KR20200065896A - 기판 브레이킹 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치는, 기판이 탑재되는 스테이지; 상기 스테이지의 상부에 X축 방향으로 배치된 브레이킹 바; 상기 브레이킹 바를 Z축 방향으로 이동시키는 바 승강 유닛; 및 상기 브레이킹 바를 Y축을 중심으로 회전시켜 상기 기판에 대한 상기 브레이킹 바의 각도를 조정하는 바 회전 유닛을 포함할 수 있다.

Description

기판 브레이킹 장치 {APPARATUS FOR BREAKING SUBSTRATE}
본 발명은 기판을 분단하는 기판 브레이킹 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이에 사용되는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등은 유리와 같은 취성의 머더 글라스 패널(이하, '기판'이라 함)로부터 소정의 크기로 절단된 단위 글라스 패널(이하, '단위 기판'이라 함)을 사용한다.
기판을 단위 기판으로 절단하는 공정은, 기판의 절단의 기준이 되는 절단 예정 라인을 따라 다이아몬드와 같은 재료로 이루어진 스크라이빙 휠을 기판에 가압한 상태에서 기판 및/또는 스크라이빙 휠을 이동시켜 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 공정과, 스크라이빙 라인을 따라 기판을 가압하여 스크라이빙 라인의 크랙을 성장시킴으로써 기판을 분단하는 브레이킹 공정을 포함한다.
스크라이빙 공정에는 기판 스크라이빙 장치가 사용되고, 브레이킹 공정에는 기판 브레이킹 장치가 사용된다.
도 1 및 도 2에는 종래기술에 따른 기판 브레이킹 장치가 도시되어 있다. 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 종래기술에 따른 기판 브레이킹 장치는 스테이지(70) 및 브레이킹 바(52)를 포함한다. 스테이지(70)에는 기판(P)이 탑재되고, 브레이킹 바(52)는, 스테이지(70)의 상부에 배치되고, 실린더(30)에 의하여 Z축 방향으로 이동된다. 브레이킹 바(52)가 실린더(30)에 의하여 Z축을 따라 하측으로 이동되면, 탑재된 기판(P)은 브레이킹 바(52)의 가압력에 의하여 분단된다.
기판(P)은, 스테이지(70)에 탑재 시, X축 방향의 중심이 브레이킹 바(52)의 X축 방향의 중심과 일치하도록 배치될 수도 있고, X축 방향의 중심이 브레이킹 바(52)의 X축 방향의 중심으로부터 어느 한쪽으로 치우쳐 있도록 배치될 수도 있다.
탑재된 기판(P)이 브레이킹 바(52)의 X축 방향의 중심으로부터 어느 한쪽으로 치우쳐 있으면, 기판(P)을 브레이킹 바(52)로 가압 시, 도 2에 도시된 바와 같이, 브레이킹 바(52)가 기판(P)과 접촉하는 접촉 구간(A1) 및 기판(P)과 접촉하지 않는 비접촉 구간(A2)을 가지는 점 때문에, 브레이킹 바(52)의 가압력이 브레이킹 바(52)의 접촉 구간(A1)과 비접촉 구간(A2) 사이에 해당하는 기판(P)의 단부(P1)에 집중되고, 이에 따라 기판(P)의 단부(P1)가 파손되는 문제점이 있다.
이와 같은 문제점을 방지하기 위하여, 기판(P)을 X축 방향으로 이동시켜 기판(P)의 X축 방향의 중심을 브레이킹 바(52)의 X축 방향의 중심과 일치시킨 후, 기판(P)을 브레이킹 바(52)로 가압할 수도 있다. 그러나, 이는 탑재된 기판(P)의 위치를 정렬하여야 하는 과정이 추가적으로 요구되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 기판이 브레이킹 바에 대하여 편심 위치에 탑재된 경우에도 기판에 기판의 분단을 위한 가압력을 균일하게 가할 수 있는 기판 브레이킹 장치를 제공하는 데에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치는, 기판이 탑재되는 스테이지; 상기 스테이지의 상부에 배치되고 X축 방향으로 연장되는 브레이킹 바; 상기 브레이킹 바를 Z축 방향으로 이동시키는 바 승강 유닛(도면부호 200, 300 및 400 참조); 및 상기 브레이킹 바를 Y축을 중심으로 회전시켜 상기 기판에 대한 상기 브레이킹 바의 각도를 조정하는 바 회전 유닛을 포함할 수 있다.
