KR20200110173A - 유체 제어 장치 - Google Patents

Abstract

유체가 흐르는 유로를 내부에 가지는 블록 모양의 것이며, 상기 유로를 흐르는 유체를 제어하기 위한 각 기기가 설치된 설치면과, 상기 설치면과 인접하는 측면을 가지는 보디 부재와, 상기 보디 부재를 가열하는 히터와, 상기 보디 부재의 상기 설치면과 대향하는 대향면을 가지고, 상기 대향면을 상기 설치면에 대향시킨 상태에서, 상기 히터를 상기 측면을 따르도록 유지하는 히터 유지 부재와, 상기 대향면을 상기 설치면으로 향하여 압압하는 압압 기구를 구비하는 유체 제어 장치이다.

Description

유체 제어 장치{Fluid control device}

본 발명은, 유체 제어 장치에 관한 것이다.

종래의 유체 제어 장치로서, 예를 들면, 특허 문헌 1에 나타내는 바와 같이, 유체가 흐르는 유로를 내부에 가지는 블록 모양의 보디 부재와, 보디 부재의 설치면에 설치되고, 유로를 흐르는 유체를 제어하기 위한 각 기기를 구비한 것이 있다.

또, 상기 종래의 유체 제어 장치는, 보디 부재를 가열하기 위한 히터를 보디 부재의 설치면과 인접하는 측면에 나사 고정한 구조로 되어 있다.

그런데, 이런 종류의 유체 제어 장치는, 복수 집적하여 설치되는 것이 일반적이지만, 이 경우, 서로 이웃하는 유체 제어 장치는, 보디 부재의 측면끼리를 근접시켜서 배치된다. 이 때문에, 히터가, 서로 이웃하는 보디 부재의 사이에 위치되어 액세스하기 어려워져, 히터의 메인터넌스가 매우 번잡했었다.

특허 문헌 1 : 일본특허공개 제2016－119012호

그래서, 본 발명은, 집적 배치했다고 해도, 보디 부재의 측면에 배치된 히터를 용이하게 떼어내는 것이 가능한 메인터넌스성이 뛰어난 유체 제어 장치를 얻는 것을 주된 과제로 하는 것이다.

즉, 본 발명에 관한 유체 제어 장치는, 유체가 흐르는 유로를 내부에 가지는 블록 모양의 것이며, 상기 유로를 흐르는 유체를 제어하기 위한 각 기기가 설치된 설치면과, 상기 설치면과 인접하는 측면을 가지는 보디 부재와, 상기 보디 부재를 가열하는 히터와, 상기 보디 부재의 상기 설치면과 대향하는 대향면을 가지고, 상기 대향면을 상기 설치면에 대향시킨 상태에서, 상기 히터를 상기 측면을 따르도록 유지하는 히터 유지 부재와, 상기 대향면을 상기 설치면으로 향하여 압압(押壓)하는 압압 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.

이러한 것이면, 보디 부재의 설치면에 압압 기구에 의해서 압압하여 장착되는 히터 유지 부재에 의해, 히터를 측면을 따르도록 유지하는 구조로 했으므로, 집적 배치된 후에도 비교적 액세스가 용이한 보디 부재의 설치면측으로부터 히트 유지 부재를 떼어낼 수 있다. 이것에 의해, 히터의 메인터넌스성이 향상된다. 또, 압압 기구에 의해서 대향면을 설치면으로 향하여 압압하고 있기 때문에, 보디 부재에 대한 히터 유지 부재의 위치 어긋남을 억제할 수 있다.

또, 상기 설치면이, 상기 대향면에 접촉하는 제1 접촉부를 구비하는 것이고, 상기 대향면이, 상기 제1 접촉부와 접촉하는 제2 접촉부를 구비하는 것이며, 상기 제1 접촉부 또는 상기 제2 접촉부 중 적어도 일방이, 상기 압압 기구의 압압 방향에 대해서 경사지는 면 모양으로 형성되어 있는 것이라도 좋다.

또, 상기 제1 접촉부 및 상기 제2 접촉부가, 상기 설치면과 상기 대향면과의 사이에 개재하는 슬라이드 기구를 구성하는 것이고, 상기 슬라이드 기구가, 상기 압압 기구의 압압에 의해, 상기 히터가 상기 측면측으로 향하도록, 상기 히터 유지 부재를 상기 보디 부재에 대해서 슬라이드시키는 것이라도 좋다.

이러한 것이면, 설치면과 대향면과의 사이에, 압압 기구의 압압에 의해, 히터가 측면측으로 향하도록, 히터 유지 부재를 보디 부재에 대해서 슬라이드시킬 수 있기 때문에, 보디 부재의 측면에 대해서 히터를 확실히 밀착시킬 수 있다. 이것에 의해, 보디 부재에 대해서 히터의 열이 효율적으로 전달되게 된다.

상기 슬라이드 기구의 구체적인 구성으로서는, 상기 슬라이드 기구가, 상기 설치면에 마련된 제1 접촉부와, 상기 대향면에 마련되고, 상기 제1 접촉부와 접촉하는 제2 접촉부를 구비하는 것이며, 상기 제1 접촉부 또는 상기 제2 접촉부 중 적어도 일방이, 상기 압압 기구의 압압 방향에 대해서 경사지는 면 모양으로 형성되어 있는 구성으로 하면 좋다. 또, 이 경우, 상기 제1 접촉부 및 상기 제2 접촉부가, 서로 면접촉하도록 구성된 것이라도 괜찮다.

이러한 것이면, 복잡한 구조를 이용하지 않고, 히터 유지 부재를 보디 부재에 대해서 슬라이드시킬 수 있는 슬라이드 기구를 구성할 수 있다.

또, 상기 히터 유지 부재의 구체적인 구성으로서는, 상기 히터 유지 부재가, 상기 대향면을 가지는 장착부와, 상기 장착부의 상기 대향면측으로부터 상기 측면을 따르도록 연장되는 히터 유지부를 구비하는 것이며, 상기 히터가, 상기 히터 유지부의 상기 측면과 대향하는 일방면 또는 상기 일방면과 반대측의 타방면 중 적어도 일방에 마련된 구성의 것을 들 수 있다.

또, 상기 히터 유지 부재의 상기 일방면이, 상기 대향면으로부터 상기 측면측으로 향해 경사져 있는 것이라도 좋다.

이러한 것이면, 압압 기구에 의해서 대향면을 설치면으로 향하여 압압시킨 경우에, 히터 유지부의 적어도 일부를 측면에 대해서 가압된 상태로 밀착시킬 수 있다.

또, 상기 압압 기구의 구체적인 구성으로서는, 상기 압압 기구가, 상기 설치면에 마련된 나사 구멍과, 상기 장착부를 관통하고, 상기 히터 유지부로부터 멀어지는 방향으로 연장되는 긴 구멍과, 상기 긴 구멍에 통과된 상태에서, 상기 나사 구멍에 나사 고정되는 나사 부재를 구비하는 것을 들 수 있다.

이와 같이 구성한 유체 제어 장치에 의하면, 집적 배치했다고 해도, 보디 부재의 측면에 배치된 히터를 설치면측으로부터 용이하게 떼어낼 수 있어, 메인터넌스성이 향상된다.

도 1은 제1 실시 형태에 관한 유체 제어 장치를 모식적으로 나타내는 분해 사시도이다.
도 2는 제1 실시 형태에 관한 유체 제어 장치의 보디 부재를 길이 방향으로 절단한 상태를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 3은 제1 실시 형태에 관한 유체 제어 장치의 보디 부재를 폭방향으로 절단한 상태를 모식적으로 나타내는 분해 단면도이다.
도 4는 제1 실시 형태에 관한 유체 제어 장치의 보디 부재에 대해서 히터 유지 부재를 장착하는 과정을 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 5는 제2 실시 형태에 관한 유체 제어 장치의 보디 부재를 폭방향으로 절단한 상태를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 6은 제2 실시 형태에 관한 유체 제어 장치의 보디 부재에 대해서 히터 유지 부재를 장착하는 과정을 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 7은 제1 실시 형태에 관한 그 외의 실시 형태의 유체 제어 장치를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 8은 제1 실시 형태에 관한 그 외의 실시 형태의 유체 제어 장치를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 9는 제2 실시 형태에 관한 그 외의 실시 형태의 유체 제어 장치를 모식적으로 나타내는 단면도이다.

이하에, 본 발명에 관한 유체 제어 장치를 도면에 기초하여 설명한다.

본 발명에 관한 유체 제어 장치는, 예를 들면, 반도체 제조 라인 등에 조립되어 사용되는 것이다.

<제1 실시 형태>

본 실시 형태에 관한 유체 제어 장치(100)는, 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 유체가 흐르는 유로(L)를 내부에 가지는 보디 부재(10)와, 보디 부재(10)에 설치되고, 유로(L)를 흐르는 유체를 제어하는 각 기기(20)와, 보디 부재(10)를 가열하는 히터(30)와, 보디 부재(10)에 장착되고, 히터(30)를 유지하는 히터 유지 부재(40)를 구비하고 있다.

상기 보디 부재(10)는, 블록 모양의 것이다. 구체적으로는, 보디 부재(10)는, 직방체 모양의 것이다. 또, 보디 부재(10)는, 길이 방향의 일단면에 유로(L)로 유체를 도입하는 도입 포트(10a)를 구비하고 있음과 아울러, 길이 방향 타단면에 유로(L)로부터 유체를 도출하는 도출 포트(10b)를 구비하고 있다.

또, 상기 보디 부재(10)는, 길이 방향으로 연장되는 소정면을 설치면(S1)으로 하고, 당해 설치면(S1)에 대해, 각 기기(20)가 설치됨과 아울러, 히터 유지 부재(40)가 장착되도록 구성되어 있다. 또, 보디 부재(10)는, 설치면(S1)에 유로(L)로 퍼지 가스를 도입하는 퍼지 가스 도입 포트(10c)를 구비하고 있다.

상기 각 기기(20)는, 유로(L)를 흐르는 유체를 제어하는 것이다. 구체적으로는, 본 실시 형태의 각 기기(20)는, 제1 공압(空壓) 밸브(20a), 예비 가열 탱크(20b), 제1 유량 조절 밸브(20c), 가열 탱크(20d), 압력 센서(20e), 제2 공압 밸브(20f), 제3 공압 밸브(20g), 제2 유량 조절 밸브(20h), 유량 센서(20i)를 구비하고 있다. 또, 이들 각 기기(20)는, 보디 부재(10)의 설치면(S1)에 대해, 유로(L)의 상류측으로부터 하류측을 향해 이 순서대로 설치되어 있다.

그리고, 상기 본 실시 형태의 각 기기(20)는, 도입 포트(10a)로부터 도입된 액체 재료의 유량을 제1 유량 조절 밸브(20c)에 의해서 조절하면서 예비 가열 탱크(20b) 및 가열 탱크(20d)에서 가열하여 재료 가스로 하고, 재료 가스의 유량을 유량 센서(20i)의 측정값이 설정값에 가까워지도록 제2 유량 조절 밸브(20h)에 의해서 피드백 제어하여 도출 포트(10b)로부터 도출하도록 구성되어 있다.

상기 히터(30)는, 편평판(偏平板) 모양의 것이다. 히터(30)로서는, 예를 들면, 러버(rubber) 히터를 이용할 수 있다.

상기 히터 유지 부재(40)는, 보디 부재(10)의 설치면(S1)에 장착되고, 보디 부재(10)의 설치면(S1)과 인접하는 측면(S2)을 따르도록 히터(30)를 유지하는 것이다. 여기서, 측면(S2)은, 보디 부재(10)의 설치면(S1)에 대해서 길이 방향을 따라서 인접하는 면이고, 본 실시 형태의 측면(S2)은, 설치면(S1)에 대해서 직교하고 있다. 또, 본 실시 형태에서는, 두 개의 히터 유지 부재(40)를 보디 부재(10)에 장착하는 구조로 되어 있지만, 양 히터 유지 부재(40)의 구조 및 그 장착 구조는, 보디 부재(10)의 길이 방향으로 연장되는 중심선(α)에 대해서 대칭 구조로 되어 있기 때문에, 이하에서는, 일방의 히터 유지 부재(40)로 좁혀 구조를 설명한다.

상기 히터 유지 부재(40)는, 구체적으로는, 보디 부재(10)의 설치면(S1)과 대향하는 대향면(40s)을 구비한 한 쌍의 장착부(40a)와, 각 장착부(40a)에 걸쳐 놓여지는 히터 유지부(40b)를 구비하고 있다. 또, 히터 유지부(40b)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 한 쌍의 장착부(40a)의 대향면(40s)을 설치면(S1)에 대향시킨 상태에서, 보디 부재(10)의 측면(S2)을 따르도록 연장되어 있다. 또, 히터 유지 부재(40)는, 각 장착부(40a)의 대향면(40s)이 압압 기구(50)에 의해서 설치면(S1)으로 향하여 압압되도록 구성되어 있다. 본 실시 형태의 히터 유지 부재(40)는, 2개의 장착부(40a)를 구비하고 있지만, 장착부(40a)를 1개 또는 3개 이상 구비하는 것이라도 좋다.

또, 상기 히터(30)는, 측면(S2)과 대향하는 히터 유지부(40b)의 일방면(40x)과 반대측의 타방면(40y)에 마련되어 있다. 히터(30)는, 히터 유지부(40b)의 일방면(40x)에 마련해도 좋고, 일방면(40x) 및 타방면(40y)의 쌍방에 마련해도 좋다.

상기 압압 기구(50)는, 대향면(40s)을 설치면(S1)으로 향하여 압압하는 것이다. 구체적으로는, 압압 기구(50)는, 보디 부재(10)의 설치면(S1)에 마련된 나사 구멍(50a)과, 히터 유지 부재(40)의 장착부(40a)를 관통하고, 히터 유지부(40b)로부터 멀어지는 방향(일방면(40x)과 교차하는 방향)으로 연장되는 긴 구멍(50b)과, 긴 구멍(50b)에 통과된 상태에서, 나사 구멍(50a)에 나사 고정되는 볼트 모양의 나사 부재(50c)를 구비하고 있다. 또, 나사 부재(50c)는, 긴 구멍(50b)을 통과하는 축부(50x)와, 긴 구멍(50b)을 통과하지 않는 헤드부(50y)를 가지고 있다.

그리고, 상기 압압 기구(50)는, 나사 부재(50c)를 나사 구멍(50a)에 대해서 비틀어 넣는 것에 의해, 긴 구멍(50b)에 걸리는 나사 부재(50c)의 헤드부(50y)에 의해서 장착부(40a)의 대향면(40s)을 설치면(S1)으로 향하여 압압하도록 구성되어 있다.

또, 상기 대향면(40s)과 상기 설치면(S1)과의 사이에는, 슬라이드 기구(60)가 개재되어 있다. 또, 슬라이드 기구(60)는, 압압 기구(50)의 압압에 의해, 히터 유지부(40b)에 유지된 히터(30)가 측면(S2)측으로 향하도록, 히터 유지 부재(40)를 보디 부재(10)에 대해서 슬라이드시키는 것이다.

