KR20200038697A - 플렉서블 디스플레이 검사 장치 및 이를 이용한 플렉서블 디스플레이 검사 방법 - Google Patents

플렉서블 디스플레이 검사 장치 및 이를 이용한 플렉서블 디스플레이 검사 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이의 불량 유무를 판별하는 검사 장치는 플렉서블 디스플레이를 흡착시키되, 대각선 방향의 영역에 위치되는 제1 흡입부와 제1 흡입부에 수직한 방향의 대각선 영역에 위치되는 제2 흡입부를 포함하는 흡입 스테이지 및 플렉서블 디스플레이를 향하여 광을 조사하는 광원을 포함하며, 흡입 스테이지는 제1 흡입부 및 제2 흡입부에 다수의 관통홀이 형성되어 있는 안착 프레임, 안착 프레임의 일측에 배치되어 관통홀을 통해 흡입력을 가하여 플렉서블 디스플레이를 흡착 유지시키되, 제1 흡입부와 제2 흡입부에 선택적으로 흡입력을 가할 수 있는 흡착포트를 포함한다.

Description

플렉서블 디스플레이 검사 장치 및 이를 이용한 플렉서블 디스플레이 검사 방법{Inspection apparatus for flexible display and Method for inspecting flexible display using thereof}
본 발명은 플렉서블 디스플레이 검사 장치 및 이를 이용한 플렉서블 디스플레이 검사 방법에 관한 것으로, 상세하게는 디스플레이의 일부만 흡착시켜 결함을 판별하는 부분 공압 방식에 관한 플렉서블 디스플레이 검사 장치 및 이를 이용한 플렉서블 디스플레이 검사 방법에 관한 것이다.
종래에는 휴대폰, 노트북 컴퓨터, 텔레비전 및 컴퓨터 모니터와 같은 제품들의 디스플레이로서 평판 디스플레이가 널리 이용되고 있다. 그러나 기술이 발전함에 따라 접거나 구부려도 동일한 화질을 구현하는 플렉서블 디스플레이(flexible display)가 개발되고 있다.
단, 플렉서블 디스플레이는 종래에 사용되던 평판 디스플레이에 비해 제작하는 난이도가 더 높아 종래보다 많은 결함이 발생한다. 플렉서블 디스플레이의 제작과정에서 모서리 꺾임, 모너머, 찍힘, 깨짐, 긁힘 등과 같은 외관 불량이 빈번히 발생하고 외관 불량을 검출하기 위하여 작업자가 불량 검사를 실시한다.
한국 특허공개공보 제10-2005-0065706호(2005.06.30. 공개)
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 플렉서블 디스플레이의 외관 불량 검사를 함에 있어서 정밀도 높은 검사를 수행할 수 있는 플렉서블 디스플레이 검사 장치 및 이를 이용한 플렉서블 디스플레이 검사 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이의 불량 유무를 판별하는 검사 장치는 플렉서블 디스플레이를 흡착시키되, 대각선 방향의 영역에 위치되는 제1 흡입부와 제1 흡입부에 수직한 방향의 대각선 영역에 위치되는 제2 흡입부를 포함하는 흡입 스테이지 및 플렉서블 디스플레이를 향하여 광을 조사하는 광원을 포함하며, 흡입 스테이지는 제1 흡입부 및 제2 흡입부에 다수의 관통홀이 형성되어 있는 안착 프레임, 안착 프레임의 일측에 배치되어 관통홀을 통해 흡입력을 가하여 플렉서블 디스플레이를 흡착 유지시키되, 제1 흡입부와 제2 흡입부에 선택적으로 흡입력을 가할 수 있는 흡착포트를 포함한다.
