KR20200032898A - 라인스캔 카메라에 의한 도전성 필름 압흔상태 검사장치 - Google Patents

라인스캔 카메라에 의한 도전성 필름 압흔상태 검사장치 Download PDF

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KR20200032898A
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박세화
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주식회사 제이스텍
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Abstract

본 발명은 라인스캔 카메라에 의한 도전성 필름 압흔상태 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 도전성 필름 부착시의 압흔검사를 위한 것으로, 압흔검사를 위한 검사체 다수개를 정확한 위치에 자동으로 배치할 수 있고, 도전성 입자의 상태 파악, 노이즈 제거, 클러스터링, 리드별 입자 크기 수량의 카운트 등의 검사를 통해 정확한 압흔검사를 진행할 수 있도록 하며, 이러한 검사를 다수의 검사체에서 하나의 장치에서 동시에 진행할 수 있음에 따라, 단시간에 많은 양의 검사체 압흔검사가 가능토록 한 것으로, FPC와 패널의 전극이 접촉되어 도통되는 단계에서 발생되는 ACF내에 있는 도전입자 압흔상태의 불량여부를 정확하게 검사할 수 있도록 하고, 검사체를 길이방향으로 이동하면서 사전설정간격씩 연속촬영하는 라인스캔 카메라를 구비하여 해상도를 높히도록 함으로써, 더욱 효율적인 작업이 가능토록 한 라인스캔 카메라에 의한 도전성 필름 압흔상태 검사장치에 관한 것이다.

Description

라인스캔 카메라에 의한 도전성 필름 압흔상태 검사장치{Apparatus of inspecting denting trace of anisotropic film using line scan camera}
본 발명은 라인스캔 카메라를 더 구비하여, 도전성 필름을 부착시 압흔상태를 손쉽고 용이하게 검사할 수 있도록 일체화 및 자동화된 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 휴대폰, 이동식 단말기, 액정TV 등의 전자기기에는 LCD나 OLED 같은 디스플레이 패널(이하, 패널)이 구비된다. 이러한 패널은 통상적으로 FOG(Film On Glass)/FOP(Film On Panel) 방식 혹은 COG(Chip On Glass)/COP(Chip On Panel) 방식에 의하여 패널에 실장 될 수 있다.
즉, 상기 FOG/FOP 본딩방식은 통상적으로 유리 혹은 플라스틱 재질의 패널에 인쇄된 전자 회로 전극에 이방성 도전 필름(이하, ACF)이 부착되고, ACF 상에 필름 혹은 에프피씨가 배치되고, 적절한 압력이 가해짐으로써 에프피씨와 패널에 형성된 리드 전극이 접촉되어 도통되는 방식이다.
이때, 상기 ACF에는 도전입자가 함유되며, 일정 압력이 작용되는 경우, 절연막이 깨짐으로써 도전입자를 통하여 전기가 인가될 수 있는 구조이다.
그리고, COG/COP 본딩방식은 통상적으로 패널의 전극에 이방성 도전 필름이 부착되고, ACF상에 반도체칩이 배치되고, 적절한 압력이 가해짐으로써 범프(Bump)와 패널의 전극이 접촉되어 도통되는 방식이다.
이와 같이, COG/COP 및 FOG/FOP 공정을 통하여 패널에 에프피씨 혹은 칩을 연결하는 공정에 있어서, ACF의 부착상태는 매우 중요한 요소이다.
즉, ACF 내에 있는 도전입자의 압흔상태는 제품의 불량여부 판정에 크게 영향을 끼치는 요소이다.
따라서, ACF가 패널의 전극에 부착된 후, 압흔 검사기에 의하여 연결부의 이물상태, 탑재위치, 압흔상태(ACF 도전입자의 압흔개수, 압흔강도, 압흔길이, 압흔분포) 등이 검사되는 것이 필수적인 공정이다.
이때, 광학 카메라에 의하여 패널의 연결부가 촬영되어 영상정보가 얻어지고, 상기 영상정보가 분석되어 각각의 범프에 도전입자의 수, 강도, 길이, 분포가 연산됨으로써 불량여부가 판단되는 방법이 필요한 실정이다.
종래 검사 장치는 주변 기술의 발달에 의한 고속영상촬영을 위한 장치는 충족되고 있으나, 촬영된 영상을 기준으로 이를 도식화하고, 보다 쉽게 도전입자의 노이즈 및 클러스터링등의 기법이 부족한 문제점이 있는 것이다.
이로 인하여, 도전성 입자의 부착 불량 여부를 판단하는 방법이 제대로 이루어지지 못함으로 인해 불량 자재가 다음 공정으로 전해지고 이로써 공정상 손해를 미칠 뿐 아니라 불량제품의 생산가능성을 높임으로 제품의 안정성을 감소시키는 문제점이 있다. 기존에는 구성이 단순하고 압흔검사영역을 샘플링하는 방법으로 에어리어 카메라를 적용한 광학계를 이용하여 검사가 많이 이루어졌으나, 압흔영역에 대한 전수검사가 요구되어 전영역을 검사할 수 있는 라인스캔 카메라를 적용한 방식이 요구되어 이와 관련된 기술을 개발한다.
