KR20210047232A - Apparatus for seperating collet - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 콜릿을 콜릿 홀더로부터 분리하기 위한 콜릿 분리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a collet separation device for separating a collet from a collet holder.
콜릿은 다이나 플립 칩 등의 반도체 부품을 기판 상에 탑재하는 경우에 사용되는 흡착 지그이다. 이러한 콜릿은 콜릿 홀더의 선단(하단)에 착탈 가능하게 홀딩하여 사용하지만, 사용에 수반하여 콜릿에 먼지가 부착되거나 콜릿 자체에 고장이 나는 것으로부터, 정기적으로 또는 수시로 콜릿을 콜릿 홀더로부터 분리하여 교환할 필요가 있다.The collet is a suction jig used when a semiconductor component such as a dyna flip chip is mounted on a substrate. These collets are used by holding them detachably at the tip (bottom) of the collet holder.However, from the occurrence of dust adhering to the collet or failure of the collet itself with use, remove the collet from the collet holder and replace it regularly or from time to time Needs to be.
콜릿을 콜릿 홀더로부터 분리하는 기술로는, 예컨대, 일본 특허 제6086680호에 개시된 바와 같이, 복수의 고정 클로(claw) 또는 가동 클로를 콜릿에 결합시키는 기술이 알려져 있다. As a technique for separating the collet from the collet holder, for example, as disclosed in Japanese Patent No. 6086680, a technique of coupling a plurality of fixed claws or movable claws to the collet is known.
그러나, 이와 같이 단순히 복수의 고정 클로 또는 가동 클로를 콜릿에 결합시키는 기술에서는, 콜릿의 사이즈가 변경되면 그 콜릿의 사이즈에 따라 고정 클로 또는 가동 클로의 위치나 형상 등을 변경할 필요가 있고, 동일한 장치에 따라 사이즈가 다른 콜릿을 분리하기는 어려웠다.However, in the technique of simply coupling a plurality of fixed claws or movable claws to the collet as described above, when the size of the collet is changed, it is necessary to change the position or shape of the fixed claw or movable claw according to the size of the collet. It was difficult to separate collets of different sizes depending on the size.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 사이즈가 다른 콜릿을 용이하게 분리할 수 있는 콜릿 분리 장치를 제공하는 것에 있다.The problem to be solved by the present invention is to provide a collet separating device capable of easily separating collets of different sizes.
본 발명의 일 측면에 따르면, 콜릿을 콜릿 홀더로부터 분리하기 위한 콜릿 분리 장치로서, 상기 콜릿이 삽입될 수 있는 개구부;와, 상기 개구부로 돌출 가능한 복수의 가동 클로를 포함하고, 상기 복수의 가동 클로의 상기 개구부로의 돌출 마진이 가변인 콜릿 분리 장치를 제공한다.According to an aspect of the present invention, a collet separating device for separating a collet from a collet holder, comprising: an opening into which the collet can be inserted; and a plurality of movable claws protruding through the opening, wherein the plurality of movable claws It provides a collet separation device in which the protruding margin of the opening to the opening is variable.
여기서, 상기 복수의 가동 클로는 회전에 의해 상기 개구부로 돌출될 수 있다.Here, the plurality of movable claws may protrude through the opening by rotation.
여기서, 상기 콜릿 분리 장치는, 고정 블록과, 상기 고정 블록에 회전 가능하게 설치된 회전 블록을 더 포함하고, 상기 회전 블록은 상기 개구부를 포함하며, 상기 복수의 가동 클로는, 상기 고정 블록에 회전 가능하도록 지지되고 상기 회전 블록의 회전에 의해 회전할 수 있다.Here, the collet separating device further includes a fixed block and a rotating block rotatably installed in the fixed block, the rotating block includes the opening, and the plurality of movable claws is rotatable to the fixed block It is supported so as to be rotated by the rotation of the rotating block.
여기서, 상기 콜릿 분리 장치는, 상기 회전 블록의 회전을 멈추기 위한 스토퍼를 더 포함하고, 상기 스토퍼의 위치를 변경함으로써 상기 복수의 가동 클로의 상기 개구부로의 돌출 마진을 변경할 수 있다.Here, the collet separating apparatus further includes a stopper for stopping rotation of the rotation block, and the protrusion margin of the plurality of movable claws to the opening may be changed by changing the position of the stopper.
