 제5 내지 제8수평부재(115 ~ 118) 및 제4 내지 제6수직부재(124 ~ 126)는 제1-3 내지 제3-4분사부(310c ~ 330d)의 뼈대, 즉, 프레임을 이루게 된다.

이 경우, 제5 내지 제8수평부재(115 ~ 118)와 제4 내지 제6수직부재(124 ~ 126) 각각은 소정의 폭을 갖을 수 있으며, 상기 폭은 제2분사부 내벽면(350) 및 제2분사부 외벽면(362) 사이의 이격 공간의 폭과 같은 크기를 갖는다. 따라서, 상기 폭에 의해 제1-3 내지 제3-4분사부(310c ~ 330d)의 내부 공간의 폭이 정의 된다.

배기부 (400)

이하, 배기부(400)에 대해 설명한다.

도 2 내지 도 14에 도시된 바와 같이, 배기부(400)는 제1-2 내지 제3-2분사부(310b, 320b, 330b)와 제1-4 내지 제3-4분사부(310d, 320d, 330d) 사이에 배치된다. 따라서, 제1 내지 제3분사부(310, 320, 330)에 의해 수납실(200) 내부로 분사된 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸을 수납실(200)의 후방으로 배기하는 기능을 한다.

도 5, 도 6, 도 10, 도 11 및 도 17에 도시된 바와 같이, 배기부(400)의 내측면은 배기부 내벽면(440)으로 이루어진다.

이 경우, 배기부 내벽면(440)은 수납실(200)과 배기부(400) 사이에 구비된다.

따라서, 배기부 내벽면(440)은 배기부(400)의 내측면을 이룸과 동시에 수납실(200)의 외측면(또는 둘레면)을 이루게 된다. 다시 말해, 배기부(400)는 배기부 내벽면(440)에 의해 수납실(200)의 후방에 접하게 된다.

배기부 내벽면(440)에는 복수개의 배기구멍(490)이 형성되며, 전술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10)는 30개의 웨이퍼(W)를 수납하여 퍼징하는 것이므로, 배기부 내벽면(440)에는 30개의 배기구멍(490)이 형성되는 것이 바람직하다.

이 경우, 30개의 배기구멍(490)은 수직방향으로 형성되며, 각각의 배기구멍(490)은 전술한 분사구멍(390)의 행과 같은 높이를 갖도록 위치하는 것이 바람직하다. 다시 말해, 배기구멍(490)은 분사구멍(390)과 마찬가지로, 30개의 지지대(600)의 상부에 각각 위치하도록 형성되는 것이 바람직하다.

도 17 및 도 18에 도시된 바와 같이, 배기부(400)는 배기구멍(490)과 연통되는 제1 내지 제3배기공간(410, 420, 430)과, 제1 내지 제3배기공간(410, 420, 430)과 각각 연통되는 제1 내지 제3수직배기유로(411, 421, 431)가 구비될 수 있다.

제1 내지 제3배기공간(410, 420, 430)은 배기부(400) 내부에서 하부에서 상부순으로 제1배기공간(410), 제2배기공간(420), 제3배기공간(430)으로 적층되게 배치되며, 이로 인해, 수납실(200)에서 수직방향으로 구획된 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230) 각각과 대응된다.

따라서, 제1배기공간(410)과 연통된 배기구멍(490)을 통해 제1퍼징영역(210)에 분사된 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸이 배기되고, 제2배기공간(420)과 연통된 배기구멍(490)을 통해 제2퍼징영역(220)에 분사된 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸이 배기되고, 제3배기공간(430)과 연통된 배기구멍(490)을 통해 제3퍼징영역(230)에 분사된 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸이 배기된다.

이 경우, 제1배기공간(410)과 연통되는 배기구멍(490)의 갯수는 10개이고, 제2배기공간(420)과 연통되는 배기구멍(490)의 갯수는 10개이고, 제3배기공간(430)과 연통되는 배기구멍(490)의 갯수는 10개이다.

따라서, 제1퍼징영역(210)에 수납되게 되는 10개의 웨이퍼(W)의 퓸이 퍼지가스와 함께 제1배기공간(410)으로 배기될 수 있으며, 제2퍼징영역(220)에 수납되게 되는 10개의 웨이퍼(W)의 퓸이 퍼지가스와 함께 제2배기공간(420)으로 배기될 수 있고, 제3퍼징영역(230)에 수납되게 되는 10개의 웨이퍼(W)의 퓸이 퍼지가스와 함께 제3배기공간(430)으로 배기될 수 있다.

제1수직배기유로(411)는 배기부(400) 내부에서 수직으로 연장되게 구비되며, 일단이 제1배기공간(410)과 연통되고, 타단은 후술할 제1하부 플레이트(810)의 제1배기연통구멍(815a)과 연통된다. 따라서, 제1수직배기유로(411)는 제1배기공간(410)으로 배기된 퍼지가스를 제1배기연통구멍(815a)으로 유동시키는 통로 역할을 한다.

제2수직배기유로(421)는 배기부(400) 내부에서 수직으로 연장되게 구비되며, 일단이 제2배기공간(420)과 연통되고, 타단은 후술할 제1하부 플레이트(810)의 제2배기연통구멍(815b)과 연통된다. 따라서, 제2수직배기유로(421)는 제2배기공간(420)으로 배기된 퍼지가스를 제2배기연통구멍(815b)으로 유동시키는 통로 역할을 한다.

제3수직배기유로(431)는 배기부(400) 내부에서 수직으로 연장되게 구비되며, 일단이 제3배기공간(430)과 연통되고, 타단은 후술할 제1하부 플레이트(810)의 제3배기연통구멍(815c)과 연통된다. 따라서, 제3수직배기유로(431)는 제3배기공간(430)으로 배기된 퍼지가스를 제3배기연통구멍(815c)으로 유동시키는 통로 역할을 한다.

위와 같이, 수납실(200)의 둘레면을 이루는 배기부(400)의 배기부 내벽면(440)에 배기구멍(490)이 형성되어 배기구멍(490)을 통해 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸이 배기됨으로써, 웨이퍼 수납용기(10)의 유지관리가 용이하다는 효과가 있다. 즉, 배기구멍(490)이 퓸에 의해 오염되어 막히게 되는 경우, 배기부 내벽면(440)만을 교체함으로써, 쉽게 배기구멍(490)의 막힘으로 인한 문제점들을 해결할 수 있다.

또한, 전술한 실시 예와 달리, 배기구멍(490)은 배기부 내벽면(440)에서 수직방향으로 30개 이상이 형성될 수 있다. 다시 말해, 복수개로 구비된 지지대(600)들 사이에 하나의 배기구멍(490)이 위치하지 않고, 수직방향으로 2개 이상의 분사구멍(490)이 형성될 수도 있다. 따라서, 하나의 퍼징영역에 수직방향으로 10개 보다 많은 수의 배기구멍(490)이 형성될 수 있으며, 이로 인해, 웨이퍼(W)의 퍼징 후 발생하는 퓸의 배기가 더욱 용이하게 달성될 수 있다.

또한, 배기구멍(490)의 형상은 직사각형 슬릿 형상, 단부가 원호인 슬릿 형상, 원형 구멍 형상, 다각형의 구멍 형상 등 여러가지 형상을 갖도록 형성될 수 있다.

공급부

이하, 공급부에 대해 설명한다.

도 2, 도 5, 도 6, 도 10, 도 11 및 도 15에 도시된 바와 같이, 공급부는 제1-1 내지 제3-2분사부(310a ~ 330b)의 외측에 배치되어 수납실(200)을 기준으로 좌측에 배치되는 제1공급부(510)와, 제1-3 내지 제3-4분사부(310c ~ 330d)의 외측에 배치되어 수납실(200)을 기준으로 우측에 배치되는 제2공급부(520)로 구성될 수 있다.

제1공급부(510)는 하부 플레이트(800)를 통해 유입되는 퍼지가스를 제1-1 내지 제3-2분사부(310a ~ 330b)로 공급하는 기능을 하고, 제2공급부(520)는 하부 플레이트(800)를 통해 유입되는 퍼지가스를 제1-3 내지 제3-4분사부(310c ~ 330d)로 공급하는 기능을 한다.

도 19에 도시된 바와 같이, 제1공급부(510)에는 제1-1 내지 제3-2공급구멍(371a ~ 373b)과 각각 연통되는 제1-1 내지 제3-2공급공간(531a ~ 533b)과, 제1-1 내지 제3-2공급공간(531a ~ 533b) 각각과 연통되는 제1-1 내지 제3-2수직공급유로(541a ~ 543b)가 구비된다.

제1-1 내지 제3-2공급공간(531a ~ 533b)은 내부에 퍼지가스가 저장되어 제1-1 내지 제3-2공급구멍(371a ~ 373b)을 통해 제1-1 내지 제3-2분사부(310a ~ 330b)로 공급되는 공간을 말하며, 제1공급부(510)의 우측면을 개구하며 형성된다.

제1-1 내지 제3-1공급공간(531a, 532a, 533a)은 제1공급부(510)의 중심선(도 19의 C1)을 기준으로 전방 측에 형성되며, 제1-2 내지 제3-2공급공간(531b, 532b, 533b)은 제1공급부(510)의 중심선(도 19의 C1)을 기준으로 후방측에 형성된다. 즉, 제1-1 내지 제3-1공급공간(531a, 532a, 533a)과 제1-2 내지 제3-2공급공간(531b, 532b, 533b)은 제1공급부(510)의 중심선(도 19의 C1)을 기준으로 서로 대칭되게 배치된다.

제1-1 내지 제3-2공급공간(531a ~ 533b) 각각은 제1-1 내지 제3-2공급구멍(371a ~ 373b) 각각과 대응되기 위해, 제1-1공급공간(531a) 및 제1-2공급공간(531b), 제2-1공급공간(532a) 및 제2-2공급공간(532b), 제3-1공급공간(533a) 및 제3-2공급공간(533b)이 제1공급부(510)의 하부에서 상부순으로 차례대로 배치된다.

또한, 제1-1공급공간(531a) 및 제1-2공급공간(531b), 제2-1공급공간(532a) 및 제2-2공급공간(532b), 제3-1공급공간(533a) 및 제3-2공급공간(533b) 순으로 갈수록 공급공간의 크기는 크게 형성된다.

위와 같이, 제1공급부(510)의 상부로 갈수록 공급공간의 크기가 커지게 형성됨으로써, 제3-1공급공간(533a) 및 제3-2공급공간(533b) 내부로 유동되는 퍼지가스의 유동량이 많아지게 되고, 이로 인해, 제3-1분사부(330a) 및 제3-2분사부(330b)에 충분한 양의 퍼지가스가 공급될 수 있다.

따라서, 제3-1분사부(330a) 및 제3-2분사부(330b)가 제3퍼징영역(230)에 충분한 양의 퍼지가스를 분사할 수 있으며, 수납실(200)의 상부에 구획되는 제3퍼징영역(230)에서의 웨이퍼(W)의 퍼징이 용이하게 달성될 수 있다.

제1-1 내지 제3-2수직공급유로(541a ~ 543b)는 제1공급부(510) 내부에서 수직방향으로 연장되게 형성되며, 각각의 일단은 제1-1 내지 제3-2공급공간(531a ~ 533b) 각각과 연통되고, 각각의 타단은 제1하부 플레이트(810)에 형성된 제1-1 내지 제3-2공급연통구멍(811a ~ 813b)과 연통된다. 따라서, 제1-1 내지 제3-2수직공급유로(541a ~ 543b)는 제1-1 내지 제3-2공급연통구멍(811a ~ 813b)에서 유입된 퍼지가스를 제1-1 내지 제3-2공급공간(531a ~ 533b)으로 유동시키는 통로 역할을 한다.

이 경우, 제1-1 내지 제3-2수직공급유로(541a ~ 543b)의 각각의 타단은 제1공급부의 하면에 개구된 구멍형태로 형성될 수 있으며, 이로 인해, 제1-1 내지 제3-2공급연통구멍(811a ~ 813b)과 용이하게 연통될 수 있다.

