KR20210013461A

KR20210013461A - 액적 검사 장치 및 액적 검사 방법

Info

Publication number: KR20210013461A
Application number: KR1020190090498A
Authority: KR
Inventors: 김종성; 민홍기
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2019-07-25
Filing date: 2019-07-25
Publication date: 2021-02-04

Abstract

본 발명의 일 실시예는, 제1방향으로 이송가능하며, 검사영역을 정의하는 격벽을 포함하는 베이스필름; 상기 검사영역에 형성된 잉크 액적의 휘발을 방지하기 위해 상기 검사영역을 봉지할 수 있는 봉지필름; 및 상기 봉지필름 상에 상기 봉지필름을 투과하여 상기 잉크 액적의 두께를 측정하는 측정 부재;를 포함하고, 상기 베이스필름의 외면은 친수성 성질을 띄는, 액적 검사 장치를 개시한다.

Description

액적 검사 장치 및 액적 검사 방법{Droplet inspection apparatus and method of inspecting droplet}

본 발명은 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 액적 검사 장치 및 액적 측정 방법에 관한 것이다.

이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.

이와 같은 이동형 전자기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 디스플레이 장치를 포함한다. 최근, 디스플레이 장치를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 디스플레이 장치가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.

상기와 같은 디스플레이 장치는 내부에 발광부를 구비하는 디스플레이 패널을 구비할 수 있다. 이때, 디스플레이 패널은 다양한 형태로 형성될 수 있으며, 다양한 제조방법으로 제조될 수 있다.

이러한 디스플레이 패널에는 다양한 층이 형성될 때 다양한 공정이 사용될 수 있다. 특히 디스플레이 패널의 다양한 층 중에서 유기물을 사용하는 경우 프린팅 공정을 통하여 유기물을 적층하거나 구조물을 형성할 수 있다. 이때, 일반적으로 프린팅 기법에서는 유기물 액적을 토출하여 다양한 층 또는 구조물을 형성할 수 있다. 특히 상기와 같은 프린팅 기법에서는 유기물 액적의 패턴을 어떻게 형성하느냐에 따라 디스플레이 패널의 해상도 등과 같은 인자를 결정할 수 있으므로 미리 테스트 기판에 유기물 액적을 패터닝한 후 메인 기판에 패터닝하는 것이 일반적이다.

한편, 유기물 액적은 평평한 테스트 기판 상에 토출되어 측정 장치로 액적을 측정한다.

본 발명의 실시예들은 신뢰성 높은 액적 검사 장치 및 액적 검사 방법을 제공하고자 한다.

일 실시예에 있어서, 제1가이드롤러 및 제2가이드롤러를 포함하는 가이드롤러부;를 더 포함하고, 상기 봉지필름은 상기 제1가이드롤러 및 상기 제2가이드롤러에 연결되며, 상기 제1가이드롤러는 상기 제1방향과 평행한 제2방향으로 이동가능할 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 가이드롤러부는 상기 제1방향과 교차하는 제3방향으로 이동가능할 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 가이드롤러부는 바디부; 상기 제1가이드롤러를 상기 바디부에 연결하며, 상기 제2방향으로 상기 제1가이드롤러를 이송할 수 있는 제1구동부; 및 상기 제2가이드롤러를 상기 바디부에 연결하고, 상기 제2방향으로 상기 제2가이드롤러를 이송할 수 있는 제2구동부;를 더 포함할 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 측정 부재는 상기 제1가이드롤러 및 상기 제2가이드롤러 사이에 배치되어 상기 제2방향으로 이동할 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 베이스필름 외면에 친수성 성질을 띄게 하기 위한 플라즈마 장치;를 더 포함할 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 베이스필름을 공급하는 필름공급부; 및 상기 베이스필름은 회수하는 필름회수부;를 더 포함하고, 상기 필름공급부 및 상기 측정 부재 사이에 상기 플라즈마 장치가 배치될 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 베이스필름을 평평하게 하기 위한 척;을 더 포함하고, 상기 척은 상기 베이스필름 하부에 배치될 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 측정 부재는 공초점 센서를 포함할 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 베이스필름 하부에 광원;을 더 포함하고, 상기 측정 부재는 상기 광원으로부터 방출된 광 중 상기 잉크 액적을 투과한 광의 강도를 측정할 수 있다.

본 발명의 다른 실시예는, 1방향으로 이송가능하며, 검사영역을 정의하는 격벽을 포함한 베이스필름을 공급하는 필름공급부; 상기 베이스필름에 잉크 액적을 토출하는 노즐부; 상기 베이스필름에 봉지필름을 공급하여 상기 검사영역을 차폐시키는 봉지필름공급부; 및 상기 봉지필름을 투과하여 상기 잉크 액적의 두께를 측정하는 측정 부재;를 포함하는, 액적 검사 장치를 개시한다.

본 발명의 또 다른 실시예는, 검사영역을 정의하는 격벽을 포함하는 베이스필름이 제1방향으로 이송되는 단계; 상기 검사영역에 잉크 액적이 형성되는 단계; 상기 잉크 액적의 휘발을 방지하기 위해 상기 검사영역을 봉지필름으로 봉지하는 단계; 및 상기 봉지필름을 투과하여 상기 잉크 액적의 두께를 측정하는 단계;를 포함하고, 상기 베이스필름의 외면은 친수성 성질을 띄는, 액적 검사 방법을 개시한다.

일 실시예에 있어서, 상기 봉지필름은 제1가이드롤러 및 제2가이드롤러에 연결되고, 상기 제1가이드롤러는 상기 제1방향과 평행한 제2방향으로 이동가능할 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 검사영역을 상기 봉지필름으로 봉지하는 단계는, 상기 제1가이드롤러가 상기 제2방향으로 이동하는 단계; 상기 제1가이드롤러 및 상기 제2가이드롤러가 제3방향으로 이동하는 단계; 및 상기 베이스필름에 상기 봉지필름이 부착되는 단계;를 포함할 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 제1방향 및 상기 제3방향은 수직할 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 잉크 액적의 두께를 측정하는 단계는, 측정 부재가 상기 제2방향으로 이동하면서 측정할 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 베이스필름 외면에 친수성 성질을 띄게하기 위해 친수성 처리 단계;를 더 포함할 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 친수성 처리 단계는 상기 베이스필름에 플라즈마 처리를 하여 상기 베이스필름 외면에 친수성 성질을 띄게할 수 있다.

일 실시예에 있어서, 척을 이용하여 상기 베이스필름을 평평하게 하는 단계;를 더 포함할 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 잉크 액적의 두께를 측정하는 단계는 공초점 센서를 이용할 수 있다.

상기한 바와 같이, 본 발명의 실시예들은 검사영역을 정의하는 격벽을 포함하여 실제 공정에서 잉크가 토출되는 환경과 유사하게 테스트를 수행할 수 있다.

또한, 상기 검사영역 상에 봉지필름을 배치하여 액적 토출 상태를 검사하는 도중에 잉크 액적의 휘발을 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 토출 장치를 보여주는 개념도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 측정 장치의 개략적인 단면도이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 실시예들에 따른 액적 측정 장치의 A 부분을 확대한 확대도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 측정 장치 중 베이스필름 및 가이드롤러부를 나타낸 단면도이다.
도 5은 본 발명의 다른 실시예에 따른 액적 측정 장치 중 베이스필름 및 가이드롤러부를 나타낸 단면도이다.
도 6a 내지 도 6h는 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 검사 장치의 검사 방법을 나타낸 단면도이다.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

이하의 실시예에서, 제1 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.

이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.

이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.

도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.

어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.

