KR20210026448A - 그래핀이 코팅된 기판의 제조방법 - Google Patents

그래핀이 코팅된 기판의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 그래핀이 코팅된 기판의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 (1) 그래핀 잉크를 메쉬 형태의 기판 상에 스프레이 공정으로 코팅하는 단계; (2) 상기 그래핀 잉크가 코팅된 기판을 열처리 또는 마이크로웨이브를 가하여 건조하는 단계; (3) 상기 건조된 기판을 고온의 롤-프레스 공정으로 1차 가압하는 단계; 및(4) 1차 가압된 기판을 저온의 롤-프레스 공정으로 2차 가압하는 단계;를 포함하는 그래핀 코팅된 기판의 제조방법에 관한 것이다.

Description

그래핀이 코팅된 기판의 제조방법{Method for Preparing Graphene-Coated Substrate}
본 발명은 그래핀이 코팅된 기판의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 스프레이 공정 및 롤-프레스 공정을 이용하여 그래핀을 메쉬 형태의 기판상에 코팅하는 경우 두단계의 롤-프레스 공정을 수행함으로써, 우수한 전도도를 가지는 그래핀 코팅된 기판의 제조 방법에 관한 것이다.
그래핀(Graphene)은 탄소가 육각형의 형태로 서로 연결되어 벌집 모양의 2차원 평면 구조를 이루는 물질로서, 그 특징은 두께가 매우 얇고 투명하고 전기적, 기계적, 화학적인 특성이 매우 안정적이고 뛰어날 뿐 아니라 우수한 전도성을 가지는 물질이다.
구체적으로, 그래핀의 특성은 금속성으로, 층방향으로 전도성을 가지며 열전도성이 우수하고, 전하 캐리어(carrier)의 이동도(mobility)가 커서 고속 전자 소자를 구현할 수 있다. 그래핀 시트(sheet)의 전자 이동도는 약 20,000 내지 50,000 cm2/Vs의 값을 가지는 것으로 알려져 있다. 그래핀은 역학적 견고성과 화학적 안정성이 뛰어나고, 반도체와 도체의 성질을 모두 가지고 있으며, 두께가 얇아, 평판 표시 소자, 트랜지스터, 에너지 저장체 및 나노 크기의 전자소자로의 응용성이 크다. 그래핀을 이용하면 종래의 반도체 공정 기술을 이용하여 소자를 제조하기 용이하며, 특히 대면적 집적화가 용이한 이점이 있다.
또한, 그래핀은 2004년 흑연으로부터 그래핀을 분리하는 방법이 개발되면서 그에 관한 많은 연구가 진행되어 오고 있다. 특히, 이러한 그래핀의 특수성을 이용하여 최근 투명 디스플레이 또는 플렉서블(Flexible) 디스플레이 등의 전자 장비에 적용하려는 다양한 연구와 노력이 이루어지고 있다.
상기의 그래핀을 기판에 코팅하는 방법에는 먼저 공지된 화학적 기상 증착법(CVD)이 있다. 그러나 이는 그래핀을 고온에서 직접 기판상에 코팅하는 방법이기 때문에 피코팅재인 기판이 열적 안정성이 우수하여야 하는 제약이 있어 열에 취약한 재질의 기판은 사용할 수 없는 문제점이 있었다.
화학기상증착법과 같은 진공 공정 및 별도의 에칭과 전사 과정 등의 복잡한 제조 공정을 거치지 않고, 그래핀 입자와 휘발성 액체를 혼합한 혼합 용액을 초음속 분사 노즐을 통해 분사하는 단순 스프레이 방식을 통해 그래핀 입자를 기판에 용이하게 증착 코팅시킬 수 있고, 상대적으로 저온 상태에서 그래핀 입자를 증착 코팅시킬 수 있도록 함으로써, 고온의 열에 취약한 유연 기판 등의 표면에도 그래핀 입자의 증착 코팅을 용이하게 수행할 수 있으며 더욱 다양한 용도로 활용할 수 있는 저온 스프레이 방식을 이용한 그래핀 증착 방법에 관한 기술 개발이 필요한 실정이다.
