KR20210034236A - A apparatus for monitoring the state of cleaning apparatus - Google Patents

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KR20210034236A
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Abstract

The present invention relates to a cleaning equipment monitoring device capable of monitoring normal operation of cleaning equipment by measuring an activated gas concentration of exhaust gas discharged through an exhaust unit of the cleaning equipment in real time. According to the present invention, the cleaning equipment monitoring device comprise: a gas suction unit installed to be connected to an exhaust unit of cleaning equipment, and sucking gas passing through the exhaust unit; a gas concentration monitoring unit installed to be connected to the gas suction unit and monitoring a concentration of activated gas present in the gas sucked by the gas suction unit; and a control unit installed to be connected to the gas concentration monitoring unit and determining whether the cleaning equipment is normal by comparing the activated gas concentration detected by the gas concentration monitoring unit with a reference value.

Description

세정장비 모니터링 장치{A APPARATUS FOR MONITORING THE STATE OF CLEANING APPARATUS}Cleaning equipment monitoring device {A APPARATUS FOR MONITORING THE STATE OF CLEANING APPARATUS}

본 발명은 세정장비 모니터링 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 세정장비의 배기부를 통해 배출되는 배기가스의 활성화된 기체 농도를 실시간으로 측정하여 세정 장비의 정상적인 작동 여부를 모니터링할 수 있는 세정장비 모니터링 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a cleaning equipment monitoring device, and more particularly, a cleaning equipment monitoring device capable of monitoring the normal operation of the cleaning equipment by measuring the activated gas concentration of the exhaust gas discharged through the exhaust of the cleaning equipment in real time. It is about.

반도체, LCD등을 제조할 때 다양한 제조공정 중에 발생하는 잔류 물질(residual organic materials), 작은 파티클(small particles), 오염물(contaminants) 등을 제거하기 위하여 PCB 표면 또는 Glass 표면을 세정하는 공정이 필요하다. 현재까지 상기와 같은 공정에 수천대 이상의 대기압 플라즈마나 EUV, UV장비가 제조공정에 설치되어 사용되고 있다. When manufacturing semiconductors, LCDs, etc., a process of cleaning the PCB or glass surface is required to remove residual organic materials, small particles, and contaminants generated during various manufacturing processes. . Until now, more than thousands of atmospheric plasma, EUV, and UV equipment are installed and used in the manufacturing process in the above process.

하지만 이러한 세정 장비의 성능저하에 대해 판단할 정량적인 수치나 분석기가 없는 상태여서 제조공정상에 문제가 발생해도 그 원인을 찾을 방법이 힘들며, 세정 장비 제조사도 이를 해결한 마땅한 대안을 제시하지 못하고 있는 실정이다. However, since there is no quantitative numerical value or analyzer to determine the performance degradation of such cleaning equipment, even if a problem occurs in the manufacturing process, it is difficult to find the cause, and the cleaning equipment manufacturer has not been able to present a suitable alternative to solve this problem. to be.

상기 문제를 해결하기 위해 포토센서, 이미지 센싱등의 방법을 시도해 보았지만 활설화된 기체에서 방출하는 성분에 견디지 못하고 파손되어 적용하지 못하고 있다. In order to solve the above problem, methods such as photosensor and image sensing have been tried, but they cannot withstand the components emitted from the activated gas and are damaged and thus cannot be applied.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 세정장비의 배기부를 통해 배출되는 배기가스의 활성화된 기체 농도를 실시간으로 측정하여 세정 장비의 정상적인 작동 여부를 모니터링할 수 있는 세정장비 모니터링 장치를 제공하는 것이다. The technical problem to be solved by the present invention is to provide a cleaning equipment monitoring device capable of monitoring the normal operation of the cleaning equipment by measuring the activated gas concentration of the exhaust gas discharged through the exhaust part of the cleaning equipment in real time.

