KR20140103520A - 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 - Google Patents

Abstract

본 발명은 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링에 관한 것으로, 합성수지재의 외피 링부재의 내부에 금속재인 삽입 링부재가 삽입된 접촉 링체에 금속재인 장착 링부재를 결합시켜 구성함으로써, 상기 접촉 링체가 합성수지재만으로 형성된 것에 비해 상기 장착 링체의 크기를 줄일 수 있고, 기설정된 중량 이상으로 제조함에 있어 제조비용이 저렴하며 연마 패드에 접촉되어 마모되는 접촉 링체만 교체하여 사용이 가능하다.

Description

화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링{Retainner Ring of Chemical Mechanical Polishing Apparatus}

본 발명은 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링에 관한 것으로 더 상세하게는 웨이퍼를 화학적 기계 연마 장치로 연마할 때 상기 웨이퍼를 수용하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 웨이퍼는 화학적 기계 연마 장치(Chemical Mechanical Polishing, CMP)에 의해 표면 평탄화 작업을 거치게 된다.

상기 화학적 기계 연마 장치는 화학적 작용과 물리적 작용을 이용하여 반도체 웨이퍼 상에 도포된 산화막이나 금속 박막을 연마하여 평탄화 또는 제거 하는 장치이다.

상기 화학적 기계 연마 장치는 도 1에서 도시한 바와 같이 반도체 웨이퍼(7)를 수용하는 웨이퍼 수용부가 하부면에 형성되며 모터에 연결되어 회전하는 연마 헤드(5)와, 상기 연마 헤드(5)의 하부에 배치되며 상기 연마 헤드(5)에 수용된 반도체 웨이퍼(7)의 표면을 연마하는 연마 패드(6)와, 상기 연마 패드(6)에 화학적 연마제를 공급하는 연마제 공급부를 포함한다.

그리고, 상기 연마 헤드(5)는 하부면에 웨이퍼 수용부를 형성하는 리테이너 링(1)이 장착된다.

즉, 상기 반도체 웨이퍼(7)는 상기 연마 헤드(5)의 수용부 내에서 화학적 기계적 연마 작업 중에 외주면이 상기 리테이너 링(1)의 내주면에 걸려 이탈되지 않게 되는 것이다.

그리고 상기 연마제 공급부에 의해 상기 연마 패드로 공급된 화학적 연마제인 슬러리(Slurry)는 상기 접촉 링체(1b)의 연마제 공급홈을 통해 반도체 수용부 내로 공급되어 반도체 웨이퍼의 표면을 산화시키는 것이다.

상기 화학적 기계 연마 장치는 상기 슬러리에 의한 화학적 산화 작용과, 상기 연마 헤드 및 연마 패드가 회전하면서 상기 연마 패드에 접촉된 반도체 웨이퍼의 표면을 연마하는 연마 작용을 반복하면서 반도체 웨이퍼의 표면을 균일하게 평탄화하는 것이다.

상기 리테이너 링(1)은 상기 연마 헤드(5)의 캐리어에 장착되는 장착 링체(1a)와, 상기 장착 링체(1a)의 하부에 결합되고, 하부면에 이격된 복수의 연마제 공급홈이 형성되며 상기 연마 패드(6)에 접촉되는 접촉 링체(1b)를 포함한다.

상기 장착 링체(1a)와 접촉 링체(1b)는 본딩재를 이용한 본딩(bonding)에 의해 결합되어 일체화되는 것이다.

상기 장착 링체(1a)는 스테인레스(SUS) 강과 같은 금속재로 제조되며, 상기 접촉 링체는 엔지니어링 플라스틱재로 제조되는 것이다.

상기 리테이너 링은 장착되는 화학적 기계 연마 장치의 종류에 따라 다양한 규격으로 제조되며, 해당 화학적 기계 연마 장치의 규격에 맞도록 제조되어 사용된다.

근래에 들어 화학적 기계 연마 장치에서는 연마 헤드(5)에 안정적으로 견고하게 장착이 가능하고, 연마 패드와의 접촉에 따른 진동이 최소화되도록 기설정된 중량 또는 높이를 가지는 리테이너 링을 요구하고 있다.

상기 리테이너 링(1)은 기설정된 중량과 높이를 가지는 규격을 맞추기 위해 도 2에서 도시된 바와 같이 전체 리테이너 링의 두께에서 금속재로 제조되는 상기 장착 링체(1a)의 두께를 증대시켜 제조하고 있다.

