KR20210005372A - 유체 제어 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 시스템 - Google Patents

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KR20210005372A
KR20210005372A KR1020190080370A KR20190080370A KR20210005372A KR 20210005372 A KR20210005372 A KR 20210005372A KR 1020190080370 A KR1020190080370 A KR 1020190080370A KR 20190080370 A KR20190080370 A KR 20190080370A KR 20210005372 A KR20210005372 A KR 20210005372A
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Abstract

본 기재의 유체 제어 장치는 유체에 의하여 부유되는 부유 부재; 유체는 통과시키면서 상기 부유 부재가 외부로 이탈되는 것을 방지하도록 상기 부유 부재를 수용하는 수용 부재; 상기 수용 부재에 결합되고, 상기 부유 부재가 끼워질 수 있는 수용 공간을 포함하며, 상기 수용 공간에 끼워진 상기 부유 부재를 가압하여 상기 수용 부재로 이동될 수 있게 하는 분리 유닛; 및 상기 분리 유닛에 결합되고, 상기 분리 유닛을 통과한 유체가 배출될 수 있게 하는 배출 부재;를 포함한다.

Description

유체 제어 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 시스템{Fluid control apparatus and substrate treatment system including the same}
본 발명은 유체 제어 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판 처리 시스템에서 취급되는 유체의 흐름을 제어하는데 사용될 수 있는 유체 제어 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 시스템에 관한 것이다.
반도체 소자나 디스플레이 소자 혹은 태양전지를 제조하기 위해서는 기판의 표면을 증착, 식각 및 세정 등의 처리를 반복적으로 실시하는 각종 공정이 수행된다. 이러한 공정은 기판 처리 시스템에 의해 실시될 수 있으며, 기판 처리 시스템에서는 다양한 종류의 처리액이 사용될 수 있다.
또한, 일반적으로, 전자회로부품 또는 액정 디스플레이 패널과 같은 평판 디스플레이를 제조하기 위해서는, 포토레지스트액 또는 구리, 은, 알루미늄 등과 같은 금속 페이스트를 사용하여 글래스 표면 또는 인쇄회로기판 상에 전극 또는 도트 등과 같은 일정한 패턴을 형성하여야 한다.
기판에 일정한 패턴을 형성하기 위한 방법으로 액적 토출 장치를 사용하여 잉크 액적을 분출하는 방식이 사용될 수 있다. 이러한 액적 토출 장치는 일반적인 잉크젯 프린터와 유사한 것으로, 노즐을 사용하여 기판에 일정한 패턴을 직접 패터닝하는 방식을 사용한다.
한편, 기판 처리 시스템에서 사용되는 처리액이나, 액적 토출 장치에서 사용되는 액적 등과 같은 유체는 별도의 저장 탱크에 저장되어 있다가, 사용이 필요한 다른 장치로 공급될 수 있다. 이와 같은 장치들에는 배관 또는 저장 탱크 등에 유체의 역류나 과다 공급 등을 차단하는 감지 센서(Overflow sensor)가 설치되는 것이 일반적이다. 감지 센서에서 유체의 역류를 감지하면, 인터락(interlock)이 활성화되어 유체의 역류를 차단할 수 있다.
그러나, 역류 현상이 감지 센서와 장치를 제어하는 제어부 사이의 통신 속도보다 빠르게 진행되는 경우, 인터락이 활성화되기 전에 역류가 발생될 수 있다.
한국공개특허 제2014-0067892호
본 발명의 목적은 유체의 흐름을 정확하게 제어할 수 있는 유체 제어 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 유체 제어 장치는 유체에 의하여 부유되는 부유 부재; 유체는 통과시키면서 상기 부유 부재가 외부로 이탈되는 것을 방지하도록 상기 부유 부재를 수용하는 수용 부재; 상기 수용 부재에 결합되고, 상기 부유 부재가 끼워질 수 있는 수용 공간을 포함하며, 상기 수용 공간에 끼워진 상기 부유 부재를 가압하여 상기 수용 부재로 이동될 수 있게 하는 분리 유닛; 및 상기 분리 유닛에 결합되고, 상기 분리 유닛을 통과한 유체가 배출될 수 있게 하는 배출 부재;를 포함한다.