전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 세정장비 모니터링 장치는, 세정장비의 배기부에 연결되어 설치되며, 상기 배기부를 통과하는 기체를 흡입하는 기체 흡입부; 상기 기체 흡입부에 연결되어 설치되며, 상기 기체 흡입부에 의하여 흡입된 기체 내에 존재하는 활성화된 기체의 농도를 모니터링하는 기체농도 모니터링부; 상기 기체농도 모니터링부와 연결되어 설치되며, 상기 기체농도 모니터링부에서 감지된 상기 활성화된 기체 농도와 레퍼런스값을 비교하여 상기 세정장비의 정상여부를 판단하는 제어부;를 포함한다. The cleaning equipment monitoring apparatus according to the present invention for solving the above-described technical problem includes: a gas intake unit connected to and installed in an exhaust unit of the cleaning equipment and for inhaling gas passing through the exhaust unit; A gas concentration monitoring unit connected to the gas suction unit and configured to monitor a concentration of activated gas present in the gas sucked by the gas suction unit; And a control unit connected to and installed with the gas concentration monitoring unit, and determining whether the cleaning equipment is normal by comparing the activated gas concentration detected by the gas concentration monitoring unit and a reference value.

그리고 본 발명에서 상기 기체농도 모니터링부는, 상기 기체 흡입부에 의하여 유입되는 기체를 단속하는 밸브; 상기 밸브를 통하여 공급되는 기체를 분석하여 상기 기체 내의 활성화된 기체 농도를 측정하는 기체 센싱 유닛; 상기 기체 센싱 유닛과 연결되어 설치되며, 상기 기체 센싱 유닛 내부의 기체를 흡입하여 외부로 배출하는 펌프;를 포함하는 것이 바람직하다. In addition, in the present invention, the gas concentration monitoring unit includes: a valve that regulates gas introduced by the gas intake unit; A gas sensing unit that analyzes the gas supplied through the valve and measures the concentration of the activated gas in the gas; It is preferable to include a; a pump that is installed in connection with the gas sensing unit and sucks the gas inside the gas sensing unit and discharges it to the outside.

또한 본 발명에서 상기 기체 센싱 유닛은, 자외선 흡광 방식 센서, 반도체 박막식 센서, 전기화학흡착식 센서 중에서 선택되는 어느 하나인 것이 바람직하다. In addition, in the present invention, the gas sensing unit is preferably any one selected from an ultraviolet absorption type sensor, a semiconductor thin film type sensor, and an electrochemical absorption type sensor.

또한 본 발명에서 상기 기체 센싱 유닛은, 포토 센서, 이미지 센서 또는 비디오카메라 중에서 선택되는 어느 한 비쥬얼 모니터링 유닛을 더 구비하는 것이 바람직하다. In addition, in the present invention, it is preferable that the gas sensing unit further includes any one visual monitoring unit selected from a photo sensor, an image sensor, or a video camera.

또한 본 발명에서 상기 기체농도 모니터링부에는, 상기 밸브에 의하여 공급되는 기체 일부를 레퍼런스 기체로 제공하는 레퍼런스 기체 제공부가 더 구비되는 것이 바람직하다. In addition, in the present invention, it is preferable that the gas concentration monitoring unit further includes a reference gas providing unit that provides a part of the gas supplied by the valve as a reference gas.

또한 본 발명에서 상기 기체 흡입부는, 상기 배기부 내부에 삽입되어 기체를 흡입하는 기체 흡입 모듈; 상기 기체 흡입 모듈을 상기 배기부에 고정하는 모듈 고정부; 상기 기체 흡입 모듈에 연결되어 설치되며, 상기 기체 흡입 모듈에 의하여 흡입된 기체를 상기 기체농도 모니터링부에 전달하는 기체 흡입관;을 포함하는 것이 바람직하다. In addition, in the present invention, the gas intake unit may include a gas intake module inserted into the exhaust unit to inhale gas; A module fixing part fixing the gas intake module to the exhaust part; It is preferable to include a; gas intake pipe is installed connected to the gas intake module, for transferring the gas sucked by the gas intake module to the gas concentration monitoring unit.

또한 본 발명에서 상기 기체 흡입 모듈은, 전체적으로 통형태를 가지며, 다수개의 기체 흡입홀이 외주면에 균일하게 형성되는 기체 흡입통; 상기 기체 흡입통에 연결되는 상기 기체 흡입관의 외부를 감싸서 보호하는 흡입관 보호부재; 상기 흡입관 보호부재의 외주면에 형성되며, 상기 기체 흡입통의 설치 위치를 상기 배기부의 중앙으로 한정하는 센터 블럭;을 포함하는 것이 바람직하다. In addition, in the present invention, the gas intake module has a cylindrical shape as a whole, and a gas intake tube in which a plurality of gas intake holes are uniformly formed on the outer circumferential surface; A suction pipe protection member that surrounds and protects the outside of the gas suction pipe connected to the gas suction vessel; It is preferable to include; a center block formed on the outer circumferential surface of the suction pipe protection member and defining an installation position of the gas intake cylinder to the center of the exhaust part.

