KR20200109055A - Maintenance unit of substrate transfer apparatus - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a maintenance device for a substrate transfer apparatus for transferring a substrate and, specifically, is configured to make work safe and convenient by easily transferring heavy weighted component or the like during a maintenance and a repair process. To achieve the purpose, the present invention provides a maintenance device installed in a substrate transfer apparatus including: a transfer arm supporting a substrate; an elevation unit for lifting and lowering the transfer arm; and a rotating unit for rotating the transfer arm. The maintenance device comprises: a beam which has one end fixated to an upper end surface of the elevation unit and extends to the outside of the elevation unit; a bearing which is fixated on one end of the beam and is mounted on the upper end surface of the elevation unit so as to support the beam to rotate; a trolley which is mounted on the beam to move in the longitudinal direction of the beam; and a chain block which is mounted on the trolley.

Description

기판 이송장치의 정비장치{Maintenance unit of substrate transfer apparatus}Maintenance unit of substrate transfer apparatus TECHNICAL FIELD

본 발명은 기판을 이송하는 기판 이송장치의 정비장치에 관한 것으로서, 특히 정비 및 보수 과정 중에 중량의 부품 등을 쉽게 이송할 수 있어 작업이 안전하며 편리하도록 구성한 것이다.The present invention relates to a maintenance apparatus for a substrate transfer device that transfers a substrate, and in particular, a heavy component can be easily transferred during the maintenance and repair process, so that the operation is safe and convenient.

일반적으로 디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정은 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(substrate)을 이용하여 이루어진다. 예컨대, 상기 제조 공정은 기판 상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. In general, display devices, solar cells, semiconductor devices, etc. (hereinafter referred to as'electronic components') are manufactured through various processes. This manufacturing process is performed using a substrate for manufacturing the electronic component. For example, the manufacturing process may include a deposition process for depositing a thin film such as a conductor, a semiconductor, or a dielectric on a substrate, and an etching process for forming the deposited thin film in a predetermined pattern.

이러한 제조 공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어진다. 기판 이송장치는 상기 공정챔버들 간에 상기 기판을 이송하기 위한 것이다.These manufacturing processes are performed in the process chamber performing the corresponding process. The substrate transfer device is for transferring the substrate between the process chambers.

도 1은 기판 이송장치를 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing a substrate transfer device.

도 1에 도시된 바와 같이, 기판 이송장치(1)는 기판을 지지하는 이송암(10), 상기 이송암(10)을 승강시키기 위한 승강부(20) 및 상기 이송암(10)을 회전시키기 위한 선회부(30)로 구성된다.As shown in Fig. 1, the substrate transfer device 1 rotates the transfer arm 10 supporting the substrate, the lifting unit 20 for raising and lowering the transfer arm 10, and the transfer arm 10. It consists of a turning unit 30 for.

상기 이송암(10)은 상기 기판을 지지한 상태에서 상기 기판을 챔버(미도시)를 향해 이송한다. 상기 이송암(10)은 상기 기판을 수평 방향으로 이송한다. 상기 이송암(10)은 상기 승강부(20)에 결합된다.The transfer arm 10 transfers the substrate toward a chamber (not shown) while supporting the substrate. The transfer arm 10 transfers the substrate in a horizontal direction. The transfer arm 10 is coupled to the elevating part 20.

상기 승강부(20)는 상기 이송암(10)을 승강시킨다. 상기 승강부(20)가 상기 이송암(10)을 승강시킴에 따라, 상기 기판도 승강된다. 상기 승강부(20)는 상기 선회부(30)에 결합된다.The elevating part 20 elevates the transfer arm 10. As the elevating part 20 elevates the transfer arm 10, the substrate is also elevated. The lifting part 20 is coupled to the turning part 30.

상기 선회부(30)는 상기 승강부(20)를 회전시킨다. 상기 선회부(30)가 상기 승강부(20)를 선회시킴에 따라, 상기 이송암(10) 및 상기 기판이 회전하게 된다.The turning part 30 rotates the lifting part 20. As the pivoting part 30 pivots the lifting part 20, the transfer arm 10 and the substrate are rotated.