도 20에 도시된 바와 같이, 제2공급부(520)에는 제1-3 내지 제3-4공급구멍(371c ~ 373d)과 각각 연통되는 제1-3 내지 제3-4공급공간(531c ~ 533d)과, 제1-3 내지 제3-4공급공간(531c ~ 533d) 각각과 연통되는 제1-3 내지 제3-4수직공급유로(541c ~ 543d)가 구비된다.

제1-3 내지 제3-4공급공간(531c ~ 533d)은 내부에 퍼지가스가 저장되어 제1-3 내지 제3-4공급구멍(371c ~ 373d)을 통해 제1-3 내지 제3-4분사부(310c ~ 330d)로 공급되는 공간을 말하며, 제2공급부(520)의 좌측면을 개구하며 형성된다.

제1-3 내지 제3-3공급공간(531c, 532c, 533c)은 제2공급부(520)의 중심선(도 20의 C2)을 기준으로 전방 측에 형성되며, 제1-4 내지 제3-4공급공간(531d, 532d, 533d)은 제2공급부(520)의 중심선(도 20의 C2)을 기준으로 후방측에 형성된다. 즉, 제1-3 내지 제3-3공급공간(531c, 532c, 533c)과 제1-4 내지 제3-4공급공간(531d, 532d, 533d)은 제2공급부(520)의 중심선(도 20의 C2)을 기준으로 서로 대칭되게 배치된다.

제1-3 내지 제3-4공급공간(531c ~ 533d) 각각은 제1-3 내지 제3-4공급구멍(371c ~ 373d) 각각과 대응되기 위해, 제1-3공급공간(531c) 및 제1-4공급공간(531d), 제2-3공급공간(532c) 및 제2-4공급공간(532d), 제3-3공급공간(533c) 및 제3-4공급공간(533d)이 제2공급부(520)의 하부에서 상부순으로 차례대로 배치된다.

또한, 제1-3공급공간(531c) 및 제1-4공급공간(531d), 제2-3공급공간(532c) 및 제2-4공급공간(532d), 제3-3공급공간(533c) 및 제3-4공급공간(533d) 순으로 갈수록 공급공간의 크기는 크게 형성된다.

위와 같이, 제2공급부(520)의 상부로 갈수록 공급공간의 크기가 커지게 형성됨으로써, 제3-3공급공간(533c) 및 제3-4공급공간(533d) 내부로 유동되는 퍼지가스의 유동량이 많아지게 되고, 이로 인해, 제3-3분사부(330c) 및 제3-4분사부(330d)에 충분한 양의 퍼지가스가 공급될 수 있다.

따라서, 제3-3분사부(330c) 및 제3-4분사부(330d)가 제3퍼징영역(230)에 충분한 양의 퍼지가스를 분사할 수 있으며, 수납실(200)의 상부에 구획되는 제3퍼징영역(230)에서의 웨이퍼(W)의 퍼징이 용이하게 달성될 수 있다.

제1-3 내지 제3-4수직공급유로(541c ~ 543d)는 제2공급부(520) 내부에서 수직방향으로 연장되게 형성되며, 각각의 일단은 제1-3 내지 제3-4공급공간(531c ~ 533d) 각각과 연통되고, 각각의 타단은 제1하부 플레이트(810)에 형성된 제1-3 내지 제3-4공급연통구멍(811c ~ 813d)과 연통된다. 따라서, 제1-3 내지 제3-4수직공급유로(541c ~ 543d)는 제1-3 내지 제3-4공급연통구멍(811c ~ 813d)에서 유입된 퍼지가스를 제1-3 내지 제3-4공급공간(531c ~ 533d)으로 유동시키는 통로 역할을 한다.

이 경우, 제1-3 내지 제3-4수직공급유로(541c ~ 543d)의 각각의 타단은 제2공급부(520)의 하면에 개구된 구멍형태로 형성될 수 있으며, 이로 인해, 제1-3 내지 제3-4공급연통구멍(811c ~ 813d)과 용이하게 연통될 수 있다.

위와 같은, 제1공급부(510) 및 제2공급부(520)의 구성으로 인해, 하부 플레이트(800)를 통해 유입되는 퍼지가스를 제1-1 내지 제3-4분사부(310a ~ 330d)로 용이하게 공급할 수 있다.

전술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10)는 제1공급부(510)가 제1-1 내지 제3-2분사부(310a ~ 330b)의 외측에 배치되어 제1-1 내지 제3-2분사부(310a ~ 330b) 내부에 퍼지가스를 공급하고, 제2공급부(520)가 제1-3 내지 제3-4분사부(310c ~ 330d)의 외측에 배치되어 제1-3 내지 제3-4분사부(310c ~ 330d) 내부에 퍼지가스를 공급한다.

따라서, 2개의 공급부만을 이용하여, 12개의 분사부에 퍼지가스의 공급을 달성할 수 있으며, 이로 인해, 웨이퍼 수납용기(10)의 컴팩트한 구조를 달성할 수 있다.

지지대(600)

이하, 지지대(600)에 대해 설명한다.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 지지대(600)는 수납실(200) 내부에 수납되는 웨이퍼(W)를 지지하는 기능을 하며, 수납실(200) 내부에서 수직방향으로 복수개가 구비될 수 있다. 이 경우, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10)는 30개의 웨이퍼(W)를 퍼징하는 것이므로, 지지대(600)의 30개가 구비된다.

도 21 및 도 22에 도시된 바와 같이, 지지대(600)는 후방지지부(610)와, 후방지지부(610)의 좌측에서 전방 방향으로 연장되게 형성되는 좌측지지부(620)와, 후방지지부(610)의 우측에서 전방 방향으로 연장되게 형성되는 우측지지부(630)를 포함하여 구성된다.

후방지지부(610)는 웨이퍼(W)의 후방을 지지하는 기능을 하며, 후방지지부(610)에는 후방원호부(611)가 형성되어 있다.

후방원호부(611)는 후방지지부(610)의 상면으로부터 하부 방향으로 단차지게 형성되며, 원호 형상을 갖는다.

이 경우, 후방원호부(611)는 웨이퍼(W)의 곡률과 같은 곡률을 갖는 원호 형상이며, 이로 인해, 후방원호부(611), 좌측원호부(621) 및 우측원호부(631)를 가상의 선으로 이으며 웨이퍼(W)와 같은 원형 형상이 만들어 진다.

후방원호부(611)에는 후방돌출부(612)가 형성되며, 후방돌출부(612)는 웨이퍼(W)의 후방 하면을 지지하는 기능을 한다.

좌측지지부(620)는 후방지지부(610)의 좌측으로부터 전방 방향으로 연장되게 형성되며, 웨이퍼(W)의 좌측을 지지하는 기능을 한다. 또한, 좌측지지부(620)에는 좌측원호부(621)가 형성되어 있다.

좌측원호부(621)는 좌측지지부(620)의 상면으로부터 하부 방향으로 단차지게 형성되며, 원호 형상을 갖는다.

이 경우, 좌측원호부(621)는 웨이퍼(W)의 곡률과 같은 곡률을 갖는 원호 형상이며, 이로 인해, 후방원호부(611), 좌측원호부(621) 및 우측원호부(631)를 가상의 선으로 이으며 웨이퍼(W)와 같은 원형 형상이 만들어 진다.

좌측원호부(621)에는 좌측돌출부(622)가 형성되며, 후방돌출부(612)는 웨이퍼(W)의 우측 하면을 지지하는 기능을 한다.

우측지지부(630)는 우측지지부(630)의 좌측으로부터 전방 방향으로 연장되게 형성되며, 웨이퍼(W)의 우측을 지지하는 기능을 한다. 또한, 우측지지부(630)에는 우측원호부(631)가 형성되어 있다.

우측원호부(631)는 우측지지부(630)의 상면으로부터 하부 방향으로 단차지게 형성되며, 원호 형상을 갖는다.

이 경우, 우측원호부(631)는 웨이퍼(W)의 곡률과 같은 곡률을 갖는 원호 형상이며, 이로 인해, 후방원호부(611), 좌측원호부(621) 및 우측원호부(631)를 가상의 선으로 이으며 웨이퍼(W)와 같은 원형 형상이 만들어 진다.

우측원호부(631)에는 우측돌출부(632)가 형성되며, 후방돌출부(612)는 웨이퍼(W)의 좌측 하면을 지지하는 기능을 한다.

위와 같이, 후방돌출부(612), 좌측돌출부(622) 및 우측돌출부(632)가 웨이퍼(W)의 후방, 좌측 및 우측 하면을 각각 지지함으로써, 웨이퍼(W)는 3점으로 지지되게 된다. 이처럼, 3개의 돌출부에 의해 웨이퍼(W)가 3점 지지됨으로써, 웨이퍼(W)의 접촉면적을 최소화할 수 있으며, 이로 인해, 웨이퍼(W)의 접촉으로 인한 웨이퍼(W)의 파손 등을 방지할 수 있다.

후방지지부(610)와 좌측지지부(620)가 연장되는 부분의 외측면에는 좌측경사부(640)가 형성될 수 있다.

좌측경사부(640)는 후방에서 전방으로 갈수록 외측 방향으로 경사지게 형성된다.

후방지지부(610)와 우측지지부(630)가 연장되는 부분의 외측면에는 우측경사부(650)가 형성될 수 있다.

우측경사부(650) 또한, 후방에서 전방으로 갈수록 외측 방향으로 경사지게 형성된다.

위와 같은, 좌, 우측경사부(640, 650)는 웨이퍼 수납용기(10)의 컴팩트한 구조와 관련이 있다.

즉, 웨이퍼 수납용기(10)의 좌, 우측은 좌, 우측경사부(640, 650)와 같은 경사부가 형성되어 있으며, 좌, 우측경사부(640, 650)는 이에 대응되는 형상을 갖기 위해 지지대(600)에 형성되는 것이다.

위와 같은 경사부들은 웨이퍼 수납용기(10)의 면적을 최소화하는 기능을 하게 되며, 이로 인해, 웨이퍼 수납용기(10)가 컴팩트한 구조를 갖게 되는 것이다.

후방지지부(610)와 좌측지지부(620)가 연장되는 부분의 내측면에는 좌측오목부(660)가 형성되며, 후방지지부(610)와 우측지지부(630)가 연장되는 부분의 내측면에는 우측오목부(670)가 형성된다.

좌측오목부(660)는 후방원호부(611)와 좌측원호부(621) 사이에서 후방 방향으로 오목하게 형성된다.

우측오목부(670)는 후방원호부(611)와 우측원호부(631) 사이에서 후방 방향으로 오목하게 형성된다.

위와 같은 좌, 우측오목부(660, 670)는 웨이퍼(W)가 로봇암(미도시)에 의해 수납실(200)로 수납될 때, 로봇암의 핑거(미도시)가 지지대(600), 즉, 후방지지부(610)의 내측면에 접촉하는 것을 방지하는 기능을 하며, 이로 인해, 웨이퍼(W)가 전방 개구부(251)를 통해 수납실(200)로 용이하게 출입하여 지지대(600)에 지지될 수 있다.

위와 같은 지지대(600)의 구성 및 형상으로 인해, 도 22에 도시된 바와 같이, 웨이퍼(W)가 지지대(600)에 지지될 경우, 수납실(200) 내부에서 퍼지가스의 수직방향 유동을 최소화할 수 있다.

상세하게 설명하면, 웨이퍼(W)가 후방원호부(611), 좌측원호부(621) 및 우측원호부(631) 각각에 형성된 후방돌출부(612), 좌측돌출부(622) 및 우측돌출부(632)에 의해 3점 지지되면, 지지대(600)의 좌, 우측오목부(660, 670)를 제외한 영역이 웨이퍼(W)에 의해 폐쇄되게 된다. 따라서, 웨이퍼(W)가 지지된 지지대(600)는 수납실(200) 내부에서 수직방향으로 일종의 칸막이 역할을 하게 되며, 이로 인해, 퍼지가스의 수직방향 유동이 제한될 수 있다.

또한, 지지대(600)에서 좌, 우측 오목부(660, 670)가 형성된 영역이 웨이퍼(W)에 의해 폐쇄되어 있지 않더라도, 좌, 우측 오목부(660, 670)가 위치하는 영역에 퍼지가스가 수평 방향으로 분사되므로, 상기 수평 방향으로 분사되는 퍼지가스에 의해 퍼지가스의 수직방향 유동이 제한될 수 있다.