그러나, 상기 리테이너 링(1)은 금속재로 제조되는 상기 장착 링체(1a)에만 볼트가 체결되어 상기 연마 헤드(5)에 장착되므로 상기 접촉 링체(1a)가 본딩된 부분의 접착력이 약해져 반도체 웨이퍼(7)를 안정적으로 지지하지 못해 반도체 웨이퍼(7)의 표면에 스크래치를 발생시키고, 심한 경우 반도체 웨이퍼(7)가 화학적 기계적 연마 작업 중 깨지는(Broken) 사고가 자주 발생하는 문제점이 있었던 것이다.

또 상기 리테이너 링(1)은 작동 중 상기 장착 링체(1a)와 상기 접촉 링체(1b)의 본딩 시 유출된 내, 외주면으로 본딩재가 유출되는 경우가 빈번하고, 유출된 본딩재가 연마 작업 중 굳어 이탈되면서 반도체 웨이퍼(7)의 표면에 스크래치를 발생시키는 경우가 빈번히 발생하였던 것이다.

상기 리테이너 링(1)은 기설정된 중량과 높이를 가지도록 하기 위해 상기 금속재의 상기 장착 링체(1a)의 두께가 상기 접촉 링체(1a)에 비해 매우 두껍고 상기 접촉 링체(1a)의 두께를 증대시키는 데 한계가 있으므로 상기 장착 링체(1a)와 상기 접촉 링체(1a)의 볼트 체결이 불가능한 문제점이 있는 것이다.

이는 상기 장착 링체(1a)와 상기 접촉 링체(1a)를 볼트 체결하는 경우 상기 상기 장착 링체(1a)의 상부에서 하부로 볼트가 관통되어 볼트의 단부가 상기 접촉 링체(1b)에 삽입되어 체결되어야 하는데, 볼트의 단부가 접촉 링체(1b)에 삽입되는 경우 연마 중 접촉 링체(1b)의 마모 가능 두께가 얇아져 연마 중 볼트의 단부가 접촉 링체(1b)의 하부면으로 돌출되는 사고가 발생될 수 있다.

또한, 이를 방지하기 위해서는 상기 접촉 링체(1b)의 두께를 증대시켜야 하는데 이 경우 기설정된 높이를 맞추기가 어려운 문제가 있는 것이다.

즉, 상기한 바와 같이 종래의 리테이너 링(1)은 기설정된 중량과 높이를 가지도록 하기 위해 상기 장착 링체(1a)와 상기 접촉 링체(1b)를 본딩으로 접합하여 고정할 수 밖에 없는 것이다.

또한, 상기 리테이너 링(1)은 상기 접촉 링체(1b)의 마모로 인해 주기적으로 교체해야하는데 마모된 상기 접촉 링체(1b)가 본딩 결합되어 상기 접촉 링체(1b)만 분리하여 교체하고, 상기 장착 링체(1a)를 재활용하는 것이 사실상 불가능한 문제점이 있었던 것이다.

국내특허공개 제10-2003-0001526호 '화학 기계 연마용 다층 유지링' (2003년 1월 6일 공개)

본 발명의 목적은 기설정된 중량 또는 높이를 가지며 안정적인 연마 작업이 가능한 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링을 제공하는 데 있다.

이러한 본 발명의 과제는, 화학적 기계 연마 장치에 장착되며 내부에 웨이퍼가 수용되어 상기 웨이퍼를 감싸는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링이며,

화학적 기계 연마 장치에 장착되며 금속 재질로 제조되는 장착 링체;

상기 장착 링체의 하부면에 결합되는 접촉 링체를 포함하며,

상기 접촉 링체는, 금속재질의 삽입 링부재; 및

합성수지재로 내부에 상기 삽입 링부재가 내장되게 상기 삽입 링부재의 둘레를 감싸는 외피 링부재를 포함한 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링을 제공함으로써 해결된다.

본 발명에 따른 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링은 기설정된 중량과 높이에 대한 규격을 동시에 만족하며, 화학적 기계 연마 장치에 견고하게 장착되고 안정적이고 효율적인 연마 작업을 가능하게 하는 효과가 있다.

본 발명에 따른 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링은 화학적 기계 연마 장치에 장착되는 링체를 재사용하고, 연마 패드에 접촉되어 마모되는 링체만 교체하여 사용이 가능하므로 소모품인 리테이너 링의 교체 시 소요되는 비용을 절감하도록 하는 효과가 있고, 상품성이 증대되는 효과가 있다.

