KR20200024462A - By-directional electrically conductive module and manufacturing method thereof - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 양방향 도전성 모듈 및 이의 제조방법에 관한 것이며, 상세하게는 상부디바이스와 하부디바이스와의 반복적인 접촉시에도, 도전패턴부가 충진된 관통홀의 측방향으로의 형상변형을 방지하여, 상부디바이스와 하부디바이스에 대한 접속효율을 안정적으로 도모할 수 있는 양방향 도전성 모듈 및 이의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a bidirectional conductive module and a method of manufacturing the same, and in detail, even when the upper device and the lower device are repeatedly contacted, the shape of the through hole filled with the conductive pattern part is prevented in the lateral direction, thereby preventing the shape of the upper device and the upper device. The present invention relates to a bidirectional conductive module and a method of manufacturing the same, which can stably achieve connection efficiency to a lower device.
반도체 소자는 제조 과정을 거친 후 전기적 성능의 양불을 판단하기 위한 검사를 수행하게 된다. 반도체 소자의 양불 검사는 반도체 소자의 단자와 전기적으로 접촉될 수 있도록 형성된 반도체 테스트 소켓(또는 콘텍터 또는 커넥터)을 반도체 소자와 검사회로기판 사이에 삽입한 상태에서 검사가 수행된다. 그리고, 반도체 테스트 소켓은 반도체 소자의 최종 양불 검사 외에도 반도체 소자의 제조 과정 중 번-인(Burn-In) 테스트 과정에서도 사용되고 있다. After the semiconductor device is manufactured, a test is performed to determine whether the electrical performance is poor. The positive test of the semiconductor device is performed by inserting a semiconductor test socket (or a contactor or a connector) formed between the semiconductor device and the test circuit board so as to be in electrical contact with a terminal of the semiconductor device. The semiconductor test socket is also used in a burn-in test process of manufacturing a semiconductor device, in addition to a final inspection of a semiconductor device.
반도체 소자의 집적화 기술의 발달과 소형화 추세에 따라 반도체 소자의 단자 즉, 리드의 크기 및 간격도 미세화되는 추세이고, 그에 따라 테스트 소켓의 도전 패턴 상호간의 간격도 미세하게 형성하는 방법이 요구되고 있다.With the development and miniaturization of semiconductor device integration technology, the size and spacing of terminals, i.e., leads of semiconductor devices are also miniaturized. Accordingly, there is a demand for a method of forming minute spacing between conductive patterns of test sockets.
그런데, 기존의 포고-핀(Pogo-pin) 타입의 반도체 테스트 소켓으로는 집적화되는 반도체 소자를 테스트하기 위한 반도체 테스트 소켓을 제작하는데 한계가 있었다. 이와 같은 반도체 소자의 집적화에 부합하도록 제안된 기술이, 탄성 재질의 실리콘 소재로 제작되는 실리콘 본체 상에 수직 방향으로 타공 패턴을 형성한 후, 타공된 패턴 내부에 도전성 분말을 충진하여 도전 패턴을 형성하는 PCR 소켓 타입이 널리 사용되고 있다.However, the existing Pogo-pin type semiconductor test socket has a limitation in manufacturing a semiconductor test socket for testing a semiconductor device to be integrated. The proposed technique to meet the integration of the semiconductor device, the perforated pattern is formed in the vertical direction on the silicon body made of an elastic silicon material, and then filled with conductive powder inside the perforated pattern to form a conductive pattern PCR socket type is widely used.
도 1은 PCR 소켓 타입의 종래의 반도체 테스트 장치(10)의 단면을 도시한 도면이다. 1 is a cross-sectional view of a conventional
도 1을 참조하여 설명하면, 종래의 PCR 소켓 타입의 반도체 테스트 소켓(10)은 절연성의 실리콘 본체(11)에 타공 패턴이 형성되고, 해당 타공 패턴 내에 충진되는 도전성 분말(12)에 의해 상하 방향으로 도전 패턴들이 형성된다. 이와 같은, PCR 타입의 반도체 테스트 소켓(10)은 미세 피치의 구현이 가능하다는 장점이 있다. Referring to FIG. 1, in the conventional PCR socket type
그러나, PCR 타입의 반도체 테스트 소켓(10)은 타공 패턴에 충진된 도전성 분말(12)이 반도체 소자(20)의 단자(21)와 검사회로기판(30)의 단자(31) 사이에서의 접촉시 발생하는 압력에 의해 도전성이 형성되는 방식이라는 점에서, 도 1의 확대도에 도시된 바와 같이, 반도체 소자(20)와 검사회로기판(30)과의 접촉시 가해지는 압력에 의해 도전성 파우더(12)가 옆으로 퍼지면서, 상하 방향으로의 두께 형성에 제한을 받는 단점이 있다. However, the PCR type
또한, PCR타입의 경우 반도체소자와 검사회로기판의 접촉시 발생하는 압력에 의해 도전성파우더의 퍼짐에 따라 반도체소자와 검사회로기판에 대한 접촉불량이 발생되는 문제점이 있다. In addition, in the case of the PCR type, there is a problem in that contact defects occur between the semiconductor device and the test circuit board as the conductive powder spreads due to the pressure generated when the semiconductor device contacts the test circuit board.
본 발명은 본 발명은 상부디바이스와 하부디바이스와의 반복적인 접촉시에도, 복수의 보강시트에 의해 도전패턴부가 충진된 관통홀의 측방향으로의 형상변형을 방지할 수 있는 양방향 도전성 모듈 및 이의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention is a bidirectional conductive module that can prevent the deformation of the through-hole filled with the conductive pattern portion by the plurality of reinforcing sheet in the lateral direction, even in the repeated contact between the upper device and the lower device and a method of manufacturing the same The purpose is to provide.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상부디바이스와 하부디바이스를 전기적으로 연결하는 양방향 도전성 모듈은, 절연성을 갖는 재질로 마련되고, 상하방향으로 관통된 복수의 관통홀이 형성된 절연성본체; 절연성본체의 내부에서 상하방향으로 이격되며, 각각의 관통홀이 상하방향으로 연통가능하게 각각의 관통홀에 대응하는 위치에 지지홀이 형성된 복수의 보강시트; 및 각각의 관통홀에 형성되어 상하방향으로 신호 라인을 형성하여 상부디바이스와 하부디바이스를 전기적으로 연결하는 복수의 도전패턴부를 포함하고, 복수의 보강시트는 상부디바이스와 하부디바이스와의 접촉시 관통홀의 상하방향으로 가해지는 힘에 의해 관통홀의 측방향으로의 변형을 방지하는 것이 바람직하다.In one embodiment of the present invention, the bidirectional conductive module for electrically connecting the upper device and the lower device, is provided with an insulating material, the insulating body having a plurality of through holes penetrated in the vertical direction; A plurality of reinforcing sheets spaced apart in the vertical direction from the inside of the insulating body and having support holes formed at positions corresponding to the respective through holes so that each through hole communicates in the vertical direction; And a plurality of conductive patterns formed in each through hole to form a signal line in the vertical direction to electrically connect the upper device and the lower device, wherein the plurality of reinforcing sheets are formed in the through hole at the contact of the upper device and the lower device. It is preferable to prevent deformation of the through-hole in the lateral direction by the force applied in the vertical direction.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 보강시트는 절연성본체의 재질보다 높은 강도를 가진 재질로 이루어진 것이 바람직하다.In one embodiment of the present invention, the reinforcing sheet is preferably made of a material having a higher strength than the material of the insulating body.
여기서, 보강시트는 폴리이미드, 실리콘 또는 우레탄과 같은 절연물질, 스테인레스 재질, 또는 FR4(Flame Retardant Type 4)와 같은 복합 재료 중 어느 하나로 이루어진 것이 바람직하다.Here, the reinforcing sheet is preferably made of any one of an insulating material such as polyimide, silicone or urethane, stainless material, or a composite material such as FR4 (Flame Retardant Type 4).
또는, 보강시트는 액상의 절연물질이 메쉬천에 도포 및 경화되어 형성된 것이 바람직하다.Alternatively, the reinforcing sheet is preferably formed by coating and curing a liquid insulating material on the mesh cloth.
