KR20200042002A - Method of manufacturing a liquid crystal element - Google Patents

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유우스케 우에사카
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Abstract

기판 상에 층간 절연막과 패턴 전극과 액정 배향막이 이 순서로 형성된 소자 구조에 있어서, 신뢰성이 우수한 액정 소자를 얻는다. 한 쌍의 기판 중 적어도 한쪽에 층간 절연막(21)을 형성하는 공정과, 층간 절연막(21) 상에 패턴 전극(화소 전극(19))을 형성하는 공정과, 패턴 전극 상에, 층간 절연막(21)의 적어도 일부에 접촉하도록 액정 배향막(제1 배향막(32))을 형성하는 공정을 포함하는 액정 소자의 제조 방법에 있어서, 액정 배향막을, 중합체 성분과, 특정의 용제군으로부터 선택되는 적어도 1종의 용제를 함유하는 액정 배향제를 이용하여 형성한다.In a device structure in which an interlayer insulating film, a pattern electrode and a liquid crystal alignment film are formed in this order on a substrate, a highly reliable liquid crystal device is obtained. A step of forming an interlayer insulating film 21 on at least one of the pair of substrates, a step of forming a pattern electrode (pixel electrode 19) on the interlayer insulating film 21, and an interlayer insulating film 21 on the pattern electrode A method for manufacturing a liquid crystal device comprising a step of forming a liquid crystal alignment film (first alignment film 32) so as to contact at least a portion of the liquid crystal alignment film, the polymer component and at least one selected from a specific solvent group It is formed using a liquid crystal aligning agent containing a solvent.

Description

액정 소자의 제조 방법Method of manufacturing a liquid crystal element

(관련 출원의 상호 참조)(Cross reference of related applications)

본 출원은, 2017년 11월 20일에 출원된 일본출원번호 2017-223114호에 기초하는 것으로, 여기에 그의 기재 내용을 원용한다.This application is based on the Japanese application No. 2017-223114 for which it applied on November 20, 2017, and uses the content described here.

본 개시는, 액정 소자의 제조 방법에 관한 것이다.The present disclosure relates to a method for manufacturing a liquid crystal element.

액정 장치로서는, TN(Twisted Nematic)형, STN(Super Twisted Nematic)형 등으로 대표되는, 정(正)의 유전율 이방성을 갖는 네마틱 액정을 이용하는 수평 배향 모드나, 부(負)의 유전율 이방성을 갖는 네마틱 액정을 이용하는 수직(호메오트로픽) 배향 모드의 VA(Vertical Alignment)형 액정 장치 등, 각종 장치가 알려져 있다. 또한, 한 쌍의 전극이 한쪽의 기판에 형성된 셀 구조를 갖는 IPS(In-Plane Switching)형, FFS(Fringe Field Switching)형 등의 횡전계 모드의 액정 장치도 알려져 있다.As a liquid crystal device, a horizontal alignment mode using a nematic liquid crystal having a positive dielectric anisotropy and a negative dielectric anisotropy, such as TN (Twisted Nematic) type, STN (Super Twisted Nematic) type, etc. Various devices are known, such as a vertical (homeotropic) alignment mode VA (Vertical Alignment) type liquid crystal device using a nematic liquid crystal. In addition, a liquid crystal device of a transverse electric field mode, such as an in-plane switching (IPS) type and a fringe field switching (FFS) type, in which a pair of electrodes has a cell structure formed on one substrate, is also known.

액정 소자의 배향 처리 방식의 하나로서, PSA(Polymer Sustained Alignment) 방식이 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). PSA 방식은, 한 쌍의 기판의 간극에 액정과 함께 광 중합성 모노머를 미리 혼입해 두고, 액정 셀을 구축한 후에, 기판 간에 전압을 인가한 상태에서 자외선을 조사하여 광 중합성 모노머를 중합함으로써 폴리머층을 형성하고, 이 폴리머층에 의해 액정의 초기 배향을 제어하고자 하는 기술이다. 이 기술에 의하면, 시야각의 확대 및 액정 분자 응답의 고속화를 도모할 수 있어, MVA형 패널에 있어서 투과율 및 콘트라스트의 부족의 문제를 해소하는 것이 가능하다.As one of the alignment treatment methods of the liquid crystal element, a PSA (Polymer Sustained Alignment) method is known (for example, see Patent Document 1). In the PSA method, a photopolymerizable monomer is premixed with a liquid crystal in a gap between a pair of substrates, and after a liquid crystal cell is constructed, ultraviolet light is irradiated with a voltage applied between the substrates to polymerize the photopolymerizable monomer. It is a technique to form a polymer layer and to control the initial alignment of the liquid crystal by the polymer layer. According to this technique, it is possible to increase the viewing angle and speed up the response of the liquid crystal molecules, and it is possible to solve the problem of insufficient transmittance and contrast in the MVA type panel.

또한, 특허문헌 1에는, PSA 기술에 있어서, 다수의 개구부(슬릿부)를 갖는 빗살 형상(피시본(fishbone) 형상이라고도 함)이 되도록 패터닝된 패턴 전극을 화소 전극으로서 이용하는 것이 개시되어 있다. 이 특허문헌 1의 액정 장치에서는, 어레이 기판측의 유리 기판 상에 드레인 버스 라인이 형성되고, 그 위에 층간 절연막이 형성되어 있다. 또한, 층간 절연막 상에는 피시 본 형상의 화소 전극이 형성되어 있고, 화소 전극 상에 액정 배향막이 형성되어 있다. 액정 배향막은, 통상, 폴리암산이나 폴리이미드, 폴리오르가노실록산, (메타)아크릴계 중합체, 폴리아미드 등의 중합체 성분을 용제에 용해하고, 이 중합체 조성물을 기판 상에 도포하여 용제를 제거함으로써 형성된다.In addition, Patent Document 1 discloses that in PSA technology, a pattern electrode patterned to have a comb shape (also referred to as a fishbone shape) having a large number of openings (slit portions) is used as a pixel electrode. In the liquid crystal device of Patent Document 1, a drain bus line is formed on a glass substrate on the array substrate side, and an interlayer insulating film is formed thereon. Further, a pixel electrode having a fishbone shape is formed on the interlayer insulating film, and a liquid crystal alignment film is formed on the pixel electrode. The liquid crystal alignment film is usually formed by dissolving a polymer component such as polyamic acid, polyimide, polyorganosiloxane, (meth) acrylic polymer, or polyamide in a solvent, and applying the polymer composition on a substrate to remove the solvent. .

일본공개특허공보 2003-149647호Japanese Patent Publication No. 2003-149647

층간 절연막 상에 다수의 슬릿부를 갖는 패턴 전극을 배치하고, 그 위에 액정 배향막을 형성하는 경우, 액정 장치의 화소 영역(즉 표시 영역)에서는, 슬릿부에 있어서 액정 배향제와 층간 절연막이 접촉한다. 이 경우, 층간 절연막이 액정 배향제의 영향을 받아 그의 특성이 변화하거나, 층간 절연막에 포함되는 불순물 성분 등이 액정 배향제로 용출하여 액정 배향막의 성능이 저하하거나 함으로써 액정 장치의 신뢰성이 저하하는 것이 우려된다.When a pattern electrode having a plurality of slit portions is disposed on the interlayer insulating film, and a liquid crystal alignment film is formed thereon, in the pixel region (that is, the display region) of the liquid crystal device, the liquid crystal aligning agent and the interlayer insulating film are in contact with the slit portion. In this case, there is a concern that the interlayer insulating film is affected by the liquid crystal aligning agent and its properties are changed, or the impurity component or the like contained in the interlayer insulating film is eluted with the liquid crystal aligning agent to deteriorate the performance of the liquid crystal aligning film, thereby deteriorating the reliability of the liquid crystal device. do.

본 개시는 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 기판 상에 층간 절연막과 패턴 전극과 액정 배향막이 이 순서로 형성된 소자 구조에 있어서, 신뢰성이 우수한 액정 소자를 얻을 수 있는 액정 소자의 제조 방법을 제공하는 것을 하나의 목적으로 한다.The present disclosure has been made in view of the above problems, and to provide a method of manufacturing a liquid crystal device capable of obtaining a liquid crystal device having excellent reliability in an element structure in which an interlayer insulating film, a pattern electrode, and a liquid crystal alignment film are formed on a substrate in this order. For one purpose.

본 개시는 상기 과제를 해결하기 위해, 이하의 수단을 채용했다.In order to solve the above problems, the present disclosure employs the following means.

<1> 대향 배치된 한 쌍의 기판과, 상기 한 쌍의 기판 간에 배치된 액정층과, 한 쌍의 전극을 구비하는 액정 소자의 제조 방법으로서, 상기 한 쌍의 전극 중 적어도 한쪽은, 복수의 개구부를 갖는 패턴 전극이고, 상기 한 쌍의 기판 중 적어도 한쪽에 층간 절연막을 형성하는 공정과, 상기 층간 절연막 상에 상기 패턴 전극을 형성하는 공정과, 상기 패턴 전극 상에, 상기 층간 절연막의 적어도 일부에 접촉하도록 액정 배향막을 형성하는 공정을 포함하고, 상기 액정 배향막을, 중합체 성분과, 하기에 나타내는 용제군으로부터 선택되는 적어도 1종의 용제를 함유하는 액정 배향제를 이용하여 형성하는, 액정 소자의 제조 방법.<1> A method for manufacturing a liquid crystal device comprising a pair of substrates arranged oppositely, a liquid crystal layer disposed between the pair of substrates, and a pair of electrodes, wherein at least one of the pair of electrodes comprises a plurality of A pattern electrode having an opening, a step of forming an interlayer insulating film on at least one of the pair of substrates, a step of forming the pattern electrode on the interlayer insulating film, and at least a part of the interlayer insulating film on the pattern electrode A step of forming a liquid crystal aligning film so as to contact with, wherein the liquid crystal aligning film is formed using a liquid crystal aligning agent containing a polymer component and at least one solvent selected from the group of solvents shown below. Manufacturing method.

용제군: Solvents:

[A] 용제: 하기식 (1)로 나타나는 화합물, 하기식 (2)로 나타나는 화합물, N,N,2-트리메틸프로피온아미드 및, 1,3-디메틸-2-이미다졸리디논.[A] Solvent: Compound represented by the following formula (1), compound represented by the following formula (2), N, N, 2-trimethylpropionamide, and 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone.

[B] 용제: 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 4-메톡시-4-메틸-2-펜탄온, 4-하이드록시-2-부탄온, 2-메틸-2-헥산올, 2,6-디메틸-4-헵탄올, 디이소부틸케톤, 프로필렌글리콜디아세테이트, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 디이소펜틸에테르, 다이아세톤알코올 및, 프로필렌글리콜모노부틸에테르.[B] Solvent: Dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, 4-methoxy-4-methyl-2-pentanone, 4-hydroxy-2-butanone, 2 -Methyl-2-hexanol, 2,6-dimethyl-4-heptanol, diisobutyl ketone, propylene glycol diacetate, diethylene glycol diethyl ether, diisopentyl ether, diacetone alcohol, and propylene glycol monobutyl ether.

Figure pct00001
Figure pct00001

(식 (1) 중, R1은, 탄소수 2∼5의 1가의 탄화수소기, 또는 당해 탄화수소기에 있어서의 탄소-탄소 결합 간에 「-O-」를 갖는 1가의 기이다.)(In Formula (1), R 1 is a monovalent hydrocarbon group having 2 to 5 carbon atoms, or a monovalent group having "-O-" between carbon-carbon bonds in the hydrocarbon group.)

Figure pct00002
Figure pct00002

(식 (2) 중, R2 및 R3은, 각각 독립적으로, 수소 원자, 탄소수 1∼6의 1가의 탄화수소기, 또는 당해 탄화수소기의 탄소-탄소 결합 간에 「-O-」를 갖는 1가의 기이고, R2와 R3이 서로 결합하여 환 구조를 형성해도 좋다. R4는, 탄소수 1∼6의 알킬기이다.)(In formula (2), R 2 and R 3 are each independently a hydrogen atom, a monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, or a monovalent group having "-O-" between the carbon-carbon bonds of the hydrocarbon group. Group, and R 2 and R 3 may combine with each other to form a ring structure. R 4 is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.)

상기 구성에 의하면, 액정 배향막을 형성할 때에 패턴 전극의 개구부에 있어서 층간 절연막과 액정 배향제가 접촉해도 층간 절연막이나 액정 배향막의 성능이 저하하기 어려워, 신뢰성이 우수한 액정 소자를 얻을 수 있다.According to the said structure, even if an interlayer insulating film and a liquid crystal aligning agent contact in the opening part of a pattern electrode when forming a liquid crystal aligning film, the performance of an interlayer insulating film or a liquid crystal aligning film is hard to fall, and a reliable liquid crystal element can be obtained.

도 1은, 액정 장치의 일부를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는, 제1 실시 형태의 액정 장치의 일부를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 3은, 제2 실시 형태의 액정 장치의 일부를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 4는, 실시예에서 사용한 전극의 구조를 나타내는 도면이다.
도 5는, 실시예에서 사용한 전극의 구조를 나타내는 도면이다.
1 is a diagram schematically showing a part of a liquid crystal device.
2 is a cross-sectional view schematically showing a part of the liquid crystal device of the first embodiment.
3 is a cross-sectional view schematically showing a part of the liquid crystal device of the second embodiment.
4 is a view showing the structure of an electrode used in Examples.
5 is a view showing the structure of an electrode used in Examples.

(발명을 실시하기 위한 형태)(Form for carrying out the invention)

이하에, 실시 형태에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 이하의 각 실시 형태 상호에 있어서, 서로 동일 혹은 균등인 부분에는, 도면 중, 동일 부호를 붙이고 있고, 동일 부호의 부분에 대해서는 그의 설명을 원용한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment is demonstrated, referring drawings. In addition, in each of the following embodiments, the same code | symbol is attached | subjected to the part which is the same or equivalent to each other, and the description is used about the part of the same code | symbol.

(액정 장치(10)의 구성)(Configuration of liquid crystal device 10)

액정 장치(10)는, PSA(Polymer Sustained Alignment) 방식의 수직 배향형 액정 표시 소자이다. 액정 장치(10)의 표시부에는, 복수의 화소(11)가 매트릭스상으로 배치되어 있다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 화소(11)는, 서로 교차하는 주사 신호선(12) 및 영상 신호선(13)으로 둘러싸인 영역에 형성되어 있다. 각 화소(11)에는, 액정 구동용 소자로서 기능하는 박막 트랜지스터(TFT)(14)가 배치되어 있다. 액정 장치(10)는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 어레이 기판(15)과, 대향 기판(16)과, 액정층(17)을 구비하고 있다.The liquid crystal device 10 is a vertically aligned liquid crystal display element of a PSA (Polymer Sustained Alignment) system. A plurality of pixels 11 are arranged in a matrix on the display portion of the liquid crystal device 10. 1, the pixel 11 is formed in the area | region surrounded by the scanning signal line 12 and the video signal line 13 which mutually intersect. In each pixel 11, a thin film transistor (TFT) 14 serving as an element for driving a liquid crystal is disposed. 2, the liquid crystal device 10 includes an array substrate 15, a counter substrate 16, and a liquid crystal layer 17.

어레이 기판(15)은, 유리 기판이나 플라스틱 기판 등의 투명 기판(18), 주사 신호선(12), 영상 신호선(13), 박막 트랜지스터(14), 화소 전극(19) 및, 층간 절연막(21)을 갖고 있다(도 2 참조). 박막 트랜지스터(14)는, 주사 신호선(12)으로 이루어지는 게이트 전극(22), 실리콘(Si)으로 구성되는 반도체층(23), 영상 신호선(13)으로 이루어지는 소스 전극(24) 및, 화소 전극(19)에 접속되는 드레인 전극(25)을 포함하여 구성되어 있다. 박막 트랜지스터(14)는, 포토리소그래피 등의 공지의 방법에 의해 형성되어 있다. 박막 트랜지스터(14)의 각 부를 구성하는 구체적인 재료로서는 공지의 재료를 이용할 수 있다.The array substrate 15 includes a transparent substrate 18 such as a glass substrate or a plastic substrate, a scanning signal line 12, an image signal line 13, a thin film transistor 14, a pixel electrode 19, and an interlayer insulating film 21 (See FIG. 2). The thin film transistor 14 includes a gate electrode 22 made of a scan signal line 12, a semiconductor layer 23 made of silicon (Si), a source electrode 24 made of an image signal line 13, and a pixel electrode ( 19) is connected to the drain electrode 25. The thin film transistor 14 is formed by a known method such as photolithography. As a specific material constituting each part of the thin film transistor 14, a known material can be used.

화소 전극(19)은, ITO 등의 투명 도전체에 의해 형성되어 있다. 화소 전극(19)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 평면상의 전극에 복수의 슬릿부(가늘고 긴 직사각 형상의 개구부)(19c)가 형성된 패턴 전극이다. 구체적으로는, 화소 전극(19)은, 서로 직교하는 2개의 방향으로 연장되는 줄기 라인부(19a)와, 줄기 라인부(19a)로부터 경사 방향으로 연장되는 복수의 분기 라인부(19b)와, 복수의 분기 라인부(19b)의 사이에 형성된 복수의 슬릿부(19c)를 구비하여, 도전부와 비도전부의 반복 패턴을 갖고 있다. 화소 전극(19)은, 박막 트랜지스터(14)에 전기적으로 접속되어 있다. 박막 트랜지스터(14)는, 주사 신호선(12) 및 영상 신호선(13)에 전기적으로 접속되어 있고, 각종 신호가 공급된다.The pixel electrode 19 is formed of a transparent conductor such as ITO. As shown in Fig. 1, the pixel electrode 19 is a pattern electrode in which a plurality of slit portions (elongated rectangular openings) 19c are formed on a flat electrode. Specifically, the pixel electrode 19 includes a stem line portion 19a extending in two directions orthogonal to each other, a plurality of branch line portions 19b extending in an oblique direction from the stem line portion 19a, It has a plurality of slit portions 19c formed between the plurality of branch line portions 19b, and has a repeating pattern of the conductive portion and the non-conductive portion. The pixel electrode 19 is electrically connected to the thin film transistor 14. The thin film transistor 14 is electrically connected to the scanning signal line 12 and the video signal line 13, and various signals are supplied.

어레이 기판(15)은, 복수의 화소(11)가 매트릭스상으로 배치된 표시 영역에 있어서, 투명 기판(18), 층간 절연막(21) 및 화소 전극(19)이 이 순서로 적층된 구조를 갖는다. 화소 전극(19)은, 층간 절연막(21)에 형성된 컨택트 홀(27)을 개재하여 드레인 전극(25)에 접속되어 있다. 층간 절연막(21)은, 후술하는 감방사선성 수지 조성물을 이용하여 포토리소그래피법에 의해 형성되어 있다. 층간 절연막(21)을 형성함으로써, 화소 전극(19)과 신호선의 사이의 용량 커플링이 증대하는 것을 억제하도록 하고 있다.The array substrate 15 has a structure in which a transparent substrate 18, an interlayer insulating film 21, and a pixel electrode 19 are stacked in this order in a display area in which a plurality of pixels 11 are arranged in a matrix. . The pixel electrode 19 is connected to the drain electrode 25 through a contact hole 27 formed in the interlayer insulating film 21. The interlayer insulating film 21 is formed by a photolithography method using a radiation-sensitive resin composition described later. By forming the interlayer insulating film 21, the increase in the capacitive coupling between the pixel electrode 19 and the signal line is suppressed.

대향 기판(16)은, 투명 기판(28), 컬러 필터층(29), 절연층으로서의 오버 코팅층(도시 생략) 및, 공통 전극(31)을 포함하여 구성되어 있다. 컬러 필터층(29)은, 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)으로 착색된 서브 화소에 의해 구성되어 있다. 컬러 필터층(29)은, 포토리소그래피 등의 공지의 방법에 의해 제작된다. 공통 전극(31)은, ITO 등의 투명 도전체에 의해 형성된 평면상의 전극이며, 복수의 화소(11)에 걸쳐 형성되어 있다.The counter substrate 16 includes a transparent substrate 28, a color filter layer 29, an overcoat layer (not shown) as an insulating layer, and a common electrode 31. The color filter layer 29 is composed of sub-pixels colored in red (R), green (G), and blue (B). The color filter layer 29 is produced by a known method such as photolithography. The common electrode 31 is a planar electrode formed of a transparent conductor such as ITO, and is formed across a plurality of pixels 11.

어레이 기판(15)의 전극 형성면에는 제1 배향막(32)이 형성되어 있고, 대향 기판(16)의 전극 형성면에는 제2 배향막(33)이 형성되어 있다. 제1 배향막(32) 및 제2 배향막(33)은, 액정층(17) 중의 액정 분자의 배향을 규제하는 액정 배향막이며, 중합체 성분을 함유하는 중합체 조성물인 액정 배향제를 이용하여 기판 상에 형성되어 있다. 제1 배향막(32)은, 표시 영역 중 적어도 슬릿부(19c)에 있어서 층간 절연막(21)에 접촉하고 있다.The first alignment layer 32 is formed on the electrode formation surface of the array substrate 15, and the second alignment layer 33 is formed on the electrode formation surface of the counter substrate 16. The first alignment film 32 and the second alignment film 33 are liquid crystal alignment films that regulate the alignment of liquid crystal molecules in the liquid crystal layer 17, and are formed on a substrate using a liquid crystal alignment agent that is a polymer composition containing a polymer component. It is done. The first alignment film 32 is in contact with the interlayer insulating film 21 in at least the slit portion 19c of the display area.

어레이 기판(15) 및 대향 기판(16)은, 어레이 기판(15)의 배향막 형성면과, 대향 기판(16)의 배향막 형성면이 대향하도록 소정의 간극(셀 갭)을 형성하여 배치되어 있다. 대향 배치된 한 쌍의 기판의 주연부는, 시일제(도시 생략)에 의해 접합되어 있다. 시일제의 재료로서는, 액정 장치용의 시일제로서 공지의 재료(예를 들면, 열 경화성 수지나 광 경화성 수지)가 이용되고 있다. 어레이 기판(15), 대향 기판(16) 및 시일제에 의해 둘러싸인 공간에는 액정 조성물이 충전되어 있고, 이에 따라, 제1 배향막(32) 및 제2 배향막(33)에 접하도록 하여 액정층(17)이 배치되어 있다.The array substrate 15 and the counter substrate 16 are arranged to form a predetermined gap (cell gap) so that the alignment film forming surface of the array substrate 15 and the alignment film forming surface of the counter substrate 16 face each other. The periphery of the pair of opposing substrates is joined by a sealing agent (not shown). As a material for the sealing agent, a known material (for example, a thermosetting resin or a photocurable resin) is used as the sealing agent for liquid crystal devices. A liquid crystal composition is filled in a space surrounded by the array substrate 15, the counter substrate 16, and the sealing agent, and accordingly, the liquid crystal layer 17 is brought into contact with the first alignment layer 32 and the second alignment layer 33. ).

액정층(17)은, 부의 유전율 이방성을 갖고 있다. 액정층(17)은, 어레이 기판(15)과의 계면 및 대향 기판(16)과의 계면의 각각에 있어서, 폴리머층인 PSA층(34, 35)을 갖고 있다. PSA층(34, 35)은, 액정층(17)에 미리 혼입시킨 광 중합성 모노머를, 액정 셀의 구축 후에 액정 분자를 프리틸트 배향시킨 상태에서 광 중합함으로써 형성되어 있다. 액정 장치(10)에 있어서는, PSA층(34, 35)에 의해 액정층(17) 중의 액정 분자의 초기 배향이 제어된다.The liquid crystal layer 17 has negative dielectric anisotropy. The liquid crystal layer 17 has PSA layers 34 and 35 which are polymer layers at each of the interface with the array substrate 15 and the interface with the counter substrate 16. The PSA layers 34 and 35 are formed by photopolymerizing the photopolymerizable monomer previously mixed into the liquid crystal layer 17 in a state in which the liquid crystal molecules are pretilt-oriented after the construction of the liquid crystal cell. In the liquid crystal device 10, the initial alignment of the liquid crystal molecules in the liquid crystal layer 17 is controlled by the PSA layers 34 and 35.

액정 장치(10)에 있어서, 어레이 기판(15) 및 대향 기판(16)의 각각의 외측에는 편광판(36, 37)이 배치되어 있다. 어레이 기판(15)의 외연부에는 단자 영역이 형성되어 있고, 이 단자 영역에 액정을 구동하기 위한 드라이버 IC 등이 접속됨으로써 액정 장치(10)가 구동된다.In the liquid crystal device 10, polarizing plates 36 and 37 are disposed on the outer sides of the array substrate 15 and the counter substrate 16, respectively. A terminal region is formed on an outer edge portion of the array substrate 15, and a driver IC or the like for driving liquid crystal is connected to the terminal region, thereby driving the liquid crystal device 10.

<액정 배향제><Liquid crystal aligning agent>

다음으로, 액정 배향막(제1 배향막(32), 제2 배향막(33))을 형성하기 위해 이용하는 액정 배향제에 대해서 설명한다. 액정 배향제는, 중합체 성분과 용제 성분을 함유한다.Next, the liquid crystal aligning agent used for forming a liquid crystal aligning film (1st aligning film 32, 2nd aligning film 33) is demonstrated. The liquid crystal aligning agent contains a polymer component and a solvent component.

