KR20210001921A

KR20210001921A - scribing wheel

Info

Publication number: KR20210001921A
Application number: KR1020200062882A
Authority: KR
Inventors: 나오코 도메이; 겐지 무라카미
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2019-06-28
Filing date: 2020-05-26
Publication date: 2021-01-06
Also published as: JP2021006374A; CN112142317A; TW202103885A

Abstract

The present invention provides a scribing wheel which has a long lifespan and the quality of a workpiece is hardly deteriorated. The scribing wheel (10) comprises a diamond blade tip part (30). The blade tip part (30) comprises a fore-end part (40) subjected to R chamfering, and a contact suppressing structure (50) configured to form a space between the workpiece in a state of being pressed against the workpiece.

Description

Scribing wheel

본 발명은 피가공물의 스크라이브 가공에 이용되는 스크라이빙 휠에 관한 것이다.The present invention relates to a scribing wheel used for scribing a workpiece.

취성 재료 기판 등의 피가공물을 스크라이브 가공하기 위해서 스크라이빙 휠이 이용된다. 스크라이빙 휠의 소재는 예를 들면 초경(超硬) 합금 또는 다이아몬드이다. 스크라이빙 휠의 종류는 피가공물의 종류 등에 따라 선택된다. 다이아몬드제의 스크라이빙 휠은 초경 합금제의 스크라이빙 휠과 비교하여 내구성이 높다. 다만, 칼날끝부의 이빠짐 등이 생기지 않는 것은 아니다. 특허 문헌 1은 단결정 다이아몬드제의 스크라이빙 휠의 수명이 길어지도록, 칼날끝부의 선단부에 R면취(面取) 가공을 실시하는 기술을 개시하고 있다. A scribing wheel is used to scribe a workpiece such as a brittle material substrate. The material of the scribing wheel is, for example, a carbide or diamond. The type of scribing wheel is selected according to the type of the workpiece. The diamond-made scribing wheel has high durability compared to the carbide-made scribing wheel. However, this does not mean that the blade tip does not come off. Patent Document 1 discloses a technique for performing R chamfering on the tip of a blade so that the life of a single crystal diamond scribing wheel is prolonged.

특허문헌 1 : 일본특허공개 제2018－52129호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Laid-Open No. 2018-52129

브레이크(break) 공정에서 브레이크된 피가공물의 품질은 피가공물에 형성된 수직 크랙의 깊이의 영향을 받는다. 수직 크랙의 깊이가 깊은 경우에는, 브레이크된 피가공물의 품질이 저하되기 어렵다. 스크라이브 가공시에 스크라이빙 휠에 의해 피가공물에 부여되는 하중(이하 「스크라이브 하중」이라고 함)의 크기는 수직 크랙의 깊이에 영향을 미친다. The quality of the workpiece broken in the break process is affected by the depth of vertical cracks formed in the workpiece. When the depth of the vertical crack is deep, it is difficult to deteriorate the quality of the broken workpiece. During scribing, the magnitude of the load (hereinafter referred to as "scribe load") applied to the workpiece by the scribing wheel affects the depth of the vertical crack.

칼날끝부의 선단부에 R면취 가공이 실시된 스크라이빙 휠을 이용한 경우의 수직 크랙의 깊이는, 칼날끝부의 선단부가 예리한 스크라이빙 휠을 이용한 경우의 수직 크랙의 깊이보다도 얕게 된다. 칼날끝부의 선단부에 R면취 가공이 실시된 스크라이빙 휠을 이용하는 경우, 피가공물에 깊은 수직 크랙을 형성하기 위한 수단은 예를 들면 큰 스크라이브 하중을 피가공물에 부여하는 것이다. 이것은 스크라이빙 휠의 수명이나 피가공물의 품질과의 관계로부터 바람직하지 않을 가능성이 있다. The depth of the vertical crack in the case of using a scribing wheel with R chamfering on the tip of the blade is shallower than the depth of the vertical crack in the case of using a scribing wheel with a sharp tip of the blade. In the case of using a scribing wheel in which R chamfering has been applied to the tip of the blade, the means for forming deep vertical cracks in the workpiece is, for example, applying a large scribing load to the workpiece. This may be undesirable from the relationship between the life of the scribing wheel or the quality of the workpiece.

스크라이브 하중은 수직 크랙의 깊이만이 아니라, 예를 들면 스크라이빙 휠의 마모의 진행, 및 스크라이브 가공시에서의 피가공물의 품질의 일방 또는 양쪽 모두에 영향을 미친다. 스크라이브 하중이 커질수록 스크라이빙 휠의 마모가 진행되기 쉬워, 스크라이빙 휠의 수명을 줄일 우려가 있다. 스크라이브 하중이 너무 큰 경우, 스크라이브 가공된 피가공물의 품질이 저하될 우려가 있다. The scribe load affects not only the depth of the vertical crack, but also the progress of wear of the scribing wheel, for example, and one or both of the quality of the workpiece during scribing. As the scribing load increases, the scribing wheel wears more easily, and there is a concern that the life of the scribing wheel is reduced. If the scribe load is too large, there is a concern that the quality of the scribed workpiece may be deteriorated.

본 발명의 목적은 수명이 길고, 피가공물의 품질이 저하되기 어려운 스크라이빙 휠을 제공하는 것이다. An object of the present invention is to provide a scribing wheel that has a long life and is less likely to deteriorate the quality of a workpiece.

본 발명에 관한 스크라이빙 휠은 다이아몬드제의 칼날끝부를 포함하는 스크라이빙 휠로서, 상기 칼날끝부는 R면취(面取) 가공이 실시된 선단부, 및 피가공물에 대고 눌려진 상태에서 피가공물과의 사이에 공간이 형성되도록 구성된 접촉 억제 구조를 포함한다. The scribing wheel according to the present invention is a scribing wheel including a blade tip made of diamond, wherein the blade tip is a tip portion subjected to R chamfering, and a workpiece and a workpiece while being pressed against the workpiece. It includes a contact inhibiting structure configured to form a space between the.

상기 스크라이빙 휠에서는 예를 들면 다음의 2개의 효과가 얻어진다. 첫번째의 효과로서, 스크라이빙 휠의 수명이 길어진다. 칼날끝부의 선단부에 R면취 가공이 실시되는 것에 의해, 칼날끝부의 선단부에서의 국소적인 하중의 작용이 억제된다. 이것에 따라 칼날끝부의 선단부의 이빠짐의 발생을 억제하는 효과, 및 칼날끝부의 선단부의 마모의 진행을 억제하는 효과의 일방 또는 양쪽 모두가 얻어진다. 이들 효과는 스크라이빙 휠의 수명을 길게 하는 것에 기여한다. 두번째의 효과로서, 피가공물에 적절히 수직 크랙이 형성되고, 피가공물의 품질이 저하되기 어려워진다. 그 이유는 다음과 같이 생각된다. 상기 스크라이빙 휠의 칼날끝부가 피가공물에 대고 눌려진 상태에서는, 접촉 억제 구조와 피가공물과의 사이에 공간이 형성된다. 피가공물에서 칼날끝부가 접촉하는 부분에 관한 단위 면적당 스크라이브 하중이 크게 되고, 피가공물에 국소적으로 스크라이브 하중이 작용하여, 수직 크랙이 신장되기 쉬워진다. 이것은 피가공물에 깊은 수직 크랙을 형성하는 것에 기여한다. 접촉 억제 구조의 작용에 의해 피가공물에 깊은 수직 크랙이 형성되기 때문에, 스크라이브 하중을 조정할 수 있는 범위가 넓어진다. 피가공물에 부여되는 스크라이브 하중이 작은 경우, 스크라이빙 휠의 마모의 진행을 억제하는 효과, 및 스크라이브 가공되는 피가공물의 품질을 높이는 효과의 일방 또는 양쪽 모두가 얻어진다. In the scribing wheel, for example, the following two effects are obtained. As a first effect, the life of the scribing wheel is prolonged. By performing R chamfering on the tip of the blade tip, the action of a local load at the tip of the blade is suppressed. Thereby, one or both of the effect of suppressing the occurrence of the detachment of the tip end portion of the blade and the effect of suppressing the progression of wear of the tip end portion of the blade tip are obtained. These effects contribute to prolonging the life of the scribing wheel. As a second effect, vertical cracks are appropriately formed in the workpiece, and the quality of the workpiece becomes difficult to deteriorate. The reason is considered as follows. When the blade tip of the scribing wheel is pressed against the workpiece, a space is formed between the contact inhibiting structure and the workpiece. The scribe load per unit area on the part of the workpiece where the blade tip contacts is increased, and the scribe load is locally applied to the workpiece, so that vertical cracks tend to be elongated. This contributes to the formation of deep vertical cracks in the workpiece. Since deep vertical cracks are formed in the workpiece by the action of the contact suppressing structure, the range in which the scribing load can be adjusted is widened. When the scribing load applied to the workpiece is small, one or both of the effect of suppressing the progression of abrasion of the scribing wheel and the effect of improving the quality of the workpiece to be scribed are obtained.

상기 스크라이빙 휠의 일 예에서는, 상기 접촉 억제 구조는 상기 스크라이빙 휠의 내부를 향해서 패인 오목부를 포함한다. In an example of the scribing wheel, the contact inhibiting structure includes a concave portion recessed toward the inside of the scribing wheel.

상기 스크라이빙 휠에 의하면, 칼날끝부에 오목부를 형성하는 것에 따라 칼날끝부에 접촉 억제 구조를 형성할 수 있다. 이것은 접촉 억제 구조의 형성하기 위한 제조상의 부하를 경감하는 것에 기여한다. According to the scribing wheel, by forming the concave portion in the blade tip, it is possible to form a contact inhibiting structure in the blade tip. This contributes to reducing the manufacturing load for forming the contact inhibiting structure.

상기 스크라이빙 휠의 일 예에서는, 상기 칼날끝부는 상기 스크라이빙 휠의 둘레 방향으로 기복(起伏)하는 제1 기복부를 더 포함하며, 상기 제1 기복부는 복수의 골(谷) 및 복수의 산(山)을 포함하고, 상기 접촉 억제 구조를 구성한다. In an example of the scribing wheel, the edge of the blade further includes a first undulation portion undulating in the circumferential direction of the scribing wheel, and the first undulation portion is a plurality of valleys and a plurality of It contains an acid and constitutes the said contact suppressing structure.

상기 스크라이빙 휠에서는, 스크라이브 가공시에 피가공물에 대한 스크라이빙 휠의 미끄럼이 생기기 어렵다. 그 이유는 다음과 같이 생각된다. 피가공물에 대한 스크라이빙 휠의 주사(走査)에 따라 스크라이빙 휠이 피가공물에 대해서 회전하고, 제1 기복부의 산의 산 꼭대기를 포함하는 부분이 주기적으로 피가공물에 접촉하여, 칼날끝부와 피가공물과의 사이의 마찰력이 증가한다. 그 영향에 의해 피가공물에 대한 스크라이빙 휠의 미끄럼의 발생이 억제된다. In the scribing wheel, it is difficult to cause the scribing wheel to slide against the workpiece during scribing. The reason is considered as follows. The scribing wheel rotates with respect to the workpiece according to the scanning of the scribing wheel against the workpiece, and the portion including the peak of the mountain of the first undulation periodically contacts the workpiece, and the blade The friction force between the end and the workpiece increases. The effect of this suppresses the occurrence of slipping of the scribing wheel on the workpiece.

상기 스크라이빙 휠의 일 예에서는, 상기 칼날끝부는 상기 스크라이빙 휠의 둘레 방향으로 긴 홈을 더 포함하며, 상기 제1 기복부는 상기 홈의 저면에 형성된다. In an example of the scribing wheel, the edge of the blade further includes a long groove in the circumferential direction of the scribing wheel, and the first undulation is formed on a bottom surface of the groove.

