KR20210037339A - 기판 연마장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 연마장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판의 굽힘 강도를 증가시킬 수 있는 기판 연마장치 및 방법에 관한 것이다.
본 발명에 의한 기판 연마장치는 기판이 수평으로 안착되는 테이블; 상기 기판의 측면을 연마하는 연마휠; 및 상기 연마휠을 구동하는 스핀들;을 포함하며, 상기 연마휠은 상기 기판의 측면을 사선방향으로 연마하는 것을 특징으로 한다.

Description

기판 연마장치 및 방법{SUBSTRATE GRINDING APPARATUS AND METHOD OF THE SAME}
본 발명은 기판 연마장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판의 굽힘 강도를 증가시킬 수 있는 기판 연마장치 및 방법에 관한 것이다.
통상, LCD 또는 OLED 등 평판 디스플레이 패널의 제조에 사용되는 유리 기판을 위해 원판을 필요한 크기로 절단하게 된다.
이와 같이 절단된 기판은 연마휠로 측면을 연마하여 사용하게 되는데, 기판의 측면을 연마하기 위하여 연마장치가 이용된다.
도 1은 종래 기판 연마장치(100)를 나타낸 것이다. 기판 연마장치(100)는 기판(S)을 수평으로 안착하는 테이블(미도시)과, 상기 테이블에 안착된 기판(S)의 측면을 연마하는 연마휠(120)을 포함한다.
상기 기판(S)은 하나의 유리기판일 수 있고, 또는 상판유리와 하판유리가 접합되어 이루어지며, 상판유리와 하판유리 사이에 액정이 주입되어 있는 LCD패널일 수 있다. LCD패널은 상판유리와 하판유리 사이에는 액정 주입으로 인해 소정의 갭이 형성된다.
또한 상기 연마휠(120)은 원통형으로 형성되며, 상기 연마휠(120)을 회전시키는 스핀들(110)이 구비된다.
도 2를 참조하면, 상기 기판(S)은 수평으로 안착되어 있고, 상기 연마휠(120)의 회전축은 수직으로 설치되어 회전에 의해 연마휠(120)의 원주면이 기판(S)의 측면을 연마하는 것이다. 따라서 연마휠(120)의 회전방향(연마방향)은 수평이 되고, 기판(S)의 측면에는 연마흔(연마결)이 수평방향으로 형성된다. 이와 같이 연마흔이 수평방향으로 형성되어야 기판(S)의 굽힘강도가 크다.
한편, 상기 연마휠(120)은 기판(S)의 측면을 연마함에 따라 원주면 중 사용된 부분에 홈(121)이 형성되게 마련이고, 홈(121)과 홈(121) 사이에는 미사용부가 형성된다. 즉, 첫번째 기판을 가공한 후 연마휠의 원주면에는 제1홈(121)이 형성된다. 다음으로 두번째 기판을 가공할 때는 상기 연마휠(120)을 상승시켜 가공하고, 그에 따라 제1홈(121)의 상층에 제2홈(121)이 형성된다. 또한 상기 제1홈(121)과 제2홈(121) 사이에는 상기 연마휠(120)을 상승한 만큼의 미사용부가 형성된다.
이와 같이, 연마휠(120)의 원주면에 미사용부가 형성된다는 것은 연마휠(120)을 고르게 사용하지 못한다는 것이다.
즉, 종래의 기판 연마장치는 기판의 측면에 형성되는 연마흔을 수평방향으로 형성함으로써 기판의 굽힘강도가 높다는 장점이 있지만, 연마휠(120)을 고르게 사용하지 못하므로 연마휠(120)의 교체 주기가 짧아 교체비용의 상승을 초래한다.
도 3은 종래 다른 기판 연마장치를 나타낸 것이다. 도시된 바와 같이, 기판(S)은 수평으로 안착시키고, 스핀들(210)을 수평으로 배치한다. 따라서 원통형태의 연마휠(220)의 회전축도 수평이 된다.
이와 같이 구성된 기판 연마장치는 기판(S)의 측면을 연마할 때 연마휠(220)의 원주면 전체를 사용하게 된다. 따라서 연마 후 연마휠(220)의 원주면에 홈이 형성되지 않는 것이다. 다시 말해, 연마휠(220)을 고르게 사용하기 때문에 연마휠(220)의 교체 주기가 길어지는 장점이 있다.
도 4는 도 3에 도시된 기판 연마장치로 기판(S)의 측면을 연마한 후, 기판의 측면을 전자현미경으로 촬영한 사진이다.
도시된 바와 같이, 도 3에 도시된 기판 연마장치로 기판의 측면을 연마하게 되면, 연마흔이 수직방향으로 형성된다는 것을 알 수 있다. 이와 같이 연마흔이 수직방향으로 형성되면 기판의 굽힘강도가 낮아지는 문제가 있다.
공개특허 제10-2016-0070370호 등록특허 제10-01800246호 등록특허 제10-1926427호
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판의 측면 연마에 의해 형성되는 연마흔을 사선방향으로 형성되게 함으로써 기판의 굽힘 강도를 증가시킬 수 있는 기판 연마장치 및 방법을 제공함에 있다.