또한 본 발명에서 상기 제어부는, 상기 기체 센싱 유닛에 의하여 제공되는 활성화된 기체 농도값을 레퍼런스값과 비교하여 상기 세정장비의 정상 여부를 판단하고, 상기 기체 농도값을 아날로그 값을 환산하는 제어보드; 상기 제어보드에 의하여 환산된 기체 농도값을 디스플레이하는 디스플레이 보드를 포함하는 것이 바람직하다. In addition, in the present invention, the control unit may include a control board for determining whether the cleaning equipment is normal by comparing the activated gas concentration value provided by the gas sensing unit with a reference value, and converting the gas concentration value to an analog value; It is preferable to include a display board for displaying the gas concentration value converted by the control board.

본 발명의 세정장비 모니터링 장치에 따르면 세정장비의 배기부에서 채취되는 활성화된 기체의 성분을 모니터링하여 제조공정상의 불량율 발생을 방지하고, 세정장비의 고장 여부를 판단할 있는 장점이 있다. According to the cleaning equipment monitoring apparatus of the present invention, there is an advantage of monitoring the components of the activated gas collected from the exhaust of the cleaning equipment to prevent the occurrence of a defect rate in the manufacturing process, and to determine whether the cleaning equipment is malfunctioning.

또한 본 발명에서는 자외선 흡광 방식을 이용하여 제조공정상에 발생하는 활성된 기체의 성분을 분석하여 수치화하여 제조공정상에 발생할 수 있는 사고를 미연에 방지할 수 있는 장점도 있다. In addition, the present invention has the advantage of preventing accidents that may occur in the manufacturing process in advance by analyzing and quantifying the components of the active gas generated in the manufacturing process using the ultraviolet absorption method.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 세정장비 모니터링 장치의 구성을 도시하는 도면이다.
도 2는 일반적인 세정장비의 구성을 도시하는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기체 흡입부와 기체농도 모니터링부의 설치 상태를 도시하는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기체농도 모니터링부의 구성을 도시하는 블럭도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기체 흡입부의 구조 및 설치 상태를 도시하는 도면이다. 1 is a diagram showing the configuration of a cleaning equipment monitoring apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a diagram showing the configuration of a general cleaning equipment.
3 is a view showing an installation state of a gas intake unit and a gas concentration monitoring unit according to an embodiment of the present invention.
4 is a block diagram showing the configuration of a gas concentration monitoring unit according to an embodiment of the present invention.
5 is a view showing the structure and installation state of a gas intake unit according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 실시예에 따른 세정장비 모니터링 장치(100)는 도 1에 도시된 바와 같이, 기체 흡입부(110), 기체농도 모니터링부(120) 및 제어부(130)를 포함하여 구성될 수 있다. 먼저 상기 기체 흡입부(110)는 도 1에 도시된 바와 같이, 세정장비(1)의 배기부(10)에 연결되어 설치되며, 상기 배기부(10)를 통과하는 기체를 흡입하는 구성요소이다. 이렇게 상기 기체 흡입부(110)에 의하여 흡입된 기체는 상기 기체 농도 모니터링부(120)로 이동되어 기체 측정에 사용된다. 본 실시예에서 상기 세정장비(1)는 플라즈마, EUV, UV 세정장비 등에서 선택되는 어느 하나일 수 있으며, 도 2에 도시된 바와 같이, 일반적으로 처리 모듈(30), 피처리 기판을 이동시키는 기판 이동부(20) 및 배기부(10)를 포함하여 구성될 수 있다. The cleaning equipment monitoring apparatus 100 according to the present embodiment may include a gas intake unit 110, a gas concentration monitoring unit 120, and a control unit 130, as shown in FIG. 1. First, the gas intake unit 110 is installed connected to the exhaust unit 10 of the cleaning equipment 1, as shown in FIG. 1, and is a component that sucks gas passing through the exhaust unit 10. . In this way, the gas sucked by the gas intake unit 110 is moved to the gas concentration monitoring unit 120 and used for gas measurement. In this embodiment, the cleaning equipment 1 may be any one selected from plasma, EUV, and UV cleaning equipment, and as shown in FIG. 2, generally, a processing module 30 and a substrate for moving a target substrate It may be configured to include a moving unit 20 and an exhaust unit 10.

