KR20200044491A - Intelligent image tracking system of semiconductor process - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 사용자가 반도체 공정의 처리 대상물인 웨이퍼, 로트(lot) 등이 반도체 장비를 구성하는 세부 장비들에 투입되어 반도체 공정이 완료되기까지의 과정을 전체적으로 추적할 수 있도록 지원하는 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to an intelligent image tracking system in a semiconductor process. More specifically, the present invention is to support the user to be able to track the entire process until the semiconductor process is completed by inputting to the detailed equipment constituting the semiconductor equipment, such as wafers, lots, etc., which are objects to be processed in the semiconductor process. It relates to an intelligent image tracking system in a semiconductor process.
일반적으로 반도체 공정은 세부 공정들이 연속적으로 수행되는 방식으로 진행되며, 반도체 장비는 전체 반도체 공정을 구성하는 세부 공정들을 수행하기 위한 장비들의 집합체라고 할 수 있다.In general, a semiconductor process is performed in a manner in which detailed processes are continuously performed, and the semiconductor equipment can be said to be a collection of equipment for performing detailed processes constituting the entire semiconductor process.
이와 같은 반도체 공정은 세부 공정들의 집합이기 때문에, 공정 관리와 관련하여 반도체 공정의 대상물인 특정 웨이퍼 또는 이 웨이퍼가 수용되어 있는 로트(lot)가 전체 반도체 공정 중에서 어느 단계에서 처리되고 있는지 추적할 필요가 있다.Since such a semiconductor process is a set of detailed processes, it is necessary to keep track of at which stage of the entire semiconductor process a specific wafer or lot containing the wafer is processed in relation to process management. have.
반도체 공정 관리와 관련한 종래의 영상 기록 방식에 따르면, 복수의 카메라들을 전체 반도체 장비를 구성하는 세부 장비들의 처리 동작을 촬영할 수 있는 위치에 설치하고, 카메라들이 촬영한 영상을 단순히 카메라의 ID에 매칭시켜 저장한다.According to a conventional video recording method related to semiconductor process management, a plurality of cameras are installed in a position capable of photographing processing operations of detailed equipment constituting the entire semiconductor equipment, and the images captured by the cameras are simply matched to the camera ID. To save.
그러나 이러한 종래 기술에 따르면, 사용자가 반도체 공정의 대상물인 특정 웨이퍼의 현재 상태를 조회하고자 하는 경우, 복수의 카메라 중에서 특정 카메라의 ID를 입력하면, 영상기록장치가 해당 카메라가 촬영한 개별 영상을 사용자에게 디스플레이할 뿐이기 때문에, 사용자가 전체적인 반도체 공정을 파악할 수 없다는 문제점이 있다. 즉, 종래 기술에 따르면, 영상기록장치가 특정 위치에 설치된 카메라가 촬영한 영상을 개별적인 영상으로 녹화하기 때문에, 사용자가 반도체 공정의 대상물인 웨이퍼, 로트(lot) 등이 반도체 장비를 구성하는 세부 장비들에 투입되어 반도체 공정이 완료되기까지의 과정을 전체적으로 추적하는데 어려움이 있다는 문제점이 있다.However, according to such a prior art, when a user wants to query the current state of a specific wafer, which is an object of a semiconductor process, if an ID of a specific camera is input from a plurality of cameras, the image recording apparatus may use the individual image captured by the camera Since it is only displayed to the user, there is a problem that the user cannot grasp the entire semiconductor process. That is, according to the prior art, since the image recording apparatus records images taken by a camera installed at a specific location as individual images, detailed equipment constituting semiconductor equipment by a user, such as a wafer or lot, which is an object of a semiconductor process. There is a problem in that it is difficult to track the entire process until the semiconductor process is completed by being introduced into the field.
본 발명은 사용자가 반도체 공정의 처리 대상물인 웨이퍼, 로트(lot) 등이 반도체 장비를 구성하는 세부 장비들에 투입되어 반도체 공정이 완료되기까지의 과정을 전체적으로 추적할 수 있도록 하는 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.The present invention is an intelligent in a semiconductor process that allows a user to track the entire process until the semiconductor process is completed by inputting the wafers, lots, etc., which are the objects to be processed in the semiconductor process, to detailed equipment constituting the semiconductor equipment. It is a technical task to provide an image tracking system.