한편, 상기 분리 유닛은, 상기 수용 공간을 감싸도록 위치되고, 상기 유체에 의해 부유되는 상기 부유 부재를 지지하는 하나 이상의 지지 부재; 및 상기 지지 부재에 슬라이딩 이동 가능하게 결합되고, 상기 부유 부재가 상기 지지 부재에 지지되어 있는 경우, 상기 부유 부재를 밀어서 상기 부유 부재가 상기 지지 부재로부터 분리될 수 있게 하는 슬라이딩 부재;를 포함할 수 있다.
한편, 상기 분리 유닛은, 상기 지지 부재에 설치되고, 상기 부유 부재가 상기 지지 부재를 가압하였음을 감지하는 압력 감지 부재; 상기 지지 부재에 설치되고, 주변에 유체가 있음을 감지하는 유체 감지 부재; 및 상기 압력 감지 부재 및 상기 유체 감지 부재와 전기적으로 연결되고, 상기 압력 감지 부재에서 감지한 압력 데이터를 전송받으며, 상기 유체 감지 부재가 유체를 감지하지 않은 상태에서, 상기 부유 부재가 상기 지지 부재를 가압하는 상태가 기준 시간 이상 지속되면, 상기 슬라이딩 부재를 동작시키는 구동부;를 포함할 수 있다.
한편, 상기 기준 시간은 1초 내지 3초 범위에 포함될 수 있다.
한편, 상기 지지 부재는 두 개이고, 상기 두 개의 지지 부재는 상기 수용 공간을 사이에 두고 서로 이격되게 위치되며, 상기 부유 부재는 직경이 상기 두 개의 지지 부재 사이의 간격과 동일한 구(sphere) 형상일 수 있다.
한편, 상기 구동부는, 상기 슬라이딩 부재의 일단이 상기 지지 부재로부터 노출된 상태를 유지하게 하고, 상기 부유 부재를 상기 지지 부재로부터 밀어내야 하는 경우, 상기 슬라이딩 부재를 상기 부유 부재측으로 더욱 돌출시켰다가 초기 위치로 다시 복귀시킬 수 있다.
한편, 상기 수용 부재는 상기 분리 유닛에서 멀어질수록 내경이 증가되는 원기둥 형상일 수 있다.
한편, 상기 수용 부재는 메쉬(mesh) 구조일 수 있다.
한편, 상기 부유 부재의 소재는 강화 플라스틱일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템은 상기 유체 제어 장치가 설치되고, 유체를 저장하는 저장 탱크; 상기 저장 탱크로부터 유체를 공급받는 유체 취급 장치; 및 상기 저장 탱크에서 유체 제어 장치가 설치된 부분과 상기 유체 취급 장치를 연결하는 이송 배관;을 포함한다.
본 발명에 따른 기판 처리 시스템은 유체 제어 장치를 포함한다. 유체가 외부로부터 저장 탱크로 과도하게 공급(Overflow)되면, 부유 부재가 유체에 의해 부유되어 지지 부재에 끼워지면서 유체의 이동이 신속하게 차단될 수 있다. 따라서, 유체 제어 장치는 기판 처리 시스템에 포함된 인터락이 활성화되기 전에 유체가 저장 탱크로부터 넘치는 것을 안정적으로 방지할 수 있다.
그리고, 유체 제어 장치는 분리 유닛을 포함한다. 그러므로, 저장 탱크 내부의 유체의 수위가 낮아진 상태에서, 부유 부재가 유체의 점성(표면 장력) 또는 지지 부재들에 의해 누르는 압력에 의해 지지 부재 사이에 끼워진 상태가 유지되더라도, 부유 부재는 슬라이딩 부재에 의해 밀려나면서 지지 부재로부터 분리될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 제어 장치를 도시한 사시도이다.
도 2는, 도 1의 유체 제어 장치에서 Ⅱ-Ⅱ'라인을 따라 취한 단면도이다.
도 3은, 도 2의 유체 제어 장치에서 분리 유닛만 발췌하여 도시한 도면이다.
도 4는 부유 부재가 유체에 의해 부유되어 지지 부재 사이에 끼워진 상태를 도시한 도면이다.
도 5는 부유 부재가 슬라이딩 부재에 의하여 지지 부재로부터 분리되는 상태를 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템을 도시한 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우 뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 제어 장치(100)는 부유 부재(110), 수용 부재(120), 분리 유닛(130) 및 배출 부재(140)를 포함한다.
