JP7074142B2 - Manufacturing method of liquid crystal element - Google Patents

Manufacturing method of liquid crystal element Download PDF

Info

Publication number
JP7074142B2
JP7074142B2 JP2019553745A JP2019553745A JP7074142B2 JP 7074142 B2 JP7074142 B2 JP 7074142B2 JP 2019553745 A JP2019553745 A JP 2019553745A JP 2019553745 A JP2019553745 A JP 2019553745A JP 7074142 B2 JP7074142 B2 JP 7074142B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
group
liquid crystal
polymer
solvent
carbon atoms
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2019553745A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPWO2019097902A1 (en
Inventor
隆一 奥田
裕介 植阪
貴由 小山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JSR Corp
Original Assignee
JSR Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JSR Corp filed Critical JSR Corp
Publication of JPWO2019097902A1 publication Critical patent/JPWO2019097902A1/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7074142B2 publication Critical patent/JP7074142B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1337Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1343Electrodes

Description

関連出願の相互参照Cross-reference of related applications

本出願は、2017年11月20日に出願された日本出願番号2017-223114号に基づくもので、ここにその記載内容を援用する。 This application is based on Japanese Application No. 2017-223114 filed on November 20, 2017, the contents of which are incorporated herein by reference.

本開示は、液晶素子の製造方法に関する。 The present disclosure relates to a method for manufacturing a liquid crystal element.

液晶装置としては、TN(Twisted Nematic)型、STN(Super Twisted Nematic)型などに代表される、正の誘電性異方性を有するネマチック液晶を用いる水平配向モードや、負の誘電性異方性を有するネマチック液晶を用いる垂直(ホメオトロピック)配向モードのVA(Vertical Alignment)型液晶装置など、各種装置が知られている。また、一対の電極が一方の基板に設けられたセル構造を有するIPS(In-Plane Switching)型、FFS(Fringe Field Switching)型などの横電界モードの液晶装置も知られている。 The liquid crystal device includes a horizontal alignment mode using a nematic liquid crystal having a positive dielectric anisotropy represented by a TN (Twisted Nematic) type and an STN (Super Twisted Nematic) type, and a negative dielectric anisotropy. Various devices such as a VA (Vertical Alignment) type liquid crystal display in a vertical (homeotropic) alignment mode using a nematic liquid crystal having a nematic liquid crystal display are known. Further, a liquid crystal display having a transverse electric field mode such as an IPS (In-Plane Switching) type or an FFS (Fringe Field Switching) type having a cell structure in which a pair of electrodes is provided on one substrate is also known.

液晶素子の配向処理方式の一つとして、PSA(Polymer Sustained Alignment)方式が知られている(例えば、特許文献1参照)。PSA方式は、一対の基板の間隙に液晶とともに光重合性モノマーを予め混入しておき、液晶セルを構築した後に、基板間に電圧を印加した状態で紫外線を照射して光重合性モノマーを重合することによりポリマー層を形成し、このポリマー層により液晶の初期配向を制御しようとする技術である。この技術によると、視野角の拡大及び液晶分子応答の高速化を図ることができ、MVA型パネルにおいて透過率及びコントラストの不足の問題を解消することが可能である。 A PSA (Polymer Sustained Alignment) method is known as one of the alignment processing methods for liquid crystal devices (see, for example, Patent Document 1). In the PSA method, a photopolymerizable monomer is mixed in advance with a liquid crystal in the gap between a pair of substrates, and after constructing a liquid crystal cell, the photopolymerizable monomer is polymerized by irradiating ultraviolet rays with a voltage applied between the substrates. This is a technique for forming a polymer layer by forming a polymer layer and controlling the initial orientation of the liquid crystal by the polymer layer. According to this technique, it is possible to widen the viewing angle and speed up the liquid crystal molecular response, and it is possible to solve the problems of insufficient transmittance and contrast in the MVA type panel.

また、特許文献1には、PSA技術において、多数の開口部(スリット部)を有する櫛歯形状(フィッシュボーン形状ともいう。)となるようにパターニングされたパターン電極を画素電極として用いることが開示されている。この特許文献1の液晶装置では、アレイ基板側のガラス基板上にドレインバスラインが形成され、その上に層間絶縁膜が形成されている。また、層間絶縁膜上にはフィッシュボーン形状の画素電極が形成されており、画素電極上に液晶配向膜が形成されている。液晶配向膜は、通常、ポリアミック酸やポリイミド、ポリオルガノシロキサン、(メタ)アクリル系重合体、ポリアミド等の重合体成分を溶剤に溶解し、この重合体組成物を基板上に塗布して溶剤を除去することにより形成される。 Further, Patent Document 1 discloses that in PSA technology, a pattern electrode patterned so as to have a comb tooth shape (also referred to as a fishbone shape) having a large number of openings (slit portions) is used as a pixel electrode. Has been done. In the liquid crystal display of Patent Document 1, a drain bus line is formed on a glass substrate on the array substrate side, and an interlayer insulating film is formed on the drain bus line. Further, a fishbone-shaped pixel electrode is formed on the interlayer insulating film, and a liquid crystal alignment film is formed on the pixel electrode. The liquid crystal alignment film usually contains a polymer component such as polyamic acid, polyimide, polyorganosiloxane, (meth) acrylic polymer, or polyamide dissolved in a solvent, and the polymer composition is applied onto a substrate to apply the solvent. Formed by removal.

特開2003-149647号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-149647

層間絶縁膜上に多数のスリット部を有するパターン電極を配置し、その上に液晶配向膜を形成する場合、液晶装置の画素領域(すなわち表示領域)では、スリット部において液晶配向剤と層間絶縁膜とが接触する。この場合、層間絶縁膜が液晶配向剤の影響を受けてその特性が変化したり、層間絶縁膜に含まれる不純物成分等が液晶配向剤へ溶出して液晶配向膜の性能が低下したりすることによって液晶装置の信頼性が低下することが懸念される。 When a pattern electrode having a large number of slit portions is arranged on the interlayer insulating film and a liquid crystal alignment film is formed on the pattern electrode, in the pixel region (that is, the display region) of the liquid crystal device, the liquid crystal alignment agent and the interlayer insulating film are formed in the slit portion. Come in contact with. In this case, the characteristics of the interlayer insulating film may change due to the influence of the liquid crystal alignment agent, or the impurity components contained in the interlayer insulating film may be eluted into the liquid crystal alignment agent to deteriorate the performance of the liquid crystal alignment film. There is a concern that the reliability of the liquid crystal device may be reduced.

本開示は上記課題に鑑みなされたものであり、基板上に層間絶縁膜とパターン電極と液晶配向膜とがこの順に形成された素子構造において、信頼性に優れた液晶素子を得ることができる液晶素子の製造方法を提供することを一つの目的とする。 The present disclosure has been made in view of the above problems, and in an element structure in which an interlayer insulating film, a pattern electrode, and a liquid crystal alignment film are formed in this order on a substrate, a liquid crystal element having excellent reliability can be obtained. One purpose is to provide a method for manufacturing an element.

本開示は上記課題を解決するために、以下の手段を採用した。 The present disclosure employs the following means in order to solve the above problems.

<1> 対向配置された一対の基板と、前記一対の基板間に配置された液晶層と、一対の電極と、を備える液晶素子の製造方法であって、前記一対の電極のうち少なくとも一方は、複数の開口部を有するパターン電極であり、前記一対の基板のうち少なくとも一方に層間絶縁膜を形成する工程と、前記層間絶縁膜上に前記パターン電極を形成する工程と、前記パターン電極上に、前記層間絶縁膜の少なくとも一部に接触するように液晶配向膜を形成する工程と、を含み、前記液晶配向膜を、重合体成分と、下記に示す溶剤群から選ばれる少なくとも一種の溶剤とを含有する液晶配向剤を用いて形成する、液晶素子の製造方法。
溶剤群:
[A]溶剤:下記式(1)で表される化合物、下記式(2)で表される化合物、N,N,2-トリメチルプロピオンアミド、及び1,3-ジメチル-2-イミダゾリジノン。
[B]溶剤:ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、4-メトキシ-4-メチル-2-ペンタノン、4-ヒドロキシ-2-ブタノン、2-メチル-2-ヘキサノール、2,6-ジメチル-4-ヘプタノール、ジイソブチルケトン、プロピレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジイソペンチルエーテル、ダイアセトンアルコール、及びプロピレングリコールモノブチルエーテル。

Figure 0007074142000001
(式(1)中、Rは、炭素数2~5の1価の炭化水素基、又は当該炭化水素基における炭素-炭素結合間に「-O-」を有する1価の基である。)
Figure 0007074142000002
(式(2)中、R及びRは、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1~6の1価の炭化水素基、又は当該炭化水素基の炭素-炭素結合間に「-O-」を有する1価の基であり、RとRとが互いに結合して環構造を形成してもよい。Rは、炭素数1~6のアルキル基である。)<1> A method for manufacturing a liquid crystal element including a pair of substrates arranged to face each other, a liquid crystal layer arranged between the pair of substrates, and a pair of electrodes, wherein at least one of the pair of electrodes is , A pattern electrode having a plurality of openings, a step of forming an interlayer insulating film on at least one of the pair of substrates, a step of forming the pattern electrode on the interlayer insulating film, and a step of forming the pattern electrode on the pattern electrode. A step of forming a liquid crystal alignment film so as to be in contact with at least a part of the interlayer insulating film, wherein the liquid crystal alignment film is composed of a polymer component and at least one solvent selected from the solvent group shown below. A method for manufacturing a liquid crystal element, which is formed by using a liquid crystal aligning agent containing the above.
Solvent group:
[A] Solvent: A compound represented by the following formula (1), a compound represented by the following formula (2), N, N, 2-trimethylpropionamide, and 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone.
[B] Solvent: Dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, 4-methoxy-4-methyl-2-pentanone, 4-hydroxy-2-butanone, 2-methyl-2-hexanol, 2 , 6-Dimethyl-4-heptanol, diisobutylketone, propylene glycol diacetate, diethylene glycol diethyl ether, diisopentyl ether, diacetone alcohol, and propylene glycol monobutyl ether.
Figure 0007074142000001
(In the formula (1), R 1 is a monovalent hydrocarbon group having 2 to 5 carbon atoms or a monovalent group having "-O-" between carbon-carbon bonds in the hydrocarbon group. )
Figure 0007074142000002
(In the formula (2), R 2 and R 3 are independently each of a hydrogen atom, a monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, or "-O-" between carbon-carbon bonds of the hydrocarbon group. , And R 2 and R 3 may be bonded to each other to form a ring structure. R 4 is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.)

上記構成によれば、液晶配向膜を形成する際にパターン電極の開口部において層間絶縁膜と液晶配向剤とが接触しても層間絶縁膜や液晶配向膜の性能が低下しにくく、信頼性に優れた液晶素子を得ることができる。 According to the above configuration, even if the interlayer insulating film and the liquid crystal alignment agent come into contact with each other at the opening of the pattern electrode when forming the liquid crystal alignment film, the performance of the interlayer insulating film and the liquid crystal alignment film does not easily deteriorate, and the reliability is improved. An excellent liquid crystal element can be obtained.

図1は、液晶装置の一部を模式的に示す図である。FIG. 1 is a diagram schematically showing a part of a liquid crystal display. 図2は、第1実施形態の液晶装置の一部を模式的に示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing a part of the liquid crystal display of the first embodiment. 図3は、第2実施形態の液晶装置の一部を模式的に示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing a part of the liquid crystal display of the second embodiment. 図4は、実施例で使用した電極の構造を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing the structure of the electrodes used in the examples. 図5は、実施例で使用した電極の構造を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing the structure of the electrodes used in the examples.

以下に、実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付しており、同一符号の部分についてはその説明を援用する。 Hereinafter, embodiments will be described with reference to the drawings. In each of the following embodiments, the parts that are the same or equal to each other are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be used for the parts having the same reference numerals.

(液晶装置10の構成)
液晶装置10は、PSA(Polymer Sustained Alignment)方式の垂直配向型液晶表示素子である。液晶装置10の表示部には、複数の画素11がマトリクス状に配置されている。図1に示すように、画素11は、互いに交差する走査信号線12及び映像信号線13に囲まれた領域に形成されている。各画素11には、液晶駆動用素子として機能する薄膜トランジスタ(TFT)14が配置されている。液晶装置10は、図2に示すように、アレイ基板15と、対向基板16と、液晶層17とを備えている。
(Structure of liquid crystal device 10)
The liquid crystal device 10 is a PSA (Polymer Sustained Alignment) type vertically oriented liquid crystal display element. A plurality of pixels 11 are arranged in a matrix on the display unit of the liquid crystal device 10. As shown in FIG. 1, the pixel 11 is formed in a region surrounded by scanning signal lines 12 and video signal lines 13 that intersect each other. A thin film transistor (TFT) 14 that functions as a liquid crystal display driving element is arranged in each pixel 11. As shown in FIG. 2, the liquid crystal display device 10 includes an array substrate 15, a facing substrate 16, and a liquid crystal layer 17.

アレイ基板15は、ガラス基板やプラスチック基板等の透明基板18、走査信号線12、映像信号線13、薄膜トランジスタ14、画素電極19、及び層間絶縁膜21を有している(図2参照)。薄膜トランジスタ14は、走査信号線12からなるゲート電極22、シリコン(Si)で構成される半導体層23、映像信号線13からなるソース電極24、及び、画素電極19に接続されるドレイン電極25を含んで構成されている。薄膜トランジスタ14は、フォトリソグラフィー等の公知の方法により設けられている。薄膜トランジスタ14の各部を構成する具体的な材料としては公知の材料を用いることができる。 The array substrate 15 has a transparent substrate 18 such as a glass substrate or a plastic substrate, a scanning signal line 12, a video signal line 13, a thin film transistor 14, a pixel electrode 19, and an interlayer insulating film 21 (see FIG. 2). The thin film transistor 14 includes a gate electrode 22 made of a scanning signal line 12, a semiconductor layer 23 made of silicon (Si), a source electrode 24 made of a video signal line 13, and a drain electrode 25 connected to a pixel electrode 19. It is composed of. The thin film transistor 14 is provided by a known method such as photolithography. As a specific material constituting each part of the thin film transistor 14, a known material can be used.

画素電極19は、ITO等の透明導電体により形成されている。画素電極19は、図1に示すように、平面状の電極に複数のスリット部(細長い矩形状の開口部)19cが設けられたパターン電極である。具体的には、画素電極19は、互いに直交する2つの方向に延びる幹ライン部19aと、幹ライン部19aから斜め方向に延びる複数の分岐ライン部19bと、複数の分岐ライン部19bの間に形成された複数のスリット部19cとを備え、導電部と非導電部との繰り返しパターンを有している。画素電極19は、薄膜トランジスタ14に電気的に接続されている。薄膜トランジスタ14は、走査信号線12及び映像信号線13に電気的に接続されており、各種信号が供給される。 The pixel electrode 19 is formed of a transparent conductor such as ITO. As shown in FIG. 1, the pixel electrode 19 is a pattern electrode in which a plurality of slit portions (elongated rectangular openings) 19c are provided in a planar electrode. Specifically, the pixel electrode 19 is located between a trunk line portion 19a extending in two directions orthogonal to each other, a plurality of branch line portions 19b extending diagonally from the trunk line portion 19a, and a plurality of branch line portions 19b. It is provided with a plurality of formed slit portions 19c, and has a repeating pattern of a conductive portion and a non-conductive portion. The pixel electrode 19 is electrically connected to the thin film transistor 14. The thin film transistor 14 is electrically connected to the scanning signal line 12 and the video signal line 13, and various signals are supplied.

アレイ基板15は、複数の画素11がマトリクス状に配置された表示領域において、透明基板18、層間絶縁膜21及び画素電極19がこの順に積層された構造を有する。画素電極19は、層間絶縁膜21に設けられたコンタクトホール27を介してドレイン電極25に接続されている。層間絶縁膜21は、後述する感放射線性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィー法により形成されている。層間絶縁膜21を設けることによって、画素電極19と信号線との間の容量カップリングが増大することを抑制するようにしている。 The array substrate 15 has a structure in which the transparent substrate 18, the interlayer insulating film 21, and the pixel electrodes 19 are laminated in this order in a display region in which a plurality of pixels 11 are arranged in a matrix. The pixel electrode 19 is connected to the drain electrode 25 via a contact hole 27 provided in the interlayer insulating film 21. The interlayer insulating film 21 is formed by a photolithography method using a radiation-sensitive resin composition described later. By providing the interlayer insulating film 21, it is possible to suppress the increase in the capacitive coupling between the pixel electrode 19 and the signal line.

対向基板16は、ガラス基板28、カラーフィルタ層29、絶縁層としてのオーバーコート層(図示略)、及び共通電極31を含んで構成されている。カラーフィルタ層29は、赤(R)、緑(G)及び青(B)で着色されたサブ画素により構成されている。カラーフィルタ層29は、フォトリソグラフィー等の公知の方法により作製される。共通電極31は、ITO等の透明導電体により形成された平面状の電極であり、複数の画素11に亘って設けられている。 The facing substrate 16 includes a glass substrate 28, a color filter layer 29, an overcoat layer (not shown) as an insulating layer, and a common electrode 31. The color filter layer 29 is composed of sub-pixels colored in red (R), green (G), and blue (B). The color filter layer 29 is manufactured by a known method such as photolithography. The common electrode 31 is a planar electrode formed of a transparent conductor such as ITO, and is provided over a plurality of pixels 11.

アレイ基板15の電極形成面には第1配向膜32が形成されており、対向基板16の電極形成面には第2配向膜33が形成されている。第1配向膜32及び第2配向膜33は、液晶層17中の液晶分子の配向を規制する液晶配向膜であり、重合体成分を含有する重合体組成物である液晶配向剤を用いて基板上に形成されている。第1配向膜32は、表示領域のうち少なくともスリット部19cにおいて層間絶縁膜21に接触している。 The first alignment film 32 is formed on the electrode forming surface of the array substrate 15, and the second alignment film 33 is formed on the electrode forming surface of the facing substrate 16. The first alignment film 32 and the second alignment film 33 are liquid crystal alignment films that regulate the orientation of liquid crystal molecules in the liquid crystal layer 17, and are substrates using a liquid crystal alignment agent that is a polymer composition containing a polymer component. Formed on top. The first alignment film 32 is in contact with the interlayer insulating film 21 at least in the slit portion 19c of the display region.

アレイ基板15及び対向基板16は、アレイ基板15の配向膜形成面と、対向基板16の配向膜形成面とが対向するように所定の間隙(セルギャップ)を設けて配置されている。対向配置された一対の基板の周縁部は、シール剤(図示略)によって貼り合わされている。シール剤の材料としては、液晶装置用のシール剤として公知の材料(例えば、熱硬化性樹脂や光硬化性樹脂)が用いられている。アレイ基板15、対向基板16及びシール剤によって囲まれた空間には液晶組成物が充填されており、これにより、第1配向膜32及び第2配向膜33に接するようにして液晶層17が配置されている。 The array substrate 15 and the facing substrate 16 are arranged with a predetermined gap (cell gap) so that the alignment film forming surface of the array substrate 15 and the alignment film forming surface of the facing substrate 16 face each other. The peripheral edges of the pair of substrates arranged to face each other are bonded together by a sealing agent (not shown). As the material of the sealing agent, a material known as a sealing agent for a liquid crystal display (for example, a thermosetting resin or a photocurable resin) is used. The space surrounded by the array substrate 15, the facing substrate 16, and the sealant is filled with the liquid crystal composition, whereby the liquid crystal layer 17 is arranged so as to be in contact with the first alignment film 32 and the second alignment film 33. Has been done.

液晶層17は、負の誘電率異方性を有している。液晶層17は、アレイ基板15との界面及び対向基板16との界面のそれぞれにおいて、ポリマー層であるPSA層34、35を有している。PSA層34、35は、液晶層17に予め混入させた光重合性モノマーを、液晶セルの構築後に液晶分子をプレチルト配向させた状態で光重合することによって形成されている。液晶装置10においては、PSA層34、35により液晶層17中の液晶分子の初期配向が制御される。 The liquid crystal layer 17 has a negative dielectric anisotropy. The liquid crystal layer 17 has PSA layers 34 and 35, which are polymer layers, at the interface with the array substrate 15 and the interface with the opposed substrate 16, respectively. The PSA layers 34 and 35 are formed by photopolymerizing a photopolymerizable monomer previously mixed in the liquid crystal layer 17 in a state where the liquid crystal molecules are pretilt-oriented after the liquid crystal cell is constructed. In the liquid crystal device 10, the PSA layers 34 and 35 control the initial orientation of the liquid crystal molecules in the liquid crystal layer 17.

液晶装置10において、アレイ基板15及び対向基板16のそれぞれの外側には偏光板36、37が配置されている。アレイ基板15の外縁部には端子領域が設けられており、この端子領域に液晶を駆動するためのドライバIC等が接続されることにより液晶装置10が駆動される。 In the liquid crystal display 10, polarizing plates 36 and 37 are arranged on the outside of the array substrate 15 and the facing substrate 16, respectively. A terminal region is provided on the outer edge of the array substrate 15, and the liquid crystal device 10 is driven by connecting a driver IC or the like for driving the liquid crystal to this terminal region.

<液晶配向剤>
次に、液晶配向膜(第1配向膜32、第2配向膜33)を形成するために用いる液晶配向剤について説明する。液晶配向剤は、重合体成分と溶剤成分とを含有する。
<Liquid crystal alignment agent>
Next, the liquid crystal alignment agent used for forming the liquid crystal alignment film (first alignment film 32, second alignment film 33) will be described. The liquid crystal alignment agent contains a polymer component and a solvent component.

(重合体成分)
液晶配向剤に含有される重合体は、その主骨格は特に限定されず、例えばポリアミック酸、ポリアミック酸エステル、ポリイミド、ポリオルガノシロキサン、ポリエステル、セルロース誘導体、ポリアセタール、ポリスチレン誘導体、ポリ(スチレン-フェニルマレイミド)誘導体、ポリ(メタ)アクリル系重合体等の主骨格が挙げられる。これらの中でも、ポリアミック酸、ポリアミック酸エステル、ポリイミド及びポリオルガノシロキサンよりなる群から選ばれる少なくとも一種の重合体(以下、[P]重合体ともいう。)であることが好ましい。なお、液晶配向剤の調製に際し、重合体としては1種を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。本明細書において「(メタ)アクリル」は、「アクリル」及び「メタクリル」を含む意味である。
(Polymer component)
The main skeleton of the polymer contained in the liquid crystal alignment agent is not particularly limited, and for example, polyamic acid, polyamic acid ester, polyimide, polyorganosiloxane, polyester, cellulose derivative, polyacetal, polystyrene derivative, poly (styrene-phenylmaleimide). ) Main skeletons such as derivatives and poly (meth) acrylic polymers can be mentioned. Among these, at least one polymer selected from the group consisting of polyamic acid, polyamic acid ester, polyimide and polyorganosiloxane (hereinafter, also referred to as [P] polymer) is preferable. In preparing the liquid crystal alignment agent, one type of polymer may be used alone, or two or more types may be used in combination. As used herein, "(meth) acrylic" is meant to include "acrylic" and "methacrylic".

[P]重合体を合成する方法は特に限定されない。例えば、[P]重合体がポリアミック酸の場合、当該ポリアミック酸は、テトラカルボン酸二無水物とジアミンとを反応させることによって得ることができる。 [P] The method for synthesizing the polymer is not particularly limited. For example, when the [P] polymer is a polyamic acid, the polyamic acid can be obtained by reacting a tetracarboxylic acid dianhydride with a diamine.