(중합체 성분)(Polymer component)

액정 배향제에 함유되는 중합체는, 그의 주골격은 특별히 한정되지 않고, 예를 들면 폴리암산, 폴리암산 에스테르, 폴리이미드, 폴리오르가노실록산, 폴리에스테르, 셀룰로오스 유도체, 폴리아세탈, 폴리스티렌 유도체, 폴리(스티렌-페닐말레이미드) 유도체, 폴리(메타)아크릴계 중합체 등의 주골격을 들 수 있다. 이들 중에서도, 폴리암산, 폴리암산 에스테르, 폴리이미드 및 폴리오르가노실록산으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 중합체(이하, [P] 중합체라고도 함)인 것이 바람직하다. 또한, 액정 배향제의 조제에 있어서, 중합체로서는 1종을 단독으로 사용해도 좋고, 2종 이상을 조합하여 사용해도 좋다. 본 명세서에 있어서 「(메타)아크릴」은, 「아크릴」및 「메타크릴」을 포함하는 의미이다.The main skeleton of the polymer contained in the liquid crystal aligning agent is not particularly limited. For example, polyamic acid, polyamic acid ester, polyimide, polyorganosiloxane, polyester, cellulose derivative, polyacetal, polystyrene derivative, poly ( And main skeletons such as styrene-phenylmaleimide) derivatives and poly (meth) acrylic polymers. Among these, it is preferable that they are at least one polymer (hereinafter also referred to as [P] polymer) selected from the group consisting of polyamic acid, polyamic acid ester, polyimide and polyorganosiloxane. In addition, in preparing a liquid crystal aligning agent, one type of polymer may be used alone, or two or more types may be used in combination. In this specification, "(meth) acrylic" means "acrylic" and "methacryl."

[P] 중합체를 합성하는 방법은 특별히 한정되지 않는다. 예를 들면, [P] 중합체가 폴리암산인 경우, 당해 폴리암산은, 테트라카본산 2무수물과 디아민을 반응시킴으로써 얻을 수 있다.[P] The method for synthesizing the polymer is not particularly limited. For example, when the [P] polymer is a polyamic acid, the polyamic acid can be obtained by reacting tetracarboxylic acid anhydride and diamine.

(폴리암산)(Polyamic acid)

폴리암산의 합성에 사용하는 테트라카본산 2무수물로서는, 예를 들면 지방족 테트라카본산 2무수물, 지환식 테트라카본산 2무수물, 방향족 테트라카본산 2무수물 등을 들 수 있다. 이들의 구체예로서는, 지방족 테트라카본산 2무수물로서, 예를 들면 1,2,3,4-부탄테트라카본산 2무수물, 에틸렌디아민 4아세트산 2무수물 등을;Examples of the tetracarboxylic acid anhydride used for the synthesis of polyamic acid include aliphatic tetracarboxylic acid anhydride, alicyclic tetracarboxylic acid anhydride, aromatic tetracarboxylic acid anhydride, and the like. As specific examples of these, as aliphatic tetracarboxylic acid anhydride, for example, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic acid anhydride, ethylenediamine tetraacetic acid 2 anhydride, and the like;

지환식 테트라카본산 2무수물로서, 예를 들면 1,2,3,4-사이클로부탄테트라카본산 2무수물, 1,3-디메틸-1,2,3,4-사이클로부탄테트라카본산 2무수물, 2,3,5-트리카복시사이클로펜틸아세트산 2무수물, 1,3,3a,4,5,9b-헥사하이드로-5-(테트라하이드로-2,5-디옥소-3-푸라닐)-나프토[1,2-c]푸란-1,3-디온, 1,3,3a,4,5,9b-헥사하이드로-8-메틸-5-(테트라하이드로-2,5-디옥소-3-푸라닐)-나프토[1,2-c]푸란-1,3-디온, 3-옥사바이사이클로[3.2.1]옥탄-2,4-디온-6-스피로-3'-(테트라하이드로푸란-2',5'-디온), 5-(2,5-디옥소테트라하이드로-3-푸라닐)-3-메틸-3-사이클로헥센-1,2-디카본산 무수물, 2,4,6,8-테트라카복시바이사이클로[3.3.0]옥탄-2:4,6:8-2무수물, 사이클로헥산테트라카본산 2무수물, 사이클로펜탄테트라카본산 2무수물 등을;As an alicyclic tetracarboxylic acid anhydride, for example, 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic acid anhydride, 1,3-dimethyl-1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic acid anhydride, 2,3,5-tricarboxycyclopentylacetic acid 2 anhydride, 1,3,3a, 4,5,9b-hexahydro-5- (tetrahydro-2,5-dioxo-3-furanyl) -naphtho [1,2-c] furan-1,3-dione, 1,3,3a, 4,5,9b-hexahydro-8-methyl-5- (tetrahydro-2,5-dioxo-3-fura Neil) -naphtho [1,2-c] furan-1,3-dione, 3-oxabicyclo [3.2.1] octane-2,4-dione-6-spiro-3 '-(tetrahydrofuran- 2 ', 5'-dione), 5- (2,5-dioxotetrahydro-3-furanyl) -3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic acid anhydride, 2,4,6, 8-tetracarboxybicyclo [3.3.0] octane-2: 4,6: 8-2 anhydride, cyclohexanetetracarboxylic acid anhydride, cyclopentanetetracarboxylic acid anhydride, and the like;

방향족 테트라카본산 2무수물로서, 예를 들면 피로멜리트산 2무수물, 4,4'-(헥사플루오로이소프로필리덴)디프탈산 무수물, p-페닐렌비스(트리멜리트산 모노 에스테르 무수물), 에틸렌글리콜비스(안하이드로트리멜리테이트), 1,3-프로필렌글리콜비스(안하이드로트리멜리테이트) 등을, 각각 들 수 있는 것 외에, 일본공개특허공보 2010-97188호에 기재된 테트라카본산 2무수물을 이용할 수 있다. 또한, 테트라카본산 2무수물은, 1종을 단독으로 또는 2종 이상 조합하여 사용할 수 있다.As aromatic tetracarboxylic acid anhydride, for example, pyromellitic acid anhydride, 4,4 '-(hexafluoroisopropylidene) diphthalic anhydride, p-phenylenebis (trimellitic acid monoester anhydride), ethylene glycol In addition to the bis (anhydrotrimellitate), 1,3-propylene glycol bis (anhydrotrimellitate), and the like, the tetracarboxylic acid anhydride described in JP 2010-97188 A can be used. You can. Moreover, tetracarboxylic dianhydride can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more type.

합성에 사용하는 테트라카본산 2무수물은, 얻어지는 중합체의 용제에 대한 용해성을 보다 높게 할 수 있는 점에서, 지환식 테트라카본산 2무수물을 포함하는 것이 바람직하고, 사이클로부탄환, 사이클로펜탄환 및 사이클로헥산환으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 환 구조를 갖는 테트라카본산 2무수물(이하, 「특정 테트라카본산 2무수물」이라고도 함)을 포함하는 것이 보다 바람직하다. 특정 테트라카본산 2무수물의 사용 비율은, 폴리암산의 합성에 사용하는 테트라카본산 2무수물의 전체량에 대하여, 10몰% 이상인 것이 바람직하고, 20∼100몰%인 것이 보다 바람직하다.The tetracarboxylic acid anhydride used for synthesis is preferably from an alicyclic tetracarboxylic acid anhydride in view of being able to make the solubility of the resulting polymer higher in the solvent, and includes cyclobutane ring, cyclopentane ring, and cyclo It is more preferable to include tetracarboxylic acid dianhydride (hereinafter also referred to as "specific tetracarboxylic acid anhydride") having at least one ring structure selected from the group consisting of hexane rings. The use ratio of the specific tetracarboxylic acid anhydride is preferably 10 mol% or more, more preferably 20 to 100 mol% with respect to the total amount of tetracarboxylic acid anhydride used for the synthesis of polyamic acid.

폴리암산의 합성에 사용하는 디아민으로서는, 예를 들면 지방족 디아민, 지환식 디아민, 방향족 디아민, 디아미노오르가노실록산 등을 들 수 있다. 이들의 구체예로서는, 지방족 디아민으로서, 예를 들면 메타자일릴렌디아민, 1,3-프로판디아민, 테트라메틸렌디아민, 헥사메틸렌디아민, 1,3-비스(아미노메틸)사이클로헥산 등을; 지환식 디아민으로서, 예를 들면 1,4-디아미노사이클로헥산, 4,4'-메틸렌비스(사이클로헥실아민) 등을;Examples of the diamine used for the synthesis of polyamic acid include aliphatic diamine, alicyclic diamine, aromatic diamine, diamino organosiloxane, and the like. As specific examples of these, as the aliphatic diamine, for example, metaxylylenediamine, 1,3-propanediamine, tetramethylenediamine, hexamethylenediamine, 1,3-bis (aminomethyl) cyclohexane and the like; Examples of the alicyclic diamine include 1,4-diaminocyclohexane, 4,4'-methylenebis (cyclohexylamine), and the like;

방향족 디아민으로서, 예를 들면 p-페닐렌디아민, 4,4'-디아미노디페닐메탄, 4,4'-디아미노디페닐술피드, 1,5-디아미노나프탈렌, 2,2'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐, 4,4'-디아미노-2,2'-비스(트리플루오로메틸)비페닐, 4,4'-디아미노디페닐에테르, 1,3-비스(4-아미노페녹시)에탄, 1,3-비스(4-아미노페녹시)프로판, 9,9-비스(4-아미노페닐)플루오렌, 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]헥사플루오로프로판, 4,4'-(p-페닐렌디이소프로필리덴)비스아닐린, 1,4-비스(4-아미노페녹시)벤젠, 2,6-디아미노피리딘, 3,6-디아미노카르바졸, N,N'-비스(4-아미노페닐)-벤지딘, 1,4-비스-(4-아미노페닐)-피페라진, 1-(4-아미노페닐)-2,3-디하이드로-1,3,3-트리메틸-1H-인덴-5-아민, 1-(4-아미노페닐)-2,3-디하이드로-1,3,3-트리메틸-1H-인덴-6-아민, 3,5-디아미노벤조산, 콜레스타닐옥시-3,5-디아미노벤젠, 콜레스테닐옥시-3,5-디아미노벤젠, 콜레스타닐옥시-2,4-디아미노벤젠, 3,5-디아미노벤조산 콜레스타닐, 3,5-디아미노벤조산 콜레스테닐, 3,5-디아미노벤조산 라노스타닐, 3,6-비스(4-아미노벤조일옥시)콜레스탄, 4-(4'-트리플루오로메톡시벤조일옥시)사이클로헥실-3,5-디아미노벤조에이트, 1,1-비스(4-((아미노페닐)메틸)페닐)-4-헵틸사이클로헥산, 1,1-비스(4-((아미노페닐)메틸)페닐)-4-(4-헵틸사이클로헥실)사이클로헥산, 2,4-디아미노-N,N-디알릴아닐린, 4-아미노벤질아민, N-[4-(2-아미노에틸)페닐]벤젠-1,4-디아민, N-[4-(아미노메틸)페닐]벤젠-1,4-디아민, 1,3-비스(4-아미노페니틸)우레아, 4,4'-[4,4'-프로판-1,3-디일비스(피페리딘-1,4-디일)]디아닐린, 2-프로피닐옥시-2,4-페닐렌디아민 및 하기식 (D-1)As an aromatic diamine, for example, p-phenylenediamine, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 1,5-diaminonaphthalene, 2,2'-dimethyl -4,4'-diaminobiphenyl, 4,4'-diamino-2,2'-bis (trifluoromethyl) biphenyl, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 1,3-bis (4-aminophenoxy) ethane, 1,3-bis (4-aminophenoxy) propane, 9,9-bis (4-aminophenyl) fluorene, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) Si) phenyl] hexafluoropropane, 4,4 '-(p-phenylenediisopropylidene) bisaniline, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 2,6-diaminopyridine, 3, 6-diaminocarbazole, N, N'-bis (4-aminophenyl) -benzidine, 1,4-bis- (4-aminophenyl) -piperazine, 1- (4-aminophenyl) -2,3 -Dihydro-1,3,3-trimethyl-1H-inden-5-amine, 1- (4-aminophenyl) -2,3-dihydro-1,3,3-trimethyl-1H-indene-6- Amine, 3,5-diaminobenzoic acid, cholestanyloxy-3,5-diaminobenzene, cholesteric Nyloxy-3,5-diaminobenzene, cholestanyloxy-2,4-diaminobenzene, 3,5-diaminobenzoic acid cholestanyl, 3,5-diaminobenzoic acid cholesteryl, 3,5- Diaminobenzoic acid ranstanil, 3,6-bis (4-aminobenzoyloxy) cholestane, 4- (4'-trifluoromethoxybenzoyloxy) cyclohexyl-3,5-diaminobenzoate, 1,1 -Bis (4-((aminophenyl) methyl) phenyl) -4-heptylcyclohexane, 1,1-bis (4-((aminophenyl) methyl) phenyl) -4- (4-heptylcyclohexyl) cyclohexane , 2,4-diamino-N, N-diallyaniline, 4-aminobenzylamine, N- [4- (2-aminoethyl) phenyl] benzene-1,4-diamine, N- [4- (amino Methyl) phenyl] benzene-1,4-diamine, 1,3-bis (4-aminophenyl) urea, 4,4 '-[4,4'-propane-1,3-diylbis (piperidine- 1,4-diyl)] dianiline, 2-propynyloxy-2,4-phenylenediamine and the following formula (D-1)

Figure pct00003
Figure pct00003

(식 (D-1) 중, XI 및 X는, 각각 독립적으로, 단결합, -O-, *-COO-, *-OCO- 또는 *-NH-CO-(단, 「*」를 붙인 결합손이 디아미노페닐기와 결합함)이고, RI 및 R는, 각각 독립적으로, 탄소수 1∼3의 알칸디일기이고, a는 0 또는 1이고, b는 0∼2의 정수이고, c는 1∼20의 정수이고, n은 0 또는 1이고, m은 0 또는 1이다. 단, a 및 b가 동시에 0이 되는 일은 없고, XI이 *-NH-CO-인 경우, n은 0이다.)(In Formula (D-1), X I and X II each independently represent a single bond, -O-, * -COO-, * -OCO-, or * -NH-CO- (however, "*" The attached bond is bonded to a diaminophenyl group), R I and R II are each independently an alkanediyl group having 1 to 3 carbon atoms, a is 0 or 1, b is an integer from 0 to 2, c is an integer from 1 to 20, n is 0 or 1, and m is 0 or 1. However, when a and b are not 0 at the same time, when X I is * -NH-CO-, n is 0.)

로 나타나는 화합물 등을;Compounds represented by;

디아미노오르가노실록산으로서, 예를 들면, 1,3-비스(3-아미노프로필)-테트라메틸디실록산 등을, 각각 들 수 있는 것 외에, 일본공개특허공보 2010-97188호에 기재된 디아민을 이용할 수 있다. 또한, 폴리암산의 합성에 있어서, 디아민은 1종을 단독으로 또는 2종 이상 조합하여 사용할 수 있다.As the diamino organosiloxane, for example, 1,3-bis (3-aminopropyl) -tetramethyldisiloxane and the like can be mentioned, and the diamine described in JP 2010-97188 A can be used. You can. In addition, in the synthesis of polyamic acid, diamine can be used alone or in combination of two or more.

폴리암산은, 상기와 같은 테트라카본산 2무수물과 디아민을, 필요에 따라서 분자량 조정제와 함께 반응시킴으로써 얻을 수 있다. 폴리암산의 합성 반응에 제공되는 테트라카본산 2무수물과 디아민의 사용 비율은, 디아민의 아미노기 1당량에 대하여, 테트라카본산 2무수물의 산 무수물기가 0.2∼2당량이 되는 비율이 바람직하다. 분자량 조정제로서는, 예를 들면 무수 말레인산, 무수 프탈산, 무수 이타콘산 등의 산 1무수물, 아닐린, 사이클로헥실아민, n-부틸아민 등의 모노아민 화합물, 페닐이소시아네이트, 나프틸이소시아네이트 등의 모노이소시아네이트 화합물 등을 들 수 있다. 분자량 조정제의 사용 비율은, 사용하는 테트라카본산 2무수물 및 디아민의 합계량에 대하여 20질량% 이하로 하는 것이 바람직하다.Polyamic acid can be obtained by reacting the above tetracarboxylic acid anhydride and diamine with a molecular weight modifier as necessary. The ratio of the tetracarboxylic acid anhydride and the diamine used in the synthesis reaction of the polyamic acid is preferably 0.2 to 2 equivalents of the acid anhydride group of the tetracarboxylic acid anhydride relative to the amino group equivalent of the diamine. As the molecular weight modifier, for example, acid monohydrides such as maleic anhydride, phthalic anhydride, and itaconic anhydride, monoamine compounds such as aniline, cyclohexylamine and n-butylamine, monoisocyanate compounds such as phenyl isocyanate and naphthyl isocyanate, etc. Can be mentioned. It is preferable that the use ratio of a molecular weight modifier is 20 mass% or less with respect to the total amount of the tetracarboxylic dianhydride and diamine used.

폴리암산의 합성 반응은, 바람직하게는 유기 용매 중에 있어서 행해진다. 이 때의 반응 온도는 -20℃∼150℃가 바람직하고, 반응 시간은 0.1∼24시간이 바람직하다.The synthesis reaction of the polyamic acid is preferably carried out in an organic solvent. The reaction temperature at this time is preferably -20 ° C to 150 ° C, and the reaction time is preferably 0.1 to 24 hours.

반응에 사용하는 유기 용매로서는, 예를 들면 비프로톤성 극성 용매, 페놀계 용매, 알코올, 케톤, 에스테르, 에테르, 할로겐화 탄화수소, 탄화수소 등을 들 수 있다. 바람직한 유기 용매는, N-메틸-2-피롤리돈, N,N-디메틸아세트아미드, N,N-디메틸포름아미드, 디메틸술폭사이드, γ-부티로락톤, 테트라메틸 우레아, 헥사메틸포스포르트리아미드, m-크레졸, 자일레놀, 할로겐화 페놀 및, 후술하는 특정 용제로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상을 용매로서 사용하거나, 혹은 이들의 1종 이상과 다른 유기 용매(예를 들면, 부틸셀로솔브, 디에틸렌글리콜디에틸에테르 등)의 혼합물을 사용하는 것이 바람직하다. 유기 용매의 사용량은, 테트라카본산 2무수물 및 디아민의 합계량이, 반응 용액의 전체량에 대하여, 0.1∼50질량%가 되는 양으로 하는 것이 바람직하다. 이상과 같이 하여, 폴리암산을 용해하여 이루어지는 반응 용액이 얻어진다. 이 반응 용액은 그대로 액정 배향제의 조제에 제공해도 좋고, 반응 용액 중에 포함되는 폴리암산을 단리한 후에 액정 배향제의 조제에 제공해도 좋다.Examples of the organic solvent used for the reaction include aprotic polar solvents, phenolic solvents, alcohols, ketones, esters, ethers, halogenated hydrocarbons and hydrocarbons. Preferred organic solvents are N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide, dimethylsulfoxide, γ-butyrolactone, tetramethyl urea, hexamethylphosphoria One or more types selected from the group consisting of mid, m-cresol, xylenol, halogenated phenol, and specific solvents described below are used as a solvent, or an organic solvent different from one or more of them (for example, butyl cell) It is preferable to use a mixture of Rosolve, diethylene glycol diethyl ether, and the like). The amount of the organic solvent used is preferably an amount such that the total amount of tetracarboxylic acid anhydride and diamine is 0.1 to 50% by mass relative to the total amount of the reaction solution. As described above, a reaction solution obtained by dissolving polyamic acid is obtained. This reaction solution may be provided as it is to the preparation of a liquid crystal aligning agent, or may be provided to the preparation of a liquid crystal aligning agent after isolating the polyamic acid contained in the reaction solution.

(폴리이미드)(Polyimide)

폴리이미드는, 상기와 같이 하여 합성된 폴리암산을 탈수 폐환하여 이미드화함으로써 얻을 수 있다. 폴리이미드는, 그의 전구체인 폴리암산이 갖고 있던 암산 구조의 전체를 탈수 폐환한 완전 이미드화물이라도 좋고, 암산 구조의 일부만을 탈수 폐환하여, 암산 구조와 이미드환 구조가 병존하는 부분 이미드화물이라도 좋다. 폴리이미드는, 그의 이미드화율이 30% 이상인 것이 바람직하고, 40∼99%인 것이 보다 바람직하고, 60∼99%인 것이 더욱 바람직하다. 이 이미드화율은, 폴리이미드의 암산 구조의 수와 이미드환 구조의 수의 합계에 대한 이미드환 구조의 수가 차지하는 비율을 백분율로 나타낸 것이다. 여기에서, 이미드환의 일부가 이소이미드환이라도 좋다.The polyimide can be obtained by imidizing the polyamic acid synthesized as described above by dehydration and ring closure. The polyimide may be a complete imide product in which the entirety of the cancerous acid structure possessed by its precursor polyamic acid is dehydrated and closed, or a partial imide in which only a part of the cancerous acid structure is dehydrated and closed to form a coexistence of the cancerous acid structure and the imide ring structure. good. It is preferable that the imidation ratio of polyimide is 30% or more, it is more preferable that it is 40-99%, and it is still more preferable that it is 60-99%. The imidation ratio is a percentage of the ratio of the number of imide ring structures to the sum of the number of imide ring structures and the number of male acid structures of polyimide. Here, a part of the imide ring may be an isoimide ring.

폴리암산의 탈수 폐환은, 바람직하게는, 폴리암산을 유기 용매에 용해하고, 이 용액 중에 탈수제 및 탈수 폐환 촉매를 첨가하여 필요에 따라서 가열하는 방법에 의해 행해진다. 이 방법에 있어서, 탈수제로서는, 예를 들면 무수 아세트산, 무수 프로피온산, 무수 트리플루오로아세트산 등의 산 무수물을 이용할 수 있다. 탈수제의 사용량은, 폴리암산의 암산 구조의 1몰에 대하여 0.01∼20몰로 하는 것이 바람직하다. 탈수 폐환 촉매로서는, 예를 들면 피리딘, 콜리딘, 루티딘, 트리에틸아민 등의 3급 아민을 이용할 수 있다. 탈수 폐환 촉매의 사용량은, 사용하는 탈수제 1몰에 대하여 0.01∼10몰로 하는 것이 바람직하다. 사용하는 유기 용매로서는, 폴리암산의 합성에 이용되는 것으로서 예시한 유기 용매를 들 수 있다. 탈수 폐환 반응의 반응 온도는, 바람직하게는 0∼180℃이고, 반응 시간은, 바람직하게는 1.0∼120시간이다. 얻어진 반응 용액은, 그대로 액정 배향제의 조제에 제공해도 좋고, 폴리이미드를 단리한 후에 액정 배향제의 조제에 제공해도 좋다.The dehydration cyclization of the polyamic acid is preferably carried out by a method in which the polyamic acid is dissolved in an organic solvent, a dehydrating agent and a dehydration cyclization catalyst are added to the solution and heated as necessary. In this method, as the dehydrating agent, for example, acid anhydrides such as acetic anhydride, propionic anhydride, and trifluoroacetic anhydride can be used. The amount of the dehydrating agent used is preferably 0.01 to 20 mol per 1 mol of the rock acid structure of the polyamic acid. As the dehydration ring closure catalyst, for example, tertiary amines such as pyridine, collidine, rutidine and triethylamine can be used. The amount of the dehydration ring-closed catalyst is preferably 0.01 to 10 mol per 1 mol of the dehydrating agent used. Examples of the organic solvent used include organic solvents exemplified as those used for the synthesis of polyamic acid. The reaction temperature of the dehydration cyclization reaction is preferably 0 to 180 ° C, and the reaction time is preferably 1.0 to 120 hours. The obtained reaction solution may be provided to the preparation of a liquid crystal aligning agent as it is, or may be provided to the preparation of a liquid crystal aligning agent after isolation of the polyimide.

(폴리암산 에스테르)(Polyamic acid ester)

폴리암산 에스테르는, 예를 들면, [I] 상기 반응에 의해 얻어진 폴리암산과 에스테르화제를 반응시키는 방법, [Ⅱ] 테트라카본산 디에스테르와 디아민을 반응시키는 방법, [Ⅲ] 테트라카본산 디에스테르디할로겐화물과 디아민을 반응시키는 방법, 등에 의해 얻을 수 있다. 여기에서, 상기 [I]의 에스테르화제로서는, 예를 들면 메탄올, 에탄올 등을 들 수 있다. 상기 [Ⅱ]에서 사용하는 테트라카본산 디에스테르는, 테트라카본산 2무수물을 알코올류 등으로 개환함으로써 얻을 수 있다. 상기 [Ⅲ]에서 사용하는 테트라카본산 디에스테르디할로겐화물은, 상기와 같이 하여 얻은 테트라카본산 디에스테르를, 염화 티오닐 등의 적당한 염소화제와 반응시킴으로써 얻을 수 있다. 얻어지는 폴리암산 에스테르는, 암산 에스테르 구조만을 갖고 있어도 좋고, 암산 구조와 암산 에스테르 구조가 병존하는 부분 에스테르화물이라도 좋다. 폴리암산 에스테르를 용해하여 이루어지는 반응 용액은, 그대로 액정 배향제의 조제에 제공해도 좋고, 반응 용액 중에 포함되는 폴리암산 에스테르를 단리한 후에 액정 배향제의 조제에 제공해도 좋다.The polyamic acid ester is, for example, [I] a method of reacting the polyamic acid obtained by the above reaction with an esterifying agent, [II] a method of reacting a tetracarboxylic acid diester with a diamine, [III] a tetracarboxylic acid diester It can be obtained by a method of reacting dihalide with diamine, or the like. Here, as an esterification agent of said [I], methanol, ethanol, etc. are mentioned, for example. The tetracarboxylic acid diester used in the above [II] can be obtained by ring opening of tetracarboxylic acid anhydride with alcohols or the like. The tetracarboxylic acid diester dihalide used in the above [III] can be obtained by reacting the tetracarboxylic acid diester obtained as described above with a suitable chlorinating agent such as thionyl chloride. The obtained polyamic acid ester may have only a carboxylic acid ester structure, or may be a partial esterified product in which a carboxylic acid structure and a carboxylic acid ester structure coexist. The reaction solution obtained by dissolving the polyamic acid ester may be provided as it is to the preparation of the liquid crystal aligning agent, or may be provided to the preparation of the liquid crystal aligning agent after isolating the polyamic acid ester contained in the reaction solution.