한편, 최근에는 스핀 코팅을 이용하여 그래핀 산화물을 기판상에 코팅하는 기술(ACS Nano,Manish Chho walla, 2010, 4,524)이 발표되었으나, 상기 기술은 공정이 복잡하고 기판의 크기에 제약이 있어 그래핀을 대면적으로 균일하게 코팅하는 것에 한계가 있었다.
종래 그래핀 필름의 제조방법은 공개특허 10-2012-0111659호(그래핀을 포함하는 필름 제조 방법, 2012년 10월10일 공개)에 기재되어 있다. 대량생산을 위하여 롤-투-롤(Roll to Roll) 방식으로 일방향으로 촉매금속필름을 이송하면서, 그래핀을 형성하고, 그래핀이 형성되지 않은 촉매금속필름의 일면에 전사필름을 형성하는 단계를 포함하는 기술에 대해 기재되어 있다.
또한, 한국공개특허 제10-2016-0026834호에서는 우수한 광학 투명도와 높은 전기 전도성(또는 낮은 시트 저항(sheet resistance))이 결합된 그래핀/나노 필라멘트-기반 하이브리드 필름을 제조하기 위한, 제1 전도성 나노 필라멘트를 포한하는 제1 분산액의 에어로졸을 적층시키는 단계; 및 그래핀 재료를 포함하는 제2 분산액의 에어로졸을 적층하는 단계;를 포함하는 기술이 공지되어 있으며, 이때 하이브리드 필름은 300 ohm/평방 이하의 시트 저항을 가지는 것으로 나타난다.
그러나, 종래의 롤-투-롤 방식에 의한 그래핀 필름을 제조하는 방법은 업계에서 달성하고자 하는 물성을 달성하지 못하므로 보다 개선된 물리적 또는 전기적 성질을 가지는 그래핀 기판을 제조하는 기술 개발이 여전히 필요한 실정이다.
한국공개특허 10-2012-0111659호(2012.10.10) 한국공개특허 제10-2016-0026834호(2016.03.09.)
본 발명의 주된 목적은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 스프레이 공정 및 롤-프레스 공정을 이용하여 그래핀을 기판상에 코팅하는 경우 롤-프레스 공정에서의 공정 온도를 조절함으로써, 우수한 전도도를 가지는 그래핀 코팅된 기판의 제조 방법을 제공하는데 있다.
상기의 과제를 해결하기 위해 본 발명은, (1) 그래핀 잉크를 메쉬 형태의 기판 상에 스프레이 공정으로 코팅하는 단계; (2) 상기 그래핀 잉크가 코팅된 기판을 열처리 또는 마이크로웨이브를 가하여 건조하는 단계; (3) 상기 건조된 기판을 고온의 롤-프레스 공정으로 1차 가압하는 단계; 및 (4) 1차 가압된 기판을 저온의 롤-프레스 공정으로 2차 가압하는 단계;를 포함하는 그래핀 코팅된 기판의 제조방법을 제공한다.
또한, 일 실시예로서, 상기 (1) 단계에서 상기 스프레이 공정시 스프레이 분사부와 코팅되는 기판의 거리는 5-15 cm인 것을 특징으로 하며, 상기 스프레이 분사의 이동 속도는 2-8 cm/s일 수 있다.
또한, 일 실시예로서, 상기 (2) 단계에서 열처리의 온도는 50 ~ 100 ℃ 범위일 수 있다.
또한, 일 실시예로서, 상기 (3) 단계에서 고온의 열-프레스 공정 온도는 50 ~ 250 ℃ 범위일 수 있다.
또한, 일 실시예로서, 상기 (4) 단계에서 저온의 열-프레스 공정 온도는 10 ~ 100 ℃ 범위일 수 있다.
또한, 본 발명은 (1) 경화성 바인더 및 가소성 파우더을 포함하는 그래핀 잉크를 메쉬 형태의 기판 상에 스프레이 공정으로 코팅하는 단계; (2) 상기 그래핀 잉크가 코팅된 기판을 열처리 또는 마이크로웨이브를 가하여 건조하는 단계; (3) 상기 건조된 기판을 고온의 롤-프레스 공정으로 1차 가압하는 단계; 및 (4) 1차 가압된 기판을 저온의 롤-프레스 공정으로 2차 가압하는 단계;를 포함하는 그래핀 코팅된 기판의 제조방법을 제공한다.