상기 스크라이빙 휠에 의하면, 칼날끝부에 홈을 형성하는 것에 따라 칼날끝부에 접촉 억제 구조를 형성할 수 있다. 이것은 접촉 억제 구조의 형성하기 위한 제조상의 부하를 경감하는 것에 기여한다. According to the scribing wheel, by forming a groove in the blade tip, a contact suppressing structure can be formed on the blade tip. This contributes to reducing the manufacturing load for forming the contact inhibiting structure.

상기 스크라이빙 휠의 일 예에서는, 상기 칼날끝부는 상기 칼날끝부의 칼날끝면의 경사 방향으로 기복하는 제2 기복부를 더 포함하며, 상기 제2 기복부는 복수의 골 및 복수의 산을 포함하고, 상기 접촉 억제 구조를 구성한다. In one example of the scribing wheel, the blade tip further includes a second undulation portion undulating in an oblique direction of the blade tip of the blade tip, and the second undulation portion includes a plurality of valleys and a plurality of mountains, It constitutes the above contact suppressing structure.

상기 스크라이빙 휠에서는, 스크라이브 가공시에 피가공물에 대한 스크라이빙 휠의 미끄럼이 생기기 어렵다. 그 이유는 다음과 같이 생각된다. 제2 기복부의 일부와 피가공물과의 접촉에 의해 칼날끝부와 피가공물과의 사이의 마찰력이 증가된다. 그 영향에 의해 피가공물에 대한 스크라이빙 휠의 미끄럼의 발생이 억제된다. In the scribing wheel, it is difficult to cause the scribing wheel to slide against the workpiece during scribing. The reason is considered as follows. The frictional force between the blade tip and the workpiece is increased by contacting a part of the second undulating portion with the workpiece. The effect of this suppresses the occurrence of slipping of the scribing wheel on the workpiece.

상기 스크라이빙 휠의 일 예에서는, 상기 칼날끝부는 상기 스크라이빙 휠의 둘레 방향으로 긴 복수의 홈을 더 포함하며, 상기 제2 기복부는 상기 경사 방향으로 늘어서는 상기 복수의 홈에 의해 구성된다. In an example of the scribing wheel, the blade tip further includes a plurality of grooves that are long in the circumferential direction of the scribing wheel, and the second undulation is constituted by the plurality of grooves arranged in the oblique direction do.

상기 스크라이빙 휠에 의하면, 칼날끝면의 경사 방향으로 늘어서는 복수의 홈을 칼날끝부에 형성하는 것에 따라 칼날끝부에 접촉 억제 구조를 형성할 수 있다. 이것은 접촉 억제 구조를 형성하기 위한 제조상의 부하를 경감하는 것에 기여한다. According to the scribing wheel, by forming a plurality of grooves arranged in the oblique direction of the edge of the edge, the contact suppressing structure can be formed at the edge of the edge. This contributes to alleviating the manufacturing load for forming the contact inhibiting structure.

상기 스크라이빙 휠의 일 예에서는, 상기 선단부의 곡률 반경은 1μm~10μm의 범위에 포함된다. In an example of the scribing wheel, the radius of curvature of the tip portion is in the range of 1 μm to 10 μm.

선단부의 곡률 반경이 1μm 이상인 경우, 칼날끝부의 이빠짐의 발생을 억제하는 효과, 및 칼날끝부의 마모의 진행을 억제하는 효과의 일방 또는 양쪽 모두가 향상된다. 선단부의 곡률 반경이 10μm 이하인 경우, 깊은 수직 크랙이 피가공물에 형성되기 쉬워진다. When the radius of curvature of the tip portion is 1 μm or more, one or both of the effect of suppressing the occurrence of detachment of the blade tip and the effect of suppressing the progress of wear of the blade tip are improved. When the radius of curvature of the tip portion is 10 μm or less, deep vertical cracks are liable to be formed in the workpiece.

상기 스크라이빙 휠의 일 예에서는, 상기 다이아몬드는 단결정 다이아몬드이다. In one example of the scribing wheel, the diamond is a single crystal diamond.

상기 스크라이빙 휠에 의하면, 예를 들면 초경 합금제의 스크라이빙 휠과 비교하여 수명이 길어진다. According to the scribing wheel, for example, compared with a scribing wheel made of a cemented carbide, the service life becomes longer.

본 발명에 관한 스크라이빙 휠에 의하면, 수명이 길고, 피가공물의 품질이 저하되기 어렵다. According to the scribing wheel according to the present invention, the service life is long and the quality of the workpiece is difficult to be deteriorated.

도 1은 제1 실시 형태의 스크라이빙 휠의 측면도이다.
도 2는 도 1의 스크라이빙 휠의 정면도이다.
도 3은 정면에서 볼 때의 칼날끝부의 확대도이다.
도 4는 측면에서 볼 때의 칼날끝부의 확대도이다.
도 5는 제1 기복부의 기복 곡선의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 6은 제2 기복부의 기복 곡선의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 7은 스크라이빙 휠의 제조 공정을 나타내는 도면이다.
도 8은 칼날끝부와 피가공물과의 관계를 나타내는 모델도이다.
도 9는 제2 실시 형태의 칼날끝부의 모델도이다. 1 is a side view of a scribing wheel according to a first embodiment.
Figure 2 is a front view of the scribing wheel of Figure 1;
3 is an enlarged view of the tip of the blade as viewed from the front.
4 is an enlarged view of the tip of the blade as viewed from the side.
5 is a diagram illustrating an example of an undulation curve of a first undulation.
6 is a diagram illustrating an example of an undulation curve of a second undulation portion.
7 is a diagram showing a manufacturing process of a scribing wheel.
8 is a model diagram showing the relationship between a blade tip and a workpiece.
9 is a model diagram of a blade tip according to a second embodiment.

(제1 실시 형태)(First embodiment)

도 1에 나타내어지는 스크라이빙 휠(10)은 피가공물의 스크라이브 가공에 이용된다. 피가공물은 예를 들면 기판이다. 기판은 예를 들면 취성 재료 기판이다. 취성 재료 기판은 예를 들면 유리 기판 또는 세라믹스 기판이다. 스크라이빙 휠(10)은 본체(20) 및 칼날끝부(30)를 구비하고 있다. 스크라이빙 휠(10) 중 적어도 칼날끝부(30)는 고경도 재료에 의해 형성된다. 고경도 재료는 예를 들면 다이아몬드 소결체, 단결정 다이아몬드, 또는, 다결정 다이아몬드이다. 스크라이빙 휠(10)의 기초적 구조는 예를 들면 제1 구조 및 제2 구조로 분류된다. 제1 구조에서는, 스크라이빙 휠(10)의 전체가 고경도 재료에 의해 형성된다. 제2 구조에서는, 스크라이빙 휠(10)은 비(非)고경도 재료에 의해 형성되는 비고경도부, 및 고경도 재료에 의해 형성되는 고경도부를 포함한다. 고경도부는 예를 들면 비고경도부를 피복하는 코팅층이다. The scribing wheel 10 shown in FIG. 1 is used for scribing a workpiece. The workpiece is, for example, a substrate. The substrate is, for example, a brittle material substrate. The brittle material substrate is, for example, a glass substrate or a ceramic substrate. The scribing wheel 10 has a main body 20 and a blade tip 30. At least the blade tip 30 of the scribing wheel 10 is formed of a high hardness material. The high hardness material is, for example, a diamond sintered body, a single crystal diamond, or a polycrystalline diamond. The basic structure of the scribing wheel 10 is classified into, for example, a first structure and a second structure. In the first structure, the entire scribing wheel 10 is formed of a high hardness material. In the second structure, the scribing wheel 10 includes a non-high hardness portion formed of a non-high hardness material, and a high hardness portion formed of a high hardness material. The high hardness part is a coating layer covering the non-high hardness part, for example.

일 예에서는, 스크라이빙 휠(10)의 전체가 단결정 다이아몬드 또는 다결정 다이아몬드에 의해 구성된다. 본체(20)는 스크라이빙 휠(10)의 중심축(10A) 둘레에 마련되어 있다. 이하에서는, 스크라이빙 휠(10)의 중심축(10A)을 따르는 방향을 스크라이빙 휠(10)의 축방향이라고 칭한다. 스크라이빙 휠(10)의 축방향에서 스크라이빙 휠(10)의 중심을 통과하고, 중심축(10A)에 직교하는 면을 중심면이라고 칭한다. 스크라이빙 휠(10)은 중심면에 대해서 대칭 또는 비대칭이다. 도 1에 나타내어지는 예에서는, 스크라이빙 휠(10)은 중심면에 대해서 대칭이다. 중심면은 스크라이빙 휠(10)의 대칭면에 상당한다. In one example, the entire scribing wheel 10 is made of single crystal diamond or polycrystalline diamond. The main body 20 is provided around the central axis 10A of the scribing wheel 10. Hereinafter, the direction along the central axis 10A of the scribing wheel 10 is referred to as the axial direction of the scribing wheel 10. A surface that passes through the center of the scribing wheel 10 in the axial direction of the scribing wheel 10 and is orthogonal to the central axis 10A is referred to as a central surface. The scribing wheel 10 is symmetric or asymmetric with respect to the central plane. In the example shown in Fig. 1, the scribing wheel 10 is symmetric with respect to the center plane. The central plane corresponds to the symmetric plane of the scribing wheel 10.

도 1에 나타내어지는 스크라이빙 휠(10)의 측면에서 볼 때에는, 본체(20)의 형상은 고리이다. 본체(20)에는, 본체(20)를 스크라이빙 휠(10)의 축방향으로 관통하는 관통공(21)이 형성되어 있다. 본체(20)의 관통공(21)의 주위에는 면취(面取)(22)가 형성되어 있다. 관통공(21)에는, 스크라이빙 휠(10)을 지지하는 핀이 삽입된다. 스크라이빙 휠(10)과 핀과의 끼워맞춤은, 헐거운 끼워맞춤, 중간 끼움, 또는, 억지 끼워맞춤이다. 핀은 스크라이브 가공 장치에 마련되는 홀더에 지지된다. 핀과 홀더와의 끼워맞춤은, 스크라이빙 휠(10)이 홀더에 대해서 회전할 수 있도록, 헐거운 끼워맞춤, 중간 끼움, 또는, 억지 끼워맞춤으로부터 선택된다. When viewed from the side of the scribing wheel 10 shown in Fig. 1, the shape of the main body 20 is a ring. The body 20 is formed with a through hole 21 penetrating the body 20 in the axial direction of the scribing wheel 10. A chamfer 22 is formed around the through hole 21 of the body 20. A pin for supporting the scribing wheel 10 is inserted into the through hole 21. The fitting between the scribing wheel 10 and the pin is loose fitting, intermediate fitting, or forced fitting. The pin is supported by a holder provided in the scribing apparatus. The fitting between the pin and the holder is selected from a loose fit, an intermediate fit, or an interference fit so that the scribing wheel 10 can rotate with respect to the holder.

칼날끝부(30)는 본체(20)에 대해서 스크라이빙 휠(10)의 지름 방향의 외측에 마련되어 있다. 칼날끝부(30)는 스크라이빙 휠(10)의 칼날을 구성한다. 도 1에 나타내어지는 스크라이빙 휠(10)의 측면에서 볼 때에는, 칼날끝부(30)의 형상은 고리이다. 본체(20)의 표면(23)과 칼날끝부(30)의 표면(31)과의 사이에는 경계선(10C)이 형성되어 있다. 경계선(10C)의 형상은 본체(20)의 형상에 대응하는 원이다. The blade tip 30 is provided outside the body 20 in the radial direction of the scribing wheel 10. The blade tip 30 constitutes the blade of the scribing wheel 10. When viewed from the side of the scribing wheel 10 shown in Fig. 1, the shape of the blade tip 30 is a ring. A boundary line 10C is formed between the surface 23 of the main body 20 and the surface 31 of the blade tip 30. The shape of the boundary line 10C is a circle corresponding to the shape of the main body 20.

