KR20200122782A - Electrostatic Chuck, Apparatus and Method for Carrying Substrates - Google Patents

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Abstract

Provided are an electrostatic chuck, and a substrate transfer device and a transfer method using the same. The present invention can be used in a manufacturing process requiring automation of a substrate and a clean environment. The electrostatic chuck comprises: a dielectric plate provided with a clamping electrode therein; a terminal electrically connected to the clamping electrode; and a capacitor provided between the terminal and the clamping electrode to temporarily maintain stable clamping force due to a residual charge even after connection between the terminal and a power supply is disconnected.

Description

정전척, 기판 이송장치 및 이송방법{Electrostatic Chuck, Apparatus and Method for Carrying Substrates}Electrostatic Chuck, Apparatus and Method for Carrying Substrates}

본 발명은 정전척, 정전척을 이용한 기판 이송장치 및 이송방법에 관한 것이다.The present invention relates to an electrostatic chuck, a substrate transfer apparatus and a transfer method using the electrostatic chuck.

정전척은 유리, 웨이퍼 등의 피처리 대상 기판을 정전기력을 이용하여 클램핑한다. 정전척은 기판 오염의 가능성이 적고 기판에 물리적인 힘을 가하지 않으면서도 위치 및 온도 제어를 정확히 할 수 있어, 반도체, LED, 디스플레이 제조공정 등에서 광범위하게 사용된다.The electrostatic chuck clamps a target substrate, such as glass or wafer, using electrostatic force. The electrostatic chuck is widely used in semiconductor, LED, and display manufacturing processes, since it has less possibility of substrate contamination and can accurately control its location and temperature without applying a physical force to the substrate.

상기 정전척은 전극 구조에 따라 모노폴라 타입과 바이폴라 타입으로 구분될 수 있으며, 재료나 제조방법에 따라 세라믹 정전척, 폴리이미드 정전척, 용사코팅 정전척 등으로 구분될 수 있다. 또한 정전척은 클램핑력의 유도 특성에 따라 쿨롱 타입과 존슨-라벡 타입으로 구분될 수 있다.The electrostatic chuck may be classified into a monopolar type and a bipolar type according to an electrode structure, and may be classified into a ceramic electrostatic chuck, a polyimide electrostatic chuck, and a thermal spray coating electrostatic chuck, depending on a material or manufacturing method. In addition, the electrostatic chuck can be classified into a Coulomb type and a Johnson-Rabeck type according to the induction characteristic of the clamping force.

도 1에는 바이폴라 타입의 정전척 예가 도시되어 있다.1 shows an example of a bipolar type electrostatic chuck.

도 1을 참조하면 상기 바이폴라 정전척(20)은 유전체 플레이트(21) 내에 이격되어 전기적으로 서로 분리된 2개의 전극(22a,22b: 22)을 갖는다. 2개의 전극(22)에 전원이 연결되면 정전척(20) 위에 놓인 기판(1)에는 전극(22)과는 반대 극성의 전하가 대전되어 기판(1)이 정전기적으로 클램핑된다. 전원으로는 고전압의 직류 전원이 사용될 수 있다. 어떤 경우 교류 전원이 사용되기도 한다.Referring to FIG. 1, the bipolar electrostatic chuck 20 has two electrodes 22a, 22b: 22 that are separated from each other and electrically separated from each other in a dielectric plate 21. When power is connected to the two electrodes 22, the substrate 1 placed on the electrostatic chuck 20 is charged with charges having a polarity opposite to that of the electrode 22, so that the substrate 1 is electrostatically clamped. A high voltage DC power source may be used as the power source. In some cases, AC power is also used.

상기 정전척(20)은 전극(22)을 갖는 유전체 플레이트(21)와 바디(23)를 구비한다. 유전체 플레이트(21)는 척킹 플레이트로 불리거나 그 자체가 정전척이라고도 볼 수 있다. 바디(23)는 유전체 플레이트(21)를 타 부품에 조립 또는 안착시킬 수 있도록 구성되며, 전극(22)에 전원을 연결하기 위한 급전선, 냉각 채널, 기판의 냉각을 위한 냉매 공급채널 등이 마련될 수 있다.The electrostatic chuck 20 includes a dielectric plate 21 having an electrode 22 and a body 23. The dielectric plate 21 may be referred to as a chucking plate or itself may be viewed as an electrostatic chuck. The body 23 is configured to assemble or seat the dielectric plate 21 on other components, and a feed line for connecting power to the electrode 22, a cooling channel, a refrigerant supply channel for cooling the substrate, etc. I can.

바이폴라 정전척들은 자체적으로 완성된 회로를 구성할 수 있기 때문에 플라즈마의 유무에 상관없이 기판을 클램핑할 수 있다. 통상 정전척의 클램핑력은 전극의 면적에 비례하므로 바이폴라 정전척의 전극은 패턴의 형태로 형성된다. 하나의 전극을 갖는 모노폴라 정전척은 정전기력의 유도를 위해 기판에 전기적인 접촉을 시키거나 플라즈마가 그러한 접촉을 제공하도록 한다.Since bipolar electrostatic chucks can form a complete circuit on their own, they can clamp the substrate with or without plasma. In general, since the clamping force of the electrostatic chuck is proportional to the area of the electrode, the electrode of the bipolar electrostatic chuck is formed in the form of a pattern. A monopolar electrostatic chuck with one electrode makes electrical contact with the substrate for induction of electrostatic force, or allows plasma to provide such contact.

도 2에는 리니어 모션 시스템의 일례가 도시되어 있다. 이 시스템은 코일이 고정되고 마그넷이 이동하는 마그넷 무빙 타입이다.2 shows an example of a linear motion system. This system is a magnet moving type in which the coil is fixed and the magnet moves.

도 2에서 보듯이, 상기 시스템은 전자기 코일(3)이 배열된 레일(R) 상에 마그넷(2)을 갖는 캐리어(20)가 주행하도록 구성된다. 코일(3)에는 전원(미도시)이 연결되며, 코일(3)과 마그넷(2) 간의 상호작용에 의해 캐리어(20)는 전원케이블 없이도 자유롭게 레일(R) 상을 이동할 수 있다. 코일(3)을 따라 센서(4)가 배열되며, 캐리어(20)의 위치나 속도는 매우 정밀하게 제어될 수 있다.As shown in Fig. 2, the system is configured to run a carrier 20 having a magnet 2 on a rail R on which an electromagnetic coil 3 is arranged. A power source (not shown) is connected to the coil 3, and the carrier 20 can freely move on the rail R without a power cable due to the interaction between the coil 3 and the magnet 2. The sensor 4 is arranged along the coil 3, and the position or speed of the carrier 20 can be controlled very precisely.