또한, 일 실시예로서, 상기 (1) 단계에서 상기 스프레이 공정시 스프레이 분사부와 코팅되는 기판의 거리는 5-15 cm인 것을 특징으로 하며, 상기 스프레이 분사의 이동 속도는 2-8 cm/s일 수 있다.
또한, 일 실시예로서, 상기 (2) 단계에서 열처리의 온도는 50 ~ 100 ℃ 범위일 수 있다.
또한, 일 실시예로서, 상기 (3) 단계에서 고온의 열-프레스 공정 온도는 50 ~ 250 ℃ 범위일 수 있다.
또한, 일 실시예로서, 상기 (4) 단계에서 저온의 열-프레스 공정 온도는 10 ~ 100 ℃ 범위일 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 그래핀 코팅된 기판의 제조방법에 의해 제조된 그래핀 코팅된 기판을 제공한다.
본 발명에 따른 그래핀 코팅된 기판의 제조방법은 그래핀 잉크를 이용하여 메쉬 형태의 기판을 스프레이 공정으로 코팅한 후, 그래핀 코팅된 기판을 롤-프레스 공정으로 가압하여 그래핀 코팅된 기판을 제조할 수 있으며, 이렇게 제조된 제조된 그래핀 코팅된 기판은 수평 전기 전도도뿐만 아니라, 수직 전기 전도도도 우수한 성능을 나타낸다.
도 1은 본 발명에 따른 그래핀 코팅된 기판의 제조방법의 단계별 공정을 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 그래핀 코팅된 기판을 롤 형태로 감은 후 다시 펼쳤을 때의 각 단계별 사진이다.
도 3은 본 발명에 따른 그래핀 코팅된 기판을 1회 구부린 후 다시 펼쳤을 때의 사진이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 코팅된 기판의 수직 열전도도 및 수평 열전도도를 측정한 결과이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 일시예에 따른 그래핀 코팅된 기판의 수직 열전도도 및 수평 열전도도를 측정한 결과이다.
다른 식으로 정의되지 않는 한, 본 명세서에서 사용된 모든 기술적 및 과학적 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 숙련된 전문가에 의해서 통상적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로, 본 명세서에서 사용된 명명법 은 본 기술분야에서 잘 알려져 있고 통상적으로 사용되는 것이다.
본원 명세서 전체에서 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
본 발명에 따른 그래핀 코팅된 기판의 제조방법은, 도 1에서 도시한 바와 같이, (1) 그래핀 잉크를 메쉬 형태의 기판 상에 스프레이 공정으로 코팅하는 단계; (2) 상기 그래핀 잉크가 코팅된 기판을 열처리 또는 마이크로웨이브를 가하여 건조하는 단계; (3) 상기 건조된 기판을 고온의 롤-프레스 공정으로 1차 가압하는 단계; 및 (4) 1차 가압된 기판을 저온의 롤-프레스 공정으로 2차 가압하는 단계;를 포함한다.
상기 (1) 단계는 그래핀 잉크를 이용하여 기판 상에 스프레이 공정을 통하여 코팅하는 단계이다.
본 명세서에서 사용되는 "그래핀" 이라는 용어는 복수개의 탄소원자들이 서로 공유결합으로 연결되어 폴리시 클릭 방향족 분자를 형성하는 그래핀이 층 또는 시트 형태를 형성한 것으로서, 상기 공유결합으로 연결된 탄소 원자들은 기본 반복단위로서 6 원환을 형성하나, 5 원환 및/또는 7 원환을 더 포함하는 것도 가능하다. 따라서 상기 그래핀은 서로 공유 결합된 탄소원자들(통상 sp2 결합)의 단일층으로서 보이게 된다. 상기 그래핀은 다양한 구조를 가질 수 있으며, 이와 같은 구조는 그래핀 내에 포함될 수 있는 5 원환 및/또는 7 원환의 함량에 따라 달라질 수 있다. 상기 그래핀은 상술한 바와 같이 그래핀의 단일층으로 이루어질 수 있으나, 이들이 여러 개 서로 적층되어 복수층을 형성하는 것도 가능하며, 통상 상기 그래핀의 측면 말단부는 수소원자로 포화될 수 있다.