대한민국 특허공보 10-0976802 대한민국 특허공보 10-0766394
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 압흔검사를 위한 검사체 다수개를 순차적 및 동시적으로 압흔검사를 진행할 수 있도록 하되, 압흔검사시 검사체의 정확한 위치배열을 자동제어할 수 있고, 광학 카메라를 이용하여 촬영한 영상이미지를 도식화하여 도전성 입자의 상태 파악, 노이즈 제거, 클러스터링, 리드별 입자 크기 수량의 카운트 등을 상세히 검사하여, 기존에 비해 시간대비 상대적으로 많은 검사체의 불량여부를 정확하게 판단처리할 수 있도록 하며, 라인스캔 카메라를 이용하여 검사대상물을 사전설정간격별로 연속촬영하여 해상도를 높힐 수 있도록 함으로써 더욱 효율적인 압흔검사가 가능토록 한 라인스캔 카메라에 의한 도전성 필름 압흔상태 검사장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기에 설명될 것이며, 본 발명의 실시예에 의해 알게 될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허청구범위에 나타낸 수단 및 조합에 의해 실현될 수 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 수단으로서,
라인스캔 카메라에 의한 도전성 필름 압흔상태 검사장치에 있어서, 검사체(110)가 장착되며, 상호간 이격되어 배치고정되는 다수의 스테이지부(100); 기준 마크가 인쇄되어 있으며, 각 스테이지부(100)의 길이방향인 Y축방향으로 각각 투입배치되는 다수의 검사체(110); 상기 검사체(110)의 배치시 작동되는 얼라인용 조명부(120); 상기 다수의 스테이지부(100) 배열방향인 X축방향을 향해 이동되면서, 각 스테이지 상에 배치된 다수 검사체(110) 각각의 얼라인 마크를 촬영하는 얼라인용 카메라부(140); 상기 검사체(110)의 배치가 완료되고, 검사체(110)의 압흔상태 검사를 위해 작동되는 검사용 조명부(150); 상기 다수의 스테이지부(100) 배열방향인 X축방향을 향해 이동되면서, 압흔 검사를 위해 스테이지 상에 배치된 검사체(110)를 촬영하는 압흔검사용 광학용 카메라부(160); 상기 얼라인용 카메라부(140)와 연결되어, 검사체(110)의 얼라인 마크위치와 사전설정된 배치위치를 비교판단하여 검사체(110)를 정확한 위치에 배치하기 위해, 검사체(110)의 틀어짐 정도를 계산하여 검사체(110)의 위치가 보정되도록 하고, 상기 광학용 카메라부(160)와 연결되어, 수신된 촬영영상으로 검사체(110)의 압흔상태를 검사하는 제어부(170);를 포함하여 이루어지며, 상기 광학용 카메라부(160)는 검사체(110)를 길이방향으로 이동하면서 사전설정간격씩 연속촬영하는 라인스캔 카메라(161)가 사용되며, 상기 라인스캔 카메라(161)는 리니어 모터가 사용되어, 전/후, 좌/우, 상/하 방향으로 움직임이 가능하며, 상기 라인스캔 카메라(161)는 리니어 엔코더(162)가 구비되어, 사전설정간격 또는 사전설정위치마다 펄스신호를 발생시켜, 펄스신호 발생시마다 촬영이 되도록 함으로써, 검사체(110)의 상면을 이동하면서 사전설정시간 또는 간격마다 연속촬영하는 트리거 모듈(163)이 적용되는 것을 특징으로 한다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 다량의 검사체 압흔검사를 동시에 자동화로 진행함으로써, 압흔검사 효율상승 및 검사시간 단축, 인건비 절감, 검사 정확성 증가 등의 효과가 있다.
또한, 본 발명은 압흔검사시 전수검사가 가능한 검사속도를 제공하여, 완전하고 정확한 검사가 진행되지 못해, 다음공정에까지 공정상 불량이 전해지는 문제를 사전에 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 도전성 입자의 상태 파악, 노이즈 제거, 클러스터링, 리드별 입자 크기 수량의 카운트 등을 상세히 검사하여 압흔검사를 진행함으로써, 정확한 검사로 인한 불량판단이 가능해지는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 압흔검사시 라인스캔 카메라를 사용하여, 검사체 상면을 일방향으로 이동하면서 사전설정간격마다 연속촬영하는 방식을 사용함으로써, 기존에 검사체 일부를 샘플링하여 한번에 촬영하는 에어리얼 카메라(Area camera)방식보다 검사영역을 크게 확장시킬수 있는 효과가 있다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명에 따른 라인스캔 카메라에 의한 도전성 필름 압흔상태 검사장치를 나타낸 일실시예의 도면.
도 2는 본 발명에 따른 광학카메라에 의하여 촬영된 원본 패널 영상도.
도 3은 본 발명에 따른 설정된 검사영역으로 확대영역을 설정하는 단계를 나타낸 영상도.
도 4는 본 발명에 따른 이미지를 주파수 영역으로 변환하기 위해 이산 푸리에 변환(DFT, Discrete Fourier Transform)을 나타낸 영상도.
도 5는 본 발명에 따른 리드의 회전각을 판별하여 역으로 회전한 이미지를 나타낸 영상도.
도 6은 본 발명에 따른 수행한 리드 이미지를 수직방향으로 투영한 이미지 프로파일을 나타낸 영상도.
도 7은 본 발명에 따른 설정된 검사 민감도 이상의 압흔을 추출하기 위해 압흔을 일반화하여 기준 마스크를 생성하는 단계를 나타낸 영상도.
도 8은 본 발명에 따른 이미지를 단위 영역씩 필터링하여 압흔 특성이 잘 드러나도록 증폭한 영상도.
도 9는 본 발명에 따른 이진화 이미지를 나타낸 영상도.
도 10a 및 도 10b는 본 발명에 따른 후처리 결과를 나타낸 영상도.
도 11은 본 발명에 따른 리드별 압흔의 수량 및 압흔분포 길이를 표시하는 단계를 나타낸 영상도.
도 12는 본 발명에 따른 라인스캔 카메라를 나타낸 일실시예의 구성도.
