KR20200130981A - Support Pin for Supporting Glass Substrate - Google Patents

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Abstract

The present invention discloses a support pin for supporting a glass substrate, which includes: a support part formed in a rod shape; a head part coupled to an upper portion of the support part to support a lower surface of the glass substrate; and a fixing part fixing the head part to the support part, wherein the head part includes a thin film layer made of graphite and formed on at least a portion in contact with the glass substrate. The support pin for supporting a glass substrate of the present invention has the thin film layer made of pyrocarbon at a surface of the graphite on the portion in contact with the glass substrate, thereby decreasing generation of scratches on the lower surface of the glass substrate.

Description

유리 기판 지지용 지지핀{Support Pin for Supporting Glass Substrate}Support Pin for Supporting Glass Substrate}

본 발명은 유리 기판과 같은 기판을 지지하는 지지핀에 관한 것이다.The present invention relates to a support pin for supporting a substrate such as a glass substrate.

평판 디스플레이 장치는 기판으로 유리 기판을 사용하며, 유리 기판의 표면에 형성되는 박막 트랜지스터를 포함하는 다양한 소자와 모듈을 포함한다. 상기 트랜지스터는 다결정 실리콘, 실리콘 산화물 또는 실리콘 질화물등을 포함하는 다양한 박막의 증착 및 식각과 같은 공정에 의하여 제조된다. 상기 박막의 증착은 복수의 공정 챔버에서 진행되며, 유리 기판은 공정의 진행에 따라 복수의 공정 챔버들 사이로 이송된다. 상기 유리 기판은 통상적으로 공정 챔버 내에 위치하는 지지판 또는 서셉터의 상면에 안착된다. 상기 공정 챔버는 유리 기판을 이송할 때 지지핀을 이용하여 유리 기판을 지지판의 상면과 이격시킨다. 상기 지지핀은 유리 기판의 하면을 지지하여 지지판의 상면에서 상부로 들어올린다. 상기 지지핀은 유리 기판의 하면과 지지판의 상면 사이에 로봇팔과 같은 이송 기구가 이동하는 공간을 형성한다.A flat panel display device uses a glass substrate as a substrate, and includes various devices and modules including thin film transistors formed on the surface of the glass substrate. The transistor is manufactured by a process such as deposition and etching of various thin films including polycrystalline silicon, silicon oxide or silicon nitride. The deposition of the thin film is performed in a plurality of process chambers, and the glass substrate is transferred between the plurality of process chambers according to the progress of the process. The glass substrate is typically mounted on the upper surface of a support plate or susceptor positioned in a process chamber. The process chamber uses a support pin to separate the glass substrate from the upper surface of the support plate when transferring the glass substrate. The support pin supports the lower surface of the glass substrate and is lifted upward from the upper surface of the support plate. The support pin forms a space in which a transport mechanism such as a robot arm moves between the lower surface of the glass substrate and the upper surface of the support plate.

상기 지지핀은 일반적으로 세라믹 또는 금속 재질로 형성되며, 유리 기판의 지지 과정에서 유리 기판과 마찰을 일으킨다. 상기 지지핀은 유리 기판과의 마찰에 의하여 유리 기판의 하면에 스크래치를 유발하며, 마모 입자를 발생시킬 수 있다.The support pin is generally formed of a ceramic or metal material, and causes friction with the glass substrate in the process of supporting the glass substrate. The support pin may cause scratches on the lower surface of the glass substrate due to friction with the glass substrate, and may generate wear particles.

본 발명은 유리 기판에 스크래치가 유발되는 것을 감소시킬 수 있는 유리 기판 지지용 지지핀을 제공하는 것으로 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a support pin for supporting a glass substrate that can reduce the occurrence of scratches on the glass substrate.

본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 지지용 지지핀은 막대 형상으로 형성되는 지지부와, 상기 지지부의 상부에 결합되어 유리 기판의 하면을 지지하는 헤드부 및 상기 헤드부를 상기 지지부에 고정하는 고정부를 포함하며, 상기 헤드부는 그래파이트로 형성되며, 적어도 상기 유리 기판과 접촉되는 영역에 형성되는 박막층을 포함하는 것을 특징으로 한다.A support pin for supporting a glass substrate according to an embodiment of the present invention includes a support portion formed in a rod shape, a head portion coupled to an upper portion of the support portion to support the lower surface of the glass substrate, and a fixing portion fixing the head portion to the support portion Including, the head portion is formed of graphite, characterized in that it comprises a thin film layer formed at least in a region in contact with the glass substrate.

또한, 상기 지지부는 상면에서 하부 방향으로 연장되는 홈 형상으로 형성되는 지지 수직 홈 및 상기 지지부의 일측의 외주면에서 상기 지지 수직 홈을 관통하여 타측의 외주면으로 개방되는 지지 수평 홀을 포함하며, 상기 헤드부는 블록 형상으로 형성되는 헤드 본체 및 상기 헤드 본체의 하부에 결합되는 기둥 형상으로 형성되어 상기 지지 수직 홈에 삽입되는 헤드 바를 포함하며, 상기 헤드 바는 상기 지지 수직 홈에 결합될 때 상기 지지 수평 홀과 관통하는 헤드 홀을 포함할 수 있다.In addition, the support portion includes a support vertical groove formed in a groove shape extending from an upper surface to a lower direction, and a support horizontal hole that penetrates the support vertical groove from an outer circumferential surface of one side of the support portion and opens to an outer peripheral surface of the other side, The portion includes a head body formed in a block shape and a head bar formed in a column shape coupled to a lower portion of the head body and inserted into the support vertical groove, wherein the head bar is the support horizontal hole when coupled to the support vertical groove It may include a head hole and penetrating.