여기에서, 상기 브레이킹 바는 X축 방향의 제1 단 및 상기 제1 단에 반대되는 제2 단을 가질 수 있다. 그리고, 상기 기판의 X축 방향의 중심이 상기 브레이킹 바의 X축 방향의 중심으로부터 상기 제1 단 쪽으로 치우친 경우, 상기 브레이킹 바는 상기 제1 단이 하향하도록 회전될 수 있다.
또는, 본 발명의 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치는, 기판이 탑재되는 스테이지; 상기 스테이지의 상부에 배치되고 X축 방향으로 연장되는 브레이킹 바; 상기 브레이킹 바를 Z축 방향으로 이동시키는 바 승강 유닛(도면부호 200, 300 및 400 참조); 및 상기 스테이지를 Y축을 중심으로 회전시켜 상기 브레이킹 바에 대한 상기 기판의 각도를 조정하는 스테이지 회전 유닛을 포함할 수 있다.
여기에서, 상기 브레이킹 바는 X축 방향의 제1 단 및 상기 제1 단에 반대되는 제2 단을 가질 수 있다. 그리고, 상기 기판의 X축 방향의 중심이 상기 브레이킹 바의 X축 방향의 중심으로부터 상기 제1 단 쪽으로 치우친 경우, 상기 스테이지는 상기 제1 단에 대응하는 단부가 상기 제1 단 쪽으로 상향하도록 회전될 수 있다.
또는, 본 발명의 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치는, 기판이 탑재되는 스테이지; 상기 스테이지의 상부에 배치되고 X축 방향으로 연장되는 메인 브레이킹 바와, 상기 메인 브레이킹 바의 X축 방향의 양쪽 중 적어도 어느 한쪽에 배치되며 X축 방향으로 연장되는 서브 브레이킹 바로 구성되는 브레이킹 바; 상기 메인 브레이킹 바를 Z축 방향으로 이동시키는 제1 승강 유닛(도면부호 200, 300 및 400 참조); 및 상기 서브 브레이킹 바를 Z축 방향으로 이동시키는 제2 승강 유닛(도면부호 550 참조)을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치는, 브레이킹 바에 대한 기판의 위치에 따라 브레이킹 바 또는 스테이지를 회전시켜 기판에 대한 브레이킹 바의 각도 또는 브레이킹 바에 대한 스테이지(기판)의 각도를 조정하고 기판을 가압할 수 있기 때문에, 기판에 보다 균일한 압력을 가할 수 있고, 이에 따라 기판을 파손 등의 불량 없이 브레이킹 라인을 따라 원활하게 분단할 수 있다.
도 1은 종래기술에 따른 기판 브레이킹 장치의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는 종래기술에 따른 기판 브레이킹 장치의 문제점을 나타내는 구성도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치의 구성을 나타내는 측면도이다.
도 5는 도 3 및 도 4에 도시된 브레이킹 바의 작동을 나타내는 정단면도이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치의 주요 부분의 구성 및 작동을 나타내는 정면도이다.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치의 주요 부분의 구성 및 작동을 나타내는 정단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치에 대하여 설명한다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치의 구성이 도 3 및 도 4에 도시되어 있다. 이하의 설명에서, 좌우 방향은 X축 방향, 전후 방향은 Y축 방향, 상하 방향은 Z축 방향을 각각 의미한다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치는, 상부에 기판(P)이 탑재되는 스테이지(700)와, 스테이지(700)의 상방에 설치된 베이스(100)와, 베이스(100)의 전방(Y축 방향의 전방)에서 좌측 및 우측(X축 방향의 양쪽)에 각각 설치된 이송 유닛(200)과, 이송 유닛(200)에 의하여 상하 방향(Z축 방향)으로 이동되는 좌우 양쪽의 실린더(300)와, 실린더(300)의 압력을 조절하는 압력 조절 유닛(400)과, 실린더(300)의 실린더 로드(310)에 연결되어 하강 시 기판(P)의 표면을 가압하는 브레이킹 헤드(500)를 포함할 수 있다.
기판(P)은 스크라이빙 공정을 거쳐 스크라이빙 라인이 형성된 것이다. 기판(P)은 스크라이빙 라인이 스테이지(700)를 향하도록 스테이지(700)에 안착될 수 있다.
