KR20200012352A - 리테이너 링 장치 - Google Patents

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    • H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting

Abstract

본 발명은 반도체공정 상의 웨이퍼를 웨이퍼캐리어가 홀딩한 상태에서 화학기계적으로 연마할 때 그 웨이퍼가 웨이퍼캐리어로부터 이탈되지 않도록 하는 리테이너 링 장치에 관한 기술로서, 리테이너 링 장치를 쓰리피스 또는 투피스 구조로 구성함에 따라 리테이너 링 장치의 본체 재활용이 가능하도록 하는 기술에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 제 1 리테이너 링의 단턱부와 제 2 리테이너 링의 돌출리브를 구비함에 따라 웨이퍼캐리어의 움직임에 연동하여 제 1 리테이너 링과 제 2 리테이너 링의 연성 본딩결합에도 불구하고 견고한 접합력을 유지할 수 있는 장점이 있다.

Description

리테이너 링 장치 {retainer ring device}
본 발명은 반도체공정 상의 웨이퍼를 웨이퍼캐리어가 홀딩한 상태에서 화학기계적으로 연마할 때 그 웨이퍼가 웨이퍼캐리어로부터 이탈되지 않도록 하는 리테이너 링 장치에 관한 기술이다.
더욱 상세하게는, 본 발명은 리테이너 링 장치를 쓰리피스 또는 투피스 구조로 구성함에 따라 리테이너 링 장치의 본체 재활용이 가능하도록 하는 기술에 관한 것이다.
[도 1]은 일반적인 리테이너 링 장치의 설치 상태를 나타낸 측면도이다. [도 1]을 참조하면, 일반적인 리테이너 링 장치(30)는 웨이퍼캐리어(2020)의 하부에 장착된다.
웨이퍼캐리어(2020)는 자신에 구비되는 석션유닛(22)의 하면에 웨이퍼(W)를 흡착한 상태로 그 웨이퍼(W)를 폴리싱 테이블(10)의 폴리싱 패드(11)에 밀착한 상태로 회전축(21)의 이동이나 회전에 의해 웨이퍼(W)를 연마한다.
이때, 사용자의 조작에 따라 폴리싱 패드(11)의 상면에 연마액이 뿌려지면 웨이퍼(W)의 하면은 그 만큼 잘 연마될 수 있다.
한편, 웨이퍼(W)가 석션유닛(22)의 하면에 밀착된 상태로 웨이퍼캐리어(20)가 수평운동이나 수평으로 회전운동을 하면 웨이퍼(W)의 상면이 석션유닛(22)에 붙어있는 상태라도 수평면상의 측방향으로 이탈되려는 힘을 받는다.
여기서, 석션유닛(22)으로부터 측방향으로 웨이퍼(W)가 이탈되지 않도록 웨이퍼(W)의 측방향 이동을 차단할 필요가 있다.
즉, 웨이퍼캐리어(20)에 구비되는 석션유닛(22)의 하면에 장착되는 리테이너 링 장치(30)는 중공형으로 이루어짐에 따라 석션유닛(22)의 하면에 장착되는 웨이퍼(W)가 리테이너 링 장치(30)에 포위되는 배치구조를 나타낸다.
그런데, 웨이퍼캐리어(20)가 자신의 하면에 웨이퍼(W)를 흡착한 상태로 폴리싱 패드(11)의 상면에 밀착되면 리테이너 링 장치(30)로 폴리링 패드(11)의 상면에 밀착된다.
그 결과, 웨이퍼캐리어(20)가 수평운동이나 수평면에서 회전운동을 하게 되면 웨이퍼(W)와 더불어 리테이너 링 장치(30)도 자신의 하면이 마모될 수 밖에 없는 결과를 나타낸다.
이때, 리테이너 링 장치(30)는 보통 폴리싱 패드(11)에 직접 접촉되는 접촉 리테이너 링(32)과 접촉 리테이너 링(32)의 상면에서 접촉 리테이너 링(32)과 일체로 부착되어 접촉 리테이너 링(32)을 지지하는 서스 리테이너 링(31)으로 구성됨에 따라 실질적으로 접촉 리테이너 링(32)이 폴리싱 패드(11)와의 접촉에 의해 마모된다.