이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등이 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소들이 직접적으로 연결된 경우뿐만 아니라, 막, 영역, 구성요소들 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소들이 개재되어 간접적으로 연결된 경우도 포함한다. 예컨대, 본 명세서에서 막, 영역, 구성 요소 등이 전기적으로 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소 등이 직접 전기적으로 연결된 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 간접적으로 전기적 연결된 경우도 포함한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 토출 장치(1)를 보여주는 개념도이다.

도 1를 참조하면, 액적 토출 장치(1)는 스테이지(100), 갠트리(200), 노즐 이동부(300), 노즐부(400), 액적 측정 장치(500), 및 세정 장치(600)를 포함할 수 있다.

스테이지(100)는 가이드부재(110), 기판이동부재(120)를 포함할 수 있다. 스테이지(100)는 메인 기판(S)을 정렬하기 위한 언라인마크(미도시)를 포함할 수 있다.

가이드부재(110)는 기판이동부재(120)를 사이에 두고 양쪽에 이격되어 배치될 수 있다. 가이드부재(110)의 길이는 메인 기판(S)의 모서리 길이보다 더 길 수 있다. 이 때, 가이드부재(110)의 길이와 메인 기판(S)의 모서리의 길이는 도 1의 y 방향으로 측정될 수 있다.

가이드부재(110)에는 후술할 갠트리(200)가 배치될 수 있다. 일 실시예에서, 갠트리(200)가 가이드부재(110)의 길이 방향을 따라 선형 운동이 가능하도록 일정한 레일을 포함할 수 있다. 특히, 가이드부재(110)는 리니어 모션 레일(LM rail)을 구비할 수 있다.

기판이동부재(120)는 스테이지(100) 상에 배치될 수 있으며, 기판회전부재(130)를 포함할 수 있다. 기판이동부재(120)는 가이드부재(110)의 길이 방향을 따라 연장될 수 있다. 예를 들어 도 1을 참조하면, 기판이동부재(120)는 y 방향을 따라 연장될 수 있다. 기판이동부재(120)는 기판회전부재(130)가 선형 이동 가능하도록 일정한 레일을 포함할 수 있다. 특히, 기판이동부재(120)는 리니어 모션 레일(LM rail)을 구비할 수 있다.

기판회전부재(130)는 기판이동부재(120) 상에 배치될 수 있다. 구체적으로, 기판회전부재(130)는 메인 기판(S) 및 기판이동부재(120) 사이에 배치될 수 있다. 일 실시예에서, 기판회전부재(130)는 기판이동부재(120)를 따라 이동할 수 있다. 특히, 기판회전부재(130)는 리니어 모션 레일을 따라 이동하는 리니어 모션 블록(LM block)일 수 있다. 일 실시예에서, 기판회전부재(130)는 수동으로 선형 운동할 수 있다. 다른 실시예에서, 기판회전부재(130)는 모터, 실린더 등을 구비하여 자동으로 선형 운동할 수 있다.

기판회전부재(130)는 기판이동부재(120) 상에서 회전할 수 있다. 기판회전부재(130)가 회전하면, 기판회전부재(130) 상에 배치된 메인 기판(S)이 회전할 수 있다. 일 실시예에서, 기판회전부재(130)는 메인 기판(S)이 안착하는 스테이지(100)의 일면에 수직한 회전축을 중심으로 회전할 수 있다. 기판회전부재(130)가 메인 기판(S)이 안착하는 스테이지(100)의 일면에 수직한 회전축을 중심으로 회전하면, 기판회전부재(130) 상에 배치된 메인 기판(S)도 메인 기판(S)이 안착하는 스테이지(100)의 일면에 수직한 회전축을 중심으로 회전할 수 있다.

갠트리(200)는 가이드부재(110) 상에 배치될 수 있다. 일 실시예에서, 갠트리(200)는 기판이동부재(120)를 사이에 두고 양쪽에 이격되어 배치된 가이드부재(110) 상에 배치될 수 있다. 구체적으로, 갠트리(200)는 기판이동부재(120) 상에서 이동할 수 있다. 갠트리(200)는 리니어 모션 레일을 따라 이동하는 리니어 모션 블록(LM block)을 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 갠트리(200)는 수동으로 선형운동할 수 있다. 다른 실시예에서, 갠트리(200)는 모터, 실린더 등을 구비하여 자동으로 선형운동할 수 있다.

노즐 이동부(300) 및 액적을 토출하는 노즐부(400)는 갠트리(200) 상에 배치될 수 있다. 일 실시예에서, 갠트리(200)는 노즐 이동부(300)가 선형 운동이 가능하도록 일정한 레일을 포함할 수 있다.

노즐 이동부(300)의 노즐 이동 유닛과 노즐부(400)의 노즐은 다양하게 배치될 수 있다. 예를 들면, 노즐 이동 유닛과 노즐은 각각 하나씩 구비될 수 있다. 이러한 경우 노즐에는 액적을 토출하는 노즐헤드가 적어도 한 개 이상 구비될 수 있다.

다른 예로서 노즐은 적어도 한 개 이상 구비되고, 노즐 이동 유닛는 한 개가 구비될 수 있다. 이 때, 노즐이 복수개로 구비되는 경우 복수개의 노즐이 하나의 노즐 이동 유닛에 배치되어 노즐 이동 유닛의 이동에 따라 복수개의 노즐이 동시에 이동하는 것이 가능하다.

또 다른 예로서, 노즐 이동 유닛과 노즐이 각각은 복수 개로 구비될 수 있다. 이 때, 하나의 노즐 이동 유닛에는 적어도 1개 이상의 노즐이 배치될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 하나의 노즐 이동 유닛에는 하나의 노즐이 배치되는 경우를 중심으로 상세하게 설명하기로 한다.

노즐 이동부(300)는 복수개의 노즐 이동 유닛을 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 노즐 이동부(300)는 제1 노즐 이동 유닛(300a), 제2 노즐 이동 유닛(300b), 및 제3 노즐 이동 유닛(300c)을 포함할 수 있다. 다른 실시예에서, 노즐 이동부(300)는 적어도 하나의 노즐 이동 유닛을 포함하거나, 4개 이상의 노즐 이동 유닛을 포함할 수 있다. 다만, 설명의 편의를 위하여 노즐 이동부(300)는 제1 노즐 이동 유닛(300a), 제2 노즐 이동 유닛(300b), 및 제3 노즐 이동 유닛(300c)을 포함하는 경우를 중심으로 상세하게 설명하기로 한다.

일 실시예에서, 제1 노즐 이동 유닛(300a) 및 제2 노즐 이동 유닛(300b) 사이의 간격은 제2 노즐 이동 유닛(300b) 및 제3 노즐 이동 유닛(300c) 사이의 간격과 동일하게 이격되어 배치될 수 있다. 다른 실시예에서, 제1 노즐 이동 유닛(300a) 및 제2 노즐 이동 유닛(300b)의 간격과 제2 노즐 이동 유닛(300b) 및 제3 노즐 이동 유닛(300c)의 간격은 상이할 수 있다.

일 실시예에서, 노즐 이동부(300)는 갠트리(200) 상에서 선형 운동할 수 있다. 구체적으로, 노즐 이동부(300)는 갠트리(200)의 길이 방향을 따라 이동할 수 있다. 예를 들어, 제1 노즐 이동 유닛(300a), 제2 노즐 이동 유닛(300b), 및 제3 노즐 이동 유닛(300c) 중 적어도 하나는 x 방향 또는 -x 방향을 따라 이동할 수 있다.

일 실시예에서 노즐 이동부(300)는 리니어 모션 레일을 따라 이동하는 리니어 모션 블록(LM block)을 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 노즐 이동부(300)는 수동으로 선형운동할 수 있다. 다른 실시예에서, 노즐 이동부(300)는 모터, 실린더 등을 구비하여 자동으로 선형 운동을 할 수 있다.