(ポリアミック酸)
ポリアミック酸の合成に使用するテトラカルボン酸二無水物としては、例えば脂肪族テトラカルボン酸二無水物、脂環式テトラカルボン酸二無水物、芳香族テトラカルボン酸二無水物等を挙げることができる。これらの具体例としては、脂肪族テトラカルボン酸二無水物として、例えば1,2,3,4-ブタンテトラカルボン酸二無水物、エチレンジアミン四酢酸二無水物等を;
脂環式テトラカルボン酸二無水物として、例えば1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,3-ジメチル-1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、2,3,5-トリカルボキシシクロペンチル酢酸二無水物、1,3,3a,4,5,9b-ヘキサヒドロ-5-(テトラヒドロ-2,5-ジオキソ-3-フラニル)-ナフト[1,2-c]フラン-1,3-ジオン、1,3,3a,4,5,9b-ヘキサヒドロ-8-メチル-5-(テトラヒドロ-2,5-ジオキソ-3-フラニル)-ナフト[1,2-c]フラン-1,3-ジオン、3-オキサビシクロ[3.2.1]オクタン-2,4-ジオン-6-スピロ-3’-(テトラヒドロフラン-2’,5’-ジオン)、5-(2,5-ジオキソテトラヒドロ-3-フラニル)-3-メチル-3-シクロヘキセン-1,2-ジカルボン酸無水物、2,4,6,8-テトラカルボキシビシクロ[3.3.0]オクタン-2:4,6:8-二無水物、シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物等を;
芳香族テトラカルボン酸二無水物として、例えばピロメリット酸二無水物、4,4’-(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物、p-フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル無水物)、エチレングリコールビス(アンヒドロトリメリテート)、1,3-プロピレングリコールビス(アンヒドロトリメリテート)等を、それぞれ挙げることができるほか、特開2010-97188号公報に記載のテトラカルボン酸二無水物を用いることができる。なお、テトラカルボン酸二無水物は、1種を単独で又は2種以上組み合わせて使用することができる。
(Polyamic acid)
Examples of the tetracarboxylic acid dianhydride used for the synthesis of polyamic acid include aliphatic tetracarboxylic acid dianhydride, alicyclic tetracarboxylic acid dianhydride, aromatic tetracarboxylic acid dianhydride and the like. .. Specific examples of these include aliphatic tetracarboxylic acid dianhydrides such as 1,2,3,4-butanetetracarboxylic acid dianhydride and ethylenediaminetetraacetic acid dianhydride;
Examples of the alicyclic tetracarboxylic acid dianhydride include 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic acid dianhydride, 1,3-dimethyl-1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic acid dianhydride, and the like. 2,3,5-Tricarboxycyclopentylacetic acid dianhydride, 1,3,3a,4,5,9b-hexahydro-5- (tetrahydro-2,5-dioxo-3-franyl) -naphtho [1,2- c] Fran-1,3-dione, 1,3,3a, 4,5,9b-hexahydro-8-methyl-5 (tetrahydro-2,5-dioxo-3-furanyl) -naphtho [1,2- c] Fran-1,3-dione, 3-oxabicyclo [3.2.1] octane-2,4-dione-6-spiro-3'-(tetratetra-2', 5'-dione), 5- (2,5-dioxotetrahydro-3-furanyl) -3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic acid anhydride, 2,4,6,8-tetracarboxybicyclo [3.3.0] octane -2: 4,6: 8-dianhydride, cyclohexanetetracarboxylic acid dianhydride, cyclopentanetetracarboxylic acid dianhydride, etc.;
Aromatic tetracarboxylic acid dianhydrides include, for example, pyromellitic acid dianhydride, 4,4'-(hexafluoroisopropyridene) diphthalic acid anhydride, p-phenylenebis (trimellitic acid monoester anhydride), ethylene glycol. Bis (anhydrotrimeritate), 1,3-propylene glycol bis (anhydrotrimeritate) and the like can be mentioned, respectively, and the tetracarboxylic acid dianhydride described in JP-A-2010-97188 can be used. Can be used. The tetracarboxylic acid dianhydride may be used alone or in combination of two or more.

合成に使用するテトラカルボン酸二無水物は、得られる重合体の溶剤に対する溶解性をより高くできる点で、脂環式テトラカルボン酸二無水物を含むことが好ましく、シクロブタン環、シクロペンタン環及びシクロヘキサン環よりなる群から選ばれる少なくとも一種の環構造を有するテトラカルボン酸二無水物(以下、「特定テトラカルボン酸二無水物」ともいう。)を含むことがより好ましい。特定テトラカルボン酸二無水物の使用割合は、ポリアミック酸の合成に使用するテトラカルボン酸二無水物の全量に対して、10モル%以上であることが好ましく、20~100モル%であることがより好ましい。 The tetracarboxylic acid dianhydride used for the synthesis preferably contains an alicyclic tetracarboxylic acid dianhydride in that the obtained polymer can be more soluble in a solvent, and preferably contains a cyclobutane ring, a cyclopentane ring and a cyclopentane ring. It is more preferable to contain a tetracarboxylic acid dianhydride having at least one ring structure selected from the group consisting of cyclohexane rings (hereinafter, also referred to as "specific tetracarboxylic acid dianhydride"). The ratio of the specific tetracarboxylic acid dianhydride used is preferably 10 mol% or more, preferably 20 to 100 mol%, based on the total amount of the tetracarboxylic acid dianhydride used for the synthesis of the polyamic acid. More preferred.

ポリアミック酸の合成に使用するジアミンとしては、例えば脂肪族ジアミン、脂環式ジアミン、芳香族ジアミン、ジアミノオルガノシロキサン等が挙げられる。これらの具体例としては、脂肪族ジアミンとして、例えばメタキシリレンジアミン、1,3-プロパンジアミン、テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、1,3-ビス(アミノメチル)シクロヘキサンなどを;脂環式ジアミンとして、例えば1,4-ジアミノシクロヘキサン、4,4’-メチレンビス(シクロヘキシルアミン)などを;
芳香族ジアミンとして、例えばp-フェニレンジアミン、4,4’-ジアミノジフェニルメタン、4,4’-ジアミノジフェニルスルフィド、1,5-ジアミノナフタレン、2,2’-ジメチル-4,4’-ジアミノビフェニル、4,4’-ジアミノ-2,2’-ビス(トリフルオロメチル)ビフェニル、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)エタン、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)プロパン、9,9-ビス(4-アミノフェニル)フルオレン、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、4,4’-(p-フェニレンジイソプロピリデン)ビスアニリン、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、2,6-ジアミノピリジン、3,6-ジアミノカルバゾール、N,N’-ビス(4-アミノフェニル)-ベンジジン、1,4-ビス-(4-アミノフェニル)-ピペラジン、1-(4-アミノフェニル)-2,3-ジヒドロ-1,3,3-トリメチル-1H-インデン-5-アミン、1-(4-アミノフェニル)-2,3-ジヒドロ-1,3,3-トリメチル-1H-インデン-6-アミン、3,5-ジアミノ安息香酸、コレスタニルオキシ-3,5-ジアミノベンゼン、コレステニルオキシ-3,5-ジアミノベンゼン、コレスタニルオキシ-2,4-ジアミノベンゼン、3,5-ジアミノ安息香酸コレスタニル、3,5-ジアミノ安息香酸コレステニル、3,5-ジアミノ安息香酸ラノスタニル、3,6-ビス(4-アミノベンゾイルオキシ)コレスタン、4-(4’-トリフルオロメトキシベンゾイロキシ)シクロヘキシル-3,5-ジアミノベンゾエート、1,1-ビス(4-((アミノフェニル)メチル)フェニル)-4-ヘプチルシクロヘキサン、1,1-ビス(4-((アミノフェニル)メチル)フェニル)-4-(4-ヘプチルシクロヘキシル)シクロヘキサン、2,4-ジアミノ-N,N-ジアリルアニリン、4-アミノベンジルアミン、N-[4-(2-アミノエチル)フェニル]ベンゼン-1,4-ジアミン、N-[4-(アミノメチル)フェニル]ベンゼン-1,4-ジアミン、1,3-ビス(4-アミノフェニチル)ウレア、4,4’-[4,4’-プロパン-1,3-ジイルビス(ピペリジン-1,4-ジイル)]ジアニリン、2-プロピニルオキシ-2,4-フェニレンジアミン及び下記式(D-1)

Figure 0007074142000003
(式(D-1)中、XI及びXIIは、それぞれ独立に、単結合、-O-、*-COO-、*-OCO-又は*-NH-CO-(但し、「*」を付した結合手がジアミノフェニル基と結合する。)であり、R及びRIIは、それぞれ独立に、炭素数1~3のアルカンジイル基であり、aは0又は1であり、bは0~2の整数であり、cは1~20の整数であり、nは0又は1であり、mは0又は1である。但し、a及びbが同時に0になることはなく、Xが*-NH-CO-の場合、nは0である。)
で表される化合物などを;
ジアミノオルガノシロキサンとして、例えば、1,3-ビス(3-アミノプロピル)-テトラメチルジシロキサンなどを、それぞれ挙げることができるほか、特開2010-97188号公報に記載のジアミンを用いることができる。なお、ポリアミック酸の合成に際し、ジアミンは1種を単独で又は2種以上組み合わせて使用することができる。Examples of the diamine used for the synthesis of polyamic acid include aliphatic diamines, alicyclic diamines, aromatic diamines, diaminoorganosiloxanes and the like. Specific examples of these include, as aliphatic diamines, for example, metaxylylenediamine, 1,3-propanediamine, tetramethylenediamine, hexamethylenediamine, 1,3-bis (aminomethyl) cyclohexane, etc .; alicyclic diamines. For example, 1,4-diaminocyclohexane, 4,4'-methylenebis (cyclohexylamine), etc.;
As aromatic diamines, for example, p-phenylenediamine, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylsulfide, 1,5-diaminonaphthalene, 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 4,4'-Diamino-2,2'-bis (trifluoromethyl) biphenyl, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 1,3-bis (4-aminophenoxy) ethane, 1,3-bis (4-amino) Phenoxy) propane, 9,9-bis (4-aminophenyl) fluorene, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 4,4'-(p-phenylenediisopropylidene) Bisaniline, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 2,6-diaminopyridine, 3,6-diaminocarbazole, N, N'-bis (4-aminophenyl) -benzidine, 1,4-bis- (4-Aminophenyl) -piperazine, 1- (4-aminophenyl) -2,3-dihydro-1,3,3-trimethyl-1H-inden-5-amine, 1- (4-aminophenyl) -2 , 3-Dihydro-1,3,3-trimethyl-1H-inden-6-amine, 3,5-diaminobenzoic acid, cholestanyloxy-3,5-diaminobenzene, cholestenyloxy-3,5-diaminobenzene , Cholestanyloxy-2,4-diaminobenzene, 3,5-diaminobenzoate cholestanyl, 3,5-diaminobenzoate cholestenyl, 3,5-diaminobenzoate lanostannyl, 3,6-bis (4-aminobenzoyloxy) ) Cholestan, 4- (4'-trifluoromethoxybenzoyloxy) cyclohexyl-3,5-diaminobenzoate, 1,1-bis (4-((aminophenyl) methyl) phenyl) -4-heptylcyclohexane, 1, 1-Bis (4-((Aminophenyl) Methyl) Phenyl) -4- (4-Heptylcyclohexyl) cyclohexane, 2,4-diamino-N, N-diallylaniline, 4-aminobenzylamine, N- [4- (2-Aminoethyl) Phenyl] benzene-1,4-diamine, N- [4- (Aminomethyl) Phenyl] benzene-1,4-diamine, 1,3-bis (4-aminophenityl) urea, 4 , 4'-[4,4'-Propane-1,3-diylbis (piperidine-1,4-diyl)] dianiline, 2-propynyloxy-2,4-phenylenediamine and the following formula (D-1)
Figure 0007074142000003
(In the formula (D-1), X I and X II are independently single-bonded, -O-, * -COO-, * -OCO- or * -NH-CO- (where "*" is used. The attached bond is a diaminophenyl group.), RI and R II are independently alcandiyl groups having 1 to 3 carbon atoms, a is 0 or 1, and b is 0. It is an integer of 2 to 2, c is an integer of 1 to 20, n is 0 or 1, m is 0 or 1. However, a and b cannot be 0 at the same time, and XI is. * In the case of -NH-CO-, n is 0.)
Compounds represented by;
Examples of the diaminoorganosiloxane include 1,3-bis (3-aminopropyl) -tetramethyldisiloxane, and diamines described in JP-A-2010-97188 can be used. In the synthesis of polyamic acid, one type of diamine can be used alone or two or more types can be used in combination.

ポリアミック酸は、上記のようなテトラカルボン酸二無水物とジアミンとを、必要に応じて分子量調整剤とともに反応させることによって得ることができる。ポリアミック酸の合成反応に供されるテトラカルボン酸二無水物とジアミンとの使用割合は、ジアミンのアミノ基1当量に対して、テトラカルボン酸二無水物の酸無水物基が0.2~2当量となる割合が好ましい。分子量調整剤としては、例えば無水マレイン酸、無水フタル酸、無水イタコン酸などの酸一無水物、アニリン、シクロヘキシルアミン、n-ブチルアミンなどのモノアミン化合物、フェニルイソシアネート、ナフチルイソシアネートなどのモノイソシアネート化合物等を挙げることができる。分子量調整剤の使用割合は、使用するテトラカルボン酸二無水物及びジアミンの合計量に対して20質量%以下とすることが好ましい。 The polyamic acid can be obtained by reacting the tetracarboxylic acid dianhydride as described above with a diamine, if necessary, with a molecular weight adjusting agent. The ratio of the tetracarboxylic acid dianhydride used in the polyamic acid synthesis reaction to the diamine is 0.2 to 2 for the acid anhydride group of the tetracarboxylic acid dianhydride with respect to 1 equivalent of the amino group of the diamine. Equivalent proportions are preferred. Examples of the molecular weight adjusting agent include acid monoanhydrides such as maleic anhydride, phthalic anhydride and itaconic anhydride, monoamine compounds such as aniline, cyclohexylamine and n-butylamine, and monoisocyanate compounds such as phenylisocyanate and naphthylisocyanate. Can be mentioned. The ratio of the molecular weight adjusting agent used is preferably 20% by mass or less with respect to the total amount of the tetracarboxylic acid dianhydride and the diamine used.

ポリアミック酸の合成反応は、好ましくは有機溶媒中において行われる。このときの反応温度は-20℃~150℃が好ましく、反応時間は0.1~24時間が好ましい。
反応に使用する有機溶媒としては、例えば非プロトン性極性溶媒、フェノール系溶媒、アルコール、ケトン、エステル、エーテル、ハロゲン化炭化水素、炭化水素などを挙げることができる。好ましい有機溶媒は、N-メチル-2-ピロリドン、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、γ-ブチロラクトン、テトラメチル尿素、ヘキサメチルホスホルトリアミド、m-クレゾール、キシレノール、ハロゲン化フェノール、及び後述する特定溶剤よりなる群から選択される1種以上を溶媒として使用するか、あるいはこれらの1種以上と他の有機溶媒(例えば、ブチルセロソルブ、ジエチレングリコールジエチルエーテルなど)との混合物を使用することが好ましい。有機溶媒の使用量は、テトラカルボン酸二無水物及びジアミンの合計量が、反応溶液の全量に対して、0.1~50質量%になる量とすることが好ましい。以上のようにして、ポリアミック酸を溶解してなる反応溶液が得られる。この反応溶液はそのまま液晶配向剤の調製に供してもよく、反応溶液中に含まれるポリアミック酸を単離したうえで液晶配向剤の調製に供してもよい。
The synthetic reaction of the polyamic acid is preferably carried out in an organic solvent. The reaction temperature at this time is preferably −20 ° C. to 150 ° C., and the reaction time is preferably 0.1 to 24 hours.
Examples of the organic solvent used in the reaction include an aprotonic polar solvent, a phenolic solvent, an alcohol, a ketone, an ester, an ether, a halogenated hydrocarbon, and a hydrocarbon. Preferred organic solvents are N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, γ-butyrolactone, tetramethylurea, hexamethylphosphortriamide, m-cresol, xylenol, One or more selected from the group consisting of halogenated phenol and a specific solvent described later is used as a solvent, or a mixture of one or more of these with another organic solvent (for example, butyl cellosolve, diethylene glycol diethyl ether, etc.). It is preferable to use. The amount of the organic solvent used is preferably such that the total amount of the tetracarboxylic acid dianhydride and the diamine is 0.1 to 50% by mass with respect to the total amount of the reaction solution. As described above, a reaction solution obtained by dissolving a polyamic acid is obtained. This reaction solution may be used as it is for the preparation of the liquid crystal alignment agent, or the polyamic acid contained in the reaction solution may be isolated and then used for the preparation of the liquid crystal alignment agent.

(ポリイミド)
ポリイミドは、上記の如くして合成されたポリアミック酸を脱水閉環してイミド化することにより得ることができる。ポリイミドは、その前駆体であるポリアミック酸が有していたアミック酸構造のすべてを脱水閉環した完全イミド化物であってもよく、アミック酸構造の一部のみを脱水閉環し、アミック酸構造とイミド環構造が併存する部分イミド化物であってもよい。ポリイミドは、そのイミド化率が30%以上であることが好ましく、40~99%であることがより好ましく、60~99%であることが更に好ましい。このイミド化率は、ポリイミドのアミック酸構造の数とイミド環構造の数との合計に対するイミド環構造の数の占める割合を百分率で表したものである。ここで、イミド環の一部がイソイミド環であってもよい。
(Polyimide)
The polyimide can be obtained by dehydrating and ring-closing the polyamic acid synthesized as described above to imidize it. The polyimide may be a completely imidized product in which all of the amic acid structure possessed by its precursor polyamic acid is dehydrated and ring-closed, and only a part of the amic acid structure is dehydrated and ring-closed to form an amic acid structure and an imide. It may be a partially imidized product in which a ring structure coexists. The imidization ratio of the polyimide is preferably 30% or more, more preferably 40 to 99%, still more preferably 60 to 99%. This imidization ratio is expressed as a percentage of the ratio of the number of imide ring structures to the total number of amic acid structures and the number of imide ring structures of polyimide. Here, a part of the imide ring may be an isoimide ring.

ポリアミック酸の脱水閉環は、好ましくは、ポリアミック酸を有機溶媒に溶解し、この溶液中に脱水剤及び脱水閉環触媒を添加し必要に応じて加熱する方法により行われる。この方法において、脱水剤としては、例えば無水酢酸、無水プロピオン酸、無水トリフルオロ酢酸などの酸無水物を用いることができる。脱水剤の使用量は、ポリアミック酸のアミック酸構造の1モルに対して0.01~20モルとすることが好ましい。脱水閉環触媒としては、例えばピリジン、コリジン、ルチジン、トリエチルアミン等の3級アミンを用いることができる。脱水閉環触媒の使用量は、使用する脱水剤1モルに対して0.01~10モルとすることが好ましい。使用する有機溶媒としては、ポリアミック酸の合成に用いられるものとして例示した有機溶媒を挙げることができる。脱水閉環反応の反応温度は、好ましくは0~180℃であり、反応時間は、好ましくは1.0~120時間である。得られた反応溶液は、そのまま液晶配向剤の調製に供してもよく、ポリイミドを単離したうえで液晶配向剤の調製に供してもよい。 The dehydration ring closure of the polyamic acid is preferably carried out by dissolving the polyamic acid in an organic solvent, adding a dehydrating agent and a dehydration ring closure catalyst to the solution, and heating as necessary. In this method, as the dehydrating agent, an acid anhydride such as acetic anhydride, propionic anhydride, or trifluoroacetic anhydride can be used. The amount of the dehydrating agent used is preferably 0.01 to 20 mol per 1 mol of the amic acid structure of the polyamic acid. As the dehydration ring closure catalyst, for example, tertiary amines such as pyridine, colidine, lutidine, and triethylamine can be used. The amount of the dehydration ring closure catalyst used is preferably 0.01 to 10 mol with respect to 1 mol of the dehydrating agent used. Examples of the organic solvent used include organic solvents exemplified as those used for the synthesis of polyamic acids. The reaction temperature of the dehydration ring closure reaction is preferably 0 to 180 ° C., and the reaction time is preferably 1.0 to 120 hours. The obtained reaction solution may be used as it is for the preparation of the liquid crystal alignment agent, or the polyimide may be isolated and then used for the preparation of the liquid crystal alignment agent.

(ポリアミック酸エステル)
ポリアミック酸エステルは、例えば、[I]上記反応により得られたポリアミック酸とエステル化剤とを反応させる方法、[II]テトラカルボン酸ジエステルとジアミンとを反応させる方法、[III]テトラカルボン酸ジエステルジハロゲン化物とジアミンとを反応させる方法、等によって得ることができる。ここで、上記[I]のエステル化剤としては、例えばメタノール、エタノール等が挙げられる。上記[II]で使用するテトラカルボン酸ジエステルは、テトラカルボン酸二無水物をアルコール類などで開環することにより得ることができる。上記[III]で使用するテトラカルボン酸ジエステルジハロゲン化物は、上記の如くして得たテトラカルボン酸ジエステルを、塩化チオニル等の適当な塩素化剤と反応させることにより得ることができる。得られるポリアミック酸エステルは、アミック酸エステル構造のみを有していてもよく、アミック酸構造とアミック酸エステル構造とが併存する部分エステル化物であってもよい。ポリアミック酸エステルを溶解してなる反応溶液は、そのまま液晶配向剤の調製に供してもよく、反応溶液中に含まれるポリアミック酸エステルを単離したうえで液晶配向剤の調製に供してもよい。
(Polyamic acid ester)
The polyamic acid ester is, for example, [I] a method of reacting the polyamic acid obtained by the above reaction with an esterifying agent, [II] a method of reacting a tetracarboxylic acid diester with a diamine, and [III] a tetracarboxylic acid diester. It can be obtained by a method of reacting a dihalide with a diamine, or the like. Here, examples of the esterifying agent of the above [I] include methanol, ethanol and the like. The tetracarboxylic acid diester used in [II] above can be obtained by ring-opening the tetracarboxylic acid dianhydride with alcohols or the like. The tetracarboxylic acid diester dihalide used in the above [III] can be obtained by reacting the tetracarboxylic acid diester obtained as described above with an appropriate chlorinating agent such as thionyl chloride. The obtained polyamic acid ester may have only an amic acid ester structure, or may be a partial esterified product in which an amic acid structure and an amic acid ester structure coexist. The reaction solution obtained by dissolving the polyamic acid ester may be used as it is for the preparation of the liquid crystal alignment agent, or the polyamic acid ester contained in the reaction solution may be isolated and then used for the preparation of the liquid crystal alignment agent.

以上のようにして得られるポリアミック酸、ポリアミック酸エステル及びポリイミドは、これを濃度10質量%の溶液としたときに、10~800mPa・sの溶液粘度を持つものであることが好ましく、15~500mPa・sの溶液粘度を持つものであることがより好ましい。なお、上記重合体の溶液粘度(mPa・s)は、当該重合体の良溶媒(例えばγ-ブチロラクトン、N-メチル-2-ピロリドンなど)を用いて調製した濃度10質量%の重合体溶液につき、E型回転粘度計を用いて25℃において測定した値である。ポリアミック酸、ポリアミック酸エステル及びポリイミドについて、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は、500~100,000であることが好ましく、1,000~50,000であることがより好ましい。 The polyamic acid, polyamic acid ester, and polyimide obtained as described above preferably have a solution viscosity of 10 to 800 mPa · s, preferably 15 to 500 mPa, when the solution is made into a solution having a concentration of 10% by mass. -It is more preferable that the solution has a viscosity of s. The solution viscosity (mPa · s) of the polymer is per 10% by mass of the polymer solution prepared by using a good solvent of the polymer (for example, γ-butyrolactone, N-methyl-2-pyrrolidone, etc.). , Is a value measured at 25 ° C. using an E-type rotational viscometer. For polyamic acids, polyamic acid esters and polyimides, the polystyrene-equivalent weight average molecular weight measured by gel permeation chromatography (GPC) is preferably 500 to 100,000, preferably 1,000 to 50,000. Is more preferable.

(ポリオルガノシロキサン)
ポリオルガノシロキサンは、例えば加水分解性のシラン化合物を、好ましくは適当な有機溶媒、水及び触媒の存在下において、加水分解又は加水分解・縮合することにより得ることができる。
(Polyorganosiloxane)
The polyorganosiloxane can be obtained, for example, by hydrolyzing or hydrolyzing / condensing a hydrolyzable silane compound, preferably in the presence of a suitable organic solvent, water and a catalyst.