이러한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템은 반도체 장비에 의해 수행되는 대상체에 대한 처리 과정을 촬영하도록 상기 반도체 장비의 복수의 지점에 배치된 카메라들로 이루어진 영상 촬영부, 상기 반도체 장비의 동작을 제어하며, 상기 대상체를 식별하기 위한 정보인 대상체 식별정보, 시간 정보와 매핑된 상기 대상체의 위치정보 및 상기 반도체 장비의 현재 동작상태를 나타내는 동작상태정보를 전송하는 장비 제어기 및 상기 영상 촬영부로부터 전송받은 상기 영상정보에 상기 영상정보를 촬영한 카메라를 식별하기 위한 정보인 카메라 식별정보를 부가하여 영상 데이터베이스에 저장되도록 제어하고, 상기 장비 제어기로부터 전송받은 상기 대상체 식별정보, 상기 시간 정보와 매핑된 상기 대상체의 위치정보 및 상기 동작상태정보를 포함하는 트래킹 정보가 트래킹 데이터베이스에 저장되도록 제어하는 네트워크 영상 기록장치를 포함한다.An intelligent image tracking system in a semiconductor process according to the present invention for solving this technical problem is to take an image consisting of cameras arranged at a plurality of points of the semiconductor equipment to photograph a processing process for an object performed by the semiconductor equipment A device that controls the operation of the semiconductor device and transmits object identification information, information for identifying the object, location information of the object mapped with time information, and operation state information indicating the current operating state of the semiconductor device Control to be stored in an image database by adding camera identification information, which is information for identifying the camera that captured the image information, to the image information transmitted from the controller and the image capturing unit, and controlling the object identification information transmitted from the equipment controller , Mapped with the time information And a network image recording device that controls tracking information including the location information of the object and the operation state information to be stored in a tracking database.
본 발명에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템에 있어서, 상기 네트워크 영상 기록장치는, 사용자가 입력한 검색조건에 따라 상기 트래킹 데이터베이스에 저장된 상기 트래킹 정보와 상기 영상 데이터베이스에 저장된 상기 카메라 식별정보가 부가된 영상정보를 매칭시켜 상기 반도체 장비에 의해 수행되는 상기 대상체에 대한 처리 과정이 연속적인 영상으로 표시되도록 제어하는 것을 특징으로 한다.In the intelligent image tracking system in a semiconductor process according to the present invention, the network image recording apparatus adds the tracking information stored in the tracking database and the camera identification information stored in the image database according to a search condition input by a user. It is characterized by controlling the displayed image information to be matched so that the processing process for the object performed by the semiconductor equipment is displayed as a continuous image.
본 발명에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템에 있어서, 상기 네트워크 영상 기록장치는, 상기 대상체 식별정보를 루트 노드(root node)로 구성하고, 상기 대상체가 이동하는 경로 상에 존재하는 출발점과 도착점을 차일드 노드(child node)로 구성하여 상기 트래킹 데이터베이스에 상기 트래킹 정보를 트리 구조로 저장하는 것을 특징으로 한다.In the intelligent image tracking system in a semiconductor process according to the present invention, the network image recording apparatus configures the object identification information as a root node, and a starting point and an arrival point exist on a path through which the object moves. It is characterized in that the tracking information is configured as a child node and the tracking information is stored in a tree structure.
본 발명에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템에 있어서, 상기 네트워크 영상 기록장치는, 상기 차일드 노드를 구성하는 출발점 또는 도착점에 대한 촬영을 담당하는 카메라가 복수개인 경우, 상기 동작상태정보에 따라 상기 복수개의 카메라 중에서 하나를 선택하는 것을 특징으로 한다.In the intelligent image tracking system in the semiconductor process according to the present invention, the network image recording apparatus, when there are a plurality of cameras in charge of photographing the starting point or the arrival point constituting the child node, the operation state information according to It is characterized by selecting one from a plurality of cameras.