상기 리니어 모션 시스템은 캐리어(20)가 전원케이블 없이 자유롭게 이동할 수 있고 레일(R) 위의 공정환경에 전원케이블이 노출되지 않을 수 있기 때문에, 클린한 공정 환경의 유지가 가능하며 기판의 이송이 필요한 다양한 공정에 활용될 수 있다.In the linear motion system, since the carrier 20 can move freely without a power cable and the power cable may not be exposed to the process environment on the rail R, it is possible to maintain a clean process environment and transfer the substrate. It can be used in various processes.

최근 플렉서블 디스플레이 장치로서 유기발광(OLED) 디스플레이 장치가 많은 주목을 받고 있다. 유기발광 디스플레이 장치를 포함하여 디스플레이 장치, 특히 모바일용 디스플레이 장치는 통상 서로 구획된 다수의 셀을 갖는 대면적 기판을 제작한 후 기판에서 개별 셀들(즉 패널들)로 절단하는 공정을 거쳐 제조된다. 기판의 절단에는 레이저빔이 사용된다.Recently, as a flexible display device, an organic light emitting (OLED) display device is receiving a lot of attention. Display devices including organic light-emitting display devices, particularly mobile display devices, are generally manufactured through a process of manufacturing a large-area substrate having a plurality of cells partitioned from each other, and then cutting the substrate into individual cells (ie, panels). A laser beam is used for cutting the substrate.

디스플레이나 반도체 공정 등에서 자동화 및 생산성 향상을 위해 기판의 프로세싱은 인라인으로 이루어진다. 이를 위해서는 기판의 연속적인 이송이 필요한데, 하나의 예로서 기판은 벨트 컨베이어를 이용하여 이송될 수 있다. 한국특허 제0788199호에 공지된 기판 절단장치가 그 예이다. 그러나 벨트 컨베이어 방식은 기판 오염이 심각하기 때문에 바람직하지 않다.For automation and productivity improvement in display and semiconductor processes, substrate processing is performed in-line. To this end, it is necessary to continuously transfer the substrate. As an example, the substrate may be transferred using a belt conveyor. The substrate cutting apparatus known in Korean Patent No. 0788199 is an example. However, the belt conveyor method is not preferable because the substrate contamination is serious.

본 발명은 위와 같은 종래기술에 대한 인식에 기초한 것으로, 기판을 오염시킬 가능성이 적고 클린 환경이 요구되는 제조공정에 적합한 기판 이송장치 및 방법을 제공함을 목적으로 한다.The present invention is based on the recognition of the prior art as described above, and an object of the present invention is to provide a substrate transfer apparatus and method suitable for a manufacturing process that is less likely to contaminate a substrate and requires a clean environment.

본 발명은 또한 자동화된 기판 이송이 가능하도록 하기 위한 정전척, 기판 이송장치 및 이송방법을 제공하고자 한다.The present invention also aims to provide an electrostatic chuck, a substrate transfer device, and a transfer method for enabling automated substrate transfer.

본 발명에서 해결하고자 하는 과제는 반드시 위에 언급된 사항에 국한되지 않으며, 미처 언급되지 않은 또 다른 과제들은 이하 기재되는 사항에 의해서도 이해될 수 있을 수 있을 것이다.The problem to be solved in the present invention is not necessarily limited to the above-mentioned matters, and other problems that are not already mentioned may be understood by the matters described below.

위 목적을 달성하기 위해 본 발명에서는 기판의 이송에 정전척을 이용하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention is characterized in that the electrostatic chuck is used to transfer the substrate.

상기 정전척을 이용하여 기판을 이송하는 경우에 있어 문제는 자유로운 기판 이송 및 클린 공정을 위해서 정전척은 기판 이송 중 전원케이블 없이 자유롭게 이동할 수 있어야 하는 반면, 기판 클램핑을 위해서는 이송 중에 클램핑 전극으로 전원이 공급되어야 한다는 것이다.In the case of transferring a substrate using the electrostatic chuck, the problem is that for free substrate transfer and clean process, the electrostatic chuck must be able to move freely without a power cable during substrate transfer, whereas for substrate clamping, power to the clamping electrode is turned off during transfer. It must be supplied.

위 문제의 해결을 위해 정전척에 배터리를 배치하는 방안이 고려될 수 있다. 그러나 배터리는 충전을 위해 주기적으로 공정라인에서 빼내야 할 뿐만 아니라, 제품마다 충방전 성능이나 수명이 다를 수 있어 충전 필요 시점, 수명 등에 대해 각각의 배터리마다 상시 모니터링할 필요가 있다. 기술적으로는 가능할 수 있으나, 경제성이나 생산 효율성 면에서 한계가 있는 방안이다.To solve the above problem, a method of arranging the battery in the electrostatic chuck may be considered. However, batteries must be periodically removed from the process line for charging, and charging/discharging performance or lifespan may vary for each product, so it is necessary to constantly monitor each battery for the time when charging is required and the lifespan. It may be technically possible, but it is a method that has limitations in terms of economic feasibility and production efficiency.

본 발명은 위의 모순 해결방안으로, 공정라인을 따라 이동 또는 프로세싱을 위해 이동하는 정전척을 전기적으로 플로팅 또는 절연시켜 정전척에 잔류하는 전하에 의해 기판을 클램핑하도록 하는 방안을 제안한다. 이동 시간이 긴 경우 이동 중간에 전원을 연결되어 정전척에 전하를 공급할 수 있으며, 기판 처리가 이루어지는 스테이지에서는 안정적인 기판 고정을 위해 정전척에 전원이 공급될 수 있다.As a solution to the above contradiction, the present invention proposes a method of electrically floating or insulating an electrostatic chuck moving along a process line or moving for processing to clamp a substrate by electric charges remaining in the electrostatic chuck. When the moving time is long, power may be connected to the electrostatic chuck in the middle of the movement to supply electric charge to the electrostatic chuck, and in a stage in which substrate processing is performed, power may be supplied to the electrostatic chuck for stable substrate fixing.

