KR20200134741A - Double Prevention Gate Valve - Google Patents

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KR20200134741A
KR20200134741A KR1020190060640A KR20190060640A KR20200134741A KR 20200134741 A KR20200134741 A KR 20200134741A KR 1020190060640 A KR1020190060640 A KR 1020190060640A KR 20190060640 A KR20190060640 A KR 20190060640A KR 20200134741 A KR20200134741 A KR 20200134741A
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Abstract

The present invention relates to a double prevention gate valve, which comprises: a rectangular housing (10) having a slide space (11) formed therein and a circular main passage (12) having an outer diameter smaller than the width of the slide space (11) at a lower side on both sides thereof; a disk valve assembly (20) installed to be transferred in the slide space (11), and selectively opening and closing the main passage (12); an actuator (30) installed in the housing (10) to transfer the disk valve assembly (20) so as to open and close the main passage (12); a first ring guider (40) installed at one side of the housing (10), and communicating with the main passage (12); a second ring guider (50) installed at the other side of the housing (10), and communicating with the main passage (12) at an opposite side of the first ring guider (40); and a protection ring (60) inserted into the second ring guider (50), and transferred to pass through the main passage (12) to be coupled in communication with the first ring guide (40) when the transferred disk valve assembly (20) is located in the slide space (11). According to the present invention, corrosion of or damage to the disk valve assembly (20) can be fundamentally prevented.

Description

더블 프리벤션 게이트 밸브{Double Prevention Gate Valve}Double Prevention Gate Valve

본 발명은 반도체 제조공정에서 챔버와 통로 사이를 자동으로 차폐하는 게이트 밸브에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 프로세스 진행중 발생되는 파우더에 의하여 손상되는 것을 방지할 수 있는 더블 프리벤션 게이트 밸브에 관한 것이다. The present invention relates to a gate valve that automatically shields between a chamber and a passage in a semiconductor manufacturing process, and more particularly, to a double prevention gate valve capable of preventing damage by powder generated during a process.

일반적으로, LCD 기판이나 반도체 웨이퍼의 에칭 공정, 증착 공정, 스퍼터링 공정에서는, 챔버와 통로 사이에서 설치되어 챔버 내부의 진공 상태를 유지 또는 해제하기 위한 게이트 밸브가 설치된다. 이러한 게이트 밸브는, 챔버와 통로 사이에 설치되는 것으로서 유로가 형성되는 하우징과, 하우징 내의 슬라이드공간에서 이송되면서 유로를 선택적으로 개폐하는 디스크밸브와, 유로를 개폐하기 위하여 디스크밸브를 슬라이드 공간내에서 이송시키는 액츄에이터로 구성된다. 이러한 구조에 의하여, 액츄에이터가 디스크밸브를 움직여 유로를 선택적으로 개폐하고, 이에 따라 챔버 내부는 진공 상태가 유지되거나 해제된다. In general, in an etching process, a deposition process, or a sputtering process of an LCD substrate or a semiconductor wafer, a gate valve is installed between a chamber and a passage to maintain or release a vacuum state inside the chamber. These gate valves are installed between the chamber and the passage and include a housing in which a flow path is formed, a disk valve that selectively opens and closes the flow path while being transferred from the slide space within the housing, and the disk valve is transferred within the slide space to open and close the flow path It is composed of actuators that let With this structure, the actuator selectively opens and closes the flow path by moving the disk valve, thereby maintaining or releasing a vacuum state inside the chamber.

그런데 반도체 공정을 진행함에 따라 프로세스 가스나 발생된 파우더가 게이트 밸브 내부로 유입되는 경우가 발생되었고, 이 경우 게이트 밸브 내부 구성이 부식되거나 파우더가 증착되어, 종국에는 유로를 완벽하게 실링하지 못하게 되거나 손상이 발생되었다. 이에 따라 정기적 또는 비정기적으로 게이트 밸브를 유지 보수하여야 하였고, 심할 경우 게이트 밸브를 교체하여야 하였다. However, as the semiconductor process proceeded, there was a case that the process gas or the generated powder was introduced into the gate valve, and in this case, the internal structure of the gate valve was corroded or powder was deposited, and eventually the flow path could not be completely sealed or damaged. Has occurred. Accordingly, the gate valve had to be maintained regularly or irregularly, and in severe cases, the gate valve had to be replaced.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 공정중에 가스나 발생된 파우더가 슬라이드공간 내부로 침투되지 않도록 함으로써, 시간이 지나더라도 내부 구성이 손상되지 않도록 하여 완벽한 실링을 가능하게 할 수 있고, 손상이 발생되는 것을 방지할 수 있는 더블 프리벤션 게이트 밸브를 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention was created to solve the above problems, and by preventing gas or powder generated during the process from penetrating into the slide space, it is possible to ensure perfect sealing by preventing damage to the internal structure even after time passes. It is an object of the present invention to provide a double prevention gate valve capable of preventing damage from occurring.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 더블 프리벤션 게이트 밸브는, 내부에 슬라이드공간(11)이 형성되고, 하부측으로 슬라이드공간(11)의 폭보다 작은 외직경을 가지는 원형의 메인유로(12)가 양측으로 형성된 장방형의 하우징(10); 상기 슬라이드공간(11)에서 이송가능하게 설치된 것으로서, 상기 메인유로(12)를 선택적으로 개폐하는 디스크밸브조립체(20); 상기 하우징(10)에 설치된 것으로서, 상기 메인유로(12)를 개폐하기 위하여 상기 디스크밸브조립체(20)를 이송시키는 엑츄에이터(30); 상기 하우징(10)의 일측에 설치되는 것으로서 상기 메인유로(12)와 연통되는 제1링가이더(40); 상기 하우징(10)의 타측에 설치되는 것으로서 상기 제1링가이더(40)의 맞은편에서 상기 메인유로(12)와 연통되는 제2링가이더(50); 및 상기 제2링가이더(50)에 끼어지는 것으로서, 이송되는 상기 디스크밸브조립체(20)가 상기 슬라이드공간(11)에 위치될 때, 상기 메인유로(12)를 관통하게 이송되어 제1링가이더(40)에 연통되게 결합되는 프로텍션링(60);을 포함하는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, the double prevention gate valve according to the present invention has a circular main flow passage having an outer diameter smaller than the width of the slide space 11 and a slide space 11 formed therein. (12) a rectangular housing 10 formed on both sides; A disk valve assembly (20) that is installed to be transportable in the slide space (11) and selectively opens and closes the main flow path (12); An actuator (30) installed in the housing (10) and transferring the disk valve assembly (20) to open and close the main flow path (12); A first ring guide 40 installed on one side of the housing 10 and communicating with the main passage 12; A second ring guide 50 installed on the other side of the housing 10 and communicating with the main channel 12 at the opposite side of the first ring guide 40; And when the disk valve assembly 20 to be transferred as being inserted into the second ring guide 50 is positioned in the slide space 11, it is transferred through the main flow path 12 to be transferred to the first ring guide. It characterized in that it includes; a protection ring 60 coupled to be in communication with (40).