이상과 같이 하여 얻어지는 폴리암산, 폴리암산 에스테르 및 폴리이미드는, 이를 농도 10질량%의 용액으로 했을 때에, 10∼800mPa·s의 용액 점도를 갖는 것인 것이 바람직하고, 15∼500mPa·s의 용액 점도를 갖는 것인 것이 보다 바람직하다. 또한, 상기 중합체의 용액 점도(mPa·s)는, 당해 중합체의 양용매(예를 들면 γ-부티로락톤, N-메틸-2-피롤리돈 등)를 이용하여 조제한 농도 10질량%의 중합체 용액에 대하여, E형 회전 점도계를 이용하여 25℃에 있어서 측정한 값이다. 폴리암산, 폴리암산 에스테르 및 폴리이미드에 대해서, 겔 투과 크로마토그래피(GPC)에 의해 측정한 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량은, 500∼100,000인 것이 바람직하고, 1,000∼50,000인 것이 보다 바람직하다.The polyamic acid, polyamic acid ester, and polyimide obtained as described above are preferably those having a solution viscosity of 10 to 800 mPa · s, and a solution of 15 to 500 mPa · s when the concentration is 10% by mass. It is more preferable to have a viscosity. In addition, the solution viscosity (mPa · s) of the polymer is a polymer having a concentration of 10% by mass prepared using a good solvent of the polymer (eg, γ-butyrolactone, N-methyl-2-pyrrolidone, etc.). The solution is a value measured at 25 ° C using an E-type rotational viscometer. For polyamic acid, polyamic acid ester, and polyimide, the weight average molecular weight of polystyrene conversion measured by gel permeation chromatography (GPC) is preferably 500 to 100,000, and more preferably 1,000 to 50,000.

(폴리오르가노실록산)(Polyorganosiloxane)

폴리오르가노실록산은, 예를 들면 가수 분해성의 실란 화합물을, 바람직하게는 적당한 유기 용매, 물 및 촉매의 존재하에 있어서, 가수 분해 또는 가수 분해·축합함으로써 얻을 수 있다.The polyorganosiloxane can be obtained, for example, by hydrolyzing or hydrolyzing / condensing a hydrolyzable silane compound in the presence of a suitable organic solvent, water and catalyst.

폴리오르가노실록산의 합성에 사용하는 가수 분해성의 실란 화합물로서는, 예를 들면 테트라메톡시실란, 테트라에톡시실란, 메틸트리메톡시실란, 메틸트리에톡시실란, 페닐트리메톡시실란, 페닐트리에톡시실란, 트리메톡시실릴프로필숙신산 무수물, 디메틸디메톡시실란, 디메틸디에톡시실란 등의 알콕시실란 화합물; 3-메르캅토프로필트리메톡시실란, 3-메르캅토프로필트리에톡시실란, 메르캅토메틸트리메톡시실란, 메르캅토메틸트리에톡시실란, 3-우레이도프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, N-(3-사이클로헥실아미노)프로필트리메톡시실란 등의 질소·황 함유 알콕시실란 화합물; 3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디메톡시실란, 2-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸트리에톡시실란, 2-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸트리메톡시실란 등의 에폭시기 함유 실란 화합물; 3-(메타)아크릴옥시프로필트리메톡시실란, 3-(메타)아크릴옥시프로필메틸디메톡시실란, 3-(메타)아크릴옥시프로필메틸디에톡시실란, 비닐트리메톡시실란, p-스티릴트리메톡시실란 등의 불포화 결합 함유 알콕시실란 화합물, 등을 들 수 있다. 가수 분해성 실란 화합물은, 이들 중의 1종을 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다. 또한, 본 명세서에 있어서 「(메타)아크릴로」는, 「아크릴로」및 「메타크릴로」를 포함하는 의미이다.Examples of the hydrolyzable silane compound used for the synthesis of the polyorganosiloxane include tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, and phenyltrie Alkoxysilane compounds such as methoxysilane, trimethoxysilylpropylsuccinic anhydride, dimethyldimethoxysilane, and dimethyldiethoxysilane; 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltriethoxysilane, mercaptomethyltrimethoxysilane, mercaptomethyltriethoxysilane, 3-ureidopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyl Nitrogen-sulfur-containing alkoxysilane compounds such as trimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, and N- (3-cyclohexylamino) propyltrimethoxysilane; 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltriethoxysilane, Epoxy group-containing silane compounds such as 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyl trimethoxysilane; 3- (meth) acryloxypropyltrimethoxysilane, 3- (meth) acryloxypropylmethyldimethoxysilane, 3- (meth) acryloxypropylmethyldiethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, p-styryl tree And an unsaturated bond-containing alkoxysilane compound such as methoxysilane. The hydrolyzable silane compound can be used alone or in combination of two or more. In addition, in this specification, "(meth) acrylo" means "acrylo" and "methacryl".

상기의 가수 분해·축합 반응은, 상기와 같이 실란 화합물의 1종 또는 2종 이상과 물을, 바람직하게는 적당한 촉매 및 유기 용매의 존재하에서 반응시킴으로써 행한다. 반응에 있어서, 물의 사용 비율은, 실란 화합물(합계량) 1몰에 대하여, 바람직하게는 1∼30몰이다. 사용하는 촉매로서는, 예를 들면 산, 알칼리 금속 화합물, 유기 염기(예를 들면 트리에틸아민이나 테트라메틸암모늄하이드록사이드 등), 티탄 화합물, 지르코늄 화합물 등을 들 수 있다. 촉매의 사용량은, 촉매의 종류, 온도 등의 반응 조건 등에 따라 상이하고, 적절히 설정되어야 하지만, 예를 들면 실란 화합물의 합계량에 대하여, 바람직하게는 0.01∼3배몰이다. 사용하는 유기 용매로서는, 예를 들면 탄화수소, 케톤, 에스테르, 에테르, 알코올 등을 들 수 있고, 이들 중, 비수용성 또는 난수용성의 유기 용매를 이용하는 것이 바람직하다. 유기 용매의 사용 비율은, 반응에 사용하는 실란 화합물의 합계 100질량부에 대하여, 바람직하게는 50∼1,000질량부이다.The above hydrolysis / condensation reaction is performed by reacting one or two or more of the silane compounds with water, preferably in the presence of a suitable catalyst and an organic solvent. In the reaction, the proportion of water used is preferably 1 to 30 mol with respect to 1 mol of the silane compound (total amount). Examples of the catalyst used include acids, alkali metal compounds, organic bases (for example, triethylamine and tetramethylammonium hydroxide), titanium compounds, and zirconium compounds. The amount of the catalyst used varies depending on the type of catalyst, reaction conditions such as temperature, and the like, and should be appropriately set. For example, it is preferably 0.01 to 3 times the mole relative to the total amount of the silane compound. Examples of the organic solvent to be used include hydrocarbons, ketones, esters, ethers, alcohols, and the like, and among these, it is preferable to use a water-insoluble or sparingly water-soluble organic solvent. The use ratio of the organic solvent is preferably 50 to 1,000 parts by mass based on 100 parts by mass of the total amount of silane compounds used for the reaction.

상기의 가수 분해·축합 반응은, 예를 들면 유욕(油浴) 등에 의해 가열하여 실시하는 것이 바람직하다. 그 때, 가열 온도는 130℃ 이하로 하는 것이 바람직하고, 가열 시간은, 0.5∼12시간으로 하는 것이 바람직하다. 반응 종료 후에 있어서, 반응액으로부터 분취한 유기 용매층에 대해, 용매를 제거함으로써 폴리실록산을 얻을 수 있다.It is preferable to perform the said hydrolysis-condensation reaction by heating, for example with an oil bath. At that time, the heating temperature is preferably 130 ° C or lower, and the heating time is preferably 0.5 to 12 hours. After completion of the reaction, the polysiloxane can be obtained by removing the solvent to the organic solvent layer fractionated from the reaction solution.

폴리오르가노실록산의 측쇄에, 프리틸트각 부여기나 광 배향성기 등의 기능성기를 도입하는 경우, 그의 합성 방법은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 에폭시기 함유 실란 화합물, 또는 에폭시기 함유 실란 화합물과 그 외의 실란 화합물의 혼합물을 가수 분해 축합하여, 에폭시기를 갖는 폴리오르가노실록산을 합성하고, 이어서, 얻어진 에폭시기 함유 폴리오르가노실록산과, 상기 기능성기를 갖는 카본산을 반응시키는 방법 등을 들 수 있다. 에폭시기 함유 폴리오르가노실록산과 카본산의 반응은 공지의 방법에 따라서 행할 수 있다.When a functional group such as a pretilt angle imparting group or a photo-alignment group is introduced into the side chain of the polyorganosiloxane, the synthesis method thereof is not particularly limited, for example, an epoxy group-containing silane compound or an epoxy group-containing silane compound and other And a method in which a mixture of silane compounds is hydrolyzed and condensed to synthesize a polyorganosiloxane having an epoxy group, and then the obtained epoxy group-containing polyorganosiloxane is reacted with a carbon acid having the functional group. The reaction of the epoxy group-containing polyorganosiloxane and carbon acid can be carried out according to a known method.

폴리오르가노실록산은, GPC로 측정한 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량 (Mw)이 500∼100,000의 범위에 있는 것이 바람직하고, 1,000∼30,000의 범위에 있는 것이 보다 바람직하고, 1,000∼20,000인 것이 더욱 바람직하다. 폴리오르가노실록산의 중량 평균 분자량이 상기 범위에 있으면, 액정 배향막을 제조할 때에 취급하기 쉽고, 또한 충분한 재료 강도 및 특성을 갖는 액정 배향막이 얻어진다.The polyorganosiloxane preferably has a weight average molecular weight (Mw) in terms of polystyrene measured by GPC in the range of 500 to 100,000, more preferably in the range of 1,000 to 30,000, and more preferably 1,000 to 20,000. Do. When the weight average molecular weight of the polyorganosiloxane is in the above range, a liquid crystal alignment film having easy material handling and sufficient material strength and properties can be obtained when producing a liquid crystal alignment film.

액정 배향제 중에 있어서의 [P] 중합체의 함유 비율(2종 이상 함유하는 경우에는 합계량)은, 액정 배향제 중의 중합체 성분의 합계량에 대하여, 60질량% 이상인 것이 바람직하고, 80질량% 이상인 것이 보다 바람직하다. 또한, 액정 배향제는, 신뢰성에 의해 우수한 액정 소자를 얻을 수 있는 점에서, 폴리암산, 폴리암산 에스테르 및 폴리이미드로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종인 [p] 중합체를 포함하는 것이 바람직하다. 액정 배향제 중에 있어서의 [p] 중합체의 함유 비율(2종 이상 포함하는 경우에는 그의 합계량)은, 액정 배향제 중의 중합체 성분의 합계량에 대하여, 40질량% 이상인 것이 바람직하고, 60질량% 이상인 것이 보다 바람직하다.The content ratio of the [P] polymer in the liquid crystal aligning agent (total amount when two or more kinds are contained) is preferably 60% by mass or more, and more preferably 80% by mass or more, with respect to the total amount of the polymer components in the liquid crystal aligning agent. desirable. Moreover, it is preferable that a liquid crystal aligning agent contains the [p] polymer which is at least 1 sort (s) selected from the group which consists of polyamic acid, polyamic acid ester, and polyimide from the point which can obtain a liquid crystal element excellent by reliability. The content ratio of the [p] polymer in the liquid crystal aligning agent (when two or more are included) is preferably 40% by mass or more, and 60% by mass or more, with respect to the total amount of the polymer components in the liquid crystal aligning agent. It is more preferable.

액정 배향제에 함유되는 중합체 성분의 적어도 일부는, 하기식 (3)으로 나타나는 부분 구조를 갖는 중합체인 것이 바람직하다.It is preferable that at least a part of the polymer component contained in the liquid crystal aligning agent is a polymer having a partial structure represented by the following formula (3).

*-L1-R11-R12-R13-R14   …(3)* -L 1 -R 11 -R 12 -R 13 -R 14 … (3)

(식 (3) 중, L1은, -O-, -CO-, -COO-*1, -OCO-*1, -NR15-, -NR15-CO-*1, -CO-NR15-*1, 탄소수 1∼6의 알칸디일기, -O-R16-*1, 또는 -R16-O-*1(단, R15는 수소 원자 또는 탄소수 1∼10의 1가의 탄화수소기이고, R16은 탄소수 1∼3의 알칸디일기이다. 「*1」은, R11과의 결합손인 것을 나타낸다.)이다. R11 및 R13은, 각각 독립적으로, 단결합, 페닐렌기 또는 사이클로알킬렌기이고, R12는, 단결합, 페닐렌기, 사이클로알킬렌기, -R17-B1-*2, 또는 -B1-R17-*2(단, R17은 페닐렌기 또는 사이클로알킬렌기이고, B1은 -COO-*3, -OCO-*3, 또는 탄소수 1∼3의 알칸디일기이다. 「*2」는, R13과의 결합손인 것을 나타내고, 「*3」은, R17과의 결합손인 것을 나타낸다.)이다. R14는, 수소 원자, 불소 원자, 탄소수 1∼18의 알킬기, 탄소수 1∼18의 플루오로알킬기, 탄소수 1∼18의 알콕시기, 탄소수 1∼18의 플루오로알콕시기, 또는 스테로이드 골격을 갖는 탄소수 17∼51의 탄화수소기이고, 라디칼 중합성기 또는 광 개시제기를 갖고 있어도 좋다. 단, R14가 수소 원자, 불소 원자 또는 탄소수 1∼3의 기인 경우, R11, R12 및 R13의 전부가 단결합이 되는 일은 없다. 「*」는 결합손인 것을 나타낸다.)(In formula (3), L 1 is -O-, -CO-, -COO- * 1 , -OCO- * 1 , -NR 15- , -NR 15 -CO- * 1 , -CO-NR 15 -* 1 , an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms, -OR 16- * 1 , or -R 16 -O- * 1 (where R 15 is a hydrogen atom or a monovalent hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, R 16 is an alkanediyl group having a carbon number of 1 to 3. "* 1", it indicates that sonin combination with R 11. is). R 11 and R 13 are, each independently, a single bond, phenylene group or cycloalkyl group , R 12 is a single bond, a phenylene group, a cycloalkylene group, -R 17 -B 1- * 2 , or -B 1 -R 17- * 2 (where R 17 is a phenylene group or a cycloalkylene group, B 1 is -COO- * 3 , -OCO- * 3 , or an alkanediyl group having 1 to 3. C. "* 2 " indicates a bonding group with R 13, and "* 3 " indicates R 17 and of binding indicates that sonin.) a. R 14 is, seen in the alkyl group, having 1 to 18 carbon atoms as a hydrogen atom, a fluorine atom, an alkyl, fluoroalkyl having 1 to 18 carbon atoms having a carbon number of 1 to 18 Group, an alkoxy group, or a hydrocarbon group of a carbon number of 17-51 with a steroid skeleton, the radical polymerization may have a group or photoinitiation raised. However, R 14 is a hydrogen atom, a fluorine atom or a carbon number of fluoroalkyl having 1 to 18 carbon atoms In the case of a group of 1 to 3, all of R 11 , R 12 and R 13 do not form a single bond. "*" Indicates a bonding hand.)

상기식 (3)에 있어서, L1, B1의 알칸디일기, 그리고 R14의 알킬기, 플루오로알킬기, 알콕시기 및 플루오로알콕시기는, 직쇄상인 것이 바람직하다. R14의 스테로이드 골격을 갖는 기로서는, 예를 들면 콜레스타닐기, 콜레스테릴기, 라노스타닐기 등을 들 수 있다. R11, R12, R13 및 R17의 페닐렌기는 1,4-페닐렌기가 바람직하고, 사이클로알킬렌기는 1,4-사이클로헥실렌기가 바람직하다. R11 및 R13은, 이들 중 적어도 1개가 페닐렌기 또는 사이클로알킬렌기인 것이 바람직하다. R12는, 페닐렌기, 사이클로알킬렌기, -R17-B1-*2, 또는 -B1-R17-*2인 것이 바람직하다. 상기식 (3)으로 나타나는 부분 구조를 갖는 중합체의 주골격은 특별히 한정되지 않지만, [P] 중합체인 것이 바람직하다.In the formula (3), the alkanediyl group of L 1 and B 1 and the alkyl group, fluoroalkyl group, alkoxy group and fluoroalkoxy group of R 14 are preferably linear. Examples of the group having a steroid skeleton of R 14 include cholstanyl group, cholesteryl group, and lanostaniyl group. The phenylene group of R 11 , R 12 , R 13 and R 17 is preferably 1,4-phenylene group, and the cycloalkylene group is preferably 1,4-cyclohexylene group. It is preferable that at least one of R 11 and R 13 is a phenylene group or a cycloalkylene group. R 12 is preferably a phenylene group, a cycloalkylene group, -R 17 -B 1- * 2 , or -B 1 -R 17- * 2 . The main skeleton of the polymer having a partial structure represented by the formula (3) is not particularly limited, but is preferably a [P] polymer.

중합체 중에 있어서의 상기식 (3)으로 나타나는 부분 구조의 함유 비율은, 중합체의 주쇄에 따라서 적절히 설정되지만, 액정의 응답 속도를 충분히 빠르게 하는 관점에서, 중합체의 전체 모노머 단위에 대하여 1∼50몰%로 하는 것이 바람직하고, 2∼40몰%로 하는 것이 보다 바람직하다.The content ratio of the partial structure represented by the formula (3) in the polymer is appropriately set depending on the main chain of the polymer, but from the viewpoint of sufficiently fastening the response speed of the liquid crystal, it is 1 to 50 mol% relative to the total monomer units of the polymer. It is preferable to be, and it is more preferable to be 2 to 40 mol%.

또한, 잔상이 발생하기 어렵고, 또한 액정의 응답 속도가 빠른 액정 소자를 얻을 수 있는 점에서, 액정 배향제는, 중합체 성분으로서, 라디칼 중합성기, 광 개시제기, 라디칼 중합 금지제기, 질소 함유 복소환(단, 폴리이미드가 갖는 이미드환을 제외함), 아미노기 및, 보호된 아미노기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종(이하, 「특정 부분 구조」라고도 함)을 갖는 중합체를 함유하고 있는 것이 바람직하다.In addition, since a residual image is hardly generated and a liquid crystal element having a high response speed of liquid crystal can be obtained, the liquid crystal aligning agent is a polymer component, a radical polymerizable group, a photoinitiator group, a radical polymerization inhibitor group, a nitrogen-containing heterocycle (However, except for the imide ring of the polyimide), it is preferable to contain a polymer having at least one selected from the group consisting of an amino group and a protected amino group (hereinafter also referred to as "specific partial structure"). .

라디칼 중합성기로서는, 예를 들면 (메타)아크릴로일기, 비닐기, 알릴기, 비닐페닐기, 말레이미드기, 비닐옥시기, 에티닐기 등을 들 수 있다. 이들 중, 반응성이 높은 점에서 (메타)아크릴로일기가 특히 바람직하다.Examples of the radical polymerizable group include (meth) acryloyl group, vinyl group, allyl group, vinylphenyl group, maleimide group, vinyloxy group, and ethynyl group. Of these, a (meth) acryloyl group is particularly preferred because of its high reactivity.

광 개시제기는, 빛에 의해 중합 개시능을 발생시키는 부위 또는 광 증감 작용을 갖는 부위이고, 가시광선, 자외선, 원자외선, 전자선, X선 등의 방사선의 조사에 의해 중합성 성분의 중합을 개시 가능한 화합물(광 개시제)에 유래하는 구조를 갖는 기이다. 광 개시제기로서는, 광 조사에 의해 라디칼을 발생 가능한 라디칼 중합 개시제에 유래하는 구조를 갖는 기인 것이 바람직하다. 구체적으로는, 예를 들면 아세토페논계 화합물, 옥심에스테르계 화합물, 디벤조일계 화합물, 벤조인계 화합물, 벤조페논계 화합물, 알킬페논계 화합물, 또는 아실포스핀옥사이드계 화합물에 유래하는 구조를 갖는 기 등을 들 수 있다. 광 개시제기는, 이들 중에서도, 아세토페논 구조를 갖는 기인 것이 바람직하다. 중합체가 라디칼 중합성기 및 광 개시제기의 적어도 어느 하나를 갖는 경우, 이들 기를 측쇄에 갖고 있는 것이 바람직하다.The photoinitiator is a site that generates a polymerization initiation ability by light or a site that has a light-sensitizing action, and initiates polymerization of the polymerizable component by irradiation with radiation such as visible light, ultraviolet light, far ultraviolet rays, electron beams, and X-rays. It is a group which has a structure derived from a possible compound (photoinitiator). The photoinitiator group is preferably a group having a structure derived from a radical polymerization initiator capable of generating radicals by light irradiation. Specifically, for example, a group having a structure derived from an acetophenone compound, an oxime ester compound, a dibenzoyl compound, a benzoin compound, a benzophenone compound, an alkylphenone compound, or an acylphosphine oxide compound And the like. It is preferable that a photoinitiator group is a group which has an acetophenone structure among these. When the polymer has at least one of a radically polymerizable group and a photoinitiator group, it is preferable to have these groups in a side chain.

라디칼 중합 금지제기는, 자외선이나 열 등의 에너지가 계기가 되어 발생한 퍼옥시라디칼이나 하이드로퍼옥사이드를 무효화하는 과산화물 분해제, 또는 중합 도중의 라디칼성 중간체를 보충하여 중합 반응의 진행을 억제하는 라디칼 포착제로서 기능한다. 이러한 중합 금지제기를 갖는 중합체를 액정 배향막 중에 함유시킴으로써, PSA 모드에 있어서 액정층 중에 혼입시킨 광 중합성 화합물이 광 조사에 의해 반응하는 것을 억제할 수 있다. 중합 금지제기는, 힌더드 아민 구조, 힌더드 페놀 구조 및 아닐린 구조로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종을 갖는 기인 것이 바람직하다.The radical polymerization inhibitor group captures radicals that inhibit the progress of the polymerization reaction by supplementing a peroxide decomposing agent that neutralizes peroxy radicals or hydroperoxides generated by energy such as ultraviolet rays or heat, or a radical intermediate during polymerization. It functions as zero. By containing the polymer having such a polymerization inhibitor group in the liquid crystal alignment film, it is possible to suppress the photopolymerizable compound mixed in the liquid crystal layer in the PSA mode from reacting by light irradiation. It is preferable that a polymerization inhibitor group is a group which has at least 1 sort (s) selected from the group which consists of a hindered amine structure, a hindered phenol structure, and an aniline structure.

상기 질소 함유 복소환으로서는, 예를 들면 피롤, 이미다졸, 피라졸, 트리아졸, 피리딘, 피리미딘, 피리다진, 피라진, 인돌, 벤조이미다졸, 퓨린, 퀴놀린, 이소퀴놀린, 나프티리딘, 퀴녹살린, 프탈라진, 트리아진, 카르바졸, 아크리딘, 피페리딘, 피페라진, 피롤리딘, 헥사메틸렌이민 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 피리딘, 피리미딘, 피라진, 피페리딘, 피페라진, 퀴놀린, 카르바졸 및 아크리딘으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종을 갖는 것이 바람직하다.Examples of the nitrogen-containing heterocycle include, for example, pyrrole, imidazole, pyrazole, triazole, pyridine, pyrimidine, pyridazine, pyrazine, indole, benzoimidazole, purine, quinoline, isoquinoline, naphthyridine, quinoxaline, And phthalazine, triazine, carbazole, acridine, piperidine, piperazine, pyrrolidine, and hexamethyleneimine. Especially, it is preferable to have at least 1 sort (s) selected from the group which consists of pyridine, pyrimidine, pyrazine, piperidine, piperazine, quinoline, carbazole, and acridine.

상기 아미노기 및 보호된 아미노기는, 하기식 (N-1)로 나타나는 기인 것이 바람직하다.It is preferable that the said amino group and protected amino group are groups represented by following formula (N-1).

Figure pct00004
Figure pct00004

(식 (N-1) 중, R50은, 수소 원자 또는 1가의 유기기이다. 「*」는 탄화수소기에 결합하는 결합손이다.)(In formula (N-1), R 50 is a hydrogen atom or a monovalent organic group. "*" Is a bonding group that bonds to a hydrocarbon group.)

상기식 (N-1)에 있어서, R50의 1가의 유기기는, 1가의 탄화수소기 또는 보호기인 것이 바람직하다. 1가의 탄화수소기는 탄소수 1∼10이 바람직하고, 구체적으로는, 예를 들면 메틸기, 에틸기, 프로필기, 부틸기 등의 직쇄상 또는 분기상의 알킬기; 사이클로헥실기 등의 사이클로알킬기; 페닐기, 메틸페닐 등의 아릴기; 벤질기 등의 아르알킬기 등을 들 수 있다. R50이 갖고 있어도 좋은 치환기로서는, 예를 들면 할로겐 원자, 시아노기, 알킬실릴기, 알콕시실릴기 등을 들 수 있다. R50은, 바람직하게는 탄소수 1∼5의 알킬기, 사이클로헥실기, 페닐기 또는 벤질기이다. 상기식 (N-1) 중의 「*」가 결합하는 탄화수소기로서는, 예를 들면 알칸디일기, 사이클로헥실렌기, 페닐렌기 등을 들 수 있다.In the formula (N-1), the monovalent organic group of R 50 is preferably a monovalent hydrocarbon group or a protecting group. The monovalent hydrocarbon group preferably has 1 to 10 carbon atoms, and specifically, for example, a linear or branched alkyl group such as a methyl group, ethyl group, propyl group or butyl group; Cycloalkyl groups such as cyclohexyl groups; Aryl groups such as phenyl group and methylphenyl; And aralkyl groups such as benzyl groups. As a substituent which R 50 may have, a halogen atom, a cyano group, an alkylsilyl group, an alkoxysilyl group, etc. are mentioned, for example. R 50 is preferably an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, a cyclohexyl group, a phenyl group or a benzyl group. Examples of the hydrocarbon group to which “*” in the formula (N-1) binds include an alkanediyl group, a cyclohexylene group, and a phenylene group.

보호기는, 열에 의해 탈리하는 기인 것이 바람직하고, 예를 들면 카바메이트계 보호기, 아미드계 보호기, 이미드계 보호기, 술폰아미드계 보호기, 하기식 (8-1)∼식 (8-5)의 각각으로 나타나는 기 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 열에 의한 탈리성이 높은 점이나, 탈보호한 부분의 막 중에서의 잔존량을 적게 하는 점에서, tert-부톡시카보닐기가 바람직하다.The protecting group is preferably a group that is desorbed by heat, and for example, each of a carbamate-based protecting group, an amide-based protecting group, an imide-based protecting group, a sulfonamide-based protecting group, and the following formulas (8-1) to (8-5) And groups appearing. Especially, a tert-butoxycarbonyl group is preferable at the point which has high desorption property by heat, and the residual amount in the film | membrane of the deprotected part is small.