또한, 상기 고정부는 내부에 중심 축에 평행이며 일측과 타측으로 개방되는 본체 홀을 구비하는 관 본체 및 링 형상이며 상기 관 본체의 일측단에서 외주면에 수직한 방향으로 연장되어 형성되는 관 플랜지를 포함하는 고정 관 및 바 형상이며 상기 본체 홀에 삽입되는 바 본체 및 링 형상이며 상기 바 본체의 타측단에서 외주면 방향으로 연장되어 형성되는 바 플랜지를 포함하는 고정 바를 포함하며, 상기 고정 관은 상기 관 본체가 상기 지지 수평 홀의 일측을 통하여 헤드 홀의 내부로 삽입되어 헤드 바에 결합되고, 상기 관 플랜지가 상기 헤드 홀의 일측에 위치하며, 상기 고정 바는 바 본체가 상기 지지 수평 홀의 타측을 통하여 상기 관 본체의 본체 홀에 삽입되어 상기 고정 관에 결합되고, 상기 바 플랜지가 상기 헤드 홀의 타측에 위치하며, 상기 고정 바는 상기 바 본체의 일측단면에 형성되는 코킹 홈에 의하여 코킹되면서 상기 고정 관에 결합될 수 있다.In addition, the fixing part includes a tube body and a ring shape having a body hole that is parallel to the central axis inside and open to one side and the other side, and a tube flange formed by extending in a direction perpendicular to the outer peripheral surface from one end of the tube body. And a bar body and a ring shape inserted into the body hole, and a fixing bar including a bar flange extending from the other end of the bar body in the outer circumferential surface direction, and the fixing tube is the tube body Is inserted into the head hole through one side of the support horizontal hole and coupled to the head bar, and the pipe flange is located at one side of the head hole, and the fixing bar has a bar main body through the other side of the support horizontal hole. It is inserted into the hole and coupled to the fixing tube, the bar flange is located on the other side of the head hole, and the fixing bar may be coupled to the fixing tube while being caulked by a caulking groove formed in one end surface of the bar body. .

또한, 상기 바 본체는 일측단이 상기 관 본체의 일측단에서 돌출되는 길이로 형성될 수 있다.In addition, the bar body may have a length having one end protruding from one end of the tube body.

또한, 상기 본체 홀은 일측단부에 내주면으로 개방되는 단턱 또는 내주면으로 경사지는 챔퍼를 더 포함할 수 있다.In addition, the main body hole may further include a stepped step open to the inner circumferential surface at one end portion or a chamfer inclined toward the inner circumferential surface.

또한, 상기 박막층은 10 ~ 30㎛의 두께로 형성될 수 있다.In addition, the thin film layer may be formed to a thickness of 10 ~ 30㎛.

또한, 상기 박막층은 상기 헤드 본체의 상면과 측면 및 상기 헤드 바의 외주면에 형성될 수 있다.In addition, the thin film layer may be formed on an upper surface and a side surface of the head body and an outer peripheral surface of the head bar.

본 발명의 유리 기판 지지용 지지핀은 유리 기판과 접촉되는 부분이 그래파이트의 표면에 파이로카본에 의한 박막층이 형성되므로 유리 기판의 하면에 스크래치가 발생되는 것을 감소시킬 수 있다.In the support pin for supporting a glass substrate of the present invention, since a thin film layer made of pyrrocarbon is formed on the surface of graphite at a portion in contact with the glass substrate, it is possible to reduce scratches on the lower surface of the glass substrate.

또한, 본 발명의 유리 기판 지지용 지지핀은 헤드부가 지지부에 타이트하게 조립되므로 사용중에 분리되는 현상을 감소시킬 수 있다.In addition, since the support pin for supporting a glass substrate of the present invention is tightly assembled to the support portion of the head, it is possible to reduce the phenomenon of being separated during use.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 지지용 지지핀의 부분 수직 단면도이다.
도 2는 도 1의 헤드부에 대한 부분 수직 단면도이다.
도 3은 도 1의 헤드부에서 그래파이트와 박막층의 단면에 대한 SEM 사진이다.
도 4는 도 1의 고정부에 대한 확대 수직 단면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 고정부의 확대 수직 단면도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 고정부의 확대 수직 단면도이다.1 is a partial vertical cross-sectional view of a support pin for supporting a glass substrate according to an embodiment of the present invention.
2 is a partial vertical cross-sectional view of the head of FIG. 1.
3 is an SEM photograph of a cross section of graphite and thin film layers in the head portion of FIG. 1.
4 is an enlarged vertical cross-sectional view of the fixing part of FIG. 1.
5 is an enlarged vertical cross-sectional view of a fixing part according to another embodiment of the present invention.
6 is an enlarged vertical cross-sectional view of a fixing part according to another embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 유리 기판 지지용 지지핀에 대하여 설명한다.Hereinafter, a support pin for supporting a glass substrate according to embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

먼저, 본 발명의 실시예들에 따른 유리 기판 지지용 지지핀에 대하여 설명한다.First, a support pin for supporting a glass substrate according to embodiments of the present invention will be described.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 지지용 지지핀의 부분 수직 단면도이다. 도 2는 도 1의 헤드부에 대한 부분 수직 단면도이다. 도 3은 도 1의 헤드부에서 그래파이트와 박막층의 단면에 대한 SEM 사진이다. 도 4는 도 1의 고정부에 대한 확대 수직 단면도이다. 도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 고정부의 확대 수직 단면도이다. 도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 고정부의 확대 수직 단면도이다.1 is a partial vertical cross-sectional view of a support pin for supporting a glass substrate according to an embodiment of the present invention. 2 is a partial vertical cross-sectional view of the head of FIG. 1. 3 is an SEM photograph of a cross section of graphite and thin film layers in the head portion of FIG. 1. 4 is an enlarged vertical cross-sectional view of the fixing part of FIG. 1. 5 is an enlarged vertical cross-sectional view of a fixing part according to another embodiment of the present invention. 6 is an enlarged vertical cross-sectional view of a fixing part according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 지지용 지지핀(100)은, 도 1 내지 도 4를 참조하면, 지지부(110)와 헤드부(120) 및 고정부(130)를 포함한다. 상기 유리 기판 지지용 지지핀(100)은 지지부(110)의 상부에 헤드부(120)가 고정부(130)에 의하여 고정된다. 상기 유리 기판 지지용 지지핀(100)은 헤드부(120)에서 적어도 유리 기판과 접촉되는 영역이 파이로카본(pyrocarbon)에 의한 박막층을 구비하므로 유리 기판의 하면에 스크래치가 발생되는 것을 감소시킬 수 있다. 또한, 상기 유리 기판 지지용 지지핀(100)은 고정부(130)에 의하여 헤드부(120)가 지지부(110)에 타이트하게 조립되므로 사용중에 분리되는 현상이 감소된다.The support pin 100 for supporting a glass substrate according to an embodiment of the present invention includes a support part 110, a head part 120, and a fixing part 130 with reference to FIGS. 1 to 4. In the support pin 100 for supporting the glass substrate, the head portion 120 is fixed to the upper portion of the support portion 110 by a fixing portion 130. Since the support pin 100 for supporting the glass substrate has a thin film layer made of pyrocarbon in at least a region in contact with the glass substrate in the head part 120, it is possible to reduce the occurrence of scratches on the lower surface of the glass substrate. have. In addition, since the support pin 100 for supporting the glass substrate is tightly assembled to the support part 110 by the fixing part 130, the phenomenon of being separated during use is reduced.