노즐부(400)의 노즐은 노즐 이동부(300)의 노즐 이동 유닛에 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 노즐(400a)은 제1 노즐 이동 유닛(300a)에 배치될 수 있다. 다른 예로서, 제2 노즐(400b)은 제2 노즐 이동 유닛(300b)에 배치될 수 있다. 또 다른 예로서, 제3 노즐(400c)은 제3 노즐 이동 유닛(300c)에 배치될 수 있다.

노즐부(400)의 헤드는 메인 기판(S)에 액적을 토출할 수 있다. 구체적으로 제1 노즐(400a), 제2 노즐(400b), 또는 제3 노즐(400c)의 헤드들은 각각 ㎍ 단위의 액적을 토출할 수 있다. 또한, 제1 노즐(400a), 제2 노즐(400b), 및 제3 노즐(400c)은 각기 독립적으로 액적량이 조절될 수 있다. 즉, 노즐부(400)는 전기적으로 제어되어 각 노즐의 헤드에서 토출되는 액적을 조절할 수 있다.

일 실시예에서, 액적은 액정(Liquid Crystal), 배향액, 용매에 안료 입자가 혼합된 적색, 녹색, 청색의 잉크일 수 있다. 다른 실시예에서, 액적은 유기 발광 표시 장치의 발광층에 해당하는 고분자 또는 저분자 유기물일 수 있다.

액적 측정 장치(500)는 노즐부(400)의 헤드에서 토출된 액적량을 측정할 수 있다. 구체적으로, 액적 측정 장치(500)는 제1 노즐(400a), 제2 노즐(400b), 및 제3 노즐(400c)의 헤드에서 토출되는 액적을 각각 측정할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여, 제1 노즐(400a)의 헤드에서 토출된 액적을 측정하는 경우를 중심으로 상세하게 설명하기로 한다.

액적 측정 장치(500)는 제1 노즐(400a)의 헤드에서 토출된 액적의 양을 측정하여 제1 노즐(400a)의 이상 유무를 확인할 수 있다.

세정 장치(600)는 스테이지(100)에 배치될 수 있다. 세정 장치(600)는 노즐부(400)의 제1 노즐(400a), 제2 노즐(400b), 또는 제3 노즐(400c)을 세정할 수 있다.

이하 도 2 내지 도 4에서는 액적 측정 장치(500)의 세부적인 구성을 더 상세히 설명하도록 한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 측정 장치(500)의 개략적인 단면도이다. 도 3a 및 도 3b는 본 발명의 실시예들에 따른 액적 측정 장치(500)의 A 부분을 확대한 확대도이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 측정 장치(500) 중 베이스필름(530) 및 가이드롤러부(540)를 나타낸 단면도이다.

도 2를 참조하면, 액적 측정 장치(500)는 중심부(510), 제1롤러부(520a), 제2롤러부(520b), 베이스필름(530), 가이드롤러부(540), 척(550), 및 플라즈마 장치(560)를 포함할 수 있다.

중심부(510)는 필름공급부(510a) 및 필름회수부(510b)를 포함할 수 있다. 또한 중심부(510)는 도 1의 액적 토출 장치(1)의 스테이지(100) 상에 배치될 수 있다.

필름공급부(510a)는 베이스필름(530)을 공급할 수 있다. 일 실시예에서, 필름공급부(510a)는 베이스필름(530)이 롤형식으로 배치될 수 있다. 구체적으로 베이스필름(530)은 필름공급부(510a)에서 감겨있을 수 있다. 다시 말하면, 베이스필름(530)은 필름공급부(510a)에서 원통형으로 겹쳐있을 수 있다.

필름회수부(510b)는 필름공급부(510a)와 이격되어 배치될 수 있다. 일 실시예에서, 필름회수부(510b)는 베이스필름(530)이 회수되는 부분일 수 있다. 구체적으로, 필름공급부(510a)에서 공급된 베이스필름(530)은 필름회수부(510b)로 회수될 수 있다. 일 실시예에서, 베이스필름(530)은 필름회수부(510b)에서 롤 형식으로 배치될 수 있다. 다시 말하면, 베이스필름(530)은 필름회수부(510b)에서 원통형으로 감겨있을 수 있다.

제1롤러부(520a)는 중심부(510) 상에 배치될 수 있다. 제1롤러부(520a)는 필름공급부(510a)에서 공급된 베이스필름(530)의 이송 방향을 제1방향으로 변경할 수 있다. 예를 들어 도 2를 참조하면, 제1롤러부(520a)는 필름공급부(510a)에서 공급된 베이스필름(530)의 이송 방향을 x 방향으로 변경할 수 있다.

제1롤러부(520a)는 베이스필름(530)을 일정한 장력이 가해지도록 할 수 있다. 구체적으로, 제1롤러부(520a)는 베이스필름(530)에 장력을 인가하여 베이스필름(530)이 느슨해지지 않도록 유지할 수 있다.

제2롤러부(520b)는 중심부(510) 상에 배치될 수 있다. 구체적으로, 제2롤러부(520b)는 제1롤러부(520a)와 이격되어 배치될 수 있다. 제2롤러부(520b)는 제1롤러부(520a) 보다 필름회수부(510b)에 인접하도록 배치될 수 있다. 다른 관점에서 제1롤러부(520a)는 제2롤러부(520b) 보다 필름공급부(510a)에 인접하도록 배치될 수 있다.

제2롤러부(520b)는 제1롤러부(520a)를 지나오는 베이스필름(530)의 이송 방향을 제1방향에서 변경하여 필름회수부(510b)에서 회수되도록 할 수 있다. 예를 들어 도 2를 참조하면, 제1롤러부(520a)를 지나오는 베이스필름(530)의 이송 방향은 x 방향일 수 있다. 제2롤러부(520b)는 베이스필름(530)의 이송 방향을 변경하여 필름회수부(510b)에서 회수되도록 할 수 있다.

제2롤러부(520b)는 베이스필름(530)에 일정한 장력이 가해지도록 할 수 있다. 구체적으로, 제2롤러부(520b)는 베이스필름(530)에 장력을 인가하여 베이스필름(530)이 느슨해지지 않도록 유지할 수 있다.

베이스필름(530)은 필름공급부(510a)에서 공급되어 필름회수부(510b)에서 회수될 수 있다. 도 3a를 참조하면, 베이스필름(530)은 기저부(530a) 및 격벽(530b)을 포함할 수 있다.

기저부(530a)는 가요성을 가질 수 있다. 특히 기저부(530a)는 가요성 글라스이거나 폴리에테르술폰(polyethersulfone), 폴리아릴레이트(polyarylate), 폴리에테르 이미드(polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethylene naphthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이드(polyethyleneterephthalate), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide), 폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(PC), 셀룰로오스 트리 아세테이트(TAC), 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate) 등과 같은 고분자 수지를 포함할 수 있다.

기저부(530a) 상에는 격벽(530b)이 검사영역(IA)을 정의하면서 배치될 수 있다. 구체적으로, 격벽(530b)은 기저부(530a) 상에서 이격되어 배치될 수 있다. 일 실시예에서, 격벽(530b)은 일정한 간격으로 이격되어 기저부(530a) 상에 배치될 수 있다. 다른 실시예에서, 격벽(530b)은 상이한 간격으로 이격되어 배치될 수 있다. 또 다른 실시예에서, 격벽(530b)은 메인 기판(S)에 배치되는 화소정의막과 동일하게 배치될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 격벽(530b)은 기저부(530a) 상에서 일정한 간격으로 이격되어 배치된 경우를 중심으로 상세하게 설명하기로 한다.