Figure pct00005
Figure pct00005

(식 (8-1)∼식 (8-5) 중, Ar11은, 치환 또는 무치환의 방향환으로부터 1개의 수소 원자를 제거한 탄소수 6∼10의 1가의 기이고, R61은 탄소수 1∼12의 알킬기이고, R62는 메틸렌기 또는 에틸렌기이다. 「*」는 질소 원자에 결합하는 결합손을 나타낸다.)(In Formulas (8-1) to (8-5), Ar 11 is a monovalent group having 6 to 10 carbon atoms, wherein one hydrogen atom is removed from a substituted or unsubstituted aromatic ring, and R 61 is 1 to 1 carbon atom. 12 is an alkyl group, and R 62 is a methylene group or an ethylene group. "*" Represents a bond that binds to a nitrogen atom.)

상기 특정 부분 구조를 갖는 중합체의 주골격은 특별히 한정되지 않지만, [P] 중합체인 것이 바람직하고, [p] 중합체인 것이 보다 바람직하다. 중합체 중에 있어서의 상기 특정 부분 구조의 함유 비율(2종 이상 함유하는 경우에는 그의 합계량)은, 중합체의 전체 모노머 단위에 대하여 5몰% 이상으로 하는 것이 바람직하고, 10∼80몰%로 하는 것이 보다 바람직하다.The main skeleton of the polymer having the specific partial structure is not particularly limited, but it is preferably a [P] polymer, and more preferably a [p] polymer. The content ratio of the specific partial structure in the polymer (when two or more are contained, the total amount thereof) is preferably 5 mol% or more relative to the total monomer units of the polymer, and more preferably 10 to 80 mol%. desirable.

(용제)(solvent)

액정 배향제는, 용제 성분으로서, 하기에 나타내는 용제군([A] 용제와 [B] 용제로 이루어지는 군)으로부터 선택되는 적어도 1종인 특정 용제를 함유한다.As a solvent component, a liquid crystal aligning agent contains the specific solvent which is at least 1 sort (s) selected from the solvent group shown below (group consisting of [A] solvent and [B] solvent).

용제군:Solvents:

[A] 용제: 하기식 (1)로 나타나는 화합물, 하기식 (2)로 나타나는 화합물, N,N,2-트리메틸프로피온아미드 및, 1,3-디메틸-2-이미다졸리디논.[A] Solvent: Compound represented by the following formula (1), compound represented by the following formula (2), N, N, 2-trimethylpropionamide, and 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone.

[B] 용제: 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 4-메톡시-4-메틸-2-펜탄온, 4-하이드록시-2-부탄온, 2-메틸-2-헥산올, 2,6-디메틸-4-헵탄올, 디이소부틸케톤, 프로필렌글리콜디아세테이트, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 디이소펜틸에테르, 다이아세톤알코올 및, 프로필렌글리콜모노부틸에테르.[B] Solvent: Dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, 4-methoxy-4-methyl-2-pentanone, 4-hydroxy-2-butanone, 2 -Methyl-2-hexanol, 2,6-dimethyl-4-heptanol, diisobutyl ketone, propylene glycol diacetate, diethylene glycol diethyl ether, diisopentyl ether, diacetone alcohol, and propylene glycol monobutyl ether.

Figure pct00006
Figure pct00006

(식 (1) 중, R1은, 탄소수 2∼5의 1가의 탄화수소기, 또는 당해 탄화수소기에 있어서의 탄소-탄소 결합 간에 「-O-」를 갖는 1가의 기이다.)(In Formula (1), R 1 is a monovalent hydrocarbon group having 2 to 5 carbon atoms, or a monovalent group having "-O-" between carbon-carbon bonds in the hydrocarbon group.)

Figure pct00007
Figure pct00007

(식 (2) 중, R2 및 R3은, 각각 독립적으로, 수소 원자, 탄소수 1∼6의 1가의 탄화수소기, 또는 당해 탄화수소기의 탄소-탄소 결합 간에 「-O-」를 갖는 1가의 기이고, R2와 R3이 서로 결합하여 환 구조를 형성해도 좋다. R4는, 탄소수 1∼6의 알킬기이다.)(In formula (2), R 2 and R 3 are each independently a hydrogen atom, a monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, or a monovalent group having "-O-" between the carbon-carbon bonds of the hydrocarbon group. Group, and R 2 and R 3 may combine with each other to form a ring structure. R 4 is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.)

·[A] 용제에 대해서· [A] Solvent

(식 (1)로 나타나는 화합물)(Compound represented by Formula (1))

상기식 (1)로 나타나는 화합물에 대해서, R1의 탄소수 2∼5의 1가의 탄화수소기는 쇄상 탄화수소기인 것이 바람직하고, 예를 들면 탄소수 2∼5의 알킬기, 알케닐기, 알키닐기를 들 수 있다. 또한, 당해 탄화수소기에 있어서의 탄소-탄소 결합 간에 「-O-」를 갖는 1가의 기로서는, 예를 들면 탄소수 2∼5의 알콕시알킬기를 들 수 있다.For the compound represented by the formula (1), the monovalent hydrocarbon group having 2 to 5 carbon atoms in R 1 is preferably a chain hydrocarbon group, and examples thereof include an alkyl group having 2 to 5 carbon atoms, an alkenyl group, and an alkynyl group. Moreover, as a monovalent group which has "-O-" between the carbon-carbon bonds in the said hydrocarbon group, the C2-C5 alkoxyalkyl group is mentioned, for example.

이들의 구체예로서는, 탄소수 2∼5의 알킬기로서, 예를 들면 에틸기, 프로필기, 부틸기, 펜틸기 등을; 탄소수 2∼5의 알케닐기로서, 예를 들면 비닐기, 1-프로페닐기, 2-프로페닐기, 3-부테닐기 등을; 탄소수 2∼5의 알키닐기로서, 예를 들면 에티닐기, 2-프로피닐기, 2-부티닐기 등을; 탄소수 2∼5의 알콕시알킬기로서, 예를 들면 메톡시메틸기, 메톡시에틸기, 메톡시프로필기, 메톡시부틸기, 에톡시메틸기, 에톡시에틸기 등을, 각각 들 수 있고, 이들은 직쇄상이라도 분기상이라도 좋다. R1로서는, 상기 중에서도 탄소수 2∼5의 알킬기 또는 알콕시알킬기인 것이 바람직하다.As a specific example of these, as a C2-C5 alkyl group, For example, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, etc .; Examples of the alkenyl group having 2 to 5 carbon atoms include vinyl group, 1-propenyl group, 2-propenyl group, and 3-butenyl group; As an alkynyl group having 2 to 5 carbon atoms, for example, ethynyl group, 2-propynyl group, 2-butynyl group, and the like; Examples of the alkoxyalkyl group having 2 to 5 carbon atoms include, for example, methoxymethyl group, methoxyethyl group, methoxypropyl group, methoxybutyl group, ethoxymethyl group, ethoxyethyl group, and the like. The weather may be good. As R 1 , it is preferable that it is a C2-C5 alkyl group or an alkoxyalkyl group among the above.

상기식 (1)로 나타나는 화합물의 구체예로서는, 예를 들면 N-에틸-2-피롤리돈, N-(n-프로필)-2-피롤리돈, N-이소프로필-2-피롤리돈, N-(n-부틸)-2-피롤리돈, N-(t-부틸)-2-피롤리돈, N-(n-펜틸)-2-피롤리돈, N-메톡시프로필-2-피롤리돈, N-에톡시에틸-2-피롤리돈, N-메톡시부틸-2-피롤리돈 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, N-에틸-2-피롤리돈, N-(n-펜틸)-2-피롤리돈, N-(t-부틸)-2-피롤리돈, N-메톡시프로필-2-피롤리돈을 특히 바람직하게 사용할 수 있다. 또한, 상기식 (1)로 나타나는 화합물은, 이들 예시의 화합물을 1종 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.Specific examples of the compound represented by the formula (1) include, for example, N-ethyl-2-pyrrolidone, N- (n-propyl) -2-pyrrolidone, N-isopropyl-2-pyrrolidone, N- (n-butyl) -2-pyrrolidone, N- (t-butyl) -2-pyrrolidone, N- (n-pentyl) -2-pyrrolidone, N-methoxypropyl-2- And pyrrolidone, N-ethoxyethyl-2-pyrrolidone, and N-methoxybutyl-2-pyrrolidone. Among these, N-ethyl-2-pyrrolidone, N- (n-pentyl) -2-pyrrolidone, N- (t-butyl) -2-pyrrolidone, N-methoxypropyl-2-pi Rollidone can be used particularly preferably. Moreover, the compound represented by said Formula (1) can use these exemplary compounds individually by 1 type or in combination of 2 or more type.

(식 (2)로 나타나는 화합물)(Compound represented by Formula (2))

상기식 (2)로 나타나는 화합물에 대해서, R2 및 R3의 탄소수 1∼6의 1가의 탄화수소기로서는, 예를 들면 탄소수 1∼6의 쇄상 탄화수소기, 탄소수 3∼6의 지환식 탄화수소기, 탄소수 5 또는 6의 방향족 탄화수소기 등을 들 수 있다. 또한, 당해 탄화수소기의 탄소-탄소 결합 간에 「-O-」를 갖는 1가의 기로서는, 예를 들면 탄소수 2∼6의 알콕시알킬기 등을 들 수 있다.About the compound represented by the formula (2), examples of the monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms of R 2 and R 3 include, for example, a linear hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 6 carbon atoms, And aromatic hydrocarbon groups having 5 or 6 carbon atoms. Moreover, as a monovalent group which has "-O-" between the carbon-carbon bonds of the said hydrocarbon group, the C2-C6 alkoxyalkyl group etc. are mentioned, for example.

이들의 구체예로서는, 탄소수 1∼6의 쇄상 탄화수소기로서, 예를 들면 메틸기, 에틸기, 프로필기, 부틸기, 펜틸기, 헥실기 등을 들 수 있고, 이들은 직쇄상이라도 분기상이라도 좋다. 또한, 탄소수 3∼6의 지환식 탄화수소기로서는, 예를 들면 사이클로펜틸기, 사이클로헥실기 등을; 방향족 탄화수소기로서는, 예를 들면 페닐기 등을; 탄소수 2∼6의 알콕시알킬기로서는, 예를 들면 R1로 든 알콕시알킬기 등을; 각각 들 수 있다. 또한, 식 (2)에 있어서의 R2 및 R3은 서로 동일해도 상이해도 좋다. 또한, R2 및 R3은, 서로 결합함으로써, R2 및 R3이 결합하는 질소 원자와 함께 환을 형성해도 좋다. R2, R3이 서로 결합하여 형성되는 환으로서는, 예를 들면 피롤리딘환, 피페리딘환 등을 들 수 있고, 이들 환에는 메틸기 등의 1가의 쇄상 탄화수소기가 결합되어 있어도 좋다.As a specific example of these, as a C1-C6 linear hydrocarbon group, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, a hexyl group, etc. are mentioned, For example, These may be linear or branched. Moreover, as an alicyclic hydrocarbon group of 3-6 carbon atoms, For example, cyclopentyl group, cyclohexyl group, etc .; As an aromatic hydrocarbon group, For example, a phenyl group etc .; Examples of the alkoxyalkyl group having 2 to 6 carbon atoms include, for example, an alkoxyalkyl group contained in R 1 ; Each can be lifted. In addition, R 2 and R 3 in Formula (2) may be the same or different from each other. Further, R 2 and R 3 may be bonded to each other to form a ring together with the nitrogen atom to which R 2 and R 3 are bonded. Examples of the ring formed by bonding of R 2 and R 3 to each other include a pyrrolidine ring and a piperidine ring, and a monovalent chain hydrocarbon group such as a methyl group may be bound to these rings.

R2 및 R3으로서 바람직하게는, 수소 원자 또는 탄소수 1∼6의 알킬기이고, 보다 바람직하게는, 수소 원자 또는 탄소수 1∼3의 알킬기이고, 더욱 바람직하게는 수소 원자 또는 메틸기이다.R 2 and R 3 are preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, more preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, and more preferably a hydrogen atom or a methyl group.

R4의 탄소수 1∼6의 알킬기로서는, 상기 R2 및 R3의 탄소수 1∼6의 알킬기의 설명에서 예시한 기를 들 수 있다. 바람직하게는, 탄소수 1∼4의 알킬기이고, 보다 바람직하게는 메틸기 또는 에틸기이다.Examples of the alkyl group having 1 to 6 carbon atoms in R 4 include groups exemplified in the description of the alkyl group having 1 to 6 carbon atoms in R 2 and R 3 . Preferably, it is a C1-C4 alkyl group, More preferably, it is a methyl group or an ethyl group.

상기식 (2)로 나타나는 화합물의 구체예로서는, 예를 들면 3-부톡시-N,N-디메틸프로판아미드, 3-메톡시-N,N-디메틸프로판아미드, 3-헥실옥시-N,N-디메틸프로판아미드, 이소프로폭시-N-이소프로필-프로피온아미드, n-부톡시-N-이소프로필-프로피온아미드 등을 들 수 있다. 또한, 상기식 (2)로 나타나는 화합물은, 1종을 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.As a specific example of the compound represented by said formula (2), 3-butoxy-N, N-dimethylpropanamide, 3-methoxy-N, N-dimethylpropanamide, 3-hexyloxy-N, N, for example -Dimethylpropanamide, isopropoxy-N-isopropyl-propionamide, n-butoxy-N-isopropyl-propionamide, and the like. Moreover, the compound represented by said formula (2) can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more type.

[A] 용제로서는, 층간 절연막(21)에 미치는 영향을 보다 작게 할 수 있는 점에서, 그 중에서도 상기식 (1)로 나타나는 화합물, 상기식 (2)로 나타나는 화합물 및 1,3-디메틸-2-이미다졸리디논으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종인 것이 바람직하고, 상기식 (1)로 나타나는 화합물에 있어서 R1이 탄소수 2∼5의 알킬기 또는 알콕시알킬기인 화합물, 3-메톡시-N,N-디메틸프로판아미드 및 1,3-디메틸-2-이미다졸리디논으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종인 것이 보다 바람직하고, N-에틸-2-피롤리돈, N-(n-펜틸)-2-피롤리돈, N-(t-부틸)-2-피롤리돈, N-메톡시프로필-2-피롤리돈, 3-메톡시-N,N-디메틸프로판아미드 및 1,3-디메틸-2-이미다졸리디논으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종인 것이 특히 바람직하다.[A] As a solvent, since the effect on the interlayer insulating film 21 can be made smaller, among them, the compound represented by the above formula (1), the compound represented by the above formula (2) and 1,3-dimethyl-2 -It is preferable that it is at least 1 sort (s) selected from the group which consists of imidazolidinone, and in the compound represented by said formula (1), R <1> is a C2-C5 alkyl group or an alkoxyalkyl group, 3-methoxy-N, It is more preferable that it is at least one member selected from the group consisting of N-dimethylpropanamide and 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone, and N-ethyl-2-pyrrolidone, N- (n-pentyl)- 2-pyrrolidone, N- (t-butyl) -2-pyrrolidone, N-methoxypropyl-2-pyrrolidone, 3-methoxy-N, N-dimethylpropanamide and 1,3-dimethyl It is particularly preferable that it is at least one member selected from the group consisting of -2-imidazolidinone.

[B] 용제로서는, 층간 절연막(21)에 미치는 영향을 보다 작게 할 수 있는 점에서, 상기 중, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜디아세테이트, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 디이소펜틸에테르, 다이아세톤알코올 및, 프로필렌글리콜모노부틸에테르로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종인 것이 바람직하다.[B] As a solvent, since the effect on the interlayer insulating film 21 can be made smaller, among the above, dipropylene glycol monomethyl ether, propylene glycol diacetate, diethylene glycol diethyl ether, diisopentyl ether, It is preferable that it is at least 1 sort (s) selected from the group which consists of diacetone alcohol and propylene glycol monobutyl ether.

용제 성분으로서는, 특정 용제만을 이용해도 좋지만, 특정 용제 이외의 그 외의 용제를 병용해도 좋다. 이러한 그 외의 용제로서는, 중합체의 용해성 및 레벨링성이 높은 용제(이하, 「제1 용제」라고도 함) 및, 젖음 확산성이 양호한 용제(이하, 「제2 용제」라고도 함)를 들 수 있다.As a solvent component, you may use only a specific solvent, but you may use together other solvents other than a specific solvent. Examples of such other solvents include solvents having high solubility and leveling properties of the polymer (hereinafter also referred to as "first solvent") and solvents having good wet diffusivity (hereinafter also referred to as "second solvent").

이들의 구체예로서는, 제1 용제로서, 예를 들면 N-메틸-2-피롤리돈, γ-부티로락톤, γ-부티로락탐, N,N-디메틸포름아미드, N,N-디메틸아세트아미드, 4-하이드록시-4-메틸-2-펜탄온, 에틸렌카보네이트, 프로필렌카보네이트 등을;As specific examples of these, as the first solvent, for example, N-methyl-2-pyrrolidone, γ-butyrolactone, γ-butyrolactam, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide , 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone, ethylene carbonate, propylene carbonate, and the like;

제2 용제로서, 예를 들면 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 락트산 부틸, 이세트산 부틸, 메틸메톡시프로피오네이트, 에틸에톡시프로피오네이트, 에틸렌글리콜메틸에테르, 에틸렌글리콜에틸에테르, 에틸렌글리콜-n-프로필에테르, 에틸렌글리콜-i-프로필에테르, 에틸렌글리콜-n-부틸에테르(부틸셀로솔브), 에틸렌글리콜디메틸에테르, 에틸렌글리콜에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜디에틸에테르아세테이트, 이소아밀프로피오네이트, 이소아밀이소부틸레이트 등을, 각각 들 수 있다. 또한, 그 외의 용제로서는, 상기 중의 1종을 단독으로 사용해도 좋고, 2종 이상을 혼합하여 사용해도 좋다.As the second solvent, for example, ethylene glycol monomethyl ether, butyl lactate, butyl acetate, methyl methoxy propionate, ethyl ethoxy propionate, ethylene glycol methyl ether, ethylene glycol ethyl ether, ethylene glycol-n -Propyl ether, ethylene glycol-i-propyl ether, ethylene glycol-n-butyl ether (butyl cellosolve), ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol ethyl ether acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, Diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol diethyl ether acetate, isoamyl propionate, isoamyl isobutylate, etc. are mentioned, respectively. In addition, as other solvents, one of the above may be used alone, or two or more of them may be mixed and used.

액정 배향제의 조제에 있어, 특정 용제로서는, [A] 용제 및 [B] 용제 중 어느 하나만을 사용해도 좋지만, 액정 배향막을 형성할 때에 액정 배향제와 층간 절연막(21)이 접촉된 상태에 있어서 층간 절연막(21)에 주는 영향을 억제할 수 있음과 함께, 층간 절연막(21)으로부터의 불순물 성분의 용출을 억제할 수 있는 효과가 높은 점에서, [A] 용제의 적어도 1종과, [B] 용제의 적어도 1종이 함유되어 있는 것이 바람직하다.In the preparation of the liquid crystal aligning agent, as the specific solvent, only one of the [A] solvent and the [B] solvent may be used, but the liquid crystal aligning agent and the interlayer insulating film 21 are in contact with each other when forming the liquid crystal aligning film. At least one of the [A] solvents and [B], since the effect on the interlayer insulating film 21 can be suppressed and the effect of suppressing the elution of the impurity component from the interlayer insulating film 21 is high. ] It is preferable that at least one solvent is contained.

[A] 용제의 사용 비율(2종 이상 사용하는 경우에는 그의 합계량)은, 층간 절연막(21)에 주는 영향의 억제 효과와 층간 절연막(21)으로부터의 불순물 성분의 용출의 억제 효과를 충분히 얻으면서, 중합체 성분의 석출을 억제하는 관점에서, 액정 배향제에 포함되는 용제의 전체량에 대하여, 10질량% 이상으로 하는 것이 바람직하고, 20질량% 이상으로 하는 것이 보다 바람직하다. 또한, 그 사용 비율의 상한은, [B] 용제에 의한 도포성의 개선 효과를 얻는 관점에서, 액정 배향제에 포함되는 용제의 전체량에 대하여, 90질량% 이하로 하는 것이 바람직하고, 80질량% 이하로 하는 것이 보다 바람직하다. 또한, [A] 용제는 1종을 단독으로 사용해도 좋고, 또는 2종 이상을 조합하여 사용해도 좋다.[A] The use ratio of the solvent (when two or more kinds are used, the total amount thereof) is obtained while sufficiently obtaining the effect of suppressing the effect on the interlayer insulating film 21 and the effect of suppressing the elution of impurity components from the interlayer insulating film 21. , From the viewpoint of suppressing precipitation of the polymer component, the total amount of the solvent contained in the liquid crystal aligning agent is preferably 10% by mass or more, and more preferably 20% by mass or more. Moreover, it is preferable to set it as 90 mass% or less with respect to the total amount of the solvent contained in a liquid crystal aligning agent from the viewpoint of obtaining the improvement effect of coatability with a [B] solvent, and the upper limit of the use ratio is 80 mass% It is more preferable to do the following. In addition, [A] solvent may be used individually by 1 type, or may be used in combination of 2 or more type.

[B] 용제의 사용 비율(2종 이상 사용하는 경우에는 그의 합계량)은, 층간 절연막(21)에 주는 영향 및 층간 절연막(21)으로부터의 불순물 성분의 용출을 억제함과 함께 액정 배향제의 도포성을 양호하게 하는 관점에서, 액정 배향제에 포함되는 용제의 전체량에 대하여, 10질량% 이상으로 하는 것이 바람직하고, 20질량% 이상으로 하는 것이 보다 바람직하다. 또한, 그의 사용 비율의 상한은, 액정 배향제에 포함되는 용제의 전체량에 대하여, 80질량% 이하로 하는 것이 바람직하고, 70질량% 이하로 하는 것이 보다 바람직하다. 또한, [B] 용제는 1종을 단독으로 사용해도 좋고, 또는 2종 이상을 조합하여 사용해도 좋다.[B] The use ratio of the solvent (when two or more types are used, the total amount thereof) suppresses the influence on the interlayer insulating film 21 and the elution of the impurity component from the interlayer insulating film 21, and also applies a liquid crystal aligning agent. From the viewpoint of improving the properties, the total amount of the solvent contained in the liquid crystal aligning agent is preferably 10% by mass or more, and more preferably 20% by mass or more. Moreover, it is preferable that it is 80 mass% or less with respect to the total amount of the solvent contained in a liquid crystal aligning agent, and, as for the upper limit of the use ratio, it is more preferable that it is 70 mass% or less. Moreover, [B] solvent may be used individually by 1 type, or may be used in combination of 2 or more type.

특정 용제의 사용 비율(2종 이상 사용하는 경우에는 그의 합계량)은, 층간 절연막(21)에 주는 영향을 억제하는 효과 및 층간 절연막(21)으로부터의 불순물 성분의 용출을 저감시키는 효과를 충분히 얻는 관점에서, 액정 배향제에 포함되는 용제의 전체량에 대하여, 50질량% 이상으로 하는 것이 바람직하고, 70질량% 이상으로 하는 것이 보다 바람직하고, 90질량% 이상으로 하는 것이 더욱 바람직하고, 95질량% 이상으로 하는 것이 특히 바람직하다.The use ratio of a specific solvent (when two or more types are used, the total amount thereof) is a viewpoint to sufficiently obtain the effect of suppressing the effect on the interlayer insulating film 21 and the effect of reducing the dissolution of impurity components from the interlayer insulating film 21. In, with respect to the total amount of the solvent contained in the liquid crystal aligning agent, it is preferably 50 mass% or more, more preferably 70 mass% or more, even more preferably 90 mass% or more, and 95 mass% It is particularly preferable to set the above.

또한, [A] 용제와 [B] 용제와 그 외의 용제를 사용하는 경우, 그 외의 용제의 사용 비율(2종 이상 사용하는 경우에는 그의 합계량)은, 본 개시의 효과를 충분히 얻는 관점에서, 액정 배향제에 포함되는 용제의 전체량에 대하여, 50질량% 이하로 하는 것이 바람직하고, 30질량% 이하로 하는 것이 보다 바람직하고, 10질량% 이하로 하는 것이 보다 바람직하고, 5질량% 이하로 하는 것이 특히 바람직하다.In addition, when using the solvent [A], the solvent [B], and other solvents, the use ratio of the other solvents (the total amount when two or more solvents are used) is a liquid crystal from the viewpoint of sufficiently obtaining the effects of the present disclosure. The total amount of the solvent contained in the alignment agent is preferably 50% by mass or less, more preferably 30% by mass or less, more preferably 10% by mass or less, and 5% by mass or less It is particularly preferred.

액정 배향제는, 용제 성분이 [A] 용제와 [B] 용제로 이루어지는 것이 특히 바람직하다. 단, 본 명세서에 있어서 「용제 성분이 [A] 용제와 [B] 용제로 이루어진다」란, [A] 용제 및 [B] 용제 이외의 그 외의 용제를, 본 개시의 효과가 방해되지 않는 정도로 함유하는 것을 허용하는 것이다.It is particularly preferable that the liquid crystal aligning agent is composed of a [A] solvent and a [B] solvent. However, in this specification, "the solvent component consists of [A] solvent and [B] solvent" contains the solvents other than [A] solvent and [B] solvent to such an extent that the effects of the present disclosure are not disturbed. Is to allow.

액정 배향제는, 중합체 성분 및 용제 성분 외에, 필요에 따라서 그 외의 성분을 함유하고 있어도 좋다. 그 외의 성분으로서는, 예를 들면, 산화 방지제, 금속 킬레이트 화합물, 경화 촉진제, 계면 활성제, 충전제, 분산제, 광 증감제 등을 들 수 있다. 그 외의 성분의 배합 비율은, 본 개시의 효과를 해치지 않는 범위에서, 각 화합물에 따라서 적절히 선택할 수 있다.The liquid crystal aligning agent may contain other components as necessary in addition to the polymer component and the solvent component. Examples of other components include antioxidants, metal chelate compounds, curing accelerators, surfactants, fillers, dispersants, and photosensitizers. The blending ratio of other components can be appropriately selected according to each compound within a range that does not impair the effects of the present disclosure.