보다 구체적으로, 승강부(20)는 선회부(30)에 결합되어 수직하게 위치하는 승강지지부(21) 그리고 승강지지부(21)를 따라 수직방향으로 이동하며 이송암(10)이 장착된 승강이동부(22)로 구분된다. 경우에 따라서는 승강이동부(22)에 장착된 이송암(10)이 승강이동부(22)의 길이방향으로 수직 이동 가능하게 구성할 수도 있고, 다르게는 이송암(10)이 승강지지부(21)에 장착된 상태로 승강지지부(21)의 길이방향 즉 수직방향으로 이동하게 구성할 수도 있다. 이는 기판 이송장치(1)의 용량에 따라 승강부(20)와 이송암(10)의 결합관계를 달리 할 수 있다.More specifically, the elevating unit 20 is coupled to the turning unit 30 to move in a vertical direction along the elevating support 21 and the elevating support 21 and mounted with a transfer arm 10 It is divided into (22). In some cases, the transfer arm 10 mounted on the lifting moving part 22 may be configured to be vertically movable in the longitudinal direction of the lifting moving part 22, otherwise the transfer arm 10 is attached to the lifting support part 21. It may be configured to move in the longitudinal direction, that is, the vertical direction of the lifting support part 21 in a mounted state. This may vary the coupling relationship between the lifting unit 20 and the transfer arm 10 according to the capacity of the substrate transfer device 1.

반면에, 이송암(10)이 상하방향으로 이동하기 위해서는 선회부(30)에 고정된 승강지지부(21)가 반드시 위치하여야 한다.On the other hand, in order for the transfer arm 10 to move in the vertical direction, the lifting support part 21 fixed to the turning part 30 must be positioned.

이와 같이 구성된 기판 이송장치(1)에 있어서, 주기적인 점검을 통해 유지관리되어야 하며, 또는 고장이 발생하거나 부품의 교체가 필요할 경우에는 기판 이송장치(1)를 정지시킨 상태에서 작업자가 부품을 이송하여 교체하여야 한다.In the substrate transfer device 1 configured as described above, maintenance must be performed through periodic inspection, or if a failure occurs or parts need to be replaced, the operator transfers the parts while the substrate transfer device 1 is stopped. Should be replaced.

종래에는 작업자가 중량의 부품을 들고 이동하게 됨에 따라 부상의 위험이 있다. 부품을 바퀴가 달린 카트 등에 담아 이송함에 있어서도, 기판 이송장치가 1축 방향으로 이동할 수 있게 설치된 레일 등에 간섭되어 부품 등의 이송에 어려움이 발생한다.Conventionally, there is a risk of injury as an operator moves with a heavy component. In the case of transferring parts by placing them in a cart with wheels, etc., the board transfer device interferes with rails installed so as to move in the uniaxial direction, causing difficulty in transferring parts.

대한민국 공개특허공보 제10-2015-0080749호(공개일; 2015년07월10일)Korean Patent Application Publication No. 10-2015-0080749 (published date; July 10, 2015) 대한민국 공개특허공보 제10-2018-0029535호(공개일; 2018년03월21일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2018-0029535 (published date; March 21, 2018)

본 발명은 앞에서 설명한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 발명된 것으로서, 부품 등의 이송을 쉽게 하여 안전하고 신속한 보수 작업 등이 이루어질 수 있도록 구성한 기판 이송장치의 정비장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.The present invention was invented to solve the problems of the prior art as described above, and an object of the present invention is to provide a maintenance device for a substrate transfer device configured to facilitate safe and quick maintenance work by easily transferring parts, etc. have.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 기판을 지지하는 이송암, 상기 이송암을 승강시키기 위한 승강부 및 상기 이송암을 회전시키기 위한 선회부를 구비한 기판 이송장치에 설치되는 보수 장치로서, 승강부의 상단면에 일단이 고정되며 승강부 바깥쪽으로 연장된 빔과, 빔의 일단에 고정되며 승강부의 상단면에 장착되어 빔이 선회 가능하게 지지하는 베어링과, 빔에 장착되어 빔의 길이방향으로 이동하는 트롤리와, 트롤리에 장착된 체인 블록을 포함하는 것을 기술적 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is a maintenance device installed in a substrate transfer apparatus having a transfer arm for supporting a substrate, an elevating part for raising and lowering the transfer arm, and a turning part for rotating the transfer arm. One end is fixed to the top surface of the unit and a beam extending outward from the elevating unit, a bearing fixed to one end of the beam and mounted on the upper surface of the elevating unit to support the beam so that it can be rotated, and mounted on the beam to move in the longitudinal direction of the beam It is characterized in that it comprises a trolley and a chain block mounted on the trolley.

또한, 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 승강부의 상단면에는 상부 플레이트가 장착되고, 상부 플레이트에는 베어링 시트가 형성되며, 베어링 시트에 베어링이 장착된다.Further, according to a preferred embodiment of the present invention, an upper plate is mounted on an upper surface of the elevating portion, a bearing seat is formed on the upper plate, and a bearing is mounted on the bearing seat.

또한, 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 베어링은 크로스 롤러 베어링으로서, 베어링 시트에 크로스 롤러 베어링의 내륜과 외륜 중 어느 한 쪽이 장착되고, 다른 한 쪽에는 수평 빔이 고정된다.Further, according to a preferred embodiment of the present invention, the bearing is a cross roller bearing, in which one of the inner and outer rings of the cross roller bearing is mounted on the bearing seat, and the horizontal beam is fixed to the other.

또한, 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 수평 빔의 일단 저면에는 원판형 플랜지가 고정되고, 원판형 플랜지에 크로스 롤러 베어링의 내륜과 외륜 중 다른 한 쪽이 고정된다.Further, according to a preferred embodiment of the present invention, a disk-shaped flange is fixed to the bottom of one end of the horizontal beam, and the other of the inner and outer rings of the cross roller bearing is fixed to the disk-shaped flange.

또한, 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 빔의 회전을 잠금하는 잠금수단을 더 포함한다.Further, according to a preferred embodiment of the present invention, it further comprises a locking means for locking the rotation of the beam.

또한, 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 잠금수단은, 빔에 형성된 탭과, 탭에 체결된 볼트와, 볼트가 나사체결되도록 승강부의 상단면에 형성된 탭을 포함한다.In addition, according to a preferred embodiment of the present invention, the locking means includes a tab formed on the beam, a bolt fastened to the tab, and a tab formed on the upper surface of the elevating portion so that the bolt is screwed.

앞서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 이송장치의 정비장치는 선회부에 장착되어 상하방향으로 길이가 신축 가능한 승강부에 있어서, 승강지지부의 상단에 설치 및 해체가 가능한 보수 지그를 장착함으로써, 기판 이송장치의 정비 및 부품 교체가 필요할 시에 작업자가 수월하게 중량의 물품을 들어올려 이송할 수 있다. 따라서 작업의 효율성을 증대시킬 수 있다는 장점이 있다.As described above, the maintenance apparatus of the substrate transfer apparatus according to the present invention is mounted on a turning unit and is in an elevating unit that can be extended and contracted in a vertical direction, and by mounting a maintenance jig capable of being installed and dismantled on the upper end of the elevating support unit, the substrate When maintenance of the transport device and replacement of parts are required, the operator can easily lift and transport heavy goods. Therefore, there is an advantage that it can increase the efficiency of work.

또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치의 정비장치는 기판 이송장치의 정비 및 부품 교체를 위해 기판 이송장치가 정지된 상태에서 승강부에 설치되며, 기판 이송장치가 정상적으로 작동하기 전에 승강부에서 해체되어 기판 이송장치가 원활하게 작동할 수 있게 구성된다.In addition, the maintenance device for the substrate transfer device according to the present invention is installed on the elevator unit in the state where the substrate transfer device is stopped for maintenance of the substrate transfer device and replacement of parts, and is disassembled from the elevator unit before the substrate transfer device operates normally. The substrate transfer device is configured to operate smoothly.

도 1은 기판 이송장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 기판 이송장치에 설치된 정비장치를 나타낸 사시도이고,
도 3은 도 2에 도시된 정비장치의 분해 사시도이며,
도 4는 도 2에 도시된 정비장치의 작동관계를 나타낸 개념도이고,
도 5는 도 2에 도시된 정비장치의 잠금수단을 나타낸 개념도이다.1 is a perspective view showing a substrate transfer device.
2 is a perspective view showing a maintenance device installed in the substrate transfer device,
Figure 3 is an exploded perspective view of the maintenance device shown in Figure 2,
Figure 4 is a conceptual diagram showing the operating relationship of the maintenance device shown in Figure 2,
5 is a conceptual diagram showing a locking means of the maintenance device shown in FIG.

아래에서는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 정비장치의 양호한 실시예를 첨부한 도면을 참조로 하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of a maintenance apparatus for a substrate transfer apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도면에서, 도 2는 기판 이송장치에 설치된 정비장치를 나타낸 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 정비장치의 분해 사시도이며, 도 4는 도 2에 도시된 정비장치의 작동관계를 나타낸 개념도이고, 도 5는 도 2에 도시된 정비장치의 잠금수단을 나타낸 개념도이다.In the drawings, Figure 2 is a perspective view showing a maintenance device installed in the substrate transfer device, Figure 3 is an exploded perspective view of the maintenance device shown in Figure 2, Figure 4 is a conceptual diagram showing the operating relationship of the maintenance device shown in Figure 2 5 is a conceptual diagram showing a locking means of the maintenance device shown in FIG.

도 2에 도시된 바와 같이, 기판 이송장치(1)는 기판을 지지하는 이송암(10), 상기 이송암(10)을 승강시키기 위한 승강부(20) 및 상기 이송암(10)을 회전시키기 위한 선회부(30)로 구성된다.As shown in FIG. 2, the substrate transfer device 1 rotates the transfer arm 10 supporting the substrate, the lifting part 20 for raising and lowering the transfer arm 10, and the transfer arm 10 It consists of a turning unit 30 for.

그리고 승강부(20)는 선회부(30)에 결합되어 수직하게 위치하는 승강지지부(21) 그리고 승강지지부(21)를 따라 수직방향으로 이동하며 이송암(10)이 장착된 승강이동부(22)로 구분된다. 경우에 따라서는 승강이동부(22)에 장착된 이송암(10)이 승강이동부(22)의 길이방향으로 수직 이동 가능하게 구성할 수도 있고, 다르게는 이송암(10)이 승강지지부(21)에 장착된 상태로 승강지지부(21)의 길이방향 즉 수직방향으로 이동하게 구성할 수도 있다. 이는 기판 이송장치(1)의 용량에 따라 승강부(20)와 이송암(10)의 결합관계를 달리할 수 있다.And the elevating unit 20 is coupled to the turning unit 30 to move in a vertical direction along the vertically positioned elevating support portion 21 and the elevating support portion 21, and the elevating moving unit 22 equipped with a transfer arm 10 It is divided into In some cases, the transfer arm 10 mounted on the lifting moving part 22 may be configured to be vertically movable in the longitudinal direction of the lifting moving part 22, otherwise the transfer arm 10 is attached to the lifting support part 21. It may be configured to move in the longitudinal direction, that is, the vertical direction of the lifting support part 21 in a mounted state. This may vary the coupling relationship between the lifting unit 20 and the transfer arm 10 according to the capacity of the substrate transfer device 1.

한편, 승강부(20) 중에서 승강지지부(21)는 선회부(30)에 장착된 상태로 상하방향으로 이동 없이 선회부(30)에 의해 선회 이동만 이루어진다.On the other hand, among the lifting parts 20, the lifting support part 21 is mounted on the turning part 30 and is only pivoted by the turning part 30 without moving in the vertical direction.

본 발명에 따른 기판 이송장치의 정비장치는 승강지지부(21)에 장착된다.The maintenance device of the substrate transfer device according to the present invention is mounted on the lifting support unit 21.

기판 이송장치의 정비장치(100)는 승강지지부(21)의 상면에 장착되는 베어링(130)과, 상기 베어링(130)에 일단이 고정되며 타단은 승강지지부(21)의 외측방향으로 연장된 수평 빔(140)과, 수평 빔(140)에 장착되어 수평 빔(140)을 따라 이동하는 트롤리(150)와, 트롤리(150)에 결합된 체인 블록(160)을 포함한다.The maintenance device 100 of the substrate transfer device includes a bearing 130 mounted on the upper surface of the lifting support part 21, and one end is fixed to the bearing 130, and the other end is a horizontal extension extending outward of the lifting support part 21. It includes a beam 140, a trolley 150 mounted on the horizontal beam 140 and moving along the horizontal beam 140, and a chain block 160 coupled to the trolley 150.

아래에서는 이와 같이 구성된 기판 이송장치의 정비장치에 대해 구체적으로 설명한다.Hereinafter, a maintenance device of the substrate transfer device configured as described above will be described in detail.

