KR20200034586A - Apparatus for adhering tape - Google Patents

Apparatus for adhering tape Download PDF

Info

Publication number
KR20200034586A
KR20200034586A KR1020190104303A KR20190104303A KR20200034586A KR 20200034586 A KR20200034586 A KR 20200034586A KR 1020190104303 A KR1020190104303 A KR 1020190104303A KR 20190104303 A KR20190104303 A KR 20190104303A KR 20200034586 A KR20200034586 A KR 20200034586A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
tape
unit
light
roller pair
detection display
Prior art date
Application number
KR1020190104303A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
요시노리 가키누마
요시쿠니 미기야마
가즈키 스기우라
Original Assignee
가부시기가이샤 디스코
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시기가이샤 디스코 filed Critical 가부시기가이샤 디스코
Publication of KR20200034586A publication Critical patent/KR20200034586A/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H37/00—Article or web delivery apparatus incorporating devices for performing specified auxiliary operations
    • B65H37/04—Article or web delivery apparatus incorporating devices for performing specified auxiliary operations for securing together articles or webs, e.g. by adhesive, stitching or stapling
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67132—Apparatus for placing on an insulating substrate, e.g. tape
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H20/00—Advancing webs
    • B65H20/02—Advancing webs by friction roller
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H23/00—Registering, tensioning, smoothing or guiding webs
    • B65H23/04—Registering, tensioning, smoothing or guiding webs longitudinally
    • B65H23/26—Registering, tensioning, smoothing or guiding webs longitudinally by transverse stationary or adjustable bars or rollers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H35/00—Delivering articles from cutting or line-perforating machines; Article or web delivery apparatus incorporating cutting or line-perforating devices, e.g. adhesive tape dispensers
    • B65H35/04—Delivering articles from cutting or line-perforating machines; Article or web delivery apparatus incorporating cutting or line-perforating devices, e.g. adhesive tape dispensers from or with transverse cutters or perforators
    • B65H35/06—Delivering articles from cutting or line-perforating machines; Article or web delivery apparatus incorporating cutting or line-perforating devices, e.g. adhesive tape dispensers from or with transverse cutters or perforators from or with blade, e.g. shear-blade, cutters or perforators
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67092—Apparatus for mechanical treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/50—Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto

Abstract

An objective of the present invention is to provide a tape affixing apparatus capable of easily installing tape on a predetermined path. The tape affixing apparatus (1) comprises: a discharge unit (20) to discharge tape (200); an affixing unit (40) to affix the tape (200) to a workpiece (100); a cutting unit (50) to cut the tape (200); a tape winding unit (60) to wind the tape (200); and a plurality of transport rollers (70) to transport the tape (200). The tape affixing apparatus (1) further comprises: a plurality of sensors on a path (72) on which the tape (200) is installed to detect whether the tape (200) is present; and a plurality of lights to accompany signals from the sensors to turn on by a control unit (90). The control unit (90) accompanies signals from the sensors to turn on the lights installed at positions through the tape passes next when installing the tape (200).

Description

테이프 첩부 장치{APPARATUS FOR ADHERING TAPE}Tape attaching device {APPARATUS FOR ADHERING TAPE}

본 발명은, 반도체 웨이퍼 등의 피가공물의 일방의 면에 보호 테이프를 첩부하는 테이프 첩부 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a tape affixing device that affixes a protective tape to one surface of a workpiece, such as a semiconductor wafer.

반도체 웨이퍼 등의 피가공물에 보호 테이프 등의 테이프를 붙이는 경우, 테이프에 주름이 발생하지 않도록, 테이프에 텐션을 가하여 첩부하는 것이 필요하기 때문에, 송출 유닛으로부터 권취 유닛까지 복수의 롤러로 이루어지는 반송 유닛을 통과시켜 붙이는 첩부 장치가 사용되고 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).When attaching a tape such as a protective tape to a workpiece such as a semiconductor wafer, it is necessary to apply a tension to the tape so as not to cause wrinkles on the tape, so a conveying unit comprising a plurality of rollers from the sending unit to the winding unit A sticking device for passing through is used (for example, see Patent Document 1).

일본 공개특허공보 2015-82642호Japanese Patent Application Publication No. 2015-82642

그러나, 특허문헌 1 에 나타내어진 첩부 장치는, 테이프가 권회 (卷回) 된 롤 자체를 교환할 때나, 테이프가 파단된 경우, 작업자가 테이프를 각 반송 유닛에 미리 정해진 순서 및 경로로 통과시킬 필요가 생긴다. 이 경우, 특허문헌 1 에 나타내어진 첩부 장치는, 경유하는 반송 유닛이 많기 때문에, 테이프를 미리 정해진 순번 및 경로로 통과시키는 작업이 번잡하여, 테이프를 통과시키는 순번 및 경로를 실수할 가능성이 있다.However, the sticking device shown in Patent Document 1 requires the operator to pass the tape to each conveying unit in a predetermined sequence and path when replacing the roll itself on which the tape has been wound, or when the tape is broken. Occurs. In this case, since the attaching device shown in Patent Document 1 has many conveying units passing through, the operation of passing the tape through a predetermined sequence and route is complicated, and there is a possibility that the sequence and route through which the tape passes are mistaken.

본 발명은, 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은, 미리 정해진 경로대로 테이프를 용이하게 설치할 수 있는 테이프 첩부 장치를 제공하는 것이다.The present invention has been made in view of these problems, and its object is to provide a tape attaching device that can easily install a tape according to a predetermined path.

상기 서술한 과제를 해결하고, 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 테이프 첩부 장치는, 피가공물의 일방의 면에 테이프를 첩착 (貼着) 하는 테이프 첩부 장치로서, 롤상으로 권회된 그 테이프를 송출하는 송출 유닛과, 그 송출 유닛으로부터 공급된 그 테이프를 그 피가공물에 첩착하는 첩착 유닛과, 그 테이프를 피가공물에 첩착한 후에 그 테이프의 불요 부분을 절단하는 절단 유닛과, 그 절단 유닛에 의해 절단된 후의 그 테이프를 권취하는 테이프 권취 유닛과, 그 송출 유닛으로부터 그 테이프 권취 유닛 사이에 배치되어, 그 테이프를 반송하는 복수의 반송 롤러를 구비하고, 그 송출 유닛으로부터 그 테이프 권취 유닛까지 복수의 그 반송 롤러를 경유하여 그 테이프를 설치하는 경로에는, 테이프의 유무를 검출하는 복수의 센서와, 제어 유닛에 의해 그 센서로부터의 신호에 수반하여 점등하는 복수의 라이트를 추가로 구비하고, 그 제어 유닛은, 작업자가 그 송출 유닛으로부터 그 테이프 권취 유닛까지 테이프를 설치할 때에, 그 센서로부터의 신호에 수반하여 작업자가 다음으로 테이프를 통과시켜야 하는 위치에 설치된 그 라이트를 점등시키는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above-described problems and achieve the object, the tape pasting device of the present invention is a tape pasting device that adheres a tape to one side of a workpiece, and transmits the tape wound in a roll. The dispensing unit to be said, the sticking unit which affixes the tape supplied from the said sending unit to the to-be-processed object, the cutting unit which affixes the tape to the to-be-processed object, and cuts the unnecessary part of the tape, and the cutting unit A tape take-up unit for winding the tape after being cut by, and a plurality of conveying rollers arranged between the delivery unit and the tape take-up unit to convey the tape, are provided to the tape take-up unit. In the path where the tape is installed via the conveying roller of the, it is controlled by a plurality of sensors and control units for detecting the presence or absence of the tape A plurality of lights that light up with the signal from the sensor is further provided, and the control unit is provided with an operator following the signal from the sensor when the worker installs the tape from the sending unit to the tape winding unit. It is characterized in that to light the light installed at a position where the tape should pass.

상기 테이프 첩부 장치에 있어서, 그 센서는, 투광부와 수광부를 구비하고, 수광량의 변화에 의해 테이프의 어긋남을 검출해도 된다.In the above-mentioned tape pasting device, the sensor includes a light transmitting portion and a light receiving portion, and may detect a displacement of the tape due to a change in the light receiving amount.

본 발명은, 미리 정해진 경로대로 테이프를 용이하게 설치할 수 있다는 효과를 발휘한다.The present invention exerts an effect that the tape can be easily installed in a predetermined path.

도 1 은, 실시형태 1 에 관련된 테이프 첩부 장치의 개략 구성을 모식적으로 나타내는 측단면도이다.
도 2 는, 실시형태 1 에 관련된 테이프 첩부 장치에 의해 피가공물에 첩부되는 테이프의 사시도이다.
도 3 은, 도 2 중의 III-III 선을 따른 단면도이다.
도 4 는, 도 1 에 나타내어진 테이프 첩부 장치의 제 2 롤러쌍 등을 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 5 는, 도 1 에 나타내어진 테이프 첩부 장치의 검출 표시 유닛을 모식적으로 나타내는 측단면도이다.
도 6 은, 도 1 에 나타내어진 테이프 첩부 장치의 첩착 유닛이 테이프를 피가공물 및 환상 프레임에 첩착하는 상태를 모식적으로 나타내는 측단면도이다.
도 7 은, 도 1 에 나타내어진 테이프 첩부 장치의 절단 유닛이 테이프를 절단하는 상태를 모식적으로 나타내는 측단면도이다.
도 8 은, 실시형태 2 에 관련된 테이프 첩부 장치의 검출 표시 유닛을 모식적으로 나타내는 측단면도이다.1 is a side cross-sectional view schematically showing a schematic configuration of a tape pasting device according to a first embodiment.
2 is a perspective view of a tape affixed to a workpiece by the tape pasting apparatus according to the first embodiment.
3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG. 2.
4 is a perspective view schematically showing a second pair of rollers and the like of the tape pasting device shown in FIG. 1.
5 is a side cross-sectional view schematically showing the detection display unit of the tape pasting device shown in FIG. 1.
FIG. 6 is a side cross-sectional view schematically showing a state in which the sticking unit of the tape sticking device shown in FIG. 1 sticks the tape to the workpiece and the annular frame.
7 is a side cross-sectional view schematically showing a state in which the cutting unit of the tape pasting device shown in FIG. 1 cuts the tape.
8 is a side cross-sectional view schematically showing the detection and display unit of the tape pasting apparatus according to the second embodiment.