우선적으로 제1 흡입부를 통해 플렉서블 디스플레이에 흡입력을 가하여 불량 유무를 판별한 다음, 제2 흡입부를 통해 플렉서블 디스플레이에 흡입력을 가하여 불량 유무를 판별하도록 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이의 검사 방법은 X축과 X축을 직교하는 Y축을 기준으로 플렉서블 디스플레이를 제1 내지 제4 사분면영역으로 구분할 때, 플렉서블 디스플레이를 흡입 스테이지에 안착하는 단계, 제1 및 제3 사분면 영역을 흡착하는 단계, 제2 및 제4 사분면 영역의 불량 유무를 판별하는 단계, 제1 및 제3 사분면 영역의 흡착을 해제하고, 제2 및 제4 사분면 영역을 흡착하는 단계 및 제1 및 제3 사분면 영역의 불량 유무를 판별하는 단계를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이의 검사 장치는 플렉서블 디스플레이의 외관 불량을 검사함에 있어서 신뢰도와 정밀도를 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이 검사 장치의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 안착 프레임과 흡착 포트를 나타낸 저면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 플렉서블 디스플레이 검사 장치의 분해도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이 검사 방법에 대한 순서도이다.
도 5는 종래 사용하던 비공압 방식의 플렉서블 디스플레이 검사 방법으로 플렉서블 디스플레이의 모서리 꺾임 불량을 검사한 화면이다.
도 6은 종래 사용하던 비공압 방식의 플렉서블 디스플레이 검사 방법으로 플렉서블 디스플레이의 모너머 불량을 검사한 화면이다.
도 7은 종래 사용하던 비공압 방식의 플렉서블 디스플레이 검사 방법으로 플렉서블 디스플레이의 찍힘 불량을 검사한 화면이다.
도 8은 종래 사용하던 전체 공압 방식의 플렉서블 디스플레이 검사 방법으로 플렉서블 디스플레이의 모서리 꺾임 불량을 검사한 화면이다.
도 9는 종래 사용하던 전체 공압 방식의 플렉서블 디스플레이 검사 방법으로 플렉서블 디스플레이의 모너머 불량을 검사한 화면이다.
도 10은 종래 사용하던 전체 공압 방식의 플렉서블 디스플레이 검사 방법으로 플렉서블 디스플레이의 찍힘 불량을 검사한 화면이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이 검사 방법으로 플렉서블 디스플레이의 모서리 꺾임 불량을 검사한 화면이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이 검사 방법으로 플렉서블 디스플레이의 모너머 불량을 검사한 화면이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이 검사 방법으로 플렉서블 디스플레이의 찍힘 불량을 검사한 화면이다.
첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
설명의 편의를 위해 플렉서블 디스플레이(D)를 검사하는 장치에 있어서, 플렉서블 디스플레이(D)는 X축 및 X축에 직교하는 Y축을 기준으로 네개의 사분면으로 구획되는 것으로 가정할 때, 좌측 상단 부분 영역을 제1 사분면(D1), 제1 사분면(D1)으로부터 시계 방향으로 위치되는 사분면을 제2 사분면(D2), 제3 사분면(D3) 및 제4 사분면(D4)으로 지칭하여 설명한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이 검사 장치(100)는 부분 공압으로 일부만 흡착하면서 플렉서블 디스플레이(D)의 결함을 판단할 수 있는 것으로, 흡입 스테이지(110) 및 광원(120)을 포함한다.
흡입 스테이지(110)는 플렉서블 디스플레이(D)를 안착시킨 상태에서 부분 공압으로 플렉서블 디스플레이(D)의 일부만 흡착시킬 수 있다. 본 명세서에서 개시되는 부분 공압이란, 플렉서블 디스플레이(D)를 기준으로 전체 영역이 아닌 대각선 방향에 위치되는 영역에 대응되는 흡입 스테이지(110)에서만 흡입력을 가하는 것을 말한다. 즉, 일 예로 플렉서블 디스플레이(D)의 제1 사분면(D1)과 제3 사분면(D3)에 해당하는 영역에 대응되는 흡입 스테이지(110)에서만 플렉서블 디스플레이(D)를 흡착시킨다. 다른 예로, 플렉서블 디스플레이(D)의 제2 사분면(D2)과 제4 사분면(D4)에 해당하는 영역에 대응되는 흡입 스테이지(110)에서만 플렉서블 디스플레이(D)를 흡착시킬 수 있다.