한편, 절연성본체는, 각각의 보강시트와 결합되고 복수의 지지홀에 대응되는 위치에 복수의 단위관통홀이 형성된 복수의 본체유닛이 상하로 적층되어 형성되고, 각각의 본체유닛에 마련된 복수의 단위관통홀이 상하로 연통되어 복수의 관통홀을 형성하는 것이 바람직하다.On the other hand, the insulating body is formed by stacking a plurality of main body units are coupled to each reinforcement sheet and formed with a plurality of unit through-holes at a position corresponding to the plurality of support holes stacked up and down, a plurality of units provided in each main unit It is preferable that the through holes communicate with each other up and down to form a plurality of through holes.
일 예로, 보강시트는 본체유닛의 외부로 노출되지 않게 마련된 것이 바람직하다. For example, the reinforcing sheet is preferably provided not to be exposed to the outside of the main unit.
다른 예로, 보강시트는 본체유닛의 일면으로 노출되게 마련된 것이 바람직하다. As another example, the reinforcing sheet is preferably provided to be exposed to one surface of the body unit.
또 다른 예로, 보강시트는 도전성 재질로 이루어지고, 지지홀의 내부에 관통홀이 위치되게 본체유닛과 결합되고, 상부디바이스의 접지단자 또는 하부디바이스의 접지단자와의 접촉시 접지되는 것이 바람직하다.As another example, the reinforcing sheet is made of a conductive material, coupled to the main unit so that the through-holes are located inside the support hole, and is preferably grounded when contacted with the ground terminal of the upper device or the ground terminal of the lower device.
아울러, 보강시트는 각각의 지지홀이 각각의 관통홀로 노출되지 않게 마련된 것이 바람직하다.In addition, the reinforcing sheet is preferably provided so that each support hole is not exposed to each through hole.
또한, 보강시트에는 복수의 십자홀이 마련되고, 복수의 십자홀은 상기 복수의 지지홀들 사이에 이격배치된 것이 바람직하다. In addition, the reinforcing sheet is provided with a plurality of cross holes, it is preferable that the plurality of cross holes are spaced apart between the plurality of support holes.
한편, 상부디바이스와 하부디바이스를 전기적으로 연결하는 양방향 도전성 모듈을 제조하는 양방향 도전성 모듈의 제조방법은, (A) 모듈몰드에, 복수의 보강시트가 이격배치되는 단계; (B) 액상의 절연물질이 모듈몰드로 주입되고 경화되어, 복수의 보강시트가 내장된 절연성본체가 형성되는 단계; (C) 복수의 보강시트의 적층방향으로 절연성본체가 관통되어, 복수의 관통홀이 형성되는 단계; 및 (D) 각각의 관통홀에 형성되어 상하방향으로 신호 라인을 형성하여 상부디바이스와 하부디바이스를 전기적으로 연결하는 복수의 도전패턴부가 형성되는 단계를 포함하는 것이 바람직하다.On the other hand, a method of manufacturing a bidirectional conductive module for producing a bidirectional conductive module for electrically connecting the upper device and the lower device, (A) a step of placing a plurality of reinforcing sheet spaced in the module mold; (B) a step of injecting a liquid insulating material into the module mold and cured to form an insulating body in which a plurality of reinforcing sheets are embedded; (C) forming a plurality of through holes through the insulating main body in the stacking direction of the plurality of reinforcing sheets; And (D) forming a plurality of conductive pattern portions formed in each through hole to form signal lines in the vertical direction to electrically connect the upper device and the lower device.
본 발명의 일 실시예에 있어서, (A) 단계 전에, 보강시트는 상부디바이스의 단자에 대응되게 배열된 복수의 지지홀이 형성되는 단계를 더 포함하고, (C) 단계에서, 관통홀은 각각의 지지홀에 대응하는 위치에서, 절연성본체의 상하 방향으로 관통되어 형성된 것이 바람직하다. In one embodiment of the present invention, before step (A), the reinforcing sheet further includes a step of forming a plurality of support holes arranged corresponding to the terminals of the upper device, in step (C), the through holes are respectively At a position corresponding to the supporting hole of the insulating body, it is preferable that the insulating body penetrates in the vertical direction.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 지지홀은 관통홀의 직경보다 큰 직경을 가지고, 각각의 관통홀은 각각의 지지홀의 내부에 위치되는 것이 바람직하다. In one embodiment of the invention, the support hole has a diameter larger than the diameter of the through hole, each through hole is preferably located inside each of the support holes.
본 발명의 일 실시예에 있어서, (C) 단계에서, 관통홀은 보강시트가 노출되지 않게 형성된 것이 바람직하다.In one embodiment of the present invention, in step (C), the through hole is preferably formed so that the reinforcing sheet is not exposed.
본 발명의 일 실시예에 있어서, (C) 단계에서, 복수의 보강시트는 절연성본체와 함께 관통되어, 복수의 관통홀에 대응되는 위치에 복수의 지지홀이 형성되는 것이 바람직하다. In one embodiment of the present invention, in step (C), the plurality of reinforcing sheet is penetrated with the insulating body, it is preferable that a plurality of support holes are formed in a position corresponding to the plurality of through holes.
다른 한편, 상부디바이스와 하부디바이스를 전기적으로 연결하는 양방향 도전성 모듈을 제조하는 양방향 도전성 모듈의 제조방법은, 복수의 지지홀이 마련된 보강시트가 절연재질로 이루어진 본체유닛에 결합되는 단계; 복수의 지지홀에 대응되는 위치에서, 본체유닛이 상하방향으로 관통되어 복수의 단위관통홀이 형성되는 단계; 각각의 본체유닛에 마련된 복수의 단위관통홀이 상하로 연통되어 복수의 관통홀을 형성하게, 복수의 본체유닛이 상하로 적층되어 결합되는 단계; 및 각각의 관통홀에 형성되어 상하방향으로 신호 라인을 형성하여 상부디바이스와 하부디바이스를 전기적으로 연결하는 복수의 도전패턴부가 형성되는 단계를 포함하는 것이 바람직하다.On the other hand, the manufacturing method of the bidirectional conductive module for producing a bidirectional conductive module for electrically connecting the upper device and the lower device, the step of coupling a reinforcing sheet provided with a plurality of support holes to the body unit made of an insulating material; Forming a plurality of unit through holes through the main body unit at a position corresponding to the plurality of support holes in a vertical direction; Stacking and coupling a plurality of main body units up and down so that a plurality of unit through holes provided in each main unit communicate with each other up and down to form a plurality of through holes; And forming a plurality of conductive patterns formed in each through hole to electrically connect the upper device and the lower device to form signal lines in the vertical direction.
일 예로, 보강시트는 본체유닛의 외부로 노출되지 않게 마련된 것이 바람직하다.For example, the reinforcing sheet is preferably provided not to be exposed to the outside of the main unit.
다른 예로, 보강시트는 본체유닛의 일면으로 노출되게 마련된 것이 바람직하다.As another example, the reinforcing sheet is preferably provided to be exposed to one surface of the body unit.
또 다른 예로, 보강시트는 도전성 재질로 이루어지고, 지지홀의 내부에 관통홀이 위치되게 본체유닛과 결합되고, 상부디바이스의 접지단자 또는 하부디바이스의 접지단자와의 접촉시 접지되는 것이 바람직하다.As another example, the reinforcing sheet is made of a conductive material, coupled to the main unit so that the through-holes are located inside the support hole, and is preferably grounded when contacted with the ground terminal of the upper device or the ground terminal of the lower device.
본 실시예서, 보강시트는 절연성본체의 재질보다 높은 강도를 가진 재질로 이루어진 것이 바람직하다.In this embodiment, the reinforcing sheet is preferably made of a material having a higher strength than the material of the insulating body.
또한, 보강시트는 폴리이미드, 실리콘 또는 우레탄과 같은 절연물질, 스테인레스 재질, 또는 FR4(Flame Retardant Type 4)와 같은 복합 재료 중 어느 하나로 이루어진 것이 바람직하다.In addition, the reinforcing sheet is preferably made of any one of an insulating material such as polyimide, silicone or urethane, stainless material, or a composite material such as FR4 (Flame Retardant Type 4).
또는, 보강시트는 액상의 절연물질이 메쉬천에 도포 및 경화되어 형성된 것이 바람직하다.Alternatively, the reinforcing sheet is preferably formed by coating and curing a liquid insulating material on the mesh cloth.
아울러, 보강시트는 각각의 지지홀이 각각의 관통홀로 노출되지 않게 마련된 것이 바람직하다.In addition, the reinforcing sheet is preferably provided so that each support hole is not exposed to each through hole.