본 발명에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템에 있어서, 상기 반도체 장비가 복수개이고, 상기 반도체 장비를 담당하는 장비 제어기 및 네트워크 영상 기록장치가 상기 반도체 장비의 수에 대응하는 수를 갖는 경우, 상기 네트워크 영상 기록장치를 관리하는 중앙 관리 장치를 더 포함하고, 상기 중앙 관리 장치는 원격지의 사용자 단말로부터의 요청에 응답하여 상기 복수의 네트워크 영상 기록장치 중에서 상기 사용자 단말에 의해 지정된 네트워크 영상 기록장치가 제공하는 영상이 상기 사용자 단말에 표시되도록 제어하는 것을 특징으로 한다.In the intelligent image tracking system in the semiconductor process according to the present invention, when the semiconductor equipment is plural, and the equipment controller and the network image recording device in charge of the semiconductor equipment have a number corresponding to the number of the semiconductor equipment, the Further comprising a central management device for managing a network video recording device, the central management device is provided by a network video recording device designated by the user terminal among the plurality of network video recording devices in response to a request from a remote user terminal It characterized in that the control to display the video to be displayed on the user terminal.
본 발명에 따르면, 사용자가 반도체 공정의 처리 대상물인 웨이퍼, 로트(lot) 등이 반도체 장비를 구성하는 세부 장비들에 투입되어 반도체 공정이 완료되기까지의 과정을 전체적으로 추적할 수 있도록 하는 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템이 제공되는 효과가 있다.According to the present invention, in a semiconductor process that allows a user to track the entire process until the semiconductor process is completed by inputting to the detailed equipment constituting the semiconductor equipment, such as wafers, lots, etc., which are objects to be processed in the semiconductor process. The intelligent video tracking system has the effect of being provided.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템을 나타낸 도면이고,
도 2는 본 발명의 일 실시 예의 변형된 실시 예에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템을 나타낸 도면이고,
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템의 동작을 예시적으로 설명하기 위한 도면이고,
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 적용될 수 있는 예시적인 트리 구조를 나타낸 도면이고,
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 있어서, 트리 구조를 이용하여 카메라 영상 검색하는 방식을 예시적으로 설명하기 위한 도면이다.1 is a view showing an intelligent image tracking system in a semiconductor process according to an embodiment of the present invention,
2 is a view showing an intelligent image tracking system in a semiconductor process according to a modified embodiment of an embodiment of the present invention,
3 is a view for illustratively explaining the operation of the intelligent image tracking system in a semiconductor process according to an embodiment of the present invention,
4 is a view showing an exemplary tree structure that can be applied to an embodiment of the present invention,
5 is a diagram for explaining a method of searching a camera image using a tree structure in an embodiment of the present invention.
본 명세서에 개시된 본 발명의 개념에 따른 실시 예들에 대해서 특정한 구조적 또는 기능적 설명은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로서, 본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 형태들로 실시될 수 있으며 본 명세서에 설명된 실시 예들에 한정되지 않는다.Specific structural or functional descriptions of the embodiments according to the concept of the present invention disclosed herein are exemplified for the purpose of explaining the embodiments according to the concept of the present invention, and the embodiments according to the concept of the present invention are various And may not be limited to the embodiments described herein.
본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 변경들을 가할 수 있고 여러 가지 형태들을 가질 수 있으므로 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 특정한 개시 형태들에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.Embodiments according to the concept of the present invention can be applied to various changes and can have various forms, so the embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail herein. However, this is not intended to limit the embodiments according to the concept of the present invention to specific disclosure forms, and includes all changes, equivalents, or substitutes included in the spirit and scope of the present invention.
제1 또는 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만, 예컨대 본 발명의 개념에 따른 권리 범위로부터 벗어나지 않은 채, 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고 유사하게 제2 구성 요소는 제1 구성 요소로도 명명될 수 있다.Terms such as first or second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The above terms are only for the purpose of distinguishing one component from other components, for example, without departing from the scope of rights according to the concept of the present invention, the first component can be referred to as the second component and similarly the second The component may also be referred to as the first component.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성 요소에 직접 연결되어 있거나 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는 중간에 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성 요소간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에" 와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.When a component is said to be "connected" to or "connected" to another component, it should be understood that other components may be directly connected or connected to the other component, but may exist in the middle. will be. On the other hand, when a component is said to be "directly connected" or "directly connected" to another component, it should be understood that no other component exists in the middle. Other expressions describing the relationship between the components, such as "between" and "immediately between" or "adjacent to" and "directly neighboring to" should be interpreted similarly.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로서, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 본 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in this specification are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this specification, terms such as “include” or “have” are intended to indicate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described herein exists, one or more other features. It should be understood that the presence or addition possibilities of fields or numbers, steps, actions, components, parts or combinations thereof are not excluded in advance.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어는 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 나타낸다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의된 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by a person skilled in the art to which the present invention pertains. Terms, such as those defined in the commonly used dictionary, should be interpreted as having meanings consistent with meanings in the context of related technologies, and are not to be interpreted as ideal or excessively formal meanings unless explicitly defined herein. .