흡입 스테이지(110)는 일 예로, 플렉서블 디스플레이(D)의 제1 사분면(D1)과 제3 사분면(D3)에 대응되는 영역에 제1 흡입부(110a), 제2 사분면(D2)과 제4 사분면(D4)에 대응되는 영역에 제2 흡입부(110b)를 갖는다. 흡입 스테이지(110)는 제1 흡입부(110a)와 제2 흡입부(110b)를 통해 순차적으로 플렉서블 디스플레이(D)를 흡착 유지시킬 수 있다.
흡입 스테이지(110)는 흡착되지 않은 부분을 정밀하게 검사할 수 있도록, 플렉서블 디스플레이(D)의 일부만 흡착함으로써 찍힘, 긁힘 등의 결함이 선명하게 노출되게 한다.
흡입 스테이지(110)는 안착 프레임(111)과 흡착포트(112)를 포함한다. 안착 프레임(111)은 플렉서블 디스플레이(D)가 안착되며, 흡입력을 가할 수 있는 관통홀(111a)이 다수 형성되어 있다. 관통홀(111a)은 제1 흡입부(110a)와 제2 흡입부(110b)의 영역에 형성된다. 관통홀(111a)은 크기와 개수에 제한이 없고, 플렉서블 디스플레이(D)의 크기, 형상 및 진공압에 맞추어 플렉서블 디스플레이(D)를 안정적으로 흡착, 유지할 수 있도록 형성된다.
안착 프레임(111)은 투명한 평판 형상일 수 있으며, 일 예로 유리나 아크릴로 구성될 수 있다. 안착 프레임(111)은 피검사체의 형상에 맞추어 정사각형, 직사각형, 원형으로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지는 않는다.
또한, 안착 프레임(111)은 플렉서블 디스플레이(D)가 정전기로 인해 손상되는 것을 방지할 수 있도록 표면이 정전기 방지 처리가 될 수 있다.
흡착포트(112)는 안착 프레임(111)의 하부에 배치되어 안착 프레임(111)의 관통홀(111a)을 통해 흡입력을 가한다. 흡착포트(112)는 안착되는 플렉서블 디스플레이(D)에 흡입력을 가할 수 있도록 진공펌프(미도시)와 연결될 수 있다.
흡착포트(112)는 제1 흡입부(110a)에 대응되는 영역과 제2 흡입부(110b)에 대응되는 영역을 구분하여 순차적으로 흡입력을 가할 수 있도록 구성된다. 흡착포트(112)는 제1 흡입부(110a)에 대응되는 관통홀(111a)에 흡입력을 가하는 제1 흡착포트(1121)와 제2 흡입부(110b)에 대응되는 영역의 관통홀(111a)에 흡입력을 가하는 제2 흡착포트(1122)를 포함할 수 있다.
흡착포트(112)는 일 예로, 제1 흡착포트(1121)를 통해 제1 흡입부(110a)에 대응되는 영역에 흡입력을 가하여 플렉서블 디스플레이(D)의 제1 사분면(D1) 및 제3 사분면(D3)을 흡착 유지시키되, 제2 흡입부(110b)에는 흡입력을 가하지 않을 수 있다.
흡착포트(112)는 다른 예로, 제2 흡착포트(1122)를 통해 제2 흡입부(110b)에 대응되는 영역에 흡입력을 가하여 플렉서블 디스플레이(D)의 제2 사분면(D2) 및 제4 사분면(D4)을 흡착 유지시키되, 제1 흡입부(110a)에는 흡입력을 가하지 않을 수 있다.
단, 전술한 예는 흡착포트(112)의 구성을 설명하기 위한 일 예일뿐, 제1 흡입부(110a)와 제2 흡입부(110b)에 동시에 흡입력을 가하는 것을 배제하는 것은 아니다.