ポリオルガノシロキサンの合成に使用する加水分解性のシラン化合物としては、例えばテトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、トリメトキシシリルプロピルコハク酸無水物、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン等のアルコキシシラン化合物;3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3-メルカプトプロピルトリエトキシシラン、メルカプトメチルトリメトキシシラン、メルカプトメチルトリエトキシシラン、3-ウレイドプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、N-(3-シクロヘキシルアミノ)プロピルトリメトキシシラン等の窒素・硫黄含有アルコキシシラン化合物;3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、3-グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリエトキシシラン、2-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン等のエポキシ基含有シラン化合物;3-(メタ)アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3-(メタ)アクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3-(メタ)アクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、p-スチリルトリメトキシシラン等の不飽和結合含有アルコキシシラン化合物、などを挙げることができる。加水分解性シラン化合物は、これらのうちの1種を単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。なお、本明細書において「(メタ)アクリロ」は、「アクリロ」及び「メタクリロ」を含む意味である。 Examples of the hydrolyzable silane compound used for the synthesis of polyorganosiloxane include tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, and trimethoxysilylpropyl. Alkoxysilane compounds such as succinic acid anhydride, dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane; 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltriethoxysilane, mercaptomethyltrimethoxysilane, mercaptomethyltriethoxysilane, 3-ureido Nitrogen / sulfur-containing alkoxysilane compounds such as propyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, N- (3-cyclohexylamino) propyltrimethoxysilane; 3-glycidoxypropyltri Methoxysilane, 3-glycidoxypropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltriethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltri Epoxy group-containing silane compounds such as methoxysilane; 3- (meth) acryloxipropyltrimethoxysilane, 3- (meth) acryloxipropylmethyldimethoxysilane, 3- (meth) acryloxipropylmethyldiethoxysilane, vinyltrimethoxy Examples thereof include unsaturated bond-containing alkoxysilane compounds such as silane and p-styryltrimethoxysilane. As the hydrolyzable silane compound, one of these can be used alone or in combination of two or more. In addition, in this specification, "(meth) acrylo" means to include "acrylo" and "methacrylo".

上記の加水分解・縮合反応は、上記の如きシラン化合物の1種又は2種以上と水とを、好ましくは適当な触媒及び有機溶媒の存在下で反応させることにより行う。反応に際し、水の使用割合は、シラン化合物(合計量)1モルに対して、好ましくは1~30モルである。使用する触媒としては、例えば酸、アルカリ金属化合物、有機塩基(例えばトリエチルアミンやテトラメチルアンモニウムヒドロキシドなど)、チタン化合物、ジルコニウム化合物などを挙げることができる。触媒の使用量は、触媒の種類、温度などの反応条件などにより異なり、適宜に設定されるべきであるが、例えばシラン化合物の合計量に対して、好ましくは0.01~3倍モルである。使用する有機溶媒としては、例えば炭化水素、ケトン、エステル、エーテル、アルコールなどが挙げられ、これらのうち、非水溶性又は難水溶性の有機溶媒を用いることが好ましい。有機溶媒の使用割合は、反応に使用するシラン化合物の合計100質量部に対して、好ましくは50~1,000質量部である。 The above hydrolysis / condensation reaction is carried out by reacting one or more of the above silane compounds with water, preferably in the presence of a suitable catalyst and organic solvent. In the reaction, the ratio of water used is preferably 1 to 30 mol with respect to 1 mol of the silane compound (total amount). Examples of the catalyst used include acids, alkali metal compounds, organic bases (for example, triethylamine, tetramethylammonium hydroxide, etc.), titanium compounds, zirconium compounds and the like. The amount of the catalyst used varies depending on the type of catalyst, reaction conditions such as temperature, and should be set appropriately, but is preferably 0.01 to 3 times the molar amount of the total amount of the silane compound, for example. .. Examples of the organic solvent to be used include hydrocarbons, ketones, esters, ethers, alcohols and the like, and among these, it is preferable to use a water-insoluble or sparingly water-soluble organic solvent. The ratio of the organic solvent used is preferably 50 to 1,000 parts by mass with respect to 100 parts by mass in total of the silane compound used in the reaction.

上記の加水分解・縮合反応は、例えば油浴などにより加熱して実施することが好ましい。その際、加熱温度は130℃以下とすることが好ましく、加熱時間は、0.5~12時間とすることが好ましい。反応終了後において、反応液から分取した有機溶媒層につき、溶媒を除去することによりポリシロキサンを得ることができる。 The above hydrolysis / condensation reaction is preferably carried out by heating in, for example, an oil bath. At that time, the heating temperature is preferably 130 ° C. or lower, and the heating time is preferably 0.5 to 12 hours. After completion of the reaction, polysiloxane can be obtained by removing the solvent from the organic solvent layer separated from the reaction solution.

ポリオルガノシロキサンの側鎖に、プレチルト角付与基や光配向性基などの機能性基を導入する場合、その合成方法は特に限定されないが、例えば、エポキシ基含有シラン化合物、又はエポキシ基含有シラン化合物とその他のシラン化合物との混合物を加水分解縮合して、エポキシ基を有するポリオルガノシロキサンを合成し、次いで、得られたエポキシ基含有ポリオルガノシロキサンと、上記機能性基を有するカルボン酸とを反応させる方法などが挙げられる。エポキシ基含有ポリオルガノシロキサンとカルボン酸との反応は公知の方法に従って行うことができる。 When a functional group such as a pretilt angle-imparting group or a photo-orientation group is introduced into the side chain of the polyorganosiloxane, the synthesis method thereof is not particularly limited, but for example, an epoxy group-containing silane compound or an epoxy group-containing silane compound. And other silane compounds are hydrolyzed and condensed to synthesize a polyorganosiloxane having an epoxy group, and then the obtained epoxy group-containing polyorganosiloxane is reacted with the carboxylic acid having the above functional group. There is a method to make it. The reaction between the epoxy group-containing polyorganosiloxane and the carboxylic acid can be carried out according to a known method.

ポリオルガノシロキサンは、GPCで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)が500~100,000の範囲にあることが好ましく、1,000~30,000の範囲にあることがより好ましく、1,000~20,000であることが更に好ましい。ポリオルガノシロキサンの重量平均分子量が上記範囲にあると、液晶配向膜を製造する際に取り扱いやすく、また十分な材料強度及び特性を有する液晶配向膜が得られる。 The polystyrene-equivalent weight average molecular weight (Mw) of the polyorganosiloxane measured by GPC is preferably in the range of 500 to 100,000, more preferably in the range of 1,000 to 30,000, 1. It is more preferably 000 to 20,000. When the weight average molecular weight of the polyorganosiloxane is in the above range, a liquid crystal alignment film that is easy to handle when producing a liquid crystal alignment film and has sufficient material strength and properties can be obtained.

液晶配向剤中における[P]重合体の含有割合(2種以上含有する場合には合計量)は、液晶配向剤中の重合体成分の合計量に対して、60質量%以上であることが好ましく、80質量%以上であることがより好ましい。また、液晶配向剤は、信頼性により優れた液晶素子を得ることができる点で、ポリアミック酸、ポリアミック酸エステル及びポリイミドよりなる群から選ばれる少なくとも一種である[p]重合体を含むことが好ましい。液晶配向剤中における[p]重合体の含有割合(2種以上含む場合にはその合計量)は、液晶配向剤中の重合体成分の合計量に対して、40質量%以上であることが好ましく、60質量%以上であることがより好ましい。 The content ratio of the [P] polymer in the liquid crystal alignment agent (total amount when two or more kinds are contained) may be 60% by mass or more with respect to the total amount of the polymer components in the liquid crystal alignment agent. It is preferably 80% by mass or more, more preferably 80% by mass or more. Further, the liquid crystal alignment agent preferably contains at least one [p] polymer selected from the group consisting of polyamic acid, polyamic acid ester and polyimide in that a liquid crystal element having more excellent reliability can be obtained. .. The content ratio of the [p] polymer in the liquid crystal alignment agent (the total amount when two or more kinds are contained) may be 40% by mass or more with respect to the total amount of the polymer components in the liquid crystal alignment agent. It is preferably 60% by mass or more, more preferably 60% by mass or more.

液晶配向剤に含有される重合体成分の少なくとも一部は、下記式(3)で表される部分構造を有する重合体であることが好ましい。
*-L-R11-R12-R13-R14 …(3)
(式(3)中、Lは、-O-、-CO-、-COO-*、-OCO-*、-NR15-、-NR15-CO-*、-CO-NR15-*、炭素数1~6のアルカンジイル基、-O-R16-*、又は-R16-O-*(ただし、R15は水素原子又は炭素数1~10の1価の炭化水素基であり、R16は炭素数1~3のアルカンジイル基である。「*」は、R11との結合手であることを示す。)である。R11及びR13は、それぞれ独立に、単結合、フェニレン基又はシクロアルキレン基であり、R12は、単結合、フェニレン基、シクロアルキレン基、-R17-B-*、又は-B-R17-*(ただし、R17はフェニレン基又はシクロアルキレン基であり、Bは-COO-*、-OCO-*、又は炭素数1~3のアルカンジイル基である。「*」は、R13との結合手であることを示し、「*」は、R17との結合手であることを示す。)である。R14は、水素原子、フッ素原子、炭素数1~18のアルキル基、炭素数1~18のフルオロアルキル基、炭素数1~18のアルコキシ基、炭素数1~18のフルオロアルコキシ基、又はステロイド骨格を有する炭素数17~51の炭化水素基であり、ラジカル重合性基又は光開始剤基を有していてもよい。ただし、R14が水素原子、フッ素原子又は炭素数1~3の基である場合、R11、R12及びR13の全部が単結合になることはない。「*」は結合手であることを示す。)
At least a part of the polymer component contained in the liquid crystal alignment agent is preferably a polymer having a partial structure represented by the following formula (3).
* -L 1 -R 11 -R 12 -R 13 -R 14 ... (3)
(In the formula (3), L 1 is -O-, -CO-, -COO- * 1 , -OCO- * 1 , -NR 15- , -NR 15 -CO- * 1 , -CO-NR 15 -* 1 , an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms, -OR 16- * 1 or -R 16 -O- * 1 (however, R 15 is a hydrogen atom or a monovalent group having 1 to 10 carbon atoms. It is a hydrocarbon group, R 16 is an alkanediyl group having 1 to 3 carbon atoms. “* 1 ” indicates that it is a bond with R 11. ). R 11 and R 13 are Each is independently a single bond, a phenylene group or a cycloalkylene group, and R 12 is a single bond, a phenylene group, a cycloalkylene group, -R 17 -B 1- * 2 , or -B 1 -R 17- * 2 . (However, R 17 is a phenylene group or a cycloalkylene group, B 1 is -COO- * 3 , -OCO- * 3 , or an alkanediyl group having 1 to 3 carbon atoms. "* 2 " is R. It indicates that it is a bond with 13 and "* 3 " indicates that it is a bond with R 17 ). R 14 is a hydrogen atom, a fluorine atom, and an alkyl having 1 to 18 carbon atoms. A group, a fluoroalkyl group having 1 to 18 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 18 carbon atoms, a fluoroalkoxy group having 1 to 18 carbon atoms, or a hydrocarbon group having a steroid skeleton and having 17 to 51 carbon atoms, which is radically polymerized. It may have a sex group or a photoinitiator group. However, when R 14 is a hydrogen atom, a fluorine atom or a group having 1 to 3 carbon atoms, all of R 11 , R 12 and R 13 are single-bonded. It does not become. "*" Indicates that it is a bond.)

上記式(3)において、L、Bのアルカンジイル基、並びにR14のアルキル基、フルオロアルキル基、アルコキシ基及びフルオロアルコキシ基は、直鎖状であることが好ましい。R14のステロイド骨格を有する基としては、例えばコレスタニル基、コレステリル基、ラノスタニル基等が挙げられる。R11、R12、R13及びR17のフェニレン基は1,4-フェニレン基が好ましく、シクロアルキレン基は1,4-シクロヘキシレン基が好ましい。R11及びR13は、これらのうち少なくとも1個がフェニレン基又はシクロアルキレン基であることが好ましい。R12は、フェニレン基、シクロアルキレン基、-R17-B-*、又は-B-R17-*であることが好ましい。上記式(3)で表される部分構造を有する重合体の主骨格は特に限定されないが、[P]重合体であることが好ましい。
重合体中における上記式(3)で表される部分構造の含有割合は、重合体の主鎖に応じて適宜設定されるが、液晶の応答速度を十分に速くする観点から、重合体の全モノマー単位に対して1~50モル%とすることが好ましく、2~40モル%とすることがより好ましい。
In the above formula (3), the alkanediyl group of L 1 and B 1 and the alkyl group, fluoroalkyl group, alkoxy group and fluoroalkoxy group of R 14 are preferably linear. Examples of the group having a steroid skeleton of R14 include a cholestanyl group, a cholesteryl group, a lanostannyl group and the like. The phenylene group of R 11 , R 12 , R 13 and R 17 is preferably a 1,4-phenylene group, and the cycloalkylene group is preferably a 1,4-cyclohexylene group. It is preferable that at least one of R 11 and R 13 is a phenylene group or a cycloalkylene group. R 12 is preferably a phenylene group, a cycloalkylene group, -R 17 -B 1- * 2 , or -B 1 -R 17- * 2 . The main skeleton of the polymer having the partial structure represented by the above formula (3) is not particularly limited, but is preferably a [P] polymer.
The content ratio of the partial structure represented by the above formula (3) in the polymer is appropriately set according to the main chain of the polymer, but from the viewpoint of sufficiently increasing the response speed of the liquid crystal, the entire polymer. It is preferably 1 to 50 mol% and more preferably 2 to 40 mol% with respect to the monomer unit.

また、残像が生じにくく、かつ液晶の応答速度が速い液晶素子を得ることができる点で、液晶配向剤は、重合体成分として、ラジカル重合性基、光開始剤基、ラジカル重合禁止剤基、窒素含有複素環(ただし、ポリイミドが有するイミド環を除く。)、アミノ基、及び保護されたアミノ基よりなる群から選ばれる少なくとも一種(以下、「特定部分構造」ともいう。)を有する重合体を含有していることが好ましい。 Further, in that a liquid crystal element that does not easily generate an afterimage and has a fast response speed of the liquid crystal can be obtained, the liquid crystal alignment agent has, as a polymer component, a radical polymerizable group, a photoinitiator group, a radical polymerization prohibiting agent group, and the like. A polymer having at least one selected from the group consisting of a nitrogen-containing heterocycle (excluding the imide ring of polyimide), an amino group, and a protected amino group (hereinafter, also referred to as "specific partial structure"). Is preferably contained.

ラジカル重合性基としては、例えば(メタ)アクリロイル基、ビニル基、アリル基、ビニルフェニル基、マレイミド基、ビニルオキシ基、エチニル基等が挙げられる。これらのうち、反応性が高い点で(メタ)アクリロイル基が特に好ましい。
光開始剤基は、光により重合開始能を生じる部位又は光増感作用を持つ部位であり、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等の放射線の照射により重合性成分の重合を開始可能な化合物(光開始剤)に由来する構造を有する基である。光開始剤基としては、光照射によってラジカルを発生可能なラジカル重合開始剤に由来する構造を有する基であることが好ましい。具体的には、例えばアセトフェノン系化合物、オキシムエステル系化合物、ジベンゾイル系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、アルキルフェノン系化合物、又はアシルフォスフィンオキサイド系化合物に由来する構造を有する基などが挙げられる。光開始剤基は、これらの中でも、アセトフェノン構造を有する基であることが好ましい。重合体がラジカル重合性基及び光開始剤基の少なくともいずれかを有する場合、これらの基を側鎖に有していることが好ましい。
ラジカル重合禁止剤基は、紫外線や熱などのエネルギーがきっかけとなって発生したペルオキシラジカルやヒドロペルオキシドを無効化する過酸化物分解剤、又は重合途中のラジカル性中間体を補足して重合反応の進行を抑制するラジカル捕捉剤として機能する。こうした重合禁止剤基を有する重合体を液晶配向膜中に含有させることにより、PSAモードにおいて液晶層中に混入させた光重合性化合物が光照射により反応することを抑制することができる。重合禁止剤基は、ヒンダードアミン構造、ヒンダードフェノール構造及びアニリン構造よりなる群から選ばれる少なくとも一種を有する基であることが好ましい。
Examples of the radically polymerizable group include (meth) acryloyl group, vinyl group, allyl group, vinylphenyl group, maleimide group, vinyloxy group, ethynyl group and the like. Of these, the (meth) acryloyl group is particularly preferable because of its high reactivity.
The photoinitiator group is a site where the polymerization initiation ability is generated by light or a site having a photosensitizing effect, and the polymerization of the polymerizable component is carried out by irradiation with radiation such as visible light, ultraviolet rays, far ultraviolet rays, electron beams, and X-rays. It is a group having a structure derived from an initiating compound (photoinitiator). The photoinitiator group is preferably a group having a structure derived from a radical polymerization initiator capable of generating radicals by light irradiation. Specific examples thereof include a group having a structure derived from an acetophenone-based compound, an oxime ester-based compound, a dibenzoyl-based compound, a benzoin-based compound, a benzophenone-based compound, an alkylphenone-based compound, and an acylphosphine oxide-based compound. .. Among these, the photoinitiator group is preferably a group having an acetophenone structure. When the polymer has at least one of a radically polymerizable group and a photoinitiator group, it is preferable to have these groups in the side chain.
The radical polymerization inhibitor group supplements a peroxide decomposition agent that invalidates peroxy radicals and hydroperoxides generated by energy such as ultraviolet rays and heat, or a radical intermediate during polymerization to carry out the polymerization reaction. It functions as a radical trapping agent that suppresses the progress. By including the polymer having such a polymerization inhibitor group in the liquid crystal alignment film, it is possible to suppress the reaction of the photopolymerizable compound mixed in the liquid crystal layer in the liquid crystal layer by light irradiation in the PSA mode. The polymerization inhibitor group is preferably a group having at least one selected from the group consisting of a hindered amine structure, a hindered phenol structure and an aniline structure.

上記窒素含有複素環としては、例えばピロール、イミダゾール、ピラゾール、トリアゾール、ピリジン、ピリミジン、ピリダジン、ピラジン、インドール、ベンゾイミダゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、ナフチリジン、キノキサリン、フタラジン、トリアジン、カルバゾール、アクリジン、ピペリジン、ピペラジン、ピロリジン、ヘキサメチレンイミン等が挙げられる。中でも、ピリジン、ピリミジン、ピラジン、ピペリジン、ピペラジン、キノリン、カルバゾール及びアクリジンよりなる群から選ばれる少なくとも一種を有することが好ましい。 Examples of the nitrogen-containing heterocycle include pyrrol, imidazole, pyrazole, triazole, pyridine, pyrimidine, pyridazine, pyrazine, indole, benzoimidazole, purine, quinoline, isoquinoline, naphthylidine, quinoxaline, phthalazine, triazine, carbazole, aclysine and piperazine. Examples thereof include piperazine, pyrrolidine, hexamethyleneimine and the like. Among them, it is preferable to have at least one selected from the group consisting of pyridine, pyrimidine, pyrazine, piperidine, piperazine, quinoline, carbazole and acridine.

上記アミノ基及び保護されたアミノ基は、下記式(N-1)で表される基であることが好ましい。

Figure 0007074142000004
(式(N-1)中、R50は、水素原子又は1価の有機基である。「*」は炭化水素基に結合する結合手である。)The amino group and the protected amino group are preferably groups represented by the following formula (N-1).
Figure 0007074142000004
( In formula (N-1), R50 is a hydrogen atom or a monovalent organic group. “*” Is a bond that binds to a hydrocarbon group.)

上記式(N-1)において、R50の1価の有機基は、1価の炭化水素基又は保護基であることが好ましい。1価の炭化水素基は炭素数1~10が好ましく、具体的には、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等の直鎖状又は分岐状のアルキル基;シクロヘキシル基等のシクロアルキル基;フェニル基、メチルフェニル等のアリール基;ベンジル基等のアラルキル基等が挙げられる。R50が有していてもよい置換基としては、例えばハロゲン原子、シアノ基、アルキルシリル基、アルコキシシリル基等が挙げられる。R50は、好ましくは炭素数1~5のアルキル基、シクロヘキシル基、フェニル基又はベンジル基である。上記式(N-1)中の「*」が結合する炭化水素基としては、例えばアルカンジイル基、シクロへキシレン基、フェニレン基等が挙げられる。 In the above formula (N-1), the monovalent organic group of R50 is preferably a monovalent hydrocarbon group or a protecting group. The monovalent hydrocarbon group preferably has 1 to 10 carbon atoms, and specifically, for example, a linear or branched alkyl group such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group or a butyl group; a cycloalkyl group such as a cyclohexyl group. Group; aryl group such as phenyl group and methylphenyl; aralkyl group such as benzyl group and the like. Examples of the substituent that R 50 may have include a halogen atom, a cyano group, an alkylsilyl group, an alkoxysilyl group and the like. R50 is preferably an alkyl group, a cyclohexyl group, a phenyl group or a benzyl group having 1 to 5 carbon atoms. Examples of the hydrocarbon group to which the "*" in the above formula (N-1) is bonded include an alkanediyl group, a cyclohexylene group, a phenylene group and the like.

保護基は、熱により脱離する基であることが好ましく、例えばカルバメート系保護基、アミド系保護基、イミド系保護基、スルホンアミド系保護基、下記式(8-1)~式(8-5)のそれぞれで表される基などが挙げられる。中でも、熱による脱離性が高い点や、脱保護した部分の膜中での残存量を少なくする点で、tert-ブトキシカルボニル基が好ましい。

Figure 0007074142000005
(式(8-1)~式(8-5)中、Ar11は、置換又は無置換の芳香環から1個の水素原子を取り除いた炭素数6~10の1価の基であり、R61は炭素数1~12のアルキル基であり、R62はメチレン基又はエチレン基である。「*」は窒素原子に結合する結合手を示す。)The protecting group is preferably a group that is desorbed by heat, and for example, a carbamate-based protecting group, an amide-based protecting group, an imide-based protecting group, a sulfonamide-based protecting group, the following formulas (8-1) to (8-). Examples include the groups represented by each of 5). Of these, the tert-butoxycarbonyl group is preferable in that it has high heat-removability and reduces the residual amount in the membrane of the deprotected portion.
Figure 0007074142000005
(In formulas (8-1) to (8-5), Ar 11 is a monovalent group having 6 to 10 carbon atoms obtained by removing one hydrogen atom from a substituted or unsubstituted aromatic ring, and R 61 is an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, R 62 is a methylene group or an ethylene group. “*” Indicates a bond bond to a nitrogen atom.)

上記特定部分構造を有する重合体の主骨格は特に限定されないが、[P]重合体であることが好ましく、[p]重合体であることがより好ましい。重合体中における上記特定部分構造の含有割合(2種以上含有する場合にはその合計量)は、重合体の全モノマー単位に対して5モル%とすることが好ましく、10~80モル%とすることがより好ましい。 The main skeleton of the polymer having the specific partial structure is not particularly limited, but it is preferably a [P] polymer, and more preferably a [p] polymer. The content ratio of the specific partial structure in the polymer (the total amount when two or more kinds are contained) is preferably 5 mol% with respect to all the monomer units of the polymer, and is preferably 10 to 80 mol%. It is more preferable to do so.