이송 유닛(200), 실린더(300) 및 압력 조절 유닛(400)은 하나의 실시예에 불과하며 다른 공지의 이송 유닛 및 가압 유닛이 채택될 수 있다. 또한, 이송 유닛(200)만이 설치되고 실린더(300)는 생략될 수 있다. 물론, 반대로 실린더(300)만이 설치되고 이송 유닛(200)이 생략될 수도 있다.
베이스(100)는 도시되지 않은 고정 지지부에 연결되어 고정된 상태를 유지한다.
이송 유닛(200)은 베이스(100)에 고정 설치된다. 이송 유닛(200)은 하나만 구비될 수도 있고 셋 이상이 구비될 수도 있다. 이송 유닛(200) 각각은, 모터(220)와, 모터(220)에 연결되어 상하 방향의 축(Z축)을 중심으로 회전 운동을 하는 이송 나사(210)를 포함할 수 있다.
이송 나사(210) 각각에는 이동 블럭(150)이 나사 결합된다. 이에, 이동 블럭(150)은 이송 나사(210)의 회전 방향에 따라 상승되거나 하강된다. 이동 블럭(150)에는 이송 나사(210)가 나사 결합될 수 있도록 나선홈(암나사, 155)이 형성된다.
이동 블럭(150)의 원활한 승강 이동을 위하여, 베이스(100)에는 이동 블럭(150)을 안내하기 위한 선형 가이드나 크로스 롤러 가이드 등의 가이드(125)가 구비될 수 있다.
이동 블럭(150)은 전방에서 좌측 및 우측에 실린더(300)가 각각 고정 설치될 수 있다. 상하 방향으로 연장된 실린더 로드(310)가 실린더(300)에 연결될 수 있다. 실린더 로드(310)의 하단에는 브레이킹 헤드(500)가 연결된다. 실린더(300)는 하나만 구비될 수도 있고 셋 이상이 구비될 수도 있다.
브레이킹 헤드(500)는 스테이지(S) 위에 배치된 기판(P)의 표면에 기판(P)의 분단을 위한 가압력을 직접적으로 가하는 역할을 한다. 브레이킹 헤드(500)는, 실린더 로드(310)에 연결된 헤드 본체(510)와, 헤드 본체(510)의 하단에 설치된 브레이킹 바(520)를 포함한다.
실린더(300)에는 압력 조절 유닛(400)이 연결되어, 브레이킹 헤드(500)는 기판(P)을 일정한 가압력으로 가압할 수 있다. 예를 들면, 압력 조절 유닛(400)은 레귤레이터를 포함할 수 있다.
브레이킹 바(520)는 소정을 길이를 가진다. 브레이킹 바(520)는 스테이지(700)의 상부에 배치되고 좌우 방향(X축 방향)으로 연장된다.
스테이지(700)에 탑재된 기판(P)은, 좌우 방향의 중심(X축 방향의 중심)이 브레이킹 바(520)의 좌우 방향인 길이 방향의 중심(X축 방향의 중심)과 일치하도록 배치될 수도 있고, 좌우 방향의 중심이 브레이킹 바(520)의 길이 방향의 중심으로부터 좌우 어느 한쪽으로 치우쳐 있도록 배치될 수도 있다.
탑재된 기판(P)이 브레이킹 바(520)의 길이 방향의 중심으로부터 좌우 어느 한쪽으로 치우친 경우에도 기판(P)을 브레이킹 바(520)로 균일한 가압력으로 가압할 수 있게 하고자, 브레이킹 바(520)는, 전후 방향(Y축 방향)의 축(530)을 중심으로 회전 가능하게 구성되고, 기판(P)과 접촉하는 접촉 구간의 양쪽 단부 중 기판(P)과 접촉하지 않는 비접촉 구간의 맞은편에 위치하는 단부(도 5를 기준으로, 좌측 단부)가 기판(P)과 먼저 접촉되면서 기판(P)을 가압하는 각도로 유지된다.
구체적으로, 브레이킹 바(520)는 헤드 본체(510)의 하부에 전후 방향의 축(530)을 중심으로 회전 가능하게 장착된다. 또한, 브레이킹 바(520)는 바 회전 유닛(540)에 의하여 회전된다.
여기에서, 바 회전 유닛(540)은, 헤드 본체(510)의 측방에 길이 방향의 한쪽이 전후 방향의 축을 중심으로 회전 가능하게 연결되고 브레이킹 바(520)의 측방에 길이 방향의 다른 쪽이 전후 방향의 축을 중심으로 회전 가능하게 연결된 리니어 액추에이터일 수 있다. 또는, 바 회전 유닛(540)은 회전 모터를 이용하여 브레이킹 바(520)를 회전시키도록 구성된 타입일 수도 있다.