도 2에 나타내어지는 바와 같이, 칼날끝부(30)의 두께는 스크라이빙 휠(10)의 지름 방향의 외측으로 향함에 따라 얇게 된다. 단결정 다이아몬드에 의해 구성되는 칼날끝부(30)에서는, 단결정 다이아몬드의 결정 방위에 의해 스크라이빙 휠(10)의 원주 방향의 부위마다 경도가 다르다. 스크라이빙 휠(10)이 단결정 다이아몬드제의 모재(母材)로부터 제조되는 경우, 모재의 가공 방법으로서 예를 들면 레이저 가공이 이용된다. 이 가공 방법에서는 결정 방위의 영향을 받지 않고 단결정 다이아몬드를 가공할 수 있다. As shown in FIG. 2, the thickness of the blade tip 30 becomes thinner toward the outside in the radial direction of the scribing wheel 10. In the blade tip 30 made of single crystal diamond, the hardness varies for each portion of the scribing wheel 10 in the circumferential direction according to the crystal orientation of the single crystal diamond. When the scribing wheel 10 is manufactured from a single crystal diamond base material, laser processing is used as a processing method of the base material, for example. In this processing method, single crystal diamond can be processed without being affected by the crystal orientation.

도 2에 나타내어지는 스크라이빙 휠(10)의 정면에서 볼 때에, 스크라이빙 휠(10)의 윤곽을 나타내는 선을 능선(10B)이라고 칭한다. 일 예에서는, 능선(10B)은 스크라이빙 휠(10)의 중심면 상에 위치한다. 도 1에 나타내어지는 스크라이빙 휠(10)의 측면에서 볼 때에 중심축(10A)과 능선(10B)을 연결하는 선분을 스크라이빙 휠(10)의 반경이라고 칭한다. 스크라이빙 휠(10)의 반경에 의해 정해지는 원을 스크라이빙 휠(10)의 원주라고 칭한다. 스크라이빙 휠(10)의 원주의 직경은 스크라이빙 휠(10)의 외경에 상당한다. When viewed from the front of the scribing wheel 10 shown in Fig. 2, a line representing the outline of the scribing wheel 10 is referred to as a ridge line 10B. In one example, the ridge line 10B is located on the central plane of the scribing wheel 10. When viewed from the side of the scribing wheel 10 shown in FIG. 1, a line segment connecting the central axis 10A and the ridge line 10B is referred to as a radius of the scribing wheel 10. A circle determined by the radius of the scribing wheel 10 is referred to as the circumference of the scribing wheel 10. The diameter of the circumference of the scribing wheel 10 corresponds to the outer diameter of the scribing wheel 10.

칼날끝부(30)의 표면(31)은 능선(10B)을 기준으로 제1 칼날끝면(31A) 및 제2 칼날끝면(31B)으로 구분할 수 있다. 제1 칼날끝면(31A)은 능선(10B)에 대한 스크라이빙 휠(10)의 축방향의 일방에서, 능선(10B)과 경계선(10C)과의 사이로 전개된다. 제2 칼날끝면(31B)은 능선(10B)에 대한 스크라이빙 휠(10)의 축방향의 타방에서, 능선(10B)과 경계선(10C)과의 사이로 전개된다. 이하에서는, 스크라이빙 휠(10)의 정면에서 볼 때 제1 칼날끝면(31A) 또는 제2 칼날끝면(31B)을 따르는 방향을 칼날끝면의 경사 방향이라고 칭한다. The surface 31 of the blade tip 30 may be divided into a first blade tip 31A and a second blade tip 31B based on the ridge line 10B. The 1st blade end surface 31A expands between the ridge line 10B and the boundary line 10C in one of the axial direction of the scribing wheel 10 with respect to the ridge line 10B. The second blade tip surface 31B extends between the ridge line 10B and the boundary line 10C on the other side in the axial direction of the scribing wheel 10 with respect to the ridge line 10B. Hereinafter, a direction along the first edge 31A or the second edge 31B when viewed from the front of the scribing wheel 10 is referred to as the inclination direction of the edge of the blade.

스크라이빙 휠(10)은 스크라이빙 휠(10)의 중심면을 기준으로 제1 베이스부(11) 및 제2 베이스부(12)로 구분할 수 있다. 제1 베이스부(11)는 중심면에 대한 스크라이빙 휠(10)의 축방향의 일방의 부분을 구성한다. 제2 베이스부(12)는 중심면에 대한 스크라이빙 휠(10)의 축방향의 타방의 부분을 구성한다. 제1 베이스부(11) 및 제2 베이스부(12)는 원추대에 관통공(21)을 형성한 입체(立體)에 상당한다. 제1 베이스부(11)의 측면은 제1 칼날끝면(31A)에 상당한다. 제2 베이스부(12)의 측면은 제2 칼날끝면(31B)에 상당한다. 스크라이빙 휠(10)의 중심면에 직교하는 스크라이빙 휠(10)의 단면 상에서는, 제1 칼날끝면(31A) 및 제2 칼날끝면(31B)은 스크라이빙 휠(10)의 원주에서 중심면에 교차하도록 중심면에 대해서 경사져 있다. The scribing wheel 10 may be divided into a first base portion 11 and a second base portion 12 based on a central surface of the scribing wheel 10. The first base portion 11 constitutes one part of the axial direction of the scribing wheel 10 with respect to the central surface. The second base portion 12 constitutes the other part of the axial direction of the scribing wheel 10 with respect to the central surface. The first base portion 11 and the second base portion 12 correspond to a three-dimensional structure in which a through hole 21 is formed in a cone. The side surface of the first base portion 11 corresponds to the first edge surface 31A. The side surface of the second base portion 12 corresponds to the second blade tip surface 31B. On the cross section of the scribing wheel 10 orthogonal to the central surface of the scribing wheel 10, the first edge 31A and the second edge 31B are at the circumference of the scribing wheel 10 It is inclined with respect to the central plane so as to intersect with the central plane.

도 3에 나타내어지는 바와 같이, 칼날끝부(30)는 R면취 가공이 실시된 선단부(40), 및 스크라이브 가공시에 피가공물과의 사이에 공간이 형성되도록 기복하는 접촉 억제 구조(50)를 포함한다. 도 3에서는 칼날끝부(30)의 사이즈에 대해서 선단부(40)의 만곡의 정도를 과장하여 나타내고 있다. 칼날끝부(30)가 단결정 다이아몬드에 의해 형성되는 경우, 단결정 다이아몬드의 결정 방위에 의해 칼날끝부(30)의 경도는 스크라이빙 휠(10)의 원주 방향의 부위마다 다르다. 즉, 칼날끝부(30)에는 결정 방위에 의해 상대적으로 경도가 큰 부분 및 상대적으로 경도가 작은 부분이 포함된다. 칼날끝부(30)의 경도가 작은 부분에서는 칼날끝부(30)의 경도가 큰 부분과 비교하여 이빠짐이 발생될 우려가 높아진다. R면취 가공이 실시된 선단부(40)를 포함하는 칼날끝부(30)에서는, 선단부(40)에서의 국소적인 하중의 작용이 억제되고, 결정 방위에 의한 경도가 작은 부분에서의 이빠짐의 발생이 억제된다. As shown in Figure 3, the blade tip 30 includes a front end portion 40 subjected to R chamfering, and a contact suppression structure 50 that undulates so that a space is formed between the workpiece and the workpiece during scribe processing. do. In FIG. 3, the degree of curvature of the tip portion 40 is exaggerated and shown with respect to the size of the blade tip portion 30. When the blade tip 30 is formed of single crystal diamond, the hardness of the blade tip 30 varies for each portion of the scribing wheel 10 in the circumferential direction according to the crystal orientation of the single crystal diamond. That is, the blade tip 30 includes a portion having a relatively large hardness and a portion having a relatively small hardness depending on the crystal orientation. In the portion where the hardness of the blade tip 30 is small, there is a high possibility that tooth loss may occur compared to the portion where the hardness of the blade tip 30 is large. In the blade tip 30 including the tip portion 40 subjected to R chamfering, the action of a local load on the tip portion 40 is suppressed, and the occurrence of separation in a portion with small hardness due to the crystal orientation is prevented. Is suppressed.

이하에서는, 선단부에 R면취 가공이 실시되지 않고, 칼날끝부에 접촉 억제 구조가 형성되지 않은 스크라이빙 휠을 기준 스크라이빙 휠이라고 칭한다. 기준 스크라이빙 휠의 선단부는 스크라이빙 휠(10)의 선단부(40)와 비교하여 예리하다. 기준 스크라이빙 휠의 칼날끝부의 표면의 기복은 스크라이빙 휠(10)의 칼날끝부(30)의 표면(31)의 기복보다도 작다. Hereinafter, a scribing wheel in which R chamfering is not performed at the tip end and no contact inhibiting structure is formed at the blade end is referred to as a reference scribing wheel. The tip portion of the reference scribing wheel is sharp compared to the tip portion 40 of the scribing wheel 10. The undulations of the surface of the blade tip portion of the reference scribing wheel 10 are smaller than that of the surface 31 of the blade tip 30 of the scribing wheel 10.

선단부(40)의 표면인 선단면(41)은 스크라이빙 휠(10)의 지름 방향의 외측을 향해서 돌출되는 곡면이다. 능선(10B)은 선단부(40)의 꼭대기부에 의해 형성된다. 선단부(40)에 R면취 가공이 실시되어 있기 때문에, 선단부(40)에는 기준 스크라이빙 휠의 선단부로 보여지는 엣지는 존재하지 않는다. 다만, 도 2에서는 기준 스크라이빙 휠의 선단부의 능선을 표현하는 경우와 동일한 표현 방법에 의해 선단부(40)의 능선(10B)을 표현하고 있다. The front end surface 41, which is the surface of the tip portion 40, is a curved surface protruding toward the outside in the radial direction of the scribing wheel 10. The ridge line 10B is formed by the top portion of the tip portion 40. Since R chamfering is performed on the tip portion 40, there is no edge seen as the tip portion of the reference scribing wheel in the tip portion 40. However, in FIG. 2, the ridge line 10B of the tip portion 40 is expressed by the same expression method as in the case of expressing the ridge line of the tip portion of the reference scribing wheel.

선단부(40)의 선단면(41)은 칼날끝부(30)의 표면(31)에 포함된다. 각 칼날끝면(31A, 31B)에서의 선단면(41) 이외의 부분을 주면(主面)(31C)이라고 칭한다. 접촉 억제 구조(50)는 제1 칼날끝면(31A)의 주면(31C) 및 제2 칼날끝면(31B)의 주면(主面)(31C) 중 적어도 일방에 형성된다. 접촉 억제 구조(50)와 주면(31C)과의 관계에 대해 예시한다. 도 3에 나타내어지는 제1 예에서는, 각 칼날끝면(31A, 31B)의 각각의 주면(31C)에 접촉 억제 구조(50)가 형성된다. 제2 예에서는, 제1 칼날끝면(31A)의 주면(31C)에 접촉 억제 구조(50)가 형성되고, 제2 칼날끝면(31B)의 주면(31C)에는 접촉 억제 구조(50)가 형성되지 않는다. 제3 예에서는, 제2 칼날끝면(31B)의 주면(31C)에 접촉 억제 구조(50)가 형성되고, 제1 칼날끝면(31A)의 주면(31C)에는 접촉 억제 구조(50)가 형성되지 않는다. The tip surface 41 of the tip portion 40 is included in the surface 31 of the blade tip 30. A portion of each blade end surface 31A, 31B other than the tip end surface 41 is referred to as a main surface 31C. The contact suppressing structure 50 is formed on at least one of the main surface 31C of the first blade tip surface 31A and the main surface 31C of the second blade tip surface 31B. The relationship between the contact suppressing structure 50 and the main surface 31C is illustrated. In the first example shown in Fig. 3, a contact suppressing structure 50 is formed on each of the main surfaces 31C of each of the edge surfaces 31A and 31B. In the second example, the contact suppressing structure 50 is formed on the main surface 31C of the first blade tip surface 31A, and the contact suppressing structure 50 is not formed on the main surface 31C of the second blade tip surface 31B. Does not. In the third example, the contact suppression structure 50 is formed on the main surface 31C of the second blade tip surface 31B, and the contact suppression structure 50 is not formed on the main surface 31C of the first blade tip surface 31A. Does not.