상기 지지부(110)는 지지 수직 홈(111) 및 지지 수평 홀(112)을 포함한다. 상기 지지부(110)는 소정 길이의 막대 형상으로 형성된다. 상기 지지부(110)는 수평 단면이 원형 또는 사각형, 오각형, 육각형과 같은 다각형인 형상으로 형성될 수 있다. 상기 지지부(110)는 상면이 평면인 형상으로 형성될 수 있다. 상기 지지부(110)는 지지핀이 장착되는 지지판의 구조에 따라 적정한 길이로 형성될 수 있다. 상기 지지부(110)는 알루미나 또는 실리콘카바이드와 같은 세라믹 재질로 형성될 수 있다. 상기 지지부(110)는 소정의 지지 직경으로 형성될 수 있다.The support part 110 includes a support vertical groove 111 and a support horizontal hole 112. The support part 110 is formed in a rod shape having a predetermined length. The support 110 may be formed in a horizontal cross-section in a circular or polygonal shape such as a square, pentagon, or hexagon. The support part 110 may be formed in a shape having a flat top surface. The support part 110 may have an appropriate length according to the structure of the support plate on which the support pin is mounted. The support part 110 may be formed of a ceramic material such as alumina or silicon carbide. The support part 110 may be formed with a predetermined support diameter.

상기 지지 수직 홈(111)은 지지부(110)의 상면에서 하부 방향으로 연장되는 홈 형상으로 형성된다. 상기 지지 수직 홈(111)은 수평 단면이 원형 또는 사각형, 오각형, 육각형과 같은 다각형인 형상으로 형성될 수 있다. 상기 지지 수직 홈(111)은 지지부(110)의 상면에서 내측에 위치할 수 있다. 상기 지지 수직 홈(111)은 소정의 깊이로 형성될 수 있다. 상기 지지 수직 홈(111)은 소정의 직경 또는 폭으로 형성될 수 있다. 상기 상부 직경 또는 상부 폭은 지지부(110)의 상면의 직경 또는 폭보다 작게 형성된다.The support vertical groove 111 is formed in a groove shape extending downward from the upper surface of the support part 110. The vertical support groove 111 may be formed in a horizontal cross-section in a circular or polygonal shape such as a square, pentagon, or hexagon. The support vertical groove 111 may be located inside the upper surface of the support part 110. The support vertical groove 111 may be formed to a predetermined depth. The support vertical groove 111 may be formed with a predetermined diameter or width. The upper diameter or upper width is formed smaller than the diameter or width of the upper surface of the support part 110.

상기 지지 수평 홀(112)은 지지 수직 홈(111)이 형성된 영역에서 지지부(110)를 관통하여 형성된다. 상기 지지 수평 홀(112)은 지지부(110)의 일측의 외주면에서 지지 수직 홈(111)을 관통하여 타측의 외주면으로 개방되어 형성된다. 상기 지지 수평 홀(112)은 지지 수직 홈(111)의 내주면에서 서로 반대 방향으로 연장되어 지지부(110)의 외주면으로 관통하여 형성된다.The support horizontal hole 112 is formed through the support part 110 in the region where the support vertical groove 111 is formed. The horizontal support hole 112 is formed by passing through the vertical support groove 111 on the outer peripheral surface of one side of the support 110 and opening to the outer peripheral surface of the other side. The support horizontal hole 112 extends in opposite directions from the inner circumferential surface of the support vertical groove 111 to penetrate into the outer circumferential surface of the support part 110.

상기 헤드부(120)는 헤드 본체(121) 및 헤드 바(125)를 포함한다. 상기 헤드부(120)는 헤드 바(125)가 지지부(110)의 지지 수평 홀(112)에 삽입되고 헤드 본체(121)의 하면이 지지부(110)의 상면에 안착되어 고정된다. 상기 헤드부(120)는 헤드 본체(121)와 헤드 바(125)가 일체로 형성될 수 있다. 상기 헤드부(120)는 전체적으로 볼트 형상으로 형성될 수 있다.The head part 120 includes a head body 121 and a head bar 125. In the head part 120, the head bar 125 is inserted into the horizontal support hole 112 of the support part 110, and the lower surface of the head body 121 is seated and fixed on the upper surface of the support part 110. The head part 120 may include a head body 121 and a head bar 125 integrally formed therewith. The head part 120 may be formed as a whole in a bolt shape.

상기 헤드부(120)는 그래파이트(graphite) 재질로 형성될 수 있다. 또한, 상기 헤드부(120)는, 도 2와 도 3에서 보는 바와 같이, 그래파이트(120a)의 표면에 파이로카본(pyrocarbon)으로 이루어지는 박막층(120b)이 형성될 수 있다. 상기 박막층(120b)은 파이로카본이 증착되어 형성될 수 있다. 상기 박막층(120b)은 적어도 유리 기판이 접촉되는 영역에 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 박막층(120b)은 헤드 본체(121)의 상면을 포함하는 영역에 형성될 수 있다. 또한, 상기 박막층(120b)은 헤드 본체(121)의 상면과 측면을 포함하는 영역에 형성될 수 있다. 또한, 상기 박막층(120b)은 헤드 바(125)의 외주면을 포함하는 영역에 형성될 수 있다.The head part 120 may be formed of a graphite material. In addition, as shown in FIGS. 2 and 3, in the head part 120, a thin film layer 120b made of pyrocarbon may be formed on the surface of the graphite 120a. The thin film layer 120b may be formed by depositing pyrocarbon. The thin film layer 120b may be formed at least in a region where the glass substrate is in contact. For example, the thin film layer 120b may be formed in a region including the upper surface of the head body 121. In addition, the thin film layer 120b may be formed in a region including an upper surface and a side surface of the head body 121. In addition, the thin film layer 120b may be formed in a region including the outer peripheral surface of the head bar 125.