도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 승강지지부(21)의 상면에는 상부 플레이트(110)가 고정되고, 상부 플레이트(110)에는 크로스 롤러 베어링(CRB; Cross Roller Bearing)(130)이 장착된다. 크로스 롤러 베어링(130)을 장착하기 위해서 상부 플레이트(110)에는 베어링 시트(120)가 형성되며, 베어링 시트(120)에 크로스 롤러 베어링(130)이 안착된 상태로 크로스 롤러 베어링(130)의 외륜(132)은 베어링 시트(120)에 고정된다. 크로스 롤러 베어링(130)이 베어링 시트(120)에 고정된 상태에서 크로스 롤러 베어링(130)의 내륜(131)은 자유롭게 회전 가능하다.2 to 5, the upper plate 110 is fixed to the upper surface of the lifting support part 21, and a cross roller bearing (CRB) 130 is mounted on the upper plate 110. . In order to mount the cross roller bearing 130, a bearing seat 120 is formed on the upper plate 110, and the outer ring of the cross roller bearing 130 in a state in which the cross roller bearing 130 is seated on the bearing seat 120 132 is fixed to the bearing seat 120. In a state in which the cross roller bearing 130 is fixed to the bearing seat 120, the inner ring 131 of the cross roller bearing 130 is freely rotatable.

여기에서 크로스 롤러 베어링(130)의 외륜(132)과 내륜(131)에는 플랜지와 같이 볼트 홀(131H, 132H)들이 원주를 따라 등각으로 형성되며, 크로스 롤러 베어링(130)의 외륜(132)에 형성된 볼트 홀(132H)을 관통한 볼트가 베어링 시트(120)에 형성된 구멍(120H)에 삽입된 상태로 너트 체결되어 크로스 롤러 베어링(130)이 상부 플레이트(110)에 고정된다.Here, in the outer ring 132 and the inner ring 131 of the cross roller bearing 130, bolt holes 131H and 132H are formed at an equal angle along the circumference of the cross roller bearing 130, and the outer ring 132 of the cross roller bearing 130 The bolt passing through the formed bolt hole 132H is fastened with a nut while being inserted into the hole 120H formed in the bearing seat 120 so that the cross roller bearing 130 is fixed to the upper plate 110.

한편, 수평 빔(140)은 H빔으로서 하부 플랜지(141)의 저면에는 원판형 플랜지(143)가 고정된다.Meanwhile, the horizontal beam 140 is an H beam, and a disk-shaped flange 143 is fixed to the bottom surface of the lower flange 141.

여기에서 원판형 플랜지(143)는 크로스 롤러 베어링(130)의 내륜(131)과 대응하며 크로스 롤러 베어링(130)의 내륜(131)에 형성된 볼트 홀(131H)과 대응하여 볼트 홀(143H)이 원판형 플랜지(143)에 형성된다.Here, the disk-shaped flange 143 corresponds to the inner ring 131 of the cross roller bearing 130 and the bolt hole 143H corresponds to the bolt hole 131H formed in the inner ring 131 of the cross roller bearing 130. It is formed on the disk-shaped flange 143.

따라서 볼트가 원판형 플랜지(143)에 형성된 볼트 홀(143H)과 크로스 롤러 베어링(130)의 내륜(131)에 형성된 볼트 홀(131H)을 관통한 상태에서 너트가 체결되면, 크로스 롤러 베어링(130)의 내륜(131)과 원판형 플랜지(143)가 고정되고, 원판형 플랜지(143)가 고정된 수평 빔(140)은 내륜(131)의 회전에 의해 베어링(130)의 중심점을 기준으로 선회하게 된다.Therefore, when the nut is fastened while the bolt passes through the bolt hole 143H formed in the disk-shaped flange 143 and the bolt hole 131H formed in the inner ring 131 of the cross roller bearing 130, the cross roller bearing 130 ) Of the inner ring 131 and the disk-shaped flange 143 are fixed, the horizontal beam 140 to which the disk-shaped flange 143 is fixed is rotated based on the center point of the bearing 130 by the rotation of the inner ring 131 Is done.