상세하게 설명하면, 제1-2분사부(310b), 제2-2분사부(320b), 제3-2분사부(330b)의 분사구멍(390)은 좌측 오목부(660)가 위치하는 방향으로 퍼지가스를 분사하게 된다. 또한, 제1-4분사부(310d), 제2-4분사부(320d), 제3-4분사부(330d)의 분사구멍(390)은 우측 오목부(670)가 위치하는 방향으로 퍼지가스를 분사하게 된다.

위와 같이, 제1 내지 제3분사부(310, 320, 330)의 분사구멍(390)은 좌, 우측 오목부(660)가 위치하는 방향으로 퍼지가스를 분사하게 되며, 이 경우, 분사된 퍼지가스는 수평방향으로 분사되게 된다. 따라서, 상기 퍼지가스는 일종의 수평방향 층을 이루며 분사되어 유동되게 된다.

이러한 수평방향 층을 이루며 유동되는 퍼지가스에 의해, 좌, 우측 오목부(660, 670)를 통해 퍼지가스가 수직방향으로 유동되는 것을 방지할 수 있으며, 이로 인해, 지지대(600)가 퍼지가스의 수직방향 유동을 제한하는 것을 달성할 수 있다.

전술한 지지대(600)에 의한 퍼지가스의 수직방향 유동의 제한은 후술할 제1 내지 제3분사부(310, 320, 330)의 개별 제어를 더욱 효율적으로 달성할 수 있게 한다.

또한, 전술한 지지대(600)는 로봇암의 핑거가 지지대(600)에 접촉하는 것을 방지하기 위해, 좌, 우측 오목부(660, 670)가 형성되어 있는 것을 기준으로 설명하였으나, 로봇암의 핑거 형상에 따라, 지지대(600)는 좌, 우측 오목부(660, 670)가 없는 형상으로도 형성될 수 있다. 따라서, 이러한 지지대(600)에 웨이퍼(W)가 지지될 경우에는 웨이퍼(W)에 의해 지지대(600)의 내측 공간(웨이퍼(W)를 지지하기 위해 개구된 공간)이 폐쇄되게 되며, 전술한 퍼지가스의 수직방향 유동의 제한을 더욱 효과적으로 달성할 수 있게 된다.

제1전방 배기부 (710) 및 제2전방 배기부 (750)

이하, 제1전방 배기부(710) 및 제2전방 배기부(750)에 대해 설명한다.

도 1, 도 2, 도 5, 도 6, 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 제1, 2전방 배기부(710, 750)는 수납실(200)의 전방 양측에 각각 배치되며, 외부 기체를 배기함으로써, 외부 기체가 수납실(200) 내부로 유입되는 것을 차단하는 기능을 한다.

이 경우, 외부 기체는 외부 공기를 포함하는 모든 기체를 말한다.

제1전방 배기부(710)는 수납실(200)의 전방 좌측에 배치되도록 제1-1 내지 제3-1분사부(310a, 320a, 330a)의 전방에 배치된다.

도 23 및 도 24에 도시된 바와 같이, 제1전방 배기부(710)에는 제1배기슬릿(720)과, 제1배기슬릿(720)과 연통되는 제4 내지 제6배기공간(721a, 721b, 721c)과, 제4 내지 제6배기공간(721a, 721b, 721c) 각각과 연통되는 제4 내지 제6수직배기유로(731a, 731b, 731c)(731a, 731b, 731c)가 구비된다.

제1배기슬릿(720)은 제1전방 배기부(710)의 우측면을 개구하며 형성된다. 이 경우, 제1배기슬릿(720)은 수직방향 길이가 수평방향 길이보다 긴 슬릿 형상을 갖는다.

제4 내지 제6배기공간(721a, 721b, 721c)은 제1배기슬릿(720)과 연통되며, 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230)과 대응되도록 제1전방 배기부(710)의 내부에 형성된다. 따라서, 제1전방 배기부(710)의 하부에서 상부순으로 제4배기공간(721a), 제5배기공간(721b), 제6배기공간(721c)이 배치되며, 제4 내지 제6배기공간(721a, 721b, 721c) 각각의 높이는 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230) 각각의 높이와 동일하게 형성된다.

제4 내지 제6수직배기유로(731a, 731b, 731c)(731a, 731b, 731c)는 제1전방 배기부(710) 내부에서 수직방향으로 연장되게 형성되며, 각각의 일단은 제4 내지 제6배기공간(721a, 721b, 721c)과 연통되고, 각각의 타단은 각각 제1하부 플레이트(810)의 제4 내지 제6배기연통구멍(816a, 816b, 816c)과 연통된다. 따라서, 제4 내지 제6수직배기유로(731a, 731b, 731c)(731a, 731b, 731c)는 제4 내지 제6배기공간(721a, 721b, 721c)을 통해 배기되는 외부 기체를 제4 내지 제6배기연통구멍(816a, 816b, 816c)으로 유동시키는 통로 역할을 한다.

이 경우, 제4 내지 제6수직배기유로(731a, 731b, 731c)(731a, 731b, 731c)의 각각의 타단은 제1전방 배기부(710)의 하면에 개구된 구멍형태로 형성될 수 있으며, 이로 인해, 제4 내지 제6배기연통구멍(816a, 816b, 816c)과 용이하게 연통될 수 있다.

도 25 및 도 26에 도시된 바와 같이, 제2전방 배기부(750)에는 제2배기슬릿(760)과, 제2배기슬릿(720)과 연통되는 제7 내지 제9배기공간(761a, 761b, 761c)과, 제7 내지 제9배기공간(721a, 721b, 721c) 각각과 연통되는 제7 내지 제9수직배기유로(771a, 771b, 771c)(771a, 771b, 771c)가 구비된다.

제2배기슬릿(760)은 제2전방 배기부(750)의 좌측면을 개구하며 형성된다. 이 경우, 제2배기슬릿(760)은 수직방향 길이가 수평방향 길이보다 긴 슬릿 형상을 갖는다.

제7 내지 제9배기공간(761a, 761b, 761c)은 제2배기슬릿(760)과 연통되며, 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230)과 대응되도록 제2전방 배기부(750)의 내부에 형성된다. 따라서, 제2전방 배기부(750)의 하부에서 상부순으로 제7배기공간(761a), 제8배기공간(761b), 제9배기공간(761c)이 배치되며, 제7 내지 제9배기공간(761a, 761b, 761c) 각각의 높이는 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230) 각각의 높이와 동일하게 형성된다.

제7 내지 제9수직배기유로(771a, 771b, 771c)(771a, 771b, 771c)는 제2전방 배기부(750) 내부에서 수직방향으로 연장되게 형성되며, 각각의 일단은 제7 내지 제9배기공간(761a, 761b, 761c)과 연통되고, 각각의 타단은 각각 제1하부 플레이트(810)의 제7 내지 제9배기연통구멍(817a, 817b, 817c)과 연통된다. 따라서, 제7 내지 제9수직배기유로(771a, 771b, 771c)(771a, 771b, 771c)는 제7 내지 제9배기공간(761a, 761b, 761c)을 통해 배기되는 외부 기체를 제7 내지 제9배기연통구멍(817a, 817b, 817c)으로 유동시키는 통로 역할을 한다.

이 경우, 제7 내지 제9수직배기유로(771a, 771b, 771c)(771a, 771b, 771c)의 각각의 타단은 제2전방 배기부(750)의 하면에 개구된 구멍형태로 형성될 수 있으며, 이로 인해, 제7 내지 제9배기연통구멍(817a, 817b, 817c)과 용이하게 연통될 수 있다.

위와 같은 구성에 의해, 도 9, 도 14, 도 16에 도시된 바와 같이, 제1전방 배기부(710) 및 제2전방 배기부(750)는 제1배기슬릿(720) 및 제2배기슬릿(760)을 통해 외부 기체를 배기할 수 있다.

따라서, 외부 기체가 전방 개구부(251)를 통해 수납실(200) 내부로 유입되는 것을 사전에 차단할 수 있으며, 이로 인해, 외부 기체가 수납실(200)에 분사되는 퍼지가스와 혼합되어 일종의 난류가 형성되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 전술한 바와 같이, 제1배기슬릿(720)은 수납실(200)의 전방에서 우측 방향으로 개구되도록 제1전방 배기부(710)의 우측면에 형성되고, 제2배기슬릿(760)은 수납실(200)의 전방에서 우측 방향으로 개구되도록 제2전방 배기부(750)의 좌측면에 형성된다.

따라서, 외부 기체가 제1, 2전방 배기부(710, 750)에 의해 좌, 우 방향으로 용이하게 배기될 수 있으며, 이로 인해, 외부 기체가 수납실(200)에 유입되는 것을 더욱 효과적으로 차단할 수 있다.

또한, 제1 내지 제2전방 배기부(710, 750)는 외부 기체 뿐만 아니라, 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230) 내의 퍼지가스를 배기할 수도 있다.

다시 말해, 도 16에 도시된 바와 같이, 제1-1 내지 제3-1분사부(310a, 320a, 330a) 및 제1-2 내지 제3-2분사부(310b, 320b, 330b)에서 분사된 퍼지가스 중 전방 방향으로 분사된 퍼지가스는 제1, 2전방 배기부(710, 750)에 의해 배기될 수 있다.

위와 같이, 제1, 2전방 배기부(710, 750)가 제1-1 내지 제3-1분사부(310a, 320a, 330a) 및 제1-2 내지 제3-2분사부(310b, 320b, 330b)에서 분사된 퍼지가스 중 전방 방향으로 분사된 퍼지가스 중 일부를 배기함으로써, 제1, 2공급부(510, 520)에서 제1-1 내지 제3-1분사부(310a, 320a, 330a) 및 제1-2 내지 제3-2분사부(310b, 320b, 330b)로 공급되는 퍼지가스의 유동을 더욱 원할하게 하는 효과가 있다.

다시 말해, 제1, 2공급부(510, 520)에서 제1-1 내지 제3-1분사부(310a, 320a, 330a) 및 제1-2 내지 제3-2분사부(310b, 320b, 330b)로 공급되는 퍼지가스의 유동은 제1-1 내지 제3-1분사부(310a, 320a, 330a) 및 제1-2 내지 제3-2분사부(310b, 320b, 330b)의 크기로 인해 상대적으로 약한 유동을 보일 수 있으나, 전술한 바와 같이, 제1, 2전방 배기부(710, 750)가 제1-1 내지 제3-1분사부(310a, 320a, 330a) 및 제1-2 내지 제3-2분사부(310b, 320b, 330b)에서 분사된 퍼지가스를 배기하므로, 상기 유동이 더욱 원할해질 수 있다.

따라서, 위와 같은 제1, 2전방 배기부(710, 750)와, 제1, 2공급부(510, 520)의 유기적인 결합관계에 의해 제1, 2공급부(510, 520)가 상대적으로 후방 쪽으로 배치되더라도, 제1, 2공급부(510, 520)에서 제1-1 내지 제3-1분사부(310a, 320a, 330a) 및 제1-2 내지 제3-2분사부(310b, 320b, 330b)로 공급되는 퍼지가스의 유동은 원할해질 수 있다는 효과가 발생한다.

또한, 제1, 2전방 배기부(710, 750)의 흡인력에 따라, 수납실(200)에서 유동하는 퍼지가스의 유동 흐름이 조절될 수 있게 되며, 이로 인해, 웨이퍼(W)의 퓸을 제거하지 못하는 사영역이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

다시 말해, 제1, 2전방 배기부(710, 750)의 흡인력이 강해지면, 퍼지가스가 수납실(200) 내부에서 수납실(200) 외부, 즉, 후방에서 전방 방향으로 퍼지가스가 유동하는 흐름이 발생하게 되며, 이로 인해, 웨이퍼(W)의 전 영역에 퍼지가스가 용이하게 유동될 수 있다. 따라서, 웨이퍼(W)의 전 영역의 퓸 제거를 더욱 용이하게 달성할 수 있다.