또한, 보강시트에는 복수의 십자홀이 마련되고, 복수의 십자홀은 상기 복수의 지지홀들 사이에 이격배치된 것이 바람직하다. In addition, the reinforcing sheet is provided with a plurality of cross holes, it is preferable that the plurality of cross holes are spaced apart between the plurality of support holes.
본 발명은 복수의 보강시트가 절연성본체의 관통홀을 측방향으로 지지하여, 상부디바이스와 하부디바이스와의 접촉시 가해지는 힘에 의해 절연성본체가 측방향으로 압박됨에 따른 관통홀의 측방향 변형을 방지할 수 있다. According to the present invention, a plurality of reinforcing sheets support the through-holes of the insulating body in the lateral direction, thereby preventing lateral deformation of the through-holes due to the pressing of the insulating body in the lateral direction by the force applied when the upper device and the lower device are in contact. can do.
이에 따라, 본 발명은 상부디바이스와 하부디바이스와의 반복적인 접촉시에도, 관통홀의 측방향 변형을 방지함으로써, 복수의 도전패턴부의 측방향으로의 퍼짐을 방지하여, 복수의 도전패턴부의 도전성의 저하를 방지할 수 있다. Accordingly, the present invention prevents the lateral deformation of the through holes even during repeated contact between the upper device and the lower device, thereby preventing the spread of the plurality of conductive pattern portions in the lateral direction, thereby lowering the conductivity of the plurality of conductive pattern portions. Can be prevented.
아울러, 본 발명은 관통홀의 측방향 변형을 방지함으로써, 상부디바이스와 하부디바이스에 대한 접속효율을 안정적으로 도모할 수 있고, 양방향 도전성 모듈의 사용수명을 연장시킬 수 있다. In addition, the present invention by preventing the lateral deformation of the through-hole, it is possible to achieve a stable connection efficiency between the upper device and the lower device, it is possible to extend the service life of the bidirectional conductive module.
또한, 본 발명은 각각의 도전 패턴부에서의 노이즈 및 상호 신호 간섭을 최소화하여 안정적인 신호의 전달이 가능하게 되고, 하이-스피드를 구현할 수 있다. In addition, the present invention minimizes noise and mutual signal interference in each conductive pattern part, thereby enabling stable signal transmission and realizing high-speed.
도 1은 종래의 PCR타입의 반도체 테스트 소켓을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 양방향 도전성 모듈이 상부디바이스와 하부디바이스에 설치된 상태도를 개략적으로 도시한 것이고,
도 3은 도 2의 X부분의 확대도이다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 보강시트의 일예에 따른 평면도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 보강시트의 다른 예에 따른 평면도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 양방향 도전성 모듈의 제조방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 9은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 양방향 도전성 모듈의 제조방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 10는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 본체유닛의 단면도를 예시적으로 도시한 것이다.
도 11은 도 10(a)의 평면도를 도시한 것이다.
도 12은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 양방향 도전성 모듈의 제조방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 13는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 양방향 도전성 모듈이 상부디바이스와 하부디바이스에 설치된 상태도를 개략적으로 도시한 것이고,
도 14은 도 13의 Y부분의 확대도이다.1 is a view for explaining a conventional semiconductor test socket of the PCR type.
FIG. 2 schematically illustrates a state diagram in which a bidirectional conductive module according to a first embodiment of the present invention is installed on an upper device and a lower device.
3 is an enlarged view of a portion X of FIG. 2.
Figure 4 schematically shows a plan view according to an example of the reinforcing sheet according to the first embodiment of the present invention.
Figure 5 schematically shows a plan view according to another example of the reinforcing sheet according to the first embodiment of the present invention.
6 to 8 are views for explaining a method of manufacturing a bidirectional conductive module according to a first embodiment of the present invention.
9 is a view for explaining a method of manufacturing a bidirectional conductive module according to a second embodiment of the present invention.
10 illustrates a cross-sectional view of a main body unit according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 11 shows a plan view of FIG. 10 (a).
12 is a view for explaining a method of manufacturing a bidirectional conductive module according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 13 schematically illustrates a state diagram in which a bidirectional conductive module according to a fourth embodiment of the present invention is installed in an upper device and a lower device.
14 is an enlarged view of a portion Y in FIG. 13.
이하에서는 첨부도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 양방향 도전성 모듈 및 이의 제조방법에 대해 설명하기로 한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a bidirectional conductive module and a method of manufacturing the same according to a preferred embodiment of the present invention will be described.
제 1 실시예First embodiment
● 양방향 도전성 모듈● Bidirectional conductive module
도 2 및 도3을 참조하여, 본 발명인 양방향 도전성 모듈에 대해 설명하면 다음과 같다. Referring to Figures 2 and 3, the bi-directional conductive module of the present invention will be described.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명인 양방향 도전성 모듈(100)은 상부디바이스(20)와 하부디바이스(30)를 전기적으로 연결하는데 적용된다. 예를 들어, 본 발명이 반도체 디바이스의 양불 검사에 적용되는 경우, 상부 디바이스는 테스트 대상이 되는 반도체소자이고, 하부 디바이스는 검사 회로 기판일 수 있다. 또는, 본 발명이 인터포저(Interposer)에 적용되는 경우, 상부 디바이스는 CPU이고, 하부 디바이스는 보드일 수 있다. As shown in FIG. 2, the bidirectional
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명인 양방향 도전성 모듈(100)은 절연성본체(111), 복수의 도전패턴부(112) 및 복수의 보강시트(113)로 이루어진다.2 and 3, the bidirectional
절연성본체(111)는 절연성 재질로 마련된다. 절연성 재질로는 실리콘과 같은 탄성을 갖는 재질이 사용가능하나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 당업자의 입장에서 자명한 범위 내에서 변경가능함은 물론이다.The insulating