이와 같이 구성된 수평 빔(140)에 있어서, 하부 플랜지(141)에는 트롤리(150)가 장착되어 수평 빔(140)의 길이방향으로 트롤리(150)가 이동 가능하며, 트롤리(150)에는 체인 블록(160)이 체결된다.In the horizontal beam 140 configured as described above, the trolley 150 is mounted on the lower flange 141 to move the trolley 150 in the longitudinal direction of the horizontal beam 140, and the trolley 150 has a chain block ( 160) is fastened.

트롤리(150)는 수평 빔(140)의 하부 플랜지(141)에 장착된 상태로 수평 빔(140)의 길이방향으로 이동 가능하며, 트롤리(150)의 이동과 함께 체인 블록(160) 또한 수평 빔(140)의 길이방향으로 이동 가능하다.The trolley 150 is mounted on the lower flange 141 of the horizontal beam 140 and can be moved in the longitudinal direction of the horizontal beam 140, and the chain block 160 is also a horizontal beam with the movement of the trolley 150. It can be moved in the longitudinal direction of 140.

아래에서는 이와 같이 구성된 기판 이송장치의 정비장치를 이용한 작업 관계에 대해 설명한다.Hereinafter, a work relationship using the maintenance device of the substrate transfer device configured as above will be described.

기판 이송장치(1)를 정비 또는 부품을 교체하기 위해서 기판 이송장치(1)의 작동을 정지시킨다.The operation of the substrate transfer device 1 is stopped in order to maintain the substrate transfer device 1 or to replace parts.

그리고 승강지지부(21)의 상부 플레이트(110)에 크로스 롤러 베어링(130)을 위치하고, 볼트를 크로스 롤러 베어링(130)의 외륜(132)에 형성된 볼트 홀(132H)과 베어링 시트(120)의 구멍(120H)에 삽입한 후 베어링 시트(120)의 저면에서 너트를 체결한다.And the cross roller bearing 130 is located on the upper plate 110 of the lifting support part 21, and the bolt is formed in the outer ring 132 of the cross roller bearing 130 and the bolt hole 132H and the hole of the bearing seat 120 After inserting it into (120H), fasten the nut at the bottom of the bearing seat 120.

그러면 크로스 롤러 베어링(130)은 베어링 시트(120)에 안착 고정된 상태가 된다.Then, the cross roller bearing 130 is seated and fixed to the bearing seat 120.

이 상태에서 수평 빔(140)의 원판형 플랜지(143)를 크로스 롤러 베어링(130)의 상면에 위치한다. 그리고 볼트를 크로스 롤러 베어링(130)의 내륜(131)에 형성된 볼트 홀(131H)과 원판형 플랜지(143)의 볼트 홀(143H)에 삽입시킨 후에 볼트에 너트를 체결한다.In this state, the disk-shaped flange 143 of the horizontal beam 140 is positioned on the upper surface of the cross roller bearing 130. Then, the bolt is inserted into the bolt hole 131H formed in the inner ring 131 of the cross roller bearing 130 and the bolt hole 143H of the disk-shaped flange 143, and then the nut is fastened to the bolt.

그러면 크로스 롤러 베어링(130)의 상면에 수평 빔(140)이 수평하게 위치하며, 수평 빔(140)의 하부 플랜지(141)에 트롤리(150)와 체인 블록(160)을 장착한다.Then, the horizontal beam 140 is horizontally positioned on the upper surface of the cross roller bearing 130, and the trolley 150 and the chain block 160 are mounted on the lower flange 141 of the horizontal beam 140.

이와 같이 수평 빔(140)에 트롤리(150)와 체인 블록(160)을 장착하게 되면, 수평 빔(140)은 크로스 롤러 베어링(130)의 중심점을 기준으로 선회 가능하고, 또한 수평 빔(140)의 길이방향으로 체인 블록(160)이 이동 가능하다.In this way, when the trolley 150 and the chain block 160 are mounted on the horizontal beam 140, the horizontal beam 140 can be rotated based on the center point of the cross roller bearing 130, and the horizontal beam 140 The chain block 160 is movable in the longitudinal direction of.

따라서 작업자는 교체 부품 등을 체인 블록(160)에 걸고 들어올린 후 수평 빔(140)을 크로스 롤러 베어링(130)의 중심점을 기준으로 선회시키게 됨에 따라 체인 블록(160)의 이동 가능한 범위 내에서 중량의 부품 등을 쉽게 이동시킬 수 있다.Therefore, the operator hangs the replacement part on the chain block 160 and lifts it, and then rotates the horizontal beam 140 based on the center point of the cross roller bearing 130, so that the weight within the movable range of the chain block 160 You can easily move the parts and so on.