본 발명에 있어서, 상기 디스크밸브조립체(20)의 전방측에 설치된 것으로서, 이송중 상기 슬라이드공간(11)의 상하좌우 내주면에 실링되게 밀착되는 쉴드바(70);를 더 포함한다.In the present invention, it is installed on the front side of the disk valve assembly 20, the shield bar 70 which is in close contact with the upper, lower left and right inner circumferential surfaces of the slide space 11 during transport to be sealed; further includes.

본 발명에 있어서, 상기 디스크밸브조립체(20)는, 상기 슬라이드공간(11)에서 이송되는 것으로서 표면에서 돌출된 다수의 가이드핀(21a)을 가지는 가이드플레이트(21)와, 상기 가이드플레이트(21)의 모서리측에 설치되어 상기 슬라이드공간(11)의 상하 내주면에 지지되어 구름운동하는 다수의 롤러부(22)와, 상기 가이드플레이트(21)의 상부측에서 위치되어 상기 메인유로(12)를 선택적으로 개폐하기 위한 실링디스크(23)와, 상기 가이드플레이트(21)의 하부측에서 상기 가이드핀(21a)에 승강 가능하게 지지되는 리어디스크(24)와, 상기 실링디스크(23)의 내측과 리어디스크(24)의 내측을 연결하면서 양측단이 연결되는 판스프링조립체(25)와, 상기 가이드플레이트(21)에 전방측으로 돌출된 상태에서 그 가이드플레이트(21)에 상대 이동 가능하게 지지된 것으로서 상기 판스프링조립체(25)의 일측단이 결합되는 스토퍼플레이트(26)와, 상기 스토퍼플레이트(26)가 위치고정된 상태에서 상기 가이드플레이트(21)가 상기 스토퍼플레이트(26) 측으로 밀릴 때 상기 실링디스크(23)와 리어디스크(24)를 멀어지게 하는 볼구동부(27)를 포함한다. In the present invention, the disc valve assembly 20 includes a guide plate 21 having a plurality of guide pins 21a protruding from a surface as being conveyed from the slide space 11, and the guide plate 21 A plurality of rollers 22 installed at the corners of the slide space 11 and supported on the upper and lower inner circumferential surfaces of the slide space 11 to perform rolling movement, and the main passage 12 are selectively located at the upper side of the guide plate 21 A sealing disk (23) for opening and closing by means of, a rear disk (24) supported so as to be elevating and descending from the guide pin (21a) at the lower side of the guide plate (21), and the inside and rear of the sealing disk (23) The plate spring assembly 25 to which both ends are connected while connecting the inner side of the disk 24, and the guide plate 21 in a state protruding forwardly, supported by the guide plate 21 so as to be relatively movable. The stopper plate 26 to which one end of the leaf spring assembly 25 is coupled, and the sealing disk when the guide plate 21 is pushed toward the stopper plate 26 while the stopper plate 26 is fixed in position. (23) and a rear disk (24) and a ball driving portion (27) to move away.

본 발명에 있어서, 상기 볼구동부(27)는, 상기 가이드플레이트(21)의 표면 일측으로 돌출되게 설치되는 다수의 제1볼(27a)과, 상기 실링디스크(23)에 형성되어 상기 제1볼(27a)이 끼어지는 것으로서 일측에서 타측으로 점점 깊어지는 다수의 제1볼가이드홈(27b)과, 상기 가이드프레이트(21)의 표면 타측으로 돌출되게 설치되는 다수의 제2볼(27c)과, 상기 리어디스크(24)에 형성되어 상기 제2볼(27c)이 끼어지는 것으로서 일측에서 타측으로 점점 깊어지는 다수의 제2볼가이드홈(27d)을 포함한다. In the present invention, the ball driving part 27 includes a plurality of first balls 27a protruding toward one surface of the guide plate 21, and formed on the sealing disk 23 to provide the first ball A plurality of first ball guide grooves (27b) gradually deepening from one side to the other side as being inserted into (27a), a plurality of second balls (27c) installed to protrude from the other side of the surface of the guide plate (21), and the It includes a plurality of second ball guide grooves 27d that are formed on the rear disk 24 and are inserted into the second balls 27c and gradually deepen from one side to the other.

본 발명에 따르면, 슬라이드공간에 디스크밸브조립체가 위치될 때, 프로텍션링이 메인유로를 관통하여 제1링가이더와 연통되게 결합됨으로써, 공정중에 가스나 발생된 파우더가 슬라이드공간 내부로 침투되지 못하게 하여 시간이 지나더라도 내부 구성이 손상되는 것을 방지함과 동시에 언제나 완벽한 실링을 가능하게 할 수 있다. According to the present invention, when the disc valve assembly is positioned in the slide space, the protection ring penetrates the main flow path and is coupled to communicate with the first ring guide, thereby preventing gas or powder generated during the process from penetrating into the slide space. It prevents damage to the internal structure over time and allows perfect sealing at any time.

그리고 디스크밸브조립체가 슬라이드공간에서 이송되는 과정에서도, 전방에 설치된 쉴드바가 슬라이드공간의 상하좌우 내주면에 밀착될 수 있고, 이에 따라 공정가스가 파우더가 슬라이드공간 내부로 침투되는 것을 또 다시 방지할 수 있고, 이에 따라 디스크밸브조립체(20)의 부식이나 손상을 근본적으로 방지할 수 있다라는 작용,효과가 있다. And even in the process of transferring the disc valve assembly from the slide space, the shield bar installed in the front can be in close contact with the upper, lower, left, and right inner circumferential surfaces of the slide space, thereby preventing the powder from penetrating into the slide space again. According to this, there is an action and effect that it is possible to fundamentally prevent corrosion or damage of the disk valve assembly 20.