칼날끝부(30)의 주면(31C)과 피가공물과의 관계에 대해 예시한다. 제1 예에서는, 주면(31C)은 접촉부 및 비접촉부로 구분할 수 있다. 주면(31C)의 접촉부는 칼날끝부(30)가 피가공물에 대고 눌려진 상태에서, 주면(31C) 중 피가공물과 접촉하는 부분이다. 주면(31C)의 접촉부는 주면(31C) 중, 적어도 선단부(40)의 선단면(41)에 인접하는 부분을 포함한다. 주면(31C)의 비접촉부는, 칼날끝부(30)가 피가공물에 대고 눌려진 상태에서, 주면(31C) 중 피가공물과 접촉하지 않는 부분이다. 주면(31C)의 비접촉부는 주면(31C) 중, 적어도 경계선(10C)에 인접하는 부분을 포함한다. 제2 예에서는, 주면(31C)의 전체가 접촉부에 해당한다. The relationship between the main surface 31C of the blade tip 30 and the workpiece is illustrated. In the first example, the main surface 31C can be divided into a contact portion and a non-contact portion. The contact portion of the main surface 31C is a part of the main surface 31C that comes into contact with the workpiece while the blade tip 30 is pressed against the workpiece. The contact portion of the main surface 31C includes at least a portion of the main surface 31C adjacent to the tip end surface 41 of the tip portion 40. The non-contact portion of the main surface 31C is a portion of the main surface 31C that does not contact the workpiece while the blade tip 30 is pressed against the workpiece. The non-contact portion of the main surface 31C includes at least a portion of the main surface 31C adjacent to the boundary line 10C. In the second example, the entire main surface 31C corresponds to the contact portion.

접촉부 및 비접촉부를 포함하는 주면(31C)에서의 접촉 억제 구조(50)의 형성 범위에 대해 예시한다. 제1 예에서는, 접촉 억제 구조(50)는 주면(31C)의 접촉부의 전체, 및 주면(31C)의 비접촉부의 전체에 형성된다. 제2 예에서는, 접촉 억제 구조(50)는 주면(31C)의 접촉부의 전체에 형성되고, 주면(31C)의 비접촉부에는 형성되지 않는다. 제3 예에서는, 접촉 억제 구조(50)는 주면(31C)의 접촉부의 전체, 주면(31C)의 비접촉부의 일부에 형성되고, 주면(31C)의 비접촉부의 다른 일부에는 형성되지 않는다. 제4 예에서는, 접촉 억제 구조(50)는 주면(31C)의 접촉부의 일부에 형성되고, 주면(31C)의 접촉부의 다른 일부 및 주면(31C)의 비접촉부에는 형성되지 않는다. The range of formation of the contact suppressing structure 50 on the main surface 31C including the contact portion and the non-contact portion is illustrated. In the first example, the contact suppressing structure 50 is formed over the entire contact portion of the main surface 31C and the entire non-contact portion of the main surface 31C. In the second example, the contact suppressing structure 50 is formed in the entire contact portion of the main surface 31C, and is not formed in the non-contact portion of the main surface 31C. In the third example, the contact inhibiting structure 50 is formed in the entire contact portion of the main surface 31C and a part of the non-contact portion of the main surface 31C, and is not formed in the other part of the non-contact portion of the main surface 31C. In the fourth example, the contact inhibiting structure 50 is formed in a part of the contact portion of the main surface 31C, and is not formed in the other part of the contact portion of the main surface 31C and the non-contact portion of the main surface 31C.

접촉부만을 포함하는 주면(31C)에서의 접촉 억제 구조(50)의 형성 범위에 대해 예시한다. 제1 예에서는, 접촉 억제 구조(50)는 주면(31C)의 접촉부의 전체에 형성된다. 제2 예에서는, 접촉 억제 구조(50)는 주면(31C)의 접촉부의 일부에 형성되고, 주면(31C)의 접촉부의 다른 일부에는 형성되지 않는다. The range of formation of the contact suppressing structure 50 on the main surface 31C including only the contact portion is illustrated. In the first example, the contact suppressing structure 50 is formed over the entire contact portion of the main surface 31C. In the second example, the contact suppressing structure 50 is formed in a part of the contact portion of the main surface 31C, and is not formed in the other part of the contact portion of the main surface 31C.

스크라이빙 휠(10)의 각 부위의 치수는 피가공물의 사이즈 등에 따라 임의로 선택할 수 있다. 스크라이빙 휠(10)의 외경은 예를 들면 φ1.5mm~φ6mm의 범위로부터 선택된다. 일 예에서는, 스크라이빙 휠(10)의 외경은 φ2mm이다. 본체(20)의 두께는 예를 들면 0.4mm~1.1mm의 범위로부터 선택된다. 일 예에서는, 본체(20)의 두께는 0.64mm이다. 선단부(40)의 선단면(41)에서의 거칠기 곡선의 산술 평균 거칠기는 예를 들면 0.01μm~0.06μm의 범위에 포함된다. 칼날끝부(30)의 주면(31C)에서의 거칠기 곡선의 산술 평균 거칠기는 예를 들면 0.10μm~0.20μm의 범위에 포함된다. 칼날끝부(30)의 주면(31C)에서의 기복 곡선의 평균 길이는 10μm~20μm의 범위에 포함된다. 칼날끝부(30)의 주면(31C)에서의 기복 곡선의 최대 높이는 예를 들면 0.3μm~1.0μm의 범위에 포함된다. The dimensions of each portion of the scribing wheel 10 can be arbitrarily selected according to the size of the workpiece. The outer diameter of the scribing wheel 10 is selected from the range of φ 1.5 mm to φ 6 mm, for example. In one example, the outer diameter of the scribing wheel 10 is φ2mm. The thickness of the body 20 is selected from the range of 0.4 mm to 1.1 mm, for example. In one example, the thickness of the body 20 is 0.64 mm. The arithmetic mean roughness of the roughness curve at the tip end surface 41 of the tip portion 40 is included in the range of, for example, 0.01 μm to 0.06 μm. The arithmetic mean roughness of the roughness curve on the main surface 31C of the blade tip 30 is included in the range of 0.10 μm to 0.20 μm, for example. The average length of the undulation curve on the main surface 31C of the blade tip 30 is included in the range of 10 μm to 20 μm. The maximum height of the undulation curve on the main surface 31C of the blade tip 30 is included in the range of 0.3 μm to 1.0 μm, for example.

스크라이빙 휠(10)은 소정의 칼날끝각(θ)을 가진다. 칼날끝각(θ)은 예를 들면 도 3에 나타내어지는 스크라이빙 휠(10)의 정면에서 볼 때 제1 직선(L1) 및 제2 직선(L2)에 의해 규정된다. 제1 직선(L1)은 칼날끝면의 경사 방향에 평행하고, 또한, 제1 칼날끝면(31A)의 주면(31C)을 통과하는 직선이다. 제2 직선(L2)은 칼날끝면의 경사 방향에 평행하고, 또한, 제2 칼날끝면(31B)의 주면(31C)을 통과하는 직선이다. 칼날끝각(θ)은 제1 직선(L1)과 제2 직선(L2)이 이루는 각도에 상당한다. 칼날끝각(θ)의 크기에 대해 예시한다. 칼날끝각(θ)은 둔각, 직각, 또는, 예각이다. 도시되는 예에서는 칼날끝각(θ)은 둔각이다. 칼날끝각(θ)은 예를 들면 90° ~ 140°의 범위로부터 선택된다. The scribing wheel 10 has a predetermined edge angle (θ). The blade tip angle θ is defined by, for example, a first straight line L1 and a second straight line L2 when viewed from the front of the scribing wheel 10 shown in FIG. 3. The first straight line L1 is a straight line that is parallel to the inclined direction of the edge of the blade and passes through the main surface 31C of the edge of the first edge 31A. The second straight line L2 is a straight line that is parallel to the inclined direction of the edge of the blade and passes through the main surface 31C of the edge of the second edge 31B. The blade tip angle θ corresponds to an angle formed by the first straight line L1 and the second straight line L2. It exemplifies the size of the blade tip angle (θ). The blade tip angle θ is an obtuse angle, a right angle, or an acute angle. In the illustrated example, the blade tip angle θ is an obtuse angle. The blade tip angle θ is selected from a range of 90° to 140°, for example.

선단부(40)의 곡률 반경은 임의로 선택할 수 있다. 일 예에서는, 선단부(40)의 곡률 반경은 제1 조건 ~ 제3 조건 중 적어도 1개를 만족하도록 설정된다. 제1 조건은 스크라이브 가공에 따른 선단부(40)의 이빠짐이 생기기 어려운 것이다. 제1 조건이 만족되는지의 여부에 대해서는, 예를 들면 피가공물에 대한 스크라이빙 휠(10)의 기준의 주행 거리당 생기는 선단부(40)의 이빠짐의 발생 횟수가 규정의 횟수 이하인 것에 의해 확인할 수 있다. 제1 조건이 만족되는 경우, 스크라이빙 휠(10)의 수명이 길어진다. 제2 조건은 스크라이브 가공에 따른 스크라이빙 휠(10)의 마모가 진행되기 어려운 것이다. 제2 조건이 만족되는지의 여부에 대해서는, 예를 들면 피가공물에 대한 스크라이빙 휠(10)의 기준의 주행거리당 선단부(40)의 마모량이 규정의 마모량 이하인 것에 의해 확인할 수 있다. 제2 조건이 만족되는 경우, 스크라이빙 휠(10)의 수명이 길어진다. 제3 조건은 피가공물에 수직 크랙이 적절히 형성되는 것이다. 제3 조건이 만족되는지의 여부에 대해서는, 예를 들면 피가공물의 두께에 대한 수직 크랙의 깊이(이하 「깊이율(率)」이라고 함)가 규정의 범위에 포함되는 것으로 확인할 수 있다. 제3 조건이 만족되는 경우, 스크라이브 가공된 피가공물이 브레이크 가공되었을 때의 피가공물의 품질이 저하되기 어렵다. The radius of curvature of the tip portion 40 can be arbitrarily selected. In one example, the radius of curvature of the tip portion 40 is set to satisfy at least one of the first condition to the third condition. The first condition is that it is difficult to cause separation of the tip portion 40 due to scribing. As to whether the first condition is satisfied, for example, it is confirmed that the number of occurrences of the disengagement of the tip portion 40 that occurs per standard travel distance of the scribing wheel 10 to the workpiece is less than or equal to the prescribed number of times. I can. When the first condition is satisfied, the life of the scribing wheel 10 is extended. The second condition is that it is difficult to wear the scribing wheel 10 due to the scribing process. Whether or not the second condition is satisfied can be confirmed by, for example, that the amount of wear of the tip portion 40 per standard mileage of the scribing wheel 10 to the workpiece is less than or equal to the prescribed amount of wear. When the second condition is satisfied, the life of the scribing wheel 10 is prolonged. The third condition is that vertical cracks are properly formed in the workpiece. As to whether or not the third condition is satisfied, for example, it can be confirmed that the depth of the vertical crack with respect to the thickness of the workpiece (hereinafter referred to as "depth ratio") falls within the prescribed range. When the third condition is satisfied, the quality of the workpiece when the scribed workpiece is braked is difficult to deteriorate.