위에서는 제4 내지 제6배기공간(721a, 721b, 721c)이 하나의 배기슬릿, 즉, 제1배기슬릿(720)과 연통되는 것으로 설명하였으나, 제4 내지 제6배기공간(721a, 721b, 721c) 각각의 높이와 대응되도록 형성되는 3개의 슬릿이 구비될 수도 있다. 따라서, 이 경우, 제1전방 배기부(710)는 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230) 각각에 대응되는 높이의 외부 기체들의 선택적인 배기를 더욱 용이하게 달성할 수 있다.

물론, 제7 내지 제9배기공간(761a, 761b, 761c) 각각의 높이와 대응되도록 형성되는 3개의 슬릿이 구비될 수도 있다. 따라서, 이 경우, 제2전방 배기부(750)는 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230) 각각에 대응되는 높이의 외부 기체들의 선택적인 배기를 더욱 용이하게 달성할 수 있다.

하부 플레이트(800)

이하, 하부 플레이트(800)에 대해 설명한다.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 하부 플레이트(800)는 웨이퍼 수납용기(10)의 하부면을 이룸으로써, 수납실(200)의 하부를 폐쇄하고, 외부에서 공급된 퍼지가스를 웨이퍼 수납용기(10)로 유입하는 기능을 한다.

또한, 하부 플레이트(800)는, 도 27에 도시된 바와 같이, 동형의 제1 내지 제3하부 플레이트(810, 820, 830)의 결합으로 이루어질 수 있다.

이 경우, 제1하부 플레이트(810)의 하부에 제2하부 플레이트(820)가 결합하고, 제2하부 플레이트(820) 하부에 제3하부 플레이트(830)가 결합한다.

또한, 제3하부 플레이트(830)의 하부에는 외부 공급라인(미도시) 및 외부 배기라인(미도시)들이 연결되는 연결부재(850)와, 받침부재(860)가 설치된다.

이 경우, 받침부재(860)는 하부 플레이트(800)의 하면, 즉, 제3하부 플레이트(830)의 하면 전방 좌, 우측에 설치되며, 웨이퍼 수납용기(10)를 로드 포트 등에 올려 놓을 때, 수평을 유지하며 안정적으로 올려 놓아지게 하는 기능을 한다.

제1하부 플레이트(810)

이하, 제1하부 플레이트(810)에 대해 설명하다.

도 28에 도시된 바와 같이, 제1하부 플레이트(810)는 수납실(200)의 바닥면을 이루며, 제1-1 내지 제3-4공급연통구멍(811a ~ 813d)과, 제1 내지 제9배기연통구멍(815a, 815b, 815c, 816a, 816b, 816c, 817a, 817b, 817c)이 각각 제1하부 플레이트(810)의 상면과 하면을 관통하여 형성된다,

제1-1 내지 제3-1공급연통구멍(811a, 812a, 813a) 및 제1-2 내지 제3-2공급연통구멍(811b, 812b, 813b)은 제1하부 플레이트(810)의 상면에 배치되는 제1공급부(510)와 대응되도록 제1하부 플레이트(810)의 후방 좌측에 형성된다.

제1-1 내지 제3-1공급연통구멍(811a, 812a, 813a) 및 제1-2 내지 제3-2공급연통구멍(811b, 812b, 813b) 각각은 일단이 제1공급부(510)의 제1-1 내지 제3-1공급연통구멍(811a, 812a, 813a) 및 제1-2 내지 제3-2공급연통구멍(811b, 812b, 813b) 각각과 연통되고, 타단이 제2하부 플레이트(820)의 제1-1 내지 제3-1공급유로(821a, 822a, 823a) 및 제1-2 내지 제3-2공급유로(821b, 822b, 823b) 각각과 연통된다.

제1-3 내지 제3-3공급연통구멍(811c, 812c, 813c) 및 제1-4 내지 제3-4공급연통구멍(811d, 812d, 813d)은 제1하부 플레이트(810)의 상면에 배치되는 제2공급부(520)와 대응되도록 제1하부 플레이트(810)의 후방 우측에 형성된다.

제1-3 내지 제3-3공급연통구멍(811c, 812c, 813c) 및 제1-4 내지 제3-4공급연통구멍(811d, 812d, 813d) 각각은 일단이 제2공급부(520)의 제1-3 내지 제3-3공급연통구멍(811c, 812c, 813c) 및 제1-4 내지 제3-4공급연통구멍(811d, 812d, 813d) 각각과 연통되고, 타단이 제2하부 플레이트(820)의 제1-3 내지 제3-3공급유로(821c, 822c, 823c) 및 제1-4 내지 제3-4공급유로(821d, 822d, 823d) 각각과 연통된다.

제1 내지 제3배기연통구멍(815a, 815b, 815c)은 제1하부 플레이트(810)의 상면에 배치되는 배기부(400)와 대응되도록 제1하부 플레이트(810)의 후방에 형성된다.

제1 내지 제3배기연통구멍(815a, 815b, 815c) 각각은 일단이 배기부(400)의 제1 내지 제3수직배기유로(411, 421, 431) 각각과 연통되고, 타단이 제2하부 플레이트(820)의 제1후방 배출구멍(825)과 연통된다.

제4 내지 제6배기연통구멍(816a, 816b, 816c)은 제1하부 플레이트(810)의 상면에 배치되는 제1전방 배기부(710)와 대응되도록 제1하부 플레이트(810) 전방 좌측에 형성된다.

제4 내지 제6배기연통구멍(816a, 816b, 816c) 각각은 일단이 제1전방 배기부(710)의 제4 내지 제6수직배기유로(731a, 731b, 731c) 각각과 연통되고, 타단이 제2하부 플레이트(820)의 제4 내지 제6배기유로(826a, 826b, 826c) 각각과 연통된다.

제7 내지 제9배기연통구멍(817a, 817b, 817c)은 제1하부 플레이트(810)의 상면에 배치되는 제2전방 배기부(750)와 대응되도록 제1하부 플레이트(810) 전방 우측에 형성된다.

제7 내지 제9배기연통구멍(817a, 817b, 817c) 각각은 일단이 제2전방 배기부(750)의 제7 내지 제9수직배기유로(771a, 771b, 771c) 각각과 연통되고, 타단이 제2하부 플레이트(820)의 제7 내지 제9배기유로(827a, 827b, 827c) 각각과 연통된다.

제2하부 플레이트(820)

이하, 제2하부 플레이트(820)에 대해 설명한다.

도 29에 도시된 바와 같이, 제2하부 플레이트(820)는 제1하부 플레이트(810)의 하부에 결합되며, 제1-1 내지 제3-4공급유로(821a ~ 823d)와, 제1후방 배출구멍(825) 및 제4 내지 제9배기유로(826a, 826b, 826c, 827a, 827b, 827c)가 각각 제2하부 플레이트(820)의 상면과 하면을 관통하여 형성된다.

제1-1 내지 제3-2공급유로(821a ~ 823b)는 제2하부 플레이트(820)의 후방 좌측에서 후방 중앙 방향으로 연장되게 형성된다.

제1-1 내지 제3-2공급유로(821a ~ 823b)는 그 일단이 제1하부 플레이트(810)의 제1-1 내지 제3-2공급연통구멍(811a ~ 813b)과 각각 연통되며, 타단이 제3하부 플레이트(830)의 제1-1 내지 제3-2유입구멍(831a ~ 833b)과 각각 연통된다.

제1-3 내지 제3-4공급유로(821c ~ 823d)는 제2하부 플레이트(820)의 후방 우측에서 후방 중앙 방향으로 연장되게 형성된다.,

제1-3 내지 제3-4공급유로(821c ~ 823d)는 그 일단이 제1하부 플레이트(810)의 제1-3 내지 제3-4공급연통구멍(811c ~ 813d)과 각각 연통되며, 타단이 제3하부 플레이트(830)의 제1-3 내지 제3-4유입구멍(831c ~ 833d)과 각각 연통된다.

제1-1 내지 제3-4공급유로(821a ~ 823d)의 길이는 제1-1 내지 제1-4공급유로(821a ~ 821d) 보다 제2-1 내지 제2-4공급유로(822a ~ 822d)가 더 짧게 형성되고, 제2-1 내지 제2-4공급유로(822a ~ 822d) 보다 제3-1 내지 제3-4공급유로(823a ~ 823d)가 더 짧게 형성되는 것이 바람직하다.

위와 같이, 제3분사부(330)로 퍼지가스를 공급하는 공급유로의 길이를 제1분사부(310) 및 제2분사부(320)로 퍼지가스를 공급하는 공급유로의 길이보다 짧게 형성함으로써, 수납실(200)의 상부에 구획되는 제3퍼징영역(230)으로 충분한 양의 퍼지가스가 분사될 수 있다.

위와 같이 공급유로의 길이를 조절함으로써, 상부에 위치하는 분사부에도 충분한 양의 퍼지가스가 공급될 수 있으며, 이로 인해, 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230)에 균일한 양의 퍼지가스가 분사될 수 있다.

제1후방 배출구멍(825)은 제2하부 플레이트(820)의 후방에 형성된다.

제1후방 배출구멍(825)은 상부가 제1하부 플레이트(810)의 제1 내지 제3배기연통구멍(815a, 815b, 815c)과 연통되고, 하부가 제3하부 플레이트(830)의 제2후방 배기구멍(490)과 연통된다.

제4 내지 제6배기유로(826a, 826b, 826c)는 제2하부 플레이트(820)의 전방 좌측에서 전방 중앙 방향으로 연장되게 형성된다.

제4 내지 제6배기유로(826a, 826b, 826c)는 각각 그 일단이 제1하부 플레이트(810)의 제4 내지 제6배기연통구멍(816a, 816b, 816c)와 각각 연통되며, 타단이 제3하부 플레이트(830)의 제4 내지 제6배출구멍(836a, 836b, 836c)과 각각 연통된다.

제7 내지 제9배기유로(827a, 827b, 827c)는 제2하부 플레이트(820)의 전방 우측에서 전방 중앙 방향으로 연장되게 형성된다.

제7 내지 제9배기유로(827a, 827b, 827c)는 각각 그 일단이 제1하부 플레이트(810)의 제7 내지 제9배기연통구멍(817a, 817b, 817c)과 각각 연통되며, 타단이 제3하부 플레이트(830)의 제7 내지 제9배출구멍(837a, 837b, 837c)과 각각 연통된다.

제4 내지 제9배기유로(826a, 826b, 826c, 827a, 827b, 827c)의 길이는 제4배기유로(826a) 및 제7배기유로(827a) 보다 제5배기유로(826b) 및 제8배기유로(827b)가 더 짧게 형성되고, 제5배기유로(826b) 및 제8배기유로(827b) 보다 제6배기유로(826c) 및 제9배기유로(827c)가 더 짧게 형성되는 것이 바람직하다.

위와 같이, 제1전방 배기부(710)의 제6배기공간(721c) 및 제2전방 배기부(750)의 제9배기공간(761c)을 통해 외부 기체를 배기하는 배기유로의 길이를 제1전방 배기부(710)의 제4배기공간(721a), 제5배기공간(721b) 및 제2전방 배기부(750)의 제7배기공간(761a), 제8배기공간(761b)을 통해 외부 기체를 배기하는 배기유로의 길이보다 짧게 형성함으로써, 제1, 2전방 배기부(710, 750)의 배기 저항을 동일하게 만들 수 있다.

상세하게 설명하면, 제1전방 배기부(710)를 기준으로 유로의 길이를 "제4수직배기유로(731a) + 제4배기유로(826a) = 제5수직배기유로(731b) + 제5배기유로(826b) = 제6수직배기유로(731c) + 제6배기유로(826c)" 와 같은 조건으로 형성시키면, 제1전방 배기부(710)의 제4 내지 제6배기공간(721a, 721b, 721c)의 배기 저항이 동일하게 형성될 수 있으며, 이로 인해, 제4 내지 제6배기공간(721a, 721b, 721c)으로의 균일한 배기가 달성될 수 있다.