일 실시예에서, 각각의 격벽(530b)의 높이는 동일할 수 있다. 다른 실시예에서, 각각의 격벽(530b)의 높이는 상이할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 격벽(530b)의 높이는 동일한 경우를 중심으로 상세하게 설명하기로 한다. 또한 일 실시예에서, 격벽(530b)의 높이는 상기 화소정의막에 개구부의 깊이와 동일하게 형성될 수 있다.

도 3a를 참조하면, 일 실시예에서 격벽(530b)의 평면상 형상은 직사각형일 수 있다. 도 3b를 참조하면, 다른 실시예에서 격벽(530b)의 평면상 형상은 사다리꼴일 수 있다. 이에 따라, 격벽(530b)은 기저부(530a)에서 멀어질수록 일 방향으로의 폭이 감소되도록 배치될 수 있다. 또 다른 실시예에서, 격벽(530b)의 가장자리는 곡률을 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 격벽(530b)은 기저부(530a)와 동일한 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 베이스필름(530)에 검사영역(IA)을 정의하는 오목부가 형성된 것일 수 있다. 다른 실시예에서, 격벽(530b)은 기저부(530a)와 상이한 물질로 형성될 수 있다. 특히, 격벽(530b)은 유기절연물 및/또는 무기절연물을 포함할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 격벽(530b) 및 기저부(530a)는 동일한 물질로 형성된 경우를 중심으로 상세하게 설명하기로 한다.

도 3a 및 도 3b를 참조하면, 격벽(530b)은 x 방향으로 이격되어 배치된 것을 도시하였으나, 격벽(530b)은 y 방향으로도 이격되어 배치될 수 있다. 즉, 격벽(530b)은 아일랜드 형상으로 기저부(530a)에 서로 이격되어 배치될 수 있다.

검사영역(IA)은 격벽(530b)간의 이격된 공간과 기저부(530a)에 의해 정의될 수 있다. 검사영역(IA)의 형상은 격벽(530b)의 형상에 따라 변경될 수 있다. 도 3a를 참조하면, 일 실시예에서 검사영역(IA)은 평면상 직사각형 형상일 수 있다. 도 3b를 참조하면, 다른 실시예에서 검사영역(IA)은 평면상 사다리꼴 형상일 수 있다. 또 다른 실시예에서, 검사영역(IA)의 형상은 유기 발광 표시 장치의 발광층이 배치되는 발광영역과 동일한 형상일 수 있다.

상기와 같은 베이스필름(530)의 형상은 노즐부(400)로부터 토출되는 잉크 액적의 양을 정확하기 측정하기 위함일 수 있다. 베이스필름(530)을 기저부(530a)만을 포함하는 경우, 노즐부(400)로부터 토출되는 잉크 액적은 평평한 기저부(530a)에 배치될 수 있다. 이에 따라, 잉크 액적은 기저부(530a) 상에서 반구형상으로 배치될 수 있다. 한편 잉크 액적의 양을 측정하기 위해서, 2차원 형상 및 기저부(530a)와 잉크 액적의 접촉각을 측정하여 잉크 액적의 양을 측정할 수 있다. 다만, 기저부(530a)의 표면 발수 처리 정도, 표면 발수 처리의 균일성 등에 따라, 동일한 양의 잉크 액적도 다른 양으로 측정될 수 있다.

본 발명의 실시예와 같이 베이스필름(530)에 기저부(530a) 및 격벽(530b)을 포함하는 경우, 잉크 액적의 양을 검사영역(IA)에 배치된 잉크 액적의 높이를 활용하여 측정할 수 있다. 상기와 같이 잉크 액적의 높이를 측정하여 잉크 액적의 양을 계산하는 경우, 기저부(530a)만을 포함하여 잉크 액적의 양을 계산하는 경우보다 정확하게 측정 가능할 수 있다.

한편, 각 검사영역(IA)에 해당되는 노즐부의 헤드들이 각각 대응되어 잉크 액적을 토출하기 때문에 각 노즐의 헤드 별로 잉크 액적의 양을 검사할 수 있다.

또한, 기저부(530a) 상 격벽(530b)을 포함하여, 잉크 액적이 대기에 노출되는 표면적을 최소화할 수 있다. 따라서, 잉크 액적의 휘발을 방지할 수 있다.

도 4를 참조하면, 가이드롤러부(540)는 베이스필름(530) 상에 배치될 수 있다. 가이드롤러부(540)는 바디부(541), 제1구동부(542a), 제2구동부(542b), 제1가이드롤러(543a), 제2가이드롤러(543b), 및 봉지필름(544)을 포함할 수 있다.

바디부(541)는 길이방향으로 연장되어 구비될 수 있다. 예를 들어, 바디부(541)는 -x 방향 또는 x 방향으로 연장되어 구비될 수 있다

제1구동부(542a) 및 제2구동부(542b)는 바디부(541)에 연결될 수 있다. 또한, 제1구동부(542a) 및 제2구동부(542b)는 이격되어 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1구동부(542a) 및 제2구동부(542b)는 x 방향으로 이격되어 배치될 수 있다.

일 실시예에서, 제1구동부(542a) 또는 제2구동부(542b)는 길이방향으로 연장되거나 축소될 수 있다. 예를 들어, 제1구동부(542a) 또는 제2구동부(542b)는 z 방향으로 연장되거나 축소될 수 있다.

일 실시예에서, 제1구동부(542a) 및 제2구동부(542b) 중 적어도 하나는 제2방향으로 상대적으로 이동할 수 있다. 예를 들어, 제1구동부(542a) 또는 제2구동부(542b)는 바디부(541)에 대해서, x 방향 또는 -x 방향으로 이동할 수 있다. 다른 실시예에서, 제1구동부(542a) 또는 제2구동부(542b)는 바디부(541)에 고정될 수 있다.

이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1구동부(542a)가 바디부(541)에 대해서 상대적으로 이동할 수 있고, 제2구동부(542b)는 바디부(541)에 대해서 고정된 경우를 중심으로 상세하게 설명하기로 한다.

제1가이드롤러(543a)는 제1구동부(542a)에 연결될 수 있다. 구체적으로, 제1가이드롤러(543a)의 중심은 제1구동부(542a)와 연결될 수 있다. 또한, 제1가이드롤러(543a)는 제1구동부(542a)에 대해서 상대적으로 회전운동할 수 있다. 예를 들어, 제1가이드롤러(543a)는 y축을 중심으로 회전운동할 수 있다.

제2가이드롤러(543b)는 제2구동부(542b)에 연결될 수 있다. 구체적으로, 제2가이드롤러(543b)의 중심은 제2구동부(542b)와 연결될 수 있다. 또한, 제2가이드롤러(543b)는 제2구동부(542b)에 대해서 상대적으로 회전운동할 수 있다. 예를 들어, 제2가이드롤러(543b)는 y축을 중심으로 회전운동할 수 있다.

제1구동부(542a) 및 제2구동부(542b)가 이격되어 배치되어 있으며, 제1가이드롤러(543a) 및 제2가이드롤러(543b)도 이격되어 배치될 수 있다.

제1가이드롤러(543a)는 제1구동부(542a)와 함께 선형 이동할 수 있다. 예를 들어, 제1가이드롤러(543a)는 제1구동부(542a)와 함께 x 방향 또는 -x 방향으로 선형 이동할 수 있다. 또한, 제1구동부(542a)가 연장되거나 축소되는 경우, 제1가이드롤러(543a)는 z 방향, 또는 -z 방향으로 선형 이동할 수 있다.