본 발명을 실시하기 위한 형태 (실시형태) 에 대해, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 이하의 실시형태에 기재한 내용에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또, 이하에 기재한 구성 요소에는, 당업자가 용이하게 상정할 수 있는 것, 실질적으로 동일한 것이 포함된다. 또한, 이하에 기재한 구성은 적절히 조합하는 것이 가능하다. 또, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성의 여러 가지의 생략, 치환 또는 변경을 실시할 수 있다.EMBODIMENT OF THE INVENTION The form (embodiment) for implementing this invention is demonstrated in detail, referring drawings. The present invention is not limited by the contents described in the following embodiments. In addition, the components described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and substantially the same. In addition, the structures described below can be appropriately combined. In addition, various omissions, substitutions, or changes in construction can be made without departing from the spirit of the present invention.

〔실시형태 1〕[Embodiment 1]

본 발명의 실시형태 1 에 관련된 테이프 첩부 장치를 도면에 기초하여 설명한다. 도 1 은, 실시형태 1 에 관련된 테이프 첩부 장치의 개략 구성을 모식적으로 나타내는 측단면도이다. 도 2 는, 실시형태 1 에 관련된 테이프 첩부 장치에 의해 피가공물에 첩부되는 테이프의 사시도이다. 도 3 은, 도 2 중의 III-III 선을 따른 단면도이다. 도 4 는, 도 1 에 나타내어진 테이프 첩부 장치의 제 2 롤러쌍 등을 모식적으로 나타내는 사시도이다. 도 5 는, 도 1 에 나타내어진 테이프 첩부 장치의 검출 표시 유닛을 모식적으로 나타내는 측단면도이다.The tape pasting apparatus according to Embodiment 1 of the present invention will be described based on the drawings. 1 is a side cross-sectional view schematically showing a schematic configuration of a tape pasting device according to a first embodiment. 2 is a perspective view of a tape affixed to a workpiece by the tape pasting apparatus according to the first embodiment. 3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG. 2. 4 is a perspective view schematically showing a second pair of rollers and the like of the tape pasting device shown in FIG. 1. 5 is a side cross-sectional view schematically showing the detection display unit of the tape pasting device shown in FIG. 1.

실시형태 1 에 관련된 도 1 에 나타내는 테이프 첩부 장치 (1) 는, 피가공물 (100) 의 일방의 면인 이면 (101) 에 테이프 (200) 를 첩착하는 장치이다. 실시형태 1 에 있어서, 테이프 첩부 장치 (1) 에 의해 테이프 (200) 가 첩착되는 피가공물 (100) 은, 실리콘, 사파이어, 또는 갈륨비소 등을 기판으로 하는 원판상의 반도체 웨이퍼나 광 디바이스 웨이퍼 등의 웨이퍼이다. 피가공물 (100) 은, 기판의 타방의 면인 표면 (102) 의 복수의 분할 예정 라인에 의해 구획된 영역에 각각 디바이스가 형성되어 있다. 디바이스는, 예를 들어, IC (Integrated Circuit), 또는 LSI (Large Scale Integration) 등의 집적 회로, CCD (Charge Coupled Device), 또는 CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) 등의 이미지 센서이다. 또한, 실시형태 1 에 있어서, 테이프 첩부 장치 (1) 는, 피가공물 (100) 의 표면 (102) 뒤쪽의 이면에 테이프 (200) 를 첩착하지만, 본 발명에서는, 피가공물 (100) 의 표면 (102) 에 테이프 (200) 를 첩착해도 된다.The tape pasting apparatus 1 shown in FIG. 1 which concerns on Embodiment 1 is an apparatus which sticks the tape 200 on the back surface 101 which is one surface of the to-be-processed object 100. As shown in FIG. In the first embodiment, the workpiece 100 to which the tape 200 is adhered by the tape attaching device 1 is such as a disk-shaped semiconductor wafer or an optical device wafer made of silicon, sapphire, or gallium arsenide as a substrate. It is a wafer. Devices to be processed 100 are formed in regions divided by a plurality of division scheduled lines of the surface 102 which is the other side of the substrate. The device is, for example, an integrated circuit such as an integrated circuit (IC) or a large scale integration (LSI), an image sensor such as a charge coupled device (CCD), or a complementary metal oxide semiconductor (CMOS). Further, in the first embodiment, the tape attaching device 1 adheres the tape 200 to the back surface of the work piece 100 behind the surface 102, but in the present invention, the surface of the work piece 100 The tape 200 may be adhered to the 102.

실시형태 1 에 관련된 테이프 첩부 장치 (1) 에 의해 피가공물 (100) 의 이면 (101) 에 첩착되는 테이프 (200) 는, 차광성을 갖는 합성 수지로 구성된 기재층과, 기재층 상에 적층되며 또한 피가공물 (100) 에 첩착되는 점착층을 구비하고 있다. 실시형태 1 에 있어서, 테이프 (200) 는, 도 2 및 도 3 에 나타내는 바와 같이, 장척 (長尺) 인 시트상의 부재로서 성형되고, 점착층에 박리지 (201) 가 첩착된 상태에서, 롤상으로 권회되어 있다. 실시형태 1 에서는, 테이프 (200) 는, 박리지 (201) 가 내주측에 위치하도록, 롤상으로 권회되어 있다. 또한, 박리지 (201) 는, 테이프 (200) 의 점착층을 보호하는 것이다. 실시형태 1 에 있어서, 테이프 (200) 는, 테이프 첩부 장치 (1) 에 의해 단부로부터 순서대로 박리지 (201) 가 벗겨져, 피가공물 (100) 의 이면 (101) 과 피가공물 (100) 보다 내경이 큰 환상 프레임 (103) 에 첩착됨과 함께, 환상 프레임 (103) 의 내연과 외연 사이에서 절단시켜, 피가공물 (100) 및 환상 프레임 (103) 에 첩착된다.The tape 200 adhered to the back surface 101 of the workpiece 100 by the tape attaching device 1 according to the first embodiment is laminated on a base layer and a base layer made of synthetic resin having light-shielding properties In addition, an adhesive layer adhered to the workpiece 100 is provided. In the first embodiment, the tape 200 is molded as a long sheet-like member as shown in Figs. 2 and 3, and rolled in a state where the release paper 201 is adhered to the adhesive layer. It has been rolled. In the first embodiment, the tape 200 is wound in a roll shape so that the release paper 201 is located on the inner circumferential side. In addition, the release paper 201 protects the adhesive layer of the tape 200. In the first embodiment, the tape 200 is peeled off in order from the end portion by the tape attaching device 1, and the inner diameter of the work piece 100 is lower than that of the back surface 101 and the work piece 100. While being attached to the large annular frame 103, it is cut between the inner and outer edges of the annular frame 103, and is adhered to the workpiece 100 and the annular frame 103.

피가공물 (100) 에 테이프 (200) 를 첩착하는 테이프 첩부 장치 (1) 는, 테이프 (200) 를 피가공물 (100) 의 이면 (101) 과 환상 프레임 (103) 에 첩착하고, 테이프 (200) 를 환상 프레임 (103) 의 내연과 외연 사이에서 절단하는 장치이다. 테이프 첩부 장치 (1) 는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 장치 기대 (基臺) (2) 와, 척 테이블 (10) 과, 송출 유닛 (20) 과, 박리지 권취 유닛 (30) 과, 첩착 유닛 (40) 과, 절단 유닛 (50) 과, 테이프 권취 유닛 (60) 과, 복수의 반송 롤러 (70) 와, 제어 유닛 (90) 을 구비한다.The tape affixing device 1 that affixes the tape 200 to the work piece 100, affixes the tape 200 to the back surface 101 and the annular frame 103 of the work piece 100, and the tape 200 ) Is a device for cutting between the inner and outer edges of the annular frame 103. As shown in FIG. 1, the tape affixing device 1 is a device base 2, a chuck table 10, a delivery unit 20, a release paper winding unit 30, and affixing. A unit 40, a cutting unit 50, a tape winding unit 60, a plurality of conveying rollers 70, and a control unit 90 are provided.

장치 기대 (2) 는, 테이프 첩부 장치 (1) 의 각 부를 지지한다. 실시형태 1 에 있어서, 장치 기대 (2) 의 상면은, 수평 방향과 평행한 X 축 방향과, 수평 방향과 평행하며 또한 X 축 방향과 직교하는 Y 축 방향의 쌍방과 평행하게 배치되어 있다.The device base 2 supports each part of the tape pasting device 1. In the first embodiment, the upper surface of the device base 2 is arranged parallel to both the X-axis direction parallel to the horizontal direction and the Y-axis direction parallel to the horizontal direction and perpendicular to the X-axis direction.

척 테이블 (10) 은, 장치 기대 (2) 의 상면의 X 축 방향의 중앙에 설치되고, X 축 방향과 Y 축 방향의 쌍방에 평행함과 함께, 피가공물 (100) 및 환상 프레임 (103) 이 재치 (載置) 되는 유지면 (11) 을 가지고 있다. 척 테이블 (10) 은, 유지면 (11) 에 재치된 피가공물 (100) 및 환상 프레임 (103) 을 도시되지 않은 흡인원에 의해 흡인 유지한다. 또, 척 테이블 (10) 은, 도시되지 않은 Z 축 이동 기구에 의해 X 축 방향과 Y 축 방향의 쌍방에 직교하는 Z 축 방향을 따라 자유롭게 승강할 수 있게 형성되어 있다.The chuck table 10 is provided at the center of the upper surface of the device base 2 in the X-axis direction, and is parallel to both the X-axis direction and the Y-axis direction, and the workpiece 100 and the annular frame 103 It has this mounted holding surface 11. The chuck table 10 holds and holds the workpiece 100 placed on the holding surface 11 and the annular frame 103 by a suction source (not shown). Further, the chuck table 10 is formed so as to be able to freely move up and down along the Z-axis direction orthogonal to both the X-axis direction and the Y-axis direction by a Z-axis moving mechanism (not shown).

송출 유닛 (20) 은, 롤상으로 권회된 테이프 (200) 를 단부로부터 순서대로 장치 기대 (2) 에 설치된 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 상에 송출하는 것이다. 송출 유닛 (20) 은, 실시형태 1 에서는, 장치 기대 (2) 의 X 축 방향의 일단부 상에 배치되어 있다. 송출 유닛 (20) 은, 축심이 Y 축 방향과 평행한 원기둥상으로 형성되고, 축심 둘레로 자유롭게 회전할 수 있게 형성되어 있다. 송출 유닛 (20) 은, 외주면 상에 롤상으로 권회된 테이프 (200) 가 감기는 상태에서, 테이프 (200) 가 세트된다.The delivery unit 20 delivers the tape 200 wound in a roll form on the holding surface 11 of the chuck table 10 provided on the device base 2 in order from the end. In the first embodiment, the delivery unit 20 is disposed on one end of the device base 2 in the X-axis direction. The delivery unit 20 is formed in a cylindrical shape in which the axial center is parallel to the Y-axis direction, and is formed to be free to rotate around the axial center. In the delivery unit 20, the tape 200 is set in a state where the tape 200 wound in a roll shape on the outer circumferential surface is wound.