도 1은 본 발명에 따른 더블 프리벤션 게이트 밸브의 사시도,
도 2는 도 1의 더블 프리벤션 게이트 밸브의 부분 단면도,
도 3은 도 1이 더블 프리벤션 게이트 밸브의 내부 구성을 설명하기 위한 도면,
도 4는 도 3의 디스크밸브조립체의 사시도.
도 5는 도 4의 디스크밸브조립체의 후방 사시도.
도 6은 도 4 및 도 5의 디스크밸브조립체에 있어서, 실링디스크와 리어디스크 사이 간격을 가변시키기 위한 구성을 발췌하여 설명하기 위한 도면,
도 7은 도 6 에 실링디스크와 리어디스크 사이가 벌어지는 동작을 설명하기 위한 도면,
도 8은 도 1의 제1,2링가이더의 구성을 설명하기 위한 도면,
도 9는 도 2의 더블 프리벤션 게이트 밸브에 있어서, 디스크밸브조립체가 슬라이드공간에 위치된 상태에서 프로텍션링이 메인유로를 관통하여 제2링가이더와 연통된 동작을 설명하기 위한 단면도,
도 10은 도 9의 프로텍션링이 제1링가이더에서 후진한 상태에서, 디스크밸브조립체가 메인유로 측으로 이송된 것을 설명하기 위한 도면,
도 11은 도 10의 디스크밸브조립체가 좀더 이송되어 스토포플레이트를 가압할 때 실링디스크와 리어디스크 사이가 벌어지면서 실링디스크가 메인유로를 실링한 것을 설명하기 위한 도면,
도 12는 도 11의 실링디스크가 메인유로를 실링한 상태의 더블 프리벤션 게이트 밸브의 단면도.1 is a perspective view of a double prevention gate valve according to the present invention,
2 is a partial cross-sectional view of the double prevention gate valve of FIG. 1;
3 is a view for explaining the internal configuration of the double prevention gate valve of FIG. 1;
Figure 4 is a perspective view of the disk valve assembly of Figure 3;
Figure 5 is a rear perspective view of the disk valve assembly of Figure 4;
6 is a view for explaining by extracting a configuration for varying the distance between the sealing disk and the rear disk in the disk valve assembly of FIGS. 4 and 5;
FIG. 7 is a view for explaining an operation in which a sealing disk and a rear disk are opened in FIG. 6;
8 is a diagram for explaining the configuration of the first and second ring guides of FIG. 1;
FIG. 9 is a cross-sectional view illustrating an operation in which the protection ring passes through the main flow path and communicates with the second ring guider in a state in which the disk valve assembly is positioned in the slide space in the double prevention gate valve of FIG. 2;
FIG. 10 is a view for explaining that the disk valve assembly is transferred to the main channel side while the protection ring of FIG. 9 is moved backward from the first ring guide;
FIG. 11 is a view for explaining that when the disk valve assembly of FIG. 10 is further transferred to pressurize the stoppo plate, the sealing disk seals the main flow path while the sealing disk and the rear disk are widened;
12 is a cross-sectional view of a double prevention gate valve in a state in which the sealing disk of FIG. 11 seals the main flow path.

이하, 본 발명에 따른 더블 프리벤션 게이트 밸브를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, a double prevention gate valve according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이하에서, "상부" 나 "상"이라고 기재된 것은 접촉하여 바로 위에 있는 것뿐만 아니라 비접촉으로 위에 있는 것도 포함할 수 있다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정 되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서에 기재된 "...부", "모듈" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미한다.Hereinafter, what is described as "top" or "top" may include not only those directly above by contact, but also those above non-contact. Terms such as first and second may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by terms. The terms are only used for the purpose of distinguishing one component from another component. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In addition, when a part "includes" a certain component, it means that other components may be further included rather than excluding other components unless specifically stated to the contrary. In addition, terms such as "... unit" and "module" described in the specification mean units that process at least one function or operation.

도 1은 본 발명에 따른 더블 프리벤션 게이트 밸브의 사시도이고, 도 2는 도 1의 더블 프리벤션 게이트 밸브의 부분 단면도이며, 도 3은 도 1이 더블 프리벤션 게이트 밸브의 내부 구성을 설명하기 위한 도면이다. 1 is a perspective view of a double prevention gate valve according to the present invention, FIG. 2 is a partial cross-sectional view of the double prevention gate valve of FIG. 1, and FIG. 3 is a diagram for explaining the internal configuration of the double prevention gate valve. It is a drawing.

도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 더블 프리벤션 게이트 밸브는, 내부에 슬라이드공간(11)이 형성되고, 하부측으로 슬라이드공간(11)의 폭보다 작은 외직경을 가지는 원형의 메인유로(12)가 양측으로 형성된 장방형의 하우징(10)과; 슬라이드공간(11)에서 이송가능하게 설치된 것으로서, 메인유로(12)를 선택적으로 개폐하는 디스크밸브조립체(20)와; 하우징(10)에 설치된 것으로서, 메인유로(12)를 개폐하기 위하여 디스크밸브조립체(20)를 이송시키는 엑츄에이터(30)와; 하우징(10)의 일측에 설치되는 것으로서 메인유로(12)와 연통되는 제1링가이더(40)와; 하우징(10)의 타측에 설치되는 것으로서 제1링가이더(40)의 맞은편에서 메인유로(12)와 연통되는 제2링가이더(50)와; 제2링가이더(50)에 끼어지는 것으로서, 이송되는 디스크밸브조립체(20)가 슬라이드공간(11)에 위치될 때, 메인유로(12)를 관통하게 이송되어 제1링가이더(40)와 연통되게 결합되는 프로텍션링(60)과; 디스크밸브조립체(20)의 전방측에 설치된 것으로서, 이송중 슬라이드공간(11)의 상하좌우 내주면에 실링되게 밀착되는 쉴드바(70);를 포함하는 것을 특징으로 한다. As shown, in the double prevention gate valve according to the present invention, a slide space 11 is formed therein, and a circular main flow path 12 having an outer diameter smaller than the width of the slide space 11 is A rectangular housing 10 formed on both sides; A disk valve assembly 20 which is installed to be transportable in the slide space 11 and selectively opens and closes the main flow path 12; As installed in the housing 10, an actuator 30 for transferring the disk valve assembly 20 to open and close the main flow path 12; A first ring guide 40 installed on one side of the housing 10 and communicating with the main flow path 12; A second ring guider 50 installed on the other side of the housing 10 and communicating with the main channel 12 at the opposite side of the first ring guider 40; As being inserted into the second ring guide 50, when the transferred disk valve assembly 20 is located in the slide space 11, it is transferred through the main flow path 12 and communicates with the first ring guide 40 A protection ring 60 coupled to each other; It is installed on the front side of the disk valve assembly 20, and characterized in that it comprises a; shield bar 70 that is in close contact to be sealed to the upper, lower, left, and right inner circumferential surfaces of the slide space 11 during transport.