제2가이드롤러(543b)는 제2구동부(542b)와 함께 선형 이동할 수 있다. 예를 들어, 제2가이드롤러(543b)는 제2구동부(542b)와 함께 x 방향 또는 -x 방향으로 선형 이동할 수 있다. 또한, 제2구동부(542b)가 연장되거나 축소되는 경우, 제2가이드롤러(543b)는 z 방향, 또는 -z 방향으로 선형 이동할 수 있다.

봉지필름(544)은 제1가이드롤러(543a) 및 제2가이드롤러(543b)와 연결될 수 있다. 구체적으로, 봉지필름(544)은 제1가이드롤러(543a) 또는 제2가이드롤러(543b)에 롤 형식으로 배치될 수 있다. 즉, 봉지필름(544)은 제1가이드롤러(543a) 또는 제2가이드롤러(543b)에 감겨있을 수 있다.

제1가이드롤러(543a) 또는 제2가이드롤러(543b)가 회전 운동을 하면, 봉지필름(544)이 풀리거나, 감길 수 있다. 예를 들어, 제1가이드롤러(543a)가 반시계 방향으로 회전운동을 하면, 봉지필름(544)이 풀릴 수 있다. 다른 예로서, 제1가이드롤러(543a)가 시계 방향으로 회전 운동하면, 봉지필름(544)이 감길 수 있다.

제1가이드롤러(543a) 또는 제2가이드롤러(543b)가 선형 운동을 하면, 봉지필름(544)은 팽팽해지거나 느슨해질 수 있다. 예를 들어, 제1가이드롤러(543a)가 -x 방향으로 이동하면, 봉지필름(544)이 팽팽해질 수 있다. 즉, 봉지필름(544) 중 제1가이드롤러(543a)가 연결된 부분이 -x 방향으로 이동하면서 봉지필름(544)이 팽팽해질 수 있다. 다른 예로서, 제1가이드롤러(543a)가 x 방향으로 이동하면, 봉지필름(544)이 느슨해질 수 있다. 즉, 봉지필름(544) 중 제1가이드롤러(543a)가 연결된 부분이 x 방향으로 이동하면서, 봉지필름(544)이 느슨해질 수 있다.

봉지필름(544)은 합성 수지를 포함할 수 있다. 봉지필름(544)은 휘발 차단 용도로서 당 기술분야에서 알려진 일반적인 것을 제한없이 채용할 수 있다. 일 실시예에서, 봉지필름(544)은 투명할 수 있다. 다른 실시예에서, 봉지필름(544)은 불투명할 수 있다.

한편, 가이드롤러부(540) 자체가 베이스필름(530)에 대해서 제3방향으로 이동할 수 있다. 구체적으로, 제3방향은 상기 제1방향과 교차하는 방향 또는 상기 제1방향과 평행한 방향일 수 있다. 예를 들어, 가이드롤러부(540)는 x 방향 또는 -x 방향으로 이동할 수 있다. 다른 예로서, 가이드롤러부(540)는 z 방향 또는 -z 방향으로 이동할 수 있다.

상기와 같은 봉지필름(544)은 노즐부(400)로부터 토출되는 잉크 액적의 휘발을 방지하기 위함일 수 있다. 봉지필름(544) 배치되지 않는 경우, 잉크 액적의 양을 측정하는 동안, 대기와의 온도차, 습도, 풍량 등으로 인하여 휘발이 발생할 수 있다. 따라서, 잉크 액적이 상기 검사영역(IA)에 토출되는 시간 또는 측정 부재(545)가 상기 잉크 액적의 양을 측정하는 시간동안 휘발이 발생할 수 있다. 본 실시예에서, 봉지필름(544)은 제1가이드롤러(543a) 및 제2가이드롤러(543b)에 연결되어 이동가능하며, 측정하고자 하는 검사영역을 차폐시켜 측정 부재(545)가 잉크 액적의 양을 측정하는 동안 대기 환경과 차단하여 정확한 잉크 액적의 양을 측정할 수 있도록 할 수 있다.

또한, 봉지필름(544)은 베이스필름(530)에 부착되어 베이스필름(530)을 고정할 수 있다. 따라서, 측정 부재(545)로부터 잉크 액적의 양을 더 정확히 측정할 수 있다.

일 실시예에서, 측정 부재(545)는 가이드롤러부(540)에 배치될 수 있다. 다른 실시예에서, 측정 부재(545)는 가이드롤러부(540)와 독립적으로 배치될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 측정 부재(545)는 가이드롤러부(540)에 부착된 경우를 중심으로 상세하게 설명하기로 한다.

구체적으로 측정 부재(545)는 바디부(541)에 배치될 수 있다. 또한, 측정 부재(545)는 제1가이드롤러(543a) 및 제2가이드롤러(543b) 사이에 배치될 수 있다.

측정 부재(545)는 바디부(541)의 길이 방향으로 이동할 수 있다. 구체적으로, 측정 부재(545)는 제1가이드롤러(543a) 및 제2가이드롤러(543b) 사이에서 제2방향으로 이동할 수 있다. 예를 들어, 측정 부재(545)는 제1가이드롤러(543a) 및 제2가이드롤러(543b) 사이에서 x 방향 또는 -x 방향으로 이동할 수 있다. 따라서, 측정 부재(545)는 바디부(541)에 대해 상대적으로 이동하면서 베이스필름(530)에 배치된 복수의 잉크 액적의 두께를 연속적으로 측정할 수 있다. 따라서, 잉크 액적의 측정 시간을 감소시킬 수 있다.

일 실시예에서, 측정 부재(545)는 베이스필름(530) 상에 배치될 수 있다. 다른 실시예에서, 측정 부재(545)는 베이스필름(530) 하부에 배치될 수 있다. 예를 들어, 측정 부재(545)가 가이드롤러부(540)와 독립적으로 배치되는 경우 측정 부재(545)는 베이스필름(530) 하부에 배치될 수 있다. 그러나 설명의 편의를 위하여 측정 부재(545)가 베이스필름(530) 상에 배치되는 경우를 중심으로 상세하게 설명하기로 한다.

일 실시예에서, 측정 부재(545)는 잉크 액적의 두께를 측정할 수 있다. 다른 실시예에서 측정 부재(545)는 상기 검사영역에 잉크 액적이 형성되지 않는 경우도 측정할 수 있다. 즉, 측정 부재(545)는 노즐부(400)의 헤드에서 잉크 액적이 토출되는지 여부도 검사할 수 있다.

일 실시예에서, 측정 부재(545)는 공초점 라인 센서일 수 있다. 예를 들어, 측정 부재(545)는 공초점 라인 센서(Chromatic Confocal Line Sensor, CCLS)일 수 있다. 따라서, 측정 부재(545)는 수신되는 광을 분석하여 잉크 액적의 두께 혹은 높이를 알 수 있다. 즉, 측정 부재(545)가 베이스필름(530)의 상부면을 바라보도록 배치된 경우라도, 측정 부재(545)가 공초점 라인 센서인 경우 잉크 액적의 두께를 측정할 수 있다. 또한, 공초점 라인 센서는 정밀한 두께 측정이 가능할 수 있다.

일 실시예에서, 측정 부재(545) 및 잉크 액적 사이에는 봉지필름(544)이 배치될 수 있다. 측정 부재(545)가 공초점 라인 센서인 경우 봉지필름(544)이 불투명한 경우라도, 측정 부재(545)는 잉크 액적의 두께를 측정할 수 있다.

다시 도 2를 참조하면, 척(550)은 상기 중심부(510) 상에 배치될 수 있다. 구체적으로, 척(550)은 상기 중심부(510) 및 상기 베이스필름(530) 사이에 배치될 수 있다. 또한, 척(550)은 제1롤러부(520a) 및 제2롤러부(520b) 사이에 배치될 수 있다.