이를 위하여 본 실시예에서는 상기 기체 흡입부(110)를 구체적으로 도 3, 5에 도시된 바와 같이, 기체 흡입 모듈(111), 모듈 고정부(112) 및 기체 흡입관(113)을 포함하여 구성할 수 있다. 먼저 상기 기체 흡입 모듈(111)은 상기 배기부(10) 내부에 삽입되어 기체를 흡입하는 구성요소이다. 따라서 상기 기체 흡입 모듈(111)은 도 5에 도시된 바와 같이, 기체 흡입통(114), 흡입관 보호부재(116) 및 센터 블럭(117)을 포함하여 구성된다. 여기에서 성가 기체 흡입통(114)은 전체적으로 원통 형태를 가지며, 도 5에 도시된 바와 같이, 다수개의 기체 흡입홀(115)이 외주면에 균일하게 형성되는 구성요소이다. To this end, in this embodiment, the gas intake unit 110 is specifically configured to include a gas intake module 111, a module fixing part 112 and a gas intake pipe 113, as shown in FIGS. 3 and 5 I can. First, the gas intake module 111 is a component that is inserted into the exhaust unit 10 to inhale gas. Accordingly, the gas intake module 111 includes a gas intake cylinder 114, a suction pipe protection member 116, and a center block 117, as shown in FIG. 5. Here, the gas intake cylinder 114 has a cylindrical shape as a whole, and as shown in FIG. 5, a plurality of gas intake holes 115 are uniformly formed on the outer circumferential surface.

그리고 상기 흡입관 보호부재(116)는 상기 기체 흡입통(114)에 연결되는 상기 기체 흡입관(113)의 외부를 감싸서 보호하는 구성요소이다. 상기 배기부(10)를 통과하여 배출되는 배기가스는 상당한 부식성을 가질 수 있으므로, 상기 배기부(10)에 상기 기체 흡입관(113)이 장시간 노출되는 경우 손상될 수 있는데 이를 상기 흡입관 보호부재(116)가 보호하는 것이다. In addition, the suction pipe protection member 116 is a component that surrounds and protects the outside of the gas suction pipe 113 connected to the gas suction cylinder 114. Since the exhaust gas discharged through the exhaust unit 10 may have considerable corrosiveness, it may be damaged when the gas intake pipe 113 is exposed to the exhaust unit 10 for a long time. ) Is to protect.

다음으로 상기 센터 블럭(117)은, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 흡입관 보호부재(116)의 외주면에 형성되며, 상기 기체 흡입통(114)의 설치 위치를 상기 배기부(10)의 중앙으로 한정하는 구성요소이다. 즉, 상기 센터 블럭(117)은 상기 기체 흡입 모듈(111)을 배기부(10)에 삽입하는 과정에서 일정한 깊이로 삽입되면 더 이상 삽입되지 않도록 막는 걸림턱 구조를 가지며, 이 상태에서 상기 기체 흡입 모듈(111)을 고정하면 상기 기체 흡입홀(5)들이 상기 배기부(10)의 중앙에 위치하게 되는 것이다.Next, the center block 117 is formed on the outer circumferential surface of the suction pipe protection member 116, as shown in FIG. 5, and the installation position of the gas intake cylinder 114 is located at the center of the exhaust unit 10. It is a component limited to. That is, the center block 117 has a locking jaw structure that prevents further insertion when the gas intake module 111 is inserted to a certain depth in the process of inserting the gas intake module 111 into the exhaust part 10, and in this state, the gas intake When the module 111 is fixed, the gas intake holes 5 are located in the center of the exhaust part 10.