엑츄에이터(30)는 슬라이드공간(11) 내에서 디스크밸브조립체(20)를 이송시켜 메인유로(12)를 선택적으로 개폐하는 것으로서, 하우징(10)의 상부측에 설치되는 엑츄에이터몸체(31)와, 슬라이드공간(11) 내측에서 회동될 수 있도록 엑츄에이터몸체(31)에 연결되는 제1링크(32)와, 제1링크(32)와 가이드플레이트(21)와 연결되는 제2링크(33)를 포함한다. 이러한 구조에 의하여, 엑츄에이터몸체(31)가 제1,2링크(32)(33)를 접거나 펼치는 동작을 함으로써 디스크밸브조립체(20)를 승라이드공간(11) 내에서 왕복이송시키게 된다. The actuator 30 selectively opens and closes the main flow path 12 by transporting the disk valve assembly 20 within the slide space 11, and the actuator body 31 installed on the upper side of the housing 10, Includes a first link 32 connected to the actuator body 31 to be rotated inside the slide space 11, and a second link 33 connected to the first link 32 and the guide plate 21 do. With this structure, the actuator body 31 is operated to fold or unfold the first and second links 32 and 33, thereby reciprocating the disk valve assembly 20 within the ride space 11.

쉴드바(70)는 디스크밸브조립체(20)의 전방측에 설치된 것으로서, 디스크밸브조립체(20)와 이송중에 슬라이드공간(11)의 상하좌우 내주면에 실링되게 밀착된다. 이때 슬라이드공간(11)과의 실링 상태를 높이기 위하여, 쉴드바(70)는, 그 외주면에 설치된 것으로서 상기 슬라이드공간(11)의 상하좌우 내주면에 밀착되는 실링(71)을 더 포함한다. The shield bar 70 is installed on the front side of the disk valve assembly 20 and is in close contact with the disk valve assembly 20 so as to be sealed to the upper, lower, left, and right inner circumferential surfaces of the slide space 11 during transfer. At this time, in order to increase the sealing state with the slide space 11, the shield bar 70 further includes a sealing 71 installed on the outer circumferential surface thereof and in close contact with the upper, lower, left, and right inner circumferential surfaces of the slide space 11.

도 4는 도 3의 디스크밸브조립체의 사시도이고, 도 5는 도 4의 디스크밸브조립체의 후방 사시도이며, 도 6은 도 4 및 도 5의 디스크밸브조립체에 있어서, 실링디스크와 리어디스크 사이 간격을 가변시키기 위한 구성을 발췌하여 설명하기 위한 도면이고, 도 7은 도 6 에 실링디스크와 리어디스크 사이가 벌어지는 동작을 설명하기 위한 도면이다. Figure 4 is a perspective view of the disk valve assembly of Figure 3, Figure 5 is a rear perspective view of the disk valve assembly of Figure 4, Figure 6 is the disc valve assembly of Figures 4 and 5, the gap between the sealing disk and the rear disk It is a diagram for explaining by extracting a configuration for variable, and FIG. 7 is a diagram for explaining an operation in which the sealing disk and the rear disk are opened in FIG. 6.

디스크밸브조립체(20)는, 슬라이드공간(11)에서 이송되는 것으로서 표면에서 돌출된 다수의 가이드핀(21a)을 가지는 가이드플레이트(21)와, 가이드플레이트(21)의 모서리측에 설치되어 상기 슬라이드공간(11)의 상하 내주면에 지지되어 구름운동하는 다수의 롤러부(22)와, 가이드플레이트(21)의 상부측에서 위치되어 메인유로(12)를 선택적으로 개폐하기 위한 실링디스크(23)와, 가이드플레이트(21)의 하부측에서 가이드핀(21a)에 승강 가능하게 지지되는 리어디스크(24)와, 실링디스크(23)의 내측과 리어디스크(24)의 내측을 연결하면서 양측단이 연결되는 판스프링조립체(25)와, 가이드플레이트(21)에 전방측으로 돌출된 상태에서 그 가이드플레이트(21)에 상대 이동 가능하게 지지된 것으로서 판스프링조립체(25)의 일측단이 결합되는 스토퍼플레이트(26)와, 스토퍼플레이트(26)가 위치고정된 상태에서 가이드플레이트(21)가 스토퍼플레이트(26) 측으로 밀릴 때 실링디스크(23)와 리어디스크(24)를 멀어지게 하는 볼구동부(27)를 포함한다. The disc valve assembly 20 is a guide plate 21 having a plurality of guide pins 21a protruding from the surface as being transported from the slide space 11, and is installed at the edge of the guide plate 21 to provide the slide A plurality of rollers 22 supported on the upper and lower inner circumferential surfaces of the space 11 to perform rolling movement, and a sealing disk 23 positioned on the upper side of the guide plate 21 to selectively open and close the main passage 12, and , Both ends are connected while connecting the inner side of the rear disc 24 and the inner side of the sealing disc 23 and the rear disc 24 with the rear disc 24 supported by the guide pin 21a at the lower side of the guide plate 21 A leaf spring assembly 25 that is formed and a stopper plate to which one end of the leaf spring assembly 25 is coupled as being supported by the guide plate 21 to be relatively movable in a state protruding forward from the guide plate 21 ( 26) and a ball driving part 27 that separates the sealing disk 23 and the rear disk 24 when the guide plate 21 is pushed toward the stopper plate 26 while the stopper plate 26 is fixed in position. Include.