흡입 스테이지(110)는 흡착포트(112)와 결합되는 흡착 프레임(113)을 더 포함할 수 있다. 흡착 프레임(113)은 안착 프레임(111)에 결합하여 내부에 일정한 밀폐공간을 형성할 수 있다. 흡착 프레임(113)은 일 예로 중앙 부분이 함몰된 용기 형태로 형성된다. 그러나, 이에 한정되지 않고 안착부의 형상에 대응되도록 정사각형, 직사각형 또는 원형 등으로 제작될 수 있다. 흡착 프레임(113)은 가벼우면서도 일정한 강도를 갖도록 베크라이트나 아크릴과 같은 플라스틱으로 제작될 수 있다.
광원(120)은 플렉서블 디스플레이(D)에 빛을 제공하여 플렉서블 디스플레이(D)의 결함을 선명하게 발견할 수 있도록 하기 위한 것이다. 광원(120)은 일 예로, 플렉서블 디스플레이(D)의 하부에서 플렉서블 디스플레이(D)에 조명을 제공할 수 있다. 광원(120)은 발광다이오드(LED; Light Emitting Diode), CCFL(Cold Cathode Fluorescent Lamp), EEFL(External Electrode FluorescentLamp) 중 하나일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 광원(120)은 저전압, 저전류로 구동이 가능하며 효율이 좋은 LED로 사용되는 것이 바람직하다. 광원(120)은 플렉서블 디스플레이(D)의 형상에 대응되는 형상을 가져 플렉서블 디스플레이(D)의 모든 면에 균일한 빛을 조사할 수 있다.
광원(120)은 다른 예로, 흡입 스테이지(110) 상부에 배치되어 플렉서블 디스플레이(D) 상면에 빛을 조사할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이 검사 장치(100)는 제어부(미도시)를 더 포함할 수 있다. 제어부(미도시)는 제1 흡입부(110a)를 통해 플렉서블 디스플레이(D)에 흡입력을 가하여 불량 유무를 판별한 다음, 제2 흡입부(110b)를 통해 플렉서블 디스플레이(D)에 흡입력을 가하여 불량 유무를 판별하도록 제어한다.
제어부(미도시)는 흡착포트(112)를 제어하여 제1 흡입부(110a) 및 제2 흡입부(110b)를 통해 순차적으로 플렉서블 디스플레이(D)를 부분적으로 흡착시키는데, 플렉서블 디스플레이(D)의 흡착 상태에 따라 흡입력을 조절할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이 검사 장치(100)는 확산부(130), 메인 프레임(140)을 더 포함할 수 있다. 확산부(130)는 광원(120)과 흡입 스테이지(110) 사이에 배치되어, 피검사체인 플렉서블 디스플레이(D)에 광이 균일하게 조사될 수 있도록 한다. 일 예로, 광원(120)이 LED 조명인 경우 직진성이 강해 일부에만 빛이 집중되는 광 집중 현상이 발생할 수 있으므로 확산부(130)를 통해 빛을 분산시킬 수 있다.
확산부(130)는 일반적으로 광원(120)보다 크게 형성되며, 일 예로 PET재질의 확산필름으로 구성될 수 있다.
메인 프레임(140)은 안착 프레임(111), 흡착포트(112) 및 광원(120)을 내부에 수용하여 고정시킬 수 있다. 메인 프레임(140)은 일 예로, 무게가 가벼우면서도 강성을 갖는 알루미늄으로 제작될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이 검사 방법은 전술한 플렉서블 디스플레이 검사 장치(100)를 이용해 실시될 수 있다. 플렉서블 디스플레이 검사 방법은 플렉서블 디스플레이(D)의 꺾임, 접힘, 이물질 혼합 등의 결함을 판별하는데 있어 정확도를 높이기 위하여 플렉서블 디스플레이(D)에 일부면만을 흡착시킨다음 흡착되지 않은 나머지 면에 대하여 결함 여부를 판단한다.