바 회전 유닛(540)에 의하면, 브레이킹 바(520)는 축(530)을 중심으로 회전되어 기판(P)에 대한 각도가 조정되고, 이렇게 각도가 조정된 상태로 하강되어 기판(P)을 가압할 수 있다.
브레이킹 바(520)는, 길이 방향(X축 방향)의 한쪽인 좌측의 제1 단(521)과 길이 방향의 다른 쪽인 우측의 제2 단(522)을 가지는바, 기판(P)의 좌우 방향의 중심이 브레이킹 바(520)의 길이 방향의 중심으로부터 제1 단(521) 쪽으로 치우친 경우, 제1 단(521)이 하향하도록 회전되어 기판(P)에 대한 각도가 수평 상태(도 5의 (a) 참조)에서 경사지도록 조정된 상태(도 5의 (b) 참조)로 유지된다.
기판(P)의 좌우 방향의 중심이 브레이킹 바(520)의 길이 방향의 중심으로부터 제1 단(521) 쪽으로 치우쳐 있음에 따라 브레이킹 바(520)의 제1 단(521)을 하향 회전시킨 상태로 브레이킹 바(520)를 하강시키면, 브레이킹 바(520)의 접촉 구간(기판과 접촉하는 구간)과 비접촉 구간(기판과 접촉하지 않는 구간) 사이에 가압력이 집중되는 현상을 방지할 수 있고, 이로써 기판(P)을 보다 균일한 가압력으로 가압할 수 있다.
따라서, 본 발명의 제1 실시예는 브레이킹 바(520)의 접촉 구간(기판과 접촉하는 구간)과 비접촉 구간(기판과 접촉하지 않는 구간) 사이에 가압력이 집중됨에 따라 기판(P)이 파손되는 등의 불량 없이 기판을 브레이킹 라인을 따라 원활하게 분단할 수 있다.
한편, 본 발명의 제1 실시예는, 브레이킹 헤드(500)에서 브레이킹 바(520)가 전후 방향의 축(530)을 중심으로 회전되어 기판(P)에 대한 브레이킹 바(520)의 각도가 조정되는 것으로 설명하였으나, 이와 달리, 브레이킹 헤드(500) 전체가 전후 방향의 축을 중심으로 회전되어 기판(P)에 대한 브레이킹 바(520)의 각도가 조정되는 구성을 가질 수도 있다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치의 주요 부분의 구성 및 작동을 나타내는 정면도이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치는, 본 발명의 제1 실시예와 비교하여 볼 때, 기타 구성 및 작용은 모두 동일한 것에 대하여, 기판(P)의 좌우 방향의 중심이 브레이킹 바(520)의 길이 방향(X축 방향)의 중심으로부터 브레이킹 바(520)의 제1 단(521) 쪽으로 치우친 경우, 기판(P)에 대한 브레이킹 바(520)의 각도를 조정하는 대신, 스테이지(700)를 전후 방향(Y축 방향)의 축(730)을 중심으로 회전시켜 브레이킹 바(520)에 대한 기판(P)의 각도를 조정하도록 구성된 점만이 상이하다. 이를 살펴보면 다음과 같다.
본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치에 있어서, 스테이지(700)는, 하부의 스테이지 베이스(720)와, 상부의 스테이지 본체(710)로 구성된다.
스테이지 본체(710)는 상부에 기판(P)이 탑재된다. 스테이지 본체(710)는 스테이지 베이스(720)에 전후 방향의 축(730)을 중심으로 회전 가능하게 장착된다. 이러한 스테이지 본체(710)는 스테이지 회전 유닛(740)에 의하여 전후 방향의 축(730)을 중심으로 회전된다.
스테이지 회전 유닛(740)은, 스테이지 본체(710)의 측방(X축 방향의 양쪽 중 어느 한쪽)에 길이 방향의 한쪽이 전후 방향의 축을 중심으로 회전 가능하게 연결되고 스테이지 베이스(720)의 측방(스테이지 본체(710)의 X축 방향의 양쪽 중 어느 한쪽에 대응하는 쪽)에 길이 방향의 다른 쪽이 전후 방향의 축을 중심으로 회전 가능하게 연결된 리니어 액추에이터일 수 있다. 또는, 스테이지 회전 유닛(740)은 회전 모터를 이용하여 스테이지 본체(710)를 회전시키도록 구성된 타입일 수도 있다.