롤러부(22)는, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 가이드플레이트(21)의 모서리측에 설치되어 슬라이드공간(11)의 상하 내주면을 따라 구름운동하는 4 개의 이송롤러(22a)와, 가이드플레이트(21)의 모서리측에 설치되어 슬라이드공간(11)의 좌우 내주면을 따라 구름 운동하는 4 개의 사이드롤러(22b)를 포함한다. 이러한 롤러부(22)에 의하여 가이드플레이트(21)는 슬라이드공간(11)에서 정확한 궤도에서 왕복이송이 가능하게 된다. The roller unit 22, as shown in Figs. 4 and 5, is installed on the edge side of the guide plate 21 and rolls along the upper and lower inner circumferential surfaces of the slide space 11, and four transfer rollers 22a , It is installed on the edge side of the guide plate (21) and includes four side rollers (22b) rolling along the left and right inner circumferential surfaces of the slide space (11). By this roller part 22, the guide plate 21 can be reciprocated in an accurate track in the slide space 11.

실링디스크(23)는, 판스프링조립체(25)에 의하여 리어디스크(24)와 대향되게 위치된 것으로서, 메인유로(12)를 선태적으로 실링한다. 이때 실링디스크(23)의 가장자리 표면에는 오링(23a)이 형성되어, 실링디스크(23)가 메인유로(12)에 결합될 때 완전한 실링 상태를 유지하게 한다. 이때 오링(23a)은 고온은 물론 화학적인 환경에서도 물성을 유지할 수 있도록 바이톤분말로 이루어진다. The sealing disk 23 is positioned opposite to the rear disk 24 by the leaf spring assembly 25 and selectively seals the main flow path 12. At this time, an O-ring 23a is formed on the edge surface of the sealing disk 23 to maintain a complete sealing state when the sealing disk 23 is coupled to the main flow path 12. At this time, the O-ring 23a is made of viton powder so as to maintain its physical properties in a chemical environment as well as high temperature.

리어디스크(24)는, 가이드핀(21a)에 의하여 가이드플레이트(21)의 상하부측으로만 소정간격 움직일 수 잇다. The rear disk 24 can be moved at predetermined intervals only to the upper and lower portions of the guide plate 21 by the guide pins 21a.

판스프링조립체(25)는 실링디스크(23)를 지지하는 제1판스프링(25a)의 양단과, 리어디스크(24)를 지지하는 제2판스프링(25b)의 양단이 상호 연결됨으로써 구현되고, 이에 따라 제1,2판스프링(25a)(25b)은 전체적으로 마름모 형상을 이루는 폐곡선을 이룬다. The plate spring assembly 25 is implemented by interconnecting both ends of the first plate spring 25a supporting the sealing disk 23 and the second plate spring 25b supporting the rear disk 24, Accordingly, the first and second plate springs 25a and 25b form a closed curve that forms a rhombus as a whole.

스토퍼플레이트(26)는 가이드플레이트(21)에 전방측으로 일부 돌출된 형태를 가지며, 가이드플레이트(21)에 상대 이동 가능하게 지지된다. 이러한 스토퍼플레이트(26)에는 판스프링조립체(25)의 일측단이 결합된다. The stopper plate 26 has a shape partially protruding from the guide plate 21 toward the front side, and is supported by the guide plate 21 to be relatively movable. One end of the leaf spring assembly 25 is coupled to the stopper plate 26.

볼구동부(27)는, 도 6a 및 도 6b 에 도시된 바와 같이, 가이드플레이트(21)의 표면 일측으로 돌출되게 설치되는 다수의 제1볼(27a)과, 실링디스크(23)에 형성되어 제1볼(27a)이 끼어지는 것으로서 일측에서 타측으로 점점 깊어지는 다수의 제1볼가이드홈(27b)과, 가이드프레이트(21)의 표면 타측으로 돌출되게 설치되는 다수의 제2볼(27c)과, 리어디스크(24)에 형성되어어 제2볼(27c)이 끼어지는 것으로서 일측에서 타측으로 점점 깊어지는 다수의 제2볼가이드홈(27d)을 포함한다. The ball driving part 27, as shown in FIGS. 6A and 6B, is formed on a plurality of first balls 27a, which are installed to protrude toward one side of the surface of the guide plate 21, and on the sealing disk 23. A plurality of first ball guide grooves (27b) gradually deepening from one side to the other side as one ball (27a) is inserted, and a plurality of second balls (27c) installed to protrude to the other side of the surface of the guide plate (21), It is formed on the rear disk 24 and includes a plurality of second ball guide grooves 27d that are gradually deepened from one side to the other side as the second ball 27c is inserted.

제1볼(27a)와 제2볼(27c)는 가이드플레이트(21)의 표면에서 일측 및 타측으로 대향되게 돌출되어 있다. The first ball 27a and the second ball 27c protrude from the surface of the guide plate 21 to be opposed to one side and the other side.

이러한 디스크밸브조립체(20)에 의하여, 초기에는 도 6a 에 도시된 바와 같이 판스프링조립체(25)에 의하여 실링디스크(23)와 리어디스크(24)는 상호 대향된 위치를 유지하고 있다. 그리고 가이드플레이트(21)가 스트포플레이트(26) 측으로 이동하면, 도 6b 에 도시된 바와 같이 제1,2볼(27a)(27c)가 제1,2볼가이드홈(27b)(27d)의 낮은 깊이측으로 이동하면서 실링디스크(23)와 리어디스크(24) 사이 간격이 벌어지게 되는 작동 메커니즘이 진행된다. By this disk valve assembly 20, initially, the sealing disk 23 and the rear disk 24 are kept opposite to each other by the leaf spring assembly 25 as shown in FIG. 6A. And when the guide plate 21 moves toward the strap plate 26, the first and second balls 27a and 27c are formed of the first and second ball guide grooves 27b and 27d as shown in FIG. 6B. While moving to the lower depth side, an operation mechanism is performed in which the gap between the sealing disk 23 and the rear disk 24 is widened.

도 8은 도 1의 제1,2링가이더의 구성을 설명하기 위한 도면이다.8 is a diagram for explaining the configuration of the first and second ring guides of FIG. 1.

제1링가이더(40)는 하우징(10)의 일측에 설치되어 메인유로(12)와 연통되는 것으로서, 공정이 진행되는 챔버와 출입을 위한 통로중 다른 하나에 연결되며, 공정을 위한 가스가 유입된다. The first ring guider 40 is installed on one side of the housing 10 and communicates with the main flow path 12, and is connected to the other of the chamber where the process proceeds and the passage for entry and exit, and gas for the process flows in. do.