플렉서블 디스플레이 검사 방법은 플렉서블 디스플레이(D) 안착 단계, 제1 및 제3 사분면(D1, D3) 흡착 단계, 제2 및 제4 사분면(D2, D4) 검사 단계, 제2 및 제4 사분면(D2, D4) 흡착 단계 및 제1 및 제3 사분면(D1, D3) 검사 단계를 포함한다.
먼저 안착 단계에서는 플렉서블 디스플레이(D)를 안착 프레임(111)에 안착시킨다. 이 때, 원활한 공정 진행을 위하여 안착 프레임(111)에 정렬되도록 플렉서블 디스플레이(D)를 안착시킨다.(1010)
제1 및 제3 사분면(D1, D3) 흡착 단계는 흡착포트(112)의 제1 흡입부(110a) 영역에 대응되는 관통홀(111a)을 통해 플렉서블 디스플레이(D)의 제1 및 제3 사분면(D1, D3)을 흡착 유지시킨다. 이 때, 흡입되는 플렉서블 디스플레이(D)의 상태에 따라 흡입되는 정도를 조절할 수 있다.(1020)
제2 및 제4 사분면(D2, D4) 검사 단계는 플렉서블 디스플레이(D)의 제1 및 제3 사분면(D1, D3)을 흡착 유지시킨 채로, 흡착되지 않은 제2 및 제4 사분면(D2, D4)의 결함 여부를 판단한다.(1030)
제1 및 제3 사분면(D1, D3) 검사 단계는 플렉서블 디스플레이(D)에 대한 제1 및 제3 사분면(D1, D3)의 흡착을 해제하고, 제2 및 제4 사분면(D2, D4)을 흡착 유지시킨다.(1040)
제1 및 제3 사분면(D1, D3) 검사 단계는 제2 및 제4 사분면(D2, D4)을 흡착 유지시킨다음 제1 및 제3 사분면(D1, D3)의 결함여부를 판단한다.(1050)
도 5는 종래 사용하던 비공압 방식의 플렉서블 디스플레이 검사 방법으로 플렉서블 디스플레이(D)의 모서리 꺾임 불량을 검사한 화면이다. 도 6은 종래 사용하던 비공압 방식의 플렉서블 디스플레이 검사 방법으로 플렉서블 디스플레이(D)의 모너머 불량을 검사한 화면이다. 도 7은 종래 사용하던 비공압 방식의 플렉서블 디스플레이 검사 방법으로 플렉서블 디스플레이(D)의 찍힘 불량을 검사한 화면이다.
도 5 내지 도 7을 참조하면, 종래에 사용되던 비공압 방식의 플렉서블 디스플레이 검사 방법은 각 화면 별로 밝기 차이가 커지는 것을 알 수 있다. 이는 검사 대상인 플렉서블 디스플레이(D)의 휨 정도가 커질 때 어두워서 카메라에서 시인되지 않는 부분이 발생하기 때문이다. 따라서, 비공압 방식으로 플렉서블 디스플레이(D)를 검사하는 경우 어두워서 카메라에서 시인되지 않는 부분에 모서리 꺾힘, 모너머 및 찍힘 등의 불량이 존재하는 경우 불량 검출이 어려워진다.
도 8은 종래 사용하던 전체 공압 방식의 플렉서블 디스플레이 검사 방법으로 플렉서블 디스플레이(D)의 모서리 꺾임 불량을 검사한 화면이다. 도 9는 종래 사용하던 전체 공압 방식의 플렉서블 디스플레이 검사 방법으로 플렉서블 디스플레이(D)의 모너머 불량을 검사한 화면이다. 도 10은 종래 사용하던 전체 공압 방식의 플렉서블 디스플레이 검사 방법으로 플렉서블 디스플레이(D)의 찍힘 불량을 검사한 화면이다.