액정 배향제에 있어서의 고형분 농도(액정 배향제의 용매 이외의 성분의 합계 질량이 액정 배향제의 전체 질량에 차지하는 비율)는, 점성, 휘발성 등을 고려하여 적절하게 선택되지만, 바람직하게는 1∼10질량%의 범위이다. 고형분 농도가 1질량% 미만인 경우에는, 도막의 막두께가 과소하게 되어 양호한 액정 배향막이 얻어지기 어럽게 된다. 한편, 고형분 농도가 10질량%를 초과하는 경우에는, 도막의 막두께가 과대하게 되어 양호한 액정 배향막이 얻어지기 어렵고, 또한, 액정 배향제의 점성이 증대하여 도포성이 저하하는 경향이 있다.The solid content concentration in the liquid crystal aligning agent (the ratio of the total mass of components other than the solvent of the liquid crystal aligning agent to the total mass of the liquid crystal aligning agent) is appropriately selected in consideration of viscosity and volatility, but is preferably 1 to It is the range of 10 mass%. When the solid content concentration is less than 1% by mass, the film thickness of the coating film becomes too small, making it difficult to obtain a good liquid crystal alignment film. On the other hand, when the solid content concentration exceeds 10% by mass, the film thickness of the coating film becomes excessive, so that it is difficult to obtain a good liquid crystal alignment film, and the viscosity of the liquid crystal aligning agent tends to increase and the coating property tends to decrease.

<감방사선성 수지 조성물><Sensitive radiation resin composition>

다음으로, 층간 절연막(21)을 형성하기 위해 이용하는 감방사선성 수지 조성물에 대해서 상세하게 설명한다. 이 감방사선성 수지 조성물은, [Q] 중합체와 [R] 감광제를 함유한다.Next, the radiation-sensitive resin composition used to form the interlayer insulating film 21 will be described in detail. This radiation-sensitive resin composition contains a [Q] polymer and a [R] photosensitive agent.

([Q] 중합체)([Q] polymer)

[Q] 중합체는, 중합성기를 갖는 구성 단위를 갖고 있는 것이 바람직하다. [Q] 중합체가 갖는 중합성기는, 옥세타닐기, 옥시라닐기, (메타)아크릴로일기 및, 비닐기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종인 것이 바람직하다. 이러한 중합성기를 가짐으로써, 감방사선성 수지 조성물의 경화를 용이하게 행할 수 있어, 양호한 층간 절연막(21)을 얻을 수 있는 점에서 바람직하다.[Q] It is preferable that the polymer has a structural unit having a polymerizable group. [Q] It is preferable that the polymerizable group of the polymer is at least one selected from the group consisting of an oxetanyl group, an oxiranyl group, a (meth) acryloyl group, and a vinyl group. Having such a polymerizable group is preferable in that curing of the radiation-sensitive resin composition can be easily performed and a good interlayer insulating film 21 can be obtained.

[Q] 중합체의 주골격은 특별히 한정되지 않지만, (메타)아크릴계 중합체, 폴리암산, 폴리암산 에스테르, 폴리이미드 및, 폴리오르가노실록산으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종인 것이 바람직하다. 이들 중에서도, (메타)아크릴계 중합체인 것이 특히 바람직하다. 또한, (메타)아크릴계 중합체는, (메타)아크릴로일기를 갖는 단량체에 유래하는 구조 단위만을 갖고 있어도 좋고, (메타)아크릴로일기를 갖는 단량체에 유래하는 구조 단위와, (메타)아크릴로일기를 갖는 단량체와는 상이한 그 외의 단량체에 유래하는 구조 단위를 갖고 있어도 좋다. (메타)아크릴계 중합체에 있어서의, 그 외의 단량체에 유래하는 구조 단위의 함유 비율은, 바람직하게는 50몰% 이하이고, 보다 바람직하게는 40몰% 이하이고, 더욱 바람직하게는 30몰% 이하이다.The main skeleton of the [Q] polymer is not particularly limited, but it is preferably at least one selected from the group consisting of (meth) acrylic polymer, polyamic acid, polyamic acid ester, polyimide, and polyorganosiloxane. Among these, it is particularly preferable that it is a (meth) acrylic polymer. In addition, the (meth) acrylic polymer may have only a structural unit derived from a monomer having a (meth) acryloyl group, a structural unit derived from a monomer having a (meth) acryloyl group, and a (meth) acryloyl group You may have a structural unit derived from other monomers different from the monomer which has. The content ratio of the structural unit derived from other monomers in the (meth) acrylic polymer is preferably 50 mol% or less, more preferably 40 mol% or less, and even more preferably 30 mol% or less. .

구체적으로는, [Q] 중합체는, 산성기를 갖는 제1 구조 단위와, 옥세타닐기 또는 옥시라닐기를 갖는 제2 구조 단위와, 상기 제1 구조 단위 및 상기 제2 구조 단위와는 상이한 주쇄 구조를 형성하는 제3 구조 단위를 갖는 중합체인 것이 바람직하다.Specifically, the polymer [Q] has a main chain structure different from the first structural unit having an acidic group, the second structural unit having an oxetanyl group or an oxiranyl group, and the first structural unit and the second structural unit. It is preferably a polymer having a third structural unit to be formed.

제1 구조 단위가 갖는 산성기로서는, 카복시기, 술포기, 페놀성 수산기, 인산기, 포스폰산기, 포스핀산기, 술폰아미드기, 탄소 원자에 결합한 수소 원자가 전자 구인기로 치환된 하이드록시알킬기 등을 들 수 있다. 산성기로서는, 알칼리 현상성의 점에서, 이들 중, 카복시기, 술포기, 페놀성 수산기, 불소 함유 알코올성 수산기, 인산기, 포스폰산기, 포스핀산기 또는 이들의 조합이 바람직하고, 카복시기 또는 페놀성 수산기가 보다 바람직하고, 카복시기가 특히 바람직하다.Examples of the acidic group of the first structural unit include a carboxy group, a sulfo group, a phenolic hydroxyl group, a phosphoric acid group, a phosphonic acid group, a phosphinic acid group, a sulfonamide group, and a hydroxyalkyl group in which hydrogen atoms bonded to carbon atoms have been replaced with electron withdrawing groups. Can be lifted. As the acidic group, from the viewpoint of alkali developability, among these, a carboxyl group, a sulfo group, a phenolic hydroxyl group, a fluorine-containing alcoholic hydroxyl group, a phosphoric acid group, a phosphonic acid group, a phosphinic acid group, or a combination thereof is preferable, and a carboxyl group or phenolic The hydroxyl group is more preferable, and the carboxyl group is particularly preferable.

제1 구조 단위로서는, (메타)아크릴산 또는 불포화 카본산 무수물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 화합물에 유래하는 구조 단위가 바람직하고, (메타)아크릴산 및 무수 말레인산 중 적어도 1종이 특히 바람직하다.As the first structural unit, a structural unit derived from at least one compound selected from the group consisting of (meth) acrylic acid or unsaturated carboxylic acid anhydride is preferred, and at least one of (meth) acrylic acid and maleic anhydride is particularly preferred.

[Q] 중합체에 있어서의 제1 구조 단위의 함유 비율은, [Q] 중합체를 구성하는 전체 구조 단위에 대하여, 1∼50몰%인 것이 바람직하고, 15∼30몰%인 것이 보다 바람직하다. 제1 구조 단위는, 1종 단독이라도 좋고, 또는 2종 이상을 조합해도 좋다.[Q] The content ratio of the first structural unit in the polymer is preferably 1 to 50 mol%, more preferably 15 to 30 mol%, relative to the total structural units constituting the [Q] polymer. The first structural unit may be used alone or in combination of two or more.

제2 구조 단위로서는, (메타)아크릴산 글리시딜, (메타)아크릴산 3,4-에폭시사이클로헥실메틸, 4-하이드록시부틸(메타)아크릴레이트글리시딜에테르 및, 3-(메타)아크릴로일옥시메틸-3-에틸옥세탄으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 화합물에 유래하는 구조 단위가 바람직하다.Examples of the second structural unit include (meth) acrylic acid glycidyl, (meth) acrylic acid 3,4-epoxycyclohexylmethyl, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate glycidyl ether, and 3- (meth) acrylic. A structural unit derived from at least one compound selected from the group consisting of monooxymethyl-3-ethyloxetane is preferred.

[Q] 중합체에 있어서의 제2 구조 단위의 함유 비율은, [Q] 중합체를 구성하는 전체 구조 단위에 대하여, 1∼15몰%인 것이 바람직하고, 3∼10몰%인 것이 보다 바람직하다. 제2 구조 단위는, 1종 단독이라도 좋고, 또는 2종 이상을 조합해도 좋다.[Q] The content ratio of the second structural unit in the polymer is preferably 1 to 15 mol%, more preferably 3 to 10 mol%, relative to the total structural units constituting the [Q] polymer. The second structural unit may be used alone or in combination of two or more.

제3 구조 단위는, 제1 구조 단위 및 제2 구조 단위와는 상이한 주쇄 구조를 형성하는 단량체에 유래하는 구조 단위이면 특별히 한정되지 않지만, 현상 밀착성 및 열이나 박리 용액에 대한 내성을 보다 양호하게 할 수 있는 점에서, 스티렌, α-메틸스티렌, 4-메틸스티렌 및, 4-하이드록시스티렌으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 화합물에 유래하는 구조 단위인 것이 바람직하다.The third structural unit is not particularly limited as long as it is a structural unit derived from a monomer that forms a main chain structure different from the first structural unit and the second structural unit, but the adhesion to development and the resistance to heat and peeling solutions can be improved. It is preferable that it is a structural unit derived from at least 1 type of compound chosen from the group which consists of styrene, (alpha) -methylstyrene, 4-methylstyrene, and 4-hydroxystyrene.

[Q] 중합체에 있어서의 제3 구조 단위의 함유 비율은, [Q] 중합체를 구성하는 전체 구조 단위에 대하여, 25∼80몰%인 것이 바람직하고, 30∼65몰%인 것이 보다 바람직하다. 제3 구조 단위는, 1종 단독이라도 좋고, 또는 2종 이상을 조합해도 좋다.[Q] The content ratio of the third structural unit in the polymer is preferably 25 to 80 mol%, more preferably 30 to 65 mol%, relative to the total structural units constituting the [Q] polymer. The third structural unit may be used alone or in combination of two or more.

또한, [Q] 중합체는, 제1 구조 단위, 제2 구조 단위 및 제3 구조 단위 이외의 그 외의 구조 단위를 추가로 갖고 있어도 좋다. 이러한 구조 단위로서는, 예를 들면 (메타)아크릴산 알킬 등을 들 수 있다.In addition, the [Q] polymer may further have other structural units other than the first structural unit, the second structural unit, and the third structural unit. As such a structural unit, (meth) acrylic-acid alkyl etc. are mentioned, for example.

[Q] 중합체는, 제1∼제3 구조 단위 등을 부여하는 단량체를 이용하여, 라디칼 중합 등의 상법(常法)에 따라서 합성할 수 있다. 합성 조건의 상세에 대해서는, 예를 들면 일본공개특허공보 2015-92233호에 기재된 각종 조건을 참조하여 적절히 설정할 수 있다.[Q] The polymer can be synthesized according to a conventional method such as radical polymerization using monomers that impart first to third structural units or the like. The details of the synthesis conditions can be appropriately set, for example, with reference to various conditions described in JP-A-2015-92233.

([R] 감광제)([R] photosensitizer)

[R] 감광제로서는, 광 라디칼 중합 개시제, 광 산 발생제 및 광 염기 발생제로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종을 바람직하게 이용할 수 있다.As the [R] photosensitive agent, at least one selected from the group consisting of a photo-radical polymerization initiator, a photo acid generator and a photo base generator can be preferably used.

이들의 구체예로서는, 광 라디칼 중합 개시제로서, 예를 들면 O-아실옥심 화합물, 아세토페논 화합물, 비이미다졸 화합물 등을;As specific examples of these, examples of the photo-radical polymerization initiator include O-acyloxime compounds, acetophenone compounds, and biimidazole compounds;

광 산 발생제로서, 예를 들면 옥심술포네이트 화합물, 오늄염, 술폰이미드 화합물, 할로겐 함유 화합물, 디아조메탄 화합물, 술폰 화합물, 술폰산 에스테르 화합물, 카본산 에스테르 화합물, 퀴논디아지드 화합물 등을;As a photo acid generator, for example, oxime sulfonate compounds, onium salts, sulfonimide compounds, halogen-containing compounds, diazomethane compounds, sulfone compounds, sulfonic acid ester compounds, carbonic acid ester compounds, quinonediazide compounds, etc. ;

광 염기 발생제로서, 예를 들면 코발트 등의 전이금속 착체, 오르토니트로벤질카바메이트류, α,α-디메틸-3,5-디메톡시벤질카바메이트류, 아실옥시이미노류 등을, 각각 들 수 있다.Examples of the photobase generator include transition metal complexes such as cobalt, orthonitrobenzyl carbamates, α, α-dimethyl-3,5-dimethoxybenzyl carbamates, and acyloxyiminos, respectively. have.

[R] 감광제의 사용 비율은, 사용하는 화합물의 종류에 따라서 상이하다. 예를 들면, 광 라디칼 중합 개시제의 경우, [Q] 중합체 100질량부에 대하여, 1∼40질량부가 바람직하고, 5∼30질량부로 하는 것이 보다 바람직하다.The ratio of the [R] photosensitizer used varies depending on the type of compound used. For example, in the case of a photo-radical polymerization initiator, 1 to 40 parts by mass is preferable, and more preferably 5 to 30 parts by mass, with respect to 100 parts by mass of the [Q] polymer.

광 산 발생제의 사용 비율은, [Q] 중합체 100질량부에 대하여, 0.1∼50질량부가 바람직하고, 1∼30질량부가 보다 바람직하다.The use ratio of the photoacid generator is preferably 0.1 to 50 parts by mass, more preferably 1 to 30 parts by mass, relative to 100 parts by mass of the [Q] polymer.

광 염기 발생제의 사용 비율은, [Q] 중합체 100질량부에 대하여, 0.1∼20질량부가 바람직하고, 1∼10질량부인 것이 보다 바람직하다.The use ratio of the photobase generator is preferably 0.1 to 20 parts by mass, more preferably 1 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the [Q] polymer.

감방사선성 수지 조성물은, 전술한 [Q] 중합체 및 [R] 감광제에 더하여, 추가로 경화 촉진제, 중합성 불포화 화합물, 계면 활성제, 보존 안정제, 접착 조제를 함유시킬 수 있다. 이들 각 임의 성분은, 1종을 단독으로 사용해도 좋고, 2종 이상을 조합하여 사용해도 좋다.The radiation-sensitive resin composition may further contain a curing accelerator, a polymerizable unsaturated compound, a surfactant, a storage stabilizer, and an adhesion aid in addition to the above-mentioned [Q] polymer and [R] photosensitizer. These arbitrary components may be used individually by 1 type, or may be used in combination of 2 or more type.

감방사선성 수지 조성물은, [Q] 중합체 및 [R] 감광제의 외에, 필요에 따라서 배합되는 그 외의 임의 성분을 혼합함으로써 조제된다. 감방사선성 수지 조성물은, 바람직하게는 적당한 용매에 용해되어 용액 상태로 이용된다. 당해 용매로서는, 예를 들면, 알코올, 글리콜에테르, 에틸렌글리콜알킬에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노알킬에테르, 디에틸렌글리콜디알킬에테르, 디프로필렌글리콜디알킬에테르, 프로필렌글리콜모노알킬에테르, 프로필렌글리콜알킬에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노알킬에테르프로피오네이트, 케톤, 에스테르 등을 들 수 있다.The radiation-sensitive resin composition is prepared by mixing, in addition to the [Q] polymer and the [R] photosensitive agent, other optional components to be blended as necessary. The radiation-sensitive resin composition is preferably dissolved in a suitable solvent and used in solution. Examples of the solvent include alcohol, glycol ether, ethylene glycol alkyl ether acetate, diethylene glycol monoalkyl ether, diethylene glycol dialkyl ether, dipropylene glycol dialkyl ether, propylene glycol monoalkyl ether, and propylene glycol alkyl ether. Acetate, propylene glycol monoalkyl ether propionate, ketone, ester, and the like.

용매의 함유량은, 얻어지는 감방사선성 수지 조성물의 도포성, 안정성 등의 관점에서, 감방사선성 수지 조성물의 용매를 제외한 각 성분의 합계 농도가, 5∼50질량%가 되는 양이 바람직하고, 10∼40질량%가 되는 양이 보다 바람직하다.The content of the solvent is preferably an amount such that the total concentration of each component excluding the solvent of the radiation-sensitive resin composition is 5 to 50% by mass, from the viewpoint of coatability, stability, and the like of the resulting radiation-sensitive resin composition, 10 The amount which becomes -40 mass% is more preferable.

(액정 장치(10)의 제조 방법)(Method of manufacturing liquid crystal device 10)

액정 장치(10)는, 이하의 공정 A∼공정 E를 포함하는 방법에 의해 제조할 수 있다.The liquid crystal device 10 can be manufactured by a method including the following steps A to E.

공정 A: 기판 상에 층간 절연막(21)을 형성하는 공정.Step A: The step of forming the interlayer insulating film 21 on the substrate.

공정 B: 층간 절연막(21) 상에 화소 전극(19)을 형성하는 공정.Step B: The step of forming the pixel electrode 19 on the interlayer insulating film 21.

공정 C: 화소 전극(19) 상에, 층간 절연막(21)의 일부에 접촉하도록 액정 배향막(제1 배향막(32))을 형성하는 공정.Step C: A step of forming a liquid crystal alignment film (first alignment film 32) on the pixel electrode 19 so as to contact a part of the interlayer insulating film 21.

공정 D: 어레이 기판(15)과 대향 기판(16)을, 광 중합성 모노머를 포함하는 액정층을 개재하여 대향 배치하여 액정 셀을 구축하는 공정.Step D: A step of arranging the array substrate 15 and the counter substrate 16 to face each other via a liquid crystal layer containing a photopolymerizable monomer to construct a liquid crystal cell.

공정 E: 액정 셀에 광 조사하는 공정.Step E: A step of irradiating the liquid crystal cell with light.

도 1 및 도 2에 나타내는 액정 장치(10)를 제조하기 위해서는, 우선, 유리 기판 등의 투명 기판(18) 상에, 포토리소그래피법 등의 공지의 방법에 의해 박막 트랜지스터(14), 주사 신호선(12), 영상 신호선(13)을 형성한다. 계속하여, 투명 기판(18) 중의 박막 트랜지스터(14) 및 신호선의 형성면 상에, 층간 절연막 형성용의 감방사선성 수지 조성물을 도포하여, 층간 절연막(21)을 형성한다(공정 A). In order to manufacture the liquid crystal device 10 shown in Figs. 1 and 2, first, on a transparent substrate 18 such as a glass substrate, the thin film transistor 14 and the scanning signal line (by a known method such as a photolithography method) 12), an image signal line 13 is formed. Subsequently, on the formation surface of the thin film transistor 14 and the signal line in the transparent substrate 18, a radiation-sensitive resin composition for forming an interlayer insulating film is applied to form the interlayer insulating film 21 (step A).

감방사선성 수지 조성물의 도포 방법은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면 스프레이법, 롤 코팅법, 스핀 코팅법, 슬릿 도포법, 바 도포법, 잉크젯 도포법 등의 적절한 방법을 채용할 수 있다. 이들 중, 균일한 두께의 막을 형성할 수 있는 점에서, 스핀 코팅법 또는 슬릿 도포법이 바람직하다. 감방사선성 수지 조성물의 도포 후는, 바람직하게는 도포면을 가열(프리베이킹)하고, 필요에 따라서 소정의 패턴을 갖는 포토마스크를 개재하여 도막에 노광한 후, 현상 및 포스트베이킹을 행함으로써, 경화막으로서의 층간 절연막(21)이 얻어진다. 층간 절연막(21)을 형성할 때의 각종 조건에 대해서는, 예를 들면 일본공개특허공보 2015-92233호에 기재된 조건을 채용할 수 있다.The method for applying the radiation-sensitive resin composition is not particularly limited, and suitable methods such as a spray method, a roll coating method, a spin coating method, a slit coating method, a bar coating method, and an inkjet coating method can be adopted, for example. Of these, a spin coating method or a slit coating method is preferable because a film having a uniform thickness can be formed. After application of the radiation-sensitive resin composition, curing is preferably performed by heating (pre-baking) the coated surface, exposing the coating film via a photomask having a predetermined pattern as necessary, and then developing and post-baking. An interlayer insulating film 21 as a film is obtained. As for the various conditions when forming the interlayer insulating film 21, for example, the conditions described in JP-A-2015-92233 can be adopted.

이어지는 공정 B에서는, 투명 기판(18) 중 공정 A에서 형성한 층간 절연막(21) 상에 화소 전극(19)을 형성한다. 화소 전극(19)은, 스퍼터링법 등의 공지의 방법을 이용하여, 막두께 50∼200㎚, 보다 바람직하게는 100∼150㎚의 ITO(산화 인듐 주석)막이나 IZO(산화 인듐 아연)막을 형성한 후, 포토리소그래피법에 의해 피시본 형상(「빗살 형상」이라고도 함)으로 패터닝한다. 이에 따라, 피시본 형의 화소 전극(19)을 기판 상에 형성하여, 어레이 기판(15)을 제작한다.In the subsequent step B, the pixel electrode 19 is formed on the interlayer insulating film 21 formed in step A of the transparent substrate 18. The pixel electrode 19 forms an ITO (indium tin oxide) film or an IZO (indium zinc oxide) film having a film thickness of 50 to 200 nm, more preferably 100 to 150 nm, using a known method such as sputtering. Then, it is patterned into a fishbone shape (also referred to as a "comb shape") by photolithography. Accordingly, a fishbone-type pixel electrode 19 is formed on the substrate, thereby fabricating the array substrate 15.

또한, 상기와는 별도로, 유리 기판 등의 투명 기판(28) 상에, 포토리소그래피법 등의 공지의 방법을 이용하여, 컬러 필터층(29), 오버코팅층(도시 생략) 및 공통 전극(31)을 이 순서로 형성하여, 대향 기판(16)을 제작한다.In addition, the color filter layer 29, the overcoat layer (not shown), and the common electrode 31 are formed on a transparent substrate 28 such as a glass substrate using a known method such as a photolithography method. Formed in this order, the counter substrate 16 is produced.

이어지는 공정 C에서는, 우선, 전극이 형성된 기판 상에 액정 배향제를 도포하고, 바람직하게는 도포면을 가열함으로써 기판 상에 도막을 형성한다. 기판으로의 액정 배향제의 도포는, 전극 형성면 상에, 바람직하게는 오프셋 인쇄법, 스핀 코팅법, 롤 코터법, 플렉소 인쇄법 또는 잉크젯 인쇄법에 의해 행한다. 액정 배향제를 도포한 후, 도포한 액정 배향제의 액흐름 방지 등의 목적으로, 바람직하게는 예비 가열(프리베이킹)이 실시된다. 프리베이킹 온도는, 바람직하게는 30∼200℃이고, 프리베이킹 시간은, 바람직하게는 0.25∼10분이다. 그 후, 용제를 완전하게 제거하고, 필요에 따라서, 중합체에 존재하는 암산 구조를 열 이미드화하는 것을 목적으로 하여 소성(포스트베이킹) 공정이 실시된다. 이 때의 소성 온도(포스트베이킹 온도)는, 바람직하게는 80∼300℃이고, 포스트베이킹 시간은, 바람직하게는 5∼200분이다. 이와 같이 하여 형성되는 막의 두께는, 바람직하게는 0.001∼1㎛이다. 기판 상에 액정 배향제를 도포한 후, 유기 용매를 제거함으로써, 액정 배향막 또는 액정 배향막이 되는 도막이 형성된다. In the subsequent step C, first, a liquid crystal aligning agent is applied onto a substrate on which an electrode is formed, and a coating film is preferably formed on the substrate by heating the coated surface. The liquid crystal aligning agent is applied to the substrate on the electrode formation surface, preferably by an offset printing method, a spin coating method, a roll coater method, a flexo printing method or an inkjet printing method. After the liquid crystal aligning agent is applied, preheating (pre-baking) is preferably performed for the purpose of preventing liquid flow of the applied liquid crystal aligning agent. The pre-baking temperature is preferably 30 to 200 ° C, and the pre-baking time is preferably 0.25 to 10 minutes. Thereafter, a sintering (post-baking) step is carried out with the aim of completely removing the solvent and thermally imidizing the acid structure present in the polymer, if necessary. The firing temperature (post-baking temperature) at this time is preferably 80 to 300 ° C, and the post-baking time is preferably 5 to 200 minutes. The thickness of the film thus formed is preferably 0.001 to 1 µm. After apply | coating a liquid crystal aligning agent on a board | substrate, by removing an organic solvent, the liquid crystal aligning film or the coating film used as a liquid crystal aligning film is formed.

여기에서는, 층간 절연막(21) 상에, 다수의 슬릿부(19c)를 갖는 패턴 전극(화소 전극(19))이 형성된 기판의 전극 형성면 상에 액정 배향제가 도포된다. 그 때문에, 액체 상태의 액정 배향제가, 슬릿부(19c)의 개구를 개재하여 층간 절연막(21)에 접촉하게 된다. 기판 상에 형성된 액정 배향막(제1 배향막(32))은, 액정 장치(10)의 표시 영역에 있어서 슬릿부(19c)를 개재하여 층간 절연막(21)에 접촉하고 있다.Here, a liquid crystal aligning agent is applied onto the interlayer insulating film 21 on the electrode formation surface of the substrate on which the pattern electrode (pixel electrode 19) having a plurality of slit portions 19c is formed. Therefore, the liquid crystal aligning agent in a liquid state contacts the interlayer insulating film 21 through the opening of the slit portion 19c. The liquid crystal alignment film (first alignment film 32) formed on the substrate is in contact with the interlayer insulating film 21 via the slit portion 19c in the display area of the liquid crystal device 10.