이하에서는, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템을 나타낸 도면이다.1 is a view showing an intelligent image tracking system in a semiconductor process according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템은 영상 촬영부(10), 장비 제어기(20) 및 네트워크 영상 기록장치(30)를 포함한다.Referring to FIG. 1, an intelligent image tracking system in a semiconductor process according to an embodiment of the present invention includes an
영상 촬영부(10)는 반도체 장비(1)에 의해 수행되는 대상체에 대한 처리 과정을 촬영하도록 반도체 장비(1)의 복수의 지점에 배치된 카메라들로 이루어진다. 예를 들어, 영상 촬영부(10)를 구성하는 카메라의 개수는 반도체 장비(1)를 구성하는 세부 장비들, 즉, 구성장비들의 개수와 동일할 수 있으나, 이에 한정되지는 않으며, 구성장비들의 개수보다 크거나 작을 수도 있다. 예를 들어, 반도체 장비(1)는 각각의 처리 반응이 수행되는 다수의 챔버들과 처리의 대상인 대상체를 각각의 챔버들로 이송하는 이송 장치들로 구성될 수 있으며, 대상체는 웨이퍼 또는 웨이퍼들이 수용된 로트(lot)일 수 있다.The
장비 제어기(20)는 반도체 장비(1)의 동작을 전반적으로 제어하며, 처리의 대상물인 대상체, 즉, 웨이퍼 또는 로트(lot)를 식별하기 위한 정보인 대상체 식별정보, 시간 정보와 매핑된 대상체의 위치정보 및 반도체 장비(1)의 현재 동작상태를 나타내는 동작상태정보를 네트워크 영상 기록장치(30)로 실시간 전송하는 기능을 수행한다. 예를 들어, 장비 제어기(20)는 SEMI 국제 표준 프로그램에 정의된 CTC(Cluster Tool Controller)일 수 있으며, CTC는 SEMI 국제 표준 프로그램에 규정된 내용에 따라 특정 웨이퍼, 로트(lot)가 복수의 세부 구성장비들로 이루어진 반도체 장비(1) 내에서 이동하는 경로, 각 동작 수행 위치와 시간, 프로세스를 구성하는 전체 단계의 위치와 시간을 모두 기록한다. 본 발명의 일 실시 예는 이런 CTC에 기록되고 있는 정보를 네트워크 영상 기록장치(30)와 연동하여 추적에 필요한 웨이퍼 ID, 출발점, 도착점, 동작상태 등을 실시간으로 네트워크 영상 기록장치(30)로 전달한다. 네트워크 영상 기록장치(30)에 전달된 정보는 영상정보와 별개로 동시에 데이터베이스화된다.The
네트워크 영상 기록장치(30)는 영상 촬영부(10)로부터 실시간 전송받은 영상정보에 이 영상정보를 촬영한 카메라를 식별하기 위한 정보인 카메라 식별정보를 부가하여 영상 데이터베이스(310)에 저장되도록 제어하고, 장비 제어기(20)로부터 전송받은 대상체 식별정보, 시간 정보와 매핑된 대상체의 위치정보 및 동작상태정보를 포함하는 트래킹 정보가 트래킹 데이터베이스(320)에 저장되도록 제어하는 기능을 수행한다. 예를 들어, 동작상태정보는 웨이퍼 또는 로트(lot)와 같은 대상체의 현재 상태를 나타내는 정보로서, 다수의 챔버들과 이송 장치들을 포함하여 구성되는 반도체 장비(1)의 어느 세부 공정 하에 있는지를 나타내는 정보일 수 있다.The network
예를 들어, 네트워크 영상 기록장치(30)는, 사용자가 입력한 검색조건에 따라 트래킹 데이터베이스(320)에 저장된 트래킹 정보와 영상 데이터베이스(310)에 저장된 카메라 식별정보가 부가된 영상정보를 매칭시켜 반도체 장비(1)에 의해 수행되는 대상체에 대한 처리 과정이 연속적인 영상으로 표시되도록 제어할 수 있다.For example, the network
예를 들어, 네트워크 영상 기록장치(30)는, 대상체 식별정보를 루트 노드(root node)로 구성하고, 대상체가 이동하는 경로 상에 존재하는 출발점과 도착점을 차일드 노드(child node)로 구성하는 방식으로 트래킹 데이터베이스(320)에 트래킹 정보를 트리 구조로 저장할 수 있으며, 차일드 노드를 구성하는 출발점 또는 도착점에 대한 촬영을 담당하는 카메라가 복수개인 경우, 동작상태정보에 따라 복수개의 카메라 중에서 하나를 선택하도록 구성될 수 있다.For example, the network image recording
이를 본 발명의 일 실시 예에 적용될 수 있는 예시적인 트리 구조를 나타낸 도 4를 추가로 참조하여 설명하면 다음과 같다.This will be described with further reference to FIG. 4 showing an exemplary tree structure applicable to an embodiment of the present invention.