부유 부재(110)는 유체에 의하여 부유될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 제어 장치(100)가 저장 탱크(200)에 설치된 경우, 저장 탱크(200)에 채워지는 유체의 수위가 증가되면, 부유 부재(110)는 부유되어 유체의 수면에 위치될 수 있다. 이를 위한 부유 부재(110)의 소재는 강화 플라스틱일 수 있다.
수용 부재(120)는 유체는 통과시키면서 상기 부유 부재(110)가 외부로 이탈되는 것을 방지하도록 상기 부유 부재(110)를 수용할 수 있다. 이를 위한 상기 수용 부재(120)는 메쉬(mesh) 구조일 수 있다. 예를 들어, 수용 부재(120)는 금속 와이어가 교차된 것일 수 있다. 도면에서 바라보는 방향을 기준으로, 수용 부재(120)의 하측도 메쉬 구조일 수 있다. 이에 따라, 부유 부재(110)가 수용 부재(120)로부터 이탈되지 않을 수 있다.
분리 유닛(130)은 상기 수용 부재(120)에 결합되고, 상기 부유 부재(110)가 끼워질 수 있는 수용 공간(132)을 포함할 수 있다. 분리 유닛(130)은 상기 수용 공간(132)에 끼워진 상기 부유 부재(110)를 가압하여 상기 수용 부재(120)로 이동될 수 있게 한다. 이를 위한 분리 유닛(130)에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다.
배출 부재(140)는 상기 분리 유닛(130)에 결합되고, 상기 분리 유닛(130)을 통과한 유체가 배출될 수 있게 할 수 있다. 배출 부재(140)의 형상은 유체의 배출이 용이한 파이프 형상일 수 있다. 그리고, 배출 부재(140)는 분리 유닛(130)을 감싸도록 이루어져서, 분리 유닛(130)이 외부로 노출되는 것을 방지할 수 있다.
이러한 배출 부재(140)의 일측에는 배관(미도시)과 같은 부품과의 연결을 위한 플랜지(Flange, 141)가 형성될 수 있으나, 이에 한정하지는 않으며, 기판 처리 시스템(1000, 도 6 참조)에 포함될 수 있는 다른 부재(미도시)와의 연결을 위하여 다양한 형상으로 이루어질 수 있다.
한편, 전술한 분리 유닛(130)은 일례로, 지지 부재(131)와 슬라이딩 부재(133)를 포함할 수 있다.
지지 부재(131)는 상기 수용 공간(132)을 감싸도록 위치되고 지지 부재(131)는 유체에 의해 부유되는 상기 부유 부재(110)를 지지할 수 있다. 이러한 지지 부재(131)는 막대 형상으로 배출 부재(140)의 내측면에 상하방향으로 길게 설치될 수 있다.
지지 부재(131)는 하나 이상일 수 있다. 예를 들어, 지지 부재(131)는 두 개일 수 있다. 두 개의 지지 부재(131)는 수용 공간(132)을 사이에 두고 서로 이격되도록 위치될 수 있다. 이와 다르게 지지 부재(131)는 도면에 도시된 방향을 기준으로 좌우 방향으로 수용 공간(132)을 중심으로 하여 120도 각도마다 위치된 것도 가능할 수 있다.
한편, 전술한 수용 부재(120)는 상기 분리 유닛(130)에서 멀어질수록 내경이 증가되는 원기둥 형상일 수 있다. 이에 따라, 부유 부재(110)가 유체에 의해 부유되는 경우, 수용 부재(120)의 상부가 하부보다 내경이 감소됨으로써, 부유 부재(110)가 수용 부재(120)의 중심으로 이동되다가 두 개의 지지 부재(131) 사이에 끼워질 수 있다.
이를 위한 부유 부재(110)는 직경이 상기 두 개의 지지 부재(131) 사이의 간격과 동일한 구(sphere) 형상일 수 있다. 이에 따라, 구 형상의 부유 부재(110)가 지지 부재(131) 사이에 끼워졌다가 분리 유닛(130)에 의해 재차 용이하게 분리될 수 있다.
슬라이딩 부재(133)는 상기 지지 부재(131)에 슬라이딩 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 부유 부재(110)가 상기 지지 부재(131)에 지지되어 있는 경우, 슬라이딩 부재(133)는 상기 부유 부재(110)를 밀어서 상기 부유 부재(110)가 상기 지지 부재(131)로부터 분리될 수 있게 한다.