상기 박막층(120b)은 파이로카본이 증착되어 형성되므로 그래파이트(120a)보다 낮은 표면 경도를 가지며 유리 기판에 스크래치가 발생되는 것을 최소화시킬 수 있다. 또한, 상기 박막층(120b)은 그래파이트(120a)의 표면을 감싸도록 형성되므로 그래파이트(120a)에 의한 이물 입자가 유발되는 것을 방지할 수 있다.Since the thin film layer 120b is formed by depositing pyrrocarbon, it has a lower surface hardness than the graphite 120a and can minimize scratches on the glass substrate. In addition, since the thin film layer 120b is formed to surround the surface of the graphite 120a, it is possible to prevent foreign particles from being caused by the graphite 120a.

상기 박막층(120b)은 10 ~ 30㎛의 두께로 형성될 수 있다. 상기 박막층(120b)의 두께가 너무 얇으면 박막층(120b)이 균일하게 형성되지 않아 그래파이트(120a)가 부분적으로 노출될 수 있다. 이러한 경우에 상기 헤드부(120)는 노출되는 그래파이트(120a)에 의하여 이물 입자를 발생시킬 수 있다. 상기 박막층(120b)의 두께가 너무 두꺼우면 불필요하게 공정 비용이 증가될 수 있다. The thin film layer 120b may be formed to a thickness of 10 to 30 μm. If the thickness of the thin film layer 120b is too thin, the thin film layer 120b is not formed uniformly, and the graphite 120a may be partially exposed. In this case, the head part 120 may generate foreign particles by the exposed graphite 120a. If the thickness of the thin film layer 120b is too thick, processing cost may be unnecessarily increased.

상기 헤드 본체(121)는 소정의 높이와 직경을 갖는 블록 형상으로 형성될 수 있다. 상기 헤드 본체(121)는 원형 블록으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 헤드 본체(121)는 사각형, 오각형 또는 육각형과 같은 다각형 블록으로 형성될 수 있다. 상기 상기 헤드 본체(121)는 지지부(110)의 직경보다 큰 직경 또는 폭으로 형성될 수 있다.The head body 121 may be formed in a block shape having a predetermined height and diameter. The head body 121 may be formed as a circular block. In addition, the head body 121 may be formed in a polygonal block such as a square, a pentagon, or a hexagon. The head body 121 may be formed to have a larger diameter or width than the diameter of the support part 110.

상기 헤드 바(125)는 헤드 홀(126)을 포함한다. 상기 헤드 바(125)는 원기둥 또는 사각기둥, 오각 기둥, 육각 기둥과 같은 다각 기둥으로 형성될 수 있다. 상기 헤드 바(125)는 지지 수직 홈(111)의 상부 직경에 대응되는 직경으로 형성된다. 또한, 상기 헤드 바(125)는 지지 수직 홈(111)의 깊이보다 작은 높이로 형성된다. The head bar 125 includes a head hole 126. The head bar 125 may be formed as a cylindrical or rectangular pillar, a pentagonal pillar, or a polygonal pillar such as a hexagonal pillar. The head bar 125 is formed with a diameter corresponding to the upper diameter of the support vertical groove 111. In addition, the head bar 125 is formed to have a height smaller than the depth of the vertical support groove 111.

상기 헤드 홀(126)은 헤드 바(125)의 중앙을 관통하는 홀 형상으로 형성된다. 상기 헤드 홀(126)은 지지 수평 홀(112)의 내경보다 작은 내경으로 형성된다. 상기 헤드 홀(126)은 헤드 바(125)의 일측 외주면에서 중앙을 관통하여 타측 외주면으로 관통되어 형성된다. 상기 헤드 홀(126)은 헤드 바(125)가 지지 수직 홈(111)에 결합되었을 때 지지 수평 홀(112)에 대응되는 위치에 형성된다. 따라서, 상기 헤드 홀(126)은 헤드 바(125)가 지지 수직 홈(111)에 결합되었을 때 지지 수평 홀(112)과 관통되어 형성된다. 상기 헤드 홀(126)은 지지 수평 홀(112)보다 작은 내경으로 형성되므로 헤드 바(125)가 지지 수직 홈(111)에 결합되면 헤드 바(125)의 외주면이 지지 수평 홀(112)에 노출된다. 또한, 상기 헤드 홀(126)과 지지 수평 홀(112)의 사이에는 단턱이 형성된다. The head hole 126 is formed in a hole shape penetrating the center of the head bar 125. The head hole 126 is formed with an inner diameter smaller than the inner diameter of the horizontal support hole 112. The head hole 126 is formed by penetrating through the center from one outer peripheral surface of the head bar 125 to the other outer peripheral surface. The head hole 126 is formed at a position corresponding to the horizontal support hole 112 when the head bar 125 is coupled to the vertical support groove 111. Accordingly, the head hole 126 is formed to penetrate the horizontal support hole 112 when the head bar 125 is coupled to the vertical support groove 111. Since the head hole 126 is formed with an inner diameter smaller than the support horizontal hole 112, when the head bar 125 is coupled to the support vertical groove 111, the outer circumferential surface of the head bar 125 is exposed to the support horizontal hole 112. do. In addition, a stepped step is formed between the head hole 126 and the horizontal support hole 112.

상기 고정부(130)는 고정 관(131) 및 고정 바(135)을 포함한다. 상기 고정부(130)는 지지 수평 홀(112)과 헤드 홀(126)을 관통하여 지지부(110)와 헤드 바(125)에 결합되며, 헤드부(120)를 지지부(110)에 고정한다. 상기 고정부(130)는 모두 알루미늄 재질로 형성될 수 있다. The fixing part 130 includes a fixing tube 131 and a fixing bar 135. The fixing part 130 is coupled to the support part 110 and the head bar 125 through the support horizontal hole 112 and the head hole 126, and fixes the head part 120 to the support part 110. All of the fixing parts 130 may be formed of an aluminum material.

상기 고정 관(131)은 관 본체(132) 및 관 플랜지(134)를 포함할 수 있다. 상기 고정 관(131)은 지지 수평 홀(112)과 헤드 홀(126)을 관통하여 지지부(110)와 헤드 바(125)에 결합된다. 상기 고정 관(131)은 지지부(110)의 지지 수평 홀(112)의 일측을 통하여 삽입되어 헤드 홀(126)을 관통하여 지지 수평 홀(112)의 타측으로 유입된다. The fixed pipe 131 may include a pipe body 132 and a pipe flange 134. The fixing tube 131 passes through the support horizontal hole 112 and the head hole 126 and is coupled to the support portion 110 and the head bar 125. The fixing pipe 131 is inserted through one side of the support horizontal hole 112 of the support part 110, passes through the head hole 126 and flows into the other side of the support horizontal hole 112.