박리지 권취 유닛 (30) 은, 송출 유닛 (20) 으로부터 송출된 테이프 (200) 로부터 벗겨진 박리지 (201) 를 권취하는 것이다. 박리지 권취 유닛 (30) 은, 실시형태 1 에서는, 송출 유닛 (20) 의 하방에 배치되어 있다. 박리지 권취 유닛 (30) 은, 축심이 Y 축 방향과 평행한 원기둥상으로 형성되고, 도시되지 않은 모터 등의 구동 장치에 의해 축심 둘레로 회전됨으로써, 외주면 상에 테이프 (200) 로부터 벗겨진 박리지 (201) 를 권취한다.The release paper winding unit 30 winds the release paper 201 peeled from the tape 200 sent out from the delivery unit 20. The release paper winding unit 30 is disposed below the delivery unit 20 in the first embodiment. The release paper winding unit 30 is formed of a cylindrical shape whose axis is parallel to the Y-axis direction, and is rotated around the axis by a driving device such as a motor (not shown), so that the release paper peeled from the tape 200 on the outer circumferential surface. (201) is wound.

첩착 유닛 (40) 은, 송출 유닛 (20) 으로부터 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 상에 공급된 테이프 (200) 를 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 에 흡인 유지된 피가공물 (100) 및 환상 프레임 (103) 에 첩착하는 것이다. 첩착 유닛 (40) 은, 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 의 상방에 배치되어 있다. 첩착 유닛 (40) 은, 축심이 Y 축 방향과 평행한 원기둥상으로 형성된 첩착 롤러 (41) 와, 첩착 롤러 (41) 를 축심 둘레로 자유롭게 회전할 수 있게 지지함과 함께 도시되지 않은 이동 기구에 의해 X 축 방향 및 Z 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있게 형성된 롤러 지지 부재 (42) 를 구비한다. 첩착 유닛 (40) 은, 이동 기구에 의해 하강된 상태에서 X 축 방향으로 이동함으로써, Z 축 이동 기구에 의해 상승된 척 테이블 (10) 에 유지된 환상 프레임 (103) 과 피가공물 (100) 에 테이프 (200) 를 첩착한다.The adhered unit 40 is a work piece that is sucked and held by the tape 200 supplied from the delivery unit 20 on the holding surface 11 of the chuck table 10 to the holding surface 11 of the chuck table 10. It adheres to the (100) and the annular frame (103). The sticking unit 40 is disposed above the holding surface 11 of the chuck table 10. The sticking unit 40 is attached to a sticking roller 41 formed in a cylindrical shape with a shaft center parallel to the Y axis direction, and a moving mechanism not shown, while supporting the sticking roller 41 to be freely rotated around the shaft center. It is provided with a roller support member 42 formed by freely moving in the X-axis direction and the Z-axis direction. The adhering unit 40 is moved to the X-axis direction in a state of being lowered by the moving mechanism, thereby to the annular frame 103 and the workpiece 100 held on the chuck table 10 raised by the Z-axis moving mechanism. The tape 200 is adhered.

절단 유닛 (50) 은, 테이프 (200) 를 피가공물 (100) 및 환상 프레임 (103) 에 첩착한 후에 테이프 (200) 의 불요 부분을 절단하는 것이다. 실시형태 1 에 있어서, 테이프 (200) 의 불요 부분은, 환상 프레임 (103) 에 첩착된 테이프 (200) 의 환상 프레임 (103) 의 내연과 외연 사이보다 외주측의 부분이다. 절단 유닛 (50) 은, 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 의 상방에 배치되고, 도시되지 않은 Z 축 이동 기구에 의해 첩착 유닛 (40) 과 독립적으로 Z 축 방향으로 자유롭게 승강할 수 있게 형성되어 있다.The cutting unit 50 is to cut the unnecessary portion of the tape 200 after the tape 200 is adhered to the workpiece 100 and the annular frame 103. In the first embodiment, the unnecessary portion of the tape 200 is a portion on the outer circumferential side than between the inner edge and the outer edge of the annular frame 103 of the tape 200 attached to the annular frame 103. The cutting unit 50 is disposed above the holding surface 11 of the chuck table 10, and can be freely moved up and down in the Z axis direction independently of the attachment unit 40 by a Z axis movement mechanism not shown. Is formed.

실시형태 1 에 있어서, 절단 유닛 (50) 은, 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 의 중심 상에 배치되며 또한 도시되지 않은 모터 등의 구동 장치에 의해 축심 둘레로 회전되는 회전축 (51) 과, 회전축 (51) 으로부터 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 과 평행하게 외연을 향해 연장된 아암 (52) 과, 아암 (52) 의 선단에 장착되며 또한 아암 (52) 으로부터 하방을 향해 연장되어 테이프 (200) 를 환상 프레임 (103) 의 내연과 외연 사이에서 절단 가능한 커터 (53) 를 구비한다. 또한, 회전축 (51) 의 축심은, Z 축 방향과 평행이다.In the first embodiment, the cutting unit 50 is disposed on the center of the holding surface 11 of the chuck table 10, and the rotating shaft 51 is rotated around the shaft center by a driving device such as a motor not shown. And, the arm 52 extending toward the outer edge parallel to the holding surface 11 of the chuck table 10 from the rotation shaft 51, and is mounted to the tip of the arm 52 and also downward from the arm 52 It is provided with a cutter 53 that can extend and cut the tape 200 between the inner and outer edges of the annular frame 103. In addition, the axis center of the rotation shaft 51 is parallel to the Z-axis direction.

절단 유닛 (50) 은, Z 축 이동 기구에 의해 하강된 상태에서 회전축 (51) 이 축심 둘레로 회전됨으로써, Z 축 이동 기구에 의해 상승된 척 테이블 (10) 에 유지된 환상 프레임 (103) 의 내연과 외연 사이에서 테이프 (200) 에 커터 (53) 가 절입되어, 테이프 (200) 의 피가공물 (100) 및 환상 프레임 (103) 에 첩착된 부분을 불요 부분으로부터 절단한다. 또한, 실시형태 1 에서는, 테이프 첩부 장치 (1) 는, 절단 유닛 (50) 의 커터 (53) 를 회전축 (51) 의 축심 둘레로 회전시켜 테이프 (200) 를 절단하지만, 본 발명에서는, 커터 (53) 를 환상 프레임 (103) 의 내연과 외연 사이에서 테이프 (200) 에 절입시킨 상태에서, 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 을 Z 축 방향과 평행한 축심 둘레로 회전시켜 테이프 (200) 를 절단해도 된다.The cutting unit 50 is rotated around the axial center in the state of being lowered by the Z-axis moving mechanism, so that the annular frame 103 held on the chuck table 10 raised by the Z-axis moving mechanism is rotated. A cutter 53 is cut into the tape 200 between the inner edge and the outer edge, and the portion adhered to the workpiece 100 and the annular frame 103 of the tape 200 is cut from the unnecessary portion. Further, in the first embodiment, the tape attaching device 1 cuts the tape 200 by rotating the cutter 53 of the cutting unit 50 around the axis center of the rotary shaft 51, but in the present invention, the cutter ( 53) is cut into the tape 200 between the inner edge and the outer edge of the annular frame 103, and the holding surface 11 of the chuck table 10 is rotated around an axis center parallel to the Z-axis direction to tape 200 ) May be cut.

테이프 권취 유닛 (60) 은, 절단 유닛 (50) 에 의해 피가공물 (100) 및 환상 프레임 (103) 에 첩착된 부분이 절단된 후의 테이프 (200) 의 불요 부분을 권취하는 것이다. 테이프 권취 유닛 (60) 은, 실시형태 1 에서는, 장치 기대 (2) 의 X 축 방향의 타단부 상에 배치되어 있다. 테이프 권취 유닛 (60) 은, 축심이 Y 축 방향과 평행한 원기둥상으로 형성되고, 도시되지 않은 모터 등의 구동 장치에 의해 축심 둘레로 회전됨으로써, 외주면 상에 테이프 (200) 를 권취한다.The tape winding unit 60 winds the unnecessary part of the tape 200 after the part stuck to the workpiece 100 and the annular frame 103 is cut by the cutting unit 50. In the first embodiment, the tape winding unit 60 is disposed on the other end portion in the X-axis direction of the device base 2. The tape winding unit 60 winds the tape 200 on the outer circumferential surface by being formed in a cylindrical shape with the axial center parallel to the Y-axis direction and being rotated around the axial center by a driving device such as a motor not shown.

복수의 반송 롤러 (70) 는, 송출 유닛 (20) 으로부터 테이프 권취 유닛 (60) 사이에 배치되고, 테이프 (200) 를 송출 유닛 (20) 으로부터 테이프 권취 유닛 (60) 에 반송함과 함께, 테이프 (200) 에 늘어짐이 생기는 것을 억제하기 위해 테이프 (200) 에 텐션을 부여하는 것이다. 복수의 반송 롤러 (70) 는, 축심이 Y 축 방향과 평행한 원기둥상으로 형성되며, 또한 축심 둘레로 자유롭게 회전할 수 있게 형성되어 있다.The plurality of conveying rollers 70 are disposed between the tape winding unit 60 from the delivery unit 20, and conveys the tape 200 from the delivery unit 20 to the tape winding unit 60, and the tape The tension is applied to the tape 200 in order to suppress the sagging of the 200. The plurality of conveying rollers 70 are formed in a cylindrical shape in which the axial center is parallel to the Y-axis direction, and are formed to be free to rotate around the axial center.

또, 실시형태 1 에 있어서, 반송 롤러 (70) 는, 1 쌍의 반송 롤러 (70) 로 롤러쌍 (71) 을 구성하고, 테이프 첩부 장치 (1) 는, 롤러쌍을 복수 (실시형태에서는, 3 개) 구비하고 있다. 또한, 이하, 본 명세서는, 이들 3 개의 롤러쌍 (71) 을 송출 유닛 (20) 측부터 순서대로 제 1 롤러쌍 (71) (이하, 부호 71-1 로 기재한다), 제 2 롤러쌍 (71) (이하, 부호 71-2 로 기재한다), 제 3 롤러쌍 (71) (이하, 부호 71-3 으로 기재한다) 으로 나타낸다.Moreover, in Embodiment 1, the conveying roller 70 constitutes the roller pair 71 with a pair of conveying rollers 70, and the tape sticking device 1 has multiple roller pairs (in embodiment, 3 pieces). In addition, hereafter, in this specification, these three roller pairs 71 are the 1st roller pair 71 (it is described with reference numeral 71-1 below) and the 2nd roller pair (in order from the delivery unit 20 side in order). 71) (hereinafter referred to as 71-2) and the third roller pair 71 (hereinafter referred to as 71-3).