도 4를 추가로 참조하면, 저장되는 정보는 각각의 웨이퍼 ID를 인자로 하는 고유의 트리 구조를 구성한다. 웨이퍼 ID를 루트 노드(root node)로 구성하고, 함께 전달되는“출발점”과 “도착점”을 차일드 노드(child node)로 구성한다. “동작상태”는 각 링크(Link)의 가중치로 사용한다. 가중치에 의해서 “출발점”과 “도착점”의 차일드 노드(child node)로 구성한 카메라 ID를 선택한다. 카메라 ID는 검색 시 각 시점에 출력할 영상정보 검색에 사용한다.4, the stored information constitutes a unique tree structure using each wafer ID as a factor. The wafer ID is configured as a root node, and the “start point” and “arrival point” transmitted together are configured as child nodes. "Operation state" is used as the weight of each link. Select the camera ID composed of child nodes of “start point” and “arrival point” by weight. When searching, the camera ID is used to search image information to be output at each time point.
이와 같이 구성한 웨이퍼 정보 트리는“출발점”과 “도착점”에 할당된 카메라가 다중, 즉, 여러개인 경우 카메라 선택에 있어 “가중치” 값을 적용함으로써 각 시점에서 최상의 영상을 추적할 수 있는 기능을 제공한다. “가중치”를 이용한 카메라 ID 추출에는 다음 수식 1이 적용될 수 있다.The configured wafer information tree provides the ability to track the best image at each time point by applying the “weight” value to the camera selection when multiple cameras are assigned to “start point” and “arrival point”. .
[수식 1][Equation 1]
CAM ID =∑(Wafer ID × f(x), position × 가중치)CAM ID = ∑ (Wafer ID × f (x), position × weight)
수식 1에서, f(x)는 동일 웨이퍼 ID 에 대한 인덱스 값이고, position은 출발점과 도착점의 고유값이다. “동작상태”에 대한 인덱스값을 부여하고 이 값을 “가중치”로 사용하여 각각의 위치와 동작에 따라 실영상을 조회할 수 있는 카메라를 선택할 수 있게 한다.In
예를 들어, 네트워크 영상 기록장치(30)는 이러한 방법으로 저장된 데이터를 활용하여 검색조건에 따른 추적영상 검색 알고리즘을 도출해 낼 수 있다. 공정에서 효율적으로 사용할 수 있는 검색 조건으로는 “로트 ID”만을 조건으로 하는 검색, “로트 ID”와 “웨이퍼 ID”를 동시에 조건으로 하는 검색, “로트 ID”와 “웨이퍼 ID”와 “출발점” 및 “도착점“을 조건으로 하는 검색, “로트 ID”와 “웨이퍼 ID” 및 “시간”을 조건으로 하는 검색이 가능하다.For example, the network
예를 들어, 네트워크 영상 기록장치(30)는 검색의 조건에 따라 웨이퍼 ID 및 출발/도착 노드 값 및 동작상태정보(가중치)를 적용하여 추적영상을 구성하고 그 정보를 도출해 낼 수 있다. 그 방법으로는 동일 웨이퍼 ID 값을 검색하여 루트(root) 의 각 Node 값으로 할당하고 이때 정보 저장 시 차일드 노드(child node)로 저장된 값을 같이 할당한다. 이때 웨이퍼 ID 값을 기준으로 트리(Tree) 구성 시 트리 생성시간을 기준으로 차일드 노드(Node)를 생성할 수 있다.For example, the network
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 있어서, 트리 구조를 이용하여 카메라 영상 검색하는 방식을 예시적으로 설명하기 위한 도면이다.5 is a diagram for explaining a method of searching a camera image using a tree structure in an embodiment of the present invention.