일 실시예에서, 척(550)의 두께는 제1롤러부(520a)에서의 베이스필름(530) 및 중심부(510)의 상면 사이의 간격과 동일할 수 있다. 다른 실시예에서, 척(550)의 두께는 제2롤러부(520b)에서의 베이스필름(530) 및 중심부(510)의 상면 사이의 간격과 동일할 수 있다.

척(550)의 상면은 평평할 수 있다. 따라서, 척(550)은 상기 베이스필름(530)을 평평하게 배치되도록 할 수 있다. 예를 들어, 상기 베이스필름(530)이 제1롤러부(520a) 및 제2롤러부(520b) 사이를 x 방향으로 이송되게 할 수 있다.

일 실시예에서, 척(550)은 진공 척일 수 있다. 다른 실시예에서, 척(550)은 다공성 척일 수 있다. 이하에서 척(550)은 다공성 척인 경우를 중심으로 상세하게 설명하도록 하기로 한다.

일 실시예에서, 척(550)은 음압을 발생시켜 베이스필름(530)이 상기 척(550)에 밀착되도록 할 수 있다. 따라서, 척(550)은 베이스필름(530)이 지속적으로 x 방향으로 이송되게 할 수 있다.

액적 측정 장치(500)는 플라즈마 장치(560)를 포함할 수 있다. 구체적으로 상기 플라즈마 장치(560)는 상기 필름공급부(510a) 및 상기 측정 부재(545) 사이에 배치될 수 있다. 또한, 플라즈마 장치(560)는 상기 필름공급부(510a) 및 상기 제1롤러부(520a) 사이에 배치될 수 있다.

일 실시예에서, 플라즈마 장치(560)는 상기 베이스필름(530)의 외면에 친수성 성질을 띄게할 수 있다. 구체적으로 플라즈마 장치(560)는 베이스필름(530)의 기저부(530a) 및 격벽(530b)의 외면을 친수성 성질을 띄게 할 수 있다. 특히, 검사영역(IA)에 해당하는 부분의 외면이 친수성 성질을 띄게할 수 있다.

다른 실시예에서, 베이스필름(530)의 기저부(530a) 및 격벽(530b)이 외면에 친수성 성질을 띄는 물질이 포함되는 경우, 플라즈마 장치(560)는 생략될 수 있다. 이하에서는 플라즈마 장치(560)가 배치되어, 베이스필름(530)의 기저부(530a) 및 격벽(530b)의 외면을 친수성 성질을 띄게하는 경우를 중심으로 상세하게 설명하도록 한다.

기저부(530a) 및 격벽(530b)의 외면을 친수성 성질을 띄게 만드는 경우, 잉크 액적이 검사영역(IA)에 배치되었을 때, 잉크 액적의 상면이 평평하게 배치될 수 있다. 따라서, 측정 부재(545)를 이용하여 잉크 액적의 높이 또는 두께를 측정하기 용이할 수 있다.

한편, 지금까지 가이드롤러부(540)의 표현을 사용하였지만, 가이드롤러부(540)는 봉지필름(544)을 공급하는 봉지필름공급부로 볼 수도 있다.

또한, 지금까지 제1롤러부(520a), 제2롤러부(520b), 및 척(550)을 독립적으로 설명하였지만, 제1롤러부(520a), 제2롤러부(520b), 및 척(550)은 베이스필름평탄부로 볼 수도 있다.

한편, 지금까지 액적 측정 장치(500) 및 노즐부(400)는 서로 독립되게 액적 토출 장치(1)에 포함됨을 중심으로 상세하게 설명하였으나, 다른 실시예에서, 액적 측정 장치(500)는 노즐부(400)를 포함할 수 있다.

도 5은 본 발명의 다른 실시예에 따른 액적 측정 장치 중 베이스필름(530') 및 가이드롤러부(540')를 나타낸 단면도이다.

도 5를 참조하면, 가이드롤러부(540')는 바디부(541'), 제1구동부(542a'), 제2구동부(542b'), 제1가이드롤러(543a'), 제2가이드롤러(543b'), 봉지필름(544'), 및 측정 부재(545')를 포함할 수 있다. 도 5에 있어서, 바디부(541'), 제1구동부(542a'), 제2구동부(542b'), 제1가이드롤러(543a'), 제2가이드롤러(543b'), 봉지필름(544') 및 측정 부재(545')는 도 4의 바디부(541), 제1구동부(542a), 제2구동부(542b), 제1가이드롤러(543a), 제2가이드롤러(543b), 봉지필름(544), 및 측정 부재(545)와 동일 유사한 바 상세한 설명은 생략하기로 한다.

한편, 액적 측정 장치는 광원(546')을 더 포함할 수 있다. 상기 광원(546')은 베이스필름(530') 하부에 배치될 수 있다. 구체적으로, 상기 베이스필름(530')은 측정 부재(545') 및 광원(546') 사이에 배치될 수 있다.

일 실시예에서, 측정 부재(545')는 2차원 측정 장치일 수 있다. 예를 들어, 측정 부재(545')는 전하 결합 소자 카메라(CCD Camera) 일 수 있다.

상기 측정 부재(545')는 상기 광원(546')으로부터 방출된 광 중 상기 잉크 액적을 투과한 광의 강도를 측정하여 상기 잉크 액적의 두께를 예상할 수 있다. 이 때, 상기 베이스필름(530') 및 봉지필름(544')은 투명한 재질을 포함할 수 있다.

이하, 도 6a 내지 도 6h를 참조하여, 상기 액적 검사 장치(500)의 액적 검사 방법을 상세하게 설명하기로 한다.

도 6a 내지 도 6h에 있어서, 도 2 또는 도 4와 동일한 참조부호는 동일부재를 의미하는 바, 중복된 설명은 생략하기로 한다.

도 6a를 참조하여, 필름공급부(510a)에서 공급된 베이스필름(530)이 필름회수부(510b)로 회수되는 과정을 설명하고자 한다.

필름공급부(510a)는 베이스필름(530)을 공급할 수 있다. 예를 들어, 필름공급부(510a)는 시계방향 또는 반시계 방향으로 회전하여 베이스필름(530)이 공급될 수 있다.

베이스필름(530)은 필름공급부(510a)로부터 공급되어 제1롤러부(520a) 상에 배치될 수 있다. 제1롤러부(520a)는 베이스필름(530)의 이동방향을 제1방향으로 변경할 수 있다. 예를 들어, 제1"?향?* x 방향일 수 있다.

베이스필름(530)은 제1롤러부(520a)를 지나 척(550) 상에 배치될 수 있다. 즉, 베이스필름(530)은 가이드롤러부(540) 및 척(550) 사이에 배치될 수 있다.

베이스필름(530)은 척(550)을 지나 제2롤러부(520b) 상에 배치될 수 있다. 제2롤러부(520b)는 베이스필름(530)의 이동방향을 변경하여 필름회수부(510b)에서 회수되도록 할 수 있다.

베이스필름(530)은 제2롤러부(520b)를 지나 필름회수부(510b)로 이송될 수 있다. 일 실시예에서, 필름회수부(510b)에서 베이스필름(530)은 롤 형식으로 배치될 수 있다. 즉, 베이스필름(530)은 필름회수부(510b)에서 원통형으로 감길 수 있다.

도 6b를 참조하면, 베이스필름(530) 외면에 친수성 성질을 띄게 하기 위한 친수성 처리 단계를 포함할 수 있다.

플라즈마 장치(560)는 상기 필름공급부(510a) 및 상기 측정 부재(545) 사이에 배치될 수 있다. 또한, 플라즈마 장치(560)는 상기 필름공급부(510a) 및 상기 제1롤러부(520a) 사이에 배치될 수 있다.