절연성본체(111)에는 상하 방향으로 관통된 복수의 관통홀(111a)이 형성된다. 복수의 관통홀(111a)은 상부디바이스의 단자(21) 간의 피치간격으로 배열된다. 복수의 관통홀(111a)에는 도전성을 가진 충진제가 충진된다. 충진제는 도전성을 갖는 도전성 파티클을 포함한다. Insulating
복수의 도전패턴부(112)는 각각의 관통홀(111a)에 형성되어 상하 방향으로 신호 라인을 형성한다. 도전패턴부(112)는 충진제가 각각의 관통홀(111a)에 충진되어 형성되는 것을 예로 한다. 예를 들어, 액상의 실리콘과 도전성 파티클이 혼합된 충진제의 충진 및 경화에 의해 형성될 수 있다. 여기서, 도전성 파티클은 도전성을 갖는 도전성 분말, 도전성 파이버 또는 도전성 와이어의 형태를 가질 수 있으며, 도전성의 향상을 위해 외부 표면에 도전성 재질의 도금이 형성될 수 있다.The plurality of
도 3에 도시된 바와 같이, 복수의 보강시트(113)는 절연성본체(111)의 상하방향으로 이격배치된다. 각각의 보강시트(113)는 절연성본체의 측방향으로 관통홀(111a)을 지지한다. 여기서, 측방향은 절연성본체의 상하방향에 대해 수직한 방향을 지칭한다. As shown in FIG. 3, the plurality of reinforcing
복수의 보강시트(113)는, 각각의 관통홀(111a)을 측방향으로 지지하여, 상부디바이스(20)와 하부디바이스(30)와의 접촉시 관통홀(111a)의 상하방향으로 가해지는 힘에 의해 관통홀(111a)의 측방향으로의 변형을 방지할 수 있다. The plurality of reinforcing
도 4에 도시된 바와 같이, 보강시트(113)에는 복수의 지지홀(113a)이 마련된다. 복수의 지지홀(113a)은 상부디바이스의 단자(21)의 배열에 대응되게 보강시트(113)에 마련된다. As shown in Figure 4, the reinforcing
또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 보강시트(113)에는 복수의 십자홀(118)이 더 마련될 수 있다. 복수의 십자홀(118)은 복수의 지지홀(113a)들 사이에 이격배치된다. 복수의 십자홀(118)은 레이저에 의해 보강시트(113)를 관통하는 홀이다.In addition, as illustrated in FIG. 5, the
도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 지지홀(113a)은 관통홀(111a)의 직경보다 큰 직경을 가질 수 있다. 본 실시예에서, 각각의 관통홀(111a)은 각각의 지지홀(113a)의 내부에 위치되게, 절연성본체(111)에 마련된다.As illustrated in FIGS. 6 and 7, the
본 실시예에서, 보강시트(113)는 절연성본체(111)의 재질보다 높은 강도를 가진 재질로 이루어진 것이 바람직하다. 일 예로, 보강시트는 폴리이미드, 실리콘 또는 우레탄과 같은 절연물질, 스테인레스 재질, 또는 FR4(Flame Retardant Type 4)와 같은 복합 재료 중 어느 하나로 이루어질 수 있다. In the present embodiment, the reinforcing
또는, 보강시트는 액상의 절연물질이 메쉬천에 도포 및 경화되어 형성될 수도 있다. 지지홀(113a)은 보강시트(113)가 각각의 관통홀(111a)로 노출되지 않게 마련된 것이 바람직하다.Alternatively, the reinforcing sheet may be formed by coating and curing a liquid insulating material on a mesh cloth. The
본 발명은 상부디바이스와 하부디바이스와의 반복적인 접촉시에도, 복수의 보강시트(113)에 의해 도전패턴부(112)가 충진된 관통홀(111a)의 측방향으로의 형상변형을 방지하여, 상부디바이스(20)와 하부디바이스(30)에 대한 접속효율을 안정적으로 도모할 수 있다. The present invention prevents shape deformation in the lateral direction of the through
● 양방향 도전성 모듈의 제조방법● Manufacturing method of bidirectional conductive module
이하에서는 도 6 내지 도 8을 참조하여 양방향 도전성 모듈(100)을 제조하는 양방향 도전성 모듈의 제조방법에 대해 설명하기로 한다. Hereinafter, a method of manufacturing a bidirectional conductive module for manufacturing the bidirectional
우선, 복수의 지지홀(113a)이 마련된 보강시트(113)가 준비된다. 복수의 지지홀(113a)은 상부디바이스의 단자(21) 간의 배열에 대응되는 배열로, 보강시트(113)에 형성된다. First, a reinforcing
이후, 보강시트(113)가 모듈몰드(40)에 설치된다. 이때, 복수의 보강시트(113)는 간격유지부재(41)에 의해 이격배치된다. 복수의 보강시트(113)는 도 4에 도시된 바와 같이 복수의 지지홀만 형성된 시트 또는 도 5에 도시된 복수의 지지홀(113a)과 복수의 십자홀(118)이 마련된 시트 중 어느 하나가 사용될 수 있으나, 본 명세서에서는 도 5에 도시된 복수의 지지홀(113a)과 복수의 십자홀(118)이 마련된 보강시트가 사용된 것을 예로 들어 설명하기로 한다. Thereafter, the reinforcing
간격유지부재로(41)는 스페이서가 사용될 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 당업자의 입장에서 자명한 범위 내에서 다양하게 변경가능하다. 아울러, 보강시트의 설치개수는 양방향 도전성 모듈의 크기 및 두께에 따라, 설계요구사항에 맞춰 다양하게 변경가능하여, 본 실시예에서는 보강시트의 설치개수에 대해서는 구체적으로 한정하지 않는다.
이후, 모듈몰드(40)로 액상의 절연물질(예컨대, 액상실리콘)이 주입된다. 이 과정에서, 모듈몰드(40)에 절연물질이 주입되는 과정에서, 보강시트의 복수의 지지홀(113a)과 복수의 십자홀(118)에는 절연물질이 채워지게 된다. Thereafter, a liquid insulating material (eg, liquid silicon) is injected into the
이후, 액상실리콘이 복수의 보강시트(113)과 함께 경화되면서, 절연성본체(111)가 마련된다. 절연성본체(111)가 모듈몰드(40)에서 분리된다.Thereafter, the liquid silicon is cured together with the plurality of reinforcing
도 7에 도시된 바와 같이, 절연성본체(111)가 상하로 관통되어, 복수의 관통홀(111a)이 형성된다. 복수의 관통홀(111a)은, 상부디바이스의 단자(21) 간의 피치간격으로, 상기 단자(21)들의 배열에 대응되게, 절연성본체(111)에 마련된다. 이때, 복수의 관통홀(111a)은 각각의 지지홀(113a)에 속하게 마련된 것이 바람직하다. As shown in FIG. 7, the insulating
이후, 도 8에 도시된 바와 같이, 복수의 관통홀(111a)에 도전성파우더가 충진되어, 복수의 도전패턴부(112)가 마련된다. 복수의 도전패턴부(112)는 상부디바이스의 단자(21)와 하부디바이스의 단자(31)와의 접촉시, 상부디바이스(20)와 하부디바이스(30)를 전기적으로 연결한다. Thereafter, as illustrated in FIG. 8, the conductive powder is filled in the plurality of through
상기와 같은 방법에 의해 제조된 양방향 도전성 모듈(100)은, 복수의 보강시트(113)가 측방향으로 각각의 관통홀(111a)을 지지하여, 상부디바이스(20)와 하부디바이스(30)와의 반복적인 접촉시 관통홀(111a)의 상하방향으로 가해지는 힘에 의한 관통홀(111a)의 측방향으로의 변형을 방지할 수 있다. In the bidirectional
또한, 절연물질이 충진된 복수의 십자홀(118)에 의해, 보강시트(113)를 통한 힘의 전달이 추가적으로 차단되어, 각각의 도전패턴부(112)는 인접하게 위치된 단자들간에 단차가 존재하는 단자와 접촉하더라도 접촉불량없이 안정적으로 각각의 단자와 접촉가능하다. In addition, by the plurality of cross holes 118 filled with an insulating material, the transmission of force through the reinforcing
제 2 실시예Second embodiment
● 양방향 도전성 모듈의 제조방법● Manufacturing method of bidirectional conductive module
이하에서는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 양방향 도전성 모듈 및 이의 제조방법에 대해 설명하기로 한다.Hereinafter, a bidirectional conductive module and a manufacturing method thereof according to a second embodiment of the present invention will be described.
도 9은 양방향 도전성 모듈의 제조방법의 다른 예를 설명하는 도면이다. 도 9에 도시된 예는, 절연 재질의 보강시트(213)가 사용된 경우이다. 보강시트는 폴리이미드, 실리콘 또는 우레탄과 같은 절연물질로 제작된 것이 사용될 수 있다. 또는, 보강시트는 액상의 절연물질(예컨대, 액상실리콘)이 메쉬천에 도포 및 경화되어 형성된 것이 사용될 수 있다. 9 is a view for explaining another example of the manufacturing method of the bidirectional conductive module. 9 is a case where the reinforcing
도 9(a)에 도시된 바와 같이, 내부가 중공된 모듈몰드(40)가 준비된다. 상술한 제 1 실시예와 달리 본 실시예에 따른 보강시트는 지지홀이 마련되지 않는다. As shown in FIG. 9 (a), a
모듈몰드(40)에서, 복수의 보강시트(213)는 간격유지부재(41)에 의해 이격배치된다. 간격유지부재로는 스페이서가 사용될 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 당업자의 입장에서 자명한 범위 내에서 다양하게 변경가능하다. In the
도 9(b)에 도시된 바와 같이, 모듈몰드(40)로 액상의 절연물질(예컨대, 액상실리콘)이 주입된다. 이후, 액상실리콘이 복수의 보강시트(213)과 함께 경화되면서, 절연성본체(211)가 마련된다. 절연성본체(211)가 모듈몰드(40)에서 분리된다.As shown in FIG. 9B, a liquid insulating material (eg, liquid silicon) is injected into the