도 5를 추가로 참조하면, 네트워크 영상 기록장치(30)는 트리(Tree)로 구성함으로써 위에 언급한 4가지 검색조건 모두를 만족할 수 있는 검색경로를 제공할 수 있다. 검색조건 중 시간정보에 따라 왼쪽 B Node부터 검색하고 저장된 정보에서 가중치 값을 계산하여 Level 3의 Node에 할당된 카메라 영상을 검색하여 출력할 수 있다. 예를 들어, 여러 각도에서 촬영할 정보를 참조하기 위하여 “가중치”에 따라 Level 3 Node에 할당된 카메라 정보들 중 가중치 값 영역에 포함되어 있는 모든 정보를 다중으로 출력할 수 있다. 이에 따르면, 단순히 각 시점에서 하나의 카메라만을 참조하여 출력하는 방법에서 다양한 각도에서의 영상기능을 제공할 수 있다. 여러 개의 영상을 동시에 출력 할 경우 가중치가 높은 카메라 영상을 부각시켜 출력하는 기능을 제공할 수 있다.Referring to FIG. 5 further, the
도 2는 본 발명의 일 실시 예의 변형된 실시 예에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템을 나타낸 도면이다.2 is a diagram illustrating an intelligent image tracking system in a semiconductor process according to a modified embodiment of an embodiment of the present invention.
도 2를 추가로 참조하면, 본 발명의 일 실시 예의 변형된 실시 예에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템은 반도체 장비(1)가 복수개이고, 반도체 장비(1)를 담당하는 장비 제어기(20) 및 네트워크 영상 기록장치(30)가 반도체 장비(1)의 수에 대응하는 수를 갖는 경우, 사용자가 원격지에서 공정 상태를 영상 모니터링할 수 있도록 지원하는 시스템이다.Referring to FIG. 2 further, an intelligent image tracking system in a semiconductor process according to a modified embodiment of an embodiment of the present invention includes a plurality of
이를 위하여 도 2에 예시된 본 발명의 일 실시 예의 변형된 실시 예에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템은 네트워크 영상 기록장치(30)를 관리하는 중앙 관리 장치(40)를 더 포함한다.To this end, the intelligent image tracking system in the semiconductor process according to the modified embodiment of the embodiment illustrated in FIG. 2 further includes a
이 중앙 관리 장치(40)는 원격지의 사용자 단말(2)로부터의 요청에 응답하여 복수의 네트워크 영상 기록장치(30) 중에서 사용자 단말(2)에 의해 지정된 네트워크 영상 기록장치(30)가 제공하는 영상이 사용자 단말(2)에 표시되도록 제어한다. 중앙 관리 장치(40)를 제외한 구성은 도 1에 예시된 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템의 구성과 동일하므로 중복되는 설명은 생략한다.The
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템의 동작을 예시적으로 설명하기 위한 도면이다.3 is a view for illustratively explaining the operation of the intelligent image tracking system in a semiconductor process according to an embodiment of the present invention.
도 3을 추가로 참조하면, 단계 S10에서는, 반도체 장비(1)의 동작이 개시된다.Referring to FIG. 3 further, in step S10, operation of the
단계 S20에서는, 장비 제어기(20)가 미리 설정되어 입력되어 있는 제어 순서에 따라 반도체 장비(1)를 구성하는 세부적인 구성장비들의 동작을 제어하는 과정이 수행된다.In step S20, a process is performed in which the
단계 S30에서는, 장비 제어기(20)가 처리의 대상물인 대상체를 식별하기 위한 정보인 대상체 식별정보, 시간 정보와 매핑된 대상체의 위치정보 및 반도체 장비(1)의 현재 동작상태를 나타내는 동작상태정보를 네트워크 영상 기록장치(30)로 실시간 전송하는 과정이 수행된다.In step S30, the
단계 S40에서는, 네트워크 영상 기록장치(30)가 장비 제어기(20)로부터 전달받은 정보들, 즉, 대상체 식별정보, 시간 정보와 매핑된 대상체의 위치정보 및 동작상태정보를 포함하는 트래킹 정보를 트래킹 데이터베이스(320)에 실시간 저장하는 과정이 수행된다.In step S40, the network
단계 S20의 동작과 함께 개시되는 단계 S50에서는, 영상 촬영부(10)를 구성하는 카메라들이 자신이 담당하는 영역에 대한 촬영을 개시하는 과정이 수행된다.In step S50, which is started together with the operation of step S20, a process in which cameras constituting the