여기서, 상기 콜릿 분리 장치는, 상기 회전 블록을 회전시키기 위한 액츄에이터를 더 포함하고, 상기 액츄에이터의 구동량을 변경함으로써, 상기 복수의 가동 클로의 상기 개구부로의 돌출 마진을 변경할 수 있다.Here, the collet separating apparatus further includes an actuator for rotating the rotation block, and by changing a driving amount of the actuator, the protruding margin of the plurality of movable claws to the opening portion may be changed.
본 발명의 콜릿 분리 장치에 의하면, 가동 클로의 돌출 마진을 가변으로 할 수 있으므로, 콜릿의 사이즈에 따라 가동 클로의 돌출 마진을 변경함으로써, 사이즈가 다른 콜릿을 용이하게 분리할 수 있다. According to the collet separating apparatus of the present invention, since the protruding margin of the movable claw can be variable, collets of different sizes can be easily separated by changing the protruding margin of the movable claw according to the size of the collet.
도 1은, 본 발명의 일 실시 형태인 콜릿 분리 장치를 나타내는 것으로, (a)는 평면도이고, (b)는 (a)의 A-A 단면도이다.
도 2는 도 1의 콜릿 분리 장치에 있어서, 가동 클로를 개구부로 돌출시킨 상태를 나타내는 평면도이다.Fig. 1 shows a collet separating device according to an embodiment of the present invention, in which (a) is a plan view, and (b) is an A-A cross-sectional view of (a).
Fig. 2 is a plan view showing a state in which a movable claw is protruded through an opening in the collet separating device of Fig. 1.
도 1에, 본 발명의 일 실시 형태인 콜릿 분리 장치(100)를 나타내고 있다. Fig. 1 shows a collet separating
이 콜릿 분리 장치(100)는, 고정 블록(10)과, 고정 블록(10)에 회전 가능하게 설치된 회전 블록(20)과, 고정 블록(10)에 회전 가능하도록 축으로 지지되어 있는 복수개(본 실시예에서는 4개)의 가동 클로(30)를 포함하고 있다. The
가동 클로(30)는, 구체적으로 고정 블록(10)의 상에 설치한 지점 핀(11)을 축으로 하여 지지되어 있고, 이 지점 핀(11)을 회전 중심으로 하여 회전 가능하다. The
또한, 가동 클로(30)는 안내 홈(31)을 가지고 있는데, 이 안내 홈(31)에는 회전 블록(20)에 설치된 안내 핀(21)이 삽입되어 있다. 이러한 구성에 의해, 도 1(a)의 상태로부터 회전 블록(20)을 시계 방향으로 회전시키면, 가동 클로(30)도 시계 방향으로 회전하고, 도 2에 도시한 바와 같이, 가동 클로(30)가 개구부(40)로 돌출된 상태가 된다. 또한, 도 2의 상태로부터 회전 블록(20)을 반시계 방향으로 회전시키면, 가동 클로(30)도 반시계 방향으로 회전하고, 도 1(a)에 도시한 바와 같이, 가동 클로(30)가 개구부(40)로 돌출되지 않은 상태가 된다. Further, the
또한, 본 실시예에 있어서 개구부(40)는 회전 블록(20)의 안쪽에 존재하고 있다. 또한, 개구부(40)는 콜릿(C)이 삽입 가능한 크기를 가지고 있다. 그리고, 도 2에 도시한 바와 같이, 가동 클로(30)을 개구부(40)로 돌출시킴으로써, 가동 클로(30)가 콜릿(C)과 결합한다. In addition, in this embodiment, the opening 40 is present inside the rotating
본 실시예에 있어서 회전 블록(20)은 안내 홈(22)을 가지고 있고, 이 안내 홈(22)에 지점 핀(11)이 삽입되어 있다. In this embodiment, the
본 실시예에 따른 콜릿 분리 장치(100)는, 커버 플레이트(50)를 구비하고 있다. 이 커버 플레이트(50)는 링 형태이고, 고정 블록(10) 및 회전 블록(20)의 상면을 덮도록 설치되어 있다. 또한, 커버 플레이트(50)는, 안내 홈(51)을 가지고 있고, 이 안내 홈(51)에 안내 핀(21)이 삽입되어 있다. The collet separating
또한, 도 1(a) 및 도 2에서는, 커버 플레이트(50)를 분리한 상태를 나타내고 있고, 안내 홈(51)을 파선으로 나타내고 있다. In addition, in Fig. 1(a) and Fig. 2, the state in which the
본 실시예에 따른 콜릿 분리 장치(100)는, 회전 블록(20)을 회전시키기 위한 액츄에이터로서 에어 실린더(60)를 더 구비하고 있다. 이 에어 실린더(60)는, 그 실린더 로드(61)의 선단이 접속 지그(62)를 통해 회전 블록(20)에 접속되어 있다. 그리고, 실린더 로드(61)를 전진시키면 회전 블록(20)은, 도 1(a)에서 시계 방향으로 회전한다. 한편, 실린더 로드(61)를 후퇴시키면 회전 블록(20)은, 반시계 방향으로 회전한다. The collet separating
본 실시예에 따른 콜릿 분리 장치(100)는 2개의 스토퍼(71)(72)를 더 구비하고 있다. 그 중, 스토퍼(71)는 회전 블록(20)의 시계 방향 회전, 즉 가동 클로(30)를 개구부(40)로 돌출시키는 방향의 회전을 멈춘다. 구체적으로는, 도 2에 도시한 바와 같이, 회전 블록(20)에 설치한 접촉 핀(23)이 스토퍼(71)에 접촉함으로써, 가동 클로(30)를 개구부(40)로 돌출시키는 방향의 회전 블록(20)의 회전을 멈춘다. 따라서, 이 스토퍼(71)의 위치를 변경함으로써, 가동 클로(30)의 개구부(40)로의 돌출 마진을 변경할 수 있다. The collet separating
한편, 스토퍼(72)는 회전 블록(20)의 반시계 방향의 회전, 즉 가동 클로(30)를 개구부(40)로 돌출시키지 않는 방향의 회전을 멈춘다. On the other hand, the
본 실시예에 있어서 콜릿 분리 장치(100)는 회전 블록(20)이 기준 위치(도 1의 위치)에 위치하는 것을 검출하기 위한 센서로서 도그 센서(80)를 더 구비하고 있다. 이 도그 센서(80)는 고정 블록(10)측에 설치한 발광부(81) 및 수광부(82)와, 회전 블록(20)측에 설치한 차광 플레이트(83)를 갖는다. 그리고, 차광 플레이트(83)는 회전 블록(20)이 기준 위치에 위치할 때, 발광부(81)와 수광부(82) 사이에 위치하고, 발광부(81)로부터 수광부(82)로 향한 광을 차단한다. 이에 따라, 회전 블록(20)이 기준 위치에 위치하는 것을 검출할 수 있다.In this embodiment, the
이어서, 이 콜릿 분리 장치(100)에 의해 콜릿을 콜릿 홀더로부터 분리하는 방법에 대해, 도 1 및 도 2를 참조하면서 설명한다. 또한, 도 1 및 도 2에 있어서 콜릿 홀더는 도시를 생략하였다.Next, a method of separating the collet from the collet holder by the
우선, 도 1에 도시한 바와 같이, 콜릿 홀더에 홀딩된 콜릿(C)을 개구부(40)에 삽입 가능하게 하기 위해, 회전 블록(20)을 기준 위치에 위치시킨다. 구체적으로는, 에어 실린더(60)의 실린더 로드(61)를 후퇴시키고, 회전 블록(20)에 설치한 접촉 핀(23)이 스토퍼(72)에 접촉한 상태로 한다. 이 기준 위치에 있어서, 가동 클로(30)는 개구부(40)로 돌출되어 있지 않으므로, 콜릿 홀더에 홀딩된 콜릿(C)을 개구부(40)에 삽입할 수 있다. 또한, 회전 블록(20)이 기준 위치에 위치하는 것은, 상술한 바와 같이 도그 센서(80)에 의해 확인할 수 있다. First, as shown in FIG. 1, in order to enable the collet C held in the collet holder to be inserted into the
도그 센서(80)에 의해, 회전 블록(20)이 기준 위치에 위치하는 것을 확인한 후, 콜릿 홀더에 홀딩된 콜릿(C)을 개구부(40)에 삽입한다. 그리고, 에어 실린더(60)의 실린더 로드(61)를 전진시켜 회전 블록(20)에 설치한 접촉 핀(23)이 스토퍼(71)에 접촉한 상태가 되도록 한다. 그렇다면, 도 2에 도시한 바와 같이, 가동 클로(30)가 개구부(40)로 돌출되고. 콜릿(C)과 결합 가능한 상태가 된다. 이 상태로 콜릿 홀더를 상승시키면 가동 클로(30)가 콜릿(C)의 상면에 결합되고, 콜릿 홀더를 더욱 상승시키면, 콜릿(C)이 콜릿 홀더로부터 벗어나 개구부(40)의 하부에 설치된 폐콜릿 수납 박스(미도시)로 낙하한다. After confirming that the
이와 같이 콜릿 분리 장치(100)에서는, 가동 클로(30)를 개구부(40)로 돌출시켜 콜릿(C)에 결합시킴으로써, 콜릿(C)을 콜릿 홀더로부터 분리하지만, 가동 클로(30)의 개구부(40)로의 돌출 마진은 상술한 바와 같이 스토퍼(71)의 위치를 변경함으로써 변경할 수 있다. 따라서, 콜릿(C)의 사이즈에 맞추어 가동 클로(30)의 개구부(40)로의 돌출 마진을 변경함으로써, 사이즈가 다른 콜릿을 용이하게 분리할 수 있다. In this way, in the collet separating
또한, 본 실시예에서는, 스토퍼(71)의 위치를 변경함으로써 가동 클로(30)의 개구부(40)로의 돌출 마진을 변경하도록 하였지만, 회전 블록(20)을 회전시키기 위한 액츄에이터로서, 예컨대 서보 모터를 이용하고, 그 서보 모터(액튜에이터)의 구동량(스트로크량)을 변경함으로써, 가동 클로(30)의 개구부(40)로의 돌출 마진을 변경할 수도 있다. 이 경우, 스토퍼(71)는 불필요하다. In addition, in this embodiment, by changing the position of the
본 발명은, 콜릿을 사용하는 장치와 관련된 산업 등에 이용할 수 있다.The present invention can be used in industries related to equipment using collets, and the like.
100: 콜릿 분리 장치
10: 고정 블록
20: 회전 블록
30: 가동 클로
40: 개구부
50: 커버 플레이트
60: 에어 실린더
71, 72: 스토퍼
80: 도그 센서
C: 콜릿100: collet separation device 10: fixing block
20: rotating block 30: movable claw
40: opening 50: cover plate
60:
80: dog sensor C: collet
Claims (5)
상기 콜릿이 삽입될 수 있는 개구부; 및
상기 개구부로 돌출 가능한 복수의 가동 클로를 포함하고,
상기 복수의 가동 클로의 상기 개구부로의 돌출 마진이 가변인 콜릿 분리 장치.A collet separating device for separating a collet from a collet holder,
An opening into which the collet can be inserted; And
A plurality of movable claws protruding through the opening,
A collet separating device in which a projecting margin of the plurality of movable claws to the opening portion is variable.
상기 복수의 가동 클로는 회전에 의해 상기 개구부로 돌출되는 콜릿 분리 장치.The method of claim 1,
The collet separating device of the plurality of movable claws protruding from the opening by rotation.
고정 블록; 및
상기 고정 블록에 회전 가능하게 설치된 회전 블록을 더 포함하고,
상기 회전 블록은 상기 개구부를 포함하며,
상기 복수의 가동 클로는, 상기 고정 블록에 회전 가능하도록 지지되고 상기 회전 블록의 회전에 의해 회전하는 콜릿 분리 장치.The method of claim 2,
Fixed blocks; And
Further comprising a rotating block rotatably installed on the fixed block,
The rotating block includes the opening,
The plurality of movable claws are rotatably supported by the fixed block and rotated by rotation of the rotating block.
상기 회전 블록의 회전을 멈추기 위한 스토퍼를 더 포함하고,
상기 스토퍼의 위치를 변경함으로써 상기 복수의 가동 클로의 상기 개구부로의 돌출 마진을 변경하는 콜릿 분리 장치.The method of claim 3,
Further comprising a stopper for stopping the rotation of the rotation block,
A collet separating device for changing a protruding margin of the plurality of movable claws to the opening portion by changing the position of the stopper.
상기 회전 블록을 회전시키기 위한 액츄에이터를 더 포함하고,
상기 액츄에이터의 구동량을 변경함으로써, 상기 복수의 가동 클로의 상기 개구부로의 돌출 마진을 변경하는 콜릿 분리 장치.The method of claim 3,
Further comprising an actuator for rotating the rotation block,
A collet separating device for changing a projecting margin of the plurality of movable claws to the opening portion by changing the driving amount of the actuator.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019192077A JP7446765B2 (en) | 2019-10-21 | 2019-10-21 | Collet removal device |
JPJP-P-2019-192077 | 2019-10-21 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20210047232A true KR20210047232A (en) | 2021-04-29 |
KR102402522B1 KR102402522B1 (en) | 2022-05-26 |
Family
ID=75637539
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020200039421A KR102402522B1 (en) | 2019-10-21 | 2020-03-31 | Apparatus for seperating collet |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7446765B2 (en) |
KR (1) | KR102402522B1 (en) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100371769B1 (en) * | 1996-01-26 | 2003-04-10 | 펜탁스 가부시키가이샤 | Light intercepting device of a lens shutter type of camera |
KR20040107701A (en) * | 2003-06-09 | 2004-12-23 | 삼성테크윈 주식회사 | Nozzle for chip mounter with double wing structure |
KR20090122619A (en) * | 2008-05-26 | 2009-12-01 | 세크론 주식회사 | Apparatus for receiving vacuum nozzle and method of exchanging vacuum nozzle using the same |
KR20100034812A (en) * | 2008-09-25 | 2010-04-02 | 세크론 주식회사 | Nozzle apparatus of sawing sorter system |
KR101340831B1 (en) * | 2012-10-30 | 2013-12-11 | 세메스 주식회사 | Apparatus for exchanging a collet |
KR20150002404A (en) * | 2013-06-28 | 2015-01-07 | 세메스 주식회사 | Apparatus for exchanging a collet |
KR20180131425A (en) * | 2017-05-31 | 2018-12-10 | 파스포드 테크놀로지 주식회사 | Semiconductor manufacturing apparatus and method for manufacturing semiconductor device |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6086680B2 (en) | 2012-09-13 | 2017-03-01 | ファスフォードテクノロジ株式会社 | Die bonder and bonding method |
KR101350550B1 (en) | 2012-10-30 | 2014-01-10 | 세메스 주식회사 | Method of removing a collet |
JP2015136740A (en) | 2014-01-21 | 2015-07-30 | 株式会社デンソー | Clamp device |
JP2016147318A (en) | 2015-02-10 | 2016-08-18 | 株式会社アマダホールディングス | Rod-like work-piece clamp device |
-
2019
- 2019-10-21 JP JP2019192077A patent/JP7446765B2/en active Active
-
2020
- 2020-03-31 KR KR1020200039421A patent/KR102402522B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100371769B1 (en) * | 1996-01-26 | 2003-04-10 | 펜탁스 가부시키가이샤 | Light intercepting device of a lens shutter type of camera |
KR20040107701A (en) * | 2003-06-09 | 2004-12-23 | 삼성테크윈 주식회사 | Nozzle for chip mounter with double wing structure |
KR20090122619A (en) * | 2008-05-26 | 2009-12-01 | 세크론 주식회사 | Apparatus for receiving vacuum nozzle and method of exchanging vacuum nozzle using the same |
KR20100034812A (en) * | 2008-09-25 | 2010-04-02 | 세크론 주식회사 | Nozzle apparatus of sawing sorter system |
KR101340831B1 (en) * | 2012-10-30 | 2013-12-11 | 세메스 주식회사 | Apparatus for exchanging a collet |
KR20150002404A (en) * | 2013-06-28 | 2015-01-07 | 세메스 주식회사 | Apparatus for exchanging a collet |
KR20180131425A (en) * | 2017-05-31 | 2018-12-10 | 파스포드 테크놀로지 주식회사 | Semiconductor manufacturing apparatus and method for manufacturing semiconductor device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021068785A (en) | 2021-04-30 |
KR102402522B1 (en) | 2022-05-26 |
JP7446765B2 (en) | 2024-03-11 |
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Date | Code | Title | Description |
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E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |