KR20210022798A - 웨이퍼 캐리어 보관 장치 - Google Patents

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KR20210022798A
KR20210022798A KR1020190101592A KR20190101592A KR20210022798A KR 20210022798 A KR20210022798 A KR 20210022798A KR 1020190101592 A KR1020190101592 A KR 1020190101592A KR 20190101592 A KR20190101592 A KR 20190101592A KR 20210022798 A KR20210022798 A KR 20210022798A
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김동민
김상민
김종삼
박기남
박철준
방상아
안용준
이준용
최동철
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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어 보관 장치는, 웨이퍼 캐리어를 감지하는 재하센서가 설치된 선반을 포함하고, 상기 웨이퍼 캐리어의 수용 공간을 제공하는 웨이퍼 캐리어 보관부, 상기 웨이퍼 캐리어에 퍼지가스를 공급하기 위한 복수의 공급 노즐들, 상기 복수의 공급 노즐들에 각각 연결되는 복수의 배관들, 및 상기 복수의 배관들 중 어느 하나를 통과하는 퍼지가스의 유량을 감지하는 유량센서를 포함하는 퍼지가스 공급부, 및 상기 유량센서에 의해 감지된 퍼지가스의 유량이 소정의 기준 범위를 벗어나는 경우, 상기 웨이퍼 캐리어에 공급되는 퍼지가스가 누설되는 것으로 판단하고 알람을 발생시키는 컨트롤러를 포함할 수 있다.

Description

웨이퍼 캐리어 보관 장치{WAFER CARRIER STORAGE APPARATUS}
본 발명은 웨이퍼 캐리어 보관 장치에 관한 것이다.
반도체 패키지 제조 공정의 각 단계를 수행하기 위해, 웨이퍼를 일정 시간 보관할 필요가 있다. 이를 위한 설비로서, 웨이퍼 캐리어 보관 장치가 널리 이용되고 있다.
웨이퍼 캐리어 보관 장치는 웨이퍼 캐리어 내부의 퓸(fume)을 제거하고 웨이퍼의 산화를 방지하기 위해 웨이퍼 캐리어 내부로 퍼지가스를 공급하여 웨이퍼 캐리어 내부의 청정도를 유지할 수 있다. 그런데, 기존의 웨이퍼 캐리어 보관 장치는, 웨이퍼 캐리어 내부로 공급하는 퍼지가스의 주입 유무만 확인할 수 있을 뿐, 퍼지가스가 누설되는 지 여부는 확인할 수 없다는 문제가 존재한다.
본 발명의 기술적 사상이 이루고자 하는 기술적 과제 중 하나는, 웨이퍼 캐리어에 공급되는 퍼지가스의 유출 여부를 모니터링할 수 있는 웨이퍼 캐리어 보관 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 실시예들에 따른 웨이퍼 캐리어 보관 장치는, 웨이퍼 캐리어를 감지하는 재하센서가 설치된 선반을 포함하고, 상기 웨이퍼 캐리어의 수용 공간을 제공하는 웨이퍼 캐리어 보관부, 상기 웨이퍼 캐리어에 퍼지가스를 공급하기 위한 복수의 공급 노즐들, 상기 복수의 공급 노즐들에 각각 연결되는 복수의 배관들, 및 상기 복수의 배관들 중 어느 하나를 통과하는 퍼지가스의 유량을 감지하는 유량센서를 포함하는 퍼지가스 공급부, 및 상기 유량센서에 의해 감지된 퍼지가스의 유량이 소정의 기준 범위를 벗어나는 경우, 상기 웨이퍼 캐리어에 공급되는 퍼지가스가 누설되는 것으로 판단하고 알람을 발생시키는 컨트롤러를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 웨이퍼 캐리어 보관 장치는, 웨이퍼 캐리어의 내부로 공급되는 퍼지가스의 누설을 사전에 감지함으로써, 웨이퍼 캐리어 내부의 청정도 저하에 따른 웨이퍼의 산화를 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예들에 따른 웨이퍼 캐리어 보관 장치는, 최소한의 유량센서를 이용하여 웨이퍼 캐리어의 내부로 공급되는 퍼지가스의 누설을 감지함으로써, 제품의 단가 상승을 최소화할 수 있다.