도 9(c)에 도시된 바와 같이, 복수의 관통홀(211a)은 절연성본체(211) 및 복수의 보강시트(213)의 상하방향으로 관통되어 형성된다. 본 예에서, 복수의 관통홀(211a)은 상부디바이스의 단자(21) 간의 피치간격으로, 복수의 보강시트의 적층방향의 상하로 절연성본체(211) 및 복수의 보강시트(213)가 관통되어 형성된다. 복수의 관통홀(211a)은 기계적 방식 또는 레이저 방식에 의해 마련되며, 당업자의 입장에서 자명한 범위 내의 다양한 타공방식이 사용가능함은 물론이다. As shown in FIG. 9C, the plurality of through
이후, 도 9(d)에 도시된 바와 같이, 복수의 관통홀(211a)에 도전성파우더가 충진되어, 복수의 도전패턴부(212)가 마련된다. Thereafter, as illustrated in FIG. 9D, the conductive powder is filled in the plurality of through
● 양방향 도전성 모듈● Bidirectional conductive module
도 9(d)에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 양방향 도전성 모듈은 절연성본체(211), 복수의 도전패턴부(212) 및 복수의 보강시트(213)로 이루어진다. 본 발명의 다른 실시예에 따른 양방향 도전성 모듈(200)은 상기와 같은 방법으로 제조된 것으로 그 단면은 도 9(d)에 도시된 바와 같다. As shown in FIG. 9 (d), the bidirectional conductive module according to the present exemplary embodiment includes an insulating
상술한 제1실시예의 양방향 도전성 모듈(100)과 동일한 방식으로, 본 실시예에 따른 양방향 도전성 모듈(200)은 상부디바이스(20)와 하부디바이스(30) 사이에 설치되어, 상부디바이스(20)와 하부디바이스(30)를 전기적으로 연결한다. In the same manner as the bidirectional
본 실시예에 따른 양방향 도전성 모듈(200)은, 절연성본체(211)에 복수의 관통홀(211a)이 타공되는 과정에서, 복수의 보강시트(213)가 절연성본체(211)와 함께 타공되어, 보강시트(213)가 관통홀(211a)에 노출되는 점에서, 상술한 제 1 실시예와 차이가 있다. In the bidirectional
이에, 본 실시예에 따른 보강시트(213)는 도전패턴부(212)와 통전되지 않게, 절연성을 가지는 것이 바람직하다. 이에, 보강시트(213)는 폴리이미드, 실리콘 또는 우레탄과 같은 절연물질로 제작되는 것이 바람직하다. 또는, 보강시트(213)는 액상의 절연물질(예컨대, 액상실리콘)이 메쉬천에 도포 및 경화된 것이 사용될 수 있다. Thus, the reinforcing
양방향 도전성 모듈(200)은, 복수의 보강시트(213)가, 절연성본체(211)의 측방향으로 각각의 관통홀(211a)을 지지하여, 상부디바이스(20)와 하부디바이스(30)와의 접촉시 관통홀(211a)의 상하방향으로 가해지는 힘에 의한 관통홀(211a)의 측방향으로의 변형을 방지할 수 있다. In the bidirectional
이로 인해, 본 발명은 상부디바이스와 하부디바이스와의 반복적인 접촉시에도, 복수의 보강시트에 의해 도전패턴부가 충진된 관통홀의 측방향으로의 형상변형을 방지하여, 상부디바이스와 하부디바이스에 대한 접속효율을 안정적으로 도모할 수 있다. Therefore, the present invention prevents the shape deformation in the lateral direction of the through hole filled with the conductive pattern portion by a plurality of reinforcing sheets, even when repeatedly contacting the upper device and the lower device, thereby connecting to the upper device and the lower device. The efficiency can be stably achieved.
제 3 실시예Third embodiment
● 양방향 도전성 모듈(300)● Bidirectional Conductive Module (300)
이하에서는 도 10 내지 도 12을 참조하여, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 양방향 도전성 모듈(300) 및 이의 제조방법에 대해 설명하기로 한다.Hereinafter, the bidirectional
도 12(c)에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 양방향 도전성 모듈(300)은 절연성본체(311), 복수의 도전패턴부(312) 및 복수의 보강시트(313)로 이루어진다. As shown in FIG. 12C, the bidirectional
상술한 제1실시예와 달리, 본 실시예에 따른 절연성본체(311)는 복수의 본체유닛(311-A, 311-B)이 상하로 적층되어 형성된다. Unlike the first embodiment described above, the insulating
도 10에 도시된 바와 같이, 본체유닛(311-A, 311-B)은 각각의 보강시트(313)와 결합되고 복수의 지지홀(313a)에 대응되는 위치에 복수의 단위관통홀(311a1)이 형성된다. 도 12에 도시된 바와 같이, 복수의 본체유닛(311-A, 311-B)이 적층될 때, 각각의 본체유닛(311-A, 311-B)에 마련된 복수의 단위관통홀(311a1)이 상하로 연통되어 복수의 관통홀(311a)을 형성한다. As shown in FIG. 10, the body units 311 -A and 311 -B are coupled to the respective reinforcing
일 예로, 도 10(a)에 도시된 바와 같이, 보강시트(313)는 본체유닛(311-A)의 일면으로 노출되게 마련된 것이 바람직하다. 또는, 다른 예로, 도 10(b)에 도시된 바와 같이, 보강시트(313)는 본체유닛(311-B)의 외부로 노출되지 않게 마련된 것이 바람직하다. For example, as shown in FIG. 10A, the reinforcing
보강시트(313)는 절연성본체(311)의 재질보다 높은 강도를 가진 재질로 이루어진 것이 바람직하다. 보강시트(313)는 폴리이미드, 실리콘 또는 우레탄과 같은 절연물질, 스테인레스 재질, 또는 FR4(Flame Retardant Type 4)와 같은 복합 재료 중 어느 하나로 이루어진 것이 바람직하다. 또는, 보강시트(313)는 액상의 절연물질이 메쉬천에 도포 및 경화되어 형성된 것이 바람직하다. 도전성 재질로 제작된 경우, 보강시트(313)는 각각의 지지홀(313a)이 각각의 관통홀(311a)로 노출되지 않게 마련된 것이 바람직하다.The reinforcing
도 10(b)에 도시된 바와 같이, 보강시트(313)가 본체유닛(311-B)의 외부로 노출되지 않게 마련된 경우에는 보강시트(313)가 상부디바이스와 하부디바이스에 접촉되지 않아, 본체유닛(311-B)의 재질보다 높은 강도를 가지면 된다. As shown in Figure 10 (b), when the reinforcing
그러나, 도 10(a)에 도시된 바와 같이, 보강시트(313)가 본체유닛(311-A)의 일면으로 노출된 경우에는 보강시트(313)의 재질이 절연재질 또는 도전성재질 중 어떤 것으로 이루어진 것인지에 따라, 보강시트(313)의 지지홀(313a)과 본체유닛(311-A)의 단위관통홀(311a1)의 배치에 따른 구조 및 기능상의 차이가 존재한다.However, as shown in Figure 10 (a), when the reinforcing
예컨대, 보강시트(313)가 절연재질로 이루어진 경우에, 보강시트(313)가 본체유닛(311-A)의 일면으로 노출되게 마련되더라도, 보강시트(313)가 상부디바이스와 하부디바이스에 접촉되더라도 통전되지 않는다. For example, when the reinforcing
보강시트(313)는 복수의 지지홀(313a)이 각각의 단위관통홀(311a1)에 대응되게 본체유닛(311-A)에 결합되어, 본체유닛(311-A)을 측방향으로 지지하면 된다. 이때, 복수의 보강시트(313)는, 각각의 단위관통홀(311a1)이 상호 간에 연통되어 형성된 관통홀(311a)을 측방향으로 지지하여, 상부디바이스(20)와 하부디바이스(30)와의 접촉시 관통홀(311a)의 상하방향으로 가해지는 힘에 의해 관통홀(311a)의 측방향으로의 변형을 방지할 수 있다. The reinforcing
다른 예로, 보강시트(313)가 도전성재질로 이루어진 경우에, 보강시트(313)는 지지홀(313a)의 내부에 관통홀(311a)이 위치되게 본체유닛(311-A)과 결합된 것이 바람직하다. 즉, 보강시트(313)는 각각의 지지홀(313a)이 각각의 관통홀(311a)로 노출되지 않게 마련된 것이 바람직하다. 이는, 양방향 도전성 모듈(300)이 상부디바이스와 하부디바이스에 전기적으로 연결될 때, 보강시트(313)가 상부디비아스 및/또는 하부디바이스의 단자와 접촉되어 통전되는 것을 방지하기 위함이다. As another example, when the reinforcing
● 양방향 도전성 모듈(300)의 제조방법● Method of manufacturing the bidirectional
이하에서는 도 12을 참조하여, 양방향 도전성 모듈(300)을 제작하는 방법에 대해 설명하기로 한다. Hereinafter, a method of manufacturing the bidirectional
도 12(a)에 도시된 보강시트(313)가 일면으로 노출된 본체유닛(311-A)이 준비된다. 도 11에 도시된 바와 같이, 본체유닛(311-A)은 각각의 단위관통홀(311a1)이 보강시트(313)의 각각의 지지홀(313a)의 내부에 위치되게, 보강시트(313)와 결합된다. A main body unit 311-A in which the reinforcing
예를 들어, 보강시트(313)가 본체유닛(311-A)의 일면에 결합된 상태에서, 복수의 지지홀(313a)에 대응되는 위치에서 본체유닛(311-A)이 상하 방향으로 관통되어 복수의 단위관통홀(311a1)을 형성할 수 있다. 본체유닛(311-A)의 가장자리에는 기둥결합홀(313c)이 마련된다. For example, in a state where the reinforcing
도 12(a)에 도시된 바와 같이, 돌출기둥이 마련된 금형이 마련된다. 각각의 본체유닛(311-A)은 기둥결합홀(313c)이 돌출기둥을 관통하여 금형에 상하로 적층된다. 적층되는 과정에서, 각각의 본체유닛(311-A)은 접착제에 의해 접착된다. As shown in Fig. 12 (a), a mold having a protruding pillar is provided. Each main body unit 311-A has a