도 1은 종래 리테이너 링이 장착된 연마 헤드를 개략적으로 도시한 단면도
도 2는 종래 리테이너 링을 도시한 요부 확대 단면 사시도
도 3은 본 발명에 따른 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링을 도시한 분해 사시도
도 4는 본 발명에 따른 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링을 도시한 요부 확대 단면 사시도
도 5는 본 발명에 따른 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링에서 삽입 링부재를 도시한 사시도
도 6은 본 발명에 따른 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링을 도시한 평면도
도 7은 도 6의 A - A'단면도
도 8은 도 6의 B-B' 단면도

본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명은 화학적 기계 연마 장치에 장착되며 내부에 웨이퍼가 수용되어 상기 웨이퍼를 감싸는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링에 관한 것이다.

도 3 및 도 4를 참고하면, 본 발명에 따른 화학적 기계 연마 장치에 장착되는 장착 링체(10)와, 상기 장착 링체(10)의 하부면에 결합되는 접촉 링체(20)를 포함한다.

상기 장착 링체(10)는 화학적 기계 연마 장치의 헤드에 장착되는 것으로, 금속 재질로 제조되며 SUS 재질인 것을 일 예로 한다. 상기 장착 링체(10)는 금속 재질로 형성되어 헤드에 견고하게 장착되며, 해당 화학적 기계 연마 장치에서 요구하는 규격의 중량 및 강성을 확보할 수 있도록 한다.

또한, 상기 장착 링체(10)의 하부에는 하부면이 화학적 기계 연마 장치의 연마 패드에 접촉되는 접촉 링체(20)가 결합된다. 상기 접촉 링체(20)의 하부면에는 링의 내부로 연마제를 공급하는 연마제 공급홈이 형성된다. 상기 연마제 공급홈은 상기 접촉 링체(20)의 하부면에 이격되게 복수로 형성되어 상기 접촉 링체(20)의 내부 즉, 상기 웨이퍼가 수용된 상기 접촉 링체(20)의 내주면 안쪽으로 연마제를 안정적으로 원활하게 공급한다.

상기 접촉 링체(20)는, 금속 재질의 삽입 링부재(21)와, 상기 삽입 링부재(21)의 둘레를 감싸는 합성수지재의 외피 링부재(22)를 포함한다. 상기 삽입 링부재(21)는 상기 외피 링부재(22)의 내부로 내장된다. 즉, 상기 외피 링부재(22)는 상기 삽입 링부재(21)가 외부로 노출되지 않도록 상기 삽입 링부재(21)의 둘레를 감싼다.

도시하지는 않았지만, 상기 접촉 링체(20)는 금형 내에 상기 삽입 링부재(21)를 삽입한 후 금형 내에 외피 링부재(22)를 형성하는 용융된 외피재를 주입하고, 냉각시킴으로써 제조되는 것을 일 예로 한다. 상기 접촉 링체(20)는 상기 삽입 링부재(21)를 외측 둘레로 빈 공간이 형성되게 금형 내에 배치시킨 후 상기 금형 내로 상기 외피재를 주입하여 채우고 외피재를 냉각시키면 상기 삽입 링부재(21)의 둘레를 상기 외피 링부재(22)로 감싸는 형태로 제조되는 것이다.

상기 금형 내에서 상기 삽입 링부재(21)는 금형 내에 돌출된 돌기에 결합되어 외측 둘레로 빈공간이 형성되게 배치될 수 있고, 별도의 장착용 링을 결합시켜 상기 장착용 링을 금형 내의 홈에 결합시켜 외측 둘레로 빈공간이 형성되게 배치될 수 있다.

상기 삽입 링부재(21)는 금속 재질로 제조되어 완성된 리테이너 링의 중량 및 강성을 확보하고 기설정된 규격의 높이로 제조 가능하게 한다. 상기 삽입 링부재(21)는 SUS 재질인 것을 일 예로 한다.

상기 외피 링부재(22)는 폴리에테르에테르케톤(PEEK)인 것을 일 예로 하며, 폴리페닐설파이드(PPS), 폴리아미드, 폴리벤지미다졸(PBI), 폴리카보네이트, 아세탈, 폴리에테르아미드(PEI), 폴리부틸렌테레프탈레이트(PBT), 폴리에틸린테레프탈레이트(PET) 등과 같은 공지의 엔지니어링 플라스틱 중 어느 하나를 선택하여 사용할 수 있음을 밝혀둔다.