본 발명의 다양하면서도 유익한 장점 및 효과는 상술한 내용에 한정되지 않으며, 본 발명의 구체적인 실시예를 설명하는 과정에서 보다 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어 보관 장치를 간단하게 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 퍼지가스 공급부를 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2의 제어기의 구성을 나타낸 블록도이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 퍼지가스 누설 구간을 설명하기 위한 도면들이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어 보관 장치의 동작 방법을 나타낸 흐름도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들에 대해 상세하게 설명한다. 도면 상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고 동일한 구성요소에 대한 중복된 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어 보관 장치를 간단하게 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 웨이퍼 캐리어 보관 장치(1)는 웨이퍼 캐리어 보관부(10), 퍼지가스 공급부(20) 및 컨트롤러(30)를 포함할 수 있다.
웨이퍼 캐리어 보관부(10)는 적어도 하나의 선반(shelf)을 포함할 수 있으며, 복수의 웨이퍼 캐리어들의 수용 공간을 제공할 수 있다.
선반은 웨이퍼 캐리어를 안착 및 지지하기 위한 복수의 안착핀들 및 적어도 하나의 재하센서(placement sensor)를 포함할 수 있다. 재하센서는 웨이퍼 캐리어가 안착되는 선반 상의 적어도 하나의 지점에 배치되고, 웨이퍼 캐리어의 안착 여부를 감지할 수 있다. 재하센서가 선반 위에 안착된 웨이퍼 캐리어를 감지한 경우, 컨트롤러(30)는 퍼지가스 공급 밸브를 개방하여 퍼지가스 공급부(20)가 웨이퍼 캐리어의 내부로 퍼지가스를 공급하도록 제어할 수 있다.
퍼지가스 공급부(20)는 선반 상에 배치되는 복수의 공급 노즐들, 적어도 하나의 배출 노즐, 및 복수의 공급 노즐들과 배출 노즐 각각에 연결되는 복수의 배관들을 포함할 수 있다.
퍼지가스 공급부(20)는 복수의 공급 노즐들을 통해, 선반에 안착된 웨이퍼 캐리어의 내부로 퍼지가스를 공급할 수 있다.
퍼지가스 공급부(20)는 복수의 배관들을 포함하는 다배관 구조를 가질 수 있다. 퍼지가스 공급부(20)는 다배관 구조를 가짐으로써, 웨이퍼 캐리어의 내부로 퍼지가스를 균일하게 공급할 수 있다.
복수의 배관들은 퍼지가스의 공급 및 배출 수단으로 이용될 수 있다. 예컨대, 복수의 배관들은 3 개의 공급 배관들과 1 개의 배출 배관으로 구성될 수 있다. 이 경우, 퍼지가스 공급부(20)는 3 개의 공급 배관들을 통해 웨이퍼 캐리어의 내부로 퍼지가스를 공급할 수 있다. 또한, 웨이퍼 캐리어의 내부로 공급된 퍼지가스는 1 개의 배출 배관을 통해 웨이퍼 캐리어의 외부로 배출될 수 있다.
퍼지가스 공급부(20)는 복수의 공급 노즐들 각각에 연결된 복수의 배관들 중 어느 하나에 연결되는 유량센서를 더 포함할 수 있다. 유량센서는 복수의 배관들 중 어느 하나를 통해 웨이퍼 캐리어로 공급되는 퍼지가스의 유량을 감지할 수 있다. 그리고, 유량센서에 의해 감지된 퍼지가스의 유량이 기 설정된 범위를 벗어나는 경우, 퍼지가스가 누설된 것으로 간주할 수 있다.
컨트롤러(30)는 웨이퍼 캐리어가 선반에 안착된 경우, 퍼지가스 공급부(20)가 웨이퍼 캐리어의 내부로 퍼지가스를 공급하도록 퍼지가스 공급 밸브를 개방시킬 수 있다.
컨트롤러(30)는 퍼지가스 공급부(20)의 유량센서에 의해 감지된 퍼지가스의 유량 변화를 모니터링할 수 있다. 그리고, 유량센서에 의해 감지된 퍼지가스의 유량이 기 설정된 범위를 벗어나는 경우, 퍼지가스가 누설된 것으로 판단하고, 알람을 발생시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어 보관 장치(1)는, 웨이퍼 캐리어의 내부로 공급되는 퍼지가스의 누설을 사전에 감지함으로써, 웨이퍼 캐리어 내부의 청정도 저하에 따른 웨이퍼의 산화를 방지할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 퍼지가스 공급부를 나타낸 도면이다.