이때, 상기 (1) 단계에서 상기 그래핀 잉크은 그래핀을 스프레이 코팅할 수 있는 용액이라면 특별한 제한 없이 사용될 수 있다. 또한 상기 그래핀 잉크에서 그래핀의 농도는 스프레이 코팅을 실시할 수 있는 정도라면 특별한 제한 없이 적용될 수 있다.
상기 그래핀 잉크는 슬러리 형태이며, 그래핀 잉크내 그래핀은 적적한 용매내 혼합 또는 분산되는 형태이다.
또한, 상기 (1) 단계에서 그래핀 잉크를 코팅하는 기판은 특별한 제한이 있는 것은 아니지만 일반적으로는 ITO 가 코팅된 유리 기판 등 투명전극이 코팅된 유리기판이나 금속기판일 수 있다.
일 실시예로서, 상기 기판은 실리콘, Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr, 황동(brass), 청동(bronze), 백동(white brass), 스테인레스 스틸(stainless steel) 및 Ge 로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나 이상의 금속 또는 합금을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
상기 스프레이 코팅시 원활한 코팅을 위해 비활성기체를 주입하는 단계를 더 포함하는 것이 바람직하며, 상기 비활성 기체는 300-500 cc/min의 유속으로 투입되는 것이 바람직하다. 상기 비활성 기체가 300 cc/min 미만으로 주입되면 필름의 표면형상 조절이 불가하며, 상기 비활성 기체가 500 cc/min를 초과하게 되면 두께의 조절에 문제가 발생될 수 있다.
스프레이 코팅 공정에서는, 압축기로 압축한 0.1∼10 MPa의 공기, 질소, 아르곤 등의 압축 기체를 사용하여, 분무기, 에어건 등의 기체-액체 혼합 장치를 통하여, 고압 고속의 기체와 액체의 혼합물을, 기판 표면에 분출한다. 이 때, 그래핀 분산액이 기판 표면에 접촉하면, 그래핀은 기판 표면에 용이하게 접촉, 접착되고, 기체는 기류에 의해 용이하게 건조, 증발된다. 또한, 필요에 따라 고온으로 유지한 액체, 기체를 사용하면, 및/또는, 기판 표면을 별도로 가열하면, 그래핀을 기판 표면에 효율적으로 코팅할 수 있다. 투명 도전막이나 도전막 및 전극 시트 등을 대량 생산하는 경우에는, 롤투롤 방식으로 기판을 공급하면서, 스프레이 코팅으로 고압의 기체와 그래핀 분산액을, 고속으로 기판 표면에 분출함으로써, 높은 생산성으로 성막을 실시할 수 있다.
상기 스프레이 공정시 스프레이 분사부와 기판의 거리는 5-15 ㎝인 것이 바람직한데, 상기 거리가 5 ㎝ 미만인경우에는 두께가 너무 두꺼워지면서 균일한 코팅을 달성하기 어려워 바람직하지 않으며, 상기 분사의 거리가 15㎝를 초과하게 되면 충분한 코팅 효과를 달성하기 어려워 바람직하지 않다.
또한, 상기 스프레이 공정시 스프레이 분사부와 기판의 거리가 5-15 ㎝이면서, 상기 스프레이 공정시 스프레이 분사의 이동 속도는 2-8 ㎝/s 인 것이 바람직한데, 상기 이동 속도가 2 ㎝/s 미만인 경우에는 코팅의 두께가 지나치게 두꺼워지면서 코팅 시간이 지체되어 바람직하지 않으며, 상기 이동속도가 8 ㎝/s를 초과하는 경우에는 충분한 코팅 효과를 달성하기 어려워 바람직하지 않다.
이후, 상기 (2) 단계에서 그래핀 잉크가 코팅된 기판을 열처리 또는 마이크로웨이브를 가하여 그래핀 잉크내 용매를 제거한다.
이 때, 열처리는 오븐에서 건조하는 방법을 이용할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 열처리의 온도는 50 ~ 100 ℃ 범위인 것이 바람직하다.
또한, 그래핀 잉크가 코팅된 기판을 마이크로웨이브를 가하여 그래핀 잉크내 용매를 제거하는 건조 공정을 수행할 수 있으며, 이때 마이크로웨이브를 발생시키는 진공 마이크로웨이브 챔버내로 상기 (1) 단계에서 수득된 그래핀 코팅된 기판을 공급한다.