이처럼, 접촉 리테이너 링(32)이 임계치 이하의 두께가 되도록 마모되면 웨이퍼캐리어(20)로부터 리테이너 링 장치(30)를 떼어내고 새로운 리테이너 링 장치(30)를 장착하여야만 한다.
그런데, 리테이너 링 장치(30)는 개당 납품가가 대략 200만원 정도하고 대량으로 납품하는 경우에도 대략 30만원 정도의 고가 제품임에도 그 사용상의 마모를 피할 수 없기 때문에 정기적으로 고가의 리테이너 링 장치(30)를 교체하여야만 하는 문제가 있다.
한편, 종래 리테이너 링 장치(30)의 본체 재활용을 시도할 수도 있겠지만 리테이너 링 장치(30)는 그 사용상의 특성 때문에 서스 리테이너 링(31)과 접촉 리테이너 링(32)으로 구성된다.
그리고, 그 종래의 리테이너 링 장치(30)에서 서스 리테이너 링(31)의 서스 재질과 접촉 리테이너 링(32)의 합성수지 재질이 상호 접합됨에 있어서 웨이퍼캐리어(20)의 움직임에 의한 폴리싱 패드(11)와의 마찰시 그 접합 상태를 그대로 유지하는 정도의 내구성을 갖추어야 하기 때문에 기계적/화학적 방법에 의해서도 다시 뗄 수 없는 정도의 강성으로 본딩결합이 이루어진다.
그 결과, 종래의 리테이너 링 장치(30)의 서스 리테이너 링(31)으로부터 접촉 리테이너 링(32)을 제거하는 방식으로 서스 리테이너 링(31)을 재활용 한다는 것은 불가능하다.
본 발명은 상기한 점을 감안하여 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 본체의 재활용이 가능한 리테이너 링 장치를 제공함에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 제 1 실시예는 폴리싱 테이블 상을 움직이는 웨이퍼캐리어의 하부에 장착되어 웨이퍼캐리어의 하부에 흡착된 상태의 웨이퍼가 웨이퍼캐리어로부터 이탈됨을 방지하는 중공형의 리테이너 링 장치로서, 웨이퍼를 자신의 내측에 가둘 수 있도록 중공형으로 이루어지고 웨이퍼캐리어의 하면 테두리에 장착되어 웨이퍼캐리어와 일체로 연결되는 베이스 리테이너 링; 웨이퍼를 자신의 내측에 가둘 수 있도록 중공형의 납작한 플레이트 형태로 이루어지고 베이스 리테이너 링의 하면에 강성 본딩결합되어 웨이퍼캐리어와 일체로 고정되는 제 1 리테이너 링; 웨이퍼를 자신의 내측에 가둘 수 있도록 중공형의 납작한 플레이트 형태로 이루어지고 제 1 리테이너 링의 하면에 연성 본딩결합되어 제 1 리테이너 링과 일체로 연결되는 제 2 리테이너 링;을 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명의 제 2 실시예는 폴리싱 테이블 상을 움직이는 웨이퍼캐리어의 하부에 장착되어 웨이퍼캐리어의 하부에 흡착된 상태의 웨이퍼가 웨이퍼캐리어로부터 이탈됨을 방지하는 중공형의 리테이너 링 장치로서, 웨이퍼를 자신의 내측에 가둘 수 있도록 중공형의 납작한 플레이트 형태로 이루어지고 웨이퍼캐리어의 하부에 강성 본딩결합되어 웨이퍼캐리어와 일체로 고정되는 제 1 리테이너 링; 웨이퍼를 자신의 내측에 가둘 수 있도록 중공형의 납작한 플레이트 형태로 이루어지고 제 1 리테이너 링의 하면에 연성 본딩결합되어 제 1 리테이너 링과 일체로 연결되는 제 2 리테이너 링;을 포함하여 구성될 수 있다.