도면에 도시된 방향을 기준으로 슬라이딩 부재(133)는 지지 부재(131)와 직교하도록 위치되어 지지 부재(131)를 좌우 방향으로 관통할 수 있다. 이를 위한 슬라이딩 부재(133)의 형상은 일례로 막대 형상일 수 있다.
슬라이딩 부재(133)에서 부유 부재(110)와 접촉되는 일측 단부의 형상은 반원 형상일 수 있고, 타측 단부는 후술할 구동부(136) 내부에 수용될 수 있다. 이러한 슬라이딩 부재(133)가 지지 부재(131) 각각으로부터 돌출되면, 각각의 슬라이딩 부재(133)의 일단이 서로 인접하게 위치될 수 있다. 이때, 부유 부재(110)가 유체의 점성에 의해 지지 부재(131)에 부착되더라도, 슬라이딩 부재(133)에 의해 밀려나서 지지 부재(131)로부터 분리될 수 있다.
한편, 슬라이딩 부재(133)의 구동을 위한 분리 유닛(130)에 대해 더욱 상세하게 설명하면, 분리 유닛(130)은 압력 감지 부재(134), 유체 감지 부재(135) 및 구동부(136)를 포함할 수 있다.
압력 감지 부재(134)는 상기 지지 부재(131)에 설치될 수 있다. 압력 감지 부재(134)는 상기 부유 부재(110)가 상기 지지 부재(131)를 가압하였음을 감지할 수 있다. 압력 감지 부재(134)는 지지 부재(131)에서 후술할 구동부(136)와 밀착되는 단부에 위치될 수 있다. 압력 감지 부재(134)는 일례로 피에조(piezo) 압력 센서일 수 있으나, 이에 한정하지는 않는다.
유체 감지 부재(135)는 상기 지지 부재(131)에 설치되고, 주변에 유체가 있음을 감지할 수 있다. 즉, 유체 감지 부재(135)는 수용 부재(120)에 인접하게 위치될 수 있으며, 유체가 수용 부재(120)에 채워져 있는지 여부를 감지할 수 있다.
이를 위한 유체 감지 부재(135)는 일례로 유체 감지 센서일 수 있다. 유체 감지 부재(135)는 후술할 구동부(136)와 전기적으로 연결되고, 유체를 감지했는지 여부를 구동부(136)로 전송할 수 있다.
구동부(136)는 상기 압력 감지 부재(134) 및 유체 감지 부재(135)와 전기적으로 연결되고, 상기 압력 감지 부재(134)에서 감지한 압력 데이터를 전송받을 수 있다. 유체 감지 부재(135)가 유체를 감지하지 못한 상태에서, 상기 부유 부재(110)가 상기 지지 부재(131)를 가압하는 상태가 기준 시간 이상 지속되면, 구동부(136)는 상기 슬라이딩 부재(133)를 동작시킬 수 있다.
이때, 상기 기준 시간은 1초 내지 3초 범위에 포함될 수 있으나, 특정 시간으로 제한하지는 않는다. 이러한 구동부(136)는 일례로 솔레노이드 방식으로 슬라이딩 부재(133)를 이동시킬 수 있으나, 이에 한정하지는 않으며, 대상물을 직선 왕복 이동시킬 수 있는 것이면 어느 것이든 무방할 수 있다.
이와 같은 구동부(136)는 상기 슬라이딩 부재(133)의 일단이 상기 지지 부재(131)로부터 노출된 상태를 유지하게 하고, 상기 부유 부재(110)를 상기 지지 부재(131)로부터 밀어내야 하는 경우, 상기 슬라이딩 부재(133)를 상기 부유 부재(110)측으로 더욱 돌출시켰다가 초기 위치로 다시 복귀시킬 수 있다.
이하에서는 도면을 참조하여 분리 유닛(130)의 동작 과정에 대하여 더욱 상세하게 설명하기로 한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 부유 부재(110)가 유체(미도시)에 의하여 부유되면, 부유 부재(110)가 유체의 수면을 따라 상승되어 지지 부재(131) 사이의 수용 공간(132)에 위치될 수 있다. 이때, 설명의 편의를 위하여 압력 감지 부재(134)가 감지한 압력의 값은 100인 것으로 정의하기로 한다. 여기서, 100은 수치가 없는 절대값이다. 부유 부재(110)가 지지 부재(131) 사이에 끼워지면서, 잉크나 처리액과 같은 액체의 이동이 신속하게 차단될 수 있다.