다음으로 상기 모듈 고정부(112)는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 기체 흡입 모듈(111)을 상기 배기부(10)에 고정하는 구성요소이다. 전술한 바와 같이, 상기 기체 흡입 모듈(111)이 배기부(10)의 정확한 위치로 삽입된 상태에서 상기 모듈 고정부(112)가 상기 기체 흡입 모듈(111)이 움직이지 않도록 고정하는 것이다. Next, the module fixing part 112 is a component that fixes the gas intake module 111 to the exhaust part 10 as shown in FIG. 5. As described above, the module fixing part 112 fixes the gas intake module 111 so that it does not move while the gas intake module 111 is inserted into the correct position of the exhaust part 10.

다음으로 상기 기체 흡입관(113)은 도 3, 5에 도시된 바와 같이, 상기 기체 흡입 모듈(111)에 연결되어 설치되며, 상기 기체 흡입 모듈(111)에 의하여 흡입된 기체를 상기 기체농도 모니터링부(120)에 전달하는 구성요소이다. 따라서 상기 기체 흡입관(113)의 일단은 상기 기체 흡입통(114)에 연결되고, 타단은 상기 기체농도 모니터링부(120)에 연결된다. Next, the gas intake pipe 113 is connected to and installed to the gas intake module 111, as shown in FIGS. 3 and 5, and the gas concentration monitoring unit receives the gas inhaled by the gas intake module 111. It is a component that conveys to 120. Accordingly, one end of the gas intake pipe 113 is connected to the gas intake cylinder 114 and the other end is connected to the gas concentration monitoring unit 120.

다음으로 상기 기체농도 모니터링부(120)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 기체 흡입부(110)에 연결되어 설치되며, 상기 기체 흡입부(110)에 의하여 흡입된 기체 내에 존재하는 활성화된 기체의 농도를 모니터링(monitoring)하는 구성요소이다. 이렇게 상기 기체농도 모니터링부(120)에 의하여 실시간으로 모니터링되는 활성 기체의 농도값에 의하여 상기 제어부(130)가 공정의 이상 유무를 판단하는 것이다. Next, the gas concentration monitoring unit 120 is installed connected to the gas suction unit 110, as shown in FIG. 1, and the activated gas present in the gas sucked by the gas suction unit 110 It is a component that monitors the concentration of. In this way, the control unit 130 determines whether there is an abnormality in the process based on the concentration value of the active gas monitored in real time by the gas concentration monitoring unit 120.

이를 위하여 본 실시예에서는 상기 기체농도 모니터링부(120)를 구체적으로 도 4에 도시된 바와 같이, 밸브(121), 기체 센싱 유닛(122) 및 펌프(123)로 구성할 수 있다. 먼저 상기 밸브(121)는 상기 기체 흡입부(110)에 의하여 유입되는 기체를 단속하는 구성요소이며, 상기 기체 흡입관(113)의 타단이 상기 밸브(121)에 연결되며, 상기 기체농도 모니터링부(120)로 배기가스가 최초로 유입되는 것이다. To this end, in this embodiment, the gas concentration monitoring unit 120 may be configured as a valve 121, a gas sensing unit 122, and a pump 123, as specifically shown in FIG. 4. First, the valve 121 is a component that regulates gas introduced by the gas suction unit 110, the other end of the gas suction pipe 113 is connected to the valve 121, and the gas concentration monitoring unit ( 120), which is the first to introduce exhaust gas.

그리고 상기 밸브(121)는 이렇게 유입되는 기체를 상기 제어부(130)의 제어 동작에 의하여 상기 기체 센싱 유닛(122) 방향으로 보내거나 차단한다. In addition, the valve 121 sends or blocks the gas introduced in this way toward the gas sensing unit 122 by a control operation of the control unit 130.

다음으로 상기 기체 센싱 유닛(122)은 상기 밸브(121)를 통하여 공급되는 기체를 분석하여 상기 기체 내의 활성화된 기체 농도를 측정하는 구성요소이다. 본 실시예에서 상기 기체 센싱 유닛(122)은, 구체적으로 자외선 흡광 방식 센서, 반도체 박막식 센서, 전기화학흡착식 센서 중에서 선택되는 어느 하나인 것이 바람직하다. Next, the gas sensing unit 122 is a component that analyzes the gas supplied through the valve 121 and measures the concentration of the activated gas in the gas. In this embodiment, the gas sensing unit 122 is specifically preferably any one selected from an ultraviolet absorption type sensor, a semiconductor thin film type sensor, and an electrochemical absorption type sensor.