이와 같은 본 발명의 제2 실시예는, 기판(P)의 좌우 방향의 중심이 브레이킹 바(520)의 길이 방향(X축 방향)의 중심으로부터 브레이킹 바(520)의 제1 단(521) 쪽으로 치우친 경우, 스테이지 본체(710)의 좌측(제1 단(521)에 대응하는 단부)이 브레이킹 바(520)의 제1 단(521) 쪽으로 상향하도록 회전되어 브레이킹 바(520)에 대한 스테이지 본체(710) 및 기판(P)에 대한 각도가 수평 상태(도 6의 (a) 참조)에서 경사지도록 조정된 상태(도 6의 (b) 참조)로 유지된다.
한편, 본 발명의 제2 실시예는, 스테이지(700)가 스테이지 본체(710)와 스테이지 베이스(720)로 구성되고, 스테이지 본체(710)가 전후 방향의 축(730)을 중심으로 회전되어 브레이킹 바(520)에 대한 스테이지(700)의 각도가 조정되는 것으로 설명하였으나, 이와 달리, 스테이지(700) 전체가 전후 방향의 축을 중심으로 회전되어 브레이킹 바(520)에 대한 스테이지(700)의 각도가 조정되는 구성을 가질 수도 있다.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치의 주요 부분의 구성 및 작동을 나타내는 정단면도이다.
도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치는, 본 발명의 제1 실시예 및 제2 실시예와 비교하여 볼 때, 기타 구성 및 작용은 모두 동일한 것에 대하여, 기판(P)에 대한 브레이킹 바(520)의 각도를 조정하는 구성 및 브레이킹 바(520)에 대한 스테이지(700)의 각도를 조정하는 구성 대신, 브레이킹 바(520)가 메인 브레이킹 바(520A)와 서브 브레이킹 바(520B)로 구성되고, 기판(P)의 좌우 방향의 중심이 브레이킹 바(520)의 길이 방향(X축 방향)의 중심으로부터 브레이킹 바(520)의 제1 단(521) 쪽으로 치우친 경우 메인 브레이킹 바(520A)로만 기판(P)을 가압하고, 기판(P)의 좌우 방향의 중심이 브레이킹 바(520)의 길이 방향의 중심과 일치한 경우 메인 브레이킹 바(520A)와 서브 브레이킹 바(520B) 둘 모두로 기판(P)을 가압하도록 구성된 점만이 상이하다.
메인 브레이킹 바(520A)는 헤드 본체(510)에 장착되어 위치가 고정된다. 메인 브레이킹 바(520A)는 좌우 방향의 중심이 브레이킹 바(520)의 길이 방향의 중심으로부터 브레이킹 바(520)의 제1 단(521) 쪽으로 치우친 기판(P)을 가압 시 전체가 기판(P)과 접촉하는 길이를 가지도록 형성된다.
서브 브레이킹 바(520B)는 메인 브레이킹 바(520A)의 우측에 메인 브레이킹 바(520A)와 좌우 방향으로 연이어 있도록 배치된다. 서브 브레이킹 바(520B)는 별도의 제2 승강 유닛(550)에 의하여 헤드 본체(510)에 상하 방향으로 이동 가능하게 장착된다. 제2 승강 유닛(550)은 실린더 로드(551)를 가진 실린더(리니어 액추에이터)일 수 있다.
서브 브레이킹 바(520B)는, 상하(Z축 방향) 크기가 메인 브레이킹 바(520A)에 비하여 작아서, 제2 승강 유닛(550)에 의하여 상승 시 하단이 메인 브레이킹 바(520A)의 하단에 비하여 높게 위치되고, 제2 승강 유닛(550)에 의하여 하강 시 하단이 메인 브레이킹 바(520A)의 하단과 동일 높이에 위치될 수 있다.
본 발명의 제3 실시예는, 탑재된 기판(P)의 좌우 방향의 중심이 브레이킹 바(520)의 길이 방향의 중심으로부터 브레이킹 바(520)의 제1 단(521) 쪽으로 치우친 경우, 서브 브레이킹 바(520B)가 상승되어 서브 브레이킹 바(520B)의 하단이 메인 브레이킹 바(520A)의 하단에 비하여 높게 위치된 상태에서 헤드 본체(510)를 하강시키면, 기판(P)을 메인 브레이킹 바(520A)만으로 균일한 가압력으로 가압하여 불량 없이 분단할 수 있다.