단계 S60에서는, 영상 촬영부(10)를 구성하는 카메라들이 촬영한 영상정보를 네트워크 영상 기록장치(30)로 실시간 전달하는 과정이 수행된다. 예를 들어, 이 과정에서 카메라들이 네트워크 영상 기록장치(30)로 전달하는 영상정보는 패킷 형태일 수 있으며, 이 패킷에는 영상정보와 해당 영상정보를 촬영한 카메라의 식별정보가 포함될 수 있다.In step S60, a process of real-time delivery of image information captured by cameras constituting the
단계 S70에서는, 네트워크 영상 기록장치(30)가 영상 촬영부(10)를 구성하는 카메라들로부터 전송받은 영상정보에 카메라 식별정보를 부가하여 영상 데이터베이스(310)에 실시간 저장하는 과정이 수행된다.In step S70, a process in which the network
단계 S80과 단계 S90은 공정 상태를 모니터링하고자 하는 사용자로부터의 요청 이벤트가 발생하는 경우의 처리 과정으로서, 단계 S80에서는, 네트워크 영상 기록장치(30)가 자체적으로 구비된 모니터 등과 같은 입출력 인터페이스 장치 또는 중앙 관리 장치(40)를 경유하여접속한 원격지의 사용자 단말(2)로부터 영상 검색을 요청받는 과정이 수행된다.Step S80 and step S90 are processing processes when a request event from a user who wants to monitor the process status occurs. In step S80, the
단계 S90에서는, 네트워크 영상 기록장치(30)가 사용자가 입력한 검색조건에 따라 트래킹 데이터베이스(320)에 저장된 트래킹 정보와 영상 데이터베이스(310)에 저장된 카메라 식별정보가 부가된 영상정보를 매칭시켜 반도체 장비(1)에 의해 수행되는 대상체에 대한 처리 과정이 연속적인 영상으로 표시되도록 제어하는 과정이 수행된다.In step S90, the network
이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 사용자가 반도체 공정의 처리 대상물인 웨이퍼, 로트(lot) 등이 반도체 장비를 구성하는 세부 장비들에 투입되어 반도체 공정이 완료되기까지의 과정을 전체적으로 추적할 수 있도록 하는 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템이 제공되는 효과가 있다.As described in detail above, according to the present invention, the user can track the entire process until the semiconductor process is completed by inputting to the detailed equipment constituting the semiconductor equipment, such as wafers, lots, etc., which are objects to be processed in the semiconductor process. It has the effect of providing an intelligent image tracking system in a semiconductor process.
또한, 본 발명에 따르면, 저장영상과 웨이퍼 및 로트 정보를 연동하여 저장하고 이를 기반으로 웨이퍼 및 로트 단위로 장비 투입부터 FOUP(Front Opening Unified Pod)회수까지의 전 과정을 마치 한 카메라가 쫓아다니며 녹화한 듯한 영상을 사용자에게 보여줄 수 있다.In addition, according to the present invention, a stored camera and wafer and lot information are interlocked and stored, and based on this, a camera follows and records the entire process from the equipment input to the FOUP (Front Opening Unified Pod) recovery. You can show the user an image that looks like it.
1: 반도체 장비
2: 사용자 단말
10: 영상 촬영부
20: 장비 제어기(Cluster Tool Controller)
30: 네트워크 영상 기록장치(Network Video Recorder)
40: 중앙 관리 장치
310: 영상 데이터베이스
320: 트래킹(Tracking) 데이터베이스1: Semiconductor equipment
2: User terminal
10: video recording unit
20: Cluster Tool Controller
30: Network Video Recorder
40: central management unit
310: image database
320: Tracking database
Claims (5)
반도체 장비에 의해 수행되는 대상체에 대한 처리 과정을 촬영하도록 상기 반도체 장비의 복수의 지점에 배치된 카메라들로 이루어진 영상 촬영부;
상기 반도체 장비의 동작을 제어하며, 상기 대상체를 식별하기 위한 정보인 대상체 식별정보, 시간 정보와 매핑된 상기 대상체의 위치정보 및 상기 반도체 장비의 현재 동작상태를 나타내는 동작상태정보를 전송하는 장비 제어기; 및
상기 영상 촬영부로부터 전송받은 상기 영상정보에 상기 영상정보를 촬영한 카메라를 식별하기 위한 정보인 카메라 식별정보를 부가하여 영상 데이터베이스에 저장되도록 제어하고, 상기 장비 제어기로부터 전송받은 상기 대상체 식별정보, 상기 시간 정보와 매핑된 상기 대상체의 위치정보 및 상기 동작상태정보를 포함하는 트래킹 정보가 트래킹 데이터베이스에 저장되도록 제어하는 네트워크 영상 기록장치를 포함하는, 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템.