기본적으로는, 선단부(40)의 곡률 반경이 커질수록, 선단부(40)의 이빠짐의 발생이나 마모의 진행을 억제하는 효과가 향상되고, 수직 크랙의 깊이율이 작아진다. 선단부(40)의 곡률 반경의 최대값은 예를 들면 10μm이다. 선단부(40)의 곡률 반경의 최소값은 예를 들면 1μm이다. 일 예에서는, 선단부(40)의 곡률 반경은 2μm~5μm의 범위로부터 선택된다. 선단부(40)의 곡률 반경이 1μm 이상인 경우, 선단부(40)의 이빠짐의 발생이나 마모의 진행을 억제하는 효과가 향상된다. 선단부(40)의 곡률 반경이 10μm 이하인 경우, 깊은 수직 크랙이 피가공물에 형성되기 쉬워진다. Basically, as the radius of curvature of the tip portion 40 increases, the effect of suppressing the occurrence of detachment of the tip portion 40 or progression of wear is improved, and the depth ratio of vertical cracks decreases. The maximum value of the radius of curvature of the tip portion 40 is, for example, 10 μm. The minimum value of the radius of curvature of the tip portion 40 is 1 μm, for example. In one example, the radius of curvature of the tip portion 40 is selected from the range of 2 μm to 5 μm. When the radius of curvature of the tip portion 40 is 1 μm or more, the effect of suppressing the occurrence of detachment or the progression of wear of the tip portion 40 is improved. When the radius of curvature of the tip portion 40 is 10 μm or less, deep vertical cracks are liable to be formed in the workpiece.

접촉 억제 구조(50)의 구체적인 형태는 임의로 선택할 수 있다. 일 예에서는, 접촉 억제 구조(50)는 칼날끝부(30)의 주면(31C)에 형성되는 하나 또는 복수의 오목부(51)에 의해 구성된다. 접촉 억제 구조(50)가 복수의 오목부(51)를 포함하는 형태에서는, 복수의 오목부(51)의 상호의 관계를 임의로 선택할 수 있다. 복수의 오목부(51)는 규칙적 또는 불규칙하게 배치된다. 규칙적으로 배치되는 복수의 오목부(51)는 소정의 방향으로 늘어놓여진다. 소정의 방향은 예를 들면 스크라이빙 휠(10)의 원주 방향, 칼날끝면의 경사 방향, 또는, 이들 방향의 일방에 교차하는 방향이다. 복수의 오목부(51)의 개구 면적은 동일한 면적 또는 서로 다른 면적으로 설정된다. 복수의 오목부(51)의 깊이는 동일한 깊이 또는 서로 다른 깊이로 설정된다. 오목부(51)의 깊이는 표면 거칠기로 규정되는 최대 골 깊이보다도 깊다. The specific shape of the contact inhibiting structure 50 can be arbitrarily selected. In one example, the contact suppressing structure 50 is constituted by one or a plurality of concave portions 51 formed in the main surface 31C of the blade tip 30. In the form in which the contact suppressing structure 50 includes a plurality of concave portions 51, the relationship between the plurality of concave portions 51 can be selected arbitrarily. The plurality of concave portions 51 are arranged regularly or irregularly. The plurality of concave portions 51 arranged regularly are arranged in a predetermined direction. The predetermined direction is, for example, the circumferential direction of the scribing wheel 10, the inclined direction of the edge of the blade, or a direction intersecting with one of these directions. The opening areas of the plurality of concave portions 51 are set to the same area or different areas. The depths of the plurality of concave portions 51 are set to the same depth or different depths. The depth of the concave portion 51 is deeper than the maximum valley depth defined by the surface roughness.

오목부(51)의 구체적인 형태에 대해 예시한다. The concrete form of the concave part 51 is illustrated.

오목부(51)의 제1 형태에서는, 오목부(51)는 주면(主面)(31C)에 형성되는 홈이다. 홈은 소정의 방향으로 길다. 소정의 방향은 예를 들면 스크라이빙 휠(10)의 원주 방향, 칼날끝면의 경사 방향, 또는, 이들 방향의 일방에 교차하는 방향이다. 도 4에서는, 둘레 방향으로 긴 오목부(51)를 예시하고 있다. 오목부(51)가 복수의 홈을 포함하는 형태에서는, 복수의 홈의 상호의 관계를 임의로 선택할 수 있다. 홈의 길이 방향의 관계에 대해 예시한다. 제1 예에서는, 모든 홈의 길이 방향은 동일하다. 제2 예에서는, 모든 홈의 길이 방향은 서로 다르다. 제3 예에서는, 복수의 홈에는 길이 방향이 동일한 복수의 홈, 및 길이 방향이 서로 다른 복수의 홈이 포함된다. 홈의 폭의 관계에 대해 예시한다. 제1 예에서는, 모든 홈의 폭은 동일하다. 제2 예에서는, 모든 홈의 폭은 서로 다르다. 제3 예에서는, 복수의 홈에는 폭이 동일한 복수의 홈, 및 폭이 서로 다른 복수의 홈이 포함된다. 홈의 깊이의 관계에 대해 예시한다. 제1 예에서는, 모든 홈의 깊이는 동일하다. 제2 예에서는, 모든 홈의 깊이는 서로 다르다. 제3 예에서는, 복수의 홈에는 깊이가 동일한 복수의 홈, 및 깊이가 서로 다른 복수의 홈이 포함된다. 홈의 단면 형상의 관계에 대해 예시한다. 제1 예에서는, 모든 홈의 단면 형상은 동일하다. 제2 예에서는, 모든 홈의 단면 형상은 서로 다르다. 제3 예에서는, 복수의 홈에는 단면 형상이 동일한 복수의 홈, 및 단면 형상이 서로 다른 복수의 홈이 포함된다. In the first form of the concave portion 51, the concave portion 51 is a groove formed in the main surface 31C. The groove is long in a predetermined direction. The predetermined direction is, for example, the circumferential direction of the scribing wheel 10, the inclined direction of the edge of the blade, or a direction intersecting with one of these directions. In FIG. 4, the concave portion 51 that is elongated in the circumferential direction is illustrated. In the form in which the concave portion 51 includes a plurality of grooves, the relationship between the plurality of grooves can be arbitrarily selected. The relationship of the longitudinal direction of the groove is illustrated. In the first example, the longitudinal directions of all grooves are the same. In the second example, the longitudinal directions of all the grooves are different from each other. In the third example, the plurality of grooves include a plurality of grooves having the same length direction and a plurality of grooves having different length directions. The relationship between the width of the groove is illustrated. In the first example, the widths of all grooves are the same. In the second example, the widths of all the grooves are different from each other. In the third example, the plurality of grooves include a plurality of grooves having the same width and a plurality of grooves having different widths. The relationship between the depth of the groove is illustrated. In the first example, the depths of all grooves are the same. In the second example, the depths of all the grooves are different from each other. In the third example, the plurality of grooves include a plurality of grooves having the same depth and a plurality of grooves having different depths. The relationship between the cross-sectional shape of the groove is illustrated. In the first example, all the grooves have the same cross-sectional shape. In the second example, the cross-sectional shapes of all the grooves are different from each other. In the third example, the plurality of grooves include a plurality of grooves having the same cross-sectional shape and a plurality of grooves having different cross-sectional shapes.

오목부(51)의 제2 형태에서는, 오목부(51)는 주면(31C)에 형성되는 개구부이다. 개구부는 소정의 방향으로 길다고 하는 홈의 특징을 포함하지 않는 점에서 홈과 서로 다르다. 오목부(51)가 복수의 개구부를 포함하는 형태에서는, 복수의 개구부의 상호의 관계를 임의로 선택할 수 있다. 개구부의 개구 면적의 관계에 대해 예시한다. 제1 예에서는, 모든 개구부의 개구 면적은 동일하다. 제2 예에서는, 개구부의 개구 면적은 서로 다르다. 제3 예에서는, 복수의 개구부에는 개구 면적이 동일한 복수의 개구부, 및 개구 면적이 서로 다른 복수의 개구부가 포함된다. 개구부의 깊이의 관계에 대해 예시한다. 제1 예에서는, 모든 개구부의 깊이는 동일하다. 제2 예에서는, 개구부의 깊이는 서로 다르다. 제3 예에서는, 복수의 개구부에는 깊이가 동일한 복수의 개구부, 및 깊이가 서로 다른 복수의 개구부가 포함된다. 개구부의 평면에서 볼 때의 개구부의 형상의 관계에 대해 예시한다. 제1 예에서는, 모든 개구부의 형상은 동일하다. 제2 예에서는, 개구부의 형상은 서로 다르다. 제3 예에서는, 복수의 개구부에는 형상이 동일한 복수의 개구부, 및 형상이 서로 다른 복수의 개구부가 포함된다. In the second aspect of the concave portion 51, the concave portion 51 is an opening formed in the main surface 31C. The opening differs from the groove in that it does not include the characteristic of the groove that is said to be long in a predetermined direction. In a form in which the concave portion 51 includes a plurality of openings, the mutual relationship between the plurality of openings can be arbitrarily selected. The relationship between the opening area of the opening is illustrated. In the first example, the opening areas of all openings are the same. In the second example, the opening areas of the openings are different from each other. In the third example, the plurality of openings includes a plurality of openings having the same opening area and a plurality of openings having different opening areas. The relationship between the depth of the opening is illustrated. In the first example, all openings have the same depth. In the second example, the depths of the openings are different from each other. In the third example, the plurality of openings includes a plurality of openings having the same depth and a plurality of openings having different depths. The relationship between the shape of the opening when viewed from the top of the opening is illustrated. In the first example, all openings have the same shape. In the second example, the shapes of the openings are different from each other. In the third example, the plurality of openings includes a plurality of openings having the same shape and a plurality of openings having different shapes.

오목부(51)의 제3 형태에서는, 오목부(51)는 주면(31C)에 형성되는 기복부의 골이다. 기복부는 복수의 골 및 복수의 산을 포함한다. 주면(31C)에는 복수의 골 및 복수의 산에 의해 기복이 형성된다. 복수의 골의 상호의 관계는 임의로 선택할 수 있다. 골의 깊이의 관계에 대해 예시한다. 제1 예에서는, 모든 골의 깊이는 동일하다. 제2 예에서는, 모든 골의 깊이는 서로 다르다. 제3 예에서는, 복수의 골에는 깊이가 동일한 복수의 골, 및 깊이가 서로 다른 복수의 골이 포함된다. 골의 단면 형상의 관계에 대해 예시한다. 제1 예에서는, 모든 골의 단면 형상은 동일하다. 제2 예에서는, 모든 골의 단면 형상은 서로 다르다. 제3 예에서는, 복수의 골에는 단면 형상이 동일한 복수의 골, 및 단면 형상이 서로 다른 복수의 골이 포함된다. In the third form of the concave portion 51, the concave portion 51 is a valley of the undulation portion formed on the main surface 31C. The undulations contain a plurality of bones and a plurality of mountains. On the main surface 31C, undulations are formed by a plurality of valleys and a plurality of mountains. The relationship between multiple goals can be arbitrarily selected. Illustrate the relationship between the depth of the goal. In the first example, the depths of all the bones are the same. In the second example, the depths of all the bones are different. In the third example, the plurality of bones includes a plurality of bones having the same depth and a plurality of bones having different depths. The relationship between the cross-sectional shape of the bone is illustrated. In the first example, the cross-sectional shape of all the bones is the same. In the second example, the cross-sectional shapes of all the bones are different from each other. In the third example, the plurality of bones includes a plurality of bones having the same cross-sectional shape and a plurality of bones having different cross-sectional shapes.