상기 열처리 또는 마이크로웨이브를 이용한 그래핀 코팅된 기판의 건조 공정은 1~48 시간 수행하는 것이 바람직하다.
구체적으로, 상기 (3) 단계에서 기판 상에 그래핀 코팅막을 치밀하게 형성하여 그래핀 코팅된 기판의 전기 전도도를 향상하기 위한 공정으로서 1차 가압하는 공정을 수행한다. 이때, 상기 고온의 롤-프레스 공정 온도는 50 ~ 250 ℃ 범위인 것이 바람직하다.
또한, 상기 (4) 단계에서 기판 상에 그래핀 코팅막을 더욱 치밀하게 형성하기 위한 공정으로서 저온의 열-프레스 공정을 수행한다. 이때, 상기 (4) 단계에서 저온의 열-프레스 공정 온도는 10 ~ 100 ℃ 범위인 것이 바람직하다.
본 발명의 또 다른 그래핀 코팅된 기판의 제조방법은 (1) 경화성 바인더 및 가소성 파우더을 포함하는 그래핀 잉크를 메쉬 형태의 기판 상에 스프레이 공정으로 코팅하는 단계; (2) 상기 그래핀 잉크가 코팅된 기판을 열처리 또는 마이크로웨이브를 가하여 건조하는 단계; (3) 상기 건조된 기판을 고온의 롤-프레스 공정으로 1차 가압하는 단계; 및 (4) 1차 가압된 기판을 저온의 롤-프레스 공정으로 2차 가압하는 단계;를 포함한다.
상기 (1) 단계는 경화성 바인더 및 가소성 파우더를 포함하는 그래핀 잉크를 이용하여 기판 상에 스프레이 공정을 통하여 코팅하는 단계이다.
이후, 상기 (2) 단계에서 그래핀 잉크가 코팅된 기판을 열처리 또는 마이크로웨이브를 가하여 건조하는 단계; (3) 상기 건조된 기판을 고온의 롤-프레스 공정으로 1차 가압하는 단계; 및 (4) 1차 가압된 기판을 저온의 롤-프레스 공정으로 2차 가압하는 단계;는 상기에서 설명한 바와 동일하다.
또한, 본 발명은 상기 그래핀 코팅된 기판의 제조방법에 의해 제조된 그래핀 코팅된 기판을 제공하며, 이때 그래핀 코팅된 기판내 그래핀 층은 1층 내지 50 층의 그래핀을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
본 발명에 따라 제조된 그래핀 기판은 리튬 이온 전지의 전극재나 방열 시트 등에서 응용될 수 있다. 이때, 리튬 이온 전지의 전극재나 방열 시트 등과 같이, 광투과성을 필요로 하지 않는 소재에 이용되는 경우에는, 기판 표면에, 다층그래핀을 두껍게 적층시켜 두꺼운 그래핀층(얇은 흑연층이라고도 할 수 있음)을 형성시키는 것이 유용하다.
또한, 본 발명에 따라 제조된 그래핀 기판은 우수한 전기 전도도를 나타낼 뿐만 아니라, 하기 도 2에서 도시한 바와 같이 높은 유연성 성질을 나타내어 차세대 플렉서블 소자에 응용될 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 그래핀 코팅된 기판의 제조방법은 하기의 실시예를 통해 보다 구체적으로 설명하겠는 바, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
실험예 1. 기판의 물성 측정
본 발명에 따라 제조된 그래핀 기판을 제조하여 물성을 측정한 결과를 하기 표 1에 나타내었다. 본 발명에 따라 제조된 그래핀 기판은 우수한 전기 전도도, 열 전도도 및 전자 차폐능을 가지는 것으로 확인되었다.
[표 1]
Figure pat00001
실험예 2. 기판의 유연성 측정
그래핀 기판의 두께(260~205μm) 및 밀도(1.96~2.82 g/cc)를 변경하면서, 본 발명에 따른 그래핀 기판을 제조하였으며, 제조된 기판을 1회 구부린 후 그래핀 기판의 균열 상태를 유관으로 관찰한 결과를 하기 도 3에 나타내었다. 본 발명에 따라 제조된 그래핀 기판에서는 크랙(crack)이 발견되지 않은 반면, 종래의 방법으로 제조된 그래핀 기판은 더 낮은 밀도를 가짐에도 불구하고 구부린 선을 따라 균열 현상이 발견되었다.