제2링가이더(50)는 하우징(10)의 타측에 설치되어 제1링가이더(40)에서 유입된 공정 가스가 배출된다. 이러한 링가이더(50)는, 이격된 단턱을 가지는 실린더홈(51)이 내주면에 형성된 가이더몸체(52)와, 가이더몸체(52)에서 연장되는 것으로서 실린더홈(51) 보다 작은 내직경을 가지는 서브가이더몸체(53)와, 가이더몸체(52)에 설치되어 실린더홈(51)으로 에어를 공급 또는 배기하는 한쌍의 에어컨넥터(54)를 포함한다. 이때 가이더몸체(52)에는 챔버 또는 통로에 결합되기 위한 다수의 플랜지구멍(52a)이 형성되어 있다. The second ring guider 50 is installed on the other side of the housing 10 and the process gas introduced from the first ring guider 40 is discharged. This ring guider 50 is a guider body 52 formed on the inner circumferential surface of the cylinder groove 51 having a stepped spaced apart, and extends from the guider body 52 and has a smaller inner diameter than the cylinder groove 51 It includes a guider body 53 and a pair of air conditioner connectors 54 installed in the guider body 52 to supply or exhaust air to the cylinder groove 51. At this time, the guider body 52 is formed with a plurality of flange holes 52a to be coupled to the chamber or passage.

프로텍션링(60)은, 가이더몸체(52)와 서브가이더몸체(53)에 끼어지는 링몸체(61)와, 링몸체(61)에 형성되어 실린더홈(51)의 내주면에 밀착되는 피스톤링(62)을 포함한다. 이때 제1링가이더(40)를 통하여 유입되는 공정 가스에 의하여 발생된 파우더가 프로텍셔링(60)의 내주면에 고착되지 않도록 유속을 상승시켜야 하며, 이를 위하여, 제1링몸체(61)에 있어 제1링가이더(40)의 출구측의 내직경이 입구측의 내직경보다 작다. The protection ring 60 includes a ring body 61 that is sandwiched between the guider body 52 and the subguider body 53, and a piston ring formed in the ring body 61 and in close contact with the inner circumferential surface of the cylinder groove 51 ( 62). At this time, the flow rate must be increased so that the powder generated by the process gas flowing through the first ring guide 40 does not adhere to the inner circumferential surface of the protection ring 60. To this end, the first ring body 61 The inner diameter on the outlet side of the 1 ring guider 40 is smaller than the inner diameter on the inlet side.

이러한 제2링가이더(50) 및 프로텍션링(60)의 구조에 의하여, 프로텍션링(60)은 제2링가이더(50)의 가이더몸체(52)와 서브가이더몸체(53)에 위치되어 있다가, 디스크밸브조립체(20)가 슬라이드공간(11) 내측에 위치된 상태에서 상기 한쌍의 에어컨넥터(54)로 에어가 공급되면, 메인유로(12)를 관통 이송되어 제2링가이더(50)와 연통된다. Due to the structure of the second ring guider 50 and the protection ring 60, the protection ring 60 is located on the guider body 52 and the subguider body 53 of the second ring guider 50. , When air is supplied to the pair of air conditioner connectors 54 while the disk valve assembly 20 is located inside the slide space 11, it is transferred through the main flow path 12 to the second ring guide 50 and Communicate.

도 9는 도 2의 더블 프리벤션 게이트 밸브에 있어서, 디스크밸브조립체가 슬라이드공간에 위치된 상태에서 프로텍션링이 메인유로를 관통하여 제2링가이더와 연통된 동작을 설명하기 위한 단면도이다. 9 is a cross-sectional view illustrating an operation in which the protection ring passes through the main flow path and communicates with the second ring guider in a state in which the disk valve assembly is positioned in the slide space in the double prevention gate valve of FIG. 2.

도시된 바와 같이, 디스크밸브조립체(20)가 슬라이드공간(11)에 위치될 때, 프로텍션링(60)은 메인유로(12)를 관통하여 제2링가이더(50)와 연통되게 밀착된 상태를 유지하고, 이 상태에에서, 제1,2링가이더(40)(50)를 통하여 챔버와 통로가 연통됨으로서 슬라이드공간(11)은 메인유로(12)와 차단된 상태가 된다. 이에 따라, 제1,2링가이더(40)(50)를 경유하는 공정 가스나 공정중 발생된 파티클이 슬라이드(11) 내부로 유입되는 것이 방지되어, 디스크밸브조립체가 부식되거나 손상되는 것을 방지할 수 있다. As shown, when the disk valve assembly 20 is located in the slide space 11, the protection ring 60 passes through the main flow path 12 and is in close contact with the second ring guider 50. In this state, the chamber and the passage communicate with each other through the first and second ring guides 40 and 50, so that the slide space 11 is blocked from the main passage 12. Accordingly, the process gas passing through the first and second ring guides 40 and 50 or particles generated during the process are prevented from flowing into the slide 11, thereby preventing the disk valve assembly from being corroded or damaged. I can.

도 10은 도 9의 프로텍션링이 제1링가이더에서 후진한 상태에서, 디스크밸브조립체가 메인유로 측으로 이송된 것을 설명하기 위한 도면이고, 도 11은 도 10의 디스크밸브조립체가 좀더 이송되어 스토포플레이트를 가압할 때 실링디스크와 리어디스크 사이가 벌어지면서 실링디스크가 메인유로를 실링한 것을 설명하기 위한 도면이며, 도 12는 도 11의 실링디스크가 메인유로를 실링한 상태의 더블 프리벤션 게이트 밸브의 단면도이다. FIG. 10 is a view for explaining that the disk valve assembly is transferred to the main flow path side while the protection ring of FIG. 9 is moved backward from the first ring guide, and FIG. 11 is a stopper because the disk valve assembly of FIG. 10 is further transferred. It is a view for explaining that the sealing disk seals the main flow path while the sealing disk and the rear disk are spread when the plate is pressed, and FIG. 12 is a double prevention gate valve in a state in which the sealing disk of FIG. 11 seals the main flow path. It is a cross-sectional view.