최근 각광을 받고 있는 유기발광(OLED) 디스플레이 장치의 제조에 사용되는 기판은 상당히 얇고 가벼워서 클램핑력이 없는 경우 이송 중 정위치에서 이탈되기 쉽다. 자동화된 인라인 공정을 위해서는 이송장치에 로딩되었던 위치는 이송 중 그리고 기판 프로세싱 시까지 그대로 유지될 필요가 있다.Substrates used for manufacturing organic light-emitting (OLED) display devices, which have recently been in the spotlight, are quite thin and light, so if there is no clamping force, they are easily separated from the original position during transport. For an automated in-line process, the position that was loaded into the transfer device needs to be maintained during transfer and until substrate processing.

본 발명의 실시예에 의하면 정전척은 내부에 클램핑 전극이 마련된 유전체 플레이트; 클램핑 전극과 전기적으로 연결된 제1 단자; 및 제1 단자와 전원 간의 전기적인 연결이 끊긴 후 잔류 전하에 의해 일시적으로 안정적인 클램핑력을 유지할 수 있도록 제1 단자와 클램핑 전극 사이에 마련된 커패시터를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the electrostatic chuck includes: a dielectric plate having a clamping electrode therein; A first terminal electrically connected to the clamping electrode; And a capacitor provided between the first terminal and the clamping electrode so as to temporarily maintain a stable clamping force due to residual electric charge after an electrical connection between the first terminal and the power source is disconnected.

상기 정전척은 베이스를 이루는 바디를 구비하거나 또는 구비하지 않을 수 있다. 제1 단자는 바디에 마련되거나 또는 유전체 플레이트에 마련될 수 있다. 유전체 플레이트는 세라믹, 수지, 필름 등으로 이루어질 수 있다. 예로서 정전척은 폴리이미드 필름 내부에 클램핑 전극이 마련된 것일 수 있다.The electrostatic chuck may or may not have a body forming a base. The first terminal may be provided on the body or may be provided on the dielectric plate. The dielectric plate may be made of ceramic, resin, film, or the like. For example, the electrostatic chuck may be one in which a clamping electrode is provided inside a polyimide film.

상기 정전척은 바이폴라 타입일 수 있다. 그러나 반드시 이에 한정되지 않는다. 정전척은 하나 또는 2개 이상의 클램핑 전극을 구비할 수 있으며, 쿨롱 타입이거나 또는 존슨-라벡 타입일 수 있으며 기타 본 발명의 적용이 가능한 다양한 형태의 정전척일 수 있다.The electrostatic chuck may be of a bipolar type. However, it is not necessarily limited thereto. The electrostatic chuck may be provided with one or two or more clamping electrodes, may be a Coulomb type or a Johnson-Rabeck type, and may be other various types of electrostatic chuck applicable to the present invention.

상기 정전척은 이송체에 의해 이동될 수 있다. 이송체는 레일을 따라 이동하는 캐리어이거나, 기판 프로세싱 장치, 이송모듈 또는 이송로봇 등에서 이송을 위해 기판이 로딩되는 핸드부일 수 있다. 정전척은 제1 위치에서 전원에 연결되어 차징이 된 후 제2 위치로 이동하는 동안 플로팅될 수 있다. 제1 위치 또는 이송체에는 제1 단자와 전원과의 연결 및 단절을 위한 접속장치 또는 접속단자가 마련될 수 있다.The electrostatic chuck may be moved by a conveying body. The transfer body may be a carrier that moves along a rail, or a hand part in which a substrate is loaded for transfer in a substrate processing apparatus, a transfer module, or a transfer robot. The electrostatic chuck may be connected to the power supply at the first position and charged, and then float while moving to the second position. A connection device or a connection terminal for connection and disconnection between the first terminal and the power source may be provided at the first position or the transfer body.

상기 정전척은 일례로서 마그넷 무빙 타입의 캐리어에 얹혀져 이동될 수 있다. 정전척 자체에 리니어 모션을 위한 코일 또는 마그넷이 마련될 수 있을 것이나, 바람직하게는 정전척은 코일 또는 마그넷을 갖는 캐리어에 착탈 가능하게 조립되어 이동된다.The electrostatic chuck may be moved while being mounted on a magnetic moving type carrier as an example. A coil or magnet for linear motion may be provided on the electrostatic chuck itself, but preferably the electrostatic chuck is detachably assembled and moved to a carrier having a coil or magnet.

본 발명에 의하면 상기 정전척의 이송 중 정전척 또는 클램핑 전극의 플로팅을 위한 커패시터는 정전척에 하나 이상 마련되거나 또는 정전척 외부에 하나 이상 마련될 수 있다. 필요한 경우 정전척과 정전척 외부에 각각 커패시터가 마련될 수 있다.According to the present invention, one or more capacitors for floating the electrostatic chuck or the clamping electrode during the transfer of the electrostatic chuck may be provided on the electrostatic chuck or one or more capacitors may be provided outside the electrostatic chuck. If necessary, capacitors may be provided outside the electrostatic chuck and the electrostatic chuck, respectively.

본 발명의 실시예에 의하면 기판 이송장치는 유전체 플레이트와 이 유전체 플레이트 내에 마련된 클램핑 전극을 갖는 정전척; 정전척이 안착되며, 전원과의 연결을 위한 제2 단자를 구비하며, 정전척 안착 시 제2 단자와 클램핑 전극 간의 전기적인 연결이 가능하게 구성된 이송체; 및 정전척 또는 이송체 중 적어도 어느 하나의 영역에 마련되며, 제2 단자와 전원과의 연결이 끊긴 후 잔류 전하에 의해 정전척이 일시적으로 안정적인 클램핑력을 유지할 수 있도록 제2 단자와 클램핑 전극 사이에 마련된 커패시터를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a substrate transfer apparatus includes: an electrostatic chuck having a dielectric plate and a clamping electrode provided in the dielectric plate; The electrostatic chuck is mounted, a transfer body having a second terminal for connection with a power source, and an electrical connection between the second terminal and the clamping electrode when the electrostatic chuck is mounted; And at least one of the electrostatic chuck or the conveying body, and between the second terminal and the clamping electrode so that the electrostatic chuck temporarily maintains a stable clamping force due to residual charge after the connection between the second terminal and the power supply is disconnected. It may include a capacitor provided in.