또한, 상기에서 형성한 도막을 그대로 액정 배향막으로서 사용해도 좋지만, 액정 배향능을 부여하는 처리(배향 처리)를 실시해도 좋다. 배향 처리로서는, 예를 들면 나일론, 레이온, 코튼 등의 섬유로 이루어지는 천을 감은 롤로 도막을 일정 방향으로 문지르는 러빙 처리나, 액정 배향제를 이용하여 기판 상에 형성한 도막에 광 조사를 행하여 도막에 액정 배향능을 부여하는 광 배향 처리 등을 들 수 있다.Moreover, although the coating film formed above may be used as it is as a liquid crystal aligning film, you may perform the process (orientation process) which gives liquid crystal aligning ability. As the alignment treatment, for example, rubbing treatment of rubbing the coating film in a predetermined direction with a roll of cloth made of fibers such as nylon, rayon, or cotton, or irradiating the coating film formed on the substrate with a liquid crystal aligning agent to irradiate the coating film with liquid crystal And a photo-alignment treatment for imparting alignment ability.

이어지는 공정 D에서는, 층간 절연막(21), 화소 전극(19) 및 제1 배향막(32)이 이 순서로 형성된 어레이 기판(15)과, 공통 전극(31) 및 제2 배향막(33)이 이 순서로 형성된 대향 기판(16)을, 서로의 배향막 형성면이 대향하도록 배치한다. 어레이 기판(15)과 대향 기판(16)의 사이에는, 광 중합성 모노머가 혼입된 액정층(17)이 배치되도록 하고, 이에 의해 액정 셀을 구축한다.In the subsequent process D, the interlayer insulating film 21, the pixel electrode 19 and the first alignment film 32 are formed in this order, the array substrate 15, and the common electrode 31 and the second alignment film 33 are in this order. The opposing substrates 16 formed of are arranged so that the alignment film forming surfaces of each other face each other. Between the array substrate 15 and the counter substrate 16, a liquid crystal layer 17 in which a photopolymerizable monomer is mixed is disposed, thereby constructing a liquid crystal cell.

액정층(17)은, 예를 들면, 시일제를 도포한 한쪽의 기판 상에 액정 조성물을 적하 또는 도포하고, 그 후, 다른 한쪽의 기판을 접합하는 방법(ODF 방식)이나, 셀 갭을 개재하여 대향 배치된 한 쌍의 기판의 주연부를 시일제에 의해 접합하고, 기판 표면 및 시일제에 의해 둘러싸인 셀 갭 내에 액정 조성물을 주입 충전한 후, 주입공을 봉지하는 방법 등에 의해 형성한다. 얻어진 액정 셀에 대해, 추가로, 이용한 액정이 등방상을 취하는 온도까지 가열한 후, 실온까지 서냉하는 어닐링 처리를 행함으로써, 액정 충전시의 유동 배향을 제거하는 것이 바람직하다.The liquid crystal layer 17 is, for example, dropped or coated with a liquid crystal composition on one substrate coated with a sealing agent, and thereafter, a method of bonding the other substrate (ODF method) or via a cell gap. Then, the peripheral portions of the pair of substrates facing each other are bonded by a sealing agent, and the liquid crystal composition is injected and filled into a cell gap surrounded by the substrate surface and the sealing agent, and then formed by a method of sealing the injection hole. For the obtained liquid crystal cell, it is preferable to further remove the flow orientation during liquid crystal charging by heating to a temperature at which the used liquid crystal takes an isotropic phase and then slowly cooling to room temperature.

광 중합성 모노머로서는, 빛에 의한 중합성이 높은 점에서, (메타)아크릴로일기를 2개 이상 갖는 화합물을 바람직하게 이용할 수 있다. 그의 구체예로서는, 예를 들면, 비페닐 구조를 갖는 디(메타)아크릴레이트, 페닐-사이클로헥실 구조를 갖는 디(메타)아크릴레이트, 2,2-디페닐프로판 구조를 갖는 디(메타)아크릴레이트, 디페닐메탄 구조를 갖는 디(메타)아크릴레이트, 디페닐티오에테르 구조를 갖는 디티오(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 광 중합성 모노머의 배합 비율은, 액정층(17)의 형성에 사용되는 액정 조성물의 전체량에 대하여, 0.1∼0.5질량%로 하는 것이 바람직하다. 또한, 광 중합성 모노머로서는, 1종을 단독으로 사용해도 좋고, 2종 이상을 조합하여 사용해도 좋다.As a photopolymerizable monomer, a compound having two or more (meth) acryloyl groups can be preferably used from the viewpoint of high polymerizability by light. Specific examples thereof include di (meth) acrylate having a biphenyl structure, di (meth) acrylate having a phenyl-cyclohexyl structure, and di (meth) acrylate having a 2,2-diphenylpropane structure. , Di (meth) acrylate having a diphenylmethane structure, dithio (meth) acrylate having a diphenylthioether structure, and the like. The blending ratio of the photopolymerizable monomer is preferably 0.1 to 0.5% by mass relative to the total amount of the liquid crystal composition used for forming the liquid crystal layer 17. Moreover, as a photopolymerizable monomer, 1 type may be used individually and may be used in combination of 2 or more type.

이어지는 공정 E에서는, 공정 D에서 얻어진 액정 셀에 광 조사한다. 액정 셀에 대한 광 조사는, 전극 간에 전압을 인가하지 않는 상태에서 행해도 좋고, 액정층(17) 중의 액정 분자가 구동하지 않는 소정 전압을 인가한 상태에서 행해도 좋고, 혹은, 액정 분자가 구동되는 소정 전압을 전극 간에 인가한 상태에서 행해도 좋다. 바람직하게는, 한 쌍의 기판이 갖는 전극 간에 전압을 인가한 상태에서 광 조사한다. 인가하는 전압은, 예를 들면 5∼50V의 직류 또는 교류로 할 수 있다. 조사하는 빛으로서는, 예를 들면 150∼800㎚의 파장의 빛을 포함하는 자외선 및 가시광선을 이용할 수 있지만, 300∼400㎚의 파장의 빛을 포함하는 자외선이 바람직하다. 빛의 조사 방향은, 이용하는 방사선이 직선 편광 또는 부분 편광인 경우에는, 기판면에 수직의 방향으로부터 행해도 좋고, 경사진 방향으로부터 행해도 좋고, 또는 이들을 조합하여 행해도 좋다. 비편광의 방사선을 조사하는 경우, 조사 방향은 경사 방향으로 한다.In the subsequent step E, light is irradiated to the liquid crystal cell obtained in step D. Light irradiation to the liquid crystal cell may be performed in a state in which no voltage is applied between the electrodes, or may be performed in a state in which a predetermined voltage that is not driven by the liquid crystal molecules in the liquid crystal layer 17 is applied, or the liquid crystal molecules are driven. You may perform it in the state which applied the prescribed voltage between electrodes. Preferably, light is irradiated while a voltage is applied between the electrodes of the pair of substrates. The voltage to be applied can be, for example, DC or AC of 5 to 50V. As the light to be irradiated, for example, ultraviolet rays and visible rays containing light having a wavelength of 150 to 800 nm can be used, but ultraviolet rays containing light having a wavelength of 300 to 400 nm are preferable. When the radiation to be used is linearly polarized or partially polarized, the direction of irradiation of light may be performed from a direction perpendicular to the substrate surface, from an inclined direction, or a combination thereof. When irradiating non-polarized radiation, the irradiation direction is set to the inclined direction.

조사광의 광원으로서는, 예를 들면 저압 수은 램프, 고압 수은 램프, 중수소 램프, 메탈 할라이드 램프, 아르곤 공명 램프, 제논 램프, 엑시머 레이저 등을 사용할 수 있다. 또한, 상기의 바람직한 파장 영역의 자외선은, 광원을, 예를 들면 필터 회절 격자 등과 병용하는 수단 등에 의해 얻을 수 있다. 빛의 조사량으로서는, 바람직하게는 1,000∼200,000J/㎡이고, 보다 바람직하게는 1,000∼100,000J/㎡이다.As the light source of the irradiation light, for example, a low pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a deuterium lamp, a metal halide lamp, an argon resonance lamp, a xenon lamp, an excimer laser, or the like can be used. In addition, ultraviolet rays in the above-described preferred wavelength range can be obtained by means of using a light source in combination with, for example, a filter diffraction grating or the like. The irradiation amount of light is preferably 1,000 to 200,000 J / m 2, and more preferably 1,000 to 100,000 J / m 2.

그리고, 액정 셀의 외측 표면에 편광판(36, 37)을 접합함으로써 액정 장치(10)가 얻어진다. 편광판(36, 37)으로서는, 폴리비닐알코올을 연신 배향시키면서 요오드를 흡수시킨 「H막」이라고 칭해지는 편광 필름을 아세트산 셀룰로오스 보호막으로 사이에 끼운 편광판, 또는 H막 그 자체로 이루어지는 편광판 등을 들 수 있다.And the liquid crystal device 10 is obtained by bonding the polarizing plates 36 and 37 to the outer surface of a liquid crystal cell. Examples of the polarizing plates 36 and 37 include a polarizing plate sandwiched between a protective film of cellulose acetate and a polarizing plate called an "H film" which absorbs iodine while stretching and aligning polyvinyl alcohol, or a polarizing plate made of the H film itself. have.

본 실시 형태에서는, 용제 성분으로서 특정 용제를 함유하는 액정 배향제를 이용하여 제1 배향막(32)이 형성되어 있다. 이에 따라, 슬릿부(19c)를 개재하여 제1 배향막(32)이 층간 절연막(21)에 접촉하고 있는 경우에도, 신뢰성이 우수한 액정 장치(10)를 얻을 수 있다. 이러한 효과가 얻어진 이유는 확실하지 않지만, 하나의 이유로서, 액정 배향제의 조제에 이용한 특정 용제는 층간 절연막(21)에 주는 영향이 작고, 이에 따라 층간 절연막(21)의 성능 저하가 억제된 것을 생각할 수 있다. 특히, PSA 기술에서는, MVA 모드의 응답 특성을 개선하기 위해, 예를 들면 수 ㎛ 정도의 미세한 스트라이프 형상의 전극 패턴이 형성된다. 이러한 미세한 전극 패턴이 기판 상에 형성되어 있는 경우, 액정 배향제가 층간 절연막(21)에 접촉함으로써 층간 절연막(21)이 팽윤하여 막의 두께가 미소하게나마 변화하면, 화소 전극(19)에도 변형이 일어나기 쉬워, 소자 성능의 저하를 초래하는 것을 생각할 수 있다. 이 점, 특정 용제에 의하면, 층간 절연막(21)의 팽윤이 억제됨으로써 화소 전극(19)으로의 영향을 최대한 저감할 수 있고, 이에 따라 소자 성능의 저하를 충분히 억제할 수 있다고 추측된다. 또한, 액정 배향제가 층간 절연막(21)에 접촉하고 있는 상태에 있어서 층간 절연막(21)으로부터 액정 배향제로의 불순물 성분의 용출을 억제할 수 있고, 이에 따라 소자 성능의 저하를 충분히 억제할 수 있었던 것도 추측된다.In this embodiment, the 1st alignment film 32 is formed using the liquid crystal aligning agent containing a specific solvent as a solvent component. Accordingly, even when the first alignment film 32 is in contact with the interlayer insulating film 21 via the slit portion 19c, the liquid crystal device 10 having excellent reliability can be obtained. It is not clear why this effect was obtained, but as one reason, the specific solvent used for the preparation of the liquid crystal aligning agent has a small effect on the interlayer insulating film 21, thereby suppressing the deterioration of the performance of the interlayer insulating film 21. Can think. In particular, in the PSA technique, in order to improve the response characteristics of the MVA mode, an electrode pattern of a fine stripe shape of, for example, about several μm is formed. When such a fine electrode pattern is formed on a substrate, if the interlayer insulating film 21 swells due to the liquid crystal aligning agent contacting the interlayer insulating film 21 and the thickness of the film changes slightly, the pixel electrode 19 is easily deformed. , It is considered that it causes the deterioration of device performance. According to this point and a specific solvent, it is estimated that the effect on the pixel electrode 19 can be reduced as much as possible by suppressing the swelling of the interlayer insulating film 21, thereby sufficiently suppressing the deterioration of device performance. Further, in the state in which the liquid crystal aligning agent is in contact with the interlayer insulating film 21, the elution of the impurity component from the interlayer insulating film 21 to the liquid crystal aligning agent can be suppressed, thereby sufficiently suppressing the deterioration of device performance. I guess.

(제2 실시 형태)(Second embodiment)

다음으로, 제2 실시 형태에 대해서, 제1 실시 형태와의 상이점을 중심으로 설명한다. 본 실시 형태에서는, 어레이 기판(15)에 컬러 필터층이 형성되어 있는 점에서 상기 제1 실시 형태와 상이하다.Next, the second embodiment will be mainly described with respect to differences from the first embodiment. This embodiment differs from the first embodiment in that a color filter layer is formed on the array substrate 15.

도 3은, 제2 실시 형태의 소자 구조의 일부를 개략적으로 나타내는 단면도이다. 도 3에 나타내는 액정 장치(10)는, 제1 실시 형태의 액정 장치와 마찬가지로, 어레이 기판(15)과 대향 기판(16)이 액정층(17)을 개재하여 대향 배치된 구조를 갖는다. 어레이 기판(15)은, 투명 기판(18) 상에 TFT(14)와, 착색 패턴(29a) 및 층간 절연막(29b)을 포함하여 구성되는 컬러 필터층(29)을 갖는다. 착색 패턴(29a)은, 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)으로 착색된 서브 화소에 의해 구성되고, 포토리소그래피 등의 공지의 방법에 의해 제작되고 있다. 층간 절연막(29b)은, 제1 실시 형태에서 설명한 감방사선성 수지 조성물을 이용하여 형성되어 있다. 이 층간 절연막(29b)은, 착색 패턴(29a)을 보호함과 함께, 우수한 특성을 나타내는 화소 전극(19)을 형성하는 것을 목적으로 하여 형성되어 있다. 화소 전극(19)은, 층간 절연막(29b) 상에 배치된다.3 is a cross-sectional view schematically showing a part of the device structure according to the second embodiment. The liquid crystal device 10 shown in FIG. 3 has a structure in which the array substrate 15 and the counter substrate 16 are disposed opposite to each other via the liquid crystal layer 17, similarly to the liquid crystal device of the first embodiment. The array substrate 15 has a TFT 14 on a transparent substrate 18, a color filter layer 29 composed of a coloring pattern 29a and an interlayer insulating film 29b. The coloring pattern 29a is composed of sub-pixels colored in red (R), green (G), and blue (B), and is produced by a known method such as photolithography. The interlayer insulating film 29b is formed using the radiation-sensitive resin composition described in the first embodiment. This interlayer insulating film 29b is formed for the purpose of forming the pixel electrode 19 showing excellent characteristics while protecting the coloring pattern 29a. The pixel electrode 19 is disposed on the interlayer insulating film 29b.

이 경우에도, 층간 절연막(29b) 상에 피시본 형상의 패턴 전극(화소 전극(19))이 형성된 기판의 전극 형성면 상에 제1 배향막(32)이 형성됨으로써, 제1 배향막(32)이 슬릿부(19c)에 있어서 층간 절연막(29b)에 접촉하게 된다. 이 점, 전술한 액정 배향제를 이용하여 제1 배향막(32)을 형성함으로써, 신뢰성이 우수한 액정 장치(10)가 얻어진다.Also in this case, the first alignment layer 32 is formed by forming the first alignment layer 32 on the electrode formation surface of the substrate on which the fishbone-shaped pattern electrode (pixel electrode 19) is formed on the interlayer insulating film 29b. In the slit portion 19c, the interlayer insulating film 29b is brought into contact. By forming this point and the 1st alignment film 32 using the liquid crystal aligning agent mentioned above, the liquid crystal device 10 excellent in reliability is obtained.

(다른 실시 형태)(Other embodiments)

·상기 제1 실시 형태에서는, 어레이 기판(15)측의 화소 전극(19)을 패턴 전극으로 하여, 슬릿부(19c)에서 층간 절연막(21)과 제1 배향막(32)이 접촉하고 있었지만, 대향 전극(16)측에 대해서도 패턴 전극 및 층간 절연막을 형성하고, 슬릿부에 있어서 패턴 전극과 층간 절연막이 접촉하고 있도록 해도 좋다.In the first embodiment, the interlayer insulating film 21 and the first alignment film 32 were in contact with each other in the slit portion 19c, using the pixel electrode 19 on the array substrate 15 side as a pattern electrode. A pattern electrode and an interlayer insulating film may also be formed on the electrode 16 side, and the pattern electrode and the interlayer insulating film may be in contact with each other in the slit portion.

이상 상술한 본 발명의 액정 장치(10)는 여러 가지의 용도에 유효하게 적용할 수 있고, 예를 들면, 시계, 휴대형 게임, 워드프로세서, 노트북 컴퓨터, 카 내비게이션 시스템, 캠코더, PDA, 디지털 카메라, 휴대 전화, 스마트 폰, 각종 모니터, 액정 TV, 인포메이션 디스플레이 등의 각종 표시 장치나, 조광 장치 등으로서 이용할 수 있다.The liquid crystal device 10 of the present invention described above can be effectively applied to various uses, for example, a watch, a portable game, a word processor, a notebook computer, a car navigation system, a camcorder, a PDA, a digital camera, It can be used as various display devices such as mobile phones, smart phones, various monitors, liquid crystal TVs, information displays, and dimming devices.

실시예Example

이하, 실시예에 기초하여 본 발명의 실시 형태를 보다 상세하게 설명하지만, 이하의 실시예에 의해 본 발명이 한정적으로 해석되는 것은 아니다.Hereinafter, although embodiment of this invention is described in detail based on an Example, this invention is not interpreted limitedly by the following Example.

이하의 예에 있어서, 중합체 용액 중의 폴리이미드의 이미드화율, 중합체의 중량 평균 분자량 및, 에폭시 당량은 이하의 방법에 의해 측정했다.In the following examples, the imidation ratio of the polyimide in the polymer solution, the weight average molecular weight of the polymer, and the epoxy equivalent were measured by the following method.

[폴리이미드의 이미드화율][Imidization rate of polyimide]

폴리이미드의 용액을 순수에 투입하고, 얻어진 침전을 실온에서 충분히 감압 건조한 후, 중수소화 디메틸술폭사이드에 용해하여, 테트라메틸실란을 기준 물질로 하여 실온에서 1H-NMR을 측정했다. 얻어진 1H-NMR 스펙트럼으로부터, 하기 수식 (1)에 의해 이미드화율[%]를 구했다.The solution of the polyimide was poured into pure water, and the obtained precipitate was sufficiently dried under reduced pressure at room temperature, dissolved in deuterated dimethyl sulfoxide, and 1 H-NMR was measured at room temperature using tetramethylsilane as a reference material. From the obtained 1 H-NMR spectrum, the imidation rate [%] was determined by the following formula (1).

이미드화율[%]=(1-(A1/(A2×α)))×100 …(1)Imidation rate [%] = (1-(A 1 / (A 2 × α))) x 100. (One)

(수식 (1) 중, A1은 화학 시프트 10ppm 부근에 나타나는 NH기의 프로톤 유래의 피크 면적이고, A2는 그 외의 프로톤 유래의 피크 면적이고, α는 중합체의 전구체(폴리암산)에 있어서의 NH기의 프로톤 1개에 대한 그 외의 프로톤의 개수 비율이다.)(In Formula (1), A 1 is a peak area derived from a proton of an NH group appearing near 10 ppm of chemical shift, A 2 is a peak area derived from other protons, and α is a polymer precursor (polyamic acid). It is the ratio of the number of other protons to one proton of the NH group.)

[중합체의 중량 평균 분자량][Weight average molecular weight of polymer]

중량 평균 분자량은, 이하의 조건에 있어서의 겔 투과 크로마토그래피에 의해 측정한 폴리스티렌 환산값이다.The weight average molecular weight is a polystyrene conversion value measured by gel permeation chromatography under the following conditions.

칼럼: 토소(주) 제조, TSKgelGRCXLIIColumn: Tosoh Corporation, TSKgelGRCXLII

용제: 테트라하이드로푸란Solvent: Tetrahydrofuran

온도: 40℃Temperature: 40 ℃

압력: 68kgf/㎠Pressure: 68kgf / ㎠

[에폭시 당량][Epoxy equivalent]

에폭시 당량은, JIS C 2105에 기재된 염산-메틸에틸케톤법에 의해 측정했다.The epoxy equivalent was measured by the hydrochloric acid-methylethylketone method described in JIS C 2105.

이하의 예에서 사용하는 약호를 나타낸다. 또한, 이하에서는, 식 X로 나타나는 화합물을 간단히 「화합물 X」라고 나타내는 경우가 있다.The symbol used in the following example is shown. In addition, in the following, the compound represented by Formula X may be simply referred to as "compound X".

Figure pct00008
Figure pct00008

Figure pct00009
Figure pct00009

1. 감방사선성 수지 조성물(층간 절연막 형성용)의 조제1. Preparation of radiation-sensitive resin composition (for forming an interlayer insulating film)

(1) [Q] 중합체의 합성(1) [Q] Synthesis of polymer

[합성예 1 : 중합체 (Q-1)의 합성][Synthesis Example 1: Synthesis of polymer (Q-1)]

냉각관 및 교반기를 구비한 플라스크에, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 8질량부 및, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르 220질량부를 투입했다. 계속하여, 메타크릴산 25질량부, 메타크릴산 3,4-에폭시사이클로헥실 45질량부 및, 스티렌 30질량부를 투입하고, 질소 치환한 후, 서서히 교반하면서, 용액의 온도를 70℃로 상승시키고, 이 온도를 5시간 보존 유지하여 중합함으로써 중합체 (Q-1)을 함유하는 용액을 얻었다. 중합체 (Q-1)의 Mw는 8000이었다.To a flask equipped with a cooling tube and a stirrer, 8 parts by mass of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 220 parts by mass of diethylene glycol methyl ethyl ether were charged. Subsequently, 25 parts by mass of methacrylic acid, 45 parts by mass of 3,4-epoxycyclohexyl methacrylic acid, and 30 parts by mass of styrene were added, and after nitrogen substitution, the temperature of the solution was raised to 70 ° C while gradually stirring. , A solution containing the polymer (Q-1) was obtained by maintaining and maintaining this temperature for 5 hours. The polymer (Q-1) had an Mw of 8000.

[합성예 2: 중합체 (Q-2)의 합성][Synthesis Example 2: Synthesis of polymer (Q-2)]

냉각관 및 교반기를 구비한 플라스크에, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 8질량부 및, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르 220질량부를 투입했다. 계속하여, 메타크릴산 15질량부, 메타크릴산 3,4-에폭시사이클로헥실 40질량부, 스티렌 20질량부, 테트라하이드로푸르푸릴메타크릴레이트 15질량부 및, n-라우릴메타크릴레이트 10질량부를 투입하여, 질소 치환한 후, 천천히 교반하면서, 용액의 온도를 70℃로 상승시키고, 이 온도를 5시간 보존 유지하여 중합함으로써 중합체 (Q-2)를 함유하는 용액을 얻었다. 중합체 (Q-2)의 Mw는 8000이었다.To a flask equipped with a cooling tube and a stirrer, 8 parts by mass of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 220 parts by mass of diethylene glycol methyl ethyl ether were charged. Subsequently, 15 parts by mass of methacrylic acid, 40 parts by mass of 3,4-epoxycyclohexyl methacrylic acid, 20 parts by mass of styrene, 15 parts by mass of tetrahydrofurfuryl methacrylate, and 10 mass of n-lauryl methacrylate The solution was added, and after nitrogen substitution, the temperature of the solution was raised to 70 ° C while stirring slowly, and the temperature was kept for 5 hours and polymerized to obtain a solution containing the polymer (Q-2). The polymer (Q-2) had an Mw of 8000.

[합성예 3: 중합체 (Q-3)의 합성][Synthesis Example 3: Synthesis of polymer (Q-3)]

냉각관 및 교반기를 구비한 플라스크에, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 8질량부 및, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르 220질량부를 투입했다. 계속하여, 메타크릴산 글리시딜 40질량부, 4-(α-하이드록시헥사플루오로이소프로필)스티렌 20질량부, 스티렌 10질량부 및, N-사이클로헥실말레이미드 30질량부를 투입하여, 질소 치환한 후, 천천히 교반하면서, 용액의 온도를 70℃로 상승시키고, 이 온도를 5시간 보존 유지하여 중합함으로써 중합체 (Q-3)을 함유하는 용액을 얻었다. 중합체 (Q-3)의 Mw는 8000이었다.To a flask equipped with a cooling tube and a stirrer, 8 parts by mass of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 220 parts by mass of diethylene glycol methyl ethyl ether were charged. Subsequently, 40 parts by mass of glycidyl methacrylate, 20 parts by mass of 4- (α-hydroxyhexafluoroisopropyl) styrene, 10 parts by mass of styrene, and 30 parts by mass of N-cyclohexylmaleimide were added to nitrogen. After substitution, the temperature of the solution was raised to 70 ° C while stirring slowly, and the polymer was stored and polymerized for 5 hours to obtain a solution containing the polymer (Q-3). Mw of the polymer (Q-3) was 8000.