본 발명의 여러 실시예들을 상세히 설명하기 전에, 다음의 상세한 설명에 기재되거나 도면에 도시된 구성요소들의 구성 및 배열들의 상세로 그 응용이 제한되는 것이 아니라는 것을 알 수 있을 것이다. 본 발명은 다른 실시예들로 구현되고 실시될 수 있고 다양한 방법으로 수행될 수 있다. 또, 장치 또는 요소 방향(예를 들어 "전(front)", "후(back)", "위(up)", "아래(down)", "상(top)", "하(bottom)", "좌(left)", "우(right)", "횡(lateral)")등과 같은 용어들에 관하여 본원에 사용된 표현 및 술어는 단지 본 발명의 설명을 단순화하기 위해 사용되고, 관련된 장치 또는 요소가 단순히 특정 방향을 가져야 함을 나타내거나 의미하지 않는다는 것을 알 수 있을 것이다. 또한, "제 1(first)", "제 2(second)"와 같은 용어는 설명을 위해 본원 및 첨부 청구항들에 사용되고 상대적인 중요성 또는 취지를 나타내거나 의미하는 것으로 의도되지 않는다.
본 발명은 상기의 목적을 달성하기 위해 아래의 특징을 갖는다.
이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하도록 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
본 발명에 따른 일실시예를 살펴보면 하기와 같다.
라인스캔 카메라에 의한 도전성 필름 압흔상태 검사장치에 있어서, 검사체(110)가 장착되며, 상호간 이격되어 배치고정되는 다수의 스테이지부(100); 기준 마크가 인쇄되어 있으며, 각 스테이지부(100)의 길이방향인 Y축방향으로 각각 투입배치되는 다수의 검사체(110); 상기 검사체(110)의 배치시 작동되는 얼라인용 조명부(120); 상기 다수의 스테이지부(100) 배열방향인 X축방향을 향해 이동되면서, 각 스테이지 상에 배치된 다수 검사체(110) 각각의 얼라인 마크를 촬영하는 얼라인용 카메라부(140); 상기 검사체(110)의 배치가 완료되고, 검사체(110)의 압흔상태 검사를 위해 작동되는 검사용 조명부(150); 상기 다수의 스테이지부(100) 배열방향인 X축방향을 향해 이동되면서, 압흔 검사를 위해 스테이지 상에 배치된 검사체(110)를 촬영하는 압흔검사용 광학용 카메라부(160); 상기 얼라인용 카메라부(140)와 연결되어, 검사체(110)의 얼라인 마크위치와 사전설정된 배치위치를 비교판단하여 검사체(110)를 정확한 위치에 배치하기 위해, 검사체(110)의 틀어짐 정도를 계산하여 검사체(110)의 위치가 보정되도록 하고, 상기 광학용 카메라부(160)와 연결되어, 수신된 촬영영상으로 검사체(110)의 압흔상태를 검사하는 제어부(170);를 포함하여 이루어지며, 상기 광학용 카메라부(160)는 검사체(110)를 길이방향으로 이동하면서 사전설정간격씩 연속촬영하는 라인스캔 카메라(161)가 사용되며, 상기 라인스캔 카메라(161)는 리니어 모터가 사용되어, 전/후, 좌/우, 상/하 방향으로 움직임이 가능하며, 상기 라인스캔 카메라(161)는 리니어 엔코더(162)가 구비되어, 사전설정간격 또는 사전설정위치마다 펄스신호를 발생시켜, 펄스신호 발생시마다 촬영이 되도록 함으로써, 검사체(110)의 상면을 이동하면서 이동중에 일정간격으로 트리거 펄스 발생시에 촬영하는 순서를 연속적으로 반복하는 트리거 모듈(163)이 적용되는 것을 특징으로 한다.
상기 제어부(170)는 상기 광학용 카메라부(160)를 통해 검사체(110)를 촬영한 사진을 수신받을시, 압흔의 영상이 사전설정기준의 명확도로 보일 수 있도록, 광학용 카메라부(160)에 장착된 검사용 조명부(150)의 조명 조사각을 변화시키며 최적의 조명조사각을 설정하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제어부(170)는 압흔상태 검사를 위해, 광학카메라를 통해, 검사대상 패널영상을 수신받고, 상기 패널영상 중 사전설정된 검사영역 부분을 확대하는 영상 확대부(10); 상기 확대된 검사영역 내의 리드를 수직으로 회전정렬하고, 사전설정된 길이를 가지는 완전한 리드를 인식하는 리드 확인부(20); 상기 리드 확인부(20)에서 선택된 리드를, 압흔모델 필터링을 이용하여 이진화 영상화함으로써, 압흔을 검출하는 압흔 검출부(30); 상기 압흔 필러링부에서 검출된 압흔들의 노이즈를 제거하여, 사전설정된 크기의 압흔만을 검출되도록 하는 압흔 노이즈제거부(40); 노이즈가 제거된 압흔들을 도식화하고, 도식화된 압흔들 중 사전설정거리 내 상호간 인접위치되는 압흔들을 1개로 클러스터링하는 압흔 클러스터링부(50); 상기 각 리드별 압흔의 수량, 분포길이를 카운팅하는 리드별 압흔 데이터 추출부(60); 추출된 상기 리드별 압흔 데이터를 사전설정 리드별 압흔 데이터와 비교하여, 검사대상체의 압흔이 양호한지의 여부를 판단하여 사용유무를 결정하는 리드 불량판단부(70); 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 리드 확인부(20)는 검사대상체의 특성상 기울기가 있는 리드들을 수직으로 평행하도록 회전정렬하기 위해, 확대된 검사영역 리드 이미지를 주파수 영역으로 변환하기 위해 이산 푸리에 변환(DFT, Discrete Fourier Transform)을 수행하여, 리드의 회전각을 판별하여 역으로 이미지를 회전하는 주파수 분석부(21)와; 상기 리드 이미지를 수직방향으로 투영하여 이미지 프로파일을 확보하여, 이미지 프로파일에서 최고점과 최저점이 각 리드의 경계가 되며, 설정이하의 리드 길이는 불완전한 리드로서, 검사대상에서 제외시켜서, 각 리드별 압흔을 추출하는 히스토그램 분석부(22); 가 포함되어 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 압흔 검출부(30)는 경사관을 통해 압흔에 그림자를 발생시키고, 각각의 압흔 이미지를 단위 영역씩 필터링하여 증폭한 후에, 이진화 영상 과정을 통해 원본 이미지에 도식화하는 도식화부(31); 도전볼의 눌린 정도에 따라 이미지 상에서 더 옅거나 더 짙게 표현되도록, 압흔의 검출 민감도를 결정하는 압흔 민감도 결정부(32); 가 포함되어 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 압흔 노이즈제거부(40)는 상기 압흔 검출부(30)의 이진화 영상 이미지 영역을 기준으로, 사전설정된 크기 이상 또는 이하 크기의 압흔을 노이즈로 간주하여 제거하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 압흔 클러스터링부(50)는 압흔을 도식화하여, 후처리 결과영상으로 나타내고, 일정 크기 이내의 검출된 압흔이 일정 거리 이내에 위치할 경우 하나의 압흔으로 카운트하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 리드 불량판단부(70)는 도전볼이 각 리드 내 한정 영역에만 도포되거나, 통전량을 만족하지 못한 도전볼의 개수를 가진 리드를 구별하기 위해, 각 리드의 사전설정된 분포길이 내에, 사전설정된 도전볼의 개수가 도포되어 있는지를 확인하는 것을 특징으로 한다.