일 실시예에서, 플라즈마 장치(560)는 베이스필름(530)의 기저부(530a) 및 격벽(530b)의 외면(532)에 친수성 성질을 띄게 할 수 있다. 특히, 검사영역(IA)에 해당하는 부분의 외면이 친수성 성질을 띄게할 수 있다. 다른 실시예에서, 베이스필름(530)의 외면(532)에 친수성 성질을 띄는 물질이 포함되는 경우, 상기 베이스필름(530)의 외면에 친수성 성질을 띄게 하는 친수성 처리 단계가 생략될 수 있다. 이하에서는, 베이스필름(530)의 외면(532)에 친수성 성질을 띄게 친수성 처리 단계가 포함되는 경우를 중심으로 상세하게 설명하기로 한다.

한편, 척(550)을 이용하여 베이스필름(530)을 평평하게 만들 수 있다. 척(550)은 베이스필름(530)을 제1방향으로 이송될 수 있게 할 수 있다. 예를 들어, 척(550)은 베이스필름(530)이 x 방향으로 이송될 수 있게 할 수 있다.

척(550)은 중심부(510) 상에 배치될 수 있다. 구체적으로, 척(550)은 중심부(510) 및 베이스필름(530) 사이에 배치될 수 있다. 한편, 척(550)은 제1롤러부(520a) 및 제2롤러부(520b) 사이에 배치될 수 있다.

일 실시예에서, 척(550)은 진공 척일 수 있다. 다른 실시예에서, 척(550)은 다공성 척일 수 있다. 이하에서 척(550)은 다공성 척인 경우를 중심으로 상세하게 설명하기로 한다. 일 실시예에서, 척(550)은 음압을 발생시켜 베이스필름(530)이 상기 척(550)에 밀착되도록 할 수 있다.

그 다음 도 6c를 참조하면, 노즐부(400)의 헤드로부터 잉크 액적(700)이 토출될 수 있다. 상기 잉크 액적(700)은 검사영역(IA)에 형성될 수 있다. 검사영역(IA)에 배치된 상기 잉크 액적(700)의 높이는 상기 노즐부(400)의 노즐의 상태에 따라 상이할 수 있다. 검사영역(IA) 중 일부(IAE)는 상기 잉크 액적(700)이 배치되지 않을 수 있다.

그 다음 도 6d 및 도 6e를 참조하면, 잉크 액적의 휘발을 방지하기 위해 상기 검사영역(IA)을 봉지필름(544)으로 봉지할 수 있다.

상기 검사영역(IA)을 봉지필름(544)으로 봉지하는 단계는 상기 제1가이드롤러(543a) 및 제2가이드롤러(543b)가 제3방향으로 이동하는 단계, 제1가이드롤러(543a)가 상기 베이스필름(530)의 이동 방향과 평행한 제2방향으로 이동하는 단계, 및 상기 베이스필름(530)에 상기 봉지필름(544)이 부착되는 단계를 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 가이드롤러부(540)는 베이스필름(530)에 대해서 상대적으로 이동할 수 있다. 예를 들어, 가이드롤러부(540)는 x 방향 또는 -x 방향으로 이동할 수 있다. 다른 예로서, 가이드롤러부(540)는 z 방향 또는 -z 방향으로 이동할 수 있다.

다른 실시예에서, 바디부(541)가 고정된 상태에서 제1구동부(542a) 및 제2구동부(542b)는 길이 방향으로 연장되거나 축소될 수 있다. 예를 들어, 제1구동부(542a) 및 제2구동부(542b)가 함께 z 방향으로 연장되어 제1가이드롤러(543a) 및 제2가이드롤러(543b)는 -z 방향으로 이동할 수 있다. 즉, 제3방향으로 제1가이드롤러(543a) 및 제2가이드롤러(543b)가 이동할 수 있다. 특히, 제1방향(예를 들어, x 방향)과 제3방향(예를 들어, -z 방향)은 수직할 수 있다.

이하에서는 바디부(541)가 고정된 상태에서 제1구동부(542a) 및 제2구동부(542b)가 길이 방향으로 연장된 경우를 중심으로 상세하게 설명하기로 한다.

제1가이드롤러(543a) 및 제2가이드롤러(543b)가 바디부(541)에 대해 멀어지는 방향으로 이동함에 따라, 상기 봉지필름(544)도 상기 바디부(541)에 대해 멀이지는 방향으로 이동할 수 있다.

그 다음 도 6e를 참조하면, 제1가이드롤러(543a)가 상기 베이스필름(530)의 이동 방향과 평행한 제2방향으로 이동할 수 있다.

일 실시예에서, 제1가이드롤러(543a)는 선형이동할 수 있다. 구체적으로, 제1가이드롤러(543a) 및 제1구동부(542a)는 바디부(541)에 대해서 상대적으로 이동할 수 있다. 예를 들어, 제1가이드롤러(543a) 및 제1구동부(542a)는 바디부(541)에 대해서 -x 방향 또는 x 방향으로 이동할 수 있다.

다른 실시예에서, 제2가이드롤러(543b)는 선형이동할 수 있다. 구체적으로, 제2가이드롤러(543b) 및 제2구동부(542b)는 바디부(541)에 대해서 상대적으로 이동할 수 있다. 예를 들어, 제2가이드롤러(543b) 및 제2구동부(542b)는 바디부(541)에 대해서 x 방향 또는 -x 방향으로 이동할 수 있다.

그러나 설명의 편의를 위하여, 제1구동부(542a) 및 제1가이드롤러(543a)가 바디부(541)에 대해서 상대적으로 이동하고, 제2구동부(542b) 및 제2가이드롤러(543b)는 바디부(541)에 고정된 경우를 중심으로 상세하게 설명하기로 한다.

제1가이드롤러(543a)가 상대적으로 이동하는 경우, 상기 제1가이드롤러(543a) 또는 제2가이드롤러(543b)는 회전운동을 할 수 있다. 따라서, 제1가이드롤러(543a) 및 제2가이드롤러(543b)에 연결된 봉지필름(544)은 풀릴 수 있다. 봉지필름(544)은 상기 측정 부재(545)가 검사하고자 하는 영역의 길이만큼 베이스필름(530)을 커버할 수 있다.

한편, 지금까지 제1가이드롤러(543a) 및 제2가이드롤러(543b)가 제3방향으로 이동하고, 제1가이드롤러(543a)가 베이스필름(530)의 이동 방향과 평행한 제2방향으로 이동하는 경우를 중심으로 설명하였으나, 다른 실시예에서 제1가이드롤러(543a)가 베이스필름(530)의 이동 방향과 평행한 제2방향으로 이동하고, 제1가이드롤러(543a) 및 제2가이드롤러(543b)가 제3방향으로 이동하는 경우도 가능할 수 있다. 또 다른 실시예에서, 제1가이드롤러(543a) 및 제2가이드롤러(543b)가 제3방향으로 이동하고, 제1가이드롤러(543a)가 베이스필름(530)의 이동 방향과 평행한 제2방향으로 이동하는 단계가 동시에 진행될 수 있다.

그 다음, 상기 봉지필름(544)은 상기 베이스필름(530)에 부착될 수 있다. 특히, 봉지필름(544)은 베이스필름(530)의 검사영역(IA)을 차폐할 수 있다. 구체적으로, 상기 봉지필름(544)은 베이스필름(530)의 격벽(530b)의 상부와 연결될 수 있다.

봉지필름(544)은 검사영역(IA)에 배치된 잉크 액적의 휘발을 방지할 수 있다. 따라서, 노즐부(400)에서 토출된 잉크 액적의 정확한 양을 측정할 수 있다. 또한, 봉지필름(544)이 베이스필름(530)에 부착되어 베이스필름(530)을 고정할 수 있다.