이때, 제 1 리테이너 링은, 자신의 둘레를 따라 자신의 상면 내측 테두리부가 소정 깊이 절개 형성되는 내측 단턱부; 자신의 둘레를 따라 자신의 상면 외곽 테두리부가 소정 깊이 절개 형성되는 외곽 단턱부;를 포함하여 구성되고, 제 2 리테이너 링은, 자신의 둘레를 따라 자신의 하면 내측 테두리부가 소정 높이 돌출 형성되어 내측 단턱부에 맞물리는 내측 돌출리브; 자신의 둘레를 따라 자신의 하면 외곽 테두리부가 소정 높이 돌출 형성되어 외측 단턱부에 맞물리는 외곽 돌출리브; 자신의 내측벽과 외측벽이 상호 연통되도록 자신의 하면을 가로질러 소정 깊이 절개되며 자신의 둘레를 따라 복수 개 형성됨에 따라 자신의 하면이 폴리싱 테이블에 밀착된 상태에서 폴리싱 테이블의 상면에 위치한 연마액이 자신의 내측으로 인입되도록 가이드하는 그루브;를 포함하여 구성될 수 있다.
그리고, 제 1 리테이너 링은, 자신의 상면에 돌출 형성되되 자신의 둘레를 따라 하나이상 형성되는 돌출돌기;를 더 포함하여 구성되고, 제 2 리테이너 링은, 돌출돌기에 끼워질 수 있도록 돌출돌기에 대응하여 자신의 하면에 함몰 형성되는 하나이상의 함몰그립부;를 더 포함하여 구성될 수 있다.
한편, 돌출돌기는 내측 단턱부와 외곽 단턱부 사이에 배치되고, 함몰그립부는 내측 돌출리브와 외곽 돌출리브 사이에 배치됨이 바람직하다.
본 발명은 상호 접합과 이탈이 가능한 제 1,2 리테이너 링을 투피스로 구비함에 따라 본체의 재활용이 가능하다는 장점을 나타낸다.
또한, 본 발명은 제 1 리테이너 링의 단턱부와 제 2 리테이너 링의 돌출리브를 구비함에 따라 웨이퍼캐리어의 움직임에 연동하여 제 1 리테이너 링과 제 2 리테이너 링의 연성 본딩결합에도 불구하고 견고한 접합력을 유지할 수 있는 장점을 나타낸다.
또한, 본 발명은 제 1 리테이너 링의 돌출돌기와 제 2 리테이너 링의 함몰그립부를 구비함에 따라 웨이퍼캐리어의 움직임에 연동하여 제 1 리테이너 링과 제 2 리테이너 링의 연성 본딩결합에도 불구하고 견고한 접합력을 유지할 수 있는 장점도 나타낸다.
[도 1]은 일반적인 리테이너 링 장치의 설치 상태를 나타낸 측면도,
[도 2]는 본 발명에 따른 리테이너 링 장치의 설치 상태를 나타낸 측면도,
[도 3]은 [도 2]에서 본 발명에 따른 리테이너 링 장치를 발췌하여 도시한 예시도,
[도 4]는 [도 3]에서 제 2 리테이너 링이 분리된 상태를 나타낸 예시도,
[도 5]는 [도 4]를 하부에서 비스듬히 올려다 본 도면,
[도 6]은 [도 4]를 상부에서 비스듬히 내려다 본 도면,
[도 7]은 [도 5]에서 베이스 리테이너 링과 제 1 리테이너 링의 단면도 및 그 단면도의 일부분을 확대 도시한 도면,
[도 8]은 [도 5]에서 제 2 리테이너 링의 단면도 및 그 단면도의 일부분을 확대 도시한 도면,
[도 9]는 [도 6]에서 제 2 리테이너 링의 단면도 및 그 단면도의 일부분을 확대 도시한 도면이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
[도 2]는 본 발명에 따른 리테이너 링 장치의 설치 상태를 나타낸 측면도이고, [도 3]은 [도 2]에서 본 발명에 따른 리테이너 링 장치를 발췌하여 도시한 예시도이고, [도 4]는 [도 3]에서 제 2 리테이너 링이 분리된 상태를 나타낸 예시도이고, [도 5]는 [도 4]를 하부에서 비스듬히 올려다 본 도면이고, [도 6]은 [도 4]를 상부에서 비스듬히 내려다 본 도면이다.