(2) 감방사선성 수지 조성물의 조제(2) Preparation of radiation-sensitive resin composition

[조제예 1][Preparation Example 1]

상기 합성예 1에서 얻어진 중합체 (Q-1)을 함유하는 용액(중합체 (Q-1)이 100질량부(고형분)에 상당하는 양)에, 1,2-옥탄디온1-[4-(페닐티오)-2-(O-벤조일옥심)](BASF사 제조 이르가큐어(등록상표) OXE01)을 20질량부 더하고, 추가로 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트와 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트의 혼합물(KAYARAD(등록상표) DPHA, 닛뽄카야쿠사 제조)을 100질량부 더하여 혼합했다. 고형분 농도가 30질량%가 되도록 디에틸렌글리콜에틸메틸에테르를 더하여 용해시킨 후, 구경 0.2㎛의 멤브레인 필터로 여과하여, 감방사선성 수지 조성물 (V-1)을 조제했다.To a solution containing polymer (Q-1) obtained in Synthesis Example 1 (amount equivalent to 100 parts by mass (solid content) of polymer (Q-1)), 1,2-octanedione 1- [4- (phenyl Thio) -2- (O-benzoyloxime)] (Irgacure (registered trademark) OXE01, manufactured by BASF), 20 parts by mass, and further a mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate (KAYARAD (registered trademark) DPHA, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) was added and mixed with 100 parts by mass. Diethylene glycol ethyl methyl ether was added and dissolved so that the solid content concentration was 30 mass%, followed by filtration through a membrane filter having a diameter of 0.2 µm to prepare a radiation-sensitive resin composition (V-1).

[조제예 2∼4][Preparation Examples 2 to 4]

배합 조성을 하기표 1에 기재와 같이 변경한 점 이외는 조제예 1과 마찬가지로 하여 감방사선성 수지 조성물 (V-2)∼(V-4)를 각각 조제했다. 또한, 하기표 1에 있어서, 「-」는 해당 성분을 배합하고 있지 않은 것을 의미한다(이하의 표에 대해서도 동일).Radiation-sensitive resin compositions (V-2) to (V-4) were prepared in the same manner as in Preparation Example 1, except that the composition was changed as described in Table 1 below. In addition, in Table 1, "-" means that the said component is not mix | blended (it is the same also about the following table).

Figure pct00010
Figure pct00010

표 1 중, 화합물의 약칭은 이하에 나타내는 바와 같다.In Table 1, the abbreviation of a compound is as showing below.

R-1: 1,2-옥탄디온1-[4-(페닐티오)-2-(O-벤조일옥심)](BASF사 제조 이르가큐어(등록상표) OXE01)R-1: 1,2-octanedione 1- [4- (phenylthio) -2- (O-benzoyloxime)] (Irgacure (registered trademark) OXE01, manufactured by BASF)

R-2: 4,4'-[1-[4-[1-[4-하이드록시페닐]-1-메틸에틸]페닐]에틸리덴]비스페놀(1.0몰)과, 1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산 클로라이드(2.0몰)의 축합물R-2: 4,4 '-[1- [4- [1- [4-hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol (1.0 mol) and 1,2-naphthoquinone Condensate of diazide-5-sulfonic acid chloride (2.0 mol)

U-1: 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트와 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트의 혼합물(KAYARAD(등록상표) DPHA, 닛뽄카야쿠사 제조)U-1: Mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate (KAYARAD (registered trademark) DPHA, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)

2. 중합체의 합성(액정 배향제용)2. Synthesis of polymer (for liquid crystal aligning agent)

[합성예 5: 중합체 (PI-1)의 합성][Synthesis Example 5: Synthesis of polymer (PI-1)]

테트라카본산 2무수물로서 2,3,5-트리카복시사이클로펜틸아세트산 2무수물 100몰부, 그리고, 디아민으로서 콜레스타닐옥시-2,4-디아미노벤젠 20몰부, 3,5-디아미노벤조산 50몰부 및, 화합물 (d-8) 30몰부를 N-메틸-2-피롤리돈(NMP)에 용해하고, 실온에서 6시간 반응을 행하여, 폴리암산을 20질량% 함유하는 용액을 얻었다. 이어서, 얻어진 폴리암산 용액에 피리딘 및 무수 아세트산을 첨가하여, 화학 이미드화를 행했다. 화학 이미드화 후의 반응 용액을 농축하여, 농도가 10질량%가 되도록 NMP로 조제했다. 얻어진 폴리이미드(중합체 (PI-1)로 함)의 이미드화율은 약 75%였다.As tetracarboxylic acid anhydride, 100 mol parts of 2,3,5-tricarboxycyclopentyl acetic acid 2 anhydride, and as diamine, 20 mol parts of cholestanyloxy-2,4-diaminobenzene, 50 mol parts of 3,5-diaminobenzoic acid And, 30 mol parts of the compound (d-8) was dissolved in N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), and reacted at room temperature for 6 hours to obtain a solution containing 20% by mass of polyamic acid. Subsequently, pyridine and acetic anhydride were added to the obtained polyamic acid solution, and chemical imidization was performed. The reaction solution after chemical imidation was concentrated, and it was prepared by NMP so that the concentration may be 10 mass%. The imidation ratio of the obtained polyimide (referred to as polymer (PI-1)) was about 75%.

[합성예 6∼8][Synthesis Examples 6 to 8]

사용하는 테트라카본산 2무수물 및 디아민의 종류 및 양을 하기표 2와 같이 변경한 이외는 합성예 5와 마찬가지로 하여 폴리이미드(중합체 (PI-2)∼중합체 (PI-4))를 합성했다. 또한, 표 2 중, 괄호 내의 수치는, 중합체의 합성에 사용한 테트라카본산 2무수물의 합계 100몰부에 대한 각 화합물의 사용 비율[몰부]를 나타낸다.Polyimide (polymer (PI-2) to polymer (PI-4)) was synthesized in the same manner as in Synthesis Example 5 except that the type and amount of tetracarboxylic acid anhydride and diamine used were changed as shown in Table 2 below. In addition, in Table 2, the numerical value in parenthesis shows the use ratio [molar part] of each compound with respect to 100 mol part of the total tetracarboxylic dianhydride used for the synthesis of a polymer.

[합성예 9: 중합체 (PAA-1)의 합성][Synthesis Example 9: Synthesis of Polymer (PAA-1)]

테트라카본산 2무수물로서 2,3,5-트리카복시사이클로펜틸아세트산 2무수물 70몰부 및, 1,2,3,4-사이클로펜탄테트라카본산 2무수물 30몰부, 그리고, 디아민으로서 콜레스타닐옥시-2,4-디아미노벤젠 20몰부, 화합물 (d-12) 30몰부, 4,4'-디아미노디페닐메탄 40몰부 및, 4,4'-[4,4'-프로판-1,3-디일비스(피페리딘-1,4-디일)]디아닐린 10몰부를 NMP에 용해하고, 실온에서 6시간 반응을 행하여, 폴리암산을 20질량% 함유하는 용액을 얻었다. 여기에서 얻어진 폴리암산을 중합체 (PAA-1)로 했다.70 mol parts of 2,3,5-tricarboxycyclopentyl acetic anhydride as tetracarboxylic acid anhydride, 30 mol parts of 1,2,3,4-cyclopentane tetracarboxylic acid anhydride, and cholestanyloxy- as diamine 20 parts by mole of 2,4-diaminobenzene, 30 parts by mole of compound (d-12), 40 parts by mole of 4,4'-diaminodiphenylmethane, and 4,4 '-[4,4'-propane-1,3- Diylbis (piperidine-1,4-diyl)] 10 mol parts of dianiline was dissolved in NMP and reacted at room temperature for 6 hours to obtain a solution containing 20% by mass of polyamic acid. The polyamic acid obtained here was used as the polymer (PAA-1).

[합성예 10][Synthesis Example 10]

사용하는 테트라카본산 2무수물 및 디아민의 종류 및 양을 하기표 2와 같이 변경한 이외는 합성예 9와 마찬가지로 하여 폴리암산(이를 중합체 (PAA-2)로 함)을 합성했다.Polyamic acid (which is referred to as polymer (PAA-2)) was synthesized in the same manner as in Synthesis Example 9 except that the type and amount of tetracarboxylic acid anhydride and diamine used were changed as shown in Table 2 below.

Figure pct00011
Figure pct00011

[합성예 11][Synthesis Example 11]

교반기, 온도계, 적하 깔때기 및 환류 냉각관을 구비한 반응 용기에, 화합물 (s-1) 100g, 메틸이소부틸케톤 500g 및, 트리에틸아민 10g을 투입하고, 실온에서 혼합했다. 이어서, 탈이온수 100g을 적하 깔때기에서 30분에 걸쳐 적하한 후, 환류하에서 교반하면서, 80℃에서 6시간 반응을 행했다. 반응 종료 후, 유기층을 취출하여, 0.2질량% 질산 암모늄 수용액에 의해 세정 후의 물이 중성이 될 때까지 세정한 후, 감압하에서 용매 및 물을 증류 제거함으로써, 반응성 폴리오르가노실록산 (ESSQ-1)을 점조한 투명 액체로서 얻었다. 이 반응성 폴리오르가노실록산에 대해서, 1H-NMR 분석을 행한 결과, 화학 시프트(δ)=3.2ppm 부근에 에폭시기에 기초하는 피크가 얻어지고, 반응 중에 에폭시기의 부반응이 일어나고 있지 않는 것이 확인되었다. 얻어진 반응성 폴리오르가노실록산 (ESSQ-1)의 중량 평균 분자량 Mw는 3000, 에폭시 당량은 190g/몰이었다.To a reaction vessel equipped with a stirrer, thermometer, dropping funnel, and reflux cooling tube, 100 g of compound (s-1), 500 g of methyl isobutyl ketone, and 10 g of triethylamine were added and mixed at room temperature. Subsequently, 100 g of deionized water was added dropwise to the dropping funnel over 30 minutes, and then reacted at 80 ° C for 6 hours while stirring under reflux. After completion of the reaction, the organic layer was taken out, washed with a 0.2% by mass aqueous solution of ammonium nitrate until the water after washing was neutral, and then distilled off the solvent and water under reduced pressure, thereby making the reactive polyorganosiloxane (ESSQ-1) Was obtained as a viscous transparent liquid. As a result of performing 1 H-NMR analysis of this reactive polyorganosiloxane, it was confirmed that a peak based on an epoxy group was obtained near the chemical shift (?) = 3.2 ppm, and no side reaction of the epoxy group occurred during the reaction. The obtained reactive polyorganosiloxane (ESSQ-1) had a weight average molecular weight Mw of 3000 and an epoxy equivalent of 190 g / mol.

[합성예 12, 13][Synthesis Examples 12, 13]

사용하는 모노머의 종류 및 양을 하기 표 3과 같이 변경한 이외는 합성예 11과 마찬가지로 하여 반응성 폴리오르가노실록산(중합체 (ESSQ-2) 및 중합체 (ESSQ-3))을 합성했다. 또한, 표 3 중, 괄호 내의 수치는, 중합체의 합성에 사용한 모노머의 합계 100몰부에 대한 각 화합물의 사용 비율[몰부]를 나타낸다.Reactive polyorganosiloxanes (polymer (ESSQ-2) and polymer (ESSQ-3)) were synthesized in the same manner as in Synthesis Example 11, except that the type and amount of the monomer used were changed as shown in Table 3 below. In addition, in Table 3, the numerical value in parenthesis shows the use ratio [molar part] of each compound with respect to 100 mol part of the total monomer used for the synthesis of a polymer.

Figure pct00012
Figure pct00012

[합성예 14][Synthesis Example 14]

500mL의 3구 플라스크에, 반응성 폴리오르가노실록산 (ESSQ-1)을 10.0g, 용매로서 메틸이소부틸케톤 300g, 변성 성분으로서 화합물 (c-1)을 16g 및 화합물 (c-3)을 16g, 그리고 촉매로서 UCAT 18X(상품명, 산아프로(주) 제조) 0.10g을 투입하고, 100℃에서 48시간 교반하에 반응을 행했다. 반응 종료 후, 반응 혼합물에 아세트산 에틸을 더하여 얻은 용액을 3회 물세정하고, 황산 마그네슘을 이용하여 유기층을 건조한 후, 용제를 증류 제거함으로써, 중합성기 함유 폴리오르가노실록산 (PSQ-1)을 75g 얻었다. 얻어진 중합체의 중량 평균 분자량 Mw는 6000이었다.In a 500 mL three-necked flask, 10.0 g of reactive polyorganosiloxane (ESSQ-1), 300 g of methyl isobutyl ketone as a solvent, 16 g of compound (c-1) as a modified component, and 16 g of compound (c-3), Then, 0.10 g of UCAT 18X (trade name, manufactured by San-Apro Co., Ltd.) was added as a catalyst, and the reaction was performed at 100 ° C under stirring for 48 hours. After completion of the reaction, the solution obtained by adding ethyl acetate to the reaction mixture was washed three times, the organic layer was dried using magnesium sulfate, and then the solvent was distilled off to obtain 75 g of a polymerizable group-containing polyorganosiloxane (PSQ-1). . The weight average molecular weight Mw of the obtained polymer was 6000.

[합성예 15, 16][Synthesis Examples 15, 16]

사용하는 반응성 폴리오르가노실록산 및 변성 성분의 종류 및 양을 하기표 4와 같이 변경한 이외는 합성예 14와 마찬가지로 하여 중합성기 함유 폴리오르가노실록산(중합체 (PSQ-2) 및 중합체 (PSQ-3))을 합성했다. 표 4 중, 괄호 내의 수치는, 중합체의 합성에 사용한 모노머의 합계 100몰부에 대한 각 화합물의 사용 비율[몰부]를 나타낸다.The polymerizable group-containing polyorganosiloxane (polymer (PSQ-2) and polymer (PSQ-3) was used in the same manner as in Synthesis Example 14, except that the type and amount of the reactive polyorganosiloxane and modified component used were changed as shown in Table 4 below. )). In Table 4, numerical values in parentheses indicate the use ratio [molar parts] of each compound to 100 mol parts of the total monomers used for the synthesis of the polymer.

Figure pct00013
Figure pct00013

3. 액정 배향제 및 액정 표시 소자의 평가3. Evaluation of liquid crystal aligning agent and liquid crystal display element

[실시예 1][Example 1]

(1) 액정 배향제의 조제(1) Preparation of liquid crystal aligning agent

중합체 성분으로서 중합체 (PI-1)을 함유하는 용액에, 중합체 (PSQ-1)을, 중합체 (PI-1):중합체 (PSQ-1)=95:5(질량비)가 되도록 더하고, 추가로 용제로서 NEP, 디에틸렌글리콜디에틸에테르(DEDG) 및 다이아세톤알코올(DAA)을 더하여 충분히 교반하여, 용매 조성이 NEP:DEDG:DAA=50:30:20(질량비), 고형분 농도 6.5질량%의 용액으로 했다. 이 용액을 공경 1㎛의 필터를 이용하여 여과함으로써 액정 배향제 (W-1)을 조제했다.To the solution containing the polymer (PI-1) as the polymer component, the polymer (PSQ-1) was added so that the polymer (PI-1): polymer (PSQ-1) = 95: 5 (mass ratio), and further a solvent. As a solution of NEP, diethylene glycol diethyl ether (DEDG) and diacetone alcohol (DAA), and sufficiently stirred, the solvent composition is NEP: DEDG: DAA = 50: 30: 20 (mass ratio), a solid content solution of 6.5 mass% As was. The liquid crystal aligning agent (W-1) was prepared by filtering this solution using a filter having a pore diameter of 1 µm.

(2) 액정 조성물 (LC-1)의 조제(2) Preparation of liquid crystal composition (LC-1)

네마틱 액정(머크사 제조, MLC-6608) 10g에 대하여, 하기식 (RM-1)로 나타나는 화합물이 액정 조성물의 전체 구성 성분의 전체량에 대하여 0.3질량%가 되도록 첨가하고, 혼합함으로써 액정 조성물 (LC-1)을 얻었다.For 10 g of nematic liquid crystals (MLC-6608 manufactured by Merck, Inc.), the compound represented by the following formula (RM-1) is added so as to be 0.3% by mass relative to the total amount of the total constituents of the liquid crystal composition, and the liquid crystal composition is mixed. (LC-1).

Figure pct00014
Figure pct00014

(3) 액정 표시 소자의 제조(3) Production of liquid crystal display elements

스피너를 이용하여, 유리 기판(「코닝 7059」(코닝사 제조)) 상에 감방사선성 수지 조성물 (V-1)을 도포한 후, 90℃의 클린 오븐 내에서 10분간 프리베이킹을 행하여, 유리 기판 상에 막두께 2.0㎛의 도막을 각각 형성했다. 이어서, UV(자외) 노광기(TOPCON Deep-UV 노광기 TME-400PRJ)를 이용하여, 패턴 마스크를 개재하여 UV광을 100mJ 조사했다. 그 후, 2.38질량%의 농도의 테트라메틸암모늄하이드록사이드 수용액(현상액)을 이용하여, 퍼들법에 의해 25℃에서 100초간의 현상 처리를 행했다. 현상 처리 후, 초순수로 1분간, 도막을 유수 세정하고, 건조시켜 기판 상에 패터닝된 도막을 형성한 후, 오븐에서 230℃로 30분간 가열(포스트베이킹)하여 경화시켰다. 다음으로, 캐논(주) 제조 PLA-501F 노광기(초고압 수은 램프)를 이용하여, 포토마스크를 개재하지 않고 각 도막의 전체면에 500J/㎡의 노광량으로 노광을 행했다. 그 후, 230℃로 30분간 포스트베이킹을 행하여 각 도막을 경화시켜, 층간 절연막을 형성했다.After applying the radiation-sensitive resin composition (V-1) on a glass substrate ("Corning 7059" (manufactured by Corning)) using a spinner, pre-baking is performed in a clean oven at 90 DEG C for 10 minutes, and then the glass substrate A coating film having a film thickness of 2.0 µm was formed on each. Subsequently, UV light was irradiated at 100 mJ through a pattern mask using a UV (ultraviolet) exposure machine (TOPCON Deep-UV exposure machine TME-400PRJ). Thereafter, a developing treatment was performed at 25 ° C for 100 seconds by a puddle method using an aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide (developer) at a concentration of 2.38% by mass. After the developing treatment, the coating film was washed with running water for 1 minute with ultrapure water, dried to form a patterned coating film on the substrate, and then heated (post-baked) at 230 ° C for 30 minutes in an oven to cure. Next, using a PLA-501F exposure machine (ultra high pressure mercury lamp) manufactured by Canon Co., Ltd., the entire surface of each coating film was exposed at an exposure amount of 500 J / m 2 without interposing a photomask. Thereafter, post-baking was performed at 230 ° C for 30 minutes to cure each coating film to form an interlayer insulating film.

이어서, 층간 절연막이 형성된 유리 기판 상에, 피시본 형상으로 패터닝된 ITO 전극을 형성했다. 본 실시예에서는, ITO 전극의 전극 패턴을, 라인/스페이스=3.5㎛/3.5㎛의 피시본 형상으로 했다. 여기에서 사용한 ITO 전극의 전극 패턴을 도 4에 나타냈다. 또한, 마찬가지의 조작을 행함으로써, 패턴을 갖지 않는 ITO 전극을 갖는 유리 기판을 준비했다. 이들 한 쌍의 기판 중, 패턴을 갖지 않는 ITO 전극을 갖는 유리 기판의 전극측 표면에, 3.5㎛ 칼럼 스페이서를 형성했다.Subsequently, an ITO electrode patterned in a fishbone shape was formed on a glass substrate on which an interlayer insulating film was formed. In this embodiment, the electrode pattern of the ITO electrode was formed into a fishbone shape with line / space = 3.5 μm / 3.5 μm. The electrode pattern of the ITO electrode used here is shown in FIG. 4. In addition, a glass substrate having an ITO electrode having no pattern was prepared by performing the same operation. Among these pair of substrates, a 3.5 µm column spacer was formed on the electrode side surface of a glass substrate having an ITO electrode without a pattern.

이어서, 한 쌍의 기판의 각각의 전극 형성면 상에 액정 배향제 (W-1)을 스핀 코팅한 후, 80℃의 핫 플레이트 상에서 1분간 가열(프리베이킹)하여 용매를 제거하고, 그 후, 230℃의 핫 플레이트 상에서 15분간 가열(포스트베이킹)하여, 평균 막두께 100㎚의 도막을 형성했다. 이 도막에 대해, 초순수 중에서 1분간 초음파 세정을 행한 후, 100℃ 클린 오븐 중에서 10분간 건조하여, 액정 배향막을 갖는 한 쌍의 기판을 얻었다.Subsequently, after spin-coating the liquid crystal aligning agent (W-1) on each electrode formation surface of the pair of substrates, the solvent was removed by heating (pre-baking) on a hot plate at 80 ° C. for 1 minute, and thereafter, Heating (post-baking) was performed on a hot plate at 230 ° C for 15 minutes to form a coating film having an average film thickness of 100 nm. This coating film was subjected to ultrasonic cleaning for 1 minute in ultrapure water, and then dried in a 100 ° C clean oven for 10 minutes to obtain a pair of substrates having a liquid crystal alignment film.

다음으로, 패터닝된 ITO 전극을 갖는 유리 기판의 ITO면의 외연에 직경 5.5㎛의 산화 알루미늄구를 넣은 에폭시 수지 접착제를 도포한 후, 에폭시 수지 접착제의 내측의 면에, 액정 조성물 (LC-1)을 6점 적하(세로 2점×가로 3점으로 하고, 각 점의 간격은 상하 좌우 10㎜로 하고, 각 점의 도포량은 0.6㎎로 함)했다. 이 기판과 다른 1매의 유리 기판이 상대하도록 서로 겹쳐 압착하고, 접착제를 경화시켜 액정 셀을 제조했다. 얻어진 액정 셀에 대해, 후술하는 「PSA 프로세스-1」에 따라서 자외선 조사 및 어닐링을 행함으로써 평가용 액정 셀을 제작했다.Next, after applying an epoxy resin adhesive having an aluminum oxide sphere having a diameter of 5.5 µm on the outer edge of the ITO surface of a glass substrate having a patterned ITO electrode, a liquid crystal composition (LC-1) was applied to the inner surface of the epoxy resin adhesive. Was added 6 points (vertical 2 points x horizontal 3 points, the interval between each point was 10 mm up and down, left and right, and the coating amount of each point was 0.6 mg). A liquid crystal cell was produced by pressing and bonding each other so that the substrate and the other glass substrate were opposed to each other and curing the adhesive. The liquid crystal cell for evaluation was produced about the obtained liquid crystal cell by performing ultraviolet irradiation and annealing according to "PSA process-1" mentioned later.

(PSA 프로세스-1)(PSA Process-1)

액정 셀에 대해, 전극 간에 주파수 60Hz의 교류 20Vpp를 인가하고, 액정이 구동하고 있는 상태에서, 광원에 메탈 할라이드 램프를 사용한 자외선 조사 장치를 이용하여, 80mW의 자외선을 50초간 조사한다. 계속하여, 전압을 인가하고 있지 않은 상태에서, 광원에 메탈 할라이드 램프를 사용한 자외선 조사 장치를 이용하여, 3.5mW의 자외선을 30분간 조사한다.To the liquid crystal cell, 20 Vpp of alternating current at a frequency of 60 Hz was applied between the electrodes, and while the liquid crystal was driven, 80 mW of ultraviolet light was irradiated for 50 seconds using an ultraviolet irradiation device using a metal halide lamp as the light source. Subsequently, 3.5 mW of ultraviolet light is irradiated for 30 minutes by using an ultraviolet irradiation device using a metal halide lamp as the light source without applying a voltage.

마지막으로, 액정 셀을 120℃의 클린 오븐에 10분간 넣고, 어닐링을 행한다. 또한, 조사량은, 파장 365㎚ 기준으로 계측되는 광량계를 이용하여 계측한 값이다.Finally, the liquid crystal cell is put in a clean oven at 120 ° C for 10 minutes, and annealing is performed. In addition, irradiation amount is the value measured using the photometer measured based on the wavelength 365nm.

(4) 전압 보전율(VHR)의 평가(4) Evaluation of voltage retention (VHR)

상기 (3)에서 제조한 평가용 액정 셀을 항온조 중에 두고, 60℃에 있어서 5V의 전압을 60마이크로초의 인가 시간, 167밀리초의 스팬으로 인가한 후, 인가 해제로부터 167밀리초 후의 전압 보전율(VHR)을, 도요테크니커사 제조의 「VHR-1」에 의해 측정했다. 이 때, VHR이 96% 이상이었던 경우를 「매우 양호(◎)」, 93% 이상 96% 미만이었던 경우를 「양호(○)」, 90% 이상 93% 미만이었던 경우를 「가능(△)」, 90% 미만이었던 경우를 「불량(×)」으로 평가했다. 그 결과, 이 실시예에서는 VHR=97%로, 「매우 양호(◎)」의 평가였다.The evaluation liquid crystal cell prepared in (3) was placed in a constant temperature bath, and a voltage of 5 V at 60 ° C. was applied at an application time of 60 microseconds and a span of 167 milliseconds, followed by a voltage retention of 167 milliseconds after release of the application (VHR) ) Was measured by "VHR-1" manufactured by TOYO TECHNIQUE CORPORATION. At this time, when the VHR was 96% or more, "very good (◎)", when 93% or more and less than 96% were "good (○)", when 90% or more and less than 93% were "possible (△)" , It was evaluated as "poor (x)" when it was less than 90%. As a result, in this example, VHR = 97%, and the evaluation was "very good (◎)".

[실시예 2∼22, 비교예 1, 2][Examples 2 to 22, Comparative Examples 1 and 2]

사용하는 중합체 및 용제의 종류 및 양을 하기표 5와 같이 변경한 점 이외는 상기와 마찬가지의 조작을 행하여, 액정 배향제를 각각 조제했다. 또한, 층간 절연막의 제작에 이용한 감방사선성 수지 조성물을 하기표 5에 나타내는 조성물로 변경한 점 및, 각 예에서 조제한 액정 배향제를 이용하여 액정 배향막을 제작한 점 이외는 상기와 마찬가지로 하여 평가용 액정 셀을 제조함과 함께, 얻어진 평가용 액정 셀을 이용하여 전압 보전율의 평가를 행했다. 그 결과를 하기표 5에 나타냈다.A liquid crystal aligning agent was prepared respectively by performing the same operation as described above except that the type and amount of the polymer and solvent used were changed as shown in Table 5 below. In addition, except for the fact that the radiation-sensitive resin composition used for the production of the interlayer insulating film was changed to the composition shown in Table 5 below, and that the liquid crystal alignment film was prepared using the liquid crystal aligning agent prepared in each example, it was evaluated as in the above. While manufacturing a liquid crystal cell, voltage retention was evaluated using the obtained liquid crystal cell for evaluation. The results are shown in Table 5 below.