한편, 도 9의 상태에서, 한쌍의 에어컨넥터(54)을 통하여 실링더홈(51)으로 에어가 공급되거나 배기되면, 피스톤링(62)은 실린더홈(51)에서 후진하여 프로텍션링(60)을 메인유로(12)를 개방하는 방향으로 이송한다. On the other hand, in the state of FIG. 9, when air is supplied or exhausted to the sealer groove 51 through a pair of air conditioner connectors 54, the piston ring 62 moves backward from the cylinder groove 51 to open the protection ring 60. It is conveyed in the direction of opening the main passage 12.

이 상태에서, 액츄에이터(30)가 작동되어 제1,2링크(32)(33)를 펼치게 되면 도 10에 도시된 바와 같이 디스크밸브조립체(20)가 메인유로(12) 측으로 이송된다. 이때, 디스크밸브조립체(20)의 전방측에는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 슬라이드공간(11)의 상하좌우 내주면에 밀착되는 쉴드바(70)가 설치됨으로써, 이송도중에 공정 가스나 파티클이 디스크밸브조립체(20) 측으로 흐르는 것을 방지할 수 있다. In this state, when the actuator 30 is operated to open the first and second links 32 and 33, the disc valve assembly 20 is transferred to the main flow path 12 as shown in FIG. 10. At this time, by installing a shield bar 70 in close contact with the upper, lower, left, and right inner circumferential surfaces of the slide space 11 as shown in FIGS. 4 and 5 on the front side of the disc valve assembly 20, process gases or particles are transferred to the disc during transfer. It is possible to prevent flow to the valve assembly 20 side.

엑츄에이터(30)의 제1,2링크(32)(33)가 디스크밸브조립체(20)를 완전히 밀게 되면, 도 11에 도시된 바와 같이 스토퍼플레이트(2)가 가이드플레이트(21)를 기준으로 밀리게 되고, 볼구동부(27)의 작동에 의하여 실링디스크(23)는 메인유로(12)를 폐쇄하게 된다. When the first and second links 32 and 33 of the actuator 30 completely push the disc valve assembly 20, the stopper plate 2 is pushed relative to the guide plate 21 as shown in FIG. The sealing disk 23 closes the main flow path 12 by the operation of the ball driving part 27.

이와 같이, 본 발명에 따르면, 슬라이드공간(11)에 디스크밸브조립체(20)가 위치될 때, 프로텍션링(60)이 메인유로(12)를 관통하여 제1링가이더(40)와 연통되게 결합됨으로써, 공정중에 가스나 발생된 파우더가 슬라이드공간 내부로 침투되지 못하게 하여 시간이 지나더라도 내부 구성이 손상되는 것을 방지함과 동시에 언제나 완벽한 실링을 가능하게 할 수 있다. As described above, according to the present invention, when the disk valve assembly 20 is positioned in the slide space 11, the protection ring 60 passes through the main flow path 12 and is coupled to communicate with the first ring guide 40 As a result, gas or powder generated during the process is prevented from penetrating into the slide space, thereby preventing damage to the internal structure even after time passes, and at the same time, it is possible to ensure perfect sealing at any time.

그리고 디스크밸브조립체(20)가 슬라이드공간(11)에서 이송되는 과정에서도, 전방에 설치된 쉴드바(70)가 슬라이드공간(11)의 상하좌우 내주면에 밀착될 수 있고, 이에 따라 공정가스가 파우더가 슬라이드공간(11) 내부로 침투되는 것을 또 다시 방지할 수 있고, 이에 따라 디스크밸브조립체(20)의 부식이나 손상을 근본적으로 방지할 수 있다. And even in the process of transferring the disk valve assembly 20 from the slide space 11, the shield bar 70 installed in the front may be in close contact with the upper, lower, left, and right inner circumferential surfaces of the slide space 11, whereby the process gas Penetration into the slide space 11 can be prevented again, and thus corrosion or damage of the disk valve assembly 20 can be fundamentally prevented.

본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. The present invention has been described with reference to an embodiment shown in the drawings, but this is only exemplary, and those of ordinary skill in the art will appreciate that various modifications and other equivalent embodiments are possible therefrom.

10 ... 하우징 11 ... 슬라이드공간
12 ... 메인유로 20 ... 디스크밸브조립체
21 ... 가이드플레이트 21a ... 가이드핀
22 ... 롤러부 22a ... 이송롤러
22b ... 사이드롤러 23 ... 실링디스크
23a ... 오링 24 ... 리어디스크
25 ... 판스프링조립체 25a, 25b ... 제1,2판스프링
26 ... 스토퍼플레이트 27 ... 볼구동부
27a ... 제1볼 27b ... 제1볼가이드홈
27c ... 제2볼 27d ... 제2볼가이드홈
30 ... 엑츄에이터 31 ... 엑츄에이터몸체
32, 33 ... 제1,2링크 40 ... 제1링가이더
50 ... 제2링가이더 51 ... 실린더홈
52 ... 가이더몸체 52a ... 플랜지구멍
53 ... 서브가이드몸체 54 ... 에어컨넥터
60 ... 프로텍션링 61 ... 링몸체
62 ... 피스톤링 70 ... 쉴드바
71 ... 실링10 ... housing 11 ... slide space
12 ... Main flow path 20 ... Disc valve assembly
21 ... Guide plate 21a ... Guide pin
22 ... Roller part 22a ... Transfer roller
22b ... side roller 23 ... sealing disc
23a ... O-ring 24 ... rear disc
25 ... Leaf spring assembly 25a, 25b ... 1st and 2nd leaf spring
26 ... Stopper plate 27 ... Ball drive part
27a ... 1st ball 27b ... 1st ball guide groove
27c ... 2nd ball 27d ... 2nd ball guide groove
30 ... actuator 31 ... actuator body
32, 33 ... 1st, 2nd link 40 ... 1st ring guider
50 ... 2nd ring guider 51 ... Cylinder groove
52 ... guider body 52a ... flange hole
53 ... Sub-guide body 54 ... Air conditioner connector
60 ... Protection ring 61 ... Ring body
62 ... Piston ring 70 ... Shield bar
71 ... sealing

Claims (4)