또한, 탑재된 기판(P)의 좌우 방향의 중심이 브레이킹 바(520)의 길이 방향의 중심과 일치한 경우, 상승된 서브 브레이킹 바(520B)가 하강되어 서브 브레이킹 바(520B)의 하단이 메인 브레이킹 바(520A)의 하단과 동일 높이에 위치된 상태에서 헤드 본체(510)를 하강시키면, 기판(P)을 메인 브레이킹 바(520A)와 서브 브레이킹 바(520B)에 의하여 균일한 가압력으로 가압하여 불량 없이 분단할 수 있다.
한편, 본 발명의 제3 실시예는, 서브 브레이킹 바(520B)가 메인 브레이킹 바(520A)의 길이 방향(X축 방향) 양쪽 모두에 각각 적어도 하나 이상씩 배치되고, 메인 브레이킹 바(520A)와 서브 브레이킹 바(520B)들이 개별적으로 구동됨으로써, 브레이킹 바(520)에 대한 기판(P)의 위치 등에 따라 메인 브레이킹 바(520A)와 서브 브레이킹 바(520B)들이 선택적으로 하강되어 기판(P)을 균일한 가압력으로 가압하도록 구성될 수도 있다.
본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.
P: 기판
500: 브레이킹 헤드
510: 헤드 본체
520: 브레이킹 바
530: 브레이킹 바 회전 중심 축
540: 바 회전 유닛
521: 브레이킹 바의 제1 단
522: 브레이킹 바의 제2 단
700: 스테이지
710: 스테이지 본체
720: 스테이지 베이스
730: 스테이지 본체 회전 중심 축
740: 스테이지 회전 유닛
520A: 메인 브레이킹 바
520B: 서브 브레이킹 바

Claims (5)

  1. 기판이 탑재되는 스테이지;
    상기 스테이지의 상부에 배치되고 X축 방향으로 연장되는 브레이킹 바;
    상기 브레이킹 바를 Z축 방향으로 이동시키는 바 승강 유닛; 및
    상기 브레이킹 바를 Y축을 중심으로 회전시켜 상기 기판에 대한 상기 브레이킹 바의 각도를 조정하는 바 회전 유닛을 포함하는 기판 브레이킹 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 브레이킹 바는 X축 방향의 제1 단 및 상기 제1 단에 반대되는 제2 단을 가지며,
    상기 기판의 X축 방향의 중심이 상기 브레이킹 바의 X축 방향의 중심으로부터 상기 제1 단 쪽으로 치우친 경우, 상기 브레이킹 바는 상기 제1 단이 하향하도록 회전되는 것을 특징으로 하는 기판 브레이킹 장치.
  3. 기판이 탑재되는 스테이지;
    상기 스테이지의 상부에 배치되고 X축 방향으로 연장되는 브레이킹 바;
    상기 브레이킹 바를 Z축 방향으로 이동시키는 바 승강 유닛; 및
    상기 스테이지를 Y축을 중심으로 회전시켜 상기 브레이킹 바에 대한 상기 기판의 각도를 조정하는 스테이지 회전 유닛을 포함하는 기판 브레이킹 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 브레이킹 바는 X축 방향의 제1 단 및 상기 제1 단에 반대되는 제2 단을 가지며,
    상기 기판의 X축 방향의 중심이 상기 브레이킹 바의 X축 방향의 중심으로부터 상기 제1 단 쪽으로 치우친 경우, 상기 스테이지는 상기 제1 단에 대응하는 단부가 상기 제1 단 쪽으로 상향하도록 회전되는 것을 특징으로 하는 기판 브레이킹 장치.
  5. 기판이 탑재되는 스테이지;
    상기 스테이지의 상부에 배치되고 X축 방향으로 연장되는 메인 브레이킹 바와, 상기 메인 브레이킹 바의 X축 방향의 양쪽 중 적어도 어느 한쪽에 배치된 서브 브레이킹 바로 구성되는 브레이킹 바;
    상기 메인 브레이킹 바를 Z축 방향으로 이동시키는 제1 승강 유닛; 및
    상기 서브 브레이킹 바를 Z축 방향으로 이동시키는 제2 승강 유닛을 포함하는 기판 브레이킹 장치.
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