오목부(51)의 제4 형태에서는, 오목부(51)는 오목부(51)의 제1 형태, 제2 형태, 및 제3 형태의 적어도 2개가 조합시켜진 형태를 가진다. 오목부(51)의 제1 형태에 예시되는 복수의 홈의 상호의 관계, 오목부(51)의 제2 형태에 예시되는 복수의 개구부의 상호의 관계, 및 오목부(51)의 제3 형태에 예시되는 복수의 골의 상호의 관계는 오목부(51)의 제4 형태에도 적용할 수 있다. In the fourth shape of the concave portion 51, the concave portion 51 has a shape in which at least two of the first shape, the second shape, and the third shape of the concave portion 51 are combined. The relationship between the plurality of grooves illustrated in the first form of the concave portion 51, the relationship between the plurality of openings illustrated in the second form of the concave portion 51, and the third form of the concave portion 51 The relationship between the plurality of valleys illustrated in FIG. 2 can also be applied to the fourth shape of the concave portion 51.

도 3~도 6에 나타내어지는 예에서는, 칼날끝부(30)는 기복부(60)를 포함한다. 기복부(60)는 각 칼날끝면(31A, 31B)의 주면(31C)에 형성되어 있다. 기복부(60)는 소정의 방향으로 기복을 형성한다. 소정의 방향은 예를 들면 스크라이빙 휠(10)의 원주 방향, 칼날끝면의 경사 방향, 또는, 이들 방향의 일방에 교차하는 방향이다. 기복부(60)의 제1 형태에서는, 기복부(60)는 스크라이빙 휠(10)의 원주 방향의 기복을 형성하는 제1 기복부(61)를 포함한다. 도 5는 제1 기복부(61)의 기복 곡선의 일 예를 나타낸다. 기복부(60)의 제2 형태에서는, 기복부(60)는 칼날끝면의 경사 방향의 기복을 형성하는 제2 기복부(62)를 포함한다. 도 6은 제2 기복부(62)의 기복 곡선의 일 예를 나타낸다. 기복부(60)의 제3 형태에서는, 기복부(60)는 제1 기복부(61) 및 제2 기복부(62)의 양쪽 모두를 포함한다. In the example shown in FIGS. 3 to 6, the blade tip 30 includes an undulation 60. The undulations 60 are formed on the main surfaces 31C of each of the edge surfaces 31A and 31B. The undulations 60 form undulations in a predetermined direction. The predetermined direction is, for example, the circumferential direction of the scribing wheel 10, the inclined direction of the edge of the blade, or a direction intersecting with one of these directions. In the first form of the undulations 60, the undulations 60 include first undulations 61 that form undulations in the circumferential direction of the scribing wheel 10. 5 shows an example of the undulation curve of the first undulation 61. In the second form of the undulations 60, the undulations 60 include a second undulations 62 that form undulations in the oblique direction of the edge of the blade. 6 shows an example of the undulation curve of the second undulation 62. In the third configuration of the undulations 60, the undulations 60 include both the first undulations 61 and the second undulations 62.

도 5에 나타내어지는 바와 같이, 제1 기복부(61)는 복수의 골(61A) 및 복수의 산(61B)을 포함한다. 골(61A) 및 산(61B)은 평균선(61L)에 의해 구분된다. 골(61A)은 평균선(61L)에 대한 스크라이빙 휠(10)의 지름 방향의 내측의 부분이다. 골(61A)은 골 저부(61C)를 포함한다. 산(61B)은 평균선(61L)에 대한 스크라이빙 휠(10)의 지름 방향의 외측의 부분이다. 산(61B)은 산 꼭대기(61D)를 포함한다. 복수의 골(61A) 및 복수의 산(61B)은 스크라이빙 휠(10)의 둘레 방향으로 교호로 형성된다. 골(61A)과 이것에 대해서 스크라이빙 휠(10)의 회전 방향의 후방에 인접하는 산(61B)을 1조의 골(61A) 및 산(61B)으로 한다. 1조의 골(61A) 및 산(61B)은 골 저부(61C)와 산 꼭대기(61D)와의 사이로 전개되는 전면(前面)(61E)을 포함한다. 제1 기복부(61)는 접촉 억제 구조(50)의 오목부(51)를 구성한다. 골 저부(61C)를 포함하는 골(61A)의 저면은 오목부(51)의 저면(52)을 구성한다. As shown in Fig. 5, the first undulation 61 includes a plurality of valleys 61A and a plurality of mountains 61B. The valley 61A and the mountain 61B are separated by an average line 61L. The valley 61A is a portion inside the scribing wheel 10 in the radial direction with respect to the average line 61L. The bone 61A includes the bone bottom 61C. The mountain 61B is a part outside the radial direction of the scribing wheel 10 with respect to the average line 61L. Mountain 61B includes mountain top 61D. The plurality of valleys 61A and the plurality of peaks 61B are alternately formed in the circumferential direction of the scribing wheel 10. The valleys 61A and the ridges 61B adjacent to the rear of the scribing wheel 10 in the rotational direction are referred to as a set of valleys 61A and 61B. The one set of valleys 61A and 61B includes a front surface 61E that extends between the valley bottom 61C and the mountain top 61D. The first undulating portion 61 constitutes the concave portion 51 of the contact suppressing structure 50. The bottom surface of the valley 61A including the bone bottom 61C constitutes the bottom surface 52 of the concave portion 51.

제1 기복부(61)를 포함하는 스크라이빙 휠(10)에서는, 스크라이브 가공시에서 피가공물에 대한 스크라이빙 휠(10)의 미끄럼이 생기기 어렵다. 그 이유는 다음과 같이 생각된다. 스크라이브 가공시에서의 스크라이빙 휠(10)의 회전에 따라 제1 기복부(61)의 접촉부가 주기적으로 피가공물에 접촉하여, 칼날끝부(30)와 피가공물과의 사이의 마찰력이 증가한다. 그 영향에 의해 피가공물에 대한 스크라이빙 휠(10)의 미끄럼의 발생이 억제된다. 제1 기복부(61)의 접촉부는 예를 들면, 산 꼭대기(61D)를 포함하는 산(61B)의 상부의 전면(61E), 산(61B)의 전부의 전면(61E), 또는, 산(61B)의 전부 및 골(61A)의 일부의 전면(61E)이다. In the scribing wheel 10 including the first undulations 61, it is difficult to cause the scribing wheel 10 to slip with respect to the workpiece during scribing. The reason is considered as follows. As the scribing wheel 10 rotates during scribing, the contact portion of the first relief portion 61 periodically contacts the workpiece, thereby increasing the frictional force between the blade tip 30 and the workpiece. . Occurrence of slipping of the scribing wheel 10 with respect to the workpiece is suppressed by the influence. The contact portion of the first undulation 61 is, for example, the front surface 61E of the top of the mountain 61B including the mountain top 61D, the front surface 61E of the entire mountain 61B, or the mountain ( 61B) and the front surface 61E of a part of the valley 61A.

도 6에 나타내어지는 바와 같이, 제2 기복부(62)는 복수의 골(62A) 및 복수의 산(62B)을 포함한다. 골(62A) 및 산(62B)은 평균선(62L)에 의해 구분된다. 골(62A)은 평균선(62L)에 대한 스크라이빙 휠(10)의 지름 방향의 내측의 부분이다. 골(62A)은 골 저부(62C)를 포함한다. 산(62B)은 평균선(62L)에 대한 스크라이빙 휠(10)의 지름 방향의 외측의 부분이다. 산(62B)은 산 꼭대기(62D)를 포함한다. 복수의 골(62A) 및 복수의 산(62B)은 칼날끝면의 경사 방향으로 교호로 형성된다. 골(62A)과 이것에 대해서 칼날끝면의 경사 방향에 인접하는 산(62B)을 1조의 골(62A) 및 산(61B)으로 한다. 1조의 골(62A) 및 산(62B)은 골 저부(62C)와 산 꼭대기(62D)와의 사이로 전개되는 측면(62E)을 포함한다. 제2 기복부(62)는 접촉 억제 구조(50)의 오목부(51)를 구성한다. 골 저부(62C)를 포함하는 골(62A)의 저면은 오목부(51)의 저면(52)을 구성한다. As shown in FIG. 6, the second undulation 62 includes a plurality of valleys 62A and a plurality of mountains 62B. The valley 62A and the mountain 62B are separated by an average line 62L. The valley 62A is a portion inside the scribing wheel 10 in the radial direction with respect to the average line 62L. The bone 62A includes the bone bottom 62C. The mountain 62B is a part outside the radial direction of the scribing wheel 10 with respect to the average line 62L. Mountain 62B includes the mountain top 62D. The plurality of valleys 62A and the plurality of mountains 62B are alternately formed in the oblique direction of the edge of the blade. The valley 62A and the peak 62B adjacent to this in the oblique direction of the edge of the blade are made into one set of valleys 62A and 61B. One set of valleys 62A and mountain 62B includes a side surface 62E that extends between the valley bottom 62C and the mountain top 62D. The second undulating portion 62 constitutes the concave portion 51 of the contact suppressing structure 50. The bottom surface of the valley 62A including the bone bottom 62C constitutes the bottom surface 52 of the concave portion 51.

제2 기복부(62)를 포함하는 스크라이빙 휠(10)에서는, 스크라이브 가공시에 피가공물에 대한 스크라이빙 휠(10)의 미끄럼이 생기기 어렵다. 그 이유는 다음과 같이 생각된다. 스크라이브 가공시에 제2 기복부(62)의 접촉부가 피가공물에 접촉하여, 칼날끝부(30)와 피가공물과의 사이의 마찰력이 증가한다. 그 영향에 의해 피가공물에 대한 스크라이빙 휠(10)의 미끄럼의 발생이 억제된다. 제2 기복부(62)의 접촉부는 예를 들면, 산 꼭대기(62D)를 포함하는 산(62B)의 상부의 측면(62E), 산(62B)의 전부의 측면(62E), 또는, 산(62B)의 전부 및 골(62A)의 일부의 측면(62E)이다. In the scribing wheel 10 including the second undulations 62, it is difficult to cause the scribing wheel 10 to slide against the workpiece during scribing. The reason is considered as follows. During the scribing process, the contact portion of the second undulation portion 62 comes into contact with the workpiece, and the frictional force between the blade tip 30 and the workpiece increases. Occurrence of slipping of the scribing wheel 10 with respect to the workpiece is suppressed by the influence. The contact portion of the second undulation 62 is, for example, a side surface 62E of the top of the mountain 62B including the mountain top 62D, the side surface 62E of the entire mountain 62B, or the mountain ( 62B) and a side surface 62E of a part of the bone 62A.

제1 기복부(61)와 제2 기복부(62)와의 관계는 임의로 선택할 수 있다. The relationship between the first undulations 61 and the second undulations 62 can be arbitrarily selected.

기복부(60)의 평균 높이에 대해 예시한다. 제1 예에서는, 제1 기복부(61)의 평균 높이는 제2 기복부(62)의 평균 높이보다도 낮다. 제2 예에서는, 제1 기복부(61)의 평균 높이는 제2 기복부(62)의 평균 높이보다도 높다. 제3 예에서는, 제1 기복부(61)의 평균 높이는 제2 기복부(62)의 평균 높이와 동일하다. The average height of the undulations 60 is illustrated. In the first example, the average height of the first undulations 61 is lower than the average height of the second undulations 62. In the second example, the average height of the first undulations 61 is higher than the average height of the second undulations 62. In the third example, the average height of the first undulations 61 is the same as the average height of the second undulations 62.

기복부(60)의 주기에 대해 예시한다. 제1 예에서는, 제1 기복부(61)의 주기는 제2 기복부(62)의 주기보다도 짧다. 제2 예에서는, 제1 기복부(61)의 주기는 제2 기복부(62)의 주기보다도 길다. 제3 예에서는, 제1 기복부(61)의 주기는 제2 기복부(62)의 주기와 동일하다. 제1 기복부(61)의 주기가 짧아질수록, 피가공물에 대한 스크라이빙 휠(10)의 미끄럼의 발생을 억제하는 효과가 높아진다고 생각된다. Illustrative of the cycle of the undulations (60). In the first example, the cycle of the first relief portion 61 is shorter than that of the second relief portion 62. In the second example, the cycle of the first relief portion 61 is longer than that of the second relief portion 62. In the third example, the cycle of the first relief portion 61 is the same as the cycle of the second relief portion 62. It is considered that the shorter the period of the first undulation 61, the higher the effect of suppressing the occurrence of slipping of the scribing wheel 10 with respect to the workpiece.