본 발명의 실시예에 의하면 기판 이송장치는 유전체 플레이트와 이 유전체 플레이트 내부에 마련된 클램핑 전극을 구비하는 정전척; 정전척이 안착되는 이송체; 전원과의 전기적인 연결이 끊긴 후 잔류 전하에 의해 정전척이 일시적으로 안정적인 클램핑력을 유지할 수 있도록 정전척 또는 이송체 중 적어도 어느 하나의 영역에 마련된 커패시터를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a substrate transfer device includes: an electrostatic chuck having a dielectric plate and a clamping electrode provided inside the dielectric plate; A transfer body on which an electrostatic chuck is mounted; The electrostatic chuck may include a capacitor provided in at least one of the electrostatic chuck and the transfer body so that the electrostatic chuck temporarily maintains a stable clamping force due to residual electric charge after the electrical connection with the power source is disconnected.

상기 정전척의 클램핑 전극에 전원을 연결하기 위한 단자는 정전척에 직접 마련되거나 또는 이송체에 마련될 수 있다. 클램핑 전극에 전원을 연결하기 위한 단자가 이송체에 마련되는 경우, 이송장치는 정전척을 이송체에 안착시킬 때 정전척의 클램핑 전극이 이송체에 마련된 단자와 접속될 수 있도록 구성될 필요가 있다.A terminal for connecting power to the clamping electrode of the electrostatic chuck may be provided directly on the electrostatic chuck or may be provided on a transfer body. When a terminal for connecting power to the clamping electrode is provided on the transfer body, the transfer device needs to be configured so that the clamping electrode of the electrostatic chuck can be connected to the terminal provided on the transfer body when the electrostatic chuck is mounted on the transfer body.

본 발명에 따른 기판 이송방법은 상기된 정전척 및/또는 기판 이송장치를 이용한다. 실시예에 의하면 기판 이송방법은 정전척의 클램핑 전극에 전원을 연결하여 정전척 상에 놓인 기판을 정전기적으로 클램핑 하는 단계; 및 정전척의 클램핑 전극과 전원 간의 연결을 끊고 이송체를 이동시키며, 이송체 이동 중 기판은 정전척에 잔류하는 전하에 의해 클램핑되도록 하는 단계를 포함할 수 있다.The substrate transfer method according to the present invention uses the electrostatic chuck and/or the substrate transfer device described above. According to an embodiment, a method of transferring a substrate may include electrostatically clamping a substrate placed on the electrostatic chuck by connecting a power source to a clamping electrode of the electrostatic chuck; And disconnecting the connection between the clamping electrode of the electrostatic chuck and the power supply and moving the transfer body, and causing the substrate to be clamped by electric charges remaining in the electrostatic chuck during movement of the transfer body.

상술한 바와 같은 본 발명은 기판 이송에 정전척이 이용되므로 공정 중 기판 오염 가능성이 적고 클린 환경이 요구되는 제조공정에 유용하게 활용될 수 있다.In the present invention as described above, since the electrostatic chuck is used for transferring the substrate, the possibility of contamination of the substrate during the process is small, and it can be usefully used in a manufacturing process that requires a clean environment.

또한 본 발명에 의하면 자동화된 기판 이송 및 인라인 프로세싱이 가능하다.Further, according to the present invention, automated substrate transfer and inline processing are possible.

도 1은 정전척의 예를 보인 도면,
도 2는 리니어 모션 시스템의 예를 보인 도면,
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 정전척의 개념도,
도 4는 본 발명의 또 하나의 실시예에 따른 정전척의 개략도,
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송장치의 개략도,
도 6은 본 발명의 또 하나의 실시예에 따른 기판 이송장치의 개략도,
도 7은 본 발명의 또 하나의 실시예에 따른 기판 이송장치의 개략도이다.1 is a view showing an example of an electrostatic chuck;
2 is a diagram showing an example of a linear motion system;
3 is a conceptual diagram of an electrostatic chuck according to an embodiment of the present invention,
4 is a schematic diagram of an electrostatic chuck according to another embodiment of the present invention,
5 is a schematic diagram of a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention,
6 is a schematic diagram of a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention,
7 is a schematic diagram of a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention.

이하 본 발명의 여러 특징적인 측면을 이해할 수 있도록 실시예를 들어 보다 상세히 살펴보기로 한다. 첨부된 도면들에서 동일 또는 동등한 구성요소들 또는 부품들은 설명의 편의를 위해 가능한 한 동일한 참조부호로 표시될 수 있고, 도면들은 본 발명의 특징에 대한 명확한 이해와 설명을 위해 과장되게 그리고 개략적으로 도시될 수 있다.Hereinafter, examples will be described in more detail in order to understand various characteristic aspects of the present invention. In the accompanying drawings, the same or equivalent components or parts may be denoted by the same reference numerals as possible for convenience of description, and the drawings are exaggerated and schematically illustrated for clear understanding and description of the features of the present invention. Can be.

본 발명에 대한 설명에서, 별도 한정이 없는 한, 제2 요소가 제1 요소 '상'에 배치되거나 두 요소가 서로 '연결'된다고 하는 것은, 두 요소가 서로 직접 접촉하는 것은 물론 제1 및 제2 요소의 요소 사이에 제3의 요소가 개재된 것을 허용하는 의미로 이해될 필요가 있다. 전후, 좌우 또는 상하 등의 방향 표현은 설명의 편의를 위한 것이라는 점도 이해될 필요가 있다.In the description of the present invention, unless otherwise limited, that the second element is disposed on the first element'on' or the two elements are'connected' to each other means that the two elements are in direct contact with each other, as well as the first and second elements. It needs to be understood in the sense of allowing a third element to be interposed between the elements of the two elements. It is also necessary to understand that expressions in directions such as front and rear, left and right or up and down are for convenience of explanation.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 정전척에 대한 개념적인 설명을 위한 도면이다.3 is a diagram for conceptual explanation of an electrostatic chuck according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면 상기 정전척(20)은 바이폴라 타입으로서 유전체 플레이트(21) 내에 이격된 2개의 클램핑 전극(22a,22b: 22)이 마련된 구조를 갖는다. 클램핑 전극(22)을 갖는 유전체 플레이트(21)는 다양한 소재를 이용하여 다양한 형태로 마련될 수 있다. 예로서 유전체 플레이트(21)는 폴리이미드(PI) 필름, 수지 성형물, 세라믹이거나 또는 세라믹 용사 코팅에 의해 마련될 수 있다.Referring to FIG. 3, the electrostatic chuck 20 is a bipolar type and has a structure in which two clamping electrodes 22a, 22b: 22 are spaced apart in a dielectric plate 21. The dielectric plate 21 having the clamping electrode 22 may be provided in various shapes using various materials. For example, the dielectric plate 21 may be formed of a polyimide (PI) film, a resin molded product, a ceramic, or a ceramic thermal spray coating.