이하, 도 1a 내지 도 12를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 라인스캔 카메라에 의한 도전성 필름 압흔상태 검사장치를 상세히 설명하도록 한다.
본 발명에 따른 라인스캔 카메라에 의한 도전성 필름 압흔상태 검사장치는 스테이지부(100), 검사체(110), 얼라인용 조명부(120), 얼라인용 카메라부(140), 검사용 조명부(150), 압흔검사용 광학용 카메라부(160), 제어부(170)를 포함한다.
상기 스테이지부(100)는 압흔검사 대상이 되는 검사체(110)가 올려져 배치되는 곳으로서, 이러한 스테이지부(100)는 복수개 또는 그 이상이 상호간 소정간격 이격되어 배치되어 있는 구조를 가진다.
즉, 본 발명에서는 이러한 스테이지부(100) 다수개를 X방향(횡방향)을 향해 다수 배치하여 고정설치되도록 한다.
상기 검사체(110)는 전술된 스테이지부(100) 상면에 올려지는 검사대상물로써, 이러한 검사체(110)는 스테이지부(100)의 정확한 위치에 배치가 가능하도록 기준 마크가 인쇄되어 있도록 한다. 이러한 검사체(110)는 스테이지부(100)의 길이방향인 Y축 방향을 향해, 스테이지부(100)의 상면에 투입배치된다.
상기 얼라인용 조명부(120)는 검사체(110)를 스테이지부(100) 상면의 사전설정된 위치에 정확히 배치시키기 위한 것으로, 이러한 배치를 확인하기 위한 얼라인용 카메라부(140)와 함께 사용되는 조명이다.
이러한 얼라인용 조명부(120)는 각 스테이지부(100) 상면에 이격되어 설치되어 있을 수 있음이지만, 이러한 위치는 스테이지부(100)에 올려지는 검사체(110)의 기준 마크의 확인을 용이하기 위한 용도라면, 다양하게 변경이 가능할 것이다.
상기 얼라인용 카메라부(140)는 다수의 스테이지부(100) 상면에서, 다수의 스테이지부(100)가 설치된 횡방향 X축 방향으로 향해, 좌, 우로 슬라이딩 이동가능하게 설치된다.
이러한 얼라인용 카메라부(140)는 스테이지부(100)의 가장 왼측 1번 스테이지부(100)에서부터 좌측 마지막 스테이지부(100)까지 이동하면서, 각 스테이지부(100) 상면에 올려져 있는 검사체(110)의 얼라인용 기준 마크를 촬영하는 것이다.
이렇게 얼라인용 카메라부(140)에서 촬영되는 각 스테이지부(100)상의 검사체(110) 기준 마크는 후술될 제어부(170)에 송신되고, 제어부(170)에서 이렇게 수신받은 정보를 판단하여 스테이지이 상의 검사체(110)가 별도의 보정이송장치(미도시)를 통해 위치가 X(횡), Y(종), T(회전) 등으로 조절되며 바뀌면, 또 다시 얼라인용 카메라부(140)가 검사체(110)의 왼측에서 좌측을 향해 순차적으로 이송되며 검사체(110)의 기준 마크를 촬영하는 것이다.
즉, 얼라인용 카메라부(140)에서 스테이지 상의 검사체(110)의 위치를 확인하고, 이를 제어부(170)에서 확인하여 검사체(110)의 위치를 정확한 위치로 자동보정하는 것이다.
상기 검사용 조명부(150)는 전술된 바와 같이, 스테이지부(100) 상면의 각 검사체(110)의 위치가 정확히 배치완료되면, 얼라인용 조명부(120)는 OFF 되면서, 후술될 압흔검사용 광학용 카메라부(160)에 장착된 검사용 조명부(150)가 ON 상태가 되어 구동된다.
이러한 검사용 조명부(150)는 광학용 카메라부(160)에서 촬영시 더욱 확실하고 또렷한 이미지를 확보하기 위한 것이다.
상기 압흔검사용 광학용 카메라부(160)는 전술된 얼라인용 카메라부(140)와 마찬가지로, 다수의 스테이지부(100) 상면에 설치되되, 다수의 스테이지부(100)의 상면을 순차적으로 촬영할 수 있도록 스테이지부(100)의 X축 방향을 향해 슬라이딩 이동가능하게 설치되는 것이다.