한편, 도 5에 도시된 바와 같이 수평 빔(140)과 상부 플레이트(110)의 사이에는 수평 빔(140)의 크로스 롤러 베어링(130)에 의해 자유롭게 선회하지 않도록 수평 빔(140)의 선회를 잠금하는 잠금수단(140)이 장착된다.Meanwhile, as shown in FIG. 5, the horizontal beam 140 is locked between the horizontal beam 140 and the upper plate 110 so that the horizontal beam 140 does not rotate freely by the cross roller bearing 130 of the horizontal beam 140. The locking means 140 is mounted.

잠금수단(140)은 수평 빔(140)에 있어 상부 플레이트(110)와 마주하는 부위의 하부 플랜지(141)에 형성된 탭(171T)과, 탭(171T)에 체결되는 볼트(172)를 포함하며, 수평 빔(140)을 잠금하고자 할 경우 하부 플랜지(141)에 형성된 탭(171T)에 체결된 볼트(172)를 회전시켜 볼트(172)의 단부가 상부 플레이트(110)를 가압하여 마찰력을 증대시킴으로써, 수평 빔(140)의 선회를 임시적으로 방지한다.The locking means 140 includes a tab 171T formed on the lower flange 141 of a portion facing the upper plate 110 in the horizontal beam 140, and a bolt 172 fastened to the tab 171T, and , In the case of locking the horizontal beam 140, the end of the bolt 172 presses the upper plate 110 by rotating the bolt 172 fastened to the tab 171T formed on the lower flange 141 to increase friction. By doing so, the turning of the horizontal beam 140 is temporarily prevented.

이와 같이 임시적으로 수평 빔(140)의 선회를 잠금한 경우에 마찰력보다 큰 외부의 충격이 가해지게 되면 수평 빔(140)은 선회하게 된다.When the rotation of the horizontal beam 140 is temporarily locked as described above, when an external impact greater than the frictional force is applied, the horizontal beam 140 rotates.

이를 방지하기 위해서, 정밀 작업이 요구되는 지점에서는 수평 빔(140)이 외부의 충격에도 선회하지 않도록 상부 플레이트(110)에 탭(173)이 형성된다. In order to prevent this, a tab 173 is formed on the upper plate 110 so that the horizontal beam 140 does not rotate even with an external impact at a point where precise work is required.

하부 플랜지(141)의 탭(171T)에 체결된 볼트(172)가 상부 플레이트(110)의 탭(173)에 나사 체결되면 수평 빔(140)의 선회는 고정되어 외부의 충격에 수평 빔(140)이 선회하지 않고 고정되어 정밀 작업이 진행 가능하게 된다.When the bolt 172 fastened to the tab 171T of the lower flange 141 is screwed to the tab 173 of the upper plate 110, the rotation of the horizontal beam 140 is fixed and the horizontal beam 140 ) Is fixed without turning, enabling precise work to proceed.

한편, 부품 교체 작업 등이 완료된 후에는 앞서 설명한 기판 이송장치의 정비장치의 설치 순서와 반대로 정비장치를 분해한다. 기판 이송장치의 정비장치를 해체하는 이유는 기판 이송장치가 작동함에 있어 수평 빔(140) 등과 간섭되어 파손되는 문제점을 해결하기 위한 것이다.On the other hand, after the parts replacement work, etc. is completed, the maintenance device is disassembled in the opposite order of installation of the maintenance device of the substrate transfer device described above. The reason for disassembling the maintenance device of the substrate transfer device is to solve the problem of being damaged by interference with the horizontal beam 140 or the like in the operation of the substrate transfer device.

한편, 본 발명에서는 베어링 시트에 크로스 롤러 베어링(130)의 외륜이 장착되고, 크로스 롤러 베어링(130)의 내륜에 수평 빔이 고정되는 것으로 설명하고 있으나, 베어링 시트에 크로스 롤러 베어링(130)의 내륜이 장착되고, 크로스 롤러 베어링(130)의 외륜에 수평 빔이 고정되더라도 수평 빔을 선회시킬 수 있다.Meanwhile, in the present invention, it is described that the outer ring of the cross roller bearing 130 is mounted on the bearing seat and the horizontal beam is fixed to the inner ring of the cross roller bearing 130, but the inner ring of the cross roller bearing 130 is attached to the bearing seat. Is mounted, and even if the horizontal beam is fixed to the outer ring of the cross roller bearing 130, the horizontal beam can be rotated.