상기 정전척(20)은 핸들링이나 타부재와의 조립 등을 위해 베이스 또는 바디(미도시)를 구비할 수 있고, 이외에 정전척에 요구되는 기본적인 구성요소나 필요에 따른 다양한 구성요소가 선택적으로 구비될 수 있다. 이하의 실시예에서도 마찬가지이다.The electrostatic chuck 20 may have a base or a body (not shown) for handling or assembly with other members, and in addition, basic components required for the electrostatic chuck or various components according to need are optionally provided. Can be. The same is true for the following examples.

상기 2개의 클램핑 전극(22)은 유전체 플레이트(21) 내에서 서로 전기적으로 단절되고, 이 전극(22)에 전원에 연결되어 정전기적인 클램핑력이 발생한다. 제1 전극(22a)에 전원의 마이너스 전극이 연결되고 제2 전극(22b)에 플러스 전극이 연결될 수 있다.The two clamping electrodes 22 are electrically disconnected from each other in the dielectric plate 21, and are connected to the power supply to the electrode 22 to generate an electrostatic clamping force. A negative electrode of power may be connected to the first electrode 22a and a positive electrode may be connected to the second electrode 22b.

상기 정전척(20)은 클램핑 전극(22)이 전원과의 연결이 끊겼을 때 클램핑 전극(22)이 플로팅되어 외부와는 절연될 수 있도록 구성되며, 전원과의 연결이 끊겼을 때에도 잔류 전하에 의해 클램핑력을 유지할 수 있도록 하기 위한 커패시터(C1)를 구비할 수 있다. 도 3에서 보듯이 커패시터(C1)의 일단은 제1 전극(22a)과 마이너스 전극의 연결라인에 연결되며, 타단은 제2 전극(22b)과 플러스 전극 간의 연결라인에 연결될 수 있다. 클램핑 전극(22)과 전원 간의 연결이 끊어질 경우(S1,S2가 off), 커패시터(C1)에 인해 클램핑 전극(22)에 의해 축적되었던 전하는 한꺼번에 소산되지 않고 한정적인 시간 동안이지만 비교적 안정적으로 유지 또는 잔류될 수 있다. 이 잔류 전하에 의해 정전척(20)은 클램핑력을 유지할 수 있다.The electrostatic chuck 20 is configured so that when the clamping electrode 22 is disconnected from the power source, the clamping electrode 22 is floated to be insulated from the outside. Even when the connection to the power source is disconnected, the residual charge Accordingly, a capacitor C1 for maintaining the clamping force may be provided. As shown in FIG. 3, one end of the capacitor C1 may be connected to a connection line between the first electrode 22a and the negative electrode, and the other end may be connected to a connection line between the second electrode 22b and the positive electrode. When the connection between the clamping electrode 22 and the power supply is disconnected (S1 and S2 are off), the electric charge accumulated by the clamping electrode 22 due to the capacitor C1 is not dissipated at once and remains relatively stable for a limited time. Or may remain. The electrostatic chuck 20 can maintain a clamping force by this residual charge.

도 4는 본 발명의 또 하나의 실시예에 따른 정전척을 보인 것이다.4 shows an electrostatic chuck according to another embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면 상기 정전척(20)은 내부에 2개의 클램핑 전극(22a,22b:22)이 마련된 유전체 플레이트(21)와 클램핑 전극(22a,22b)과 전기적으로 연결된 제1 단자(24a,24b: 24)를 구비한다. 제1 단자(24a,24b)를 통해 전원으로부터 클램핑 전극(22a,22b)에 전원이 공급된다.Referring to FIG. 4, the electrostatic chuck 20 includes a dielectric plate 21 having two clamping electrodes 22a, 22b: 22 therein, and a first terminal 24a electrically connected to the clamping electrodes 22a, 22b, 24b: 24). Power is supplied from the power source to the clamping electrodes 22a and 22b through the first terminals 24a and 24b.

상기 제1 단자(24a,24b)와 클램핑 전극(22a,22b) 사이에는, 제1 단자(24a,24b)와 전원과의 연결이 끊긴 후에도 잔류 전하에 의해 일시적으로 안정적인 클램핑력을 유지할 수 있도록 커패시터(C1)가 마련된다. 제1 단자(24a,24b)에 전원이 연결되어 있는 동안 커패시터(C1)에도 전하가 축적된다. 제1 단자(24a,24b)와 전원 간의 연결이 끊긴 경우, 커패시터(C1)에 축적된 전하에 의해 클램핑 전극(22a,22b)에 축적되었던 잔류 전하는 한꺼번에 소산되지 않을 수 있다.Between the first terminals 24a and 24b and the clamping electrodes 22a and 22b, a capacitor is provided to temporarily maintain a stable clamping force due to residual charge even after the connection between the first terminals 24a and 24b and the power supply is disconnected. (C1) is provided. Charges are also accumulated in the capacitor C1 while the power is connected to the first terminals 24a and 24b. When the connection between the first terminals 24a and 24b and the power supply is disconnected, residual charges accumulated in the clamping electrodes 22a and 22b may not be dissipated at once due to the charges accumulated in the capacitor C1.

상기 커패시터(C1)는 정전척(20)에 마련되거나 또는 정전척(20) 외부에 마련될 수 있다. 필요한 경우 정전척(20) 및 정전척(20) 외부에 각각 마련될 수도 있을 것이다.The capacitor C1 may be provided on the electrostatic chuck 20 or may be provided outside the electrostatic chuck 20. If necessary, it may be provided outside the electrostatic chuck 20 and the electrostatic chuck 20, respectively.