실험예 3. 기판의 열전도도 측정
본 발명에 따라 제조된 그래핀 기판을 제조하여 수직 열전도도와 수평 열전도도를 측정한 결과를 하기 도 4 및 도 5에 나타내었으며, 본 발명에 따라 제조된 그래핀 기판은 우수한 수평 열전도도 및 수직 열전도도를 나타내는 것을 확인하였다.
이상으로 본 발명 내용의 특정한 부분을 상세히 기술하였는 바, 당업계의 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 이러한 구체적 기술은 단지 바람직한 실시양태일 뿐이며, 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되는 것이 아닌 점은 명백할 것이다. 따라서, 본 발명의 실질적은 범위는 첨부된 청구항들과 그것들의 등가물에 의하여 정의된다고 할 것이다.

Claims (11)

  1. (1) 그래핀 잉크를 메쉬 형태의 기판 상에 스프레이 공정으로 코팅하는 단계;
    (2) 상기 그래핀 잉크가 코팅된 기판을 열처리 또는 마이크로웨이브를 가하여 건조하는 단계;
    (3) 상기 건조된 기판을 고온의 롤-프레스 공정으로 1차 가압하는 단계; 및
    (4) 1차 가압된 기판을 저온의 롤-프레스 공정으로 2차 가압하는 단계;를 포함하는 그래핀 코팅된 기판의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 (1) 단계에서 상기 스프레이 공정시 스프레이 분사부와 코팅되는 기판의 거리는 5-15 cm인 것을 특징으로 하며, 상기 스프레이 분사의 이동 속도는 2-8 cm/s인 것을 특징으로 하는 그래핀 코팅된 기판의 제조방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 (2) 단계에서 열처리의 온도는 50 ~ 100 ℃ 범위인 것을 특징으로 하는 그래핀 코팅된 기판의 제조방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 (3) 단계에서 고온의 열-프레스 공정 온도는 50 ~ 250 ℃ 범위인 것을 특징으로 하는 그래핀 코팅된 기판의 제조방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 (4) 단계에서 저온의 열-프레스 공정 온도는 10 ~ 100 ℃ 범위인 것을 특징으로 하는 그래핀 코팅된 기판의 제조방법.
  6. (1) 경화성 바인더 및 가소성 파우더을 포함하는 그래핀 잉크를 메쉬 형태의 기판 상에 스프레이 공정으로 코팅하는 단계;
    (2) 상기 그래핀 잉크가 코팅된 기판을 열처리 또는 마이크로웨이브를 가하여 건조하는 단계;
    (3) 상기 건조된 기판을 고온의 롤-프레스 공정으로 1차 가압하는 단계; 및
    (4) 1차 가압된 기판을 저온의 롤-프레스 공정으로 2차 가압하는 단계;를 포함하는 그래핀 코팅된 기판의 제조방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 (1) 단계에서 상기 스프레이 공정시 스프레이 분사부와 코팅되는 기판의 거리는 5-15 cm인 것을 특징으로 하며, 상기 스프레이 분사의 이동 속도는 2-8 cm/s인 것을 특징으로 하는 그래핀 코팅된 기판의 제조방법.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 (2) 단계에서 열처리의 온도는 50 ~ 100 ℃ 범위인 것을 특징으로 하는 그래핀 코팅된 기판의 제조방법.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 (3) 단계에서 고온의 열-프레스 공정 온도는 50 ~ 250 ℃ 범위인 것을 특징으로 하는 그래핀 코팅된 기판의 제조방법.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 (4) 단계에서 저온의 열-프레스 공정 온도는 10 ~ 100 ℃ 범위인 것을 특징으로 하는 그래핀 코팅된 기판의 제조방법.
  11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 따른 그래핀 코팅된 기판의 제조방법에 의해 제조된 그래핀 코팅된 기판.
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KR20160026834A (ko) 2013-03-14 2016-03-09 나노텍 인스트러먼츠, 인코포레이티드 복합 그래핀 및 전도성 나노 필라멘트로부터 전도성 투명 필름의 초음파 분무 코팅

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