그 다음 도 6f를 참조하면, 측정 부재(545)가 상기 잉크 액적의 두께를 측정할 수 있다. 구체적으로, 측정 부재(545)가 봉지필름(544)을 투과하여 상기 잉크 액적의 두께를 측정할 수 있다. 또한, 측정 부재(545)는 상기 잉크 액적이 토출되지 않은 검사영역 중 일부(IAE)를 검출할 수 있다.

측정 부재(545)는 제1가이드롤러(543a) 및 제2가이드롤러(543b) 사이에서 이동하며 잉크 액적의 두께를 측정할 수 있다. 예를 들어, 측정 부재(545)는 제1가이드롤러(543a) 및 제2가이드롤러(543b) 사이에서 x 방향 또는 -x 방향으로 이동하며 잉크 액적의 두께를 연속적으로 측정할 수 있다. 즉, 측정 부재(545)는 바디부(541)에 대해 상대적으로 이동하면서 베이스필름(530)에 배치된 복수의 잉크 액적의 두께를 연속적으로 측정할 수 있다. 따라서 잉크 액적의 측정 시간을 감소시킬 수 있다.

그 다음 도 6g 및 도 6h를 참조하면, 봉지필름(544)이 회수될 수 있다. 또한, 가이드롤러부(540)가 원상태로 복구될 수 있다. 봉지필름(544)이 회수되는 단계 및 가이드롤러부(540)가 원상태로 복구되는 단계는 앞서 설명한 도 4d 및 도 4e의 반대되는 과정으로 진행될 수 있다.

일 실시예에서 봉지필름(544)은 회수될 수 있으므로, 다시 사용할 수 있다.

이와 같은 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

1: 액적 토출 장치
100: 스테이지
110: 가이드부재
120: 기판이동부재
130: 기판 회전 부재
200: 갠트리
300: 노즐 이동부
400: 노즐부
500: 액적 측정 장치
510: 중심부
510a, 510b: 필름공급부, 필름회수부
520a, 520b: 제1롤러부, 제2롤러부
530, 530': 베이스필름
530a: 기저부
530b: 격벽
532: 외면
540, 540': 가이드롤러부
541, 541': 바디부
542a, 542a': 제1구동부
542b, 542b': 제2구동부
543a, 543a': 제1가이드롤러
543b, 543b': 제2가이드롤러
544, 544': 봉지필름
545, 545': 측정 부재
546': 광원
550: 척
560: 플라즈마 장치
600: 세정 장치

Claims

제1방향으로 이송가능하며, 검사영역을 정의하는 격벽을 포함하는 베이스필름;
상기 검사영역에 형성된 잉크 액적의 휘발을 방지하기 위해 상기 검사영역을 봉지할 수 있는 봉지필름; 및
상기 봉지필름 상에 상기 봉지필름을 투과하여 상기 잉크 액적의 두께를 측정하는 측정 부재;를 포함하고,
상기 베이스필름의 외면은 친수성 성질을 띄는, 액적 검사 장치.
제1항에 있어서,
제1가이드롤러 및 제2가이드롤러를 포함하는 가이드롤러부;를 더 포함하고,
상기 봉지필름은 상기 제1가이드롤러 및 상기 제2가이드롤러에 연결되며,
상기 제1가이드롤러는 상기 제1방향과 평행한 제2방향으로 이동가능한, 액적 검사 장치.
제2항에 있어서,
상기 가이드롤러부는 상기 제1방향과 교차하는 제3방향으로 이동가능한, 액적 검사 장치.
제2항에 있어서,
상기 가이드롤러부는
바디부;
상기 제1가이드롤러를 상기 바디부에 연결하며, 상기 제2방향으로 상기 제1가이드롤러를 이송할 수 있는 제1구동부; 및
상기 제2가이드롤러를 상기 바디부에 연결하고, 상기 제2방향으로 상기 제2가이드롤러를 이송할 수 있는 제2구동부;를 더 포함하는, 액적 검사 장치.
제2항에 있어서,
상기 측정 부재는 상기 제1가이드롤러 및 상기 제2가이드롤러 사이에 배치되어 상기 제2방향으로 이동할 수 있는, 액적 검사 장치.
제1항에 있어서,
상기 베이스필름 외면에 친수성 성질을 띄게 하기 위한 플라즈마 장치;를 더 포함하는, 액적 검사 장치.
제6항에 있어서,
상기 베이스필름을 공급하는 필름공급부; 및
상기 베이스필름은 회수하는 필름회수부;를 더 포함하고,
상기 필름공급부 및 상기 측정 부재 사이에 상기 플라즈마 장치가 배치되는, 액적 검사 장치.
제1항에 있어서,
상기 베이스필름을 평평하게 하기 위한 척;을 더 포함하고,
상기 척은 상기 베이스필름 하부에 배치되는, 액적 검사 장치.
제1항에 있어서,
상기 측정 부재는 공초점 센서를 포함하는, 액적 검사 장치.
제1항에 있어서,
상기 베이스필름 하부에 광원;을 더 포함하고,
상기 측정 부재는 상기 광원으로부터 방출된 광 중 상기 잉크 액적을 투과한 광의 강도를 측정하는, 액적 검사 장치.
제1방향으로 이송가능하며, 검사영역을 정의하는 격벽을 포함한 베이스필름을 공급하는 필름공급부;
상기 베이스필름에 잉크 액적을 토출하는 노즐부;
상기 베이스필름에 봉지필름을 공급하여 상기 검사영역을 차폐시키는 봉지필름공급부; 및
상기 봉지필름을 투과하여 상기 잉크 액적의 두께를 측정하는 측정 부재;를 포함하는, 액적 검사 장치.
검사영역을 정의하는 격벽을 포함하는 베이스필름이 제1방향으로 이송되는 단계;
상기 검사영역에 잉크 액적이 형성되는 단계;
상기 잉크 액적의 휘발을 방지하기 위해 상기 검사영역을 봉지필름으로 봉지하는 단계; 및
상기 봉지필름을 투과하여 상기 잉크 액적의 두께를 측정하는 단계;를 포함하고,
상기 베이스필름의 외면은 친수성 성질을 띄는, 액적 검사 방법.
제12항에 있어서,
상기 봉지필름은 제1가이드롤러 및 제2가이드롤러에 연결되고,
상기 제1가이드롤러는 상기 제1방향과 평행한 제2방향으로 이동가능한, 액적 검사 방법.
제13항에 있어서,
상기 검사영역을 상기 봉지필름으로 봉지하는 단계는,
상기 제1가이드롤러가 상기 제2방향으로 이동하는 단계;
상기 제1가이드롤러 및 상기 제2가이드롤러가 제3방향으로 이동하는 단계; 및
상기 베이스필름에 상기 봉지필름이 부착되는 단계;를 포함하는, 액적 검사 방법.
제14항에 있어서,
상기 제1방향 및 상기 제3방향은 수직하는, 액적 검사 방법.
제13항에 있어서,
상기 잉크 액적의 두께를 측정하는 단계는,
측정 부재가 상기 제2방향으로 이동하면서 측정하는, 액적 검사 방법.
제12항에 있어서,
상기 베이스필름 외면에 친수성 성질을 띄게하기 위해 친수성 처리 단계;를 더 포함하는, 액적 검사 방법.
제17항에 있어서,
상기 친수성 처리 단계는 상기 베이스필름에 플라즈마 처리를 하여 상기 베이스필름 외면에 친수성 성질을 띄게하는, 액적 검사 방법.
제12항에 있어서,
척을 이용하여 상기 베이스필름을 평평하게 하는 단계;를 더 포함하는, 액적 검사 방법.
제12항에 있어서,
상기 잉크 액적의 두께를 측정하는 단계는 공초점 센서를 이용하는, 액적 검사 방법.