As an intelligent image tracking system in semiconductor process,
An image capturing unit composed of cameras disposed at a plurality of points of the semiconductor equipment to photograph a processing process of an object performed by the semiconductor equipment;
An equipment controller that controls the operation of the semiconductor equipment and transmits object identification information, information for identifying the object, location information of the object mapped with time information, and operation status information indicating a current operation state of the semiconductor equipment; And
The camera identification information, which is information for identifying the camera that captured the image information, is added to the image information transmitted from the image capturing unit so as to be stored in an image database, and the object identification information transmitted from the equipment controller, the And a network image recording apparatus for controlling tracking information including the location information of the object mapped to the time information and the operation status information to be stored in a tracking database.
상기 네트워크 영상 기록장치는,
사용자가 입력한 검색조건에 따라 상기 트래킹 데이터베이스에 저장된 상기 트래킹 정보와 상기 영상 데이터베이스에 저장된 상기 카메라 식별정보가 부가된 영상정보를 매칭시켜 상기 반도체 장비에 의해 수행되는 상기 대상체에 대한 처리 과정이 연속적인 영상으로 표시되도록 제어하는 것을 특징으로 하는, 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템.
According to claim 1,
The network video recorder,
According to the search conditions input by the user, the tracking information stored in the tracking database and the image information to which the camera identification information stored in the image database are added are matched, so that the processing process for the object performed by the semiconductor device is continuous. Intelligent image tracking system in a semiconductor process, characterized in that the control to be displayed as an image.
상기 네트워크 영상 기록장치는,
상기 대상체 식별정보를 루트 노드(root node)로 구성하고, 상기 대상체가 이동하는 경로 상에 존재하는 출발점과 도착점을 차일드 노드(child node)로 구성하여 상기 트래킹 데이터베이스에 상기 트래킹 정보를 트리 구조로 저장하는 것을 특징으로 하는, 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템.
According to claim 1,
The network video recorder,
The target identification information is configured as a root node, and the starting point and the arrival point existing on a path through which the object is moved are composed of child nodes, and the tracking information is stored in a tree structure in the tracking database. Characterized in that, intelligent image tracking system in a semiconductor process.
상기 네트워크 영상 기록장치는,
상기 차일드 노드를 구성하는 출발점 또는 도착점에 대한 촬영을 담당하는 카메라가 복수개인 경우, 상기 동작상태정보에 따라 상기 복수개의 카메라 중에서 하나를 선택하는 것을 특징으로 하는, 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템.
According to claim 3,
The network video recorder,
When there are a plurality of cameras in charge of photographing a starting point or an arrival point constituting the child node, an intelligent image tracking system in a semiconductor process, characterized in that one of the plurality of cameras is selected according to the operation state information.
상기 반도체 장비가 복수개이고, 상기 반도체 장비를 담당하는 장비 제어기 및 네트워크 영상 기록장치가 상기 반도체 장비의 수에 대응하는 수를 갖는 경우,
상기 네트워크 영상 기록장치를 관리하는 중앙 관리 장치를 더 포함하고,
상기 중앙 관리 장치는 원격지의 사용자 단말로부터의 요청에 응답하여 상기 복수의 네트워크 영상 기록장치 중에서 상기 사용자 단말에 의해 지정된 네트워크 영상 기록장치가 제공하는 영상이 상기 사용자 단말에 표시되도록 제어하는 것을 특징으로 하는, 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템.
According to claim 1,
When the semiconductor equipment is plural, and the equipment controller and the network image recording device in charge of the semiconductor equipment have a number corresponding to the number of the semiconductor equipment,
Further comprising a central management device for managing the network video recording device,
The central management device controls the video provided by the network video recording device designated by the user terminal among the plurality of network video recording devices to be displayed on the user terminal in response to a request from a remote user terminal. , Intelligent image tracking system in semiconductor process.
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