도 12(b)에 도시된 바와 같이, 금형에 적층된 복수의 본체유닛(311-A)은 복수의 단위관통홀(311a1)이 상하로 연통되어 복수의 관통홀(311a)을 형성한다.As shown in FIG. 12B, in the plurality of main body units 311 -A stacked in the mold, the plurality of unit through
이후, 복수의 관통홀(311a)에 도전성파우더가 충진되어 복수의 도전패턴부(312)가 마련된다. 마지막으로, 금형에서 양방향 도전성 모듈(300)을 분리한 후, 기둥결합홀(313c)이 마련된 양방향 도전성 모듈(300)의 가장자리를 컷팅한다. Thereafter, the conductive powder is filled in the plurality of through
도 12(c)에 도시된 바와 같이, 복수의 도전패턴부(312)는 각각의 관통홀(311a)에 형성되어 상하방향으로 신호 라인을 형성하여 상부디바이스와 하부디바이스를 전기적으로 연결한다. As shown in FIG. 12C, a plurality of
제 4 실시예Fourth embodiment
본 실시예에 따른 양방향 도전성 모듈(400)은, 상술한 제 3 실시예에 도시된 도전성 재질로 이루어진 보강시트가 절연성본체의 외부로 노출되게 형성된 구조에, 도전라인(414)이 더 구비된 것이다. In the bidirectional
본 실시예에 따른 양방향 도전성 모듈(400)은 보강시트(413)가 도전성 재질로 이루어지고, 보강시트(413)가 본체유닛의 일면으로 노출된 것으로 제작된 것이다. In the bidirectional
보강시트(413)가 도전성재질로 이루어진 경우에, 보강시트(413)는 지지홀(413a)의 내부에 관통홀(411a)이 위치되게 본체유닛과 결합된 것이 바람직하다. 즉, 보강시트(413)는 각각의 지지홀(413a)이 각각의 관통홀(411a)로 노출되지 않게 마련된 것이 바람직하다. When the reinforcing
상기 복수의 본체유닛은 상기 복수의 보강시트(413) 중 어느 하나가 상기 절연성본체(411)의 외부로 노출되게 적층된다. 그리고, 상기 복수의 보강시트(413)는 각각의 상기 본체유닛에 의해 상하방향으로 이격배치되고, 도전라인(414)에 의해 상호 간에 전기적으로 연결된다. The plurality of body units are stacked such that any one of the plurality of reinforcing
여기서, 도전라인(414)은 복수의 보강시트(413)가 위치된 부분에서 절연성본체(411)를 상하로 관통하여 비어홀 처리하여 형성될 수 있으며, 당업자의 입장에서 상하로 이격배치된 복수의 보강시트(413)를 전기적으로 연결할 수 있는 결합방식이라면 비어홀 처리 외에 다양한 방식이 적용될 수 있음은 물론이다. Here, the
도 13 및 도 14에 도시된 바와 같이, 상기와 같은 구조를 가진 양방향 도전성 모듈(400)은, 복수의 도전패턴부(412)가 상부디바이스의 단자(21) 및 하부디바이스의 단자(31)에 각각 접촉되고, 노출된 상기 보강시트(413)가 하부디바이스의 접지단자(32)와의 접촉되게 위치된다. 노출된 상기 보강시트(413)는 하부디바이스의 접지단자와의 접촉시 접지되어, 각각의 도전 패턴부에서의 노이즈 및 상호 신호 간섭을 최소화하여 안정적인 신호의 전달이 가능하게 되고, 하이-스피드를 구현할 수 있다. As shown in FIGS. 13 and 14, in the bidirectional
비록 본 발명의 몇몇 실시예들이 도시되고 설명되었지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 당업자라면 본 발명의 원칙이나 정신에서 벗어나지 않으면서 본 실시예를 변형할 수 있음을 알 수 있을 것이다. 발명의 범위는 첨부된 청구항과 그 균등물에 의해 정해질 것이다.Although some embodiments of the invention have been shown and described, it will be apparent to those skilled in the art that modifications may be made to the embodiment without departing from the spirit or spirit of the invention. . It is intended that the scope of the invention be defined by the claims appended hereto and their equivalents.
100, 200: 양방향 도전성 모듈
111, 211, 311, 411: 절연성본체
112, 212, 312, 412: 도전패턴부
113, 213, 313, 413: 보강시트
414: 도전라인100, 200: bidirectional conductive module
111, 211, 311, 411: insulating body
112, 212, 312, and 412: conductive pattern portion
113, 213, 313, 413: reinforcement sheet
414: challenge line
Claims (26)
절연성을 갖는 재질로 마련되고, 상하방향으로 관통된 복수의 관통홀이 형성된 절연성본체;
상기 절연성본체의 내부에서 상하방향으로 이격되며, 각각의 상기 관통홀이 상하방향으로 연통가능하게 각각의 상기 관통홀에 대응하는 위치에 지지홀이 형성된 복수의 보강시트; 및
각각의 상기 관통홀에 형성되어 상하방향으로 신호 라인을 형성하여 상기 상부디바이스와 상기 하부디바이스를 전기적으로 연결하는 복수의 도전패턴부를 포함하고,
상기 복수의 보강시트는 상기 상부디바이스와 상기 하부디바이스와의 접촉시 상기 관통홀의 상하방향으로 가해지는 힘에 의해 상기 관통홀의 측방향으로의 변형을 방지하는 것을 특징으로 하는 양방향 도전성 모듈.In the bidirectional conductive module for electrically connecting the upper device and the lower device,
An insulating body provided with a material having insulating property and having a plurality of through holes penetrated in the vertical direction;
A plurality of reinforcing sheets spaced apart in the vertical direction from the inside of the insulating main body, and supporting holes are formed at positions corresponding to the respective through holes so that the respective through holes communicate in the vertical direction; And
A plurality of conductive pattern portions formed in each of the through-holes to form signal lines in the vertical direction and electrically connect the upper device and the lower device;
And the plurality of reinforcing sheets prevent deformation in the lateral direction of the through-holes by a force applied in the up-down direction of the through-holes when the upper device and the lower device are in contact with each other.
상기 보강시트는 상기 절연성본체의 재질보다 높은 강도를 가진 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 양방향 도전성 모듈.The method of claim 1,
The reinforcing sheet is a bidirectional conductive module, characterized in that made of a material having a higher strength than the material of the insulating body.
상기 보강시트는 폴리이미드, 실리콘 또는 우레탄과 같은 절연물질, 스테인레스 재질, 또는 FR4(Flame Retardant Type 4)와 같은 복합 재료 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 양방향 도전성 모듈.The method of claim 2,
The reinforcing sheet is bidirectional conductive module, characterized in that made of any one of an insulating material, such as polyimide, silicon or urethane, stainless material, or a composite material such as FR4 (Flame Retardant Type 4).
상기 보강시트는 액상의 절연물질이 메쉬천에 도포 및 경화되어 형성된 것을 특징으로 하는 양방향 도전성 모듈.The method of claim 2,
The reinforcing sheet is a bidirectional conductive module, characterized in that the liquid insulating material is applied to the mesh cloth and cured.
상기 절연성본체는, 각각의 상기 보강시트와 결합되고 상기 복수의 지지홀에 대응되는 위치에 복수의 단위관통홀이 형성된 복수의 본체유닛이 상하로 적층되어 형성되고, 각각의 상기 본체유닛에 마련된 상기 복수의 단위관통홀이 상하로 연통되어 상기 복수의 관통홀을 형성하는 것을 특징으로 하는 양방향 도전성 모듈.The method of claim 2,
The insulating body is formed by stacking up and down a plurality of body units coupled to each of the reinforcement sheets and having a plurality of unit through holes formed at positions corresponding to the plurality of support holes, respectively provided in the body units. A plurality of unit through-holes communicate with each other up and down to form the plurality of through holes.