이후, 도 5에 도시된 바와 같이, 부유 부재(110)를 부유시키고 있던 유체가 제거될 수 있다. 부유 부재(110)는 유체의 수면을 따라 하강하여야 하나, 부유 부재(110)는 유체의 점성(표면 장력) 또는 지지 부재(131)들에 의해 누르는 압력에 의해 지지 부재(131) 사이에 끼워진 상태가 유지될 수 있다. 이때, 설명의 편의를 위하여 압력 감지 부재(134)가 감지한 압력의 값은 70인 것으로 정의하기로 한다. 여기서, 70은 수치가 없는 절대값이다. 유체가 제거되어 있으므로, 유체가 부유 부재(110)를 부유시킨 경우와 비교하여 압력 감지 부재(134)에서 측정된 압력값은 앞의 경우보다 낮아질 수 있다.
이와 같이 압력 감지 부재(134)에서 감지한 압력값이 낮아진 상태가 기준 시간인, 예컨대 1초 범위에 포함되면, 구동부(136)는 슬라이딩 부재(133)를 동작시킨다. 슬라이딩 부재(133)가 돌출되었다가 초기 위치로 복원되고, 부유 부재(110)는 슬라이딩 부재(133)에 의하여 지지 부재(131)로부터 분리되어 수용 부재(120)의 하측을 향하여 낙하할 수 있다. 이에 따라, 기체는 배출 부재(140)를 통하여 자유롭게 출입될 수 있다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 제어 장치(100)가 설치될 수 있는 기판 처리 시스템에 대해 설명하기로 한다.
도 6을 참조하면, 기판 처리 시스템(1000)은 유체 제어 장치(100), 저장 탱크(200), 유체 취급 장치(300) 및 이송 배관(400)을 포함한다.
유체 제어 장치(100)는 전술하였으므로, 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.
저장 탱크(200)는 유체를 저장할 수 있다. 이를 위한 저장 탱크(200)는 유체를 저장하는 일반적인 저장조와 유사한 형상일 수 있다. 유체는 잉크젯 헤드로부터 토출되는 액적이나 기판의 세정에 사용되는 처리액 등일 수 있다.
전술한 유체 제어 장치(100)는 저장 탱크(200)에 설치될 수 있다. 더욱 상세하게 설명하면, 유체 제어 장치(100)는 저장 탱크(200)의 상측에서 유체가 다른 곳으로 배출되는 부분에 설치될 수 있다. 이에 따라, 저장 탱크(200)에서 저장할 수 있는 용량 이상의 유체가 저장 탱크(200)로 공급되면, 유체 제어 장치(100)는 전술한 바와 같이 동작되어 배출되는 유체의 흐름을 차단할 수 있다.
유체 취급 장치(300)는 상기 저장 탱크(200)로부터 유체를 공급받는다. 유체 취급 장치(300)는 잉크젯 헤드로 잉크를 적절하게 공급하는 액적 공급 장치일 수 있다. 이와 다르게, 기판으로 처리액을 공급하는 처리액 공급 장치일 수도 있다. 유체 취급 장치(300)는 기판 처리 시스템(1000)에 포함된 다양한 장치가 될 수 있다.
이송 배관(400)은 상기 저장 탱크(200)에서 유체 제어 장치(100)가 설치된 부분과 유체 취급 장치(300)를 연결할 수 있다. 이러한 이송 배관(400), 저장 탱크(200) 및 유체 취급 장치(300)는 일반적인 기판 처리 시스템(1000)에 포함된 것일 수 있으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
전술한 바와 같이 본 발명에 따른 기판 처리 시스템(1000)은 유체 제어 장치(100)를 포함한다. 유체가 외부로부터 저장 탱크(200)로 과도하게 공급(Overflow)되면, 부유 부재(110)가 유체에 의해 부유되어 지지 부재(131)에 끼워지면서 유체의 이동이 신속하게 차단될 수 있다. 따라서, 유체 제어 장치(100)는 기판 처리 시스템(1000)에 포함된 인터락(미도시)이 활성화되기 전에 유체가 저장 탱크(200)로부터 넘치는 것을 안정적으로 방지할 수 있다.