또한, 제2전방 배기부(750)를 기준으로 유로의 길이를 "제7수직배기유로(771a) + 제7배기유로(827a) = 제8수직배기유로(771b) + 제8배기유로(827b) = 제9수직배기유로(771c) + 제9배기유로(827c)" 와 같은 조건으로 형성시키면, 제2전방 배기부(750)의 제7 내지 제9배기공간(761a, 761b, 761c)의 배기 저항이 동일하게 형성될 수 있으며, 이로 인해, 제7 내지 제9배기공간(761a, 761b, 761c)으로의 균일한 배기가 달성될 수 있다.

제3하부 플레이트(830)

이하, 제3하부 플레이트(830)에 대해 설명한다.

도 30에 도시된 바와 같이, 제3하부 플레이트(830)는 제2하부 플레이트(820)의 하부에 결합되며, 제1-1 내지 제3-4유입구멍(831a ~ 833d)과, 제2후방 배출구멍(835) 및 제4 내지 제9배출구멍(836a, 836b, 836c, 837a, 837b, 837c)이 각각 제3하부 플레이트(830)의 상면과 하면을 관통하여 형성된다.

제1-1 내지 제3-1유입구멍(831a, 832a, 833a) 및 제1-2 내지 제3-2유입구멍(831b, 832b, 833b)은 제3하부 플레이트(830)의 후방 중앙에 전방에서 후방 방향으로 배열되도록 형성된다.

제1-3 내지 제3-3유입구멍(831c, 832c, 833c) 및 제1-4 내지 제3-4유입구멍(831d, 832d, 833d)은 제3하부 플레이트(830)의 중심선을 기준으로 제1-1 내지 제3-1유입구멍(831a, 832a, 833a) 및 제1-2 내지 제3-2유입구멍(831b, 832b, 833b)와 대칭되도록 제3하부 플레이트(830)의 후방 중앙에 전방에서 후방 방향으로 배열된다.

제1-1 내지 제3-4유입구멍(831a ~ 833d)의 상부 각각은 제2하부 플레이트(820)의 제1-1 내지 제3-4공급유로(821a ~ 823d)와 연통된다.

제1-1, 1-3유입구멍(831a, 831c)은 연결부재(850)의 제1-1메인 유입구멍(851a)과 연통되고, 제2-1, 2-3유입구멍(832a, 832c)은 연결부재(850)의 제2-1메인 유입구멍(852a)과 연통되고, 제3-1, 3-3유입구멍(833a, 833c)은 연결부재(850)의 제3-1메인 유입구멍(853a)과 연통된다.

제1-2, 1-4유입구멍(831b, 831d)은 연결부재(850)의 제1-2메인 유입구멍(851b)과 연통되고, 제2-2, 2-4유입구멍(832b, 832d)은 연결부재(850)의 제2-2메인 유입구멍(852b)과 연통되고, 제3-2, 3-4유입구멍(833b, 833d)은 연결부재(850)의 제3-2메인 유입구멍(853b)과 연통된다.

제2후방 배출구멍(835)은 제2하부 플레이트(820)의 제1후방 배출구멍(825)과 연통되도록 제3하부 플레이트(830)의 후방에 제2하부 플레이트(820)의 상면과 하면을 관통하여 형성된다.

제2후방 배출구멍(835)은 일단이 제1후방 배출구멍(825)과 연통되고, 타단이 연결부재(850)의 통합배출유로(855)와 연통된다.

제4 내지 제9배출구멍(836a, 836b, 836c, 837a, 837b, 837c)은 제1-1 내지 제3-4유입구멍(831a ~ 833d) 보다 전방에 위치하도록 제2하부 플레이트(820)의 중앙에 제2하부 플레이트(820)의 상면과 하면을 관통하여 형성된다.

제4 내지 제9배출구멍(836a, 836b, 836c, 837a, 837b, 837c) 각각의 일단은 제2하부 플레이트(820)의 제4 내지 제9배기유로(826a, 826b, 826c, 827a, 827b, 827c)와 각각 연통되고, 각각의 타단은 연결부재(850)의 통합배출유로(855)와 연통된다.

전술한 바와 같이, 제1 내지 제3하부 플레이트(810, 820, 830)에 각각 공급/배기연통구멍, 공급/배기유로 등을 형성시킴으로써, 하부 플레이트(800) 내부의 유로 형상이 복잡한 형상을 이루고 있더라도 이를 용이하게 형성시킬 수 있다.

또한, 웨이퍼 수납용기(10)가 로드 포트 등에 결합되어 외부 공급/배기 라인과 연결될 때, 위와 같은 제1 내지 제3하부 플레이트(810, 820, 830)의 공급/배기연통구멍, 공급/배기유로 등을 적절하게 형성시킴으로써, 퍼지가스가 공급되는 공급라인들과 퍼지가스 및 퓸을 배기하는 배기라인을 단순화 시킬 수 있다.

연결부재 (850)

이하, 연결부재(850)에 대해 설명한다.

도 27에 도시된 바와 같이, 연결부재(850)는 하부 플레이트(800)의 하부, 즉, 제3하부 플레이트(830)의 하부에 설치된다.

연결부재(850)는 제1-1 내지 제3-2외부 공급라인(미도시)과, 외부 배기라인(미도시)을 웨이퍼 수납용기(10)에 연결하는 기능을 한다.

도 31에 도시된 바와 같이, 연결부재(850)에는 제1-1 내지 제3-2메인 유입구멍(851a ~ 853b)과, 통합배출유로(855) 및 메인 배기구멍(490)이 형성된다.

제1-1메인 유입구멍(851a)은 제3하부 플레이트(830)의 제1-1, 1-3유입구멍(831a, 831c)과 연통되고, 제2-1메인 유입구멍(852a)은 제3하부 플레이트(830)의 제2-1, 2-3유입구멍(832a, 832c)과 연통되고, 제3-1메인 유입구멍(853a)은 제3하부 플레이트(830)의 제3-1, 3-3유입구멍(833a, 833c)과 연통된다.

제1-2메인 유입구멍(851b)은 제3하부 플레이트(830)의 제1-2, 1-4유입구멍(831b, 831d)과 연통되고, 제2-2메인 유입구멍(852b)은 제3하부 플레이트(830)의 제2-2, 2-4유입구멍(832b, 832d)과 연통되고, 제3-2메인 유입구멍(853b)은 제3하부 플레이트(830)의 제3-2, 3-4유입구멍(833b, 833d)과 연통된다.

제1-1 내지 제3-2메인 유입구멍(851a ~ 853b)은 각각 제1-1 내지 제3-2외부 공급라인과 연결된다.

따라서, 제1-1 내지 제3-2외부 공급라인 즉, 6개의 외부 공급라인이 개별제어됨에 따라, 제1-1 내지 제3-2메인 유입구멍(851a ~ 853b)과 연통된 6개의 주입부가 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230)에 퍼지가스를 개별적으로 분사할 수 있으며, 이에 대한 자세한 설명은 후술한다.

통합배출유로(855)는 제2하부 플레이트(820)의 제2후방 배출구멍(835) 및 제4 내지 제9배출구멍(836a, 836b, 836c, 837a, 837b, 837c)과 메인 배기구멍(490)을 연통시키는 유로 기능을 한다.

메인 배기구멍(490)에는 외부 배기라인이 연결되며, 이로 인해, 통합배출유로(855)로 배기된 퍼지가스, 웨이퍼(W)의 퓸, 외부 기체 등이 웨이퍼 수납용기(10)의 외부로 용이하게 배출될 수 있다.

상부 플레이트(900)

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상부 플레이트(900)는 웨이퍼 수납용기(10)의 상부면을 이루며, 수납실(200)의 상부를 폐쇄하는 기능을 한다.

이 경우, 상부 플레이트(900)는 그 하면이 제4수평부재(114)의 상면, 제8수평부재(118)의 상면 및 배기부(400)의 상면에 결합된다.

상부 플레이트(900)의 전체적인 형상은 하부 플레이트(800)의 전체적인 형상과 동일한 형상을 갖는다.

상부 플레이트(900)의 하면에는 웨이퍼 감지 센서(미도시)가 구비될 수 있다.

웨이퍼 감지 센서는 웨이퍼(W)가 수납되어 있는지 여부와, 복수개의 지지대(600) 중 어느 지지대(600)에 웨이퍼(W)가 지지되어 있는지 여부를 감지할 수 있다.

웨이퍼 수납용기(10)의 퍼지가스 공급/분사 유동

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10)의 퍼지가스 공급/분사 유동에 대해 설명한다.

도 33에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10)의 퍼지가스 공급/분사 유동은 제1-1 내지 제3-2메인 유입구멍(851a, 853b)에 연결된 제1-1 내지 제3-2외부 공급라인에 의해 이루어지게 된다.

제1-1외부 공급라인은 제1-1분사부(310a) 및 제1-3분사부(310c)에 퍼지가스를 공급하게 되고, 제1-2외부 공급라인은 제1-2분사부(310b) 및 제1-4분사부(310d)에 퍼지가스를 공급하게 된다. 따라서, 제1-1외부 공급라인 및 제1-2외부 공급라인에 의해, 제1-1 내지 제1-4분사부(310a ~ 310d) 각각으로 퍼지가스가 공급되며, 이렇게 공급된 퍼지가스가 제1-1 내지 제1-4분사부(310a ~ 310d)에서 수납실(200)로 분사됨으로써, 수납실(200)에 제1퍼징영역(210)이 구획된다.

제2-1외부 공급라인은 제2-1분사부(320a) 및 제2-3분사부(320c)에 퍼지가스를 공급하게 되고, 제2-2외부 공급라인은 제2-2분사부(320b) 및 제2-4분사부(320d)에 퍼지가스를 공급하게 된다. 따라서, 제2-1외부 공급라인 및 제2-2외부 공급라인에 의해, 제2-1 내지 제2-4분사부(320a ~ 320d) 각각으로 퍼지가스가 공급되며, 이렇게 공급된 퍼지가스가 제2-1 내지 제2-4분사부(320a ~ 320d)에서 수납실(200)로 분사됨으로써, 수납실(200)에 제2퍼징영역(220)이 구획된다.

제3-1외부 공급라인은 제3-1분사부(330a) 및 제3-3분사부(330c)에 퍼지가스를 공급하게 되고, 제3-2외부 공급라인은 제3-2분사부(330b) 및 제3-4분사부(330d)에 퍼지가스를 공급하게 된다. 따라서, 제3-1외부 공급라인 및 제3-2외부 공급라인에 의해, 제3-1 내지 제3-4분사부(330a ~ 330d) 각각으로 퍼지가스가 공급되며, 이렇게 공급된 퍼지가스가 제3-1 내지 제3-4분사부(330a ~ 330d)에서 수납실(200)로 분사됨으로써, 수납실(200)에 제3퍼징영역(230)이 구획된다.

이하, 제1-1 내지 제3-2외부 공급라인에 의해 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230) 각각으로 이루어지는 퍼지가스의 공급/분사 유동에 대해 상세하게 설명한다.

제1- 1외부 공급라인 및 제1- 2외부 공급라인에 의한 퍼지가스 공급/분사 유동

이하, 도 4, 도 7, 도 12, 도 16, 도 32 및 도 33을 참조하여 제1-1외부 공급라인 및 제1-2외부 공급라인에 의해 제1퍼징영역(210)으로 이루어지는 퍼지가스 공급/분사 유동에 대해 설명한다.

제1-1외부 공급라인에서 퍼지가스가 공급되면, 상기 퍼지가스는 연결부재(850)의 제1-1메인 유입구멍(851a)에 의해 제1-1공급유로(821a)와 제1-3공급유로(821c)로 나눠져 유동한다.

제1-1공급유로(821a)로 유동된 퍼지가스는 제1-1공급연통구멍(811a)으로 유동되어, 제1공급부(510)의 제1-1수직공급유로(541a)로 유동한다. 제1-1수직공급유로(541a)로 유동된 퍼지가스는 제1-1공급공간(531a)과 제1-1공급구멍(371a)을 통해 제1-1분사부(310a) 내부로 공급된다. 이렇게, 제1-1분사부(310a) 내부로 공급된 퍼지가스는 분사구멍(390)을 통해 제1퍼징영역(210)의 좌측으로 분사된다.