도 8 내지 10을 참조하면, 종래에 사용되던 전체 공압 방식의 플렉서블 디스플레이 검사 방법은 플렉서블 디스플레이(D) 전면에 흡착력이 가해져 불량이 없는 부분뿐 아니라, 모서리 꺾임, 모너머 및 찍힘 불량이 존재하는 부분까지 흡착되어 펴진다. 따라서, 플렉서블 디스플레이(D) 전면에 흡착력이 가해지는 전체 공압 방식의 플렉서블 디스플레이 검사 방법으로는 불량이 간과되어 검출되지 않게 된다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이 검사 방법으로 플렉서블 디스플레이(D)의 모서리 꺾임 불량을 검사한 화면이다. 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이 검사 방법으로 플렉서블 디스플레이(D)의 모너머 불량을 검사한 화면이다. 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이 검사 방법으로 플렉서블 디스플레이(D)의 찍힘 불량을 검사한 화면이다.
도 11 내지 13을 참조하면, 부분 공압 방식을 이용할 때 흡착되지 않은 면을검사할 수 있으므로 전체 공압의 문제가 발생하지 않고, 흡착된 면이 흡착되지 않은 면의 휨 정도를 감소시켜 밝기 차이를 감소시켜 카메라로 시인되지 않는 부분이 발생하지 않는다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 방법은 전체 공압 방식과 비공압 방식의 문제를 해결하여 플렉서블 디스플레이(D)의 모서리 꺾임, 모너머 및 찍힘 불량을 보다 정밀하게 판별할 수 있도록 한다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
100: 플렉서블 디스플레이 검사 장치, 110: 흡입 스테이지,
111: 안착 프레임, 112: 흡착포트,
113: 흡착 프레임, 120: 광원
130: 확산부, 140: 메인 프레임
D: 플렉서블 디스플레이, D1: 제1 사분면,
D2: 제2 사분면, D3: 제3 사분면,
D4: 제4 사분면

Claims (3)

  1. 플렉서블 디스플레이의 불량 유무를 판별하는 검사 장치에 있어서,
    플렉서블 디스플레이를 흡착시키되, 대각선 방향의 영역에 위치되는 제1 흡입부와 상기 제1 흡입부에 수직한 방향의 대각선 영역에 위치되는 제2 흡입부를 포함하는 흡입 스테이지; 및
    플렉서블 디스플레이를 향하여 광을 조사하는 광원을 포함하며,
    상기 흡입 스테이지는,
    제1 흡입부 및 제2 흡입부에 다수의 관통홀이 형성되어 있는 안착 프레임;
    상기 안착 프레임의 일측에 배치되어 관통홀을 통해 흡입력을 가하여 플렉서블 디스플레이를 흡착 유지시키되, 제1 흡입부와 제2 흡입부에 선택적으로 흡입력을 가할 수 있는 흡착포트를 포함하는 플렉서블 디스플레이 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    우선적으로 제1 흡입부를 통해 플렉서블 디스플레이에 흡입력을 가하여 불량 유무를 판별한 다음, 제2 흡입부를 통해 플렉서블 디스플레이에 흡입력을 가하여 불량 유무를 판별하도록 제어하는 제어부를 더 포함하는 플렉서블 디스플레이 검사 장치.
  3. 플렉서블 디스플레이의 불량 유무를 판별하는 검사 방법에 있어서,
    X축과 X축을 직교하는 Y축을 기준으로 플렉서블 디스플레이를 제1 내지 제4 사분면영역으로 구분할 때,
    플렉서블 디스플레이를 흡입 스테이지에 안착하는 단계;
    제1 및 제3 사분면 영역을 흡착하는 단계;
    제2 및 제4 사분면 영역의 불량 유무를 판별하는 단계;
    제1 및 제3 사분면 영역의 흡착을 해제하고, 제2 및 제4 사분면 영역을 흡착하는 단계; 및
    제1 및 제3 사분면 영역의 불량 유무를 판별하는 단계를 포함하는 플렉서블 디스플레이 검사 방법.
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KR20050065706A (ko) 2003-12-23 2005-06-30 주식회사 디이엔티 평판 디스플레이 검사장치

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