(溶剤)
液晶配向剤は、溶剤成分として、下記に示す溶剤群([A]溶剤と[B]溶剤とからなる群)から選ばれる少なくとも一種である特定溶剤を含有する。
溶剤群:
[A]溶剤:下記式(1)で表される化合物、下記式(2)で表される化合物、N,N,2-トリメチルプロピオンアミド、及び1,3-ジメチル-2-イミダゾリジノン。
[B]溶剤:ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、4-メトキシ-4-メチル-2-ペンタノン、4-ヒドロキシ-2-ブタノン、2-メチル-2-ヘキサノール、2,6-ジメチル-4-ヘプタノール、ジイソブチルケトン、プロピレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジイソペンチルエーテル、ダイアセトンアルコール、及びプロピレングリコールモノブチルエーテル。

Figure 0007074142000006
(式(1)中、Rは、炭素数2~5の1価の炭化水素基、又は当該炭化水素基における炭素-炭素結合間に「-O-」を有する1価の基である。)
Figure 0007074142000007
(式(2)中、R及びRは、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1~6の1価の炭化水素基、又は当該炭化水素基の炭素-炭素結合間に「-O-」を有する1価の基であり、RとRとが互いに結合して環構造を形成してもよい。Rは、炭素数1~6のアルキル基である。)(solvent)
The liquid crystal alignment agent contains, as a solvent component, at least one specific solvent selected from the solvent group shown below (a group consisting of [A] solvent and [B] solvent).
Solvent group:
[A] Solvent: A compound represented by the following formula (1), a compound represented by the following formula (2), N, N, 2-trimethylpropionamide, and 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone.
[B] Solvent: Dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, 4-methoxy-4-methyl-2-pentanone, 4-hydroxy-2-butanone, 2-methyl-2-hexanol, 2 , 6-Dimethyl-4-heptanol, diisobutylketone, propylene glycol diacetate, diethylene glycol diethyl ether, diisopentyl ether, diacetone alcohol, and propylene glycol monobutyl ether.
Figure 0007074142000006
(In the formula (1), R 1 is a monovalent hydrocarbon group having 2 to 5 carbon atoms or a monovalent group having "-O-" between carbon-carbon bonds in the hydrocarbon group. )
Figure 0007074142000007
(In the formula (2), R 2 and R 3 are independently each of a hydrogen atom, a monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, or "-O-" between carbon-carbon bonds of the hydrocarbon group. , And R 2 and R 3 may be bonded to each other to form a ring structure. R 4 is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.)

・[A]溶剤について
(式(1)で表される化合物)
上記式(1)で表される化合物について、Rの炭素数2~5の1価の炭化水素基は鎖状炭化水素基であることが好ましく、例えば炭素数2~5のアルキル基、アルケニル基、アルキニル基が挙げられる。また、当該炭化水素基における炭素-炭素結合間に「-O-」を有する1価の基としては、例えば炭素数2~5のアルコキシアルキル基が挙げられる。
これらの具体例としては、炭素数2~5のアルキル基として、例えばエチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基などを;炭素数2~5のアルケニル基として、例えばビニル基、1-プロペニル基、2-プロペニル基、3-ブテニル基などを;炭素数2~5のアルキニル基として、例えばエチニル基、2-プロピニル基、2-ブチニル基などを;炭素数2~5のアルコキシアルキル基として、例えばメトキシメチル基、メトキシエチル基、メトキシプロピル基、メトキシブチル基、エトキシメチル基、エトキシエチル基などを、それぞれ挙げることができ、これらは直鎖状であっても分岐状であってもよい。Rとしては、上記の中でも炭素数2~5のアルキル基又はアルコキシアルキル基であることが好ましい。
-[A] Solvent (compound represented by formula (1))
Regarding the compound represented by the above formula (1), the monovalent hydrocarbon group having 2 to 5 carbon atoms of R1 is preferably a chain hydrocarbon group, for example, an alkyl group having 2 to 5 carbon atoms and an alkenyl. Examples include a group and an alkynyl group. Further, examples of the monovalent group having "-O-" between carbon-carbon bonds in the hydrocarbon group include an alkoxyalkyl group having 2 to 5 carbon atoms.
Specific examples of these include an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group and the like as an alkyl group having 2 to 5 carbon atoms; and an alkenyl group having 2 to 5 carbon atoms, for example, a vinyl group and a 1-propenyl group. , 2-Propenyl group, 3-butenyl group, etc .; as an alkynyl group having 2 to 5 carbon atoms, for example, an ethynyl group, 2-propynyl group, 2-butynyl group, etc .; as an alkoxyalkyl group having 2 to 5 carbon atoms. For example, a methoxymethyl group, a methoxyethyl group, a methoxypropyl group, a methoxybutyl group, an ethoxymethyl group, an ethoxyethyl group and the like can be mentioned, respectively, and these may be linear or branched. Among the above, R 1 is preferably an alkyl group having 2 to 5 carbon atoms or an alkoxyalkyl group.

上記式(1)で表される化合物の具体例としては、例えばN-エチル-2-ピロリドン、N-(n-プロピル)-2-ピロリドン、N-イソプロピル-2-ピロリドン、N-(n-ブチル)-2-ピロリドン、N-(t-ブチル)-2-ピロリドン、N-(n-ペンチル)-2-ピロリドン、N-メトキシプロピル-2-ピロリドン、N-エトキシエチル-2-ピロリドン、N-メトキシブチル-2-ピロリドンなどが挙げられる。これらの中でも、N-エチル-2-ピロリドン、N-(n-ペンチル)-2-ピロリドン、N-(t-ブチル)-2-ピロリドン、N-メトキシプロピル-2-ピロリドンを特に好ましく使用することができる。なお、上記式(1)で表される化合物は、これら例示の化合物を1種単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。 Specific examples of the compound represented by the above formula (1) include N-ethyl-2-pyrrolidone, N- (n-propyl) -2-pyrrolidone, N-isopropyl-2-pyrrolidone, and N- (n-). Butyl) -2-pyrrolidone, N- (t-butyl) -2-pyrrolidone, N- (n-pentyl) -2-pyrrolidone, N-methoxypropyl-2-pyrrolidone, N-ethoxyethyl-2-pyrrolidone, N -Methoxybutyl-2-pyrrolidone and the like can be mentioned. Among these, N-ethyl-2-pyrrolidone, N- (n-pentyl) -2-pyrrolidone, N- (t-butyl) -2-pyrrolidone, and N-methoxypropyl-2-pyrrolidone are particularly preferably used. Can be done. As the compound represented by the above formula (1), these exemplified compounds can be used alone or in combination of two or more.

(式(2)で表される化合物)
上記式(2)で表される化合物について、R及びRの炭素数1~6の1価の炭化水素基としては、例えば炭素数1~6の鎖状炭化水素基、炭素数3~6の脂環式炭化水素基、炭素数5又は6の芳香族炭化水素基などが挙げられる。また、当該炭化水素基の炭素-炭素結合間に「-O-」を有する1価の基としては、例えば炭素数2~6のアルコキシアルキル基等が挙げられる。
これらの具体例としては、炭素数1~6の鎖状炭化水素基として、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基などを挙げることができ、これらは直鎖状であっても分岐状であってもよい。また、炭素数3~6の脂環式炭化水素基としては、例えばシクロペンチル基、シクロヘキシル基等を;芳香族炭化水素基としては、例えばフェニル基等を;炭素数2~6のアルコキシアルキル基としては、例えばRで挙げたアルコキシアルキル基等を;それぞれ挙げることができる。なお、式(2)におけるR及びRは互いに同じでも異なっていてもよい。また、R及びRは、互いに結合することにより、R及びRが結合する窒素原子と共に環を形成してもよい。R,Rが互いに結合して形成される環としては、例えばピロリジン環、ピペリジン環等を挙げることができ、これらの環にはメチル基等の1価の鎖状炭化水素基が結合されていてもよい。
及びRとして好ましくは、水素原子又は炭素数1~6のアルキル基であり、より好ましくは、水素原子又は炭素数1~3のアルキル基であり、更に好ましくは水素原子又はメチル基である。
の炭素数1~6のアルキル基としては、上記R及びRの炭素数1~6のアルキル基の説明で例示した基を挙げることができる。好ましくは、炭素数1~4のアルキル基であり、より好ましくはメチル基又はエチル基である。
(Compound represented by the formula (2))
Regarding the compound represented by the above formula (2), examples of the monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms of R 2 and R 3 include a chain hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms and 3 to 6 carbon atoms. Examples thereof include an alicyclic hydrocarbon group of 6 and an aromatic hydrocarbon group having 5 or 6 carbon atoms. Further, examples of the monovalent group having "-O-" between the carbon-carbon bonds of the hydrocarbon group include an alkoxyalkyl group having 2 to 6 carbon atoms.
Specific examples of these include, for example, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, a hexyl group and the like as a chain hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, and these are linear. It may be branched or branched. Further, as the alicyclic hydrocarbon group having 3 to 6 carbon atoms, for example, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group or the like; as an aromatic hydrocarbon group, for example, a phenyl group or the like; as an alkoxyalkyl group having 2 to 6 carbon atoms. Can, for example, list the alkoxyalkyl groups mentioned in R 1 ; respectively. In addition, R 2 and R 3 in the formula (2) may be the same or different from each other. Further, R 2 and R 3 may form a ring together with the nitrogen atom to which R 2 and R 3 are bonded by binding to each other. Examples of the ring formed by bonding R 2 and R 3 to each other include a pyrrolidine ring and a piperidine ring, and a monovalent chain hydrocarbon group such as a methyl group is bonded to these rings. May be.
R 2 and R 3 are preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, more preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, and further preferably a hydrogen atom or a methyl group. be.
Examples of the alkyl group having 1 to 6 carbon atoms of R 4 include the groups exemplified in the above description of the alkyl groups having 1 to 6 carbon atoms of R 2 and R 3 . It is preferably an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and more preferably a methyl group or an ethyl group.

上記式(2)で表される化合物の具体例としては、例えば3-ブトキシ-N,N-ジメチルプロパンアミド、3-メトキシ-N,N-ジメチルプロパンアミド、3-ヘキシルオキシ-N,N-ジメチルプロパンアミド、イソプロポキシ-N-イソプロピル-プロピオンアミド、n-ブトキシ-N-イソプロピル-プロピオンアミドなどが挙げられる。なお、上記式(2)で表される化合物は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。 Specific examples of the compound represented by the above formula (2) include, for example, 3-butoxy-N, N-dimethylpropanamide, 3-methoxy-N, N-dimethylpropaneamide, 3-hexyloxy-N, N-. Examples thereof include dimethylpropaneamide, isopropoxy-N-isopropyl-propionamide, n-butoxy-N-isopropyl-propionamide and the like. The compound represented by the above formula (2) can be used alone or in combination of two or more.

[A]溶剤としては、層間絶縁膜21に及ぼす影響をより小さくできる点で、中でも上記式(1)で表される化合物、上記式(2)で表される化合物及び1,3-ジメチル-2-イミダゾリジノンよりなる群から選ばれる少なくとも一種であることが好ましく、上記式(1)で表される化合物においてRが炭素数2~5のアルキル基又はアルコキシアルキル基である化合物、3-メトキシ-N,N-ジメチルプロパンアミド及び1,3-ジメチル-2-イミダゾリジノンよりなる群から選ばれる少なくとも一種であることがより好ましく、N-エチル-2-ピロリドン、N-(n-ペンチル)-2-ピロリドン、N-(t-ブチル)-2-ピロリドン、N-メトキシプロピル-2-ピロリドン、3-メトキシ-N,N-ジメチルプロパンアミド及び1,3-ジメチル-2-イミダゾリジノンよりなる群から選ばれる少なくとも一種であることが特に好ましい。[A] As the solvent, the compound represented by the above formula (1), the compound represented by the above formula (2) and 1,3-dimethyl-are particularly small in that the influence on the interlayer insulating film 21 can be made smaller. It is preferable that the compound is at least one selected from the group consisting of 2-imidazolidinone, and in the compound represented by the above formula (1), R 1 is an alkyl group having 2 to 5 carbon atoms or an alkoxyalkyl group, 3. More preferably, it is at least one selected from the group consisting of -methoxy-N, N-dimethylpropanamide and 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone, and N-ethyl-2-pyrrolidone, N- (n-). Pentyl) -2-pyrrolidone, N- (t-butyl) -2-pyrrolidone, N-methoxypropyl-2-pyrrolidone, 3-methoxy-N, N-dimethylpropanamide and 1,3-dimethyl-2-imidazolidi It is particularly preferable that it is at least one selected from the group consisting of non.

[B]溶剤としては、層間絶縁膜21に及ぼす影響をより小さくできる点で、上記のうち、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジイソペンチルエーテル、ダイアセトンアルコール、及びプロピレングリコールモノブチルエーテルよりなる群から選ばれる少なくとも一種であることが好ましい。 [B] As the solvent, among the above, dipropylene glycol monomethyl ether, propylene glycol diacetate, diethylene glycol diethyl ether, diisopentyl ether, diacetone alcohol, and It is preferably at least one selected from the group consisting of propylene glycol monobutyl ether.

溶剤成分としては、特定溶剤のみを用いてもよいが、特定溶剤以外のその他の溶剤を併用してもよい。かかるその他の溶剤としては、重合体の溶解性及びレベリング性が高い溶剤(以下、「第1溶剤」ともいう。)、及び濡れ広がり性が良好な溶剤(以下、「第2溶剤」ともいう。)が挙げられる。
これらの具体例としては、第1溶剤として、例えばN-メチル-2-ピロリドン、γ-ブチロラクトン、γ-ブチロラクタム、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、4-ヒドロキシ-4-メチル-2-ペンタノン、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等を;
第2溶剤として、例えばエチレングリコールモノメチルエーテル、乳酸ブチル、酢酸ブチル、メチルメトキシプロピオネ-ト、エチルエトキシプロピオネ-ト、エチレングリコールメチルエーテル、エチレングリコールエチルエーテル、エチレングリコール-n-プロピルエーテル、エチレングリコール-i-プロピルエーテル、エチレングリコール-n-ブチルエーテル(ブチルセロソルブ)、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジエチルエーテルアセテート、イソアミルプロピオネート、イソアミルイソブチレート等を、それぞれ挙げることができる。なお、その他の溶剤としては、上記のうちの1種を単独で使用してもよく、2種以上を混合して使用してもよい。
As the solvent component, only the specific solvent may be used, but other solvents other than the specific solvent may be used in combination. As such other solvents, a solvent having high solubility and leveling property of the polymer (hereinafter, also referred to as “first solvent”) and a solvent having good wettability and spreading property (hereinafter, also referred to as “second solvent”). ).
Specific examples of these include, as a first solvent, for example, N-methyl-2-pyrrolidone, γ-butyrolactone, γ-butyrolactam, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, 4-hydroxy-4-methyl. -2-Pentanone, ethylene carbonate, propylene carbonate, etc.;
As the second solvent, for example, ethylene glycol monomethyl ether, butyl lactate, butyl acetate, methyl methoxypropionate, ethyl ethoxypropionate, ethylene glycol methyl ether, ethylene glycol ethyl ether, ethylene glycol-n-propyl ether, ethylene Glycol-i-propyl ether, ethylene glycol-n-butyl ether (butyl cellosolve), ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol ethyl ether acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol diethyl ether acetate, Isoamylpropionate, isoamylisobutyrate and the like can be mentioned respectively. As the other solvent, one of the above may be used alone, or two or more of them may be mixed and used.

液晶配向剤の調製に際し、特定溶剤としては、[A]溶剤及び[B]溶剤のいずれかのみを使用してもよいが、液晶配向膜を形成する際に液晶配向剤と層間絶縁膜21とが接触された状態において層間絶縁膜21に与える影響を抑制できるとともに、層間絶縁膜21からの不純物成分の溶出を抑制できる効果が高い点で、[A]溶剤の少なくとも一種と、[B]溶剤の少なくとも一種とが含有されていることが好ましい。 When preparing the liquid crystal alignment agent, only one of [A] solvent and [B] solvent may be used as the specific solvent, but when forming the liquid crystal alignment film, the liquid crystal alignment agent and the interlayer insulating film 21 are used. At least one of the [A] solvent and the [B] solvent are highly effective in suppressing the influence on the interlayer insulating film 21 in the state of being in contact with the interlayer insulating film 21 and suppressing the elution of impurity components from the interlayer insulating film 21. It is preferable that at least one of the above is contained.

[A]溶剤の使用割合(2種以上使用する場合にはその合計量)は、層間絶縁膜21に与える影響の抑制効果と層間絶縁膜21からの不純物成分の溶出の抑制効果とを十分に得つつ、重合体成分の析出を抑制する観点から、液晶配向剤に含まれる溶剤の全体量に対して、10質量%以上とすることが好ましく、20質量%以上とすることがより好ましい。また、その使用割合の上限は、[B]溶剤による塗布性の改善効果を得る観点から、液晶配向剤に含まれる溶剤の全体量に対して、90質量%以下とすることが好ましく、80質量%以下とすることがより好ましい。なお、[A]溶剤は1種を単独で使用してもよく、又は2種以上を組み合わせて使用してもよい。 [A] The ratio of the solvent used (the total amount when two or more kinds are used) sufficiently satisfies the effect of suppressing the influence on the interlayer insulating film 21 and the effect of suppressing the elution of the impurity component from the interlayer insulating film 21. From the viewpoint of suppressing the precipitation of the polymer component while obtaining the polymer component, the amount is preferably 10% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, based on the total amount of the solvent contained in the liquid crystal aligning agent. Further, the upper limit of the usage ratio is preferably 90% by mass or less, preferably 80% by mass, based on the total amount of the solvent contained in the liquid crystal alignment agent, from the viewpoint of obtaining the effect of improving the coatability by the solvent [B]. % Or less is more preferable. The solvent [A] may be used alone or in combination of two or more.

[B]溶剤の使用割合(2種以上使用する場合にはその合計量)は、層間絶縁膜21に与える影響及び層間絶縁膜21からの不純物成分の溶出を抑制するとともに液晶配向剤の塗布性を良好にする観点から、液晶配向剤に含まれる溶剤の全体量に対して、10質量%以上とすることが好ましく、20質量%以上とすることがより好ましい。また、その使用割合の上限は、液晶配向剤に含まれる溶剤の全体量に対して、80質量%以下とすることが好ましく、70質量%以下とすることがより好ましい。なお、[B]溶剤は1種を単独で使用してもよく、又は2種以上を組み合わせて使用してもよい。 [B] The ratio of the solvent used (the total amount when two or more kinds are used) suppresses the influence on the interlayer insulating film 21 and the elution of impurity components from the interlayer insulating film 21, and the coatability of the liquid crystal alignment agent. From the viewpoint of improving the above, the amount is preferably 10% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, based on the total amount of the solvent contained in the liquid crystal alignment agent. The upper limit of the usage ratio is preferably 80% by mass or less, more preferably 70% by mass or less, based on the total amount of the solvent contained in the liquid crystal alignment agent. The solvent [B] may be used alone or in combination of two or more.

特定溶剤の使用割合(2種以上使用する場合にはその合計量)は、層間絶縁膜21に与える影響を抑制する効果及び層間絶縁膜21からの不純物成分の溶出を低減させる効果を十分に得る観点から、液晶配向剤に含まれる溶剤の全体量に対して、50質量%以上とすることが好ましく、70質量%以上とすることがより好ましく、90質量%以上とすることがさらに好ましく、95質量%以上とすることが特に好ましい。 The ratio of the specific solvent used (the total amount when two or more kinds are used) sufficiently obtains the effect of suppressing the influence on the interlayer insulating film 21 and the effect of reducing the elution of impurity components from the interlayer insulating film 21. From the viewpoint, it is preferably 50% by mass or more, more preferably 70% by mass or more, still more preferably 90% by mass or more, and 95% by mass, based on the total amount of the solvent contained in the liquid crystal aligning agent. It is particularly preferable that the mass is 70% or more.

また、[A]溶剤と[B]溶剤とその他の溶剤とを使用する場合、その他の溶剤の使用割合(2種以上使用する場合にはその合計量)は、本開示の効果を十分に得る観点から、液晶配向剤に含まれる溶剤の全体量に対して、50質量%以下とすることが好ましく、30質量%以下とすることがより好ましく、10質量%以下とすることがより好ましく、5質量%以下とすることが特に好ましい。
液晶配向剤は、溶剤成分が[A]溶剤と[B]溶剤とからなることが特に好ましい。ただし、本明細書において「溶剤成分が[A]溶剤と[B]溶剤とからなる」とは、[A]溶剤及び[B]溶剤以外のその他の溶剤を、本開示の効果の妨げにならない程度に含有することを許容するものである。
Further, when the [A] solvent, the [B] solvent and the other solvent are used, the ratio of the other solvent used (the total amount when two or more kinds are used) sufficiently obtains the effect of the present disclosure. From the viewpoint, it is preferably 50% by mass or less, more preferably 30% by mass or less, and more preferably 10% by mass or less with respect to the total amount of the solvent contained in the liquid crystal aligning agent. It is particularly preferable that the content is% by mass or less.
It is particularly preferable that the liquid crystal alignment agent has a solvent component of [A] solvent and [B] solvent. However, in the present specification, "the solvent component is composed of [A] solvent and [B] solvent" does not mean that the [A] solvent and other solvents other than the [B] solvent do not interfere with the effect of the present disclosure. It is permissible to contain it to a certain extent.

液晶配向剤は、重合体成分及び溶剤成分のほか、必要に応じてその他の成分を含有していてもよい。その他の成分としては、例えば、酸化防止剤、金属キレート化合物、硬化促進剤、界面活性剤、充填剤、分散剤、光増感剤等が挙げられる。その他の成分の配合割合は、本開示の効果を損なわない範囲で、各化合物に応じて適宜選択することができる。 The liquid crystal alignment agent may contain other components in addition to the polymer component and the solvent component, if necessary. Examples of other components include antioxidants, metal chelate compounds, curing accelerators, surfactants, fillers, dispersants, photosensitizers and the like. The blending ratio of the other components can be appropriately selected according to each compound as long as the effects of the present disclosure are not impaired.

液晶配向剤における固形分濃度(液晶配向剤の溶媒以外の成分の合計質量が液晶配向剤の全質量に占める割合)は、粘性、揮発性などを考慮して適宜に選択されるが、好ましくは1~10質量%の範囲である。固形分濃度が1質量%未満である場合には、塗膜の膜厚が過小となって良好な液晶配向膜が得られにくくなる。一方、固形分濃度が10質量%を超える場合には、塗膜の膜厚が過大となって良好な液晶配向膜が得られにくく、また、液晶配向剤の粘性が増大して塗布性が低下する傾向にある。 The solid content concentration in the liquid crystal alignment agent (the ratio of the total mass of the components other than the solvent of the liquid crystal alignment agent to the total mass of the liquid crystal alignment agent) is appropriately selected in consideration of viscosity, volatility, etc., but is preferable. It is in the range of 1 to 10% by mass. When the solid content concentration is less than 1% by mass, the film thickness of the coating film becomes too small and it becomes difficult to obtain a good liquid crystal alignment film. On the other hand, when the solid content concentration exceeds 10% by mass, the film thickness of the coating film becomes excessive and it is difficult to obtain a good liquid crystal alignment film, and the viscosity of the liquid crystal alignment agent increases and the coatability deteriorates. Tend to do.

<感放射線性樹脂組成物>
次に、層間絶縁膜21を形成するために用いる感放射線性樹脂組成物について詳しく説明する。この感放射線性樹脂組成物は、[Q]重合体と[R]感光剤とを含有する。
<Radiation-sensitive resin composition>
Next, the radiation-sensitive resin composition used for forming the interlayer insulating film 21 will be described in detail. This radiation-sensitive resin composition contains a [Q] polymer and an [R] photosensitive agent.

([Q]重合体)
[Q]重合体は、重合性基を有する構成単位を有していることが好ましい。[Q]重合体が有する重合性基は、オキセタニル基、オキシラニル基、(メタ)アクリロイル基、及びビニル基よりなる群から選ばれる少なくとも一種であることが好ましい。このような重合性基を有することで、感放射線性樹脂組成物の硬化を容易に行うことができ、良好な層間絶縁膜21を得ることができる点で好ましい。
([Q] polymer)
[Q] The polymer preferably has a structural unit having a polymerizable group. [Q] The polymerizable group of the polymer is preferably at least one selected from the group consisting of an oxetanyl group, an oxylanyl group, a (meth) acryloyl group, and a vinyl group. Having such a polymerizable group is preferable in that the radiation-sensitive resin composition can be easily cured and a good interlayer insulating film 21 can be obtained.