상기 정전척(20)은 이송체에 안착되어 이동한다. 이송체는 리니어 모션을 위한 코일 또는 마그넷을 갖는 캐리어일 수 있으며, 프로세싱 장치, 이송모듈 또는 이송로봇 등에서 이송을 위해 기판이 로딩되는 핸드부일 수 있다. 하나의 예로서 이송모듈은 복수의 핸드부를 가질 수 있고, 핸드부는 이송모듈에 마련된 회전축을 중심으로 회전방향 이동되도록 구성될 수 있다. 제1 위치에서 기판이 로딩되며, 제2 위치에서 기판은 프로세싱 장치로 이송되거나 제2 위치에서 프로세싱될 수 있다. 제1 위치에서 정전척(20)의 클램핑 전극(22)에 전원이 연결되고, 전원과의 연결이 끊긴 후 이송체가 이동한다. 이송체가 제1 위치에서 제2 위치로 이동하는 중 기판은 플로팅된 정전척(20)에 의해 정전기적으로 클램핑된다.The electrostatic chuck 20 moves while being mounted on a conveying body. The transfer body may be a carrier having a coil or a magnet for linear motion, and may be a hand part in which a substrate is loaded for transfer in a processing device, a transfer module, or a transfer robot. As an example, the transfer module may have a plurality of hand parts, and the hand part may be configured to move in a rotational direction about a rotation axis provided in the transfer module. The substrate is loaded in a first position, and in a second position the substrate can be transferred to a processing apparatus or processed in a second position. In the first position, power is connected to the clamping electrode 22 of the electrostatic chuck 20, and after the connection with the power is disconnected, the transfer body moves. While the transfer body is moving from the first position to the second position, the substrate is electrostatically clamped by the floating electrostatic chuck 20.

도 5에는 실시예에 따른 기판 이송장치가 도시되어 있다.5 shows a substrate transfer apparatus according to an embodiment.

도 5를 참조하면 상기 기판 이송장치는 정전척(20)과 정전척(20)이 안착된 이송체를 구비한다. 이송체는 정전척(20)을 이송하기 위한 요소로서, 바람직하게는 정전척(20)을 조립 및 분리 가능하게 구성된다. 이송체는 타부재에 기구적으로 연결되어 이동하거나 타부재와의 비접촉적인 상호작용에 의해 이동될 수 있다. 예로서 이송체는 이송체는 이송로봇이나 공정장비의 한 구성부이거나, 또는 마그넷 무빙 타입의 캐리어(10)일 수 있다.Referring to FIG. 5, the substrate transfer device includes an electrostatic chuck 20 and a transfer body on which the electrostatic chuck 20 is mounted. The transfer body is an element for transferring the electrostatic chuck 20, and is preferably configured to be able to assemble and separate the electrostatic chuck 20. The transport body may be mechanically connected to and moved to another member or may be moved by non-contact interaction with the other member. For example, the transfer body may be a component of a transfer robot or process equipment, or may be a magnetic moving type carrier 10.

상기 정전척(20)은 내부에 2개의 클램핑 전극(22a,22b: 22)이 마련된 유전체 플레이트(21) 및 클램핑 전극(22)과 전기적으로 연결된 제1 단자(24a,24b: 24)를 구비한다. 정전척(20)은 분리 가능하게 캐리어(10)에 조립된다. 정전척(20)에 손상이 있는 경우 캐리어(10)에서 분리하여 수리 또는 교체될 수 있다.The electrostatic chuck 20 includes a dielectric plate 21 having two clamping electrodes 22a, 22b: 22 disposed therein, and a first terminal 24a, 24b: 24 electrically connected to the clamping electrode 22. . The electrostatic chuck 20 is detachably assembled to the carrier 10. If there is damage to the electrostatic chuck 20, it may be separated from the carrier 10 and repaired or replaced.

상기 캐리어(10)는 전원과의 연결을 위한 제2 단자(12a,12b: 12) 및 정전척(20)의 제1 단자(24)와 연결하기 위한 제3 단자(11a,11b: 11)를 구비한다. 제2 단자(12)는 제1 및 제3 단자(24,11)를 통해 클램핑 전극(22)과 연결된다.The carrier 10 includes a second terminal 12a, 12b: 12 for connection with a power source and a third terminal 11a, 11b: 11 for connection with the first terminal 24 of the electrostatic chuck 20 Equipped. The second terminal 12 is connected to the clamping electrode 22 through the first and third terminals 24 and 11.

상기 제2 단자(12)와 제3 단자(24,11) 사이에는 제2 단자(12)와 전원과의 연결이 끊긴 후에도 잔류 전하에 의해 일시적으로 안정적인 클램핑력을 유지할 수 있도록 하기 위한 커패시터(C2)가 마련된다. Between the second terminal 12 and the third terminals 24 and 11, a capacitor C2 for temporarily maintaining a stable clamping force due to residual electric charges even after the connection between the second terminal 12 and the power is disconnected. ) Is provided.

한편 다른 예로서 전원과의 연결을 위한 단자는 캐리어(10)가 아닌 정전척(20)에 마련될 수도 있다. 또한 커패시터(C2)는 정전척(20)에 마련되거나, 또는 이송체와 정전척(20) 모두에 마련될 수 있다. 예로서 클램핑 전극(22a,22b)과 제1 단자(24a,24b)의 사이에 커패시터가 마련될 수 있다.Meanwhile, as another example, a terminal for connection with a power source may be provided on the electrostatic chuck 20 instead of the carrier 10. In addition, the capacitor C2 may be provided on the electrostatic chuck 20 or may be provided on both the carrier and the electrostatic chuck 20. For example, a capacitor may be provided between the clamping electrodes 22a and 22b and the first terminals 24a and 24b.

도 6에는 본 발명의 또 하나의 실시예에 따른 기판 이송장치가 도시되어 있다.6 shows a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면 상기 기판 이송장치는 정전척(미도시)이 안착된 이송체(30), 정전척에 전원을 연결하기 위한 접속장치(40)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 6, the substrate transfer device may include a transfer body 30 on which an electrostatic chuck (not shown) is mounted, and a connection device 40 for connecting power to the electrostatic chuck.

상기 이송체(30) 또는 정전척에는 전원의 연결을 위한 접속단자(31)가 마련되며, 접속단자(31)는 정전척의 클램핑 전극과 전기적으로 연결된다. 정전척과 이송체(30) 적어도 어느 하나에는 기판 클램핑용 잔류 전하의 유지를 위한 커패시터(C3)가 마련된다.The transfer body 30 or the electrostatic chuck is provided with a connection terminal 31 for connecting power, and the connection terminal 31 is electrically connected to the clamping electrode of the electrostatic chuck. At least one of the electrostatic chuck and the transfer member 30 is provided with a capacitor C3 for holding residual charge for clamping the substrate.

상기 접속장치(40)는 접속단자(31)에 연결하기 위한 접속전극(41)을 구비하며, 나아가 이 접속전극(41)이 접속단자(31)와 선택적으로 연결 또는 단절될 수 있도록 하기 위한 액츄에이터(미도시)와 같은 수단을 구비할 수 있다.The connection device 40 includes a connection electrode 41 for connecting to the connection terminal 31, and furthermore, an actuator for allowing the connection electrode 41 to be selectively connected or disconnected from the connection terminal 31 The same means as (not shown) may be provided.