Figure pct00015
Figure pct00015

표 5 중, 중합체란의 괄호 내의 수치는, 액정 배향제의 조제에 사용한 중합체 성분의 합계 100질량부에 대한 각 중합체의 배합 비율[질량부]를 나타낸다. 용제 조성란의 수치는, 액정 배향제의 조제에 사용한 용제의 전체 100질량부에 대한 각 화합물의 배합 비율[질량부]를 나타낸다. 용제의 약칭은 이하와 같다(하기표 6에 대해서도 동일).In Table 5, the numerical value in parentheses of the polymer column shows the blending ratio [parts by mass] of each polymer to 100 parts by mass of the total of the polymer components used in the preparation of the liquid crystal aligning agent. The numerical value of the solvent composition column shows the compounding ratio [mass part] of each compound with respect to 100 mass parts of all the solvents used for preparation of a liquid crystal aligning agent. The abbreviations for the solvent are as follows (the same applies to Table 6 below).

NMP: N-메틸-2-피롤리돈NMP: N-methyl-2-pyrrolidone

NEP: N-에틸-2-피롤리돈NEP: N-ethyl-2-pyrrolidone

DMI: 1,3-디메틸-2-이미다졸리디논DMI: 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone

EQM: 3-메톡시-N,N-디메틸프로판아미드EQM: 3-methoxy-N, N-dimethylpropanamide

BC: 부틸셀로솔브BC: Butyl Cellosolve

DEDG: 디에틸렌글리콜디에틸에테르DEDG: Diethylene glycol diethyl ether

PGDAc: 프로필렌글리콜디아세테이트PGDAc: Propylene glycol diacetate

DPM: 디프로필렌글리콜모노메틸에테르DPM: Dipropylene glycol monomethyl ether

DAA: 다이아세톤알코올DAA: Diacetone alcohol

PG: 프로필렌글리콜모노부틸에테르PG: Propylene glycol monobutyl ether

DIPE: 디이소펜틸에테르DIPE: diisopentyl ether

표 5에 나타내는 바와 같이, 특정 용제를 포함하는 액정 배향제를 이용하여 액정 배향막을 형성한 실시예 1∼22에서는, 특정 용제를 포함하지 않는 액정 배향제를 이용하여 액정 배향막을 형성한 비교예 1, 2보다도 신뢰성이 우수한 액정 표시 소자가 얻어졌다. 이들 중에서도, [A] 용제와 [B] 용제를 포함하는 액정 배향제를 이용한 실시예 1∼18에서는 「매우 양호」의 평가이고, 특히 우수했다.As shown in Table 5, in Examples 1-22 in which the liquid crystal aligning film was formed using the liquid crystal aligning agent containing a specific solvent, Comparative Example 1 in which the liquid crystal aligning film was formed using the liquid crystal aligning agent not containing a specific solvent. , A liquid crystal display element with better reliability than 2 was obtained. Among these, in Examples 1-18 using the liquid crystal aligning agent containing the [A] solvent and the [B] solvent, evaluation of "very good" was particularly excellent.

또한, 상기 실시예 1∼22에 있어서, 유리 기판이 갖는 ITO 전극의 패턴을 도 5에 나타낸 패턴으로 변경한 것 외는 상기와 마찬가지로 하여 액정 표시 소자를 제조하여 평가한 결과, 어느 실시예에 있어서나 상기와 마찬가지의 효과가 얻어졌다.In addition, in Examples 1 to 22, as a result of manufacturing and evaluating a liquid crystal display device in the same manner as above, except that the pattern of the ITO electrode of the glass substrate was changed to the pattern shown in FIG. The same effect as above was obtained.

[실시예 23][Example 23]

(1) ITO 배선 변형의 평가(1) Evaluation of ITO wiring strain

N-에틸-2-피롤리돈(NEP) 및 디에틸렌글리콜디에틸에테르(DEDG)를 혼합하여 충분히 교반하여, 용제 조성이 NEP:DEDG=50:50(질량비)의 평가용 용제 (Z-1)을 조제했다.N-ethyl-2-pyrrolidone (NEP) and diethylene glycol diethyl ether (DEDG) were mixed and thoroughly stirred to obtain a solvent composition for evaluation of NEP: DEDG = 50: 50 (mass ratio) (Z-1) ).

또한, 상기 실시예 1의 (3)과 마찬가지의 조작을 행함으로써, 층간 절연막 상에 ITO로 이루어지는 패턴 전극을 배치한 유리 기판을 준비했다. 이 유리 기판을 80℃의 평가용 용제 (Z-1) 중에 30분간 침지하여, 층간 절연막의 팽윤 정도 및 ITO 전극의 변형 정도에 대해서 하기에 나타내는 기준에 의해 평가했다. 액정 배향제의 용제 성분과 접촉시킨 경우에 층간 절연막의 팽윤이 작고 전극의 변형이 작을수록, 그 용제가 층간 절연막 및 ITO 전극에 주는 영향이 작아, 액정 소자의 신뢰성을 담보할 수 있기 때문에, 액정 배향제의 용제로서 적합하다고 할 수 있다. 그 결과, 이 실시예는 「A」의 평가였다.Moreover, the glass substrate which arrange | positioned the pattern electrode which consists of ITO on the interlayer insulating film was prepared by performing operation similar to (3) of Example 1 above. The glass substrate was immersed in an evaluation solvent (Z-1) at 80 ° C for 30 minutes, and the degree of swelling of the interlayer insulating film and the degree of deformation of the ITO electrode were evaluated by the criteria shown below. When the contact between the solvent component of the liquid crystal aligning agent and the swelling of the interlayer insulating film is small and the deformation of the electrode is small, the effect of the solvent on the interlayer insulating film and the ITO electrode is less, and the reliability of the liquid crystal element can be ensured. It can be said that it is suitable as a solvent of an alignment agent. As a result, this example was evaluated for "A".

(평가 기준)(Evaluation standard)

A: 층간 절연막의 팽윤은 없고 전극의 이상 없음A: No swelling of the interlayer insulating film and no abnormality of the electrode

B: 층간 절연막의 팽윤은 보여지지만, 전극에는 이상 없음B: Although the swelling of the interlayer insulating film was observed, there was no abnormality in the electrode.

C: 층간 절연막의 팽윤에 의해 전극의 변형 등의 경미한 이상 있음C: slight abnormality such as deformation of the electrode due to swelling of the interlayer insulating film

D: 층간 절연막의 팽윤에 의해 전극의 단선 등의 심각한 이상 있음D: There is a serious abnormality such as disconnection of the electrode due to swelling of the interlayer insulating film.

[실시예 24∼44, 비교예 3, 4][Examples 24 to 44, Comparative Examples 3 and 4]

용제 조성 및, 사용하는 감방사선성 수지 조성물의 종류를 하기표 6과 같이 변경한 점 이외는 상기와 동일한 조작을 행하여, 각 용제에 대해서 ITO 배선 변형을 평가했다. 그 결과를 하기표 6에 나타냈다.The same operation as described above was performed except that the solvent composition and the type of the radiation-sensitive resin composition used were changed as shown in Table 6 below, and the ITO wiring strain was evaluated for each solvent. Table 6 shows the results.

Figure pct00016
Figure pct00016

표 6의 결과로부터, 특정 용제를 이용한 실시예 23∼44에서는, 층간 절연막의 팽윤은 보여지지 않았거나 또는 팽윤해도 그 정도가 작아, 전극의 이상은 보여지지 않았다. 이들 결과로부터, 특정 용제에 의하면, 미세한 스트라이프 형상의 전극 패턴 상에 액정 배향막을 형성한 경우에도 전극의 형상이 변화하기 어려워, 액정 소자의 신뢰성을 담보할 수 있는 것을 알 수 있었다.From the results of Table 6, in Examples 23 to 44 using a specific solvent, swelling of the interlayer insulating film was not observed, or even when swelling was small, the abnormality of the electrode was not observed. From these results, it was found that, according to a specific solvent, even when a liquid crystal alignment film was formed on a fine stripe-shaped electrode pattern, the shape of the electrode was difficult to change, thereby ensuring the reliability of the liquid crystal element.

1 : ITO 전극
2 : 슬릿부
3 : 차광막
10 : 액정 장치
14 : 박막 트랜지스터
15 : 어레이 기판
16 : 대향 기판
17 : 액정층
19 : 화소 전극
19c : 슬릿부
21 : 층간 절연막
29 : 컬러 필터층
29a : 착색 패턴
29b : 층간 절연막
31 : 공통 전극
32 : 제1 배향막
33 : 제2 배향막
34, 35 : PSA층(배향 제어층)
1: ITO electrode
2: Slit part
3: Light shielding film
10: liquid crystal device
14: thin film transistor
15: array substrate
16: opposing substrate
17: liquid crystal layer
19: pixel electrode
19c: slit
21: interlayer insulating film
29: color filter layer
29a: coloring pattern
29b: interlayer insulating film
31: common electrode
32: first alignment layer
33: second alignment layer
34, 35: PSA layer (orientation control layer)

Claims (15)

대향 배치된 한 쌍의 기판과, 상기 한 쌍의 기판 간에 배치된 액정층과, 한 쌍의 전극을 구비하는 액정 소자의 제조 방법으로서,
상기 한 쌍의 전극 중 적어도 한쪽은, 복수의 개구부를 갖는 패턴 전극이고,
상기 한 쌍의 기판 중 적어도 한쪽에 층간 절연막을 형성하는 공정과,
상기 층간 절연막 상에 상기 패턴 전극을 형성하는 공정과,
상기 패턴 전극 상에, 상기 층간 절연막의 적어도 일부에 접촉하도록 액정 배향막을 형성하는 공정을 포함하고,
상기 액정 배향막을, 중합체 성분과, 하기에 나타내는 용제군으로부터 선택되는 적어도 1종의 용제를 함유하는 액정 배향제를 이용하여 형성하는, 액정 소자의 제조 방법.
용제군:
[A] 용제: 하기식 (1)로 나타나는 화합물, 하기식 (2)로 나타나는 화합물, N,N,2-트리메틸프로피온아미드 및, 1,3-디메틸-2-이미다졸리디논
[B] 용제: 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 4-메톡시-4-메틸-2-펜탄온, 4-하이드록시-2-부탄온, 2-메틸-2-헥산올, 2,6-디메틸-4-헵탄올, 디이소부틸케톤, 프로필렌글리콜디아세테이트, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 디이소펜틸에테르, 다이아세톤알코올 및, 프로필렌글리콜모노부틸에테르
Figure pct00017

(식 (1) 중, R1은, 탄소수 2∼5의 1가의 탄화수소기, 또는 당해 탄화수소기에 있어서의 탄소-탄소 결합 간에 「-O-」를 갖는 1가의 기임)
Figure pct00018

(식 (2) 중, R2 및 R3은, 각각 독립적으로, 수소 원자, 탄소수 1∼6의 1가의 탄화수소기, 또는 당해 탄화수소기의 탄소-탄소 결합 간에 「-O-」를 갖는 1가의 기이고, R2와 R3이 서로 결합하여 환 구조를 형성해도 좋고; R4는, 탄소수 1∼6의 알킬기임)
A method of manufacturing a liquid crystal device comprising a pair of substrates disposed opposite to each other, a liquid crystal layer disposed between the pair of substrates, and a pair of electrodes,
At least one of the pair of electrodes is a pattern electrode having a plurality of openings,
Forming an interlayer insulating film on at least one of the pair of substrates;
Forming the pattern electrode on the interlayer insulating film;
And forming a liquid crystal alignment layer on the pattern electrode so as to contact at least a portion of the interlayer insulating layer,
The said liquid crystal aligning film is formed using a liquid crystal aligning agent containing a polymer component and at least 1 sort (s) of solvent chosen from the solvent group shown below, The manufacturing method of a liquid crystal element.
Solvents:
[A] Solvent: Compound represented by the following formula (1), compound represented by the following formula (2), N, N, 2-trimethylpropionamide and 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone
[B] Solvent: Dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, 4-methoxy-4-methyl-2-pentanone, 4-hydroxy-2-butanone, 2 -Methyl-2-hexanol, 2,6-dimethyl-4-heptanol, diisobutyl ketone, propylene glycol diacetate, diethylene glycol diethyl ether, diisopentyl ether, diacetone alcohol, and propylene glycol monobutyl ether
Figure pct00017

(In formula (1), R 1 is a monovalent hydrocarbon group having 2 to 5 carbon atoms, or a monovalent group having "-O-" between carbon-carbon bonds in the hydrocarbon group)
Figure pct00018

(In formula (2), R 2 and R 3 are each independently a hydrogen atom, a monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, or a monovalent group having "-O-" between the carbon-carbon bonds of the hydrocarbon group. Group, and R 2 and R 3 may combine with each other to form a ring structure; R 4 is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms)
제1항에 있어서,
상기 액정층 중에 혼입된 광 중합성 모노머를 중합함으로써, 상기 액정층 중의 각 기판측의 계면에, 상기 액정의 배향을 제어하는 배향 제어층을 형성하는 공정을 추가로 포함하는, 액정 소자의 제조 방법.
According to claim 1,
A method of manufacturing a liquid crystal element further comprising the step of forming an alignment control layer for controlling the alignment of the liquid crystals at an interface on each substrate side of the liquid crystal layer by polymerizing the photopolymerizable monomer mixed in the liquid crystal layer. .
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 액정 배향제는, 상기 [A] 용제의 적어도 1종과, 상기 [B] 용제의 적어도 1종을 함유하는, 액정 소자의 제조 방법.
The method according to claim 1 or 2,
The said liquid crystal aligning agent contains at least 1 sort (s) of the said [A] solvent, and at least 1 sort (s) of the said [B] solvent, The manufacturing method of a liquid crystal element.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 액정 배향제는, 폴리암산, 폴리암산 에스테르, 폴리이미드 및 폴리오르가노실록산으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종인 [P] 중합체를 함유하는, 액정 소자의 제조 방법.
The method according to any one of claims 1 to 3,
The said liquid crystal aligning agent contains the [P] polymer which is at least 1 sort (s) selected from the group which consists of polyamic acid, polyamic acid ester, polyimide, and polyorganosiloxane, The manufacturing method of a liquid crystal element.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 액정 배향제는, 폴리암산, 폴리암산 에스테르 및 폴리이미드로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종인 [p] 중합체를 함유하고,
상기 [p] 중합체는, 사이클로부탄환, 사이클로펜탄환 및 사이클로헥산환으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 환 구조를 갖는 테트라카본산 유도체에 유래하는 부분 구조를 갖는, 액정 소자의 제조 방법.
The method according to any one of claims 1 to 4,
The said liquid crystal aligning agent contains the polymer [p] which is at least 1 sort (s) selected from the group which consists of polyamic acid, polyamic acid ester, and polyimide,
The [p] polymer has a partial structure derived from a tetracarboxylic acid derivative having at least one ring structure selected from the group consisting of a cyclobutane ring, a cyclopentane ring, and a cyclohexane ring.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 액정 배향제는, 라디칼 중합성기, 광 개시제기, 라디칼 중합 금지제기, 질소 함유 복소환(단, 폴리이미드가 갖는 이미드환을 제외함), 아미노기 및, 보호된 아미노기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종을 갖는 중합체를 함유하는, 액정 소자의 제조 방법.
The method according to any one of claims 1 to 5,
The liquid crystal aligning agent is at least selected from the group consisting of a radically polymerizable group, a photoinitiator group, a radical polymerization inhibitor group, a nitrogen-containing heterocycle (except for the imide ring of the polyimide), an amino group, and a protected amino group. The manufacturing method of a liquid crystal element containing the polymer which has 1 type.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 액정 배향제는, 하기식 (3)으로 나타나는 부분 구조를 갖는 중합체를 함유하는, 액정 소자의 제조 방법.
*-L1-R11-R12-R13-R14   …(3)
(식 (3) 중, L1은, -O-, -CO-, -COO-*1, -OCO-*1, -NR15-, -NR15-CO-*1, -CO-NR15-*1, 탄소수 1∼6의 알칸디일기, -O-R16-*1, 또는 -R16-O-*1(단, R15는 수소 원자 또는 탄소수 1∼10의 1가의 탄화수소기이고, R16은 탄소수 1∼3의 알칸디일기이고; 「*1」은, R11과의 결합손인 것을 나타냄)이고; R11 및 R13은, 각각 독립적으로, 단결합, 페닐렌기 또는 사이클로알킬렌기이고, R12는, 단결합, 페닐렌기, 사이클로알킬렌기, -R17-B1-*2, 또는 -B1-R17-*2(단, R17은 페닐렌기 또는 사이클로알킬렌기이고, B1은 -COO-*3, -OCO-*3, 또는 탄소수 1∼3의 알칸디일기이고; 「*2」는, R13과의 결합손인 것을 나타내고, 「*3」은, R17과의 결합손인 것을 나타냄)이고; R14는, 수소 원자, 불소 원자, 탄소수 1∼18의 알킬기, 탄소수 1∼18의 플루오로알킬기, 탄소수 1∼18의 알콕시기, 탄소수 1∼18의 플루오로알콕시기, 또는 스테로이드 골격을 갖는 탄소수 17∼51의 탄화수소기이고, 라디칼 중합성기 또는 광 개시제기를 갖고 있어도 좋고; 단, R14가 수소 원자, 불소 원자 또는 탄소수 1∼3의 기인 경우, R11, R12 및 R13의 전부가 단결합이 되는 일은 없고; 「*」는 결합손인 것을 나타냄)
The method according to any one of claims 1 to 6,
The said liquid crystal aligning agent contains the polymer which has a partial structure represented by following formula (3), The manufacturing method of a liquid crystal element.
* -L 1 -R 11 -R 12 -R 13 -R 14 … (3)
(In formula (3), L 1 is -O-, -CO-, -COO- * 1 , -OCO- * 1 , -NR 15- , -NR 15 -CO- * 1 , -CO-NR 15 -* 1 , an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms, -OR 16- * 1 , or -R 16 -O- * 1 (where R 15 is a hydrogen atom or a monovalent hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, R 16 is an alkanediyl group having 1 to 3 carbon atoms; “* 1 ” represents a bond with R 11 ); R 11 and R 13 are each independently a single bond, a phenylene group or a cycloalkylene group , R 12 is a single bond, a phenylene group, a cycloalkylene group, -R 17 -B 1- * 2 , or -B 1 -R 17- * 2 (where R 17 is a phenylene group or a cycloalkylene group, B 1 is -COO- * 3 , -OCO- * 3 , or an alkanediyl group having 1 to 3 carbon atoms; "* 2 " represents a bond with R 13, and "* 3 " represents R 17 R 14 is a hydrogen atom, a fluorine atom, an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, a fluoroalkyl group having 1 to 18 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 18 carbon atoms, A fluoroalkoxy group having 1 to 18 carbon atoms, or a hydrocarbon group having 17 to 51 carbon atoms having a steroid skeleton, and may have a radically polymerizable group or a photoinitiator group; provided that R 14 is a hydrogen atom, a fluorine atom or 1 to 1 carbon atom; When the group is 3, all of R 11 , R 12 and R 13 are not single-bonded; `` * '' indicates a bonding hand)
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 층간 절연막을 형성하는 기판에, 액정 구동용 소자 및 컬러 필터층이 형성되어 있는, 액정 소자의 제조 방법.
The method according to any one of claims 1 to 7,
A method for manufacturing a liquid crystal element, wherein a liquid crystal driving element and a color filter layer are formed on a substrate forming the interlayer insulating film.
제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 층간 절연막은, [Q] 중합체와 [R] 감광제를 함유하는 감방사선성 수지 조성물을 이용하여 형성되는, 액정 소자의 제조 방법.
The method according to any one of claims 1 to 8,
The interlayer insulating film is formed using a radiation-sensitive resin composition containing a [Q] polymer and a [R] photosensitizer, and a method for manufacturing a liquid crystal device.
제9항에 있어서,
상기 [Q] 중합체는, 옥세타닐기, 옥시라닐기, (메타)아크릴로일기 및 비닐기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종을 갖는, 액정 소자의 제조 방법.
The method of claim 9,
The said [Q] polymer has at least 1 sort (s) selected from the group which consists of an oxetanyl group, an oxiranyl group, a (meth) acryloyl group, and a vinyl group, The manufacturing method of a liquid crystal element.
제9항 또는 제10항에 있어서,
상기 [R] 감광제는, 광 라디칼 중합 개시제, 광 산 발생제 및, 광 염기 발생제로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종인, 액정 소자의 제조 방법.
The method of claim 9 or 10,
The said [R] photosensitive agent is at least 1 sort (s) selected from the group which consists of a photo-radical polymerization initiator, a photo acid generator, and a photo base generator, The manufacturing method of a liquid crystal element.
제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 [Q] 중합체는, 산성기를 갖는 제1 구조 단위와, 옥세타닐기 또는 옥시라닐기를 갖는 제2 구조 단위와, 상기 제1 구조 단위 및 상기 제2 구조 단위와는 상이한 주쇄 구조를 형성하는 제3 구조 단위를 갖는 중합체인, 액정 소자의 제조 방법.
The method according to any one of claims 9 to 11,
The [Q] polymer is a first structural unit having an acidic group, a second structural unit having an oxetanyl group or an oxiranyl group, and a agent forming a main chain structure different from the first structural unit and the second structural unit. The manufacturing method of a liquid crystal element which is a polymer which has three structural units.
제12항에 있어서,
상기 제1 구조 단위는, (메타)아크릴산 및 불포화 카본산 무수물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 화합물에 유래하는 구조 단위인, 액정 소자의 제조 방법.
The method of claim 12,
The said 1st structural unit is a structural unit derived from at least 1 type of compound chosen from the group which consists of (meth) acrylic acid and unsaturated carboxylic acid anhydride, The manufacturing method of a liquid crystal element.
제12항 또는 제13항에 있어서,
상기 제2 구조 단위는, (메타)아크릴산 글리시딜, (메타)아크릴산 3,4-에폭시사이클로헥실메틸, 4-하이드록시부틸(메타)아크릴레이트글리시딜에테르 및, 3-(메타)아크릴로일옥시메틸-3-에틸옥세탄으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 화합물에 유래하는 구조 단위인, 액정 소자의 제조 방법.
The method of claim 12 or 13,
The second structural unit includes (meth) acrylic acid glycidyl, (meth) acrylic acid 3,4-epoxycyclohexylmethyl, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate glycidyl ether, and 3- (meth) acrylic. A method for producing a liquid crystal device, which is a structural unit derived from at least one compound selected from the group consisting of royloxymethyl-3-ethyloxetane.
제12항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제3 구조 단위는, 스티렌, α-메틸스티렌, 4-메틸스티렌 및, 4-하이드록시스티렌으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 화합물에 유래하는 구조 단위인, 액정 소자의 제조 방법.
The method according to any one of claims 12 to 14,
The third structural unit is a structural unit derived from at least one compound selected from the group consisting of styrene, α-methylstyrene, 4-methylstyrene, and 4-hydroxystyrene.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110880574A (en) * 2019-11-28 2020-03-13 衡阳市鑫晟新能源有限公司 Lithium battery isolation film and preparation method thereof

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003149647A (en) 2001-08-31 2003-05-21 Fujitsu Display Technologies Corp Liquid crystal display device and manufacturing method therefor
KR20060054019A (en) * 2004-10-22 2006-05-22 세이코 엡슨 가부시키가이샤 Method of manufacturing electro-optical device, device for manufacturing the same, electro-optical device, and electronic apparatus
JP2011227106A (en) * 2010-04-15 2011-11-10 Jsr Corp Positive radiation-sensitive composition, interlayer insulating film and formation method of the same
US20140327866A1 (en) * 2013-05-02 2014-11-06 Samsung Display Co., Ltd. Photosensitive resin composition, method of forming pattern, and liquid crystal display using the same
KR20160060733A (en) * 2013-09-26 2016-05-30 닛산 가가쿠 고교 가부시키 가이샤 Liquid crystal aligning agent and liquid crystal display element using same
JP2017129768A (en) * 2016-01-21 2017-07-27 富士フイルム株式会社 Photosensitive resin composition, method for producing cured product, cured film, display device, and touch panel

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4595417B2 (en) * 2004-07-16 2010-12-08 チッソ株式会社 Phenylenediamine, alignment film formed using the same, and liquid crystal display device including the alignment film
JP5105113B2 (en) * 2010-03-05 2012-12-19 Jsr株式会社 Manufacturing method of liquid crystal display element
JP6146077B2 (en) * 2012-06-29 2017-06-14 Jsr株式会社 Method for producing liquid crystal alignment film
JP6127721B2 (en) * 2012-09-14 2017-05-17 Jsr株式会社 Liquid crystal alignment agent, liquid crystal alignment film, and liquid crystal display element
WO2015053394A1 (en) * 2013-10-10 2015-04-16 日産化学工業株式会社 Composition, treatment agent for liquid crystal alignment, liquid crystal alignment film, and liquid crystal display element
CN107109050B (en) * 2014-11-12 2020-09-25 日产化学工业株式会社 Liquid crystal aligning agent, liquid crystal alignment film, and liquid crystal display element
CN104635393A (en) * 2015-02-09 2015-05-20 昆山龙腾光电有限公司 Thin film transistor array substrate and liquid crystal display device

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003149647A (en) 2001-08-31 2003-05-21 Fujitsu Display Technologies Corp Liquid crystal display device and manufacturing method therefor
KR20060054019A (en) * 2004-10-22 2006-05-22 세이코 엡슨 가부시키가이샤 Method of manufacturing electro-optical device, device for manufacturing the same, electro-optical device, and electronic apparatus
JP2011227106A (en) * 2010-04-15 2011-11-10 Jsr Corp Positive radiation-sensitive composition, interlayer insulating film and formation method of the same
US20140327866A1 (en) * 2013-05-02 2014-11-06 Samsung Display Co., Ltd. Photosensitive resin composition, method of forming pattern, and liquid crystal display using the same
KR20160060733A (en) * 2013-09-26 2016-05-30 닛산 가가쿠 고교 가부시키 가이샤 Liquid crystal aligning agent and liquid crystal display element using same
JP2017129768A (en) * 2016-01-21 2017-07-27 富士フイルム株式会社 Photosensitive resin composition, method for producing cured product, cured film, display device, and touch panel

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