제 1 롤러쌍 (71-1) 을 구성하는 반송 롤러 (70) 는, 송출 유닛 (20) 과 척 테이블 (10) 사이이면서 또한 송출 유닛 (20) 보다 하방에 배치되어 있다. 제 1 롤러쌍을 구성하는 반송 롤러 (70) 는, 서로 외주면 사이에 송출 유닛 (20) 으로부터 송출된 박리지 (201) 가 첩착된 상태의 테이프 (200) 가 통과되어, 테이프 (200) 로부터 박리지 (201) 를 벗긴다. 제 1 롤러쌍 (71-1) 을 구성하는 반송 롤러 (70) 는, 테이프 (200) 로부터 벗긴 박리지 (201) 를 박리지 권취 유닛 (30) 에 송출하고, 박리지 (201) 가 벗겨진 테이프 (200) 를 점착층을 하방을 향하게 한 상태에서 제 2 롤러쌍 (71-2) 을 향해 송출한다.The conveying roller 70 constituting the first roller pair 71-1 is disposed between the feeding unit 20 and the chuck table 10 and further below the feeding unit 20. The conveying roller 70 constituting the first roller pair passes through the tape 200 in a state in which the release sheets 201 sent out from the delivery unit 20 are stuck between the outer circumferential surfaces, and the foil 200 is thinned from the tape 200. Peel off the ridge 201. The conveying roller 70 constituting the first roller pair 71-1 sends the release paper 201 peeled from the tape 200 to the release paper winding unit 30, and the release paper 201 is peeled tape The 200 is sent out toward the second roller pair 71-2 with the adhesive layer facing downward.

제 2 롤러쌍 (71-2) 을 구성하는 반송 롤러 (70) 는, 제 1 롤러쌍 (71-1) 과 척 테이블 (10) 사이이면서 또한 제 1 롤러쌍 (71-1) 보다 하방에 배치되어 있다. 제 2 롤러쌍을 구성하는 반송 롤러 (70) 는, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 서로 외주면 사이에 제 1 롤러쌍 (71-1) 으로부터 송출된 테이프 (200) 가 통과되어, 테이프 (200) 를 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 과 평행하게 X 축 방향을 따라 유지면 (11) 상에 송출한다.The conveying roller 70 constituting the second roller pair 71-2 is disposed between the first roller pair 71-1 and the chuck table 10 and further below the first roller pair 71-1. It is done. As shown in FIG. 4, the conveying roller 70 constituting the second roller pair passes the tape 200 sent out from the first roller pair 71-1 between the outer circumferential surfaces of each other, and the tape 200 is transferred. It is sent out on the holding surface 11 along the X-axis direction in parallel with the holding surface 11 of the chuck table 10.

제 3 롤러쌍 (71-3) 을 구성하는 반송 롤러 (70) 는, 척 테이블 (10) 과 테이프 권취 유닛 (60) 사이이면서 또한 테이프 권취 유닛 (60) 보다 하방에 배치되어 있다. 제 3 롤러쌍을 구성하는 반송 롤러 (70) 는, 서로 외주면 사이에 제 3 롤러쌍 (71-3) 으로부터 송출된 테이프 (200) 가 통과되어, 테이프 (200) 를 테이프 권취 유닛 (60) 을 향해 송출한다.The conveying roller 70 constituting the third roller pair 71-3 is disposed between the chuck table 10 and the tape winding unit 60 and further below the tape winding unit 60. The conveying roller 70 constituting the third roller pair passes the tape 200 sent out from the third roller pair 71-3 between the outer circumferential surfaces of each other, and passes the tape 200 through the tape winding unit 60. Forward.

이와 같이, 테이프 첩부 장치 (1) 는, 제 1 롤러쌍 (71-1), 제 2 롤러쌍 (71-2), 및 제 3 롤러쌍 (71-3) 을 구비하고, 송출 유닛 (20) 으로부터 테이프 권취 유닛 (60) 까지 복수의 반송 롤러 (70) 를 경유하여 테이프 (200) 를 설치하는 경로 (72) 가 구성되어 있다. 도 4 는, 제 1 롤러쌍 (71-1), 제 2 롤러쌍 (71-2) 및 제 3 롤러쌍 (71-3) 중 제 2 롤러쌍 (71-2) 을 대표적으로 나타내고 있지만, 제 1 롤러쌍 (71-1) 및 제 3 롤러쌍 (71-3) 은, 제 2 롤러쌍 (71-2) 과 구성이 동등하다. 각 롤러쌍 (71-1, 71-2, 71-3) 을 구성하는 반송 롤러 (70) 는, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 장치 기대 (2) 에 의해 지지된 원기둥상의 지지축 (73) 과, 지지축 (73) 의 외주면 상을 자유롭게 회전할 수 있게 형성된 원통상의 회전 롤러 (74) 를 구비하고 있다.Thus, the tape sticking apparatus 1 is provided with the 1st roller pair 71-1, the 2nd roller pair 71-2, and the 3rd roller pair 71-3, and the delivery unit 20 The path 72 for providing the tape 200 via a plurality of conveying rollers 70 from to the tape winding unit 60 is configured. 4 representatively shows the second roller pair 71-2 of the first roller pair 71-1, the second roller pair 71-2, and the third roller pair 71-3. The first roller pair 71-1 and the third roller pair 71-3 have the same configuration as the second roller pair 71-2. The conveying roller 70 constituting each pair of rollers 71-1, 71-2, 71-3 is, as shown in Fig. 4, a cylindrical support shaft 73 supported by the device base 2 and And a cylindrical rotating roller 74 formed to be free to rotate on the outer circumferential surface of the support shaft 73.

또, 테이프 첩부 장치 (1) 는, 경로 (72) 에는, 복수의 검출 표시 유닛 (80) 을 추가로 구비하고 있다. 검출 표시 유닛 (80) 은, 테이프 (200) 를 검출함과 함께, 테이프 (200) 의 검출 결과를 제어 유닛 (90) 으로부터의 지시대로 표시하는 것이다. 검출 표시 유닛 (80) 은, 전술한 경로 (72) 의 테이프 (200) 의 이동 방향을 따라 간격을 두고 설치되어 있다. 실시형태 1 에서는, 검출 표시 유닛 (80) 은, 송출 유닛 (20) 과 제 1 롤러쌍 (71-1) 사이이면서 또한 제 1 롤러쌍 (71-1) 근처의 위치, 제 1 롤러쌍 (71-1) 과 박리지 권취 유닛 (30) 사이이면서 또한 제 1 롤러쌍 (71-1) 근처의 위치, 제 1 롤러쌍 (71-1) 과 제 2 롤러쌍 (71-2) 사이, 제 2 롤러쌍 (71-2) 과 제 3 롤러쌍 (71-3) 사이이면서 또한 제 2 롤러쌍 (71-2) 근처의 위치, 제 2 롤러쌍 (71-2) 과 제 3 롤러쌍 (71-3) 사이이면서 또한 제 3 롤러쌍 (71-3) 근처의 위치, 제 3 롤러쌍 (71-3) 과 테이프 권취 유닛 (60) 사이이면서 또한 제 3 롤러쌍 (71-3) 근처의 위치에 설치되어 있다.In addition, the tape pasting device 1 further includes a plurality of detection and display units 80 in the path 72. The detection display unit 80 detects the tape 200 and displays the detection result of the tape 200 as instructed by the control unit 90. The detection display unit 80 is provided at intervals along the movement direction of the tape 200 of the path 72 described above. In the first embodiment, the detection display unit 80 is located between the delivery unit 20 and the first roller pair 71-1 and near the first roller pair 71-1, the first roller pair 71 -1) between the release paper winding unit 30 and also near the first roller pair 71-1, between the first roller pair 71-1 and the second roller pair 71-2, the second Position between the roller pair 71-2 and the third roller pair 71-3 and also near the second roller pair 71-2, the second roller pair 71-2 and the third roller pair 71- 3) between and also near the third roller pair 71-3, between the third roller pair 71-3 and the tape winding unit 60, and also at a position near the third roller pair 71-3. Installed.

각 검출 표시 유닛 (80) 은, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 반송 롤러 (70) 의 지지축 (73) 에 장착된 지지 부재 (75) 의 선단에 설치된 유닛 본체 (81) 를 구비한다. 실시형태 1 에 있어서, 유닛 본체 (81) 는, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 테이프 (200) 의 단면 방향으로부터 보아, 1 쌍의 평행부 (82) 와, 평행부 (82) 의 일단부끼리를 연결한 연결부 (83) 를 구비하고, コ 자형으로 형성되어 있다. 유닛 본체 (81) 는, 테이프 (200) 가 경로 (72) 의 정규 위치에 통과되면, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 1 쌍의 평행부 (82) 사이에 테이프 (200) 를 위치시킨다.As shown in FIG. 4, each detection display unit 80 includes a unit body 81 provided at the tip of a support member 75 attached to a support shaft 73 of the transport roller 70. In Embodiment 1, as shown in FIG. 5, the unit main body 81 is viewed from the cross-sectional direction of the tape 200, and the pair of parallel portions 82 and one end of the parallel portions 82 are connected to each other. It is provided with the connecting part 83 connected, and is formed in the shape of a nose. The unit main body 81 positions the tape 200 between a pair of parallel parts 82 as shown in FIG. 5 when the tape 200 passes through the normal position of the path 72.