상기 관 본체(132)는 내부가 중공이고, 일측과 타측으로 개방되며, 소정의 내경과 외경을 갖는 관 형상으로 형성된다. 즉, 상기 관 본체(132)는 일측에서 타측으로 개방되는 본체 홀(133)이 형성된다. 상기 관 본체(132)의 외경은 헤드 홀(126)의 내경에 대응되는 직경으로 형성될 수 있다. 상기 관 본체(132)는 헤드 바(125)의 직경보다 긴 길이로 형성될 수 있다. 상기 관 본체(132)는 지지 수평 홀(112)의 일측을 통하여 헤드 홀(126)의 내부로 삽입되어 헤드 바(125)에 결합된다. 상기 관 본체(132)는 헤드 홀(126)에 삽입될 때 외주면이 헤드 홀(126)의 내주면에 접촉될 수 있다. 상기 관 본체(132)는 헤드 홀(126)에 삽입된 후에 유격이 최소화되어 움직이지 않는다. 상기 관 본체(132)는 헤드 홀(126)에 삽입될 때 양측단이 헤드 바(125)의 외주면으로 노출된다.The tube body 132 is hollow inside, is opened to one side and the other side, and is formed in a tube shape having a predetermined inner diameter and outer diameter. That is, the tube body 132 has a body hole 133 that is opened from one side to the other side. The outer diameter of the tube body 132 may be formed to have a diameter corresponding to the inner diameter of the head hole 126. The tube body 132 may be formed to have a length longer than the diameter of the head bar 125. The tube body 132 is inserted into the head hole 126 through one side of the support horizontal hole 112 and is coupled to the head bar 125. When the tube body 132 is inserted into the head hole 126, the outer circumferential surface may contact the inner circumferential surface of the head hole 126. After the tube body 132 is inserted into the head hole 126, the clearance is minimized and does not move. When the tube body 132 is inserted into the head hole 126, both side ends are exposed to the outer circumferential surface of the head bar 125.

한편, 상기 관 본체(132)는, 도 5를 참조하면, 일측단부에 내주면으로 개방되는 단턱(132a)을 더 구비할 수 있다. 상기 단턱(132a)은 일측단부에서 소정 깊이로 형성될 수 있다. 상기 단턱(132a)은 고정 바(135)가 코킹될 때 고정 바(135)의 변형되는 부분이 유입되는 공간을 제공한다. 따라서, 상기 관 본체(132)는 고정 바(135)가 분리되지 않도록 고정 바(135)를 고정할 수 있다.On the other hand, the tube body 132, referring to FIG. 5, may further include a stepped step (132a) that is open to the inner peripheral surface at one end. The stepped jaw 132a may be formed to a predetermined depth at one end. The stepped jaw 132a provides a space through which the deformed portion of the fixing bar 135 is introduced when the fixing bar 135 is caulked. Accordingly, the tube body 132 may fix the fixing bar 135 so that the fixing bar 135 is not separated.

또한, 상기 관 본체(132)는, 도 6을 참조하면, 일측단부에서 내주면으로 경사지는 챔퍼(132a)를 더 구비할 수 있다. 상기 챔퍼(132a)는 일측단부에서 소정 깊이로 형성될 수 있다. 상기 챔퍼(132a)는 고정 바(135)가 코킹될 때 고정 바(135)의 변형되는 부분이 유입되는 공간을 제공한다. 따라서, 상기 관 본체(132)는 고정 바(135)가 분리되지 않도록 고정 바(135)를 고정할 수 있다.In addition, the tube body 132 may further include a chamfer 132a inclined from one end to the inner circumferential surface, referring to FIG. 6. The chamfer 132a may be formed to a predetermined depth at one end. The chamfer 132a provides a space through which the deformed portion of the fixing bar 135 is introduced when the fixing bar 135 is caulked. Accordingly, the tube body 132 may fix the fixing bar 135 so that the fixing bar 135 is not separated.

상기 본체 홀(133)은 중심 축에 평행이며 일측과 타측으로 개방되어 형성된다. 상기 본체 홀(133)은 중심 축에 수직인 평면이 원형 또는 사각형, 오각형, 육각형과 같은 다각형인 형상으로 형성될 수 있다. 상기 본체 홀(133)은 고정 바(135)가 삽입되어 결합되는 공간을 제공한다.The body hole 133 is parallel to the central axis and is formed to be open to one side and the other side. The main body hole 133 may be formed in a shape in which a plane perpendicular to a central axis has a circular shape or a polygonal shape such as a square, a pentagon, or a hexagon. The body hole 133 provides a space in which the fixing bar 135 is inserted and coupled.

상기 관 플랜지(134)는 링 형상이며, 관 본체(132)의 일측단에서 외주면에 수직한 방향으로 연장되어 형성된다. 상기 관 플랜지(134)는 지지 수평 홀(112)의 내경보다 작은 외경으로 형성된다. 상기 관 플랜지(134)는 관 본체(132)가 지지 수평 홀(112)과 헤드 홀(126)에 삽입될 때 헤드 홀(126)의 일측에 위치한다. 상기 관 플랜지(134)는 헤드 바(125)의 외주면에 접촉되거나 외주면으로부터 이격될 수 있다. 따라서, 상기 관 플랜지(134)는 관 본체(132)가 헤드 홀(126)에 삽입되면서 일측이 헤드 바(125)의 외주면에 고정되도록 한다.The pipe flange 134 has a ring shape and is formed to extend in a direction perpendicular to the outer circumferential surface at one end of the pipe body 132. The pipe flange 134 is formed with an outer diameter smaller than the inner diameter of the horizontal support hole 112. The pipe flange 134 is located on one side of the head hole 126 when the pipe body 132 is inserted into the horizontal support hole 112 and the head hole 126. The pipe flange 134 may contact the outer circumferential surface of the head bar 125 or may be spaced apart from the outer circumferential surface. Accordingly, the pipe flange 134 allows one side of the pipe body 132 to be inserted into the head hole 126 to be fixed to the outer peripheral surface of the head bar 125.