내부에 슬라이드공간(11)이 형성되고, 하부측으로 슬라이드공간(11)의 폭보다 작은 외직경을 가지는 원형의 메인유로(12)가 양측으로 형성된 장방형의 하우징(10);
상기 슬라이드공간(11)에서 이송가능하게 설치된 것으로서, 상기 메인유로(12)를 선택적으로 개폐하는 디스크밸브조립체(20);
상기 하우징(10)에 설치된 것으로서, 상기 메인유로(12)를 개폐하기 위하여 상기 디스크밸브조립체(20)를 이송시키는 엑츄에이터(30);
상기 하우징(10)의 일측에 설치되는 것으로서 상기 메인유로(12)와 연통되는 제1링가이더(40);
상기 하우징(10)의 타측에 설치되는 것으로서 상기 제1링가이더(40)의 맞은편에서 상기 메인유로(12)와 연통되는 제2링가이더(50); 및
상기 제2링가이더(50)에 끼어지는 것으로서, 이송되는 상기 디스크밸브조립체(20)가 상기 슬라이드공간(11)에 위치될 때, 상기 메인유로(12)를 관통하게 이송되어 제1링가이더(40)에 연통되게 결합되는 프로텍션링(60);을 포함하는 것을 특징으로 하는 더블 프리벤션 게이트 밸브.A rectangular housing 10 having a slide space 11 formed therein, and having a circular main flow path 12 having an outer diameter smaller than the width of the slide space 11 on both sides of the lower side;
A disk valve assembly (20) installed to be transportable in the slide space (11) and selectively opening and closing the main flow path (12);
An actuator (30) installed in the housing (10) and transferring the disk valve assembly (20) to open and close the main flow path (12);
A first ring guide 40 installed on one side of the housing 10 and communicating with the main passage 12;
A second ring guide 50 installed on the other side of the housing 10 and communicating with the main channel 12 at the opposite side of the first ring guide 40; And
When the disc valve assembly 20 to be transferred is positioned in the slide space 11 as being inserted into the second ring guide 50, it is transferred through the main channel 12 to be transferred to the first ring guide ( A double prevention gate valve comprising: a protection ring 60 coupled to be in communication with 40). 제1항에 있어서,
상기 디스크밸브조립체(20)의 전방측에 설치된 것으로서, 이송중 상기 슬라이드공간(11)의 상하좌우 내주면에 실링되게 밀착되는 쉴드바(70);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 더블 프리벤션 게이트 밸브.The method of claim 1,
A double prevention gate valve, characterized in that it further comprises a shield bar (70) installed on the front side of the disk valve assembly (20) and sealed to the upper, lower, left, and right inner circumferential surfaces of the slide space (11) during transport. . 제1항에 있어서, 상기 디스크밸브조립체(20)는,
상기 슬라이드공간(11)에서 이송되는 것으로서 표면에서 돌출된 다수의 가이드핀(21a)을 가지는 가이드플레이트(21)와,
상기 가이드플레이트(21)의 모서리측에 설치되어 상기 슬라이드공간(11)의 상하 내주면에 지지되어 구름운동하는 다수의 롤러부(22)와,
상기 가이드플레이트(21)의 상부측에서 위치되어 상기 메인유로(12)를 선택적으로 개폐하기 위한 실링디스크(23)와,
상기 가이드플레이트(21)의 하부측에서 상기 가이드핀(21a)에 승강 가능하게 지지되는 리어디스크(24)와,
상기 실링디스크(23)의 내측과 리어디스크(24)의 내측을 연결하면서 양측단이 연결되는 판스프링조립체(25)와,
상기 가이드플레이트(21)에 전방측으로 돌출된 상태에서 그 가이드플레이트(21)에 상대 이동 가능하게 지지된 것으로서 상기 판스프링조립체(25)의 일측단이 결합되는 스토퍼플레이트(26)와,
상기 스토퍼플레이트(26)가 위치고정된 상태에서 상기 가이드플레이트(21)가 상기 스토퍼플레이트(26) 측으로 밀릴 때 상기 실링디스크(23)와 리어디스크(24)를 멀어지게 하는 볼구동부(27)를 포함하는 것을 특징으로 하는 더블 프리벤션 게이트 밸브The method of claim 1, wherein the disk valve assembly (20),
A guide plate 21 having a plurality of guide pins 21a protruding from the surface as transported from the slide space 11,
A plurality of roller parts 22 installed on the edge side of the guide plate 21 and supported on the upper and lower inner circumferential surfaces of the slide space 11 to perform rolling movement,
A sealing disk 23 positioned on the upper side of the guide plate 21 to selectively open and close the main flow path 12,
A rear disk (24) supported by the guide pin (21a) to be elevating and descending from the lower side of the guide plate (21),
A plate spring assembly 25 to which both ends are connected while connecting the inner side of the sealing disc 23 and the inner side of the rear disc 24,
A stopper plate 26 to which one end of the leaf spring assembly 25 is coupled as supported by the guide plate 21 so as to be relatively movable in a state protruding forward from the guide plate 21,
When the guide plate 21 is pushed toward the stopper plate 26 while the stopper plate 26 is fixed in position, a ball driving part 27 is provided to separate the sealing disk 23 and the rear disk 24 from each other. Double prevention gate valve, characterized in that it comprises 제3항에 있어서, 상기 볼구동부(27)는,
상기 가이드플레이트(21)의 표면 일측으로 돌출되게 설치되는 다수의 제1볼(27a)과,
상기 실링디스크(23)에 형성되어 상기 제1볼(27a)이 끼어지는 것으로서 일측에서 타측으로 점점 깊어지는 다수의 제1볼가이드홈(27b)과,
상기 가이드프레이트(21)의 표면 타측으로 돌출되게 설치되는 다수의 제2볼(27c)과,
상기 리어디스크(24)에 형성되어 상기 제2볼(27c)이 끼어지는 것으로서 일측에서 타측으로 점점 깊어지는 다수의 제2볼가이드홈(27d)을 포함하는 것을 특징으로 하는 더블 프리벤션 게이트 밸브. The method of claim 3, wherein the ball driving part (27),
A plurality of first balls (27a) installed to protrude to one side of the surface of the guide plate (21),
A plurality of first ball guide grooves (27b) formed in the sealing disk (23) to be inserted into the first ball (27a) and gradually deepen from one side to the other side,
A plurality of second balls 27c installed to protrude to the other side of the surface of the guide plate 21,
A double prevention gate valve comprising a plurality of second ball guide grooves (27d) formed in the rear disk (24) and into which the second balls (27c) are inserted and gradually deepen from one side to the other side.
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