본 발명에 따른 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링은 상기 장착 링체(10)와 상기 접촉 링체(20)를 결합시키는 볼트부재(30)를 더 포함한다. 상기 볼트부재(30)는 상기 장착 링체(10)를 관통하여 상기 접촉 링체(20)에 체결되며, 상기 접촉 링체(20)에서 상기 삽입 링부재(21)에 체결되는 것이 바람직하다. 상기 볼트부재(30)는 금속재인 상기 삽입 링부재(21)에 체결되어 상기 장착 링체(10)와 상기 접촉 링체(20)를 견고하게 결합시킬 수 있다.

상기 장착 링체(10)에는 상기 볼트부재(30)가 관통되는 복수의 볼트 구멍(11)이 형성되고, 상기 접촉 링체(20)에는 상기 외피 링부재(22)를 통과하여 상기 삽입 링부재(21)의 일부로 파여지며 상기 볼트부재(30)가 체결되는 볼트 체결홈(20a)이 형성된다.

상기 볼트부재(30)는 상기 볼트 구멍(11)을 관통하여 상기 볼트 체결홈(20a)에 체결된다. 상기 볼트 체결홈(20a)의 내주면에는 상기 볼트부재(30)가 체결되는 나사산이 형성된다.

상기 볼트부재(30)는 금속재인 상기 장착 링체(10)를 금속재인 상기 삽입 링부재(21)에 체결시키므로, 상기 장착 링체(10)를 합성수지재인 접속 링체에 체결하는 경우에 비해 강한 힘으로 체결할 수 있고, 체결된 부분에서의 파손 및 변형이 방지된다.

비교 예로 상기 접촉 링체(20)가 합성 수지재로만 제조된 경우 볼트로 상기 장착 링체(10)와 상기 접촉 링체(20)를 강하게 체결하여 결합하면 체결된 부분에서의 파손 및 변형이 발생되므로 상기 접촉 링체(20)와 상기 장착 링체(10)의 사이에 본딩재를 도포하여 결합시켜야 한다. 그리고 기설정된 규격의 높이와 중량을 만족시키기 위해서는 합성 수지재로만 제조된 상기 접촉 링체(20)의 두께를 증대시키기 불가능하고 연마 시 상기 접촉 링체(20)의 사용 두께를 확보하기 위해서도 상기 접촉 링체(20)와 상기 장착 링체(10)를 서로 본딩으로 결합시킬 수 밖에 없다. 그런데, 상기한 바와 같이 상기 접촉 링체(20)와 상기 장착 링체(10)를 서로 본딩으로 결합시키는 경우, 상기 접촉 링체(20)가 상기 장착 링체(10)에 견고하게 결합되지 못해 연마 작업 중 상기 접촉 링체(20)가 연마 패드에 접촉되면서 유동이 발생되는 문제점이 있는 것이다. 그리고 상기 장착 링체(10)와 상기 접촉 링체(20)의 사이에서 본딩재가 유출되는 경우 유출된 본딩재가 굳어 연마 작업 중 이탈되면서 웨이퍼의 표면에 스크래치를 발생시키는 경우가 빈번히 발생한다.

즉, 본 발명에 따른 화학적 기계 장치의 리테이너 링은 접촉 링체(20)가 합성 수지재로만 제조되는 경우에 비해 볼트부재(30)로 금속 재인 상기 장착 링체(10)와 상기 삽입 링부재(21)를 강하게 체결할 수 있어 상기 접촉 링체(20)와 상기 삽입 링부재(21)를 견고하게 결합시킨다. 따라서, 연마 작업 중 상기 접촉 링체(20)의 유동이 최소화되어 안정적이고 불량없는 작업이 가능하다. 또한, 상기 접촉 링체(20)와 상기 장착 링체(10)의 사이에 본딩재를 도포할 필요가 없어 연마 작업 중 굳은 본딩재가 이탈되면서 웨이퍼의 표면에 스크래치를 발생시키는 경우가 발생하지 않는다. 또한, 상기 삽입 링부재(21)의 하부로 상기 외피 링부재(22)의 두께를 확보할 수 있어 연마 시 마모되는 마모 두께를 확실하게 확보할 수 있다.

한편, 도 5를 참고하면, 상기 삽입 링부재(21)에는 상, 하로 관통된 복수의 관통 구멍(21a)이 형성된다. 상기 관통 구멍(21a)은 상기 삽입 링부재(21)를 금형 내에 장착시키기 위한 장착 용핀이 결합되거나, 상기 삽입 링부재(21)를 상기 금형 내에 돌출된 돌기에 결합될 수 있다.