상기 접속장치(40)는 전원(50)과 연결되며, 접속장치(40)와 전원(50) 사이에는 스위치(S3,S4)가 마련된다. 이 스위치(S3,S4)는 접속장치(40)에 마련될 수도 있을 것이다.The connection device 40 is connected to the power supply 50, and switches S3 and S4 are provided between the connection device 40 and the power supply 50. These switches S3 and S4 may be provided in the connection device 40.

상기 정전척에 전원(50)을 연결하는 경우, 먼저 스위치(S3,S4)가 개방된 상태에서 접속전극(41)이 접속단자(31)와 연결되며 그 후 스위치(S3,S4)가 닫혀 정전척으로 전력이 공급된다. 정전척과 전원 간의 연결을 차단하는 경우, 먼저 스위치(S3,S4)가 개방되며 그 후 접속전극(41)과 접속단자(31) 간의 연결이 해제된다. 이에 의하면 정전척에 전력을 공급하거나 차단하는 과정에 장치의 손상을 야기할 수 있는 아크 발생이 방지된다.When connecting the power supply 50 to the electrostatic chuck, first, the connection electrode 41 is connected to the connection terminal 31 while the switches S3 and S4 are open, and then the switches S3 and S4 are closed to prevent a power failure. Power is supplied by the chuck. When the connection between the electrostatic chuck and the power is cut off, the switches S3 and S4 are first opened, and then the connection between the connection electrode 41 and the connection terminal 31 is released. This prevents the occurrence of an arc that may cause damage to the device in the process of supplying or blocking power to the electrostatic chuck.

도 7에는 본 발명의 또 하나의 실시예에 따른 기판 이송장치가 도시되어 있다.7 shows a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 7을 참조하면 상기 기판 이송장치는 전원(50) 대신 방전소자(60)가 접속장치(40)에 연결되는 것을 제외하면 도 6에 따른 이송장치와 동일 유사한 구성을 가질 수 있다. 방전소자(60)는 정전척에 잔류하는 전하를 원활히 방전시키기 위한 것으로 저항 등 다양한 요소들이 사용될 수 있다.Referring to FIG. 7, the substrate transfer device may have the same configuration as the transfer device according to FIG. 6 except that the discharge element 60 is connected to the connection device 40 instead of the power supply 50. The discharging element 60 is for smoothly discharging the charge remaining in the electrostatic chuck, and various elements such as resistance may be used.

상기 접속장치(40)와 방전소자(60) 사이 또는 접속장치(40)에 스위치(S5,S6)가 마련될 수 있다. 정전척에 잔류하는 저하를 방전시키고자 하는 경우, 먼저 스위치(S5,S6)가 개방된 상태에서 접속전극(41)이 접속단자(31)에 기구적으로 연결되며 그 후 스위치(S5,S6) 닫혀 정전척 내 잔류 전하의 방전이 이루어진다. 이에 의하면 잔류 전하의 방전 과정에 아크의 발생 등으로 인해 장치의 손상이 방지된다.Switches S5 and S6 may be provided between the connection device 40 and the discharge device 60 or in the connection device 40. In the case of discharging the deterioration remaining in the electrostatic chuck, the connection electrode 41 is mechanically connected to the connection terminal 31 with the switches S5 and S6 open first, and then the switches S5 and S6 It is closed to discharge the residual charge in the electrostatic chuck. According to this, damage to the device is prevented due to occurrence of an arc or the like in the process of discharging residual charges.

본 발명의 실시예에 의하면 기판 이송은 상기된 정전척이나 기판 이송장치를 이용하여 수행될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, substrate transfer may be performed using the electrostatic chuck or the substrate transfer device described above.

실시예에 의한 기판 이송방법은 제1 위치에서 정전척(20)의 클램핑 전극(22)에 전원(50)을 연결하여 정전척(20) 상에 놓인 기판을 정전기적으로 클램핑 하는 단계; 및 정전척(20)의 클램핑 전극(22)과 전원(50) 간의 연결을 끊고 이송체(30)를 제2 위치로 이동시키는 단계를 포함할 수 있다. 제1 위치에서 제2 위치로 이송체(30)가 이동하는 중 기판은 정전척(20)에 잔류하는 전하에 의해 클램핑된다.The method of transferring a substrate according to the embodiment includes the steps of electrostatically clamping a substrate placed on the electrostatic chuck 20 by connecting the power supply 50 to the clamping electrode 22 of the electrostatic chuck 20 at a first position; And disconnecting the connection between the clamping electrode 22 of the electrostatic chuck 20 and the power supply 50 and moving the transfer body 30 to the second position. While the transfer body 30 is moving from the first position to the second position, the substrate is clamped by electric charges remaining in the electrostatic chuck 20.

상기 이송체(30)가 제2 위치로 이동해 오면 정전척(20)에 놓인 기판에 대한 프로세싱이 수행될 수 있다. 안정적인 기판 프로세싱을 위해 제2 위치에서 정전척(20)은 전원에 연결될 수 있다. 셀 커팅 등의 프로세싱 중에 기판은 정위치될 필요가 있으므로 기판은 정전기적인 클램핑을 포함하여 하나 이상의 방법으로 프로세싱 위치에서 고정될 수 있다.When the transfer body 30 moves to the second position, processing on the substrate placed on the electrostatic chuck 20 may be performed. The electrostatic chuck 20 may be connected to a power source in the second position for stable substrate processing. During processing such as cell cutting, the substrate needs to be positioned so that the substrate can be secured in the processing position in one or more ways, including electrostatic clamping.

상기 기판의 프로세싱이 완료된 이후 정전척(20)으로부터 기판을 언로딩하는 경우, 정전척(20)에 잔류하는 전하를 완전히 방전시킬 필요가 있을 수 있으며, 이를 위해 접속단자(31)에 방전소자(60)가 연결된다. 접속단자(31)에 방전소자(60)가 연결 시, 먼저 스위치(S5,S6)가 개방된 상태에서 접속전극(41)이 접속단자(31)에 기구적으로 연결되며 그 후 스위치(S5,S6)가 닫혀 방전이 이루어진다.When the substrate is unloaded from the electrostatic chuck 20 after the processing of the substrate is completed, it may be necessary to completely discharge the charge remaining in the electrostatic chuck 20, and for this purpose, a discharge element ( 60) is connected. When the discharge element 60 is connected to the connection terminal 31, the connection electrode 41 is mechanically connected to the connection terminal 31 while the switches S5 and S6 are opened first, and then the switch S5, S6) is closed and discharge is made.