[Q]重合体の主骨格は特に限定されないが、(メタ)アクリル系重合体、ポリアミック酸、ポリアミック酸エステル、ポリイミド、及びポリオルガノシロキサンよりなる群から選ばれる少なくとも一種であることが好ましい。これらの中でも、(メタ)アクリル系重合体であることが特に好ましい。なお、(メタ)アクリル系重合体は、(メタ)アクリロイル基を有する単量体に由来する構造単位のみを有していてもよいし、(メタ)アクリロイル基を有する単量体に由来する構造単位と、(メタ)アクリロイル基を有する単量体とは異なるその他の単量体に由来する構造単位とを有していてもよい。(メタ)アクリル系重合体における、その他の単量体に由来する構造単位の含有割合は、好ましくは50モル%以下であり、より好ましくは40モル%以下であり、さらに好ましくは30モル%以下である。 [Q] The main skeleton of the polymer is not particularly limited, but it is preferably at least one selected from the group consisting of (meth) acrylic polymers, polyamic acids, polyamic acid esters, polyimides, and polyorganosiloxanes. Among these, a (meth) acrylic polymer is particularly preferable. The (meth) acrylic polymer may have only a structural unit derived from a monomer having a (meth) acryloyl group, or may have a structure derived from a monomer having a (meth) acryloyl group. It may have a unit and a structural unit derived from another monomer different from the monomer having a (meth) acryloyl group. The content ratio of the structural unit derived from other monomers in the (meth) acrylic polymer is preferably 50 mol% or less, more preferably 40 mol% or less, still more preferably 30 mol% or less. Is.

具体的には、[Q]重合体は、酸性基を有する第1構造単位と、オキセタニル基又はオキシラニル基を有する第2構造単位と、前記第1構造単位及び前記第2構造単位とは異なる主鎖構造を形成する第3構造単位とを有する重合体であることが好ましい。 Specifically, the [Q] polymer has a first structural unit having an acidic group, a second structural unit having an oxetanyl group or an oxylanyl group, and a main structural unit different from the first structural unit and the second structural unit. It is preferably a polymer having a third structural unit forming a chain structure.

第1構造単位が有する酸性基としては、カルボキシ基、スルホ基、フェノール性水酸基、リン酸基、ホスホン酸基、ホスフィン酸基、スルホンアミド基、炭素原子に結合した水素原子が電子求引基に置換されたヒドロキシアルキル基等を挙げることができる。酸性基としては、アルカリ現像性の点から、これらのうち、カルボキシ基、スルホ基、フェノール性水酸基、フッ素含有アルコール性水酸基、リン酸基、ホスホン酸基、ホスフィン酸基又はこれらの組み合わせが好ましく、カルボキシ基又はフェノール性水酸基がより好ましく、カルボキシ基が特に好ましい。 As the acidic group of the first structural unit, a carboxy group, a sulfo group, a phenolic hydroxyl group, a phosphoric acid group, a phosphonic acid group, a phosphinic acid group, a sulfonamide group, and a hydrogen atom bonded to a carbon atom are electron-withdrawing groups. Examples thereof include a substituted hydroxyalkyl group. As the acidic group, among these, a carboxy group, a sulfo group, a phenolic hydroxyl group, a fluorine-containing alcoholic hydroxyl group, a phosphoric acid group, a phosphonic acid group, a phosphinic acid group or a combination thereof is preferable from the viewpoint of alkali developability. A carboxy group or a phenolic hydroxyl group is more preferable, and a carboxy group is particularly preferable.

第1構造単位としては、(メタ)アクリル酸又は不飽和カルボン酸無水物よりなる群から選ばれる少なくとも一種の化合物に由来する構造単位が好ましく、(メタ)アクリル酸及び無水マレイン酸の少なくとも一種が特に好ましい。
[Q]重合体における第1構造単位の含有割合は、[Q]重合体を構成する全構造単位に対して、1~50モル%であることが好ましく、15~30モル%であることがより好ましい。第1構造単位は、1種単独でもよく、又は2種以上を組み合わせてもよい。
As the first structural unit, a structural unit derived from at least one compound selected from the group consisting of (meth) acrylic acid or unsaturated carboxylic acid anhydride is preferable, and at least one of (meth) acrylic acid and maleic anhydride is used. Especially preferable.
The content ratio of the first structural unit in the [Q] polymer is preferably 1 to 50 mol%, preferably 15 to 30 mol%, based on the total structural units constituting the [Q] polymer. More preferred. The first structural unit may be one type alone or a combination of two or more types.

第2構造単位としては、(メタ)アクリル酸グリシジル、(メタ)アクリル酸3,4-エポキシシクロヘキシルメチル、4-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレートグリシジルエーテル、及び3-(メタ)アクリロイルオキシメチル-3-エチルオキセタンよりなる群から選ばれる少なくとも一種の化合物に由来する構造単位が好ましい。
[Q]重合体における第2構造単位の含有割合は、[Q]重合体を構成する全構造単位に対して、1~15モル%であることが好ましく、3~10モル%であることがより好ましい。第2構造単位は、1種単独でもよく、又は2種以上を組み合わせてもよい。
The second structural unit includes glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate glycidyl ether, and 3- (meth) acryloyloxymethyl-3-. Structural units derived from at least one compound selected from the group consisting of ethyloxetane are preferred.
The content ratio of the second structural unit in the [Q] polymer is preferably 1 to 15 mol%, preferably 3 to 10 mol%, based on the total structural units constituting the [Q] polymer. More preferred. The second structural unit may be one type alone or a combination of two or more types.

第3構造単位は、第1構造単位及び第2構造単位とは異なる主鎖構造を形成する単量体に由来する構造単位であれば特に限定されないが、現像密着性及び熱や剥離溶液に対する耐性をより良好にできる点で、スチレン、α-メチルスチレン、4-メチルスチレン、及び4-ヒドロキシスチレンよりなる群から選ばれる少なくとも一種の化合物に由来する構造単位であることが好ましい。
[Q]重合体における第3構造単位の含有割合は、[Q]重合体を構成する全構造単位に対して、25~80モル%であることが好ましく、30~65モル%であることがより好ましい。第3構造単位は、1種単独でもよく、又は2種以上を組み合わせてもよい。
The third structural unit is not particularly limited as long as it is a structural unit derived from a monomer that forms a main chain structure different from the first structural unit and the second structural unit, but is not particularly limited as long as it has development adhesion and resistance to heat and a peeling solution. It is preferable that the structural unit is derived from at least one compound selected from the group consisting of styrene, α-methylstyrene, 4-methylstyrene, and 4-hydroxystyrene in that
The content ratio of the third structural unit in the [Q] polymer is preferably 25 to 80 mol%, preferably 30 to 65 mol%, based on the total structural units constituting the [Q] polymer. More preferred. The third structural unit may be one type alone or a combination of two or more types.

なお、[Q]重合体は、第1構造単位、第2構造単位及び第3構造単位以外のその他の構造単位をさらに有していてもよい。こうした構造単位としては、例えば(メタ)アクリル酸アルキル等が挙げられる。
[Q]重合体は、第1~第3構造単位等を与える単量体を用い、ラジカル重合等の常法に従って合成することができる。合成条件の詳細については、例えば特開2015-92233号公報に記載の各種条件を参照して適宜設定することができる。
The [Q] polymer may further have other structural units other than the first structural unit, the second structural unit, and the third structural unit. Examples of such a structural unit include alkyl (meth) acrylates and the like.
[Q] The polymer can be synthesized according to a conventional method such as radical polymerization using a monomer giving the first to third structural units and the like. The details of the synthesis conditions can be appropriately set with reference to, for example, various conditions described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2015-92233.

([R]感光剤)
[R]感光剤としては、光ラジカル重合開始剤、光酸発生剤及び光塩基発生剤よりなる群から選ばれる少なくとも一種を好ましく用いることができる。
これらの具体例としては、光ラジカル重合開始剤として、例えばO-アシルオキシム化合物、アセトフェノン化合物、ビイミダゾール化合物等を;
光酸発生剤として、例えばオキシムスルホネート化合物、オニウム塩、スルホンイミド化合物、ハロゲン含有化合物、ジアゾメタン化合物、スルホン化合物、スルホン酸エステル化合物、カルボン酸エステル化合物、キノンジアジド化合物等を;
光塩基発生剤として、例えばコバルト等の遷移金属錯体、オルトニトロベンジルカルバメート類、α,α-ジメチル-3,5-ジメトキシベンジルカルバメート類、アシルオキシイミノ類等を、それぞれ挙げることができる。
[R]感光剤の使用割合は、使用する化合物の種類に応じて異なる。例えば、光ラジカル重合開始剤の場合、[Q]重合体100質量部に対して、1~40質量部が好ましく、5~30質量部とすることがより好ましい。
光酸発生剤の使用割合は、[Q]重合体100質量部に対して、0.1~50質量部が好ましく、1~30質量部がより好ましい。
光酸塩基剤の使用割合は、[Q]重合体100質量部に対して、0.1~20質量部が好ましく、1~10質量部であることがより好ましい。
([R] Photosensitizer)
[R] As the photosensitizer, at least one selected from the group consisting of a photoradical polymerization initiator, a photoacid generator and a photobase generator can be preferably used.
Specific examples of these include, for example, O-acyloxime compounds, acetophenone compounds, biimidazole compounds and the like as photoradical polymerization initiators;
As the photoacid generator, for example, an oxime sulfonate compound, an onium salt, a sulfonimide compound, a halogen-containing compound, a diazomethane compound, a sulfone compound, a sulfonic acid ester compound, a carboxylic acid ester compound, a quinonediazide compound and the like;
Examples of the photobase generator include transition metal complexes such as cobalt, orthonitrobenzyl carbamate, α, α-dimethyl-3,5-dimethoxybenzyl carbamate, acyloxyimino and the like.
[R] The proportion of the photosensitive agent used varies depending on the type of the compound used. For example, in the case of a photoradical polymerization initiator, it is preferably 1 to 40 parts by mass, more preferably 5 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the [Q] polymer.
The proportion of the photoacid generator used is preferably 0.1 to 50 parts by mass, more preferably 1 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the [Q] polymer.
The ratio of the photoacid-base agent used is preferably 0.1 to 20 parts by mass, more preferably 1 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the [Q] polymer.

感放射線性樹脂組成物は、上述した[Q]重合体及び[R]感光剤に加え、さらに硬化促進剤、重合性不飽和化合物、界面活性剤、保存安定剤、接着助剤を含有させることができる。これら各任意成分は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。 The radiation-sensitive resin composition contains, in addition to the above-mentioned [Q] polymer and [R] photosensitive agent, a curing accelerator, a polymerizable unsaturated compound, a surfactant, a storage stabilizer, and an adhesive aid. Can be done. Each of these optional components may be used alone or in combination of two or more.

感放射線性樹脂組成物は、[Q]重合体及び[R]感光剤の他、必要に応じて配合されるその他の任意成分を混合することにより調製される。感放射線性樹脂組成物は、好ましくは適当な溶媒に溶解されて溶液状態で用いられる。当該溶媒としては、例えば、アルコール、グリコールエーテル、エチレングリコールアルキルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノアルキルエーテル、ジエチレングリコールジアルキルエーテル、ジプロピレングリコールジアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールアルキルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネート、ケトン、エステル等が挙げられる。
溶媒の含有量は、得られる感放射線性樹脂組成物の塗布性、安定性等の観点から、感放射線性樹脂組成物の溶媒を除いた各成分の合計濃度が、5~50質量%となる量が好ましく、10~40質量%となる量がより好ましい。
The radiation-sensitive resin composition is prepared by mixing the [Q] polymer and the [R] photosensitive agent, as well as other optional components to be blended as necessary. The radiation-sensitive resin composition is preferably dissolved in a suitable solvent and used in a solution state. Examples of the solvent include alcohol, glycol ether, ethylene glycol alkyl ether acetate, diethylene glycol monoalkyl ether, diethylene glycol dialkyl ether, dipropylene glycol dialkyl ether, propylene glycol monoalkyl ether, propylene glycol alkyl ether acetate, and propylene glycol monoalkyl ether. Propylene, ketones, esters and the like can be mentioned.
Regarding the content of the solvent, from the viewpoint of coatability, stability, etc. of the obtained radiation-sensitive resin composition, the total concentration of each component excluding the solvent of the radiation-sensitive resin composition is 5 to 50% by mass. The amount is preferable, and an amount of 10 to 40% by mass is more preferable.

(液晶装置10の製造方法)
液晶装置10は、以下の工程A~工程Eを含む方法によって製造することができる。
工程A:基板上に層間絶縁膜21を形成する工程。
工程B:層間絶縁膜21上に画素電極19を形成する工程。
工程C:画素電極19上に、層間絶縁膜21の一部に接触するように液晶配向膜(第1配向膜32)を形成する工程。
工程D:アレイ基板15と対向基板16とを、光重合性モノマーを含む液晶層を介して対向配置して液晶セルを構築する工程。
工程E:液晶セルに光照射する工程。
(Manufacturing method of liquid crystal device 10)
The liquid crystal display 10 can be manufactured by a method including the following steps A to E.
Step A: A step of forming the interlayer insulating film 21 on the substrate.
Step B: A step of forming the pixel electrode 19 on the interlayer insulating film 21.
Step C: A step of forming a liquid crystal alignment film (first alignment film 32) on the pixel electrode 19 so as to be in contact with a part of the interlayer insulating film 21.
Step D: A step of constructing a liquid crystal cell by arranging the array substrate 15 and the facing substrate 16 so as to face each other via a liquid crystal layer containing a photopolymerizable monomer.
Step E: A step of irradiating the liquid crystal cell with light.

図1及び図2に示す液晶装置10を製造するには、まず、ガラス基板等の透明基板18上に、フォトリソグラフィー法等の公知の方法により薄膜トランジスタ14、走査信号線12、映像信号線13を形成する。続いて、透明基板18のうち薄膜トランジスタ14及び信号線の形成面上に、層間絶縁膜形成用の感放射線性樹脂組成物を塗布し、層間絶縁膜21を形成する(工程A)。 In order to manufacture the liquid crystal apparatus 10 shown in FIGS. 1 and 2, first, a thin film transistor 14, a scanning signal line 12, and a video signal line 13 are formed on a transparent substrate 18 such as a glass substrate by a known method such as a photolithography method. Form. Subsequently, a radiation-sensitive resin composition for forming an interlayer insulating film is applied onto the thin film transistor 14 and the formation surface of the signal line of the transparent substrate 18 to form the interlayer insulating film 21 (step A).

感放射線性樹脂組成物の塗布方法は特に限定されないが、例えばスプレー法、ロールコート法、スピンコート法、スリット塗布法、バー塗布法、インクジェット塗布法等の適宜の方法を採用することができる。これらのうち、均一な厚みの膜を形成できる点から、スピンコート法又はスリット塗布法が好ましい。感放射線性樹脂組成物の塗布後は、好ましくは塗布面を加熱(プレベーク)し、必要に応じて所定のパターンを有するフォトマスクを介して塗膜に露光した後、現像及びポストベークを行うことにより、硬化膜としての層間絶縁膜21が得られる。層間絶縁膜21を形成する際の各種条件については、例えば特開2015-92233号公報に記載の条件を採用することができる。 The method for applying the radiation-sensitive resin composition is not particularly limited, and for example, an appropriate method such as a spray method, a roll coating method, a spin coating method, a slit coating method, a bar coating method, or an inkjet coating method can be adopted. Of these, the spin coating method or the slit coating method is preferable because a film having a uniform thickness can be formed. After coating the radiation-sensitive resin composition, the coated surface is preferably heated (prebaked), and if necessary, the coating film is exposed to the coating film through a photomask having a predetermined pattern, and then developed and post-baked. As a result, the interlayer insulating film 21 as a cured film is obtained. As for various conditions for forming the interlayer insulating film 21, for example, the conditions described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2015-92233 can be adopted.

続く工程Bでは、透明基板18のうち工程Aで形成した層間絶縁膜21上に画素電極19を形成する。画素電極19は、スパッタリング法等の公知の方法を用いて、膜厚50~200nm、より好ましくは100~150nmのITO(酸化インジウム錫)膜やIZO(酸化インジウム亜鉛)膜を形成した後、フォトリソグラフィー法によってフィッシュボーン形状(「櫛歯形状」ともいう。)にパターニングする。これにより、フィッシュボーン型の画素電極19を基板上に形成し、アレイ基板15を作製する。 In the subsequent step B, the pixel electrode 19 is formed on the interlayer insulating film 21 formed in the step A of the transparent substrate 18. The pixel electrode 19 is formed with an ITO (indium tin oxide) film or an IZO (indium zinc oxide) film having a film thickness of 50 to 200 nm, more preferably 100 to 150 nm by using a known method such as a sputtering method, and then a photo. It is patterned into a fishbone shape (also referred to as "comb tooth shape") by a lithography method. As a result, the fishbone type pixel electrode 19 is formed on the substrate, and the array substrate 15 is manufactured.

また、上記とは別に、ガラス基板等の透明基板28上に、フォトリソグラフィー法等の公知の方法を用いて、カラーフィルタ層29、オーバーコート層(図示略)及び共通電極31をこの順に形成し、対向基板16を作製する。 In addition to the above, a color filter layer 29, an overcoat layer (not shown), and a common electrode 31 are formed in this order on a transparent substrate 28 such as a glass substrate by using a known method such as a photolithography method. , The facing substrate 16 is manufactured.

続く工程Cでは、まず、電極が形成された基板上に液晶配向剤を塗布し、好ましくは塗布面を加熱することにより基板上に塗膜を形成する。基板への液晶配向剤の塗布は、電極形成面上に、好ましくはオフセット印刷法、スピンコート法、ロールコーター法、フレキソ印刷法又はインクジェット印刷法により行う。液晶配向剤を塗布した後、塗布した液晶配向剤の液垂れ防止などの目的で、好ましくは予備加熱(プレベーク)が実施される。プレベーク温度は、好ましくは30~200℃であり、プレベーク時間は、好ましくは0.25~10分である。その後、溶剤を完全に除去し、必要に応じて、重合体に存在するアミック酸構造を熱イミド化することを目的として焼成(ポストベーク)工程が実施される。このときの焼成温度(ポストベーク温度)は、好ましくは80~300℃であり、ポストベーク時間は、好ましくは5~200分である。このようにして形成される膜の厚さは、好ましくは0.001~1μmである。基板上に液晶配向剤を塗布した後、有機溶媒を除去することによって、液晶配向膜又は液晶配向膜となる塗膜が形成される。 In the subsequent step C, first, a liquid crystal alignment agent is applied onto the substrate on which the electrodes are formed, and preferably the coated surface is heated to form a coating film on the substrate. The liquid crystal alignment agent is applied to the substrate on the electrode forming surface, preferably by an offset printing method, a spin coating method, a roll coater method, a flexographic printing method or an inkjet printing method. After the liquid crystal alignment agent is applied, preheating is preferably performed for the purpose of preventing the applied liquid crystal alignment agent from dripping. The prebake temperature is preferably 30 to 200 ° C., and the prebake time is preferably 0.25 to 10 minutes. Then, a firing (post-baking) step is carried out for the purpose of completely removing the solvent and, if necessary, thermally imidizing the amic acid structure present in the polymer. The firing temperature (post-baking temperature) at this time is preferably 80 to 300 ° C., and the post-baking time is preferably 5 to 200 minutes. The thickness of the film thus formed is preferably 0.001 to 1 μm. After applying the liquid crystal alignment agent on the substrate, the organic solvent is removed to form a liquid crystal alignment film or a coating film to be a liquid crystal alignment film.

ここでは、層間絶縁膜21上に、多数のスリット部19cを有するパターン電極(画素電極19)が形成された基板の電極形成面上に液晶配向剤が塗布される。そのため、液体状の液晶配向剤が、スリット部19cの開口を介して層間絶縁膜21に接触することとなる。基板上に形成された液晶配向膜(第1配向膜32)は、液晶装置10の表示領域においてスリット部19cを介して層間絶縁膜21に接触している。
なお、上記で形成した塗膜をそのまま液晶配向膜として使用してもよいが、液晶配向能を付与する処理(配向処理)を施してもよい。配向処理としては、例えばナイロン、レーヨン、コットンなどの繊維からなる布を巻き付けたロールで塗膜を一定方向に擦るラビング処理や、液晶配向剤を用いて基板上に形成した塗膜に光照射を行って塗膜に液晶配向能を付与する光配向処理等が挙げられる。
Here, the liquid crystal alignment agent is applied on the electrode forming surface of the substrate on which the pattern electrode (pixel electrode 19) having a large number of slit portions 19c is formed on the interlayer insulating film 21. Therefore, the liquid liquid crystal alignment agent comes into contact with the interlayer insulating film 21 through the opening of the slit portion 19c. The liquid crystal alignment film (first alignment film 32) formed on the substrate is in contact with the interlayer insulating film 21 via the slit portion 19c in the display region of the liquid crystal device 10.
The coating film formed above may be used as it is as a liquid crystal alignment film, or may be subjected to a treatment (alignment treatment) for imparting a liquid crystal alignment ability. Alignment treatment includes rubbing treatment in which the coating film is rubbed in a certain direction with a roll wrapped with a cloth made of fibers such as nylon, rayon, and cotton, and light irradiation is applied to the coating film formed on the substrate using a liquid crystal alignment agent. Examples thereof include a photo-alignment treatment for imparting a liquid crystal alignment ability to the coating film.

続く工程Dでは、層間絶縁膜21、画素電極19及び第1配向膜32がこの順に形成されたアレイ基板15と、共通電極31及び第2配向膜33がこの順に形成された対向基板16とを、互いの配向膜形成面が対向するように配置する。アレイ基板15と対向基板16との間には、光重合性モノマーが混入された液晶層17が配置されるようにし、これにより液晶セルを構築する。 In the subsequent step D, the array substrate 15 in which the interlayer insulating film 21, the pixel electrode 19 and the first alignment film 32 are formed in this order, and the facing substrate 16 in which the common electrode 31 and the second alignment film 33 are formed in this order are provided. , Arrange so that the alignment film forming surfaces of each other face each other. A liquid crystal layer 17 in which a photopolymerizable monomer is mixed is arranged between the array substrate 15 and the facing substrate 16, thereby constructing a liquid crystal cell.

液晶層17は、例えば、シール剤を塗布した一方の基板上に液晶組成物を滴下又は塗布し、その後、他方の基板を貼り合わせる方法(ODF方式)や、セルギャップを介して対向配置された一対の基板の周縁部をシール剤により貼り合わせ、基板表面及びシール剤によって囲まれたセルギャップ内に液晶組成物を注入充填した後、注入孔を封止する方法等により形成する。得られた液晶セルにつき、さらに、用いた液晶が等方相をとる温度まで加熱した後、室温まで徐冷するアニール処理を行うことにより、液晶充填時の流動配向を除去することが好ましい。 The liquid crystal layer 17 is, for example, a method of dropping or applying a liquid crystal composition onto one substrate coated with a sealant and then laminating the other substrate (ODF method), or arranged so as to face each other via a cell gap. The peripheral edges of the pair of substrates are bonded together with a sealant, and the liquid crystal composition is injected and filled in the surface of the substrate and the cell gap surrounded by the sealant, and then formed by a method of sealing the injection holes or the like. It is preferable that the obtained liquid crystal cell is further heated to a temperature at which the liquid crystal used is isotropic, and then subjected to an annealing treatment of slowly cooling to room temperature to remove the flow orientation at the time of filling the liquid crystal.