도 6을 참고하면, 상기 장착 링체(10)의 상부면에는 복수의 상기 볼트 결합 구멍 및 상기 장착 링체(10)를 화학적 기계 연마 장치의 헤드에 장착시키기 위한 복수의 장착 구멍(12)이 형성된다.

도 7을 참고하면, 상기 장착 구멍(12)의 내주면에는 헤드 장착 볼트가 체결되는 장착 나사부가 형성되며, 상기 관통 구멍(21a)에는 상기 외피 링부재(22)의 외피재가 채워지거나 상기 장착용 핀이 결합되어 막히게 된다. 상기 외피 링부재(22)에서 상기 관통 구멍(21a)에 채워진 부분에 장착 홈부(22a)가 형성되고, 상기 장착 구멍(12)은 상기 장착 홈부(22a)와 연통되게 형성되고, 더 바람직하게는 대응되는 위치에 형성되며 상기 장착 홈부(22a)의 중앙부에 형성되는 것을 일 예로 한다.

상기 장착 링체(10)와 상기 접촉 링체(20)는 상기 장착 링체(10)에 체결되고, 단부 일부분이 상기 접촉 링체(20)의 내부로 삽입되는 헤드 장착 볼트에 의해 화학적 기계 연마 장치의 헤드에 견고히 장착된다. 상기 장착 링체(10)와 상기 접촉 링체(20)는 상기 헤드 장착 볼트에 의해 더 견고하게 결합되어 일체화 된다.

상기한 바와 같이 상기 장착 링체(10)와 상기 접촉 링체(20)는 결합 시 상기 볼트 구멍(11)과, 상기 볼트 체결홈(20a)이 일치되어야 하고, 상기 장착 구멍(12)이 상기 장착 홈부(22a)에 일치되어야 한다.

도 3 및 도 8을 참고하면, 본 발명에 따른 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링은 상기 장착 링체(10)와 상기 접촉 링체(20)의 결합 위치를 안내하는 결합 가이드부재(40)를 더 포함하는 것이 바람직하다.

상기 결합 가이드부재(40)는, 상기 장착 링체(10)의 하부면과 상기 접촉 링체(20)의 상부면 중 한 측에 돌출되는 복수의 가이드 돌기부(41); 및

상기 장착 링체(10)의 하부면과 상기 접촉 링체(20)의 상부면 중 다른 측에 형성되며 상기 가이드 돌기부(41)가 삽입되는 복수의 가이드 홈부(42)를 포함한다.

상기 가이드 돌기부(41)는 상기 장착 링체(10)와 상기 접촉 링체(20)와 별도로 제조되어 분리 가능하며, 상기 가이드 홈부(42)는 상기 장착 링체(10)의 하부면과 상기 접촉 링체(20)의 상부면에 각각 형성되어 상기 장착 링체(10)의 하부면과 상기 접촉 링체(20)의 상부면 중 어느 한 측에 결합시킨 상태에서 다른 한 측으로 결합하는 것을 일 예로 한다.

상기 가이드 돌기부(41)는 원주 방향에서 양 단부가 이격되는 원통 형상을 가지고, 이격된 양 단부에 서로 맞물리는 복수의 치(41a)가 돌출된다. 상기 가이드 돌기부(41)는 상기 원주 방향에서 이격된 부분을 통해 자체적으로 탄성을 가져 상기 가이드 홈부(42)에 견고하게 결합된다.

즉, 상기 가이드 돌기부(41)는 원주 방향에서 양단부가 이격되어 직경이 좁아지면서 일부분이 상기 장착 링체(10)의 하부면과 상기 접촉 링체(20)의 상부면에 형성된 가이드 홈부(42)에 각각 결합된다.

상기 가이드 돌기부(41)는 상기 가이드 홈부(42)에 결합된 후 상기 복수의 치(41a)가 맞물리면서 더 견고하게 결합되어 상기 장착 링체(10)와 상기 접촉 링체(20)의 결합을 더 견고하게 한다.

상기 가이드 돌기부(41)가 상기 가이드 홈부(42)에 삽입되도록 상기 장착 링체(10)와 상기 접촉 링체(20)를 결합시키면 상기 볼트 구멍(11)과, 상기 볼트 체결홈(20a)이 일치되고, 상기 장착 구멍(12)이 상기 장착 홈부(22a)에 일치된다.