구체적으로는, 상기 슬라이드 기구(60)는, 설치면(S1)에 마련된 제1 접촉부(60a)와, 대향면(40s)에 마련된 제2 접촉부(60b)를 구비하는 것이다. 또, 제1 접촉부(60a)는, 설치면(S1) 중에서 대향면(40s)과 접촉하는 부분에 의해서 구성되고, 예를 들면, 면 형상이나 돌기 형상의 것이다. 또, 제2 접촉부(60b)는, 대향면(40s)중에서 설치면(S1)과 접촉하는 부분에 의해서 구성되고, 예를 들면, 면 형상이나 돌기 형상의 것이다. 그리고, 제1 접촉부(60a)와 제2 접촉부(60b)는, 압압 기구(50)에 의해서 대향면(40s)이 설치면(S1)으로 향하여 압압된 경우에, 서로 슬라이드 가능하게 접촉하도록 구성되어 있다.

본 실시 형태의 상기 제1 접촉부(60a) 및 상기 제2 접촉부(60b)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 압압 기구(50)의 압압 방향(X)에 대해서 경사지는 면 모양(구체적으로는, 평면 모양)으로 형성되어 있다. 또, 그리고, 제1 접촉부(60a) 및 제2 접촉부(60b)는, 서로 면접촉하도록 구성되어 있다. 또, 제1 접촉부(60a)를 구성하는 면은, 측면(S2)과 이루는 각도(θ1)가 예각이 되도록 경사져 있다. 또, 제2 접촉부(60b)를 구성하는 면은, 일방면(40x)과 이루는 각도(θ2)가 예각이 되도록 경사져 있다. 또, 당해 측면(S2)은, 제1 접촉부(60a) 및 제2 접촉부(60b)를 접촉시키는 것에 의해, 설치면(S1)에 장착되는 히터 유지 부재(40)에 의해서 유지된 히터(30)가 대향하는 면을 나타내고 있다. 덧붙여서, 제1 접촉부(60a)를 구성하는 면은, 측면(S2)이 향하는 방향(도 3 중, 좌측 방향)과 반대 방향(도 3 중, 우측 방향)측으로 향하도록 경사져 있고, 제2 접촉부(60b)를 구성하는 면은, 일방면(40x)이 향하는 방향(도 3 중, 우측 방향)과 반대 방향(도 3 중, 좌측 방향)측으로 향하도록 경사져 있다. 환언하면, 제1 접촉부(60a)와 제2 접촉부(60b)를 접촉시킨 상태에서, 제2 접촉부(60b)를 구성하는 면은, 측면(S2)이 향하는 방향(도 3 중, 좌측 방향)과 동일 방향측으로 향하도록 경사져 있다. 즉, 제1 접촉부(60a)와 제2 접촉부(60b)는, 서로 접촉시킨 상태에서 적어도 일방이 압압 기구(50)의 압압 방향(X)에 대해서 경사지는 면 모양으로 형성되어 있고, 제1 접촉부(60a)가 면 모양으로 형성되어 있는 경우에는, 당해 면이 측면(S2)이 향하는 방향과 반대 방향측을 향하도록 경사지고, 제2 접촉부(60b)가 면 모양으로 형성되어 있는 경우에는, 당해 면이 측면(S2)이 향하는 방향과 동일 방향측(일방면(40x)이 향하는 방향과 반대 방향측)으로 향하도록 경사져 있으면 좋다.

또, 상기 제1 접촉부(60a) 또는 상기 제2 접촉부(60b)는, 적어도 일방이 압압 기구(50)의 압압 방향(X)에 대해서 경사지는 면 모양으로 형성되어 있으면 좋고, 당해 일방의 면에 대해서 타방이 점접촉 또는 선접촉하도록 구성해도 괜찮다. 이 경우, 제1 접촉부(60a) 및 제2 접촉부(60b)가, 2개소 이상에서 접촉하도록 구성하는 것이 바람직하다.

또, 상기 제1 접촉부(60a) 및 상기 제2 접촉부(60b)를 접촉시킨 상태에서, 히터 유지부(40b)는, 일방면(40x)이 측면(S2)과 평행이거나, 혹은, 일방면(40x)이 대향면(40s)으로부터 측면(S2)측을 향해 경사져 있다.

또, 본 실시 형태의 보디 부재(10)는, 설치면(S1)에서의 압력 센서(20e) 및 제2 공압 밸브(20f)의 사이와, 제3 공압 밸브(20g) 및 제2 유량 조절 밸브(20h)와의 사이에, 제1 접촉부(60a)를 마련하고 있다.

다음으로, 본 실시 형태에서의 보디 부재(10)에 대한 히터 유지 부재(40)의 장착 방법을 도 4에 근거하여 설명한다.

먼저, 도 4의 (a)에 나타내는 바와 같이, 히터 유지 부재(40)를, 대향면(40s)이 설치면(S1)과 대향하도록 배치한다. 그리고, 제1 접촉부(60a) 및 제2 접촉부(60b)를 서로 접촉시킨다.

다음으로, 나사 부재(50c)의 축부(50x)를, 긴 구멍(50b)에 통과한 상태에서 나사 구멍(50a)에 나사 고정한다. 그리고, 나사 부재(50c)를 나사 구멍(50a)에 대해서 비틀어 넣는 것에 의해, 나사 부재(50c)의 헤드부(50y)에 의해서 장착부(40a)를 압압하고, 제2 접촉부(60b)를 제1 접촉부(60a)를 향해서 압압한다.

이것에 의해, 도 4의 (b)에 나타내는 바와 같이, 제1 접촉부(60a)와 제2 접촉부(60b)와의 사이에 슬라이드가 생긴다. 그 결과, 히터 유지 부재(40)가, 보디 부재(10)에 대해서 슬라이드한다. 그리고, 히터 유지부(40b)에 유지된 히터(30)가, 당해 히터 유지부(40b)를 통해서 측면(S2)으로 간접적으로 밀착한다.

<제2 실시 형태>

본 실시 형태에 관한 유체 제어 장치(100)는, 도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 유체가 흐르는 유로(L)를 내부에 가지는 보디 부재(10)와, 보디 부재(10)에 설치되고, 유로(L)를 흐르는 유체를 제어하는 각 기기(20)와, 보디 부재(10)를 가열하는 히터(30)와, 히터(30)를 보디 부재(10)에 밀착시켜 유지하는 유지 기구(M)를 구비하고 있다.

상기 보디 부재(10)는, 블록 모양의 것이다. 구체적으로는, 보디 부재(10)는, 직방체 모양의 것이다. 또, 보디 부재(10)는, 길이 방향으로 연장되는 설치면(S1)과, 길이 방향으로 연장되는 설치면(S1)과 인접하는 한 쌍의 측면(S2)을 구비하고 있다. 그리고, 보디 부재(10)는, 당해 설치면(S1)에 대해, 각 기기(20)가 설치되도록 구성되어 있다. 따라서, 한 쌍의 측면(S1)은, 서로 반대 방향을 향하고 있다.

상기 유지 기구(M)는, 한 쌍의 히터 유지판(70)과, 걸림 구조(80)와, 연결 구조(90)를 구비하고 있다.

상기 한 쌍의 히터 유지판(70)은, 보디 부재(10)의 각각의 측면(S2)과 대향하고, 당해 측면(S2)과의 사이에서 히터(30)를 유지하는 것이다. 예를 들면, 히터 유지판(70)은, 탄성을 가지는 판재를 절곡하여 형성된 것이다.

상기 히터 유지판(70)은, 구체적으로는, 보디 부재(10)의 측면(S2)을 따라서 연신(延伸)되는 유지부(71)와, 유지부(71)로부터 보디 부재(10)의 설치면(S1)이 향하는 방향(X)(도 5의 상부)과 반대 방향으로 연장되는 일단부에 형성된 걸이부(72)와, 유지부(71)로부터 설치면(S1)이 향하는 방향(X)으로 연장되는 타단부에 형성된 대향부(73)를 구비하고 있다. 그리고, 히터 유지판(70)은, 유지부(71)와 측면(S2)과의 사이에서 히터(30)를 사이에 두고 유지하도록 구성되어 있다. 또, 설치면(S1)이 향하는 방향은, 환언하면, 설치면(S1)에 설치된 각 기기(20)의 기립 방향이라고도 말할 수 있다.

구체적으로는, 상기 유지부(71)는, 보디 부재(10)와 당해 보디 부재(10)의 설치면(S1)에 설치된 각 기기(20)에 대향하도록 연신되어 있다. 그리고, 유지부(71)에는, 측면(S2)과 대향하는 내면에 히터(30)가 장착되어 있다. 상기 걸이부(72)는, 히터 유지판(70)의 일단부를 하향 L자 모양으로 절곡하여 형성되어 있다. 또, 상기 대향부(73)는, 히터 유지판(70)의 타단부를 직각으로 절곡하여 형성되어 있고, 설치면(S1)과 대향하도록 구성되어 있다. 또, 대향부(73)에는, 연결 구조(90)를 구성하는 관통공(73h)이 형성되어 있다.

상기 걸림 구조(80)는, 보디 부재(10)에 마련되고, 한 쌍의 히터 유지판(70)의 일단부가 걸리는 것이다. 상기 걸림 구조(80)는, 구체적으로는, 보디 부재(10)의 설치면(S1)과 반대면(S3)을 따라서 연장되는 장척 직사각형 모양을 이루며, 당해 반대면(S3)보다도 넓은 폭으로 형성된 플레이트(81)와, 플레이트(81)의 길이 방향으로 연장되는 양 변으로부터 세워져 보디 부재(10)의 측면(S2)과 대향하는 걸림편(82)을 구비하고 있다.

상기 플레이트(81)는, 보디 부재(10)의 상기 반대면(S3)에 고정된다. 상기 걸림편(82)은, 보디 부재(10)의 측면(S2)을 따르도록 연장됨과 아울러, 당해 측면(S2)과 대향하는 걸림면(82s)을 구비하고 있다. 그리고, 걸림면(82s)과 측면(S2)과의 사이의 거리는, 히터(30)의 두께와 동일 거리 또는 당해 두께보다도 짧은 거리로 되어 있다. 또, 걸림 구조(80)는, 본 실시 형태와 같이 보디 부재(10)와 다른 부재에 의해서 구성해도 좋고, 보디 부재(10)와 일체로 마련해도 좋다.

상기 연결 구조(90)는, 한 쌍의 히터 유지판(70)의 설치면(S1)이 향하는 방향으로 연장되는 타단부끼리를 서로 연결하는 것이다. 연결 구조(90)는, 구체적으로는, 대향부(73)에 형성된 관통공(73h)과, 각 대향부(73) 사이에 걸쳐 놓여지는 연결판(91)과, 관통공(73h)에 통과된 상태에서 연결판(91)에 나사 고정되는 나사(92)를 구비하고 있다. 연결 구조(90)는, 설치면(S1)과 당해 설치면(S1)에 설치된 각 기기(20)를 사이에 두고 대향하는 위치에서, 한 쌍의 히터 유지판(70)의 타단부에 형성된 대향부(73)를 서로 연결하도록 되어 있다.

그리고, 상기 한 쌍의 히터 유지판(70)은, 걸이부(72)(일단부)가 걸림 구조(80)에 걸려짐과 아울러, 대향부(73)(타단부)가 연결 구조(90)에 의해서 연결된 상태에서, 서로 대향하는 방향으로 향해 휘도록 구성되어 있다. 이것에 의해, 히터(30)가, 휜 히터 유지판(70)의 탄성에 의해서 측면(S2)으로 향하여 압압된 상태가 된다.

또, 상기 히터 유지판(70), 상기 플레이트(81) 및 상기 연결판(91)은, 모두 길이 방향의 길이가 보디 부재(10)의 길이 방향의 길이와 동일 길이 또는 당해 길이보다도 길게 되어 있다. 이것에 의해, 유지 기구(M)는, 보디 부재(10)의 측면(S2)에 히터(30)를 유지한 상태에서, 보디 부재(10) 및 각 기기(20)를 내부에 수용하는 케이스를 구성하도록 되어 있다.

다음으로, 본 실시 형태에 관한 유체 제어 장치(100)의 조립 순서를 설명한다.

먼저, 도 6의 (a)에 나타내는 바와 같이, 걸림 구조(80)를 구성하는 플레이트(81)를, 보디 부재(10)의 설치면(S1)과 반대면(S3)에 고정한다. 이 경우, 걸림편(82)을, 보디 부재(10)의 측면(S2)으로부터 이간하도록 배치한다. 다음으로, 한 쌍의 히터 유지판(70)의 걸이부(72)를, 걸림면(82s)과 측면(S2)과의 사이에 삽입하여 당해 걸림편(82)에 걸리게 한다. 다음으로, 도 6의 (b)에 나타내는 바와 같이, 한 쌍의 히터 유지판(70)을, 걸림편(82)과의 걸림 위치를 지점으로 하고, 유지부(71)가 측면(S2)과 대략 평행이 되는 위치까지 회전시킨다. 이것에 의해, 히터(30)는, 히터 유지판(70)의 탄성에 의해서 측면(S2)에 압압되고, 보디 부재(10)의 측면(S2)에 밀착한 상태가 된다. 마지막으로, 도 6의 (c)에 나타내는 바와 같이, 한 쌍의 히터 유지판(70)의 대향부(73)를 연결 구조(90)에 의해서 서로 연결한다. 구체적으로는, 한 쌍의 히터 유지판(70)을, 대향부(73)의 관통공(73h)에 통과한 나사(92)를 연결판(91)에 나사 고정하는 것에 의해서 연결한다. 이것에 의해, 히터(30)는, 히터 유지판(70)의 유지부(71)와 보디 부재(10)의 측면(S2)과의 사이에 끼워지고, 당해 측면(S2)에 밀착한 상태로 유지된다.

이러한 구성에 의하면, 히터 유지판(70)이, 그 탄성 복원력에 의해서 히터(30)를 측면(S2)으로 압압하여 유지하기 때문에, 보디 부재(10)에 대해서 히터(30)를 밀착시킬 수 있다. 이것에 의해, 히터(30)의 열이, 보디 부재(10)로 효율 좋게 전달되게 된다. 또, 유지 기구(M)에 의해서 보디 부재(10) 및 각 기기(20)를 수용하는 케이스를 겸할 수 있고, 별도 보디 부재(10)에 히터(30)를 유지하기 위한 전용 부품을 준비할 필요가 없어, 부품수를 저감할 수 있다. 또, 한 쌍의 히터 유지판(70)의 설치면(S1)과 대향하는 대향부(73)끼리를 연결 구조(90)에 의해서 연결하는 구성으로 했으므로, 보디 부재(10)의 설치면(S1)측으로부터 연결 구조(90)에 의한 양 히터 유지판(70)의 연결을 해제할 수 있다.

또, 상기 걸림 구조(80)도, 다른 구조의 것이라도 좋고, 예를 들면, 보디 부재(10)의 측면(S2)에 고정되는 구조의 것이라도 좋다. 또, 본 실시 형태에서는, 플레이트(81)에 마련된 걸림편(82)에 히터 유지판(70)이 걸리는 구성으로 하고 있지만, 예를 들면, 플레이트(81)에 마련된 걸림 구멍에 히터 유지판(70)이 걸리는 구성으로 해도 좋다. 또, 상기 연결 구조(90)는, 다른 구조의 것이라도 좋고, 예를 들면, 한 쌍의 히터 유지판(70)의 타단부에 서로 걸리는 훅(hook)을 마련한 구조의 것이라도 좋다.

<그 외의 실시 형태>

제1 실시 형태에 관한 그 외의 실시 형태로서는, 도 7의 (a)에 나타내는 바와 같이, 히터 유지 부재(40)가, 히터 유지부(40b)의 일방면(40x)을 대향면(40s)으로부터 측면(S2)측으로 향해 경사지도록 구성해도 괜찮다. 이러한 것이면, 압압 기구(50)에 의해서 대향면(40s)을 설치면(S1)으로 향하여 압압시킨 경우에, 히터 유지부(40b)의 적어도 일부가 측면(S2)에 대해서 가압되어, 측면(S2)에 대한 밀착력이 증대된다.

또, 상기 제1 실시 형태에서는, 히터 유지 부재(40)를 1개의 부재에 의해서 구성하고 있지만, 도 7의 (b)에 나타내는 바와 같이, 히터 유지 부재(40)를 복수의 부재(도 7의 (b)에서는, 2개의 부재)에 의해서 구성해도 괜찮다. 또, 마찬가지로, 상기 실시 형태에서는, 보디 부재(10)를 1개의 부재로 구성하고 있지만, 복수의 부재에 의해서 구성해도 괜찮다.

또, 상기 제1 실시 형태에서는, 제1 접촉부(60a) 및 제2 접촉부(60b)를 평행한 평면 모양으로 구성하고 있지만, 도 8의 (a)에 나타내는 바와 같이, 평행한 곡면 모양으로 구성해도 괜찮다.

또, 도 8의 (b)에 나타내는 바와 같이, 설치면(S1) 또는 대향면(40s) 중 적어도 일방에, 제1 접촉부(60a) 및 제2 접촉부(60b)와는 별도로, 압압 방향(X)에 대해서 직교하는 접촉면(CS1, CS2)을 마련해도 좋다. 이러한 것이면, 접촉면(CS1, CS2)의 접촉에 의해, 압압 기구(50)에 의한 압압을 규제할 수 있음과 아울러, 설치면(S1)에 대한 대향면(40s)의 위치 결정을 행할 수 있다.

또, 상기 제1 실시 형태에서는, 히터 유지 부재(40)를 보디 부재(10)의 설치면(S1)에 장착하는 구성으로 하고 있지만, 설치면(S1)과 반대면(설치면(S1)을 보디 부재(10)의 상면으로 한 경우에서의 하면)에 장착하는 구성으로 해도 좋다.

또, 상기 제1 실시 형태에서는, 히터 유지부(40b)의 타방면(40y)에 히터(30)를 마련하고 있지만, 히터 유지부(40b)의 일방면(40x)에 히터(30)를 마련하고, 타방면(40y)에 단열재를 마련해도 괜찮다. 이러한 것이면, 히터(30)의 열이 보다 효율적으로 보디 부재(10)로 전달되게 된다.

또, 상기 제1 실시 형태에 관한 그 외의 실시 형태로서, 제1 접촉부(60a)와 제2 접촉부(60b)와의 사이에, 제1 접촉부(60a) 및 제2 접촉부(60b)보다도 마찰 저항이 낮은 와셔 부재를 개재시켜도 괜찮다. 게다가, 제1 접촉부(60a)의 표면에 당해 제1 접촉부(60a)보다도 마찰 저항이 낮은 재료를 적층해도 좋고, 제2 접촉부(60b)의 표면에 당해 제2 접촉부(60b)보다도 마찰 저항이 낮은 재료를 적층해도 괜찮다. 이러한 것이면, 히터 유지 부재(40)가, 보디 부재(10)에 대해서 슬라이드하기 쉬워져, 작업성이 향상된다. 또, 제1 접촉부(60a) 및 제2 접촉부(60b)에 대해서 재료가 고착되는 것도 방지할 수 있다.

또, 상기 제2 실시 형태에서는, 연결 구조(90)에 의해서 한 쌍의 히터 유지판(70)의 타단부끼리를 연결하는 구조로 했지만, 도 9에 나타내는 바와 같이, 연결 구조(90)에 의해서 히터 유지판(70)의 타단부(대향부(73))를 보디 부재(10)(구체적으로는, 보디 부재(10)의 설치면(S1))에 연결하는 구조로 해도 좋다. 이 경우, 연결 구조(90)는, 예를 들면, 대향부(73)에 형성된 관통공(73h)과, 보디 부재(10)의 설치면(S1)에 마련된 나사 구멍(10h)과, 관통공(73h)에 통과된 상태에서 나사 구멍(10h)에 나사 고정되는 나사(92)를 구비하도록 구성하면 좋다.

그 외, 본 발명은 상기 각 실시 형태에 한정되지 않고, 그 취지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지의 변형이 가능한 것은 말할 필요도 없다.

100 : 유체 제어 장치 10 : 보디 부재
S1 : 설치면 S2 : 측면
20 : 각 기기 30 : 히터
40 : 히터 유지 부재 40a : 장착부
40s : 대향면 40b : 히터 유지부
40x : 일방면 40y : 타방면
50 : 압압 기구 50a : 나사 구멍
50b : 긴 구멍 50c : 나사 부재
60 : 슬라이드 기구 60a : 제1 접촉부
60b : 제2 접촉부 M : 유지 기구
70 : 히터 유지판 80 : 걸림 구조
90 : 연결 구조

Claims (9)

1. 유체가 흐르는 유로를 내부에 가지는 블록 모양의 것이며, 상기 유로를 흐르는 유체를 제어하기 위한 각 기기가 설치된 설치면과, 상기 설치면과 인접하는 측면을 가지는 보디 부재와,
   상기 보디 부재를 가열하는 히터와,
   상기 보디 부재의 상기 설치면과 대향하는 대향면을 가지고, 상기 대향면을 상기 설치면에 대향시킨 상태에서, 상기 히터를 상기 측면을 따르도록 유지하는 히터 유지 부재와,
   상기 대향면을 상기 설치면으로 향하여 압압(押壓)하는 압압 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 설치면이, 상기 대향면에 접촉하는 제1 접촉부를 구비하는 것이고,
   상기 대향면이, 상기 제1 접촉부와 접촉하는 제2 접촉부를 구비하는 것이며,
   상기 제1 접촉부 또는 상기 제2 접촉부 중 적어도 일방이, 상기 압압 기구의 압압 방향에 대해서 경사지는 면 모양으로 형성되어 있는 유체 제어 장치.
3. 청구항 2에 있어서,
   상기 제1 접촉부 및 상기 제2 접촉부가, 상기 설치면과 상기 대향면과의 사이에 개재하는 슬라이드 기구를 구성하는 것이고,
   상기 슬라이드 기구가, 상기 압압 기구의 압압에 의해, 상기 히터가 상기 측면측으로 향하도록, 상기 히터 유지 부재를 상기 보디 부재에 대해서 슬라이드시키는 것인 유체 제어 장치.
4. 청구항 2에 있어서,
   상기 제1 접촉부 및 상기 제2 접촉부가, 서로 면접촉하도록 구성되어 있는 유체 제어 장치.
5. 청구항 1에 있어서,
   상기 히터 유지 부재가,
   상기 대향면을 가지는 장착부와,
   상기 장착부의 상기 대향면측으로부터 상기 측면을 따르도록 연장되는 히터 유지부를 구비하는 것이며,
   상기 히터가, 상기 히터 유지부의 상기 측면과 대향하는 일방면 또는 상기 일방면과 반대측인 타방면 중 적어도 일방에 마련되어 있는 유체 제어 장치.
6. 청구항 5에 있어서,
   상기 히터 유지 부재의 상기 일방면이, 상기 대향면으로부터 상기 측면측으로 향해 경사져 있는 유체 제어 장치.
7. 청구항 5에 있어서,
   상기 압압 기구가,
   상기 설치면에 마련된 나사 구멍과,
   상기 장착부를 관통하고, 상기 히터 유지부로부터 멀어지는 방향으로 연장되는 긴 구멍과,
   상기 긴 구멍에 통과된 상태에서, 상기 나사 구멍에 나사 고정되는 나사 부재를 구비하는 것인 유체 제어 장치.
8. 유체가 흐르는 유로를 내부에 가지는 블록 모양의 것이며, 상기 유로를 흐르는 유체를 제어하기 위한 각 기기가 설치된 설치면과, 상기 설치면과 인접하는 한 쌍의 측면을 구비하는 보디 부재와, 상기 각 측면을 따르도록 배치되는 히터와, 상기 히터를 상기 측면에 밀착시켜 유지하는 유지 기구를 구비하며,
   상기 유지 기구가,
   상기 보디 부재의 각각의 측면과 대향하고, 상기 측면과의 사이에서 상기 히터를 유지하는 한 쌍의 히터 유지판과,
   상기 보디 부재에 마련되고, 상기 한 쌍의 히터 유지판의 상기 설치면이 향하는 방향과 반대 방향으로 연장되는 일단부가 걸리는 걸림 구조와,
   상기 한 쌍의 히터 유지판의 상기 설치면이 향하는 방향으로 연장되는 타단부끼리를 서로 연결하는 연결 기구를 구비하며,
   상기 한 쌍의 히터 유지판의 일단부를 상기 걸림 구조에 걸리게 함과 아울러 타단부끼리를 상기 연결 기구에 의해 연결하는 것에 의해, 상기 히터가 상기 측면에 밀착하여 유지되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
9. 유체가 흐르는 유로를 내부에 가지는 블록 모양의 것이며, 상기 유로를 흐르는 유체를 제어하기 위한 각 기기가 설치된 설치면과, 상기 설치면과 인접하는 한 쌍의 측면을 구비하는 보디 부재와, 상기 측면을 따르도록 배치되는 히터와, 상기 히터를 상기 측면에 밀착시켜 유지하는 유지 기구를 구비하며,
   상기 유지 기구가,
   상기 보디 부재의 측면과 대향하고, 상기 측면과의 사이에서 상기 히터를 유지하는 히터 유지판과,
   상기 보디 부재에 마련되고, 상기 히터 유지판의 상기 설치면이 향하는 방향과 반대 방향으로 연장되는 일단부가 걸리는 걸림 구조와,
   상기 히터 유지판의 상기 설치면이 향하는 방향으로 연장되는 타단부를 상기 보디 부재와 연결하는 연결 기구를 구비하며,
   상기 한 쌍의 히터 유지판의 일단부를 상기 걸림 구조에 걸리게 함과 아울러 타단부를 상기 설치면에 상기 연결 기구에 의해 연결하는 것에 의해, 상기 히터가 상기 측면에 밀착하여 유지되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.

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