도 2를 참조하면, 퍼지가스 공급부(20)는 선반 상에 배치되는 제1 내지 제3 공급 노즐들(21-1 내지 21-3), 제1 내지 제3 공급 노즐들(21-1 내지 21-3) 각각에 연결되는 제1 내지 제3 배관들(23-1 내지 23-3), 및 제1 내지 제3 배관들(23-1 내지 23-3) 중 어느 하나에 연결되는 유량센서(25)를 포함할 수 있다.
웨이퍼 보관부의 선반에 웨이퍼 캐리어가 안착되는 경우, 컨트롤러(30)는 재하센서(PS)로부터 웨이퍼 캐리어 감지 신호(S1)를 수신하고, 퍼지가스 공급 밸브를 개방하여 퍼지가스 공급부(20)로 퍼지가스를 유입시킬 수 있다. 이 경우, 퍼지가스 공급부(20)는 제1 내지 제3 공급 노즐들(21-1 내지 21-3)을 통해, 웨이퍼 캐리어의 내부로 퍼지가스를 공급할 수 있다. 일부 예에서, 퍼지가스는 질소(N2)와 같은 불활성 가스를 포함할 수 있다.
퍼지가스 공급부(20)는 웨이퍼 캐리어의 내부로 퍼지가스를 균일하게 공급하기 위해 복수의 배관들(23-1 내지 23-3)을 포함하는 다배관 구조를 가질 수 있다. 한편, 도 2에서는 퍼지가스 공급부(20)가 3 개의 배관들(23-1 내지 23-3)을 포함하는 것을 도시하나, 이는 예시적인 것이므로 본 발명의 실시예들이 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 퍼지가스 공급부(20)는 2 개 또는 4 개의 배관들을 포함할 수도 있다.
제1 내지 제3 배관들(23-1 내지 23-3)이 공급 노즐(21-1 내지 21-3)을 통해 웨이퍼 캐리어와 밀착된 상태를 유지하는 경우(정상상태), 제1 내지 제3 배관들(23-1 내지 23-3)은 서로 동일한 압력을 가질 수 있고, 각 배관(23-1 내지 23-3)을 통해 공급되는 퍼지가스의 유량은 균일할 수 있다. 예컨대, 퍼지가스 공급 밸브(GV)를 통해 퍼지가스 공급부(20)로 30 LPM의 퍼지가스가 유입되는 경우, 제1 내지 제3 배관들(23-1 내지 23-3) 각각을 통해 웨이퍼 캐리어의 내부로 공급되는 퍼지가스의 유량은 10 LPM일 수 있다.
이에 반해, 제1 내지 제3 배관들(23-1 내지 23-3) 중 적어도 일부가 공급 노즐(21-1 내지 21-3)을 통해 웨이퍼 캐리어와 밀착된 상태를 유지하지 못하는 경우(이상상태), 해당 배관의 압력이 저하되어 각 배관(23-1 내지 23-3)을 통해 공급되는 퍼지가스의 유량이 불균일해 질 수 있다. 예컨대, 정상상태에서 각각 10 LPM(liter per minute)의 유량을 갖는 제1 내지 제3 배관들(23-1 내지 23-3)은, 이상상태에서 각각 6 LPM, 13 LPM 및 4 LPM의 유량을 가질 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어 보관 장치는 복수의 배관들(23-1 내지 23-3) 중 어느 한 배관의 유량 변화를 모니터링함으로써, 웨이퍼 캐리어의 내부로 공급되는 퍼지가스가 누설되는지 여부를 판별할 수 있다.