이러한 광학용 카메라부(160)는 각 스테이지부(100) 상면에 올려진 검사체(110)를 촬영하고, 이를 후술될 제어부(170)에 송신하여, 제어부(170)에서 압흔검사를 하는 것이다.
이때, 이러한 압흔 검사를 하기 위한 검사체(110)의 압흔 검사 영역은, 검사체(110)의 종류에 따라 상이할 수 있으며, 일반적으로는 검사체(110)가 광학용 카메라부(160)의 촬영 영역에 위치할 수 있도록 정렬하는데 쓰이는 기준 마크가 인쇄된 검사체(110)의 좌, 우측 끝 영역을 지정하며 추가적으로 검사 기준에 따라 좌, 우측 사이의 중앙 영역을 추가적으로 설정하여 촬영을 준비하게 된다.
더불어, 이러한 광학용 카메라부(160)는 사용자의 실시예에 따라, 검사체(110)를 길이방향으로 이동하면서 사전설정간격씩 연속촬영하는 라인스캔 카메라(161)가 사용되며, 상기 라인스캔 카메라(161)는 리니어 모터가 사용되어, 전/후, 좌/우, 상/하 방향으로 움직임이 가능하며, 상기 라인스캔 카메라(161)는 리니어 엔코더(162)가 구비되어, 사전설정간격 또는 사전설정위치마다 펄스신호를 발생시켜, 펄스신호 발생시마다 촬영이 되도록 함으로써, 검사체(110)의 상면을 사전설정간격씩 이동하며 연속적으로 촬영하여, 이를 조합하여 사용하는 펄스형상의 트리거 모듈(163)이 적용될 수 있음이다. (트리거신호는 리니어 엔코더 신호를 분수비로 변환하여 0.7 um ~ 1.1um 간격으로 발생시키며, 트리거 신호를 이용한 라인스캔 카메라(161)의 line rate은 수십에서 100kHz로 운용된다.) 이는 기존에 검사체(110) 상면 전체를 한번에 촬영하는 에어리얼 카메라(Area camera) 방식에 비해 해상도 및 정확도가 상승되어, 검사효율 또한 상승되는 효과가 발생하게 된다.
상기 제어부(170)는 전술된 바와 같이, 상기 얼라인용 카메라부(140) 및 광학용 카메라부(160)와 각각 연결되어 있는 것이다.
이러한 제어부(170)는 얼라인용 카메라부(140)로부터 촬영정보가 수신되는 정렬단계에서는, 얼라인용 카메라부(140)에서 전달받은 촬영정보를 가지고, 검사체(110)의 얼라인 마크위치와, 제어부(170)에 사전입력설정된 배치위치를 비교판단하여, 별도의 이송보정장치(최초 검사체(110)를 스테이지부(100) 상면에 이송시킨 장치가 그대로 이용될 수도 있음.)를 통해 검사체(110)를 정확한 위치에 배치하기 위해, 검사체(110)의 틀어짐 정도를 계산하여 검사체(110)의 위치가 자동보정되도록 한다.
또한, 이러한 제어부(170)는 광학용 카메라부(160)로부터 촬영정보가 수신되는 검사단계에서는, 광학용 카메라부(160)에서 수신된 촬영영상으로 압흔상태를 검사하여, 불량여부를 판단할 수 있도록 한 것이다.
더불어, 상기 광학용 카메라부(160)를 통해 검사체(110)를 촬영한 사진을 수신받을시, 압흔의 영상이 사전설정기준의 명확도로 보일 수 있도록, 광학용 카메라부(160)에 장착된 검사용 조명부(150)의 조명 조사각을 변화시키며 최적의 조명조사각을 설정할 수 있도록 한다.
이를 위한 제어부(170)에는 압흔검사를 위해, 영상 확대부(10), 리드 확인부(20), 압흔 검출부(30), 압흔 노이즈제거부(40), 압흔 클러스터링부(50), 압흔 데이터 추출부(60), 리드 불량판단부(70)를 포함한다.
1. 상기 영상 확대부(10)는 광학카메라를 통해, 검사대상 패널영상을 수신받고, 상기 패널영상 중 사전설정된 검사영역 부분을 확대하는 부분이다.
도 3에 나타난 바와 같이, 촬영된 검사 영역 중에는 압흔 검사에 활용하지 않는 이를테면 정렬용 마크나 검사체(110)의 여백, 촬영 영상상의 불필요한 여백 등이 포함될 수 있으므로, 압흔 검사를 수행하기 위한 영역을 설정하는 부분이다. 물론, 사용자는 검사 영역을 반자동 혹은 수동으로 리드를 지정할 수 있음은 당연할 것이다.
2. 상기 리드 확인부(20)는 전술된 확대된 검사영역 내의 리드를 수직으로 회전정렬하고, 사전설정된 길이를 가지는 완전한 리드를 인식하는 부분이다.
검사체(110)의 각각의 리드를 자동으로 인식함에 있어서 수직방향 투영(Vertical Projection) 기술을 적용한 픽셀 프로파일 분석을 수행하는데 이 기술을 적용하기 위해서는 시료의 특성상 기울기가 있는 리드들을 수직으로 평행하도록 회전 정렬하여야 하며 이를 위해 사전에 이미지를 주파수 영역으로 변환하는 과정을 의미하여, 이를 위하여, 도 4에 나타난 바와 같이, 이미지를 주파수 영역으로 변환하기 위해 이산 푸리에 변환(DFT, Discrete Fourier Transform)을 수행하는 것이다.