상기 보강시트는 상기 본체유닛의 외부로 노출되지 않게 마련된 것을 특징으로 하는 양방향 도전성 모듈. The method of claim 5, wherein
The reinforcement sheet is a bi-directional conductive module, characterized in that provided not to be exposed to the outside of the main unit.
상기 보강시트는 상기 본체유닛의 일면으로 노출되게 마련된 것을 특징으로 하는 양방향 도전성 모듈. The method of claim 5, wherein
The reinforcement sheet is a bi-directional conductive module, characterized in that provided to be exposed to one surface of the body unit.
상기 보강시트는 도전성 재질로 이루어지고, 상기 지지홀의 내부에 상기 관통홀이 위치되게 상기 본체유닛과 결합되고,
상기 복수의 본체유닛은 상기 복수의 보강시트 중 어느 하나가 상기 절연성본체의 외부로 노출되게 적층된 것을 특징으로 하는 양방향 도전성 모듈.The method of claim 7, wherein
The reinforcing sheet is made of a conductive material and is coupled to the main unit so that the through hole is located in the support hole.
The plurality of main body unit is a bi-directional conductive module, characterized in that any one of the plurality of reinforcing sheet is laminated so as to be exposed to the outside of the insulating body.
상기 복수의 보강시트는 각각의 상기 본체유닛에 의해 상하방향으로 이격배치되고, 도전라인에 의해 상호 간에 전기적으로 연결되어,
노출된 상기 보강시트가 상기 상부디바이스의 접지단자 또는 상기 하부디바이스의 접지단자와의 접촉시 접지되는 것을 특징으로 하는 양방향 도전성 모듈.The method of claim 8,
The plurality of reinforcing sheets are spaced apart in the vertical direction by each of the main body unit, are electrically connected to each other by a conductive line,
And the exposed reinforcing sheet is grounded when contacted with the ground terminal of the upper device or the ground terminal of the lower device.
상기 보강시트는 각각의 상기 지지홀이 각각의 상기 관통홀로 노출되지 않게 마련된 것을 특징으로 하는 양방향 도전성 모듈.The method of claim 1,
The reinforcing sheet is a bi-directional conductive module, characterized in that each supporting hole is provided so as not to be exposed to each of the through holes.
상기 보강시트에는 복수의 십자홀이 마련되고,
상기 복수의 십자홀은 상기 복수의 지지홀들 사이에 이격배치된 것을 특징으로 하는 양방향 도전성 모듈. The method of claim 1,
The reinforcing sheet is provided with a plurality of cross holes,
And the plurality of cross holes are spaced apart between the plurality of support holes.
(A) 모듈몰드에, 복수의 보강시트가 이격배치되는 단계;
(B) 액상의 절연물질이 상기 모듈몰드로 주입되고 경화되어, 상기 복수의 보강시트가 내장된 절연성본체가 형성되는 단계;
(C) 상기 복수의 보강시트의 적층방향으로 상기 절연성본체가 관통되어, 복수의 관통홀이 형성되는 단계; 및
(D) 각각의 상기 관통홀에 형성되어 상하방향으로 신호 라인을 형성하여 상기 상부디바이스와 상기 하부디바이스를 전기적으로 연결하는 복수의 도전패턴부가 형성되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 양방향 도전성 모듈의 제조방법.In the manufacturing method of the bidirectional conductive module for manufacturing a bidirectional conductive module for electrically connecting the upper device and the lower device,
(A) placing a plurality of reinforcing sheets spaced apart in the module mold;
(B) a step in which a liquid insulating material is injected into the module mold and cured to form an insulating body in which the plurality of reinforcing sheets are embedded;
(C) forming a plurality of through holes through the insulating body in the stacking direction of the plurality of reinforcing sheets; And
(D) forming a plurality of conductive patterns formed in each of the through holes to electrically connect the upper device and the lower device to form signal lines in the vertical direction. Manufacturing method.
상기 (A) 단계 전에, 상기 보강시트는 상기 상부디바이스의 단자에 대응되게 배열된 복수의 지지홀이 형성되는 단계를 더 포함하고,
상기 (C) 단계에서, 상기 관통홀은 각각의 상기 지지홀에 대응하는 위치에서, 상기 절연성본체의 상하 방향으로 관통되어 형성된 것을 특징으로 하는 양방향 도전성 모듈의 제조방법. The method of claim 12,
Before the step (A), the reinforcing sheet further comprises the step of forming a plurality of support holes arranged to correspond to the terminal of the upper device,
In the step (C), the through hole is a method of manufacturing a bidirectional conductive module, characterized in that formed in the vertical direction through the insulating body at a position corresponding to each of the support hole.
상기 지지홀은 상기 관통홀의 직경보다 큰 직경을 가지고,
상기 각각의 관통홀은 상기 각각의 지지홀의 내부에 위치되는 것을 특징으로 하는 양방향 도전성 모듈의 제조방법. The method of claim 13,
The support hole has a diameter larger than the diameter of the through hole,
And each through hole is located inside the respective support hole.
상기 (C) 단계에서, 상기 관통홀은 상기 보강시트가 노출되지 않게 형성된 것을 특징으로 하는 양방향 도전성 모듈의 제조방법.The method of claim 13,
In the step (C), the through hole is a manufacturing method of the bidirectional conductive module, characterized in that the reinforcing sheet is formed so as not to be exposed.
상기 (C) 단계에서, 상기 복수의 보강시트는 상기 절연성본체와 함께 관통되어, 상기 복수의 관통홀에 대응되는 위치에 복수의 지지홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 양방향 도전성 모듈의 제조방법. The method of claim 12,
In the step (C), the plurality of reinforcing sheet is penetrated with the insulating body, a plurality of supporting holes is characterized in that a plurality of support holes are formed in a position corresponding to the plurality of through holes.
복수의 지지홀이 마련된 보강시트가 절연재질로 이루어진 본체유닛에 결합되는 단계;
상기 복수의 지지홀에 대응되는 위치에서, 상기 본체유닛이 상하방향으로 관통되어 복수의 단위관통홀이 형성되는 단계;
각각의 상기 본체유닛에 마련된 상기 복수의 단위관통홀이 상하로 연통되어 복수의 관통홀을 형성하게, 상기 복수의 본체유닛이 상하로 적층되어 결합되는 단계; 및
각각의 상기 관통홀에 형성되어 상하방향으로 신호 라인을 형성하여 상기 상부디바이스와 상기 하부디바이스를 전기적으로 연결하는 복수의 도전패턴부가 형성되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 양방향 도전성 모듈의 제조방법.In the manufacturing method of the bidirectional conductive module for manufacturing a bidirectional conductive module for electrically connecting the upper device and the lower device,
Coupling the reinforcing sheet provided with a plurality of support holes to a main body unit made of an insulating material;
Forming a plurality of unit through holes through the body unit in a vertical direction at a position corresponding to the plurality of support holes;
Stacking and coupling the plurality of main body units up and down so that the plurality of unit through holes provided in each of the main body units communicate vertically to form a plurality of through holes; And
And forming a plurality of conductive pattern portions formed in each of the through holes to electrically connect the upper device and the lower device to form signal lines in the vertical direction.
상기 보강시트는 상기 본체유닛의 외부로 노출되지 않게 마련된 것을 특징으로 하는 양방향 도전성 모듈의 제조방법.The method of claim 17,
The reinforcing sheet is a manufacturing method of the bidirectional conductive module, characterized in that not provided to the outside of the main body unit.
상기 보강시트는 상기 본체유닛의 일면으로 노출되게 마련된 것을 특징으로 하는 양방향 도전성 모듈의 제조방법.The method of claim 17,
The reinforcing sheet is a manufacturing method of the bidirectional conductive module, characterized in that provided to be exposed to one surface of the body unit.
상기 보강시트는 도전성 재질로 이루어지고, 상기 지지홀의 내부에 상기 관통홀이 위치되게 상기 본체유닛과 결합되고,
상기 복수의 본체유닛은 상기 복수의 보강시트 중 어느 하나가 상기 절연성본체의 외부로 노출되게 적층된 것을 특징으로 하는 양방향 도전성 모듈의 제조방법.The method of claim 19,
The reinforcing sheet is made of a conductive material and is coupled to the main unit so that the through hole is located in the support hole.