유량센서(25)는 제1 내지 제3 배관들(23-1 내지 23-3) 중 어느 한 배관을 통해 웨이퍼 캐리어의 내부로 공급되는 퍼지가스의 유량을 감지할 수 있다. 유량 센서(25)가 감지한 퍼지가스의 유량 정보(S2)는 컨트롤러(30)로 전달될 수 있으며, 특정 배관에서 감지된 퍼지가스의 유량이 소정의 기준 범위를 벗어나는 경우, 컨트롤러(30)는 퍼지가스가 누설되는 것으로 판단하여 알람을 발생시킬 수 있다. 일 실시예에서, 컨트롤러(30)는, 유량 센서(25)가 감지한 퍼지가스의 유량이 웨이퍼 캐리어의 내부로 공급되는 퍼지가스의 총 유량을 복수의 배관들에 균분한 값의 20 %를 초과하는 경우, 퍼지가스가 누설되는 것으로 판단하여 알람을 발생시킬 수 있다. 예컨대, 웨이퍼 캐리어의 내부로 총 30 LPM이 공급되는 경우로서 3 개의 배관들(23-1 내지 23-3) 중 어느 한 배관에서 감지된 퍼지가스의 유량이 8 LPM 미만이거나 12 LPM을 초과하는 경우, 컨트롤러(30)는 퍼지가스가 누설되는 것으로 판단하여 알람을 발생시킬 수 있다.
한편, 퍼지가스 공급부(20)는 퍼지가스 공급 밸브(GV)와 복수의 공급 노즐들(21-1 내지 21-3) 사이에 배치되는 파티클 필터(particle filter, 27)를 더 포함할 수 있다. 파티클 필터(27)는 웨이퍼 캐리어의 내부로 공급되는 퍼지가스에 포함된 불순물 입자들을 제거함으로써, 퍼지가스의 순도 저하에 따른 웨이퍼의 오염을 방지할 수 있다. 또는, 유량센서(25)가 파티클 필터를 내장함으로써 웨이퍼 캐리어의 내부로 공급되는 퍼지가스에 포함된 불순물 입자들을 제거할 수도 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 컨트롤러의 구성을 나타낸 도면이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 퍼지가스 누설 구간을 설명하기 위한 도면들이다.
우선 도 3을 참조하면, 컨트롤러(30)는 퍼지가스 공급 제어부(31), 퍼지가스 누설 감지부(33) 및 알람부(35)를 포함할 수 있다.
웨이퍼 캐리어 보관부의 재하센서가 선반에 안착된 웨이퍼 캐리어를 감지한 경우, 퍼지가스 공급 제어부(31)는 퍼지가스 공급 밸브를 개방하여 웨이퍼 캐리어의 내부로 퍼지가스를 공급하도록 제어할 수 있다. 퍼지가스 공급 밸브를 통해 퍼지가스 공급부로 유입된 퍼지가스는 복수의 배관들을 통해 웨이퍼 캐리어의 내부로 공급될 수 있다.
퍼지가스 누설 감지부(33)는 퍼지가스 공급부의 유량센서에 의해 감지된 퍼지가스의 유량 변화에 기초하여, 웨이퍼 캐리어의 내부로 공급되는 퍼지가스의 누설 여부를 검출할 수 있다.
일 실시예에서, 퍼지가스 누설 감지부(33)는 퍼지가스 공급부의 특정 배관을 통해 웨이퍼 캐리어의 내부로 공급되는 퍼지가스의 유량이 소정의 기준 범위를 벗어나는 경우, 퍼지가스가 누설되는 것으로 판단할 수 있다.
예컨대, 도 4를 참조하면, 특정 배관을 통해 공급되는 퍼지가스의 유량이 제1 임계치(Gth1) 이하이고 제2 임계치(Gth2) 이상인 경우(구간 A,C,E), 퍼지가스 누설 감지부(33)는 웨이퍼 캐리어의 내부로 퍼지가스가 정상적으로 공급되고 있다(정상상태)고 판단할 수 있다. 반대로, 특정 배관을 통해 공급되는 퍼지가스의 유량이 제1 임계치(Gth1)를 초과하거나 제2 임계치(Gth2) 보다 작은 경우(구간 B,D), 퍼지가스 누설 감지부(33)는 웨이퍼 캐리어의 내부로 공급되는 퍼지가스가 누설되고 있다고 판단할 수 있다. 이 경우, 퍼지가스 누설 감지부(33)는 알람부(35)를 제어하여, 사용자에게 해당 웨이퍼 캐리어를 다른 웨이퍼 캐리어 보관부로 이동시킬 것을 경고할 수 있다.