또, 검출 표시 유닛 (80) 은, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 유닛 본체 (81) 에 설치된 센서 (84) 와, 유닛 본체 (81) 에 설치된 라이트 (85) 를 구비하고 있다. 센서 (84) 는, 유닛 본체 (81) 의 평행부 (82) 사이 즉 경로 (72) 의 정규 위치에 대한 테이프 (200) 의 유무를 검출하는 것이다. 실시형태 1 에 있어서, 센서 (84) 는, 1 쌍의 평행부 (82) 중 일방에 형성되며 또한 타방을 향해 광 (300) 을 조사하는 투광부인 발광 소자 (86) 와, 1 쌍의 평행부 (82) 중 타방에 형성되며 또한 발광 소자 (86) 로부터 조사된 광 (300) 을 수광하는 수광부인 수광 소자 (87) 를 구비한다. 또한, 발광 소자 (86) 가 조사한 광 (300) 은, 경로 (72) 의 정규 위치의 테이프 (200) 에 의해 대부분 차단되어, 수광 소자 (87) 에 수광되는 것이 규제된다. 센서 (84) 의 수광 소자 (87) 는, 발광 소자 (86) 로부터 조사된 광 (300) 의 수광량을 나타내는 신호 (구체적으로는, 광량에 비례한 전압치) 를 제어 유닛 (90) 에 출력함으로써, 경로 (72) 의 정규 위치의 테이프 (200) 의 유무를 검출한다.Moreover, the detection display unit 80 is equipped with the sensor 84 provided in the unit main body 81, and the light 85 provided in the unit main body 81, as shown in FIG. The sensor 84 detects the presence or absence of the tape 200 between the parallel portions 82 of the unit body 81, that is, relative to the normal position of the path 72. In the first embodiment, the sensor 84 is formed on one of a pair of parallel portions 82 and is a light-emitting element 86 that is a light-transmitting portion that irradiates light 300 toward the other side, and a pair of parallel portions A light receiving element 87 which is formed on the other side of the 82 and also receives the light 300 irradiated from the light emitting element 86 is provided. In addition, the light 300 irradiated by the light-emitting element 86 is mostly blocked by the tape 200 at the normal position of the path 72, and it is regulated that the light-receiving element 87 is received. The light-receiving element 87 of the sensor 84 outputs a signal (specifically, a voltage value proportional to the light amount) indicating the light-receiving amount of the light 300 emitted from the light-emitting element 86 to the control unit 90 The presence or absence of the tape 200 in the normal position of the path 72 is detected.

라이트 (85) 는, 유닛 본체 (81) 의 외표면 상에 설치되고, 제어 유닛 (90) 에 의해 센서 (84) 의 수광 소자 (87) 로부터의 광 (300) 의 수광량을 나타내는 신호에 수반하여 점등하는 것이다. 실시형태 1 에 있어서, 라이트 (85) 는, 주지의 LED (Light Emitting Diode) 를 포함하는 이른바 LED 램프이다. 라이트 (85) 는, 제어 유닛 (90) 으로부터의 명령대로, 점등, 소등, 점멸하는 것이 가능하다. 이렇게 하여, 테이프 첩부 장치 (1) 는, 센서 (84) 와 라이트 (85) 를 포함하는 1 세트의 검출 표시 유닛 (80) 을 테이프 (200) 의 경로 (72) 를 따라 간격을 두고 복수 배치하고 있다.The light 85 is provided on the outer surface of the unit main body 81 and is accompanied by a signal indicating the amount of light received by the light 300 from the light receiving element 87 of the sensor 84 by the control unit 90. It will light up. In Embodiment 1, the light 85 is a so-called LED lamp including a well-known LED (Light Emitting Diode). The light 85 can be turned on, off, or flashing according to a command from the control unit 90. In this way, the tape attaching device 1 arranges a plurality of detection display units 80 including the sensor 84 and the light 85 at intervals along the path 72 of the tape 200. have.

또한, 이하, 본 명세서는, 송출 유닛 (20) 과 제 1 롤러쌍 (71-1) 사이에 설치된 검출 표시 유닛 (80) 을 부호 80-1 로 나타내고, 제 1 롤러쌍 (71-1) 과 박리지 권취 유닛 (30) 사이에 설치된 검출 표시 유닛 (80) 을 부호 80-2 로 나타내며, 제 1 롤러쌍 (71-1) 과 제 2 롤러쌍 (71-2) 사이에 설치된 검출 표시 유닛 (80) 을 부호 80-3 으로 나타내고, 제 2 롤러쌍 (71-2) 과 제 3 롤러쌍 (71-3) 사이이면서 또한 제 2 롤러쌍 (71-2) 근처의 위치에 설치된 검출 표시 유닛 (80) 을 부호 80-4 로 나타내고, 제 2 롤러쌍 (71-2) 과 제 3 롤러쌍 (71-3) 사이이면서 또한 제 3 롤러쌍 (71-3) 근처의 위치에 설치된 검출 표시 유닛 (80) 을 부호 80-5 로 나타내고, 제 3 롤러쌍 (71-3) 과 테이프 권취 유닛 (60) 사이에 설치된 검출 표시 유닛 (80) 을 부호 80-6 으로 나타내고, 검출 표시 유닛 (80) 끼리를 구별하지 않는 경우에는 부호 80 으로 나타낸다.In addition, hereafter, this specification shows the detection display unit 80 provided between the delivery unit 20 and the 1st roller pair 71-1 with reference numeral 80-1, and with the 1st roller pair 71-1. The detection display unit 80 provided between the release paper winding units 30 is indicated by reference numeral 80-2, and the detection display unit installed between the first roller pair 71-1 and the second roller pair 71-2 ( 80) is indicated by reference numeral 80-3, and the detection display unit (between the second roller pair 71-2 and the third roller pair 71-3) and installed at a position near the second roller pair 71-2 ( 80) is indicated by reference numeral 80-4, and the detection display unit () located between the second roller pair 71-2 and the third roller pair 71-3 and also located near the third roller pair 71-3 ( 80) is denoted by 80-5, and the detection display unit 80 provided between the third roller pair 71-3 and the tape winding unit 60 is denoted by 80-6, and the detection display units 80 are provided. Do not distinguish It is represented by the numeral 80.

제어 유닛 (90) 은, 테이프 첩부 장치 (1) 의 상기 서술한 구성 요소를 각각 제어하여, 피가공물 (100) 및 환상 프레임 (103) 에 대한 테이프 (200) 의 첩부 동작을 테이프 첩부 장치 (1) 에 실시시키는 것이다. 또한, 제어 유닛 (36) 은 컴퓨터이다. 제어 유닛 (36) 은, CPU (central processing unit) 와 같은 마이크로프로세서를 갖는 연산 처리 장치와, ROM (read only memory) 또는 RAM (random access memory) 과 같은 메모리를 갖는 기억 장치와, 입출력 인터페이스 장치를 갖는다. 제어 유닛 (36) 의 연산 처리 장치는, 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라 연산 처리를 실시하여, 테이프 첩부 장치 (1) 를 제어하기 위한 제어 신호를, 입출력 인터페이스 장치를 통해 테이프 첩부 장치 (1) 의 상기 서술한 구성 요소에 출력한다.The control unit 90 controls each of the above-described components of the tape sticking apparatus 1 to tape the sticking apparatus 1 to attach the tape 200 to the workpiece 100 and the annular frame 103. ). Further, the control unit 36 is a computer. The control unit 36 includes an arithmetic processing device having a microprocessor such as a central processing unit (CPU), a storage device having a memory such as read only memory (ROM) or random access memory (RAM), and an input / output interface device. Have The arithmetic processing device of the control unit 36 performs arithmetic processing according to a computer program stored in the storage device, and transmits a control signal for controlling the tape affixing device 1 through an input / output interface device ( Output to the above-mentioned components of 1).

또, 제어 유닛 (90) 은, 가공 동작의 상태나 화상 등을 표시하는 액정 표시 장치 등에 의해 구성되는 표시 유닛 (91), 오퍼레이터가 가공 내용 정보 등을 등록할 때에 사용하는 입력 유닛 (92) 및 오퍼레이터에게 소리, 광의 적어도 일방을 사용하여 알리는 알림 유닛 (93) 과 접속되어 있다. 입력 유닛 (92) 은, 표시 유닛 (91) 에 형성된 터치 패널과, 키보드 등의 외부 입력 장치 중 적어도 하나에 의해 구성된다.In addition, the control unit 90 includes a display unit 91 configured by a liquid crystal display device or the like that displays a state of processing operation, an image, or the like, an input unit 92 used when an operator registers processing content information, and the like. It is connected to the notification unit 93 that notifies the operator using at least one of sound and light. The input unit 92 is configured by at least one of a touch panel formed on the display unit 91 and an external input device such as a keyboard.

또, 제어 유닛 (90) 은, 송출 유닛 (20) 의 테이프 (200) 의 교환 후 등의 작업원인 오퍼레이터가 송출 유닛 (20) 으로부터 테이프 권취 유닛 (60) 까지 테이프 (200) 를 전술한 경로 (72) 를 따라 설치하는 테이프 세트 타이밍에 있어서, 센서 (84) 의 수광 소자 (87) 로부터의 광 (300) 의 수광량을 나타내는 신호에 수반하여 오퍼레이터가 다음으로 테이프 (200) 를 통과시켜야 하는 위치에 설치된 검출 표시 유닛 (80) 의 라이트 (85) 를 순서대로 점등시킨다. 또한, 테이프 세트 타이밍은, 테이프 첩부 장치 (1) 가, 오퍼레이터에 의해 전술한 경로 (72) 를 따라, 송출 유닛 (20), 각 롤러쌍 (71-1, 71-2, 71-3) 의 반송 롤러 (70) 및 테이프 권취 유닛 (60) 순으로 테이프 (200) 가 설치되는 타이밍이다. 즉, 제어 유닛 (90) 은, 테이프 (200) 가 평행부 (82) 사이에 통과되는 순번대로 검출 표시 유닛 (80) 의 라이트 (85) 를 순서대로 점등시킨다.In addition, the control unit 90 is a path in which the operator, who is an operator, such as after the replacement of the tape 200 of the delivery unit 20, transfers the tape 200 from the delivery unit 20 to the tape winding unit 60 ( In the tape set timing to be installed along 72), the operator next moves the tape 200 along with a signal indicating the amount of light received by the light 300 from the light receiving element 87 of the sensor 84. The lights 85 of the detection display units 80 provided are turned on in sequence. In addition, the tape set timing of the delivery unit 20 and each roller pair 71-1, 71-2, 71-3 along the path 72 described above by the operator by the tape attaching device 1 is described. This is the timing at which the tapes 200 are installed in the order of the conveying roller 70 and the tape winding unit 60. That is, the control unit 90 sequentially turns on the lights 85 of the detection display unit 80 in the order in which the tapes 200 pass between the parallel portions 82.