도 5에 나타난 바와 같이, 이를 통해 리드의 회전각을 판별하여 역으로 이미지를 회전한 후에, 도 6에 나타난 바와 같이, 수행한 리드 이미지를 수직방향으로 투영하여 이미지 프로파일을 확보하는 것이다.
더욱 자세히 설명하면, 리드 확인부(20)는 주파수 분석부(21)와, 히스토그램 분석부(22)를 포함한다.
상기 주파수 분석부(21)는 확대된 검사영역 리드 이미지를 주파수 영역으로 변환하기 위해 이산 푸리에 변환(DFT, Discrete Fourier Transform)을 수행하여, 리드의 회전각을 판별하여 역으로 이미지를 회전하는 것이며,
상기 히스토그램 분석부(22)는 상기 리드 이미지를 수직방향으로 투영하여 이미지 프로파일을 확보하여, 이미지 프로파일에서 최고점과 최저점이 각 리드의 경계가 되며, 설정이하의 리드 길이는 불완전한 리드로서, 검사대상에서 제외시켜서, 각 리드별 압흔을 추출하는 것이다.
이미지 프로파일에서 최고점과 최저점이 각 리드의 경계가 될 것이며 이 정보를 통해 리드를 자동으로 인식하여 각 리드별 압흔을 추출할 수 있도록 준비하는 것이다.
프로파일 상에 리드 픽셀의 투영 누적 값이 부족할 경우 경사진 리드를 직사각형 형태의 검사영역 지정하는 구조상 발생하는 불완전한 리드로 판단하여 검사 대상에서 제외하며, 일실시예로서, 도 6의 양단부에 나타난 리드 길이는 중앙부의 다른 리드 길이보다는 상대적으로 짧기 때문에, 불완전한 리드로 판단하여, 검사대상에서 제외시키는 것이다.
3. 상기 압흔 검출부(30)는 전술된 리드 확인부(20)에서 선택된 리드를, 압흔모델 필터링을 이용하여 이진화 영상화함으로써, 압흔을 검출하는 부분이다.
도 6에 의하여 불완전한 리드는 제외시키고, 선택되는 리드를 기준으로 도 7에 나타난 바와 같이, 리드상에 표현된 다수개의 압흔 중에서 일실시예로서, 1개의 압흔을 확대한 영상으로서, 압흔을 추출함에 있어 광학 장치에서 조사(illuminate)하는 경사광을 통해 압흔에 그림자를 발생시키고 이 형상을 일반화하는 예컨대, 압흔의 원의 모양에서 위쪽 반원은 밝고 아래쪽 반원은 어둡다는 정보를 갖는 마스크를 설계하여 이를 이용하여, 도 8에 나타난 바와 같이, 이미지를 단위 영역씩 필터링하여 그 특성이 잘 드러나도록 증폭하고,
도 9에 나타난 바와 같이, 이진화 과정을 통해 설정된 크기 이하의 압흔영역은 제거하고, 설정크기 이상의 압흔 영역만을 추출하여 원본 이미지에 도식화하는 것을 의미하는 것이며, 일실시예로서, 도 9의 둥근 백색점은 압흔임을 의미하며, 상기 백색점에 대하여, 설정크기 이상의 백색점을 추출하는 것이다.
다시말해, 압흔 검출부(30)는 도식화부(31)와, 압흔 민감도 결정부(32)를 포함한다.
상기 도식화부(31)는 경사관을 통해 압흔에 그림자를 발생시키고, 각각의 압흔 이미지를 단위 영역씩 필터링하여 증폭한 후에, 이진화 영상 과정을 통해 원본 이미지에 도식화하는 것이다.
상기 압흔 민감도 결정부(32)는 도전볼의 눌린 정도에 따라 이미지 상에서 더 옅거나 더 짙게 표현되도록, 압흔의 검출 민감도를 결정하는 것이다. 압흔을 검출함에 있어서 검출 민감도를 설정하는 것으로서, 도전볼의 눌린 정도에 따라 이미지 상에서는 더 옅거나 더 짙게 표현될 수 있는 것이다.
도 7에 나타난 바와 같이, 압흔을 검출함에 있어서 검출 민감도를 설정하는 부분으로 도전볼의 눌린 정도에 따라 이미지 상에서는 더 옅거나 더 짙게 표현될 수 있고 민감도 설정에 따라 그 도전볼의 영역이 압흔으로 판단되거나 무시될 수 있으며, 일 실시예로서,검사 방법에서는 민감도는 10개의 단계로 나누었으며 설정한 단계에 따라 압흔이 덜 검출되거나 더 검출될 수 있는 것이다.
4. 상기 압흔 노이즈제거부(40)는 전술된 압흔 필터링부에서 검출된 압흔들의 노이즈를 제거하여, 사전설정된 크기의 압흔만을 검출되도록 하는 부분이다.
이진화 영상에 의하여 나타난 압흔중에서, 설정된 압흔크기의 최소 이하 및 최대 이상 크기를 벗어나는 압흔을 노이즈로 간주하여 제거하는 부분이다.
검출된 압흔의 정보 중에서 크기 또는 면적정보를 이용하여 최소 이하 및 최대이상 크기를 벗어나는 압흔을 노이즈로 간주하여 제거하는 부분으로서, 일실시예로 도 9에 나타난 이진화 영상 이미지 영역을 기준으로 일정 범위의 픽셀을 벗어나는 압흔은 노이즈로 판단하기로 한다.
상기 설정 값의 근거는 압흔을 발생시키는 도전볼의 실제 크기 정보에 기반할 수 있으나 눌린 정도 및 임의로 퍼져있는 ACF내의 도전볼의 군집된 상태에 따라 작거나 큰 크기의 압흔을 발생시키므로 실험적인 결과를 기준으로 설정값을 정하는 것이다.