본 발명에 따른 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링은 금속재인 장착 링부재를 합성수지재의 외피 링부재(22)의 내부에 금속재인 삽입 링부재(21)가 삽입된 접촉 링체(20)에 결합시켜 구성함으로써, 상기 접촉 링체(20)가 합성수지재만으로 형성된 것에 비해 상기 장착 링체(10)의 크기를 줄일 수 있다.

즉, 본 발명에 따른 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링은 기설정된 중량과 높이에 대한 규격을 동시에 만족하며, 화학적 기계 연마 장치에 견고하게 장착되고 안정적이고 효율적인 연마 작업을 가능하게 한다.

본 발명에 따른 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링은 화학적 기계 연마 장치에 장착되는 장착 링체(10)를 재사용하고, 연마 패드에 접촉되어 마모되는 접촉 링체(20)만 교체하여 사용이 가능하므로 소모품인 리테이너 링의 교체 시 소요되는 비용을 절감하도록 하고, 상품성이 증대된다.

본 발명은 상기한 실시 예에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지에 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있으며 이는 본 발명의 구성에 포함됨을 밝혀둔다.

10 : 장착 링체 11 : 볼트 구멍
12 : 장착 구멍 20 : 접촉 링체
21 : 삽입 링부재 22 : 외피 링부재
30 : 볼트부재 40 : 결합 가이드부재
41 : 가이드 돌기부 42 : 가이드 홈부

Claims (9)

1. 화학적 기계 연마 장치에 장착되며 내부에 웨이퍼가 수용되어 상기 웨이퍼를 감싸는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링이며,
   화학적 기계 연마 장치에 장착되며 금속 재질로 제조되는 장착 링체;
   상기 장착 링체의 하부면에 결합되는 접촉 링체를 포함하며,
   상기 접촉 링체는, 금속재질의 삽입 링부재; 및
   합성수지재로 내부에 상기 삽입 링부재가 내장되게 상기 삽입 링부재의 둘레를 감싸는 외피 링부재를 포함한 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 장착 링체와 상기 접촉 링체를 결합시키는 볼트부재를 더 포함한 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링.
3. 청구항 2에 있어서,
   상기 장착 링체에는 상기 볼트부재가 관통되는 복수의 볼트 구멍이 형성되고,
   상기 접촉 링체에는 상기 외피 링부재를 통과하여 상기 삽입 링부재의 일부로 파여지며 상기 볼트부재가 체결되는 볼트 체결홈이 형성되어 상기 볼트부재가 상기 삽입 링부재에 체결되는 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링.
4. 청구항 1에 있어서,
   상기 장착 링체의 상부면에는 상기 장착 링체를 화학적 기계 연마 장치의 헤드에 장착시키기 위한 복수의 장착 구멍이 형성되고,
   상기 삽입 링부재에는 상, 하로 관통된 복수의 관통 구멍이 형성되며,
   상기 외피 링부재에서 상기 관통 구멍에 채워진 부분에 장착 홈부가 형성되고,
   상기 장착 구멍과 상기 장착 홈부는 연통되게 형성된 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링.
5. 청구항 1에 있어서,
   상기 장착 링체와 상기 접촉 링체의 결합 위치를 안내하는 결합 가이드부재를 더 포함한 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링.
6. 청구항 5에 있어서,
   상기 결합 가이드부재는,
   상기 장착 링체의 하부면과 상기 접촉 링체의 상부면 중 한 측에 돌출되는 복수의 가이드 돌기부; 및
   상기 장착 링체의 하부면과 상기 접촉 링체의 상부면 중 다른 측에 형성되며 상기 가이드 돌기부가 삽입되는 복수의 가이드 홈부를 포함한 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링.
7. 청구항 6에 있어서,
   상기 가이드 돌기부는 상기 장착 링체와 상기 접촉 링체와 분리 가능하게 제조되고,
   상기 가이드 홈부는 상기 장착 링체의 하부면과 상기 접촉 링체의 상부면에 각각 형성된 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링.
8. 청구항 7에 있어서,
   상기 가이드 돌기부는 원주 방향에서 양 단부가 이격되는 원통 형상을 가지고, 이격된 부분을 통해 탄성을 가지는 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링.
9. 청구항 8에 있어서,
   상기 가이드 돌기부는 원주 방향에서 이격딘 양 단부에 서로 맞물리는 복수의 치가 돌출된 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링.

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