일 실시예에서, 퍼지가스 누설 감지부(33)는 퍼지가스 공급부의 특정 배관을 통해 웨이퍼 캐리어의 내부로 공급되는 퍼지가스의 유량 변화에 기초하여, 퍼지가스의 누설 여부를 단계적으로 감지할 수 있다.
예컨대, 도 5를 참조하면, 특정 배관을 통해 공급되는 퍼지가스의 유량이 제1 기준 범위(제1 임계치(Gth1) 이상 및 제2 임계치(Gth2) 이하의 범위) 내에 속하지만 제2 기준 범위(제3 임계치(Gth3) 이상 및 제4 임계치(Gth4) 이하의 범위)를 벗어나는 경우(구간 A2, C1, C3, E1), 퍼지가스 누설 감지부(33)는 퍼지가스의 누설이 발생할 가능성이 높은 것으로 판단할 수 있다. 이 경우, 퍼지가스 누설 감지부(33)는 알람부(35)를 제어하여, 사용자에게 퍼지가스 공급부의 복수의 배관들의 상태를 점검할 것을 경고할 수 있다. 이와 달리, 특정 배관을 통해 공급되는 퍼지가스의 유량이 제1 기준 범위를 벗어나는 경우(구간 B, D), 퍼지가스 누설 감지부(33)는 웨이퍼 캐리어의 내부로 공급되는 퍼지가스가 누설되고 있다고 판단할 수 있다. 이 경우, 퍼지가스 누설 감지부(33)는 알람부(35)를 제어하여, 사용자에게 해당 웨이퍼 캐리어를 다른 웨이퍼 캐리어 보관부로 이동시킬 것을 경고할 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어 보관 장치의 동작 방법을 나타낸 흐름도이다.
설명의 편의를 위해 도 1 및 도 6을 함께 참조하면, 컨트롤러(30)는 웨이퍼 캐리어 보관부(10)의 재하센서를 이용하여 선반 위에 웨이퍼 캐리어가 안착되었는지 여부를 모니터링할 수 있다(S610).
재하센서가 선반 위에 안착된 웨이퍼 캐리어를 감지한 경우(S620의 '예'), 단계 S630에서, 퍼지가스 공급부(20)는 컨트롤러(30)에 의해 개방된 퍼지가스 공급 밸브를 통해 유입되는 퍼지가스를 복수의 배관들을 통해 웨이퍼 캐리어의 내부로 공급할 수 있다.
퍼지가스가 누설되지 않는 정상상태에서, 복수의 배관들 각각을 통해 웨이퍼 캐리어의 내부로 공급되는 퍼지가스의 유량은 균일할 수 있다. 이에 반해, 퍼지가스가 누설되는 이상상태에서, 복수의 배관들 각각을 통해 웨이퍼 캐리어의 내부로 공급되는 퍼지가스의 유량은 불균일할 수 있다. 따라서, 컨트롤러(30)는 퍼지가스 공급부(20)의 복수의 배관들 중 어느 하나를 통해 웨이퍼 캐리어의 내부로 공급되는 퍼지가스의 유량이 소정의 기준 범위를 이탈하는 지 여부를 모니터링하여 퍼지가스의 누설 여부를 모니터링할 수 있다(S640).
컨트롤러(30)가 퍼지가스의 누설을 감지한 경우(S650의 '예'), 컨트롤러(30)는 알람부를 제어하여 사용자에게 해당 웨이퍼 캐리어를 다른 웨이퍼 캐리어 보관부로 이동시킬 것을 경고할 수 있다(S660).
이상의 도 1 내지 도 6을 참조하여 설명한 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어 보관 장치는, 웨이퍼 캐리어의 내부로 공급되는 퍼지가스의 누설을 사전에 감지함으로써, 웨이퍼 캐리어 내부의 청정도 저하에 따른 웨이퍼의 산화를 방지할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어 보관 장치는 스토커(stocker), PIB(Portable Interface Buffer), STB(Side Track Buffer), UTB(Under Track Buffer) 등과 같이 웨이퍼 자동 반송 시스템(Automated Material Handling System: AMHS)의 버퍼 기능을 수행하는 모든 저장장치에 응용될 수 있다.