도 3~도 6에 나타내어지는 예에서는, 칼날끝부(30)의 주면(31C)에는 복수의 홈(70)이 형성되어 있다. 도 3 또는 도 4에 나타내어지는 바와 같이, 홈(70)은 스크라이빙 휠(10)의 둘레 방향으로 길다. 홈(70)은 칼날끝부(30)의 능선(10B)에 평행이다. 복수의 홈(70)은 칼날끝면의 경사 방향으로 늘어선다. 스크라이빙 휠(10)의 원주 방향에 관한 홈(70)의 형상에 대해 예시한다. 제1 예에서는, 홈(70)의 형상은 원주 방향의 전체에 연속한다. 제2 예에서는, 홈(70)의 형상은 둘레 방향으로 불연속이다. 도 5에 나타내어지는 바와 같이, 홈(70)의 저면(71)은 기복하고 있다. 제1 기복부(61)는 저면(71)의 기복에 의해 구성된다. 도 6에 나타내어지는 바와 같이, 제2 기복부(62)는 칼날끝면의 경사 방향으로 늘어서는 복수의 홈(70)에 의해 구성된다. In the example shown in FIGS. 3 to 6, a plurality of grooves 70 are formed in the main surface 31C of the blade tip 30. As shown in FIG. 3 or 4, the groove 70 is long in the circumferential direction of the scribing wheel 10. The groove 70 is parallel to the ridge line 10B of the blade tip 30. The plurality of grooves 70 are arranged in the oblique direction of the edge of the blade. The shape of the groove 70 in the circumferential direction of the scribing wheel 10 is illustrated. In the first example, the shape of the groove 70 is continuous throughout the circumferential direction. In the second example, the shape of the groove 70 is discontinuous in the circumferential direction. As shown in FIG. 5, the bottom surface 71 of the groove 70 is undulating. The first undulations 61 are configured by undulations of the bottom surface 71. As shown in Fig. 6, the second undulations 62 are constituted by a plurality of grooves 70 arranged in the oblique direction of the edge of the blade.

도 7을 참조하여, 스크라이빙 휠(10)의 제조 방법의 일 예에 대해 설명한다. An example of a method of manufacturing the scribing wheel 10 will be described with reference to FIG. 7.

제1 공정에서는, 단결정 다이아몬드의 기판(H1)이 형성된다. 기판(H1)은 4각형 모양의 박판이다. 기판(H1)의 제조 방법은 예를 들면 고온 고압 합성법 또는 화학 기상 증착법이다. 제2 공정에서는, 절단 가공에 의해 기판(H1)으로부터 원판(H2)을 잘라내는 가공, 및 원판(H2)에 관통공(21)을 형성하는 가공이 실시된다. 절단 가공의 일 예는 레이저 가공, 방전(放電) 가공, 또는, 이온 빔 가공이다. In the first step, a single crystal diamond substrate H1 is formed. The substrate H1 is a rectangular plate. The manufacturing method of the substrate H1 is, for example, a high-temperature high-pressure synthesis method or a chemical vapor deposition method. In the second step, processing of cutting the original plate H2 from the substrate H1 by cutting processing, and forming the through hole 21 in the original plate H2 are performed. An example of cutting processing is laser processing, electric discharge processing, or ion beam processing.

제3 공정에서는, R면취 가공이 실시된 선단부(40), 및 접촉 억제 구조(50)를 포함하는 칼날끝부(30)가 원판(H2)에 형성된다. 관통공(21)의 주위의 면취(22)는 예를 들면 제3 공정 후에 형성된다. 제3 공정에서의 원판(H2)에 대한 가공은 제1 가공, 제2 가공, 및 제3 가공으로 분류할 수 있다. 제1 가공은 원판(H2)의 외주부의 피제거부(H3)를 제거하는 가공이다. 제2 가공은 칼날끝부(30)에 접촉 억제 구조(50)를 형성하는 가공이다. 제3 가공은 칼날끝부(30)의 선단부(40)를 R면취하는 가공이다. In the third step, the tip portion 40 to which the R chamfering has been performed, and the blade tip 30 including the contact suppressing structure 50 are formed on the original plate H2. The chamfer 22 around the through hole 21 is formed after the third step, for example. The processing of the original plate H2 in the third process can be classified into a first processing, a second processing, and a third processing. The first processing is a processing of removing the removed portion H3 of the outer circumferential portion of the original plate H2. The second processing is a processing of forming the contact inhibiting structure 50 on the blade tip 30. The third processing is processing of chamfering the tip portion 40 of the blade tip 30.

제3 공정의 제1 예에서는, 절단 가공에 의해 원판(H2)으로부터 피제거부(H3)를 제거하는 것에 의해, R면취 가공이 실시된 선단부(40), 및 접촉 억제 구조(50)를 포함하는 칼날끝부(30)를 원판(H2)에 형성한다. 즉, 1종류의 절단 가공에 의해 원판(H2)에 대한 제1 ~ 제3 가공이 함께 실시된다. 절단 가공의 일 예는 레이저 가공, 방전 가공, 또는, 이온 빔 가공이다. In the first example of the third process, by removing the to-be-removed portion H3 from the original plate H2 by cutting processing, it includes the tip portion 40 subjected to R chamfering, and the contact suppression structure 50 The blade tip 30 is formed on the disk H2. That is, 1st to 3rd processing of the original plate H2 is performed together by one type of cutting processing. An example of cutting processing is laser processing, electric discharge processing, or ion beam processing.

제3 공정의 제2 예에서는, 최초로 원판(H2)으로부터 피제거부(H3)를 제거하는 제1 가공이 실시되고, 다음으로 원판(H2)의 칼날끝부(30)에 접촉 억제 구조(50)를 형성하는 제2 가공이 실시되고, 다음으로 원판(H2)의 칼날끝부(30)의 선단부(40)를 R면취하는 제3 가공이 실시된다. 제1 ~ 제3 가공의 각각을 위한 가공 방법은 개별로 선택할 수 있다. 가공 방법의 조합에 대해서 예시한다. 가공 방법의 제1 예에서는, 제1 ~ 제3 가공의 가공 방법은 동일한 절단 가공이다. 가공 방법의 제2 예에서는, 제1 ~ 제3 가공의 가공 방법은 서로 다른 절단 가공이다. 가공 방법의 제3 예에서는, 제1 ~ 제3 가공 중 2개 가공의 가공 방법은 동일한 절단 가공이며, 다른 1개의 가공의 가공 방법은 그것과는 다른 절단 가공이다. 가공 방법의 제4 예에서는, 제1 가공 및 제2 가공의 가공 방법은 동일한 또는 서로 다른 절단 가공이며, 제3 가공의 가공 방법은 연마 가공 또는 연삭 가공이다. In the second example of the third process, the first processing of removing the to-be-removed part H3 from the original plate H2 is performed first, and then the contact suppression structure 50 is applied to the blade tip 30 of the original plate H2. A second processing to form is performed, and then a third processing is performed in which the distal end 40 of the blade tip 30 of the disk H2 is R-chamfered. The machining method for each of the first to third machining can be individually selected. The combination of processing methods is illustrated. In the first example of the processing method, the processing methods of the first to third processing are the same cutting processing. In the second example of the processing method, the processing methods of the first to third processing are different cutting processing. In the third example of the processing method, the processing method of the two processings among the first to the third processing is the same cutting processing, and the processing method of the other processing is a cutting processing different from that. In the fourth example of the processing method, the processing method of the first processing and the second processing is the same or different cutting processing, and the processing method of the third processing is abrasive processing or grinding processing.

제3 공정의 제3 예에서는, 최초로 원판(H2)으로부터 피제거부(H3)를 제거하는 제1 가공이 실시되고, 다음으로 원판(H2)의 칼날끝부(30)의 선단부(40)를 R면취 하는 제3 가공이 실시되고, 다음으로 원판(H2)의 칼날끝부(30)에 접촉 억제 구조(50)를 형성하는 제2 가공이 실시된다. 제1 ~ 제3 가공의 각각을 위한 가공 방법은 개별로 선택할 수 있다. 가공 방법의 조합의 예는 제3 공정의 제2 예와 동일하다. In the third example of the third process, the first processing of removing the to-be-removed part H3 from the disk H2 is performed first, and then the tip 40 of the blade tip 30 of the disk H2 is R chamfered. A third processing to be performed is performed, and then a second processing of forming the contact inhibiting structure 50 on the blade tip 30 of the original plate H2 is performed. The machining method for each of the first to third machining can be individually selected. The example of the combination of the processing method is the same as the second example of the third step.

제3 공정의 제4 예에서는, 최초로 원판(H2)으로부터 피제거부(H3)를 제거하는 제1 가공이 실시되고, 다음으로 원판(H2)의 칼날끝부(30)에 접촉 억제 구조(50)를 형성하는 제2 가공, 및 원판(H2)의 칼날끝부(30)의 선단부(40)를 R면취하는 제3 가공이 함께 실시된다. 제1 ~ 제3 가공 각각을 위한 가공 방법은 개별로 선택할 수 있다. 가공 방법의 조합에 대해서 예시한다. 가공 방법의 제1 예에서는, 제1 ~ 제3 가공의 가공 방법은 동일한 절단 가공이다. 가공 방법의 제2 예에서는, 제1 가공의 가공 방법과 제2 가공 및 제3 가공의 가공 방법과는 서로 다른 절단 가공이다. In the fourth example of the third process, first processing of removing the removed portion H3 from the original plate H2 is performed, and then, a contact suppression structure 50 is applied to the blade tip 30 of the original plate H2. The second processing to form and the third processing of chamfering the tip portion 40 of the blade tip 30 of the original plate H2 are performed together. The machining method for each of the first to third machining can be individually selected. The combination of processing methods is illustrated. In the first example of the processing method, the processing methods of the first to third processing are the same cutting processing. In the second example of the processing method, the cutting processing is different from the processing method of the first processing and the processing method of the second processing and the third processing.

스크라이빙 휠(10)의 작용 및 효과에 대해 설명한다. The operation and effect of the scribing wheel 10 will be described.

스크라이빙 휠(10)에서는, 칼날끝부(30)의 선단부(40)에 R면취 가공이 실시되는 것에 의해, 선단부(40)에서의 국소적인 하중의 작용이 억제된다. 이것에 따라 선단부(40)의 이빠짐의 발생을 억제하는 효과, 및 선단부(40)의 마모의 진행을 억제하는 효과의 일방 또는 양쪽 모두가 얻어진다. 이들 효과는 스크라이빙 휠(10)의 수명을 길게 하는 것에 기여한다. In the scribing wheel 10, the action of a local load on the tip portion 40 is suppressed by performing R chamfering on the tip portion 40 of the blade tip portion 30. Thereby, one or both of the effect of suppressing the occurrence of detachment of the distal end portion 40 and the effect of suppressing the progress of wear of the distal end portion 40 can be obtained. These effects contribute to lengthening the life of the scribing wheel 10.

도 8에 나타내어지는 바와 같이, 스크라이브 가공시에는 스크라이빙 휠(10)의 칼날끝부(30)가 피가공물(WP)에 대고 눌려진다. 피가공물(WP)은 스크라이빙 휠(10)로부터 스크라이브 하중을 받는다. 일 예에서는, 스크라이브 가공 장치는 스크라이브 하중이 소정의 하중 범위에 포함되도록 스크라이브 하중을 조정한다. As shown in Fig. 8, during scribing, the blade tip 30 of the scribing wheel 10 is pressed against the workpiece WP. The workpiece WP receives a scribing load from the scribing wheel 10. In one example, the scribe processing apparatus adjusts the scribe load so that the scribe load falls within a predetermined load range.