그리고, 본 발명에 따른 유체 제어 장치(100)는 분리 유닛(130)을 포함한다. 그러므로, 저장 탱크(200) 내부의 유체의 수위가 낮아진 상태에서, 부유 부재(110)가 유체의 점성(표면 장력) 또는 지지 부재(131)들에 의해 누르는 압력에 의해 지지 부재(131) 사이에 끼워진 상태가 유지되더라도, 부유 부재(110)는 슬라이딩 부재(133)에 의해 밀려나면서 지지 부재(131)로부터 분리될 수 있다.
이상에서 본 발명의 여러 실시예에 대하여 설명하였으나, 지금까지 참조한 도면과 기재된 발명의 상세한 설명은 단지 본 발명의 예시적인 것으로서, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
100: 유체 제어 장치
110: 부유 부재 120: 수용 부재
130: 분리 유닛 131: 지지 부재
132: 수용 공간 133: 슬라이딩 부재
134: 압력 감지 부재 135: 유체 감지 부재
136: 구동부 140: 배출 부재
1000: 기판 처리 시스템
200: 저장 탱크 300: 유체 취급 장치
400: 이송 배관

Claims (10)

  1. 유체에 의하여 부유되는 부유 부재;
    유체는 통과시키면서 상기 부유 부재가 외부로 이탈되는 것을 방지하도록 상기 부유 부재를 수용하는 수용 부재;
    상기 수용 부재에 결합되고, 상기 부유 부재가 끼워질 수 있는 수용 공간을 포함하며, 상기 수용 공간에 끼워진 상기 부유 부재를 가압하여 상기 수용 부재로 이동될 수 있게 하는 분리 유닛; 및
    상기 분리 유닛에 결합되고, 상기 분리 유닛을 통과한 유체가 배출될 수 있게 하는 배출 부재;를 포함하는 유체 제어 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 분리 유닛은,
    상기 수용 공간을 감싸도록 위치되고, 상기 유체에 의해 부유되는 상기 부유 부재를 지지하는 하나 이상의 지지 부재; 및
    상기 지지 부재에 슬라이딩 이동 가능하게 결합되고, 상기 부유 부재가 상기 지지 부재에 지지되어 있는 경우, 상기 부유 부재를 밀어서 상기 부유 부재가 상기 지지 부재로부터 분리될 수 있게 하는 슬라이딩 부재;를 포함하는 유체 제어 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 분리 유닛은,
    상기 지지 부재에 설치되고, 상기 부유 부재가 상기 지지 부재를 가압하였음을 감지하는 압력 감지 부재;
    상기 지지 부재에 설치되고, 주변에 유체가 있음을 감지하는 유체 감지 부재; 및
    상기 압력 감지 부재 및 상기 유체 감지 부재와 전기적으로 연결되고, 상기 압력 감지 부재에서 감지한 압력 데이터를 전송받으며, 상기 유체 감지 부재가 유체를 감지하지 않은 상태에서, 상기 부유 부재가 상기 지지 부재를 가압하는 상태가 기준 시간 이상 지속되면, 상기 슬라이딩 부재를 동작시키는 구동부;를 포함하는 유체 제어 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 기준 시간은 1초 내지 3초 범위에 포함되는 유체 제어 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 지지 부재는 두 개이고, 상기 두 개의 지지 부재는 상기 수용 공간을 사이에 두고 서로 이격되게 위치되며,
    상기 부유 부재는 직경이 상기 두 개의 지지 부재 사이의 간격과 동일한 구(sphere) 형상인 유체 제어 장치.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 구동부는,
    상기 슬라이딩 부재의 일단이 상기 지지 부재로부터 노출된 상태를 유지하게 하고, 상기 부유 부재를 상기 지지 부재로부터 밀어내야 하는 경우, 상기 슬라이딩 부재를 상기 부유 부재측으로 더욱 돌출시켰다가 초기 위치로 다시 복귀시키는 유체 제어 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 수용 부재는 상기 분리 유닛에서 멀어질수록 내경이 증가되는 원기둥 형상인 유체 제어 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 수용 부재는 메쉬(mesh) 구조인 유체 제어 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 부유 부재의 소재는 강화 플라스틱인 유체 제어 장치.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 따른 유체 제어 장치;
    상기 유체 제어 장치가 설치되고, 유체를 저장하는 저장 탱크;
    상기 저장 탱크로부터 유체를 공급받는 유체 취급 장치; 및
    상기 저장 탱크에서 유체 제어 장치가 설치된 부분과 상기 유체 취급 장치를 연결하는 이송 배관;을 포함하는 기판 처리 시스템.
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