5. 상기 압흔 클러스터링부(50)는 노이즈가 제거된 압흔들을 도식화하고, 도식화된 압흔들 중 사전설정거리 내 상호간 인접위치되는 압흔들을 1개로 클러스터링하는 부분이다.
도 10a의 후처리 결과영상에 나타난 바와 같이, 압흔을 도식화 하고, 압흔 검출 후처리 하는 부분으로서, 도전볼이 공정상의 특정 온도와 압력에 의해 눌리거나 깨지는 과정에서 그 흔적이 분리된 두 개 이상의 흔적으로 나타날 수 있음에 착안하여 일정 크기 이내의 검출된 다수 압흔이 일정 거리 이내에 위치할 경우에는, 도 10b에 나타난 바와 같이, 하나의 압흔으로 카운트하는 것을 클러스터링이라 한다. 클러스터링 기준 수치는 기본적으로 도전볼의 크기에 기반하며 시료 및 공정상의 차이가 발생할 수 있으므로 실험적인 수치를 설정한다.
6. 상기 압흔 데이터 추출부(60)는 전술된 각 리드별 압흔의 수량, 분포길이를 카운팅하는 부분이다.
도 11에 나타난 바와 같이, 압흔의 수량 및 분포 길이는 검사 디스플레이 장 치 및 그 위에 도포되는 ACF 내 도전볼의 밀도에 따라 검사 기준이 달라질 수 있으며, 일 실시예로 충분한 통전량을 만족할 수 있는 도전볼의 개수를 리드당 10개 이상으로 설정하고 리드상 한정된 영역에만 도전볼이 도포되지 않고 고르게 퍼져 있는가를 판단할 수 있는 기준인 분포 길이를 200um로 설정하여 이 기준을 만족하지 못하는 리드가 발생할 경우 검사 불합격 처리를 할 수 있도록 데이터를 추출하는 부분이다.
상기 도 11에 다른 압흔과는 달리 녹색으로 표현된 것은 리드별 최저점 및 최고점에 있는 압흔이며 이 둘 사이의 거리를 계산하여 분포 길이를 판정하는 것을 의미하는 것이다.
7. 상기 리드 불량판단부(70)는 추출된 전술된 리드별 압흔 데이터를 사전설정 리드별 압흔 데이터와 비교하여, 검사대상체의 압흔이 양호한지의 여부를 판단하여 사용유무를 결정하는 부분이다.
추출된 리드별 압흔 개수 및 분포 길이를 토대로 미리 약속된 검사 기준에 따라 해당 검사체(110)의 압흔이 양호한지 불량한지를 판단하여 제품 생산에 사용할지 폐기할지를 분류하는 것이다.
이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변경이 가능함은 물론이다.
10: 영상 확인부 20: 리드 확인부
21: 주파수 분석부 22: 히스토그램 분석부
30: 압흔 검출부 31: 도식화부
32: 압흔 민감도 결정부 40: 압흔 노이즈 제거부
50: 압흔 클러스터링부 60: 압흔 데이터 추출부
70: 리드 불량 판단부 100: 스테이지부
110: 검사체 120: 얼라인용 조명부
140: 얼라인용 카메라부 150: 검사용 조명부
160: 광학용 카메라부 161: 라인스캔 카메라
162: 리니어 엔코더 163: 트리거 모듈
170: 제어부

Claims (8)

  1. 도전성 필름 압흔상태 검사장치에 있어서,
    상호간 이격되어 배치고정되는 다수의 스테이지부(100);
    기준 마크가 인쇄되어 있으며, 각 스테이지부(100) 상면에 각각 장착되는 다수의 검사체(110);
    상기 검사체(110)의 배치시 작동되는 얼라인용 조명부(120);
    상기 다수의 스테이지부(100) 배열방향을 향해 이동되면서, 각 스테이지 상에 배치된 다수 검사체(110) 각각의 얼라인 마크를 촬영하는 얼라인용 카메라부(140);
    상기 검사체(110)의 배치가 완료되고, 검사체(110)의 압흔상태 검사를 위해 작동되는 검사용 조명부(150);
    상기 다수의 스테이지부(100) 배열방향을 향해 이동되면서, 압흔 검사를 위해 스테이지 상에 배치된 검사체(110)를 촬영하는 압흔검사용 광학용 카메라부(160);
    상기 얼라인용 카메라부(140)와 연결되어, 검사체(110)의 얼라인 마크위치와 사전설정된 배치위치를 비교판단함으로써, 검사체(110)의 틀어짐 정도를 계산하여 검사체(110)의 위치가 보정되도록 하고, 상기 광학용 카메라부(160)와 연결되어, 수신된 촬영영상으로 검사체(110)의 압흔상태를 검사하는 제어부(170);를 포함하여 이루어지며,
    상기 광학용 카메라부(160)는 검사체(110)를 길이방향으로 이동하면서 사전설정간격씩 연속촬영하는 라인스캔 카메라(161)가 사용되며,
    상기 라인스캔 카메라(161)는 리니어 모터가 사용되어, 전/후, 좌/우, 상/하 방향으로 움직임이 가능하며,
    상기 라인스캔 카메라(161)는 리니어 엔코더(162)가 구비되어, 사전설정간격 또는 사전설정위치마다 펄스신호를 발생시켜, 펄스신호 발생시마다 촬영이 되도록 함으로써, 검사체(110)의 상면을 이동중에 일정간격으로 발생되는 트리거 펄스 신호에 의해 촬영이 연속적으로 반복되는 트리거 모듈(163)이 적용되는 것을 특징으로 하는 라인스캔 카메라에 의한 도전성 필름 압흔상태 검사장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제어부(170)는
    상기 광학용 카메라부(160)를 통해 검사체(110)를 촬영한 사진을 수신받을시,
    압흔의 영상이 사전설정기준의 명확도로 보일 수 있도록, 광학용 카메라부(160)에 장착된 검사용 조명부(150)의 조명 조사각을 변화시키며 최적의 조명조사각을 설정하는 것을 특징으로 하는 것을 라인스캔 카메라에 의한 도전성 필름 압흔상태 검사장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 제어부(170)는
    압흔상태 검사를 위해,
    광학카메라를 통해, 검사대상 패널영상을 수신받고, 상기 패널영상 중 사전설정된 검사영역 부분을 확대하는 영상 확대부(10);
    상기 확대된 검사영역 내의 리드를 수직으로 회전정렬하고, 사전설정된 길이를 가지는 완전한 리드를 인식하는 리드 확인부(20);
    상기 리드 확인부(20)에서 선택된 리드를, 압흔모델 필터링을 이용하여 이진화 영상화함으로써, 압흔을 검출하는 압흔 검출부(30);
    상기 압흔 필러링부에서 검출된 압흔들의 노이즈를 제거하여, 사전설정된 크기의 압흔만을 검출되도록 하는 압흔 노이즈제거부(40);
    노이즈가 제거된 압흔들을 도식화하고, 도식화된 압흔들 중 사전설정거리 내 상호간 인접위치되는 압흔들을 1개로 클러스터링하는 압흔 클러스터링부(50);
    상기 각 리드별 압흔의 수량, 분포길이를 카운팅하는 리드별 압흔 데이터 추출부(60);
    추출된 상기 리드별 압흔 데이터를 사전설정 리드별 압흔 데이터와 비교하여, 검사대상체의 압흔이 양호한지의 여부를 판단하여 사용유무를 결정하는 리드 불량판단부(70);
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 라인스캔 카메라에 의한 도전성 필름 압흔상태 검사장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 리드 확인부(20)는
    검사대상체의 특성상 기울기가 있는 리드들을 수직으로 평행하도록 회전정렬하기 위해,
    확대된 검사영역 리드 이미지를 주파수 영역으로 변환하기 위해 이산 푸리에 변환(DFT, Discrete Fourier Transform)을 수행하여, 리드의 회전각을 판별하여 역으로 이미지를 회전하는 주파수 분석부(21)와;
    상기 리드 이미지를 수직방향으로 투영하여 이미지 프로파일을 확보하여, 이미지 프로파일에서 최고점과 최저점이 각 리드의 경계가 되며, 설정이하의 리드 길이는 불완전한 리드로서, 검사대상에서 제외시켜서, 각 리드별 압흔을 추출하는 히스토그램 분석부(22);
    가 포함되어 구성되는 것을 특징으로 하는 라인스캔 카메라에 의한 도전성 필름 압흔상태 검사장치.
  5. 제 3항에 있어서,
    상기 압흔 검출부(30)는
    경사관을 통해 압흔에 그림자를 발생시키고, 각각의 압흔 이미지를 단위 영역씩 필터링하여 압흔형상을 강화한 후에, 이진화 영상 과정을 통해 원본 이미지에 도식화하는 도식화부(31);
    도전볼의 눌린 정도에 따라 이미지 상에서 더 옅거나 더 짙게 표현되도록, 압흔의 검출 민감도를 결정하는 압흔 민감도 결정부(32);
    가 포함되어 구성되는 것을 특징으로 하는 라인스캔 카메라에 의한 도전성 필름 압흔상태 검사장치.
  6. 제 3항에 있어서,
    상기 압흔 노이즈제거부(40)는
    상기 압흔 검출부(30)의 이진화 영상 이미지 영역을 기준으로, 사전설정된 크기 이상 또는 이하 크기의 압흔을 노이즈로 간주하여 제거하는 것을 특징으로 하는 라인스캔 카메라에 의한 도전성 필름 압흔상태 검사장치.
  7. 제 3항에 있어서,
    상기 압흔 클러스터링부(50)는
    압흔을 도식화하여, 후처리 결과영상으로 나타내고, 일정 크기 이내의 검출된 압흔이 일정 거리 이내에 위치할 경우 하나의 압흔으로 카운트하는 것을 특징으로 하는 라인스캔 카메라에 의한 도전성 필름 압흔상태 검사장치.
  8. 제 3항에 있어서,
    상기 리드 불량판단부(70)는
    도전볼이 각 리드 내 한정 영역에만 도포되거나, 통전량을 만족하지 못한 도전볼의 개수를 가진 리드를 구별하기 위해, 각 리드의 사전설정된 분포길이 내에, 사전설정된 도전볼의 개수가 도포되어 있는지를 확인하는 것을 특징으로 하는 라인스캔 카메라에 의한 도전성 필름 압흔상태 검사장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2023128084A1 (ko) * 2021-12-30 2023-07-06 한화정밀기계 주식회사 리드 형상 인식 방법
KR20230142874A (ko) 2022-04-04 2023-10-11 최채휘 필름 검사 장비용 카메라 홀더

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100766394B1 (ko) 2006-07-25 2007-10-12 주식회사 브이원텍 자동 압흔 검사 장치
KR100976802B1 (ko) 2008-07-28 2010-08-20 세광테크 주식회사 자동 압흔 검사장치 및 방법

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100766394B1 (ko) 2006-07-25 2007-10-12 주식회사 브이원텍 자동 압흔 검사 장치
KR100976802B1 (ko) 2008-07-28 2010-08-20 세광테크 주식회사 자동 압흔 검사장치 및 방법

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023128084A1 (ko) * 2021-12-30 2023-07-06 한화정밀기계 주식회사 리드 형상 인식 방법
KR20230142874A (ko) 2022-04-04 2023-10-11 최채휘 필름 검사 장비용 카메라 홀더

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