구체적으로는, 제어 유닛 (90) 은, 테이프 (200) 를 경로 (72) 에 설치할 때의 각 롤러쌍 (71-1, 71-2, 71-3) 및 각 권취 유닛 (30, 60) 의 테이프 (200) 를 통과시키는 순번에 따른 정보, 즉, 복수의 검출 표시 유닛 (80) 의 유닛 본체 (81) 의 평행부 (82) 사이에 통과되는 순번을 미리 기억하고 있다. 제어 유닛 (90) 은, 테이프 세트 타이밍에 있어서, 최초로 테이프 (200) 가 평행부 (82) 사이에 통과되는 검출 표시 유닛 (80) 의 라이트 (85) 를 점등한다. 제어 유닛 (90) 은, 라이트 (85) 가 점등된 검출 표시 유닛 (80) 의 수광 소자 (87) 가 수광한 수광량을 나타내는 신호에 기초하여, 라이트 (85) 가 점등된 검출 표시 유닛 (80) 의 유닛 본체 (81) 의 평행부 (82) 사이의 정규 위치에 테이프 (200) 가 통과된 것으로 판정하면, 평행부 (82) 사이에 테이프 (200) 가 통과된 검출 표시 유닛 (80) 의 라이트 (85) 를 소등하고, 다음으로, 평행부 (82) 사이에 테이프 (200) 가 통과되는 검출 표시 유닛 (80) 의 라이트 (85) 를 점등시킨다.Specifically, the control unit 90 includes the pair of rollers 71-1, 71-2, 71-3 and each winding unit 30, 60 when the tape 200 is installed on the path 72. Information according to the sequence number through which the tape 200 passes, i.e., the sequence number passed between the parallel portions 82 of the unit body 81 of the plurality of detection display units 80, is stored in advance. The control unit 90 turns on the light 85 of the detection display unit 80 through which the tape 200 passes between the parallel parts 82 at the time of the tape set timing. The control unit 90 is based on a signal indicating the amount of light received by the light receiving element 87 of the detection display unit 80 in which the light 85 is lighted, and the detection display unit 80 in which the light 85 is lighted. If it is determined that the tape 200 has passed through the normal portion between the parallel portions 82 of the unit body 81 of the light of the detection display unit 80, the tape 200 has passed between the parallel portions 82. The 85 is turned off, and then the light 85 of the detection display unit 80 through which the tape 200 passes between the parallel portions 82 is turned on.

제어 유닛 (90) 은, 마지막으로 테이프 (200) 가 평행부 (82) 사이에 통과되는 검출 표시 유닛 (80) 의 평행부 (82) 사이에 테이프 (200) 가 통과될 때까지, 라이트 (85) 의 점등, 테이프 (200) 의 검출, 라이트 (85) 의 소등, 다음의 검출 표시 유닛 (80) 의 라이트 (85) 의 점등을 반복한다. 또한, 제어 유닛 (90) 은, 수광 소자 (87) 가 수광한 수광량을 나타내는 신호가 미리 정해진 임계치를 하회하면, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 평행부 (82) 사이의 정규 위치에 테이프 (200) 가 통과된 것으로 판정한다.The control unit 90 lights 85 until the tape 200 passes between the parallel portions 82 of the detection display unit 80 where the tape 200 finally passes between the parallel portions 82. ) Is lit, the tape 200 is detected, the light 85 is turned off, and the next detection display unit 80 is lighted 85. In addition, the control unit 90, if the signal indicating the amount of light received by the light receiving element 87 is below a predetermined threshold, as shown in Fig. 5, the tape 200 in the normal position between the parallel portions 82 Is judged to have passed.

다음으로, 본 명세서는, 테이프 세트 타이밍에 있어서의 테이프 (200) 의 경로 (72) 에 대한 설치 방법을 설명한다. 테이프 세트 타이밍에서는, 테이프 첩부 장치 (1) 의 송출 유닛 (20) 에 롤상으로 권회되며 또한 박리지 (201) 가 첩착된 테이프 (200) 가 세트되고, 제어 유닛 (90) 이 오퍼레이터로부터의 테이프 (200) 의 설치 개시 지시의 입력을 접수하면, 테이프 첩부 장치 (1) 가 테이프 (200) 의 설치 동작을 개시한다. 테이프 (200) 의 설치 동작에서는, 제어 유닛 (90) 이, 검출 표시 유닛 (80-1) 의 라이트 (85) 를 점등시킨다. 오퍼레이터는, 송출 유닛 (20) 에 세트된 테이프 (200) 의 단부를 꺼내어, 라이트 (85) 가 점등된 검출 표시 유닛 (80-1) 의 평행부 (82) 사이에 통과시킨 후, 제 1 롤러쌍 (71-1) 의 반송 롤러 (70) 사이에 테이프 (200) 를 통과시킨다. 제어 유닛 (90) 은, 검출 표시 유닛 (80-1) 의 평행부 (82) 사이의 정규 위치에 테이프 (200) 가 설치된 것으로 판정하면, 검출 표시 유닛 (80-1) 의 라이트 (85) 를 소등하고, 검출 표시 유닛 (80-2) 의 라이트 (85) 를 점등시킨다.Next, this specification describes an installation method for the path 72 of the tape 200 at the tape set timing. At the tape set timing, the tape 200 wound on the delivery unit 20 of the tape sticking device 1 in a roll shape and on which the release paper 201 is adhered is set, and the control unit 90 tapes the tape from the operator ( When the input of the installation start instruction of 200) is received, the tape pasting apparatus 1 starts the installation operation of the tape 200. In the installation operation of the tape 200, the control unit 90 turns on the light 85 of the detection display unit 80-1. The operator takes out the end portion of the tape 200 set in the delivery unit 20, passes the light 85 through the parallel portions 82 of the detection display unit 80-1 that is lit, and then the first roller The tape 200 is passed between the conveying rollers 70 of the pair 71-1. If the control unit 90 determines that the tape 200 is installed at the normal position between the parallel portions 82 of the detection display unit 80-1, the control unit 90 turns on the light 85 of the detection display unit 80-1. Turns off, and lights 85 of the detection display unit 80-2 are turned on.

오퍼레이터는, 제 1 롤러쌍 (71-1) 의 반송 롤러 (70) 사이에 통과된 테이프 (200) 의 단부에 있어서, 박리지 (201) 를 벗기고, 벗긴 박리지 (201) 를 라이트 (85) 가 점등된 검출 표시 유닛 (80-2) 의 평행부 (82) 사이에 통과시킨 후, 박리지 권취 유닛 (30) 에 세트한다. 제어 유닛 (90) 은, 검출 표시 유닛 (80-2) 의 평행부 (82) 사이의 정규 위치에 테이프 (200) 가 설치된 것으로 판정하면, 검출 표시 유닛 (80-2) 의 라이트 (85) 를 소등하고, 검출 표시 유닛 (80-3) 의 라이트 (85) 를 점등시킨다.The operator peels the release paper 201 at the end of the tape 200 passed between the transport rollers 70 of the first roller pair 71-1, and writes the peeled release paper 201 to the light 85 After passing between the parallel parts 82 of the detection display unit 80-2 which is lit, it is set in the release paper winding unit 30. If the control unit 90 determines that the tape 200 is installed at a normal position between the parallel portions 82 of the detection display unit 80-2, the control unit 90 turns on the light 85 of the detection display unit 80-2. Turns off, and lights 85 of the detection display unit 80-3 are turned on.

오퍼레이터는, 제 1 롤러쌍 (71-1) 의 반송 롤러 (70) 사이에 통과되며 또한 박리지 (201) 가 벗겨진 테이프 (200) 를 라이트 (85) 가 점등된 검출 표시 유닛 (80-3) 의 평행부 (82) 사이에 통과시킨 후, 제 2 롤러쌍 (71-2) 의 반송 롤러 (70) 사이에 테이프 (200) 를 통과시킨다. 제어 유닛 (90) 은, 검출 표시 유닛 (80-3) 의 평행부 (82) 사이의 정규 위치에 테이프 (200) 가 설치된 것으로 판정하면, 검출 표시 유닛 (80-3) 의 라이트 (85) 를 소등하고, 검출 표시 유닛 (80-4) 의 라이트 (85) 를 점등시킨다.The operator passes between the conveying rollers 70 of the first roller pair 71-1, and also detects the tape 200 from which the release paper 201 is peeled off, and the detection display unit 80-3 with the light 85 lit. After passing between the parallel parts 82 of, the tape 200 is passed between the conveying rollers 70 of the second roller pair 71-2. If the control unit 90 determines that the tape 200 is installed at a normal position between the parallel portions 82 of the detection display unit 80-3, the control unit 90 turns on the light 85 of the detection display unit 80-3. Turns off, and lights 85 of the detection display unit 80-4 are turned on.

오퍼레이터는, 제 2 롤러쌍 (71-2) 의 반송 롤러 (70) 사이에 통과된 테이프 (200) 를 라이트 (85) 가 점등된 검출 표시 유닛 (80-4) 의 평행부 (82) 사이에 통과시킨다. 제어 유닛 (90) 은, 검출 표시 유닛 (80-4) 의 평행부 (82) 사이의 정규 위치에 테이프 (200) 가 설치된 것으로 판정하면, 검출 표시 유닛 (80-4) 의 라이트 (85) 를 소등하고, 검출 표시 유닛 (80-5) 의 라이트 (85) 를 점등시킨다.The operator passes the tape 200 passed between the conveying rollers 70 of the second roller pair 71-2 between the parallel portions 82 of the detection display unit 80-4 with the light 85 lit. Pass through. If the control unit 90 determines that the tape 200 is installed at a normal position between the parallel portions 82 of the detection display unit 80-4, the control unit 90 turns on the light 85 of the detection display unit 80-4. Turns off, and lights 85 of the detection display unit 80-5 are turned on.

오퍼레이터는, 검출 표시 유닛 (80-4) 의 평행부 (82) 사이의 정규 위치에 통과된 테이프 (200) 를 라이트 (85) 가 점등된 검출 표시 유닛 (80-5) 의 평행부 (82) 사이에 통과시켜, 제 3 롤러쌍 (71-3) 의 반송 롤러 (70) 사이에 통과시킨다. 제어 유닛 (90) 은, 검출 표시 유닛 (80-5) 의 평행부 (82) 사이의 정규 위치에 테이프 (200) 가 설치된 것으로 판정하면, 검출 표시 유닛 (80-5) 의 라이트 (85) 를 소등하고, 검출 표시 유닛 (80-6) 의 라이트 (85) 를 점등시킨다.The operator passes the tape 200 passing through the normal position between the parallel portions 82 of the detection display unit 80-4, and the parallel portion 82 of the detection display unit 80-5 with the light 85 lit. It passes between, and is passed between the conveying rollers 70 of the 3rd roller pair 71-3. When the control unit 90 determines that the tape 200 is installed at a normal position between the parallel portions 82 of the detection display unit 80-5, the control unit 90 turns on the light 85 of the detection display unit 80-5. Turns off, and lights 85 of the detection display unit 80-6 are turned on.