본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니며 첨부된 청구범위에 의해 한정하고자 한다. 따라서, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이며, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다.
1 : 웨이퍼 캐리어 보관 장치
10 : 웨이퍼 캐리어 보관부
20 : 퍼지가스 공급부
30 : 컨트롤러
21-1, 21-2, 21-3 : 제1 내지 제3 공급 노즐들
23-1, 23-2, 23-3 : 제1 내지 제3 배관들
25 : 유량센서
PS : 재하센서
GV : 퍼지가스 공급 밸브
27 : 파티클 필터
31 : 퍼지가스 공급 제어부
33 : 퍼지가스 누설 감지부
35 : 알람부

Claims (8)

  1. 웨이퍼 캐리어를 감지하는 재하센서가 설치된 선반을 포함하고, 상기 웨이퍼 캐리어의 수용 공간을 제공하는 웨이퍼 캐리어 보관부;
    상기 웨이퍼 캐리어에 퍼지가스를 공급하기 위한 복수의 공급 노즐들, 상기 복수의 공급 노즐들에 각각 연결되는 복수의 배관들, 및 상기 복수의 배관들 중 어느 하나를 통과하는 퍼지가스의 유량을 감지하는 유량센서를 포함하는 퍼지가스 공급부; 및
    상기 유량센서에 의해 감지된 퍼지가스의 유량이 소정의 기준 범위를 벗어나는 경우, 상기 웨이퍼 캐리어에 공급되는 퍼지가스가 누설되는 것으로 판단하고 알람을 발생시키는 컨트롤러;를 포함하는,
    웨이퍼 캐리어 보관 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 컨트롤러는,
    상기 재하센서의 감지 결과에 기초하여 퍼지가스 공급 밸브를 개방함으로써, 상기 퍼지가스 공급부가 상기 웨이퍼 캐리어의 내부로 퍼지가스를 공급하도록 제어하는 퍼지가스 공급 제어부;
    상기 유량센서의 감지 결과에 기초하여 상기 웨이퍼 캐리어에 공급되는 퍼지가스의 누설 여부를 판별하는 퍼지가스 누설 감지부; 및
    상기 웨이퍼 캐리어에 공급되는 퍼지가스가 누설되는 경우 알람을 발생시키는 알람부;를 포함하는,
    웨이퍼 캐리어 보관 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 퍼지가스 공급부는,
    상기 웨이퍼 캐리어에 공급되는 퍼지가스의 불순물 입자들을 제거하기 위한 파티클 필터(particle filter)를 더 포함하는,
    웨이퍼 캐리어 보관 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 기준 범위는,
    상기 웨이퍼 캐리어에 공급되는 퍼지가스의 유량을 상기 복수의 배관들에 균분한 제1 값을 기준으로 미리 설정되는,
    웨이퍼 캐리어 보관 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 기준 범위는,
    상기 제1 값을 기준으로 20 % 이내의 범위인,
    웨이퍼 캐리어 보관 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 기준 범위는 제1 기준 범위 및 상기 제1 기준 범위에 속하는 제2 기준 범위를 포함하고,
    상기 복수의 배관들 중 어느 하나를 통과하는 퍼지가스의 유량이 상기 제1 기준 범위에는 속하지만 상기 제2 기준 범위를 벗어나는 경우, 상기 알람부는 상기 복수의 배관들의 상태 점검을 알리는 알람을 발생시키는,
    웨이퍼 캐리어 보관 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 기준 범위는 제1 기준 범위 및 상기 제1 기준 범위에 속하는 제2 기준 범위를 포함하고,
    상기 복수의 배관들 중 어느 하나를 통과하는 퍼지가스의 유량이 상기 제1 기준 범위를 벗어나는 경우, 상기 알람부는 상기 웨이퍼 캐리어에 공급되는 퍼지가스의 누설을 알리는 알람을 발생시키는,
    웨이퍼 캐리어 보관 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 퍼지 가스는 불활성 가스를 포함하는,
    웨이퍼 캐리어 보관 장치.
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KR102622458B1 (ko) * 2022-11-15 2024-01-09 멜콘 주식회사 기판 처리 시스템의 장애 검출 시스템 및 장애 검출 방법

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