그리고 본 실시예에서 상기 기체 센싱 유닛(122)은, 포토 센서, 이미지 센서 또는 비디오카메라 중에서 선택되는 어느 한 비쥬얼 모니터링 유닛(도면에 미도시)을 더 구비하는 것이 바람직하다. Further, in the present embodiment, the gas sensing unit 122 is preferably further provided with any one visual monitoring unit (not shown in the drawing) selected from a photo sensor, an image sensor, or a video camera.

다음으로 상기 펌프(123)는 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 기체 센싱 유닛(122)과 연결되어 설치되며, 상기 기체 센싱 유닛(122) 내부의 기체를 흡입하여 외부로 배출하는 구성요소이다. 상기 펌프(123)의 동력에 의하여 상기 배기부(10)로부터 기체를 흡입하여 상기 기체 흡입관(113), 밸브(121) 및 기체 센싱 유닛(122)를 거친 배기가스가 다시 배기부(10)로 배출되는 것이다. Next, as shown in FIG. 4, the pump 123 is installed in connection with the gas sensing unit 122, and is a component that sucks the gas inside the gas sensing unit 122 and discharges it to the outside. The exhaust gas that has passed through the gas intake pipe 113, the valve 121 and the gas sensing unit 122 by inhaling gas from the exhaust unit 10 by the power of the pump 123 is returned to the exhaust unit 10. It is discharged.

한편 본 실시예에 따른 상기 기체농도 모니터링부(120)에는, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 밸브(121)에 의하여 공급되는 기체 일부를 레퍼런스 기체로 제공하는 레퍼런스 기체 제공부(124)가 더 구비되는 것이 바람직하다. 따라서 상기 제어부(130)는 활성 기체의 성분을 정확하게 분석하기 위하여 매번 레퍼런스 기체와 비교하는 절차를 거친다. Meanwhile, the gas concentration monitoring unit 120 according to the present embodiment further includes a reference gas providing unit 124 that provides a part of the gas supplied by the valve 121 as a reference gas, as shown in FIG. 4. It is preferable to be provided. Therefore, the control unit 130 goes through a procedure of comparing with the reference gas each time in order to accurately analyze the components of the active gas.

다음으로 상기 제어부(130)는 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 기체농도 모니터링부(120)와 연결되어 설치되며, 상기 기체농도 모니터링부(120)에서 감지된 상기 활성화된 기체 농도와 레퍼런스(reference)값을 비교하여 상기 세정장비(1)의 정상 여부를 판단하는 구성요소이다. 이를 위하여 본 실시예에서 상기 제어부(130)는 구체적으로 제어보드(132)와 디스플레이 보드(134)를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다 .Next, as shown in FIG. 4, the control unit 130 is installed in connection with the gas concentration monitoring unit 120, and the activated gas concentration detected by the gas concentration monitoring unit 120 and a reference ) Is a component that determines whether the cleaning equipment 1 is normal or not by comparing values. To this end, in this embodiment, the control unit 130 is preferably configured to include a control board 132 and a display board 134 in detail.

상기 제어보드(132)는 상기 기체 센싱 유닛(122)에 의하여 제공되는 활성화된 기체 농도값을 레퍼런스값과 비교하여 상기 세정장비(1)의 정상 작동 여부를 판단하고, 상기 기체 농도값을 아날로그 값을 환산하는 구성요소이다. 더 나아가서 상기 제어보드(132)는 상기 기체농도 모니터링부(120)의 각 구성요소들의 동작도 제어한다. The control board 132 compares the activated gas concentration value provided by the gas sensing unit 122 with a reference value to determine whether the cleaning equipment 1 is operating normally, and sets the gas concentration value to an analog value. It is a component that converts Furthermore, the control board 132 also controls the operation of each component of the gas concentration monitoring unit 120.

그리고 상기 디스플레이 보드(134)는 상기 제어보드(132)에 의하여 환산된 기체 농도값을 디스플레이하는 구성요소이다. In addition, the display board 134 is a component that displays the gas concentration value converted by the control board 132.