상기 관 플랜지(134)는 지지 수평 홀(112)의 내경보다 작은 외경으로 형성되므로, 지지 수평 홀(112)의 내부로 용이하게 삽입될 수 있다. 상기 관 플랜지(134)의 외경이 지지 수평 홀(112)의 내경에 대응되는 내경으로 형성되는 경우에 지지 수평 홀(112)에 삽입이 용이하지 않을 수 있다. 예를 들면, 상기 고정 관(131)이 지지부(110)와 헤드 바(125)에 삽입될 때 관 본체(132)는 헤드 고정부(130)의 헤드 홀(126)에 일치되어야 하고, 관 플랜지(134)는 지지부(110)의 지지 수평 홀(112)에 일치되어야 한다. 즉, 상기 관 본체(132)와 관 플랜지(134)가 각각 헤드 홀(126)과 지지 수평 홀(112)에 동시에 일치되어야 하므로, 결합에 어려움이 있을 수 있다. Since the pipe flange 134 is formed with an outer diameter smaller than the inner diameter of the support horizontal hole 112, it can be easily inserted into the inside of the support horizontal hole 112. When the outer diameter of the pipe flange 134 is formed with an inner diameter corresponding to the inner diameter of the horizontal support hole 112, it may not be easy to insert into the horizontal support hole 112. For example, when the fixing pipe 131 is inserted into the support part 110 and the head bar 125, the pipe body 132 must match the head hole 126 of the head fixing part 130, and the pipe flange (134) must match the horizontal support hole 112 of the support portion (110). That is, since the pipe body 132 and the pipe flange 134 must be simultaneously aligned with the head hole 126 and the support horizontal hole 112, respectively, there may be difficulties in coupling.

상기 고정 바(135)는 바 본체(136) 및 바 플랜지(138)를 포함할 수 있다. 상기 고정 바(135)는 지지부(110)의 지지 수평 홀(112)의 타측을 통하여 삽입되어 관 본체(132)의 타측에서 내부로 유입되어 고정 관(131)에 결합된다. 상기 고정 바(135)는 관 본체(132)의 일측으로 소정 길이로 노출될 수 있다.The fixed bar 135 may include a bar body 136 and a bar flange 138. The fixing bar 135 is inserted through the other side of the support horizontal hole 112 of the support part 110 and flows into the inside from the other side of the tube body 132 and is coupled to the fixing tube 131. The fixing bar 135 may be exposed to one side of the tube body 132 to a predetermined length.

상기 바 본체(136)는 코킹 홈(137)을 포함할 수 있다. 상기 바 본체(136)는 바 형상이며 본체 홀(133)에 대응되는 형상과 길이로 형성된다. 상기 바 본체(136)는 본체 홀(133)의 길이에 대응되는 길이 또는 더 긴 길이로 형성될 수 있다. 따라서, 상기 바 본체(136)는 관 본체(132)에 삽입되었을 때 일측이 관 본체(132)의 일측에서 돌출되는 길이로 형성될 수 있다. 상기 바 본체(136)는 중심 축에 수직인 평면이 원형 또는 사각형, 오각형, 육각형과 같은 다각형인 형상으로 형성될 수 있다. 상기 바 본체(136)는 본체 홀(133)의 내경에 대응되는 직경으로 형성될 수 있다. 상기 바 본체(136)는 지지 수평 홀(112)의 타측을 통하여 관 본체(132)의 본체 홀(133)에 삽입되어 결합된다. 이때, 상기 바 본체(136)는 지지부(110)의 지지 수평 홀(112)의 타측을 통하여 삽입된다. 상기 바 본체(136)는 본체 홀(133)에 삽입될 때 외주면이 본체 홀(133)의 내주면에 접촉될 수 있다. 또한, 상기 바 본체(136)는 본체 홀(133)에 삽입된 후에 유격이 최소화되어 움직이지 않는다.The bar body 136 may include a caulking groove 137. The bar body 136 has a bar shape and has a shape and length corresponding to the body hole 133. The bar body 136 may have a length corresponding to the length of the body hole 133 or a length longer. Accordingly, when the bar body 136 is inserted into the tube body 132, one side may be formed to have a length protruding from one side of the tube body 132. The bar body 136 may be formed in a shape in which a plane perpendicular to a central axis is circular or a polygonal shape such as a square, a pentagon, or a hexagon. The bar body 136 may have a diameter corresponding to the inner diameter of the body hole 133. The bar body 136 is inserted into and coupled to the body hole 133 of the tube body 132 through the other side of the support horizontal hole 112. At this time, the bar body 136 is inserted through the other side of the horizontal support hole 112 of the support part 110. When the bar main body 136 is inserted into the main body hole 133, the outer circumferential surface may contact the inner circumferential surface of the main body hole 133. In addition, the bar body 136 does not move because the clearance is minimized after being inserted into the body hole 133.

상기 코킹 홈(137)은 바 본체(136)의 일측단면에 소정 깊이의 홈 형상으로 형성된다. 상기 바 본체(136)는 코킹 홈(137)에 의하여 일측단부가 코킹되어 관 본체(132)에 결합된다. 상기 코킹 홈(137)은 바 본체(136)의 일측단부가 용이하게 코킹되어 관 본체(132)에 결합되도록 한다. 또한, 상기 바 본체(136)의 길이가 관 본체(132)의 길이보다 길게 형성되는 경우에 코킹 과정에서 바 본체(136)의 일측단부가 용이하게 변형되므로 관 본체(132)에 보다 확실하게 고정될 수 있다.The caulking groove 137 is formed in the shape of a groove having a predetermined depth on one end surface of the bar body 136. One end of the bar body 136 is caulked by a caulking groove 137 to be coupled to the tube body 132. The caulking groove 137 allows one end of the bar body 136 to be easily caulked and coupled to the tube body 132. In addition, when the length of the bar body 136 is formed longer than the length of the tube body 132, since one end of the bar body 136 is easily deformed during the caulking process, it is more reliably fixed to the tube body 132 Can be.

상기 바 플랜지(138)는 링 형상이며, 바 본체(136)의 타측단에서 외주면 방향으로 연장되어 형성된다. 상기 바 플랜지(138)는 지지 수평 홀(112)의 내경보다 작은 외경으로 형성된다. 또한, 상기 바 플랜지(138)는 헤드 홀(126)의 내경보다 큰 외경으로 형성된다. 상기 바 플랜지(138)는 바 본체(136)가 지지 수평 홀(112)과 본체 홀(133)에 삽입될 때 관 본체(132)의 타측단에 접촉된다. 따라서, 상기 바 플랜지(138)는 바 본체(136)가 본체 홀(133)에 삽입되는 깊이를 제한한다. 또한, 상기 바 플랜지(138)는 헤드 홀(126)의 내경보다 큰 외경으로 형성되므로 헤드 홀(126)로 삽입되지 않으며, 관 본체(132)가 헤드 홀(126)로부터 분리되는 것을 방지한다. The bar flange 138 has a ring shape, and is formed to extend from the other end of the bar body 136 in the outer circumferential direction. The bar flange 138 is formed with an outer diameter smaller than the inner diameter of the horizontal support hole 112. In addition, the bar flange 138 is formed with an outer diameter larger than the inner diameter of the head hole 126. The bar flange 138 contacts the other end of the tube body 132 when the bar body 136 is inserted into the support horizontal hole 112 and the body hole 133. Accordingly, the bar flange 138 limits the depth at which the bar body 136 is inserted into the body hole 133. In addition, since the bar flange 138 has an outer diameter larger than the inner diameter of the head hole 126, it is not inserted into the head hole 126, and the tube body 132 is prevented from being separated from the head hole 126.

다음은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 지지용 지지핀의 작용에 대하여 설명한다.The following describes the operation of the support pin for supporting a glass substrate according to an embodiment of the present invention.

상기 유리 기판 지지용 지지핀(100)은 복수 개가 지지판에 형성되는 복수 개의 관통 홀을 통하여 상하로 이동하며 지지판의 상면에 안착되는 유리 기판을 지지하여 상하로 이송한다. The support pins 100 for supporting the glass substrate move up and down through a plurality of through holes formed in the support plate, and support the glass substrate seated on the upper surface of the support plate and transfer it up and down.

상기 유리 기판 지지용 지지핀(100)은 아래와 같은 과정으로 조립될 수 있다. 먼저, 상기 헤드부(120)가 지지부(110)의 지지 수직 홈(111)으로 삽입된다. 이때, 상기 지지부(110)의 지지 수평 홀(112)과 헤드부(120)의 헤드 홀(126)이 서로 관통되도록 위치한다.The support pin 100 for supporting the glass substrate may be assembled in the following process. First, the head part 120 is inserted into the vertical support groove 111 of the support part 110. In this case, the support horizontal hole 112 of the support part 110 and the head hole 126 of the head part 120 are positioned to penetrate each other.

다음으로, 상기 고정관은 관 본체(132)가 지지 수평 홀(112)의 일측을 통하여 헤드 홀(126)을 관통하도록 삽입된다. 상기 관 플랜지(134)는 관 본체(132)가 삽입되는 깊이를 제한한다. 상기 관 플랜지(134)는 헤드 바(125)의 외주면에 접촉한다. Next, the fixing tube is inserted so that the tube body 132 passes through the head hole 126 through one side of the support horizontal hole 112. The pipe flange 134 limits the depth into which the pipe body 132 is inserted. The pipe flange 134 contacts the outer circumferential surface of the head bar 125.

다음으로, 상기 고정 바(135)는 바 본체(136)가 지지 수평 홀(112)의 타측을 통하여 관 본체(132)의 본체 홀(133)에 삽입된다. 상기 바 플랜지(138)는 바 본체(136)가 삽입되는 깊이를 제한한다. 상기 바 플랜지(138)는 관 본체(132)의 타측단에 접촉한다. 상기 고정 바(135)의 코킹 홈(137)을 이용하여 바 본체(136)를 관 본체(132)에 코킹하여 바 본체(136)가 관 본체(132)로부터 분리되지 않도록 한다. 또한, 상기 바 플랜지(138)는 헤드 홀(126)의 내경보다 큰 외경으로 형성되므로 관 본체(132)가 헤드 홀(126)에서 분리되지 않도록 한다. Next, the fixing bar 135 is inserted into the body hole 133 of the tube body 132 through the other side of the horizontal support hole 112 of the bar body 136. The bar flange 138 limits the depth into which the bar body 136 is inserted. The bar flange 138 contacts the other end of the tube body 132. The bar body 136 is caulked to the tube body 132 using the caulking groove 137 of the fixing bar 135 to prevent the bar body 136 from being separated from the tube body 132. In addition, the bar flange 138 is formed with an outer diameter larger than the inner diameter of the head hole 126 so that the tube body 132 is not separated from the head hole 126.

상기 헤드부(120)는 고정 관(131)과 고정 바(135)에 의하여 지지부(110)에 타이트하게 결합되므로 사용 중에 분리되지 않는다. 또한, 상기 고정 관(131)과 고정 바(135)는 코킹에 의하여 서로 결합되므로 서로 분리되지 않는다.Since the head part 120 is tightly coupled to the support part 110 by the fixing tube 131 and the fixing bar 135, it is not separated during use. In addition, since the fixing pipe 131 and the fixing bar 135 are coupled to each other by caulking, they are not separated from each other.

또한, 상기 유리 기판 지지용 지지핀(100)은 유리 기판과 접촉되는 영역이 파이로카본에 의한 박막층(120b)이 형성되므로 상부에 지지되는 유리 기판에 스크래치가 발생되는 것을 최소화시킬 수 있다.In addition, since the support pin 100 for supporting the glass substrate is formed with a thin film layer 120b made of pyrocarbon in an area in contact with the glass substrate, it is possible to minimize scratches on the glass substrate supported thereon.

지금까지 본 발명에 대하여 도면에 도시된 바람직한 실시예들을 중심으로 상세히 살펴보았다. 이러한 실시예들은 이 발명을 한정하려는 것이 아니라 예시적인 것에 불과하며, 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 전술한 설명이 아니라 첨부된 청구범위의 기술적 사상에 의해서 정해져야 할 것이다.So far, the present invention has been looked at in detail centering on the preferred embodiments shown in the drawings. These embodiments are not intended to limit the present invention, but are merely illustrative, and should be considered from an illustrative point of view rather than a restrictive point of view. The true technical protection scope of the present invention should be determined not by the above description but by the technical spirit of the appended claims.

100: 유리 기판 지지용 지지핀
110: 지지부 111: 지지 수직 홈
112: 지지 수평 홀 120: 헤드부
121: 헤드 본체 125: 헤드 바
126: 헤드 홀 130: 고정부
131: 고정 관 132: 관 본체
133: 본체 홀 134: 관 플랜지
135: 고정 바 136: 바 본체
137: 코킹 홈 138: 바 플랜지100: support pin for supporting a glass substrate
110: support 111: support vertical groove
112: horizontal support hole 120: head
121: head body 125: head bar
126: head hole 130: fixing part
131: fixed tube 132: tube body
133: main body hole 134: pipe flange
135: fixed bar 136: bar body
137: caulking groove 138: bar flange

Claims (7)

막대 형상으로 형성되는 지지부와,
상기 지지부의 상부에 결합되어 유리 기판의 하면을 지지하는 헤드부 및
상기 헤드부를 상기 지지부에 고정하는 고정부를 포함하며,
상기 헤드부는 그래파이트로 형성되며, 적어도 상기 유리 기판과 접촉되는 영역에 형성되는 박막층을 포함하는 것을 특징으로 유리 기판 지지용 지지핀.A support part formed in a rod shape,
A head portion coupled to the upper portion of the support portion to support the lower surface of the glass substrate, and
It includes a fixing portion for fixing the head portion to the support,
A support pin for supporting a glass substrate, wherein the head portion is formed of graphite and includes a thin film layer formed at least in a region in contact with the glass substrate. 제 1 항에 있어서,
상기 지지부는 상면에서 하부 방향으로 연장되는 홈 형상으로 형성되는 지지 수직 홈 및 상기 지지부의 일측의 외주면에서 상기 지지 수직 홈을 관통하여 타측의 외주면으로 개방되는 지지 수평 홀을 포함하며,
상기 헤드부는 블록 형상으로 형성되는 헤드 본체 및 상기 헤드 본체의 하부에 결합되는 기둥 형상으로 형성되어 상기 지지 수직 홈에 삽입되는 헤드 바를 포함하며,
상기 헤드 바는 상기 지지 수직 홈에 결합될 때 상기 지지 수평 홀과 관통하는 헤드 홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 지지용 지지핀.The method of claim 1,
The support part includes a support vertical groove formed in a groove shape extending from an upper surface to a lower direction, and a support horizontal hole that penetrates the support vertical groove from an outer circumferential surface of one side of the support part and opens to an outer circumferential surface of the other side,
The head portion includes a head body formed in a block shape and a head bar formed in a column shape coupled to a lower portion of the head body and inserted into the support vertical groove,
The support pin for supporting a glass substrate, wherein the head bar includes a head hole passing through the horizontal support hole when coupled to the support vertical groove. 제 2 항에 있어서,
상기 고정부는
내부에 중심 축에 평행이며 일측과 타측으로 개방되는 본체 홀을 구비하는 관 본체 및 링 형상이며 상기 관 본체의 일측단에서 외주면에 수직한 방향으로 연장되어 형성되는 관 플랜지를 포함하는 고정 관 및
바 형상이며 상기 본체 홀에 삽입되는 바 본체 및 링 형상이며 상기 바 본체의 타측단에서 외주면 방향으로 연장되어 형성되는 바 플랜지를 포함하는 고정 바를 포함하며,
상기 고정 관은 상기 관 본체가 상기 지지 수평 홀의 일측을 통하여 헤드 홀의 내부로 삽입되어 헤드 바에 결합되고, 상기 관 플랜지가 상기 헤드 홀의 일측에 위치하며,
상기 고정 바는 바 본체가 상기 지지 수평 홀의 타측을 통하여 상기 관 본체의 본체 홀에 삽입되어 상기 고정 관에 결합되고, 상기 바 플랜지가 상기 헤드 홀의 타측에 위치하며,
상기 고정 바는 상기 바 본체의 일측단면에 형성되는 코킹 홈에 의하여 코킹되면서 상기 고정 관에 결합되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 지지용 지지핀.The method of claim 2,
The fixing part
A fixed tube including a tube body and a ring shape having a body hole that is parallel to the central axis inside and opening to one side and the other side, and a tube flange extending from one end of the tube body in a direction perpendicular to the outer peripheral surface, and
It has a bar shape and includes a bar body inserted into the body hole and a ring shape, and a fixed bar including a bar flange formed to extend from the other end of the bar body in the outer circumferential direction,
In the fixed pipe, the pipe body is inserted into the head hole through one side of the support horizontal hole and coupled to the head bar, and the pipe flange is located at one side of the head hole,
In the fixed bar, the bar body is inserted into the body hole of the tube body through the other side of the support horizontal hole and is coupled to the fixing tube, and the bar flange is located on the other side of the head hole,
The support pin for supporting a glass substrate, wherein the fixing bar is coupled to the fixing tube while being caulked by a caulking groove formed on one end surface of the bar body. 제 3 항에 있어서,
상기 바 본체는 일측단이 상기 관 본체의 일측단에서 돌출되는 길이로 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 지지용 지지핀.The method of claim 3,
The support pin for supporting a glass substrate, wherein one end of the bar body has a length protruding from one end of the tube body. 제 3 항에 있어서,
상기 본체 홀은 일측단부에 내주면으로 개방되는 단턱 또는 내주면으로 경사지는 챔퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 지지용 지지핀.The method of claim 3,
The main body hole is a support pin for supporting a glass substrate, characterized in that it further comprises a stepped opening to the inner circumferential surface at one end or a chamfer inclined toward the inner circumferential surface. 제 1 항에 있어서,
상기 박막층은 10 ~ 30㎛의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 지지용 지지핀.The method of claim 1,
The support pin for supporting a glass substrate, characterized in that the thin film layer is formed to a thickness of 10 ~ 30㎛. 제 2 항에 있어서,
상기 박막층은 상기 헤드 본체의 상면과 측면 및 상기 헤드 바의 외주면에 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 지지용 지지핀.The method of claim 2,
The thin film layer is a support pin for supporting a glass substrate, characterized in that formed on the upper surface and the side surface of the head body and the outer peripheral surface of the head bar.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20100113069A (en) * 2007-11-30 2010-10-20 싸이카브 세라믹스 비.브이. A device for layered deposition of various materials on a semiconductor substrate, as well as a lift pin for use in such a device
KR20160003490U (en) * 2015-03-31 2016-10-10 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 Non-scratching and durable substrate support pin

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