칼날끝부(30)가 피가공물(WP)에 대고 눌려진 상태에서는, 접촉 억제 구조(50)의 오목부(51)의 저면(52)과 피가공물(WP)과의 사이에 공간(S)이 형성된다. 선단부(40), 제1 기복부(61)의 접촉부, 및 제2 기복부(62)의 접촉부는 피가공물(WP)에 접촉한다. 스크라이빙 휠(10)이 주사되는 것에 따라 스크라이빙 휠(10)이 피가공물(WP)에 대해서 회전한다. 스크라이빙 휠(10)의 회전에 따라 피가공물(WP)에 접촉되는 칼날끝부(30)의 부위가 변화한다. 개개의 홈(70)에서는 제1 기복부(61)의 접촉부가 주기적으로 피가공물(WP)에 접촉한다. When the blade tip 30 is pressed against the workpiece WP, a space S is formed between the bottom surface 52 of the concave portion 51 of the contact inhibiting structure 50 and the workpiece WP. do. The distal end portion 40, the contact portion of the first undulation portion 61, and the contact portion of the second undulation portion 62 contact the workpiece WP. As the scribing wheel 10 is scanned, the scribing wheel 10 rotates with respect to the workpiece WP. As the scribing wheel 10 rotates, the portion of the blade tip 30 that is in contact with the workpiece WP changes. In each of the grooves 70, the contact portions of the first undulations 61 periodically contact the workpiece WP.

스크라이빙 휠(10)의 회전에 따라 피가공물(WP)에 1차 크랙이 형성된다. 1차 크랙이 형성된 영역으로부터 스크라이빙 휠(10)이 떨어진 후에 1차 크랙으로부터 2차 크랙이 신장된다. 1차 크랙은 리브 마크(rib mark)라고도 칭해진다. 2차 크랙은 뉴(new)라고도 칭해진다. 1차 크랙 및 2차 크랙에 의해 피가공물(WP)에 수직 크랙이 형성된다. As the scribing wheel 10 rotates, a primary crack is formed in the workpiece WP. After the scribing wheel 10 is separated from the area where the primary crack is formed, the secondary crack is elongated from the primary crack. The primary crack is also referred to as a rib mark. The secondary crack is also referred to as new. Vertical cracks are formed in the workpiece WP by the first crack and the second crack.

스크라이빙 휠(10)을 이용한 스크라이브 가공에서는, 오목부(51)의 저면(52)과 피가공물(WP)과의 사이에 공간(S)이 형성되기 때문에, 피가공물(WP)에 접촉하는 칼날끝부(30)의 표면(31)의 면적이 기준 스크라이빙 휠을 이용한 경우보다도 좁게 된다. 피가공물(WP)에서 칼날끝부(30)에 접촉하는 부분에 관한 단위 면적당의 스크라이브 하중이 크게 되고, 피가공물(WP)에 국소적으로 스크라이브 하중이 작용하여, 수직 크랙이 신장되기 쉬워진다. 이것은 피가공물(WP)에 깊은 수직 크랙을 형성하는 것에 기여한다. In the scribing process using the scribing wheel 10, since the space S is formed between the bottom surface 52 of the concave portion 51 and the workpiece WP, it is in contact with the workpiece WP. The area of the surface 31 of the blade tip 30 becomes narrower than that in the case of using the reference scribing wheel. The scribe load per unit area with respect to the portion of the workpiece WP in contact with the blade tip 30 becomes large, and the scribe load locally acts on the workpiece WP, so that vertical cracks tend to elongate. This contributes to forming deep vertical cracks in the work piece WP.

스크라이빙 휠(10)에 의하면, 접촉 억제 구조(50)의 작용에 의해 피가공물(WP)에 깊은 수직 크랙이 형성되기 때문에, 스크라이브 하중을 조정할 수 있는 범위가 넓게 된다. 피가공물(WP)에 부여되는 스크라이브 하중이 작은 경우, 스크라이빙 휠(10)의 마모의 진행을 억제하는 효과, 및 스크라이브 가공되는 피가공물(WP)의 품질을 높이는 효과의 일방 또는 양쪽 모두가 얻어진다. 스크라이빙 휠(10)의 마모의 진행의 억제는 스크라이빙 휠(10)의 수명을 길게 하는 것에 기여한다. According to the scribing wheel 10, since deep vertical cracks are formed in the workpiece WP by the action of the contact suppressing structure 50, the range in which the scribing load can be adjusted is wide. When the scribing load applied to the workpiece WP is small, one or both of the effect of suppressing the progression of abrasion of the scribing wheel 10 and the effect of improving the quality of the workpiece WP to be scribed Is obtained. Suppression of the progression of wear of the scribing wheel 10 contributes to prolonging the life of the scribing wheel 10.

(제2 실시 형태)(2nd embodiment)

도 9는 제2 실시 형태의 스크라이빙 휠(100)을 나타낸다. 제2 실시 형태의 스크라이빙 휠(100)의 구조는 제1 실시 형태의 스크라이빙 휠(10)의 구조를 일부 변경한 구조에 상당한다. 제2 실시 형태의 스크라이빙 휠(100)의 선단부(110)에는 R면취 가공이 실시되어 있지 않다. 그 외의 점에서는 제1 실시 형태의 스크라이빙 휠(10) 및 제2 실시 형태의 스크라이빙 휠(100)은 동일한 구조를 구비하고 있다. 각 스크라이빙 휠(10, 100)에서 공통되는 구조에 대해서는 동일한 부호가 붙여져 있다. 9 shows the scribing wheel 100 of the second embodiment. The structure of the scribing wheel 100 of the second embodiment corresponds to a structure in which the structure of the scribing wheel 10 of the first embodiment is partially changed. R chamfering is not performed on the tip portion 110 of the scribing wheel 100 of the second embodiment. In other respects, the scribing wheel 10 of the first embodiment and the scribing wheel 100 of the second embodiment have the same structure. The same reference numerals are attached to structures common to each of the scribing wheels 10 and 100.

스크라이빙 휠(100)의 선단부(110)는 제1 실시 형태의 선단부(40)와 비교하여 예리하다. 선단부(110)의 선단면(111)은 평활하다. 스크라이빙 휠(100)은 제1 실시 형태의 스크라이빙 휠(10)과 마찬가지로 접촉 억제 구조(50)를 구비하고 있다. 각 칼날끝면(31A, 31B)은 주면(31C) 및 선단면(111)으로 구분된다. 접촉 억제 구조(50)는 제1 칼날끝면(31A)의 주면(31C) 및 제2 칼날끝면(31B)의 주면(31C) 중 적어도 일방에 형성된다. 접촉 억제 구조(50)에 관한 여러 가지의 사항은 제1 실시 형태와 동일하다. The tip portion 110 of the scribing wheel 100 is sharper compared to the tip portion 40 of the first embodiment. The tip surface 111 of the tip portion 110 is smooth. The scribing wheel 100 is provided with a contact suppressing structure 50 similar to the scribing wheel 10 of the first embodiment. Each blade end surface (31A, 31B) is divided into a main surface (31C) and a tip surface (111). The contact suppressing structure 50 is formed on at least one of the main surface 31C of the first blade tip surface 31A and the main surface 31C of the second blade tip surface 31B. Various matters relating to the contact suppressing structure 50 are the same as in the first embodiment.

또, 상기 각 실시 형태에서는 본 발명에 관한 스크라이빙 휠이 취할 수 있는 형태를 예시하고 있다. 상기 각 실시 형태의 설명은 본 발명에 관한 스크라이빙 휠이 취할 수 있는 형태를 제한하는 것을 의도하고 있지 않다. 본 발명에 관한 스크라이빙 휠은 각 실시 형태에 예시된 형태와는 다른 형태를 취할 수 있다. 그 일 예는, 각 실시 형태의 구성의 일부를 치환, 변경, 혹은, 생략한 형태, 또는, 각 실시 형태에 새로운 구성을 부가한 형태이다. In addition, in each of the above embodiments, the form that the scribing wheel according to the present invention can take is illustrated. The description of each of the above embodiments is not intended to limit the form that the scribing wheel according to the present invention can take. The scribing wheel according to the present invention may take a form different from the form exemplified in each embodiment. One example is a form in which a part of the configuration of each embodiment is substituted, changed, or omitted, or a form in which a new configuration is added to each embodiment.

10 : 스크라이빙 휠 10A：중심축
10B：능선 10C：경계선
11 : 제1 베이스부 12 : 제2 베이스부
20 : 본체 21 : 관통공
22 : 면취 23 : 표면
30 : 칼날끝부 31 : 표면
31A：제1 칼날끝면 31B：제2 칼날끝면
31C：주면 40 : 선단부
41 : 선단면 50 : 접촉 억제 구조
51 : 오목부 60 : 기복부
61 : 제1 기복부 61A：골
61B：산 61C：골 저부
61D：산 꼭대기 61E：전면
61L：평균선 62 : 제2 기복부
62A：골 62B：산
62C：골 저부 62D：산 꼭대기
62E：측면 62L：평균선
70 : 홈 71 : 저면
100：스크라이빙 휠 110：선단부
111：선단면 H1 : 기판
H2 : 원판 H3 : 피제거부
WP : 피가공물 S : 공간
L1 : 제1 직선 L2 : 제2 직선
θ : 칼날끝각10: scribing wheel 10A: central shaft
10B: Ridge 10C: Boundary
11: first base portion 12: second base portion
20: main body 21: through hole
22: chamfering 23: surface
30: blade tip 31: surface
31A: 1st blade tip 31B: 2nd blade tip
31C: circumferential surface 40: tip
41: tip surface 50: contact suppression structure
51: recessed portion 60: relief portion
61: 1st relief part 61A: bone
61B: Mountain 61C: bottom of the bone
61D: top of the mountain 61E: front
61L: average line 62: second relief
62A: Goal 62B: Mountain
62C: bottom of the valley 62D: top of the mountain
62E: Side 62L: Average line
70: groove 71: bottom
100: scribing wheel 110: tip
111: end surface H1: substrate
H2: Original plate H3: Removed part
WP: Workpiece S: Space
L1: 1st straight line L2: 2nd straight line
θ: blade tip angle

Claims

As a scribing wheel including a diamond blade tip,
A scribing wheel including a front end portion subjected to R chamfering, and a contact inhibiting structure configured to form a space between the blade tip and the workpiece when pressed against the workpiece.

The method according to claim 1,
The contact inhibiting structure is a scribing wheel including a concave portion recessed toward the inside of the scribing wheel.

The method according to claim 1,
The blade tip further includes a first undulation portion undulating in the circumferential direction of the scribing wheel,
The first undulation portion includes a plurality of valleys and a plurality of mountains, and a scribing wheel constituting the contact inhibiting structure.

The method of claim 3,
The blade tip further includes a long groove in the circumferential direction of the scribing wheel,
The first undulation portion is a scribing wheel formed on the bottom surface of the groove.

The method according to any one of claims 1 to 4,
The blade tip further includes a second undulation portion undulating in the oblique direction of the blade tip of the blade tip,
The second undulation portion includes a plurality of valleys and a plurality of mountains, and a scribing wheel constituting the contact inhibiting structure.

The method of claim 5,
The blade tip further includes a plurality of grooves long in the circumferential direction of the scribing wheel,
The second undulation portion is a scribing wheel configured by the plurality of grooves arranged in the inclined direction.

The method according to any one of claims 1 to 4,
A scribing wheel in which the radius of curvature of the tip portion is in the range of 1 μm to 10 μm.

The method according to any one of claims 1 to 4,
The diamond is a single crystal diamond scribing wheel.