100 : 본 발명의 일 실시예에 따른 세정장비 모니터링 장치
110 : 기체 흡입부 120 : 기체농도 모니터링부
130 : 제어부 1 : 세정장비
10 : 배기부 20 : 기판 이동부
30 : 처리 모듈100: cleaning equipment monitoring device according to an embodiment of the present invention
110: gas intake unit 120: gas concentration monitoring unit
130: control unit 1: cleaning equipment
10: exhaust part 20: substrate moving part
30: processing module

Claims (6)

세정장비의 배기부에 연결되어 설치되며, 상기 배기부를 통과하는 기체를 흡입하는 기체 흡입부;
상기 기체 흡입부에 연결되어 설치되며, 상기 기체 흡입부에 의하여 흡입된 기체 내에 존재하는 활성화된 기체의 농도를 모니터링하는 기체농도 모니터링부;
상기 기체농도 모니터링부와 연결되어 설치되며, 상기 기체농도 모니터링부에서 감지된 상기 활성화된 기체 농도와 레퍼런스값을 비교하여 상기 세정장비의 정상여부를 판단하는 제어부;를 포함하는 세정장비 모니터링 장치. A gas suction unit connected to the exhaust unit of the cleaning equipment and configured to suck gas passing through the exhaust unit;
A gas concentration monitoring unit connected to the gas suction unit and configured to monitor a concentration of activated gas present in the gas sucked by the gas suction unit;
And a control unit that is installed in connection with the gas concentration monitoring unit and determines whether the cleaning equipment is normal by comparing the activated gas concentration detected by the gas concentration monitoring unit and a reference value. 제1항에 있어서, 상기 기체농도 모니터링부는,
상기 기체 흡입부에 의하여 유입되는 기체를 단속하는 밸브;
상기 밸브를 통하여 공급되는 기체를 분석하여 상기 기체 내의 활성화된 기체 농도를 측정하는 기체 센싱 유닛;
상기 기체 센싱 유닛과 연결되어 설치되며, 상기 기체 센싱 유닛 내부의 기체를 흡입하여 외부로 배출하는 펌프;를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정장비 모니터링 장치. The method of claim 1, wherein the gas concentration monitoring unit,
A valve that regulates gas introduced by the gas intake unit;
A gas sensing unit that analyzes the gas supplied through the valve and measures the concentration of the activated gas in the gas;
And a pump that is installed in connection with the gas sensing unit and sucks gas inside the gas sensing unit and discharges it to the outside. 제2항에 있어서, 상기 기체 센싱 유닛은,
자외선 흡광 방식 센서, 반도체 박막식 센서, 전기화학흡착식 센서 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 세정장비 모니터링 장치.The method of claim 2, wherein the gas sensing unit,
A cleaning equipment monitoring device, characterized in that it is any one selected from an ultraviolet absorption type sensor, a semiconductor thin film type sensor, and an electrochemical adsorption type sensor. 제2항에 있어서, 상기 기체 센싱 유닛은,
포토 센서, 이미지 센서 또는 비디오카메라 중에서 선택되는 어느 한 비쥬얼 모니터링 유닛을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 세정장비 모니터링 장치. The method of claim 2, wherein the gas sensing unit,
A cleaning equipment monitoring device, characterized in that it further comprises any one visual monitoring unit selected from a photo sensor, an image sensor, or a video camera. 제2항에 있어서, 상기 기체농도 모니터링부에는,
상기 밸브에 의하여 공급되는 기체 일부를 레퍼런스 기체로 제공하는 레퍼런스 기체 제공부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 세정장비 모니터링 장치. The method of claim 2, wherein the gas concentration monitoring unit,
A cleaning equipment monitoring device, characterized in that further comprising a reference gas providing unit that provides a part of the gas supplied by the valve as a reference gas. 제1항에 있어서, 상기 기체 흡입부는,
상기 배기부 내부에 삽입되어 기체를 흡입하는 기체 흡입 모듈;
상기 기체 흡입 모듈을 상기 배기부에 고정하는 모듈 고정부;
상기 기체 흡입 모듈에 연결되어 설치되며, 상기 기체 흡입 모듈에 의하여 흡입된 기체를 상기 기체농도 모니터링부에 전달하는 기체 흡입관;을 포함하는 것을 특징으로 하는 세정장비 모니터링 장치. The method of claim 1, wherein the gas intake unit,
A gas intake module inserted into the exhaust part to inhale gas;
A module fixing part fixing the gas intake module to the exhaust part;
And a gas suction pipe connected to and installed to the gas suction module and transferring the gas sucked by the gas suction module to the gas concentration monitoring unit.
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