1 : 기판 이송장치
10 : 이송암
20 : 승강부
21 : 승강지지부
22 : 승강이동부
30 : 선회부
100 : 정비장치
110 : 상부 플레이트
120 : 베어링 시트
130 : 베어링
131 : 내륜
132 : 외륜
140 : 수평 빔
141 : 하부 플랜지
143 : 원판형 플랜지
150 : 트롤리
160 : 체인 블록
170 : 잠금수단
171T, 173 : 탭
172 : 볼트1: substrate transfer device
10: transfer arm
20: elevator
21: lifting support
22: elevating moving part
30: turning part
100: maintenance device
110: upper plate
120: bearing seat
130: bearing
131: inner ring
132: outer ring
140: horizontal beam
141: lower flange
143: disc-shaped flange
150: trolley
160: chain block
170: locking means
171T, 173: tap
172: bolt

Claims (6)

기판을 지지하는 이송암, 상기 이송암을 승강시키기 위한 승강부 및 상기 이송암을 회전시키기 위한 선회부를 구비한 기판 이송장치에 설치되는 보수 장치로서,
승강부의 상단면에 일단이 고정되며 승강부 바깥쪽으로 연장된 빔과,
빔의 일단에 고정되며 승강부의 상단면에 장착되어 빔이 선회 가능하게 지지하는 베어링과,
빔에 장착되어 빔의 길이방향으로 이동하는 트롤리와,
트롤리에 장착된 체인 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치의 정비장치.
A maintenance device installed in a substrate transfer device having a transfer arm for supporting a substrate, an elevating part for raising and lowering the transfer arm, and a turning part for rotating the transfer arm,
One end is fixed to the upper surface of the elevator and a beam extending outward of the elevator,
A bearing that is fixed to one end of the beam and mounted on the top surface of the elevating part to support the beam so that it can turn,
A trolley mounted on the beam and moving in the longitudinal direction of the beam,
Maintenance apparatus for a substrate transfer device comprising a chain block mounted on the trolley.
제1항에 있어서,
승강부의 상단면에는 상부 플레이트가 장착되고, 상부 플레이트에는 베어링 시트가 형성되며, 베어링 시트에 베어링이 장착된 것을 특징으로 하는 기판 이송장치의 정비장치.
The method of claim 1,
An upper plate is mounted on the upper surface of the elevating part, a bearing seat is formed on the upper plate, and a bearing is mounted on the bearing seat.
제2항에 있어서,
베어링은 크로스 롤러 베어링으로서, 베어링 시트에 크로스 롤러 베어링의 내륜과 외륜 중 어느 한 쪽이 장착되고, 다른 한 쪽에는 수평 빔이 고정되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치의 정비장치.
The method of claim 2,
The bearing is a cross roller bearing, wherein one of an inner ring and an outer ring of the cross roller bearing are mounted on a bearing seat, and a horizontal beam is fixed to the other side.
제3항에 있어서,
수평 빔의 일단 저면에는 원판형 플랜지가 고정되고, 원판형 플랜지에 크로스 롤러 베어링의 내륜과 외륜 중 다른 한 쪽이 고정되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치의 정비장치.
The method of claim 3,
A disk-shaped flange is fixed to the bottom of one end of the horizontal beam, and the other of the inner and outer rings of the cross roller bearing is fixed to the disk-shaped flange.
제4항에 있어서,
빔의 회전을 잠금하는 잠금수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치의 정비장치.
The method of claim 4,
Maintenance apparatus for a substrate transfer device, characterized in that it further comprises a locking means for locking the rotation of the beam.
제5항에 있어서,
잠금수단은,
빔에 형성된 탭과,
탭에 체결된 볼트와,
볼트가 나사체결되도록 승강부의 상단면에 형성된 탭을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치의 정비장치.The method of claim 5,
The locking means,
A tab formed on the beam,
A bolt fastened to the tap,
Maintenance apparatus for a substrate transfer device, characterized in that it comprises a tab formed on the upper surface of the lifting portion so that the bolt is screwed.
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