[도 2] 내지 [도 5]를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예는 폴리싱 테이블 상을 움직이는 웨이퍼캐리어의 하부에 장착되어 웨이퍼캐리어의 하부에 흡착된 상태의 웨이퍼가 웨이퍼캐리어로부터 이탈됨을 방지하는 중공형의 리테이너 링 장치(100)로서, 베이스 리테이너 링(110), 제 1 리테이너 링(120), 제 2 리테이너 링(130)을 포함하여 구성될 수 있다.
베이스 리테이너 링(110)은 웨이퍼(W)를 자신의 내측에 가둘 수 있도록 중공형으로 이루어지고 웨이퍼캐리어(20)의 하면 테두리에 장착되어 웨이퍼캐리어(20)와 일체로 연결된다.
베이스 리테이너 링(110)은 합성수지재로 구성되는 제 1,2 리테이너 링(120,130)을 견고하게 지지할 수 있도록 바람직하게는 서스(sus) 재질로 구성될 수 있다.
제 1 리테이너 링(120)은 웨이퍼(W)를 자신의 내측에 가둘 수 있도록 중공형의 납작한 플레이트 형태로 이루어지고 베이스 리테이너 링(110)의 하면에 강성 본딩결합되어 웨이퍼캐리어(20)와 일체로 고정된다.
여기서, 서스 재질로 이루어지는 베이스 리테이너 링(110)과 합성수지재로 이루어지는 제 1 리테이너 링(120)은 상호 다른 재질로서 그 표면의 거칠기 등도 완전히 다르기 때문에 상호간의 접합이 동질의 것보다 어렵다.
그 결과, 상호 간의 다른 재질인 베이스 리테이너 링(110)과 제 1 리테이너 링(120)을 견고하게 결합시키기 위해서는 소정의 조성물인 에폭시를 통해 강성의 본딩결합 과정을 거쳐야 한다.
이러한 강성의 본딩 결합 과정을 거치면 상호 다른 재질인 베이스 리테이너 링(110)과 제 1 리테이너 링(120)을 견고하게 결합시킬 수 있다.
그러나, 베이스 리테이너 링(110)과 제 1 리테이너 링(120)이 상호 강성의 본딩 결합과정을 거치면 어떠한 화학성분이나 기구적인 도구를 사용해서도 다시 분리시키는 것은 불가능해진다.
여기서, 합성수지재인 제 1 리테이너 링(120)의 하면에는 동일한 합성수지재인 별도의 제 2 리테이너 링(130)을 연성으로 본딩 결합시킬 수 있다.
즉, 제 2 리테이너 링(130)은 웨이퍼(W)를 자신의 내측에 가둘 수 있도록 중공형의 납작한 플레이트 형태로 이루어지고 제 1 리테이너 링(120)의 하면에 연성 본딩결합된다.
그 결과, 제 2 리테이너 링(130)은 제 1 리테이너 링(120)에 대해 연성으로 본딩 결합되었기 때문에 이후에 제 2 리테이너 링(130)이 임계치 이하의 두께로 마모된 경우 베이스 리테이너 링(110)에 붙어있는 제 1 리테이너 링(120)과 제 2 리테이너 링(130)을 소정의 약품액에 함께 담가 두면 제 1 리테이너 링(120)으로부터 제 2 리테이너 링(130)이 쉽게 분리될 수 있다.
이어서, 새로운 제 2 리테이너 링(130)를 제 1 리테이너 링(120)에 연성으로 본딩 결합함으로써 리테이너 링 장치(100) 자체를 버리지 않고도 새로운 제 2 리테이너 링(130)을 통해 그 리테이너 링 장치(100)를 재활용할 수 있게 된다.
그런데, 제 2 리테이너 링(130)의 교체를 감안하여 제 1 리테이너 링(120)과 제 2 리테이너 링(130)은 연성으로 본딩 결합되어 있기 때문에 리테이너 링 장치(100)가 웨이퍼캐리어(20)에 장착된 상태에서 웨이퍼캐리어(20)가 폴리싱 테이블(10)의 폴리싱 패드(11)에 밀착된 상태로 직진 또는 회전운동을 하는 경우 제 1 리테이너 링(120)과 제 2 리테이너 링(130)의 상호 간 결합력을 유지하기 어려울 수 있다.