光重合性モノマーとしては、光による重合性が高い点で、(メタ)アクリロイル基を2個以上有する化合物を好ましく用いることができる。その具体例としては、例えば、ビフェニル構造を有するジ(メタ)アクリレート、フェニル-シクロヘキシル構造を有するジ(メタ)アクリレート、2,2-ジフェニルプロパン構造を有するジ(メタ)アクリレート、ジフェニルメタン構造を有するジ(メタ)アクリレート、ジフェニルチオエーテル構造を有するジ-チオ(メタ)アクリレート等が挙げられる。光重合性モノマーの配合割合は、液晶層17の形成に使用される液晶組成物の全体量に対して、0.1~0.5質量%とすることが好ましい。なお、光重合性モノマーとしては、1種を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。 As the photopolymerizable monomer, a compound having two or more (meth) acryloyl groups can be preferably used because it is highly polymerizable by light. Specific examples thereof include di (meth) acrylate having a biphenyl structure, di (meth) acrylate having a phenyl-cyclohexyl structure, di (meth) acrylate having a 2,2-diphenylpropane structure, and di (meth) acrylate having a diphenylmethane structure. Examples thereof include (meth) acrylate and di-thio (meth) acrylate having a diphenylthioether structure. The blending ratio of the photopolymerizable monomer is preferably 0.1 to 0.5% by mass with respect to the total amount of the liquid crystal composition used for forming the liquid crystal layer 17. As the photopolymerizable monomer, one type may be used alone, or two or more types may be used in combination.

続く工程Eでは、工程Bで得られた液晶セルに光照射する。液晶セルに対する光照射は、電極間に電圧を印加しない状態で行ってもよく、液晶層17中の液晶分子が駆動しない所定電圧を印加した状態で行ってもよく、あるいは、液晶分子が駆動される所定電圧を電極間に印加した状態で行ってもよい。好ましくは、一対の基板の有する電極間に電圧を印加した状態で光照射する。印加する電圧は、例えば5~50Vの直流又は交流とすることができる。照射する光としては、例えば150~800nmの波長の光を含む紫外線及び可視光線を用いることができるが、300~400nmの波長の光を含む紫外線が好ましい。光の照射方向は、用いる放射線が直線偏光又は部分偏光である場合には、基板面に垂直の方向から行ってもよく、斜め方向から行ってもよく、又はこれらを組み合わせて行ってもよい。非偏光の放射線を照射する場合、照射方向は斜め方向とする。 In the subsequent step E, the liquid crystal cell obtained in the step B is irradiated with light. The light irradiation to the liquid crystal cell may be performed in a state where no voltage is applied between the electrodes, may be performed in a state where a predetermined voltage in which the liquid crystal molecules in the liquid crystal layer 17 are not driven is applied, or the liquid crystal molecules are driven. A predetermined voltage may be applied between the electrodes. It is preferable to irradiate light with a voltage applied between the electrodes of the pair of substrates. The applied voltage can be, for example, a direct current or an alternating current of 5 to 50 V. As the light to be irradiated, for example, ultraviolet rays containing light having a wavelength of 150 to 800 nm and visible light can be used, but ultraviolet rays containing light having a wavelength of 300 to 400 nm are preferable. When the radiation to be used is linearly polarized light or partially polarized light, the light irradiation direction may be performed from a direction perpendicular to the substrate surface, may be performed from an oblique direction, or may be performed in combination thereof. When irradiating unpolarized radiation, the irradiation direction is diagonal.

照射光の光源としては、例えば低圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、重水素ランプ、メタルハライドランプ、アルゴン共鳴ランプ、キセノンランプ、エキシマレーザー等を使用することができる。なお、上記の好ましい波長領域の紫外線は、光源を、例えばフィルター回折格子などと併用する手段等により得ることができる。光の照射量としては、好ましくは1,000~200,000J/mであり、より好ましくは1,000~100,000J/mである。As the light source of the irradiation light, for example, a low pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a deuterium hydrogen lamp, a metal halide lamp, an argon resonance lamp, a xenon lamp, an excima laser and the like can be used. The ultraviolet rays in the above-mentioned preferable wavelength region can be obtained by means of using a light source in combination with, for example, a filter diffraction grating or the like. The irradiation amount of light is preferably 1,000 to 200,000 J / m 2 , and more preferably 1,000 to 100,000 J / m 2 .

そして、液晶セルの外側表面に偏光板36、37を貼り合わせることにより液晶装置10が得られる。偏光板36、37としては、ポリビニルアルコールを延伸配向させながらヨウ素を吸収させた「H膜」と称される偏光フィルムを酢酸セルロース保護膜で挟んだ偏光板、又はH膜そのものからなる偏光板等が挙げられる。 Then, the liquid crystal device 10 is obtained by bonding the polarizing plates 36 and 37 to the outer surface of the liquid crystal cell. The polarizing plates 36 and 37 include a polarizing plate in which a polarizing film called “H film” in which polyvinyl alcohol is stretched and oriented to absorb iodine and sandwiched between a cellulose acetate protective film, or a polarizing plate made of the H film itself, or the like. Can be mentioned.

本実施形態では、溶剤成分として特定溶剤を含有する液晶配向剤を用いて第1配向膜32が形成されている。これにより、スリット部19cを介して第1配向膜32が層間絶縁膜21に接触している場合にも、信頼性に優れた液晶装置10を得ることができる。こうした効果が得られた理由は定かではないが、一つの理由として、液晶配向剤の調製に用いた特定溶剤は層間絶縁膜21に与える影響が小さく、これにより層間絶縁膜21の性能低下が抑制されたことが考えられる。特に、PSA技術では、MVAモードの応答特性を改善するために、例えば数μm程度の微細なストライプ状の電極パターンが形成される。こうした微細な電極パターンが基板上に形成されている場合、液晶配向剤が層間絶縁膜21に接触することによって層間絶縁膜21が膨潤して膜の厚みが僅かでも変化すると、画素電極19にも変形が起きやすく、素子性能の低下を招くことが考えられる。この点、特定溶剤によれば、層間絶縁膜21の膨潤が抑制されることによって画素電極19への影響を極力低減することができ、これにより素子性能の低下を十分抑制できたと推測される。また、液晶配向剤が層間絶縁膜21に接触している状態において層間絶縁膜21から液晶配向剤への不純物成分の溶出を抑制でき、これにより素子性能の低下を十分に抑制できたことも推測される。 In the present embodiment, the first alignment film 32 is formed by using a liquid crystal alignment agent containing a specific solvent as a solvent component. As a result, the liquid crystal display device 10 having excellent reliability can be obtained even when the first alignment film 32 is in contact with the interlayer insulating film 21 via the slit portion 19c. The reason why such an effect was obtained is not clear, but one reason is that the specific solvent used for preparing the liquid crystal alignment agent has a small effect on the interlayer insulating film 21, thereby suppressing the deterioration of the performance of the interlayer insulating film 21. It is possible that it was done. In particular, in the PSA technique, in order to improve the response characteristics of the MVA mode, for example, a fine striped electrode pattern of about several μm is formed. When such a fine electrode pattern is formed on the substrate, when the liquid crystal alignment agent comes into contact with the interlayer insulating film 21, the interlayer insulating film 21 swells and the thickness of the film changes even slightly, and the pixel electrode 19 also has a change. Deformation is likely to occur, which may lead to deterioration of element performance. In this respect, according to the specific solvent, it is presumed that the influence on the pixel electrode 19 can be reduced as much as possible by suppressing the swelling of the interlayer insulating film 21, and thus the deterioration of the element performance can be sufficiently suppressed. It is also speculated that the elution of the impurity component from the interlayer insulating film 21 to the liquid crystal alignment agent could be suppressed in the state where the liquid crystal alignment agent was in contact with the interlayer insulating film 21, and thus the deterioration of the device performance could be sufficiently suppressed. Will be done.

(第2実施形態)
次に、第2実施形態について、第1実施形態との相違点を中心に説明する。本実施形態では、アレイ基板15にカラーフィルタ層が設けられている点で上記第1実施形態と相違する。
(Second Embodiment)
Next, the second embodiment will be described focusing on the differences from the first embodiment. This embodiment differs from the first embodiment in that the array substrate 15 is provided with a color filter layer.

図3は、第2実施形態の素子構造の一部を模式的に示す断面図である。図3に示す液晶装置10は、第1実施形態の液晶装置と同様に、アレイ基板15と対向基板16とが液晶層17を介して対向配置された構造を有する。アレイ基板15は、透明基板18上にTFT14と、着色パターン29a及び層間絶縁膜29bを含んで構成されるカラーフィルタ層29と、を有する。着色パターン29aは、赤(R)、緑(G)及び青(B)で着色されたサブ画素により構成され、フォトリソグラフィー等の公知の方法により作製されている。層間絶縁膜29bは、第1実施形態で説明した感放射線性樹脂組成物を用いて形成されている。この層間絶縁膜29bは、着色パターン29aを保護するとともに、優れた特性を示す画素電極19を形成することを目的として設けられている。画素電極19は、層間絶縁膜29b上に配置される。 FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing a part of the element structure of the second embodiment. The liquid crystal device 10 shown in FIG. 3 has a structure in which the array substrate 15 and the facing substrate 16 are arranged to face each other via the liquid crystal layer 17, similarly to the liquid crystal device of the first embodiment. The array substrate 15 has a TFT 14 on a transparent substrate 18 and a color filter layer 29 including a coloring pattern 29a and an interlayer insulating film 29b. The coloring pattern 29a is composed of sub-pixels colored in red (R), green (G), and blue (B), and is produced by a known method such as photolithography. The interlayer insulating film 29b is formed by using the radiation-sensitive resin composition described in the first embodiment. The interlayer insulating film 29b is provided for the purpose of protecting the coloring pattern 29a and forming a pixel electrode 19 exhibiting excellent characteristics. The pixel electrode 19 is arranged on the interlayer insulating film 29b.

この場合にも、層間絶縁膜29b上にフィッシュボーン形状のパターン電極(画素電極19)が形成された基板の電極形成面上に第1配向膜32が形成されることにより、第1配向膜32がスリット部19cにおいて層間絶縁膜29bに接触することとなる。この点、上述した液晶配向剤を用いて第1配向膜32を形成することにより、信頼性に優れた液晶装置10が得られる。 Also in this case, the first alignment film 32 is formed on the electrode forming surface of the substrate on which the fishbone-shaped pattern electrode (pixel electrode 19) is formed on the interlayer insulating film 29b, whereby the first alignment film 32 is formed. Will come into contact with the interlayer insulating film 29b at the slit portion 19c. In this respect, by forming the first alignment film 32 using the above-mentioned liquid crystal alignment agent, a highly reliable liquid crystal device 10 can be obtained.

(他の実施形態)
・上記第1実施形態では、アレイ基板15側の画素電極19をパターン電極とし、スリット部19cで層間絶縁膜21と第1配向膜32とが接触していたが、対向電極16側についてもパターン電極及び層間絶縁膜を設け、スリット部においてパターン電極と層間絶縁膜とが接触しているようにしてもよい。
(Other embodiments)
In the first embodiment, the pixel electrode 19 on the array substrate 15 side is used as a pattern electrode, and the interlayer insulating film 21 and the first alignment film 32 are in contact with each other at the slit portion 19c, but the pattern is also on the counter electrode 16 side. An electrode and an interlayer insulating film may be provided so that the pattern electrode and the interlayer insulating film are in contact with each other at the slit portion.

以上詳述した本発明の液晶装置10は種々の用途に有効に適用することができ、例えば、時計、携帯型ゲーム、ワープロ、ノート型パソコン、カーナビゲーションシステム、カムコーダー、PDA、デジタルカメラ、携帯電話、スマートフォン、各種モニター、液晶テレビ、インフォメーションディスプレイなどの各種表示装置や、調光装置等として用いることができる。 The liquid crystal display 10 of the present invention described in detail above can be effectively applied to various applications, for example, a clock, a portable game, a word processor, a notebook computer, a car navigation system, a camcoder, a PDA, a digital camera, and a mobile phone. , Smartphones, various monitors, liquid crystal televisions, various display devices such as information displays, dimming devices, and the like.

以下、実施例に基づき本発明の実施形態をより詳しく説明するが、以下の実施例によって本発明が限定的に解釈されるものではない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail based on examples, but the present invention is not limitedly interpreted by the following examples.

以下の例において、重合体溶液中のポリイミドのイミド化率、重合体溶液の溶液粘度、重合体の重量平均分子量、及びエポキシ当量は以下の方法により測定した。
[ポリイミドのイミド化率]
ポリイミドの溶液を純水に投入し、得られた沈殿を室温で十分に減圧乾燥した後、重水素化ジメチルスルホキシドに溶解し、テトラメチルシランを基準物質として室温でH-NMRを測定した。得られたH-NMRスペクトルから、下記数式(1)によりイミド化率[%]を求めた。
イミド化率[%]=(1-(A/(A×α)))×100 …(1)
(数式(1)中、Aは化学シフト10ppm付近に現れるNH基のプロトン由来のピーク面積であり、Aはその他のプロトン由来のピーク面積であり、αは重合体の前駆体(ポリアミック酸)におけるNH基のプロトン1個に対するその他のプロトンの個数割合である。)
[重合体の重量平均分子量]
重量平均分子量は、以下の条件におけるゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより測定したポリスチレン換算値である。
カラム:東ソー(株)製、TSKgelGRCXLII
溶剤:テトラヒドロフラン
温度:40℃
圧力:68kgf/cm
[エポキシ当量]
エポキシ当量は、JIS C 2105に記載の塩酸-メチルエチルケトン法により測定した。
In the following examples, the imidization ratio of polyimide in the polymer solution, the solution viscosity of the polymer solution, the weight average molecular weight of the polymer, and the epoxy equivalent were measured by the following methods.
[Imidization rate of polyimide]
The polyimide solution was poured into pure water, the obtained precipitate was sufficiently dried under reduced pressure at room temperature, then dissolved in deuterated dimethyl sulfoxide, and 1 H-NMR was measured at room temperature using tetramethylsilane as a reference substance. From the obtained 1 H-NMR spectrum, the imidization rate [%] was determined by the following mathematical formula (1).
Imidization rate [%] = (1- (A 1 / (A 2 x α))) x 100 ... (1)
(In formula (1), A 1 is the peak area derived from the proton of the NH group appearing near the chemical shift of 10 ppm, A 2 is the peak area derived from other protons, and α is the precursor of the polymer (polyamic acid). ) Is the ratio of the number of other protons to one proton of the NH group.)
[Weight average molecular weight of polymer]
The weight average molecular weight is a polystyrene-equivalent value measured by gel permeation chromatography under the following conditions.
Column: TSKgelGRCXLII manufactured by Tosoh Corporation
Solvent: Tetrahydrofuran Temperature: 40 ° C
Pressure: 68kgf / cm 2
[Epoxy equivalent]
The epoxy equivalent was measured by the hydrochloric acid-methylethylketone method described in JIS C 2105.

以下の例で使用する略号を示す。なお、以下では、式Xで表される化合物を単に「化合物X」と示すことがある。

Figure 0007074142000008
Figure 0007074142000009
Figure 0007074142000010
Figure 0007074142000011
The abbreviations used in the following examples are shown. In the following, the compound represented by the formula X may be simply referred to as “compound X”.
Figure 0007074142000008
Figure 0007074142000009
Figure 0007074142000010
Figure 0007074142000011

1.感放射線性樹脂組成物(層間絶縁膜形成用)の調製
(1)[Q]重合体の合成
[合成例1:重合体(Q-1)の合成]
冷却管及び撹拌機を備えたフラスコに、2,2’-アゾビス(2,4-ジメチルバレロニトリル)8質量部、及びジエチレングリコールメチルエチルエーテル220質量部を仕込んだ。引き続き、メタクリル酸25質量部、メタクリル酸3,4-エポキシシクロヘキシル45質量部、及びスチレン30質量部を仕込み、窒素置換した後、緩やかに攪拌しつつ、溶液の温度を70℃に上昇させ、この温度を5時間保持して重合することにより重合体(Q-1)を含有する溶液を得た。重合体(Q-1)のMwは8000であった。
1. 1. Preparation of radiation-sensitive resin composition (for forming an interlayer insulating film) (1) [Q] Synthesis of polymer [Synthesis Example 1: Synthesis of polymer (Q-1)]
A flask equipped with a cooling tube and a stirrer was charged with 8 parts by mass of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 220 parts by mass of diethylene glycol methyl ethyl ether. Subsequently, 25 parts by mass of methacrylic acid, 45 parts by mass of 3,4-epoxycyclohexyl methacrylate, and 30 parts by mass of styrene were charged, substituted with nitrogen, and then the temperature of the solution was raised to 70 ° C. with gentle stirring. A solution containing the polymer (Q-1) was obtained by polymerizing while maintaining the temperature for 5 hours. The Mw of the polymer (Q-1) was 8000.

[合成例2:重合体(Q-2)の合成]
冷却管及び撹拌機を備えたフラスコに、2,2’-アゾビス(2,4-ジメチルバレロニトリル)8質量部、及びジエチレングリコールメチルエチルエーテル220質量部を仕込んだ。引き続き、メタクリル酸15質量部、メタクリル酸3,4-エポキシシクロヘキシル40質量部、スチレン20質量部、テトラヒドロフルフリルメタクリレート15質量部、及びn-ラウリルメタクリレート10質量部を仕込み、窒素置換した後、緩やかに攪拌しつつ、溶液の温度を70℃に上昇させ、この温度を5時間保持して重合することにより重合体(Q-2)を含有する溶液を得た。重合体(Q-2)のMwは8000であった。
[Synthesis Example 2: Synthesis of Polymer (Q-2)]
A flask equipped with a cooling tube and a stirrer was charged with 8 parts by mass of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 220 parts by mass of diethylene glycol methyl ethyl ether. Subsequently, 15 parts by mass of methacrylic acid, 40 parts by mass of 3,4-epoxycyclohexyl methacrylate, 20 parts by mass of styrene, 15 parts by mass of tetrahydrofurfuryl methacrylate, and 10 parts by mass of n-lauryl methacrylate were charged, substituted with nitrogen, and then slowly. The temperature of the solution was raised to 70 ° C. while stirring, and the temperature was maintained for 5 hours for polymerization to obtain a solution containing the polymer (Q-2). The Mw of the polymer (Q-2) was 8000.

[合成例3:重合体(Q-3)の合成]
冷却管及び撹拌機を備えたフラスコに、2,2’-アゾビス(2,4-ジメチルバレロニトリル)8質量部、及びジエチレングリコールメチルエチルエーテル220質量部を仕込んだ。引き続き、メタクリル酸グリシジル40質量部、4-(α-ヒドロキシヘキサフルオロイソプロピル)スチレン20質量部、スチレン10質量部、及びN-シクロヘキシルマレイミド30質量部を仕込み、窒素置換した後、緩やかに攪拌しつつ、溶液の温度を70℃に上昇させ、この温度を5時間保持して重合することにより重合体(Q-3)を含有する溶液を得た。重合体(Q-3)のMwは8000であった。
[Synthesis Example 3: Synthesis of Polymer (Q-3)]
A flask equipped with a cooling tube and a stirrer was charged with 8 parts by mass of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 220 parts by mass of diethylene glycol methyl ethyl ether. Subsequently, 40 parts by mass of glycidyl methacrylate, 20 parts by mass of 4- (α-hydroxyhexafluoroisopropyl) styrene, 10 parts by mass of styrene, and 30 parts by mass of N-cyclohexylmaleimide were charged, replaced with nitrogen, and then gently stirred. The temperature of the solution was raised to 70 ° C., and the temperature was maintained for 5 hours for polymerization to obtain a solution containing the polymer (Q-3). The Mw of the polymer (Q-3) was 8000.

(2)感放射線性樹脂組成物の調製
[調製例1]
上記合成例1で得られた重合体(Q-1)を含有する溶液(重合体(Q-1)が100質量部(固形分)に相当する量)に、1,2-オクタンジオン1-[4-(フェニルチオ)-2-(O-ベンゾイルオキシム)](BASF社製 イルガキュア(登録商標)OXE01)を20質量部加え、さらにジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとの混合物(KAYARAD(登録商標)DPHA、日本化薬社製)を100質量部加えて混合した。固形分濃度が30質量%となるようにジエチレングリコールエチルメチルエーテルを加えて溶解させた後、口径0.2μmのメンブランフィルタで濾過して、感放射線性樹脂組成物(V-1)を調製した。
[調製例2~4]
配合組成を下記表1に記載の通りに変更した点以外は調製例1と同様にして感放射線性樹脂組成物(V-2)~(V-4)をそれぞれ調製した。なお、下記表1において、「-」は該当成分を配合していないことを意味する(以下の表についても同じ)。
(2) Preparation of Radiation Sensitive Resin Composition [Preparation Example 1]
In the solution containing the polymer (Q-1) obtained in Synthesis Example 1 (the amount of the polymer (Q-1) corresponding to 100 parts by mass (solid content)), 1,2-octanedione1- Add 20 parts by mass of [4- (phenylthio) -2- (O-benzoyloxime)] (BASF's Irgacure (registered trademark) OXE01), and further add a mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate (KAYARAD). (Registered trademark) DPHA, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) was added in an amount of 100 parts by mass and mixed. Diethylene glycol ethylmethyl ether was added and dissolved so that the solid content concentration became 30% by mass, and then the mixture was filtered through a membrane filter having a diameter of 0.2 μm to prepare a radiation-sensitive resin composition (V-1).
[Preparation Examples 2 to 4]
Radiation-sensitive resin compositions (V-2) to (V-4) were prepared in the same manner as in Preparation Example 1 except that the compounding composition was changed as shown in Table 1 below. In addition, in Table 1 below, "-" means that the corresponding component is not blended (the same applies to the table below).

Figure 0007074142000012
Figure 0007074142000012

表1中、化合物の略称は以下に示す通りである。
R-1:1,2-オクタンジオン1-[4-(フェニルチオ)-2-(O-ベンゾイルオキシム)](BASF社製 イルガキュア(登録商標)OXE01)
R-2:4,4’-[1-[4-[1-[4-ヒドロキシフェニル]-1-メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール(1.0モル)と、1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホン酸クロリド(2.0モル)との縮合物
U-1:ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとの混合物(KAYARAD(登録商標)DPHA、日本化薬社製)
In Table 1, the abbreviations of the compounds are as shown below.
R-1: 1,2-octanedione 1- [4- (phenylthio) -2- (O-benzoyloxime)] (BASF's Irgacure (registered trademark) OXE01)
R-2: 4,4'-[1- [4- [1- [4-hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol (1.0 mol) and 1,2-naphthoquinonediazide- Condensate with 5-sulfonic acid chloride (2.0 mol) U-1: Mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate (KAYARAD (registered trademark) DPHA, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)

2.重合体の合成(液晶配向剤用)
[合成例5:重合体(PI-1)の合成]
テトラカルボン酸二無水物として2,3,5-トリカルボキシシクロペンチル酢酸二無水物100モル部、並びに、ジアミンとしてコレスタニルオキシ-2,4-ジアミノベンゼン20モル部、3,5-ジアミノ安息香酸50モル部、及び化合物(d-8)30モル部をN-メチル-2-ピロリドン(NMP)に溶解し、室温で6時間反応を行い、ポリアミック酸を20質量%含有する溶液を得た。次いで、得られたポリアミック酸溶液にピリジン及び無水酢酸を添加し、化学イミド化を行った。化学イミド化後の反応溶液を濃縮し、濃度が10質量%となるようにNMPにて調製した。得られたポリイミド(重合体(PI-1)とする。)のイミド化率は約75%であった。
[合成例6~8]
使用するテトラカルボン酸二無水物及びジアミンの種類及び量を下記表2の通りに変更した以外は合成例5と同様にしてポリイミド(重合体(PI-2)~重合体(PI-4))を合成した。なお、表2中、括弧内の数値は、重合体の合成に使用したテトラカルボン酸二無水物の合計100モル部に対する各化合物の使用割合[モル部]を表す。
2. 2. Polymer synthesis (for liquid crystal alignment agent)
[Synthesis Example 5: Synthesis of Polymer (PI-1)]
100 mol parts of 2,3,5-tricarboxycyclopentylacetic acid dianhydride as tetracarboxylic acid dianhydride, 20 mol parts of cholestanyloxy-2,4-diaminobenzene as diamine, 50 parts of 3,5-diaminobenzoic acid A molar portion and 30 molar parts of the compound (d-8) were dissolved in N-methyl-2-pyrrolidone (NMP) and reacted at room temperature for 6 hours to obtain a solution containing 20% by mass of polyamic acid. Then, pyridine and acetic anhydride were added to the obtained polyamic acid solution to perform chemical imidization. The reaction solution after chemical imidization was concentrated and prepared by NMP so that the concentration was 10% by mass. The imidization ratio of the obtained polyimide (referred to as polymer (PI-1)) was about 75%.
[Synthesis Examples 6-8]
Polyimide (polymer (PI-2) to polymer (PI-4)) in the same manner as in Synthesis Example 5, except that the types and amounts of tetracarboxylic acid dianhydride and diamine used were changed as shown in Table 2 below. Was synthesized. In Table 2, the numerical values in parentheses represent the ratio [molar part] of each compound to 100 mol parts in total of the tetracarboxylic acid dianhydride used for the synthesis of the polymer.

[合成例9:重合体(PAA-1)の合成]
テトラカルボン酸二無水物として2,3,5-トリカルボキシシクロペンチル酢酸二無水物70モル部、及び1,2,3,4-シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物30モル部、並びに、ジアミンとしてコレスタニルオキシ-2,4-ジアミノベンゼン20モル部、化合物(d-12)30モル部、4,4’-ジアミノジフェニルメタン40モル部、及び4,4’-[4,4’-プロパン-1,3-ジイルビス(ピペリジン-1,4-ジイル)]ジアニリン10モル部をNMPに溶解し、室温で6時間反応を行い、ポリアミック酸を20質量%含有する溶液を得た。ここで得られたポリアミック酸を重合体(PAA-1)とした。
[合成例10]
使用するテトラカルボン酸二無水物及びジアミンの種類及び量を下記表2の通りに変更した以外は合成例9と同様にしてポリアミック酸(これを重合体(PAA-2)とする。)を合成した。
[Synthesis Example 9: Synthesis of Polymer (PAA-1)]
70 mol parts of 2,3,5-tricarboxycyclopentylacetic acid dianhydride as tetracarboxylic acid dianhydride, 30 mol parts of 1,2,3,4-cyclopentanetetracarboxylic acid dianhydride, and choles as diamine. 20 mol parts of tanyloxy-2,4-diaminobenzene, 30 mol parts of compound (d-12), 40 mol parts of 4,4'-diaminodiphenylmethane, and 4,4'-[4,4'-propane-1, 3-Diylbis (piperidin-1,4-diyl)] 10 mol parts of dianiline was dissolved in NMP and reacted at room temperature for 6 hours to obtain a solution containing 20% by mass of polyamic acid. The polyamic acid obtained here was used as a polymer (PAA-1).
[Synthesis Example 10]
Polyamic acid (this is referred to as a polymer (PAA-2)) is synthesized in the same manner as in Synthesis Example 9 except that the types and amounts of tetracarboxylic acid dianhydride and diamine used are changed as shown in Table 2 below. did.

Figure 0007074142000013
Figure 0007074142000013

[合成例11]
撹拌機、温度計、滴下漏斗及び還流冷却管を備えた反応容器に、化合物(s-1)100g、メチルイソブチルケトン500g、及びトリエチルアミン10gを仕込み、室温で混合した。次いで、脱イオン水100gを滴下漏斗より30分かけて滴下した後、還流下で撹拌しつつ、80℃で6時間反応を行った。反応終了後、有機層を取り出し、0.2質量%硝酸アンモニウム水溶液により洗浄後の水が中性になるまで洗浄した後、減圧下で溶媒及び水を留去することにより、反応性ポリオルガノシロキサン(ESSQ-1)を粘調な透明液体として得た。この反応性ポリオルガノシロキサンについて、H-NMR分析を行ったところ、化学シフト(δ)=3.2ppm付近にエポキシ基に基づくピークが得られ、反応中にエポキシ基の副反応が起こっていないことが確認された。得られた反応性ポリオルガノシロキサン(ESSQ-1)の重量平均分子量Mwは3000、エポキシ当量は190g/モルであった。
[合成例12,13]
使用するモノマーの種類及び量を下記表3の通りに変更した以外は合成例11と同様にして反応性ポリオルガノシロキサン(重合体(ESSQ-2)及び重合体(ESSQ-3))を合成した。なお、表3中、括弧内の数値は、重合体の合成に使用したモノマーの合計100モル部に対する各化合物の使用割合[モル部]を表す。
[Synthesis Example 11]
100 g of compound (s-1), 500 g of methyl isobutyl ketone, and 10 g of triethylamine were charged in a reaction vessel equipped with a stirrer, a thermometer, a dropping funnel and a reflux cooling tube, and mixed at room temperature. Then, 100 g of deionized water was added dropwise from the dropping funnel over 30 minutes, and then the reaction was carried out at 80 ° C. for 6 hours while stirring under reflux. After completion of the reaction, the organic layer was taken out, washed with a 0.2 mass% ammonium nitrate aqueous solution until the washed water became neutral, and then the solvent and water were distilled off under reduced pressure to obtain a reactive polyorganosiloxane (reactive polyorganosiloxane). ESSQ-1) was obtained as a viscous transparent liquid. When 1 H-NMR analysis was performed on this reactive polyorganosiloxane, a peak based on an epoxy group was obtained near chemical shift (δ) = 3.2 ppm, and no side reaction of the epoxy group occurred during the reaction. It was confirmed that. The obtained reactive polyorganosiloxane (ESSQ-1) had a weight average molecular weight Mw of 3000 and an epoxy equivalent of 190 g / mol.
[Synthesis Examples 12, 13]
Reactive polyorganosiloxanes (polymer (ESSQ-2) and polymer (ESSQ-3)) were synthesized in the same manner as in Synthesis Example 11 except that the type and amount of the monomers used were changed as shown in Table 3 below. .. In Table 3, the numerical values in parentheses represent the ratio [molar portion] of each compound to 100 mol parts in total of the monomers used for the synthesis of the polymer.

Figure 0007074142000014
Figure 0007074142000014

[合成例14]
500mLの三口フラスコに、反応性ポリオルガノシロキサン(ESSQ-1)を10.0g、溶媒としてメチルイソブチルケトン300g、変性成分として化合物(c-1)を16g及び化合物(c-3)を16g、並びに触媒としてUCAT 18X(商品名、サンアプロ(株)製)0.10gを仕込み、100℃で48時間撹拌下に反応を行った。反応終了後、反応混合物に酢酸エチルを加えて得た溶液を3回水洗し、硫酸マグネシウムを用いて有機層を乾燥した後、溶剤を留去することにより、重合性基含有ポリオルガノシロキサン(PSQ-1)を75g得た。得られた重合体の重量平均分子量Mwは6000であった。
[合成例15,16]
使用する反応性ポリオルガノシロキサン及び変性成分の種類及び量を下記表4の通りに変更した以外は合成例14と同様にして重合性基含有ポリオルガノシロキサン(重合体(PSQ-2)及び重合体(PSQ-3))を合成した。表4中、括弧内の数値は、重合体の合成に使用したモノマーの合計100モル部に対する各化合物の使用割合[モル部]を表す。
[Synthesis Example 14]
In a 500 mL three-necked flask, 10.0 g of reactive polyorganosiloxane (ESSQ-1), 300 g of methyl isobutyl ketone as a solvent, 16 g of compound (c-1) and 16 g of compound (c-3) as a modifying component, and 0.10 g of UCAT 18X (trade name, manufactured by San-Apro Co., Ltd.) was charged as a catalyst, and the reaction was carried out at 100 ° C. under stirring for 48 hours. After completion of the reaction, the solution obtained by adding ethyl acetate to the reaction mixture was washed with water three times, the organic layer was dried over magnesium sulfate, and then the solvent was distilled off to obtain a polymerizable group-containing polyorganosiloxane (PSQ). -1) was obtained in an amount of 75 g. The weight average molecular weight Mw of the obtained polymer was 6000.
[Synthesis Examples 15 and 16]
Polymerizable group-containing polyorganosiloxane (polymer (PSQ-2) and polymer) in the same manner as in Synthesis Example 14, except that the types and amounts of the reactive polyorganosiloxane and modified components used were changed as shown in Table 4 below. (PSQ-3)) was synthesized. In Table 4, the numerical values in parentheses represent the ratio [molar part] of each compound to 100 mol parts in total of the monomers used for the synthesis of the polymer.

Figure 0007074142000015
Figure 0007074142000015

3.液晶配向剤及び液晶表示素子の評価
[実施例1]
(1)液晶配向剤の調製
重合体成分として重合体(PI-1)を含有する溶液に、重合体(PSQ-1)を、重合体(PI-1):重合体(PSQ-1)=95:5(質量比)となるように加え、さらに溶剤としてNMP、ジエチレングリコールジエチルエーテル(DEDG)及びダイアセトンアルコール(DAA)を加えて十分に撹拌し、溶媒組成がNMP:DEDG:DAA=50:30:20(質量比)、固形分濃度6.5質量%の溶液とした。この溶液を孔径1μmのフィルターを用いてろ過することにより液晶配向剤(W-1)を調製した。
3. 3. Evaluation of liquid crystal alignment agent and liquid crystal display element [Example 1]
(1) Preparation of liquid crystal alignment agent A polymer (PSQ-1) is added to a solution containing a polymer (PI-1) as a polymer component, and a polymer (PI-1): polymer (PSQ-1) =. In addition to the ratio of 95: 5 (mass ratio), NMP, diethylene glycol diethyl ether (DEDG) and diacetone alcohol (DAA) were further added as solvents, and the mixture was sufficiently stirred, and the solvent composition was NMP: DEDG: DAA = 50 :. A solution was prepared at 30:20 (mass ratio) and a solid content concentration of 6.5% by mass. A liquid crystal alignment agent (W-1) was prepared by filtering this solution using a filter having a pore size of 1 μm.

(2)液晶組成物(LC-1)の調製
ネマチック液晶(メルク社製、MLC-6608)10gに対し、下記式(RM-1)で表される化合物が液晶組成物の全構成成分の全量に対して0.3質量%となるように添加し、混合することにより液晶組成物(LC-1)を得た。

Figure 0007074142000016
(2) Preparation of liquid crystal composition (LC-1) With respect to 10 g of nematic liquid crystal (MLC-6608 manufactured by Merck Group), the compound represented by the following formula (RM-1) is the total amount of all the constituents of the liquid crystal composition. The liquid crystal composition (LC-1) was obtained by adding the mixture in an amount of 0.3% by mass based on the amount of the liquid crystal composition (LC-1).
Figure 0007074142000016

(3)液晶表示素子の製造
スピンナーを用い、ガラス基板(「コーニング7059」(コーニング社製))上に感放射線性樹脂組成物(V-1)を塗布した後、90℃のクリーンオーブン内で10分間プレベークを行い、ガラス基板上に膜厚2.0μmの塗膜をそれぞれ形成した。次いで、UV(紫外)露光機(TOPCON Deep-UV露光機TME-400PRJ)を用い、パターンマスクを介してUV光を100mJ照射した。その後、2.38質量%の濃度のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液(現像液)を用い、液盛り法によって25℃で100秒間の現像処理を行った。現像処理後、超純水で1分間、塗膜を流水洗浄し、乾燥させて基板上にパターニングされた塗膜を形成した後、オーブンにて230℃で30分間加熱(ポストベーク)して硬化させた。次に、キャノン(株)製PLA-501F露光機(超高圧水銀ランプ)を用い、フォトマスクを介さずに各塗膜の全面に500J/mの露光量で露光を行った。その後、230℃で30分間ポストベークを行って各塗膜を硬化させ、層間絶縁膜を形成した。
(3) Manufacture of liquid crystal display element After applying the radiation-sensitive resin composition (V-1) on a glass substrate (“Corning 7059” (manufactured by Corning)) using a spinner, in a clean oven at 90 ° C. Pre-baking was performed for 10 minutes to form a coating film having a thickness of 2.0 μm on the glass substrate. Then, using a UV (ultraviolet) exposure machine (TOPCON Deep-UV exposure machine TME-400PRJ), 100 mJ of UV light was irradiated through the pattern mask. Then, using a tetramethylammonium hydroxide aqueous solution (developing solution) having a concentration of 2.38% by mass, a developing process was carried out at 25 ° C. for 100 seconds by a liquid filling method. After the development treatment, the coating film is washed with ultrapure water for 1 minute under running water, dried to form a patterned coating film on the substrate, and then heated (post-baked) at 230 ° C. for 30 minutes in an oven to cure. I let you. Next, using a PLA-501F exposure machine (ultra-high pressure mercury lamp) manufactured by Canon Inc., the entire surface of each coating film was exposed to an exposure amount of 500 J / m 2 without using a photomask. Then, post-baking was performed at 230 ° C. for 30 minutes to cure each coating film, and an interlayer insulating film was formed.

次いで、層間絶縁膜が形成されたガラス基板上に、フィッシュボーン状にパターニングされたITO電極を形成した。本実施例では、ITO電極の電極パターンを、ライン/スペース=3.5μm/3.5μmのフィッシュボーン状とした。ここで使用したITO電極の電極パターンを図4に示した。また、同様の操作を行うことにより、パターンを有さないITO電極を有するガラス基板を準備した。これら一対の基板のうち、パターンを有さないITO電極を有するガラス基板の電極側表面に、3.5μmカラムスペーサーを形成した。 Next, an ITO electrode patterned in a fishbone shape was formed on a glass substrate on which an interlayer insulating film was formed. In this embodiment, the electrode pattern of the ITO electrode is a fishbone shape with line / space = 3.5 μm / 3.5 μm. The electrode pattern of the ITO electrode used here is shown in FIG. Further, by performing the same operation, a glass substrate having an ITO electrode having no pattern was prepared. Of these pair of substrates, a 3.5 μm column spacer was formed on the electrode-side surface of the glass substrate having the ITO electrode having no pattern.

次いで、一対の基板のそれぞれの電極形成面上に液晶配向剤(W-1)をスピンコートした後、80℃のホットプレート上で1分間加熱(プレベーク)して溶媒を除去し、その後、230℃のホットプレート上で15分間加熱(ポストベーク)して、平均膜厚100nmの塗膜を形成した。この塗膜につき、超純水中で1分間超音波洗浄を行った後、100℃クリーンオーブン中で10分間乾燥し、液晶配向膜を有する一対の基板を得た。 Next, a liquid crystal alignment agent (W-1) was spin-coated on each electrode forming surface of the pair of substrates, and then heated (prebaked) on a hot plate at 80 ° C. for 1 minute to remove the solvent, and then 230. It was heated (post-baked) on a hot plate at ° C. for 15 minutes to form a coating film having an average film thickness of 100 nm. This coating film was ultrasonically washed in ultrapure water for 1 minute and then dried in a 100 ° C. clean oven for 10 minutes to obtain a pair of substrates having a liquid crystal alignment film.

次に、パターニングされたITO電極を有するガラス基板のITO面の外縁に直径5.5μmの酸化アルミニウム球入りエポキシ樹脂接着剤を塗布した後、エポキシ樹脂接着剤の内側の面に、液晶組成物(LC-1)を6点滴下(縦2点×横3点とし、各点の間隔は上下左右10mmとし、各点の塗布量は0.6mgとした。)した。この基板ともう1枚のガラス基板とが相対するように重ね合わせて圧着し、接着剤を硬化させて液晶セルを製造した。得られた液晶セルにつき、後述する「PSAプロセス-1」に従って紫外線照射及びアニールを行うことにより評価用液晶セルを作製した。
(PSAプロセス-1)
液晶セルにつき、電極間に周波数60Hzの交流20Vppを印加し、液晶が駆動している状態で、光源にメタルハライドランプを使用した紫外線照射装置を用いて、80mWの紫外線を50秒間照射する。続いて、電圧を印加していない状態で、光源にメタルハライドランプを使用した紫外線照射装置を用いて、3.5mWの紫外線を30分間照射する。
最後に、液晶セルを120℃のクリーンオーブンに10分間入れ、アニールを行う。なお、照射量は、波長365nm基準で計測される光量計を用いて計測した値である。
Next, an epoxy resin adhesive containing aluminum oxide spheres having a diameter of 5.5 μm was applied to the outer edge of the ITO surface of the glass substrate having the patterned ITO electrode, and then the liquid crystal composition (the liquid crystal composition () was applied to the inner surface of the epoxy resin adhesive. LC-1) was dropped at 6 points (2 points in the vertical direction × 3 points in the horizontal direction, the interval between the points was 10 mm in the vertical and horizontal directions, and the coating amount of each point was 0.6 mg). This substrate and another glass substrate were overlapped and pressure-bonded so as to face each other, and the adhesive was cured to produce a liquid crystal cell. The obtained liquid crystal cell was irradiated with ultraviolet rays and annealed according to "PSA process-1" described later to prepare a liquid crystal cell for evaluation.
(PSA process-1)
An AC 20Vpp having a frequency of 60 Hz is applied between the electrodes of the liquid crystal cell, and while the liquid crystal is being driven, an ultraviolet irradiation device using a metal halide lamp as a light source is used to irradiate 80 mW of ultraviolet rays for 50 seconds. Subsequently, with no voltage applied, an ultraviolet irradiation device using a metal halide lamp as a light source is used to irradiate 3.5 mW of ultraviolet rays for 30 minutes.
Finally, the liquid crystal cell is placed in a clean oven at 120 ° C. for 10 minutes for annealing. The irradiation amount is a value measured using a photometer measured based on a wavelength of 365 nm.

(4)電圧保持率(VHR)の評価
上記(3)で製造した評価用液晶セルを恒温槽中に置き、60℃において5Vの電圧を60マイクロ秒の印加時間、167ミリ秒のスパンで印加した後、印加解除から167ミリ秒後の電圧保持率(VHR)を、東陽テクニカ社製の「VHR-1」により測定した。このとき、VHRが96%以上であった場合を「非常に良好(◎)」、93%以上96%未満であった場合を「良好(○)」、90%以上93%未満であった場合を「可(△)」、90%以下であった場合を「不良(×)」と評価した。その結果、この実施例ではVHR=97%であり、「非常に良好(◎)」の評価であった。
(4) Evaluation of voltage retention rate (VHR) The evaluation liquid crystal cell manufactured in (3) above is placed in a constant temperature bath, and a voltage of 5 V is applied at 60 ° C. for an application time of 60 microseconds and a span of 167 milliseconds. After that, the voltage holding ratio (VHR) 167 milliseconds after the application was released was measured by "VHR-1" manufactured by Toyo Technica. At this time, when the VHR was 96% or more, it was "very good (◎)", when it was 93% or more and less than 96%, it was "good (○)", and when it was 90% or more and less than 93%. Was evaluated as “OK (Δ)”, and when it was 90% or less, it was evaluated as “Defective (×)”. As a result, in this example, VHR = 97%, which was an evaluation of "very good (⊚)".

[実施例2~22、比較例1、2]
使用する重合体及び溶剤の種類及び量を下記表5の通り変更した点以外は上記と同様の操作を行い、液晶配向剤をそれぞれ調製した。また、層間絶縁膜の作製に用いた感放射線性樹脂組成物を下記表5に示す組成物に変更した点、及び各例で調製した液晶配向剤を用いて液晶配向膜を作製した点以外は上記と同様にして評価用液晶セルを製造するとともに、得られた評価用液晶セルを用いて電圧保持率の評価を行った。その結果を下記表5に示した。
[Examples 2 to 22, Comparative Examples 1 and 2]
The same operations as above were carried out except that the types and amounts of the polymers and solvents used were changed as shown in Table 5 below, and liquid crystal alignment agents were prepared respectively. In addition, except that the radiation-sensitive resin composition used for producing the interlayer insulating film was changed to the composition shown in Table 5 below, and the liquid crystal alignment film was prepared using the liquid crystal alignment agent prepared in each example. An evaluation liquid crystal cell was manufactured in the same manner as described above, and the voltage retention rate was evaluated using the obtained evaluation liquid crystal cell. The results are shown in Table 5 below.

Figure 0007074142000017
Figure 0007074142000017

表5中、重合体欄の括弧内の数値は、液晶配向剤の調製に使用した重合体成分の合計100質量部に対する各重合体の配合割合[質量部]を示す。溶剤組成欄の数値は、液晶配向剤の調製に使用した溶剤の全体100質量部に対する各化合物の配合割合[質量部]を示す。溶剤の略称は以下の通りである(下記表6についても同じ)。
NMP:N-メチル-2-ピロリドン
NEP:N-エチル-2-ピロリドン
DMI:1,3-ジメチル-2-イミダゾリジノン
EQM:3-メトキシ-N,N-ジメチルプロパンアミド
BC:ブチルセロソルブ
DEDG:ジエチレングリコールジエチルエーテル
PGDAc:プロピレングリコールジアセテート
DPM:ジプロピレングリコールモノメチルエーテル
DAA:ダイアセトンアルコール
PG:プロピレングリコールモノブチルエーテル
DIPE:ジイソペンチルエーテル
In Table 5, the numerical values in parentheses in the polymer column indicate the mixing ratio [parts by mass] of each polymer with respect to the total 100 parts by mass of the polymer components used for preparing the liquid crystal alignment agent. The numerical value in the solvent composition column indicates the mixing ratio [parts by mass] of each compound with respect to 100 parts by mass of the whole solvent used for preparing the liquid crystal alignment agent. The abbreviations for solvents are as follows (the same applies to Table 6 below).
NMP: N-Methyl-2-pyrrolidone NEP: N-ethyl-2-pyrrolidone DMI: 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone EQM: 3-methoxy-N, N-dimethylpropanamide BC: Butyl cellosolve DEDG: Diethylene glycol Diethyl Ether PGDAc: Propylene Glycol Diacetate DPM: Dipropylene Glycol Monomethyl Ether DAA: Diacetone Alcohol PG: Propylene Glycol Monobutyl Ether DIPE: Diisopentyl Ether

表5に示すように、特定溶剤を含む液晶配向剤を用いて液晶配向膜を形成した実施例1~22では、特定溶剤を含まない液晶配向剤を用いて液晶配向膜を形成した比較例1,2よりも信頼性に優れた液晶表示素子が得られた。これらの中でも、[A]溶剤と[B]溶剤とを含む液晶配向剤を用いた実施例1~18では「非常に良好」の評価であり、特に優れていた。 As shown in Table 5, in Examples 1 to 22 in which the liquid crystal alignment film was formed using the liquid crystal alignment agent containing the specific solvent, Comparative Example 1 in which the liquid crystal alignment film was formed using the liquid crystal alignment agent not containing the specific solvent. A liquid crystal display element with higher reliability than that of, 2 was obtained. Among these, Examples 1 to 18 using the liquid crystal alignment agent containing the solvent [A] and the solvent [B] were evaluated as "very good" and were particularly excellent.

さらに、上記実施例1~22において、ガラス基板の有するITO電極のパターンを図5に示したパターンに変更したほかは上記と同様にして液晶表示素子を製造して評価したところ、いずれの実施例においても上記と同様の効果が得られた。 Further, in Examples 1 to 22, a liquid crystal display element was manufactured and evaluated in the same manner as above except that the pattern of the ITO electrode included in the glass substrate was changed to the pattern shown in FIG. The same effect as above was obtained in the above.

[実施例23]
(1)ITO配線変形の評価
N-エチル-2-ピロリドン(NEP)及びジエチレングリコールジエチルエーテル(DEDG)を混合して十分に撹拌し、溶剤組成がNEP:DEDG=50:50(質量比)の評価用溶剤(Z-1)を調製した。
また、上記実施例1の(3)と同様の操作を行うことにより、層間絶縁膜上にITOからなるパターン電極を配したガラス基板を準備した。このガラス基板を80℃の評価用溶剤(Z-1)中に30分間浸漬し、層間絶縁膜の膨潤度合い及びITO電極の変形度合いについて下記に示す基準により評価した。液晶配向剤の溶剤成分と接触させた場合に層間絶縁膜の膨潤が小さく電極の変形が小さいほど、その溶剤が層間絶縁膜及びITO電極に与える影響が小さく、液晶素子の信頼性を担保できるため、液晶配向剤の溶剤として好適であると言える。その結果、この実施例は「A」の評価であった。
(評価基準)
A:層間絶縁膜の膨潤はなく電極の異常なし
B:層間絶縁膜の膨潤は見られるが、電極には異常なし
C:層間絶縁膜の膨潤により電極の変形などの軽微な異常あり
D:層間絶縁膜の膨潤により電極の断線などの重篤な異常あり
[Example 23]
(1) Evaluation of ITO wiring deformation N-ethyl-2-pyrrolidone (NEP) and diethylene glycol diethyl ether (DEDG) were mixed and sufficiently stirred, and the solvent composition was evaluated as NEP: DEDG = 50: 50 (mass ratio). A solvent (Z-1) was prepared.
Further, by performing the same operation as in (3) of Example 1, a glass substrate having a pattern electrode made of ITO arranged on an interlayer insulating film was prepared. This glass substrate was immersed in an evaluation solvent (Z-1) at 80 ° C. for 30 minutes, and the degree of swelling of the interlayer insulating film and the degree of deformation of the ITO electrode were evaluated according to the criteria shown below. The smaller the swelling of the interlayer insulating film and the smaller the deformation of the electrode when it comes into contact with the solvent component of the liquid crystal alignment agent, the smaller the influence of the solvent on the interlayer insulating film and the ITO electrode, and the reliability of the liquid crystal element can be ensured. It can be said that it is suitable as a solvent for a liquid crystal alignment agent. As a result, this example was evaluated as "A".
(Evaluation criteria)
A: No swelling of the interlayer insulating film and no abnormality of the electrode B: Swelling of the interlayer insulating film is observed, but no abnormality of the electrode C: There is a slight abnormality such as deformation of the electrode due to swelling of the interlayer insulating film D: Between layers There is a serious abnormality such as disconnection of the electrode due to swelling of the insulating film.

[実施例24~44、比較例3、4]
溶剤組成、及び使用する感放射線性樹脂組成物の種類を下記表6の通り変更した点以外は上記と同様の操作を行い、各溶剤についてITO配線変形を評価した。その結果を下記表6に示した。
[Examples 24 to 44, Comparative Examples 3 and 4]
The same operation as above was performed except that the solvent composition and the type of the radiation-sensitive resin composition used were changed as shown in Table 6 below, and the ITO wiring deformation was evaluated for each solvent. The results are shown in Table 6 below.

Figure 0007074142000018
Figure 0007074142000018

表6の結果から、特定溶剤を用いた実施例23~44では、層間絶縁膜の膨潤は見られなかったか又は膨潤してもその程度が小さく、電極の異常は見られなかった。これらの結果から、特定溶剤によれば、微細なストライプ状の電極パターン上に液晶配向膜を形成した場合にも電極の形状が変化しにくく、液晶素子の信頼性を担保できることが分かった。 From the results shown in Table 6, in Examples 23 to 44 using the specific solvent, no swelling of the interlayer insulating film was observed, or even if the interlayer insulating film swelled, the degree of swelling was small, and no abnormality was observed in the electrodes. From these results, it was found that, according to the specific solvent, the shape of the electrode does not easily change even when the liquid crystal alignment film is formed on the fine striped electrode pattern, and the reliability of the liquid crystal element can be ensured.

1…ITO電極、2…スリット部、3…遮光膜、10…液晶装置、14…薄膜トランジスタ、15…アレイ基板、16…対向基板、17…液晶層、19…画素電極、19c…スリット部、21…層間絶縁膜、29…カラーフィルタ層、29a…着色パターン、29b…層間絶縁膜、31…共通電極、32…第1配向膜、33…第2配向膜、34,35…PSA層(配向制御層) 1 ... ITO electrode, 2 ... Slit portion, 3 ... Light-shielding film, 10 ... Liquid crystal device, 14 ... Thin film transistor, 15 ... Array substrate, 16 ... Opposing substrate, 17 ... Liquid crystal layer, 19 ... Pixel electrode, 19c ... Slit portion, 21 ... Interlayer insulating film, 29 ... Color filter layer, 29a ... Colored pattern, 29b ... Interlayer insulating film, 31 ... Common electrode, 32 ... First alignment film, 33 ... Second alignment film, 34, 35 ... PSA layer (Orientation control) layer)

Claims (11)

対向配置された一対の基板と、前記一対の基板間に配置された液晶層と、一対の電極と、を備える液晶素子の製造方法であって、
前記一対の電極のうち少なくとも一方は、複数の開口部を有するパターン電極であり、
前記一対の基板のうち少なくとも一方に層間絶縁膜を形成する工程と、
前記層間絶縁膜上に前記パターン電極を形成する工程と、
前記パターン電極上に、前記層間絶縁膜の少なくとも一部に接触するように液晶配向膜を形成する工程と、を含み、
前記層間絶縁膜は、[Q]重合体と[R]感光剤とを含有する感放射線性樹脂組成物を用いて形成され、
前記[Q]重合体は、酸性基を有する第1構造単位と、オキセタニル基又はオキシラニル基を有する第2構造単位と、前記第1構造単位及び前記第2構造単位とは異なる主鎖構造を形成する第3構造単位とを有する重合体であり、
前記第1構造単位は、(メタ)アクリル酸及び不飽和カルボン酸無水物よりなる群から選ばれる少なくとも一種の化合物に由来する構造単位であり、
前記第2構造単位は、(メタ)アクリル酸グリシジル、(メタ)アクリル酸3,4-エポキシシクロヘキシルメチル、4-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレートグリシジルエーテル、及び3-(メタ)アクリロイルオキシメチル-3-エチルオキセタンよりなる群から選ばれる少なくとも一種の化合物に由来する構造単位であり、
前記液晶配向膜を、重合体成分と、下記に示す溶剤群から選ばれる少なくとも一種の溶剤とを含有する液晶配向剤を用いて形成する、液晶素子の製造方法。
溶剤群:
[A]溶剤:下記式(1)で表される化合物、下記式(2)で表される化合物、N,N,2-トリメチルプロピオンアミド、及び1,3-ジメチル-2-イミダゾリジノン。
[B]溶剤:ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、4-メトキシ-4-メチル-2-ペンタノン、4-ヒドロキシ-2-ブタノン、2-メチル-2-ヘキサノール、2,6-ジメチル-4-ヘプタノール、ジイソブチルケトン、プロピレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジイソペンチルエーテル、ダイアセトンアルコール、及びプロピレングリコールモノブチルエーテル。
Figure 0007074142000019
(式(1)中、Rは、炭素数2~5の1価の炭化水素基、又は当該炭化水素基における炭素-炭素結合間に「-O-」を有する1価の基である。)
Figure 0007074142000020
(式(2)中、R及びRは、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1~6の1価の炭化水素基、又は当該炭化水素基の炭素-炭素結合間に「-O-」を有する1価の基であり、RとRとが互いに結合して環構造を形成してもよい。Rは、炭素数1~6のアルキル基である。)
A method for manufacturing a liquid crystal element including a pair of substrates arranged to face each other, a liquid crystal layer arranged between the pair of substrates, and a pair of electrodes.
At least one of the pair of electrodes is a pattern electrode having a plurality of openings.
A step of forming an interlayer insulating film on at least one of the pair of substrates,
The step of forming the pattern electrode on the interlayer insulating film and
A step of forming a liquid crystal alignment film on the pattern electrode so as to be in contact with at least a part of the interlayer insulating film is included.
The interlayer insulating film is formed by using a radiation-sensitive resin composition containing a [Q] polymer and an [R] photosensitive agent.
The [Q] polymer forms a backbone structure different from the first structural unit having an acidic group, the second structural unit having an oxetanyl group or an oxylanyl group, and the first structural unit and the second structural unit. It is a polymer having a third structural unit and
The first structural unit is a structural unit derived from at least one compound selected from the group consisting of (meth) acrylic acid and unsaturated carboxylic acid anhydride.
The second structural unit is glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate glycidyl ether, and 3- (meth) acryloyloxymethyl-3-. It is a structural unit derived from at least one compound selected from the group consisting of ethyloxetane.
A method for manufacturing a liquid crystal element, wherein the liquid crystal alignment film is formed by using a liquid crystal alignment agent containing a polymer component and at least one solvent selected from the solvent group shown below.
Solvent group:
[A] Solvent: A compound represented by the following formula (1), a compound represented by the following formula (2), N, N, 2-trimethylpropionamide, and 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone.
[B] Solvent: Dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, 4-methoxy-4-methyl-2-pentanone, 4-hydroxy-2-butanone, 2-methyl-2-hexanol, 2 , 6-Dimethyl-4-heptanol, diisobutylketone, propylene glycol diacetate, diethylene glycol diethyl ether, diisopentyl ether, diacetone alcohol, and propylene glycol monobutyl ether.
Figure 0007074142000019
(In the formula (1), R 1 is a monovalent hydrocarbon group having 2 to 5 carbon atoms or a monovalent group having "-O-" between carbon-carbon bonds in the hydrocarbon group. )
Figure 0007074142000020
(In the formula (2), R 2 and R 3 are independently each of a hydrogen atom, a monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, or "-O-" between carbon-carbon bonds of the hydrocarbon group. , And R 2 and R 3 may be bonded to each other to form a ring structure. R 4 is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.)
前記液晶層中に混入された光重合性モノマーを重合することにより、前記液晶層中の各基板側の界面に、前記液晶の配向を制御する配向制御層を形成する工程をさらに含む、請求項1に記載の液晶素子の製造方法。 The claim further comprises a step of forming an orientation control layer for controlling the orientation of the liquid crystal at the interface on each substrate side in the liquid crystal layer by polymerizing the photopolymerizable monomer mixed in the liquid crystal layer. The method for manufacturing a liquid crystal element according to 1. 前記液晶配向剤は、前記[A]溶剤の少なくとも一種と、前記[B]溶剤の少なくとも一種とを含有する、請求項1又は2に記載の液晶素子の製造方法。 The method for manufacturing a liquid crystal element according to claim 1 or 2, wherein the liquid crystal alignment agent contains at least one of the [A] solvent and at least one of the [B] solvent. 前記液晶配向剤は、ポリアミック酸、ポリアミック酸エステル、ポリイミド及びポリオルガノシロキサンよりなる群から選ばれる少なくとも一種である[P]重合体を含有する、請求項1~3のいずれか一項に記載の液晶素子の製造方法。 The liquid crystal alignment agent according to any one of claims 1 to 3, wherein the liquid crystal alignment agent contains at least one [P] polymer selected from the group consisting of polyamic acid, polyamic acid ester, polyimide and polyorganosiloxane. A method for manufacturing a liquid crystal element. 前記液晶配向剤は、ポリアミック酸、ポリアミック酸エステル及びポリイミドよりなる群から選ばれる少なくとも一種である[p]重合体を含有し、
前記[p]重合体は、シクロブタン環、シクロペンタン環及びシクロヘキサン環よりなる群から選ばれる少なくとも一種の環構造を有するテトラカルボン酸誘導体に由来する部分構造を有する、請求項1~4のいずれか一項に記載の液晶素子の製造方法。
The liquid crystal alignment agent contains at least one [p] polymer selected from the group consisting of polyamic acid, polyamic acid ester and polyimide.
Any of claims 1 to 4, wherein the [p] polymer has a partial structure derived from a tetracarboxylic acid derivative having at least one ring structure selected from the group consisting of a cyclobutane ring, a cyclopentane ring and a cyclohexane ring. The method for manufacturing a liquid crystal element according to item 1.
前記液晶配向剤は、ラジカル重合性基、光開始剤基、ラジカル重合禁止剤基、窒素含有複素環(ただし、ポリイミドが有するイミド環を除く。)、アミノ基、及び保護されたアミノ基よりなる群から選ばれる少なくとも一種を有する重合体を含有する、請求項1~5のいずれか一項に記載の液晶素子の製造方法。 The liquid crystal alignment agent comprises a radical polymerizable group, a photoinitiator group, a radical polymerization prohibiting agent group, a nitrogen-containing heterocycle (excluding the imide ring of polyimide), an amino group, and a protected amino group. The method for producing a liquid crystal element according to any one of claims 1 to 5, which contains a polymer having at least one selected from the group. 前記液晶配向剤は、下記式(3)で表される部分構造を有する重合体を含有する、請求項1~6のいずれか一項に記載の液晶素子の製造方法。
*-L-R11-R12-R13-R14 …(3)
(式(3)中、Lは、-O-、-CO-、-COO-*、-OCO-*、-NR15-、-NR15-CO-*、-CO-NR15-*、炭素数1~6のアルカンジイル基、-O-R16-*、又は-R16-O-*(ただし、R15は水素原子又は炭素数1~10の1価の炭化水素基であり、R16は炭素数1~3のアルカンジイル基である。「*」は、R11との結合手であることを示す。)である。R11及びR13は、それぞれ独立に、単結合、フェニレン基又はシクロアルキレン基であり、R12は、単結合、フェニレン基、シクロアルキレン基、-R17-B-*、又は-B-R17-*(ただし、R17はフェニレン基又はシクロアルキレン基であり、Bは-COO-*、-OCO-*、又は炭素数1~3のアルカンジイル基である。「*」は、R13との結合手であることを示し、「*」は、R17との結合手であることを示す。)である。R14は、水素原子、フッ素原子、炭素数1~18のアルキル基、炭素数1~18のフルオロアルキル基、炭素数1~18のアルコキシ基、炭素数1~18のフルオロアルコキシ基、又はステロイド骨格を有する炭素数17~51の炭化水素基であり、ラジカル重合性基又は光開始剤基を有していてもよい。ただし、R14が水素原子、フッ素原子又は炭素数1~3の基である場合、R11、R12及びR13の全部が単結合になることはない。「*」は結合手であることを示す。)
The method for manufacturing a liquid crystal element according to any one of claims 1 to 6, wherein the liquid crystal alignment agent contains a polymer having a partial structure represented by the following formula (3).
* -L 1 -R 11 -R 12 -R 13 -R 14 ... (3)
(In the formula (3), L 1 is -O-, -CO-, -COO- * 1 , -OCO- * 1 , -NR 15- , -NR 15 -CO- * 1 , -CO-NR 15 -* 1 , an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms, -OR 16- * 1 or -R 16 -O- * 1 (however, R 15 is a hydrogen atom or a monovalent group having 1 to 10 carbon atoms. It is a hydrocarbon group, R 16 is an alkanediyl group having 1 to 3 carbon atoms. “* 1 ” indicates that it is a bond with R 11. ). R 11 and R 13 are Each is independently a single bond, a phenylene group or a cycloalkylene group, and R 12 is a single bond, a phenylene group, a cycloalkylene group, -R 17 -B 1- * 2 , or -B 1 -R 17- * 2 . (However, R 17 is a phenylene group or a cycloalkylene group, B 1 is -COO- * 3 , -OCO- * 3 , or an alkanediyl group having 1 to 3 carbon atoms. "* 2 " is R. It indicates that it is a bond with 13 and "* 3 " indicates that it is a bond with R 17 ). R 14 is a hydrogen atom, a fluorine atom, and an alkyl having 1 to 18 carbon atoms. A group, a fluoroalkyl group having 1 to 18 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 18 carbon atoms, a fluoroalkoxy group having 1 to 18 carbon atoms, or a hydrocarbon group having a steroid skeleton and having 17 to 51 carbon atoms, which is radically polymerized. It may have a sex group or a photoinitiator group. However, when R 14 is a hydrogen atom, a fluorine atom or a group having 1 to 3 carbon atoms, all of R 11 , R 12 and R 13 are single-bonded. It does not become. "*" Indicates that it is a bond.)
前記層間絶縁膜を形成する基板に、液晶駆動用素子及びカラーフィルタ層が形成されている、請求項1~7のいずれか一項に記載の液晶素子の製造方法。 The method for manufacturing a liquid crystal element according to any one of claims 1 to 7, wherein a liquid crystal drive element and a color filter layer are formed on a substrate forming the interlayer insulating film. 前記[Q]重合体は、(メタ)アクリロイル基及びビニル基よりなる群から選ばれる少なくとも一種を有する、請求項1~8のいずれか一項に記載の液晶素子の製造方法。 The method for producing a liquid crystal element according to any one of claims 1 to 8, wherein the [Q] polymer has at least one selected from the group consisting of a ( meth) acryloyl group and a vinyl group. 前記[R]感光剤は、光ラジカル重合開始剤、光酸発生剤、及び光塩基発生剤よりなる群から選ばれる少なくとも一種である、請求項1~9のいずれか一項に記載の液晶素子の製造方法。 The liquid crystal element according to any one of claims 1 to 9, wherein the [R] photosensitive agent is at least one selected from the group consisting of a photoradical polymerization initiator, a photoacid generator, and a photobase generator. Manufacturing method. 前記第3構造単位は、スチレン、α-メチルスチレン、4-メチルスチレン、及び4-ヒドロキシスチレンよりなる群から選ばれる少なくとも一種の化合物に由来する構造単位である、請求項1~10のいずれか一項に記載の液晶素子の製造方法。 The third structural unit is any one of claims 1 to 10 , which is a structural unit derived from at least one compound selected from the group consisting of styrene, α-methylstyrene, 4-methylstyrene, and 4-hydroxystyrene. The method for manufacturing a liquid crystal element according to item 1.
JP2019553745A 2017-11-20 2018-10-09 Manufacturing method of liquid crystal element Active JP7074142B2 (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017223114 2017-11-20
JP2017223114 2017-11-20
PCT/JP2018/037583 WO2019097902A1 (en) 2017-11-20 2018-10-09 Method for manufacturing liquid crystal element

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2019097902A1 JPWO2019097902A1 (en) 2020-07-16
JP7074142B2 true JP7074142B2 (en) 2022-05-24

Family

ID=66540139

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019553745A Active JP7074142B2 (en) 2017-11-20 2018-10-09 Manufacturing method of liquid crystal element

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP7074142B2 (en)
KR (1) KR102321076B1 (en)
CN (1) CN111108433B (en)
TW (1) TWI776974B (en)
WO (1) WO2019097902A1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110880574A (en) * 2019-11-28 2020-03-13 衡阳市鑫晟新能源有限公司 Lithium battery isolation film and preparation method thereof

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003149647A (en) 2001-08-31 2003-05-21 Fujitsu Display Technologies Corp Liquid crystal display device and manufacturing method therefor
JP2006119401A (en) 2004-10-22 2006-05-11 Seiko Epson Corp Method and device for manufacturing electrooptical device, electrooptical device, and electronic equipment
JP2011227106A (en) 2010-04-15 2011-11-10 Jsr Corp Positive radiation-sensitive composition, interlayer insulating film and formation method of the same
JP2014029465A (en) 2012-06-29 2014-02-13 Jsr Corp Liquid crystal photo-aligning agent, liquid crystal alignment film and manufacturing method therefor, liquid crystal display element, compound, and polymer
JP2014074886A (en) 2012-09-14 2014-04-24 Jsr Corp Liquid crystal aligning agent, liquid crystal alignment layer and liquid crystal display element
US20140327866A1 (en) 2013-05-02 2014-11-06 Samsung Display Co., Ltd. Photosensitive resin composition, method of forming pattern, and liquid crystal display using the same
WO2015046374A1 (en) 2013-09-26 2015-04-02 日産化学工業株式会社 Liquid crystal aligning agent and liquid crystal display element using same
WO2015053394A1 (en) 2013-10-10 2015-04-16 日産化学工業株式会社 Composition, treatment agent for liquid crystal alignment, liquid crystal alignment film, and liquid crystal display element
JP2017129768A (en) 2016-01-21 2017-07-27 富士フイルム株式会社 Photosensitive resin composition, method for producing cured product, cured film, display device, and touch panel

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4595417B2 (en) * 2004-07-16 2010-12-08 チッソ株式会社 Phenylenediamine, alignment film formed using the same, and liquid crystal display device including the alignment film
JP5105113B2 (en) * 2010-03-05 2012-12-19 Jsr株式会社 Manufacturing method of liquid crystal display element
JP6618043B2 (en) * 2014-11-12 2019-12-11 日産化学株式会社 Liquid crystal alignment agent, liquid crystal alignment film, and liquid crystal display element
CN104635393A (en) * 2015-02-09 2015-05-20 昆山龙腾光电有限公司 Thin film transistor array substrate and liquid crystal display device

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003149647A (en) 2001-08-31 2003-05-21 Fujitsu Display Technologies Corp Liquid crystal display device and manufacturing method therefor
JP2006119401A (en) 2004-10-22 2006-05-11 Seiko Epson Corp Method and device for manufacturing electrooptical device, electrooptical device, and electronic equipment
JP2011227106A (en) 2010-04-15 2011-11-10 Jsr Corp Positive radiation-sensitive composition, interlayer insulating film and formation method of the same
JP2014029465A (en) 2012-06-29 2014-02-13 Jsr Corp Liquid crystal photo-aligning agent, liquid crystal alignment film and manufacturing method therefor, liquid crystal display element, compound, and polymer
JP2014074886A (en) 2012-09-14 2014-04-24 Jsr Corp Liquid crystal aligning agent, liquid crystal alignment layer and liquid crystal display element
US20140327866A1 (en) 2013-05-02 2014-11-06 Samsung Display Co., Ltd. Photosensitive resin composition, method of forming pattern, and liquid crystal display using the same
WO2015046374A1 (en) 2013-09-26 2015-04-02 日産化学工業株式会社 Liquid crystal aligning agent and liquid crystal display element using same
WO2015053394A1 (en) 2013-10-10 2015-04-16 日産化学工業株式会社 Composition, treatment agent for liquid crystal alignment, liquid crystal alignment film, and liquid crystal display element
JP2017129768A (en) 2016-01-21 2017-07-27 富士フイルム株式会社 Photosensitive resin composition, method for producing cured product, cured film, display device, and touch panel

Also Published As

Publication number Publication date
CN111108433A (en) 2020-05-05
TWI776974B (en) 2022-09-11
KR20200042002A (en) 2020-04-22
JPWO2019097902A1 (en) 2020-07-16
KR102321076B1 (en) 2021-11-02
WO2019097902A1 (en) 2019-05-23
TW201928478A (en) 2019-07-16
CN111108433B (en) 2022-07-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6911885B2 (en) Manufacturing method of liquid crystal alignment film and manufacturing method of liquid crystal element
KR20160112926A (en) Liquid crystal display device and manufacturing method thereof, and liquid crystal aligning agent
JP2018054761A (en) Liquid crystal element and method for manufacturing the same
JP7074142B2 (en) Manufacturing method of liquid crystal element
JPWO2020148953A1 (en) Liquid crystal alignment agent, liquid crystal alignment film and liquid crystal element
JP6981542B2 (en) Liquid crystal alignment agent, liquid crystal alignment film, liquid crystal element and method for manufacturing liquid crystal element
TWI785018B (en) Liquid crystal alignment agent, liquid crystal alignment film, liquid crystal element and polyorganosiloxane
TWI814748B (en) Liquid crystal alignment agent, liquid crystal alignment film, liquid crystal element and manufacturing method of liquid crystal alignment film
JP6756141B2 (en) Liquid crystal alignment agent, polymer composition for forming a protective film, protective film and its manufacturing method, and liquid crystal element
CN112400135B (en) Liquid crystal aligning agent, liquid crystal alignment film, liquid crystal element, and method for manufacturing liquid crystal element
JP6981541B2 (en) Liquid crystal alignment agent, liquid crystal alignment film, liquid crystal element and method for manufacturing liquid crystal element
JP7322694B2 (en) Liquid crystal alignment agent, liquid crystal alignment film and liquid crystal element
TWI791817B (en) Liquid crystal alignment agent and manufacturing method thereof, liquid crystal alignment film and manufacturing method thereof, and liquid crystal element
JP2023107736A (en) Liquid crystal alignment agent, liquid crystal alignment film, liquid crystal element and method for producing liquid crystal element
WO2018168440A1 (en) Liquid crystal element and method for producing same
JP2023170991A (en) Liquid crystal alignment agent, liquid crystal alignment film, and liquid crystal element
WO2021005888A1 (en) Liquid crystal alignment agent, liquid crystal alignment film, and liquid crystal element
JP2023117826A (en) Liquid crystal aligning agent, liquid crystal aligning film and liquid crystal element
JPWO2019176276A1 (en) Liquid crystal alignment agent, liquid crystal alignment film and liquid crystal element

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20200131

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210126

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210326

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210921

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220412

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220425

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7074142

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150