제1-3공급유로(821c)로 유동된 퍼지가스는 제1-3공급연통구멍(811c)으로 유동되어, 제2공급부(520)의 제1-3수직공급유로(541c)로 유동한다. 제1-3수직공급유로(541c)로 유동된 퍼지가스는 제1-3공급공간(531c)과 제1-3공급구멍(371c)을 통해 제1-3분사부(310c) 내부로 공급된다. 이렇게, 제1-3분사부(310c) 내부로 공급된 퍼지가스는 분사구멍(390)을 통해 제1퍼징영역(210)의 우측으로 분사된다.

제1-2외부 공급라인에서 퍼지가스가 공급되면, 상기 퍼지가스는 연결부재(850)의 제1-2메인 유입구멍(851b)에 의해 제1-2공급유로(821b)와 제1-4공급유로(821d)로 나눠져 유동한다.

제1-2공급유로(821b)로 유동된 퍼지가스는 제1-2공급연통구멍(811b)으로 유동되어, 제1공급부(510)의 제1-2수직공급유로(541b)로 유동한다. 제1-2수직공급유로(541b)로 유동된 퍼지가스는 제1-2공급공간(531b)과 제1-2공급구멍(371b)을 통해 제1-2분사부(310b) 내부로 공급된다. 이렇게, 제1-2분사부(310b) 내부로 공급된 퍼지가스는 분사구멍(390)을 통해 제1퍼징영역(210)의 후방 좌측으로 분사된다.

제1-4공급유로(821d)로 유동된 퍼지가스는 제1-4공급연통구멍(811d)으로 유동되어, 제2공급부(520)의 제1-4수직공급유로(541d)로 유동한다. 제1-4수직공급유로(541d)로 유동된 퍼지가스는 제1-4공급공간(531d)과 제1-4공급구멍(371d)을 통해 제1-4분사부(310d) 내부로 공급된다. 이렇게, 제1-4분사부(310d) 내부로 공급된 퍼지가스는 분사구멍(390)을 통해 제1퍼징영역(210)의 후방 우측으로 분사된다.

제2- 1외부 공급라인 및 제2- 2외부 공급라인에 의한 퍼지가스 공급/분사 유동

이하, 도 4, 도 7, 도 12, 도 16, 도 32 및 도 33을 참조하여 제2-1외부 공급라인 및 제2-2외부 공급라인에 의해 제2퍼징영역(220)으로 이루어지는 퍼지가스 공급/분사 유동에 대해 설명한다.

제2-1외부 공급라인에서 퍼지가스가 공급되면, 상기 퍼지가스는 연결부재(850)의 제2-1메인 유입구멍(852a)에 의해 제2-1공급유로(822a)와 제2-3공급유로(822c)로 나눠져 유동한다.

제2-1공급유로(822a)로 유동된 퍼지가스는 제2-1공급연통구멍(812a)으로 유동되어, 제1공급부(510)의 제2-1수직공급유로(542a)로 유동한다. 제2-1수직공급유로(542a)로 유동된 퍼지가스는 제2-1공급공간(532a)과 제2-1공급구멍(372a)을 통해 제2-1분사부(320a) 내부로 공급된다. 이렇게, 제2-1분사부(320a) 내부로 공급된 퍼지가스는 분사구멍(390)을 통해 제2퍼징영역(220)의 우측으로 분사된다.

제2-3공급유로(822c)로 유동된 퍼지가스는 제2-3공급연통구멍(812c)으로 유동되어, 제2공급부(520)의 제2-3수직공급유로(542c)로 유동한다. 제2-3수직공급유로(542c)로 유동된 퍼지가스는 제2-3공급공간(532c)과 제2-3공급구멍(372c)을 통해 제2-3분사부(320c) 내부로 공급된다. 이렇게, 제2-3분사부(320c) 내부로 공급된 퍼지가스는 분사구멍(390)을 통해 제2퍼징영역(220)의 우측으로 분사된다.

제2-2외부 공급라인에서 퍼지가스가 공급되면, 상기 퍼지가스는 연결부재(850)의 제2-2메인 유입구멍(852b)에 의해 제2-2공급유로(822b)와 제2-4공급유로(822d)로 나눠져 유동한다.

제2-2공급유로(822b)로 유동된 퍼지가스는 제2-2공급연통구멍(812b)으로 유동되어, 제1공급부(510)의 제2-2수직공급유로(542b)로 유동한다. 제2-2수직공급유로(542b)로 유동된 퍼지가스는 제2-2공급공간(532b)과 제2-2공급구멍(372b)을 통해 제2-2분사부(320b) 내부로 공급된다. 이렇게, 제2-2분사부(320b) 내부로 공급된 퍼지가스는 분사구멍(390)을 통해 제2퍼징영역(220)의 후방 좌측으로 분사된다.

제2-4공급유로(822d)로 유동된 퍼지가스는 제2-4공급연통구멍(812d)으로 유동되어, 제2공급부(520)의 제2-4수직공급유로(542d)로 유동한다. 제2-4수직공급유로(542d)로 유동된 퍼지가스는 제2-4공급공간(532d)과 제2-4공급구멍(372d)을 통해 제2-4분사부(320d) 내부로 공급된다. 이렇게, 제2-4분사부(320d) 내부로 공급된 퍼지가스는 분사구멍(390)을 통해 제2퍼징영역(220)의 후방 우측으로 분사된다.

제3- 1외부 공급라인 및 제3- 2외부 공급라인에 의한 퍼지가스 공급/분사 유동

이하, 도 4, 도 7, 도 12, 도 16, 도 32 및 도 33를 참조하여 제3-1외부 공급라인 및 제3-2외부 공급라인에 의해 제3퍼징영역(230)으로 이루어지는 퍼지가스 공급/분사 유동에 대해 설명한다.

제3-1외부 공급라인에서 퍼지가스가 공급되면, 상기 퍼지가스는 연결부재(850)의 제3-1메인 유입구멍(853a)에 의해 제3-1공급유로(823a)와 제3-3공급유로(823c)로 나눠져 유동한다.

제3-1공급유로(823a)로 유동된 퍼지가스는 제3-1공급연통구멍(813a)으로 유동되어, 제1공급부(510)의 제3-1수직공급유로(543a)로 유동한다. 제3-1수직공급유로(543a)로 유동된 퍼지가스는 제3-1공급공간(533a)과 제3-1공급구멍(373a)을 통해 제3-1분사부(330a) 내부로 공급된다. 이렇게, 제3-1분사부(330a) 내부로 공급된 퍼지가스는 분사구멍(390)을 통해 제3퍼징영역(230)의 우측으로 분사된다.

제3-3공급유로(823c)로 유동된 퍼지가스는 제3-3공급연통구멍(813c)으로 유동되어, 제2공급부(520)의 제3-3수직공급유로(543c)로 유동한다. 제3-3수직공급유로(543c)로 유동된 퍼지가스는 제3-3공급공간(533c)과 제3-3공급구멍(373c)을 통해 제3-3분사부(330c) 내부로 공급된다. 이렇게, 제3-3분사부(330c) 내부로 공급된 퍼지가스는 분사구멍(390)을 통해 제3퍼징영역(230)의 우측으로 분사된다.

제3-2외부 공급라인에서 퍼지가스가 공급되면, 상기 퍼지가스는 연결부재(850)의 제3-2메인 유입구멍(853b)에 의해 제3-2공급유로(823b)와 제3-4공급유로(823d)로 나눠져 유동한다.

제3-2공급유로(823b)로 유동된 퍼지가스는 제3-2공급연통구멍(813b)으로 유동되어, 제1공급부(510)의 제3-2수직공급유로(543b)로 유동한다. 제3-2수직공급유로(543b)로 유동된 퍼지가스는 제3-2공급공간(533b)과 제3-2공급구멍(373b)을 통해 제3-2분사부(330b) 내부로 공급된다. 이렇게, 제3-2분사부(330b) 내부로 공급된 퍼지가스는 분사구멍(390)을 통해 제3퍼징영역(230)의 후방 좌측으로 분사된다.

제3-4공급유로(823d)로 유동된 퍼지가스는 제3-4공급연통구멍(813d)으로 유동되어, 제2공급부(520)의 제3-4수직공급유로(543d)로 유동한다. 제3-4수직공급유로(543d)로 유동된 퍼지가스는 제3-4공급공간(533d)과 제3-4공급구멍(373d)을 통해 제3-4분사부(330d) 내부로 공급된다. 이렇게, 제3-4분사부(330d) 내부로 공급된 퍼지가스는 분사구멍(390)을 통해 제3퍼징영역(230)의 후방 우측으로 분사된다.

전술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10)는 제1-1, 1-3분사부(310a, 310c), 제1-2, 1-4분사부(310b, 310d), 제2-1, 2-3분사부(320a, 320c), 제2-2, 2-4분사부(320b, 320d), 제3-1, 3-3분사부(330a, 330c) 및 제3-2, 3-4분사부(330b, 330d)가 각각 제1-1 내지 제3-2외부 공급라인에 의해 개별적으로 퍼지가스를 공급받아, 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230)으로의 퍼지가스 분사를 달성할 수 있다.

따라서, 제1-1 내지 제3-2외부 공급라인의 퍼지가스 공급을 제어함으로써, 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230) 중 원하는 영역에만 선택적으로 퍼지가스를 분사할 수 있다.

예컨데, 로봇암이 제2퍼징영역(220)에 위치하는 지지대(600)에만 웨이퍼(W)를 수납하여 지지시키는 경우, 제2-1외부 공급라인 및/또는 제2-2외부 공급라인에서 퍼지가스를 공급하여 제2퍼징영역(220)에만 퍼지가스가 분사되게 함으로써, 제2퍼징영역(220)에 위치하는 웨이퍼(W)의 퍼징을 달성할 수 있다. 따라서, 종래기술과 달리, 불필요한 퍼지가스의 낭비를 줄일 수 있다.

또한, 수납실(200)에 수납되는 웨이퍼(W)의 균일한 퍼징을 보장할 수 있다.

예컨데, 제1-1 내지 제3-2외부 공급라인 각각에 MFC(Mass Flow Controller)가 구비된 경우, 상기 MFC를 이용하여 제3-1, 3-2외부 공급라인으로 공급되는 퍼지가스의 압력을 높이게 되면, 분사구멍(390)을 통해 제3-1 내지 제3-4분사부(330a ~ 330d) 내부에서 제3퍼징영역(230)으로 분사되는 퍼지가스의 압력 또한 높아지게 된다. 따라서, 종래기술과 달리, 수납실(200) 내부에서 상부에 위치하는 제3퍼징영역(230)에도 충분한 양의 퍼지가스가 분사될 수 있으며, 이러한 방법으로 제1-1 내지 제3-2외부 공급라인에서 공급되는 퍼지가스의 공급 압력을 각각 다르게 설정함으로써, 수납실(200)에 수납되는 웨이퍼(W)에 균일한 퍼징을 달성할 수 있다.

웨이퍼 수납용기(10)의 퍼지가스, 퓸 및 외부 기체의 배기 유동

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10)의 퍼지가스, 웨이퍼(W)의 퓸, 외부 기체의 배기 유동에 대해 설명한다.

도 34에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10)의 퍼지가스, 웨이퍼(W)의 퓸, 외부 기체의 배기 유동은 메인 배기구멍(857)에 연결된 외부 배기라인(미도시)에 의해 이루어지게 된다.

배기부(400)는 제1-1 내지 제3-2분사부(310a ~ 330d)에 의해 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230)으로 분사된 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸을 배기하는 기능을 하고, 제1, 2전방 배기부(710, 750)은 웨이퍼 수납용기(10) 외부의 외부 기체를 배기하는 기능을 한다.

이하, 배기부(400)와 제1, 2전방 배기부(710, 750)의 배기 유동에 대해 상세하게 설명한다.

배기부(400)에 의한 퍼지가스 및 퓸의 배기 유동

이하, 도 9, 도 14, 도 16, 도 32 및 도 34를 참조하여 배기부(400)에 의해 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230)의 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸이 배기되는 배기유동에 대해 설명한다.