오퍼레이터는, 제 3 롤러쌍 (71-3) 의 반송 롤러 (70) 사이에 통과된 테이프 (200) 를 라이트 (85) 가 점등된 검출 표시 유닛 (80-6) 의 평행부 (82) 사이에 통과시켜, 테이프 권취 유닛 (60) 에 세트한다. 제어 유닛 (90) 은, 검출 표시 유닛 (80-6) 의 평행부 (82) 사이의 정규 위치에 테이프 (200) 가 설치된 것으로 판정하면, 검출 표시 유닛 (80-6) 의 라이트 (85) 를 소등하여, 테이프 (200) 의 설치 동작을 종료한다.The operator passes the tape 200 passed between the conveying rollers 70 of the third roller pair 71-3 between the parallel portions 82 of the detection display unit 80-6 with the light 85 lit. Passed through, it is set in the tape winding unit 60. If the control unit 90 determines that the tape 200 is installed at the normal position between the parallel portions 82 of the detection display unit 80-6, the control unit 90 turns on the light 85 of the detection display unit 80-6. Turns off, and the installation operation of the tape 200 ends.

다음으로, 본 명세서는, 테이프 첩부 장치 (1) 의 테이프 (200) 를 첩부하는 테이프 (200) 의 첩부 동작을 설명한다. 도 6 은, 도 1 에 나타내어진 테이프 첩부 장치의 첩착 유닛이 테이프를 피가공물 및 환상 프레임에 첩착하는 상태를 모식적으로 나타내는 측단면도이다. 도 7 은, 도 1 에 나타내어진 테이프 첩부 장치의 절단 유닛이 테이프를 절단하는 상태를 모식적으로 나타내는 측단면도이다. 테이프 (200) 의 첩부 동작에서는, 먼저, 오퍼레이터 등이 하강된 상태의 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 상에 피가공물 (100) 및 환상 프레임 (103) 을 재치하고, 오퍼레이터가 제어 유닛 (90) 에 가공 내용 정보를 등록하고, 제어 유닛 (90) 이 오퍼레이터로부터의 가공 개시 지시의 입력을 접수하면, 테이프 첩부 장치 (1) 가 첩부 동작을 개시한다.Next, this specification describes the affixing operation of the tape 200 to affix the tape 200 of the tape affixing device 1. FIG. 6 is a side cross-sectional view schematically showing a state in which the sticking unit of the tape sticking device shown in FIG. 1 sticks the tape to the workpiece and the annular frame. 7 is a side cross-sectional view schematically showing a state in which the cutting unit of the tape pasting device shown in FIG. 1 cuts the tape. In the sticking operation of the tape 200, first, the workpiece 100 and the annular frame 103 are placed on the holding surface 11 of the chuck table 10 in which the operator or the like is lowered, and the operator controls the unit. When the processing content information is registered in (90), and the control unit 90 receives the input of the processing start instruction from the operator, the tape pasting device 1 starts the pasting operation.

테이프 (200) 의 첩부 동작에서는, 테이프 첩부 장치 (1) 는, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 척 테이블 (10) 을 상승시키며, 또한 첩착 유닛 (40) 을 하강시킴과 함께 X 축 방향으로 이동시켜, 테이프 (200) 를 피가공물 (100) 및 환상 프레임 (103) 에 첩착한다. 테이프 첩부 장치 (1) 는, 척 테이블 (10) 을 상승시킨 상태에서, 첩착 유닛 (40) 을 상승시키고, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 절단 유닛 (50) 을 하강시켜, 커터 (53) 의 선단을 환상 프레임 (103) 의 내연과 외연 사이에서 테이프 (200) 에 절입시킨다. 테이프 첩부 장치 (1) 는, 절단 유닛 (50) 의 회전축 (51) 을 축심 둘레로 적어도 1 회전시켜, 전체 둘레에 걸쳐 환상 프레임 (103) 의 내연과 외연 사이에서 테이프 (200) 를 절단한다. 테이프 첩부 장치 (1) 는, 절단 유닛 (50) 을 상승시키고 나서 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 의 흡인 유지를 해제하고, 테이프 권취 유닛 (60) 으로 1 장의 피가공물 (100) 및 환상 프레임 (103) 에 첩착할 만큼의 테이프를 권취하여, 테이프 (200) 를 피가공물 (100) 및 환상 프레임 (103) 의 1 장만큼 이동시킨 후, 테이프 (200) 의 첩부 동작을 종료한다.In the sticking operation of the tape 200, the tape sticking device 1 raises the chuck table 10 as shown in FIG. 6, and also moves the sticking unit 40 downward and moves in the X axis direction. , The tape 200 is adhered to the workpiece 100 and the annular frame 103. The tape sticking device 1 raises the sticking unit 40 in a state where the chuck table 10 is raised, and as shown in FIG. 7, lowers the cutting unit 50 to end the cutter 53 Is cut into the tape 200 between the inner edge and the outer edge of the annular frame 103. The tape attaching device 1 rotates the rotation shaft 51 of the cutting unit 50 at least one around the axial center to cut the tape 200 between the inner and outer edges of the annular frame 103 over the entire circumference. The tape attaching device 1 releases the suction and holding of the holding surface 11 of the chuck table 10 after raising the cutting unit 50, and the tape winding unit 60 uses one piece of work 100 and After winding the tape enough to adhere to the annular frame 103, the tape 200 is moved by one piece of the workpiece 100 and the annular frame 103, and then the sticking operation of the tape 200 is ended.

실시형태 1 에 관련된 테이프 첩부 장치 (1) 는, 테이프 (200) 가 평행부 (82) 사이에 통과되는 순번대로 검출 표시 유닛 (80) 의 라이트 (85) 가 점등되므로, 점등된 라이트 (85) 를 의지하여 용이하게 테이프 (200) 를 설치할 수 있고, 미리 정해진 경로 (72) 대로 테이프 (200) 를 용이하게 설치할 수 있다는 효과를 발휘한다.In the tape pasting device 1 according to the first embodiment, the lights 85 of the detection display unit 80 are lit in the order in which the tapes 200 pass between the parallel parts 82, so that the lights 85 are lit. By relying on, the tape 200 can be easily installed, and the tape 200 can be easily installed according to a predetermined path 72.

〔실시형태 2〕[Embodiment 2]

본 발명의 실시형태 2 에 관련된 테이프 첩부 장치를 도면에 기초하여 설명한다. 도 8 은, 실시형태 2 에 관련된 테이프 첩부 장치의 검출 표시 유닛을 모식적으로 나타내는 측단면도이다. 또한, 도 8 은, 실시형태 1 과 동일 부분에 동일 부호를 붙여 설명을 생략한다.The tape pasting apparatus according to Embodiment 2 of the present invention will be described based on the drawings. 8 is a side cross-sectional view schematically showing the detection and display unit of the tape pasting apparatus according to the second embodiment. 8, the same code | symbol is attached | subjected to the same part as Embodiment 1, and description is abbreviate | omitted.

실시형태 2 에 관련된 테이프 첩부 장치 (1) 는, 제어 유닛 (90) 이, 테이프 (200) 의 설치 동작과 테이프 (200) 의 첩부 동작의 쌍방에 있어서, 수광 소자 (87) 가 수광한 광 (300) 의 수광량의 변화인 수광량을 나타내는 신호의 변화에 의해, 테이프 (200) 의 검출 표시 유닛 (80) 즉 정규의 경로 (72) 로부터의 어긋남을 검출하는 것 이외에 실시형태 1 과 동일하다. 구체적으로는, 제어 유닛 (90) 은, 테이프 (200) 의 설치 동작과 테이프 (200) 의 첩부 동작의 쌍방에 있어서, 어느 하나의 검출 표시 유닛 (80) 의 수광 소자 (87) 가 수광한 광 (300) 의 수광량을 나타내는 신호가 전술한 임계치보다 큰 제 2 임계치를 초과하면, 도 8 에 나타내는 바와 같이, 테이프 (200) 가 경로 (72) 에 대해 비스듬해지거나 하여, 테이프 (200) 가 평행부 (82) 사이의 정규 위치로부터 탈락될 가능성이 높은 것으로 판정하여, 알림 유닛 (93) 을 동작시켜, 오퍼레이터에게 알린다.The tape sticking device 1 according to the second embodiment includes the light received by the light receiving element 87 in both the installation operation of the tape 200 and the installation operation of the tape 200 by the control unit 90. It is the same as Embodiment 1 except for detecting the deviation from the detection display unit 80 of the tape 200 from the normal path 72 by the change of the signal indicating the light reception amount which is the change of the light reception amount of 300). Specifically, the control unit 90 is the light received by the light receiving element 87 of either detection display unit 80 in both the installation operation of the tape 200 and the operation of attaching the tape 200. When the signal indicating the light-receiving amount of 300 exceeds the second threshold value larger than the above-described threshold value, as shown in Fig. 8, the tape 200 becomes oblique to the path 72, and the tape 200 is parallel. It is determined that there is a high possibility of dropping out of the normal position between the parts 82, and the notification unit 93 is operated to inform the operator.

또, 실시형태 2 에서는, 제어 유닛 (90) 은, 알림 유닛 (93) 을 동작시킴과 동시에, 평행부 (82) 사이의 정규 위치로부터 탈락될 가능성이 높은 것으로 판정된 검출 표시 유닛 (80) 의 라이트 (85) 를 점멸시켜도 된다. 또, 실시형태 2 에서는, 제어 유닛 (90) 은, 알림 유닛 (93) 을 동작시킴과 동시에, 테이프 첩부 장치 (1) 의 테이프 (200) 의 설치 동작 및 테이프 (200) 의 첩부 동작을 정지시켜도 된다.Further, in the second embodiment, the control unit 90 operates the notification unit 93 and, at the same time, the detection display unit 80 determined to be highly likely to drop out from the normal position between the parallel portions 82. The light 85 may be flashed. Further, in the second embodiment, the control unit 90 operates the notification unit 93 and stops the installation operation of the tape 200 and the operation of attaching the tape 200 of the tape pasting apparatus 1. do.

실시형태 2 에 관련된 테이프 첩부 장치 (1) 는, 실시형태 1 과 마찬가지로, 테이프 (200) 가 평행부 (82) 사이에 통과되는 순번대로 검출 표시 유닛 (80) 의 라이트 (85) 가 점등되므로, 점등된 라이트 (85) 를 의지하여 용이하게 테이프 (200) 를 설치할 수 있고, 미리 정해진 경로 (72) 대로 테이프 (200) 를 용이하게 설치할 수 있다는 효과를 발휘한다.In the tape pasting device 1 according to the second embodiment, the light 85 of the detection display unit 80 is turned on in the order in which the tapes 200 pass between the parallel parts 82 as in the first embodiment, Relying on the lit light 85, the tape 200 can be easily installed, and the tape 200 can be easily installed according to the predetermined path 72.