이처럼, 폴리싱 패드(11)에 대한 웨이퍼캐리어(20)의 격한 움직임에도 제 1 리테이너 링(120)과 제 2 리테이너 링(130)의 상호 간 결합이 그대로 유지될 수 있도록 제 1 리테이너 링(120)과 제 2 리테이너 링(130)의 결합부분에 구조적인 변화를 줄 필요가 있다.
[도 7]은 [도 5]에서 베이스 리테이너 링과 제 1 리테이너 링의 단면도 및 그 단면도의 일부분을 확대 도시한 도면이고, [도 8]은 [도 5]에서 제 2 리테이너 링의 단면도 및 그 단면도의 일부분을 확대 도시한 도면이고, [도 9]는 [도 6]에서 제 2 리테이너 링의 단면도 및 그 단면도의 일부분을 확대 도시한 도면이다.
[도 7] 내지 [도 9]를 참조하면, 제 1 리테이너 링(120)과 제 2 리테이너 링(130)의 결합력을 강화시키기 위해, 제 1 리테이너 링(120)은 내측 단턱부(121)와 외곽 단턱부(122)를 포함하여 구성되고, 제 2 리테이너 링(130)은 내측 돌출리브(131), 외곽 돌출리브(132), 그루브(133)를 포함하여 구성된다.
내측 단턱부(121)는 [도 7]에서와 같이, 제 1 리테이너 링(120)의 둘레를 따라 제 1 리테이너 링(120)의 상면 내측 테두리부가 소정 깊이 절개 형성될 수 있다.
외곽 단턱부(122)는 [도 7]에서와 같이, 제 1 리테이너 링(120)의 둘레를 따라 제 1 리테이너 링(120)의 상면 외곽 테두리부가 소정 깊이 절개 형성될 수 있다.
그리고, 내측 돌출리브(131)는 [도 8]과 [도 9]에서와 같이, 제 2 리테이너 링(130)의 둘레를 따라 제 2 리테이너 링(130)의 하면 내측 테두리부가 소정 높이 돌출 형성되어 내측 단턱부(121)에 맞물린다.
외곽 돌출리브(132)는 [도 8]과 [도 9]에서와 같이, 제 2 리테이너 링(130)의 둘레를 따라 제 2 리테이너 링(130)의 하면 외곽 테두리부가 소정 높이 돌출 형성되어 외측 단턱부(122)에 맞물린다.
여기서, 내측 단턱부(121)에 내측 돌출리브(131)가 맞물리고 외측 단턱부(122)에 외곽 돌출리브(132)가 맞물리게 되면 폴리싱 테이블(10) 위에서 웨이퍼캐리어(20)가 직진운동을 하는 경우 제 1 리테이너 링(120)에 대한 제 2 리테이너 링(130)의 결합이 떨어지지 않도록 보강할 수 있다.
그리고, 그루브(133)는 제 2 리테이너 링(130)의 내측벽과 외측벽이 상호 연통되도록 자신의 하면을 가로질러 소정 깊이 절개되며 제 2 리테이너 링(130)의 둘레를 따라 복수 개 형성된다.
그 결과, 그루브(133)는 제 2 리테이너 링(130)의 하면이 폴리싱 테이블(10)에 밀착된 상태에서 폴리싱 테이블(10)의 상면에 위치한 연마액이 제 2 리테이너 링(130)의 내측으로 인입되도록 가이드한다.
한편, [도 7] 내지 [도 9]를 참조하면, 제 1 리테이너 링(120)과 제 2 리테이너 링(130)의 결합력을 강화시키기 위해, 제 1 리테이너 링(120)은 돌출돌기(123)를 더 포함하여 구성되고, 제 2 리테이너 링(130)은 함몰그립부(134)를 더 포함하여 구성될 수 있다.
돌출돌기(123)는 [도 7]에서와 같이 제 1 리테이너 링(120)의 상면에 제 1 리테이너 링(120)의 둘레방향에 대해 직각으로 돌출 형성되되 제 1 리테이너 링(120)의 둘레를 따라 하나이상 형성될 수 있다.
그리고, 함몰그립부(134)는 [도 8]과 [도 9]에서와 같이 돌출돌기(123)에 끼워질 수 있도록 돌출돌기(123)에 대응하여 제 2 리테이너 링(130)의 하면에 제 2 리테이너 링(130)의 둘레방향에 대해 직각으로 함몰 형성되되 제 2 리테이너 링(130)의 둘레를 따라 하나이상 형성될 수 있다.