본 발명의 목적은 연마휠을 고르게 사용하여 교체주기가 긴 기판 연마장치 및 방법을 제공함에 있다.
위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 기판 연마장치는 기판이 수평으로 안착되는 테이블; 상기 기판의 측면을 연마하는 연마휠; 및 상기 연마휠을 구동하는 스핀들;을 포함하며, 상기 연마휠은 상기 기판의 측면을 사선방향으로 연마하는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 연마휠의 회전축은 기울어지게 배치되는 것이 바람직하다.
또한 상기 연마휠과 기판의 접촉면은 상기 기판의 측면에 사선 방향으로 형성되는 것이 바람직하다.
또한 상기 연마휠은 원통형태 또는 링형태로 형성되며, 원주면으로 상기 기판의 측면을 연마하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의한 기판 연마방법은 1) 테이블에 기판을 수평으로 안착하는 단계; 2) 원통형태 또는 링형태의 연마휠을 상기 기판의 측면에 밀착시키는 단계; 및 3) 상기 연마휠을 사선방향으로 회전시켜 상기 기판의 측면을 연마하는 단계;를 포함한다.
또한 상기 2)단계는, 상기 연마휠의 회전축은 기울어지게 배치되는 것이 바람직하다.
또한 상기 2)단계는, 상기 연마휠과 기판의 접촉면은 상기 기판의 측면에 사선 방향으로 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 기판의 측면 연마에 의해 형성되는 연마흔(연마결, 연마방향)을 사선방향으로 형성되게 함으로써 기판의 굽힘 강도를 증가시킬 수 있는 효과가 있다.
또한 연마휠의 원주면을 고르게 사용함으로써 교체주기가 길어지는 효과가 있다.
도 1은 종래 기판 연마장치를 나타낸 것이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 연마장치를 이용한 기판을 연마하는 과정을 나타낸 것이다.
도 3은 종래 다른 기판 연마장치를 나타낸 것이다.
도 4는 도 3에 도시된 기판 연마장치를 이용하여 측면이 연마된 기판의 가공면의 전자현미경 사진을 나타낸 것이다.
도 5 및 도 6은 본 발명에 의한 기판 연마장치를 나타낸 것이다.
도 7은 도 5에 도시된 기판 연마장치를 이용하여 측면이 연마된 기판의 가공면의 전자현미경 사진을 나타낸 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 기판 연마장치의 구성을 설명한다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명에 의한 기판 연마장치(1)에 대한 실시예는 테이블(미도시)과, 연마휠(20)과, 스핀들(10)을 포함한다.
상기 테이블 위에는 기판(S)이 수평으로 안착된다. 또한 상기 테이블에는 진공홀(미도시)이 형성되어 있고, 공압을 인가하는 진공펌프(미도시)가 연결되어 있기 때문에 기판(S)을 테이블 위에 진공흡착한다.
상기 연마휠(20)은 원통형태 또는 링형태로 형성되어 원주면이 기판의 측면에 밀착된 상태로 회전하여 기판(S)의 측면을 연마하는 구성요소이다.
상기 스핀들(10)은 상기 연마휠(20)을 회전시키는 구동력을 제공하는 수단으로서, 특히, 상기 스핀들(10)은 소정각도로 기울어지게 설치되는 것을 알 수 있다. 그에 따라 상기 연마휠(20)의 원주면은 상기 기판(S)에 대하여 소정각도 기울어지게 배치되는 것이다.
다시 말해, 상기 연마휠(20)의 회전축은 상기 기판(S)과 직교하거나 평행하지 않고 기울어지게 배치된 것이다.
따라서, 상기 연마휠(20)은 상기 기판의 측면에 소정각도(α) 기울어지게 밀착되어 있어 사선방향으로 연마하게 된다.
그로 인해 상기 연마휠(20)과 기판(S)의 접촉면은 상기 기판(S)의 측면에 사선 방향으로 형성되게 된다.
또한 연마휠(20)과 기판(S)의 접촉면이 기판(S)의 측면에 사선 방향으로 형성되면 연마휠(20)의 두께보다 접촉면의 길이가 길어지게 된다. 따라서 연마휠(20)의 두께는 도 2에 도시된 연마휠의 두께보다 얇게 형성되어야 한다.
보다 구체적으로는 상기 연마휠(20)의 두께는 2mm ~ 20mm인 것이 바람직하다. 연마휠(20)의 두께가 2mm보다 작으면 접촉면적이 너무 작아서 연마시간이 지나치게 길어져 생산성이 떨어진다.
또한 상기 연마휠(20)의 두께가 20mm를 초과하게 되면, 접촉면적이 너무나 커서 부하가 과하게 걸리고 연마가 안된다. 또한 접촉면적에서는 연마수를 공급할 수 없는데, 이와 같이 연마수를 공급할 수 없는 접촉면적이 크면 열이 발생하여 기판을 손상시키는 문제가 있다.