흡인 팬 등에 의해 외부 배기라인에 흡인력이 발생하게 되면, 제1퍼징영역(210) 내의 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸은 배기구멍(490)을 통해 제1배기공간(410)으로 유동하게 된다. 제1배기공간(410)으로 유동된 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸은 제1수직배기유로(411)를 통해 제1배기연통구멍(815a)으로 유동하게 되며, 제1후방 배출구멍(825), 제2후방 배출구멍(835)을 거쳐 통합배출유로(855)로 유동하게 된다. 이렇게 통합배출유로(855)로 유동된 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸은 메인 배기구멍(857)으로 유동한 후, 외부 배기라인을 통해 웨이퍼 수납용기(10) 외부로 배기되게 된다.

흡인 팬 등에 의해 외부 배기라인에 흡인력이 발생하게 되면, 제2퍼징영역(220) 내의 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸은 배기구멍(490)을 통해 제2배기공간(420)으로 유동하게 된다. 제2배기공간(420)으로 유동된 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸은 제2수직배기유로(421)를 통해 제2배기연통구멍(815b)으로 유동하게 되며, 제1후방 배출구멍(825), 제2후방 배출구멍(835)을 거쳐 통합배출유로(855)로 유동하게 된다. 이렇게 통합배출유로(855)로 유동된 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸은 메인 배기구멍(857)으로 유동한 후, 외부 배기라인을 통해 웨이퍼 수납용기(10) 외부로 배기되게 된다.

흡인 팬 등에 의해 외부 배기라인에 흡인력이 발생하게 되면, 제3퍼징영역(230) 내의 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸은 배기구멍(490)을 통해 제3배기공간(430)으로 유동하게 된다. 제3배기공간(430)으로 유동된 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸은 제3수직배기유로(431)를 통해 제2배기연통구멍(815c)으로 유동하게 되며, 제1후방 배출구멍(825), 제2후방 배출구멍(835)을 거쳐 통합배출유로(855)로 유동하게 된다. 이렇게 통합배출유로(855)로 유동된 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸은 메인 배기구멍(857)으로 유동한 후, 외부 배기라인을 통해 웨이퍼 수납용기(10) 외부로 배기되게 된다.

전술한 바와 같이, 배기부(400)를 통해 배기되는 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸은 각각의 배기 유로, 즉 3개의 배기 유로를 통해 배기되다가 제2하부 플레이트(820)의 제1후방 배출구멍(825)부터 하나로 모아져 배기되게 된다.

이는, 하나의 외부 배기라인의 흡인력을 통해 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸을 용이하게 배기하기 위함이다. 따라서, 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230)의 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸의 선택적인 배기를 하기 위해서는, 제1 내지 제3수직배기유로(411, 42, 431)에는 밸브가 구비되는 것이 바람직하다.

다시 말해, 제1 내지 제3수직배기유로(411, 42, 431) 각각에는 솔레노이드 밸브 등과 같은 밸브가 구비될 수 있으며, 이러한 솔레노이드 밸브를 제어함으로써, 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230)의 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸의 선택적인 배기를 용이하게 달성할 수 있다. 따라서, 제1-1 내지 제3-2분사부(310a ~ 330d)에서 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230)으로 선택적으로 퍼지가스를 분사할 때, 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230) 중 퍼지가스가 분사된 퍼징영역에만 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸을 배기할 수 있다.

위와 같이, 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230)으로의 퍼지가스 분사 및 퍼지가스와 퓸의 배기를 제어하여, 선택적으로 행함으로써, 전술한 웨이퍼(W)의 균일한 퍼징을 더욱 우수하게 보장할 수 있으며, 불필요한 퍼지가스의 낭비 또한 현저하게 줄일 수 있다.

또한, 전술한 바 실시 예와 달리, 배기부(400)는 외부 공급라인과 연결되어 퍼지가스를 분사하는 기능을 할 수도 있으며, 이 경우, 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230)의 후방 각각에 선택적으로 퍼지가스를 분사할 수 있다.

제1전방배기부 (710, 750)에 의한 외부 기체의 배기 유동

이하, 도 9, 도 14, 도 16, 도 32 및 도 34를 참조하여 제1, 2전방배기부(710, 750)에 의해 배기되는 외부 기체의 배기 유동에 대해 설명한다.

흡인 팬 등에 의해 외부 배기라인에 흡인력이 발생하게 되면, 웨이퍼 수납용기(10) 전방 좌측 외부의 외부 기체들은 제1전방 배기부(710)의 제1배기슬릿(720)을 통해 제4 내지 제6배기공간(721a, 721b, 721c)으로 유동하게 된다.

제4배기공간(721a)으로 유동된 외부기체는 제4수직배기유로(731a)를 통해 제4배기연통구멍(816a)으로 유동하게 되며, 제4배기유로(826a) 및 제4배출구멍(836a)을 거쳐 통합배출유로(855)로 유동하게 된다. 이렇게 통합배출유로(855)로 유동된 외부 기체는 메인 배기구멍(857)으로 유동한 후, 외부 배기라인을 통해 웨이퍼 수납용기(10) 외부로 배기되게 된다.

제5배기공간(721b)으로 유동된 외부기체는 제5수직배기유로(731b)를 통해 제5배기연통구멍(816b)으로 유동하게 되며, 제5배기유로(826b) 및 제5배출구멍(836b)을 거쳐 통합배출유로(855)로 유동하게 된다. 이렇게 통합배출유로(855)로 유동된 외부 기체는 메인 배기구멍(857)으로 유동한 후, 외부 배기라인을 통해 웨이퍼 수납용기(10) 외부로 배기되게 된다.

제6배기공간(721c)으로 유동된 외부기체는 제6수직배기유로(731c)를 통해 제6배기연통구멍(816c)으로 유동하게 되며, 제5배기유로(826c) 및 제5배출구멍(836c)을 거쳐 통합배출유로(855)로 유동하게 된다. 이렇게 통합배출유로(855)로 유동된 외부 기체는 메인 배기구멍(857)으로 유동한 후, 외부 배기라인을 통해 웨이퍼 수납용기(10) 외부로 배기되게 된다.

흡인 팬 등에 의해 외부 배기라인에 흡인력이 발생하게 되면, 웨이퍼 수납용기(10) 전방 우측 외부의 외부 기체들은 제2전방 배기부(750)의 제2배기슬릿(760)을 통해 제7 내지 제9배기공간(761a, 761b, 761c)으로 유동하게 된다.

제7배기공간(761a)으로 유동된 외부기체는 제7수직배기유로(771a)를 통해 제7배기연통구멍(817a)으로 유동하게 되며, 제7배기유로(827a) 및 제7배출구멍(837a)을 거쳐 통합배출유로(855)로 유동하게 된다. 이렇게 통합배출유로(855)로 유동된 외부 기체는 메인 배기구멍(857)으로 유동한 후, 외부 배기라인을 통해 웨이퍼 수납용기(10) 외부로 배기되게 된다.

제8배기공간(761b)으로 유동된 외부기체는 제8수직배기유로(771b)를 통해 제8배기연통구멍(817b)으로 유동하게 되며, 제8배기유로(827b) 및 제8배출구멍(837b)을 거쳐 통합배출유로(855)로 유동하게 된다. 이렇게 통합배출유로(855)로 유동된 외부 기체는 메인 배기구멍(857)으로 유동한 후, 외부 배기라인을 통해 웨이퍼 수납용기(10) 외부로 배기되게 된다.

제9배기공간(761c)으로 유동된 외부기체는 제9수직배기유로(771c)를 통해 제9배기연통구멍(817c)으로 유동하게 되며, 제9배기유로(827c) 및 제9배출구멍(837c)을 거쳐 통합배출유로(855)로 유동하게 된다. 이렇게 통합배출유로(855)로 유동된 외부 기체는 메인 배기구멍(857)으로 유동한 후, 외부 배기라인을 통해 웨이퍼 수납용기(10) 외부로 배기되게 된다.

위와 같이, 제1, 2전방 배기부(710, 750)가 각각 웨이퍼 수납용기(10) 전방 좌, 우측 외부의 외부 기체를 배기함으로써, 전방 개구부(251)를 통해 수납실(200) 내부로 유입되는 외부 기체를 사전에 차단함으로써, 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230)에서 이루어지는 웨이퍼(W)의 퍼징이 방해되는 것을 방지할 수 있다.

전술한 바와 같이, 제1, 2전방 배기부(710, 750)를 통해 배기되는 외부 기체는 각각의 배기 유로, 즉, 6개의 배기 유로를 통해 배기되다가 연결부재(850)의 통합배출유로(855)부터 하나로 모아져 배기되게 된다.

이는, 하나의 외부 배기라인의 흡인력을 통해 외부 기체를 용이하게 배기하기 위함이다. 따라서, 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230)과 대응되는 높이에서의 외부 기체를 선택적인 배기하기 위해서는, 제4 내지 제9배기유로(826a, 826b, 826c, 827a, 827b, 827c)에 밸브가 구비되는 것이 바람직하다.

다시 말해, 제4 내지 제9배기유로(826a, 826b, 826c, 827a, 827b, 827c) 각각에는 솔레노이드 밸브 등과 같은 밸브가 구비될 수 있으며, 이러한 솔레노이드 밸브를 제어함으로써, 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230)과 대응되는 높이에서의 외부 기체에 대한 선택적인 배기를 용이하게 달성할 수 있다.

따라서, 전술한 바와 같이, 제1 내지 제3퍼징영역(210, 220, 230) 중 어느 하나의 퍼징영역에 선택적으로 퍼지가스를 분사 및 배기할 경우, 상기 퍼징영역의 높이와 대응되는 영역의 외부 기체에 대해서만 선택적으로 배기를 할 수 있으며, 이로 인해, 퍼징이 이루어지는 퍼징영역으로의 외부 기체의 유입을 사전에 차단할 수 있다.

또한, 전술한 실시 예와 달리, 제1, 2전방 배기부(710, 750)는 외부 공급라인과 연결되어 퍼지가스를 분사하는 기능을 할 수도 있으며, 이 경우, 웨이퍼 수납용기(10) 외부의 전방 좌, 우측에 퍼지가스를 분사하게 된다.

이렇게 제1, 2전방 배기부(710, 750)를 통해 퍼지가스를 분사하는 것은 웨이퍼 수납용기(10) 외부의 외부 기체의 오염이 심한 경우(예컨데, 퓸 등이 웨이퍼 수납용기(10) 외부에 잔존해 있는 경우) 퍼지가스를 분사하여, 웨이퍼 수납용기(10) 외부에 위치하는 다른 반도체 공정 장비에 퓸이 잔존하는 것을 방지함과 동시에 상기 오염된 외부 기체가 수납실(200) 내부로 유입되는 것을 차단할 수 있다.

전술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 통상의 기술자는 하기의 특허 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변형하여 실시할 수 있다.