여기서, 돌출돌기(123)에 함몰그립부(134)가 맞물리게 되면 폴리싱 테이블(10) 위에서 웨이퍼캐리어(20)가 회전운동을 하는 경우 제 1 리테이너 링(120)에 대한 제 2 리테이너 링(130)의 결합이 떨어지지 않도록 보강할 수 있다.
다른 한편, 돌출돌기(123)는 [도 7]에서와 같이 내측 단턱부(121)와 외곽 단턱부(122) 사이에 배치됨이 바람직하다.
그리고, 함몰그립부(134)는 [도 8]과 [도 9]에서와 같이 내측 돌출리브(131)와 외곽 돌출리브(132) 사이에 배치됨이 바람직하다.
한편, 본 발명의 제 2 실시예는 폴리싱 테이블(10) 상을 움직이는 웨이퍼캐리어(20)의 하부에 장착되어 웨이퍼캐리어(20)의 하부에 흡착된 상태의 웨이퍼(W)가 웨이퍼캐리어(20)로부터 이탈됨을 방지하는 중공형의 리테이너 링 장치로서, 투피스로 이루어지는 제 1 리테이너 링(120)과 제 2 리테이너 링(130)을 포함하여 구성될 수도 있다.
이때, 제 1 리테이너 링(120)은 웨이퍼(W)를 자신의 내측에 가둘 수 있도록 중공형의 납작한 플레이트 형태로 이루어지고 웨이퍼캐리어(20)의 하부에 강성 본딩결합되어 웨이퍼캐리어(20)와 일체로 고정된다.
그리고, 제 2 리테이너 링(130)은 웨이퍼(W)를 자신의 내측에 가둘 수 있도록 중공형의 납작한 플레이트 형태로 이루어지고 제 1 리테이너 링(120)의 하면에 연성 본딩결합되어 제 1 리테이너 링(120)과 일체로 연결된다.
여기서, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 제 1,2 리테이너 링(120,130)은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 제 1,2 리테이너 링(120,130)과 동일하게 구성될 수 있다.
다만, 제 1 리테이너 링(120)은 웨이퍼캐리어(20)의 하부 서스 재질에 강성 본딩결합되어 웨이퍼캐리어(20)와 일체로 고정된다.
여기서, 서스 재질로 이루어지는 웨이퍼캐리어(20)와 합성수지재로 이루어지는 제 1 리테이너 링(120)은 상호 다른 재질로서 그 표면의 거칠기 등도 완전히 다르기 때문에 상호간의 접합이 동질의 것보다 어렵다.
그 결과, 상호 간의 다른 재질인 웨이퍼캐리어(20)와 제 1 리테이너 링(120)을 견고하게 결합시키기 위해서는 소정의 조성물인 에폭시를 통해 강성의 본딩결합 과정을 거쳐야 한다.
이러한 강성의 본딩 결합 과정을 거치면 상호 다른 재질인 웨이퍼캐리어(20)와 제 1 리테이너 링(120)을 견고하게 결합시킬 수 있다.
그러나, 웨이퍼캐리어(20)와 제 1 리테이너 링(120)이 상호 강성의 본딩 결합과정을 거치면 제 1 실시예에서와 마찬가지로 어떠한 화학성분이나 기구적인 도구를 사용해서도 다시 분리시키는 것은 불가능해진다.