The plurality of main body unit is a manufacturing method of the bidirectional conductive module, characterized in that any one of the plurality of reinforcing sheet is laminated so as to be exposed to the outside of the insulating body.
상기 복수의 보강시트는 각각의 상기 본체유닛에 의해 상하방향으로 이격배치되고, 도전라인에 의해 상호 간에 전기적으로 연결되어,
노출된 상기 보강시트가 상기 상부디바이스의 접지단자 또는 상기 하부디바이스의 접지단자와의 접촉시 접지되는 것을 특징으로 하는 양방향 도전성 모듈의 제조방법.The method of claim 20,
The plurality of reinforcing sheets are spaced apart in the vertical direction by each of the main body unit, are electrically connected to each other by a conductive line,
And the exposed reinforcing sheet is grounded when contacted with the ground terminal of the upper device or the ground terminal of the lower device.
상기 보강시트는 상기 절연성본체의 재질보다 높은 강도를 가진 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 양방향 도전성 모듈의 제조방법.The method according to claim 12 or 17,
The reinforcing sheet is a method of manufacturing a bidirectional conductive module, characterized in that made of a material having a higher strength than the material of the insulating body.
상기 보강시트는 폴리이미드, 실리콘 또는 우레탄과 같은 절연물질, 스테인레스 재질, 또는 FR4(Flame Retardant Type 4)와 같은 복합 재료 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 양방향 도전성 모듈의 제조방법.The method of claim 22,
The reinforcing sheet is a method of manufacturing a bidirectional conductive module, characterized in that made of any one of an insulating material, such as polyimide, silicon or urethane, stainless material, or a composite material such as FR4 (Flame Retardant Type 4).
상기 보강시트는 액상의 절연물질이 메쉬천에 도포 및 경화되어 형성된 것을 특징으로 하는 양방향 도전성 모듈의 제조방법.The method of claim 22,
The reinforcing sheet is a method of manufacturing a bidirectional conductive module, characterized in that the liquid insulating material is applied to the mesh cloth and cured formed.
상기 보강시트는 각각의 상기 지지홀이 각각의 상기 관통홀로 노출되지 않게 마련된 것을 특징으로 하는 양방향 도전성 모듈의 제조방법.The method according to claim 12 or 17,
The reinforcing sheet is a manufacturing method of the bidirectional conductive module, characterized in that each of the support holes are provided so as not to be exposed to each of the through holes.
상기 보강시트에는 복수의 십자홀이 마련되고,
상기 복수의 십자홀은 상기 복수의 지지홀들 사이에 이격배치된 것을 특징으로 하는 양방향 도전성 모듈의 제조방법.
The method according to claim 12 or 17,
The reinforcing sheet is provided with a plurality of cross holes,
And the plurality of cross holes are spaced apart between the plurality of support holes.
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021172758A1 (en) | 2020-02-27 | 2021-09-02 | 주식회사 엘지에너지솔루션 | Battery module having structure capable of rapid cooling, and ess comprising same |
KR102301835B1 (en) * | 2021-03-05 | 2021-09-14 | (주)위드멤스 | Contactor and manufacturing method thereof |
KR102310726B1 (en) * | 2021-03-05 | 2021-10-12 | (주)위드멤스 | Flexible contactor and method for manufacturing the same |
KR102338903B1 (en) * | 2021-03-29 | 2021-12-14 | (주)위드멤스 | Contactor and method for manufacturing the same |
KR20210155189A (en) * | 2020-06-15 | 2021-12-22 | 배명철 | Manufacturing method for pin gide structure of test socket using stacked film |
KR20230068134A (en) * | 2021-11-10 | 2023-05-17 | 주식회사 티에프이 | Rubber socket for testing semiconductor package |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102511313B1 (en) * | 2021-03-11 | 2023-03-20 | (주)위드멤스 | Contactor array and manufacturing method thereof |
KR102525844B1 (en) * | 2021-03-29 | 2023-04-28 | (주)위드멤스 | Contactor assembly and method for manufacturing the same |
KR102594175B1 (en) * | 2021-08-17 | 2023-10-26 | 미르텍알앤디 주식회사 | Semiconductor test socket and manufacturing method of the same |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002340930A (en) * | 2001-03-16 | 2002-11-27 | Nhk Spring Co Ltd | Support body for conductive contactor |
KR20060121847A (en) * | 2003-09-01 | 2006-11-29 | 제이에스알 가부시끼가이샤 | Anisotropic conductive sheet, process for producing the same, and circuit board inspection apparatus |
KR20100019194A (en) * | 2008-08-08 | 2010-02-18 | 이용준 | Semiconductor device test contactor |
KR20100049501A (en) * | 2008-10-21 | 2010-05-12 | 가부시키가이샤 아사히 덴카 겐큐쇼 | Female connector, male connector fitted with it, and electric and electronic apparatus using the same |
KR101179545B1 (en) * | 2011-09-23 | 2012-09-05 | 하동호 | Semiconductor test socket |
KR101284212B1 (en) * | 2012-04-27 | 2013-07-09 | 주식회사 아이에스시 | Test socket which can be aligned easily |
JP2013239742A (en) * | 2009-02-23 | 2013-11-28 | Shinko Electric Ind Co Ltd | Wiring board and manufacturing method of the same |
KR20160148097A (en) | 2015-06-15 | 2016-12-26 | 에이케이이노텍주식회사 | Pcr device and manufacturing method thereof |
KR20180049424A (en) * | 2016-11-01 | 2018-05-11 | 솔브레인멤시스(주) | Anisotropic conductive sheet deconcentrating load in testing |
-
2018
- 2018-08-28 KR KR1020180101162A patent/KR102114110B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002340930A (en) * | 2001-03-16 | 2002-11-27 | Nhk Spring Co Ltd | Support body for conductive contactor |
KR20060121847A (en) * | 2003-09-01 | 2006-11-29 | 제이에스알 가부시끼가이샤 | Anisotropic conductive sheet, process for producing the same, and circuit board inspection apparatus |
KR20100019194A (en) * | 2008-08-08 | 2010-02-18 | 이용준 | Semiconductor device test contactor |
KR20100049501A (en) * | 2008-10-21 | 2010-05-12 | 가부시키가이샤 아사히 덴카 겐큐쇼 | Female connector, male connector fitted with it, and electric and electronic apparatus using the same |
JP2013239742A (en) * | 2009-02-23 | 2013-11-28 | Shinko Electric Ind Co Ltd | Wiring board and manufacturing method of the same |
KR101179545B1 (en) * | 2011-09-23 | 2012-09-05 | 하동호 | Semiconductor test socket |
KR101284212B1 (en) * | 2012-04-27 | 2013-07-09 | 주식회사 아이에스시 | Test socket which can be aligned easily |
KR20160148097A (en) | 2015-06-15 | 2016-12-26 | 에이케이이노텍주식회사 | Pcr device and manufacturing method thereof |
KR20180049424A (en) * | 2016-11-01 | 2018-05-11 | 솔브레인멤시스(주) | Anisotropic conductive sheet deconcentrating load in testing |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021172758A1 (en) | 2020-02-27 | 2021-09-02 | 주식회사 엘지에너지솔루션 | Battery module having structure capable of rapid cooling, and ess comprising same |
KR20210155189A (en) * | 2020-06-15 | 2021-12-22 | 배명철 | Manufacturing method for pin gide structure of test socket using stacked film |
KR102301835B1 (en) * | 2021-03-05 | 2021-09-14 | (주)위드멤스 | Contactor and manufacturing method thereof |
KR102310726B1 (en) * | 2021-03-05 | 2021-10-12 | (주)위드멤스 | Flexible contactor and method for manufacturing the same |
WO2022186679A1 (en) * | 2021-03-05 | 2022-09-09 | (주)위드멤스 | Contactor and method for manufacturing same |
KR102338903B1 (en) * | 2021-03-29 | 2021-12-14 | (주)위드멤스 | Contactor and method for manufacturing the same |
WO2022211450A1 (en) * | 2021-03-29 | 2022-10-06 | (주)위드멤스 | Contactor and manufacturing method therefor |
TWI807735B (en) * | 2021-03-29 | 2023-07-01 | 南韓商宇德曼斯有限公司 | Contactor and method for manufacturing the same |
KR20230068134A (en) * | 2021-11-10 | 2023-05-17 | 주식회사 티에프이 | Rubber socket for testing semiconductor package |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102114110B1 (en) | 2020-05-25 |
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