또한 연마휠(20)을 기울어지게 배치하기 위하여 스핀들(10)에는 경사진 브라켓(32)이 구비되며, 브라켓(32)의 일단에는 수직면에 결합하기 위한 플랜지(31)가 형성된다.
한편, 상기 연마휠)20(의 틸팅각도(α)는 25°~ 75°인 것이 바람직하다. 틸팅각도(α)가 25°보다 작으면 접촉면적이 지나치게 커서 앞서 설명한 바와 같이 부하가 많이 걸리고 열이 발생한다.
반대로 연마휠(20)의 틸팅각도(α)가 75°를 초과하면 기판의 굽힘강도가 낮아지게 된다.
또한 연마휠(20)의 틸팅각도(α)가 작을수록 접촉면적을 적절하게 가져가기 위해 연마휠 두께는 얇아져야 한다.
또한 상기 연마휠(20)의 직경은 50mm ~ 250mm인 것이 바람직하다. 상기 연마휠(20)의 직경이 50mm보다 작으면 연마휠(20)의 원주면의 면적이 작기 때문에 수명이 짧고 교체주기가 짧다. 또한 스핀들(10)의 회전수를 고RPM으로 높여야 한다.
반대로 연마휠(20)의 직경을 250mm를 초과하면 설비의 사이즈가 커져 설치공간을 많이 차지하게 된다.
이하에서는 본 발명에 의한 기판 연마방법을 설명한다.
본 발명에 의한 기판 연마방법은 먼저 테이블에 기판(S)을 수평으로 안착한다.
상기 테이블은 기판(S)을 진공흡착하여 고정하는 것이 바람직하다.
다음으로, 원통형태 또는 링형태의 연마휠(20)의 원주면을 기판(S)의 측면에 밀착시킨다. 이 때, 상기 연마휠(20)의 회전축은 기울어지게 되며, 결과적으로 연마휠(20)과 기판(S)의 측면의 접촉면은 경사지게 사선 방향으로 형성된다.
이 상태에서 상기 연마휠(20)을 사선방향으로 회전시켜 상기 기판의 측면을 연마하는 것이다.
이하에서는 비교예와 실시예의 비교예를 통해 본 발명에 의한 기판 연마장치 및 방법의 효과를 살펴본다.
비교예1
도 3에 도시된 연마장치를 이용하여 기판의 측면을 연마하였다.
구체적으로 연마휠(220)의 회전축은 수평으로 배치되고, 연마휠의 두께는 10mm이며, 연마휠의 직경은 150mm이다. 따라서 연마휠과 기판의 접촉길이는 10mm가 된다. 또한 스핀들(210)의 회전수는 15,000rpm이다.
위와 같은 연마장치로 기판의 측면을 150㎛ 연마하였다.
실시예1
도 5에 도시된 기판 연마장치를 이용하여 기판의 측면을 연마하였다.
구체적으로 연마휠(20)의 회전축은 수평선에서 45°로 기울어져 있고, 연마휠의 두께는 7mm이며, 연마휠의 직경은 150mm이며, 기울어진 연마휠과 기판의 접촉길이는 10mm가 된다. 또한 스핀들(10)의 회전수는 15,000rpm이다.
위와 같은 연마장치로 기판의 측면을 150㎛ 연마하였다.
연마량(㎛) 회전수(RPM) 굽힘강도(MPa))
비교예1 150 15,000 132
실시예1 150 15,000 155.8
비교예 1에서는 기판의 측면에 형성된 연마흔이 수직방향으로 형성되었고(도 4 참조), 실시예 1에서는 연마흔이 사선방향로 형성되었다(도 7 참조).
또한 연마 후 각 기판의 굽힘강도를 측정한 결과, 비교예1에서 굽힘강도가 132N이고, 실시예1에서는 155.8N으로 측정되었다.
이와 같이 연마흔이 수직으로 형성된 기판보다 사선방향으로 형성된 기판의 굽힘강도가 더 높다는 것을 알 수 있다.
1: 기판 연마장치(실시예)
10: 스핀들
20: 연마휠
31: 플랜지
32: 브라켓

Claims (7)

  1. 기판이 수평으로 안착되는 테이블;
    상기 기판의 측면을 연마하는 연마휠; 및
    상기 연마휠을 구동하는 스핀들;을 포함하며,
    상기 연마휠은 상기 기판의 측면을 사선방향으로 연마하는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 연마휠의 회전축은 기울어지게 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 연마휠과 기판의 접촉면은 상기 기판의 측면에 사선 방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 연마휠은 원통형태 또는 링형태로 형성되며, 원주면으로 상기 기판의 측면을 연마하는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
  5. 1) 테이블에 기판을 수평으로 안착하는 단계;
    2) 원통형태 또는 링형태의 연마휠을 상기 기판의 측면에 밀착시키는 단계; 및
    3) 상기 연마휠을 사선방향으로 회전시켜 상기 기판의 측면을 연마하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 연마방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 2)단계는,
    상기 연마휠의 회전축은 기울어지게 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 연마방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 2)단계는,
    상기 연마휠과 기판의 접촉면은 상기 기판의 측면에 사선 방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 연마방법.
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