10 : 폴리싱 테이블
11 : 폴리싱 패드
20 : 웨이퍼캐리어
21 : 회전축
22 : 석션유닛
30 : 리테이너 링 장치
31 : 서스 리테이너 링
32 : 접촉 리테이너 링
100 : 본 발명에 따른 리테이너 링 장치
110 : 베이스 리테이너 링
120 : 제 1 리테이너 링
121 : 내측 단턱부
122 : 외곽 단턱부
123 : 돌출돌기
130 : 제 2 리테이너 링
131 : 내측 돌출리브
132 : 외곽 돌출리브
133 : 그루브
134 : 함몰그립부
W : 웨이퍼

Claims (5)

  1. 폴리싱 테이블 상을 움직이는 웨이퍼캐리어의 하부에 장착되어 상기 웨이퍼캐리어의 하부에 흡착된 상태의 웨이퍼가 상기 웨이퍼캐리어로부터 이탈됨을 방지하는 중공형의 리테이너 링 장치로서,
    상기 웨이퍼를 자신의 내측에 가둘 수 있도록 중공형의 납작한 플레이트 형태로 이루어지고 상기 웨이퍼캐리어의 하부에 강성 본딩결합되어 상기 웨이퍼캐리어와 일체로 고정되는 제 1 리테이너 링(120);
    상기 웨이퍼를 자신의 내측에 가둘 수 있도록 중공형의 납작한 플레이트 형태로 이루어지고 상기 제 1 리테이너 링의 하면에 연성 본딩결합되어 상기 제 1 리테이너 링과 일체로 연결되는 제 2 리테이너 링(130);
    을 포함하여 구성되는 리테이너 링 장치.
  2. 폴리싱 테이블 상을 움직이는 웨이퍼캐리어의 하부에 장착되어 상기 웨이퍼캐리어의 하부에 흡착된 상태의 웨이퍼가 상기 웨이퍼캐리어로부터 이탈됨을 방지하는 중공형의 리테이너 링 장치로서,
    상기 웨이퍼를 자신의 내측에 가둘 수 있도록 중공형으로 이루어지고 상기 웨이퍼캐리어의 하면 테두리에 장착되어 상기 웨이퍼캐리어와 일체로 연결되는 베이스 리테이너 링(110);
    상기 웨이퍼를 자신의 내측에 가둘 수 있도록 중공형의 납작한 플레이트 형태로 이루어지고 상기 베이스 리테이너 링의 하면에 강성 본딩결합되어 상기 웨이퍼캐리어와 일체로 고정되는 제 1 리테이너 링(120);
    상기 웨이퍼를 자신의 내측에 가둘 수 있도록 중공형의 납작한 플레이트 형태로 이루어지고 상기 제 1 리테이너 링의 하면에 연성 본딩결합되어 상기 제 1 리테이너 링과 일체로 연결되는 제 2 리테이너 링(130);
    을 포함하여 구성되는 리테이너 링 장치.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 제 1 리테이너 링(120)은,
    자신의 둘레를 따라 자신의 상면 내측 테두리부가 소정 깊이 절개 형성되는 내측 단턱부(121);
    자신의 둘레를 따라 자신의 상면 외곽 테두리부가 소정 깊이 절개 형성되는 외곽 단턱부(122);
    를 포함하여 구성되고,
    상기 제 2 리테이너 링(130)은,
    자신의 둘레를 따라 자신의 하면 내측 테두리부가 소정 높이 돌출 형성되어 상기 내측 단턱부에 맞물리는 내측 돌출리브(131);
    자신의 둘레를 따라 자신의 하면 외곽 테두리부가 소정 높이 돌출 형성되어 상기 외측 단턱부에 맞물리는 외곽 돌출리브(132);
    자신의 내측벽과 외측벽이 상호 연통되도록 자신의 하면을 가로질러 소정 깊이 절개되며 자신의 둘레를 따라 복수 개 형성됨에 따라 자신의 하면이 상기 폴리싱 테이블에 밀착된 상태에서 상기 폴리싱 테이블의 상면에 위치한 연마액이 자신의 내측으로 인입되도록 가이드하는 그루브(133);
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 리테이너 링 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 제 1 리테이너 링(120)은,
    자신의 상면에 돌출 형성되되 자신의 둘레를 따라 하나이상 형성되는 돌출돌기(123);
    를 더 포함하여 구성되고,
    상기 제 2 리테이너 링(130)은,
    상기 돌출돌기에 끼워질 수 있도록 상기 돌출돌기에 대응하여 자신의 하면에 함몰 형성되는 하나이상의 함몰그립부(134);
    를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 리테이너 링 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 돌출돌기(123)는 상기 내측 단턱부(121)와 상기 외곽 단턱부(122) 사이에 배치되고,
    상기 함몰그립부(134)는 상기 내측 돌출리브(131)와 상기 외곽 돌출리브(132) 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 리테이너 링 장치.
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