이상 본 발명의 특정 실시예에 관하여 도시하고 설명하였지만, 하기의 특허청구범위에 기재된 발명의 기술적 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명은 다양하게 수정 또는 변형될 수 있다는 것이 이해될 필요가 있다.Although shown and described above with respect to specific embodiments of the present invention, it is necessary to understand that the present invention may be variously modified or modified within the scope not departing from the technical spirit of the invention described in the following claims.

10: 캐리어 20: 정전척
21: 유전체 플레이트 22a,22b: 클램핑 전극
C1~C3: 커패시터 30: 이송체
40: 접속장치 50: 전원10: carrier 20: electrostatic chuck
21: dielectric plates 22a, 22b: clamping electrodes
C1~C3: capacitor 30: carrier
40: connection device 50: power

Claims (8)

내부에 클램핑 전극이 마련된 유전체 플레이트;
상기 클램핑 전극과 전기적으로 연결된 제1 단자; 및
상기 제1 단자와 전원 간의 전기적인 연결이 끊긴 후 잔류 전하에 의해 일시적으로 안정적인 클램핑력을 유지할 수 있도록 제1 단자와 클램핑 전극 사이에 마련된 커패시터를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척.A dielectric plate having a clamping electrode therein;
A first terminal electrically connected to the clamping electrode; And
And a capacitor provided between the first terminal and the clamping electrode so as to temporarily maintain a stable clamping force by residual electric charge after the electrical connection between the first terminal and the power source is disconnected. 청구항 1에 따른 정전척;
상기 정전척이 안착되는 이송체;
상기 제1 단자에 연결 가능한 접속전극; 및
상기 접속전극과 전원 사이에 마련된 제1 스위치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.An electrostatic chuck according to claim 1;
A transfer body on which the electrostatic chuck is mounted;
A connection electrode connectable to the first terminal; And
And a first switch provided between the connection electrode and the power supply. 청구항 1에 따른 정전척;
상기 정전척이 안착되는 이송체;
상기 제1 단자에 연결 가능한 접속전극;
상기 접속전극과 연결 가능한 방전소자; 및
상기 접속전극과 방전소자 사이에 마련된 제2 스위치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.An electrostatic chuck according to claim 1;
A transfer body on which the electrostatic chuck is mounted;
A connection electrode connectable to the first terminal;
A discharge device connectable to the connection electrode; And
And a second switch provided between the connection electrode and the discharge device. 유전체 플레이트와 이 유전체 플레이트 내에 마련된 클램핑 전극을 갖는 정전척;
상기 정전척이 안착되며, 전원과의 연결을 위한 제2 단자를 구비하며, 정전척 안착 시 제2 단자와 클램핑 전극 간의 전기적인 연결이 가능하게 구성된 이송체; 및
상기 정전척 또는 이송체 중 적어도 어느 하나의 영역에 마련되며, 제2 단자와 전원과의 연결이 끊긴 후 잔류 전하에 의해 정전척이 일시적으로 안정적인 클램핑력을 유지할 수 있도록 제2 단자와 클램핑 전극 사이에 마련된 커패시터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.An electrostatic chuck having a dielectric plate and a clamping electrode provided in the dielectric plate;
A transfer body on which the electrostatic chuck is seated, has a second terminal for connection with a power source, and is configured to enable electrical connection between the second terminal and the clamping electrode when the electrostatic chuck is seated; And
It is provided in at least one region of the electrostatic chuck or the conveying body, and between the second terminal and the clamping electrode so that the electrostatic chuck temporarily maintains a stable clamping force due to residual electric charge after the connection between the second terminal and the power supply is disconnected. A substrate transfer apparatus comprising a capacitor provided in. 청구항 4에 있어서, 상기 제2 단자에 연결 가능한 접속전극; 및
상기 접속전극과 전원 사이에 마련된 제1 스위치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.The method according to claim 4, Connection electrode connectable to the second terminal; And
The substrate transfer apparatus further comprising a first switch provided between the connection electrode and the power supply. 청구항 4에 있어서, 상기 제2 단자에 연결 가능한 접속전극;
상기 접속장치와 연결 가능한 방전소자; 및
상기 접속전극과 방전소자 사이에 마련된 제2 스위치;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.The method according to claim 4, Connection electrode connectable to the second terminal;
A discharge device connectable to the connection device; And
And a second switch provided between the connection electrode and the discharge device. 유전체 플레이트와 이 유전체 플레이트 내부에 마련된 클램핑 전극을 구비하는 정전척;
상기 정전척이 안착되는 이송체;
전원과의 전기적인 연결이 끊긴 후 잔류 전하에 의해 정전척이 일시적으로 안정적인 클램핑력을 유지할 수 있도록 정전척 또는 이송체 중 적어도 어느 하나의 영역에 마련된 커패시터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.An electrostatic chuck having a dielectric plate and a clamping electrode provided inside the dielectric plate;
A transfer body on which the electrostatic chuck is mounted;
A substrate transfer apparatus comprising a capacitor provided in at least one of the electrostatic chuck and the transfer member so that the electrostatic chuck temporarily maintains a stable clamping force due to residual electric charge after the electrical connection with the power source is disconnected. 청구항 2 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 따른 기판 이송장치를 이용한 기판 이송방법으로서,
상기 정전척의 클램핑 전극에 전원을 연결하여 정전척 상에 놓인 기판을 정전기적으로 클램핑 하는 단계; 및
상기 정전척의 클램핑 전극과 전원 간의 연결을 끊고 이송체를 이동시키는 단계, 여기서 이송체 이동 중 기판은 정전척에 잔류하는 전하에 의해 클램핑됨을 특징으로 하는 기판 이송방법.As a substrate transfer method using the substrate transfer device according to any one of claims 2 to 7,
Electrostatically clamping a substrate placed on the electrostatic chuck by connecting a power source to a clamping electrode of the electrostatic chuck; And
Disconnecting a connection between the clamping electrode of the electrostatic chuck and a power source and moving the transfer member, wherein the substrate is clamped by electric charges remaining in the electrostatic chuck during movement of the transfer body.
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JPH05315429A (en) * 1992-05-07 1993-11-26 Hitachi Ltd Conveying equipment of semiconductor device manufacturing equipment
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