10: 웨이퍼 수납용기
111 ~ 118: 제1 내지 제8수평부재
121 ~ 126: 제1 내지 제6수직부재
200: 수납실 210: 제1퍼징영역
220: 제2퍼징영역 230: 제3퍼징영역
251: 전방 개구부
310: 제1분사부 310a ~ 310d: 제1-1 내지 제1-4분사부
320: 제2분사부 320a ~ 320d: 제2-1 내지 제2-4분사부
330: 제3분사부 330a ~ 330d: 제3-1 내지 제3-4분사부
340: 제1분사부 내벽면 345: 제1지지대결합부
350: 제2분사부 내벽면 355: 제2지지대 결합부
361: 제1분사부 외벽면 362: 제2분사부 외벽면
371a ~ 371d: 제1-1 내지 제1-4공급구멍
372a ~ 372d: 제2-1 내지 제2-4공급구멍
373a ~ 373d: 제3-1 내지 제3-4공급구멍
390: 분사구멍
400: 배기부 410: 제1배기공간
411: 제1수직배기유로 420: 제2배기공간
421: 제2수직배기유로 430: 제3배기공간
431: 제3수직배기유로 440: 배기부 내벽면
490: 배기구멍
510: 제1공급부 520: 제2공급부
531a ~ 531d: 제1-1 내지 제1-4공급공간
532a ~ 532d: 제2-1 내지 제2-4공급공간
533a ~ 533d: 제3-1 내지 제3-4공급공간
541a ~ 541d: 제1-1 내지 제1-4수직공급유로
542a ~ 542d: 제2-1 내지 제2-4수직공급유로
543a ~ 543d: 제3-1 내지 제3-4수직공급유로
600: 지지대 610: 후방지지부
611: 후방원호부 612: 후방돌출부
620: 좌측지지부 621: 좌측원호부
622: 좌측돌출부 630: 우측지지부
631: 우측원호부 632: 우측돌출부
640: 좌측경사부 650: 우측경사부
660: 좌측오목부 670: 우측오목부
710: 제1전방 배기부 720: 제1배기슬릿
721a ~ 721c: 제4 내지 제6배기공간
731a ~ 731c: 제4 내지 제6수직배기유로
750: 제2전방 배기부 760: 제2배기슬릿
761a ~ 761c: 제7 내지 제9배기공간
771a ~ 771c: 제7 내지 제9수직배기유로
800: 하부 플레이트 810: 제1하부 플레이트
811a ~ 811d: 제1-1 내지 제1-4공급연통구멍
812a ~ 812d: 제2-1 내지 제2-4공급연통구멍
813a ~ 813d: 제3-1 내지 제3-4공급연통구멍
815a ~ 815c: 제1 내지 제3배기연통구멍
816a ~ 816c: 제4 내지 제6배기연통구멍
817a ~ 817c: 제7 내지 제9배기연통구멍
820: 제2하부 플레이트
821a ~ 821d: 제1-1 내지 제1-4공급유로
822a ~ 822d: 제2-1 내지 제2-4공급유로
823a ~ 823d: 제3-1 내지 제3-4공급유로
825: 제1후방 배출구멍
826a ~ 826c: 제4 내지 제6배기유로
827a ~ 827c: 제7 내지 제9배기유로
830: 제3하부 플레이트
831a ~ 831d: 제1-1 내지 제1-4유입구멍
832a ~ 832d: 제2-1 내지 제2-4유입구멍
833a ~ 833d: 제3-1 내지 제3-4유입구멍
835: 제2후방 배출구멍
836a ~ 836c: 제4 내지 제6배출구멍
837a ~ 837c: 제7 내지 제9배출구멍
850: 연결부재 851a: 제1-1메인 유입구멍
851b: 제1-2메인 유입구멍 852a: 제2-1메인 유입구멍
852b: 제2-2메인 유입구멍 853a: 제3-1메인 유입구멍
853b: 제3-2메인 유입구멍 855: 통합배출유로
857: 메인 배기구멍 860: 받침부재
900: 상부 플레이트 W: 웨이퍼

Claims (10)

1. 전방 개구부를 통해 수납된 웨이퍼가 수납되는 수납실;
   상기 수납실과 접하며, 복수의 제1분사구멍들이 형성된 제1분사부 내벽면;
   상기 제1분사부 내벽면으로부터 상기 수납실과 반대 방향으로 이격되게 구비되는 제1분사부 외벽면;
   상기 수납실의 좌측에 배치되는 제1-1분사부; 및
   상기 제1-1분사부에 인접하게 배치되는 제1-2분사부;를 포함하고,
   상기 제1-1분사부 및 상기 제1-2분사부는 상기 제1분사부 내벽면과 상기 제1분사부 외벽면 사이의 이격 공간이고,
   상기 제1-1분사부 및 상기 제1-2분사부는 서로 수평방향으로 구획되어 구별되며,
   상기 수평방향으로 구별된 제1-1, 1-2분사부는 각각 개별적으로 퍼지가스를 공급받아 서로 다른 상기 복수의 제1분사구멍들을 통해 상기 수납실에 상기 퍼지가스를 분사하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제1-1분사부는 제1-1외부 공급라인에 의해 퍼지가스를 공급받고, 상기 제1-2분사부는 제1-2외부 공급라인에 의해 퍼지가스를 공급받으며,
   상기 제1-1분사부 내부로 공급된 퍼지가스는 상기 복수의 제1분사구멍들 중 복수의 제1-1분사구멍들을 통해 상기 수납실로 분사되고, 상기 제1-2분사부 내부로 공급된 퍼지가스는 상기 복수의 제1분사구멍들 중 복수의 제1-2분사구멍들을 통해 상기 수납실로 분사되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기.
3. 제1항에 있어서,
   상기 수납실과 접하며, 복수의 제2분사구멍들이 형성된 제2분사부 내벽면;
   상기 제2분사부 내벽면으로부터 상기 수납실과 반대 방향으로 이격되게 구비되는 제2분사부 외벽면;
   상기 수납실의 우측에 배치되는 제1-3분사부; 및
   상기 제1-3분사부에 인접하게 배치되는 제1-4분사부;를 더 포함하고,
   상기 제1-3분사부 및 상기 제1-4분사부는 상기 제2분사부 내벽면과 상기 제2분사부 외벽면 사이의 이격 공간이고,
   상기 제1-3분사부 및 상기 제1-4분사부는 서로 수평방향으로 구획되어 구별되며,
   상기 수평방향으로 구별된 제1-3, 1-4분사부는 각각 개별적으로 퍼지가스를 공급받아 서로 다른 상기 복수의 제2분사구멍들을 통해 상기 수납실에 상기 퍼지가스를 분사하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기.
4. 제3항에 있어서,
   상기 제1-3분사부는 상기 제1-1외부 공급라인에 의해 퍼지가스를 공급받고, 상기 제1-4분사부는 상기 제1-2외부 공급라인에 의해 퍼지가스를 공급받으며,
   상기 제1-3분사부 내부로 공급된 퍼지가스는 상기 복수의 제2분사구멍들 중 복수의 제2-1분사구멍들을 통해 상기 수납실로 분사되고, 상기 제1-4분사부 내부로 공급된 퍼지가스는 상기 복수의 제2분사구멍들 중 복수의 제2-2분사구멍들을 통해 상기 수납실로 분사되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기.
5. 제1항에 있어서,
   상기 수납실의 퍼지가스 및 퓸을 배기하는 배기부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기.
6. 제5항에 있어서,
   상기 배기부는 상기 수납실과 접하는 배기부 내벽면을 구비하고, 상기 배기부 내벽면에는 상기 수납실의 퍼지가스 및 퓸이 상기 배기부로 배기되도록 하는 배기구멍이 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기.
7. 전방 개구부를 통해 수납된 웨이퍼가 수납되며, 제1퍼징영역과, 상기 제1퍼징영역과 수직방향으로 배치되도록 상기 제1퍼징영역의 상부에 배치되는 제2퍼징영역으로 구획되는 수납실;
   상기 수납실과 접하며, 복수의 제1분사구멍들이 형성된 제1분사부 내벽면;
   상기 제1분사부 내벽면으로부터 상기 수납실과 반대 방향으로 이격되게 구비되는 제1분사부 외벽면;
   상기 제1퍼징영역의 좌측에 배치되는 제1-1분사부;
   상기 제1-1분사부에 인접하게 배치되는 제1-2분사부;
   상기 제1-1분사부의 상부에 배치되고, 상기 제2퍼징영역의 좌측에 배치되는 제2-1분사부; 및
   상기 제1-2분사부의 상부에 배치되고, 상기 제2-1분사부에 인접하게 배치되는 제2-2분사부;를 포함하고,
   상기 제1-1, 1-2, 2-1, 2-2분사부는 상기 제1분사부 내벽면과 상기 제1분사부 외벽면 사이의 이격 공간이고,
   상기 제1-1, 1-2분사부는 서로 수평방향으로 구획되어 구별되고, 상기 제2-1, 2-2분사부는 서로 수평방향으로 구획되어 구별되며, 상기 제1-1, 1-2분사부와 상기 제2-1, 2-2분사부는 서로 수직방향으로 구획되어 구별되고,
   상기 수평방향 및 수직방향으로 구별된 제1-1, 1-2, 2-1, 2-2분사부는 각각 개별적으로 퍼지가스를 공급받아 서로 다른 상기 복수의 제1분사구멍들을 통해 상기 수납실에 상기 퍼지가스를 분사하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기.
8. 제7항에 있어서,
   상기 제1-1분사부는 제1-1외부 공급라인에 의해 퍼지가스를 공급받고, 상기 제1-2분사부는 제1-2외부 공급라인에 의해 퍼지가스를 공급받고, 상기 제2-1분사부는 제2-1외부 공급라인에 의해 퍼지가스를 공급받고, 상기 제2-2분사부는 제2-2외부 공급라인에 의해 퍼지가스를 공급받으며,
   상기 제1-1분사부 내부로 공급된 퍼지가스는 상기 복수의 제1분사구멍들 중 복수의 제1-1분사구멍들을 통해 상기 제1퍼징영역으로 분사되고, 상기 제1-2분사부 내부로 공급된 퍼지가스는 상기 복수의 제1분사구멍들 중 복수의 제1-2분사구멍들을 통해 상기 제1퍼징영역으로 분사되고, 상기 제2-1분사부 내부로 공급된 퍼지가스는 상기 복수의 제1분사구멍들 중 복수의 제1-3분사구멍들을 통해 상기 제2퍼징영역으로 분사되고, 상기 제2-2분사부 내부로 공급된 퍼지가스는 상기 복수의 제1분사구멍들 중 복수의 제1-4분사구멍들을 통해 상기 제2퍼징영역으로 분사되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기.
9. 제7항에 있어서,
   상기 수납실과 접하며, 복수의 제2분사구멍들이 형성된 제2분사부 내벽면;
   상기 제2분사부 내벽면으로부터 상기 수납실과 반대 방향으로 이격되게 구비되는 제2분사부 외벽면;
   상기 제1퍼징영역의 우측에 배치되는 제1-3분사부;
   상기 제1-3분사부에 인접하게 배치되는 제1-4분사부;
   상기 제1-3분사부의 상부에 배치되고, 상기 제2퍼징영역의 우측에 배치되는 제2-3분사부; 및
   상기 제1-4분사부의 상부에 배치되고, 상기 제2-3분사부에 인접하게 배치되는 제2-4분사부;를 더 포함하고,
   상기 제1-3, 1-4, 2-3, 2-4분사부는 상기 제2분사부 내벽면과 상기 제2분사부 외벽면 사이의 이격 공간이고,
   상기 제1-3, 1-4분사부는 서로 수평방향으로 구획되어 구별되고, 상기 제2-3, 2-4분사부는 서로 수평방향으로 구획되어 구별되며, 상기 제1-3, 1-4분사부와 상기 제2-3, 2-4분사부는 서로 수직방향으로 구획되어 구별되고,
   상기 수평방향 및 수직방향으로 구별된 제1-3, 1-4, 2-3, 2-4분사부는 각각 개별적으로 퍼지가스를 공급받아 서로 다른 상기 복수의 제2분사구멍들을 통해 상기 수납실에 상기 퍼지가스를 분사하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기.
10. 제9항에 있어서,
    상기 제1-3분사부는 상기 제1-1외부 공급라인에 의해 퍼지가스를 공급받고, 상기 제1-4분사부는 상기 제1-2외부 공급라인에 의해 퍼지가스를 공급받고, 상기 제2-3분사부는 상기 제2-1외부 공급라인에 의해 퍼지가스를 공급받고, 상기 제2-4분사부는 상기 제2-2외부 공급라인에 의해 퍼지가스를 공급받으며,
    상기 제1-3분사부 내부로 공급된 퍼지가스는 상기 복수의 제2분사구멍들 중 복수의 제2-1분사구멍들을 통해 상기 제1퍼징영역으로 분사되고, 상기 제1-4분사부 내부로 공급된 퍼지가스는 상기 복수의 제2분사구멍들 중 복수의 제2-2분사구멍들을 통해 상기 제1퍼징영역으로 분사되고, 상기 제2-3분사부 내부로 공급된 퍼지가스는 상기 복수의 제2분사구멍들 중 복수의 제2-3분사구멍들을 통해 상기 제2퍼징영역으로 분사되고, 상기 제2-4분사부 내부로 공급된 퍼지가스는 상기 복수의 제2분사구멍들 중 복수의 제2-4분사구멍들을 통해 상기 제2퍼징영역으로 분사되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기.

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