또, 실시형태 2 에 관련된 테이프 첩부 장치 (1) 는, 테이프 (200) 가 비스듬해지거나 하여 경로 (72) 로부터 탈락될 가능성이 높은 것으로 판정한 경우에, 알림 유닛 (93) 으로 알리므로, 테이프 (200) 가 탈락될 가능성이 높은 경우도 검출할 수 있어, 테이프 (200) 의 설치 위치를 수정할 수 있다.In addition, the tape attaching device 1 according to the second embodiment is notified to the notification unit 93 when it is determined that the tape 200 is likely to fall off the path 72 due to an oblique angle, so the tape 200 is notified. It is also possible to detect a case where the likelihood of the 200 falling off is high, and the installation position of the tape 200 can be corrected.

또한, 실시형태 2 에서는, 제어 유닛 (90) 이, 테이프 (200) 의 설치 동작과 테이프 (200) 의 첩부 동작의 쌍방에 있어서, 수광 소자 (87) 가 수광한 광 (300) 의 수광량을 나타내는 신호의 변화에 의해, 테이프 (200) 의 검출 표시 유닛 (80) 즉 정규의 경로 (72) 로부터의 어긋남을 검출하고 있다. 그러나, 본 발명에서는, 제어 유닛 (90) 이, 테이프 (200) 의 설치 동작과 테이프 (200) 의 첩부 동작의 적어도 일방에 있어서, 수광 소자 (87) 가 수광한 광 (300) 의 수광량을 나타내는 신호의 변화에 의해, 테이프 (200) 의 검출 표시 유닛 (80) 즉 정규의 경로 (72) 로부터의 어긋남을 검출해도 된다.In addition, in the second embodiment, the control unit 90 represents the light-receiving amount of the light 300 received by the light-receiving element 87 in both the installation operation of the tape 200 and the operation of attaching the tape 200. The deviation of the tape 200 from the detection and display unit 80 of the tape 200, that is, from the normal path 72 is detected. However, in the present invention, the control unit 90 represents the light-receiving amount of the light 300 received by the light-receiving element 87 in at least one of the installation operation of the tape 200 and the attachment operation of the tape 200. The deviation of the tape 200 from the detection display unit 80 of the tape 200, that is, from the normal path 72 may be detected.

또한, 본 발명은, 상기 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 골자를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지 변형하여 실시할 수 있다. 상기 실시형태에서는, 발광 소자 (86) 와 수광 소자 (87) 를 구비하는 센서 (84) 를 사용하여, 유닛 본체 (81) 에 대한 테이프 (200) 의 위치를 검출하였지만, 본 발명에서는, 센서로서, 배압 센서 또는 접촉식 센서를 사용하여, 유닛 본체 (81) 에 대한 테이프 (200) 의 위치를 검출해도 된다.In addition, this invention is not limited to the said embodiment. That is, it can be carried out by various modifications without departing from the scope of the present invention. In the above embodiment, the position of the tape 200 relative to the unit main body 81 was detected using the sensor 84 provided with the light emitting element 86 and the light receiving element 87, but in the present invention, as a sensor , The position of the tape 200 relative to the unit body 81 may be detected using a back pressure sensor or a contact-type sensor.

1 : 테이프 첩부 장치
20 : 송출 유닛
40 : 첩착 유닛
50 : 절단 유닛
60 : 테이프 권취 유닛
70 : 반송 롤러
72 : 경로
84 : 센서
85 : 라이트
86 : 발광 소자 (투광부)
87 : 수광 소자 (수광부)
90 : 제어 유닛
100 : 피가공물
101 : 이면 (일방의 면)
200 : 테이프1: tape sticking device
20: sending unit
40: sticking unit
50: cutting unit
60: tape winding unit
70: conveying roller
72: path
84: sensor
85: light
86: light-emitting element (light transmitting portion)
87: light receiving element (light receiving unit)
90: control unit
100: workpiece
101: back side (one side)
200: tape

Claims (2)

피가공물의 일방의 면에 테이프를 첩착하는 테이프 첩부 장치로서,
롤상으로 권회된 그 테이프를 송출하는 송출 유닛과,
그 송출 유닛으로부터 공급된 그 테이프를 그 피가공물에 첩착하는 첩착 유닛과,
그 테이프를 피가공물에 첩착한 후에 그 테이프의 불요 부분을 절단하는 절단 유닛과,
그 절단 유닛에 의해 절단된 후의 그 테이프를 권취하는 테이프 권취 유닛과,
그 송출 유닛으로부터 그 테이프 권취 유닛 사이에 배치되어, 그 테이프를 반송하는 복수의 반송 롤러를 구비하고,
그 송출 유닛으로부터 그 테이프 권취 유닛까지 복수의 그 반송 롤러를 경유하여 그 테이프를 설치하는 경로에는, 테이프의 유무를 검출하는 복수의 센서와, 제어 유닛에 의해 그 센서로부터의 신호에 수반하여 점등하는 복수의 라이트를 추가로 구비하고,
그 제어 유닛은,
작업자가 그 송출 유닛으로부터 그 테이프 권취 유닛까지 테이프를 설치할 때에, 그 센서로부터의 신호에 수반하여 작업자가 다음으로 테이프를 통과시켜야 하는 위치에 설치된 그 라이트를 점등시키는 것을 특징으로 하는 테이프 첩부 장치.A tape attaching device for sticking a tape to one side of a workpiece,
A sending unit that delivers the tape wound in a roll,
A sticking unit that sticks the tape supplied from the delivery unit to the workpiece;
A cutting unit that adheres the tape to the workpiece, and then cuts the unnecessary portion of the tape,
A tape winding unit for winding the tape after being cut by the cutting unit,
It is arranged between the tape winding unit from the delivery unit, and has a plurality of conveying rollers for conveying the tape,
A path for installing the tape via a plurality of the conveying rollers from the delivery unit to the tape winding unit is provided with a plurality of sensors for detecting the presence or absence of the tape, and a control unit lights up with a signal from the sensor. A plurality of lights are further provided,
The control unit,
A tape pasting device characterized in that when the worker installs the tape from the delivery unit to the tape winding unit, the light installed at the position where the worker next needs to pass the tape along with the signal from the sensor is turned on. 제 1 항에 있어서,
그 센서는, 투광부와 수광부를 구비하고,
수광량의 변화에 의해 테이프의 어긋남을 검출하는 것을 특징으로 하는 테이프 첩부 장치.According to claim 1,
The sensor includes a light transmitting portion and a light receiving portion,
A tape pasting device, characterized in that the displacement of the tape is detected by a change in the amount of light received.
KR1020190104303A 2018-09-21 2019-08-26 Apparatus for adhering tape KR20200034586A (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2018-177717 2018-09-21
JP2018177717A JP2020047899A (en) 2018-09-21 2018-09-21 Tape sticking apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20200034586A true KR20200034586A (en) 2020-03-31

Family

ID=69901693

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190104303A KR20200034586A (en) 2018-09-21 2019-08-26 Apparatus for adhering tape

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP2020047899A (en)
KR (1) KR20200034586A (en)
CN (1) CN110937451A (en)
TW (1) TW202013478A (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111634719B (en) * 2020-06-05 2021-11-02 安徽新锐得材料科技有限公司 Automatic mask feeding device and folding mask machine with same
JP2022184119A (en) * 2021-05-31 2022-12-13 株式会社ディスコ Sheet sticking apparatus
JP2023081084A (en) 2021-11-30 2023-06-09 株式会社ディスコ Holding mechanism and sticking device

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015082642A (en) 2013-10-24 2015-04-27 株式会社ディスコ Adhesive tape sticking device

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01207943A (en) * 1988-02-15 1989-08-21 Nitto Denko Corp Automatic apparatus for sticking semiconductor wafer
JP2005019812A (en) * 2003-06-27 2005-01-20 Seiko Epson Corp Tape carrying apparatus and tape carrying method
JP2007217147A (en) * 2006-02-17 2007-08-30 Fuji Xerox Co Ltd Sheet-like member conveyance state detection device
JP2008110830A (en) * 2006-10-30 2008-05-15 Ricoh Co Ltd Belt conveyor, image forming device, and belt shift correction method
JP5412733B2 (en) * 2007-03-05 2014-02-12 東レ株式会社 Sheet take-up device
JP2018060970A (en) * 2016-10-07 2018-04-12 リンテック株式会社 Sheet delivery device and delivery method
JP2018132344A (en) * 2017-02-14 2018-08-23 ウインテック株式会社 Position detector

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015082642A (en) 2013-10-24 2015-04-27 株式会社ディスコ Adhesive tape sticking device

Also Published As

Publication number Publication date
TW202013478A (en) 2020-04-01
CN110937451A (en) 2020-03-31
JP2020047899A (en) 2020-03-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20200034586A (en) Apparatus for adhering tape
EP1859917A2 (en) Tape adhering method and tape adhering device
JP2006339607A (en) Transfer device and its method, separating device and its method, sticking device and its method
US20060027331A1 (en) Adhesive film sticking apparatus
JP2016204149A (en) Label winding device and printing system
KR20130030074A (en) Glass two sides protection film attachment device
JP4286261B2 (en) Adhesive tape pasting method for semiconductor wafer and apparatus using the same
JP2012030891A (en) Id tag label attaching device
JP2019021808A (en) Wafer processing method
JP6045817B2 (en) Sticking method
JP3163087U (en) Mount-free label peeling / discharging means
JP5269229B2 (en) Sheet sticking device and sticking method
CN104743387A (en) Tape conveying mechanism
JP5828532B1 (en) Pasting device
JP2018133446A (en) Tape attaching device
KR20230011230A (en) Tape roll and tape mounter
JP5695466B2 (en) Sheet sticking device and sticking method
CN109643034B (en) System for manufacturing display unit
JP5474221B1 (en) Pasting device
TW528922B (en) Band-like work machining device
JP2011236024A (en) Adhesive tape adhering apparatus
JP2009274810A (en) Tape delivery device and method, and sheet separating device and method
JP2021093506A (en) Seal for identifying tape roll, tape adhesion device, and identification method of tape roll
JP2013095499A (en) Label peeling mechanism, control method of the same, and label printing apparatus
ES2941799T3 (en) Method for removing an adhesive label from a coil and an apparatus for removing an adhesive label from an end portion of a spiral sheet in a coil

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination